KR102629088B1 - electronic valve - Google Patents

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푸미아키 아오야마
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가네코 산교 가부시키가이샤
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Abstract

본 발명은 전자 밸브의 조작이 실시되는 조작 기간뿐만 아니라, 당해 조작 기간 이외의 기간도 포함하여, 전조 보전에 유용한 데이터를 취득할 수 있는 전자 밸브를 제공한다.The present invention provides a solenoid valve that can acquire data useful for precursor maintenance, including not only the operation period during which the solenoid valve is operated, but also periods other than the operation period.

Description

전자 밸브electronic valve

본 발명은 전자 밸브 및 유체압 구동 밸브에 관한 것이다.The present invention relates to electromagnetic valves and fluid pressure actuated valves.

종래, 전자 밸브에 의해 구동 유체를 제어하여 메인 밸브를 개폐하는 유체압 구동 밸브가 알려져 있다. 예를 들어, 특허문헌 1에는, 플랜트 설비의 배관에 사용되는 유체압 구동 밸브로서, 설비에 이상이 발생한 것과 같은 긴급시에, 전자 밸브에 의해 구동 유체를 제어하여 볼 밸브(메인 밸브)를 닫음으로써, 배관을 흐르는 유체를 차단하는 긴급 차단 밸브 장치가 개시되어 있다.Conventionally, a fluid pressure driven valve is known that opens and closes the main valve by controlling the driving fluid using an electromagnetic valve. For example, Patent Document 1 describes a fluid pressure driven valve used in piping of plant equipment, which controls the driving fluid by an electromagnetic valve to close the ball valve (main valve) in an emergency, such as when a problem occurs in the equipment. As such, an emergency shutoff valve device that blocks fluid flowing through a pipe is disclosed.

특허문헌 1: 일본 공개특허공보 2009-97539호Patent Document 1: Japanese Patent Publication No. 2009-97539

특허문헌 1에 개시된 긴급 차단 밸브 장치는 플랜트 설비의 제어실에 설치되어, 전자 밸브의 통전 조작을 실시하는 로직 컨트롤러와, 밸브 축의 회동 동작, 즉, 볼 밸브의 개폐 동작을 검지하여, 로직 컨트롤러에 피드백하고, 볼 밸브의 작동 확인 테스트를 실시하는 리미트 스위치를 구비한다.The emergency shutoff valve device disclosed in Patent Document 1 is installed in the control room of plant equipment, detects a logic controller that operates the energization of the electromagnetic valve, and the rotational motion of the valve shaft, that is, the opening and closing motion of the ball valve, and provides feedback to the logic controller. and a limit switch to test the operation of the ball valve.

그러나 특허문헌 1에서는, 개폐 동작을 수반하는 작동 확인 테스트에 있어서, 리미트 스위치를 사용하여 긴급 차단 밸브 장치의 상태를 감시하는 것 밖에 개시되어 있지 않아, 작동 확인 테스트에 있어서, 전자 밸브의 각 부의 상태를 감시하는 것은 아니다. 또, 특허문헌 1에서는, 개폐 동작을 수반하는 작동 확인 테스트를 실시하는 것 이외에, 전자 밸브 및 긴급 차단 밸브 장치의 이상을 진단하는 수법이 개시되어 있지 않다.However, Patent Document 1 only discloses monitoring the state of the emergency shutoff valve device using a limit switch in an operation verification test involving opening and closing operations, and in the operation verification test, the status of each part of the solenoid valve is disclosed. is not monitoring. Additionally, Patent Document 1 does not disclose a method for diagnosing abnormalities in the solenoid valve and emergency shutoff valve device other than performing an operation confirmation test involving opening and closing operations.

이 때문에, 특허문헌 1에 개시된 작동 확인 테스트는 이상의 발생을 사후적으로 파악하는 사후 보전을 실현하는 것이라고 할 수 있지만, 플랜트 설비의 가동률 및 신뢰성을 향상시키기 위해서는, 이상 조짐을 사전에 파악하는 전조 보전을 실현하는 것이 요망된다. 그리고 또한, 이상 조짐은 여러 가지 사상(事象)이 되어 표출되기 때문에, 이들 사상을 적확하게 추출하기 위해서는, 전자 밸브의 조작이 실시되는 조작 기간(비정상 운전 중)뿐만 아니라, 당해 조작 기간 이외의 기간(정상 운전 중)도 포함하여, 전자 밸브의 각 부의 상태를 감시하는 구조를 실현할 필요가 있다.For this reason, it can be said that the operation confirmation test disclosed in Patent Document 1 realizes post-maintenance by detecting the occurrence of abnormalities ex post facto, but in order to improve the operation rate and reliability of plant equipment, predictive maintenance is required to detect signs of abnormalities in advance. It is desired to realize. Furthermore, since abnormal signs are expressed in the form of various events, in order to accurately extract these events, it is necessary not only for the operation period during which the solenoid valve is operated (during abnormal operation), but also for periods other than the operation period. It is necessary to implement a structure that monitors the status of each part of the solenoid valve, including (during normal operation).

본 발명은 이와 같은 사정을 감안하여 이루어진 것으로서, 전자 밸브의 조작이 실시되는 조작 기간뿐만 아니라, 당해 조작 기간 이외의 기간도 포함하여, 사후 보전에 유용한 데이터뿐만 아니라, 전조 보전에 유용한 데이터를 취득할 수 있는 전자 밸브를 제공하는 것을 목적으로 한다.The present invention has been made in consideration of such circumstances, and includes not only the operation period in which the operation of the solenoid valve is performed, but also a period other than the operation period, so that not only data useful for ex post maintenance but also data useful for predictive maintenance can be acquired. The purpose is to provide an electromagnetic valve that can

본 발명은 상기 과제를 해결하는 것으로서, 본 발명의 일 실시형태에 관련된 전자 밸브는 The present invention solves the above problems, and the electromagnetic valve according to one embodiment of the present invention is

당해 전자 밸브의 각 부의 상태를 취득하는 복수의 센서와,A plurality of sensors that acquire the status of each part of the solenoid valve,

외부 장치에 대해 데이터를 송신하는 외부 송신부와,an external transmitter that transmits data to an external device;

데이터를 기억하는 내부 기억부와,an internal storage unit that stores data,

제1 샘플링 주기로 상기 복수의 센서 중 적어도 1개의 센서에 의해 취득된 상기 전자 밸브의 상태를 제1 취득 데이터로서 취득하고, 당해 제1 취득 데이터에 대해, 취득할 때마다 상기 외부 송신부를 통하여 상기 외부 장치에 순차적으로 송신하는 제1 감시 처리, 및, 상기 전자 밸브의 조작이 실시되는 조작 기간에 있어서, 상기 제1 샘플링 주기보다 짧은 제2 샘플링 주기로 상기 복수의 센서 중 적어도 1개의 센서에 의해 취득된 상기 전자 밸브의 상태를 제2 취득 데이터로서 각각 취득하고, 상기 조작 기간 내에 각각 취득한 상기 제2 취득 데이터와 당해 제2 취득 데이터의 각각을 취득한 취득 시각을 연관 지어 구성하는 취득 데이터군을 상기 내부 기억부에 기억하는 제2 감시 처리를 실행하는 감시 처리부를 구비한다.The state of the electromagnetic valve acquired by at least one sensor among the plurality of sensors in a first sampling period is acquired as first acquisition data, and the first acquisition data is transmitted to the outside through the external transmitter each time it is acquired. In the operation period in which the first monitoring process is sequentially transmitted to the device and the operation of the solenoid valve is performed, the information obtained by at least one sensor among the plurality of sensors is obtained with a second sampling period shorter than the first sampling period. The state of the solenoid valve is respectively acquired as second acquisition data, and the acquisition data group configured by linking the second acquisition data respectively acquired within the operation period and the acquisition time at which each of the second acquisition data is acquired is internally stored. and a monitoring processing unit that executes a second monitoring process stored in the unit.

본 발명의 일 실시형태에 관련된 전자 밸브에 의하면, 감시 처리부가 제1 감시 처리에서는, 제1 샘플링 주기로 전자 밸브의 상태를 제1 취득 데이터로서 취득하고, 당해 제1 취득 데이터에 대해, 취득할 때마다 외부 송신부를 통하여 외부 장치에 순차적으로 송신함과 함께, 제2 감시 처리에서는, 전자 밸브의 조작이 실시되는 조작 기간에 있어서, 제1 샘플링 주기보다 짧은 제2 샘플링 주기로 전자 밸브의 상태를 제2 취득 데이터로서 각각 취득하고, 조작 기간 내에 각각 취득한 제2 취득 데이터와 당해 제2 취득 데이터의 각각을 취득한 취득 시각을 연관 지어 구성하는 취득 데이터군을 내부 기억부에 기억한다.According to the solenoid valve according to one embodiment of the present invention, in the first monitoring process, the monitoring processing unit acquires the state of the solenoid valve as first acquisition data at a first sampling period, and when acquiring the first acquisition data, In addition to sequentially transmitting to an external device each time through an external transmitter, in the second monitoring process, the state of the solenoid valve is monitored in a second sampling period shorter than the first sampling period during the operation period in which the solenoid valve is operated. Each acquisition data is acquired as acquisition data, and an acquisition data group constituted by linking the second acquisition data each acquired within the operation period and the acquisition time at which each of the second acquisition data was acquired is stored in the internal memory.

이 때문에, 비교적 긴 주기(제1 샘플링 주기)로 계속적으로 실행되는 제1 감시 처리에서 취득된 제1 취득 데이터에 대해서는, 취득할 때마다 외부 송신부를 통하여 외부 장치에 순차적으로 송신하기 때문에, 내부 기억부에 부하를 가하지 않으며, 또, 외부 송신부의 통신 간격(=제1 샘플링 주기)이 확보되어 있기 때문에 외부 송신부에 과대한 부하를 가하지도 않는다. 그리고 외부 장치에 송신된 제1 취득 데이터는 전자 밸브의 조작에 관계없이, 제1 샘플링 주기에 의해 계속적으로 취득된 것이기 때문에, 사후 보전뿐만 아니라 전조 보전을 실시하기 위한 데이터로서 이용할 수 있다.For this reason, the first acquisition data acquired in the first monitoring process that is continuously executed in a relatively long cycle (first sampling cycle) is sequentially transmitted to an external device through an external transmitter each time it is acquired, so it is stored in the internal memory. No load is applied to the external transmitter, and since the communication interval (=first sampling period) of the external transmitter is secured, no excessive load is applied to the external transmitter. And since the first acquisition data transmitted to the external device is continuously acquired through the first sampling period regardless of the operation of the solenoid valve, it can be used as data for not only ex post maintenance but also predictive maintenance.

또, 전자 밸브의 조작이 실시되는 조작 기간에 있어서, 비교적 짧은 주기(제2 샘플링 주기)로 일시적으로 실행되는 제2 감시 처리에서 취득된 제2 취득 데이터에 대해서는, 조작 기간 내에 각각 취득한 제2 취득 데이터와 당해 제2 취득 데이터의 각각을 취득한 취득 시각을 연관 지어 구성하는 취득 데이터군을 내부 기억부에 기억하기 때문에, 외부 송신부에 부하를 가하지 않으며, 또, 조작 기간 내로 한정되어 있기 때문에 내부 기억부에 과대한 부하를 가하지도 않는다. 그리고 내부 기억부에 기억된 취득 데이터군은 전자 밸브의 조작이 실시되는 조작 기간에 맞추어, 전자 밸브의 각 부의 상태가 제2 샘플링 주기에 의해 상세하게 취득된 것이기 때문에, 전조 보전을 실시하기 위한 데이터로서 이용할 수 있다. 또한, 내부 기억부에 기억된 취득 데이터군은 사후 보전을 실시하기 위한 데이터로도 이용할 수 있다.In addition, in the operation period in which the operation of the solenoid valve is performed, the second acquisition data acquired in the second monitoring process temporarily performed in a relatively short period (second sampling period), respectively, are the second acquisition data acquired within the operation period. Since the acquisition data group consisting of data and the acquisition time at which each of the second acquisition data is acquired is stored in the internal memory, no load is applied to the external transmission unit, and since it is limited to the operation period, the internal memory is stored in the internal memory. Do not apply excessive load to it. The acquisition data group stored in the internal storage unit is data for performing predictive maintenance because the state of each part of the solenoid valve is acquired in detail through the second sampling cycle in accordance with the operation period during which the solenoid valve is operated. It can be used as. Additionally, the acquired data group stored in the internal memory can also be used as data for post-storage maintenance.

따라서, 외부 송신부 및 내부 기억부에 대한 과대한 부하를 억제하면서, 전자 밸브의 조작이 실시되는 조작 기간뿐만 아니라, 조작 기간 이외의 기간도 포함하여, 사후 보전에 유용한 데이터뿐만 아니라, 전조 보전에 유용한 데이터를 취득할 수 있다.Therefore, while suppressing the excessive load on the external transmission unit and the internal storage unit, it includes not only the operation period during which the solenoid valve is operated, but also a period other than the operation period, which is useful for predictive maintenance as well as useful data for ex post maintenance. Data can be acquired.

도 1은 본 발명의 실시형태에 관련된 유체압 구동 밸브(10)의 일례를 나타내는 단면도이다.
도 2는 본 발명의 실시형태에 관련된 전자 밸브(1)의 일례를 나타내는 단면도이다.
도 3은 본 발명의 실시형태에 관련된 전자 밸브(1)의 일례를 나타내는 블록도이다.
도 4는 본 발명의 실시형태에 관련된 기판(5)에 대한 복수의 센서(4)의 재치예를 나타내는 모식도이다.
도 5는 본 발명의 실시형태에 관련된 감시 처리부(700)의 기능의 일례를 나타내는 타이밍 차트이다.
도 6은 제1 취득 데이터(DA) 및 제1 취득 데이터군(SA)의 일례를 나타내는 데이터 구성도이다.
도 7은 제2 취득 데이터(DB) 및 제2 취득 데이터군(SB)의 일례를 나타내는 데이터 구성도이다.
1 is a cross-sectional view showing an example of a fluid pressure actuation valve 10 according to an embodiment of the present invention.
Fig. 2 is a cross-sectional view showing an example of the solenoid valve 1 according to the embodiment of the present invention.
Fig. 3 is a block diagram showing an example of the solenoid valve 1 according to the embodiment of the present invention.
Fig. 4 is a schematic diagram showing an example of mounting a plurality of sensors 4 on a substrate 5 according to an embodiment of the present invention.
Figure 5 is a timing chart showing an example of the function of the monitoring processing unit 700 related to the embodiment of the present invention.
Fig. 6 is a data configuration diagram showing an example of first acquisition data (DA) and first acquisition data group (SA).
Fig. 7 is a data configuration diagram showing an example of the second acquisition data DB and the second acquisition data group SB.

이하, 본 발명의 일 실시형태에 대해 첨부 도면을 참조하면서 설명한다.Hereinafter, an embodiment of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.

(실시형태)(Embodiment)

도 1은 본 발명의 실시형태에 관련된 유체압 구동 밸브(10)의 일례를 나타내는 단면도이다.1 is a cross-sectional view showing an example of a fluid pressure actuation valve 10 according to an embodiment of the present invention.

유체압 구동 밸브(10)는 배관(100)의 도중에 배치되는 메인 밸브(11)와, 메인 밸브(11)에 연결된 밸브 축(13)을 구동 유체의 유체압에 따라 구동시킴으로써 메인 밸브(11)의 개폐 조작을 실시하는 구동 장치(12)와, 구동 장치(12)에 대해 구동 유체의 급배기를 제어하는 기능을 갖는 전자 밸브(1)를 구비한다.The fluid pressure driven valve 10 operates the main valve 11 disposed in the middle of the pipe 100 and the valve shaft 13 connected to the main valve 11 according to the fluid pressure of the driving fluid. It is provided with a driving device (12) that performs opening and closing operations, and an electromagnetic valve (1) that has a function of controlling the supply and discharge of driving fluid to the driving device (12).

유체압 구동 밸브(10)는 예를 들어, 플랜트 설비에 있어서 각종 가스나 석유 등이 흐르는 배관(100)에 설치되고, 플랜트 설비에 이상이 발생한 것과 같은 긴급 정지시에, 배관(100)의 흐름을 차단하기 위한 긴급 차단 밸브로서 사용된다. 또한, 유체압 구동 밸브(10)의 설치 장소나 용도는 상기의 예에 한정되지 않는다.For example, the fluid pressure actuation valve 10 is installed in the pipe 100 through which various gases, oil, etc. flow in plant equipment, and during an emergency stop such as when an abnormality occurs in the plant equipment, the flow of the pipe 100 is controlled. It is used as an emergency shutoff valve to block. Additionally, the installation location or use of the fluid pressure drive valve 10 is not limited to the above examples.

유체압 구동 밸브(10)에는, 구동 유체의 일례로서, 공기 공급원(14)으로부터 공기(에어)(A)가 공급되는 것으로, 공기 공급원(14)으로부터의 공기(A)는 제1 공기 배관(140)을 통하여 전자 밸브(1)에 공급되고, 또한, 제2 공기 배관(141)을 통하여 구동 장치(12)에 공급된다. 또, 유체압 구동 밸브(10)에는, 외부 장치(15) 및 전자 밸브(1) 사이에서 각종 데이터를 송수신하기 위한 통신 케이블(150)과, 외부 전원(16)으로부터 전자 밸브(1)에 전력을 공급하기 위한 전력 케이블(160)이 접속된다. 또한, 구동 유체는 상기의 공기(A)에 한정되지 않으며, 다른 기체여도 되고, 액체(예를 들어, 기름)여도 된다.As an example of the driving fluid, air (air) A is supplied to the fluid pressure drive valve 10 from the air supply source 14, and the air A from the air supply source 14 is supplied to the first air pipe ( It is supplied to the solenoid valve 1 through 140) and to the drive device 12 through the second air pipe 141. In addition, the fluid pressure drive valve 10 includes a communication cable 150 for transmitting and receiving various data between the external device 15 and the electromagnetic valve 1, and an electric power supply to the electromagnetic valve 1 from the external power source 16. A power cable 160 for supplying is connected. Additionally, the driving fluid is not limited to the air A above, and may be other gases or liquids (eg, oil).

외부 장치(15)는 예를 들어, 플랜트 관리용의 컴퓨터(로컬 서버 및 클라우드 서버를 포함한다), 보수 점검자가 사용하는 진단용 컴퓨터, 또는, USB 메모리나 외부 부착 HDD 등의 외부 기억부로 구성되어 있다. 또한, 외부 장치(15) 및 전자 밸브(1) 사이의 통신은 무선 통신이어도 된다.The external device 15 is, for example, a computer for plant management (including local servers and cloud servers), a diagnostic computer used by maintenance inspectors, or an external storage unit such as a USB memory or an externally attached HDD. . Additionally, communication between the external device 15 and the solenoid valve 1 may be wireless communication.

본 실시형태에서는, 유체압 구동 밸브(10)는 에어리스 클로즈 방식을 채용한 것이다. 따라서, 정상 운전시에는, 공기 공급원(14)으로부터 전자 밸브(1)를 통하여 구동 장치(12)에 공기(A)(급기)를 공급함으로써, 메인 밸브(11)가 전체 열림 조작되고, 긴급 정지시나 시험 운전시에는, 구동 장치(12)로부터 전자 밸브(1)를 통하여 공기(A)(배기)를 배출함으로써, 메인 밸브(11)가 전체 닫힘 조작된다. 또한, 유체압 구동 밸브(10)는 에어리스 오픈 방식을 채용한 것이어도 되며, 그 경우에는, 구동 장치(12)에 공기(A)를 공급함으로써 전체 열림 조작되고, 구동 장치(12)로부터 공기(A)를 배출함으로써 메인 밸브(11)를 전체 닫힘 조작되어도 된다.In this embodiment, the fluid pressure actuation valve 10 adopts an airless close type. Therefore, during normal operation, by supplying air (A) (supply air) from the air supply source 14 to the driving device 12 through the electromagnetic valve 1, the main valve 11 is operated to fully open, and an emergency stop is performed. During a test or test operation, the main valve 11 is fully closed by discharging air A (exhaust water) from the drive device 12 through the solenoid valve 1. Additionally, the fluid pressure drive valve 10 may adopt an airless open method. In that case, it is fully opened by supplying air A to the drive device 12, and air (A) is supplied from the drive device 12. The main valve 11 may be fully closed by discharging A).

메인 밸브(11)는 예를 들어, 볼 밸브라고 불리는 밸브로 구성되어 있다. 메인 밸브(11)는 그 구성예로서, 배관(100)의 도중에 배치되는 밸브 상자(110)와, 밸브 상자(110) 내에 회전 가능하게 형성된 볼상의 밸브체(111)를 구비하고, 밸브체(111)의 상부에는, 밸브 축(13)의 제1 단부(130A)가 연결되어 있다. 밸브 축(13)이 0도에서 90도로 회전 구동됨에 따라 밸브 상자(110) 내에서 밸브체(111)가 회전하고, 메인 밸브(11)의 전체 열림 상태(도 1에 나타내는 상태)와 전체 닫힘 상태가 전환된다. 또한, 메인 밸브(11)로서 사용되는 밸브는 볼 밸브에 한정되지 않으며, 예를 들어, 버터플라이 밸브 등의 다른 형식이어도 된다.The main valve 11 is composed of a valve called, for example, a ball valve. The main valve 11, as an example of its configuration, is provided with a valve box 110 disposed in the middle of the pipe 100 and a ball-shaped valve body 111 rotatably formed in the valve box 110, and the valve body ( The first end 130A of the valve shaft 13 is connected to the upper part of 111). As the valve shaft 13 is rotated from 0 degrees to 90 degrees, the valve body 111 rotates within the valve box 110, and the main valve 11 is fully open (state shown in Figure 1) and fully closed. The state switches. Additionally, the valve used as the main valve 11 is not limited to a ball valve, and may be of other types, such as a butterfly valve, for example.

구동 장치(12)는 예를 들어, 메인 밸브(11)와 전자 밸브(1) 사이에 배치됨과 함께, 단일 작동식의 에어 실린더 기구로서 구성되어 있다. 구동 장치(12)는 그 구성예로서, 원통상의 실린더(120)와, 실린더 내에 왕복 직선 이동 가능하게 형성되고, 피스톤 로드(121)를 통하여 연결된 1 쌍의 피스톤(122A, 122B)과, 제1 피스톤(122A) 측에 형성된 코일 스프링(123)과, 제2 피스톤(122B) 측에 형성된 공기 급배기구(124)와, 실린더(120)를 직경 방향을 따라 관통하도록 배치된 밸브 축(13)과 피스톤 로드(121)가 직교하는 부분에 형성된 전달 기구(125)를 구비한다. 또한, 구동 장치(12)는 단일 작동식에 한정되지 않으며, 예를 들어, 이중 작동식 등의 다른 형식으로 구성되어 있어도 된다.The drive device 12 is, for example, disposed between the main valve 11 and the solenoid valve 1 and is configured as a single-acting air cylinder mechanism. The driving device 12, as an example of its configuration, includes a cylindrical cylinder 120, a pair of pistons 122A and 122B formed to be capable of linear reciprocating movement within the cylinder and connected through a piston rod 121, and a second A coil spring 123 formed on the first piston 122A side, an air supply and exhaust port 124 formed on the second piston 122B side, and a valve shaft 13 arranged to penetrate the cylinder 120 along the radial direction. and a transmission mechanism 125 formed at a portion orthogonal to the piston rod 121. Additionally, the drive device 12 is not limited to a single-acting type, and may be configured in other types, such as a double-acting type, for example.

제1 피스톤(122A)은 코일 스프링(123)에 의해 메인 밸브(11)를 닫는 방향으로 탄성 지지된다. 제2 피스톤(122B)은 공기 급배기구(124)로부터 공급된 공기(A)(급기)에 의해 코일 스프링(123)의 탄성력에 저항하여 메인 밸브(11)를 여는 방향으로 가압된다. 전달 기구(125)는 예를 들어, 랙 앤드 피니언 기구, 링크 기구, 캠 기구 등으로 구성되어 있고, 피스톤 로드(121)의 왕복 직선 운동을 회전 운동으로 변환하여 밸브 축(13)에 전달한다.The first piston 122A is elastically supported by the coil spring 123 in the direction of closing the main valve 11. The second piston 122B is pressed by the air A (supplied air) from the air supply/exhaust port 124 in the direction of opening the main valve 11 by resisting the elastic force of the coil spring 123. The transmission mechanism 125 is composed of, for example, a rack and pinion mechanism, a link mechanism, a cam mechanism, etc., and converts the reciprocating linear motion of the piston rod 121 into rotary motion and transmits it to the valve shaft 13.

밸브 축(13)은 샤프트상으로 형성되어 있고, 회동 가능한 상태로 구동 장치(12)를 관통하도록 하여 배치된다. 밸브 축(13)의 제1 단부(130A)는 메인 밸브(11)에 연결됨과 함께, 밸브 축(13)의 제2 단부(130B)는 전자 밸브(1)에 의해 축 지지된다. 또한, 밸브 축(13)은 복수의 샤프트가, 예를 들어, 커플링 등에 의해 연결된 것이어도 된다.The valve shaft 13 is formed in the shape of a shaft and is arranged so as to penetrate the drive device 12 in a rotatable state. The first end 130A of the valve shaft 13 is connected to the main valve 11, and the second end 130B of the valve shaft 13 is axially supported by the solenoid valve 1. Additionally, the valve shaft 13 may be comprised of a plurality of shafts connected by, for example, a coupling.

전자 밸브(1)는 구동 장치(12)에 대해 공기(A)의 급배기를 제어하는 기능을 갖고, 예를 들어, 2포지션으로 노멀 클로즈 타입(통전시 「열림」, 비통전시 「닫힘」)의 3방 전자 밸브로서 구성되어 있다. 전자 밸브(1)는 옥내형 또는 방폭형의 전자 밸브(1)의 하우징으로서 기능하는 수용부(6)의 내부에, 공기(A)가 흐르는 유로를 전환하는 스풀부(2)와, 통전 상태(통전시 또는 비통전시)에 따라 스풀부(2)를 변위시키는 솔레노이드부(3)를 구비한다. 또한, 전자 밸브(1)는 2포지션으로 노멀 클로즈 타입의 3방 전자 밸브에 한정되지 않으며, 3포지션이어도 되고, 노멀 오픈 타입이어도 되고, 4방 전자 밸브 등이어도 되고, 임의의 조합에 기초하는 각종 형성으로 구성되어 있어도 된다. 또, 본 실시형태에서는, 전자 밸브(1)는 유체압 구동 밸브(10)에 있어서의 파일럿 밸브로서 사용되는 것이지만, 전자 밸브(1)의 용도는 이에 한정되지 않는다.The solenoid valve 1 has a function of controlling the supply and exhaust of air A to the drive device 12, for example, a normally closed type with two positions (“open” when energized, “closed” when not energized). It is composed of a three-way electromagnetic valve. The solenoid valve 1 includes a spool portion 2 that switches the flow path through which air A flows, inside a housing portion 6 that functions as a housing for the indoor or explosion-proof type solenoid valve 1, and an energized state ( It is provided with a solenoid part (3) that displaces the spool part (2) depending on when energized or not energized. In addition, the solenoid valve 1 is not limited to a 2-position, normally closed type, 3-way solenoid valve, and may be a 3-position, normally open type, 4-way solenoid valve, etc., and may be of various types based on arbitrary combinations. It may be composed of a formation. In addition, in this embodiment, the solenoid valve 1 is used as a pilot valve in the fluid pressure drive valve 10, but the use of the solenoid valve 1 is not limited to this.

스풀부(2)는 공기 공급원(14)에 제1 공기 배관(140)을 통하여 접속되는 입력 포트(20)와, 구동 장치(12)에 제2 공기 배관(141)을 통하여 접속되는 출력 포트(21)와, 구동 장치(12)로부터의 배기를 배출하는 배기 포트(22)를 구비한다.The spool unit 2 has an input port 20 connected to the air source 14 through the first air pipe 140, and an output port connected to the driving device 12 through the second air pipe 141 ( 21) and an exhaust port 22 for discharging exhaust gas from the drive device 12.

솔레노이드부(3)는 통전시에, 입력 포트(20)와 출력 포트(21) 사이를 연통하도록 스풀부(2)를 변위시키고, 비통전시에, 출력 포트(21)와 배기 포트(22) 사이를 연통하도록 스풀부(2)를 변위시킨다.The solenoid portion 3 displaces the spool portion 2 so as to communicate between the input port 20 and the output port 21 when energized, and between the output port 21 and the exhaust port 22 when not energized. Displace the spool portion (2) to communicate.

따라서, 전자 밸브(1)가 통전 상태인 경우에는, 공기 공급원(14)으로부터의 공기(A)(급기)가 제1 공기 배관(140), 입력 포트(20), 출력 포트(21) 및 제2 공기 배관(141)의 순서로 흘러, 공기 급배기구(124)에 공급됨으로써, 제2 피스톤(122B)이 가압되어 코일 스프링(123)이 압축한다. 그리고 코일 스프링(123)의 압축에 따라 피스톤 로드(121)가 이동한 만큼 피스톤 로드(121) 및 전달 기구(125)를 통하여 밸브 축(13)이 회전 구동되면, 밸브 상자(110) 내에서 밸브체(111)가 회전하고, 메인 밸브(11)가 전체 열림 상태로 조작된다.Therefore, when the solenoid valve 1 is in an energized state, air A (supply air) from the air supply source 14 flows through the first air pipe 140, the input port 20, the output port 21, and the first air pipe 140. 2 By flowing through the air pipe 141 and being supplied to the air supply/exhaust port 124, the second piston 122B is pressurized and the coil spring 123 is compressed. And when the valve shaft 13 is driven to rotate through the piston rod 121 and the transmission mechanism 125 by the amount that the piston rod 121 moves according to the compression of the coil spring 123, the valve within the valve box 110 The sieve 111 rotates, and the main valve 11 is operated to the fully open state.

한편, 전자 밸브(1)가 비통전 상태인 경우에는, 실린더(120) 내의 공기(A)(배기)가 공기 급배기구(124)로부터 제2 공기 배관(141), 출력 포트(21) 및 배기 포트(22)의 순서로 흘러, 외기로 배출됨으로써, 제2 피스톤(122B)의 가압력이 저하하고, 코일 스프링(123)이 압축 상태로부터 복원된다. 그리고 코일 스프링(123)의 복원에 따라 피스톤 로드(121)가 이동한 만큼 전달 기구(125)를 통하여 밸브 축(13)이 회전 구동되면, 밸브 상자(110) 내에서 밸브체(111)가 회전하고, 메인 밸브(11)가 전체 닫힘 상태로 조작된다.On the other hand, when the solenoid valve 1 is in a non-energized state, the air (A) (exhaust) in the cylinder 120 flows from the air supply/exhaust port 124 to the second air pipe 141, the output port 21, and the exhaust. By flowing through the port 22 and being discharged to the outside air, the pressing force of the second piston 122B is reduced, and the coil spring 123 is restored from the compressed state. And when the valve shaft 13 is driven to rotate through the transmission mechanism 125 by the amount that the piston rod 121 moves according to the restoration of the coil spring 123, the valve body 111 rotates within the valve box 110. And the main valve 11 is operated in a fully closed state.

(전자 밸브의 구성에 대해)(About the configuration of the solenoid valve)

도 2는 본 발명의 실시형태에 관련된 전자 밸브(1)의 일례를 나타내는 단면도이다.Fig. 2 is a cross-sectional view showing an example of the solenoid valve 1 according to the embodiment of the present invention.

전자 밸브(1)는 상기의 스풀부(2) 및 솔레노이드부(3) 외에, 전자 밸브(1)의 각 부의 상태를 취득하는 복수의 센서(4)와, 복수의 센서(4) 중 적어도 1개가 재치된 기판(5)과, 이것들 스풀부(2), 솔레노이드부(3), 복수의 센서(4) 및 기판(5)을 수용하는 수용부(6)를 구비한다.The solenoid valve 1 includes, in addition to the spool portion 2 and the solenoid portion 3, a plurality of sensors 4 that acquire the status of each part of the solenoid valve 1, and at least one of the plurality of sensors 4. It is provided with a substrate 5 on which the dog is placed, a spool portion 2, a solenoid portion 3, a plurality of sensors 4, and a receiving portion 6 that accommodates the substrate 5.

수용부(6)는 스풀부(2)를 수용하는 제1 수용부(60)와, 제1 수용부(60)에 인접됨과 함께, 솔레노이드부(3), 복수의 센서(4) 및 기판(5)을 수용하는 제2 수용부(61)와, 통신 케이블(150) 및 전력 케이블(160)이 접속되는 터미널 박스(62)를 구비한다. 또한, 제1 수용부(60) 및 제2 수용부(61)는 예를 들어, 알루미늄 등의 금속 재료로 제작되어 있다.The accommodating portion 6 includes a first accommodating portion 60 that accommodates the spool portion 2, and is adjacent to the first accommodating portion 60, and includes a solenoid portion 3, a plurality of sensors 4, and a substrate ( 5) and a terminal box 62 to which a communication cable 150 and a power cable 160 are connected. In addition, the first accommodating part 60 and the second accommodating part 61 are made of a metal material such as aluminum, for example.

제1 수용부(60)는 입력 포트(20), 출력 포트(21) 및 배기 포트(22)로서, 각각 기능하는 개구부(도시 생략)를 갖는다.The first accommodating portion 60 is an input port 20, an output port 21, and an exhaust port 22, each of which has a functional opening (not shown).

제2 수용부(61)는 양단(제1 하우징 단부(610a) 및 제2 하우징 단부(610b))이 개방된 원통상의 하우징(610)과, 하우징(610)의 내부에 배치되는 바디(611)와, 제1 하우징 단부(610a)에 고정된 솔레노이드부(3)를 외기로부터 덮는 솔레노이드 커버(612)와, 제2 하우징 단부(610b)에 고정된 터미널 박스(62)를 외기로부터 덮는 터미널 박스 커버(613)를 구비한다.The second receiving portion 61 includes a cylindrical housing 610 with open ends (first housing end 610a and second housing end 610b), and a body 611 disposed inside the housing 610. ), a solenoid cover 612 that covers the solenoid part 3 fixed to the first housing end 610a from outside air, and a terminal box that covers the terminal box 62 fixed to the second housing end 610b from outside air. A cover 613 is provided.

하우징(610)은 그 하부에 형성되어 밸브 축(13)의 제2 단부(130B)가 삽입되는 축 삽입구(610c)와, 그 상부에 형성되어 바디(611)가 삽입되는 바디 삽입구(610d)와, 제2 하우징 단부(610b) 측에 형성되어 통신 케이블(150) 및 전력 케이블(160)이 삽입되는 케이블 삽입구(610e)를 갖는다.The housing 610 includes a shaft insertion hole 610c formed at the lower portion thereof and into which the second end 130B of the valve shaft 13 is inserted, a body insertion hole 610d formed at the upper portion thereof into which the body 611 is inserted, and , It has a cable insertion hole 610e formed on the second housing end 610b side into which the communication cable 150 and the power cable 160 are inserted.

제1 수용부(60) 및 제2 수용부(61)에는, 바디(611)를 관통하도록 하여, 입력측 유로(26)로부터 분기하여 입력측 유로(26)와 제1 압력 센서(40) 사이를 연통하는 제1 유로(63)와, 출력측 유로(27)로부터 분기하여 출력측 유로(27)와 제2 압력 센서(41) 사이를 연통하는 제2 유로(64)와, 스풀부(2)와 솔레노이드부(3)를 연동시키기 위한 공기(A)가 흐르는 스풀 유로(65)가 형성되어 있다.The first accommodating portion 60 and the second accommodating portion 61 are configured to penetrate the body 611, branch off from the input side flow path 26, and communicate between the input side flow path 26 and the first pressure sensor 40. a first flow path 63 that branches off from the output side flow path 27 and communicates between the output side flow path 27 and the second pressure sensor 41, a spool portion 2, and a solenoid portion. A spool passage 65 through which air (A) flows for interlocking (3) is formed.

스풀부(2)는 스풀 케이스로서 기능하는 제2 수용부(61) 내에 형성된 스풀 홀(23)과, 스풀 홀(23) 내에 이동 가능하게 배치된 스풀 밸브(24)와, 스풀 밸브(24)를 탄성 지지하는 스풀 스프링(25)과, 입력 포트(20)와 스풀 홀(23) 사이를 연통하는 입력측 유로(26)와, 출력 포트(21)와 스풀 홀(23)을 연통하는 출력측 유로(27)와, 배기 포트(22)와 스풀 홀(23) 사이를 연통하는 배기 유로(28)를 구비한다.The spool portion 2 includes a spool hole 23 formed in the second receiving portion 61 functioning as a spool case, a spool valve 24 movably disposed within the spool hole 23, and a spool valve 24. A spool spring 25 that elastically supports, an input side flow path 26 communicating between the input port 20 and the spool hole 23, and an output side flow path communicating between the output port 21 and the spool hole 23 ( 27) and an exhaust passage 28 communicating between the exhaust port 22 and the spool hole 23.

솔레노이드부(3)는 솔레노이드 케이스(30)와, 솔레노이드 케이스(30) 내에 수용된 솔레노이드 코일(31)과, 솔레노이드 코일(31) 내에 이동 가능하게 배치된 가동 철심(32)과, 솔레노이드 코일(31) 내에 고정 상태로 배치된 고정 철심(33)과, 가동 철심(32)을 탄성 지지하는 솔레노이드 스프링(34)을 구비한다.The solenoid portion 3 includes a solenoid case 30, a solenoid coil 31 accommodated in the solenoid case 30, a movable iron core 32 movably disposed within the solenoid coil 31, and a solenoid coil 31. It is provided with a fixed iron core (33) arranged in a fixed state within, and a solenoid spring (34) that elastically supports the movable iron core (32).

전자 밸브(1)가 비통전 상태로부터 통전 상태로 전환된 경우에는, 솔레노이드부(3)에 있어서, 코일 전류가 솔레노이드 코일(31)에 흐름으로써 솔레노이드 코일(31)이 전자력을 발생하고, 당해 전자력에 의해 가동 철심(32)이 솔레노이드 스프링(34)의 탄성력에 저항하여 고정 철심(33)에 흡인됨으로써, 스풀 유로(65)를 흐르는 공기(A)의 유통 상태가 전환된다. 그리고, 스풀부(2)에 있어서, 스풀 유로(65)를 흐르는 공기(A)의 유통 상태가 전환된 것에 의해, 스풀 밸브(24)가 스풀 스프링(25)의 탄성력에 저항하여 이동됨으로써, 입력 포트(20)와 배기 포트(22) 사이를 연통하는 상태로부터, 입력 포트(20)와 출력 포트(21) 사이를 연통하는 상태로 전환된다.When the solenoid valve 1 is switched from the non-energized state to the energized state, in the solenoid portion 3, the coil current flows to the solenoid coil 31, so that the solenoid coil 31 generates electromagnetic force, and the electromagnetic force As a result, the movable core 32 resists the elastic force of the solenoid spring 34 and is attracted to the fixed core 33, thereby changing the distribution state of the air A flowing through the spool passage 65. Then, in the spool portion 2, the circulation state of the air A flowing through the spool passage 65 is switched, causing the spool valve 24 to move against the elastic force of the spool spring 25, thereby causing the input The state in which communication between the port 20 and the exhaust port 22 is switched is switched to the state in which the input port 20 and the output port 21 are in communication.

기판(5)은 기판면(500A, 500B)이 축 삽입구(610c)로부터 삽입된 밸브 축(13)을 따르도록 배치된 제1 기판(50)과, 터미널 박스(62)에 근접하여 배치된 제2 기판(51)과, 솔레노이드부(3)에 근접하여 배치된 제3 기판(52)을 구비한다.The substrate 5 includes a first substrate 50 disposed so that the substrate surfaces 500A and 500B follow the valve axis 13 inserted from the shaft insertion hole 610c, and a second substrate disposed close to the terminal box 62. It is provided with two boards 51 and a third board 52 disposed close to the solenoid part 3.

제1 기판(50)의 기판면(500A, 500B) 중, 제1 기판면(500A) 측에는 바디(611), 솔레노이드부(3) 및 제3 기판(52)이 배치된다. 제1 기판면(500A)측과 반대측의 제2 기판면(500B) 측에는 제2 기판(51) 및 터미널 박스(62)가 배치된다.Among the substrate surfaces 500A and 500B of the first substrate 50, the body 611, the solenoid portion 3, and the third substrate 52 are disposed on the first substrate surface 500A. The second substrate 51 and the terminal box 62 are disposed on the second substrate surface 500B opposite to the first substrate surface 500A.

제1 기판(50)에 재치되는 센서(4)는 예를 들어, 입력측 유로(26) 및 제1 유로(63)를 흐르는 공기(A)의 유체압을 계측하는 제1 압력 센서(40)와, 출력측 유로(27) 및 제2 유로(64)를 흐르는 공기(A)의 유체압을 계측하는 제2 압력 센서(41)와, 밸브 축(13)이 회전 구동할 때의 회전 각도를 계측하고, 당해 회전 각도에 따라 메인 밸브(11)의 밸브 개도 정보를 취득하는 메인 밸브 개도 센서(42)를 포함한다. 이로써, 1개의 기판(제1 기판(50))에, 제1 압력 센서(40), 제2 압력 센서(41) 및 메인 밸브 개도 센서(42)가 집약되기 때문에, 전자 밸브(1) 및 유체압 구동 밸브(10)가 정상적으로 동작했는지 여부를 적절히 진단하기 위해서 필요해지는 감시 기능을 간이한 구성으로 실현될 수 있다.The sensor 4 mounted on the first substrate 50 includes, for example, a first pressure sensor 40 that measures the fluid pressure of the air A flowing through the input side flow path 26 and the first flow path 63; , a second pressure sensor 41 that measures the fluid pressure of the air A flowing through the output side flow path 27 and the second flow path 64, and a rotation angle when the valve shaft 13 is driven to rotate, and , and a main valve opening sensor 42 that acquires valve opening information of the main valve 11 according to the rotation angle. As a result, the first pressure sensor 40, the second pressure sensor 41, and the main valve opening sensor 42 are integrated into one substrate (first substrate 50), so that the solenoid valve 1 and the fluid The monitoring function required to properly diagnose whether the pressure drive valve 10 has operated normally can be realized with a simple configuration.

메인 밸브 개도 센서(42)는 예를 들어, 자기 센서에 의해 구성되어 있고, 밸브 축(13)의 제2 단부(130B)에 장착된 영구 자석(131)이 발생하는 자기의 세기를 계측하고, 당해 자기의 세기에 따라 메인 밸브(11)의 밸브 개도 정보를 취득한다.The main valve opening sensor 42 is comprised of, for example, a magnetic sensor and measures the strength of the magnetism generated by the permanent magnet 131 mounted on the second end 130B of the valve shaft 13, Valve opening information of the main valve 11 is acquired according to the magnetic strength.

메인 밸브 개도 센서(42)는 축 삽입구(610c)로부터 삽입된 밸브 축(13)을 따르도록 배치된 제1 기판(5)의 제1 기판면(500A) 중 밸브 축(13)의 축 주위의 외주에 대향하는 위치에 재치된다. 이로써, 수용부(6) 내에 있어서, 배치 공간을 낭비하지 않고, 제1 기판(50)에 재치된 메인 밸브 개도 센서(42)와, 밸브 축(13)의 제2 단부(130B)를 근접하여 배치하는 것이 가능해지고, 밸브 개도 정보를 정확하게 취득할 수 있다.The main valve opening sensor 42 is located around the axis of the valve shaft 13 among the first substrate surfaces 500A of the first substrate 5 disposed along the valve shaft 13 inserted from the shaft insertion hole 610c. It is placed in a position facing the outer periphery. As a result, within the accommodating portion 6, the main valve opening sensor 42 mounted on the first substrate 50 and the second end 130B of the valve shaft 13 are brought into close proximity without wasting placement space. It becomes possible to position the valve and obtain valve opening information accurately.

메인 밸브 개도 센서(42)는 제1 기판(50)에 있어서, 제1 압력 센서(40) 및 제2 압력 센서(41)보다 축 삽입구(610c) 쪽에 재치된다. 이로써, 제1 압력 센서(40)에 연통하는 제1 유로(63)와, 제2 압력 센서(40)에 연통하는 제2 유로(64)가, 메인 밸브 개도 센서(42) 및 밸브 축(13)의 제2 단부(130B)로부터 이간한 위치에 배치되기 때문에, 제1 유로(63) 및 제2 유로(64)의 형상이나 배치를 간소화할 수 있다.The main valve opening sensor 42 is placed on the first substrate 50 closer to the shaft insertion port 610c than the first pressure sensor 40 and the second pressure sensor 41. As a result, the first flow path 63 communicating with the first pressure sensor 40 and the second flow path 64 communicating with the second pressure sensor 40 are connected to the main valve opening sensor 42 and the valve shaft 13. ), the shape and arrangement of the first flow path 63 and the second flow path 64 can be simplified.

도 3은 본 발명의 실시형태에 관련된 전자 밸브(1)의 일례를 나타내는 블록도이다. 도 4는 본 발명의 실시형태에 관련된 기판(5)에 대한 복수의 센서(4)의 재치예를 나타내는 모식도이다. 또한, 도 4는 각 센서(4)가 기판(5)에 재치된 위치를 엄밀하게 나타내는 것이 아니라, 각 센서(4)가 제1 내지 제 3 기판(50~52) 중 어느 기판에 재치되어 있는지의 재치 상태를 나타내는 것이다.Fig. 3 is a block diagram showing an example of the solenoid valve 1 according to the embodiment of the present invention. Fig. 4 is a schematic diagram showing an example of mounting a plurality of sensors 4 on a substrate 5 according to an embodiment of the present invention. In addition, Figure 4 does not strictly show the position where each sensor 4 is mounted on the substrate 5, but rather shows on which substrate among the first to third substrates 50 to 52 each sensor 4 is mounted. It indicates the state of wit.

전자 밸브(1)는 전기적인 구성예로서, 상기의 제1 내지 제 3 기판(50~52) 및 복수의 센서(4) 외에, 전자 밸브(1)를 제어하는 제어부(7)와, 외부 장치(15)와 통신하는 기능을 갖는 통신부(외부 송신부)(8)와, 외부 전원(16)에 접속되는 전원 회로부(9)를 구비한다.The electromagnetic valve 1 is an example of an electrical configuration that, in addition to the first to third boards 50 to 52 and a plurality of sensors 4, includes a control unit 7 for controlling the electromagnetic valve 1, and an external device. It is provided with a communication unit (external transmission unit) 8 having a function of communicating with (15) and a power circuit unit 9 connected to an external power source 16.

복수의 센서(4)는 각 부의 물리량을 계측하는 센서군으로서, 상기의 제1 압력 센서(40), 제2 압력 센서(41) 및 메인 밸브 개도 센서(42) 외에, 솔레노이드부(3)에 대한 공급 전압을 계측하는 전압 센서(43)와, 솔레노이드부(3)에 있어서의 통전시의 전류치 및 비통전시의 저항치를 계측하는 전류·저항 센서(44)와, 수용부(6)의 내부 온도를 계측하는 온도 센서(45)와, 솔레노이드부(3)가 발생하는 자기의 세기를 계측하는 자기 센서(46)를 구비한다.The plurality of sensors 4 are a group of sensors that measure physical quantities of each part, and in addition to the first pressure sensor 40, the second pressure sensor 41, and the main valve opening sensor 42, they are connected to the solenoid part 3. A voltage sensor 43 that measures the supply voltage to the solenoid section 3, a current/resistance sensor 44 that measures the current value when energized and the resistance value when not energized in the solenoid section 3, and the internal temperature of the housing section 6. It is provided with a temperature sensor 45 that measures and a magnetic sensor 46 that measures the strength of magnetism generated by the solenoid unit 3.

또, 복수의 센서(4)는 각 부의 동작 이력에 관한 정보를 취득하는 센서군으로서, 솔레노이드부(3)의 가동 시간으로서 솔레노이드부에 대한 통전 시간의 합계 및 현재의 통전 연동 시간의 적어도 일방을 계측하는 가동 시간계(47)와, 전자 밸브(1), 구동 장치(12) 및 메인 밸브(11) 각각의 작동 횟수를 계수하는 작동 카운터(48)를 구비한다.In addition, the plurality of sensors 4 are a group of sensors that acquire information about the operation history of each part, and as the operation time of the solenoid part 3, at least one of the sum of the energization time to the solenoid part and the current energization interlocking time is used. It is provided with an operation time meter 47 that measures the operation time, and an operation counter 48 that counts the number of operations of each of the solenoid valve 1, the drive device 12, and the main valve 11.

제어부(7)는 복수의 센서(4)에 의해 취득된 전자 밸브(1)의 각 부의 상태를 나타내는 정보를 처리함과 함께, 전자 밸브(1)의 각 부를 제어하는 마이크로 컨트롤러(70)와, 솔레노이드부(3)의 통전 상태를 제어하고, 시험 운전시에 있어서의 메인 밸브(11)의 개폐 조작을 실시하는 밸브 테스트 스위치(71)를 구비한다.The control unit 7 includes a microcontroller 70 that processes information indicating the state of each part of the solenoid valve 1 acquired by a plurality of sensors 4 and controls each part of the solenoid valve 1; A valve test switch 71 is provided to control the energized state of the solenoid section 3 and to open and close the main valve 11 during test operation.

마이크로 컨트롤러(70)는, CPU(Central Processing Unit) 등의 프로세서(도시 생략)와, ROM(Read Only Memory), RAM(Random Access Memory) 등에 의해 구성되는 내부 기억부(701)를 구비한다.The microcontroller 70 is provided with a processor (not shown) such as a CPU (Central Processing Unit), and an internal storage unit 701 composed of ROM (Read Only Memory), RAM (Random Access Memory), etc.

내부 기억부(701)에는, 전자 밸브(1)가 동작할 때의 설정치, 전자 밸브(1)가 동작했을 때의 일시 기억 데이터, 및, 전자 밸브(1)의 동작을 제어하는 전자 밸브 제어 프로그램 등이 기억되어 있다.The internal storage unit 701 contains a setting value when the solenoid valve 1 operates, temporary storage data when the solenoid valve 1 operates, and a solenoid valve control program that controls the operation of the solenoid valve 1. etc. are remembered.

마이크로 컨트롤러(70)의 프로세서는 내부 기억부(701)에 기억된 전자 밸브 제어 프로그램을 실행함으로써, 복수의 센서(4)에 의해 전자 밸브(1)의 각 부의 상태를 감시하는 감시 처리를 실행하는 감시 처리부(700)로서 기능한다. 또한, 감시 처리부(700) 및 감시 처리의 상세한 내용은 후술한다.The processor of the microcontroller 70 executes a monitoring process to monitor the state of each part of the solenoid valve 1 by the plurality of sensors 4 by executing the solenoid valve control program stored in the internal memory 701. It functions as a monitoring processing unit 700. Additionally, details of the monitoring processing unit 700 and monitoring processing will be described later.

밸브 테스트 스위치(71)는 소정 시험 운전 조건이 만족되었을 경우에 마이크로 컨트롤러(70)로부터의 지령을 받아, 시험 운전으로서, 전자 밸브(1)의 풀 스트로크 테스트(이하, 「FST」라고 한다.) 또는 파셜 스트로크 테스트(이하, 「PST」라고 한다)를 실행한다.When predetermined test operation conditions are satisfied, the valve test switch 71 receives a command from the microcontroller 70 and performs a full stroke test (hereinafter referred to as “FST”) of the solenoid valve 1 as a test operation. Alternatively, a partial stroke test (hereinafter referred to as “PST”) is performed.

FST는 메인 밸브(11)를 전체 열림 상태로부터 전체 닫힘 상태로 조작하여 전체 열림 상태로 되돌림으로써, 유체압 구동 밸브(10)의 이상을 진단하는 것이다. PST는, 메인 밸브(11)를 전체 열림 상태로부터 소정 개도까지 부분적으로 닫고 전체 열림 상태로 되돌림으로써, 메인 밸브(11)를 전체 닫힘 상태로 조작하지 않고(즉, 플랜트 설비를 정지하지 않고), 유체압 구동 밸브(10)의 이상을 진단하는 것이다.FST diagnoses abnormalities in the fluid pressure drive valve 10 by operating the main valve 11 from a fully open state to a fully closed state and then returning it to the fully open state. The PST partially closes the main valve 11 from the fully open state to a predetermined opening degree and returns it to the fully open state, without operating the main valve 11 to a fully closed state (i.e., without stopping the plant equipment). Diagnosing abnormalities in the fluid pressure drive valve 10.

FST 및 PST는 감시 처리부(700)에 의한 감시 처리(「제2 감시 처리」로서 후술한다.)와 병행하여 실행된다. 이 때문에, 메인 밸브(11)가 조작되었을 때에 각 센서(4)에 의해 취득된 전자 밸브(1)의 상태에 기초하여, 당해 조작이 소정 설정 시간 내에 완료되었는지 여부를 판정함으로써, 유체압 구동 밸브(10)의 이상을 진단하는 것이 가능하다. 또, 메인 밸브(11)가 조작되었을 때에 각 센서(4)에 의해 취득된 전자 밸브(1)의 상태의 시계열 변화를 해석하는(예를 들어, 정상시의 시계열 변화와 비교하는) 것에 의해, 유체압 구동 밸브(10)의 이상을 진단하는 것이 가능하다.FST and PST are executed in parallel with monitoring processing (described later as “second monitoring processing”) by the monitoring processing unit 700. For this reason, based on the state of the solenoid valve 1 acquired by each sensor 4 when the main valve 11 is operated, it is determined whether or not the operation was completed within a predetermined set time, so that the fluid pressure driven valve It is possible to diagnose abnormalities in (10). In addition, by analyzing the time series change in the state of the solenoid valve 1 acquired by each sensor 4 when the main valve 11 is operated (e.g., comparing it with the time series change during normal times), It is possible to diagnose abnormalities in the fluid pressure drive valve 10.

또한, 시험 운전 조건으로는, 예를 들어, 내부 기억부(701)의 설정치로서 지정된 실행 빈도(예를 들어, 1년에 1회)에 의한 실행 시기나 특정한 지정 일시가 도래하거나, 외부 장치(15)(예를 들어, 플랜트 관리용의 컴퓨터)로부터의 실행 명령을 접수하거나, 전자 밸브(1)에 형성된 시험 실행 버튼(도시 생략)이 관리자에 의해 조작되었을 경우에, 시험 운전 조건을 만족하는 것으로 하여, 시험 운전이 실행되도록 하면 된다.In addition, the test operation conditions include, for example, the arrival of an execution time at an execution frequency (for example, once a year) specified as a setting value of the internal memory 701 or a specific designated date and time, or the arrival of an external device ( 15) When an execution command is received from (for example, a computer for plant management) or the test execution button (not shown) formed on the solenoid valve 1 is operated by the manager, the test operation conditions are satisfied. As such, a test run can be performed.

통신부(8)는 HART(Highway Addressable Remote Transducer) 통신 규격에 따라 외부 장치(15)와의 사이에서 데이터의 송수신을 실시하는 통신 모뎀(80)과, 제어 전류(4~20 mA의 아날로그 신호)를 입출력하는 루프 전류 제어기(81)를 구비한다. 통신 모뎀(80)이 송신 대상의 데이터를 주파수 신호로 변환하면, 루프 전류 제어기(81)는 당해 주파수 신호를 제어 전류에 중첩한 중첩 신호를 외부 장치(15)에 송신한다. 루프 전류 제어기(81)가 외부 장치(15)로부터 중첩 신호를 수신하고, 당해 중첩 신호로부터 주파수 신호를 분리하면, 통신 모뎀(80)은 당해 주파수 신호를 수신 대상의 데이터로 변환한다.The communication unit 8 inputs and outputs a communication modem 80 that transmits and receives data with an external device 15 according to the HART (Highway Addressable Remote Transducer) communication standard, and a control current (analog signal of 4 to 20 mA). It is provided with a loop current controller 81 that operates. When the communication modem 80 converts the data to be transmitted into a frequency signal, the loop current controller 81 transmits a superimposed signal obtained by superimposing the frequency signal on the control current to the external device 15. When the loop current controller 81 receives an overlapping signal from the external device 15 and separates a frequency signal from the overlapping signal, the communication modem 80 converts the frequency signal into data to be received.

전원 회로부(9)는 전력 케이블(160)이 터미널 박스(62)에 역접속되었을 경우에 발생하는 역전압으로부터 제어부(7)를 보호하는 역전압 보호 회로(90)와, 외부 전원(16)으로부터 전력 케이블(160)을 통하여 공급된 전력을 소정 전압 및 전류로 변환하고, 전자 밸브(1)의 각 부(솔레노이드부(3), 센서(4), 기판(5), 제어부(7) 및 통신부(8) 등)에 공급하는 내부 전원 회로(91)를 구비한다.The power circuit unit 9 includes a reverse voltage protection circuit 90 that protects the control unit 7 from reverse voltage generated when the power cable 160 is reversely connected to the terminal box 62, and an external power source 16. The power supplied through the power cable 160 is converted into a predetermined voltage and current, and each part of the electromagnetic valve 1 (solenoid part 3, sensor 4, board 5, control part 7, and communication part) It is provided with an internal power circuit (91) that supplies power to (8), etc.).

도 4에 나타내는 바와 같이, 제1 기판(50)은 제1 압력 센서(40), 제2 압력 센서(41), 메인 밸브 개도 센서(42), 전압 센서(43), 전류·저항 센서(44), 온도 센서(45), 가동 시간계(47), 작동 카운터(48), 제어부(7), 통신 모뎀(80) 및 역전압 보호 회로(90)가 재치된다. 제2 기판(51)은 루프 전류 제어기(81) 및 내부 전원 회로(91)가 재치된다. 제3 기판(52)은 자기 센서(46)가 재치된다.As shown in FIG. 4, the first substrate 50 includes a first pressure sensor 40, a second pressure sensor 41, a main valve opening sensor 42, a voltage sensor 43, and a current/resistance sensor 44. ), temperature sensor 45, operation time meter 47, operation counter 48, control unit 7, communication modem 80, and reverse voltage protection circuit 90 are provided. The second board 51 is equipped with a loop current controller 81 and an internal power circuit 91. The magnetic sensor 46 is placed on the third substrate 52.

또한, 복수의 센서(4)로는, 상기의 센서(40~48)에 한정되지 않으며, 다른 물리량이나 동작 이력에 관한 정보를 취득하는 센서를 추가로 구비하고 있어도 되고, 이들 센서(40~48)의 일부가 생략되어 있어도 된다. 또, 복수의 센서(4)가 각 기판(50~52)에 재치될 때의 각 센서(40~48)의 재치 상태는 도 4에 나타내는 예에 한정되지 않으며, 적절히 변경해도 된다. 또한, 수용부(6)에 수용되는 기판(5)의 장 수나, 수용부(6)에 대한 각 기판(50~52)의 배치에 대해서도 적절히 변경해도 된다.In addition, the plurality of sensors 4 are not limited to the above sensors 40 to 48, and may further include sensors that acquire information about other physical quantities or operation history, and these sensors 40 to 48 Part of may be omitted. In addition, when the plurality of sensors 4 are mounted on each substrate 50 to 52, the mounting state of each sensor 40 to 48 is not limited to the example shown in FIG. 4 and may be changed as appropriate. Additionally, the number of substrates 5 accommodated in the accommodating portion 6 and the arrangement of each substrate 50 to 52 with respect to the accommodating portion 6 may be changed as appropriate.

또, 상기의 센서(40~48)는 도 3, 도 4에 나타내는 바와 같이, 각각의 센서가 개별적으로 형성된 것에 한정되지 않으며, 특정한 센서가 다른 센서의 기능을 겸하는 것에 의해, 당해 다른 센서가 개별적으로 형성되어 있지 않아도 된다. 예를 들어, 자기 센서(46)가 솔레노이드부(3)가 발생하는 자기의 세기를 계측함과 함께, 당해 자기의 세기에 기초하여 솔레노이드부(3)에 있어서의 통전시의 전류치를 구함으로써, 전류·저항 센서(44)가 개별적으로 형성되어 있지 않아도 된다. 또, 마이크로 컨트롤러(70)가 센서의 기능을 내장하거나, 센서의 기능의 일부를 실현해도 되고, 예를 들어, 마이크로 컨트롤러(70)가 가동 시간계(47) 및 작동 카운터(48)를 내장함으로써, 가동 시간계(47) 및 작동 카운터(48)가 개별적으로 형성되어 있지 않아도 된다.In addition, the above-mentioned sensors 40 to 48 are not limited to those formed individually as shown in FIGS. 3 and 4, and a specific sensor also functions as another sensor, so that the other sensor can operate individually. It does not have to be formed as . For example, the magnetic sensor 46 measures the strength of the magnetism generated by the solenoid unit 3 and determines the current value when the solenoid unit 3 is energized based on the strength of the magnetism, The current/resistance sensor 44 does not need to be formed individually. In addition, the microcontroller 70 may have a sensor function built in, or may implement part of the sensor function, for example, the microcontroller 70 may have a running time meter 47 and an operation counter 48 built in. , the operation time meter 47 and the operation counter 48 do not need to be formed separately.

(전자 밸브의 감시 기능에 대해)(About the monitoring function of the solenoid valve)

다음으로, 감시 처리부(700) 및 감시 처리의 상세한 것에 대하여 설명한다.Next, details of the monitoring processing unit 700 and monitoring processing will be described.

도 5는 본 발명의 실시형태에 관련된 감시 처리부(700)의 기능의 일례를 나타내는 타이밍 차트이다. 도 6은 제1 취득 데이터(DA) 및 제1 취득 데이터군(SA)의 일례를 나타내는 데이터 구성도이다. 도 7은 제2 취득 데이터(DB) 및 제2 취득 데이터군(SB)의 일례를 나타내는 데이터 구성도이다.Figure 5 is a timing chart showing an example of the function of the monitoring processing unit 700 related to the embodiment of the present invention. Fig. 6 is a data configuration diagram showing an example of first acquisition data (DA) and first acquisition data group (SA). Fig. 7 is a data configuration diagram showing an example of the second acquisition data DB and the second acquisition data group SB.

감시 처리부(700)는 정상 운전 중에, 메인 밸브(11)의 개폐 조작의 유무에 관계없이, 복수의 센서(4) 중 적어도 1개의 센서(4)(이하, 「제1 감시 대상 센서(4A)」라고 한다)를 사용하여 전자 밸브(1)의 상태를 감시하는 「제1 감시 처리」를 실행한다.During normal operation, the monitoring processing unit 700 monitors at least one sensor 4 (hereinafter referred to as “first monitoring target sensor 4A”) among the plurality of sensors 4, regardless of whether the main valve 11 is opened or closed. ") is used to execute the "first monitoring process" that monitors the state of the solenoid valve 1.

또, 감시 처리부(700)는 FST 또는 PST에 의해 메인 밸브(11)의 개폐 조작이 실시되는 비정상 운전 중에, 복수의 센서(4) 중 적어도 1개의 센서(이하, 「제2 감시 대상 센서(4B)」라고 한다)를 사용하여 전자 밸브(1)의 상태를 감시하는 「제2 감시 처리」를 실행한다.In addition, the monitoring processing unit 700 monitors at least one sensor (hereinafter referred to as “second monitoring target sensor 4B”) among the plurality of sensors 4 during abnormal operation in which the main valve 11 is opened and closed by FST or PST. )”) is used to execute the “second monitoring process” that monitors the state of the solenoid valve 1.

제1 감시 처리에서는, 감시 처리부(700)는 도 5에 나타내는 바와 같이, 제1 샘플링 주기(PA)(예를 들어, 10초 간격)로 제1 감시 대상 센서(4A)에 의해 취득된 전자 밸브(1)의 상태를 제1 취득 데이터(DA)(i)로서 취득하고, 당해 제1 취득 데이터(DA)(i)에 대해, 취득할 때마다 통신부(8)를 통하여 외부 장치(15)에 순차적으로 송신한다. 외부 장치(15)에서는, 제1 취득 데이터(DA)(i)를 순차적으로 수신함으로써, 제1 취득 데이터(DA)(i)와 당해 제1 취득 데이터(DA)(i)를 취득한 취득 시각(TA)(i)을 연관 지어 구성하는 제1 취득 데이터군(SA)이 축적된다.In the first monitoring process, as shown in FIG. 5, the monitoring processing unit 700 monitors the electromagnetic valve acquired by the first monitoring target sensor 4A at a first sampling period PA (for example, at 10 second intervals). The state of (1) is acquired as first acquisition data (DA)(i), and the first acquisition data (DA)(i) is sent to the external device 15 through the communication unit 8 each time it is acquired. Send sequentially. The external device 15 sequentially receives the first acquisition data (DA) (i), thereby acquiring the first acquisition data (DA) (i) and the acquisition time ( The first acquisition data group (SA) constituted by associating TA)(i) is accumulated.

이 때문에, 감시 처리부(700)가 제1 감시 처리를 실행하며, 제1 샘플링 주기(PA)로 m회의 제1 취득 데이터(DA)(i)(i=1, 2,…, m)를 취득했을 경우, 외부 장치(15)에는, 도 6에 나타내는 제1 취득 데이터군(SA)이 축적된다.For this reason, the monitoring processing unit 700 executes the first monitoring processing and acquires the first acquisition data (DA)(i) (i=1, 2,..., m) m times in the first sampling period (PA). In this case, the first acquisition data group SA shown in FIG. 6 is stored in the external device 15.

제2 감시 처리에서는, 감시 처리부(700)는 도 5에 나타내는 바와 같이, 전자 밸브(1)의 조작이 실시되는 조작 기간(Q)에 있어서, 제1 샘플링 주기(PA)보다 짧은 제2 샘플링 주기(PB)(예를 들어, 10 msec 간격)로 제2 감시 대상 센서(4B)에 의해 취득된 전자 밸브(1)의 상태를 제2 취득 데이터(DB)(j)로서 각각 취득한다. 그리고, 감시 처리부(700)는 조작 기간(Q) 내에 각각 취득한 제2 취득 데이터(DB)(j)와 당해 제2 취득 데이터(DB)(j)의 각각을 취득한 취득 시각(TB)(j)을 연관 지어 구성하는 제2 취득 데이터군(SB)을 일시 기억 데이터로서 내부 기억부(701)에 기억한다.In the second monitoring process, as shown in FIG. 5, the monitoring processing unit 700 performs a second sampling period shorter than the first sampling period PA in the operation period Q during which the solenoid valve 1 is operated. The state of the solenoid valve 1 acquired by the second monitoring target sensor 4B at (PB) (for example, at 10 msec intervals) is respectively acquired as second acquisition data DB(j). And, the monitoring processing unit 700 determines the second acquisition data (DB) (j) each acquired within the operation period (Q) and the acquisition time (TB) (j) at which each of the second acquisition data (DB) (j) is acquired. The second acquisition data group (SB) formed by linking is stored in the internal storage unit 701 as temporary storage data.

이 때문에, 감시 처리부(700)가 제2 감시 처리를 실행하고, 조작 기간(Q)에 있어서 제2 샘플링 주기(PB)로 n회의 제2 취득 데이터(DB)(j)(j=1, 2,…, n)를 취득했을 경우, 내부 기억부(701)에는, 도 7에 나타내는 제2 취득 데이터군(SB)이 축적된다.For this reason, the monitoring processing unit 700 executes the second monitoring processing, and acquires the second acquisition data DB (j) (j) (j = 1, 2) n times with the second sampling period (PB) in the operation period (Q). When ,..., n) is acquired, the second acquired data group SB shown in FIG. 7 is stored in the internal storage unit 701.

이상과 같이, 상기 실시형태에 관련된 전자 밸브(1)에 의하면, 감시 처리부(700)가 제1 감시 처리에서는, 제1 샘플링 주기(PA)로 전자 밸브(1)의 상태를 제1 취득 데이터(DA)로서 취득하고, 당해 제1 취득 데이터(DA)에 대해, 취득할 때마다 통신부(외부 송신부)(8)를 통하여 외부 장치(15)에 순차적으로 송신함과 함께, 제2 감시 처리에서는, 전자 밸브(1)의 조작이 실시되는 조작 기간(Q)에 있어서, 제1 샘플링 주기보다 짧은 제2 샘플링 주기(PB)(<PA)로 전자 밸브(1)의 상태를 제2 취득 데이터(DB)로서 각각 취득하고, 조작 기간(Q) 내에 각각 취득한 제2 취득 데이터(DB)와 당해 제2 취득 데이터(DB)의 각각을 취득한 취득 시각(TB)을 연관 지어 구성하는 제2 취득 데이터군(취득 데이터군)(SB)을 내부 기억부(701)에 기억한다.As described above, according to the solenoid valve 1 according to the above embodiment, in the first monitoring process, the monitoring processing unit 700 records the state of the solenoid valve 1 at the first sampling period PA as first acquisition data ( DA) and sequentially transmit the first acquisition data (DA) to the external device 15 through the communication unit (external transmission unit) 8 each time it is acquired, and in the second monitoring process, In the operation period (Q) during which the operation of the solenoid valve 1 is performed, the state of the solenoid valve 1 is monitored using the second acquisition data (DB) with a second sampling period (PB) (<PA) shorter than the first sampling period. A second acquisition data group ( The acquired data group (SB) is stored in the internal storage unit 701.

이 때문에, 비교적 긴 주기(제1 샘플링 주기(PA))로 계속적으로 실행되는 제1 감시 처리로 취득된 제1 취득 데이터(DA)에 대해서는, 취득할 때마다 통신부(8)를 통하여 외부 장치(15)에 순차적으로 송신하기 때문에, 내부 기억부(701)에 부하를 가하지 않으며, 또, 통신부(8)의 통신 간격(=제1 샘플링 주기(PA))이 확보되어 있기 때문에 통신부(8)에 과도한 부하를 가하지도 않는다. 그리고, 외부 장치(15)에 송신된 제1 취득 데이터(DA)는, 메인 밸브(11)의 개폐 조작에 관계없이, 제1 샘플링 주기(PA)에 의해 계속적으로 취득된 것이기 때문에, 예를 들어 임계값을 설정하여 각 부의 고장을 검출하는 것과 같은 사후 보전을 실시하는 데이터로서 이용할 수 있고, 또, 예를 들어 취득된 데이터의 시계열을 해석함으로써 각 부의 고장의 경향을 파악하는 것과 같은 전조 보전을 실시하기 위한 데이터로서 이용할 수 있다.For this reason, with respect to the first acquisition data DA acquired by the first monitoring process continuously performed at a relatively long period (first sampling period PA), the external device (DA) is transmitted through the communication unit 8 each time it is acquired. 15), no load is applied to the internal storage unit 701, and since the communication interval (= first sampling period (PA)) of the communication unit 8 is secured, Do not apply excessive load. And, since the first acquisition data DA transmitted to the external device 15 is continuously acquired according to the first sampling period PA regardless of the opening and closing operation of the main valve 11, for example It can be used as data for ex post maintenance, such as detecting failures in each part by setting a threshold, and can also be used for predictive maintenance, such as understanding the trend of failure in each part by analyzing the time series of the acquired data, for example. It can be used as data for implementation.

또, 전자 밸브(1)의 조작이 실시되는 조작 기간(Q)에 있어서, 비교적 짧은 주기(제2 샘플링 주기(PB))로 일시적으로 실행되는 제2 감시 처리로 취득된 제2 취득 데이터(DA)에 대해서는, 조작 기간(Q) 내에 각각 취득한 제2 취득 데이터(DB)와 당해 제2 취득 데이터(DB)의 각각을 취득한 취득 시각(TB)을 연관 지어 구성하는 취득 데이터군(SB)을 내부 기억부(701)에 기억하기 때문에, 통신부(8)에 부하를 가하지 않으며, 또, 조작 기간(Q) 내로 한정되어 있기 때문에 내부 기억부(701)에 과도한 부하를 가하지도 않는다. 그리고, 내부 기억부(701)에 기억된 제2 취득 데이터군(SB)은, 전자 밸브(1)의 조작이 실시되는 조작 기간(Q)에 맞추어, 전자 밸브(1)의 각 부의 상태가 제2 샘플링 주기(PB)에 의해 상세하게 취득된 것이기 때문에, 전조 보전을 실시하기 위한 데이터로서 이용할 수 있다. 또한, 내부 기억부(701)에 기억된 제2 취득 데이터군(SB)은, 사후 보전을 실시하기 위한 데이터로도 이용할 수 있다.In addition, in the operation period Q during which the solenoid valve 1 is operated, the second acquisition data DA acquired by the second monitoring process temporarily executed in a relatively short period (second sampling period PB) ), the acquisition data group (SB) constituted by linking the second acquisition data (DB) each acquired within the operation period (Q) and the acquisition time (TB) at which each of the second acquisition data (DB) was acquired is internally Because it is stored in the storage unit 701, no load is applied to the communication unit 8, and since it is limited to the operation period Q, an excessive load is not applied to the internal storage unit 701. And, the second acquisition data group SB stored in the internal storage unit 701 shows the state of each part of the solenoid valve 1 in accordance with the operation period Q during which the solenoid valve 1 is operated. Since it is acquired in detail with a two-sampling cycle (PB), it can be used as data for performing predictive maintenance. Additionally, the second acquisition data group SB stored in the internal storage unit 701 can also be used as data for post-storage.

따라서, 통신부(8) 및 내부 기억부(701)에 대한 과대한 부하를 억제하면서, 전자 밸브(1)의 조작이 실시되는 조작 기간(Q)뿐만 아니라, 조작 기간(Q) 이외의 기간도 포함하여, 전조 보전에 유용한 데이터를 취득할 수 있다.Therefore, while suppressing the excessive load on the communication unit 8 and the internal storage unit 701, not only the operation period Q in which the solenoid valve 1 is operated, but also periods other than the operation period Q are included. Thus, useful data for precursor conservation can be obtained.

또한, 제2 감시 처리에서는, 감시 처리부(700)는 도 5에 나타내는 바와 같이, 제2 취득 데이터군(SB)을 내부 기억부(701)에 기억한 후, 제1 감시 처리에 있어서 제1 취득 데이터(DA)를 순차적으로 송신하는 제1 송신 타이밍(CA)과는 상이한 제2 송신 타이밍(CB)으로, 당해 제2 취득 데이터군(SB)을 통신부(8)를 통하여 외부 장치(15)에 송신하도록 해도 된다. 이로써, 제1 취득 데이터(DA) 및 제2 취득 데이터군(SB)의 쌍방을 확실하게 외부 장치(15)에 송신할 수 있다.In addition, in the second monitoring process, the monitoring processing unit 700 stores the second acquisition data group SB in the internal storage unit 701, as shown in FIG. 5, and then performs the first acquisition in the first monitoring processing. At the second transmission timing (CB), which is different from the first transmission timing (CA) for sequentially transmitting the data (DA), the second acquisition data group (SB) is transmitted to the external device 15 through the communication unit 8. You may send it. Thereby, both the first acquisition data DA and the second acquisition data group SB can be reliably transmitted to the external device 15.

또, 제1 감시 처리에 있어서의 제1 감시 대상 센서(4A)는 복수의 센서(4) 모두를 사용해도 되고, 그 중 일부의 센서를 사용해도 된다. 또한, 제2 감시 처리에 있어서의 제2 감시 대상 센서(4B)에 대해서도 마찬가지로, 복수의 센서(4) 모두를 사용해도 되고, 그 중 일부의 센서를 사용해도 된다. 또, 제1 감시 대상 센서(4A)와 제2 감시 대상 센서(4B) 사이에서 센서 종류 또는 센서 수를 비교했을 경우, 양자는 동일해도 되고, 상이해도 된다.In addition, the first monitoring target sensor 4A in the first monitoring process may use all of the plurality of sensors 4 or some of them. Likewise, regarding the second monitoring target sensor 4B in the second monitoring process, all of the plurality of sensors 4 may be used, or some of them may be used. Additionally, when the sensor type or number of sensors is compared between the first monitoring target sensor 4A and the second monitoring target sensor 4B, both may be the same or different.

상기 중 양자의 센서수가 상이한 경우로서, 특히, 제2 감시 대상 센서(제2 센서군)(4B)의 센서수가 제1 감시 대상 센서(제1 센서군)(4A)의 센서 수보다 적은 경우의 실시예로서, 감시 처리부(700)는 제1 감시 대상 센서(4A)로서, 도 6에 나타내는 바와 같이, 제1 압력 센서(40), 제2 압력 센서(41), 메인 밸브 개도 센서(42), 전압 센서(43), 전류·저항 센서(44), 온도 센서(45), 자기 센서(46), 가동 시간계(47), 및, 작동 카운터(48)의 9개의 센서(4)를 사용하여 제1 감시 처리를 실행하며, 제2 감시 대상 센서(4B)로서, 도 7에 나타내는 바와 같이, 제2 압력 센서(41) 및 메인 밸브 개도 센서(42)를 사용하여 제2 감시 처리를 실행하도록 해도 된다. 이로써, 제1 감시 처리에서는, 전자 밸브(1)의 전체를 감시함으로써 여러 가지 사상을 파악하여 사후 보전 및 전조 보전을 실시할 수 있고, 제2 감시 처리에서는, 내부 기억부(701)에 대한 부하(제2 취득 데이터군(SB)의 기억 용량)를 억제하면서, 전자 밸브(1) 및 유체압 구동 밸브(10)가 동작했을 때의 상태를 상세하게 해석하여 전조 보전, 나아가서는 사후 보전을 실시할 수 있다.In the case where the number of sensors is different between the two, especially in the case where the number of sensors of the second target sensor (second sensor group) 4B is less than the number of sensors of the first target sensor (first sensor group) 4A, As an example, the monitoring processing unit 700 is the first monitoring target sensor 4A, and as shown in FIG. 6, the first pressure sensor 40, the second pressure sensor 41, and the main valve opening sensor 42 , using nine sensors (4): voltage sensor (43), current/resistance sensor (44), temperature sensor (45), magnetic sensor (46), operation time meter (47), and operation counter (48). The first monitoring process is executed, and the second monitoring process is performed using the second pressure sensor 41 and the main valve opening sensor 42 as the second monitoring target sensor 4B, as shown in FIG. 7. You may do so. Accordingly, in the first monitoring process, various events can be grasped by monitoring the entire solenoid valve 1 and ex post maintenance and predictive maintenance can be performed, and in the second monitoring process, the load to the internal memory 701 While suppressing (the storage capacity of the second acquisition data group (SB)), the state when the solenoid valve 1 and the fluid pressure drive valve 10 operate is analyzed in detail to perform proactive maintenance and even post-maintenance. can do.

또, 감시 처리부(700)가 제1 감시 처리 및 제2 감시 처리를 실행할 때의 조건(예를 들어, 상기 제1 감시 대상 센서(4A) 및 제2 감시 대상 센서(4B)나, 제1 샘플링 주기(PA) 및 제2 샘플링 주기(PB))은, 예를 들어, 내부 기억부(701)의 설정치로서 지정되어 있어도 된다. 그 경우에는, 당해 설정치는 외부 장치(15)(예를 들어, 플랜트 관리용의 컴퓨터나 진단용 컴퓨터)나 전자 밸브(1)에 형성된 조작 패널(도시 생략) 등을 통하여 변경 가능해도 된다. 또한, 당해 설정치는 고정치여도 되고, 소정 조건하에서 변동하는 변동치여도 된다.In addition, the conditions under which the monitoring processing unit 700 executes the first monitoring process and the second monitoring process (e.g., the first monitoring target sensor 4A and the second monitoring target sensor 4B, or the first sampling The period (PA) and the second sampling period (PB) may be specified as settings in the internal storage unit 701, for example. In that case, the setting value may be changed through the external device 15 (for example, a computer for plant management or a computer for diagnosis) or an operation panel (not shown) provided on the electromagnetic valve 1. Additionally, the set value may be a fixed value or a variable value that fluctuates under predetermined conditions.

(다른 실시형태)(Other Embodiments)

이상, 본 발명의 실시형태에 대해 설명하였으나, 본 발명은 상기 실시형태로 한정되지 않으며, 본 발명의 기술적 사상을 일탈하지 않는 범위에서 적절히 변경 가능하다.Although the embodiments of the present invention have been described above, the present invention is not limited to the above-described embodiments and may be appropriately modified without departing from the technical spirit of the present invention.

예를 들어, 상기 실시형태에서는, 구동 장치(12)는 밸브 축(13)을 회전 구동시키는 것으로서 설명하였으나, 밸브 축(13)을 왕복 직선 구동시키도록 해도 된다. 이 경우, 밸브 축(13)을 왕복 직선 구동시킴에 따라 개폐 조작이 실시되는 메인 밸브(11)로서, 예를 들어, 게이트 밸브나 글로브 밸브 등의 형식을 사용하도록 해도 된다.For example, in the above embodiment, the driving device 12 has been described as rotating the valve shaft 13, but it may also cause the valve shaft 13 to be driven linearly and reciprocally. In this case, as the main valve 11, which is opened and closed by linearly driving the valve shaft 13, a gate valve or globe valve may be used, for example.

또한, 이 경우의 전자 밸브(1)의 구성으로는, 수용부(6)가 구동 장치(12)에 의해 왕복 직선 구동되는 밸브 축의 단부가 삽입되는 축 삽입구를 가짐과 함께, 당해 밸브 축이 왕복 직선 구동되는 것에 연동하여 회전 축을 회전 구동시키는 구동력 전달 기구(예를 들어, 랙 앤드 피니언 기구, 링크 기구, 캠 기구 등)를 수용한다. 그리고, 제1 기판(50)의 기판면이 당해 회전 축을 따르도록 배치되어 있으며, 메인 밸브 개도 센서(42)가 제1 기판(50)의 기판면 중 당해 회전 축의 축 주위의 외주에 대향하는 위치에 재치되어, 메인 밸브(11)의 밸브 개도를 구하기 위하여, 당해 회전 축의 회전 각도를 계측하도록 하면 된다.In addition, in the configuration of the solenoid valve 1 in this case, the accommodating portion 6 has a shaft insertion hole into which the end of the valve shaft that is linearly driven to reciprocate by the drive device 12 is inserted, and the valve shaft is reciprocated. It accommodates a driving force transmission mechanism (e.g., rack and pinion mechanism, link mechanism, cam mechanism, etc.) that rotates the rotation shaft in conjunction with the linear drive. The substrate surface of the first substrate 50 is arranged along the rotation axis, and the main valve opening sensor 42 is located at a position on the substrate surface of the first substrate 50 that faces the outer periphery around the axis of the rotation axis. It is sufficient to measure the rotation angle of the rotation axis in order to determine the valve opening degree of the main valve 11.

또, 상기의 구동력 전달 기구는 수용부(6)의 외부에 배치되어 있어도 되고, 이 경우에는, 구동력 전달 기구에 의해 회전 구동되는 회전 축의 단부가 축 삽입구로부터 삽입됨과 함께, 제1 기판(50)의 기판면이 축 삽입구로부터 삽입된 회전 축을 따르도록 배치되어 있으며, 메인 밸브 개도 센서(42)가 메인 밸브(11)의 밸브 개도를 구하기 위하여, 밸브 축(13)의 회전 각도 대신에, 당해 회전 축의 회전 각도를 계측하도록 하면 된다.Additionally, the driving force transmission mechanism may be disposed outside the accommodating portion 6. In this case, the end of the rotation shaft driven to rotate by the driving force transmission mechanism is inserted through the shaft insertion hole, and the first substrate 50 The substrate surface is arranged to follow the rotation axis inserted from the shaft insertion hole, and the main valve opening sensor 42 is used to calculate the valve opening of the main valve 11, instead of the rotation angle of the valve shaft 13. Simply measure the rotation angle of the axis.

1…전자 밸브, 2…스풀부, 3…솔레노이드부,
4…센서, 4A…제1 감시 대상 센서, 4B…제2 감시 대상 센서,
5…기판, 6…수용부, 7…제어부, 8…통신부(외부 송신부), 9…전원 회로부,
10…유체압 구동 밸브, 11…메인 밸브, 12…구동 장치, 13…밸브 축,
14…공기 공급원, 15…외부 장치, 16…외부 전원,
20…입력 포트, 21…출력 포트, 22…배기 포트,
23…스풀 홀, 24…스풀 밸브, 25…스풀 스프링,
26…입력측 유로, 27…출력측 유로, 28…배기 유로,
30…솔레노이드 케이스, 31…솔레노이드 코일,
32…가동 철심, 33…고정 철심, 34…솔레노이드 스프링,
40…제1 압력 센서, 41…제2 압력 센서,
42…메인 밸브 개도 센서, 43…전압 센서, 44…전류·저항 센서,
45…온도 센서, 46…자기 센서, 47…가동 시간계, 48…작동 카운터,
50…제1 기판, 51…제2 기판, 52…제3 기판,
60…제1 수용부, 61…제2 수용부, 62…터미널 박스,
63…제1 유로, 64…제2 유로, 65…스풀 유로,
70…마이크로 컨트롤러, 71…밸브 테스트 스위치,
80…통신 모뎀, 81…루프 전류 제어기,
90…역전압 보호 회로, 91…내부 전원 회로,
100…배관, 110…밸브 상자, 111…밸브체,
120…실린더, 121…피스톤 로드,
122A…제1 피스톤, 122B…제2 피스톤,
123…코일 스프링, 124…공기 급배기구, 125…전달 기구,
130A…제1 단부, 130B…제2 단부,
140…제1 공기 배관, 141…제2 공기 배관,
150…통신 케이블, 160…전력 케이블,
500A…제1 기판면, 500B…제2 기판면,
610…하우징, 610a…제1 하우징 단부,
610b…제2 하우징 단부, 610c…축 삽입구, 610d…바디 삽입구,
610e…케이블 삽입구, 611…바디,
612…솔레노이드 커버, 613…터미널 박스 커버,
700…감시 처리부, 701…내부 기억부,
A…공기, Q…조작 기간
PA…제1 샘플링 주기, DA…제1 취득 데이터, TA…취득 시각,
CA…제1 송신 타이밍, SA…제1 취득 데이터군,
PB…제2 샘플링 주기, DB…제2 취득 데이터, TB…취득 시각,
CB…제2 송신 타이밍, SB…제2 취득 데이터군(취득 데이터군)
One… Solenoid valve, 2… Spool part, 3… Solenoid part,
4… Sensor, 4A… First monitored sensor, 4B... a second monitored sensor,
5… Substrate, 6… Receptor, 7… Control unit, 8… Communication department (external transmission department), 9… power circuit,
10… Hydrostatic actuated valve, 11… Main valve, 12… Drive unit, 13… valve shaft,
14… Air source, 15… External device, 16… external power,
20… Input port, 21… Output port, 22… exhaust port,
23… Spool hole, 24… Spool valve, 25… spool spring,
26… Input flow path, 27… Output side flow path, 28… exhaust flow path,
30… Solenoid case, 31… solenoid coil,
32… Movable iron core, 33… Fixed iron core, 34… solenoid spring,
40… First pressure sensor, 41... a second pressure sensor,
42… Main valve opening sensor, 43… Voltage sensor, 44… Current/resistance sensor,
45… Temperature sensor, 46… Magnetic sensor, 47… Uptime meter, 48… operating counter,
50… First substrate, 51... Second substrate, 52... third substrate,
60… First receptacle, 61... Second receptacle, 62... terminal box,
63… 1st Euro, 64… 2nd euro, 65… spool euro,
70… Microcontroller, 71… valve test switch,
80… Telecommunication modem, 81… loop current controller,
90… Reverse voltage protection circuit, 91… internal power circuit,
100… Plumbing, 110… Valve box, 111… valve body,
120… Cylinder, 121… piston rod,
122A… First piston, 122B... 2nd piston,
123… Coil spring, 124… Air supply and exhaust port, 125... delivery mechanism,
130A… First end, 130B... second end,
140… First air pipe, 141… secondary air piping,
150… Communication cable, 160… power cable,
500A… First substrate side, 500B... second substrate surface,
610… Housing, 610a… a first housing end,
610b… Second housing end, 610c... Shaft insertion hole, 610d… body insertion hole,
610e… Cable entry, 611… body,
612… Solenoid cover, 613… terminal box cover,
700… Surveillance Processing Unit, 701… internal memory,
A… Air, Q… operation period
PA… First sampling period, DA… First acquisition data, TA… time of acquisition,
CA… First transmission timing, SA... First acquisition data group,
PB… Second sampling period, DB… Second acquisition data, TB… time of acquisition,
CB… Second transmission timing, SB... Second acquisition data group (acquisition data group)

Claims (6)

전자 밸브로서,
당해 전자 밸브의 각 부의 상태를 취득하는 복수의 센서와,
외부 장치에 대해 데이터를 송신하는 외부 송신부와,
데이터를 기억하는 내부 기억부와,
제1 샘플링 주기로 상기 복수의 센서 중 적어도 1개의 센서에 의해 취득된 상기 전자 밸브의 상태를 제1 취득 데이터로서 취득하고, 당해 제1 취득 데이터에 대해, 취득할 때마다 상기 외부 송신부를 통하여 상기 외부 장치에 순차적으로 송신하는 제1 감시 처리, 및, 상기 전자 밸브의 조작이 실시되는 조작 기간에 있어서, 상기 제1 샘플링 주기보다 짧은 제2 샘플링 주기로 상기 복수의 센서 중 적어도 1개의 센서에 의해 취득된 상기 전자 밸브의 상태를 제2 취득 데이터로서 각각 취득하고, 상기 조작 기간 내에 각각 취득한 상기 제2 취득 데이터와 당해 제2 취득 데이터의 각각을 취득한 취득 시각을 연관 지어 구성하는 취득 데이터군을 상기 내부 기억부에 기억하는 제2 감시 처리를 실행하는 감시 처리부를 구비하고,
상기 감시 처리부는
정상 운전 중에, 상기 조작의 유무에 관계 없이, 상기 제1 감시 처리를 실행하며,
상기 조작 기간으로서, 상기 조작이 실시되는 비정상 운전 중에 상기 제2 감시 처리를 실행하는 것을 특징으로 하는 전자 밸브.
As an electromagnetic valve,
A plurality of sensors that acquire the status of each part of the solenoid valve,
an external transmitter that transmits data to an external device;
an internal storage unit that stores data,
The state of the electromagnetic valve acquired by at least one sensor among the plurality of sensors in a first sampling period is acquired as first acquisition data, and the first acquisition data is transmitted to the outside through the external transmitter each time it is acquired. In the operation period in which the first monitoring process is sequentially transmitted to the device and the operation of the solenoid valve is performed, the information obtained by at least one sensor among the plurality of sensors is obtained with a second sampling period shorter than the first sampling period. The state of the solenoid valve is respectively acquired as second acquisition data, and the acquisition data group configured by linking the second acquisition data respectively acquired within the operation period and the acquisition time at which each of the second acquisition data is acquired is internally stored. It has a monitoring processing unit that executes a second monitoring process stored in the unit,
The monitoring processing unit
During normal operation, regardless of whether or not the operation is performed, the first monitoring process is performed,
An electromagnetic valve characterized in that, as the operation period, the second monitoring process is performed during an abnormal operation in which the operation is performed.
전자 밸브로서,
당해 전자 밸브의 각 부의 상태를 취득하는 복수의 센서와,
외부 장치에 대해 데이터를 송신하는 외부 송신부와,
데이터를 기억하는 내부 기억부와,
제1 샘플링 주기로 상기 복수의 센서 중 적어도 1개의 센서에 의해 취득된 상기 전자 밸브의 상태를 제1 취득 데이터로서 취득하고, 당해 제1 취득 데이터에 대해, 취득할 때마다 상기 외부 송신부를 통하여 상기 외부 장치에 순차적으로 송신하는 제1 감시 처리, 및, 상기 전자 밸브의 조작이 실시되는 조작 기간에 있어서, 상기 제1 샘플링 주기보다 짧은 제2 샘플링 주기로 상기 복수의 센서 중 적어도 1개의 센서에 의해 취득된 상기 전자 밸브의 상태를 제2 취득 데이터로서 각각 취득하고, 상기 조작 기간 내에 각각 취득한 상기 제2 취득 데이터와 당해 제2 취득 데이터의 각각을 취득한 취득 시각을 연관 지어 구성하는 취득 데이터군을 상기 내부 기억부에 기억하는 제2 감시 처리를 실행하는 감시 처리부를 구비하고,
상기 감시 처리부는
상기 제1 감시 처리에 있어서, 상기 복수의 센서 중 제1 센서군에 의해 취득된 상기 상태를 상기 제1 취득 데이터로서 취득하고,
상기 제2 감시 처리에 있어서, 상기 복수의 센서 중 상기 제1 센서군의 센서 수보다 적은 제2 센서군에 의해 취득된 상기 상태를 상기 제2 취득 데이터로서 취득하는 것을 특징으로 하는 전자 밸브.
As an electromagnetic valve,
A plurality of sensors that acquire the status of each part of the solenoid valve,
an external transmitter that transmits data to an external device;
an internal storage unit that stores data,
The state of the electromagnetic valve acquired by at least one sensor among the plurality of sensors in a first sampling period is acquired as first acquisition data, and the first acquisition data is transmitted to the outside through the external transmitter each time it is acquired. In the operation period in which the first monitoring process is sequentially transmitted to the device and the operation of the solenoid valve is performed, the information obtained by at least one sensor among the plurality of sensors is obtained with a second sampling period shorter than the first sampling period. The state of the solenoid valve is respectively acquired as second acquisition data, and the acquisition data group configured by linking the second acquisition data respectively acquired within the operation period and the acquisition time at which each of the second acquisition data is acquired is internally stored. It has a monitoring processing unit that executes a second monitoring process stored in the unit,
The monitoring processing unit
In the first monitoring processing, the state acquired by a first sensor group among the plurality of sensors is acquired as the first acquisition data,
In the second monitoring process, the state acquired by a second sensor group smaller than the number of sensors in the first sensor group among the plurality of sensors is acquired as the second acquisition data.
제1항 또는 제2항에 있어서,
상기 전자 밸브는
메인 밸브에 연결된 밸브 축을 구동 유체의 유체압에 따라 구동시킴으로써 상기 메인 밸브의 개폐 조작을 실시하는 구동 장치에 대해, 상기 구동 유체의 급배기를 제어하는 기능을 갖고,
상기 감시 처리부는
정상 운전 중에, 상기 개폐 조작의 유무에 관계 없이, 상기 제1 감시 처리를 실행하며,
상기 조작 기간으로서, 풀 스트로크 테스트 또는 파셜 스트로크 테스트에 의해 상기 개폐 조작이 실시되는 비정상 운전 중에 상기 제2 감시 처리를 실행하는 것을 특징으로 하는 전자 밸브.
According to claim 1 or 2,
The electromagnetic valve is
A driving device that opens and closes the main valve by driving a valve shaft connected to the main valve according to the fluid pressure of the driving fluid, has a function of controlling the supply and exhaust of the driving fluid,
The monitoring processing unit
During normal operation, the first monitoring process is performed regardless of the presence or absence of the opening/closing operation,
An electromagnetic valve characterized in that, as the operation period, the second monitoring process is performed during abnormal operation in which the opening and closing operation is performed by a full stroke test or a partial stroke test.
제1항 또는 제2항에 있어서,
상기 감시 처리부는
상기 제2 감시 처리에 있어서 상기 취득 데이터군을 상기 내부 기억부에 기억한 후, 상기 제1 감시 처리에 있어서 상기 제1 취득 데이터를 순차적으로 송신하는 제1 송신 타이밍과는 상이한 제2 송신 타이밍으로, 당해 취득 데이터군을 상기 외부 송신부를 통하여 상기 외부 장치에 송신하는 것을 특징으로 하는 전자 밸브.
According to claim 1 or 2,
The monitoring processing unit
After storing the acquired data group in the internal storage in the second monitoring process, the first acquired data is sequentially transmitted at a second transmission timing different from the first transmission timing in the first monitoring process. , An electromagnetic valve characterized in that the acquired data group is transmitted to the external device through the external transmission unit.
제3항에 있어서,
상기 감시 처리부는
상기 제2 감시 처리에 있어서 상기 취득 데이터군을 상기 내부 기억부에 기억한 후, 상기 제1 감시 처리에 있어서 상기 제1 취득 데이터를 순차적으로 송신하는 제1 송신 타이밍과는 상이한 제2 송신 타이밍으로, 당해 취득 데이터군을 상기 외부 송신부를 통하여 상기 외부 장치에 송신하는 것을 특징으로 하는 전자 밸브.
According to paragraph 3,
The monitoring processing unit
After storing the acquired data group in the internal storage in the second monitoring process, the first acquired data is sequentially transmitted in the first monitoring process at a second transmission timing different from the first transmission timing. , An electromagnetic valve characterized in that the acquired data group is transmitted to the external device through the external transmission unit.
제1항 또는 제2항에 있어서,
상기 전자 밸브는
메인 밸브에 연결된 밸브 축을 구동 유체의 유체압에 따라 구동시킴으로써 상기 메인 밸브의 개폐 조작을 실시하는 구동 장치에 대해, 상기 구동 유체의 급배기를 제어하는 기능을 갖고,
상기 복수의 센서는
상기 구동 유체의 공급원에 접속되는 상기 전자 밸브의 입력측 유로를 흐르는 상기 구동 유체의 상기 유체압을 계측하는 제1 압력 센서와,
상기 구동 장치에 접속되는 상기 전자 밸브의 출력측 유로를 흐르는 상기 구동 유체의 상기 유체압을 계측하는 제2 압력 센서와,
상기 메인 밸브의 밸브 개도 정보를 취득하는 메인 밸브 개도 센서와,
상기 전자 밸브의 솔레노이드부에 대한 공급 전압을 계측하는 전압 센서와,
상기 솔레노이드부에 있어서의 통전시의 전류치 및 비통전시의 저항치를 계측하는 전류·저항 센서와,
상기 복수의 센서, 상기 외부 송신부, 상기 내부 기억부 및 상기 감시 처리부로서 기능하는 제어부가 수용된 수용부의 내부 온도를 계측하는 온도 센서와,
상기 솔레노이드부가 발생하는 자기의 세기를 계측하는 자기 센서와,
상기 솔레노이드부의 가동 시간을 계측하는 가동 시간계와,
상기 전자 밸브, 상기 구동 장치 및 상기 메인 밸브 각각의 작동 횟수를 계수하는 작동 카운터를 적어도 포함하는 것을 특징으로 하는 전자 밸브.
According to claim 1 or 2,
The electromagnetic valve is
A driving device that opens and closes the main valve by driving a valve shaft connected to the main valve according to the fluid pressure of the driving fluid, has a function of controlling the supply and exhaust of the driving fluid,
The plurality of sensors are
a first pressure sensor that measures the fluid pressure of the driving fluid flowing through an input side passage of the solenoid valve connected to the supply source of the driving fluid;
a second pressure sensor that measures the fluid pressure of the driving fluid flowing through an output side passage of the solenoid valve connected to the driving device;
a main valve opening sensor that acquires valve opening information of the main valve;
a voltage sensor that measures the supply voltage to the solenoid part of the electromagnetic valve;
A current/resistance sensor that measures a current value in the solenoid section when energized and a resistance value when not energized,
a temperature sensor that measures an internal temperature of an accommodating portion in which a control unit functioning as the plurality of sensors, the external transmitting unit, the internal storage unit, and the monitoring processing unit are housed;
a magnetic sensor that measures the intensity of magnetism generated by the solenoid unit;
an operation time meter that measures the operation time of the solenoid section;
An electromagnetic valve comprising at least an operation counter that counts the number of operations of each of the electromagnetic valve, the driving device, and the main valve.
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