KR102587063B1 - 그래핀을 포함하는 음향 진동판 및 이를 적용한 음향 장치 - Google Patents

그래핀을 포함하는 음향 진동판 및 이를 적용한 음향 장치 Download PDF

Info

Publication number
KR102587063B1
KR102587063B1 KR1020180077315A KR20180077315A KR102587063B1 KR 102587063 B1 KR102587063 B1 KR 102587063B1 KR 1020180077315 A KR1020180077315 A KR 1020180077315A KR 20180077315 A KR20180077315 A KR 20180077315A KR 102587063 B1 KR102587063 B1 KR 102587063B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
graphene
acoustic
acoustic diaphragm
diaphragm
containing layer
Prior art date
Application number
KR1020180077315A
Other languages
English (en)
Other versions
KR20200004197A (ko
Inventor
김상원
신현진
설민수
이동욱
Original Assignee
삼성전자주식회사
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 삼성전자주식회사 filed Critical 삼성전자주식회사
Priority to KR1020180077315A priority Critical patent/KR102587063B1/ko
Priority to US16/173,516 priority patent/US10681464B2/en
Publication of KR20200004197A publication Critical patent/KR20200004197A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR102587063B1 publication Critical patent/KR102587063B1/ko

Links

Images

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H04—ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
    • H04R—LOUDSPEAKERS, MICROPHONES, GRAMOPHONE PICK-UPS OR LIKE ACOUSTIC ELECTROMECHANICAL TRANSDUCERS; DEAF-AID SETS; PUBLIC ADDRESS SYSTEMS
    • H04R7/00—Diaphragms for electromechanical transducers; Cones
    • H04R7/02—Diaphragms for electromechanical transducers; Cones characterised by the construction
    • H—ELECTRICITY
    • H04—ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
    • H04R—LOUDSPEAKERS, MICROPHONES, GRAMOPHONE PICK-UPS OR LIKE ACOUSTIC ELECTROMECHANICAL TRANSDUCERS; DEAF-AID SETS; PUBLIC ADDRESS SYSTEMS
    • H04R7/00—Diaphragms for electromechanical transducers; Cones
    • H04R7/02—Diaphragms for electromechanical transducers; Cones characterised by the construction
    • H04R7/12—Non-planar diaphragms or cones
    • H04R7/122—Non-planar diaphragms or cones comprising a plurality of sections or layers
    • H—ELECTRICITY
    • H04—ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
    • H04R—LOUDSPEAKERS, MICROPHONES, GRAMOPHONE PICK-UPS OR LIKE ACOUSTIC ELECTROMECHANICAL TRANSDUCERS; DEAF-AID SETS; PUBLIC ADDRESS SYSTEMS
    • H04R15/00—Magnetostrictive transducers
    • H—ELECTRICITY
    • H04—ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
    • H04R—LOUDSPEAKERS, MICROPHONES, GRAMOPHONE PICK-UPS OR LIKE ACOUSTIC ELECTROMECHANICAL TRANSDUCERS; DEAF-AID SETS; PUBLIC ADDRESS SYSTEMS
    • H04R17/00—Piezoelectric transducers; Electrostrictive transducers
    • H—ELECTRICITY
    • H04—ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
    • H04R—LOUDSPEAKERS, MICROPHONES, GRAMOPHONE PICK-UPS OR LIKE ACOUSTIC ELECTROMECHANICAL TRANSDUCERS; DEAF-AID SETS; PUBLIC ADDRESS SYSTEMS
    • H04R19/00—Electrostatic transducers
    • H—ELECTRICITY
    • H04—ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
    • H04R—LOUDSPEAKERS, MICROPHONES, GRAMOPHONE PICK-UPS OR LIKE ACOUSTIC ELECTROMECHANICAL TRANSDUCERS; DEAF-AID SETS; PUBLIC ADDRESS SYSTEMS
    • H04R7/00—Diaphragms for electromechanical transducers; Cones
    • H04R7/02—Diaphragms for electromechanical transducers; Cones characterised by the construction
    • H04R7/04—Plane diaphragms
    • H04R7/06—Plane diaphragms comprising a plurality of sections or layers
    • H—ELECTRICITY
    • H04—ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
    • H04R—LOUDSPEAKERS, MICROPHONES, GRAMOPHONE PICK-UPS OR LIKE ACOUSTIC ELECTROMECHANICAL TRANSDUCERS; DEAF-AID SETS; PUBLIC ADDRESS SYSTEMS
    • H04R2307/00—Details of diaphragms or cones for electromechanical transducers, their suspension or their manufacture covered by H04R7/00 or H04R31/003, not provided for in any of its subgroups
    • H04R2307/021—Diaphragms comprising cellulose-like materials, e.g. wood, paper, linen
    • H—ELECTRICITY
    • H04—ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
    • H04R—LOUDSPEAKERS, MICROPHONES, GRAMOPHONE PICK-UPS OR LIKE ACOUSTIC ELECTROMECHANICAL TRANSDUCERS; DEAF-AID SETS; PUBLIC ADDRESS SYSTEMS
    • H04R2307/00—Details of diaphragms or cones for electromechanical transducers, their suspension or their manufacture covered by H04R7/00 or H04R31/003, not provided for in any of its subgroups
    • H04R2307/023—Diaphragms comprising ceramic-like materials, e.g. pure ceramic, glass, boride, nitride, carbide, mica and carbon materials
    • H—ELECTRICITY
    • H04—ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
    • H04R—LOUDSPEAKERS, MICROPHONES, GRAMOPHONE PICK-UPS OR LIKE ACOUSTIC ELECTROMECHANICAL TRANSDUCERS; DEAF-AID SETS; PUBLIC ADDRESS SYSTEMS
    • H04R2307/00—Details of diaphragms or cones for electromechanical transducers, their suspension or their manufacture covered by H04R7/00 or H04R31/003, not provided for in any of its subgroups
    • H04R2307/025—Diaphragms comprising polymeric materials
    • H—ELECTRICITY
    • H04—ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
    • H04R—LOUDSPEAKERS, MICROPHONES, GRAMOPHONE PICK-UPS OR LIKE ACOUSTIC ELECTROMECHANICAL TRANSDUCERS; DEAF-AID SETS; PUBLIC ADDRESS SYSTEMS
    • H04R2307/00—Details of diaphragms or cones for electromechanical transducers, their suspension or their manufacture covered by H04R7/00 or H04R31/003, not provided for in any of its subgroups
    • H04R2307/027—Diaphragms comprising metallic materials
    • H—ELECTRICITY
    • H04—ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
    • H04R—LOUDSPEAKERS, MICROPHONES, GRAMOPHONE PICK-UPS OR LIKE ACOUSTIC ELECTROMECHANICAL TRANSDUCERS; DEAF-AID SETS; PUBLIC ADDRESS SYSTEMS
    • H04R7/00—Diaphragms for electromechanical transducers; Cones
    • H04R7/02—Diaphragms for electromechanical transducers; Cones characterised by the construction
    • H04R7/04—Plane diaphragms
    • H—ELECTRICITY
    • H04—ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
    • H04R—LOUDSPEAKERS, MICROPHONES, GRAMOPHONE PICK-UPS OR LIKE ACOUSTIC ELECTROMECHANICAL TRANSDUCERS; DEAF-AID SETS; PUBLIC ADDRESS SYSTEMS
    • H04R7/00—Diaphragms for electromechanical transducers; Cones
    • H04R7/02—Diaphragms for electromechanical transducers; Cones characterised by the construction
    • H04R7/04—Plane diaphragms
    • H04R7/06—Plane diaphragms comprising a plurality of sections or layers
    • H04R7/10—Plane diaphragms comprising a plurality of sections or layers comprising superposed layers in contact
    • H—ELECTRICITY
    • H04—ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
    • H04R—LOUDSPEAKERS, MICROPHONES, GRAMOPHONE PICK-UPS OR LIKE ACOUSTIC ELECTROMECHANICAL TRANSDUCERS; DEAF-AID SETS; PUBLIC ADDRESS SYSTEMS
    • H04R7/00—Diaphragms for electromechanical transducers; Cones
    • H04R7/02—Diaphragms for electromechanical transducers; Cones characterised by the construction
    • H04R7/12—Non-planar diaphragms or cones
    • H—ELECTRICITY
    • H04—ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
    • H04R—LOUDSPEAKERS, MICROPHONES, GRAMOPHONE PICK-UPS OR LIKE ACOUSTIC ELECTROMECHANICAL TRANSDUCERS; DEAF-AID SETS; PUBLIC ADDRESS SYSTEMS
    • H04R7/00—Diaphragms for electromechanical transducers; Cones
    • H04R7/02—Diaphragms for electromechanical transducers; Cones characterised by the construction
    • H04R7/12—Non-planar diaphragms or cones
    • H04R7/122—Non-planar diaphragms or cones comprising a plurality of sections or layers
    • H04R7/125—Non-planar diaphragms or cones comprising a plurality of sections or layers comprising a plurality of superposed layers in contact
    • H—ELECTRICITY
    • H04—ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
    • H04R—LOUDSPEAKERS, MICROPHONES, GRAMOPHONE PICK-UPS OR LIKE ACOUSTIC ELECTROMECHANICAL TRANSDUCERS; DEAF-AID SETS; PUBLIC ADDRESS SYSTEMS
    • H04R7/00—Diaphragms for electromechanical transducers; Cones
    • H04R7/02—Diaphragms for electromechanical transducers; Cones characterised by the construction
    • H04R7/12—Non-planar diaphragms or cones
    • H04R7/127—Non-planar diaphragms or cones dome-shaped

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Acoustics & Sound (AREA)
  • Signal Processing (AREA)
  • Multimedia (AREA)
  • Diaphragms For Electromechanical Transducers (AREA)

Abstract

음향 진동판 및 이를 포함하는 음향 장치에 관해 개시되어 있다. 개시된 음향 진동판은 그래핀 나노입자(graphene nanoparticles)를 포함할 수 있고, 상기 그래핀 나노입자의 평균 입자 사이즈는 약 10 nm 이하일 수 있다. 상기 그래핀 나노입자는 실질적으로 약 1∼10 nm 정도의 입자 사이즈를 가질 수 있다. 상기 그래핀 나노입자는 hydroxyl group, carboxyl group, carbonyl group, epoxy group, amine group 및 amide group 중 적어도 하나의 기능기를 포함할 수 있다.

Description

그래핀을 포함하는 음향 진동판 및 이를 적용한 음향 장치{Acoustic diaphragm including graphene and acoustic device adopting the same}
개시된 실시예들은 음향 진동판 및 이를 포함하는 음향 장치에 관한 것이다.
각종 음향 기기나 영상 기기, 랩톱(laptop) 컴퓨터, 태블릿(tablet) PC, 모바일 전화 등 다양한 전자 기기에서 스피커나 리시버, 마이크로폰, 이어폰 등의 음향 장치가 사용된다. 음향 진동판(acoustic diaphragm or vibration diaphragm)은 음향 장치에서 중요한 구성요소로 사용된다. 스피커의 진동판에는 광범위한 주파수 대역, 특히, 고음역대에서 명료한 소리를 충실히 재생할 수 있는 성질이 요구된다.
현재 상용화된 음향 진동판에는 셀룰로오스(cellulose)나 polyester와 같은 폴리머 계열 물질 또는 알루미늄(Al)과 같은 금속 계열 물질이 주로 사용된다. 그런데 전자 기기가 소형화됨에 따라, 작은 크기의 진동판을 이용해서 좋은 음질을 구현하기가 어려워지고 있다. 소형 기기뿐 아니라 대형 오디오 장치의 경우, 좋은 음질을 구현하기 위해 희귀 금속이나 탄소 계열 물질을 활용하기도 하지만, 공정상 제조가 어렵거나 환경 유해성 등의 문제가 있다.
음향 진동판의 재료를 개발함에 있어서, 음질 및 내구성 향상을 위한 다양한 기계적 물성 확보는 물론이고, 균일성 확보, 가공성 향상, 안정성, 환경 유해성 등 다양한 측면을 고려할 필요가 있다.
기계적 물성이 우수하고 가공성, 내구성, 균일성, 환경 안정성 등의 측면에서 우수한 특성을 갖는 음향 진동판 및 이를 적용한 음향 장치를 제공한다.
고주파수 영역에서도 안정적으로 좋은 음질을 구현할 수 있는 음향 진동판 및 이를 적용한 음향 장치를 제공한다.
상기한 음향 장치를 포함하는 전자 기기를 제공한다.
일 측면(aspect)에 따르면, 음향 장치를 위한 음향 진동판(acoustic diaphragm)에 있어서, 상기 음향 진동판은 그래핀 나노입자(graphene nanoparticles)를 포함하는 그래핀 함유층(graphene-containing layer)을 구비하고, 상기 그래핀 나노입자의 평균 입자 사이즈는 10 nm 이하인 음향 진동판이 제공된다.
상기 그래핀 나노입자는 실질적으로 약 1∼10 nm 정도의 입자 사이즈를 가질 수 있다.
상기 그래핀 나노입자는 hydroxyl group, carboxyl group, carbonyl group, epoxy group, amine group 및 amide group 중 적어도 하나의 기능기(functional group)를 포함할 수 있다.
상기 그래핀 나노입자는, 예컨대, 약 50∼95 at% 범위의 탄소 함량을 가질 수 있다.
상기 그래핀 함유층은 그래핀 외에 이종 물질을 1종 이상 더 포함할 수 있다.
상기 이종 물질은 고분자, 단분자, 금속 및 금속 착화합물 중 적어도 하나를 포함할 수 있다.
상기 이종 물질은 유기 물질, 무기 물질 또는 유무기 복합 물질을 포함할 수 있다.
상기 그래핀 함유층에서 상기 그래핀 나노입자의 함량은 약 1∼99 wt% 정도의 범위일 수 있다.
상기 그래핀 함유층에서 상기 그래핀 나노입자의 함량은 약 30∼90 wt% 정도의 범위일 수 있다.
상기 음향 진동판은 보조층(auxiliary layer)을 더 포함할 수 있고, 상기 보조층의 일면 또는 양면에 상기 그래핀 함유층이 구비될 수 있다.
상기 보조층은 셀룰로오스(cellulose), 폴리머계 물질, 금속계 물질 및 탄소계 물질 중 적어도 하나를 포함할 수 있다.
상기 보조층은 페이퍼(paper), polyester, Al, Ti, Be, carbon fiber 및 CVD synthetic diamond 중 적어도 하나를 포함할 수 있다.
상기 음향 진동판은 제1 및 제2 보조층을 더 포함할 수 있고, 상기 제1 및 제2 보조층 사이에 상기 그래핀 함유층이 구비될 수 있다.
상기 음향 진동판은 콘(cone) 형상, 평판(flat plate) 형상 또는 돔(dome) 형상을 가질 수 있다.
다른 측면에 따르면, 전술한 음향 진동판; 상기 음향 진동판을 지지하는 지지부; 및 상기 음향 진동판에 연결된 전기-음향 변환부;를 포함하는 음향 장치가 제공된다.
상기 전기-음향 변환부는 전기적 신호를 음향 신호로 변환하도록 구성될 수 있다.
상기 전기-음향 변환부는 음향 신호를 전기적 신호로 변환하도록 구성될 수 있다.
상기 음향 장치는 전자기형(electromagnetic type), 정전형(electrostatic type) 또는 압전형(piezoelectric type) 장치일 수 있다.
상기 음향 장치는 스피커(speaker), 이어폰(earphone), 헤드폰(headphone) 및 마이크로폰(microphone) 중 어느 하나를 구성할 수 있다.
다른 측면에 따르면, 전술한 음향 장치를 포함하는 전자 기기가 제공된다.
기계적 물성이 우수하고 가공성, 내구성, 균일성, 환경 안정성 등의 측면에서 우수한 특성을 갖는 음향 진동판을 구현할 수 있다. 고주파수 영역에서도 안정적으로 좋은 음질을 구현할 수 있는 음향 진동판을 구현할 수 있다. 상기한 음향 진동판을 적용하여 우수한 성능을 갖는 음향 장치 및 이를 포함하는 전자 기기를 구현할 수 있다.
도 1은 일 실시예에 따른 음향 진동판을 포함하는 음향 장치를 보여주는 단면도이다.
도 2는 일 실시예에 따른 음향 진동판을 보여주는 단면도이다.
도 3은 음향 진동판을 제조하는데 사용될 수 있는 그래핀 나노입자(graphene nanoparticles)를 촬영한 이미지이다.
도 4는 음향 진동판을 제조하는데 사용될 수 있는 그래핀 나노입자의 입자 사이즈 분포를 측정한 결과를 보여주는 그래프이다.
도 5는 실시예에 따라 형성된 박막에 대한 나노인덴테이션 테스트(nanoindentation test) 결과를 보여주는 그래프이다.
도 6은 비교예에 따라 형성된 박막에 대한 나노인덴테이션 테스트(nanoindentation test) 결과를 보여주는 그래프이다.
도 7은 실시예에 따라 형성된 박막의 탄성률(elastic modulus) 특성을 측정한 결과를 보여주는 그래프이다.
도 8은 비교예에 따라 형성된 박막의 탄성률 특성을 측정한 결과를 보여주는 그래프이다.
도 9는 다른 실시예에 따른 음향 진동판을 보여주는 단면도이다.
도 10은 다른 실시예에 따른 음향 진동판을 보여주는 단면도이다.
도 11은 다른 실시예에 따른 음향 진동판을 보여주는 단면도이다.
도 12는 다른 실시예에 따른 음향 진동판을 보여주는 단면도이다.
도 13은 다른 실시예에 따른 음향 진동판을 보여주는 단면도이다.
이하, 실시예들에 따른 음향 진동판, 음향 진동판을 포함하는 음향 장치 및 음향 장치를 적용한 전자 기기를 첨부된 도면을 참조하여 상세하게 설명한다. 첨부된 도면에 도시된 층이나 영역들의 폭 및 두께는 명세서의 명확성 및 설명의 편의성을 위해 다소 과장되어 있을 수 있다. 상세한 설명 전체에 걸쳐 동일한 참조번호는 동일한 구성요소를 나타낸다.
도 1은 일 실시예에 따른 음향 진동판을 포함하는 음향 장치를 보여주는 단면도이다. 본 실시예의 음향 장치는 스피커 장치이다.
도 1을 참조하면, 링(ring) 형상의 영구 자석인 마그넷(magnet)(1)이 마련될 수 있다. 마그넷(1)은 페라이트(ferrite)나 네오디뮴(neodymium) 등으로 형성될 수 있지만, 이에 한정되지 않는다. 마그넷(1) 아래에 하부 플레이트(lower plate)(2)가 마련될 수 있고, 하부 플레이트(2)의 중앙부에 폴피스(pole piece)(3)가 구비될 수 있다. 폴피스(3)는 센터폴(center pole) 또는 기둥 형상의 돌출부(protrusion)일 수 있다. 마그넷(1)의 상부에는 상부 플레이트(upper plate)(4)가 마련될 수 있다. 상부 플레이트(4)는 중앙에 개구 영역을 갖는 형상, 예컨대, 링(ring) 형상일 수 있지만, 이에 한정되지 않는다.
폴피스(3)를 감싸는 형태의 보이스 코일 보빈(voice coil bobbin)(5)이 마련될 수 있고, 보빈(5)에 보이스 코일(voice coil)(6)이 형성될 수 있다. 보이스 코일(6)로부터 연장된 배선부(7)가 구비될 수 있다. 도시하지는 않았지만, 배선부(7)는 증폭기(amplifier)에 연결될 수 있다.
상부 플레이트(4)의 상부에는 지지 프레임(supporting frame)(8)이 고정되어 설치될 수 있다. 지지 프레임(8)은 깔때기 모양이나 그와 유사한 형태를 가질 수 있다. 지지 프레임(8)은 일종의 바스켓(basket)이라 할 수 있다.
지지 프레임(8)의 오목한 영역 내에 음향 진동판(이하, 진동판)(10)이 구비될 수 있다. 진동판(10)은 콘(cone) 모양을 가질 수 있다. 진동판(10)의 일단부(하단부)는 보빈(6)에 연결될 수 있고, 진동판(10)의 타단부(상단부)는 지지 프레임(8)에 연결될 수 있다. 진동판(10)의 타단부(상단부)와 지지 프레임(8) 사이에는 서라운드 부재(surround member)(11)가 마련될 수 있다. 서라운드 부재(11)는 탄성 고무나 발포 고무(foam), 직물(textile) 등으로 형성될 수 있고, 진동판(10)을 지지 프레임(8)에 연결하여 플렉서블(flexible)하게 매어주는 역할을 할 수 있다.
지지 프레임(8)과 보빈(5) 사이에는 댐퍼 부재(damper member)(9)가 구비될 수 있다. 댐퍼 부재(9)는 보빈(5)과 보이스 코일(6)이 이동 가능하도록 허용하면서, 이들을 잡아주는 역할을 할 수 있다. 댐퍼 부재(9)는 주름진(corrugated) 구조를 가질 수 있고, 플렉서블(flexible)할 수 있다. 댐퍼 부재(9)는 일종의 서스펜션(suspension)일 수 있고, 이른바 스파이더(spider)라고 칭할 수 있다.
보빈(5)의 위쪽에는 더스트 커버(dust cover)(12)가 구비될 수 있다. 더스트 커버(12)는 돔(dome) 형상을 가질 수 있고, 진동판(10)의 중앙부 일부를 덮도록 구비될 수 있다. 더스트 커버(12)는 먼지 방지 덮개, 즉, 더스트 캡(dust cap)이다.
보이스 코일(6)에 인가되는 전기적 신호에 따라서, 전자기적 힘에 의해 보빈(5)이 폴피스(3) 내에서 상하로 움직일 수 있고, 결과적으로, 진동판(10)이 진동할 수 있다. 진동판(10)의 진동에 의해 그에 대응하는 소리가 발생될 수 있다. 폴피스(3)는 보이스 코일(6)에 의해 생성된 자기장을 강화하고, 자기장의 흐름을 제어하는 역할을 할 수 있다. 음향 장치에서 진동판(10)의 기계적 물성은 음질 및 내구성 등을 결정하는 중요한 요소일 수 있다.
본 실시예에서 진동판(10)은 그래핀 나노입자(graphene nanoparticles)를 포함하는 그래핀 함유층(graphene-containing layer)이거나, 상기 그래핀 함유층을 포함할 수 있고, 여기서, 상기 그래핀 나노입자의 평균 입자 사이즈는 약 10 nm 이하일 수 있다. 상기 그래핀 나노입자는 실질적으로(대체적으로) 약 1∼10 nm 정도의 입자 사이즈를 가질 수 있다. 상기 그래핀 나노입자의 약 90% 이상 혹은 약 95% 이상이 1∼10 nm의 입자 사이즈를 가질 수 있다. 상기 그래핀 나노입자는 대체로, 예컨대, 약 3∼10 nm 정도 또는 약 5∼10 nm 정도의 입자 사이즈를 가질 수 있다.
대체로 10 nm 이하의 사이즈를 갖는 그래핀 나노입자를 사용해서 그래핀 기반의 진동판(10)을 형성하면, 진동판(10)의 기계적 물성이 상당히 향상될 수 있다. 또한, 그래핀 나노입자에 부가된 기능기(functional group)로 인해 가공성이 향상되고, 진동판(10)의 막 균일성이 향상될 수 있다. 아울러, 그래핀 나노입자는 높은 탄소 함량을 갖고 입자간 결합력이 강하기 때문에, 내구성, 내화학성, 내흡습성이 우수하고 환경 안정성이 향상된 진동판(10)을 형성할 수 있다.
도 2는 일 실시예에 따른 음향 진동판을 보여주는 단면도이다.
도 2를 참조하면, 음향 진동판(10A)은 그래핀 나노입자를 포함하는 그래핀 함유층(L10)을 구비할 수 있다. 그래핀 함유층(L10)은 프리스탠딩층(free-standing layer)으로서 진동판(10A)으로 사용될 수 있다. 상기 그래핀 나노입자의 평균 입자 사이즈는 약 10 nm 이하일 수 있다. 상기 그래핀 나노입자는 대체로 약 1∼10 nm 정도의 입자 사이즈를 가질 수 있다.
도 3은 음향 진동판을 제조하는데 사용될 수 있는 그래핀 나노입자(graphene nanoparticles)를 촬영한 이미지이다. 도 3에서 검은색 점들이 그래핀 나노입자이다. 그래핀 나노입자는 그래핀 양자점(graphene quantum dots)(GQD)이라 할 수 있다. 도 3에서 우측 하부의 사진은 용기 내에서 용매에 그래핀 나노입자들을 용해한 경우를 보여준다.
도 4는 음향 진동판을 제조하는데 사용될 수 있는 그래핀 나노입자의 입자 사이즈 분포를 측정한 결과를 보여주는 그래프이다. 도 4를 참조하면, 그래핀 나노입자는 대체로 10 nm 이하의 사이즈를 갖는 것을 알 수 있다. 본 실시예에서, 그래핀 나노입자는 대체로 5∼10 nm 정도의 사이즈를 갖는다.
그래핀 나노입자는 대체로 둥근 형상을 갖거나 그 밖에 다양한 형상을 가질 수 있다. 그래핀 나노입자는 이차원적 구조, 즉, 평면형(planar) 구조를 가질 수 있고, 경우에 따라서는, 복수의 그래핀 입자가 겹쳐져(적층되어) 하나의 나노입자를 구성할 수도 있다. 이 경우, 그래핀 나노입자는 구형의 입자상, 타원형의 입자상 또는 그와 유사한 형태를 가질 수 있다.
또한, 그래핀 나노입자는 hydroxyl group, carboxyl group, carbonyl group, epoxy group, amine group 및 amide group 중 적어도 하나의 기능기(functional group)를 포함할 수 있다. 즉, 그래핀 나노입자는 방향족 고리(aromatic ring) 구조를 갖는 '이차원 탄소구조체(two-dimensional carbon structure)'를 포함하면서, 이와 결합된 기능기를 더 포함할 수 있다. 상기한 hydroxyl group은 OH를, carboxyl group은 COOH를, carbonyl group은 C=O를, epoxy group은 이웃한 두 개의 sp3 탄소에 결합된 산소(O) 원자를 포함할 수 있다.
그래핀 나노입자는 다양한 기능기를 가질 수 있고, 입자 사이즈가 약 10 nm 이하로 극히 작기 때문에, 입자간 및 입자-매트릭스 사이의 상호작용 에너지(interaction energy)가 제어될 수 있다.
또한, 그래핀 나노입자는 마이크로(micro) 또는 서브-마이크로(sub-micro) 사이즈의 그래핀 후레이크(flakes)와 비교하여 상당히 높은 탄소 함량을 가질 수 있다. 예컨대, 그래핀 나노입자는 약 50∼95 at% 정도 또는 약 80∼95 at% 정도의 탄소 함량을 가질 수 있고, 입자간 cross-linking이 유리한 특성을 가질 수 있다. 이와 관련해서, 그래핀 나노입자로 형성한 진동판은 우수한 내화학성, 내흡습성 및 열저항성을 가질 수 있다.
또한, 그래핀 나노입자는 10 nm 이하의 극히 작은 사이즈를 갖고 우수한 용매 용해성을 갖기 때문에, 그래핀 후레이크(flakes)와 비교하여, 용매 분산도가 우수하고, 균일한 박막 형성에 유리하며, 가공성(processability)이 뛰어나고, 복합화에 유리할 수 있다.
그래핀 나노입자를 사용해서 형성한 진동판은 우수한 기계적 물성을 가질 수 있기 때문에, 고주파수(예컨대, 10 kHz 이상)에서 안정적으로 좋은 음질을 구현할 수 있고, 우수한 내구성을 가질 수 있다. 고음 재생용 스피커(tweeter)에서는 고주파수 드라이버(2 kHz ∼ 20 kHz)가 사용되고, 저중량(low mass), 고강성(high stiffness) 및 우수한 댐핑(good damping) 특성을 갖는 진동판이 요구되는데, 실시예에 따른 진동판은 이러한 요구조건들을 만족할 수 있다. 또한, 실시예에 따른 진동판은 우수한 박막 균일성을 가질 수 있고, 균일한 음질 구현에 유리할 수 있다. 또한, 대면적 음향 장치(예컨대, 스피커)에도 적용이 용이할 수 있다.
그래핀 후레이크의 경우, 용해도가 낮고 가공이 어려우며 탄소 함량이 낮고, 형성되는 박막의 기계적 물성, 내구성 및 균일성이 떨어지는 문제가 있다. 이러한 그래핀 후레이크와 비교하여, 본원의 실시예에 따른 그래핀 나노입자를 사용하면, 우수한 성능을 갖는 진동판을 용이하게 제조할 수 있다.
또한, 그래핀 나노입자(그래핀 양자점(GQD))는 그래핀 산화물(graphene oxide)(GO)이나 카본나노튜브(carbon nanotube)(CNT) 등과 비교하여, 박막 형성시, 우수한 기계적 강도 및 높은 탄성계수를 가질 수 있다.
도 2의 그래핀 함유층(L10)은 그래핀(그래핀 나노입자) 외에 이종 물질을 1종 이상 더 포함할 수 있다. 여기서, 상기 이종 물질은 고분자, 단분자, 금속 및 금속 착화합물 중 적어도 하나를 포함할 수 있다. 상기 이종 물질은 유기 물질, 무기 물질 또는 유무기 복합 물질을 포함할 수 있다. 그래핀 함유층(L10)에서 그래핀 나노입자의 함량은 약 1∼99 wt% 범위일 수 있다. 예컨대, 그래핀 함유층(L10)에서 그래핀 나노입자의 함량은 약 30∼90 wt% 범위일 수 있다. 그래핀 나노입자와 이종 물질을 적절히 혼합하여 그래핀 함유층(L10)을 구성함으로써, 그래핀 함유층(L10)의 기계적 물성 및 내구성 등을 제어할 수 있다. 이종 물질을 사용하는 경우, 이종 물질은 일종의 바인더(binder)의 역할 또는 매트릭스(matrix)의 역할을 겸할 수 있다. 이종 물질을 사용하지 않는 경우나 이종 물질을 사용하는 경우라도, 그래핀 나노입자들끼리 결합될 수 있고, 이들 사이에 기능기가 바인더의 역할을 할 수 있다.
소정의 극성 용매에 그래핀 나노입자를 용해하여 그래핀 나노입자 용액을 형성한 후, 용액 공정(solution process)을 이용해서, 그래핀 함유층(L10)을 형성할 수 있다. 상기 그래핀 나노입자 용액을 기판에 도포하여 박막을 형성한 후, 상기 박막에 대한 건조 및/또는 열처리(약 700℃ 이하의 열처리) 공정을 수행하여 그래핀 함유층(L10)을 형성할 수 있다. 상기 극성 용매는 물(H2O)이나 유기 용매를 포함할 수 있다. 상기 유기 용매는, 예컨대, NMP (N-methylpyrrolidone), DMF (dimethylformamide), THF (tetrahydrofuran) 및 PGMEA (propylene glycol methyl ether acetate) 중 적어도 하나를 포함할 수 있지만, 이에 한정되지 않고, 그 밖에 다양한 유기 용매가 사용될 수 있다. 상기 용액 형성시, 소정의 이종 물질을 1종 이상 더 혼합할 수 있고, 이를 통해, 그래핀 나노입자와 1종 이상의 이종 물질이 포함된 그래핀 함유층(L10)을 형성할 수 있다.
도 5는 실시예에 따라 형성된 박막에 대한 나노인덴테이션 테스트(nanoindentation test) 결과를 보여주는 그래프이다. 상기 실시예에 따른 박막은 10 nm 이하의 그래핀 나노입자(그래핀 양자점(GQD))를 이용해서 형성한 것이다.
도 6은 비교예에 따라 형성된 박막에 대한 나노인덴테이션 테스트(nanoindentation test) 결과를 보여주는 그래프이다. 상기 비교예에 따른 박막은 100 nm 보다 큰 사이즈를 갖는 그래핀 산화물(graphene oxide)(GO) 입자를 이용해서 형성한 것이다.
도 5 및 도 6을 비교하면, 도 5에서는 도 6보다 테스트 강도가 더 컸지만, 박막의 회복 특성이 더 우수하였다. 또한, 테스트 횟수가 증가하더라도 박막의 특성 변화가 적었다.
도 7은 실시예에 따라 형성된 박막의 탄성률(elastic modulus) 특성을 측정한 결과를 보여주는 그래프이다. 도 7은 도 5의 실시예에 따른 박막에 대한 결과이다.
도 8은 비교예에 따라 형성된 박막의 탄성률 특성을 측정한 결과를 보여주는 그래프이다. 도 8은 도 6의 비교예에 따른 박막에 대한 결과이다. 도 7 및 도 8에서 υ는 박막의 푸아송 비(Poisson's ratio)를 나타낸다.
도 7 및 도 8을 비교하면, 실시예에 따른 박막의 최대 탄성률(Emax = 72.76 GPa) 및 최소 탄성률(Emin = 33.32 GPa)이 모두 비교예에 따른 박막의 최대 탄성률(Emax = 23.52 GPa) 및 최소 탄성률(Emin = 8.28 GPa)보다 상대적으로 매우 높은 것을 알 수 있다. 이를 통해, 실시예에 따라 형성된 박막이 상대적으로 우수한 탄성 특성을 갖는 것을 알 수 있다.
도 9는 다른 실시예에 따른 음향 진동판을 보여주는 단면도이다.
도 9를 참조하면, 음향 진동판(10B)은 보조층(auxiliary layer)(A11) 및 보조층(A11)의 일면에 구비된 그래핀 함유층(L11)을 포함할 수 있다. 그래핀 함유층(L11)은 그래핀 나노입자를 포함할 수 있다. 그래핀 함유층(L11)의 물질 구성은 도 2의 그래핀 함유층(L10)과 동일하거나 유사할 수 있다. 보조층(A11)은 셀룰로오스(cellulose), 폴리머계 물질, 금속계 물질 및 탄소계 물질 중 적어도 하나를 포함할 수 있다. 예컨대, 보조층(A11)은 페이퍼(paper), polyester, Al, Ti, Be, carbon fiber 및 CVD synthetic diamond 중 적어도 하나를 포함할 수 있지만, 이에 한정되지 않는다. 보조층(A11)의 일면에 그래핀 나노입자 용액을 도포하여 박막을 형성하고, 도포된 박막에 대한 소정의 열처리 공정을 수행하여, 그래핀 함유층(L11)을 얻을 수 있다. 적절한 물질로 구성된 보조층(A11)을 추가적으로 사용함으로써, 음향 진동판(10B)의 특성을 제어할 수 있다. 또한, 보조층(A11)을 사용함으로써, 그래핀 함유층(L11)을 더욱 용이하게 형성할 수 있다.
도 10은 다른 실시예에 따른 음향 진동판을 보여주는 단면도이다.
도 10을 참조하면, 음향 진동판(10C)은 보조층(A12)을 포함할 수 있고, 보조층(A12)의 양면에 각각 구비된 제1 그래핀 함유층(L12) 및 제2 그래핀 함유층(L22)을 포함할 수 있다. 보조층(A12)의 물질 구성은 도 9의 보조층(A11)과 동일하거나 유사할 수 있고, 그래핀 함유층(L12, L22)의 물질 구성은 도 9의 그래핀 함유층(L11)과 동일하거나 유사할 수 있다. 보조층(A12)에 대하여 두 개의 그래핀 함유층(L12, L22)이 상하 대칭적으로 배치될 수 있다. 보조층(A12) 및 두 개의 그래핀 함유층(L12, L22)을 사용함으로써, 음향 진동판(10C)의 특성을 제어할 수 있다.
도 11은 다른 실시예에 따른 음향 진동판을 보여주는 단면도이다.
도 11을 참조하면, 음향 진동판(10D)은 제1 및 제2 보조층(A13, A23)과 이들 사이에 배치된 그래핀 함유층(L13)을 포함할 수 있다. 보조층(A13, A23)의 물질 구성은 도 10의 보조층(A12)과 동일하거나 유사할 수 있고, 그래핀 함유층(L13)의 물질 구성은 도 10의 그래핀 함유층(L12)과 동일하거나 유사할 수 있다. 그래핀 함유층(L13)에 대하여 두 개의 보조층(A13, A23)이 상하 대칭적으로 배치될 수 있다.
도 2 및 도 9 내지 도 11에서 설명한 음향 진동판(10A∼10D)은 약 수십 ㎛ 이상의 두께를 가질 수 있다. 예컨대, 음향 진동판(10A∼10D)은 약 50 ㎛ 이상 또는 약 100 ㎛ 이상의 두께를 가질 수 있다. 그러나, 경우에 따라, 적정 두께 범위는 달라질 수 있다.
도 1에서는 음향 진동판(10)이 콘(cone) 형상을 갖는 경우에 대해 도시하고 설명하였지만, 음향 장치의 구성에 따라서, 음향 진동판(10)의 형상은 달라질 수 있다. 예를 들어, 도 12에 도시된 바와 같이, 음향 진동판(15)은 평판(flat plate) 형상을 가질 수 있고, 도 13에 도시된 바와 같이, 음향 진동판(25)은 돔(dome) 형상을 가질 수 있다. 음향 진동판의 형상은 여기에 개시된 바에 한정되지 않고, 달라질 수 있다.
본원의 실시예들에 따른 음향 진동판은 다양한 음향 장치에 유용하게 적용될 수 있다. 음향 장치는 실시예에 따른 그래핀 나노입자를 포함하는 음향 진동판과 상기 음향 진동판을 지지하는 지지부 및 상기 음향 진동판에 연결된 전기-음향 변환부(electro-acoustic transducer or electro-acoustic converter)를 포함할 수 있다. 여기서, 상기 전기-음향 변환부는 전기적 신호를 음향 신호로 변환하도록 구성되거나, 음향 신호를 전기적 신호로 변환하도록 구성될 수 있다. 상기 음향 장치는 전자기형(electromagnetic type), 정전형(electrostatic type) 또는 압전형(piezoelectric type) 장치일 수 있다. 예를 들어, 상기 음향 장치는 스피커(speaker), 이어폰(earphone), 헤드폰(headphone) 및 마이크로폰(microphone) 중 어느 하나를 구성할 수 있으나, 이에 한정되지 않는다.
도 1은 상기 음향 장치는 전자기형 스피커 장치인 경우를 예시적으로 보여준다. 도 1에서 지지 프레임(8)은 상기 지지부의 일례일 수 있고, 마그넷(1), 폴피스(3), 보이스 코일(6) 등은 상기 전기-음향 변환부의 일례일 수 있다. 음향 진동판(10)은 상기 전기-음향 변환부에 포함된 요소로 여길 수도 있다. 전자기형 스피커 장치뿐 아니라 정전형 또는 압전형 스피커 장치에도 실시예에 따른 음향 진동판을 적용할 수 있다. 또한, 마이크로폰과 같이, 음향 신호를 전기적 신호로 변환하는 음향/오디오 장치에도 실시예에 따른 음향 진동판을 적용할 수 있다. 실시예에 따른 음향 장치는 마이크로 장치이거나 중형 또는 대형 장치일 수도 있다. 또한, 실시예에 따른 음향 장치는 다양한 전자 기기에 유용하게 적용될 수 있다. 상기한 전자 기기는 각종 음향 기기나 영상 기기, 랩톱(laptop) 컴퓨터, 태블릿(tablet) PC, 모바일 전화 등 다양한 기기를 포함할 수 있고, 소형 내지 대형 기기를 포함할 수 있다.
상기한 설명에서 많은 사항이 구체적으로 기재되어 있으나, 그들은 발명의 범위를 한정하는 것이라기보다, 구체적인 실시예의 예시로서 해석되어야 한다. 예들 들어, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면, 도 1 내지 도 4 및 도 9 내지 도 13을 참조하여 설명한 음향 진동판 및 이를 포함하는 음향 장치의 구성은 다양하게 변형될 수 있음을 알 수 있을 것이다. 또한, 실시예들에 따른 음향 진동판의 적용 분야는 전술한 설명 내용에 한정되지 않고, 다양하게 변화될 수 있음을 알 수 있을 것이다. 때문에 본 발명의 범위는 설명된 실시예에 의하여 정하여 질 것이 아니고 특허 청구범위에 기재된 기술적 사상에 의해 정하여져야 한다.
* 도면의 주요 부분에 대한 부호설명 *
1 : 마그넷 2 : 하부 플레이트
3 : 폴피스(pole piece) 4 : 상부 플레이트
5 : 보빈 6 : 보이스 코일
7 : 배선부 8 : 지지 프레임
9 : 댐퍼 부재 10 : 음향 진동판
10A∼10D : 음향 진동판 11 : 서라운드 부재
12 : 더스트 커버 15, 25 : 음향 진동판
L10, L11 : 그래핀 함유층 A11, A12 : 보조층

Claims (20)

  1. 음향 장치를 위한 음향 진동판(acoustic diaphragm)에 있어서,
    상기 음향 진동판은 그래핀 나노입자(graphene nanoparticles)를 포함하는 그래핀 함유층(graphene-containing layer)을 구비하고, 상기 그래핀 나노입자의 평균 입자 사이즈는 10 nm 이하이고,
    상기 그래핀 함유층은 그래핀 외에 이종 물질을 1종 이상 포함하며,
    상기 이종 물질은 고분자, 단분자, 금속 및 금속 착화합물 중 적어도 하나를 포함하는 음향 진동판.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 그래핀 나노입자는 실질적으로 1∼10 nm의 입자 사이즈를 갖는 음향 진동판.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 그래핀 나노입자는 hydroxyl group, carboxyl group, carbonyl group, epoxy group, amine group 및 amide group 중 적어도 하나의 기능기(functional group)를 포함하는 음향 진동판.
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 그래핀 나노입자는 50∼95 at% 범위의 탄소 함량을 갖는 음향 진동판.
  5. 제 1 항에 있어서,
    상기 그래핀 함유층에서 상기 그래핀 나노입자의 함량은 1∼99 wt% 범위인 음향 진동판.
  6. 제 5 항에 있어서,
    상기 그래핀 함유층에서 상기 그래핀 나노입자의 함량은 30∼90 wt% 범위인 음향 진동판.
  7. 제 1 항에 있어서,
    상기 음향 진동판은 보조층(auxiliary layer)을 더 포함하고,
    상기 보조층의 일면 또는 양면에 상기 그래핀 함유층이 구비된 음향 진동판.
  8. 제 7 항에 있어서,
    상기 보조층은 셀룰로오스(cellulose), 폴리머계 물질, 금속계 물질 및 탄소계 물질 중 적어도 하나를 포함하는 음향 진동판.
  9. 제 7 항에 있어서,
    상기 보조층은 페이퍼(paper), polyester, Al, Ti, Be, carbon fiber 및 CVD synthetic diamond 중 적어도 하나를 포함하는 음향 진동판.
  10. 제 1 항에 있어서,
    상기 음향 진동판은 제1 및 제2 보조층을 더 포함하고,
    상기 제1 및 제2 보조층 사이에 상기 그래핀 함유층이 구비된 음향 진동판.
  11. 제 1 항에 있어서,
    상기 음향 진동판은 콘(cone) 형상, 평판(flat plate) 형상 또는 돔(dome) 형상을 갖는 음향 진동판.
  12. 그래핀 나노입자(graphene nanoparticles)를 포함하는 그래핀 함유층(graphene-containing layer)을 구비하고, 상기 그래핀 나노입자는 실질적으로 1∼10 nm의 입자 사이즈를 갖으며, 상기 그래핀 나노입자는 50∼95 at% 범위의 탄소 함량을 갖고, 상기 그래핀 함유층은 그래핀 외에 제1 이종 물질을 1종 이상 포함하며, 상기 제1 이종 물질은 고분자, 단분자, 금속 및 금속 착화합물 중 적어도 하나를 포함하는 음향 진동판;
    상기 음향 진동판을 지지하는 지지부; 및
    상기 음향 진동판에 연결된 전기-음향 변환부;를 포함하는 음향 장치.
  13. 제 12 항에 있어서,
    상기 그래핀 함유층은 그래핀 외에 제2 이종 물질을 1종 이상 더 포함하고,
    상기 제2 이종 물질은 유기 물질, 무기 물질 또는 유무기 복합 물질 중 적어도 하나를 포함하는 음향 장치.
  14. 제 12 항에 있어서,
    상기 전기-음향 변환부는 전기적 신호를 음향 신호로 변환하도록 구성된 음향 장치.
  15. 제 12 항에 있어서,
    상기 전기-음향 변환부는 음향 신호를 전기적 신호로 변환하도록 구성된 음향 장치.
  16. 제 12 항에 있어서,
    상기 음향 장치는 전자기형(electromagnetic type), 정전형(electrostatic type) 또는 압전형(piezoelectric type) 장치인 음향 장치.
  17. 제 12 항에 있어서,
    상기 음향 장치는 스피커(speaker), 이어폰(earphone), 헤드폰(headphone) 및 마이크로폰(microphone) 중 어느 하나를 구성하는 음향 장치.
  18. 청구항 12에 기재된 음향 장치를 포함하는 전자 기기.
  19. 그래핀 양자점(GQD)을 포함하는 그래핀 함유층을 포함하며, 상기 그래핀 함유층은 그래핀 외에 이종 물질을 1종 이상 포함하며, 상기 이종 물질은 고분자, 단분자, 금속 및 금속 착화합물 중 적어도 하나를 포함하는 음향 진동판;
    상기 음향 진동판을 지지하는 지지부; 및
    상기 음향 진동판에 연결된 전기-음향 변환부;를 포함하는 음향 장치.
  20. 삭제
KR1020180077315A 2018-07-03 2018-07-03 그래핀을 포함하는 음향 진동판 및 이를 적용한 음향 장치 KR102587063B1 (ko)

Priority Applications (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020180077315A KR102587063B1 (ko) 2018-07-03 2018-07-03 그래핀을 포함하는 음향 진동판 및 이를 적용한 음향 장치
US16/173,516 US10681464B2 (en) 2018-07-03 2018-10-29 Acoustic diaphragm including graphene and acoustic device employing the same

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020180077315A KR102587063B1 (ko) 2018-07-03 2018-07-03 그래핀을 포함하는 음향 진동판 및 이를 적용한 음향 장치

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20200004197A KR20200004197A (ko) 2020-01-13
KR102587063B1 true KR102587063B1 (ko) 2023-10-10

Family

ID=69102684

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020180077315A KR102587063B1 (ko) 2018-07-03 2018-07-03 그래핀을 포함하는 음향 진동판 및 이를 적용한 음향 장치

Country Status (2)

Country Link
US (1) US10681464B2 (ko)
KR (1) KR102587063B1 (ko)

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2017148077A1 (zh) * 2016-03-04 2017-09-08 歌尔股份有限公司 扬声器振膜及其制造方法、动圈式扬声器

Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20060121279A1 (en) 2004-12-07 2006-06-08 Petrik Viktor I Mass production of carbon nanostructures
US20090074228A1 (en) 2007-09-13 2009-03-19 Harman International Industries, Incorporated Loudspeaker cone body
US20160173967A1 (en) 2014-12-10 2016-06-16 Piotr Nawrocki Condenser microphone
US20160291472A1 (en) 2015-04-03 2016-10-06 Samsung Electronics Co., Ltd. Hardmask composition and method of forming pattern using the hardmask composition
US20170006382A1 (en) 2015-06-30 2017-01-05 Apple Inc. Graphene composite acoustic diaphragm
US20170221996A1 (en) 2016-01-29 2017-08-03 Hanwha Techwin Co., Ltd. Graphene-based laminate and method of preparing the same
US20180179397A1 (en) 2016-12-27 2018-06-28 Samsung Electronics Co., Ltd. Hardmask composition, method of forming pattern using the hardmask composition, and hardmask formed from the hardmask composition

Family Cites Families (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7101612B2 (en) 2000-05-04 2006-09-05 Kimberly Clark Worldwide, Inc. Pre-moistened wipe product
US20060057050A1 (en) * 2002-01-11 2006-03-16 The Trustees Of Boston College Synthesis of boron carbide nanoparticles
CN101990148B (zh) * 2009-07-31 2013-08-21 清华大学 振动膜及应用该振动膜的扬声器
WO2014100012A1 (en) 2012-12-20 2014-06-26 The Regents Of The University Of California Electrostatic graphene speaker
US9173033B1 (en) 2014-08-08 2015-10-27 Merry Electronics (Suzhou) Co., Ltd. Composite vibration diaphragm and its fabrication method
GB2530787A (en) 2014-10-02 2016-04-06 Wilson Benesch Ltd A method and a member comprising a composite material
CN107409258B (zh) 2014-10-06 2020-03-17 奥拉石墨烯声学股份有限公司 基于石墨烯氧化物的声换能器形成方法
US20170155993A1 (en) 2015-11-30 2017-06-01 Bragi GmbH Wireless Earpieces Utilizing Graphene Based Microphones and Speakers
US20170327379A1 (en) * 2016-05-11 2017-11-16 Universal Evergreen Element, Inc. Systems And Methods For Preparing Monolayer, Bi-Layer, and Multi-Layer Graphene From Carbon Sources
CN107493557A (zh) 2017-08-15 2017-12-19 深圳清华大学研究院 一种基于石墨烯‑纸浆的扬声器振膜制备方法

Patent Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20060121279A1 (en) 2004-12-07 2006-06-08 Petrik Viktor I Mass production of carbon nanostructures
US20090074228A1 (en) 2007-09-13 2009-03-19 Harman International Industries, Incorporated Loudspeaker cone body
US20160173967A1 (en) 2014-12-10 2016-06-16 Piotr Nawrocki Condenser microphone
US20160291472A1 (en) 2015-04-03 2016-10-06 Samsung Electronics Co., Ltd. Hardmask composition and method of forming pattern using the hardmask composition
US20170006382A1 (en) 2015-06-30 2017-01-05 Apple Inc. Graphene composite acoustic diaphragm
US20170221996A1 (en) 2016-01-29 2017-08-03 Hanwha Techwin Co., Ltd. Graphene-based laminate and method of preparing the same
US20180179397A1 (en) 2016-12-27 2018-06-28 Samsung Electronics Co., Ltd. Hardmask composition, method of forming pattern using the hardmask composition, and hardmask formed from the hardmask composition

Also Published As

Publication number Publication date
US10681464B2 (en) 2020-06-09
US20200015016A1 (en) 2020-01-09
KR20200004197A (ko) 2020-01-13

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR100767260B1 (ko) 음향 진동판 및 이를 구비하는 스피커
US20090045005A1 (en) Acoustic Diaphragm and Speakers Having the Same
WO2016158518A1 (ja) 電気音響変換器
JP2003319491A (ja) 振動板及びその製造方法、並びにスピーカ
JP2003319490A (ja) 振動板及びその製造方法、並びにスピーカ
CA3000855A1 (en) Graphene oxide based acoustic transducer methods and devices
US10448165B2 (en) Audio transducer with electrostatic discharge protection
US20110064259A1 (en) Damper and loudspeaker using the same
US10291978B2 (en) Frame, speaker unit using the same, and headphone/earphone
JP2012186583A (ja) コンデンサマイクロホン
US20100111335A1 (en) Electronic device with electret electro-acoustic transducer
JP6505845B2 (ja) 電気音響変換フィルム
KR102587063B1 (ko) 그래핀을 포함하는 음향 진동판 및 이를 적용한 음향 장치
WO2017082560A1 (ko) 음향 출력 장치
WO2022068082A1 (zh) 发声器及包括该发声器的电子产品
TWI454156B (zh) 具有駐電式電聲致動器之電子裝置
JP6495866B2 (ja) スピーカーユニット
KR100531093B1 (ko) 압전 폴리머 스피커를 포함하는 음향장치
US20140376759A1 (en) Loudspeaker having carbon nanotubes
US8824722B2 (en) Loudspeaker incorporating carbon nanotubes
WO2021088931A1 (zh) 一种发声装置和电子终端
CN105228065A (zh) 具有良好音质效果的薄膜扬声器
US4508192A (en) Microphone diaphragm
CN208353569U (zh) 石墨烯音膜片
CN105246010A (zh) 具有低音改善效果的薄膜扬声器

Legal Events

Date Code Title Description
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant