KR102619575B1

KR102619575B1 - Pusher apparatus for test

Info

Publication number: KR102619575B1
Application number: KR1020210091659A
Authority: KR
Inventors: 김기민; 엄기수
Original assignee: 주식회사 아이에스시
Priority date: 2021-07-13
Filing date: 2021-07-13
Publication date: 2023-12-29
Also published as: KR20230011073A

Abstract

본 발명은 반도체 디바이스를 가압하기 위한 검사용 가압 장치에 관한 것으로, 본 발명의 실시예에 따른 검사용 가압 장치는 힘점인 일단부와 작용점인 타단부 그리고 상기 일단부와 상기 타단부 사이의 힌지부를 포함하며 상기 타단부는 상기 힌지부에서 절곡 연장된 레버와, 상기 레버의 상기 힌지부에 결합된 힌지축과, 상기 힌지축과 결합하여 상기 레버를 회전 가능하게 지지하는 커버와, 상기 커버에 결합되어 횡방향 선형 운동을 가이드하는 리니어 가이드와, 원동홈을 가지고 상기 리니어 가이드에 결합된 직동 캠 블록과, 일단은 상기 레버의 상기 타단부에 결합되고 타단은 상기 직동 캠 블록에 결합되어 상기 레버가 회전하면 상기 직동 캠 블록을 횡방향으로 직선 왕복 운동시키는 링크 블록과, 상기 직동 캠 블록의 상기 원동홈에 걸리는 피동축을 가지고 상기 커버 상에 마련되어 상기 직동 캠 블록이 횡방향으로 직선 왕복 운동하면 상기 피동축이 상기 원동홈을 따라 이동하면서 종방향으로 직선 왕복 운동하는 캠 팔로워 블록, 그리고 상기 캠 팔로워 블록에 결합되어 상기 캠 팔로워 블록이 하강하면 상기 반도체 디바이스를 가압하는 푸셔 어셈블리를 포함한다.The present invention relates to a pressurizing device for inspection for pressurizing a semiconductor device. The pressing device for inspection according to an embodiment of the present invention has one end as a force point, the other end as an action point, and a hinge portion between the one end and the other end. The other end includes a lever bent and extended from the hinge portion, a hinge shaft coupled to the hinge portion of the lever, a cover coupled to the hinge shaft to rotatably support the lever, and coupled to the cover. a linear guide that guides lateral linear motion, a linear cam block having a circular groove and coupled to the linear guide, one end of which is coupled to the other end of the lever and the other end of which is coupled to the linear cam block so that the lever It is provided on the cover and has a link block that causes the linear cam block to reciprocate horizontally in a straight line when rotated, and a driven shaft that engages the circular groove of the linear cam block. A driven shaft includes a cam follower block that reciprocates linearly in the longitudinal direction while moving along the circular groove, and a pusher assembly coupled to the cam follower block to press the semiconductor device when the cam follower block descends.

Description

Pressurizing device for inspection {PUSHER APPARATUS FOR TEST}

본 발명은 검사용 가압 장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 반도체 디바이스를 검사용 장치 방향으로 가압하기 위한 검사용 가압 장치에 관한 것이다.The present invention relates to a pressing device for inspection, and more specifically, to a pressing device for inspection for pressing a semiconductor device in the direction of an inspection device.

일반적으로 제조가 완료된 반도체 디바이스는 전기적 검사를 수행하게 된다. 이러한 전기적 검사를 위해서는 피검사 대상인 반도체 디바이스를 검사 장치에 안착시킨 후 반도체 디바이스에 소정의 가압력을 가하여 반도체 디바이스의 단자들이 검사 장치의 패드들에 일정한 압력으로 접촉될 수 있어야 한다. 이에, 검사용 가압 장치를 사용하여 반도체 디바이스를 검사 장치 방향으로 가압하고 있다.Generally, semiconductor devices that have been manufactured undergo electrical inspection. In order to perform such an electrical test, the semiconductor device to be inspected must be placed on the test device and then a predetermined pressing force must be applied to the semiconductor device so that the terminals of the semiconductor device can contact the pads of the test device with a certain pressure. Accordingly, the semiconductor device is pressed in the direction of the inspection device using a pressure device for inspection.

종래의 검사용 가압 장치는 적은 힘으로 높은 하중을 가하기 위해 지렛대 원리를 이용하여 사용자가 지레의 힘점에 힘을 가하면 지레의 작용점에 위치한 푸셔(pusher)가 반도체 디바이스를 가압하는 구조를 가지고 있다. 이때, 푸셔는 반도체 디바이스가 손상되거나 검사에 불량이 발생하지 않도록 반도체 디바이스에 면압을 가하게 된다. 이와 같이, 푸셔가 반도체 디바이스와의 접촉면에서 고르게 힘을 전달하기 위해서는 푸셔가 기울어지지 않고 평탄하게 유지되는 것이 중요하다.Conventional pressurizing devices for inspection use the principle of a lever to apply a high load with a small amount of force. When a user applies force to the force point of the lever, a pusher located at the action point of the lever presses the semiconductor device. At this time, the pusher applies surface pressure to the semiconductor device to prevent the semiconductor device from being damaged or defects occurring during inspection. In this way, in order for the pusher to transmit force evenly on the contact surface with the semiconductor device, it is important that the pusher is maintained flat and not tilted.

그런데, 지렛대의 원리를 이용하여 지레로 푸셔를 가압하는 과정에서는, 지레의 특성 상 힘점에 힘이 가해지면 지지점을 중심으로 지레가 회전하면서 작용점의 위치가 이동하게 되고, 작용점의 위치가 달라지면서 푸셔에 편심이 발생하여 푸셔가 반도체 디바이스를 고르게 가압하지 못하게 되는 문제점이 있다.However, in the process of pressing the pusher with a lever using the principle of the lever, due to the characteristics of the lever, when force is applied to the force point, the lever rotates around the fulcrum and the position of the action point moves, and as the position of the action point changes, the pusher There is a problem in that eccentricity occurs and the pusher does not press the semiconductor device evenly.

본 발명의 실시예는 푸셔가 반도체 디바이스와의 접촉면에 고르게 힘을 가할 수 있는 검사용 가압 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.The purpose of an embodiment of the present invention is to provide a pressing device for inspection in which a pusher can evenly apply force to a contact surface with a semiconductor device.

본 발명의 실시예에 따르면, 반도체 디바이스를 가압하기 위한 검사용 가압 장치는 힘점인 일단부와 작용점인 타단부 그리고 상기 일단부와 상기 타단부 사이의 힌지부를 포함하며 상기 타단부는 상기 힌지부에서 절곡 연장된 레버와, 상기 레버의 상기 힌지부에 결합된 힌지축과, 상기 힌지축과 결합하여 상기 레버를 회전 가능하게 지지하는 커버와, 상기 커버에 결합되어 횡방향 선형 운동을 가이드하는 리니어 가이드와, 원동홈을 가지고 상기 리니어 가이드에 결합된 직동 캠 블록과, 일단은 상기 레버의 상기 타단부에 결합되고 타단은 상기 직동 캠 블록에 결합되어 상기 레버가 회전하면 상기 직동 캠 블록을 횡방향으로 직선 왕복 운동시키는 링크 블록과, 상기 직동 캠 블록의 상기 원동홈에 걸리는 피동축을 가지고 상기 커버 상에 마련되어 상기 직동 캠 블록이 횡방향으로 직선 왕복 운동하면 상기 피동축이 상기 원동홈을 따라 이동하면서 종방향으로 직선 왕복 운동하는 캠 팔로워 블록, 그리고 상기 캠 팔로워 블록에 결합되어 상기 캠 팔로워 블록이 하강하면 상기 반도체 디바이스를 가압하는 푸셔 어셈블리를 포함한다.According to an embodiment of the present invention, a pressing device for inspection for pressing a semiconductor device includes one end as a force point, the other end as an action point, and a hinge portion between the one end and the other end, and the other end is in the hinge portion. A bent and extended lever, a hinge shaft coupled to the hinge portion of the lever, a cover coupled to the hinge shaft to rotatably support the lever, and a linear guide coupled to the cover to guide lateral linear movement. and a direct-acting cam block coupled to the linear guide with a circular groove, one end of which is coupled to the other end of the lever and the other end of which is coupled to the direct-acting cam block, so that when the lever rotates, the direct-acting cam block is moved laterally. It has a link block that makes a linear reciprocating motion, and a driven shaft that engages the driving groove of the linear cam block, and is provided on the cover. When the linear cam block moves linearly in the horizontal direction, the driven shaft moves along the driving groove. It includes a cam follower block that reciprocates linearly in the longitudinal direction, and a pusher assembly coupled to the cam follower block to press the semiconductor device when the cam follower block descends.

상기 직동 캠 블록에는 상기 원동홈이 복수개 형성되고, 상기 캠 팔로워 블록은 상기 피동축을 복수개 가지며, 복수의 상기 피동축은 복수의 상기 원동홈에 각각 걸리도록 형성될 수 있다.The direct-acting cam block may have a plurality of driving grooves, the cam follower block may have a plurality of driven shafts, and the plurality of driven shafts may be formed to be respectively engaged with the plurality of driving grooves.

또한, 상기 원동홈을 갖는 상기 직동 캠 블록이 복수개 마련되고, 상기 캠 팔로워 블록은 상기 피동축을 복수개 가지며, 복수의 상기 피동축은 복수의 상기 원동홈에 각각 걸리도록 형성될 수도 있다.In addition, a plurality of the direct-acting cam blocks having the driving grooves may be provided, the cam follower block may have a plurality of driven shafts, and the plurality of driven shafts may be formed to be respectively engaged with the plurality of driving grooves.

상기 직동 캠 블록은 상기 커버의 측면에 마련되며, 상기 복수의 원동홈은 횡방향을 따라 배열되고, 상기 복수의 피동축은 상기 캠 팔로워 블록의 측면에서 횡방향을 따라 배열될 수 있다.The direct-acting cam block may be provided on a side of the cover, the plurality of circular grooves may be arranged along the transverse direction, and the plurality of driven shafts may be arranged along the transverse direction on the side of the cam follower block.

상기 직동 캠 블록의 상기 원동홈은 상기 커버와 종방향으로 소정의 거리를 두고 형성된 제1 높이부와, 상기 제1 높이부보다 상대적으로 상기 커버와의 거리가 작게 형성된 제2 높이부, 그리고 상기 제1 높이부와 상기 제2 높이부를 연결하는 경사부를 포함할 수 있다.The circular groove of the linear cam block includes a first height portion formed at a predetermined distance from the cover in the longitudinal direction, a second height portion formed at a relatively smaller distance from the cover than the first height portion, and It may include an inclined portion connecting the first height portion and the second height portion.

상기 레버의 일단부가 들린 상태에서는 상기 캠 팔로워 블록의 상기 피동축이 상기 직동 캠 블록의 상기 원동홈의 상기 제1 높이부에 걸리며, 상기 레버의 일단부가 눌리면 상기 직동 캠 블록이 횡방향으로 이동하면서 상기 캠 팔로워 블록의 상기 피동축이 상기 직동 캠 블록의 상기 원동홈의 상기 경사부를 따라 상기 제2 높이부로 이동하면서 상기 캠 팔로워 블록이 하강하도록 구성될 수 있다.In a state where one end of the lever is lifted, the driven shaft of the cam follower block is caught in the first height part of the circular groove of the direct-acting cam block, and when one end of the lever is pressed, the direct-acting cam block moves laterally The cam follower block may be configured to descend while the driven shaft of the cam follower block moves to the second height portion along the inclined portion of the circular groove of the direct-acting cam block.

상기한 검사용 가압 장치는 상기 캠 팔로워 블록과 대향하는 상기 커버의 일면에 반대되는 상기 커버의 타면에 대향하는 베이스와, 상기 베이스의 일측에 설치되어 상기 커버와 힌지 결합된 힌지 블록을 더 포함할 수 있다.The inspection pressing device may further include a base opposing the other surface of the cover opposite to one surface of the cover facing the cam follower block, and a hinge block installed on one side of the base and hinged to the cover. You can.

상기 베이스의 타측에는 걸림턱이 형성될 수 있다. 그리고 상기한 검사용 가압 장치는 일측이 상기 커버에 힌지 결합되고 타측에는 상기 베이스의 상기 걸림턱에 걸리는 걸림부가 형성된 래치(latch)를 더 포함할 수 있다.A locking protrusion may be formed on the other side of the base. In addition, the pressurizing device for inspection may further include a latch on one side of which is hinged to the cover and on the other side of which a locking portion that catches the locking protrusion of the base is formed.

상기 푸셔 어셈블리는 상기 반도체 디바이스를 가압하는 푸셔와, 상기 푸셔를 냉각시키는 히트 싱크(heat sink), 그리고 상기 히트 싱크 상에 설치된 냉각팬을 포함할 수 있다.The pusher assembly may include a pusher that presses the semiconductor device, a heat sink that cools the pusher, and a cooling fan installed on the heat sink.

상기 푸셔 어셈블리는 상기 푸셔가 상기 반도체 디바이스에 가하는 하중을 측정하는 로드 셀(load cell)을 더 포함할 수 있다.The pusher assembly may further include a load cell that measures a load applied by the pusher to the semiconductor device.

본 발명의 실시예에 따르면, 검사용 가압 장치는 안정적으로 푸셔가 반도체 디바이스와의 접촉면에 고르게 힘을 가할 수 있다.According to an embodiment of the present invention, the inspection pressing device can stably apply force evenly to the contact surface of the pusher with the semiconductor device.

도 1은 본 발명의 제1 실시예에 따른 검사용 가압 장치의 사시도이다.
도 2는 도 1의 검사용 가압 장치의 분해 사시도이다.
도 3은 도 1의 검사용 가압 장치의 푸셔 어셈블리를 확대 도시한 사시도이다.
도 4는 도 1의 검사용 가압 장치가 가압을 하지 않은 상태를 나타낸 측면도이다.
도 5는 도 5의 검사용 가압 장치의 단면도이다.
도 6은 도 1의 검사용 가압 장치가 가압한 상태를 나타낸 측면도이다.
도 7은 도 7의 검사용 가압 장치의 단면도이다.
도 8은 본 발명의 제2 실시예에 따른 검사용 가압 장치에 사용된 직동 캠 블록을 나타낸다.
도 9는 본 발명의 제3 실시예에 따른 검사용 가압 장치에 사용된 직동 캠 블록을 나타낸다.1 is a perspective view of a pressurizing device for inspection according to a first embodiment of the present invention.
Figure 2 is an exploded perspective view of the inspection pressurizing device of Figure 1.
Figure 3 is an enlarged perspective view of the pusher assembly of the inspection pressing device of Figure 1.
FIG. 4 is a side view showing the inspection pressurizing device of FIG. 1 in a state in which no pressurization is applied.
Figure 5 is a cross-sectional view of the pressurizing device for inspection in Figure 5.
Figure 6 is a side view showing the pressurized state of the inspection pressurizing device of Figure 1.
Figure 7 is a cross-sectional view of the inspection pressing device of Figure 7.
Figure 8 shows a direct-acting cam block used in a pressurizing device for inspection according to a second embodiment of the present invention.
Figure 9 shows a direct-acting cam block used in a pressurizing device for inspection according to a third embodiment of the present invention.

이하, 첨부한 도면을 참고로 하여 본 발명의 실시예에 대하여 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 상세히 설명한다. 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며 여기에서 설명하는 실시예에 한정되지 않는다.Hereinafter, with reference to the attached drawings, embodiments of the present invention will be described in detail so that those skilled in the art can easily implement the present invention. The present invention may be implemented in many different forms and is not limited to the embodiments described herein.

또한, 여러 실시예에 있어서, 동일한 구성을 가지는 구성요소에 대해서는 동일한 부호를 사용하여 대표적으로 제1 실시예에서 설명하고, 그 외의 실시예들에서는 제1 실시예와 다른 구성에 대해서만 설명하기로 한다.In addition, in various embodiments, components having the same configuration will be representatively described in the first embodiment using the same symbols, and in other embodiments, only configurations different from the first embodiment will be described. .

도면들은 개략적이고 축척에 맞게 도시되지 않았다는 것을 일러둔다. 도면에 있는 부분들의 상대적인 치수 및 비율은 도면에서의 명확성 및 편의를 위해 그 크기에 있어 과장되거나 축소되어 도시되었으며 임의의 치수는 단지 예시적인 것이지 한정적인 것은 아니다. 그리고 둘 이상의 도면에 나타나는 동일한 구조물, 요소 또는 부품에는 동일한 참조 부호가 유사한 특징을 나타내기 위해 사용된다.Please note that the drawings are schematic and not drawn to scale. The relative dimensions and proportions of parts in the drawings are shown exaggerated or reduced in size for clarity and convenience in the drawings, and any dimensions are illustrative only and are not limiting. And for identical structures, elements, or parts that appear in two or more drawings, the same reference numerals are used to indicate similar features.

본 발명의 실시예는 본 발명의 이상적인 실시예를 구체적으로 나타낸다. 그 결과, 도해의 다양한 변형이 예상된다. 따라서 실시예는 도시한 영역의 특정 형태에 국한되지 않으며, 예를 들면 제조에 의한 형태의 변형도 포함한다.The embodiments of the present invention specifically represent ideal embodiments of the present invention. As a result, various variations of the diagram are expected. Accordingly, the embodiment is not limited to the specific shape of the illustrated area and also includes changes in shape due to manufacturing, for example.

또한, 본 명세서에서 사용되는 모든 기술적 용어들 및 과학적 용어들은, 달리 정의되지 않는 한, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 일반적으로 이해되는 의미를 가진다. 본 명세서에 사용되는 모든 용어들은 본 발명을 더욱 명확히 설명하기 위한 목적으로 선택된 것이며 본 발명에 따른 권리범위를 제한하기 위해 선택된 것이 아니다.Additionally, all technical and scientific terms used in this specification, unless otherwise defined, have meanings commonly understood by those skilled in the art to which the present invention pertains. All terms used in this specification are selected for the purpose of more clearly explaining the present invention and are not selected to limit the scope of rights according to the present invention.

또한, 본 명세서에서 사용되는 '포함하는', '구비하는', '갖는' 등과 같은 표현은, 해당 표현이 포함되는 어구 또는 문장에서 달리 언급되지 않는 한, 다른 실시예를 포함할 가능성을 내포하는 개방형 용어(open-ended terms)로 이해되어야 한다.In addition, expressions such as 'comprising', 'comprising', 'having', etc. used in this specification imply the possibility of including other embodiments, unless otherwise stated in the phrase or sentence containing the expression. It should be understood as open-ended terms.

또한, 본 명세서에서 기술된 단수형의 표현은 달리 언급하지 않는 한 복수형의 의미를 포함할 수 있으며, 이는 청구범위에 기재된 단수형의 표현에도 마찬가지로 적용된다.In addition, singular expressions described herein may include plural meanings unless otherwise specified, and this also applies to singular expressions described in the claims.

또한, 본 명세서에서 사용되는 '제1', '제2' 등의 표현들은 복수의 구성 요소들을 상호 구분하기 위해 사용되며, 해당 구성요소들의 순서 또는 중요도를 한정하는 것은 아니다.Additionally, expressions such as 'first' and 'second' used in this specification are used to distinguish a plurality of components from each other and do not limit the order or importance of the components.

이하, 도 1 내지 도 7을 참조하여 본 발명의 제1 실시예에 따른 검사용 가압 장치(101)를 설명한다. 본 발명의 제1 실시예에 따른 검사용 가압 장치(101)는 반도체 디바이스에 대한 전기적 검사를 수행하기 위해 반도체 디바이스를 검사 장치 쪽으로 가압하는데 사용될 수 있다.Hereinafter, the pressurizing device 101 for inspection according to the first embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. 1 to 7. The inspection pressing device 101 according to the first embodiment of the present invention can be used to press a semiconductor device toward an inspection device to perform an electrical inspection on the semiconductor device.

도 1 내지 도 4에 도시한 바와 같이, 본 발명의 제1 실시예에 따른 검사용 가압 장치(101)는 레버(lever, 200), 힌지축(hinge shaft, 260), 커버(cover, 300), 리니어 가이드(linear guide, 620), 직동 캠(translation cam) 블록(401), 링크(link) 블록(670), 캠 팔로워(cam follower) 블록(500), 및 푸셔 어셈블리(pusher assembly, 700)를 포함한다.As shown in FIGS. 1 to 4, the inspection pressing device 101 according to the first embodiment of the present invention includes a lever (200), a hinge shaft (260), and a cover (300). , linear guide (620), translation cam block (401), link block (670), cam follower block (500), and pusher assembly (pusher assembly, 700) Includes.

또한, 본 발명의 제1 실시예에 따른 검사용 가압 장치(101)는 베이스(base, 800), 힌지 블록(680), 래치(latch, 630), 및 손잡이(280)를 더 포함할 수 있다.In addition, the pressing device 101 for inspection according to the first embodiment of the present invention may further include a base 800, a hinge block 680, a latch 630, and a handle 280. .

레버(200)는 힘점인 일단부(201)와 작용점인 타단부(203) 그리고 일단부(201)와 타단부(203) 사이의 힌지부(202)를 포함할 수 있다. 그리고 레버(200)의 타단부(203)는 힌지부(202)에서 절곡 연장될 수 있다. 예를 들어, 레버(200)는 "ㄱ"자 또는 "ㄴ"자 형상을 가질 수 있다. 이때, 레버(200)의 타단부(203)는 일단부(201)에 비해 상대적으로 길이가 매우 짧게 형성될 수 있다. 지렛대의 원리에 따라, 레버(200)의 일단부(201)의 길이가 타단부(203) 보다 길수록 사용자가 적은 힘을 들이고도 높은 하중을 가할 수 있게 된다. 따라서, 사용자가 적은 힘으로 레버(200)를 눌러도 후술할 푸셔 어셈블리(700)가 큰 힘으로 반도체 디바이스를 가압할 수 있기 위해서는 레버(200)의 타단부(203)를 일단부(201)보다 매우 짧게 형성되는 것이 유리하다.The lever 200 may include one end 201 as a force point, the other end 203 as an action point, and a hinge portion 202 between the one end 201 and the other end 203. And the other end 203 of the lever 200 may be bent and extended from the hinge portion 202. For example, the lever 200 may have an “ㄱ” or “ㄴ” shape. At this time, the other end 203 of the lever 200 may be formed to be relatively shorter in length than the one end 201. According to the principle of a lever, as the length of one end 201 of the lever 200 is longer than the other end 203, the user can apply a high load with less force. Therefore, in order for the pusher assembly 700, which will be described later, to press the semiconductor device with a large force even if the user presses the lever 200 with a small force, the other end 203 of the lever 200 must be much larger than the one end 201. It is advantageous to be formed short.

또한, 한 쌍의 레버(200)가 후술할 커버(300)의 양 측면에 각각 대향하도록 설치될 수 있다. 이에, 레버(200)가 힘을 균형 있게 전달할 수 있게 된다.Additionally, a pair of levers 200 may be installed to face each other on both sides of the cover 300, which will be described later. Accordingly, the lever 200 can transmit force in a balanced manner.

손잡이(280)는 레버(200)의 일단부(201)에 결합되되, 한 쌍의 레버(200)의 일단부(201)를 연결하여 사용자가 레버(200)의 일단부(201)에 용이하게 힘을 가할 수 있도록 돕는다. 즉, 사용자는 손잡이(280)를 통해 레버(200)의 힘점에 용이하게 힘을 가할 수 있게 된다.The handle 280 is coupled to one end 201 of the lever 200, and connects the one end 201 of the pair of levers 200 so that the user can easily touch the one end 201 of the lever 200. Helps you apply force. That is, the user can easily apply force to the force point of the lever 200 through the handle 280.

힌지축(260)은 레버(200)의 힌지부(202)에 결합될 수 있다. 즉, 레버(200)는 힌치축(260)을 중심으로 회전하게 된다.The hinge shaft 260 may be coupled to the hinge portion 202 of the lever 200. That is, the lever 200 rotates around the hinch axis 260.

또한, 힌지축(260)은 후술할 커버(300)와도 결합될 수 있다. 즉, 커버(300)는 힌지축(260)을 통해 레버(200)를 회전 가능하게 지지할 수 있다. 예를 들어, 힌지축(260)은 커버(300)의 일영역을 관통하여 한 쌍의 레버(200)의 타단부(203)를 연결할 수 있다.Additionally, the hinge shaft 260 may also be combined with the cover 300, which will be described later. That is, the cover 300 can rotatably support the lever 200 through the hinge axis 260. For example, the hinge shaft 260 may pass through one area of the cover 300 and connect the other ends 203 of the pair of levers 200.

커버(300)는 힌지축(260)과 결합하여 레버(200)를 회전 가능하게 지지할 수 있다. 또한, 커버(300)는 후술할 베이스(800) 상에 마련되는데, 커버(300)는 베이스(800)의 일측에 설치된 후술할 힌지 블록(680)과 힌지 결합되며 힌지 블록(680)과 힌지 결합된 부위를 중심으로 커버(300)가 회전하여 베이스(800)로부터 열릴 수 있게 된다.The cover 300 may be combined with the hinge axis 260 to rotatably support the lever 200. In addition, the cover 300 is provided on the base 800, which will be described later. The cover 300 is hinged with a hinge block 680, which will be described later, installed on one side of the base 800, and is hinged with the hinge block 680. The cover 300 rotates around the area so that it can be opened from the base 800.

리니어 가이드(620)는 커버(300)에 결합되어 횡방향 선형 운동을 가이드할 수 있다.The linear guide 620 may be coupled to the cover 300 to guide lateral linear movement.

이하, 본 명세서에서 종방향이라 함은 푸셔 어셈블리(700)가 반도체 디바이스를 가압하는 방향을 의미하며, 횡방향이라 함은 종방향과 교차하는 방향을 의미한다.Hereinafter, in this specification, the vertical direction refers to the direction in which the pusher assembly 700 presses the semiconductor device, and the horizontal direction refers to the direction that intersects the vertical direction.

구체적으로, 리니어 가이드(620)는 커버(300)의 양 측면에 각각 설치될 수 있다. 그리고 리니어 가이드(620)는 후술할 직동 캠 블록(401)과 결합되어 직동 캠 블록(401)의 횡방향 직선 왕복 운동을 가이드 하게 된다.Specifically, the linear guide 620 may be installed on both sides of the cover 300, respectively. And the linear guide 620 is combined with the direct-acting cam block 401, which will be described later, to guide the lateral linear reciprocating motion of the direct-acting cam block 401.

예를 들어, 리니어 가이드(620)로는 크로스 롤러 방식, 샤프트 방식, 및 슬라이드 레일 방식 등 다양한 종류의 리니어 가이드들이 사용될 수 있다.For example, various types of linear guides, such as a cross roller type, a shaft type, and a slide rail type, may be used as the linear guide 620.

직동 캠 블록(401)은 리니어 가이드(620)에 결합되어 커버(300)의 측면에 대향하도록 마련될 수 있다. 즉, 직동 캠 블록(401)은 리니어 가이드(620)에 의해 횡방향으로 직선 왕복 운동할 수 있도록 마련된다. 그리고 직동 캠 블록(401)도 커버(300)의 양 측에 각각 마련될 수 있다.The direct-acting cam block 401 may be coupled to the linear guide 620 and provided to face the side of the cover 300. That is, the linear cam block 401 is provided to perform linear reciprocating motion in the transverse direction by the linear guide 620. Additionally, direct-acting cam blocks 401 may also be provided on both sides of the cover 300, respectively.

또한, 본 발명의 제1 실시예에서, 직동 캠 블록(401)은 복수의 원동홈(451)을 가질 수 있다. 이때, 복수의 원동홈(451)은 횡방향을 따라 배열될 수 있다.Additionally, in the first embodiment of the present invention, the linear cam block 401 may have a plurality of circular grooves 451. At this time, the plurality of circular grooves 451 may be arranged along the transverse direction.

한편, 직동 캠 블록(401)의 원동홈(451)은 후술할 캠 팔로워 블록(500)의 피동축(540)을 동작시키기 위한 것으로, 통상적인 직동 캠 구조에서 원동홈(451)은 원동절이 되고 피동축(540)은 피동절이 될 수 있다. 즉, 직동 캠 블록(401)이 횡방향으로 왕복 운동하면서 캠 팔로워 블록(500)을 종방향으로 왕복 운동시키게 된다.Meanwhile, the driving groove 451 of the direct-acting cam block 401 is used to operate the driven shaft 540 of the cam follower block 500, which will be described later. In a typical direct-acting cam structure, the driving groove 451 is a driving joint and The driven shaft 540 may be a driven joint. That is, the direct-acting cam block 401 reciprocates in the horizontal direction and causes the cam follower block 500 to reciprocate in the longitudinal direction.

또한, 원동홈(451)은 홈(groove)이라는 표현을 사용하였으나, 본 발명의 제1 실시예에서, 원동홈(451)이 홈인 형상에 한정되는 것은 아니며 홀(hole)의 형상을 가질 수도 있다.In addition, the circular groove 451 is expressed as a groove, but in the first embodiment of the present invention, the circular groove 451 is not limited to a groove shape and may also have the shape of a hole. .

또한, 직동 캠 블록(401)의 원동홈(451)은 커버(300)와 종방향으로 소정의 거리를 두고 형성된 제1 높이부(4501)와, 제1 높이부(4501)보다 상대적으로 커버(300)와의 거리가 작게 형성된 제2 높이부(4502), 그리고 제1 높이부(4501)와 제2 높이부(4502)를 연결하는 경사부(4503)를 포함할 수 있다. 즉, 제1 높이부(4501)와 제2 높이부(4502)는 미리 설정된 높이 차이(h)를 갖게 되며, 이 높이 차이(h)만큼 캠 팔로워 블록(500)이 직선 왕복 운동하게 된다. 또한, 예를 들어, 원동홈(451)은 "ㄴ"자 형상 또는 "ㄱ"자 형상과 유사하게 형성될 수 있다.In addition, the circular groove 451 of the linear cam block 401 has a first height portion 4501 formed at a predetermined distance in the longitudinal direction from the cover 300, and a cover ( It may include a second height portion 4502 formed at a small distance from the 300, and an inclined portion 4503 connecting the first height portion 4501 and the second height portion 4502. That is, the first height portion 4501 and the second height portion 4502 have a preset height difference (h), and the cam follower block 500 performs a linear reciprocating motion equal to this height difference (h). Additionally, for example, the circular groove 451 may be formed similar to an “L” shape or an “L” shape.

또한, 원동홈(451)의 형상은 레버(200)와 후술할 링크 블록(670)의 배치 형태에 따라 도 4에 도시된 형상에서 좌우 반전 또는 상하 반전된 형상을 가질 수도 있다.Additionally, the shape of the circular groove 451 may have a left-right or up-and-right inversion from the shape shown in FIG. 4 depending on the arrangement of the lever 200 and the link block 670, which will be described later.

링크 블록(670)은 일단이 레버(200)의 타단부(203)에 결합되고 타단이 직동 캠 블록(401)에 결합될 수 있다. 이에, 레버(200)가 회전하면 레버(200)의 타단부(203)에 결합된 링크 블록(670)이 직동 캠 블록(401)을 밀거나 당기게 되고, 이에 직동 캠 블록(401)은 리니어 가이드(620)를 따라 횡방향으로 직선 왕복 운동하게 된다.The link block 670 may have one end coupled to the other end 203 of the lever 200 and the other end coupled to the direct-acting cam block 401. Accordingly, when the lever 200 rotates, the link block 670 coupled to the other end 203 of the lever 200 pushes or pulls the direct-acting cam block 401, and the direct-acting cam block 401 acts as a linear guide. There is a linear reciprocating motion in the transverse direction along (620).

캠 팔로워 블록(500)은 직동 캠 블록(401)의 원동홈(451)에 걸리는 피동축(540)을 가지고 커버(300) 상에 마련될 수 있다.The cam follower block 500 may be provided on the cover 300 with a driven shaft 540 caught in the driving groove 451 of the linear cam block 401.

또한, 캠 팔로워 블록(500)의 피동축(540)도 복수개 마련되며, 복수의 피동축(540)이 직동 캠 블록(401)의 복수의 원동홈(451)에 각각 걸리게 된다. 그리고 복수의 피동축(451)도 캠 팔로워 블록(500)의 측면에서 횡방향을 따라 배열될 수 있다.In addition, a plurality of driven shafts 540 of the cam follower block 500 are provided, and the plurality of driven shafts 540 are respectively caught in a plurality of circular grooves 451 of the direct-acting cam block 401. Additionally, a plurality of driven shafts 451 may also be arranged along the transverse direction on the side of the cam follower block 500.

따라서, 직동 캠 블록(401)이 횡방향으로 직선 왕복 운동하면 캠 팔로워 블록(500)의 피동축(540)이 직동 캠 블록(401)의 원동홈(451)을 따라 이동하면서 캠 팔로워 블록(500)은 종방향으로 직선 왕복 운동하게 된다. 예를 들어, 캠 팔로워 블록(500)은 중공을 갖는 사각틀 형상으로 형성될 수 있다.Therefore, when the direct-acting cam block 401 makes a linear reciprocating motion in the horizontal direction, the driven shaft 540 of the cam follower block 500 moves along the circular groove 451 of the direct-acting cam block 401 and moves the cam follower block 500. ) is a linear reciprocating motion in the longitudinal direction. For example, the cam follower block 500 may be formed in a rectangular frame shape with a hollow body.

푸셔 어셈블리(pusher assembly, 700)는 캠 팔로워 블록(500)에 결합되어 캠 팔로워 블록(500)이 하강하면 함께 하강하면서 반도체 디바이스를 가압하도록 설치될 수 있다. 예를 들어, 캠 팔로워 블록(500)의 중공으로 돌출된 푸셔 어셈블리(700)의 푸셔(710)의 돌출부(711)가 반도체 디바이스를 가압하게 된다.A pusher assembly 700 may be installed to be coupled to the cam follower block 500 and press the semiconductor device while descending together with the cam follower block 500 when the cam follower block 500 is lowered. For example, the protrusion 711 of the pusher 710 of the pusher assembly 700 protruding into the hollow of the cam follower block 500 presses the semiconductor device.

구체적으로, 푸셔 어셈블리(700)는 반도체 디바이스를 가압하는 푸셔(710)와, 푸셔(710)를 냉각시키는 히트 싱크(heat sink, 720), 그리고 히트 싱크(720) 상에 설치된 냉각팬(730)을 포함할 수 있다. 여기서, 푸셔(710)는 캠 팔로워 블록(500)의 중공으로 돌출된 돌출부(711)를 포함할 수 있다. 일례로, 푸셔(710)의 돌출부(711)는 육면체 형태로 돌출될 수 있으며, 반도체 디바이스와 면접촉을 하게 된다.Specifically, the pusher assembly 700 includes a pusher 710 that presses the semiconductor device, a heat sink 720 that cools the pusher 710, and a cooling fan 730 installed on the heat sink 720. may include. Here, the pusher 710 may include a protrusion 711 protruding into the hollow of the cam follower block 500. For example, the protrusion 711 of the pusher 710 may protrude in a hexahedral shape and makes surface contact with the semiconductor device.

또한, 푸셔 어셈블리(700)는 푸셔(710)가 반도체 디바이스에 가하는 하중을 측정하는 로드 셀(load cell, 740))을 더 포함할 수 있다. 즉, 로드 셀(740)을 통해 푸셔(710)가 반도체 디바이스에 가하는 하중을 측정하여 충분한 하중이 가해지고 있는지 아니면 하중이 지나치게 가해지고 있는지 파악하여 이를 조절할 수 있다.Additionally, the pusher assembly 700 may further include a load cell (740) that measures the load applied by the pusher 710 to the semiconductor device. That is, the load applied by the pusher 710 to the semiconductor device can be measured through the load cell 740 to determine whether a sufficient load or an excessive load is applied and adjusted.

베이스(800)는 캠 팔로워 블록(500)과 대향하는 커버(300)의 일면에 반대되는 커버(300)의 타면에 대향하도록 마련될 수 있다. 즉, 베이스(800)는 커버(300)의 아래에 위치하여 커버(300)를 지지할 수 있다.The base 800 may be provided to face one side of the cover 300 that faces the cam follower block 500 and the other side of the cover 300 that faces the cam follower block 500. That is, the base 800 may be located below the cover 300 and support the cover 300.

또한, 베이스(800)의 타측에는 걸림턱(865)이 형성될 수 있다. 예를 들어, 베이스(800)는 커버(300)의 형상에 대응되는 사각틀 형상으로 형성될 수 있다. 그리고 사각틀 형상의 일측 변에 걸림턱(865)이 형성될 수 있다.Additionally, a locking protrusion 865 may be formed on the other side of the base 800. For example, the base 800 may be formed in a rectangular frame shape corresponding to the shape of the cover 300. Additionally, a locking protrusion 865 may be formed on one side of the rectangular frame shape.

힌지 블록(680)은 베이스(800)의 일측에 설치되며 커버(300)의 일측과 힌지 결합될 수 있다. 여기서, 힌지 블록(680)과 힌지 결합되는 커버(300)의 일측은 리니어 가이드(620)가 설치된 커버(300)의 양 측면과는 상이할 수 있다. 따라서, 커버(300)는 베이스(800)에 설치된 힌지 블록(680)을 중심으로 회전하여 열릴 수 있게 된다.The hinge block 680 is installed on one side of the base 800 and may be hinged to one side of the cover 300. Here, one side of the cover 300 that is hinged to the hinge block 680 may be different from both sides of the cover 300 on which the linear guide 620 is installed. Accordingly, the cover 300 can be opened by rotating around the hinge block 680 installed on the base 800.

래치(latch, 630)는 커버(300)가 베이스(800)에 설치된 힌지 블록(680)을 중심으로 회전하여 열리지 못하도록 잠그는 역할을 수행할 수 있다. 구체적으로, 래치(630)의 일측이 커버(300)에 힌지 결합되고, 래치(630)의 타측에는 베이스(800)의 걸림턱(865)에 걸리는 걸림부(635)가 형성될 수 있다. 이에, 검사용 가압 장치(101)가 반도체 디바이스를 가압하기 위해 레버(200)가 사용자의 힘에 의해 내려지면서 푸셔 어셈블리(700)가 반도체 디바이스를 가압하는 상태에서 임의로 커버(300)이 열리지 않도록 래치(630)의 타측에 형성된 걸림부(635)를 베이스(800)의 걸림턱(865)에 걸어 잠글 수 있다.The latch 630 may function to lock the cover 300 from being opened by rotating around the hinge block 680 installed on the base 800. Specifically, one side of the latch 630 may be hinged to the cover 300, and a locking portion 635 that catches the locking protrusion 865 of the base 800 may be formed on the other side of the latch 630. Accordingly, the lever 200 is lowered by the user's force to press the semiconductor device, and the pusher assembly 700 latches to prevent the cover 300 from being opened arbitrarily while the pusher assembly 700 presses the semiconductor device. The locking portion 635 formed on the other side of 630 can be locked by hooking on the locking protrusion 865 of the base 800.

이하, 도 4 내지 도 7을 참조하여 본 발명의 제1 실시예에 따른 검사용 가압 장치(101)의 동작 과정을 상세히 설명한다.Hereinafter, the operation process of the inspection pressing device 101 according to the first embodiment of the present invention will be described in detail with reference to FIGS. 4 to 7.

먼저, 도 4 및 도 5에 도시한 바와 같이, 레버(200)의 일단부(201)가 들린 상태에서는 캠 팔로워 블록(500)의 피동축(540)이 직동 캠 블록(401)의 원동홈(451)의 제1 높이부(4501)에 걸리게 된다.First, as shown in FIGS. 4 and 5, when one end 201 of the lever 200 is lifted, the driven shaft 540 of the cam follower block 500 moves into the driving groove ( It is caught on the first height portion 4501 of 451).

따라서, 캠 팔로워 블록(500)과 커버(300) 사이에는 원동홈(451)의 제1 높이부(4501)와 제2 높이부(4502) 간의 높이 차이(h) 만큼 간격이 벌어질 수 있다.Accordingly, a gap between the cam follower block 500 and the cover 300 may be increased by the height difference (h) between the first height portion 4501 and the second height portion 4502 of the circular groove 451.

즉, 푸셔 어셈블리(700)의 푸셔(710)가 반도체 디바이스를 가압하지 않는 상태가 된다.That is, the pusher 710 of the pusher assembly 700 is in a state where it does not press the semiconductor device.

다음, 도 6 및 도 7에 도시한 바와 같이, 레버(200)의 일단부(201)가 사용자의 힘에 의해 눌리면, 레버(200)가 힌지축(260)을 중심으로 회전하면서 레버(200)의 타단부(203)에 연결된 링크 블록(670)이 직동 캠 블록(401)을 횡방향으로 밀게 되고, 이에 직동 캠 블록(401)은 리니어 가이드(620)를 따라 횡방향으로 이동하게 된다.Next, as shown in FIGS. 6 and 7, when one end 201 of the lever 200 is pressed by the user's force, the lever 200 rotates around the hinge axis 260 and the lever 200 The link block 670 connected to the other end 203 pushes the direct-acting cam block 401 in the transverse direction, and thus the direct-acting cam block 401 moves in the transverse direction along the linear guide 620.

이와 같이, 직동 캠 블록(401)이 횡방향으로 이동하게 되면, 직동 캠 블록(401)의 원동홈(451)에 걸린 캠 팔로워 블록(500)의 피동축(540)이 직동 캠 블록(401)의 원동홈(451)의 경사부(4503)를 따라 제2 높이부(4502)로 이동하면서 캠 팔로워 블록(500)이 하강하게 된다.In this way, when the direct-acting cam block 401 moves in the horizontal direction, the driven shaft 540 of the cam follower block 500 caught in the circular groove 451 of the direct-acting cam block 401 moves to the direct-acting cam block 401. The cam follower block 500 descends while moving to the second height part 4502 along the inclined part 4503 of the circular groove 451 of .

이때, 캠 팔로워 블록(500)에 결합된 푸셔 어셈블리(700)가 캠 팔로워 블록과 함께 하강하면서 푸셔(710)의 돌출부(711)가 반도체 디바이스를 접촉면에서 고르게 가압하게 된다.At this time, the pusher assembly 700 coupled to the cam follower block 500 descends together with the cam follower block, and the protrusion 711 of the pusher 710 evenly presses the semiconductor device on the contact surface.

이와 같은 구성에 의하여 본 발명의 제1 실시예에 따른 검사용 가압 장치(101)는 푸셔(710)에 편심이 발생하지 않고 안정적으로 푸셔(710)가 반도체 디바이스와의 접촉면에 고르게 힘을 가할 수 있다.Due to this configuration, the inspection pressing device 101 according to the first embodiment of the present invention can stably apply force evenly to the contact surface of the pusher 710 with the semiconductor device without causing eccentricity in the pusher 710. there is.

이하, 도 8을 참조하여, 본 발명의 제2 실시예를 설명한다.Hereinafter, with reference to FIG. 8, a second embodiment of the present invention will be described.

도 8에 도시한 바와 같이, 본 발명의 제2 실시예에서는 직동 캠 블록(402)의 원동홈(452)이 일 영역이 개방된 열린 형태를 가질 수 있다. 반면, 제1 실시예에서는 앞서 도 4에서 도시된 바와 같이 원동홈(451)이 닫힌 형태를 가지고 있었다.As shown in FIG. 8, in the second embodiment of the present invention, the circular groove 452 of the direct-acting cam block 402 may have an open shape with one area open. On the other hand, in the first embodiment, as shown in FIG. 4, the circular groove 451 had a closed shape.

이에, 직동 캠 블록(402)이 리니어 가이드(620)에 결합된 상태에서 캠 팔로워 블록(500)의 피동축(540)을 직동 캠 블록(402)의 원동홈(452)에 걸기 용이해 질 수 있다.Accordingly, it can be easy to hook the driven shaft 540 of the cam follower block 500 to the driving groove 452 of the direct cam block 402 while the direct cam block 402 is coupled to the linear guide 620. there is.

한편, 제2 실시예도 원동홈(452)의 형상이 레버(200)와 링크 블록(670)의 배치 형태에 따라 도 8에 도시된 형상에서 좌우 반전 또는 상하 반전된 형상을 가질 수 있다.Meanwhile, in the second embodiment as well, the shape of the circular groove 452 may be left-right or upside-down from the shape shown in FIG. 8 depending on the arrangement of the lever 200 and the link block 670.

이하, 도 9를 참조하여, 본 발명의 제3 실시예를 설명한다.Hereinafter, a third embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. 9.

도 8에 도시한 바와 같이, 본 발명의 제3 실시예에서는 원동홈(453)을 갖는 직동 캠 블록(403)이 복수개 마련되고, 캠 팔로워 블록(500)은 피동축(540)을 복수개 가지며, 복수의 피동축(540)이 복수의 원동홈(453)에 각각 걸릴 수 있다.As shown in FIG. 8, in the third embodiment of the present invention, a plurality of linear cam blocks 403 having a driving groove 453 are provided, and the cam follower block 500 has a plurality of driven shafts 540, A plurality of driven shafts 540 may be respectively caught in a plurality of driving grooves 453.

또한, 직동 캠 블록(403)의 원동홈(453)은 앞서 설명한 제2 실시예와 유사하게 일 영역이 개방된 열린 형태를 가질 수 있다.Additionally, the circular groove 453 of the linear cam block 403 may have an open shape with one area open, similar to the second embodiment described above.

이에, 직동 캠 블록(403)이 리니어 가이드(620)에 결합된 상태에서 캠 팔로워 블록(500)의 피동축(540)을 직동 캠 블록(403)의 원동홈(453)에 걸기 용이해 질 뿐만 아니라 직동 캠 블록(403)을 리니어 가이드(602)에 결합시키거나 분리시키기도 용이해질 수 있다.Accordingly, with the direct-acting cam block 403 coupled to the linear guide 620, it becomes easy to hook the driven shaft 540 of the cam follower block 500 to the driving groove 453 of the direct-acting cam block 403. In addition, it can be easy to couple or separate the linear cam block 403 from the linear guide 602.

한편, 제3 실시예도 원동홈(453)의 형상이 레버(200)와 링크 블록(670)의 배치 형태에 따라 도 9에 도시된 형상에서 좌우 반전 또는 상하 반전된 형상을 가질 수 있다.Meanwhile, in the third embodiment as well, the shape of the circular groove 453 may be left-right or upside-down from the shape shown in FIG. 9 depending on the arrangement of the lever 200 and the link block 670.

이상 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 설명하였지만, 본 발명이 속하는 기술분야의 당업자는 본 발명이 그 기술적 사상이나 필수적 특징을 변경하지 않고 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다.Although embodiments of the present invention have been described above with reference to the attached drawings, those skilled in the art will understand that the present invention can be implemented in other specific forms without changing its technical idea or essential features. will be.

그러므로 이상에서 기술한 실시예는 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적인 것이 아닌 것으로서 이해되어야 하고, 본 발명의 범위는 상기 상세한 설명은 후술하는 특허청구범위에 의하여 나타내어지며, 특허청구범위의 의미 및 범위 그리고 그 등가개념으로부터 도출되는 모든 변경 또는 변형된 형태가 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 한다.Therefore, the embodiments described above should be understood in all respects as illustrative and not restrictive, and the scope of the present invention is indicated by the claims described later in the detailed description, and the meaning and scope of the claims and All changes or modified forms derived from the equivalent concept should be construed as falling within the scope of the present invention.

101: 검사용 가압 장치
200: 레버
201: 일단부
202: 힌지부
203: 타단부
260: 힌지축
280: 손잡이
300: 커버
401, 402, 403: 직동 캠 블록
451, 452, 453: 원동홈
4501: 제1 높이부
4502: 제2 높이부
4503: 경사부
500: 캠 팔로워 블록
540: 피동축
620: 리니어 가이드
630: 래치
635: 걸림부
680: 힌지 블록
700: 푸셔 어셈블리
710: 푸셔
711: 돌출부
720: 히트 싱크
730: 냉각팬
740: 로드 셀
800: 베이스
865: 걸림턱101: Pressurizing device for inspection
200: lever
201: one end
202: Hinge portion
203: Other end
260: Hinge axis
280: handle
300: cover
401, 402, 403: Direct acting cam block
451, 452, 453: Wondong Home
4501: first height part
4502: Second height part
4503: Inclined part
500: Cam follower block
540: driven shaft
620: Linear guide
630: Latch
635: Hook
680: Hinge block
700: Pusher assembly
710: Pusher
711: protrusion
720: heat sink
730: Cooling fan
740: load cell
800: Base
865: Stopper

Claims

In an inspection pressurizing device for pressurizing a semiconductor device,
a lever including one end as a force point, the other end as an action point, and a hinge portion between the one end and the other end, the other end being bent and extended from the hinge portion;
a hinge shaft coupled to the hinge portion of the lever;
a cover coupled to the hinge axis to rotatably support the lever;
A linear guide coupled to the cover to guide lateral linear movement;
A linear cam block coupled to the linear guide with a circular groove;
A link block, one end of which is coupled to the other end of the lever and the other end of which is coupled to the direct-acting cam block, causes the direct-acting cam block to reciprocate horizontally and linearly when the lever rotates;
A cam provided on the cover has a driven shaft that engages the driving groove of the direct-acting cam block, and when the direct-acting cam block reciprocates linearly in the horizontal direction, the driven shaft moves along the circular groove and reciprocates linearly in the longitudinal direction. follower block; and
A pusher assembly coupled to the cam follower block and pressing the semiconductor device when the cam follower block descends.
A pressurizing device for inspection comprising a.

According to paragraph 1,
A plurality of the circular grooves are formed in the linear cam block,
The cam follower block has a plurality of driven axes,
A pressurizing device for inspection in which the plurality of driven shafts are respectively engaged with the plurality of driving grooves.

According to paragraph 1,
A plurality of the linear cam blocks having the circular grooves are provided,
The cam follower block has a plurality of driven axes,
A pressurizing device for inspection in which the plurality of driven shafts are respectively engaged with the plurality of driving grooves.

According to paragraph 2 or 3,
The direct-acting cam block is provided on a side of the cover, and the plurality of circular grooves are arranged along the transverse direction,
The plurality of driven shafts are arranged along the transverse direction on the side of the cam follower block.

According to paragraph 1,
The circular groove of the linear cam block includes a first height portion formed at a predetermined distance from the cover in the longitudinal direction, a second height portion formed at a relatively smaller distance from the cover than the first height portion, and A pressurizing device for inspection including an inclined portion connecting a first height portion and the second height portion.

According to clause 5,
When one end of the lever is lifted, the driven shaft of the cam follower block is caught in the first height portion of the circular groove of the direct-acting cam block,
When one end of the lever is pressed, the direct-acting cam block moves laterally and the driven shaft of the cam follower block moves to the second height portion along the inclined portion of the circular groove of the direct-acting cam block, and the cam follower block Descending inspection pressurization device.

According to paragraph 1,
a base facing the other side of the cover opposite to one side of the cover facing the cam follower block;
A hinge block installed on one side of the base and hingedly coupled to the cover.
A pressurizing device for inspection further comprising:

In clause 7,
A locking protrusion is formed on the other side of the base,
A pressurizing device for inspection further comprising a latch on one side of which is hinged to the cover and on the other side of which a latch is formed to engage the locking protrusion of the base.

According to paragraph 1,
The pusher assembly is,
a pusher for pressing the semiconductor device;
a heat sink that cools the pusher; and
Cooling fan installed on the heat sink
A pressurizing device for inspection comprising a.

According to clause 9,
The pusher assembly further includes a load cell that measures the load applied by the pusher to the semiconductor device.