KR102671758B1 - Printed circuit board and method thereof - Google Patents
Printed circuit board and method thereof Download PDFInfo
- Publication number
- KR102671758B1 KR102671758B1 KR1020210193416A KR20210193416A KR102671758B1 KR 102671758 B1 KR102671758 B1 KR 102671758B1 KR 1020210193416 A KR1020210193416 A KR 1020210193416A KR 20210193416 A KR20210193416 A KR 20210193416A KR 102671758 B1 KR102671758 B1 KR 102671758B1
- Authority
- KR
- South Korea
- Prior art keywords
- metal layer
- substrate
- copper foil
- printed circuit
- base metal
- Prior art date
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 title description 27
- 230000002787 reinforcement Effects 0.000 claims abstract description 53
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 47
- 239000010953 base metal Substances 0.000 claims abstract description 46
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 37
- 239000011889 copper foil Substances 0.000 claims abstract description 32
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims abstract description 16
- 238000005530 etching Methods 0.000 claims abstract description 8
- 230000003014 reinforcing effect Effects 0.000 claims description 10
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 75
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 34
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 34
- 229920002120 photoresistant polymer Polymers 0.000 description 16
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- KDLHZDBZIXYQEI-UHFFFAOYSA-N Palladium Chemical compound [Pd] KDLHZDBZIXYQEI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 229910000881 Cu alloy Inorganic materials 0.000 description 5
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 5
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 5
- MHAJPDPJQMAIIY-UHFFFAOYSA-N Hydrogen peroxide Chemical compound OO MHAJPDPJQMAIIY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-N Sulfuric acid Chemical compound OS(O)(=O)=O QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 4
- 239000000463 material Substances 0.000 description 4
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 4
- BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Silver Chemical compound [Ag] BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 3
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 3
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 3
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 3
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 3
- 229910052763 palladium Inorganic materials 0.000 description 3
- -1 region Substances 0.000 description 3
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000004332 silver Substances 0.000 description 3
- ORTQZVOHEJQUHG-UHFFFAOYSA-L copper(II) chloride Chemical compound Cl[Cu]Cl ORTQZVOHEJQUHG-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000009713 electroplating Methods 0.000 description 2
- 230000014509 gene expression Effects 0.000 description 2
- FBAFATDZDUQKNH-UHFFFAOYSA-M iron chloride Chemical compound [Cl-].[Fe] FBAFATDZDUQKNH-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 2
- 238000010030 laminating Methods 0.000 description 2
- 239000012528 membrane Substances 0.000 description 2
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 description 2
- 229920001343 polytetrafluoroethylene Polymers 0.000 description 2
- 239000004810 polytetrafluoroethylene Substances 0.000 description 2
- 238000001039 wet etching Methods 0.000 description 2
- 229920000106 Liquid crystal polymer Polymers 0.000 description 1
- 239000004977 Liquid-crystal polymers (LCPs) Substances 0.000 description 1
- 239000004642 Polyimide Substances 0.000 description 1
- 239000012790 adhesive layer Substances 0.000 description 1
- 238000005137 deposition process Methods 0.000 description 1
- 238000007772 electroless plating Methods 0.000 description 1
- 239000003822 epoxy resin Substances 0.000 description 1
- 239000004744 fabric Substances 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 239000011810 insulating material Substances 0.000 description 1
- 238000010297 mechanical methods and process Methods 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000009832 plasma treatment Methods 0.000 description 1
- 229920000647 polyepoxide Polymers 0.000 description 1
- 229920001721 polyimide Polymers 0.000 description 1
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 description 1
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 1
- 239000002356 single layer Substances 0.000 description 1
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 1
- 238000002207 thermal evaporation Methods 0.000 description 1
- 230000009466 transformation Effects 0.000 description 1
- 238000000844 transformation Methods 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K3/00—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
- H05K3/007—Manufacture or processing of a substrate for a printed circuit board supported by a temporary or sacrificial carrier
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K1/00—Printed circuits
- H05K1/02—Details
- H05K1/0271—Arrangements for reducing stress or warp in rigid printed circuit boards, e.g. caused by loads, vibrations or differences in thermal expansion
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K3/00—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
- H05K3/02—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits in which the conductive material is applied to the surface of the insulating support and is thereafter removed from such areas of the surface which are not intended for current conducting or shielding
- H05K3/06—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits in which the conductive material is applied to the surface of the insulating support and is thereafter removed from such areas of the surface which are not intended for current conducting or shielding the conductive material being removed chemically or electrolytically, e.g. by photo-etch process
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K3/00—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
- H05K3/40—Forming printed elements for providing electric connections to or between printed circuits
- H05K3/4038—Through-connections; Vertical interconnect access [VIA] connections
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Structure Of Printed Boards (AREA)
Abstract
인쇄회로기판 및 그 제조방법을 제공한다. 본 발명의 일 실시예는, 코어 기판의 상면 및 하면에 베이스 금속층 및 캐리어 동박이 적층된 기판을 준비하는 단계; 상기 캐리어 동박의 일부를 식각하여 제1개구를 형성함으로써, 상기 캐리어 동박은 상기 제1개구에 의해서 분리된 복수의 보강부 및 스트립부로 구비되는 단계; 상기 캐리어 동박의 스트립부를 제거하는 단계; 상기 스트립부가 제거된 상기 기판의 일 영역에 비아홀을 형성하는 단계; 및 상기 기판의 일 영역에 회로패턴을 형성하는 단계;를 포함하는, 인쇄회로기판의 제조방법을 제공한다.Provides printed circuit boards and their manufacturing methods. One embodiment of the present invention includes preparing a substrate in which a base metal layer and a carrier copper foil are laminated on the upper and lower surfaces of a core substrate; etching a portion of the carrier copper foil to form a first opening, so that the carrier copper foil is provided with a plurality of reinforcement portions and strip portions separated by the first opening; Removing the strip portion of the carrier copper foil; forming a via hole in a region of the substrate from which the strip portion was removed; and forming a circuit pattern in one area of the substrate.
Description
본 발명의 실시예들은 인쇄회로기판 및 그 제조 방법에 관한 것이다.Embodiments of the present invention relate to printed circuit boards and methods of manufacturing the same.
반도체 패키지를 제조하기 위해서는 전기 회로가 형성된 반도체 칩이 장착될 수 있는 인쇄회로기판이 요구된다. 인쇄회로기판은 반도체 칩에서 출력되어 외부 장치로 전달하기 위한 전기 신호 또는 외부 장치에서 반도체 칩으로 전달하기 위한 전기 신호를 위하여 그 일면 또는 양면에 회로 패턴을 가지고 있다. In order to manufacture a semiconductor package, a printed circuit board on which a semiconductor chip with an electric circuit can be mounted is required. A printed circuit board has a circuit pattern on one or both sides for electrical signals output from a semiconductor chip and transmitted to an external device or from an external device to a semiconductor chip.
최근 전기, 전자산업 분야에 있어서, 이러한 인쇄회로기판은 필수적인 구성으로 활용도가 높아지고 있다. 이에 따라, 인쇄회로기판을 대량 생산함에 있어서 불량률을 최소화할 수 있는 방법이 모색되고 있다.Recently, in the electrical and electronic industries, printed circuit boards are an essential component and their utilization is increasing. Accordingly, methods to minimize the defect rate in mass production of printed circuit boards are being sought.
본 발명의 실시예들은 인쇄회로기판 및 그 제조방법에 관한 것으로, 구체적으로 불량률을 줄일 수 있는 인쇄회로기판 및 그 제조방법에 관한 것이다.Embodiments of the present invention relate to a printed circuit board and a method of manufacturing the same, and specifically relate to a printed circuit board and a method of manufacturing the same that can reduce the defect rate.
본 발명이 해결하고자 하는 과제들은 이상에서 언급한 과제들로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 과제들은 본 발명의 기재로부터 당해 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.The problems to be solved by the present invention are not limited to the problems mentioned above, and other problems not mentioned can be clearly understood by those skilled in the art from the description of the present invention.
본 발명의 일 실시예는, 코어 기판의 상면 및 하면에 베이스 금속층 및 캐리어 동박이 적층된 기판을 준비하는 단계; 상기 캐리어 동박의 일부를 식각하여 제1개구를 형성함으로써, 상기 캐리어 동박은 상기 제1개구에 의해서 분리된 복수의 보강부 및 스트립부로 구비되는 단계; 상기 캐리어 동박의 스트립부를 제거하는 단계; 상기 스트립부가 제거된 상기 기판의 일 영역에 비아홀을 형성하는 단계; 및상기 기판의 일 영역에 회로패턴을 형성하는 단계;를 포함하는, 인쇄회로기판의 제조방법의 제조방법을 제공한다.One embodiment of the present invention includes preparing a substrate in which a base metal layer and a carrier copper foil are laminated on the upper and lower surfaces of a core substrate; etching a portion of the carrier copper foil to form a first opening, so that the carrier copper foil is provided with a plurality of reinforcement portions and strip portions separated by the first opening; Removing the strip portion of the carrier copper foil; forming a via hole in a region of the substrate from which the strip portion was removed; and forming a circuit pattern in one area of the substrate.
일 실시예에 있어서, 상기 복수의 보강부는 상기 기판의 외곽부에 배치된 제1보강부 및 제2보강부를 포함할 수 있다. In one embodiment, the plurality of reinforcing parts may include a first reinforcing part and a second reinforcing part disposed on an outer portion of the substrate.
일 실시예에 있어서, 상기 복수의 보강부는 상기 제1보강부와 상기 제2보강부 사이에 배치된 제3보강부를 더 포함할 수 있다. In one embodiment, the plurality of reinforcement parts may further include a third reinforcement part disposed between the first reinforcement part and the second reinforcement part.
일 실시예에 있어서, 상기 인쇄회로기판은 릴-투-릴(reel-to-reel) 장치에 의해서 제조되며, 상기 복수의 보강부는 상기 릴-투-릴 장치의 롤러와 접촉할 수 있다. In one embodiment, the printed circuit board is manufactured by a reel-to-reel device, and the plurality of reinforcement parts may be in contact with a roller of the reel-to-reel device.
일 실시예에 있어서, 상기 캐리어 동박의 제1개구에 대응하여, 상기 베이스 금속층에 제2개구가 형성될 수 있다. In one embodiment, a second opening may be formed in the base metal layer, corresponding to the first opening of the carrier copper foil.
일 실시예에 있어서, 상기 복수의 보강부의 두께는 상기 베이스 금속층의 두께의 2배 내지 7배일 수 있다. In one embodiment, the thickness of the plurality of reinforcement parts may be 2 to 7 times the thickness of the base metal layer.
일 실시예에 있어서, 상기 회로패턴을 형성한 단계 이후에, 상기 기판을 컷팅하는 단계;를 더 포함할 수 있다. In one embodiment, the step of cutting the substrate may be further included after forming the circuit pattern.
본 발명의 다른 실시예는, 코어 기판; 상기 코어 기판의 상면 및 하면에 적층된 베이스 금속층; 상기 기판의 양 외곽부에서 상기 베이스 금속층 상에 배치된 제1보강부 및 제2보강부; 상기 기판을 관통하는 비아홀; 및 상기 베이스 금속층에 형성된 회로패턴;을 포함하는, 인쇄회로기판을 제공한다. Another embodiment of the present invention includes a core substrate; a base metal layer laminated on the upper and lower surfaces of the core substrate; first and second reinforcement parts disposed on the base metal layer at both outer edges of the substrate; a via hole penetrating the substrate; and a circuit pattern formed on the base metal layer. It provides a printed circuit board including a.
일 실시예에 있어서, 상기 제1보강부 및 상기 제2보강부는 동박으로 구비되며, 상기 제1보강부 및 상기 제2보강부의 두께는 상기 베이스 금속층의 두께보다 2배 내지 7배 클 수 있다. In one embodiment, the first reinforcement part and the second reinforcement part are made of copper foil, and the thickness of the first reinforcement part and the second reinforcement part may be 2 to 7 times greater than the thickness of the base metal layer.
일 실시예에 있어서, 상기 제1보강부 및 상기 제2보강부 사이에 배치된 제3보강부를 더 포함할 수 있다. In one embodiment, it may further include a third reinforcement part disposed between the first reinforcement part and the second reinforcement part.
일 실시예에 있어서, 상기 베이스 금속층 상부에는 제1금속층 및 상기 제1금속층보다 두꺼운 제2금속층;이 더 배치될 수 있다. In one embodiment, a first metal layer and a second metal layer thicker than the first metal layer may be further disposed on the base metal layer.
상기한 바와 같이, 본 발명의 실시예들에 따른 인쇄회로기판은 기판에 복수의 보강부를 구비하고 있는 바, 인쇄회로기판의 파손 불량을 방지하고 작업성을 향상시킬 수 있다. As described above, the printed circuit board according to embodiments of the present invention has a plurality of reinforcing parts on the board, which prevents damage to the printed circuit board and improves workability.
물론 이러한 효과에 의해 본 발명의 범위가 한정되는 것은 아니다.Of course, the scope of the present invention is not limited by this effect.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 인쇄회로기판의 제조방법에 이용될 수 있는 장치의 일부를 나타내는 개략적인 도면이다.
도 2 내지 도 11은 본 발명의 일 실시예에 따른 인쇄회로기판의 제조방법을 순차적으로 나타내는 개략적인 단면도이다.1 is a schematic diagram showing a portion of a device that can be used in a method of manufacturing a printed circuit board according to an embodiment of the present invention.
2 to 11 are schematic cross-sectional views sequentially showing a method of manufacturing a printed circuit board according to an embodiment of the present invention.
본 실시예들은 다양한 변환을 가할 수 있는 바, 특정 실시예들을 도면에 예시하고 상세한 설명에 상세하게 설명하고자 한다. 본 실시예들의 효과 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 내용들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 실시예들은 이하에서 개시되는 실시예들에 한정되는 것이 아니라 다양한 형태로 구현될 수 있다. Since various transformations can be made to these embodiments, specific embodiments will be illustrated in the drawings and described in detail in the detailed description. The effects and features of the present embodiments and methods for achieving them will become clear by referring to the detailed description below along with the drawings. However, the present embodiments are not limited to the embodiments disclosed below and may be implemented in various forms.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 이하의 실시예들을 상세히 설명하기로 하며, 도면을 참조하여 설명할 때 동일하거나 대응하는 구성 요소는 동일한 도면부호를 부여하고 이에 대한 중복되는 설명은 생략하기로 한다.Hereinafter, the following embodiments will be described in detail with reference to the accompanying drawings. When describing with reference to the drawings, identical or corresponding components will be assigned the same reference numerals and duplicate descriptions thereof will be omitted.
이하의 실시예에서 제1, 제2 등의 용어는 한정적인 의미가 아니라 하나의 구성 요소를 다른 구성 요소와 구별하는 목적으로 사용되었다. In the following embodiments, terms such as first and second are used not in a limiting sense but for the purpose of distinguishing one component from another component.
이하의 실시예에서 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다.In the following examples, singular expressions include plural expressions, unless the context clearly dictates otherwise.
이하의 실시예에서 포함하다 또는 가지다 등의 용어는 명세서상에 기재된 특징, 또는 구성요소가 존재함을 의미하는 것이고, 하나 이상의 다른 특징들 또는 구성요소가 부가될 가능성을 미리 배제하는 것은 아니다. In the following embodiments, terms such as include or have mean the presence of features or components described in the specification, and do not exclude in advance the possibility of adding one or more other features or components.
이하의 실시예에서 막, 영역, 구성 요소 등의 부분이 다른 부분 위(또는 상)에 또는 아래(하)에 있다고 할 때, 다른 부분의 바로 위 또는 아래에 있는 경우뿐만 아니라, 그 중간에 다른 막, 영역, 구성 요소 등이 개재되어 있는 경우도 포함한다. 위 및 아래에 대한 기준은 도면을 기준으로 설명한다. In the following embodiments, when a part such as a membrane, region, or component is said to be above (or above) or below (below) another part, it does not only mean that it is directly above or below the other part, but also that there is another part in between. This also includes cases where membranes, regions, components, etc. are interposed. The standards for top and bottom are explained based on the drawings.
도면에서는 설명의 편의를 위하여 구성 요소들이 그 크기가 과장 또는 축소될 수 있다. 예컨대, 도면에서 나타난 각 구성의 크기 및 두께는 설명의 편의를 위해 임의로 나타내었으므로, 이하의 실시예는 반드시 도시된 바에 한정되지 않는다.In the drawings, the sizes of components may be exaggerated or reduced for convenience of explanation. For example, the size and thickness of each component shown in the drawings are arbitrarily shown for convenience of explanation, so the following embodiments are not necessarily limited to what is shown.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 인쇄회로기판의 제조방법에 이용될 수 있는 장치의 일부를 나타내는 개략적인 도면이다.1 is a schematic diagram showing a portion of a device that can be used in a method of manufacturing a printed circuit board according to an embodiment of the present invention.
도 1을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 인쇄회로기판은 릴-투-릴(Reel to reel) 장치로 제조될 수 있다. 릴-투-릴 장치는 연속적인 릴 구동으로 기판을 이동시키면서 공정을 진행하는 장치이다. 릴-투-릴 장치는 기판(100)을 로딩하는 공급 롤러(511), 기판(100)을 언로딩하는 수신 롤러(512), 그 밖에 다양한 롤러(513)들을 포함할 수 있다. 롤러(513)들은 기판(100)을 이동시키는 이송 롤러, 장력을 조절하는 버퍼 롤러 등 다양하게 구비될 수 있다. 도 1에서는 하나의 단계에 대응하는 릴-투-릴 장치만을 도시하고 있으나, 릴-투-릴 장치는 복수의 단계에 대응하여 연속적으로 배치될 수 있다. 이 경우, 기판(100)은 인쇄회로기판의 각 제조 단계 마다 로딩과 언로딩을 반복하면서 연속적으로 공정이 진행될 수 있다. Referring to FIG. 1, a printed circuit board according to an embodiment of the present invention can be manufactured using a reel-to-reel device. A reel-to-reel device is a device that carries out a process while moving a substrate through continuous reel driving. The reel-to-reel device may include a
본 발명의 실시예들은 도 1과 같이 릴-투-릴 장치에 의해서 제조되는 것에 한정되지 않는다. 예컨대, 본 발명의 실시예들은 평판 상태로 공정하는 인쇄회로기판의 제조방법에도 적용될 수 있다.Embodiments of the present invention are not limited to being manufactured by a reel-to-reel device as shown in FIG. 1. For example, embodiments of the present invention can also be applied to a method of manufacturing a printed circuit board that is processed in a flat state.
도 2 내지 도 11은 본 발명의 일 실시예에 따른 인쇄회로기판의 제조방법을 순차적으로 나타내는 개략적인 단면도이다. 도 2 내지 도 10의 단면도는 릴-투-릴 공정으로 진행되는 경우, 진행되는 방향에 대해서 수직으로 절단한 단면도일 수 있다.2 to 11 are schematic cross-sectional views sequentially showing a method of manufacturing a printed circuit board according to an embodiment of the present invention. The cross-sectional views of FIGS. 2 to 10 may be cross-sectional views cut perpendicular to the direction in which the reel-to-reel process is performed.
도 2를 참조하면, 먼저, 코어 기판(101)의 상면 및 하면에 베이스 금속층(110) 및 캐리어 동박(120)이 적층된 기판(100)을 준비한다. Referring to FIG. 2, first, a
코어 기판(101)은 절연물질 예컨대, 글래스 천(glass cloth), 에폭시 수지, 폴리이미드(poly-imide), 폴리머(polymer), 액정폴리머(liquid crystal polymer), 폴리테트라플루오로에틸렌(PTFE), 폴리메틸메타아크릴레이트(Poly Methyl MethaAcrylate), 폴리카보나이트(poly carbonite) 중 하나 또는 이들 중 일부가 조합되어 제작될 수 있다. 코어 기판(101)은 경성을 갖는 재질 또는 유연성을 갖는 재질로 구성될 수 있다.The
베이스 금속층(110)은 구리, 구리 합금 또는 기타 도전성을 가지는 금속으로 구비될 수 있다. 베이스 금속층(110)은 코어 기판(101)과 동일한 크기로 구비되어 코어 기판(101)에 열과 압력을 가해 접착시키는 라미네이팅 공정을 통해서 적층될 수 있다. 일부 실시예에서, 베이스 금속층(110)과 코어 기판(101) 사이에는 접착층이 형성될 수 있다. 다른 실시예로서, 베이스 금속층(110)은 코어 기판(101)의 상면 및 하면에 다양한 증착 공정을 통해 형성될 수 있다. 예컨대, 베이스 금속층(110)은 스퍼터링(sputterring) 또는 열증착(thermal evaporation) 공정으로 증착될 수 있다.The
베이스 금속층(110)은 추후 전해 도금법을 진행할 때 전류를 흘려주는 매체로 사용되기 때문에 가격을 절감하기 위하여 얇게 형성되는 것이 바람직하다. 일부 실시예에서, 코어 기판(101)의 일면에 배치된 베이스 금속층(110)의 두께는 약 2 ~ 5 um로 구비될 수 있다. 예컨대, 베이스 금속층(110)의 두께는 약 3um일 수 있다. 캐리어 동박(120)과의 접착성을 위해서 베이스 금속층(110)의 표면에는 극세 요철이 형성될 수 있다. Since the
베이스 금속층(110)의 상면에는 캐리어 동박(120)이 배치될 수 있다. 캐리어 동박(120)은 베이스 금속층(110)에 회로패턴을 형성하기 전까지의 공정에서 베이스 금속층(110)을 보호하기 위해서 도입된 것일 수 있다. 캐리어 동박(120)은 구리 또는 구리 합금으로 구비될 수 있다. 캐리어 동박(120)은 추후 공정에서 패터닝되어 기판(100)의 강성을 강화하는 역할을 하는 바, 캐리어 동박(120)의 두께는 베이스 금속층(110)의 두께 보다 크게 구비될 수 있다. 예컨대, 캐리어 동박(120)의 두께는 베이스 금속층의 두께의 2배 내지 7배일 수 있다. 일부 실시예에서, 캐리어 동박(120)의 두께는 약 18 um일 수 있다. 캐리어 동박(120)은 열과 압력을 가해 접착시키는 라미네이팅 공정을 통해서 베이스 금속층(110) 상면에 적층될 수 있다. A
그 다음, 도 3 및 도 4를 참조하면, 캐리어 동박(120)를 식각하여 제1개구(H1)를 형성함으로써, 상기 캐리어 동박(120)을 복수의 보강부(121, 122, 123) 및 스트립부(125)로 형성한다.Next, referring to FIGS. 3 and 4 , the
먼저, 도 3을 참조하면, 캐리어 동박(120) 상면에 포토레지스트(PR)을 도포하고, 마스크 공정을 통해서 제1개구(H1)가 형성될 부분을 미노광시켜 포토레지스트를 현상하여 패터닝한다. 포토레지스트(PR)은 드라이필름레지스트(DFR)일 수 있다. 포토레지스트의 특성에 따라서 제1개구(H1)가 형성될 부분을 노광시켜 패터닝할 수도 있음은 물론이다.First, referring to FIG. 3, photoresist (PR) is applied to the upper surface of the
그 다음, 도 4를 참조하면, 캐리어 동박(120)을 식각하여 제1개구(H1)을 형성한다. 식각은 황산, 과산화수소, 염화동 또는 염화철과 같은 에칭액을 이용한 습식 식각으로 수행될 수 있다. 이러한 식각 공정을 통해서 베이스 금속층(110)에도 제1개구(H1)와 중첩하는 제2개구(H2)가 형성될 수 있다. Next, referring to FIG. 4, the
제1개구(H1)에 의해서 캐리어 동박(120)은 복수의 보강부(121, 122, 123)과 스트립부(125)로 분리될 수 있다. 즉, 제1개구(H1)은 분리선의 역할을 할 수 있다. 복수의 보강부(121, 122, 123)은 기판(100)의 외곽에 배치된 제1보강부(121) 및 제2보강부(122)를 포함할 수 있다. 또한, 복수의 보강부는 제1보강부(121)과 제2보강부(122) 사이에 배치된 제3보강부(123)을 더 포함할 수 있다. 제3보강부(123)는 생략될 수 있다. 복수의 보강부(121, 122, 123)들 사이에는 스트립부(125)가 배치될 수 있다. 스트립부(125)는 베이스 금속층(110)에 회로패턴이 형성될 부분에 대응할 수 있다. 복수의 보강부(121, 122, 123)들은 릴-투-릴 장치로 공정을 수행하는 경우, 롤러와 직접 접촉할 수 있다. The
도 5를 참조하면, 베이스 금속층(110) 상에 배치된 스트립부(125)를 제거한다. 복수의 보강부(121, 122, 123)들과 스트립부(125)는 제1개구(H1)에 의해서 분리되어 있는 바, 복수의 보강부(121, 122, 123)들은 베이스 금속층(110)과 분리되지 않고, 스트립부(125)만을 물리적으로 떼어낼 수 있다. Referring to FIG. 5, the
스트립부(125)를 제거하는 이유는 추후에 비아홀을 형성할 때의 가공성을 향상시키고, 회로 패턴을 형성할 때의 식각량을 최소화하기 위함일 수 있다. 이 때, 복수의 보강부(121, 122, 123)들까지 제거한다면 기판(100)의 강성이 약화되어 공정 중 파손할 수 있다. 본 실시예에서는 기판(100)의 외곽부에 보강부를 구비하여 공정 시에 발생할 수 있는 불량률을 최소화할 수 있다. The reason for removing the
그 다음, 도 6을 참조하면, 스트립부(125)가 제거된 상기 기판(100)의 일 영역에 기판(100)을 수직으로 관통하는 비아홀(VH)을 형성한다. 비아홀(VH)을 형성하기 위하여 드릴(drill)을 이용한 기계적인 방법을 사용하거나 CO2 레이저 빔을 사용할 수 있다.Next, referring to FIG. 6, a via hole (VH) penetrating vertically through the
그 다음, 도 7을 참조하면, 무전해 도금법을 이용하여 비아홀(VH)의 내벽에 제1금속층(111)을 형성한다. 제1금속층(111)은 구리, 구리 합금, 니켈, 팔라듐, 금, 은 등 전도성 소재로 구비될 수 있다. 제1금속층(111)은 베이스 금속층(110) 보다 얇게 형성될 수 있다. 제1금속층(111)은 베이스 금속층(110)의 상면 및 하면에도 형성될 수 있으며, 제1금속층(111)에 의해서 베이스 금속층(110)의 상면 및 하면이 서로 연결될 수 있다.Next, referring to FIG. 7, the
그 다음, 도 8을 참조하면, 비아홀(VH)을 채우고 회로패턴을 형성하기 위해서 스트립부가 제거된 기판(100)의 상면 및 하면에 포토레지스트(PR)을 형성하고, 노광, 현상공정을 수행한다. 여기서, 포토레지스트(PR)은 감광성 소재의 드라이 필름 레지스트일 수 있다. 즉, 감광성 소재의 드라이 필름 레지스트를 베이스 부재(100)의 상면(100b) 및 하면(100a)에 배치하고, 드라이 필름 레지스트를 노광, 현상하여, 드라이 필름 레지스트로 레지스트 패턴을 형성할 수 있다.Next, referring to FIG. 8, in order to fill the via hole (VH) and form a circuit pattern, photoresist (PR) is formed on the upper and lower surfaces of the
그 다음, 도 9를 참조하면, 전해 도금법을 이용하여 제1금속층(111)의 표면에 제2금속층(113)을 형성한다. 제2금속층(113)은 구리, 구리 합금, 니켈, 팔라듐, 금, 은 등의 전도성 소재로 단층 또는 다층으로 구비될 수 있다. 제2금속층(113)은 제1금속층(111)에 보다 두껍게 형성될 수 있다. 제2금속층(113)은 비아홀(VH)을 채우도록 형성될 수 있다. 제2금속층(113)에 의해 비아홀(VH) 에 형성된 제1금속층(111) 및 제2금속층(113)의 두께가 증대되어 기판(100)의 하면의 베이스 금속층(110)과 상면의 베이스 금속층(110)의 전기적 연결이 안정적으로 이루어질 수 있다.Next, referring to FIG. 9, the
그 다음, 제2금속층(113)의 표면을 세정하는 공정을 더 진행할 수 있다. 제2금속층(113)의 표면을 세정하기 위해서는 습식 세정 공정 또는 플라즈마 처리 공정을 진행할 수 있다. 이러한 세정 공정에 따라 제2금속층(113) 상에 형성되는 포토레지스트(PR)와의 밀착력이 강화될 수 있다. Next, a process of cleaning the surface of the
그 다음, 도 10을 참조하면, 기판(100)의 상면(100b) 및 하면(100a)를 전체적으로 식각하여 회로패턴을 완성할 수 있다. 상기 식각 공정에 의해서 도 9에서 포토레지스트(PR)이 형성되었던 부분에 배치된 베이스 금속층(110) 및 제1금속층(111)이 제거되고 코어 기판(101)이 노출되고, 회로패턴(PTN)이 완성될 수 있다. 식각 공정은 황산, 과산화수소, 염화동 또는 염화철과 같은 에칭액을 이용한 습식 식각으로 수행될 수 있다. 이에 따라, 베이스 금속층(110), 제1금속층(111), 제2금속층(113)에 회로패턴이 형성될 수 있다.Next, referring to FIG. 10, the upper surface 100b and the lower surface 100a of the
그 다음, 도 10을 참조하면, 포토레지스트(PR)을 제거하여 중간 단계의 인쇄회로기판(10)을 형성할 수 있다. Next, referring to FIG. 10, the photoresist (PR) can be removed to form an intermediate printed
인쇄회로기판(10)은 코어 기판(101)의 상면 및 하면에 적층된 베이스 금속층(110), 코어 기판(101)의 양 외곽부에 배치된 제1보강부(121) 및 제2보강부(122), 비아홀(VH), 및 베이스 금속층(110)에 형성된 회로패턴(PTN)을 포함한다.The printed
상기 제1보강부(121) 및 상기 제2보강부(122)는 동박으로 구비되며, 상기 제1보강부(121) 및 상기 제2보강부(122)의 두께(t2)는 상기 베이스 금속층(110)의 두께(t1)보다 2배 내지 7배 크게 구비될 수 있다. 일부 실시예에서, 베이스 금속층(110)의 두께(t1)은 약 2 um 내지 5 um일 수 있으며, 제1보강부(121) 및 제2보강부(122)의 두께(t2)는 약 18 um 일 수 있다.The
또한, 인쇄회로기판(10)은 제1보강부(121) 및 제2보강부(122) 사이에 배치된 제3보강부(123)를 더 포함할 수 있다. 제3보강부(123)은 인쇄회로기판(10) 중 회로패턴(PTN)이 형성되지 않는 영역에 배치될 수 있다. In addition, the printed
베이스 금속층(110) 상부에는 제1금속층(111) 및 제2금속층(113)이 적층되어 구비될 수 있다. 제1금속층(111)은 베이스 금속층(110) 및 제2금속층(113) 보다 얇게 형성될 수 있다. 즉, 제2금속층(113)은 제1금속층(111)보다 두껍게 형성될 수 있다. 베이스 금속층(110), 제1금속층(111), 제2금속층(113)은 구리, 구리 합금, 니켈, 팔라듐, 금, 은 등 전도성 소재로 구비될 수 있다.A
한편, 도 11을 참조하면, 회로패턴(PTN)을 형성한 이후에, 보강부을 제거하는 단계를 더 포함할 수 있다. 보강부는 인쇄회로기판의 제조 과정 중에 발생할 수 있는 불량을 최소화하기 위한 것으로 공정이 마무리된 이후에는 제거할 수 있다. Meanwhile, referring to FIG. 11, after forming the circuit pattern (PTN), a step of removing the reinforcement portion may be further included. The reinforcement part is intended to minimize defects that may occur during the manufacturing process of the printed circuit board, and can be removed after the process is completed.
또한, 회로패턴(PTN)을 형성한 이후에, 기판(100)을 컷팅라인(CL)을 기준으로 컷팅하는 단계를 더 포함할 수 있다. 즉, 복수의 인쇄회로기판(10')들을 동시에 하나의 인쇄회로기판(10)으로 제조한 후, 공정의 마지막 단계에서 복수의 인쇄회로기판(10')으로 분리할 수 있다. In addition, after forming the circuit pattern (PTN), a step of cutting the
이와 같이 본 발명은 도면에 도시된 실시예를 참고로 설명되었으나 이는 예시적인 것에 불과하며, 당해 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 다른 실시예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 첨부된 특허청구범위의 기술적 사상에 의하여 정해져야 할 것이다.As such, the present invention has been described with reference to the embodiments shown in the drawings, but these are merely illustrative, and those skilled in the art will understand that various modifications and equivalent other embodiments are possible therefrom. . Therefore, the true scope of technical protection of the present invention should be determined by the technical spirit of the attached patent claims.
10: 인쇄회로기판, 인쇄회로기판
100: 기판
101: 코어 기판
111: 제1금속층
113: 제2금속층
120: 캐리어 동박
121: 제1보강부
122: 제2보강부
123: 제3보강부
125: 스트립부
513: 롤러10: printed circuit board, printed circuit board
100: substrate
101: core substrate
111: first metal layer
113: second metal layer
120: Carrier copper foil
121: First reinforcement part
122: Second reinforcement part
123: Third reinforcement part
125: Strip part
513: roller
Claims (13)
코어 기판의 상면 및 하면에 베이스 금속층 및 캐리어 동박이 적층된 기판을 준비하는 단계;
상기 캐리어 동박의 일부를 식각하여 제1개구를 형성함으로써, 상기 캐리어 동박은 상기 제1개구에 의해서 분리된 제1보강부, 제2보강부, 제3보강부 및 스트립부로 구비되는 단계;
상기 캐리어 동박의 스트립부를 제거하는 단계;
상기 스트립부가 제거된 상기 기판의 일 영역에 비아홀을 형성하는 단계;
상기 기판의 일 영역에 제1회로패턴 및 제2회로패턴을 형성하는 단계; 및
상기 기판을 컷팅하여, 상기 제1보강부, 상기 제2보강부 및 상기 제3보강부가 배치된 영역을 제거하여 상기 제1회로패턴이 배치된 제1인쇄회로기판 및 상기 제2회로패턴이 배치된 제2인쇄회로기판으로 분리하는 단계;를 포함하며,
상기 제1보강부 및 상기 제2보강부는 상기 기판의 외곽부에 배치되고,
상기 제3보강부는 상기 기판의 내측에서 상기 제1회로패턴과 상기 제2회로패턴 사이에 배치되며, 상기 롤러와 접촉하는, 인쇄회로기판의 제조방법. In a printed circuit board manufactured by a reel-to-reel device equipped with rollers,
Preparing a substrate in which a base metal layer and a carrier copper foil are laminated on the upper and lower surfaces of a core substrate;
forming a first opening by etching a portion of the carrier copper foil, so that the carrier copper foil is provided with a first reinforcing part, a second reinforcing part, a third reinforcing part, and a strip part separated by the first opening;
Removing the strip portion of the carrier copper foil;
forming a via hole in a region of the substrate from which the strip portion was removed;
forming a first circuit pattern and a second circuit pattern in one area of the substrate; and
The substrate is cut to remove the areas where the first reinforcing part, the second reinforcing part, and the third reinforcing part are disposed, so that the first printed circuit board on which the first circuit pattern is disposed and the second circuit pattern are disposed. It includes the step of separating into a second printed circuit board,
The first reinforcement unit and the second reinforcement unit are disposed on an outer portion of the substrate,
The third reinforcement part is disposed between the first circuit pattern and the second circuit pattern on the inside of the board, and is in contact with the roller.
상기 캐리어 동박의 제1개구에 대응하여, 상기 베이스 금속층에 제2개구가 형성되는, 인쇄회로기판의 제조방법.According to paragraph 1,
A method of manufacturing a printed circuit board, wherein a second opening is formed in the base metal layer in response to the first opening in the carrier copper foil.
상기 제3보강부의 두께는 상기 베이스 금속층의 두께의 2배 내지 7배인, 인쇄회로기판의 제조방법.According to paragraph 1,
A method of manufacturing a printed circuit board, wherein the third reinforcement portion has a thickness of 2 to 7 times the thickness of the base metal layer.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020210193416A KR102671758B1 (en) | 2021-12-30 | 2021-12-30 | Printed circuit board and method thereof |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020210193416A KR102671758B1 (en) | 2021-12-30 | 2021-12-30 | Printed circuit board and method thereof |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
KR20230102925A KR20230102925A (en) | 2023-07-07 |
KR102671758B1 true KR102671758B1 (en) | 2024-06-04 |
Family
ID=87154597
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR1020210193416A KR102671758B1 (en) | 2021-12-30 | 2021-12-30 | Printed circuit board and method thereof |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
KR (1) | KR102671758B1 (en) |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR200368406Y1 (en) * | 2004-08-13 | 2004-11-26 | 홍원희 | A circuit film transfer roller |
Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH04283989A (en) * | 1991-03-12 | 1992-10-08 | Sony Corp | Printed-circuit board |
KR100586188B1 (en) * | 2004-03-05 | 2006-06-07 | 주식회사 디엠에스 | Apparatus for transporting of works |
KR20200132118A (en) * | 2019-05-15 | 2020-11-25 | 주식회사 엘지화학 | Method for preparing printed circuit board and printed circuit board |
-
2021
- 2021-12-30 KR KR1020210193416A patent/KR102671758B1/en active IP Right Grant
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR200368406Y1 (en) * | 2004-08-13 | 2004-11-26 | 홍원희 | A circuit film transfer roller |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR20230102925A (en) | 2023-07-07 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4481854B2 (en) | Ball grid array substrate having window and manufacturing method thereof | |
US7780836B2 (en) | Method for fabricating a multilayer wiring board, multilayer wiring board, and electronic device using the same | |
US9603263B2 (en) | Manufacturing method of circuit substrate | |
US8633392B2 (en) | Circuit board with high-density circuit patterns | |
JP4651597B2 (en) | Semiconductor package substrate | |
CN102612263B (en) | Multi-layered wiring board | |
JP2006229115A (en) | Metal component used in manufacturing wiring substrate and method for manufacturing wiring substrate using it | |
CN104701189A (en) | Manufacturing method of three-layered packaging substrates and three-layered packaging substrates | |
KR101164598B1 (en) | Manufacturing method of multi-layer circuit board | |
TWI772480B (en) | Method of manufacturing semiconductor package substrate and semiconductor package substrate manufactured using the same | |
US8186043B2 (en) | Method of manufacturing a circuit board | |
KR102671758B1 (en) | Printed circuit board and method thereof | |
EP1475831A2 (en) | Method of producing TAB tape carrier | |
US20220328387A1 (en) | Package carrier and manufacturing method thereof | |
KR20100081864A (en) | Method for manufaturing circuit substrate and for laminating the such, and apparatus for manufaturing the such | |
JP2015041729A (en) | Printed wiring board | |
CN115190701A (en) | Embedded circuit packaging substrate and processing method thereof | |
JP2007324232A (en) | Bga-type multilayer wiring board and bga-type semiconductor package | |
CN112151490B (en) | Substrate structure and manufacturing method thereof, and package carrier and manufacturing method thereof | |
JP5958275B2 (en) | Method for manufacturing printed circuit board | |
JP2010232585A (en) | Multilayer wiring board and method of manufacturing the same | |
JP4930689B2 (en) | Manufacturing method of multilayer semiconductor package | |
CN117457500A (en) | Method for manufacturing package substrate | |
KR100652132B1 (en) | Printed circuit board and Method of manufacturing the same | |
JP2004228108A (en) | Laminated foil |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
AMND | Amendment | ||
E90F | Notification of reason for final refusal | ||
AMND | Amendment | ||
E601 | Decision to refuse application | ||
AMND | Amendment | ||
X701 | Decision to grant (after re-examination) | ||
GRNT | Written decision to grant |