KR102576846B1 - 질화 몰리브덴 기반 코팅을 이용한 마모 및／또는 마찰 감소 - Google Patents

질화 몰리브덴 기반 코팅을 이용한 마모 및／또는 마찰 감소 Download PDF

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Abstract

본 발명은 40nm 이상의 두께를 갖는 하나 이상의 MoN 층을 포함하는 코팅으로 코팅된 기재 표면을 포함하는 부품에 관한 것으로,
기재 표면과 적어도 하나의 MoN 층 사이에,
i) 기재 표면에서 수행되는 질화 처리에 의해 얻어지고, 10nm 이상 바람직하게는 20nm 이상 150㎚ 이하의 경화된 질소-함유 기판 표면 층인 기재 표면 경화 층이 포함되고, 및/또는
ii) 2 이상의 MoN 층 및 2 이상의 CrN 층으로 구성된 층 시스템이 포함되며, 층 시스템을 형성하는 MoN 및 CrN 층은 다층 MoN/CrN 코팅 필름을 형성하도록 서로 교대로 증착된 개별 층이다.

Description

질화 몰리브덴 기반 코팅을 이용한 마모 및／또는 마찰 감소
본 발명은 부품 표면의 마모 감소 또는 마찰 감소를 달성하기 위한 코팅에 관한 것이다.
이러한 부품은 예를 들어 자동차 분야 또는 정밀 부품(즉 고도로 설계된 부품) 분야에서 사용될 수 있다. 이와 관련하여, 부품은 예를 들어 피스톤 핀, 캠 팔로워(followers) 또는 피스톤 링 또는 노즐 니들일 수 있다.
몰리브덴 코팅 또는 코팅을 포함하는 몰리브덴의 사용은 잘 알려져 있다. 부품의 표면 상에 마모 감소 코팅으로서의 질화 몰리브덴(molybdenum nitride)의 사용은 특히 잘 알려져 있다.
그러나, 부품의 기재 표면과 질화 몰리브덴 코팅 사이의 계면의 습성(behavior)은 여전히 만족스럽지 못하며 코팅된 부품을 사용하는 동안 현재의 산업 요건을 충족시키기에 불충분하다.
이는 코팅되는 기재 물질이 충분히 단단하지 않은 경우 특히 관찰되었는데, 이는 기재 물질이 65HRC 이하의 경도, 예를 들어 50-65HRC 사이의 경도를 갖는 경우를 의미한다.
도 1은 로크웰 인덴테이션 HRC(Rockwell indentation HRC) 이후 코팅된 표면을 나타내는데, 기재의 경도는 50 ~ 65HRC 사이이며, 기재는 MoN으로 코팅되어 있다. MoN 코팅의 링 모양의 파단면(fracture)이 HRC 록웰 인덴테이션 둘레에 명확하게 관찰가능하다.
관찰된 링 모양의 파단면은 MoN 코팅의 경도와 영률 그리고 기재 재료의 경도 및 영률 사이의 큰 차이의 결과로 생성되었을 수 있다. 실제로 질화 몰리브덴 코팅의 경도 및 영률이 기재에 비교하여 상당히 높기 때문에, 결과적으로 기재가 압입 하중의 적용 중에 상당히 변형 되고, MoN 코팅은 변형이 적어서 따라서 MoN 코팅이 파손(cracked)된다.
이러한 이유로 가변 하중(차단 된 하중)이 부품의 코팅된 기재에 인가될 때 특히 큰 문제가 될 수 있다.
본질적으로, 이러한 문제점은 예를 들어, 초경합금으로 만들어진 기재과 같은 경도가 높은 기재를 사용함으로써 회피 될 수 있다. 그러나 많은 자동차 분야에서 사용되는 부품은 로크웰 경도가 65HRC 미만인 재료로 만들어 진다.
본 발명의 목적은 기재가 65HRC 이하의 경도를 가지며 코팅된 기재가 부하 또는 특히 비연속적 부하(interrupted load)에 영향을 받을 때 기재 표면과 MoN 코팅 사이의 접촉을 향상시키기 위해 코팅될 기재 표면 및/또는 질화 몰리브덴 코팅을 변경하는 것을 목적으로 한다.
특히, 본 발명의 해결책은 기재 경도가 65HRC 이하일 때 MoN 기반 코팅으로 코팅된 기재에서 HRC 로크웰 테스트를 수행(conduction)하는 것에 의해 로크웰 압입(indentation) 동안 링 모양의 파단선이 생성되지 않도록 한다.
본 발명의 목적은 청구항 제1항에 따라 하나 이상의 MoN 층을 포함하는, 기재 표면과 코팅 사이에 레이어 또는 레이어 시스템을 갖는 부품를 제공함으로써 달성된다.
본 발명에 따르면 전술한 목적이 달성될 수 있다.
도 1은 로크웰 인덴테이션 HRC(Rockwell indentation HRC) 이후 코팅된 표면을 나타내는 도면,
도 2는 본 발명에 따라 코팅된 표면을 나타낸 도면,
도 3은 본 발명에 따라 캠 팔로워 상에 증착된 다층 MoN/CrN 코팅 필름의 일부분에 대응하는 단면을 나타낸 도면.
본 발명자는 놀랍게도 MoN 코팅으로 피복될 기재를 질화 프로세스(nitriding process)에 노출시킴으로써 링 모양의 파단선을 회피하는 것이 가능하다는 것을 발견하였다. 전술한 바와 같이 질화에 의해 이전에 경화된 부품 표면에 MoN 코팅이 인가된다.
본 발명에서 MoN 코팅은 반응성(reactive) PVD 프로세스의 사용에 의해 형성된다.
특히, 반응성 아크 PVD 공정은 전술한 바와 같이 경화된 부품 표면에 MoN 코팅을 증착하는데 적합하다고 입증되었다.
사용된 방법의 특별한 이점은 기재의 질화 공정 및 코팅 공정이 코팅 머신의 동일한 진공 챔버에서 수행 될 수 있다는 점이다.
이러한 방식으로, 백색 층(white layer)의 형성 없이 질화층과 코팅 사이의 우수한 접착력이 보장된다.
MoN 코팅은 육각형 상 또는 입방 상 또는 육각 및 입방 상의 혼합을 나타내며 증착될 수 있다.
도 2는 표준 HRC 로크웰(Rockwell) 테스트에 따라 나중에 테스트된 전술한 본 발명의 해결책에 따라 코팅된 표면을 도시한 도면이다. 도면에서 로크웰 압입을 둘러싼 링 모양 파단선이 없음을 알 수 있다.
본 발명자는 놀랍게도 부품의 기재 표면을 변형된 MoN 코팅으로 피복함으로써 링-모양의 파단선을 회피할 수 있음을 발견하였다. 이 경우 이전에 코팅할 부품 표면을 변경할 필요가 없었으므로 이전의 질화 단계가 필요없다.
구체적으로, 본 발명자들은 MoN의 개별 증착 층과 CrN의 개별 층이 교대로 증착된 다층 구조의 MoN / CrN 코팅을 적용하는 것을 제안한다. 특히, 다층 코팅의 두께가 약 4 내지 5 ㎛ 일 때, 제2 본 발명의 해결책을 사용함으로써 링 모양의 파단선 또는 추가의 접착제 결함이 없는 로크웰 압입의 양호한 결과가 관찰되었다.
이 경우, MoN 층은 육각형 상 또는 입방 상 또는 육방형 및 입방 상 혼합물을 나타내며 증착될 수 있다.
전술한 바와 같이, 본 발명의 제2의 본 발명의 해결책을 이용하면, 4 내지 5㎛의 다층 구조의 MoN / CrN 코팅 두께가 HRC 로크웰 시험 후에 사진을 얻는데 필요하며, 이는 링 모양 파단선이 없고 추가의 접착 결함도 없음을 나타낸다. 그러나 실제 적용에서 부하가 HRC 로크웰 시험에서처럼 높지 않을 수 있기 때문에 이러한 종류의 MoN / CrN 다층 코팅은 4μm 미만의 두께를 갖는 특정 응용 분야에 적합하다. 이 경우, 예를 들어 2 ㎛의 두께는 실제 자동차 분야에 사용되는 부품 상에 적용된 MoN/CrN 다층 코팅에 충분하다.
MoN 및 CrN 개별 층은 예를 들어 반응성 PVD 공정을 이용하여 증착될 수 있다. 본 발명의 제2 해결책의 바람직한 실시예에 따르면, 반응성 아크 PVD 공정이 다층 코팅의 MoN 및 CrN 개별 층을 증착하는데 이용된다.
제1 해결책에서 설명한 바와 같이, MoN 코팅으로 피복되는 부품 표면은 미리 질화되어야 하고 표준 질화 공정이 450 ℃ 이상의 온도에서 수행되어야만 하기 때문에, 이러한 온도에 견딜 수있는 재료로 만들어진 부품만이 이 방식으로 처리될 수 있다.
이와 관련하여, 제2 본 발명의 해결책(MoN/CrN 다층 코팅을 사용함)은 코팅 공정이 450 ℃보다 낮은 온도, 예를 들면 200 ℃에서 수행 될 수 있다는 이점을 포함한다. 이미 언급한 바와 같이, 질화 단계가 필요하지 않기 때문에, 예를 들어 피스톤 핀과 같이 온도에 민감한 재료로 이루어진 부품을 처리될 수 있다.
일부 경우에서, CrN으로 만들어진 접착층을 제공함으로써 본 발명의 맥락에서 더 개선된 접촉이 달성된다는 것이 관찰되었다. 이 접착층은 예를 들어, 제1 본 발명의 해결책에 따라 MoN 코팅을 증착하기 전 또는 제2 본 발명의 해결책에 따라 변형된 MoN 코팅을 증착하기 전에 증착된다. CrN 접착층은 적어도 30nm의 층 두께를 갖고 제공되는 것이 바람직하다. CrN 접착층의 두께는 바람직하게는 0.05㎛ 내지 1㎛이다.
특히, 피스톤 핀, 캠 팔로워(followers), 피스톤 링 및 노즐 니들의 타입의 부품가 본 발명과 관련된 실험의 관점에서 제1 및 제2 해결책으로 처리되었다.
특히, 놀랍게도, 본 발명의 제1 해결책에 따라 처리된 캠 팔로워는 질화 단계 이후에 어떠한 손상도 나타내지 않았다. 그러나, 본 발명에 따라 처리될 수 있는 부품는 이에 제한되지 않는다.
본 발명에 따라(제1 및 제2 본 발명의 해결책에 따라) 처리된 부품의 표면은 부가적으로 매우 양호한 마찰 공학적 성질, 특히 내마모성 증가를 나타낸다.
예시: 본 발명에 따라 상이한 자동차 및 정밀 부품이 처리되었고, 내마모성 증가에 관한 놀라운 향상이 달성되었다.
이하, 캠 팔로워의 예를 사용하여 본 발명을 보다 상세하게 설명한다. 일부 캠 종 팔오워는 종래 기술에 따라 처리되었고, 다른 캠 팔로워는 본 발명의 일부 바람직한 실시예에 따라 처리되었다. 이어서, 처리된 모든 캠 팔로워에 대해 상이한 분석 및 시험을 실시하였다.
코팅전 경도 64 HRC를 갖는 1.2842 19MnCrV8로 제조된 인증 표준 샘플(이하 QRS 라고 함) 시편은 강 표면(steel surface)을 가지며, 적어도 하나의 캠 팔로워는 다음의 처리를 받는다.
처리A(종래기술): 시험될 QRS 및 캠 팔로워의 표면을 QRS상에서 약 2.5㎛ 및 캠 팔로워상에서 4.5㎛의 두께를 갖는 MoN 층으로 코팅되었다. MoN 층과 캠 팔로워의 표면 사이에 약 50nm의 두께를 갖는 얇은 CrN 층이 접착층으로서 증착되었다. MoN 층은 반응성 아크 PVD 기술을 사용하여 증착되었다. MoN 층의 증착에 의해, Mo 타겟은 반응성 가스로서 질소를 포함하는 진공 분위기에서 아크 기화된다. 질소 분압은 3Pa로 유지되었고, 기재 온도(즉, 처리되는 캠 팔로워의 표면 온도)는 약 200 ℃ 였다. MoN 층은 기본적으로 질화 몰리브덴의 육각형 상(phase) 만을 포함하여 형성되었다.
처리B(본 발명): 시험될 QRS 및 캠 팔로워의 표면은 처리A에서 기술된 바와 동일한 코팅으로 코팅되었지만, 캠 팔로워 표면은 질소를 포함하는 진공 챔버에서 수행되는 플라즈마 질화 공정으로 이루어진 경화 단계에 사전에 처리된다. 기재 온도(처리 대상 표면에서 측정된 부품의 온도)는 약 480 ℃였다. 이러한 방식으로 약 50㎛의 두께를 갖는 경화 된 질소-함유 표면층이 형성되었다. 이어서, 반응성 아크 PVD 기술을 사용하여 MoN 층이 증착되었다. MoN 층의 증착에 의해, Mo 타겟은 반응성 가스로서 질소를 포함하는 진공 분위기에서 아크 기화된다. 질소 분압은 3Pa 로 유지되었고 기재 온도(즉, 처리될 캠 팔로워 표면의 온도)는 약 480℃였다. MoN 층은 질화 몰리브덴의 육각형 상과 적어도 하나의 입방형 상의 혼합물을 포함하며 형성되었다. 일부 실험에서 약 50nm 두께의 얇은 CrN 층이 MoN 층과, 경화된 질소-함유 표면층 사이에 접착층으로 증착되었다.
처리C(본 발명): 시험될 QRS 및 캠 팔로워의 표면은 처리 B에서 기술된 바와 유사하게 처리되었지만, 경화 단계 후, 코팅될 기재가 대략적으로 200℃ 온도에 도달될 때까지 코팅 챔버가 냉각되고 이어서 3 Pa의 질소 분압을 이용하여 약 200℃의 기재 온도에서 MoN 층이 증착되었다. 이러한 방식으로, 기본적으로 질화 몰리브덴의 육각형 상만을 포함하는 MoN 층이 형성되었다. 경화된 질소-함유 표면층의 두께는 약 50㎛이었다. MoN 층의 두께는 QRS 상에서 약 2.5㎛이고 캠 팔로워 상에서 약 4.5㎛이었다. 일부 실험에서 약 50nm 두께의 얇은 CrN 층이 MoN 층과, 경화된 질소-함유 표면층 사이에 접착층으로 증착되었다.
처리D(본 발명): 시험될 QRS 및 캠 팔로워의 표면을 QRS 및 캠 팔로워 모두에서 약 4㎛의 두께를 갖는 다층 MoN / CrN 코팅 필름으로 코팅하였다. 다층 MoN/CrN 코팅 필름은 반응성 아크 PVD 기술을 사용하여 증착되었다. 다층 MoN/CrN 코팅 필름의 증착에 의해, 하나의 Mo 타겟 및 하나의 Cr 타겟이 반응성 가스로서 질소를 함유하는 진공 분위기에서 아크 기화되었다. 질소 분압은 3Pa로 유지되었고 기재 온도는 약 200℃였다. MoN 개별 층과 CrN 개별 층은 도 3과 같이 서로 교대로 증착되었다. 일부 실험에서 다층 MoN/CrN 코팅 필름과 코팅될 표면 사이에 약 50 nm 두께의 얇은 CrN 층이 접착층으로 증착되었다. 이 경우 QRS 및 캠 팔로워 표면은 처리 B 및 C에 설명된 바와 같은 어떤 경화 단계에 의한 변경이 이루어지지 않았다.
도 3은 본 발명에 따라 캠 팔로워 상에 증착된 다층 MoN/CrN 코팅 필름의 일부분에 대응하는 단면을 나타낸 도면이다.
MoN 개별 층의 증착 동안 Mo 타겟만이 아크 기화되고, CrN 개별 층의 증착 동안 마찬가지로 Cr 타겟만이 아크 기화되었다. MoN 개별 층과 CrN 개별 층 사이에 중간층이 증착되었다. 중간층의 증착 동안 Mo 타겟과 Cr 타겟 모두 동시에 아크 기화되었다. 이러한 방식으로 MoCrN의 중간층(즉, Cr, Mo 및 N을 포함하는 중간층)이 형성되었다.
이러한 방식으로 증착된 다층 MoN/CrN 코팅 필름에 포함된 개별 MoN 층은 육각형 상과 질화 몰리브덴의 적어도 하나의 입방형 상(cubic phase)의 혼합물을 포함한다.
처리된 QRS는 HRC 로크웰 테스트를 사용하여 테스트되었고 캠 팔로워는 200 시간 동안 상이한 회전 속도로 엔진 밸브 테스트를 사용하여 테스트되었다.
본 발명자들은 종래 기술에 따른 처리A로 처리된 캠 팔로워의 모든 표면이 불연속적인 기계적 부하 시험 후에 강한 마모를 나타내었고 실제로 모든 경우에 있어서 코팅은 2시간 후 완전히 제거되고 캠 팔로워 자체에 깊은 마모 그루브를 나타난 것을 관찰하였다.
반대로, 본 발명에 따른 처리 B, C 및 D로 처리 된 캠 팔로워의 모든 표면은 놀랍게도 엔진 시험에서 200 시간 후에 마모가 거의 없었다. 이 경우에서 관찰된 가장 높은 마모는 0.35μm였다. 이는 최악의 경우 전체 코팅 두께에서 0.35μm 만 제거된다는 것을 의미한다.
QRS의 처리된 표면은 전술한 바와 같이 HRC 로크웰 테스트를 사용하여 테스트되었다. 종래 기술에 따른 처리A로 처리된 QRS의 모든 표면은 HRC 로크웰 시험 후에 링 모양의 파단선을 나타냈다. 반대로, 본 발명에 따른 처리 B, C 및 D로 처리된 QRS의 모든 표면은 놀랍게도 HRC 로크웰 시험 후 링 모양의 파단선을 나타내지 않음이 관찰되었다.
구체적으로, 본 발명은,
- 40nm 이상의 두께를 갖는 하나 이상의 MoN 층을 포함하는 코팅으로 코팅된 기재 표면을 포함하는 부품 - 여기서 기재 표면과 적어도 하나의 MoN 층 사이에 경화된 질소-함유 기재 표면 층인 경화된 층이 포함되고, 기재 표면에서 행해지는 질화 처리의 결과로 얻어지고 10㎛ 이상, 바람직하게는 20㎛ 이상 150 ㎛ 이하의 두께를 갖음 - ,
- 40nm 이상의 두께를 갖는 하나 이상의 MoN 층을 포함하는 코팅으로 코팅된 기재 표면을 포함하는 부품 - 여기서 기재 표면과 적어도 하나의 MoN 사이에,
o 기재 표면에서 행해지는 질화 처리의 결과로 얻어지고 10㎛ 이상, 바람직하게는 20㎛ 이상 150 ㎛ 이하의 두께를 갖진, 경화된 질소-함유 기재 표면 층인 기재 표면 경화 층이 포함되고,
o 2 이상의 MoN 층과 2 이상의 CrN 층으로 구성된 층 시스템이 포함되고 - 층 시스템을 구성하는 MoN 층과 CrN 층은 다층 MoN/CrN 코팅 필름을 형성하는 서로 교대로 증착되는 개별 층임 -
또는
- 40nm 이상의 두께를 갖는 하나 이상 MoN 층을 포함하는 코팅으로 코팅된 기재 표면을 포함하는 부품 - 여기서 기재 표면과 적어도 하나의 MoN 층 사이에 2 이상의 MoN 층 및 2 이상의 CrN 층으로 이루어진 층 시스템이 포함되고, 층 시스템을 형성하는 MoN 및 CrN 층은 서로 다층 MoN/CrN 코팅 필름을 형성하도록 서로 교대로 증착됨 -
과 관련된다.
본 발명의 바람직한 실시예에 따르면, 다층 MoN/CrN 코팅막이 기재 표면과 적어도 하나의 MoN층 사이에 포함되지 않으면, 적어도 하나의 MoN 층은 500nm 이상의 두께를 갖는다. 이러한 경우에, 적어도 하나의 MoN 층은 적어도 대부분이 육각형 상인 δ-MoN 또는 육각형 상 δ-MoN 만을 포함하는 질화 몰리브덴으로 이루어진 방식으로 증착될 수 있다. 그러나, 부품의 용도에 유리하게, 그러한 경우, 질화 몰리브덴으로 이루어진 적어도 하나의 MoN 층을 증착시키는 것이 가능하고, 여기에서 상기 층은 상(phase)의 혼합물을 포함하고, 혼합물은,
- 육각형 상 δ-MoN 및 입방형 상 γ-Mo2N, 또는
- 육각형 상 δ-MoN 및 과포화된 입방형 상 ζ-MoN, 또는
- 육각형 상 δ-MoN 및 입방형 상 γ-Mo2N 및 과포화된 입방형 상 ζ-MoN
를 포함한다.
바람직하게, 적어도 하나의 MoN 층의 전체 두께는 1㎛ 이상 15㎛ 이하, 보다 바람직하게는 1.5㎛ 이상 10 ㎛이하이다.
본 발명의 또 다른 바람직한 실시예에 따르면, 경화된 질소-함유 기재 표면층이 기재 표면과 하나 이상의 MoN 층 사이에 포함되지 않으면, 상기 다층 MoN/CrN 코팅 필름은 460nm 이상의 두께를 갖는다. 이 경우, 40nm 이상의 두께를 갖는 적어도 하나의 MoN 층이 2 개의 다층 MoN/CrN 코팅 필름 사이에 포함될 수 있으며, 이 때 다층 MoN/CrN 코팅 필름 각각은 460 nm 이상의 두께를 바람직하게 가진다.
바람직하게는, 다층 MoN/CrN 코팅 필름 및 상기 적어도 하나의 MoN 층의 두께의 합은 1㎛ 이상 15㎛ 이하, 바람직하게는 1.5㎛ 이상 10㎛ 이하이다.
본 발명의 또 다른 바람직한 실시예에 따르면, 적어도 하나의 개별 MoN 층과 하나의 개별 CrN 층 사이에 Mo, Cr 및 N을 포함하는 개별적인 중간층이 포함된다.
본 발명의 또 다른 바람직한 실시예에 따르면, 개별 중간층은 10nm 이상의 두께를 가지며 개별 CrN 층의 두께 또는 개별 중간층의 다음에 있는 개별 MoN 층의 두께보다 크지 않다.
본 발명의 또 다른 실시예에 따르면, 개별 MoN 층의 적어도 대부분은 40nm 이상, 바람직하게는 500nm 이하의 개별 층 두께를 갖는다.
본 발명의 또 다른 바람직한 실시예에 따르면, 개별 CrN 층의 적어도 대부분은 20nm 이상, 바람직하게는 500nm 이하의 개별 층 두께를 갖는다.
본 발명의 또 다른 바람직한 실시예에 따르면, 다층 MoN/CrN 코팅 필름의 전체 두께는 1㎛ 이상 15㎛ 이하, 바람직하게는 1.5㎛ 이상 10㎛ 이하이다.
본 발명의 또 다른 바람직한 실시예에 따르면, 개별 MoN 층은 상 혼합물을 포함하는 질화 몰리브덴으로 이루어지고, 혼합물은,
- 육각형 상 δ-MoN 및 입방형 상 γ-Mo2N, 또는
- 육각형 상 δ-MoN 및 과포화된 입방형 상 ζ-MoN, 또는
- 육각형 상 δ-MoN 및 입방형 상 γ-Mo2N 및 과포화된 입방형 상 ζ-MoN
를 포함한다.
본 발명에 따른 처리는 부품이 자동차 부품 또는 정밀 부품인 경우 유리하고, 특히 부품의 기재 표면이 65 HRC 이하의 경도를 갖는 경우에 유리하다.
본 발명의 실시예들 중 적어도 하나에 따른 부품을 제조하기 위한 바람직한 방법은 반응성 PVD 공정에 의해 적어도 하나의 MoN 층 또는 개별 MoN 층들 중 적어도 하나를 증착하는 단계를 포함한다.
바람직하게는, 상기 방법은 반응성 PVD 공정으로서 반응성 아크 PVD 공정의 사용을 포함하며, MoN 층 또는 MoN 개별 층의 증착 동안, Mo의 적어도 하나의 타겟이 캐소드로서 작동되고, 반응 가스로서 질소를 포함하는 분위기 하에서 아크 PVD 기술을 사용하여 기화된다.

Claims (15)

  1. 40nm 이상의 두께를 갖는 하나 이상의 MoN층을 포함하는 코팅으로 코팅된 기재 표면(substrate surface)을 포함하는 부품에 있어서,
    기재 표면과 적어도 하나의 MoN 층 사이에:
    i) 기재 표면 경화 층 - 기재 표면 경화 층은 기재 표면에서 행해지는 질화 처리의 결과로 얻어지고, 10㎛ 이상 및 150 ㎛ 이하의 두께를 가짐 - , 및/또는
    ii) 2 이상의 MoN 층과 2 이상의 CrN 층으로 구성된 층 시스템 - 여기서 층 시스템을 구성하는 MoN 층과 CrN 층은 다층 MoN/CrN 코팅 필름을 형성하도록 서로 교대로 증착되는 개별 층임 - 이 포함되고,
    최소한 하나의 개별 MoN 층과 하나의 개별 CrN 층 사이에 Mo, Cr 및 N을 포함하는 개별 중간층이 포함되는 것을 특징으로 하는 부품.
  2. 제1항에 있어서,
    기재 표면과 적어도 하나의 MoN 층 사이에 다층 MoN/CrN 코팅 필름이 포함되지 않고, 적어도 하나의 MoN 층은 500nm 이상의 두께를 가지는
    부품.
  3. 제1항에 있어서,
    기재 표면과 적어도 하나의 MoN 층 사이에 경화된 질소-함유 기재 표면 층이 포함되지 않고, 상기 다층 MoN/CrN 코팅 필름은 460nm 이상의 두께를 가지는
    부품.
  4. 삭제
  5. 제1항에 있어서,
    상기 개별 중간층은 10nm 이상, 개별 CrN 층의 두께 또는 개별 중간층의 다음번 개별 MoN 층의 두께 보다 크지 않은
    부품.
  6. 제5항에 있어서,
    상기 개별 MoN 층은 40nm 이상, 및 500nm 이하의 개별 층 두께를 가진
    부품.
  7. 제5항 또는 제6항에 있어서,
    개별 CrN 층은 20nm 이상, 및 500nm 이하의 개별 층 두께를 가진
    부품.
  8. 제3항에 있어서,
    40nm 이상의 두께를 갖는 하나 이상의 MoN 층이 2 개의 다층 MoN/CrN 코팅 필름 사이에 포함될 수 있으며, 상기 2 개의 다층 MoN/CrN 코팅 필름 및 상기 하나 이상의 MoN 층의 두께의 합은 1㎛ 이상 15㎛ 이하인
    부품.
  9. 제2항에 있어서,
    상기 하나 이상의 MoN 층의 두께는 1㎛ 이상 15㎛ 이하인
    부품.
  10. 제2항 또는 제9항에 있어서,
    상기 하나 이상의 MoN 층은 육각형 상 δ-MoN을 주로 포함하거나 또는 육각형 상 δ-MoN 만을 포함하는 질화 몰리브덴으로 이루어진
    부품.
  11. 제1항에 있어서,
    하나 이상의 MoN 층은 상(phase) 혼합물을 포함하는 질화 몰리브덴으로 이루어지고, 상기 혼합물은,
    - 육각형(hexagonal) 상 δ-MoN 및 입방형(cubic) 상 γ-Mo2N, 또는
    - 육각형 상 δ-MoN 및 과포화된 입방형 상 ζ-MoN, 또는
    - 육각형 상 δ-MoN 및 입방형 상 γ-Mo2N 및 과포화된 입방형 상 ζ-MoN
    를 포함하는
    부품.
  12. 제3항에 있어서,
    상기 개별 MoN 층은 상(phase) 혼합물을 포함하는 질화 몰리브덴으로 이루어지고, 상기 혼합물은,
    - 육각형(hexagonal) 상 δ-MoN 및 입방형(cubic) 상 γ-Mo2N, 또는
    - 육각형 상 δ-MoN 및 과포화된 입방형 상 ζ-MoN, 또는
    - 육각형 상 δ-MoN 및 입방형 상 γ-Mo2N 및 과포화된 입방형 상 ζ-MoN
    를 포함하는
    부품.
  13. 제1항에 있어서,
    상기 부품은 자동차 부품 또는 정밀 부품이고, 부품의 기재 표면은 65HRC 이하의 경도를 가지는
    부품.
  14. 제1항에 따른 부품을 제조하기 위한 제조방법에 있어서,
    상기 적어도 하나의 MoN 층 또는 개별 MoN 층의 적어도 하나는 반응성 PVD 프로세스의 수단에 의해 증착되는
    제조 방법.
  15. 제14항에 있어서,
    반응성 PVD 프로세스는 반응성 아크 PVD 프로세스이고, MoN 층 또는 MoN 개별 층의 증착 동안, Mo의 적어도 하나의 타겟이 캐소드로서 작동되고, 반응 가스로서 질소를 포함하는 분위기 하에서 아크 PVD 기술을 사용하여 기화되는
    제조 방법.
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Families Citing this family (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN109399582B (zh) * 2019-01-02 2022-05-31 吉林化工学院 块体材料氮化钼的高温高压制备
CN109988994B (zh) * 2019-05-21 2024-01-30 仪征亚新科双环活塞环有限公司 一种具有耐磨减摩作用的镀层、其制备方法及活塞环
US11286558B2 (en) 2019-08-23 2022-03-29 Asm Ip Holding B.V. Methods for depositing a molybdenum nitride film on a surface of a substrate by a cyclical deposition process and related semiconductor device structures including a molybdenum nitride film
JP2022548893A (ja) 2019-09-19 2022-11-22 エリコン サーフェス ソリューションズ エージー、プフェッフィコン 窒化モリブデンコーティングシステムを備えた基材、およびコーティングシステムを製造するコーティング方法
MX2023006225A (es) 2020-11-30 2023-06-14 Oerlikon Surface Solutions Ag Pfaeffikon Recubrimiento multicapa a base de nitruro de molibdeno para reduccion de desgaste y friccion.

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2010506082A (ja) * 2006-10-04 2010-02-25 フェデラル−モグル・ブルシャイト・ゲーエムベーハー 内燃機関のためのピストンリング
JP2012157940A (ja) * 2011-02-01 2012-08-23 Sumitomo Electric Hardmetal Corp 表面被覆切削工具
CN103741101A (zh) * 2014-01-19 2014-04-23 宜昌后皇真空科技有限公司 一种MoN/CrN纳米复合涂层及其活塞环

Family Cites Families (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US2664852A (en) * 1950-04-27 1954-01-05 Nat Res Corp Vapor coating apparatus
JPH02118064A (ja) * 1988-10-27 1990-05-02 Mitsubishi Heavy Ind Ltd 真空蒸着装置
US5492724A (en) * 1994-02-22 1996-02-20 Osram Sylvania Inc. Method for the controlled delivery of vaporized chemical precursor to an LPCVD reactor
DE102004028487B4 (de) 2004-06-11 2018-11-15 Mahle Gmbh Verfahren zur Herstellung verschleissfester Flanken für einen Trapezring für Verbrennungsmotoren
WO2009099776A1 (en) * 2008-01-31 2009-08-13 Applied Materials, Inc. Closed loop mocvd deposition control
WO2011095292A1 (en) * 2010-02-04 2011-08-11 Oerlikon Trading Ag, Trübbach CUTTING TOOLS WITH Al-Cr-B-N / Ti-Al-N MULTILAYER COATINGS
CN102588175A (zh) * 2012-01-19 2012-07-18 浙江汇锦梯尔镀层科技有限公司 一种新型喷油泵控制阀套及其表面处理方法
WO2013143692A1 (en) * 2012-03-30 2013-10-03 Tata Steel Nederland Technology B.V. Method and apparatus for feeding liquid metal to an evaporator device
DE102012207814A1 (de) 2012-05-10 2013-11-14 Mahle International Gmbh Bauelement, insbesondere ein Gleitelement
DE102012020757A1 (de) 2012-10-23 2014-05-08 Mahle International Gmbh Bauteil mit einer Beschichtung und Verfahren zu seiner Herstellung
CN104388899A (zh) * 2014-12-10 2015-03-04 武汉大学 一种具有MoN/Cr/CrN/Cr纳米复合超厚涂层的活塞环及其制备方法

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2010506082A (ja) * 2006-10-04 2010-02-25 フェデラル−モグル・ブルシャイト・ゲーエムベーハー 内燃機関のためのピストンリング
JP2012157940A (ja) * 2011-02-01 2012-08-23 Sumitomo Electric Hardmetal Corp 表面被覆切削工具
CN103741101A (zh) * 2014-01-19 2014-04-23 宜昌后皇真空科技有限公司 一种MoN/CrN纳米复合涂层及其活塞环

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