KR102616076B1 - 발열부가 장착된 기판 처리장치 - Google Patents

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KR102616076B1
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Abstract

본 발명의 발열부가 장착된 기판 처리장치에 관한 것으로서, 상부에 기판을 지지하기 위한 척핀이 설치되는 링 형태의 스핀척과 상기 스핀척의 안쪽 하부에 형성되는 척 지지부를 포함하며 회전중심축을 중심으로 회전 가능하게 설치되는 척 베이스, 상기 척 베이스의 중앙에 형성된 중공부를 통해 설치되어 기판의 하면에 처리액을 분사하기 위한 백 노즐 어셈블리, 평면도에서 바라볼 때 상기 스핀척의 상면과 상기 백 노즐 어셈블리 사이에 배치되며 중앙에는 상기 백 노즐 어셈블리가 관통하는 관통공이 형성되는 커버 글래스 및, 상기 커버 글래스와 척 지지부 사이에서 상기 스핀척의 내주면 안쪽에 설치되는 발열부를 포함하여 구성되되, 평면도에서 바라볼 때 상기 커버 글래스에는 상기 관통공 둘레를 둘러싸는 소정 폭의 경사 굴절면이 형성되고, 정단면도에서 바라볼 때 상기 경사 굴절면은 상기 커버 글래스의 상면에 형성되며 상기 회전축중심을 기준으로 반경방향을 따라 상향으로 경사지게 형성되는 것을 특징으로 하므로, LED 등 상기 발열부로부터 커버 글래스로 입사되는 광이 상기 경사 굴절면에서 굴절되면서 중앙에 배치된 백 노즐 어셈블리에 의해 간섭되는 경우 없이 기판의 중심을 향해 조사되므로 기판 전체에 균일하게 복사열을 전달할 수 있다는 이점이 있다.

Description

발열부가 장착된 기판 처리장치{SUBSTRATE TREATING APPARATUS MOUNTED WITH HEATING PART}
본 발명은 발열부가 장착된 기판 처리장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 발열부의 복사열이 기판의 전체면에 균일하게 전달될 수 있도록 구성된 발열부가 장착된 기판 처리장치에 관한 것이다.
기판 처리 장치는 반도체 웨이퍼, 디스플레이용 기판, 광 디스크용 기판, 자기 디스크용 기판, 포토마스크용 기판, 세라믹 기판, 태양전지용 기판 등의 기판을 처리액을 이용하여 증착, 현상, 식각, 또는 세정하기 위한 장치이다.
이 중 세정 공정은 상기 기판 상에 존재하는 이물질이나 파티클 등을 제거하는 공정으로서, 대표적으로는 기판을 척 베이스(스핀 헤드) 상에 지지한 상태에서 고속으로 회전시키면서 기판의 표면이나 이면에 처리액을 공급하여 처리하는 공정을 들 수 있다.
이 경우, 기판의 아래쪽에 LED와 같은 발열부를 설치하여 기판을 가열한 상태로 회전시켜서 기판을 처리하게 되면 반응이 신속이 일어나 처리액의 사용량을 줄일 수 있게 되며, 이를 통해 환경오염을 최소화할 수 있을 뿐만 아니라 처리 시간을 단축하여 생산성을 높이고 전기 소비량도 크게 줄일 수 있다는 장점이 있다.
이에 따라, 기판을 가열한 상태에서 회전시키는 기판 처리장치에 관한 다양한 기술과 연구가 있어 왔다.
한편, 도 1에 도시된 바와 같이, 척 베이스(1)의 상면에는 척핀(5)이 설치되어 있고, 상기 척핀(5)에 고정된 기판(W)의 중앙 하부에는 상기 척 베이스(1)를 관통하여 백 노즐 어셈블리(2)가 세워져 설치되어 있어서 기판(W)의 저면을 향해 처리액을 분사할 수 있게 되어 있다.
또한, 상기 백 노즐 어셈블리(2)에서 분사되는 처리액이 상기 발열부(3)로 유입되는 것을 방지하고 발열부(3)의 복사열을 원활하게 투과하도록 상기 발열부(3)와 기판(W) 사이에는 커버 글래스(4)가 설치되어 있다.
상기 발열부(4)는 환형의 척 베이스(1) 내주면과 백 노즐 어셈블리(2)의 외주면 사이에 배치되고 상기 커버 글래스(4)는 상기 발열부(3) 위에 이격된 상태로 척 베이스(1) 상에 설치된다.
이 경우, 상기 백 노즐 어셈블리(2)는 발열부(3)의 위쪽으로 높이 솟아 있고 커버 글래스(4)가 고정되는 척 베이스(1) 역시 상기 발열부(3)보다 높은 위치에 있게 되므로 발열부(3)에서 발생하는 복사열이 상기 백 노즐 어셈블리(2)와 척 베이스(1)에 의해 간섭되어 열전달 효과가 저하되는 단점이 있었다.
이러한 열전달에 대한 간섭을 방지하기 위해 발열부(3)를 백 노즐 어셈블리(2)의 외주면과 척 베이스(1)의 내주면으로부터 각각 어느 정도 이격된 부분에 분포시킬 수도 있겠으나 이 경우에는 발열부(3)가 분포된 면적 자체가 좁아져서 전체 열전달양이 부족해지는 단점이 있게 된다.
1. 등록특허공보 제10-2186337호 (2020.11.27)
본 발명은 전술한 종래기술의 문제점을 해결하기 위해 안출된 것으로서, 본 발명의 목적은 발열부의 복사열이 기판의 전체면에 균일하게 전달될 수 있도록 하는 발열부가 장착된 기판 처리장치를 제공하는데 있다.
전술한 목적을 달성하기 위해, 본 발명에 따른 발열부가 장착된 기판 처리장치는,
상부에 기판을 지지하기 위한 척핀이 설치되는 링 형태의 스핀척과 상기 스핀척의 안쪽 하부에 형성되는 척 지지부를 포함하며 회전중심축을 중심으로 회전 가능하게 설치되는 척 베이스;
상기 척 베이스의 중앙에 형성된 중공부를 통해 설치되어 기판의 하면에 처리액을 분사하기 위한 백 노즐 어셈블리;
평면도에서 바라볼 때 상기 스핀척의 상면과 상기 백 노즐 어셈블리 사이에 배치되며 중앙에는 상기 백 노즐 어셈블리가 관통하는 관통공이 형성되는 커버 글래스; 및
상기 커버 글래스와 척 지지부 사이에서 상기 스핀척의 내주면 안쪽에 설치되는 발열부;
를 포함하여 구성되되,
평면도에서 바라볼 때 상기 커버 글래스에는 상기 관통공 둘레를 둘러싸는 소정 폭의 경사 굴절면이 형성되고, 정단면도에서 바라볼 때 상기 경사 굴절면은 상기 커버 글래스의 상면에 형성되며 상기 회전축중심을 기준으로 반경방향을 따라 상향으로 경사지게 형성되는 것을 특징으로 한다.
상기 반경방향을 따라 상기 경사 굴절면의 외측에서의 커버 글래스 두께는 내측에서의 두께보다 크게 형성되는 것을 특징으로 한다.
가장 안쪽에 배치된 발열부를 지나는 수직선이 상기 경사 굴절면을 통과하도록 구성되는 것을 특징으로 한다.
상기 커버 글래스와 백 노즐 어셈블리의 상대적인 높이가 클수록 상기 경사 굴절면의 경사각을 작게 설정하고, 상기 백 노즐 어셈블리의 직경이 클수록 경사 굴절면의 경사각을 크게 설정하는 것을 특징으로 한다.
상기 경사 굴절면은 수평면에 대한 경사각은 2도~ 10도의 범위에 있는 것을 특징으로 한다.
상기 경사 굴절면의 폭은, 상기 백 노즐 어셈블리의 직경이 클수록, 커버 글래스로부터 백 노즐 어셈블리의 상대적 높이가 높을수록 크게 설정되는 것을 특징으로 한다.
상기 발열부의 회전중심축에 근접한 부분에서 상기 경사 굴절면을 향하여 경사진 경사 발열부를 구비한 것을 특징으로 한다.
상기 경사 발열부의 수평면에 대한 경사각은 2도~ 15도의 범위에 있는 것을 특징으로 한다.
상기 스핀척의 내주면 상단에는 수직선에 대하여 반경방향 외측으로 경사진 경사면 또는 경사 계단부가 형성되되, 정단면도에서 바라볼 때 상기 스핀척은 기판의 테두리와 발열부의 최외곽 지점을 연결하는 기준선과 간섭되지 않게 구성되는 것을 특징으로 한다.
상기 경사면 또는 경사 계단부의 시종(始終)을 연결하는 면은 상기 기준선과 동일하거나 외곽을 향해 더 경사진 면을 구성하는 것을 특징으로 한다.
상기 백 노즐 어셈블리 중 상기 경사 굴절면의 내측에 위치하는 적어도 일부분은 투명 또는 반투명 소재로 구성되는 것을 특징으로 한다.
상기 백 노즐 어셈블리는 백 노즐 지지 샤프트, 상기 백 노즐 지지 샤프트 상에 지지되는 노즐 몸체부, 상기 노즐 몸체부의 상부에 커버 글래스를 매개로 설치되는 노즐 스커트, 및 상기 백 노즐 지지 샤프트와 노즐 몸체부 및 노즐 스커트를 상하방햐으로 관통하여 설치되는 백 노즐로 구성될 수 있으며, 상기 노즐 스커트, 노즐 몸체부 및 백 노즐은 투명 및 반투명 소재로 이루어지는 것을 특징으로 한다.
상기 백 노즐 어셈블리의 투명 또는 반투명한 일부분의 재질은 쿼츠, 사파이어, PFA(PerFluoroAlkoxy), PCTFE(PolyChloroTriFluoroEthylene) 중에서 선택되는 것을 특징으로 한다.
전술한 바와 같은 구성의 본 발명에 따르면, 상부에 기판을 지지하기 위한 척핀이 설치되는 링 형태의 스핀척과 상기 스핀척의 안쪽 하부에 형성되는 척 지지부를 포함하며 회전중심축을 중심으로 회전 가능하게 설치되는 척 베이스, 상기 척 베이스의 중앙에 형성된 중공부를 통해 설치되어 기판의 하면에 처리액을 분사하기 위한 백 노즐 어셈블리, 평면도에서 바라볼 때 상기 스핀척의 상면과 상기 백 노즐 어셈블리 사이에 배치되며 중앙에는 상기 백 노즐 어셈블리가 관통하는 관통공이 형성되는 커버 글래스 및, 상기 커버 글래스와 척 지지부 사이에서 상기 스핀척의 내주면 안쪽에 설치되는 발열부를 포함하여 구성되되, 평면도에서 바라볼 때 상기 커버 글래스에는 상기 관통공 둘레를 둘러싸는 소정 폭의 경사 굴절면이 형성되고, 정단면도에서 바라볼 때 상기 경사 굴절면은 상기 커버 글래스의 상면에 형성되며 상기 회전축중심을 기준으로 반경방향을 따라 상향으로 경사지게 형성되는 것을 특징으로 하므로, LED 등 상기 발열부로부터 커버 글래스로 입사되는 광이 상기 경사 굴절면에서 굴절되면서 중앙에 배치된 백 노즐 어셈블리에 의해 간섭되는 경우 없이 기판의 중심을 향해 조사되므로 기판 전체에 균일하게 복사열을 전달할 수 있다는 이점이 있다.
또한 본 발명에 따르면, 상기 반경방향을 따라 상기 경사 굴절면의 외측에서의 커버 글래스 두께는 내측에서의 두께보다 크게 형성되므로 편평한 커버 글래스의 관통공 둘레를 경사지도록 간단히 절삭 가공하는 것에 의해 간단하게 제조가 가능하다는 장점도 있다.
또한 본 발명에 따르면, 가장 안쪽에 배치된 발열부를 지나는 수직선이 상기 경사 굴절면을 통과하도록 구성되므로 안쪽의 발열부로부터 조사되는 광이 상기 백 노즐 어셈블리를 넘어 적절하게 굴절되어 기판의 중심부에 복사열을 효과적으로 전달할 수 있게 된다.
또한 본 발명에 따르면, 상기 발열부의 회전중심축에 근접한 부분에서 상기 경사 굴절면을 향하여 경사진 경사 발열부를 구비하여, 상기 발열부로부터 입사되는 광이 기판의 중심을 향해 한층 급격하게 꺽여서 조사됨으로써 기판 중심을 한층 효과적으로 가열하는 것이 가능하게 된다.
또한 본 발명에 따르면, 상기 스핀척의 내주면 상단에는 수직선에 대하여 반경방향 외측으로 경사진 경사면 또는 경사 계단부가 형성되되, 정단면도에서 바라볼 때 상기 스핀척은 기판의 테두리와 발열부의 최외곽 지점을 연결하는 기준선과 간섭되지 않게 구성되어, 상기 발열부로부터 조사되는 복사열이 상기 스핀척의 내주면 상단의 모서리에 간섭되는 경우 없이 기판의 테두리에 온전히 전달될 수 있게 된다.
또한 본 발명에 따르면, 상기 백 노즐 어셈블리 중 상기 경사 굴절면의 내측에 위치하는 적어도 일부분은 투명 또는 반투명 소재로 구성되는 것을 특징으로 하므로, 상기 커버 글래스를 통과한 광이 백 노즐 어셈블리에 의해 차단되지 않고 그대로 기판의 중심을 향하도록 함으로써 기판 전체에 대하여 한층 균일하게 가열할 수 있다.
도 1은 종래기술에 따른 발열부가 장착된 기판 처리장치의 일 예를 나타내는 정단면도이다.
도 2는 본 발명에 따른 기판 처리장치의 사시도이다.
도 3은 본 발명에 따른 기판 처리장치의 정단면도이다.
도 4는 본 발명에 따른 기판 처리장치의 평면도이다.
도 5는 본 발명에 따른 기판 처리장치의 다른 실시예를 나타내는 정단면도이다.
도 6은 도 3에서 경사면과 경사 계단부의 예를 나타내는 횡단면도이다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 상세하게 설명한다.
도 2 내지 도 4에 도시한 바와 같이, 본 발명의 일 실시예에 따른 발열부가 장착된 기판 처리장치(1000)는, 상부에 기판(W)을 지지하기 위한 척핀(250)이 설치되는 링 형태의 스핀척(210)과 상기 스핀척(210)의 안쪽 하부에 형성되는 척 지지부(220)를 포함하며 회전중심축(A)을 중심으로 회전 가능하게 설치되는 척 베이스(200), 상기 척 베이스(200)의 중앙에 형성된 중공부(240)를 통해 설치되어 기판(W)의 하면에 처리액을 분사하기 위한 백 노즐 어셈블리(400), 평면도에서 바라볼 때 상기 스핀척(210)의 상면과 상기 백 노즐 어셈블리(400) 사이에 배치되며 중앙에는 상기 백 노즐 어셈블리(400)가 관통하는 관통공(510)이 형성되는 커버 글래스(500) 및, 상기 커버 글래스(500)와 척 지지부(220) 사이에서 상기 스핀척(210)의 내주면 안쪽에 설치되는 발열부(600)를 포함하여 구성되되, 평면도에서 바라볼 때 상기 커버 글래스(500)에는 상기 관통공(510) 둘레를 둘러싸는 소정 폭의 경사 굴절면(520)이 형성되고, 정단면도에서 바라볼 때 상기 경사 굴절면(520)은 상기 커버 글래스(500)의 상면에 형성되며 상기 회전축중심(A)을 기준으로 반경방향을 따라 상향으로 경사지게 형성된다.
이러한 구성에 따라, LED 등 상기 발열부(600)로부터 커버 글래스(500)로 입사되는 광이 상기 경사 굴절면(520)에서 굴절되면서 중앙에 배치된 백 노즐 어셈블리(400)에 의해 간섭되는 경우 없이 기판(W)의 중심을 향해 조사되므로 기판(W) 전체에 균일하게 복사열을 전달할 수 있다는 이점이 있다.
이 경우, 상기 반경방향을 따라 상기 경사 굴절면(520)의 외측에서의 커버 글래스(500) 두께는 내측에서의 두께보다 크게 형성될 수 있으며, 이를 위해 편평한 커버 글래스(500)의 관통공(510) 둘레를 경사지도록 간단히 절삭 가공할 수 있다.
물론 절삭 가공 외에 금형을 이용하여 한번에 경사 굴절면(520)이 형성된 커버 글래스(500)를 성형하는 것 또한 가능하다.
정단면도에서 바라볼 때, 상기 경사 굴절면(520)은 직선일 수도 있고 볼록하거나 오목한 곡선으로 형성될 수도 있다.
또한, 상기 경사 굴절면(520)은 관통공(510)으로부터 바로 형성될 수도 있고 반경방향으로 소정의 간격을 두고 형성될 수도 있다.
또한, 상기 커버 글래스(500)의 관통공(510) 테두리 일부분을 수평으로 형성하면 백 노즐 어셈블리(400)와의 간섭을 최대한 차단할 수 있고 백 노즐 어셈블리(400)의 외주면에 형성된 홈 등으로의 삽입작업이 한층 용이하게 된다.
한편, 가장 안쪽에 배치된 발열부(600)를 지나는 수직선이 상기 경사 굴절면(520)을 통과하도록 구성되면 안쪽의 발열부(600)로부터 조사되는 광이 상기 백 노즐 어셈블리(400)를 넘어 적절하게 굴절되어 기판(W)의 중심부에 복사열을 효과적으로 전달할 수 있게 된다.
상기 경사 굴절면(520)의 폭(W)은 실험을 통해 적절한 범위로 정해질 수 있으며, 특히 백 노즐 어셈블리(400)의 직경, 및 커버 글래스(500)로부터 백 노즐 어셈블리(400)의 상대적 높이 등에 따라 다르게 설정될 수 있다.
예컨대, 상기 경사 굴절면(520)의 폭(W)은 백 노즐 어셈블리(400)의 직경이 클수록, 커버 글래스(500)로부터 백 노즐 어셈블리(400)의 상대적 높이가 높을수록 크게 설정하여 투과된 광이 기판(W) 중심에 최대한 근접하도록 하는 것이 바람직하다.
또한, 상기 폭(W)이 지나치게 크면 회전중심축(A)을 향해 굴절되는 비중이 많아져 막상 기판(W)의 중심과 외주면 사이의 중앙부 쪽 가열이 충분히 이루어지지 않아 균일한 가열이 곤란할 수 있고, 지나치게 작으면 기판(W) 중앙부를 충분히 가열하지 못하여 균일한 가열이 곤란할 수 있다.
이러한 점을 고려할 때, 상기 경사 굴절면(520)이 폭(W)은 발열부(600) 직경의 1/20~1/10 내에서 결정되는 것이 바람직하지만, 다소 그 범위를 벗어나는 것이 허용된다.
또한, 상기 경사 굴절면(520)은 수평면에 대하여 2도~ 10도의 범위에 있도록 하여 상기 백 노즐 어셈블리(400)와의 간섭을 피하면서도 기판(W)의 중앙부에 효과적으로 복사열을 전달하는 것이 바람직하다.
상기 경사 굴절면(520)이 곡선인 경우는 그 접선이 수평면과 이루는 각도를 나타낸다고 보면 된다.
이는 상기 커버 글래스(500)와 백 노즐 어셈블리(400)의 상대적인 높이와 직경에 따라 다르게 정해질 수 있다.
예컨대, 상기 커버 글래스(500)와 백 노즐 어셈블리(400)의 상대적인 높이가 클수록 상기 경사 굴절면(520)의 경사각(α,도 5 참조)을 작게 설정하여 투과된 광이 백 노즐 어셈블리(400)에 간섭되지 않은 상태에서 완만한 각도로 기판(W)의 중심까지 이르도록 할 수 있다.
또한, 상기 백 노즐 어셈블리(400)의 직경이 클수록 경사 굴절면(520)의 경사각을 크게 설정하여 투과된 광이 급한 경사로 기판(W)의 중심까지 이르도록 할 수 있다.
한편, 상기 백 노즐 어셈블리(400) 중 상기 경사 굴절면(520)의 내측에 위치하는 적어도 일부분은 투명 또는 반투명 소재로 구성되어, 상기 커버 글래스(500)를 통과한 광이 백 노즐 어셈블리(400)에 의해 차단되지 않고 그대로 통과하여 기판(W)의 중심을 향하도록 함으로써 기판(W) 전체에 대하여 한층 균일하게 가열할 수 있도록 하는 것이 바람직하다.
상기 백 노즐 어셈블리(400)의 투명 또는 반투명한 일부분의 재질은 쿼츠, 사파이어, PFA(PerFluoroAlkoxy), PCTFE(PolyChloroTriFluoroEthylene) 중에서 선택되는 것을 특징으로 한다.
예컨대, 도 3에 도시된 바와 같이, 상기 백 노즐 어셈블리(400)는 백 노즐 지지 샤프트(460), 상기 백 노즐 지지 샤프트(460) 상에 지지되는 노즐 몸체부(480), 상기 노즐 몸체부(480)의 상부에 커버 글래스(500)를 매개로 설치되는 노즐 스커트(490), 및 상기 백 노즐 지지 샤프트(460)와 노즐 몸체부(480) 및 노즐 스커트(490)를 상하방향으로 관통하여 설치되는 백 노즐(470)로 구성될 수 있으며, 상기 노즐 스커트(490), 노즐 몸체부(480) 및 백 노즐(470)은 전술한 투명 및 반투명 소재로 이루어질 수 있다.
또한 도 5에 도시한 바와 같이, 상기 발열부(600)의 회전중심축(A)에 근접한 부분에서 상기 경사 굴절면(520)을 향하여 경사진 경사 발열부(630)를 구비하는 것이 바람직하다.
이를 통해, 상기 발열부(600)로부터 입사되는 광이 기판(W)의 중심을 향해 한층 급격하게 꺽여서 조사됨으로써 기판(W) 중심을 한층 효과적으로 가열하는 것이 가능하게 된다.
이 경우, 상기 경사 발열부(630)의 수평면에 대한 경사각(β, 도 5 참조)은 2도~ 15도의 범위에 있는 것이 바람직하다.
한편, 도 3과 도 6에 도시된 바와 같이, 상기 스핀척(210)의 내주면 상단에는 수직선에 대하여 반경방향 외측으로 경사진 경사면(215) 또는 경사 계단부(216)가 형성되되 정단면도에서 바라볼 때 상기 스핀척(210)은 기판(W)의 테두리와 발열부의 최외곽 지점을 연결하는 기준선과 간섭되지 않게 구성되어, 상기 발열부(600)로부터 조사되는 복사열이 상기 스핀척(210)의 내주면 상단의 모서리에 간섭되는 경우 없이 기판(W)의 테두리에 온전히 전달될 수 있게 된다.
이 경우, 상기 경사면(215) 또는 경사 계단부(216)의 시종(始終)을 연결하는 면은 상기 기준선과 동일하거나 외곽을 향해 더 경사진 면을 구성하는 것이 바람직하다.
그러나, 상기 경사면(215) 또는 경사 계단부(216)의 시종(始終)을 연결하는 면의 회전중심축에 대한 각도를 특별히 제한할 필요는 없다.
도 4에 도시된 바와 같이, 상기 경사면(215)은 척핀(250)과 지지핀(260)에 간섭되지 않도록 척 베이스(200)의 둘레방향을 따라 단속적으로 형성될 수도 있다.
본 발명의 실시예는 예시적인 것에 불과하며, 본 기술분야의 통상의 지식을 가진 자라면 하기의 특허청구범위 내에서 다양한 변형 및 균등한 다른 실시예가 가능하다는 점을 이해할 것이다.
200... 척 베이스
210... 스핀척
215... 경사면
216... 경사 계단부
220... 척 지지부
240... 척 베이스의 중공부
250... 척핀
260... 지지핀
400... 백 노즐 어셈블리
500... 커버 글래스
510... 관통공
520... 경사 굴절면
600... 발열부
630... 경사 발열부
1000... 기판 처리장치
A... 회전중심축
W... 기판

Claims (12)

  1. 상부에 기판을 지지하기 위한 척핀이 설치되는 링 형태의 스핀척과 상기 스핀척의 안쪽 하부에 형성되는 척 지지부를 포함하며 회전중심축을 중심으로 회전 가능하게 설치되는 척 베이스;
    상기 척 베이스의 중앙에 형성된 중공부를 통해 설치되어 기판의 하면에 처리액을 분사하기 위한 백 노즐 어셈블리;
    평면도에서 바라볼 때 상기 스핀척의 상면과 상기 백 노즐 어셈블리 사이에 배치되며 중앙에는 상기 백 노즐 어셈블리가 관통하는 관통공이 형성되는 커버 글래스; 및
    상기 커버 글래스와 척 지지부 사이에서 상기 스핀척의 내주면 안쪽에 설치되는 발열부;
    를 포함하여 구성되되,
    평면도에서 바라볼 때 상기 커버 글래스에는 상기 관통공 둘레를 둘러싸는 소정 폭의 경사 굴절면이 형성되고, 정단면도에서 바라볼 때 상기 경사 굴절면은 상기 커버 글래스의 상면에 형성되며 상기 회전중심축을 기준으로 반경방향을 따라 상향으로 경사지게 형성되는 것을 특징으로 하는 발열부가 장착된 기판 처리장치.
  2. 제1항에 있어서,
    가장 안쪽에 배치된 발열부를 지나는 수직선이 상기 경사 굴절면을 통과하도록 구성되는 것을 특징으로 하는 발열부가 장착된 기판 처리장치.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 커버 글래스와 백 노즐 어셈블리의 상대적인 높이가 클수록 상기 경사 굴절면의 경사각을 작게 설정하고, 상기 백 노즐 어셈블리의 직경이 클수록 경사 굴절면의 경사각을 크게 설정하는 것을 특징으로 하는 발열부가 장착된 기판 처리장치.
  4. 제3항에 있어서
    상기 경사 굴절면은 수평면에 대한 경사각은 2도~ 10도의 범위에 있는 것을 특징으로 하는 발열부가 장착된 기판 처리장치.
  5. 제2항에 있어서,
    상기 경사 굴절면의 폭은, 상기 백 노즐 어셈블리의 직경이 클수록, 커버 글래스로부터 백 노즐 어셈블리의 상대적 높이가 높을수록 크게 설정되는 것을 특징으로 하는 발열부가 장착된 기판 처리장치.
  6. 제1항 내지 제5항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 발열부의 회전중심축에 근접한 부분에서 상기 경사 굴절면을 향하여 경사진 경사 발열부를 구비한 것을 특징으로 하는 발열부가 장착된 기판 처리장치.
  7. 제6항에 있어서,
    상기 경사 발열부의 수평면에 대한 경사각은 2도~ 15도의 범위에 있는 것을 특징으로 하는 발열부가 장착된 기판 처리장치.
  8. 제1항 내지 제5항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 스핀척의 내주면 상단에는 수직선에 대하여 반경방향 외측으로 경사진 경사면 또는 경사 계단부가 형성되되, 정단면도에서 바라볼 때 상기 스핀척은 기판의 테두리와 발열부의 최외곽 지점을 연결하는 기준선과 간섭되지 않게 구성되는 것을 특징으로 하는 발열부가 장착된 기판 처리장치.
  9. 제8항에 있어서,
    상기 경사면 또는 경사 계단부의 시종(始終)을 연결하는 면은 상기 기준선과 동일하거나 외곽을 향해 더 경사진 면을 구성하는 것을 특징으로 하는 발열부가 장착된 기판 처리장치.
  10. 제1항에 있어서,
    상기 백 노즐 어셈블리 중 상기 경사 굴절면의 내측에 위치하는 적어도 일부분은 투명 또는 반투명 소재로 구성되는 것을 특징으로 하는 발열부가 장착된 기판 처리장치.
  11. 제10항에 있어서,
    상기 백 노즐 어셈블리는 백 노즐 지지 샤프트, 상기 백 노즐 지지 샤프트 상에 지지되는 노즐 몸체부, 상기 노즐 몸체부의 상부에 커버 글래스를 매개로 설치되는 노즐 스커트, 및 상기 백 노즐 지지 샤프트와 노즐 몸체부 및 노즐 스커트를 상하방햐으로 관통하여 설치되는 백 노즐로 구성될 수 있으며, 상기 노즐 스커트, 노즐 몸체부 및 백 노즐은 투명 및 반투명 소재로 이루어지는 것을 특징으로 하는 발열부가 장착된 기판 처리장치.
  12. 제10항 또는 제11항에 있어서,
    상기 백 노즐 어셈블리의 투명 또는 반투명한 일부분의 재질은 쿼츠, 사파이어, PFA(PerFluoroAlkoxy), PCTFE(PolyChloroTriFluoroEthylene) 중에서 선택되는 것을 특징으로 하는 발열부가 장착된 기판 처리장치.

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* Cited by examiner, † Cited by third party
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