KR102656234B1 - Organic light emitting display and method of fabricating the same - Google Patents

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Abstract

본 발명은 효율을 향상시킬 수 있는 유기 발광 표시 장치 및 그 제조 방법에 관한 것으로, 본 발명에 따른 유기 발광 표시 장치 및 그 제조 방법은 각 화소가 서로 다른 색을 표시하는 적어도 2개의 서브 화소를 구비하며, 기판과 발광 소자 사이에 배치되는 무기 절연막은 적어도 2개의 서브 화소 중 백색 서브 화소에서 엠보싱 표면을 가지고, 백색 서브 화소와 다른 색의 서브 화소에서 평탄한 표면을 가지므로 효율을 향상시킬 수 있다. The present invention relates to an organic light emitting display device that can improve efficiency and a manufacturing method thereof. The organic light emitting display device and manufacturing method according to the present invention include at least two sub-pixels where each pixel displays a different color. In addition, the inorganic insulating film disposed between the substrate and the light emitting device has an embossed surface in the white sub-pixel among at least two sub-pixels, and has a flat surface in the white sub-pixel and the sub-pixels of a different color, thereby improving efficiency.

Description

유기 발광 표시 장치 및 그 제조 방법{ORGANIC LIGHT EMITTING DISPLAY AND METHOD OF FABRICATING THE SAME}Organic light emitting display device and method of manufacturing the same {ORGANIC LIGHT EMITTING DISPLAY AND METHOD OF FABRICATING THE SAME}

본 발명은 유기 발광 표시 장치 및 그 제조 방법에 관한 것으로, 특히 효율을 향상시킬 수 있는 유기 발광 표시 장치 및 그 제조 방법에 관한 것이다.The present invention relates to an organic light emitting display device and a manufacturing method thereof, and particularly to an organic light emitting display device capable of improving efficiency and a manufacturing method thereof.

다양한 정보를 화면으로 구현해 주는 영상 표시 장치는 정보 통신 시대의 핵심 기술로 더 얇고 더 가볍고 휴대가 가능하면서도 고성능의 방향으로 발전하고 있다. 이에 음극선관(CRT)의 단점인 무게와 부피를 줄일 수 있는 평판 표시 장치로 유기 발광층의 발광량을 제어하여 영상을 표시하는 유기 발광 표시 장치 등이 각광받고 있다. 이 유기 발광 표시 장치(OLED)는 자발광 소자로서, 소비전력이 낮고, 고속의 응답 속도, 높은 발광 효율, 높은 휘도 및 광시야각을 가진다. Video display devices, which display various information on a screen, are a core technology of the information and communication era and are developing into thinner, lighter, more portable, and higher performance. Accordingly, organic light emitting display devices, which display images by controlling the amount of light emitted from the organic light emitting layer, are receiving attention as flat panel displays that can reduce the weight and volume, which are disadvantages of cathode ray tubes (CRTs). This organic light emitting display (OLED) is a self-luminous device and has low power consumption, high-speed response speed, high luminous efficiency, high luminance, and wide viewing angle.

유기 발광 표시 장치는 다수의 화소들이 매트릭스 형태로 배열되어 화상을 표시하게 된다. 각 화소들은 서로 다른 색을 구현하는 적어도 2개의 서브 화소를 구비한다. 적어도 2개의 서브 화소 중 백색 서브 화소의 수명은 다른 색의 서브 화소의 수명에 비해 짧으므로, 백색 서브 화소의 수명을 고려하여 백색 서브 화소의 개구율을 다른 색의 서브 화소보다 크게 형성한다. 이 경우, 백색 서브 화소의 개구율이 증가한 만큼 다른 색의 서브 화소의 개구율이 감소하므로, 유기 발광 표시 장치의 전체 효율이 낮아지는 문제점이 있다.An organic light emitting display device displays an image by arranging multiple pixels in a matrix form. Each pixel has at least two sub-pixels that implement different colors. Among at least two sub-pixels, the lifespan of the white sub-pixel is shorter than that of the other color sub-pixels, so the aperture ratio of the white sub-pixel is set to be larger than that of the other color sub-pixels in consideration of the lifespan of the white sub-pixel. In this case, as the aperture ratio of the white sub-pixel increases, the aperture ratio of other color sub-pixels decreases, resulting in a problem that the overall efficiency of the organic light emitting display device is lowered.

본 발명은 상기 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 본 발명은 효율을 향상시킬 수 있는 유기 발광 표시 장치를 제공하는 것이다. The present invention aims to solve the above problems, and provides an organic light emitting display device capable of improving efficiency.

상기 목적을 달성하기 위하여, 본 발명에 따른 유기 발광 표시 장치 및 그 제조 방법은 각 화소가 서로 다른 색을 표시하는 적어도 2개의 서브 화소를 구비하며, 기판과 발광 소자 사이에 배치되는 무기 절연막은 적어도 2개의 서브 화소 중 백색 서브 화소에서 엠보싱 표면을 가지고, 백색 서브 화소와 다른 색의 서브 화소에서 평탄한 표면을 가지므로 효율을 향상시킬 수 있다. In order to achieve the above object, the organic light emitting display device and method of manufacturing the same according to the present invention include at least two sub-pixels where each pixel displays different colors, and the inorganic insulating film disposed between the substrate and the light emitting element has at least Among the two sub-pixels, the white sub-pixel has an embossed surface, and the white sub-pixel and the other color sub-pixels have a flat surface, thereby improving efficiency.

본 발명에 따른 유기 발광 표시 장치의 백색 서브 화소의 애노드 전극과 기판 사이에는 엠보싱 표면을 가지는 적어도 하나의 무기 절연막이 배치된다. 이 엠보싱 표면은 백색 서브 화소의 발광 스택에서 생성된 백색광을 산란시켜 백색 서브 화소의 광추출 효율을 다른 색의 서브 화소에 비해 향상시킨다. 백색 서브 화소의 광추출 효율이 향상한 만큼 백색 서브 화소의 개구율을 감소시킬 수 있으며, 백색 서브 화소의 개구율이 감소한 만큼, 적색, 녹색 및 청색 서브 화소의 개구율이 증가한다. 이에 따라, 본 발명은 유기 발광 표시 장치의 전체 효율이 향상된다. At least one inorganic insulating film having an embossed surface is disposed between the anode electrode of the white sub-pixel of the organic light emitting display device according to the present invention and the substrate. This embossed surface scatters the white light generated in the light-emitting stack of white sub-pixels, improving the light extraction efficiency of white sub-pixels compared to other color sub-pixels. As the light extraction efficiency of the white sub-pixel improves, the aperture ratio of the white sub-pixel can be reduced, and as the aperture ratio of the white sub-pixel decreases, the aperture ratio of the red, green, and blue sub-pixels increases. Accordingly, the present invention improves the overall efficiency of the organic light emitting display device.

도 1은 본 발명에 따른 유기 발광 표시 장치를 나타내는 평면도이다.
도 2는 도 1에 도시된 각 서브 화소의 패드 영역 및 회로 영역을 상세히 나타내는 단면도이다.
도 3은 도 1에 도시된 적색, 녹색, 청색 및 백색 서브 화소 각각의 발광 영역을 상세히 나타내는 단면도이다.
도 4는 도 1에 도시된 적색, 녹색, 청색 및 백색 서브 화소 각각의 발광 영역의 다른 실시예를 나타내는 단면도이다.
도 5는 비교예와 본 발명의 실시 예에 따른 유기 발광 표시 장치의 효율을 설명하기 위한 도면이다.
도 6a 내지 도 6i는 도 2 및 도 3에 도시된 유기 발광 표시 장치의 제조 방법을 설명하기 위한 단면도들이다.
1 is a plan view showing an organic light emitting display device according to the present invention.
FIG. 2 is a cross-sectional view showing in detail the pad area and circuit area of each sub-pixel shown in FIG. 1.
FIG. 3 is a cross-sectional view showing in detail the emission areas of each of the red, green, blue, and white sub-pixels shown in FIG. 1.
FIG. 4 is a cross-sectional view showing another example of the light emitting area of each of the red, green, blue, and white sub-pixels shown in FIG. 1.
Figure 5 is a diagram for explaining the efficiency of an organic light emitting display device according to a comparative example and an embodiment of the present invention.
FIGS. 6A to 6I are cross-sectional views for explaining the manufacturing method of the organic light emitting display device shown in FIGS. 2 and 3.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 따른 실시 예를 상세하게 설명하기로 한다. Hereinafter, an embodiment according to the present invention will be described in detail with reference to the attached drawings.

도 1은 본 발명에 따른 유기 발광 표시 장치를 나타내는 평면도이며, 도 2는 도 1에 도시된 유기 발광 표시 장치를 나타내는 단면도이다.FIG. 1 is a plan view showing an organic light emitting display device according to the present invention, and FIG. 2 is a cross-sectional view showing the organic light emitting display device shown in FIG. 1 .

도 1 및 도 2에 도시된 본 발명에 따른 유기 발광 표시 장치는 액티브 영역(AA)과 패드 영역(PA)을 구비한다.The organic light emitting display device according to the present invention shown in FIGS. 1 and 2 includes an active area (AA) and a pad area (PA).

패드 영역(PA)에는 액티브 영역(AA)에 위치하는 스캔 라인(SL), 데이터 라인(DL), 저전압(VSS) 공급 라인(도시하지 않음) 및 고전압(VDD) 공급 라인(도시하지 않음) 각각에 구동 신호를 공급하는 다수의 패드들(170)이 형성된다. The pad area (PA) includes a scan line (SL), a data line (DL), a low-voltage (VSS) supply line (not shown), and a high-voltage (VDD) supply line (not shown), respectively, located in the active area (AA). A plurality of pads 170 that supply a driving signal are formed.

다수의 패드(170)들 각각은 제1 패드 전극(172), 제2 패드 전극(174) 및 패드 커버 전극(176)을 구비한다.Each of the plurality of pads 170 includes a first pad electrode 172, a second pad electrode 174, and a pad cover electrode 176.

제1 패드 전극(172)은 그 제1 패드 전극(172)과 동일 형상의 게이트 절연 패턴(112) 상에 게이트 전극(106,156)과 동일 재질로 형성된다.The first pad electrode 172 is formed of the same material as the gate electrodes 106 and 156 on the gate insulating pattern 112 having the same shape as the first pad electrode 172.

제2 패드 전극(174)은 층간 절연막(116)을 관통하는 제1 패드 컨택홀(178a)을 통해 노출된 제1 패드 전극(172)과 전기적으로 접속된다. 이 제2 패드 전극(174)은 소스 및 드레인 전극(108,158,110,160)과 동일층인 층간 절연막(116) 상에서 소스 및 드레인 전극(108,158,110,160)과 동일 재질로 형성된다. The second pad electrode 174 is electrically connected to the exposed first pad electrode 172 through the first pad contact hole 178a penetrating the interlayer insulating film 116. The second pad electrode 174 is formed of the same material as the source and drain electrodes 108, 158, 110, and 160 on the interlayer insulating film 116 that is the same layer as the source and drain electrodes 108, 158, 110, and 160.

패드 커버 전극(176)은 보호막(118)을 관통하는 제2 패드 컨택홀(178b)을 통해 노출된 제2 패드 전극(174)과 전기적으로 접속된다. 이러한 패드 커버 전극(176)은 외부로 노출되어 구동 집적 회로가 실장된 회로 전송 필름 또는 구동 집적 회로와 접속된 회로 전송 필름과 접촉된다. 이 때, 패드 커버 전극(176)은 보호막(118) 상에서 내식성 및 내산성이 강한 금속으로 이루어져 외부로 노출되어도 외부의 수분 등에 의해 부식되는 것을 방지할 수 있다. 예를 들어, 패드 커버 전극(176)은 애노드 전극(132)과 동일 재질로 동일 평면 상에 형성된다. 즉, 패드 커버 전극(176)은 내식성 및 내산성이 강한 인듐-틴-옥사이드(ITO) 또는 인듐-징크-옥사이드(IZO)과 같은 투명 도전막으로 이루어진다. The pad cover electrode 176 is electrically connected to the exposed second pad electrode 174 through the second pad contact hole 178b penetrating the protective film 118. This pad cover electrode 176 is exposed to the outside and comes into contact with the circuit transfer film on which the driving integrated circuit is mounted or the circuit transfer film connected to the driving integrated circuit. At this time, the pad cover electrode 176 is made of a metal with strong corrosion resistance and acid resistance on the protective film 118, and can prevent corrosion by external moisture, etc. even when exposed to the outside. For example, the pad cover electrode 176 is made of the same material as the anode electrode 132 and is formed on the same plane. That is, the pad cover electrode 176 is made of a transparent conductive film such as indium-tin-oxide (ITO) or indium-zinc-oxide (IZO), which has strong corrosion resistance and acid resistance.

액티브 영역(AA)은 다수의 서브 화소(SP)들이 매트릭스 형태로 배열되어 영상이 표시되는 영역이다. 다수의 서브 화소(SP)들은 적색 서브 화소(SPR), 녹색 서브 화소(SPG), 청색 서브 화소(SPB) 및 백색 서브 화소(SPW)로 구성되어 단위 화소를 이룬다. 적색, 녹색, 청색 및 백색 서브 화소(SPR,SPG,SPB,SPW)의 배열 순서는 각 단위 화소 내에서 매우 다양하며, 색감이나 구조에 따라 달라질 수 있다. 이러한 적색, 녹색, 청색 및 백색 서브 화소(SPR,SPG,SPB,SPW) 각각은 발광 영역(EA)에 배치되는 발광 소자(130)와, 그 발광 소자(130)를 독립적으로 구동하는 화소 구동 회로를 구비한다. The active area (AA) is an area where a plurality of sub-pixels (SP) are arranged in a matrix form and an image is displayed. A plurality of sub-pixels (SP) are composed of a red sub-pixel (SPR), a green sub-pixel (SPG), a blue sub-pixel (SPB), and a white sub-pixel (SPW) to form a unit pixel. The arrangement order of red, green, blue, and white sub-pixels (SPR, SPG, SPB, SPW) varies greatly within each unit pixel and may vary depending on color or structure. Each of these red, green, blue, and white sub-pixels (SPR, SPG, SPB, SPW) includes a light-emitting element 130 disposed in the light-emitting area EA, and a pixel driving circuit that independently drives the light-emitting element 130. is provided.

화소 구동 회로는 스위칭 박막 트랜지스터(TS), 구동 박막 트랜지스터(TD) 및 스토리지 커패시터(Cst)를 구비한다. 여기서, 스위칭 박막 트랜지스터(TS) 및 구동 박막 트랜지스터(TD)는 각 서브 화소(SP)의 발광 영역(EA)을 제외한 비발광 영역에 포함된 회로 영역(CA)에 배치되며, 스토리지 커패시터(Cst)는 각 서브 화소의 발광 영역(EA)에 배치된다.The pixel driving circuit includes a switching thin film transistor (TS), a driving thin film transistor (TD), and a storage capacitor (Cst). Here, the switching thin film transistor (TS) and the driving thin film transistor (TD) are disposed in the circuit area (CA) included in the non-emission area excluding the emission area (EA) of each sub-pixel (SP), and the storage capacitor (Cst) is disposed in the emission area (EA) of each sub-pixel.

스위칭 박막트랜지스터(TS)는 스캔 라인(SL)에 스캔 펄스가 공급되면 턴-온되어 데이터 라인(DL)에 공급된 데이터 신호를 스토리지 캐패시터(Cst) 및 구동 트랜지스터(TD)의 제2 게이트 전극(156)으로 공급한다. 이 스위칭 박막트랜지스터(TS)는 도 2에 도시된 바와 같이 스캔 라인(SL)과 접속된 제1 게이트 전극(106), 데이터 라인(DL)과 접속된 제1 소스 전극(108), 제2 게이트 전극(156)과 접속된 제1 드레인 전극(110), 및 제1 액티브층(104)을 구비한다.The switching thin film transistor (TS) is turned on when a scan pulse is supplied to the scan line (SL) and transmits the data signal supplied to the data line (DL) to the storage capacitor (Cst) and the second gate electrode ( 156). As shown in FIG. 2, this switching thin film transistor (TS) has a first gate electrode 106 connected to the scan line SL, a first source electrode 108 connected to the data line DL, and a second gate. It includes a first drain electrode 110 connected to the electrode 156, and a first active layer 104.

구동 박막트랜지스터(TD)는 고전압(VDD) 공급 라인으로부터 공급되는 전류를 스토리지 커패시터(Cst)에 충전된 구동 전압에 따라 제어하여 구동 전압에 비례하는 전류를 발광 소자(130)로 공급함으로써 발광 소자(130)를 발광시킨다. 이 구동 박막트랜지스터(TD)는 제1 드레인 전극(110)과 접속된 제2 게이트 전극(156), 고전압(VDD) 공급 라인과 접속된 제2 소스 전극(158), 발광 소자(130)와 접속된 제2 드레인 전극(160), 및 제2 액티브층(154)을 구비한다. The driving thin film transistor (TD) controls the current supplied from the high voltage (VDD) supply line according to the driving voltage charged in the storage capacitor (Cst) and supplies a current proportional to the driving voltage to the light emitting device 130, thereby producing a light emitting device ( 130) emits light. This driving thin film transistor (TD) has a second gate electrode 156 connected to the first drain electrode 110, a second source electrode 158 connected to a high voltage (VDD) supply line, and a light emitting element 130. and a second drain electrode 160 and a second active layer 154.

이러한 스위칭 박막 트랜지스터(TS) 및 구동 박막 트랜지스터(TD)의 제1 및 제2 게이트 전극(106,156) 각각은 그 제1 및 제2 게이트 전극(106,156)각각과 동일 패턴의 게이트 절연패턴(112)을 사이에 두고, 제1 및 제2 액티브(104,154) 각각과 중첩된다. Each of the first and second gate electrodes 106 and 156 of the switching thin film transistor (TS) and the driving thin film transistor (TD) has a gate insulating pattern 112 of the same pattern as the first and second gate electrodes 106 and 156, respectively. In between, it overlaps with the first and second actives 104 and 154, respectively.

제1 및 제2 액티브층(104,154) 각각은 게이트 절연 패턴(112)을 사이에 두고 제1 및 제2 게이트 전극(106,156) 각각과 중첩되게 형성되어 제1 소스 및 제1 드레인 전극(108,110) 사이와, 제2 소스 및 제2 드레인 전극(158,160) 사이에 채널 영역을 형성한다. 이 제1 및 제2 액티브층(104,154) 각각은 Zn, Cd, Ga, In, Sn, Hf, Zr 중 선택된 적어도 하나 이상의 금속을 포함하는 산화물 반도체로 형성되거나, 다결정 실리콘 또는 비정질 실리콘으로 형성된다. Each of the first and second active layers 104 and 154 is formed to overlap each of the first and second gate electrodes 106 and 156 with the gate insulating pattern 112 therebetween, and is formed between the first source and first drain electrodes 108 and 110. And, a channel region is formed between the second source and second drain electrodes 158 and 160. Each of the first and second active layers 104 and 154 is formed of an oxide semiconductor containing at least one metal selected from Zn, Cd, Ga, In, Sn, Hf, and Zr, or is formed of polycrystalline silicon or amorphous silicon.

제1 및 제2 소스 전극(108,158) 각각은 제1 및 제2 게이트 전극(106,156) 각각과 층간 절연막(116)을 사이에 두고 절연된다. 이 제1 및 제2 소스 전극(108,158) 각각은 층간 절연막(116)을 관통하는 제1 및 제2 소스 컨택홀(124S,164S) 각각을 통해 제1 및 제2 액티브층(104,154) 각각과 접속된다. 제1 및 제2 드레인 전극(110, 160) 각각은 제1 및 제2 게이트 전극(106,156) 각각과 층간 절연막(116)을 사이에 두고 절연된다. 이 제1 및 제2 드레인 전극(110,160) 각각은 층간 절연막(116)을 관통하는 제1 및 제2 드레인 컨택홀(124D,164D) 각각을 통해 제1 및 제2 액티브층(104,154) 각각과 접속된다. Each of the first and second source electrodes 108 and 158 is insulated from each of the first and second gate electrodes 106 and 156 with an interlayer insulating film 116 therebetween. Each of the first and second source electrodes 108 and 158 is connected to each of the first and second active layers 104 and 154 through first and second source contact holes 124S and 164S, respectively, penetrating the interlayer insulating film 116. do. Each of the first and second drain electrodes 110 and 160 is insulated from each of the first and second gate electrodes 106 and 156 with an interlayer insulating film 116 therebetween. Each of the first and second drain electrodes 110 and 160 is connected to each of the first and second active layers 104 and 154 through first and second drain contact holes 124D and 164D, respectively, penetrating the interlayer insulating film 116. do.

제1 드레인 전극(110)은 구동 박막트랜지스터(TD)의 제2 게이트 전극(156)과 전기적으로 접속된다. 제2 드레인 전극(110)은 그 제2 드레인 전극(110)과 애노드 전극(132) 사이에 배치되는 보호막(118)을 관통하는 화소 컨택홀(120)을 통해 노출되어 애노드 전극(132)과 접속된다. The first drain electrode 110 is electrically connected to the second gate electrode 156 of the driving thin film transistor (TD). The second drain electrode 110 is exposed through the pixel contact hole 120 that penetrates the protective film 118 disposed between the second drain electrode 110 and the anode electrode 132 and is connected to the anode electrode 132. do.

제1 및 제2 액티브층(104,154)과 기판(101) 사이에는 차광층(102) 및 버퍼층(114)이 순차적으로 적층된다. 버퍼층(114)은 유리 또는 폴리이미드(PI) 등과 같은 플라스틱 수지로 형성된 기판(101) 상에 산화 실리콘 또는 질화 실리콘으로 단층 또는 복층 구조로 형성된다. 이 버퍼층(114)은 기판(101)에서 발생하는 수분 또는 불순물의 확산을 방지하거나 결정화시 열의 전달 속도를 조절함으로써, 제1 및 제2 액티브층(104,154)의 결정화가 잘 이루어질 수 있도록 하는 역할을 한다. 차광층(102)은 액티브층(104)과 중첩되도록 기판(101) 상에 형성된다. 이 차광층(102)은 외부로부터 입사되는 광을 흡수하거나 반사하므로, 액티브층(104)으로 입사되는 외부광을 차단할 수 있다. 차광층(102)은 Mo, Ti, Al, Cu, Cr, Co, W, Ta, Ni과 같은 불투명 금속으로 형성된다. 이러한 버퍼층(114) 및 차광층(102)은 제1 및 제2 액티브층(104,154) 각각과 동일 마스크 공정으로 형성되므로, 버퍼층(114) 및 차광층(102)은 제1 및 제2 액티브층(104,154) 각각과 동일 형상 및 동일 선폭으로 형성된다. A light blocking layer 102 and a buffer layer 114 are sequentially stacked between the first and second active layers 104 and 154 and the substrate 101. The buffer layer 114 is formed in a single-layer or multi-layer structure of silicon oxide or silicon nitride on the substrate 101 made of glass or a plastic resin such as polyimide (PI). This buffer layer 114 serves to ensure good crystallization of the first and second active layers 104 and 154 by preventing diffusion of moisture or impurities generated in the substrate 101 or controlling the heat transfer rate during crystallization. do. The light blocking layer 102 is formed on the substrate 101 to overlap the active layer 104. This light blocking layer 102 absorbs or reflects light incident from the outside, and thus can block external light incident on the active layer 104. The light blocking layer 102 is formed of an opaque metal such as Mo, Ti, Al, Cu, Cr, Co, W, Ta, and Ni. Since the buffer layer 114 and the light blocking layer 102 are formed through the same mask process as each of the first and second active layers 104 and 154, the buffer layer 114 and the light blocking layer 102 are formed by the first and second active layers (104, 154). 104,154) and are formed with the same shape and same line width, respectively.

스토리지 커패시터(Cst)는 층간 절연막(116)을 사이에 두고 중첩되는 스토리지 하부 전극(142)과 스토리지 상부 전극(144)을 구비한다. The storage capacitor Cst includes a storage lower electrode 142 and a storage upper electrode 144 that overlap with the interlayer insulating film 116 therebetween.

스토리지 하부 전극(142)은 층간 절연막(116)을 관통하는 스토리지 컨택홀(146)을 통해 노출되어 구동 박막트랜지스터(TD)의 제2 드레인 전극(160)과 접속된다. 이 스토리지 하부 전극(142)은 제2 게이트 전극과 동일 재질로 게이트 절연 패턴(112) 상에 배치된다. The storage lower electrode 142 is exposed through the storage contact hole 146 penetrating the interlayer insulating film 116 and is connected to the second drain electrode 160 of the driving thin film transistor (TD). This storage lower electrode 142 is made of the same material as the second gate electrode and is disposed on the gate insulating pattern 112.

스토리지 상부 전극(144)은 스위칭 박막트랜지스터(TS)의 제1 드레인 전극(110)과 접속된다. 이 스토리지 상부 전극(144)은 제1 드레인 전극(110)과 동일 재질로 층간 절연막(116) 상에 배치된다. The storage upper electrode 144 is connected to the first drain electrode 110 of the switching thin film transistor (TS). This storage upper electrode 144 is made of the same material as the first drain electrode 110 and is disposed on the interlayer insulating film 116.

발광 소자(130)는 구동 트랜지스터(TD)의 제2 드레인 전극(160)과 접속된 애노드 전극(132)과, 애노드 전극(132) 상에 형성되는 적어도 하나의 발광 스택(134)과, 발광 스택 (134) 위에 형성된 캐소드 전극(136)을 구비한다.The light emitting device 130 includes an anode electrode 132 connected to the second drain electrode 160 of the driving transistor (TD), at least one light emitting stack 134 formed on the anode electrode 132, and a light emitting stack. (134) and has a cathode electrode 136 formed thereon.

애노드 전극(132)은 평탄화층(128) 상에 배치되며, 뱅크(138)에 의해 노출된다. 이 애노드 전극(132)은 화소 컨택홀(120)을 통해 노출된 구동 트랜지스터(TD)의 제2 드레인 전극(160)과 전기적으로 접속된다. 이러한 애노드 전극(132)은 인듐-틴-옥사이드(ITO) 또는 인듐-징크-옥사이드(IZO)과 같은 투명 도전막으로 이루어져 발광 스택(134)에서 생성된 광을 기판(101) 쪽으로 투과시킨다. The anode electrode 132 is disposed on the planarization layer 128 and is exposed by the bank 138. This anode electrode 132 is electrically connected to the second drain electrode 160 of the driving transistor (TD) exposed through the pixel contact hole 120. The anode electrode 132 is made of a transparent conductive film such as indium-tin-oxide (ITO) or indium-zinc-oxide (IZO) and transmits the light generated in the light-emitting stack 134 toward the substrate 101.

발광 스택(134)은 애노드 전극(132) 상에 정공 관련층, 유기 발광층, 전자 관련층 순으로 또는 역순으로 적층되어 형성된다. 이외에도 발광 스택(134)은 전하 생성층(Charge Generation Layer; CGL)을 사이에 두고 대향하는 제1 및 제2 발광 스택들을 구비할 수도 있다. 이 경우, 제1 및 제2 발광 스택 중 어느 하나의 유기 발광층은 청색광을 생성하고, 제1 및 제2 발광 스택 중 나머지 하나의 유기 발광층은 노란색-녹색광을 생성함으로써 제1 및 제2 발광 스택을 통해 백색광이 생성된다. The light-emitting stack 134 is formed by stacking a hole-related layer, an organic light-emitting layer, and an electron-related layer on the anode electrode 132 in that order or in reverse order. In addition, the light emitting stack 134 may include first and second light emitting stacks facing each other with a charge generation layer (CGL) in between. In this case, the organic light-emitting layer of one of the first and second light-emitting stacks generates blue light, and the other organic light-emitting layer of the first and second light-emitting stacks generates yellow-green light, thereby generating the first and second light-emitting stacks. White light is generated through

뱅크(138)는 애노드 전극(132)을 노출시켜 발광 영역(EA)을 마련한다. 이러한 뱅크(138)는 인접한 서브 화소(SP) 간 광 간섭을 방지하도록 불투명 재질(예를 들어, 블랙)로 형성될 수도 있다. 이 경우, 뱅크(138)는 컬러 안료, 유기 블랙 및 카본 중 적어도 어느 하나로 이루어진 차광재질을 포함한다.The bank 138 exposes the anode electrode 132 to provide an emission area EA. This bank 138 may be formed of an opaque material (eg, black) to prevent light interference between adjacent sub-pixels SP. In this case, the bank 138 includes a light-blocking material made of at least one of color pigment, organic black, and carbon.

캐소드 전극(136)은 발광 스택(134)을 사이에 두고 애노드 전극(132)과 대향하도록 발광 스택(134) 및 뱅크(138)의 상부면 및 측면 상에 형성된다. 이러한 캐소드 전극(136)은 반사효율이 높은 불투명 도전막으로 이루어진 단층 구조로 형성되거나, 투명 도전막 및 반사효율이 높은 불투명 도전막을 포함하는 다층 구조로 형성된다. 투명 도전막으로는 인듐-틴-옥사이드(ITO) 또는 인듐-징크-옥사이드(IZO)과 같은 일함수 값이 비교적 큰 재질로 이루어지고, 불투명 도전막으로는 Al, Ag, Cu, Pb, Mo, Ti, APC(Ag;Pb;Cu) 또는 이들의 합금을 포함하는 단층 또는 다층 구조로 이루어진다. 예를 들어, 캐소드 전극(136)은 투명 도전막, 불투명 도전막 및 투명 도전막이 순차적으로 적층된 구조로 형성되거나, 투명 도전막 및 불투명 도전막이 순차적으로 적층된 구조로 형성된다. 이와 같이, 반사효율이 높은 불투명 도전막을 포함하는 캐소드 전극(136)은 발광 스택(134)에서 생성된 광을 기판(101) 쪽으로 반사시킨다.The cathode electrode 136 is formed on the top and side surfaces of the light emitting stack 134 and the bank 138 to face the anode electrode 132 with the light emitting stack 134 interposed therebetween. This cathode electrode 136 is formed as a single-layer structure made of an opaque conductive film with high reflection efficiency, or as a multi-layer structure including a transparent conductive film and an opaque conductive film with high reflection efficiency. The transparent conductive film is made of a material with a relatively high work function value such as indium-tin-oxide (ITO) or indium-zinc-oxide (IZO), and the opaque conductive film is made of Al, Ag, Cu, Pb, Mo, It has a single-layer or multi-layer structure containing Ti, APC(Ag;Pb;Cu), or alloys thereof. For example, the cathode electrode 136 is formed in a structure in which a transparent conductive film, an opaque conductive film, and a transparent conductive film are sequentially stacked, or in a structure in which a transparent conductive film and an opaque conductive film are sequentially stacked. In this way, the cathode electrode 136 including an opaque conductive film with high reflection efficiency reflects the light generated in the light emitting stack 134 toward the substrate 101.

컬러 필터(148)는 뱅크(138)에 의해 마련된 발광영역(EA)과 중첩되도록 보호막(118) 상에 배치된다. 각 서브 화소(SP)에는 적색(R), 녹색(G), 청색(B)의 컬러 필터(148) 중 어느 하나가 배치된다. 즉, 적색(R) 서브 화소(SP)에는 적색 컬러 필터(148)가, 녹색(G) 서브 화소(SP)에는 녹색 컬러 필터(148)가, 청색(B) 서브 화소(SP)에는 청색 컬러 필터(148)가 배치된다. 이에 따라, 발광 소자(130)에서 생성된 백색광은 컬러 필터(148)를 통과함으로써 컬러 필터(148)는 그 컬러 필터(148)에 해당하는 색의 광을 구현한다. 한편, 컬러필터(148)는 스위칭 및 구동 박막트랜지스터(TS,TD) 중 적어도 어느 하나를 덮도록 연장되어 형성될 수도 있다. The color filter 148 is disposed on the protective film 118 to overlap the light emitting area EA provided by the bank 138. One of red (R), green (G), and blue (B) color filters 148 is disposed in each sub-pixel (SP). That is, the red color filter 148 is in the red (R) sub-pixel (SP), the green color filter 148 is in the green (G) sub-pixel (SP), and the blue color filter is in the blue (B) sub-pixel (SP). A filter 148 is placed. Accordingly, the white light generated by the light emitting device 130 passes through the color filter 148, and the color filter 148 implements light of the color corresponding to the color filter 148. Meanwhile, the color filter 148 may be formed to extend to cover at least one of the switching and driving thin film transistors (TS and TD).

한편, 컬러 필터(148)없이 각 발광 스택(134)에서 각 서브 화소(SP)에 해당하는 컬러광을 생성할 수도 있다. 즉, 적색 서브 화소(SP)의 발광 스택(134)은 적색광을, 녹색 서브 화소(SP)의 발광 스택(134)은 녹색광을, 청색 서브 화소(SP)의 발광 스택(134)은 청색광을 생성할 수도 있다.Meanwhile, color light corresponding to each sub-pixel (SP) may be generated in each light emitting stack 134 without the color filter 148. That is, the light emission stack 134 of the red sub-pixel (SP) generates red light, the light emission stack 134 of the green sub-pixel (SP) generates green light, and the light emission stack 134 of the blue sub-pixel (SP) generates blue light. You may.

이와 같은 본 발명에 따른 유기 발광 표시 장치의 백색 서브 화소(SPW)의 애노드 전극(132)과 기판(101) 사이에는 엠보싱 표면을 가지는 적어도 하나의 무기 절연막(116,118)이 배치된다. 엠보싱 표면을 가지는 무기 절연막(116,118)은 유기 절연막에 비해 막질 특성이 안정적이므로 엠보싱 표면을 가지는 유기 절연막에 비해 외부 충격 등에 의해 엠보싱 표면이 손상되는 것을 방지할 수 있다. 본 발명에서는 도 3에 도시된 바와 같이 백색 서브 화소(SPW)의 층간 절연막(116) 및 보호막(118)이 엠보싱 표면을 가지거나, 도 4에 도시된 바와 같이 백색 서브 화소(SPW)의 보호막(118)이 엠보싱 표면을 가지는 것을 예로 들어 설명하기로 한다. At least one inorganic insulating film 116 or 118 having an embossed surface is disposed between the anode electrode 132 of the white sub-pixel (SPW) and the substrate 101 of the organic light emitting display device according to the present invention. The inorganic insulating films 116 and 118 having an embossed surface have more stable film characteristics than the organic insulating film, and thus can prevent the embossed surface from being damaged by external shock, etc. compared to the organic insulating film having an embossed surface. In the present invention, as shown in FIG. 3, the interlayer insulating film 116 and the protective film 118 of the white sub-pixel (SPW) have an embossed surface, or as shown in FIG. 4, the white sub-pixel (SPW) has a protective film ( 118) has an embossed surface as an example.

도 3 및 도 4에 도시된 본 발명에 따른 유기 발광 표시 장치의 층간 절연막(116) 및 보호막(118)은 적색, 녹색 및 청색 서브 화소(SPR,SPG,SPB)의 발광 영역(EA)에서 평탄한 표면을 가진다. 이러한 층간 절연막(116) 상에 배치되는 적색, 녹색 및 청색 서브 화소(SPR,SPG,SPB)의 발광 영역(EA)의 보호막(118), 애노드 전극(132), 발광 스택(134) 및 캐소드 전극(136)은 층간 절연막(116)의 표면을 따라 평탄한 표면을 가지게 된다.The interlayer insulating film 116 and the protective film 118 of the organic light emitting display device according to the present invention shown in FIGS. 3 and 4 are flat in the emission area EA of the red, green, and blue sub-pixels (SPR, SPG, and SPB). It has a surface. The protective film 118, anode electrode 132, light emitting stack 134, and cathode electrode of the light emitting area (EA) of the red, green, and blue sub-pixels (SPR, SPG, and SPB) are disposed on the interlayer insulating film 116. (136) has a flat surface along the surface of the interlayer insulating film 116.

도 3에 도시된 백색 서브 화소(SPW)의 발광 영역(EA)에서 층간 절연막(116)은 기판(101)을 향해 오목 또는 볼록한 마이크로 렌즈를 다수개 가지는 엠보싱 표면을 가진다. 이 때, 백색 서브 화소(SPW)에 배치되는 층간 절연막(116)은 오목 또는 볼록한 반구 또는 반타원체 형상으로 형성된다. 그리고, 백색 서브 화소(SPW)에서 엠보싱 표면을 가지는 층간 절연막(116)의 최대 두께(d1)는 적색, 녹색 및 청색 서브 화소(SPR,SPG,SPB)에서 평탄한 표면을 가지는 층간 절연막(116)의 최대 두께(d2)보다 두껍게 형성된다. 이에 따라, 백색 서브 화소(SPW)에서 층간 절연막(116)은 원하는 깊이 또는 두께를 가지는 엠보싱 표면을 안정적으로 형성할 수 있다. 이러한 백색 서브 화소(SPW)의 발광 영역(EA)의 층간 절연막(116)과 애노드 전극 사이에는 유기막이 배치되지 않도록 한다. 즉, 층간 절연막(116) 상부에 배치되는 평탄화층(128)은 백색 서브 화소(SPW)를 제외한 적색, 녹색 및 청색 서브 화소(SPR,SPG,SPB)에 배치된다. 이에 따라, 층간 절연막(116) 상에 배치되는 보호막(118), 애노드 전극(132), 발광 스택(134) 및 캐소드 전극(136)은 층간 절연막(116)의 표면을 따라 엠보싱 표면을 가지게 된다. In the emission area EA of the white sub-pixel SPW shown in FIG. 3, the interlayer insulating film 116 has an embossed surface having a plurality of concave or convex microlenses toward the substrate 101. At this time, the interlayer insulating film 116 disposed in the white sub-pixel (SPW) is formed in a concave or convex hemisphere or semi-ellipsoid shape. And, the maximum thickness (d1) of the interlayer insulating film 116 with an embossed surface in the white sub-pixel (SPW) is the maximum thickness (d1) of the interlayer insulating film 116 with a flat surface in the red, green, and blue sub-pixels (SPR, SPG, and SPB). It is formed thicker than the maximum thickness (d2). Accordingly, the interlayer insulating film 116 in the white sub-pixel (SPW) can stably form an embossed surface having a desired depth or thickness. An organic layer is not disposed between the interlayer insulating layer 116 and the anode electrode of the light emitting area (EA) of the white sub-pixel (SPW). That is, the planarization layer 128 disposed on the interlayer insulating film 116 is disposed in the red, green, and blue sub-pixels (SPR, SPG, and SPB) excluding the white sub-pixel (SPW). Accordingly, the protective film 118, anode electrode 132, light emitting stack 134, and cathode electrode 136 disposed on the interlayer insulating film 116 have an embossed surface along the surface of the interlayer insulating film 116.

또한, 도 4에 도시된 백색 서브 화소(SPW)의 발광 영역(EA)에서 보호막(118)은 기판(101)을 향해 오목 또는 볼록한 마이크로 렌즈를 다수개 가지는 엠보싱 표면을 가진다. 이 때, 백색 서브 화소(SPW)에 배치되는 보호막(118)의 최대 두께는 적색, 녹색 및 청색 서브 화소(SPR,SPG,SPB)의 보호막(118)의 최대 두께보다 두껍게 형성된다. 이에 따라, 백색 서브 화소(SPW)에서 보호막(118)은 원하는 깊이 또는 두께를 가지는 엠보싱 표면을 안정적으로 형성할 수 있다. 이러한 백색 서브 화소(SPW)의 발광 영역(EA)의 보호막(118) 상에 배치되는 애노드 전극(132), 발광 스택(134) 및 캐소드 전극(136)은 보호막(118)의 표면을 따라 엠보싱 표면을 가지게 된다. In addition, the protective film 118 in the emission area EA of the white sub-pixel SPW shown in FIG. 4 has an embossed surface having a plurality of concave or convex micro lenses toward the substrate 101. At this time, the maximum thickness of the protective film 118 disposed in the white sub-pixel (SPW) is thicker than the maximum thickness of the protective film 118 in the red, green, and blue sub-pixels (SPR, SPG, and SPB). Accordingly, the protective film 118 in the white sub-pixel (SPW) can stably form an embossed surface having a desired depth or thickness. The anode electrode 132, the light emitting stack 134, and the cathode electrode 136 disposed on the protective film 118 of the light emitting area (EA) of the white sub-pixel (SPW) are embossed along the surface of the protective film 118. will have

이에 따라, 백색 서브 화소(SPW)의 층간 절연막(116) 및 보호막(118) 중 어느 하나와, 애노드 전극(132), 발광 스택(134) 및 캐소드 전극(136)의 엠보싱 표면은 발광 스택(134)에서 생성된 백색광을 산란시켜 백색 서브 화소(SPW)의 광추출 효율을 다른 색의 서브 화소(SPR,SPG,SPB)에 비해 향상시킨다. 백색 서브 화소(SPW)의 광추출 효율이 향상한 만큼 백색 서브 화소(SPW)의 개구율을 감소시킬 수 있으며, 백색 서브 화소(SPW)의 개구율이 감소한 만큼, 적색, 녹색 및 청색 서브 화소(SPR,SPG,SPB)의 개구율이 증가한다. 이에 따라, 본 발명에 따른 유기 발광 표시 장치는 도 5에 도시된 바와 같이 적색, 녹색, 청색 및 백색 서브 화소(SPR,SPG,SPB,SPW)에서 평탄한 표면의 층간 절연막을 가지는 비교예에 비해 효율이 향상된다.Accordingly, any one of the interlayer insulating film 116 and the protective film 118 of the white sub-pixel (SPW) and the embossed surface of the anode electrode 132, the light emitting stack 134, and the cathode electrode 136 are formed into the light emitting stack 134. ) to improve the light extraction efficiency of the white sub-pixel (SPW) compared to other color sub-pixels (SPR, SPG, SPB) by scattering the white light generated. As the light extraction efficiency of the white sub-pixel (SPW) improves, the aperture ratio of the white sub-pixel (SPW) can be reduced, and as the aperture ratio of the white sub-pixel (SPW) decreases, the red, green and blue sub-pixels (SPR, The opening ratio of SPG, SPB) increases. Accordingly, the organic light emitting display device according to the present invention has a higher efficiency compared to the comparative example having a flat interlayer insulating film in the red, green, blue, and white sub-pixels (SPR, SPG, SPB, and SPW), as shown in FIG. 5. This improves.

도 6a 내지 도 6i는 도 2 및 도 3에 도시된 유기 발광 표시 장치의 제조 방법을 설명하기 위한 단면도들이다.FIGS. 6A to 6I are cross-sectional views for explaining the manufacturing method of the organic light emitting display device shown in FIGS. 2 and 3.

도 6a를 참조하면, 기판(101) 상에 차광층(102), 버퍼층(114), 제1 및 제2 액티브층(104,154)이 동시에 형성된다.Referring to FIG. 6A, a light blocking layer 102, a buffer layer 114, and first and second active layers 104 and 154 are formed simultaneously on the substrate 101.

구체적으로, 기판(101) 상에 제1 도전층, 버퍼층(114) 및 반도체층이 순차적으로 증착된다. 제1 도전층으로는 Mo, Ti, Cu, AlNd, Al 또는 Cr 또는 이들의 합금과 같은 불투명 금속이 이용되며, 버퍼층(114)으로는 SiOx 또는 SiNx 등과 같은 무기 절연 물질이 이용되며, 반도체층으로는 비정질 실리콘, 다결정 실리콘 또는 산화물 반도체가 이용된다. 그런 다음, 포토리소그래피공정 및 식각 공정을 통해 제1 도전층, 버퍼층 및 반도체층이 동시에 패터닝됨으로써 차광층(102), 버퍼층(114), 제1 및 제2 액티브층(104,154)이 동일 형상 및 동일 선폭으로 형성된다. 도 6b를 참조하면, 차광층(102), 버퍼층(114), 제1 및 제2 액티브층(104,154)이 형성된 기판(101) 상에 게이트 절연 패턴(112)과, 그 게이트 절연 패턴(112) 상에 제1 및 제2 게이트 전극(106,156), 스토리지 하부 전극(142) 및 제1 패드 전극(172)이 형성된다.Specifically, a first conductive layer, a buffer layer 114, and a semiconductor layer are sequentially deposited on the substrate 101. An opaque metal such as Mo, Ti, Cu, AlNd, Al or Cr or an alloy thereof is used as the first conductive layer, and an inorganic insulating material such as SiOx or SiNx is used as the buffer layer 114, and is used as a semiconductor layer. Amorphous silicon, polycrystalline silicon, or oxide semiconductor is used. Then, the first conductive layer, buffer layer, and semiconductor layer are patterned simultaneously through a photolithography process and an etching process, so that the light blocking layer 102, the buffer layer 114, and the first and second active layers 104 and 154 have the same shape and same shape. It is formed by line width. Referring to FIG. 6B, a gate insulating pattern 112 is formed on a substrate 101 on which a light blocking layer 102, a buffer layer 114, and first and second active layers 104 and 154 are formed. First and second gate electrodes 106 and 156, storage lower electrode 142, and first pad electrode 172 are formed thereon.

구체적으로, 액티브층(104,154)이 형성된 기판(101) 상에 게이트 절연막이 형성되고, 그 위에 스퍼터링 등의 증착 방법으로 제2 도전층이 형성된다. 게이트 절연막으로는 SiOx 또는 SiNx 등과 같은 무기 절연 물질이 이용된다. 제2 도전층으로는 Mo, Ti, Cu, AlNd, Al 또는 Cr 또는 이들의 합금과 같이 금속 물질이 단일층으로 이용되거나, 또는 이들을 이용하여 다층 구조로 이용된다. 그런 다음, 포토리소그래피 공정 및 식각 공정을 통해 제2 도전층 및 게이트 절연막을 동시에 패터닝함으로써 제1 및 제2 게이트 전극(106,156), 스토리지 전극(142) 및 제1 패드 전극(172) 각각과, 그들 각각의 하부에 게이트 절연 패턴(112)이 동일 패턴으로 형성된다.Specifically, a gate insulating film is formed on the substrate 101 on which the active layers 104 and 154 are formed, and a second conductive layer is formed thereon by a deposition method such as sputtering. As the gate insulating film, an inorganic insulating material such as SiOx or SiNx is used. As the second conductive layer, a metal material such as Mo, Ti, Cu, AlNd, Al or Cr, or an alloy thereof is used as a single layer, or a multilayer structure using these materials is used. Then, the first and second gate electrodes 106 and 156, the storage electrode 142, and the first pad electrode 172 are formed by simultaneously patterning the second conductive layer and the gate insulating film through a photolithography process and an etching process, and Gate insulating patterns 112 are formed in the same pattern at the bottom of each.

도 6c를 참조하면, 제1 및 제2 게이트 전극(106,156), 스토리지 전극(142), 및 제1 패드 전극(172)이 형성된 기판(101) 상에 소스 및 드레인 컨택홀(124S,124D,164S,164D), 스토리지 컨택홀(146) 및 제1 패드 컨택홀(178a)을 가지는 층간 절연막(116)이 형성된다.Referring to FIG. 6C, source and drain contact holes 124S, 124D, and 164S are formed on the substrate 101 on which the first and second gate electrodes 106 and 156, the storage electrode 142, and the first pad electrode 172 are formed. , 164D), an interlayer insulating film 116 having a storage contact hole 146 and a first pad contact hole 178a is formed.

구체적으로, 제1 및 제2 게이트 전극(106,156) 및 제1 패드 전극(172)이 형성된 기판(101) 상에 PECVD 등의 증착 방법으로 층간 절연막(116)이 형성된다. 그런 다음, 하프톤 마스크를 이용한 포토리소그래피 공정 및 식각 공정을 통해 층간 절연막(116)이 1차 패터닝됨으로써 소스 및 드레인 컨택홀(124S,124D,164S,164D), 스토리지 컨택홀(146) 및 제1 패드 컨택홀(178a)이 형성됨과 아울러 적색, 녹색 및 청색 서브 화소(SPR,SPG,SPB)에 비해 백색 서브 화소(SPW)에서 두께가 두꺼운 층간 절연막(116)이 형성된다. 여기서, 소스 및 드레인 컨택홀(124S,124D,164S,164D), 스토리지 컨택홀(146) 및 제1 패드 컨택홀(178a) 각각은 층간 절연막(116)을 관통하도록 형성됨으로써 제1 및 제2 액티브층(104,154)과, 스토리지 하부 전극(142) 및 제1 패드 전극(172)이 노출된다. 그런 다음, 포토리소그래피 공정 및 식각 공정을 통해 백색 서브 화소(SPW)의 층간 절연막(116)을 2차 패터닝됨으로써 적색, 녹색 및 청색 서브 화소(SPR,SPG,SPB)를 제외한 백색 서브 화소(SPW)의 층간 절연막(116)은 엠보싱 표면을 가지게 된다.Specifically, the interlayer insulating film 116 is formed on the substrate 101 on which the first and second gate electrodes 106 and 156 and the first pad electrode 172 are formed by a deposition method such as PECVD. Then, the interlayer insulating film 116 is first patterned through a photolithography process and an etching process using a halftone mask, thereby forming the source and drain contact holes (124S, 124D, 164S, 164D), storage contact holes 146, and the first In addition to the pad contact hole 178a being formed, an interlayer insulating film 116 having a thicker thickness is formed in the white sub-pixel (SPW) than in the red, green, and blue sub-pixels (SPR, SPG, and SPB). Here, each of the source and drain contact holes 124S, 124D, 164S, and 164D, the storage contact hole 146, and the first pad contact hole 178a is formed to penetrate the interlayer insulating film 116, thereby forming the first and second active The layers 104 and 154, the storage lower electrode 142, and the first pad electrode 172 are exposed. Then, the interlayer insulating film 116 of the white sub-pixel (SPW) is secondary patterned through a photolithography process and an etching process, thereby forming the white sub-pixel (SPW) except for the red, green, and blue sub-pixels (SPR, SPG, and SPB). The interlayer insulating film 116 has an embossed surface.

한편, 도 6c에서는 소스 및 드레인 컨택홀(124S,124D,164S,164D), 스토리지 컨택홀(146) 및 제1 패드 컨택홀(178a)의 형성공정과, 백색 서브 화소(SPW)의 층간 절연막(116) 표면의 엠보싱 형성 공정이 개별적으로 이루어지는 것을 예로 들어 설명하였지만, 이외에도 두 공정이 하나의 마스크 공정을 통해 동시에 형성될 수도 있다.Meanwhile, in FIG. 6C, the formation process of the source and drain contact holes 124S, 124D, 164S, and 164D, the storage contact hole 146, and the first pad contact hole 178a, and the interlayer insulating film ( 116) Although the example of the surface embossing process being performed separately was explained, the two processes can also be formed simultaneously through one mask process.

도 6d를 참조하면, 소스 및 드레인 컨택홀(124S,124D,164S,164D), 스토리지 컨택홀(146), 및 제1 패드 컨택홀(178a)을 가지는 층간 절연막(116) 상에 제1 및 제2 소스 전극(108,158), 제1 및 제2 드레인 전극(110,160), 스토리지 상부 전극(144) 및 제2 패드 전극(174)이 형성된다.Referring to FIG. 6D, the first and second interlayer insulating films 116 having source and drain contact holes 124S, 124D, 164S, and 164D, storage contact holes 146, and first pad contact holes 178a. Two source electrodes 108 and 158, first and second drain electrodes 110 and 160, a storage upper electrode 144, and a second pad electrode 174 are formed.

구체적으로, 층간 절연막(116) 상에 스퍼터링 등의 증착 방법으로 제3 도전층이 형성된다. 제3 도전층으로는 Mo, Ti, Cu, AlNd, Al, Cr 또는 이들의 합금과 같이 금속 물질이 단일층으로 이용되거나, 또는 이들을 이용하여 다층 구조로 이용된다. 그런 다음, 포토리소그래피 공정 및 식각 공정을 통해 제3 도전층을 패터닝함으로써 층간 절연막(116) 상에 제1 및 제2 소스 전극(108,158), 제1 및 제2 드레인 전극(110,160), 스토리지 상부 전극(144) 및 제2 패드 전극(174)이 형성된다.Specifically, a third conductive layer is formed on the interlayer insulating film 116 by a deposition method such as sputtering. As the third conductive layer, a metal material such as Mo, Ti, Cu, AlNd, Al, Cr, or an alloy thereof is used as a single layer, or a multilayer structure using these materials is used. Then, the first and second source electrodes 108 and 158, the first and second drain electrodes 110 and 160, and the storage upper electrode are formed on the interlayer insulating film 116 by patterning the third conductive layer through a photolithography process and an etching process. 144 and a second pad electrode 174 are formed.

도 6e를 참조하면, 제1 및 제2 소스 전극(108,158), 제1 및 제2 드레인 전극(110,160), 스토리지 상부 전극(144) 및 제2 패드 전극(174)이 형성된 기판(101) 상에 화소 컨택홀(120) 및 제2 패드 컨택홀(178b)을 가지는 보호막(118)이 형성된다. Referring to FIG. 6E, on the substrate 101 on which the first and second source electrodes 108 and 158, the first and second drain electrodes 110 and 160, the storage upper electrode 144 and the second pad electrode 174 are formed. A protective film 118 having a pixel contact hole 120 and a second pad contact hole 178b is formed.

구체적으로, 제1 및 제2 소스 전극(108,158), 제1 및 제2 드레인 전극(110,160), 스토리지 상부 전극(144) 및 제2 패드 전극(174)이 형성된 기판(101) 상에 SiOx, SiNx 등과 같은 무기 절연 물질이 전면 증착됨으로써 보호막(118)이 형성된다. 그런 다음, 보호막(118)이 포토리소그래피 및 식각 공정을 통해 패터닝됨으로써 화소 컨택홀(120) 및 제2 패드 컨택홀(178b)이 형성된다.Specifically, SiOx and SiNx on the substrate 101 on which the first and second source electrodes 108 and 158, first and second drain electrodes 110 and 160, storage upper electrode 144, and second pad electrode 174 are formed. The protective film 118 is formed by depositing an inorganic insulating material such as the entire surface. Then, the protective film 118 is patterned through photolithography and etching processes to form the pixel contact hole 120 and the second pad contact hole 178b.

도 6f를 참조하면, 보호막(118)이 형성된 기판(101) 상에 컬러 필터(148)가 형성된다. Referring to FIG. 6F, a color filter 148 is formed on the substrate 101 on which the protective film 118 is formed.

구체적으로, 보호막(118)이 형성된 기판(101) 상에 적색 컬러 수지를 도포한 다음, 그 적색 컬러 수지를 포토리소그래피 공정을 통해 패터닝함으로써 적색 서브 화소(SPR)에 적색 컬러 필터(148)가 형성된다. 그런 다음, 적색 컬러 필터(148)가 형성된 기판(101) 상에 녹색 컬러 수지를 도포한 다음, 그 녹색 컬러 수지를 포토리소그래피 공정을 통해 패터닝함으로써 녹색 서브 화소(SPG)에 녹색 컬러 필터(148)가 형성된다. 그런 다음, 녹색 컬러 필터(148)가 형성된 기판(101) 상에 청색 컬러 수지를 도포한 다음, 그 청색 컬러 수지를 포토리소그래피 공정을 통해 패터닝함으로써 청색 서브 화소(SPB)에 청색 컬러 필터(148)가 형성된다.Specifically, a red color resin is applied on the substrate 101 on which the protective film 118 is formed, and then the red color resin is patterned through a photolithography process to form a red color filter 148 in the red sub-pixel (SPR). do. Then, green color resin is applied on the substrate 101 on which the red color filter 148 is formed, and then the green color resin is patterned through a photolithography process to form a green color filter 148 in the green sub-pixel (SPG). is formed. Then, a blue color resin is applied on the substrate 101 on which the green color filter 148 is formed, and then the blue color resin is patterned through a photolithography process to form a blue color filter 148 in the blue sub-pixel (SPB). is formed.

도 6g를 참조하면, 컬러 필터(148)가 형성된 기판(101) 상에 평탄화층(128)이 형성된다.Referring to FIG. 6G, a planarization layer 128 is formed on the substrate 101 on which the color filter 148 is formed.

구체적으로, 컬러 필터(148)가 형성된 기판(101) 상에 포토 아크릴 수지와 같은 유기막이 전면 도포된 후 포토리소그래피 공정을 통해 패터닝됨으로써 평탄화층(128)이 형성된다. 평탄화층(128)은 적색, 녹색 및 청색 서브 화소(SPR,SPG,SPB)의 컬러 필터(148)를 덮도록 형성되고, 백색 서브 화소(SPW)의 엠보싱 표면의 보호막(118)을 노출시키도록 형성된다.Specifically, an organic film such as photo acrylic resin is applied to the entire surface of the substrate 101 on which the color filter 148 is formed and then patterned through a photolithography process to form the planarization layer 128. The planarization layer 128 is formed to cover the color filters 148 of the red, green, and blue sub-pixels (SPR, SPG, and SPB) and to expose the protective film 118 on the embossed surface of the white sub-pixel (SPW). is formed

도 6h를 참조하면, 평탄화층(126)이 형성된 기판(101) 상에 애노드 전극(132) 및 패드 커버 전극(176)이 형성된다. Referring to FIG. 6H, an anode electrode 132 and a pad cover electrode 176 are formed on the substrate 101 on which the planarization layer 126 is formed.

구체적으로, 평탄화층(128)이 형성된 기판(101) 상에 제4 도전층이 전면 증착된다. 제4 도전층으로는 투명 도전막이 이용된다. 그런 다음, 포토리소그래피 공정과 식각 공정을 통해 제4 도전층이 패터닝됨으로써 애노드 전극(132) 및 패드 커버 전극(176)이 형성된다. 이 때, 평탄한 표면의 평탄화층(128) 상에 형성되는 적색, 녹색 및 청색 서브 화소(SPR,SPG,SPB)의 애노드 전극(132)은 평탄한 표면을 가지며, 엠보싱 표면의 보호막(118) 상에 형성되는 백색 서브 화소(SPW)의 애노드 전극(132)은 엠보싱 표면을 가진다.Specifically, a fourth conductive layer is deposited on the entire surface of the substrate 101 on which the planarization layer 128 is formed. A transparent conductive film is used as the fourth conductive layer. Then, the fourth conductive layer is patterned through a photolithography process and an etching process to form the anode electrode 132 and the pad cover electrode 176. At this time, the anode electrodes 132 of the red, green, and blue sub-pixels (SPR, SPG, SPB) formed on the flattening layer 128 have a flat surface and are formed on the protective film 118 of the embossed surface. The anode electrode 132 of the white sub-pixel (SPW) to be formed has an embossed surface.

도 6i를 참조하면, 애노드 전극(132) 및 패드 커버 전극(176)이 형성된 기판(101) 상에 뱅크(138)가 형성된 다음, 유기 발광 스택(134) 및 캐소드 전극(136)이 순차적으로 형성된다.Referring to Figure 6i, the bank 138 is formed on the substrate 101 on which the anode electrode 132 and the pad cover electrode 176 are formed, and then the organic light emitting stack 134 and the cathode electrode 136 are sequentially formed. do.

구체적으로, 애노드 전극(132) 및 패드 커버 전극(176)이 형성된 기판(101) 상에 감광성 유기막이 전면 도포된 후, 포토리소그래피 공정을 통해 감광성 유기막이 패터닝됨으로써 뱅크(138)가 형성된다. 뱅크(138)가 형성된 기판(101) 상에 새도우마스크를 이용한 증착 공정을 통해 백색을 구현하는 발광 스택(134) 및 캐소드 전극(136)이 순차적으로 형성된다.Specifically, a photosensitive organic layer is applied to the entire surface of the substrate 101 on which the anode electrode 132 and the pad cover electrode 176 are formed, and then the photosensitive organic layer is patterned through a photolithography process to form the bank 138. A white emitting stack 134 and a cathode electrode 136 are sequentially formed on the substrate 101 on which the banks 138 are formed through a deposition process using a shadow mask.

한편, 본 발명에서는 각 화소 구동 회로가 스위칭 트랜지스터(TS)와 구동 트랜지스터(TD)를 구비하는 것을 예로 들어 설명하였지만, 이외에도 구동 트랜지스터(TD)의 문턱 전압을 감지하는 센싱 트랜지스터를 더 구비할 수도 있다. Meanwhile, in the present invention, each pixel driving circuit is described as having a switching transistor (TS) and a driving transistor (TD), but in addition, it may further include a sensing transistor that detects the threshold voltage of the driving transistor (TD). .

또한, 본 발명에서는 각 화소가 백색 서브 화소, 적색 서브 화소, 녹색 서브 화소 및 청색 서브 화소를 구비하는 것을 예로 들어 설명하였지만, 이외에도 본 발명은 백색 서브 화소를 포함하는 적어도 2개의 서브 화소를 가지는 단위 화소에 모두 적용가능하다.In addition, in the present invention, each pixel has been described as an example of having a white sub-pixel, a red sub-pixel, a green sub-pixel, and a blue sub-pixel, but in addition, the present invention provides a unit having at least two sub-pixels including a white sub-pixel. Applicable to all pixels.

이상의 설명은 본 발명을 예시적으로 설명한 것에 불과하며, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 본 발명의 기술적 사상에서 벗어나지 않는 범위에서 다양한 변형이 가능할 것이다. 따라서 본 발명의 명세서에 개시된 실시 예들은 본 발명을 한정하는 것이 아니다. 본 발명의 범위는 아래의 특허청구범위에 의해 해석되어야 하며, 그와 균등한 범위 내에 있는 모든 기술도 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석해야 할 것이다.The above description is merely an exemplary description of the present invention, and various modifications may be made by those skilled in the art without departing from the technical spirit of the present invention. Accordingly, the embodiments disclosed in the specification of the present invention do not limit the present invention. The scope of the present invention should be interpreted in accordance with the scope of the patent claims below, and all technologies within the equivalent scope thereof should be interpreted as being included in the scope of the present invention.

116 : 층간 절연막 118 : 보호막
130 : 발광 소자 132 : 애노드 전극
134 : 발광층 136 : 캐소드 전극
116: interlayer insulating film 118: protective film
130: light emitting element 132: anode electrode
134: light emitting layer 136: cathode electrode

Claims (15)

각 화소가 서로 다른 색을 표시하는 적어도 2개의 서브 화소를 가지는 유기 발광 표시 장치에 있어서,
기판과;
상기 적어도 2개의 서브 화소 각각과 대응하도록 상기 기판 상에 배치되는 발광 소자와;
상기 기판과 상기 발광 소자 사이에 배치되며, 상기 적어도 2개의 서브 화소 중 백색 서브 화소에서 엠보싱 표면을 가지고, 상기 백색 서브 화소와는 다른 색의 서브 화소에서 평탄한 표면을 가지는 무기 절연막과;
상기 백색 서브 화소를 제외한 상기 다른 색의 서브 화소에 배치되는 컬러 필터와;
상기 백색 서브 화소를 제외한 상기 다른 색의 서브 화소에 배치되는 평탄화층을 구비하는 유기 발광 표시 장치.
In the organic light emitting display device, each pixel has at least two sub-pixels that display different colors,
With a substrate;
a light emitting element disposed on the substrate to correspond to each of the at least two sub-pixels;
an inorganic insulating film disposed between the substrate and the light emitting element, having an embossed surface in a white sub-pixel among the at least two sub-pixels and a flat surface in a sub-pixel of a color different from the white sub-pixel;
a color filter disposed on the other color sub-pixels excluding the white sub-pixel;
An organic light emitting display device comprising a planarization layer disposed on the other color sub-pixels excluding the white sub-pixel.
제 1 항에 있어서,
상기 발광 소자를 구동하는 화소 회로를 추가로 구비하며,
상기 화소 회로는
상기 발광 소자와 접속된 구동 박막 트랜지스터와;
상기 구동 박막 트랜지스터와 접속된 스위칭 박막 트랜지스터를 구비하며,
상기 발광 소자는
상기 구동 박막 트랜지스터와 접속되는 애노드 전극과;
상기 애노드 전극과 마주보는 캐소드 전극과;
상기 애노드 전극 및 캐소드 전극 사이에 배치되는 적어도 1개의 발광 스택을 구비하는 유기 발광 표시 장치.
According to claim 1,
It is further provided with a pixel circuit that drives the light emitting element,
The pixel circuit is
a driving thin film transistor connected to the light emitting element;
It has a switching thin film transistor connected to the driving thin film transistor,
The light emitting device is
an anode electrode connected to the driving thin film transistor;
a cathode electrode facing the anode electrode;
An organic light emitting display device comprising at least one light emitting stack disposed between the anode electrode and the cathode electrode.
제 2 항에 있어서,
상기 구동 박막 트랜지스터의 소스 및 드레인 전극 각각과 상기 구동 박막트랜지스터의 게이트 전극 사이에 배치되는 층간 절연막과;
상기 구동 박막 트랜지스터의 드레인 전극과 상기 애노드 전극 사이에 배치되는 보호막을 추가로 구비하며,
상기 무기 절연막은 상기 층간 절연막 및 보호막인 유기 발광 표시 장치.
According to claim 2,
an interlayer insulating film disposed between each of the source and drain electrodes of the driving thin film transistor and the gate electrode of the driving thin film transistor;
Further comprising a protective film disposed between the drain electrode of the driving thin film transistor and the anode electrode,
The organic light emitting display device wherein the inorganic insulating film is the interlayer insulating film and the protective film.
제 2 항에 있어서,
상기 구동 박막 트랜지스터의 드레인 전극과 상기 애노드 전극 사이에 배치되는 보호막을 추가로 구비하며,
상기 무기 절연막은 상기 보호막인 유기 발광 표시 장치.
According to claim 2,
Further comprising a protective film disposed between the drain electrode of the driving thin film transistor and the anode electrode,
The organic light emitting display device wherein the inorganic insulating film is the protective film.
제 2 항 내지 제 4 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 서로 다른 색을 표시하는 적어도 2개의 서브 화소는 상기 백색 서브 화소, 적색 서브 화소, 녹색 서브 화소 및 청색 서브 화소를 구비하는 유기 발광 표시 장치.
According to any one of claims 2 to 4,
The organic light emitting display device wherein the at least two sub-pixels displaying different colors include the white sub-pixel, the red sub-pixel, the green sub-pixel, and the blue sub-pixel.
제 5 항에 있어서,
상기 무기 절연막 상에 배치되는 상기 백색 서브 화소의 상기 애노드 전극, 발광 스택 및 캐소드 전극은 엠보싱 표면을 가지며,
상기 무기 절연막 상에 배치되는 상기 적색, 녹색 및 청색 서브 화소 각각의 상기 애노드 전극, 발광 스택 및 캐소드 전극은 평탄한 표면을 가지는 유기 발광 표시 장치.
According to claim 5,
The anode electrode, light emitting stack, and cathode electrode of the white sub-pixel disposed on the inorganic insulating film have an embossed surface,
An organic light emitting display device wherein the anode electrode, light emitting stack, and cathode electrode of each of the red, green, and blue sub-pixels disposed on the inorganic insulating film have flat surfaces.
제 5 항에 있어서,
상기 백색 서브 화소의 무기 절연막의 최대 두께는 상기 적색, 녹색 및 청색 서브 화소의 무기 절연막의 최대 두께보다 두꺼운 유기 발광 표시 장치.
According to claim 5,
The organic light emitting display device wherein the maximum thickness of the inorganic insulating film of the white sub-pixel is thicker than the maximum thickness of the inorganic insulating film of the red, green and blue sub-pixels.
제 5 항에 있어서,
상기 컬러 필터는,
상기 적색 서브 화소에 배치되는 적색 컬러 필터와;
상기 녹색 서브 화소에 배치되는 녹색 컬러 필터와;
상기 청색 서브 화소에 배치되는 청색 컬러 필터를 포함하고,
상기 평탄화층은 상기 적색, 녹색 및 청색 서브 화소에 배치되는 유기 발광 표시 장치.
According to claim 5,
The color filter is,
a red color filter disposed in the red sub-pixel;
a green color filter disposed in the green sub-pixel;
A blue color filter disposed in the blue sub-pixel,
The planarization layer is disposed in the red, green, and blue sub-pixels.
제 1 항에 있어서,
상기 엠보싱 표면은 상기 기판을 향해 오목 또는 볼록한 다수의 마이크로 렌즈를 가지는 유기 발광 표시 장치.
According to claim 1,
The embossed surface has a plurality of micro lenses that are concave or convex toward the substrate.
제 2 항에 있어서,
상기 애노드 전극은 투명 도전 물질을 포함하며,
상기 캐소드 전극은 반사 도전 물질을 포함하는 유기 발광 표시 장치.
According to claim 2,
The anode electrode includes a transparent conductive material,
An organic light emitting display device wherein the cathode electrode includes a reflective conductive material.
제 2 항에 있어서,
상기 기판 상에 배치되며 상기 구동 및 상기 스위칭 박막 트랜지스터 각각의 액티브층과 중첩되는 차광층과;
상기 차광층과 상기 액티브층 사이에 배치되는 버퍼층을 추가로 구비하며,
상기 차광층 및 버퍼층 각각은 상기 구동 및 상기 스위칭 박막 트랜지스터 각각의 액티브층 각각과 동일 선폭 및 동일 형상을 가지는 유기 발광 표시 장치.
According to claim 2,
a light blocking layer disposed on the substrate and overlapping an active layer of each of the driving and switching thin film transistors;
Further comprising a buffer layer disposed between the light blocking layer and the active layer,
Each of the light blocking layer and the buffer layer has the same line width and the same shape as each of the active layers of each of the driving and switching thin film transistors.
각 화소가 서로 다른 색을 표시하는 적어도 2개의 서브 화소를 가지는 유기 발광 표시 장치의 제조 방법에 있어서,
상기 적어도 2개의 서브 화소 중 백색 서브 화소에서 엠보싱 표면을 가지고, 상기 백색 서브 화소와는 다른 색의 서브 화소에서 평탄한 표면을 가지는 무기 절연막을 기판 상에 형성하는 단계와;
상기 백색 서브 화소를 제외한 상기 다른 색의 서브 화소에 배치되는 컬러 필터를 형성하는 단계와;
상기 백색 서브 화소를 제외한 상기 다른 색의 서브 화소에 배치되는 평탄화층을 형성하는 단계와;
상기 적어도 2개의 서브 화소 각각과 대응하도록 상기 무기 절연막 상에 배치되는 발광 소자를 형성하는 단계를 포함하는 유기 발광 표시 장치의 제조 방법.
A method of manufacturing an organic light emitting display device in which each pixel has at least two sub-pixels that display different colors, comprising:
forming an inorganic insulating film on a substrate having an embossed surface in a white sub-pixel among the at least two sub-pixels and a flat surface in a sub-pixel of a color different from the white sub-pixel;
forming a color filter disposed in the other color sub-pixels excluding the white sub-pixel;
forming a planarization layer disposed on the other color sub-pixels excluding the white sub-pixel;
A method of manufacturing an organic light emitting display device comprising forming a light emitting element disposed on the inorganic insulating film to correspond to each of the at least two sub-pixels.
제 12 항에 있어서,
상기 기판과 상기 발광 소자의 애노드 전극 사이에 층간 절연막 및 보호막을 순차적으로 형성하는 단계를 추가로 포함하며,
상기 무기 절연막은 상기 층간 절연막 및 보호막 중 적어도 어느 하나인 유기 발광 표시 장치의 제조 방법.
According to claim 12,
It further includes the step of sequentially forming an interlayer insulating film and a protective film between the substrate and the anode electrode of the light emitting device,
The method of manufacturing an organic light emitting display device, wherein the inorganic insulating layer is at least one of the interlayer insulating layer and the protective layer.
제 3 항 또는 제 4 항에 있어서,
상기 기판은
상기 발광 소자가 배치되는 발광 영역과;
상기 발광 영역을 제외한 비발광 영역에 포함되며, 상기 화소 회로가 배치된 회로 영역을 포함하고,
상기 무기 절연막은 상기 발광 영역에서 상기 컬러 필터와 상기 기판 사이에 배치된 유기 발광 표시 장치.
According to claim 3 or 4,
The substrate is
a light emitting area where the light emitting element is disposed;
It is included in a non-emission area excluding the light-emitting area, and includes a circuit area where the pixel circuit is arranged,
The inorganic insulating film is disposed between the color filter and the substrate in the light emitting area.
제 14 항에 있어서,
상기 백색 서브 화소를 제외한 상기 다른 색의 서브 화소에 대응되는 발광 영역에 구비된 애노드 전극은 상기 평탄화층과 접하고,
상기 백색 서브 화소에 대응되는 발광 영역에 구비된 애노드 전극은 상기 무기 절연막과 접하는 유기 발광 표시 장치.
According to claim 14,
An anode electrode provided in a light emitting area corresponding to the other color sub-pixels excluding the white sub-pixel is in contact with the planarization layer,
An organic light emitting display device wherein an anode electrode provided in a light emitting area corresponding to the white sub-pixel is in contact with the inorganic insulating layer.
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