KR102619617B1 - 고순도 공업 용수 생산 시설의 소재, 부품 및 장치 용출 특성 가속 평가 장치 및 그의 용출 특성 평가 방법 - Google Patents

고순도 공업 용수 생산 시설의 소재, 부품 및 장치 용출 특성 가속 평가 장치 및 그의 용출 특성 평가 방법 Download PDF

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Abstract

다양한 실시예들은 고순도 공업 용수 생산 시설의 소재, 부품 및 장치 용출 특성 가속 평가 장치 및 그의 용출 특성 평가 방법을 제공한다. 다양한 실시예들에 따르면, 용출 특성 가속 평가 장치는, 초순수 및 평가하고자 하는 대상 시편이 주입되는 적어도 하나의 용출 용기, 및 미리 설정된 내부 온도를 유지하면서, 용출 용기가 수납되는 탱크를 포함한다. 다양한 실시예들에 따르면, 용출 특성 가속 평가 장치의 용출 특성 평가 방법은, 탱크에 컨디셔닝 워터를 채우고, 탱크의 내부 온도를 설정하고, 전처리된 적어도 하나의 용출 용기에 초순수 및 평가하고자 하는 대상 시편을 주입하고, 탱크에 대해 내부 온도가 유지되는 동안, 탱크 내부에 용출 용기를 수납하며, 미리 설정된 샘플링 주기에 따라, 탱크로부터 용출 용기를 꺼내어, 용출 용기의 시료 분석을 통해, 대상 시편에 대한 용출 특성을 평가하도록 구성된다.

Description

고순도 공업 용수 생산 시설의 소재, 부품 및 장치 용출 특성 가속 평가 장치 및 그의 용출 특성 평가 방법{ACCELERATED ELUTION CHARACTERISTICS EVALUATING EQUIPMENT FOR MATERIALS, COMPONENTS AND DEVICES OF ULTRAPURE WATER PRODUCTION FACILITY, AND ELUTION CHARACTERISTICS EVALUATING METHOD THEREOF}
다양한 실시예들은 고순도 공업 용수(ultrapure water) 생산 시설의 소재, 부품 및 장치 용출특성 가속 평가 장치 및 그의 용출 특성 평가 방법에 관한 것이다.
고순도 공업 용수는 순수보다 불순물이 적은 물로 유기물, 무기물 및 이온과 가스 등을 추가로 제거하여 석유화학, 철강, 전자, 반도체 및 전기분야에 광범위하게 사용되고 있다. 고순도 공업 용수 제조에서는 극미량의 오염 물질이 용수 품질에 큰 영향을 미치므로, 사용되는 기자재의 용출 특성 또한 중요한 성능 인자이다. 하지만, 국내의 물 공급 관련 용출 기준은 수도용 자재에 한정적으로 적용하고 있다(한국상하수도협회표준, 한국산업표준). 국내에서 분리막을 포함한 고분자 대상 수처리 공정에서 진행된 용출 특성 평가는 사용되는 단일 부품·소재에 대한 평가를 진행한 뒤 완제품을 제조하여 사용하는 방식을 차용하며, 고순도 공업 용수 소재의 용출 특성 평가 기준은 부재하다. 국외의 경우에는 고순도 공업 용수 공정 재료 용출성 검사는 미국 식품의약국 (FDA)의Title 21내 식품 및 의약품 용기·포장재의 용출물 검사 기준으로 평가한다. 또한, ASTM, SEMI 등에서 고순도 공업 용수 공정별 평가 방안에 대한 가이드라인을 제시하고 있지만, 용출과 관련해서는 국내와 마찬가지로 분리막 등 단일 부품에 대해서만 용출물 평가가 이루어진다. 고순도 공업용수 공정에서는 유기물 이외에도 입자성 이온성 등의 오염물 관리가 중요하며, 허용되는 용출한계 값이 매우 낮다(유기물 용출량 10μg-C/m2 이하). 그러므로, 고순도 공업 용수 관련 소재/부품/장치 개발 및 활용에 있어 유/무기 오염물의 용출 특성 평가를 위한 가속 평가 장치의 개발이 요구된다.
다양한 실시예들은, pH, 온도, DO(dissolved oxygen) 등이 조절 가능하며, 평가 장치 유래 유기물 및 무기물 용출에 의한 간섭 현상을 배제할 수 있는 고순도 공업 용수 소재, 부품 및 장치의 유/무기물 용출 특성 가속 평가 장치 및 그의 용출 특성 평가 방법을 제시한다.
다양한 실시예들은 고순도 공업 용수 생산 시설의 소재, 부품 및 장치 용출 특성 가속 평가 장치를 제공한다. 다양한 실시예들에 따르면, 상기 용출 특성 가속 평가 장치는, 초순수 및 평가하고자 하는 대상 시편이 주입되는 적어도 하나의 용출 용기, 및 미리 설정된 내부 온도를 유지하면서, 상기 용출 용기가 수납되는 탱크를 포함한다.
다양한 실시예들은 고순도 공업 용수 생산 시설의 소재, 부품 및 장치 용출 특성 가속 평가 장치의 용출 특성 평가 방법을 제공한다. 다양한 실시예들에 따르면, 상기 용출 특성 평가 방법은, 탱크에 컨디셔닝 워터를 채우고, 탱크의 내부 온도를 설정하는 단계, 전처리된 적어도 하나의 용출 용기에 초순수 및 평가하고자 하는 대상 시편을 주입하는 단계, 상기 탱크에 대해 상기 내부 온도가 유지되는 동안, 상기 탱크 내부에 상기 용출 용기를 수납하는 단계, 및 미리 설정된 샘플링 주기에 따라, 상기 탱크로부터 상기 용출 용기를 꺼내어, 상기 용출 용기의 시료 분석을 통해, 상기 대상 시편에 대한 용출 특성을 평가하는 단계를 포함한다.
다양한 실시예들에 따르면, 용출 특성 가속 평가 장치가 사용되어, 유/무기 오염물의 용출 특성 가속 평가가 가능하다. 이로써, 고순도 공업 용수 관련 소재/부품/장치 개발 및 활용에 있어 pH, 온도, DO 등이 조절 가능하며, 유기물 및 무기물 용출에 의한 간섭 현상을 배제할 수 있다.
도 1은 고순도 공업 용수 생산 시설의 소재, 부품 및 장치 용출 특성 가속 평가 장치를 개략적으로 도시하는 측면도이다.
도 2는 도 1의 용출 용기를 개략적으로 도시하는 측면도이다.
도 3은 도 1의 용출 특성 가속 평가 장치의 일 단면을 개략적으로 도시하는 평면도이다.
도 4는 도 1의 탱크를 개략적으로 도시하는 사시도이다.
도 5는 다양한 실시예들에 따른 용출 특성 가속 평가 장치의 용출 특성 평가 방법을 도시하는 순서도이다.
도 6은 도 5에 적용되는 샘플링 주기를 설명하기 위한 예시도이다.
도 7 및 도 8은 다양한 실시예들에 따른 용출 특성 가속 평가 장치의 성능을 설명하기 위한 그래프들이다.
이하, 본 문서의 다양한 실시예들이 첨부된 도면을 참조하여 설명된다.
도 1은 고순도 공업 용수 생산 시설의 소재, 부품 및 장치 용출 특성 가속 평가 장치(100)를 개략적으로 도시하는 측면도이다. 도 2는 도 1의 용출 용기(110)를 개략적으로 도시하는 측면도이다. 도 3은 도 1의 용출 특성 가속 평가 장치(100)의 일 단면을 개략적으로 도시하는 평면도이다. 도 4는 도 1의 탱크(120)를 개략적으로 도시하는 사시도이다.
도 1, 도 2, 도 3, 및 도 4를 참조하면, 용출 특성 가속 평가 장치(이하에서, 용출 평가 장치로도 지칭됨)(100)는 고순도 공업 용수 생산 시설의 소재, 부품 및 장치에서 용출되는 ppt 수준의 미량 이온 및 탄소 그리고 중금속 등의 용출 특성을 평가하여, 초순수 생산 시설에의 적용 적절성을 평가할 수 있는 장치이다. 따라서, 용출 평가 장치(100)는 공업 용수 생산 시설의 소재, 부품, 장치, 예컨대 배관, 밸브, 가스켓이나 오링과 같은 수처리 장비 재료 등에 대한 용출 특성 평가를 목적으로 한다. 용출 평가 장치(100)는 적어도 하나의 용출 용기(110), 및 탱크(120)를 포함한다.
용출 용기(110)는 용출 평가 장치(100)에서 실제 용출이 평가되는 용기이다. 이를 위해, 용출 용기(110)는 고순도 공업 용수의 오염도 특성상 외부 공기가 접촉하지 않도록 기밀 상태로 유지되고, 오염 방지를 위해 초순수로 채워져 일정 온도로 유지되어야 한다. 용출 용기(110)는 용기 바디(111), 및 엔드캡(113, 115)들을 포함한다. 이러한 용출 용기(110)는, 용기 바디(111)에 초순수가 채워지고, 평가하고자 하는 대상 시편이 침적되며, 엔드캡(113, 115)들에 의해 밀봉된다.
용기 바디(111)는, 양 단부들이 개방된 파이프 형태, 바꿔 말하면, 원통형의 형태를 갖는다. 용기 바디(111)는 다양한 재료들로 만들어지며, 평가하고자 하는 대상 시편, 예컨대 소재, 부품, 장치의 재료에 따라, 상이한 재료의 용출 용기(110)가 사용된다. 일 예로, 대상 시편이 무기질 재료인 경우, PVC(Polyvinyl chloride; 폴리염화비닐), CPVC(chlorinated polyvinyl chloride; 염소화 폴리염화비닐), PVDF(Polyvinylidene fluoride; 폴리비닐리덴 플로라이드) 및 PTFE(Polytetrafluoroethylene; 폴리테트라 플루오로에틸렌) 등과 같은 용출성이 낮은 다양한 합성수지 재료로 만들어진 용기 바디(111)가 사용될 수 있다. 다른 예로, 대상 시편이 유기물 재료인 경우, SUS304, SUS309S, SUS310S, SUS316, SUS317, SUS317L, SUS317LN, SUSXM7, SUS329J1, SUS329J4-L, SUS430, SUS434, SUS444, SUS447J1, SUSXM27, SUS403, SUS410, SUS410J1, SUS431, SUS440A, SUS440B 등과 같은 용출성이 낮은 스테인리스 스틸로 만들어진 용기 바디(111)가 사용될 수 있다. 이 때, 용기 바디(111)는 사용 전 초순수로 충분히 세척된 후, 사용된다.
엔드캡(113, 115)들은 용기 바디(111)의 양 단부들에 각각 장착된다. 그리고, 엔드캡(113, 115)들은 용기 바디(111)의 양 단부들을 개폐시킬 수 있다. 이를 위해, 엔드캡(113, 115)들은 원터치 패럴 클램프 방식으로 구현될 수 있으며, 용기 바디(111)에 엔드캡(113, 115)들을 탈부착시키기 위한 장비가 필요로 될 수 있다. 엔드캡(113, 115)들도 초순수를 오염시키지 않고 내열성이 뛰어난 재료들로 만들어진다. 이 때, 엔드캡(113, 115)들도 사용 전 초순수로 충분히 세척된 후, 사용된다.
탱크(120)는 용출 용기(110)를 수납하고, 용출 용기(110)를 위해 기밀성을 유지하면서 온도를 일정하게 유지한다. 예를 들면, 탱크(120)는 고온의 초순수에 의한 부식성이 없도록 스테인리스로 제작된다. 탱크(120)는 하우징(121), 히터(127), 적어도 두 개의 온도 센서(128)들, 및 적어도 하나의 타공판 거치대(129)를 포함한다.
하우징(121)은 용출 용기(110)를 수납하고, 컨디셔닝 워터를 수용한다. 하우징(121)은 개폐 가능하게 구현된다. 구체적으로, 하우징(121)은 하우징 바디(122), 및 하우징 바디(122)의 상단에 배치되는 하우징 커버(123)를 포함한다. 하우징 커버(123)에 의해, 하우징(121), 즉 하우징 바디(122)가 개폐된다. 하우징(121)이 개방되었을 때, 탱크(120) 내부에서의 용출 용기(110)의 탈착이 가능하다. 하우징(121)이 폐쇄되었을 때, 탱크(120) 내부의 온도, 즉 컨디셔닝 워터의 수온이 일정하게 유지된다. 하우징(121)에는, 유입구(124) 및 배출구(125)가 마련되어 있다. 유입구(124)는 하우징(121)의 상부에 배치되고, 유입구(124)를 통해, 탱크(120) 내부로의 컨디셔닝 워터의 주입이 가능하다. 배출구(125)는 하우징(121)의 하부에 배치되고, 배출구(125)를 통해, 탱크(120) 내부로부터의 컨디셔닝 워터의 배수가 가능하다. 유입구(124)에는 입수 라인(Li)이 설치되고, 배출구(125)에는 배수 라인(Lo)이 설치될 수 있다.
히터(127)는, 탱크(120) 내부에서 컨디셔닝 워터의 수온을 유지하기 위해 제공된다. 이러한 히터(127)는 컨디셔닝 워터의 수온을 약 85 도까지 높일 수 있으며, 컨디셔닝 워터의 수온을 약 20 도 또는 약 85 도로 일정하게 유지할 수 있다. 온도 센서(128)들은 탱크(120)의 내부에서 컨디셔닝 워터의 수온을 측정할 수 있다. 예를 들어, 온도 센서(128)들은 하우징(121) 내부에서 상측 및 하측에 이격되어 배치되어, 컨디셔닝 워터의 수온을 각각 측정할 수 있다. 이 때, 히터(127) 및 온도 센서(128)들은 서로에 연결되고, 히터(127)는 온도 센서(128)들에서 측정된된 컨디셔닝 워터의 수온을 기반으로, 구동할 수 있다.
타공판 거치대(129)는, 탱크(120)의 내부에 장착되는 각 용출 용기(110)를 지지한다. 이러한 타공판 거치대(129)는 하우징(121) 내부에서 탈착 가능하며, 하우징(121) 내부에서 상하로 위치 조정이 가능하게 구현된다. 예를 들어, 탱크(120)가 두 개의 타공판 거치대(129)들을 포함하는 경우, 타공판 거치대(129)들은 하우징(121) 내부에서 상측 및 하측에 이격되어 배치되어, 각 용출 용기(110)의 상하부를 개별적으로 지지할 수 있다.
어떤 실시예들에서, 탱크(120)는, 선택적으로 순환 펌프(Pc)가 달린 순환 경로(130)를 더 포함할 수 있다. 순환 경로(130)는 순환을 통해, 하우징(121) 내부의 상측 및 하측의 컨디셔닝 워터의 혼합을 위해 제공될 수 있다.
도 5는 다양한 실시예들에 따른 용출 특성 가속 평가 장치(100)의 용출 특성 평가 방법을 도시하는 순서도이다. 도 6은 도 5에 적용되는 샘플링 주기를 설명하기 위한 예시도이다.
도 5를 참조하면, 용출 평가 장치(100)는 대상 시편에 대해 용출 특성을 평가한다. 이 때, 용출 평가 장치(100)는 25 내지 85 ℃의 범위 내에서, 대상 시편의 용출 특성을 평가한다. 구체적으로, 용출 용기(110)에는, TOC(total organic carbon) 1 ppb 이하 수준의 초순수로 채운 후 대상 시편을 침적시키고, 일정 시간마다 각각의 대상 시편이 침적된 용출 용기(110)의 초순수 오염 물질 농도(용출 성분)를 분석한다. 용출 용기(110)는 기밀 상태를 유지하고 개봉 후 공기에 의한 오염을 주의한다. 여기서, 용출 성분 분석은 ppt 레벨의 음이온(불소 등)과 양이온 및 중금속 그리고 TOC를 분석하여 비교 평가한다.
먼저, 510 단계에서, 탱크(120)에 대해, 평가 환경이 설정된다. 구체적으로, 탱크(120) 내부에 컨디셔닝 워터가 미리 정해진 오버플로우 라인까지 채워진다. 그리고, 탱크(120)의 내부 온도가 설정된다. 예를 들면, 탱크(120)의 내부 온도는 약 20 도 또는 약 85 도로 설정될 수 있다. 이 때, 탱크(120)의 내부 온도를 기반으로, 히터(127)의 작동 상태가 설정된다. 이를 통해, 히터(127)가 작동하여, 컨디셔닝 워터의 수온을 높일 수 있다.
다음으로, 520 단계에서, 적어도 하나의 용출 용기(110)가 전처리된다. 이 때, 용출 용기(110), 즉 용기 바디(111) 및 엔드캡(113, 115)들은 초순수에 침적된다. 예를 들면, 엔드캡(113, 115)들은 약 85 도의 초순수에 약 5 시간 동안 침적될 수 있다. 한편, 용기 바디(111)는 초순수가 용기 바디(111)의 일 단부로부터 타 단부까지 흐르도록, 초순수에 약 1 시간 동안 노출될 수 있다. 여기서, 용출 용기(110)를 통해 평가하고자 하는 대상 시편의 유형에 따라, 용출 용기(110)는 상이한 방식으로 전처리될 수 있다.
일 실시예에 따르면, 대상 시편이 미량 유기물, 예컨대 산성, 염기성, 또는 중성의 유기물 재료인 경우, 용기 바디(111)는 다음과 같이 세척될 수 있다. 먼저, 용기 바디(111)는 뜨거운 세제 물로 씻겨진 다음, 수돗물로 적어도 세 번 헹궈질 수 있다. 그리고, 용기 바디(111)는 DI 워터(deionized water)로 적어도 세 번 헹궈질 수 있다. 또한, 용기 바디(111)는 용매로 헹궈질 수 있다. 예를 들면, 용기 바디(111)는 메탄올로 헹궈진 다음, n-헥산으로 헹궈질 수 있다. 여기서, 용기 바디(111)를 용매로 헹구는 중에 착용되는 장갑에는 오염을 유발할 수 있는 가소제(plasticizers; phthalates)가 포함되어 있을 수 있다. 그러나, 폴리우레탄(polyurethane), 폴리에틸렌(polyethylene), 또는 니트릴 고무 장갑은 가소제가 없을 가능성이 높으므로, 이들을 사용하는 것이 바람직할 수 있다. 한편, 용기 바디(111)를 용매로 헹굴 때에는, 적절한 배기 흐름이 있는 흄 후드(fume hood)가 사용되어야 할 것이다. 이 후, 용기 바디(111)는 유기물이 없는 질소로 건조되며, 이로써, 용기 바디(111)로부터 휘발성 용매가 제거될 수 있다. 이를 통해, 용기 바디(111)에 대한 세척이 완료되며, 동일한 방식으로 미리 세척된 엔드캡(113, 115)들로 즉시 밀봉될 수 있다.
다른 실시예에 따르면, 대상 시편이 미량 무기물, 예컨대 금속 재료인 경우, 용기 바디(111)는 다음과 같이 세척될 수 있다. 먼저, 용기 바디(111)는 희석된 HCl로 채워진 다음, 실온에서 약 48 시간 동안 방치될 수 있다. 여기서, 희석된 HCl은, 진한 염산이 같은 부피의 물로 희석된 용액을 나타낼 수 있다. 이 후, 용기 바디(111)는 비워진 다음, 물로 헹궈질 수 있다. 그리고, 용기 바디(111)는 희석된 HNO3로 채워진 다음, 실온에서 약 48 시간 동안 방치될 수 있다. 여기서, 희석된 HNO3는, 농축된 질산이 같은 부피의 물로 희석된 용액을 나타낼 수 있다. 이 후, 용기 바디(111)는 비워진 다음, 물로 헹궈질 수 있다. 또한, 용기 바디(111)는, 약 1/3만큼 초순수 채워지고, 엔드캡(113, 115)들로 폐쇄된 상태로, 흔들어진 다음, 비워질 수 있다. 이러한 과정은 적어도 세 번 반복될 수 있다. 여기서, 용기 바디(111)를 다룰 때에는, 일회용 폴리에틸렌 장갑이 착용되어야 할 것이다. 오염된 표면에 접촉하면, 장갑은 교체되어야 할 것이다.
다음으로, 530 단계에서, 용출 용기(110)에, 초순수 및 대상 시편이 주입된다. 구체적으로, 용기 바디(111)의 일 단부, 즉 하단부에 하나의 엔드캡(113)이 장착된다. 그리고, 용기 바디(111)의 타 단부, 즉 상단부를 통해, 용기 바디(111)의 내부에 초순수 및 대상 시편이 주입된다. 이 후, 용기 바디(111)의 타 단부에 다른 엔드캡(115)이 장착된다.
다음으로, 540 단계에서, 탱크(120)의 내부 온도가 설정된 온도에 부합되면, 탱크(120) 내부에 용출 용기(110)가 수납된다. 구체적으로, 하우징(121)이 개방되고, 용출 용기(110)가 타공판 거치대(129)에 장착된다. 이 후, 하우징(121)이 폐쇄된다. 이를 통해, 탱크(120)의 내부 온도, 즉 컨디셔닝 워터의 수온이 유지되는 동안, 용출 용기(110)가 탱크(120) 내부에 지속적응로 수납되어 있다.
다음으로, 550 단계에서, 미리 설정된 샘플링 주기에 따라, 탱크(120)로부터 용출 용기(110)가 꺼내어지고, 시료 분석을 통해, 대상 시편에 대한 용출 특성이 평가된다. 이 때, 각 샘플링 주기에 따라, 시료를 기반으로, 초순수의 변화로부터 대상 시편의 용출 특성이 평가된다. 예를 들면, 시료는 TOC, Silica, 전기전도도, 비저항 플랜트 계측기를 사용하여, 분석된다. 여기서, 시료는 원칙적으로, 용출 용기(110)가 탱크(120)로부터 꺼내진 시점으로부터, 최대한 빠른 시일 내에 분석되어야 한다. 이를 통해, 시간 경과에 따른, 대상 시편의 용출 특성이 평가된다.
예를 들면, 도 6에 도시된 바와 같이, 샘플링 주기가 정의될 수 있다. 구체적으로, 용출 용기(110)가 탱크(120)에 장착된 다음 제1 샘플링 주기가 경과되면, 탱크(120)로부터 용출 용기(110)가 꺼내어진다. 예를 들면, 제 1 샘플링 주기는 약 하루일 수 있다. 이 때, 용출 용기(110)로부터 시료가 샘플병에 옮겨진 다음, 분석을 위해 이동된다. 그리고, 용출 용기(110)는 다시 탱크(120)에 장착된다. 이 후, 용출 용기(110)가 탱크(120)에 다시 장착된 다음 제 2 샘플링 주기가 경과되면, 탱크(120)로부터 용출 용기(110)가 꺼내어진다. 예를 들면, 제 2 샘플링 주기는 약 2 일일 수 있다. 이 때, 용출 용기(110)로부터 시료가 샘플병에 옮겨진 다음, 분석을 위해 이동된다. 그리고, 용출 용기(110)는 다시 탱크(120)에 장착된다. 이 후, 용출 용기(110)가 탱크(120)에 다시 장착된 다음 제 3 샘플링 주기가 경과되면, 탱크(120)로부터 용출 용기(110)가 꺼내어진다. 예를 들면, 제 3 샘플링 주기는 약 3 일일 수 있다. 이 때, 용출 용기(110)로부터 시료가 샘플병에 옮겨진 다음, 분석을 위해 이동된다. 그리고, 각 샘플링 주기에 따른 분석 결과로부터, 데이터 정리가 수행된다.
도 7 및 도 8은 다양한 실시예들에 따른 용출 특성 가속 평가 장치(100)의 성능을 설명하기 위한 그래프들이다.
도 7 및 도 8을 참조하면, 용출 평가 장치(100)를 사용하여, 공업 용수 생산의 핵심 장치인 연속식 탈이온 장치 내의 이온 교환막의 유/무기물 용출 평가가 실시되었다. 도 7에 도시된 바와 같이, 이온 교환막의 유기물 용출 평가 결과가 나타났으며, 도 8에 도시된 바와 같이, 이온 교환막의 무기물 용출 평가 결과가 나타났다. 이 때, 하루, 7일, 및 30 일의 샘플링 주기들에 따라, 시료의 유/무기물 분석을 통해, 각 시료의 용출량 추이가 분석되었으며, 이로써, 용출량이 안정화되는 시점이 확인되었다.
다양한 실시예들에 따르면, 용출 특성 가속 평가 장치(100)가 사용되어, 유/무기 오염물의 용출 특성 가속 평가가 가능하다. 이로써, 고순도 공업 용수 관련 소재/부품/장치 개발 및 활용에 있어 pH, 온도, DO 등이 조절 가능하며, 유기물 및 무기물 용출에 의한 간섭 현상을 배제할 수 있다.
다양한 실시예들은 고순도 공업 용수 생산 시설의 소재, 부품 및 장치 용출 특성 가속 평가 장치(100)를 제공한다.
다양한 실시예들에 따르면, 용출 특성 가속 평가 장치(100)는, 초순수 및 평가하고자 하는 대상 시편이 주입되는 적어도 하나의 용출 용기(110), 및 미리 설정된 내부 온도를 유지하면서, 용출 용기(100)가 수납되는 탱크(120)를 포함한다.
다양한 실시예들에 따르면, 용출 용기(110)는, 양 단부들이 개방된 원통형의 형태를 갖고, 대상 시편의 재료에 따라 상이한 재료로 만들어지는 용기 바디(111), 및 용기 바디(111)의 양 단부들에 각각 장착되어, 용기 바디(111)를 개폐시킬 수 있는 엔드캡(113, 115)들을 포함한다.
다양한 실시예들에 따르면, 용기 바디(111)의 재료는, 대상 시편이 무기질 재료인 경우, 염소화 폴리염화비닐(CPVC)일 수 있다.
다양한 실시예들에 따르면, 용기 바디(111)의 재료는, 대상 시편이 유기질 재료인 경우, 스테인리스일 수 있다.
다양한 실시예들에 따르면, 탱크(120)는, 컨디셔닝 워터로 채워지고, 용출 용기(110)가 수납되는 하우징(121), 내부 온도를 유지하기 위해, 컨디셔닝 워터의 수온을 조절하도록 구성되는 히터(127), 및 컨디셔닝 워터의 수온을 측정하는 적어도 두 개의 온도 센서(128)들을 포함한다.
다양한 실시예들에 따르면, 온도 센서(128)들은, 하우징(121)의 내부에서 상측 및 하측에 이격되어 배치된다.
다양한 실시예들에 따르면, 히터(127)는, 온도 센서(128)들에서 측정된 컨디셔닝 워터의 수온을 기반으로, 구동한다.
다양한 실시예들에 따르면, 탱크(120)는, 하우징(121) 내부에서 용출 용기를 지지하도록 구성되는 적어도 하나의 타공판 거치대(129)를 더 포함한다.
다양한 실시예들에 따르면, 타공판 거치대(129)는, 하우징(121) 내부에서 탈착 가능하며, 하우징(121) 내부에서 상하로 위치 조정이 가능하게 구현된다.
다양한 실시예들에 따르면, 탱크(120)가 두 개의 타공판 거치대(129)들을 포함하는 경우, 타공판 거치대(129)들은, 하우징(121) 내부에서 상측 및 하측에 이격되어 배치되어, 용출 용기(110)의 상하부를 개별적으로 지지한다.
다양한 실시예들은 고순도 공업 용수 생산 시설의 소재, 부품 및 장치 용출 특성 가속 평가 장치(100)의 용출 특성 평가 방법을 제공한다.
다양한 실시예들에 따르면, 용출 특성 평가 방법은, 탱크(120)에 컨디셔닝 워터가 채워지고, 탱크(120)의 내부 온도를 설정하는 단계(510 단계), 전처리된 적어도 하나의 용출 용기(110)에 초순수 및 평가하고자 하는 대상 시편을 주입하는 단계(530 단계), 탱크(120)에 대해 내부 온도가 유지되는 동안, 탱크(120) 내부에 용출 용기(110)를 수납하는 단계(540 단계), 및 미리 설정된 샘플링 주기에 따라, 탱크(120)로부터 용출 용기(110)를 꺼내어, 용출 용기(110)의 시료 분석을 통해, 대상 시편에 대한 용출 특성을 평가하는 단계(550 단계)를 포함한다.
다양한 실시예들에 따르면, 용출 용기(110)는, 양 단부들이 개방된 원통형의 형태를 갖고, 대상 시편의 재료에 따라 상이한 재료로 만들어지는 용기 바디(111), 및 용기 바디(111)의 양 단부들에 각각 장착되어, 용기 바디(111)를 개폐시킬 수 있는 엔드캡(113, 115)들을 포함한다.
다양한 실시예들에 따르면, 용출 특성 평가 방법은, 대상 시편의 재료에 따라 상이한 방식으로 용출 용기(110)를 전처리하는 단계(520 단계)를 더 포함한다.
다양한 실시예들에 따르면, 용출 용기(110)를 전처리하는 단계(520 단계)는, 대상 시편이 유기물 재료인 경우, 용기 바디(111)를 뜨거운 세제 물로 씻는 단계, 용기 바디(111)를 수돗물로 헹구는 단계, 용기 바디(111)를 DI 워터로 헹구는 단계, 용기 바디(111)를 메탄올 및 n-헥산으로 순차적으로 헹구는 단계, 용기 바디(111)를 유기물이 없는 질소로 건조하여, 용기 바디(111)로부터 휘발성 용매를 제거하는 단계, 및 용기 바디(111)를 엔드캡(113, 115)들로 밀봉하는 단계를 포함한다.
다양한 실시예들에 따르면, 용출 용기(110)를 전처리하는 단계(520 단계)는, 대상 시편이 무기물 재료인 경우, 용기 바디(111)를 희석된 HCl로 채워서, 방치하는 단계, 용기 바디(111)를 비우고, 물로 헹구는 단계, 용기 바디(111)를 희석된 HNO3로 채워서, 방치하는 단계, 용기 바디(111)를 비우고, 물로 헹구는 단계, 및 용기 바디(111)의 일부가 초순수로 채워지고, 용기 바디(111)에 엔드캡(113, 115)들이 장착된 상태에서, 용기 바디(111)가 흔들어지고 비워지는 단계를 포함한다.
다양한 실시예들에 따르면, 대상 시편에 대한 용출 특성을 평가하는 단계(550 단계)는, 탱크(120) 내부에 용출 용기가 장착된 시점으로부터 제 1 샘플링 주기가 경과되면, 탱크(120)로부터 용출 용기(110)를 꺼내어, 용출 용기(110)의 시료 분석을 진행하는 단계, 제 1 샘플링 주기가 경과된 시점으로부터 제 2 샘플링 주기가 경과되면, 탱크(120)로부터 용출 용기(110)를 꺼내어, 용출 용기(110)의 시료 분석을 진행하는 단계, 제 2 샘플링 주기가 경과된 시점으로부터 제 3 제 2 샘플링 주기가 경과되면, 탱크(120)로부터 용출 용기(110)를 꺼내어, 용출 용기(110)의 시료 분석을 진행하는 단계, 및 제 1 샘플링 주기, 제 2 샘플링 주기, 및 제 3 샘플링 주기의 각각에 따른 분석 결과로부터, 대상 시편에 대한 용출 특성을 평가하는 단계를 포함한다.
본 문서의 다양한 실시예들 및 이에 사용된 용어들은 본 문서에 기재된 기술을 특정한 실시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 해당 실시예의 다양한 변경, 균등물, 및/또는 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 도면의 설명과 관련하여, 유사한 구성 요소에 대해서는 유사한 참조 부호가 사용될 수 있다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함할 수 있다. 본 문서에서, "A 또는 B", "A 및/또는 B 중 적어도 하나", "A, B 또는 C" 또는 "A, B 및/또는 C 중 적어도 하나" 등의 표현은 함께 나열된 항목들의 모든 가능한 조합을 포함할 수 있다. "제1", "제2", "첫째" 또는 "둘째" 등의 표현들은 해당 구성 요소들을, 순서 또는 중요도에 상관없이 수식할 수 있고, 한 구성 요소를 다른 구성 요소와 구분하기 위해 사용될 뿐 해당 구성 요소들을 한정하지 않는다. 어떤(예: 제1) 구성 요소가 다른(예: 제2) 구성 요소에 "(기능적으로 또는 물리적으로) 연결되어" 있다거나 "접속되어" 있다고 언급된 때에는, 상기 어떤 구성 요소가 상기 다른 구성 요소에 직접적으로 연결되거나, 다른 구성 요소(예: 제3 구성 요소)를 통하여 연결될 수 있다.
다양한 실시예들에 따르면, 기술한 구성 요소들의 각각의 구성 요소는 단수 또는 복수의 개체를 포함할 수 있다. 다양한 실시예들에 따르면, 전술한 해당 구성 요소들 중 하나 이상의 구성 요소들 또는 단계들이 생략되거나, 또는 하나 이상의 다른 구성 요소들 또는 단계들이 추가될 수 있다. 대체적으로 또는 추가적으로, 복수의 구성 요소들은 하나의 구성 요소로 통합될 수 있다. 이런 경우, 통합된 구성 요소는 복수의 구성 요소들 각각의 구성 요소의 하나 이상의 기능들을 통합 이전에 복수의 구성 요소들 중 해당 구성 요소에 의해 수행되는 것과 동일 또는 유사하게 수행할 수 있다. 다양한 실시예들에 따르면, 구성 요소들에 의해 수행되는 단계들은 순차적으로, 병렬적으로, 반복적으로, 또는 휴리스틱하게 실행되거나, 단계들 중 하나 이상이 다른 순서로 실행되거나, 생략되거나, 또는 하나 이상의 다른 단계들이 추가될 수 있다.

Claims (14)

  1. 공업 용수 생산 시설의 소재, 부품 및 장치 용출 특성 가속 평가 장치에 있어서,
    초순수 및 평가하고자 하는 대상 시편이 주입되는 적어도 하나의 용출 용기; 및
    미리 설정된 내부 온도를 유지하면서, 상기 용출 용기가 수납되는 탱크
    를 포함하고,
    상기 용출 용기는,
    상기 대상 시편의 재료에 따라 상이한 재료로 만들어지는 용기 바디
    를 포함하고,
    상기 용기 바디의 재료는,
    상기 대상 시편이 무기질 재료인 경우, 폴리염화비닐(polyvinyl chloride; PVC), 염소화 폴리염화비닐(chlorinated polyvinyl chloride; CPVC), 폴리비닐리덴 플로라이드(Polyvinylidene fluoride; PVDF), 또는 폴리테트라 플루오로에틸렌(Polytetrafluoroethylene; PTFE) 중 하나이고,
    상기 탱크는,
    컨디셔닝 워터로 채워지고, 상기 용출 용기가 수납되는 하우징;
    상기 내부 온도를 유지하기 위해, 상기 컨디셔닝 워터의 수온을 조절하도록 구성되는 히터; 및
    상기 컨디셔닝 워터의 수온을 측정하는 적어도 두 개의 온도 센서들
    을 포함하고,
    상기 온도 센서들은,
    상기 하우징의 내부에서 상측 및 하측에 이격되어 배치되고,
    상기 히터는,
    상기 온도 센서들에서 측정된 상기 컨디셔닝 워터의 수온을 기반으로, 구동하는,
    용출 특성 가속 평가 장치.
  2. 제1 항에 있어서,
    상기 용기 바디는 양 단부들이 개방된 원통형의 형태를 갖고,
    상기 용출 용기는,
    상기 용기 바디의 양 단부들에 각각 장착되어, 상기 용기 바디를 개폐시킬 수 있는 엔드캡들
    을 더 포함하는,
    용출 특성 가속 평가 장치.
  3. 제1 항에 있어서,
    상기 용기 바디의 재료는,
    상기 대상 시편이 유기질 재료인 경우, 스테인리스인,
    용출 특성 가속 평가 장치.
  4. 삭제
  5. 삭제
  6. 삭제
  7. 제1 항에 있어서,
    상기 탱크는,
    상기 하우징 내부에서 상기 용출 용기를 지지하도록 구성되는 적어도 하나의 타공판 거치대를 더 포함하는,
    용출 특성 가속 평가 장치.
  8. 제7 항에 있어서,
    상기 타공판 거치대는,
    상기 하우징 내부에서 탈착 가능하며, 상기 하우징 내부에서 상하로 위치 조정이 가능하게 구현되는,
    용출 특성 가속 평가 장치.
  9. 제8 항에 있어서,
    상기 탱크가 두 개의 타공판 거치대들을 포함하는 경우, 상기 타공판 거치대들은,
    상기 하우징 내부에서 상측 및 하측에 이격되어 배치되어, 상기 용출 용기의 상하부를 개별적으로 지지하는,
    용출 특성 가속 평가 장치.
  10. 공업 용수 생산 시설의 소재, 부품 및 장치 용출 특성 가속 평가 장치의 용출 특성 평가 방법에 있어서,
    상기 용출 특성 평가 방법은,
    탱크에 컨디셔닝 워터를 채우고, 탱크의 내부 온도를 설정하는 단계;
    전처리된 적어도 하나의 용출 용기에 초순수 및 평가하고자 하는 대상 시편을 주입하는 단계;
    상기 탱크에 대해 상기 내부 온도가 유지되는 동안, 상기 탱크 내부에 상기 용출 용기를 수납하는 단계; 및
    미리 설정된 샘플링 주기에 따라, 상기 탱크로부터 상기 용출 용기를 꺼내어, 상기 용출 용기의 시료 분석을 통해, 상기 대상 시편에 대한 용출 특성을 평가하는 단계
    를 포함하고,
    상기 용출 용기는,
    상기 대상 시편의 재료에 따라 상이한 재료로 만들어지는 용기 바디
    를 포함하고,
    상기 용기 바디의 재료는,
    상기 대상 시편이 무기질 재료인 경우, 폴리염화비닐(polyvinyl chloride; PVC), 염소화 폴리염화비닐(chlorinated polyvinyl chloride; CPVC), 폴리비닐리덴 플로라이드(Polyvinylidene fluoride; PVDF), 또는 폴리테트라 플루오로에틸렌(Polytetrafluoroethylene; PTFE) 중 하나이고,
    상기 탱크는,
    상기 컨디셔닝 워터로 채워지고, 상기 용출 용기가 수납되는 하우징;
    상기 내부 온도를 유지하기 위해, 상기 컨디셔닝 워터의 수온을 조절하도록 구성되는 히터; 및
    상기 컨디셔닝 워터의 수온을 측정하는 적어도 두 개의 온도 센서들
    을 포함하고,
    상기 온도 센서들은,
    상기 하우징의 내부에서 상측 및 하측에 이격되어 배치되고,
    상기 히터는,
    상기 온도 센서들에서 측정된 상기 컨디셔닝 워터의 수온을 기반으로, 구동하는,
    용출 특성 평가 방법.
  11. 제10 항에 있어서,
    상기 용기 바디는 양 단부들이 개방된 원통형의 형태를 갖고,
    상기 용출 용기는,
    상기 용기 바디의 양 단부들에 각각 장착되어, 상기 용기 바디를 개폐시킬 수 있는 엔드캡들
    을 더 포함하고,
    상기 용출 특성 평가 방법은,
    상기 대상 시편의 재료에 따라 상이한 방식으로 상기 용출 용기를 전처리하는 단계
    를 더 포함하는,
    용출 특성 평가 방법.
  12. 제11 항에 있어서,
    상기 용출 용기를 전처리하는 단계는,
    상기 대상 시편이 유기물 재료인 경우,
    상기 용기 바디를 뜨거운 세제 물로 씻는 단계;
    상기 용기 바디를 수돗물로 헹구는 단계;
    상기 용기 바디를 DI 워터(deionized water)로 헹구는 단계;
    상기 용기 바디를 메탄올 및 n-헥산으로 순차적으로 헹구는 단계;
    상기 용기 바디를 유기물이 없는 질소로 건조하여, 용기 바디로부터 휘발성 용매를 제거하는 단계; 및
    상기 용기 바디를 상기 엔드캡들로 밀봉하는 단계
    를 포함하는,
    용출 특성 평가 방법.
  13. 제11 항에 있어서,
    상기 용출 용기를 전처리하는 단계는,
    상기 대상 시편이 무기물 재료인 경우,
    상기 용기 바디를 희석된 HCl로 채우고, 방치하는 단계;
    상기 용기 바디를 비우고, 물로 헹구는 단계;
    상기 용기 바디를 희석된 HNO3로 채우고, 방치하는 단계;
    상기 용기 바디를 비우고, 물로 헹구는 단계; 및
    상기 용기 바디의 일부를 초순수로 채우고, 상기 용기 바디에 상기 엔드캡들이 장착된 상태에서, 상기 용기 바디가 흔들고 비우는 단계
    를 포함하는,
    용출 특성 평가 방법.
  14. 제10 항에 있어서,
    상기 대상 시편에 대한 용출 특성을 평가하는 단계는,
    상기 탱크 내부에 상기 용출 용기가 장착된 시점으로부터 제 1 샘플링 주기가 경과되면, 상기 탱크로부터 상기 용출 용기를 꺼내어, 상기 용출 용기의 시료 분석을 진행하는 단계;
    상기 제 1 샘플링 주기가 경과된 시점으로부터 제 2 샘플링 주기가 경과되면, 상기 탱크로부터 상기 용출 용기를 꺼내어, 상기 용출 용기의 시료 분석을 진행하는 단계;
    상기 제 2 샘플링 주기가 경과된 시점으로부터 제 3 제 2 샘플링 주기가 경과되면, 상기 탱크로부터 상기 용출 용기를 꺼내어, 상기 용출 용기의 시료 분석을 진행하는 단계; 및
    상기 제 1 샘플링 주기, 상기 제 2 샘플링 주기, 및 제 3 샘플링 주기의 각각에 따른 분석 결과로부터, 상기 대상 시편에 대한 상기 용출 특성을 평가하는 단계
    를 포함하는,
    용출 특성 평가 방법.
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