KR102592579B1 - 태양광 폐패널로부터 실리콘 나노분말을 제조하는 방법 - Google Patents

태양광 폐패널로부터 실리콘 나노분말을 제조하는 방법 Download PDF

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Abstract

본 발명은 태양광 폐패널로부터 실리콘 나노분말을 제조하는 방법에 관한 것으로, 태양광 폐패널로부터 프레임 및 정션 박스를 분리하는 제1단계; 제1단계에서 분리된 태양광 폐패널을 액체 질소 내에 침지시켜 태양광 폐패널을 급속 냉각함으로써 커버글라스(Cover Glass), 백시트(Back Sheet) 및 EVA(ethylene vinyl acetate) 중 1종 이상을 분리하는 제2단계; 실리콘 스크랩을 수득하는 제3단계; 및 진공 열 플라즈마를 이용하여 실리콘 스크랩으로부터 실리콘 나노분말을 제조하는 제4단계를 포함하는 것을 특징으로 하며,
수득된 실리콘 나노분말을 이차전지용 음극소재로써 활용하여 태양광 폐패널을 친환경적으로 업사이클링할 수 있다.

Description

태양광 폐패널로부터 실리콘 나노분말을 제조하는 방법{METHOD FOR PREPARING SILICON NANO-SIZED POWDER FROM WASTE SOLAR PANEL}
본 발명은 태양광 폐패널로부터 실리콘 나노분말을 제조하는 방법 및 제조된 실리콘 나노분말을 이차전지용 음극소재로 활용하는 방법에 관한 것이다.
나날이 증가하는 환경규제와 에너지 문제로 사용 후 소재의 재사용 및 재활용에 대한 관심이 집중되고 있다. 특히 태양광 산업의 급성장에 따른 폐 태양광패널의 폐기물 양이 증가됨에 따라 폐패널 소재에 대한 자원화가 시급하고 보다 고부가가치의 이용이 필요한 실정이다. 국제 에너지 기구와 국제 재생 에너지 기구 (IEA-IRENA)의 보고서에 따르면, 2030년까지 전 세계 태양광 패널의 누적 폐기량은 170만 톤, 2050년까지 6천만 톤에서 7천8백만 톤으로 추산되며, 결국, 태양광 폐패널을 재활용하기 위한 기술은 태양광 에너지 분야에 있어서 중요한 이슈가 되고 있다.
태양광 폐패널에 존재하는 실리콘 스크랩을 재사용 시 순도 및 가격 경쟁력 부재로 적합한 재활용 방안이 전무하였으며, 재활용 방안이 없어 매립처리로 인한 환경오염문제가 대두되었다. 지금까지는 실리콘 폐기물의 재사용이 태양전지 패널 재생 또는 산업용 실리콘 분말 제조에 국한되어 있어 처리공정 비용 대비 경제성 및 사업성이 저하되었다. 따라서 태양광 내 폐 실리콘을 활용한 고부가가치의 이차전지용 나노소재로 업사이클링 순환하는 기술 개발이 필요한 실정이었다.
현재 시장에서는 리튬이온 이차전지의 음극소재는 375 mAh g-1의 이론용량을 갖는 흑연을 주로 사용하고 있으며 이는 4200mAh g-1의 이론용량을 갖는 실리콘계 음극소재의 약 1/10 수준이다.
이에 따라 본 발명자들은 폐 태양광 실리콘의 회수 및 이를 이용한 리튬이차전지 음극소재로의 활용을 통해 태양광 폐패널에서 폐 실리콘소재를 회수하고 이를 업사이클링하여 이차전지용 음극소재를 제조하는 기술을 개발함으로써 본 발명을 완성하였다.
본 발명은 태양광 폐패널로부터 실리콘 나노분말을 수득하는 방법론을 제공하고, 이렇게 수득된 실리콘 나노분말을 이차전지용 음극소재로써 활용하여 태양광 폐패널을 친환경적으로 업사이클링한 기술을 제공하는 것을 그 목적으로 한다.
본 발명은 태양광 폐패널로부터 실리콘 나노분말을 제조하는 방법으로서, 태양광 폐패널로부터 프레임 및 정션 박스를 분리하는 제1단계; 제1단계에서 분리된 태양광 폐패널을 액체 질소 내에 침지시켜 태양광 폐패널을 급속 냉각함으로써 커버글라스(Cover Glass), 백시트(Back Sheet) 및 EVA(ethylene vinyl acetate) 중 1종 이상을 분리하는 제2단계; 실리콘 스크랩을 수득하는 제3단계; 및 진공 열 플라즈마를 이용하여 실리콘 스크랩으로부터 실리콘 나노분말을 제조하는 제4단계를 포함하는 방법을 제공한다.
또한, 본 발명은 상기 방법으로 수득된 실리콘 나노분말을 이용하여 리튬 이차전지 음극 소재를 제조하는 방법 및 이에 따라 제조된 리튬 이차전지 음극소재를 제공한다.
본 발명의 제조방법으로 제조된 실리콘 나노분말은 업사이클링을 통한 고부가가치의 리튬이온 이차전지용 음극소재로 활용이 가능하며, 다양한 입자 크기의 실리콘을 고순도로 회수할 수 있고, 더 나아가 구리, 주석과 같은 기타 금속 및 금속 합금의 회수도 가능하였다.
또한, 쓰고 남은 태양광 폐패널이 증가하고 있는 실정에서, 이를 재활용하여 이차전지 음극소재로 활용할 수 있어, 친환경적이며 에너지 순환이 가능하였다. 또한, 고용량 및 사이클 안정성이 향상된 리튬 이차전지용 음극소재를 제공하여 기존의 낮은 에너지 용량을 갖는 음극소재의 성능을 향상시킬 수 있다.
도 1은 태양광 폐패널의 분리 회수 프로세스를 나타낸 모식도이다.
도 2는 태양광 폐패널의 구조를 나타낸 그림이다.
도 3은 실험예 1에서 확인한 실리콘 나노분말의 XRD 그래프이다.
도 4는 실험예 1에서 확인한 FE-SEM 이미지(도 4의 (a)) 및 TEM 이미지(도 4의 (b))이다.
도 5는 실험예 2에서 확인한 충,방전 실험의 사이클 특성을 나타낸 그래프이다.
본 발명은 태양광 폐패널로부터 실리콘 나노분말을 수득하는 방법을 제공한다. 여기서 태양광 폐패널은 도 2에 도시된 바와 같이 중앙에는 실리콘 스크랩의 태양전지 기판, 그 양면에 EVA 층이 형성되어 있고, 각 EVA 층에는 커버글라스층, 및 백시트층이 인접해 있으며, 상기 기판 및 층들은 프레임으로 고정되어 있고, 가장 바깥쪽은 정션박스로 구성되어 있다.
본 발명은 커버글라스, 백시트 및 EVA 중 적어도 하나를 극저온 급속 냉각 분리 방법을 이용하여 분리하고, 실리콘 웨이퍼 스크랩을 진공 열 플라즈마 공정을 통하여 실리콘 나노분말로 제조하는 것을 특징으로 한다.
구체적으로, 본 발명은 태양광 폐패널로부터 프레임 및 정션 박스를 분리하는 제1단계; 제1단계에서 분리된 태양광 폐패널을 액체 질소 내에 침지시켜 태양광 폐패널을 급속 냉각함으로써 커버글라스(Cover Glass), 백시트(Back Sheet) 및 EVA(ethylene vinyl acetate) 중 1종 이상을 분리하는 제2단계; 실리콘 스크랩을 수득하는 제3단계; 및 진공 열플라즈마를 이용하여 실리콘 스크랩으로부터 실리콘 나노분말을 제조하는 제4단계를 포함하는, 태양광 폐패널로부터 실리콘 나노분말을 제조하는 방법을 제공한다.
도 1을 참조하여 본 발명의 일 실시예에 따른 실리콘 나노분말 제조 방법을 설명한다.
도 1을 참고하면, 본 발명은 태양광 폐패널을 회수 및 적재하는 단계(S100), 태양광 폐패널에서 프레임 및 정션박스를 분리하는 단계(S110), 태양광 폐패널에서 커버글라스를 분리하는 단계(S120), 태양광 폐패널 백시트를 분리하는 단계(S130), 실리콘 스크랩을 분리 회수하는 단계(S140) 및 진공 열 플라즈마하여 실리콘 나노분말을 수득하는 단계(S200)을 포함하며, 수득된 실리콘 나노분말을 이차전지 음극소재로 활용할 수 있다.
본 발명의 제조 방법을 순차적으로 설명하면, 태양광 장치는 수명이 20년 내지 30년인데, 수명이 다한 태양광 폐패널을 회수 및 적재하는 단계(S100)을 통해 본 발명에서 필요한 태양광 폐패널을 준비할 수 있다.
회수 및 적재된 태양광 폐패널에서 프레임 및 정션박스를 분리하는 제1단계(S110)는 자동화 분리 장치 및/또는 직교 로봇을 이용하여 프레임 및 정션박스를 분리할 수 있다.
직교 로봇은 스크류나 벨트 등의 구동부와 LM 가이드 등의 가이드부로 구성되어 직선 왕복운동을 위한 이송 모듈을 포함하는 이송장치에 관한 것으로 태양광 폐패널을 직접 이동시키는 수단으로 사용될 수 있다.
자동화 분리 장치는 태양광 폐패널로부터 프레임 및 정션 박스를 물리적으로 분리시켜 제거하는 장치일 수 있으며, 자동화되어 있는 장치일 수 있다.
상기 제1단계에서는 프레임, 및 정션박스 뿐만 아니라 케이블 등도 분리하여 제거할 수 있다.
제1단계로 프레임 및 정션박스가 분리된 태양광 폐패널에서 커버글라스, 백시트, EVA(Ethylene Vinyl Acetate) 중 1종 이상을 분리하는 제2단계(S120, S130)를 수행할 수 있다. 구체적으로, 제2단계는 제1단계에서 분리된 태양광 폐패널을 액체 질소 내에 침지시켜 태양광 폐패널을 급속 냉각함으로써 커버글라스(Cover Glass), 백시트(Back Sheet) 및 EVA(ethylene vinyl acetate) 중 1종 이상을 분리시킬 수 있다. 바람직하게는 급속 냉각하여 커버글라스, 백시트 및 EVA를 모두 분리시킬 수 있다.
액체 질소는 약 -196℃의 온도를 나타낼 수 있으며, 액체 질소 만으로 급속 냉각할 수 있으나, 액체 질소 외에도 드라이아이스, 액화 산소, 또는 -10℃이하의 냉각물질을 추가로 포함할 수도 있다.
액체 질소 내에 침지시키는 시간은 1 내지 20분일 수 있으며, 바람직하게는 1 내지 10분, 또는 3 내지 5분일 수 있다. 액체 질소의 양은 태양관 폐패널을 침지할 수 있는 양이라면 제한없이 사용가능하다.
제2단계에서 커버글라스, 백시트, EVA(Ethylene Vinyl Acetate) 중 1종 이상의 분리는 전단변위 분리 방식을 이용할 수 있으며, 액체 질소에 의해 전단 강도가 가해지며 이에 따라 태양광 폐패널이 변형이 일어나 분리될 수 있다.제2단계의 구체예는, 제1단계로 프레임 및 정션박스가 분리된 태양광 폐패널을 액체 질소 내에 침지시켜 태양광 폐패널을 급속 냉각시킨 후 분리지그를 사용하여 커버글라스, 백시트 및 EVA 중 1종 이상을 분리시킬 수 있다.
구체적으로, 태양광 폐패널을 급속 냉각시키면 폴리머 소재인 EVA가 경화된 상태가 되고, 이를 분리지그에 흡착 고정하여 전단변형을 통해 접합면을 분리하는 방법을 통해 커버글라스, 백시트 및 EVA 중 1종 이상을 분리시킬 수 있다.상기 접합면을 분리하는 과정에서 추가적인 급속 냉각을 위해 액체 질소를 분사할 수 있으며, 이를 통해 실리콘 스크랩 웨이퍼만 분리하여 수득할 수 있다.
상기 액체 질소 내에 침지시키는 단계는 액체 질소를 보관하는 냉동기에 침지시켜 급속 냉각하는 단계를 포함할 수 있다.
여기서 냉동기는 액체 질소를 보관할 수 있고 질소가 액체 형태로 존재할 수 있는 것이라면 제한없이 사용가능하다.
급속 냉각되어 태양광 폐패널에서 커버글라스, 백시트, 및 EVA 중 1종 이상을 분리한 후 대기 중에서 자연 해동하거나 열을 가하여 인위적으로 해동하는 공정을 추가로 포함할 수 있으며, 바람직하게는 대기 중에 자연 해동할 수 있다.
이와 같이, 커버글라스, 백시트, 및 EVA 중 1종 이상을 극저온 급속 냉각단계를 통해 분리하는 방식은 기존의 고온 고압 스팀 세척을 통해 분리하는 방식에 비해 친환경적이고, 비용을 절감할 수 있는 효과가 있다.
분리된 커버글라스 및 백시트는 재활용되어 새로운 태양광의 재사용 가능하다. 상기 제3단계는 제2단계를 통하여 태양광 폐패널로부터 커버글라스, 백시트, 및 EVA 가 분리된 실리콘 스크랩 웨이퍼를 수득할 수 있다(S140).
상기 수득된 실리콘 스크랩 웨이퍼는 1회 이상의 단순 파쇄 공정을 통해 보다 작은 크기로 파쇄된 후에 제4단계의 진공 열플라즈마 공정으로 진행될 수 있다.
제3단계는 실리콘 스크랩을 레이저로 표면 불순물(예를 들어, 전극배선 및 반사코팅막) 제거 및 세척하는 단계를 추가로 포함할 수 있으며, 이에 따라 실리콘 스크랩 표면의 불순물을 제거할 수 있다.
이 후, 진공 열 플라즈마를 이용하여 실리콘 스크랩으로부터 실리콘 나노분말을 제조하는 제4단계(S200)를 수행할 수 있다.
상기 제4단계는 진공상태에서 불활성기체를 공급하여 열 플라즈마를 발생시키는 단계; 및 열 플라즈마에 의해 실리콘 스크랩으로부터 실리콘 나노분말로 분말화하는 단계를 포함할 수 있다.
제3단계에서 수득된 실리콘 스크랩의 크기는 수백 마이크로 내외로 하지만, 제4단계를 통해 수십 내지 수백 나노미터 크기의 실리콘 나노분말을 형성할 수 있다.
불활성 기체가 플라즈마 장치에 주입되고 플라즈마 장치에 전력이 공급되면 고온의 열 플라즈마를 발생시킬 수 있다. 이와 동시에 또는 이 다음으로 제3단계에서 수득한 실리콘 스크랩을 일정한 양으로 플라즈마 장치 내부에 투입될 수 있다.
상기 열 플라즈마의 발생은 전력이 공급됨으로써 발생하고, 플라즈마 소스로는 마이크로웨이브, 유도결합, 또는 아크 플라즈마 등 그 적용에 제한이 없다.
플라즈마 장치의 내부 압력은 100 내지 500torr일 수 있고, 바람직하게는 200 내지 400torr일 수 있다. 플라즈마 장치의 내부 인가 전류는 100 내지 700A 일 수 있고, 바람직하게는 300 내지 500A 일 수 있다. 플라즈마 장치의 내부 인가 전압은 20 내지 60V, 바람직하게는 30 내지 50V일 수 있으며, 플라즈마 장치의 내부 평균 출력은 1 내지 30KW, 바람직하게는 3 내지 20KW일 수 있다. 플라즈마 장치 내 조건들을 상기와 같은 범위로 조절할 경우, 실리콘 스크랩을 실리콘 나노분말로 효율적으로 분말화시킬 수 있으며, 실리콘 나노분말의 크기 등이 적절한 범위를 나타낼 수 있다.
상기 불활성 기체는 아르곤, 헬륨 및 질소로 이루어진 군에서 선택되는 1종 이상일 수 있고, 바람직하게는 아르곤 및 질소일 수 있다. 상기 불활성 기체는 10L/min 내지 300L/min의 유량의 조건으로　플라즈마　장치에 주입될 수 있다.
수득된 실리콘 나노분말의 평균 크기(지름)은 10 내지 500nm, 또는 10 내지 200nm일 수 있고, 바람직하게는 20 내지 60nm, 30 내지 50nm, 또는 35 내지 45nm일 수 있다.
상기 태양광 폐패널로부터 실리콘 나노분말을 제조하는 방법을 통해 리튬 이차전지용 음극소재에 적합한 실리콘 나노분말을 제조할 수 있다. 즉, 본 발명의 상기 태양광 폐패널로부터 제조된 실리콘 나노분말은 리튬이차전지용 실리콘 나노분말일 수 있다.
본 발명은 또한, 수득된 실리콘 나노분말을 이용하여 리튬 이차전지용 음극소재를 제조하는 방법을 제공할 수 있다.
구체적으로, 실리콘 나노분말을 진공 건조하였고, 건조된 실리콘은 도전제와 결합재와 혼합되어 슬러리를 제조할 수 있다. 여기서 상기 진공 건조는 80 내지 150도에서 1 내지 5시간동안 수행할 수 있으며, 실리콘, 도전제 및 결합재의 혼합 중량 비율은 5 내지 6 : 3 내지 4 : 0.5 내지 1.5일 수 있다.
상기 슬러리에는 15 내지 50wt% 의 그라파이트를 추가할 수 있으며, 이는 음극소재의 사이클 안정성 향상을 위함이다.
제조된 슬러리에 SBR(스티렌 부타디엔 고무)를 첨가할 수 있고, 이를 최종 건조하여 리튬 이차전지용 음극소재를 제조할 수 있다. 상기 최종 건조는 80 내지 150도에서 10 내지 15시간동안 수행할 수 있다.
또한, 본 발명은 상기 방법에 따라 제조된 실리콘 나노분말을 포함하는 리튬 이차전지용 음극소재를 제공할 수 있으며, 이러한 리튬 이차전지용 음극소재를 포함하는 리튬 이차전지를 제공할 수 있다.
이하, 본 발명을 하기 실험예에 의해 상세히 설명한다. 단, 하기 실험예는 본 발명을 예시하는 것일 뿐, 본 발명의 내용이 하기 실험예에 의해 제한되는 것은 아니다. 또한, 이들 실험예는 본 발명에 대한 이해를 돕기 위한 목적일 뿐이므로, 어떤 의미로든 본 발명의 범위가 이들에 의해 제한되는 것은 아니다.
실시예
제조예 1. 실리콘 나노분말 제조
본 발명은 폐 태양광 패널로부터 프레임, 및 정션 박스를 제거한 후, 이를 액체질소가 보관된 냉동기(태양광 폐패널 크기 기준으로 110% 내지 150%의 크기)에 3 내지 5분간 침지하였으며, 이에 따라 글라스, 백시트 및 EVA층을 제거하였다. 이후 남아있는 실리콘 웨이퍼 스크랩을 진공 열 플라즈마 공정을 통해 실리콘 나노분말로 분쇄하였다. 진공 열 플라즈마 공정의 제조 조건은 하기 표 1에 나타내었다.
파라미터 조건
압력(torr) 100 - 500
인가 전류(A) 300 - 500
인가 전압(V) 30 - 50
평균 인가 전력(KW) 20 - 60
기체 20%Ar+80%N2
전극 재료 Tungsten, Graphite
전극의 지름(mm) 13 - 150
실험예 1. 제조예 1에 따라 제조된 실리콘 나노분말의 물성 확인
제조예 1에 따라 제조된 실리콘 나노분말에 대해 XRD 그래프 분석을 실시하였고, 이를 태양광 폐패널로부터 제조된 것이 아닌 순수 실리콘의 XRD 그래프(Si, PDF#75-0589)와 비교하였으며, 그 결과를 도 3에 나타내었다.
도 3에서 확인할 수 있는 바와 같이, 제조예 1에 따라 제조된 실리콘 나노분말의 XRD 그래프에서는 불순물 피크가 보이지 않았으며, 순수한 실리콘 나노분말이 형성되었음을 알 수 있다.
또한, 제조예 1에 따라 제조된 실리콘 나노분말에 대해 FE-SEM 및 TEM 이미지를 확인하였는 바, 이를 도 4에 나타내었다. 도 4에서 확인할 수 있는 바와 같이 구형의 고순도 실리콘 나노분말이 제조되었으며 이의 평균 입자크기는 40nm 임을 확인할 수 있다.
제조예 2. 제조예 1에 따라 제조된 실리콘 나노분말을 이용한 전극 제조
제조예 1에 따라 회수된 고순도의 실리콘 나노분말의 잔존 수분을 제거하기 위하여 110°C에서 3시간동안 진공건조를 진행하였다. 그 후, 제조된 실리콘은 도전제(Super P carbon black)와 결합재(Polyacrylic acid)를 55 : 35 : 10의 중량비율로 혼합하여 슬러리를 제조하였고, 슬러리는 구리호일에 도포되었으며, 구리호일과의 접착특성을 향상시키기 위하여 1~2 방울의 스티렌 부타디엔 고무(SBR, 50wt% 수용액)을 첨가하였다. 용매는 증류수를 사용하였다. 제조한 전극은 60°C의 전기오븐에서 1시간 건조 후 전극의 80% 두께로 압착한 후, 110°C에서 12시간 진공건조를 진행하여 최종적으로 리튬이차전지용 실리콘 음극소재를 제조되었다. 실리콘 음극은 사이클 진행 시 부피팽창으로 인해 사이클 안정성이 저하된다고 알려져있는 바, 이러한 실리콘 음극의 사이클 안정성 향상을 위하여 그라파이트를 15~50wt%를 첨가하였다.
제조된 실리콘 음극은 지름 16mm로 재단하여 수분 및 산소 함량이 0.01ppm 이하의 고순도 아르곤으로 채워진 글로브 박스에서 CR2032타입의 반쪽 셀을 제작하였다. 양극으로는 금속리튬을 사용하였고, 분리막은 폴리에틸렌 (PE, W-SCOPE, KOREA), 전해질(Panax Etec Co. Ltd., Korea)은 1.15M LiPF6/EC-DEC(3:7 vol%)에 3wt% 비닐 카보네이트(VC)를 첨가하여 사용하였다.
실험예 2. 제조예 2에 따라 제조된 전지의 전지적 특성 확인
완성된 전지는 0.4~5 A g-1의 전류밀도에서 충/방전 실험을 진행하였고 그 결과를 도 5에 나타내었다. 충/방전 용량은 음극활물질 사용량 55%를 환산한 값이다. 도 5에서 Si는 제조예 1에 따라 회수된 실리콘 나노분말 100%; Si50은 상기 실리콘 나노분말과 그라파이트의 중량비가 50:50; Si15는 상기 실리콘 나노분말과 그라파이트의 중량비가 15:85; G는 그라파이트 100%를 의미한다.
도 5로부터 본 발명의 회수된 실리콘 나노분말(Si)이 그라파이트(G)보다 초기 충방전용량이 훨씬 높은 것을 확인할 수 있다. 또한, 실리콘 나노분말(Si)는 초기 충방전용량이 1.8 Ahg-1 정도로 높은 값을 나타내고 그라파이트를 50중량% 포함하는 Si50도 초기 충방전용량은 Si보다 떨어지나 사이클 횟수가 증가하여도 높은 충방전용량을 나타냄을 확인할 수 있다.
또한, 쿨롱 효율(columbic efficiency)에 있어서도 높은 값으로 일정하게 유지되는 바, 사이클 수명 특성이 향상되고 안정적인 전지 작동이 가능함을 알 수 있다.

Claims (7)

  1. 태양광 폐패널로부터 프레임 및 정션 박스를 분리하는 제1단계;
    제1단계에서 분리된 태양광 폐패널을 액체 질소 내에 침지시켜 태양광 폐패널을 급속 냉각함으로써 커버글라스(Cover Glass), 백시트(Back Sheet) 및 EVA(ethylene vinyl acetate) 중 1종 이상을 분리하는 제2단계;
    실리콘 스크랩을 수득하는 제3단계; 및
    진공 열 플라즈마를 이용하여 실리콘 스크랩으로부터 실리콘 나노분말을 제조하는 제4단계를 포함하는, 태양광 폐패널로부터 실리콘 나노분말을 제조하는 방법.
  2. 제 1 항에 있어서,
    제2단계에서 액체 질소 내에 침지시키는 시간은 1 내지 20분인, 실리콘 나노분말을 제조하는 방법.
  3. 제 1 항에 있어서,
    제3단계는 실리콘 스크랩에 레이저로 표면 불순물 제거 및 세척하는 단계를 추가로 포함하는, 실리콘 나노분말을 제조하는 방법.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 제4단계는 진공상태에서 불활성기체를 공급하여 열 플라즈마를 발생시키는 단계; 및 열 플라즈마에 의해 실리콘 스크랩으로부터 실리콘 나노분말로 분말화하는 단계를 포함하는, 실리콘 나노분말을 제조하는 방법.
  5. 제1항에 따라 제조된 실리콘 나노분말을 이용하여 리튬 이차전지용 음극소재를 제조하는 방법.
  6. 제1항에 따라 제조된 실리콘 나노분말을 포함하는 리튬 이차전지용 음극소재.
  7. 제 6항의 리튬 이차전지용 음극소재를 포함하는 리튬 이차전지.
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