JP2021139488A - solenoid valve - Google Patents

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Abstract

To provide a solenoid valve capable of acquiring data useful for predictive maintenance while including not only an operation period in which the solenoid valve is operated but also the other period than the operation period.SOLUTION: A solenoid valve comprises a plurality of sensors for acquiring states of respective parts of the solenoid valve, a communication unit (external transmission unit) 8, an internal storage unit 701 and a monitor processing unit 700. The monitor processing unit 700 executes first monitor processing in which a state of the solenoid valve is acquired as first acquisition data DA in a first sampling period PA and transmits the first acquisition data DA to an external device 15 via the communication unit 8 successively each time the first acquisition data are acquired, and second monitor processing in which a state of a solenoid valve 1 is acquired as second acquisition data DB respectively in a second sampling period PB (<PA) during an operation period Q in which the solenoid valve is operated, and an acquisition data group SB including the second acquisition data DB respectively acquired within the operation period Q is stored in the internal storage unit 701.SELECTED DRAWING: Figure 5

Description

本発明は、電磁弁及び流体圧駆動弁に関する。 The present invention relates to a solenoid valve and a fluid pressure driven valve.

従来、電磁弁により駆動流体を制御して主弁を開閉する流体圧駆動弁が知られている。
例えば、特許文献1には、プラント設備の配管に使用される流体圧駆動弁として、設備に
異常が発生したような緊急時に、電磁弁により駆動流体を制御してボールバルブ(主弁)
を閉じることにより、配管を流れる流体を遮断する緊急遮断弁装置が開示されている。
Conventionally, a fluid pressure drive valve that opens and closes a main valve by controlling a drive fluid with a solenoid valve is known.
For example, Patent Document 1 describes a fluid pressure drive valve used for piping of plant equipment, which is a ball valve (main valve) in which the drive fluid is controlled by a solenoid valve in an emergency such as when an abnormality occurs in the equipment.
An emergency shutoff valve device that shuts off the fluid flowing through the pipe by closing the pipe is disclosed.

特開2009−97539号公報JP-A-2009-97539

特許文献1に開示された緊急遮断弁装置は、プラント設備の制御室に設置されて、電磁
弁の通電操作を行うロジックコントローラと、弁軸の回動動作、すなわち、ボールバルブ
の開閉動作を検知して、ロジックコントローラにフィードバックし、ボールバルブの作動
確認テストを行うリミットスイッチとを備える。
The emergency shutoff valve device disclosed in Patent Document 1 is installed in a control room of a plant facility and detects a logic controller for energizing a solenoid valve and a valve shaft rotation operation, that is, a ball valve opening / closing operation. Then, it is provided with a limit switch that feeds back to the logic controller and performs an operation confirmation test of the ball valve.

しかしながら、特許文献1では、開閉動作を伴う作動確認テストにおいて、リミットス
イッチを用いて緊急遮断弁装置の状態を監視することしか開示されておらず、作動確認テ
ストにおいて、電磁弁の各部の状態を監視するものではない。また、特許文献1では、開
閉動作を伴う作動確認テストを行う以外に、電磁弁及び緊急遮断弁装置の異常を診断する
手法が開示されていない。
However, Patent Document 1 only discloses that the state of the emergency shutoff valve device is monitored by using a limit switch in the operation confirmation test involving the opening / closing operation, and in the operation confirmation test, the state of each part of the solenoid valve is checked. It is not something to monitor. Further, Patent Document 1 does not disclose a method of diagnosing an abnormality of a solenoid valve and an emergency shutoff valve device other than performing an operation confirmation test accompanied by an opening / closing operation.

そのため、特許文献1に開示された作動確認テストは、異常の発生を事後的に把握する
事後保全を実現するものといえるが、プラント設備の稼働率及び信頼性を向上させるため
には、異常の兆候を事前に把握する予兆保全を実現することが望まれる。その上で、異常
の兆候は様々な事象となって表出するため、それらの事象を的確に抽出するためには、電
磁弁の操作が行われる操作期間(非定常運転中)だけでなく、当該操作期間以外の期間(
定常運転中)も含めて、電磁弁の各部の状態を監視する仕組みを実現する必要がある。
Therefore, it can be said that the operation confirmation test disclosed in Patent Document 1 realizes post-maintenance to grasp the occurrence of an abnormality after the fact, but in order to improve the operating rate and reliability of the plant equipment, the abnormality is found. It is desirable to realize predictive maintenance that grasps signs in advance. On top of that, the signs of abnormality are expressed as various events, so in order to accurately extract those events, not only the operation period during which the solenoid valve is operated (during unsteady operation), but also Period other than the operation period (
It is necessary to realize a mechanism to monitor the state of each part of the solenoid valve, including during steady operation).

本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであって、電磁弁の操作が行われる操
作期間だけでなく、当該操作期間以外の期間も含めて、事後保全に有用なデータのみなら
ず、予兆保全に有用なデータを取得することができる電磁弁を提供することを目的とする
The present invention has been made in view of such circumstances, and includes not only the operation period in which the solenoid valve is operated but also the period other than the operation period, as well as data useful for post-maintenance. The purpose is to provide a solenoid valve capable of acquiring useful data for predictive maintenance.

本発明は、上記課題を解決するものであって、本発明の一実施形態に係る電磁弁は、
当該電磁弁の各部の状態を取得する複数のセンサと、
外部装置に対してデータを送信する外部送信部と、
データを記憶する内部記憶部と、
第1のサンプリング周期で前記複数のセンサのうち少なくとも1つのセンサにより取得
された前記電磁弁の状態を第1の取得データとして取得し、当該第1の取得データについ
て、取得する毎に前記外部送信部を介して前記外部装置に順次送信する第1の監視処理、
及び、前記電磁弁の操作が行われる操作期間において、前記第1のサンプリング周期より
も短い第2のサンプリング周期で前記複数のセンサのうち少なくとも1つのセンサにより
取得された前記電磁弁の状態を第2の取得データとしてそれぞれ取得し、前記操作期間内
にそれぞれ取得した前記第2の取得データと当該第2の取得データのそれぞれを取得した
取得時刻とを紐付けて構成する取得データ群を前記内部記憶部に記憶する第2の監視処理
を実行する監視処理部とを備える。
The present invention solves the above problems, and the solenoid valve according to the embodiment of the present invention is
Multiple sensors that acquire the state of each part of the solenoid valve,
An external transmitter that sends data to an external device,
An internal storage unit that stores data and
The state of the solenoid valve acquired by at least one of the plurality of sensors in the first sampling cycle is acquired as the first acquired data, and the first acquired data is transmitted to the outside each time it is acquired. The first monitoring process, which is sequentially transmitted to the external device via the unit,
In the operation period in which the solenoid valve is operated, the state of the solenoid valve acquired by at least one of the plurality of sensors in a second sampling cycle shorter than the first sampling cycle is obtained. The inside is a group of acquired data that is acquired as the acquired data of 2 and is configured by associating the second acquired data acquired within the operation period with the acquisition time of each of the second acquired data. It is provided with a monitoring processing unit that executes a second monitoring processing stored in the storage unit.

本発明の一実施形態に係る電磁弁によれば、監視処理部が、第1の監視処理では、第1
のサンプリング周期で電磁弁の状態を第1の取得データとして取得し、当該第1の取得デ
ータについて、取得する毎に外部送信部を介して外部装置に順次送信するとともに、第2
の監視処理では、電磁弁の操作が行われる操作期間において、第1のサンプリング周期よ
りも短い第2のサンプリング周期で電磁弁の状態を第2の取得データとしてそれぞれ取得
し、操作期間内にそれぞれ取得した第2の取得データと当該第2の取得データのそれぞれ
を取得した取得時刻とを紐付けて構成する取得データ群を内部記憶部に記憶する。
According to the solenoid valve according to the embodiment of the present invention, the monitoring processing unit is the first in the first monitoring processing.
The state of the solenoid valve is acquired as the first acquired data in the sampling cycle of, and each time the acquired data is acquired, the state of the solenoid valve is sequentially transmitted to the external device via the external transmitter, and the second acquired data is transmitted.
In the monitoring process of, in the operation period in which the solenoid valve is operated, the state of the solenoid valve is acquired as the second acquisition data in the second sampling cycle shorter than the first sampling cycle, and each of them is acquired within the operation period. An acquired data group configured by associating the acquired second acquired data with the acquired acquisition time of each of the acquired second acquired data is stored in the internal storage unit.

そのため、比較的長い周期(第1のサンプリング周期)で継続的に実行される第1の監
視処理にて取得された第1の取得データについては、取得する毎に外部送信部を介して外
部装置に順次送信するので、内部記憶部に負荷をかけることがなく、また、外部送信部の
通信間隔(=第1のサンプリング周期)が確保されているため外部送信部に過大な負荷を
かけることもない。そして、外部装置に送信された第1の取得データは、電磁弁の操作に
関係なく、第1のサンプリング周期により継続的に取得されたものであるため、事後保全
のみならず予兆保全を行うためのデータとして利用することができる。
Therefore, for the first acquired data acquired in the first monitoring process that is continuously executed in a relatively long cycle (first sampling cycle), each time it is acquired, an external device is used via an external transmitter. Since the data is sequentially transmitted to the internal storage unit, the internal storage unit is not overloaded, and the communication interval (= first sampling cycle) of the external transmission unit is secured, so that the external transmission unit may be overloaded. No. Then, since the first acquired data transmitted to the external device is continuously acquired by the first sampling cycle regardless of the operation of the solenoid valve, not only the post-maintenance but also the predictive maintenance is performed. It can be used as data for.

また、電磁弁の操作が行われる操作期間において、比較的短い周期(第2のサンプリン
グ周期)で一時的に実行される第2の監視処理にて取得された第2の取得データについて
は、操作期間内にそれぞれ取得した第2の取得データと当該第2の取得データのそれぞれ
を取得した取得時刻とを紐付けて構成する取得データ群を内部記憶部に記憶するので、外
部送信部に負荷をかけることがなく、また、操作期間内に限定されているため内部記憶部
に過大な負荷をかけることもない。そして、内部記憶部に記憶された取得データ群は、電
磁弁の操作が行われる操作期間に合わせて、電磁弁の各部の状態が第2のサンプリング周
期により詳細に取得されたものであるため、予兆保全を行うためのデータとして利用する
ことができる。さらに、内部記憶部に記憶された取得データ群は、事後保全を行うための
データとしても利用することができる。
Further, during the operation period in which the solenoid valve is operated, the second acquired data acquired in the second monitoring process temporarily executed in a relatively short cycle (second sampling cycle) is operated. Since the acquired data group configured by associating the second acquired data acquired within the period with the acquired acquisition time of each of the second acquired data is stored in the internal storage unit, a load is applied to the external transmission unit. It is not applied, and since it is limited to the operation period, an excessive load is not applied to the internal storage unit. Since the acquired data group stored in the internal storage unit is the state in which the state of each part of the solenoid valve is acquired in detail by the second sampling cycle according to the operation period in which the solenoid valve is operated. It can be used as data for predictive maintenance. Further, the acquired data group stored in the internal storage unit can also be used as data for performing post-mortem maintenance.

したがって、外部送信部及び内部記憶部に対する過大な負荷を抑制しつつ、電磁弁の操
作が行われる操作期間だけでなく、操作期間以外の期間も含めて、事後保全に有用なデー
タのみならず、予兆保全に有用なデータを取得することができる。
Therefore, while suppressing an excessive load on the external transmission unit and the internal storage unit, not only the data useful for post-maintenance but also the data useful for the post-maintenance including not only the operation period in which the solenoid valve is operated but also the period other than the operation period are included. Data useful for predictive maintenance can be obtained.

本発明の実施形態に係る流体圧駆動弁10の一例を示す断面図である。It is sectional drawing which shows an example of the fluid pressure drive valve 10 which concerns on embodiment of this invention. 本発明の実施形態に係る電磁弁1の一例を示す断面図である。It is sectional drawing which shows an example of the solenoid valve 1 which concerns on embodiment of this invention. 本発明の実施形態に係る電磁弁1の一例を示すブロック図である。It is a block diagram which shows an example of the solenoid valve 1 which concerns on embodiment of this invention. 本発明の実施形態に係る基板5に対する複数のセンサ4の載置例を示す模式図である。It is a schematic diagram which shows the mounting example of a plurality of sensors 4 on the substrate 5 which concerns on embodiment of this invention. 本発明の実施形態に係る監視処理部700の機能の一例を示すタイミングチャートである。It is a timing chart which shows an example of the function of the monitoring processing unit 700 which concerns on embodiment of this invention. 第1の取得データDA及び第1の取得データ群SAの一例を示すデータ構成図である。It is a data composition diagram which shows an example of the 1st acquisition data DA and the 1st acquisition data group SA. 第2の取得データDB及び第2の取得データ群SBの一例を示すデータ構成図である。It is a data structure diagram which shows an example of the 2nd acquisition data DB and the 2nd acquisition data group SB.

以下、本発明の一実施形態について添付図面を参照しつつ説明する。 Hereinafter, an embodiment of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.

(実施形態)
図1は、本発明の実施形態に係る流体圧駆動弁10の一例を示す断面図である。
(Embodiment)
FIG. 1 is a cross-sectional view showing an example of a fluid pressure drive valve 10 according to an embodiment of the present invention.

流体圧駆動弁10は、配管100の途中に配置される主弁11と、主弁11に連結され
た弁軸13を駆動流体の流体圧に応じて駆動させることで主弁11の開閉操作を行う駆動
装置12と、駆動装置12に対して駆動流体の給排を制御する機能を有する電磁弁1とを
備える。
The fluid pressure drive valve 10 opens and closes the main valve 11 by driving the main valve 11 arranged in the middle of the pipe 100 and the valve shaft 13 connected to the main valve 11 according to the fluid pressure of the driving fluid. The drive device 12 is provided, and the solenoid valve 1 having a function of controlling the supply and discharge of the drive fluid to the drive device 12 is provided.

流体圧駆動弁10は、例えば、プラント設備において各種のガスや石油等が流れる配管
100に設置され、プラント設備に異常が発生したような緊急停止時に、配管100の流
れを遮断するための緊急遮断弁として用いられる。なお、流体圧駆動弁10の設置場所や
用途は、上記の例に限られない。
The fluid pressure drive valve 10 is installed in, for example, a pipe 100 through which various gases, oil, etc. flow in the plant equipment, and is an emergency shutoff for shutting off the flow of the pipe 100 in the event of an emergency stop such as when an abnormality occurs in the plant equipment. Used as a valve. The installation location and application of the fluid pressure drive valve 10 are not limited to the above examples.

流体圧駆動弁10には、駆動流体の一例として、空気供給源14から空気(エアー)A
が供給されるものであり、空気供給源14からの空気Aは、第1の空気配管140を介し
て電磁弁1に供給され、さらに、第2の空気配管141を介して駆動装置12に供給され
る。また、流体圧駆動弁10には、外部装置15及び電磁弁1の間で各種のデータを送受
信するための通信ケーブル150と、外部電源16から電磁弁1に電力を供給するための
電力ケーブル160とが接続される。なお、駆動流体は、上記の空気Aに限られず、他の
気体でもよいし、液体(例えば、油)でもよい。
In the fluid pressure drive valve 10, as an example of the drive fluid, air (air) A from the air supply source 14
Is supplied, and the air A from the air supply source 14 is supplied to the solenoid valve 1 via the first air pipe 140, and further to the drive device 12 via the second air pipe 141. Will be done. Further, the fluid pressure drive valve 10 includes a communication cable 150 for transmitting and receiving various data between the external device 15 and the solenoid valve 1, and a power cable 160 for supplying electric power from the external power supply 16 to the solenoid valve 1. And are connected. The driving fluid is not limited to the above-mentioned air A, and may be another gas or a liquid (for example, oil).

外部装置15は、例えば、プラント管理用のコンピュータ(ローカルサーバ及びクラウ
ドサーバを含む。)、保守点検者が使用する診断用コンピュータ、又は、USBメモリや
外付けHDD等の外部記憶部で構成されている。なお、外部装置15及び電磁弁1の間の
通信は無線通信でもよい。
The external device 15 is composed of, for example, a computer for plant management (including a local server and a cloud server), a diagnostic computer used by a maintenance inspector, or an external storage unit such as a USB memory or an external HDD. There is. The communication between the external device 15 and the solenoid valve 1 may be wireless communication.

本実施形態では、流体圧駆動弁10は、エアーレスクローズ方式を採用したものである
。したがって、定常運転時は、空気供給源14から電磁弁1を介して駆動装置12に空気
A(給気)を供給することで、主弁11が全開操作され、緊急停止時や試験運転時は、駆
動装置12から電磁弁1を介して空気A(排気)を排出することで、主弁11が全閉操作
される。なお、流体圧駆動弁10は、エアーレスオープン方式を採用したものでもよく、
その場合には、駆動装置12に空気Aを供給することで全開操作され、駆動装置12から
空気Aを排出することで主弁11を全閉操作されてもよい。
In the present embodiment, the fluid pressure drive valve 10 adopts an airless closing method. Therefore, during steady operation, the main valve 11 is fully opened by supplying air A (air supply) from the air supply source 14 to the drive device 12 via the solenoid valve 1, and during emergency stop or test operation. By discharging air A (exhaust) from the drive device 12 via the solenoid valve 1, the main valve 11 is fully closed. The fluid pressure drive valve 10 may be an airless open system.
In that case, the main valve 11 may be fully closed by supplying the air A to the drive device 12 to fully open the operation and discharging the air A from the drive device 12.

主弁11は、例えば、ボールバルブと呼ばれる弁で構成されている。主弁11は、その
構成例として、配管100の途中に配置される弁箱110と、弁箱110内に回転可能に
設けられたボール状の弁体111とを備え、弁体111の上部には、弁軸13の第1の端
部130Aが連結されている。弁軸13が0度から90度に回転駆動されることに応じて
弁箱110内で弁体111が回転し、主弁11の全開状態(図1に示す状態)と全閉状態
が切り替えられる。なお、主弁11として用いられる弁は、ボールバルブに限られず、例
えば、バタフライバルブ等の他の形式でもよい。
The main valve 11 is composed of, for example, a valve called a ball valve. As a configuration example thereof, the main valve 11 includes a valve box 110 arranged in the middle of the pipe 100 and a ball-shaped valve body 111 rotatably provided in the valve box 110, and is provided on the upper portion of the valve body 111. Is connected to the first end 130A of the valve shaft 13. The valve body 111 rotates in the valve box 110 in response to the valve shaft 13 being rotationally driven from 0 degrees to 90 degrees, and the main valve 11 can be switched between a fully open state (state shown in FIG. 1) and a fully closed state. .. The valve used as the main valve 11 is not limited to the ball valve, and may be another type such as a butterfly valve.

駆動装置12は、例えば、主弁11と電磁弁1との間に配置されるとともに、単作動式
のエアシリンダ機構として構成されている。駆動装置12は、その構成例として、円筒状
のシリンダ120と、シリンダ内に往復直線移動可能に設けられ、ピストンロッド121
を介して連結された一対のピストン122A、122Bと、第1のピストン122A側に
設けられたコイルばね123と、第2のピストン122B側に形成された空気給排口12
4と、シリンダ120を径方向に沿って貫通するように配置された弁軸13とピストンロ
ッド121とが直交する部分に設けられた伝達機構125とを備える。なお、駆動装置1
2は、単作動式に限られず、例えば、複作動式等の他の形式で構成されていてもよい。
The drive device 12 is arranged between the main valve 11 and the solenoid valve 1, for example, and is configured as a single-actuated air cylinder mechanism. As a configuration example thereof, the drive device 12 is provided with a cylindrical cylinder 120 and a piston rod 121 that can reciprocate and linearly move in the cylinder.
A pair of pistons 122A and 122B connected via the above, a coil spring 123 provided on the first piston 122A side, and an air supply / discharge port 12 formed on the second piston 122B side.
4 and a transmission mechanism 125 provided at a portion where the valve shaft 13 arranged so as to penetrate the cylinder 120 along the radial direction and the piston rod 121 are orthogonal to each other are provided. The drive device 1
2 is not limited to the single-acting type, and may be configured in another form such as a double-acting type.

第1のピストン122Aは、コイルばね123により主弁11を閉じる方向に付勢され
る。第2のピストン122Bは、空気給排口124から供給された空気A(給気)により
コイルばね123の付勢力に抗して主弁11を開く方向に押圧される。伝達機構125は
、例えば、ラックアンドピニオン機構、リンク機構、カム機構等で構成されており、ピス
トンロッド121の往復直線運動を回転運動に変換して弁軸13に伝達する。
The first piston 122A is urged by the coil spring 123 in the direction of closing the main valve 11. The second piston 122B is pressed by the air A (air supply) supplied from the air supply / exhaust port 124 in the direction of opening the main valve 11 against the urging force of the coil spring 123. The transmission mechanism 125 is composed of, for example, a rack and pinion mechanism, a link mechanism, a cam mechanism, etc., and converts the reciprocating linear motion of the piston rod 121 into a rotary motion and transmits it to the valve shaft 13.

弁軸13は、シャフト状に形成されており、回動可能な状態で駆動装置12を貫通する
ようにして配置される。弁軸13の第1の端部130Aは、主弁11に連結されるととも
に、弁軸13の第2の端部130Bは、電磁弁1により軸支される。なお、弁軸13は、
複数のシャフトが、例えば、カップリング等により連結されたものでもよい。
The valve shaft 13 is formed in a shaft shape and is arranged so as to penetrate the drive device 12 in a rotatable state. The first end 130A of the valve shaft 13 is connected to the main valve 11, and the second end 130B of the valve shaft 13 is pivotally supported by the solenoid valve 1. The valve shaft 13 is
A plurality of shafts may be connected by, for example, a coupling or the like.

電磁弁1は、駆動装置12に対して空気Aの給排を制御する機能を有し、例えば、2ポ
ジションでノーマルクローズタイプ(通電時「開」、非通電時「閉」)の三方電磁弁とし
て構成されている。電磁弁1は、屋内型又は防爆型の電磁弁1のハウジングとして機能す
る収容部6の内部に、空気Aが流れる流路を切り替えるスプール部2と、通電状態(通電
時又は非通電時)に応じてスプール部2を変位させるソレノイド部3とを備える。なお、
電磁弁1は、2ポジションでノーマルクローズタイプの三方電磁弁に限られず、3ポジシ
ョンでもよく、ノーマルオープンタイプでもよく、四方電磁弁等でもよく、任意の組み合
わせに基づく各種の形成で構成されていてもよい。また、本実施形態では、電磁弁1は、
流体圧駆動弁10におけるパイロットバルブとして用いられるものであるが、電磁弁1の
用途はこれに限られない。
The solenoid valve 1 has a function of controlling the supply and discharge of air A to the drive device 12, and is, for example, a three-way solenoid valve of a normally closed type (“open” when energized, “closed” when not energized) at two positions. It is configured as. The solenoid valve 1 has a spool portion 2 that switches the flow path through which the air A flows inside the accommodating portion 6 that functions as a housing of the indoor type or explosion-proof type solenoid valve 1, and is in an energized state (when energized or not energized). It is provided with a solenoid unit 3 that displaces the spool unit 2 accordingly. note that,
The solenoid valve 1 is not limited to a two-position, normally closed type three-way solenoid valve, but may be a three-position solenoid valve, a normally open type, a four-way solenoid valve, or the like, and is composed of various formations based on any combination. May be good. Further, in the present embodiment, the solenoid valve 1 is
Although it is used as a pilot valve in the fluid pressure drive valve 10, the application of the solenoid valve 1 is not limited to this.

スプール部2は、空気供給源14に第1の空気配管140を介して接続される入力ポー
ト20と、駆動装置12に第2の空気配管141を介して接続される出力ポート21と、
駆動装置12からの排気を排出する排気ポート22とを備える。
The spool portion 2 includes an input port 20 connected to the air supply source 14 via the first air pipe 140, and an output port 21 connected to the drive device 12 via the second air pipe 141.
It is provided with an exhaust port 22 for exhausting exhaust gas from the drive device 12.

ソレノイド部3は、通電時に、入力ポート20と出力ポート21との間を連通するよう
に、スプール部2を変位させ、非通電時に、出力ポート21と排気ポート22との間を連
通するように、スプール部2を変位させる。
The solenoid unit 3 displaces the spool unit 2 so as to communicate between the input port 20 and the output port 21 when energized, and communicates between the output port 21 and the exhaust port 22 when the power is off. , Displace the spool portion 2.

したがって、電磁弁1が通電状態である場合には、空気供給源14からの空気A(給気
)が、第1の空気配管140、入力ポート20、出力ポート21及び第2の空気配管14
1の順に流れて、空気給排口124に供給されることで、第2のピストン122Bが押圧
されてコイルばね123が圧縮する。そして、コイルばね123の圧縮に応じてピストン
ロッド121が移動した分だけピストンロッド121及び伝達機構125を介して弁軸1
3が回転駆動されると、弁箱110内で弁体111が回転し、主弁11が全開状態に操作
される。
Therefore, when the solenoid valve 1 is energized, the air A (air supply) from the air supply source 14 is the first air pipe 140, the input port 20, the output port 21, and the second air pipe 14.
The second piston 122B is pressed and the coil spring 123 is compressed by flowing in the order of 1 and being supplied to the air supply / discharge port 124. Then, the valve shaft 1 is passed through the piston rod 121 and the transmission mechanism 125 by the amount that the piston rod 121 moves according to the compression of the coil spring 123.
When 3 is rotationally driven, the valve body 111 rotates in the valve box 110, and the main valve 11 is operated in a fully open state.

一方、電磁弁1が非通電状態である場合には、シリンダ120内の空気A(排気)が、
空気給排口124から第2の空気配管141、出力ポート21及び排気ポート22の順に
流れて、外気に排出されることで、第2のピストン122Bの押圧力が低下し、コイルば
ね123が圧縮状態から復元する。そして、コイルばね123の復元に応じてピストンロ
ッド121が移動した分だけ伝達機構125を介して弁軸13が回転駆動されると、弁箱
110内で弁体111が回転し、主弁11が全閉状態に操作される。
On the other hand, when the solenoid valve 1 is in a non-energized state, the air A (exhaust) in the cylinder 120 becomes
The pressing pressure of the second piston 122B is reduced and the coil spring 123 is compressed by flowing from the air supply / exhaust port 124 to the second air pipe 141, the output port 21 and the exhaust port 22 in this order and being discharged to the outside air. Restore from state. Then, when the valve shaft 13 is rotationally driven via the transmission mechanism 125 by the amount that the piston rod 121 moves in response to the restoration of the coil spring 123, the valve body 111 rotates in the valve box 110, and the main valve 11 rotates. It is operated in the fully closed state.

(電磁弁の構成について)
図2は、本発明の実施形態に係る電磁弁1の一例を示す断面図である。
(About the configuration of the solenoid valve)
FIG. 2 is a cross-sectional view showing an example of the solenoid valve 1 according to the embodiment of the present invention.

電磁弁1は、上記のスプール部2及びソレノイド部3の他に、電磁弁1の各部の状態を
取得する複数のセンサ4と、複数のセンサ4のうち少なくとも1つが載置された基板5と
、これらスプール部2、ソレノイド部3、複数のセンサ4及び基板5を収容する収容部6
とを備える。
In addition to the spool portion 2 and the solenoid portion 3 described above, the solenoid valve 1 includes a plurality of sensors 4 for acquiring the state of each portion of the solenoid valve 1 and a substrate 5 on which at least one of the plurality of sensors 4 is mounted. , The spool portion 2, the solenoid portion 3, the accommodating portion 6 accommodating the plurality of sensors 4 and the substrate 5.
And.

収容部6は、スプール部2を収容する第1の収容部60と、第1の収容部60に隣接さ
れるとともに、ソレノイド部3、複数のセンサ4及び基板5を収容する第2の収容部61
と、通信ケーブル150及び電力ケーブル160が接続されるターミナルボックス62と
を備える。なお、第1の収容部60及び第2の収容部61は、例えば、アルミニウム等の
金属材料で製作されている。
The accommodating portion 6 is adjacent to the first accommodating portion 60 accommodating the spool portion 2 and the first accommodating portion 60, and also accommodates the solenoid unit 3, the plurality of sensors 4, and the substrate 5. 61
And a terminal box 62 to which the communication cable 150 and the power cable 160 are connected. The first accommodating portion 60 and the second accommodating portion 61 are made of, for example, a metal material such as aluminum.

第1の収容部60は、入力ポート20、出力ポート21及び排気ポート22として、そ
れぞれ機能する開口部(不図示)を有する。
The first accommodating portion 60 has openings (not shown) that function as input ports 20, output ports 21, and exhaust ports 22, respectively.

第2の収容部61は、両端(第1のハウジング端部610a及び第2のハウジング端部
610b)が開放された円筒状のハウジング610と、ハウジング610の内部に配置さ
れるボディー611と、第1のハウジング端部610aに固定されたソレノイド部3を外
気から覆うソレノイドカバー612と、第2のハウジング端部610bに固定されたター
ミナルボックス62を外気から覆うターミナルボックスカバー613とを備える。
The second accommodating portion 61 includes a cylindrical housing 610 with both ends (first housing end 610a and second housing end 610b) open, a body 611 arranged inside the housing 610, and a second housing portion 61. A solenoid cover 612 that covers the solenoid portion 3 fixed to the housing end portion 610a of 1 from the outside air, and a terminal box cover 613 that covers the terminal box 62 fixed to the second housing end portion 610b from the outside air are provided.

ハウジング610は、その下部に形成されて弁軸13の第2の端部130Bが挿入され
る軸挿入口610cと、その上部に形成されてボディー611が挿入されるボディー挿入
口610dと、第2のハウジング端部610b側に形成されて通信ケーブル150及び電
力ケーブル160が挿入されるケーブル挿入口610eとを有する。
The housing 610 has a shaft insertion port 610c formed in the lower portion thereof and into which the second end 130B of the valve shaft 13 is inserted, a body insertion port 610d formed in the upper portion thereof into which the body 611 is inserted, and a second. It has a cable insertion port 610e formed on the housing end portion 610b side of the above and into which the communication cable 150 and the power cable 160 are inserted.

第1の収容部60及び第2の収容部61には、ボディー611を貫通するようにして、
入力側流路26から分岐して入力側流路26と第1の圧力センサ40との間を連通する第
1の流路63と、出力側流路27から分岐して出力側流路27と第2の圧力センサ41と
の間を連通する第2の流路64と、スプール部2とソレノイド部3とを連動させるための
空気Aが流れるスプール流路65が形成されている。
The first accommodating portion 60 and the second accommodating portion 61 are made to penetrate the body 611.
A first flow path 63 that branches from the input side flow path 26 and communicates between the input side flow path 26 and the first pressure sensor 40, and an output side flow path 27 that branches from the output side flow path 27. A second flow path 64 communicating with the second pressure sensor 41 and a spool flow path 65 through which air A for interlocking the spool portion 2 and the solenoid portion 3 are formed are formed.

スプール部2は、スプールケースとして機能する第2の収容部61内に形成されたスプ
ールホール23と、スプールホール23内に移動可能に配置されたスプールバルブ24と
、スプールバルブ24を付勢するスプールスプリング25と、入力ポート20とスプール
ホール23との間を連通する入力側流路26と、出力ポート21とスプールホール23と
の連通する出力側流路27と、排気ポート22とスプールホール23との間を連通する排
気流路28とを備える。
The spool portion 2 includes a spool hole 23 formed in a second accommodating portion 61 that functions as a spool case, a spool valve 24 that is movably arranged in the spool hole 23, and a spool that urges the spool valve 24. The spring 25, the input side flow path 26 communicating between the input port 20 and the spool hole 23, the output side flow path 27 communicating between the output port 21 and the spool hole 23, the exhaust port 22 and the spool hole 23. It is provided with an exhaust flow path 28 that communicates between the two.

ソレノイド部3は、ソレノイドケース30と、ソレノイドケース30内に収容されたソ
レノイドコイル31と、ソレノイドコイル31内に移動可能に配置された可動鉄芯32と
、ソレノイドコイル31内に固定状態で配置された固定鉄芯33と、可動鉄芯32を付勢
するソレノイドスプリング34とを備える。
The solenoid unit 3 is arranged in a solenoid case 30, a solenoid coil 31 housed in the solenoid case 30, a movable iron core 32 movably arranged in the solenoid coil 31, and a fixed state in the solenoid coil 31. A fixed iron core 33 and a solenoid spring 34 for urging the movable iron core 32 are provided.

電磁弁1が非通電状態から通電状態に切り替えられた場合には、ソレノイド部3におい
て、コイル電流がソレノイドコイル31に流れることによりソレノイドコイル31が電磁
力を発生し、当該電磁力により可動鉄芯32がソレノイドスプリング34の付勢力に抗し
て固定鉄芯33に吸引されることで、スプール流路65を流れる空気Aの流通状態が切り
替えられる。そして、スプール部2において、スプール流路65を流れる空気Aの流通状
態が切り替えられたことにより、スプールバルブ24がスプールスプリング25の付勢力
に抗して移動されることで、入力ポート20と排気ポート22との間を連通する状態から
、入力ポート20と出力ポート21との間を連通する状態に切り替えられる。
When the solenoid valve 1 is switched from the non-energized state to the energized state, the solenoid coil 31 generates an electromagnetic force when the coil current flows through the solenoid coil 31 in the solenoid unit 3, and the movable iron core is generated by the electromagnetic force. When the 32 is sucked into the fixed iron core 33 against the urging force of the solenoid spring 34, the flow state of the air A flowing through the spool flow path 65 is switched. Then, in the spool portion 2, the flow state of the air A flowing through the spool flow path 65 is switched, so that the spool valve 24 is moved against the urging force of the spool spring 25, so that the input port 20 and the exhaust are exhausted. The state of communicating with the port 22 can be switched to the state of communicating between the input port 20 and the output port 21.

基板5は、基板面500A、500Bが軸挿入口610cから挿入された弁軸13に沿
うように配置された第1の基板50と、ターミナルボックス62に近接して配置された第
2の基板51と、ソレノイド部3に近接して配置された第3の基板52とを備える。
The substrate 5 includes a first substrate 50 arranged so that the substrate surfaces 500A and 500B are arranged along the valve shaft 13 inserted from the shaft insertion port 610c, and a second substrate 51 arranged close to the terminal box 62. And a third substrate 52 arranged close to the solenoid unit 3.

第1の基板50の基板面500A、500Bのうち、第1の基板面500A側には、ボ
ディー611、ソレノイド部3及び第3の基板52が配置される。第1の基板面500A
側と反対側の第2の基板面500B側には、第2の基板51及びターミナルボックス62
が配置される。
Of the substrate surfaces 500A and 500B of the first substrate 50, the body 611, the solenoid unit 3, and the third substrate 52 are arranged on the first substrate surface 500A side. First substrate surface 500A
The second substrate 51 and the terminal box 62 are on the second substrate surface 500B side opposite to the side.
Is placed.

第1の基板50に載置されるセンサ4は、例えば、入力側流路26及び第1の流路63
を流れる空気Aの流体圧を計測する第1の圧力センサ40と、出力側流路27及び第2の
流路64を流れる空気Aの流体圧を計測する第2の圧力センサ41と、弁軸13が回転駆
動するときの回転角度を計測し、当該回転角度に応じて主弁11の弁開度情報を取得する
主弁開度センサ42とを含む。これにより、1つの基板(第1の基板50)に、第1の圧
力センサ40、第2の圧力センサ41及び主弁開度センサ42が集約されるので、電磁弁
1及び流体圧駆動弁10が正常に動作したか否かを適切に診断するために必要となる監視
機能を簡易な構成で実現することができる。
The sensor 4 mounted on the first substrate 50 is, for example, an input side flow path 26 and a first flow path 63.
A first pressure sensor 40 that measures the fluid pressure of the air A flowing through the It includes a main valve opening degree sensor 42 that measures the rotation angle when the 13 is driven to rotate and acquires valve opening degree information of the main valve 11 according to the rotation angle. As a result, the first pressure sensor 40, the second pressure sensor 41, and the main valve opening sensor 42 are integrated on one substrate (first substrate 50), so that the solenoid valve 1 and the fluid pressure drive valve 10 are integrated. It is possible to realize the monitoring function required for properly diagnosing whether or not the operation is normal with a simple configuration.

主弁開度センサ42は、例えば、磁気センサにより構成されており、弁軸13の第2の
端部130Bに取り付けられた永久磁石131が発生する磁気の強さを計測し、当該磁気
の強さに応じて主弁11の弁開度情報を取得する。
The main valve opening sensor 42 is composed of, for example, a magnetic sensor, measures the magnetic strength generated by the permanent magnet 131 attached to the second end 130B of the valve shaft 13, and measures the magnetic strength. Correspondingly, the valve opening information of the main valve 11 is acquired.

主弁開度センサ42は、軸挿入口610cから挿入された弁軸13に沿うように配置さ
れた第1の基板5の第1の基板面500Aのうち弁軸13の軸周りの外周に対向する位置
に載置される。これにより、収容部6内において、配置スペースを無駄にすることなく、
第1の基板50に載置された主弁開度センサ42と、弁軸13の第2の端部130Bとを
近接して配置することが可能となり、弁開度情報を正確に取得することができる。
The main valve opening sensor 42 faces the outer periphery of the valve shaft 13 around the axis of the first board surface 500A of the first board 5 arranged along the valve shaft 13 inserted from the shaft insertion port 610c. It is placed in the position to be used. As a result, the arrangement space is not wasted in the accommodating portion 6.
The main valve opening sensor 42 mounted on the first substrate 50 and the second end 130B of the valve shaft 13 can be arranged close to each other, and the valve opening information can be accurately acquired. Can be done.

主弁開度センサ42は、第1の基板50において、第1の圧力センサ40及び第2の圧
力センサ41よりも軸挿入口610c寄りに載置される。これにより、第1の圧力センサ
40に連通する第1の流路63と、第2の圧力センサ40に連通する第2の流路64とが
、主弁開度センサ42及び弁軸13の第2の端部130Bから離間した位置に配置される
ので、第1の流路63及び第2の流路64の形状や配置を簡素化することができる。
The main valve opening degree sensor 42 is mounted on the first substrate 50 closer to the shaft insertion port 610c than the first pressure sensor 40 and the second pressure sensor 41. As a result, the first flow path 63 communicating with the first pressure sensor 40 and the second flow path 64 communicating with the second pressure sensor 40 are the second of the main valve opening sensor 42 and the valve shaft 13. Since it is arranged at a position separated from the end portion 130B of 2, the shape and arrangement of the first flow path 63 and the second flow path 64 can be simplified.

図3は、本発明の実施形態に係る電磁弁1の一例を示すブロック図である。図4は、本
発明の実施形態に係る基板5に対する複数のセンサ4の載置例を示す模式図である。なお
、図4は、各センサ4が基板5に載置された位置を厳密に示すものではなく、各センサ4
が、第1乃至第3の基板50〜52のいずれの基板に載置されているかの載置状態を示す
ものである。
FIG. 3 is a block diagram showing an example of the solenoid valve 1 according to the embodiment of the present invention. FIG. 4 is a schematic view showing an example of mounting a plurality of sensors 4 on the substrate 5 according to the embodiment of the present invention. Note that FIG. 4 does not strictly indicate the position where each sensor 4 is placed on the substrate 5, and each sensor 4 does not show exactly.
Indicates the mounting state of which of the first to third substrates 50 to 52 is mounted.

電磁弁1は、電気的な構成例として、上記の第1乃至第3の基板50〜52及び複数の
センサ4の他に、電磁弁1を制御する制御部7と、外部装置15と通信する機能を有する
通信部(外部送信部)8と、外部電源16に接続される電源回路部9とを備える。
As an example of electrical configuration, the solenoid valve 1 communicates with the control unit 7 that controls the solenoid valve 1 and the external device 15 in addition to the above-mentioned first to third substrates 50 to 52 and the plurality of sensors 4. It includes a communication unit (external transmission unit) 8 having a function and a power supply circuit unit 9 connected to the external power supply 16.

複数のセンサ4は、各部の物理量を計測するセンサ群として、上記の第1の圧力センサ
40、第2の圧力センサ41及び主弁開度センサ42の他に、ソレノイド部3に対する供
給電圧を計測する電圧センサ43と、ソレノイド部3における通電時の電流値及び非通電
時の抵抗値を計測する電流・抵抗センサ44と、収容部6の内部温度を計測する温度セン
サ45と、ソレノイド部3が発生する磁気の強さを計測する磁気センサ46とを備える。
The plurality of sensors 4 measure the supply voltage to the solenoid unit 3 in addition to the above-mentioned first pressure sensor 40, second pressure sensor 41, and main valve opening sensor 42 as a sensor group for measuring the physical quantity of each part. The voltage sensor 43, the current / resistance sensor 44 that measures the current value when the solenoid unit 3 is energized and the resistance value when the solenoid unit is not energized, the temperature sensor 45 that measures the internal temperature of the accommodating unit 6, and the solenoid unit 3 It includes a magnetic sensor 46 that measures the strength of the generated magnetism.

また、複数のセンサ4は、各部の動作履歴に関する情報を取得するセンサ群として、ソ
レノイド部3の稼働時間としてソレノイド部に対する通電時間の合計及び現在の通電連働
時間の少なくとも一方を計測する稼働時間計47と、電磁弁1、駆動装置12及び主弁1
1それぞれの作動回数を計数する作動カウンタ48とを備える。
In addition, the plurality of sensors 4 measure at least one of the total energization time for the solenoid unit and the current energization continuous time as the operating time of the solenoid unit 3 as a sensor group for acquiring information on the operation history of each unit. A total of 47, a solenoid valve 1, a drive device 12, and a main valve 1
1 The operation counter 48 for counting the number of times of each operation is provided.

制御部7は、複数のセンサ4により取得された電磁弁1の各部の状態を示す情報を処理
するとともに、電磁弁1の各部を制御するマイクロコントローラ70と、ソレノイド部3
の通電状態を制御し、試験運転時における主弁11の開閉操作を行うバルブテストスイッ
チ71とを備える。
The control unit 7 processes the information indicating the state of each part of the solenoid valve 1 acquired by the plurality of sensors 4, and also controls the microcontroller 70 and the solenoid unit 3 that control each part of the solenoid valve 1.
It is provided with a valve test switch 71 that controls the energized state of the main valve 11 and opens and closes the main valve 11 during a test operation.

マイクロコントローラ70は、CPU(Central Processing Unit)等のプロセッサ(
不図示)と、ROM(Read Only Memory)、RAM(Random Access Memory)等により構
成される内部記憶部701とを備える。
The microcontroller 70 is a processor such as a CPU (Central Processing Unit) (
It includes an internal storage unit 701 composed of a ROM (Read Only Memory), a RAM (Random Access Memory), and the like (not shown).

内部記憶部701には、電磁弁1が動作するときの設定値、電磁弁1が動作したときの
一時記憶データ、及び、電磁弁1の動作を制御する電磁弁制御プログラム等が記憶されて
いる。
The internal storage unit 701 stores a set value when the solenoid valve 1 operates, temporary storage data when the solenoid valve 1 operates, an electromagnetic valve control program that controls the operation of the solenoid valve 1, and the like. ..

マイクロコントローラ70のプロセッサは、内部記憶部701に記憶された電磁弁制御
プログラムを実行することにより、複数のセンサ4により電磁弁1の各部の状態を監視す
る監視処理を実行する監視処理部700として機能する。なお、監視処理部700及び監
視処理の詳細は後述する。
The processor of the microcontroller 70 is a monitoring processing unit 700 that executes a monitoring process for monitoring the state of each part of the solenoid valve 1 by a plurality of sensors 4 by executing a solenoid valve control program stored in the internal storage unit 701. Function. The details of the monitoring processing unit 700 and the monitoring processing will be described later.

バルブテストスイッチ71は、所定の試験運転条件が満たされた場合にマイクロコント
ローラ70からの指令を受けて、試験運転として、電磁弁1のフルストロークテスト(以
下、「FST」という。)又はパーシャルストロークテスト(以下、「PST」という。
)を実行する。
The valve test switch 71 receives a command from the microcontroller 70 when a predetermined test operation condition is satisfied, and as a test operation, a full stroke test (hereinafter, referred to as “FST”) or a partial stroke of the solenoid valve 1 is performed. Test (hereinafter referred to as "PST".
) Is executed.

FSTは、主弁11を全開状態から全閉状態に操作して全開状態に戻すことで、流体圧
駆動弁10の異常を診断するものである。PSTは、主弁11を全開状態から所定の開度
まで部分的に閉じて全開状態に戻すことで、主弁11を全閉状態に操作することなく(す
なわち、プラント設備を停止することなく)、流体圧駆動弁10の異常を診断するもので
ある。
The FST diagnoses an abnormality in the fluid pressure drive valve 10 by operating the main valve 11 from the fully open state to the fully closed state and returning it to the fully open state. The PST partially closes the main valve 11 from the fully open state to a predetermined opening state and returns it to the fully open state, so that the main valve 11 is not operated to the fully closed state (that is, without stopping the plant equipment). , The abnormality of the fluid pressure drive valve 10 is diagnosed.

FST及びPSTは、監視処理部700による監視処理(「第2の監視処理」として後
述する。)と並行して実行される。そのため、主弁11が操作されたときに各センサ4に
より取得された電磁弁1の状態に基づいて、当該操作が所定の設定時間内に完了したか否
かを判定することにより、流体圧駆動弁10の異常を診断することが可能である。また、
主弁11が操作されたときに各センサ4により取得された電磁弁1の状態の時系列変化を
解析する(例えば、正常時の時系列変化と比較する)ことにより、流体圧駆動弁10の異
常を診断することが可能である。
The FST and PST are executed in parallel with the monitoring process (described later as "second monitoring process") by the monitoring processing unit 700. Therefore, the fluid pressure drive is performed by determining whether or not the operation is completed within a predetermined set time based on the state of the solenoid valve 1 acquired by each sensor 4 when the main valve 11 is operated. It is possible to diagnose the abnormality of the valve 10. again,
By analyzing the time-series change of the state of the solenoid valve 1 acquired by each sensor 4 when the main valve 11 is operated (for example, comparing with the time-series change at the normal time), the fluid pressure drive valve 10 It is possible to diagnose abnormalities.

なお、試験運転条件としては、例えば、内部記憶部701の設定値として指定された実
行頻度(例えば、1年に1回)による実行時期や特定の指定日時が到来したり、外部装置
15(例えば、プラント管理用のコンピュータ)からの実行命令を受け付けたり、電磁弁
1に設けられた試験実行ボタン(不図示)が管理者により操作されたりした場合に、試験
運転条件を満たすものとして、試験運転が実行されるようにすればよい。
As test operation conditions, for example, the execution time or a specific designated date and time according to the execution frequency (for example, once a year) designated as the set value of the internal storage unit 701 may arrive, or the external device 15 (for example, once a year) may be used. , Plant management computer), or when the test execution button (not shown) provided on the solenoid valve 1 is operated by the administrator, the test operation condition is satisfied. Should be executed.

通信部8は、HART(Highway Addressable Remote Transducer)通信規格に従って
外部装置15との間でデータの送受信を行う通信モデム80と、制御電流(4〜20mA
のアナログ信号)を入出力するループ電流制御器81とを備える。通信モデム80が、送
信対象のデータを周波数信号に変換すると、ループ電流制御器81は、当該周波数信号を
制御電流に重畳した重畳信号を外部装置15に送信する。ループ電流制御器81が、外部
装置15から重畳信号を受信し、当該重畳信号から周波数信号を分離すると、通信モデム
80は、当該周波数信号を受信対象のデータに変換する。
The communication unit 8 includes a communication modem 80 that transmits / receives data to / from the external device 15 in accordance with the HART (Highway Addressable Remote Transducer) communication standard, and a control current (4 to 20 mA).
A loop current controller 81 for inputting / outputting an analog signal) is provided. When the communication modem 80 converts the data to be transmitted into a frequency signal, the loop current controller 81 transmits a superimposed signal obtained by superimposing the frequency signal on the control current to the external device 15. When the loop current controller 81 receives the superposed signal from the external device 15 and separates the frequency signal from the superposed signal, the communication modem 80 converts the frequency signal into data to be received.

電源回路部9は、電力ケーブル160がターミナルボックス62に逆接続された場合に
発生する逆電圧から制御部7を保護する逆電圧保護回路90と、外部電源16から電力ケ
ーブル160を介して供給された電力を所定の電圧及び電流に変換し、電磁弁1の各部(
ソレノイド部3、センサ4、基板5、制御部7及び通信部8等)に供給する内部電源回路
91とを備える。
The power supply circuit unit 9 is supplied from the external power supply 16 via the power cable 160 and the reverse voltage protection circuit 90 that protects the control unit 7 from the reverse voltage generated when the power cable 160 is reversely connected to the terminal box 62. Converts the generated power into predetermined voltage and current, and converts each part of the electromagnetic valve 1 (
It includes an internal power supply circuit 91 that supplies the solenoid unit 3, the sensor 4, the substrate 5, the control unit 7, the communication unit 8, and the like).

図4に示すように、第1の基板50は、第1の圧力センサ40、第2の圧力センサ41
、主弁開度センサ42、電圧センサ43、電流・抵抗センサ44、温度センサ45、稼働
時間計47、作動カウンタ48、制御部7、通信モデム80及び逆電圧保護回路90が載
置される。第2の基板51は、ループ電流制御器81及び内部電源回路91が載置される
。第3の基板52は、磁気センサ46が載置される。
As shown in FIG. 4, the first substrate 50 includes a first pressure sensor 40 and a second pressure sensor 41.
, Main valve opening sensor 42, voltage sensor 43, current / resistance sensor 44, temperature sensor 45, operating time meter 47, operation counter 48, control unit 7, communication modem 80 and reverse voltage protection circuit 90 are mounted. The loop current controller 81 and the internal power supply circuit 91 are mounted on the second substrate 51. The magnetic sensor 46 is mounted on the third substrate 52.

なお、複数のセンサ4としては、上記のセンサ40〜48に限られず、他の物理量や動
作履歴に関する情報を取得するセンサをさらに備えていてもよいし、これらのセンサ40
〜48の一部が省略されていてもよい。また、複数のセンサ4が各基板50〜52に載置
される際の各センサ40〜48の載置状態は、図4に示す例に限られず、適宜変更しても
よい。さらに、収容部6に収容される基板5の枚数や、収容部6に対する各基板50〜5
2の配置についても適宜変更してもよい。
The plurality of sensors 4 are not limited to the above sensors 40 to 48, and may further include sensors for acquiring information on other physical quantities and operation histories, and these sensors 40.
A part of ~ 48 may be omitted. Further, the mounting state of the sensors 40 to 48 when the plurality of sensors 4 are mounted on the substrates 50 to 52 is not limited to the example shown in FIG. 4, and may be appropriately changed. Further, the number of substrates 5 accommodated in the accommodating portion 6 and each substrate 50 to 5 with respect to the accommodating portion 6
The arrangement of 2 may be changed as appropriate.

また、上記のセンサ40〜48は、図3、図4に示すように、それぞれのセンサが個別
に設けられたものに限られず、特定のセンサが他のセンサの機能を兼ねることで、当該他
のセンサが個別に設けられていなくてもよい。例えば、磁気センサ46が、ソレノイド部
3が発生する磁気の強さを計測するとともに、当該磁気の強さに基づいてソレノイド部3
における通電時の電流値を求めることで、電流・抵抗センサ44が個別に設けられていな
くてもよい。また、マイクロコントローラ70が、センサの機能を内蔵したり、センサの
機能の一部を実現したりしてもよく、例えば、マイクロコントローラ70が、稼働時間計
47及び作動カウンタ48を内蔵することで、稼働時間計47及び作動カウンタ48が個
別に設けられていなくてもよい。
Further, the sensors 40 to 48 are not limited to those in which each sensor is individually provided as shown in FIGS. 3 and 4, and the specific sensor also functions as another sensor. Sensors may not be provided individually. For example, the magnetic sensor 46 measures the magnetic strength generated by the solenoid unit 3, and the solenoid unit 3 is based on the magnetic strength.
The current / resistance sensor 44 may not be provided individually by obtaining the current value at the time of energization. Further, the microcontroller 70 may have a built-in sensor function or a part of the sensor function. For example, the microcontroller 70 has a built-in operating time meter 47 and an operation counter 48. , The operation time meter 47 and the operation counter 48 may not be provided separately.

(電磁弁の監視機能について)
次に、監視処理部700及び監視処理の詳細について説明する。
(About the solenoid valve monitoring function)
Next, the monitoring processing unit 700 and the details of the monitoring processing will be described.

図5は、本発明の実施形態に係る監視処理部700の機能の一例を示すタイミングチャ
ートである。図6は、第1の取得データDA及び第1の取得データ群SAの一例を示すデ
ータ構成図である。図7は、第2の取得データDB及び第2の取得データ群SBの一例を
示すデータ構成図である。
FIG. 5 is a timing chart showing an example of the function of the monitoring processing unit 700 according to the embodiment of the present invention. FIG. 6 is a data configuration diagram showing an example of the first acquired data DA and the first acquired data group SA. FIG. 7 is a data configuration diagram showing an example of the second acquired data DB and the second acquired data group SB.

監視処理部700は、定常運転中に、主弁11の開閉操作の有無に関わることなく、複
数のセンサ4のうち少なくとも1つのセンサ4(以下、「第1の監視対象センサ4A」と
いう。)を用いて電磁弁1の状態を監視する「第1の監視処理」を実行する。
During steady operation, the monitoring processing unit 700 is at least one of the plurality of sensors 4 regardless of whether or not the main valve 11 is opened / closed (hereinafter, referred to as “first monitored sensor 4A”). Is used to execute the "first monitoring process" for monitoring the state of the solenoid valve 1.

また、監視処理部700は、FST又はPSTにより主弁11の開閉操作が行われる非
定常運転中に、複数のセンサ4のうち少なくとも1つのセンサ(以下、「第2の監視対象
センサ4B」という。)を用いて電磁弁1の状態を監視する「第2の監視処理」を実行す
る。
Further, the monitoring processing unit 700 is referred to as at least one sensor among the plurality of sensors 4 (hereinafter, referred to as “second monitored sensor 4B”” during unsteady operation in which the main valve 11 is opened and closed by FST or PST. ) Is used to execute the "second monitoring process" for monitoring the state of the solenoid valve 1.

第1の監視処理では、監視処理部700は、図5に示すように、第1のサンプリング周
期PA(例えば、10秒間隔)で第1の監視対象センサ4Aにより取得された電磁弁1の
状態を第1の取得データDA(i)として取得し、当該第1の取得データDA(i)につ
いて、取得する毎に通信部8を介して外部装置15に順次送信する。外部装置15では、
第1の取得データDA(i)を順次受信することで、第1の取得データDA(i)と当該
第1の取得データDA(i)を取得した取得時刻TA(i)とを紐づけて構成する第1の
取得データ群SAが蓄積される。
In the first monitoring process, as shown in FIG. 5, the monitoring processing unit 700 states the solenoid valve 1 acquired by the first monitored sensor 4A in the first sampling period PA (for example, every 10 seconds). Is acquired as the first acquired data DA (i), and each time the first acquired data DA (i) is acquired, it is sequentially transmitted to the external device 15 via the communication unit 8. In the external device 15,
By sequentially receiving the first acquired data DA (i), the first acquired data DA (i) and the acquired time TA (i) obtained from the first acquired data DA (i) are linked. The constituent first acquired data group SA is accumulated.

そのため、監視処理部700が第1の監視処理を実行し、第1のサンプリング周期PA
にてm回の第1の取得データDA(i)(i=1,2,…,m)を取得した場合、外部装
置15には、図6に示す第1の取得データ群SAが蓄積される。
Therefore, the monitoring processing unit 700 executes the first monitoring processing, and the first sampling period PA
When the first acquired data DA (i) (i = 1, 2, ..., M) m times are acquired in the external device 15, the first acquired data group SA shown in FIG. 6 is accumulated in the external device 15. NS.

第2の監視処理では、監視処理部700は、図5に示すように、電磁弁1の操作が行わ
れる操作期間Qにおいて、第1のサンプリング周期PAよりも短い第2のサンプリング周
期PB(例えば、10msec間隔)で第2の監視対象センサ4Bにより取得された電磁
弁1の状態を第2の取得データDB(j)としてそれぞれ取得する。そして、監視処理部
700は、操作期間Q内にそれぞれ取得した第2の取得データDB(j)と当該第2の取
得データDB(j)のそれぞれを取得した取得時刻TB(j)とを紐付けて構成する第2
の取得データ群SBを一時記憶データとして内部記憶部701に記憶する。
In the second monitoring process, as shown in FIG. 5, the monitoring process unit 700 has a second sampling cycle PB (for example, which is shorter than the first sampling cycle PA) in the operation period Q in which the solenoid valve 1 is operated. The state of the solenoid valve 1 acquired by the second monitored sensor 4B at intervals of 10 msec) is acquired as the second acquired data DB (j). Then, the monitoring processing unit 700 links the second acquired data DB (j) acquired within the operation period Q and the acquisition time TB (j) obtained from each of the second acquired data DB (j). Second to attach and configure
The acquired data group SB is stored in the internal storage unit 701 as temporary storage data.

そのため、監視処理部700が第2の監視処理を実行し、操作期間Qにおいて第2のサ
ンプリング周期PBにてn回の第2の取得データDB(j)(j=1,2,…,n)を取
得した場合、内部記憶部701には、図7に示す第2の取得データ群SBが蓄積される。

以上のように、上記実施形態に係る電磁弁1によれば、監視処理部700が、第1の監
視処理では、第1のサンプリング周期PAで電磁弁1の状態を第1の取得データDAとし
て取得し、当該第1の取得データDAについて、取得する毎に通信部(外部送信部)8を
介して外部装置15に順次送信するとともに、第2の監視処理では、電磁弁1の操作が行
われる操作期間Qにおいて、第1のサンプリング周期よりも短い第2のサンプリング周期
PB(<PA)で電磁弁1の状態を第2の取得データDBとしてそれぞれ取得し、操作期
間Q内にそれぞれ取得した第2の取得データDBと当該第2の取得データDBのそれぞれ
を取得した取得時刻TBとを紐付けて構成する第2の取得データ群(取得データ群)SB
を内部記憶部701に記憶する。
Therefore, the monitoring processing unit 700 executes the second monitoring processing, and the second acquired data DB (j) (j = 1, 2, ..., N) n times in the second sampling cycle PB in the operation period Q. ) Is acquired, the second acquired data group SB shown in FIG. 7 is accumulated in the internal storage unit 701.

As described above, according to the solenoid valve 1 according to the above embodiment, in the first monitoring process, the monitoring processing unit 700 sets the state of the solenoid valve 1 as the first acquired data DA in the first sampling cycle PA. The first acquired data DA is acquired, and each time it is acquired, it is sequentially transmitted to the external device 15 via the communication unit (external transmission unit) 8, and in the second monitoring process, the solenoid valve 1 is operated. In the operation period Q, the state of the solenoid valve 1 was acquired as the second acquisition data DB in the second sampling period PB (<PA) shorter than the first sampling period, and each was acquired within the operation period Q. A second acquisition data group (acquisition data group) SB that is configured by associating the second acquisition data DB and the acquisition time TB that acquired each of the second acquisition data DBs.
Is stored in the internal storage unit 701.

そのため、比較的長い周期(第1のサンプリング周期PA)で継続的に実行される第1
の監視処理にて取得された第1の取得データDAについては、取得する毎に通信部8を介
して外部装置15に順次送信するので、内部記憶部701に負荷をかけることがなく、ま
た、通信部8の通信間隔(=第1のサンプリング周期PA)が確保されているため通信部
8に過度な負荷をかけることもない。そして、外部装置15に送信された第1の取得デー
タDAは、主弁11の開閉操作に関係なく、第1のサンプリング周期PAにより継続的に
取得されたものであるため、例えば閾値を設定して各部の故障を検出するような事後保全
を行うデータとして利用することができ、また、例えば取得されたデータの時系列を解析
することで各部の故障の傾向を把握するような予兆保全を行うためのデータとして利用す
ることができる。
Therefore, the first is continuously executed in a relatively long cycle (first sampling cycle PA).
The first acquired data DA acquired by the monitoring process of the above is sequentially transmitted to the external device 15 via the communication unit 8 each time it is acquired, so that the internal storage unit 701 is not overloaded and the internal storage unit 701 is not overloaded. Since the communication interval (= first sampling cycle PA) of the communication unit 8 is secured, an excessive load is not applied to the communication unit 8. Then, since the first acquired data DA transmitted to the external device 15 is continuously acquired by the first sampling cycle PA regardless of the opening / closing operation of the main valve 11, for example, a threshold value is set. It can be used as data for post-maintenance to detect failures in each part, and for example, predictive maintenance to grasp the tendency of failures in each part by analyzing the time series of acquired data. It can be used as data for.

また、電磁弁1の操作が行われる操作期間Qにおいて、比較的短い周期(第2のサンプ
リング周期PB)で一時的に実行される第2の監視処理にて取得された第2の取得データ
DAについては、操作期間Q内にそれぞれ取得した第2の取得データDBと当該第2の取
得データDBのそれぞれを取得した取得時刻TBとを紐付けて構成する取得データ群SB
を内部記憶部701に記憶するので、通信部8に負荷をかけることがなく、また、操作期
間Q内に限定されているため内部記憶部701に過度な負荷をかけることもない。そして
、内部記憶部701に記憶された第2の取得データ群SBは、電磁弁1の操作が行われる
操作期間Qに合わせて、電磁弁1の各部の状態が第2のサンプリング周期PBにより詳細
に取得されたものであるため、予兆保全を行うためのデータとして利用することができる
。さらに、内部記憶部701に記憶された第2の取得データ群SBは、事後保全を行うた
めのデータとしても利用することができる。
Further, in the operation period Q in which the solenoid valve 1 is operated, the second acquired data DA acquired in the second monitoring process temporarily executed in a relatively short cycle (second sampling cycle PB). The acquisition data group SB is configured by associating the second acquisition data DB acquired within the operation period Q and the acquisition time TB acquired from each of the second acquisition data DBs.
Is stored in the internal storage unit 701, so that no load is applied to the communication unit 8, and since the operation period Q is limited, an excessive load is not applied to the internal storage unit 701. Then, in the second acquired data group SB stored in the internal storage unit 701, the state of each part of the solenoid valve 1 is detailed by the second sampling cycle PB according to the operation period Q in which the operation of the solenoid valve 1 is performed. Since it was acquired in, it can be used as data for predictive maintenance. Further, the second acquired data group SB stored in the internal storage unit 701 can also be used as data for performing post-mortem maintenance.

したがって、通信部8及び内部記憶部701に対する過大な負荷を抑制しつつ、電磁弁
1の操作が行われる操作期間Qだけでなく、操作期間Q以外の期間も含めて、予兆保全に
有用なデータを取得することができる。
Therefore, while suppressing an excessive load on the communication unit 8 and the internal storage unit 701, data useful for predictive maintenance includes not only the operation period Q in which the solenoid valve 1 is operated but also the period other than the operation period Q. Can be obtained.

なお、第2の監視処理では、監視処理部700は、図5に示すように、第2の取得デー
タ群SBを内部記憶部701に記憶した後、第1の監視処理において第1の取得データD
Aを順次送信する第1の送信タイミングCAとは異なる第2の送信タイミングCBで、当
該第2の取得データ群SBを通信部8を介して外部装置15に送信するようにしてもよい
。これにより、第1の取得データDA及び第2の取得データ群SBの双方を確実に外部装
置15に送信することができる。
In the second monitoring process, as shown in FIG. 5, the monitoring processing unit 700 stores the second acquired data group SB in the internal storage unit 701, and then the first acquired data in the first monitoring process. D
The second acquisition data group SB may be transmitted to the external device 15 via the communication unit 8 at a second transmission timing CB different from the first transmission timing CA for sequentially transmitting A. As a result, both the first acquired data DA and the second acquired data group SB can be reliably transmitted to the external device 15.

また、第1の監視処理における第1の監視対象センサ4Aは、複数のセンサ4の全てを
用いてもよいし、そのうちの一部のセンサを用いてもよい。さらに、第2の監視処理にお
ける第2の監視対象センサ4Bについても同様に、複数のセンサ4の全てを用いてもよい
し、そのうちの一部のセンサ用いてもよい。また、第1の監視対象センサ4Aと第2の監
視対象センサ4Bとの間でセンサ種類又はセンサ数を比較した場合、両者は同じでもよい
し、異なっていてもよい。
Further, as the first monitored sensor 4A in the first monitoring process, all of the plurality of sensors 4 may be used, or some of the sensors may be used. Further, for the second monitored sensor 4B in the second monitoring process, all of the plurality of sensors 4 may be used, or some of the sensors 4 may be used in the same manner. Further, when the sensor type or the number of sensors is compared between the first monitored sensor 4A and the second monitored sensor 4B, both may be the same or different.

上記のうち両者のセンサ数が異なる場合であって、特に、第2の監視対象センサ(第2
のセンサ群)4Bのセンサ数が、第1の監視対象センサ(第1のセンサ群)4Aのセンサ
数よりも少ない場合の実施例として、監視処理部700は、第1の監視対象センサ4Aと
して、図6に示すように、第1の圧力センサ40、第2の圧力センサ41、主弁開度セン
サ42、電圧センサ43、電流・抵抗センサ44、温度センサ45、磁気センサ46、稼
働時間計47、及び、作動カウンタ48の9つのセンサ4を用いて第1の監視処理を実行
し、第2の監視対象センサ4Bとして、図7に示すように、第2の圧力センサ41及び主
弁開度センサ42を用いて第2の監視処理を実行するようにしてもよい。これにより、第
1の監視処理では、電磁弁1の全体を監視することで様々な事象を捉えて事後保全及び予
兆保全を行うことができ、第2の監視処理では、内部記憶部701への負荷(第2の取得
データ群SBの記憶容量)を抑制しつつ、電磁弁1及び流体圧駆動弁10が動作したとき
の状態を詳細に解析して予兆保全、さらには事後保全を行うことができる。
Of the above, when the number of both sensors is different, in particular, the second monitored sensor (second)
As an example in the case where the number of sensors of the first monitored sensor (first sensor group) 4A is smaller than the number of sensors of the first monitored sensor (first sensor group) 4A, the monitoring processing unit 700 is used as the first monitored sensor 4A. , As shown in FIG. 6, a first pressure sensor 40, a second pressure sensor 41, a main valve opening sensor 42, a voltage sensor 43, a current / resistance sensor 44, a temperature sensor 45, a magnetic sensor 46, and an operating time meter. The first monitoring process is executed using the nine sensors 4 of the 47 and the operation counter 48, and as the second monitored sensor 4B, as shown in FIG. 7, the second pressure sensor 41 and the main valve open. The second monitoring process may be executed using the degree sensor 42. As a result, in the first monitoring process, various events can be captured by monitoring the entire solenoid valve 1, and post-maintenance and predictive maintenance can be performed. In the second monitoring process, the internal storage unit 701 is supplied. While suppressing the load (the storage capacity of the second acquired data group SB), it is possible to perform predictive maintenance and post-maintenance by analyzing in detail the state when the solenoid valve 1 and the fluid pressure drive valve 10 are operated. can.

また、監視処理部700が、第1の監視処理及び第2の監視処理を実行するときの条件
(例えば、上記の第1の監視対象センサ4A及び第2の監視対象センサ4Bや、第1のサ
ンプリング周期PA及び第2のサンプリング周期PB)は、例えば、内部記憶部701の
設定値として指定されていてもよい。その場合には、当該設定値は、外部装置15(例え
ば、プラント管理用のコンピュータや診断用コンピュータ)や電磁弁1に設けられた操作
パネル(不図示)等を介して変更可能であってもよい。さらに、当該設定値は、固定値で
もよいし、所定の条件の下で変動する変動値でもよい。
Further, the conditions when the monitoring processing unit 700 executes the first monitoring processing and the second monitoring processing (for example, the above-mentioned first monitoring target sensor 4A and second monitoring target sensor 4B, and the first The sampling cycle PA and the second sampling cycle PB) may be designated as, for example, a set value of the internal storage unit 701. In that case, even if the set value can be changed via an external device 15 (for example, a computer for plant management or a computer for diagnosis), an operation panel (not shown) provided on the solenoid valve 1, or the like. good. Further, the set value may be a fixed value or a variable value that fluctuates under a predetermined condition.

(他の実施形態)
以上、本発明の実施形態について説明したが、本発明は上記実施形態に限定されるもの
ではなく、本発明の技術的思想を逸脱しない範囲で適宜変更可能である。
(Other embodiments)
Although the embodiments of the present invention have been described above, the present invention is not limited to the above embodiments and can be appropriately modified without departing from the technical idea of the present invention.

例えば、上記実施形態では、駆動装置12は、弁軸13を回転駆動させるものとして説
明したが、弁軸13を往復直線駆動させるようにしてもよい。この場合、弁軸13を往復
直線駆動させることに応じて開閉操作が行われる主弁11として、例えば、ゲートバルブ
やグローブバルブ等の形式を用いるようにしてもよい。
For example, in the above embodiment, the drive device 12 has been described as driving the valve shaft 13 in a rotary manner, but the valve shaft 13 may be driven in a reciprocating linear manner. In this case, as the main valve 11 whose opening / closing operation is performed in response to the reciprocating linear drive of the valve shaft 13, for example, a type such as a gate valve or a globe valve may be used.

さらに、この場合の電磁弁1の構成としては、収容部6が、駆動装置12により往復直
線駆動される弁軸の端部が挿入される軸挿入口を有するとともに、当該弁軸が往復直線駆
動されることに連動して回転軸を回転駆動させる駆動力伝達機構(例えば、ラックアンド
ピニオン機構、リンク機構、カム機構等)を収容する。そして、第1の基板50の基板面
が当該回転軸に沿うように配置されており、主弁開度センサ42が、第1の基板50の基
板面のうち当該回転軸の軸周りの外周に対向する位置に載置されて、主弁11の弁開度を
求めるべく、当該回転軸の回転角度を計測するようにすればよい。
Further, as the configuration of the electromagnetic valve 1 in this case, the accommodating portion 6 has a shaft insertion port into which the end portion of the valve shaft driven linearly by the drive device 12 is inserted, and the valve shaft is driven linearly reciprocatingly. It accommodates a driving force transmission mechanism (for example, a rack and pinion mechanism, a link mechanism, a cam mechanism, etc.) that rotationally drives the rotating shaft in conjunction with the movement. The substrate surface of the first substrate 50 is arranged along the rotation axis, and the main valve opening sensor 42 is located on the outer periphery of the substrate surface of the first substrate 50 around the axis of the rotation axis. It may be placed at opposite positions and the rotation angle of the rotation shaft may be measured in order to obtain the valve opening degree of the main valve 11.

また、上記の駆動力伝達機構は、収容部6の外部に配置されていてもよく、この場合に
は、駆動力伝達機構により回転駆動される回転軸の端部が軸挿入口から挿入されるととも
に、第1の基板50の基板面が軸挿入口から挿入された回転軸に沿うように配置されてお
り、主弁開度センサ42が、主弁11の弁開度を求めるべく、弁軸13の回転角度に代え
て、当該回転軸の回転角度を計測するようにすればよい。
Further, the above-mentioned driving force transmission mechanism may be arranged outside the accommodating portion 6, and in this case, the end portion of the rotary shaft rotationally driven by the driving force transmission mechanism is inserted from the shaft insertion port. At the same time, the substrate surface of the first substrate 50 is arranged along the rotation axis inserted from the shaft insertion port, and the main valve opening sensor 42 determines the valve opening of the main valve 11 so that the valve shaft Instead of the rotation angle of 13, the rotation angle of the rotation axis may be measured.

1…電磁弁、2…スプール部、3…ソレノイド部、
4…センサ、4A…第1の監視対象センサ、4B…第2の監視対象センサ、
5…基板、6…収容部、7…制御部、8…通信部(外部送信部)、9…電源回路部、
10…流体圧駆動弁、11…主弁、12…駆動装置、13…弁軸、
14…空気供給源、15…外部装置、16…外部電源、
20…入力ポート、21…出力ポート、22…排気ポート、
23…スプールホール、24…スプールバルブ、25…スプールスプリング、
26…入力側流路、27…出力側流路、28…排気流路、
30…ソレノイドケース、31…ソレノイドコイル、
32…可動鉄芯、33…固定鉄芯、34…ソレノイドスプリング、
40…第1の圧力センサ、41…第2の圧力センサ、
42…主弁開度センサ、43…電圧センサ、44…電流・抵抗センサ、
45…温度センサ、46…磁気センサ、47…稼働時間計、48…作動カウンタ、
50…第1の基板、51…第2の基板、52…第3の基板、
60…第1の収容部、61…第2の収容部、62…ターミナルボックス、
63…第1の流路、64…第2の流路、65…スプール流路、
70…マイクロコントローラ、71…バルブテストスイッチ、
80…通信モデム、81…ループ電流制御器、
90…逆電圧保護回路、91…内部電源回路、
100…配管、110…弁箱、111…弁体、
120…シリンダ、121…ピストンロッド、
122A…第1のピストン、122B…第2のピストン、
123…コイルばね、124…空気給排口、125…伝達機構、
130A…第1の端部、130B…第2の端部、
140…第1の空気配管、141…第2の空気配管、
150…通信ケーブル、160…電力ケーブル、
500A…第1の基板面、500B…第2の基板面、
610…ハウジング、610a…第1のハウジング端部、
610b…第2のハウジング端部、610c…軸挿入口、610d…ボディー挿入口、
610e…ケーブル挿入口、611…ボディー、
612…ソレノイドカバー、613…ターミナルボックスカバー、
700…監視処理部、701…内部記憶部、
A…空気、Q…操作期間
PA…第1のサンプリング周期、DA…第1の取得データ、TA…取得時刻、
CA…第1の送信タイミング、SA…第1の取得データ群、
PB…第2のサンプリング周期、DB…第2の取得データ、TB…取得時刻、
CB…第2の送信タイミング、SB…第2の取得データ群(取得データ群)
1 ... Solenoid valve, 2 ... Spool part, 3 ... Solenoid part,
4 ... Sensor, 4A ... First monitored sensor, 4B ... Second monitored sensor,
5 ... board, 6 ... accommodating unit, 7 ... control unit, 8 ... communication unit (external transmission unit), 9 ... power supply circuit unit,
10 ... Fluid pressure drive valve, 11 ... Main valve, 12 ... Drive device, 13 ... Valve shaft,
14 ... Air supply source, 15 ... External device, 16 ... External power supply,
20 ... input port, 21 ... output port, 22 ... exhaust port,
23 ... Spool hole, 24 ... Spool valve, 25 ... Spool spring,
26 ... Input side flow path, 27 ... Output side flow path, 28 ... Exhaust flow path,
30 ... Solenoid case, 31 ... Solenoid coil,
32 ... Movable iron core, 33 ... Fixed iron core, 34 ... Solenoid spring,
40 ... 1st pressure sensor, 41 ... 2nd pressure sensor,
42 ... Main valve opening sensor, 43 ... Voltage sensor, 44 ... Current / resistance sensor,
45 ... temperature sensor, 46 ... magnetic sensor, 47 ... operating time meter, 48 ... operation counter,
50 ... 1st substrate, 51 ... 2nd substrate, 52 ... 3rd substrate,
60 ... 1st containment, 61 ... 2nd containment, 62 ... Terminal box,
63 ... 1st flow path, 64 ... 2nd flow path, 65 ... Spool flow path,
70 ... Microcontroller, 71 ... Valve test switch,
80 ... communication modem, 81 ... loop current controller,
90 ... Reverse voltage protection circuit, 91 ... Internal power supply circuit,
100 ... Piping, 110 ... Valve box, 111 ... Valve body,
120 ... Cylinder, 121 ... Piston rod,
122A ... 1st piston, 122B ... 2nd piston,
123 ... Coil spring, 124 ... Air supply / exhaust port, 125 ... Transmission mechanism,
130A ... 1st end, 130B ... 2nd end,
140 ... 1st air pipe, 141 ... 2nd air pipe,
150 ... communication cable, 160 ... power cable,
500A ... 1st substrate surface, 500B ... 2nd substrate surface,
610 ... Housing, 610a ... First housing end,
610b ... Second housing end, 610c ... Shaft insertion slot, 610d ... Body insertion slot,
610e ... Cable insertion slot, 611 ... Body,
612 ... Solenoid cover, 613 ... Terminal box cover,
700 ... Monitoring processing unit, 701 ... Internal storage unit,
A ... air, Q ... operation period PA ... first sampling cycle, DA ... first acquisition data, TA ... acquisition time,
CA ... 1st transmission timing, SA ... 1st acquisition data group,
PB ... second sampling cycle, DB ... second acquisition data, TB ... acquisition time,
CB ... 2nd transmission timing, SB ... 2nd acquisition data group (acquisition data group)

Claims (6)

電磁弁であって、
当該電磁弁の各部の状態を取得する複数のセンサと、
外部装置に対してデータを送信する外部送信部と、
データを記憶する内部記憶部と、
第1のサンプリング周期で前記複数のセンサのうち少なくとも1つのセンサにより取得さ
れた前記電磁弁の状態を第1の取得データとして取得し、当該第1の取得データについて
、取得する毎に前記外部送信部を介して前記外部装置に順次送信する第1の監視処理、及
び、前記電磁弁の操作が行われる操作期間において、前記第1のサンプリング周期よりも
短い第2のサンプリング周期で前記複数のセンサのうち少なくとも1つのセンサにより取
得された前記電磁弁の状態を第2の取得データとしてそれぞれ取得し、前記操作期間内に
それぞれ取得した前記第2の取得データと当該第2の取得データのそれぞれを取得した取
得時刻とを紐付けて構成する取得データ群を前記内部記憶部に記憶する第2の監視処理を
実行する監視処理部とを備える、
ことを特徴とする電磁弁。
It ’s a solenoid valve,
Multiple sensors that acquire the state of each part of the solenoid valve,
An external transmitter that sends data to an external device,
An internal storage unit that stores data and
The state of the electromagnetic valve acquired by at least one of the plurality of sensors in the first sampling cycle is acquired as the first acquired data, and the first acquired data is transmitted to the outside each time it is acquired. In the operation period in which the first monitoring process of sequentially transmitting data to the external device via the unit and the operation of the electromagnetic valve are performed, the plurality of sensors have a second sampling cycle shorter than the first sampling cycle. The state of the electromagnetic valve acquired by at least one of the sensors is acquired as the second acquisition data, and each of the second acquisition data and the second acquisition data acquired within the operation period is obtained. It is provided with a monitoring processing unit that executes a second monitoring processing that stores the acquired data group configured by associating with the acquired acquisition time in the internal storage unit.
A solenoid valve characterized by that.
前記監視処理部は、
定常運転中に、前記操作の有無に関わることなく、前記第1の監視処理を実行し、
前記操作期間として、前記操作が行われる非定常運転中に前記第2の監視処理を実行す
る、
ことを特徴とする請求項1に記載の電磁弁。
The monitoring processing unit
During steady operation, the first monitoring process is executed regardless of the presence or absence of the operation.
As the operation period, the second monitoring process is executed during the unsteady operation in which the operation is performed.
The solenoid valve according to claim 1.
前記監視処理部は、
前記第1の監視処理において、前記複数のセンサのうち第1のセンサ群により取得され
た前記状態を前記第1の取得データとして取得し、
前記第2の監視処理において、前記複数のセンサのうち前記第1のセンサ群のセンサ数
よりも少ない第2のセンサ群により取得された前記状態を前記第2の取得データとして取
得する、
ことを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の電磁弁。
The monitoring processing unit
In the first monitoring process, the state acquired by the first sensor group among the plurality of sensors is acquired as the first acquired data, and the state is acquired.
In the second monitoring process, the state acquired by the second sensor group, which is smaller than the number of sensors in the first sensor group among the plurality of sensors, is acquired as the second acquisition data.
The solenoid valve according to claim 1 or 2, wherein the solenoid valve is characterized in that.
前記監視処理部は、
前記第2の監視処理において前記取得データ群を前記内部記憶部に記憶した後、前記第
1の監視処理において前記第1の取得データを順次送信する第1の送信タイミングとは異
なる第2の送信タイミングで、当該取得データ群を前記外部送信部を介して前記外部装置
に送信する、
ことを特徴とする請求項1乃至請求項3のいずれか一項に記載の電磁弁。
The monitoring processing unit
After storing the acquired data group in the internal storage unit in the second monitoring process, a second transmission different from the first transmission timing in which the first acquired data is sequentially transmitted in the first monitoring process. At the timing, the acquired data group is transmitted to the external device via the external transmission unit.
The solenoid valve according to any one of claims 1 to 3, wherein the solenoid valve is characterized in that.
前記電磁弁は、
主弁に連結された弁軸を駆動流体の流体圧に応じて駆動させることで前記主弁の開閉操
作を行う駆動装置に対して、前記駆動流体の給排を制御する機能を有し、
前記複数のセンサは、
前記駆動流体の供給源に接続される前記電磁弁の入力側流路を流れる前記駆動流体の前
記流体圧を計測する第1の圧力センサと、
前記駆動装置に接続される前記電磁弁の出力側流路を流れる前記駆動流体の前記流体圧
を計測する第2の圧力センサと、
前記主弁の弁開度情報を取得する主弁開度センサと、
前記電磁弁のソレノイド部に対する供給電圧を計測する電圧センサと、
前記ソレノイド部における通電時の電流値及び非通電時の抵抗値を計測する電流・抵抗
センサと、
前記複数のセンサ、前記外部送信部、前記内部記憶部及び前記監視処理部として機能す
る制御部が収容された収容部の内部温度を計測する温度センサと、
前記ソレノイド部が発生する磁気の強さを計測する磁気センサと、
前記ソレノイド部の稼働時間を計測する稼働時間計と、
前記電磁弁、前記駆動装置及び前記主弁それぞれの作動回数を計数する作動カウンタと

を少なくとも含む、
ことを特徴とする請求項1乃至請求項4のいずれか一項に記載の電磁弁。
The solenoid valve is
It has a function of controlling the supply and discharge of the driving fluid to the driving device that opens and closes the main valve by driving the valve shaft connected to the main valve according to the fluid pressure of the driving fluid.
The plurality of sensors
A first pressure sensor for measuring the fluid pressure of the driving fluid flowing through the input side flow path of the solenoid valve connected to the driving fluid supply source, and a first pressure sensor.
A second pressure sensor for measuring the fluid pressure of the driving fluid flowing through the output side flow path of the solenoid valve connected to the driving device, and a second pressure sensor.
A main valve opening sensor that acquires valve opening information of the main valve, and
A voltage sensor that measures the supply voltage to the solenoid section of the solenoid valve, and
A current / resistance sensor that measures the current value when the solenoid is energized and the resistance value when the solenoid is not energized.
A temperature sensor that measures the internal temperature of the accommodation unit that houses the plurality of sensors, the external transmission unit, the internal storage unit, and the control unit that functions as the monitoring processing unit.
A magnetic sensor that measures the strength of the magnetism generated by the solenoid unit,
An operating time meter that measures the operating time of the solenoid unit,
An operation counter that counts the number of operations of each of the solenoid valve, the drive device, and the main valve,
Including at least
The solenoid valve according to any one of claims 1 to 4, wherein the solenoid valve is characterized in that.
前記監視処理部は、
定常運転中に、前記開閉操作の有無に関わることなく、前記第1の圧力センサ、前記第
2の圧力センサ、前記主弁開度センサ、前記電圧センサ、前記電流・抵抗センサ、前記温
度センサ、前記磁気センサ、前記稼働時間計及び前記作動カウンタを用いて前記第1の監
視処理を実行し、
前記操作期間として、フルストロークテスト又はパーシャルストロークテストにより前
記開閉操作が行われる非定常運転中に、前記第2の圧力センサ及び前記主弁開度センサを
用いて前記第2の監視処理を実行する、
ことを特徴とする請求項5に記載の電磁弁。
The monitoring processing unit
During steady operation, the first pressure sensor, the second pressure sensor, the main valve opening sensor, the voltage sensor, the current / resistance sensor, the temperature sensor, regardless of the presence / absence of the opening / closing operation. Using the magnetic sensor, the operating time meter, and the operating counter, the first monitoring process is executed.
During the unsteady operation in which the opening / closing operation is performed by the full stroke test or the partial stroke test as the operation period, the second monitoring process is executed by using the second pressure sensor and the main valve opening sensor. ,
The solenoid valve according to claim 5, wherein the solenoid valve is characterized in that.
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