KR102563839B1 - 선재 가이드 장치 - Google Patents

선재 가이드 장치 Download PDF

Info

Publication number
KR102563839B1
KR102563839B1 KR1020230059553A KR20230059553A KR102563839B1 KR 102563839 B1 KR102563839 B1 KR 102563839B1 KR 1020230059553 A KR1020230059553 A KR 1020230059553A KR 20230059553 A KR20230059553 A KR 20230059553A KR 102563839 B1 KR102563839 B1 KR 102563839B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
vertical
plate
screw
wire rod
movement
Prior art date
Application number
KR1020230059553A
Other languages
English (en)
Inventor
김동진
Original Assignee
(주)마루엘앤씨
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by (주)마루엘앤씨 filed Critical (주)마루엘앤씨
Priority to KR1020230059553A priority Critical patent/KR102563839B1/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR102563839B1 publication Critical patent/KR102563839B1/ko

Links

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01FMAGNETS; INDUCTANCES; TRANSFORMERS; SELECTION OF MATERIALS FOR THEIR MAGNETIC PROPERTIES
    • H01F6/00Superconducting magnets; Superconducting coils
    • H01F6/06Coils, e.g. winding, insulating, terminating or casing arrangements therefor
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10STECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10S505/00Superconductor technology: apparatus, material, process
    • Y10S505/70High TC, above 30 k, superconducting device, article, or structured stock
    • Y10S505/704Wire, fiber, or cable
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10STECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10S505/00Superconductor technology: apparatus, material, process
    • Y10S505/725Process of making or treating high tc, above 30 k, superconducting shaped material, article, or device

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Framework For Endless Conveyors (AREA)

Abstract

본 발명은 선재가 이동되는 경로에 배치되어 해당 선재의 반송 방향을 조절하는 선재 가이드 장치에 관한 것으로서, 본 발명에 의하면 정렬 유닛을 통해 가이드 롤러의 위치와 각도를 편리하고 세밀하게 조정가능하며, 그에 따라 선재의 반송 방향을 정밀하게 조절할 수 있다.

Description

선재 가이드 장치{WIRE GUIDE DEVICE}
본 발명은 선재 가이드 장치에 관한 것으로, 보다 구체적으로는 선재가 이동되는 경로에 배치되어 해당 선재의 반송 방향을 정밀하게 조절할 수 있는 선재 가이드 장치에 관한 것이다.
초전도체(superconductor)는 초전도 현상이 나타나는 물질로서, 초전도 현상은 임계온도 이하에서 전기 저항이 '0'에 가까워지면서 전류를 무제한 흘려보내는 현상을 말한다.
이러한 초전도체는 초전도 현상이 나타나는 임계 온도에 따라 저온 초전도체와 고온 초전도체로 분류될 수 있으며, 초전도 물질의 종류에 따라 금속 초전도체와 산화물 초전도체 및 유기물 초전도체 등으로 분류될 수 있다. 산화물 초전도체는 금속 초전도체 및 유기물 초전도체에 비해 월등히 높은 임계 온도를 갖기 때문에, 통상적으로 '고온 초전도체'라고 불린다.
일반적으로 고온 초전도체는 박막으로 이루어진 선재 형태로 제작되며, 고온 초전도 선재는 단위 면적당 전류 수송 능력이 저온 초전도체보다 우수하다.
이러한 고온 초전도 선재는 금속 선재에 버퍼층과 초전도층을 증착하는 공정을 통해 형성된다. 초전도 선재의 버퍼층은 여러 종류의 박막으로 구성되며, 각각의 박막은 스퍼터링, 전자빔 증착 등의 방법으로 순차적으로 개별 챔버에서 형성된다.
도 1은 초전도 선재의 증착 공정을 나타낸 도면으로, 도시된 바와 같이 금속 선재가 n개의 개별 챔버를 지나면서 여러 종류의 박막이 순차적으로 증착되게 구성된다.
한편, 박막 증착 간 선재가 대기중에 노출되는 것을 방지하기 위해 각 챔버는 진공으로 연결되며, 이러한 챔버 간 선재를 반송시키기 위해서는 선재의 반출과 반입시 선재를 정렬시키는 것이 매우 중요하다.
이때, 각 챔버의 기구적 조립과정에서 정렬 오차가 발생될 수 있으므로, 이러한 오차를 보완하여 선재를 정렬하기 위해 반출구와 반입구에서 선재의 반송 방향을 정밀하게 조절할 수 있는 가이드 장치가 필요하다.
한국 등록특허공보 제10-1721326호(2017.03.23. 등록)
본 발명은 상기와 같은 문제를 해결하기 위해 안출된 것으로, 정렬 유닛을 통해 가이드 롤러의 위치와 각도를 편리하고 세밀하게 조정가능하며, 그에 따라 선재의 반송 방향을 정밀하게 조절할 수 있는 선재 가이드 장치를 제공하기 위한 것을 목적으로 한다.
본 발명의 일 예에 따른 선재 가이드 장치는, 선재가 이동되는 경로에 배치되어 해당 선재의 반송 방향을 조절하는 가이드 장치로서, 바디; 상기 바디에 결합되며, 이동 가능하게 구성되는 정렬 유닛; 및 상기 정렬 유닛에 결합되며, 상기 선재를 반송하는 가이드 롤러;를 포함하고, 상기 가이드 롤러는 상기 정렬 유닛의 이동에 의해 위치가 조절되도록 구성될 수 있다.
상기 정렬 유닛은 상하 이동부와 좌우 이동부를 포함하고, 상기 상하 이동부는 상하 방향으로 이동되도록 구성되는 상하 이동판을 포함하고, 상기 좌우 이동부는 좌우 방향으로 이동되도록 구성되는 좌우 이동판을 포함하며, 상기 가이드 롤러는 상기 상하 이동판 및 상기 좌우 이동판과 연동되어, 상기 상하 이동판의 상하 이동을 따라 상하로 이동되고 상기 좌우 이동판의 좌우 이동을 따라 좌우로 이동될 수 있다.
상기 바디의 전방에 상기 상하 이동판이 배치되어 서로 결합되고, 상기 상하 이동판의 전방에 상기 좌우 이동판이 배치되어 서로 결합되고, 상기 좌우 이동판의 전방에 상기 가이드 롤러가 배치되어 서로 결합될 수 있다.
상기 바디에는 상기 바디의 전면 하부에서 상기 바디의 전방으로 돌출된 지지부가 구비되고, 상기 상하 이동판은 상기 바디의 전방에 배치됨과 동시에 상기 바디의 지지부의 상부에 배치될 수 있다.
상기 상하 이동부는 상기 상하 이동판을 상하 방향으로 이동시키기 위한 상하 방향 조절 나사와, 상기 상하 이동판의 이동을 고정하는 상하 방향 고정 나사를 더 포함하고, 상기 좌우 이동부는 상기 좌우 이동판을 좌우 방향으로 이동시키기 위한 좌우 방향 조절 나사와, 상기 좌우 이동판의 이동을 고정하는 좌우 방향 고정 나사를 더 포함할 수 있다.
상기 상하 이동판에는 나사홀이 형성되고, 해당 상하 이동판의 나사홀에 상기 상하 방향 고정 나사가 설치되고, 상기 좌우 이동판에는 나사홀이 형성되고, 해당 좌우 이동판의 나사홀에 상기 좌우 방향 고정 나사가 설치되며, 상기 상하 이동판의 나사홀은 상하 방향으로 길게 형성되고, 상기 좌우 이동판의 나사홀은 좌우 방향으로 길게 형성될 수 있다.
상기 상하 방향 고정 나사는 상기 상하 이동판의 나사홀을 관통하여 상기 바디에 결합되고, 상기 좌우 방향 고정 나사는 상기 좌우 이동판의 나사홀을 관통하여 상기 상하 이동판에 결합되며, 상기 상하 이동판의 상하 이동에 연동하여 상기 좌우 이동판의 상하 방향 위치가 변화되게 구성될 수 있다.
상기 상하 이동판의 후면에는 상하 방향으로 슬라이드 홈이 형성되고, 상기 바디의 전면에는 상기 상하 이동판의 슬라이드 홈에 체결되는 체결부가 구비되어, 상기 상하 이동판이 상하 방향으로 슬라이드 이동되고, 상기 좌우 이동판의 후면에는 좌우 방향으로 슬라이드 홈이 형성되고, 상기 상하 이동판의 전면에는 상기 좌우 이동판의 슬라이드 홈에 체결되는 체결부가 구비되어, 상기 좌우 이동판이 좌우 방향으로 슬라이드 이동되도록 구성될 수 있다.
상기 바디의 지지부에는 해당 지지부를 상하방향으로 관통하는 나사홀이 형성되고, 해당 나사홀을 관통하여 상기 상하 방향 조절 나사가 설치되며,상기 상하 방향 조절 나사의 회전에 따라 상기 상하 이동판이 상하 방향으로 이동되도록 구성될 수 있다.
상기 상하 방향 조절 나사의 단부에 상기 상하 이동판이 안착되는 구조로 구성될 수 있다.
상기 상하 방향 조절 나사는 제1 조절 나사와 제2 조절 나사를 포함하고, 상기 제1 조절 나사는 상기 상하 이동판의 좌우 방향 중앙을 기준으로 좌측에 배치되어 상기 상하 이동판의 좌측 부분을 상하 방향으로 이동시키도록 구성되고, 상기 제2 조절 나사는 상기 상하 이동판의 좌우 방향 중앙을 기준으로 우측에 배치되어 상기 상하 이동판의 우측 부분을 상하 방향으로 이동시키도록 구성되며, 상기 가이드 롤러는 상기 상하 이동판의 좌측 부분 및 우측 부분 각각의 상하 이동에 의해 각도가 조절되게 구성될 수 있다.
상기 좌우 이동부는 제1 블록과 제2 블록을 더 포함하고, 상기 제1 블록은 상기 좌우 이동판의 일 측면에 결합 고정되고, 상기 제2 블록은 상기 제1 블록보다 외측에 배치되어 상기 상하 이동판의 전면에 결합 고정되고, 상기 제2 블록은 상기 좌우 방향 조절 나사를 파지하도록 구성되고, 상기 제1 블록에는 해당 제1 블록을 관통하는 나사홀이 형성되고, 해당 나사홀을 관통하여 상기 좌우 방향 조절 나사가 설치되며, 상기 좌우 방향 조절 나사의 회전에 따라 상기 제1 블록이 좌우 방향으로 이동되고, 그에 연동하여 상기 제1 블록과 결합된 상기 좌우 이동판이 좌우로 이동되도록 구성될 수 있다.
상기 상하 방향 조절 나사와 상기 좌우 방향 조절 나사는 수동으로 조작 가능하도록 일측에 조작 수단이 구비될 수 있다.
상기 바디에 결합되는 고정판;을 더 포함하고, 상기 고정판은 상기 바디의 상부로 돌출된 구조로 구성되고, 상기 고정판의 상부 측에는 상기 고정판을 관통하는 나사홀이 형성될 수 있다.
상기 고정판은 상기 바디의 좌우 방향 중앙 부분에 배치되고, 상기 고정판에는 상기 선재가 통과되는 관통홀이 형성될 수 있다.
본 발명에 의하면 정렬 유닛을 통해 가이드 롤러의 위치와 각도를 용이하고 세밀하게 조정가능하며, 그에 따라 선재의 반송 방향을 정밀하게 조절할 수 있다.
도 1은 초전도 선재의 증착 공정을 나타낸 도면이다.
도 2는 본 발명의 일 예에 따른 선재 가이드 장치를 전방 상부에서 바라본 사시도이다.
도 3은 도 2를 전방 하부에서 바라본 사시도이다.
도 4는 도 2를 후방 상부에서 바라본 사시도이다.
도 5는 도 2를 후방 하부에서 바라본 사시도이다.
도 6은 도 2의 분해 사시도이다.
도 7은 도 3을 다시 나타낸 도면이다.
도 8은 도 2에서 바디를 분리하여 나타낸 도면이다.
도 9는 바디의 후방 사시도이다.
도 10은 도 2에서 상하 이동부를 분리하여 나타낸 도면이다.
도 11은 상하 이동판의 전방 사시도이다.
도 12는 상하 이동판의 후방 사시도이다.
도 13은 도 2에서 좌우 이동부를 분리하여 나타낸 도면이다.
도 14는 좌우 이동판의 전방 사시도이다.
도 15는 좌우 이동판의 후방 사시도이다.
도 16은 좌우 이동판과 상하 이동판의 체결도이다.
도 17은 도 2에서 가이드 롤러를 분리하여 나타낸 도면이다.
도 18은 도 2에서 고정판을 분리하여 나타낸 도면이다.
도 19는 고정판의 후방 사시도이다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 대해 설명하도록 한다.
도 1을 다시 참조하면, 초전도 선재 증착 설비의 각 챔버에는 선재(20)를 운송하는 수딩 롤(Soothing roll)이 적어도 하나 이상 배치되며, 챔버와 챔버 사이에는 해당 선재를 반송 및 가이드하기 위한 가이드 롤(Guide roll)이 배치된다.
본 발명의 선재 가이드 장치(10)는 선재가 이동되는 경로에 배치되어 해당 선재의 반송 방향을 조절하는 장치로서, 예를 들어 본 발명의 선재 가이드 장치는 도 1의 가이드 롤에 해당할 수 있으며, 본 발명의 선재는 초전도 선재 또는 그의 모재인 금속 선재이거나, 초전도층이 증착된 테이프 또는 기판에 해당할 수 있다.
도 2는 본 발명의 일 예에 따른 선재 가이드 장치를 전방 상부에서 바라본 사시도이고, 도 3은 도 2를 전방 하부에서 바라본 사시도이고, 도 4는 도 2를 후방 상부에서 바라본 사시도이고, 도 5는 도 2를 후방 하부에서 바라본 사시도이며, 도 6은 도 2의 분해 사시도이다.
도시된 바와 같이 본 발명의 선재 가이드 장치(10)는 크게 바디(100), 정렬 유닛(200), 및 가이드 롤러(300)를 포함한다.
바디(100)는 정렬 유닛(200)이 설치되는 프레임에 해당하고, 정렬 유닛(200)은 바디(100)에 결합되어 이동 가능하게 구성되며, 가이드 롤러(300)는 정렬 유닛(200)에 결합되어 선재를 반송하도록 구성된다.
이때 본 장치(10)는 정렬 유닛(200)의 이동에 의해 가이드 롤러(300)의 위치가 조절되도록 구성된다. 즉, 정렬 유닛(200)은 바디 상에서 이동되도록 구성되며, 가이드 롤러(300)는 정렬 유닛(200)에 결합되어 정렬 유닛(200)의 이동에 연동하여 위치가 조절된다. 이와 같이 구성됨으로써 가이드 롤러(300)를 지나는 선재의 반송 방향을 조절할 수 있다.
보다 구체적으로, 도 6을 다시 참조하면, 정렬 유닛(200)은 상하 이동부(200A)와 좌우 이동부(200B)를 포함하며, 상하 이동부(200A)는 상하 방향으로 이동되도록 구성되는 상하 이동판(210A)을 포함하고, 좌우 이동부(200B)는 좌우 방향으로 이동되도록 구성되는 좌우 이동판(210B)을 포함한다.
그리고, 본 장치(10)는 바디(100)의 전방에 상하 이동판(210A)이 배치되어 바디(100)와 상하 이동판(210A)이 서로 결합되고, 상하 이동판(210A)의 전방에 좌우 이동판(210B)이 배치되어 상하 이동판(210A)과 좌우 이동판(210B)이 서로 결합되며, 좌우 이동판(210B)의 전방에 가이드 롤러(300)가 배치되어 좌우 이동판(210B)과 가이드 롤러(300)가 서로 결합된 구조로 구성된다.
이러한 구조에 기초하여, 가이드 롤러(300)는 상하 이동판(210A) 및 좌우 이동판(210B)과 연동되어, 상하 이동판(210A)의 상하 이동을 따라 상하로 이동되고 좌우 이동판(210B)의 좌우 이동을 따라 좌우로 이동되게 구성된다. 즉, 후술하는 바와 같이, 상하 이동판(210A)이 상하로 이동 시 상하 이동판(210A)에 결합되어 고정된 좌우 이동판(210B)이 상하 이동판(210A)의 상하 이동에 연동하여 상하로 위치 변경되고, 좌우 이동판(210B)의 상하로의 위치 변경에 연동하여 좌우 이동판(210B)에 결합되어 고정된 가이드 롤러(300)가 상하로 이동되며, 좌우 이동판(210B)이 좌우로 이동 시 그에 연동하여 좌우 이동판(210B)에 결합되어 고정된 가이드 롤러(300)가 좌우로 이동된다.
도 7은 도 3을 다시 나타낸 도면으로, 본 발명의 작동 원리에 대해 간단하게 살펴보면 다음과 같다.
상술한 바와 같이 본 장치(10)는 바디(100)의 전방에 상하 이동판(210A)이 적층되고, 상하 이동판(210A)의 전방에 좌우 이동판(210B)이 적층되고, 좌우 이동판(210B)의 전방에 가이드 롤러(300)가 설치된 구조로 이루어진다. 그리고, 본 장치(10)에는 상하 이동판(210A)을 이동시키기 위한 조절 나사(220A)와 상하 이동판(210A)을 고정하는 고정 나사(230A), 그리고 좌우 이동판(210B)을 이동시키기 위한 조절 나사(220B)와 좌우 이동판(210B)을 고정하는 고정 나사(230B)가 구비될 수 있다. 고정 나사(230A, 230B) 들은 각각 다수개로 구성될 수 있다.
이러한 구조에서, 상하 이동판 조절 나사(220A)를 이용하여 상하 이동판(210A)의 상하 위치를 조절하고, 상하 이동판 고정 나사(230A)를 이용하여 상하 이동판(210A)을 고정한다. 좌우 이동판(210B)은 상하 이동판(210A)에 고정되어 있으므로 상하 이동판(210A)의 상하 이동에 연동하여 상하로 이동되고, 좌우 이동판(210B)에 고정된 가이드 롤러(300)가 그에 연동하여 상하로 위치가 조절되게 된다.
여기서, 도 7과 같이 상하 이동판 조절 나사(220A)는 2개로 구성되고, 각각이 상하 이동판(210A)의 중앙을 기준으로 좌측(220A-1)과 우측(220A-2)에 배치되며, 이러한 2개의 조절 나사(220A-1, 220A-2)를 통해 상하 이동판(210A)의 좌우 수평을 조절하여 최종적으로 가이드 롤러(300)의 수평 각도를 조절할 수 있다.
이와 동시에 또는 별개로, 좌우 이동판 조절 나사(220B)를 이용하여 좌우 이동판(210B)의 좌우 위치를 조절하고, 좌우 이동판 고정 나사(230B)를 이용하여 좌우 이동판(210B)을 고정한다. 좌우 이동판(210B)에 고정된 가이드 롤러(300)는 좌우 이동판(210B)의 좌우 이동에 연동하여 좌우로 위치 조절되게 된다.
이와 같이 본 발명은 두개의 이동판이 서로 연동되도록 적층 배치하고, 두 이동판 중 전방에 이동판에 가이드 롤러를 고정 결합하여 가이드 롤러를 두 이동판의 이동에 연동시키며, 조절 나사를 두 이동판 각각의 좌우 이동과 상하 이동을 조절함으로써, 쉽고 간편하면서도 세밀하게 가이드 롤러의 위치와 각도를 조절 수 있다.
도 2 내지 6을 다시 참조하면, 상술한 바와 같이 본 발명은 바디(100), 정렬 유닛(200)으로서 상하 이동부(200A)와 좌우 이동부(200B), 그리고 가이드 롤러(300)를 포함하며, 고정판(400)을 더 포함할 수 있다. 이하에서는 본 발명의 각 구성요소에 대해 보다 상세히 살펴보도록 한다.
먼저, 바디(100)에 대해 살펴본다. 도 8은 도 2에서 바디를 분리하여 나타낸 도면으로서 바디의 전방 사시도에 해당하고, 도 9는 바디의 후방 사시도에 해당한다.
바디(100)는 정렬 유닛(200)과 가이드 롤러(300)를 지지 고정하는 프레임으로서, 좌우 방향으로 길게 연장된 판 구조로 구성될 수 있다. 바디(100)에는 다수의 나사홀(101)이 형성되며, 해당 나사홀(101)에 나사를 관통 설치하여 바디(100)를 외부 벽면에 고정시킬 수 있다. 또한 바디(100)에는 다수의 나사홈(102)이 형성되며, 해당 나사홈(102)으로 상하 이동판(210A)을 고정하는 고정 나사(230A)가 삽입되어 상하 이동판(210A)이 바디(100) 상에 고정될 수 있다. 나사홈(102)은 바디(100)를 관통하는 홀 형태로 구성될 수도 있다.
도 8과 같이 바디(100)에는 바디(100)의 전면 하부에서 바디(100)의 전방으로 돌출된 지지부(110)가 구비되며, 해당 지지부(110) 상부에 상하 이동판(210A)이 배치될 수 있다. 즉, 상하 이동판(210A)은 바디(100)의 전방에 배치됨과 동시에 지지부(110) 상부에 배치된다. 이러한 지지부(110)는 상하 이동부(200A)를 구성하기 위한 일 수단으로, 지지부(110)에는 해당 지지부를 상하방향으로 관통하는 나사홀(111)이 형성되고, 해당 나사홀(111)을 관통하여 상하 방향 조절 나사(220A)가 설치될 수 있다.
도 8을 다시 참조하면, 바디(100)의 전면에는 전방으로 소정 돌출된 체결부(120)가 구비될 수 있으며, 이는 후술하는 바와 같이 바디(100)의 전방에 배치되는 상하 이동판(210A)의 후면에 형성된 슬라이드 홈(250A)과 암수 구조를 이루어 서로 체결됨으로써, 상하 이동판(210A)을 슬라이드 이동시키는 데 도움을 줄 수 있다.
또한, 도 9를 다시 참조하면, 바디(100)의 후면에는 체결홈(130)이 형성되며, 해당 체결홈(130)에 고정판(400)이 삽입되어 체결될 수 있다. 이는 고정판(400)이 바디(100)의 후방으로 돌출되는 것을 방지하고 고정판(400)과 바디(100)의 체결력을 증대시키는 데 도움이 될 수 있다.
다음으로 정렬 유닛(200)으로서 상하 이동부(200A)에 대해 살펴본다. 도 10은 도 2에서 상하 이동부를 분리하여 나타낸 도면으로서, 상하 이동부(200A)는 상하 이동판(210A)과, 상하 방향 조절 나사(220A)와, 상하 방향 고정 나사(230A)를 포함한다.
상하 방향 조절 나사(220A)는 상술한 바와 같이 바디(100)의 지지부(110)를 관통하도록 설치될 수 있다. 이에 따라, 상하 방향 조절 나사(220A)의 단부에 상하 이동판(210A)이 안착될 수 있으며, 상하 방향 조절 나사(220A)의 회전에 의해 상하 이동판(210A)이 상하 방향으로 이동될 수 있다. 즉, 상하 방향 조절 나사(220A)가 일 방향으로 회전 시 상하 방향 조절 나사(220A)가 상하 이동판(210A)을 하부에서 상부로 가압하여 상하 이동판(210A)이 상부로 이동되며, 상하 방향 조절 나사(220A)가 반대 방향으로 회전 시 상하 방향 조절 나사(220A)에 안착된 상하 이동판(210A)이 상하 방향 조절 나사(220A)를 따라 하부로 이동될 수 있다.
상하 방향 조절 나사(220A)는 수동으로 조작 가능하도록 일측에 조작 수단이 구비될 수 있다. 예를 들어, 상하 방향 조절 나사(220A)의 단부에는 직경이 큰 헤드가 설치되어 사용자가 파지하기 쉽게 구성될 수 있으며, 이와 동시에 또는 별개로 상하 방향 조절 나사(220A)의 단부에 렌치 홈이 형성되어 해당 렌치 홈을 이용해 상하 방향 조절 나사(220A)를 조작할 수 있게 구성될 수 있다.
이때, 상술한 바와 같이 상하 이동판(210A) 조절 나사는 2개로 구성되고, 각각이 상하 이동판(210A)의 중앙을 기준으로 좌측과 우측에 배치될 수 있다. 보다 구체적으로, 상하 방향 조절 나사(220A)는 제1 조절 나사(220A-1)와 제2 조절 나사(220A-2)를 포함하고, 제1 조절 나사(220A-1)는 상하 이동판(210A)의 좌우 방향 중앙을 기준으로 좌측에 배치되어 상하 이동판(210A)의 좌측 부분을 상하 방향으로 이동시키도록 구성되고, 제2 조절 나사(220A-2)는 상하 이동판(210A)의 좌우 방향 중앙을 기준으로 우측에 배치되어 상하 이동판(210A)의 우측 부분을 상하 방향으로 이동시키도록 구성될 수 있다.
이에 따라, 가이드 롤러(300)는 상하 이동판(210A)의 좌측 부분 및 우측 부분 각각의 상하 이동에 의해 각도가 조절될 수 있으며, 본 발명에 의하면 이와 같이 가이드 롤러(300)의 위치 뿐 아니라 각도를 변경시킬 수 있어 더욱 세밀한 조정이 가능한 이점이 있다.
도 11은 상하 이동판의 전방 사시도이고, 도 12는 상하 이동판의 후방 사시도로서, 상하 이동판(210A)에는 다수의 나사홀(231A)이 형성되고, 해당 나사홀(231A)에 상하 방향 고정 나사(230A)가 설치되게 구성된다. 나사홀(231A)은 상하 방향으로 길게 형성된 구조로서, 상하 이동판(210A)에 나사홈(232A)을 형성하고 그 중앙에 나사홀(231A)이 형성된 구조로 구성될 수 있다. 이러한 구조에서 상하 방향 고정 나사(230A)가 상하 이동판(210A)의 나사홀(231A)을 관통하여 바디(100)의 나사홈(102)에 체결되며, 그에 따라 상하 이동판(210A)이 바디(100) 상에 고정될 수 있다.
또한 상하 이동판(210A)에는 다수의 나사홈(221A)이 형성되며, 해당 나사홈(221A)으로 좌우 이동판(210B)을 고정하는 고정 나사(220B)가 삽입되어 좌우 이동판(210B)이 상하 이동판(210A) 상에 고정될 수 있다. 나사홈(221A)은 상하 이동판(210A)을 관통하는 홀 형태로 구성될 수도 있다.
도 11을 다시 참조하면, 상하 이동판(210A)의 전면에는 전방으로 소정 돌출된 체결부(240A)가 구비될 수 있으며, 이는 후술하는 바와 같이 상하 이동판(210A)의 전방에 배치되는 좌우 이동판(210B)의 후면에 형성된 슬라이드 홈(220B)과 암수 구조를 이루어 서로 체결됨으로써, 좌우 이동판(210B)을 슬라이드 이동시키는 데 도움을 줄 수 있다.
또한, 도 12를 다시 참조하면, 상하 이동판(210A)의 후면에는 상하 방향으로 슬라이드 홈(250A)이 형성되며, 이는 상술한 바와 같이 바디(100)의 전면에 형성된 체결부(120)와 암수 구조를 이루어 서로 체결될 수 있다. 단, 상하 이동판(210A)의 후면에 후방으로 돌출된 체결부가 형성되고, 바디(100)의 전면에 슬라이드 홈이 형성되는 것과 같이, 슬라이드 홈과 체결부의 암수 구조는 서로 반대로 설계될 수 있다.
다음으로 정렬 유닛(200)으로서 좌우 이동부(200B)에 대해 살펴본다. 도 13은 도 2에서 좌우 이동부를 분리하여 나타낸 도면으로서, 좌우 이동부(200B)는 좌우 이동판(210B)과, 좌우 방향 조절 나사(220B)와, 좌우 방향 고정 나사(230B)를 포함한다.
그리고, 좌우 이동부(200B)는 좌우 방향 조절 나사(220B)를 설치하기 위한 제1 블록(261B)과 제2 블록(261B)을 포함할 수 있다. 보다 구체적으로, 도시된 바와 같이 제1 블록(261B)은 좌우 이동판(210B)의 일 측면, 즉 도면상 우측면에 결합 고정되고, 제2 블록(262B)은 제1 블록(261B)보다 외측, 즉 도면상 제1 블록(261B)보다 우측에 배치되어 상하 이동판(210A)의 전면에 결합 고정될 수 있다. 제1 블록(261B)과 좌우 이동판(210B), 그리고 제2 블록(262B)과 상하 이동판(210A)은 나사 등을 통해 서로 체결될 수 있다.
이러한 제2 블록(262B)은 좌우 방향 조절 나사(220B)를 파지하도록 구성되고, 제1 블록(261B)에는 해당 제1 블록(261B)을 관통하는 나사홀이 형성되고, 해당 나사홀을 관통하여 좌우 방향 조절 나사(220B)가 설치될 수 있다. 보다 구체적으로, 제2 블록(262B)은 좌우 방향 조절 나사(220B)를 회전 가능하게 파지하며, 제1 블록(261B)의 나사홀과 좌우 방향 조절 나사(220B)에는 각각 암수 구조의 나사산이 형성될 수 있다.
이와 같이 구성됨으로써, 좌우 방향 조절 나사(220B)의 회전에 따라 제1 블록(261B)이 좌우 방향으로 이동되고, 그에 연동하여 제1 블록(261B)과 결합된 좌우 이동판(210B)이 좌우 방향으로 이동될 수 있다. 즉, 좌우 방향 조절 나사(220B)가 일 방향으로 회전 시 그와 나사 결합된 제1 블록(261B)이 좌측(또는 우측)으로 이동되고 그에 연동하여 제1 블록(261B)과 고정 결합된 좌우 이동판(210B)이 좌측으로 이동되며, 좌우 방향 조절 나사(220B)가 반대 방향으로 회전시 그와 나사 결합된 제1 블록(261B)이 우측(또는 좌측)으로 이동되고 그에 연동하여 제1 블록(261B)과 고정 결합된 좌우 이동판(210B)이 우측으로 이동될 수 있다.
좌우 방향 조절 나사(220B)는 수동으로 조작 가능하도록 일측에 조작 수단이 구비될 수 있다. 예를 들어, 좌우 방향 조절 나사(220B)의 단부에는 직경이 큰 헤드가 설치되어 사용자가 파지하기 쉽게 구성될 수 있으며, 이와 동시에 또는 별개로 좌우 방향 조절 나사(220B)의 단부에 렌치 홈이 형성되어 해당 렌치 홈을 이용해 좌우 방향 조절 나사(220B)를 조작할 수 있게 구성될 수 있다.
한편, 도시하지는 않았으나, 상술한 상하 방향 조절 나사(220A)와 마찬가지로 좌우 방향 조절 나사(220B)를 2개로 구성하고, 각각을 좌우 이동판(210B)의 중앙을 기준으로 상측과 하측에 배치하여, 2개의 좌우 방향 조절 나사(220B)를 통해 좌우 이동판(210B)의 수평을 조절할 수 있도록 설계변경될 수도 있다.
도 14는 좌우 이동판의 전방 사시도이고, 도 15는 좌우 이동판의 후방 사시도로서, 좌우 이동판(210B)에는 다수의 나사홀(231B)이 형성되고, 해당 나사홀에 좌우 방향 고정 나사(230B)가 설치되게 구성된다. 나사홀(231B)은 좌우 방향으로 길게 형성된 구조로서, 좌우 이동판(210B)에 나사홈(232B)을 형성하고 그 중앙에 나사홀(231B)이 형성된 구조로 구성될 수 있다. 이러한 구조에서 좌우 방향 고정 나사(230B)가 좌우 이동판(210B)의 나사홀(232B)을 관통하여 상하 이동판(210A)의 나사홈에 체결되며, 그에 따라 좌우 이동판(210B)이 상하 이동판(210A) 상에 고정될 수 있다. 도 16은 좌우 이동판과 상하 이동판의 체결도이다.
도 14를 다시 참조하면, 좌우 이동판(210B)에는 다수의 나사홈(201B)이 형성되며, 해당 나사홈으로 가이드 롤러(300), 보다 구체적으로 후술하는 바와 같이 가이드 롤러(300)를 지지하기 위한 지지구조(330)를 고정하는 고정 나사가 삽입되어 가이드 롤러(300)가 좌우 이동판(210B) 상에 고정될 수 있다. 나사홈(201B)은 좌우 이동판(210B)을 관통하는 홀 형태로 구성될 수도 있다.
또한, 도 15을 다시 참조하면, 좌우 이동판(210B)의 후면에는 좌우 방향으로 슬라이드 홈(220B)이 형성되며, 이는 상술한 바와 같이 상하 이동판(210A)의 전면에 형성된 체결부(240A)와 암수 구조를 이루어 서로 체결될 수 있다. 이때에도, 좌우 이동판(210B)의 후면에 후방으로 돌출된 체결부가 형성되고, 상하 이동판(210A)의 전면에 슬라이드 홈이 형성되는 것과 같이, 슬라이드 홈과 체결부의 암수 구조가 서로 반대로 설계변경될 수 있다.
다음으로 가이드 롤러(300)에 대해 살펴본다. 도 17은 도 2에서 가이드 롤러를 분리하여 나타낸 도면으로서, 가이드 롤러(300)는 롤러(310)와 한 쌍의 가이드(320)와 이루어지는 H 형 가이드 롤러에 해당할 수 있다. 한 쌍의 가이드(320)는 각각이 원판 형태로 구성되고 롤러(310)보다 직경이 크게 형성되어 롤러(310)의 일측과 타측에 설치된다. 이러한 가이드 롤러(300)는 소정의 지지구조(330)를 통해 좌우 이동판(210B)에 고정 결합될 수 있다.
선재는 가이드 롤러(300)의 롤러(310)를 타고 반송되며, 이때 선재의 진행 방향과 가이드 롤러(300)의 자세, 즉 위치나 각도가 정렬되지 않으면 선재가 가이드(320)와 닿게 되어 선재가 손상되고 진행에 방해가 될 수 있다. 본 발명은 상술한 바와 같이 정렬 유닛(200), 즉 상하 이동부(200A)와 좌우 이동부(200B)를 이용하여 가이드 롤러(300)의 위치와 각도를 조절하며, 그에 따라 선재와 가이드 간 마찰 없이 선재를 반송할 수 있게 된다.
롤러(310)는 알루미늄(Al) 60 계열 또는 70 계열의 소재를 이용하여 제작될 수 있으며, 롤러(310)와 선재와 닿는 면의 경도를 확보하기 위해 롤러(310)의 외주면에 경질 크롬(Cr)이나 질화티타늄(TiN), 또는 다이아몬드 코팅이 실시될 수 있다.
다음으로 고정판(400)에 대해 살펴본다. 도 18은 도 2에서 고정판을 분리하여 나타낸 도면으로서 고정판의 전방 사시도에 해당하고, 도 19는 고정판의 후방 사시도에 해당한다.
고정판(400)은 바디(100)에 결합되는 구성으로, 바디(100)의 외부 벽면 상의 체결력을 향상시키는 데 도움이 될 수 있다. 앞서 살펴본 바와 같이 본 발명은 바디(100)를 기준으로 바디(100)의 전방으로 구조물들이 적층된 구조를 가져 무게중심이 전방으로 치우치므로, 고정판(400)을 추가로 설치하고 해당 고정판(400)을 벽면에 고정시켜 무게를 분산시킴으로써, 안정적으로 가이드 장치(10)를 벽면 상에 고정시킬 수 있다.
보다 구체적으로 고정판(400)은 바디(100)의 후방에 배치되어 바디(100)의 상부로 돌출된 구조로 구성되며, 고정판(400)의 상부 측에는 고정판(400)을 관통하는 나사홀(410)이 형성되어, 해당 나사홀(410)에 나사를 관통 설치하여 고정판(400)을 벽면에 고정시킬 수 있다. 도 9에서 살펴본 바와 같이 바디(100)의 후면에는 체결홈(130)이 형성되고, 해당 체결홈(130)에 고정판(400)이 삽입되어 바디(100)에 고정판(400)이 체결될 수 있다.
도 18, 19를 다시 참조하면, 고정판(400)은 바디(100)의 좌우 방향 중앙 부분에 배치되며, 고정판(400)에는 관통홀(420)이 형성되어 해당 관통홀(420)로 선재가 통과될 수 있다. 예를 들어 고정판(400)은 상부 고정판(401)과 하부 고정판(402)으로 분리 구성될 수 있으며, 그 사이에 관통홀(420)이 형성된 구조로 구성될 수 있다.
한편, 도 2 내지 도 5를 다시 참조하면, 바디(100)의 높이와 상하 이동판(210A)의 높이와 좌우 이동판(210B)의 높이는 실질적으로 동일하게 구성될 수 있으며, 바디(100)의 좌우 폭보다 상하 이동판(210A)의 좌우 폭이 작게 형성되어 바디(100)의 좌우 방향 중앙 부분에 배치되고, 상하 이동판(210A)의 좌우 폭보다 좌우 이동판(210B)의 좌우 폭이 작게 형성되어 좌우 이동판(210B)의 좌우 방향 중앙 부분에 배치될 수 있다. 또한, 고정판(400)의 두께는 바디(100)의 후면에 형성된 체결홈(130)의 깊이와 실질적으로 동일하게 구성되어 고정판(400)의 후면이 바디(100)의 후면보다 후방으로 더 돌출되는 것이 방지될 수 있다. 이러한 구성들 간의 크기 및 배치 관계는 본 장치(10)를 컴팩트하게 구성하고 구조적 강건성을 확보하는데 도움이 될 수 있다.
나아가, 이상에서는 바디(100)의 전방에 상하 이동판(210A)이 배치되고, 상하 이동판(210A)의 전방에 좌우 이동판(210B)이 배치되는 실시예를 기초로 하여 본 발명을 설명하였으나, 상술한 본 발명의 작동 원리에 기초하여 상하 이동판(210A)과 좌우 이동판(210B)의 위치를 반대로 구성할 수도 있음은 물론이다.
이상, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 설명하였지만, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자는 본 발명이 그 기술적 사상이나 필수적인 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시예는 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야 한다.
10: 선재 가이드 장치
100: 바디
200: 정렬 유닛
200A: 상하 이동부
210A: 상하 이동판
220A: 상하 방향 조절 나사
230A: 상하 방향 고정 나사
200B: 좌우 이동부
210B: 좌우 이동판
220B: 좌우 방향 조절 나사
230B: 좌우 방향 고정 나사
300: 가이드 롤러
310: 롤러
320: 한 쌍의 가이드
400: 고정판
20: 선재

Claims (15)

  1. 선재가 이동되는 경로에 배치되어 해당 선재의 반송 방향을 조절하는 가이드 장치로서,
    바디;
    상기 바디에 결합되며, 이동 가능하게 구성되는 정렬 유닛; 및
    상기 정렬 유닛에 결합되며, 상기 선재를 반송하는 가이드 롤러;를 포함하고,
    상기 가이드 롤러는 상기 정렬 유닛의 이동에 의해 위치가 조절되도록 구성되며,
    상기 정렬 유닛은 상하 이동부와 좌우 이동부를 포함하고,
    상기 상하 이동부는 상하 방향으로 이동되도록 구성되는 상하 이동판을 포함하고,
    상기 좌우 이동부는 좌우 방향으로 이동되도록 구성되는 좌우 이동판을 포함하며,
    상기 가이드 롤러는 상기 상하 이동판 및 상기 좌우 이동판과 연동되어, 상기 상하 이동판의 상하 이동을 따라 상하로 이동되고 상기 좌우 이동판의 좌우 이동을 따라 좌우로 이동되는,
    선재 가이드 장치.
  2. 삭제
  3. 제1항에 있어서,
    상기 바디의 전방에 상기 상하 이동판이 배치되어 서로 결합되고,
    상기 상하 이동판의 전방에 상기 좌우 이동판이 배치되어 서로 결합되고,
    상기 좌우 이동판의 전방에 상기 가이드 롤러가 배치되어 서로 결합되는,
    선재 가이드 장치.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 바디에는 상기 바디의 전면 하부에서 상기 바디의 전방으로 돌출된 지지부가 구비되고,
    상기 상하 이동판은 상기 바디의 전방에 배치됨과 동시에 상기 바디의 지지부의 상부에 배치되는,
    선재 가이드 장치.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 상하 이동부는 상기 상하 이동판을 상하 방향으로 이동시키기 위한 상하 방향 조절 나사와, 상기 상하 이동판의 이동을 고정하는 상하 방향 고정 나사를 더 포함하고,
    상기 좌우 이동부는 상기 좌우 이동판을 좌우 방향으로 이동시키기 위한 좌우 방향 조절 나사와, 상기 좌우 이동판의 이동을 고정하는 좌우 방향 고정 나사를 더 포함하는,
    선재 가이드 장치.
  6. 제5항에 있어서,
    상기 상하 이동판에는 나사홀이 형성되고, 해당 상하 이동판의 나사홀에 상기 상하 방향 고정 나사가 설치되고,
    상기 좌우 이동판에는 나사홀이 형성되고, 해당 좌우 이동판의 나사홀에 상기 좌우 방향 고정 나사가 설치되며,
    상기 상하 이동판의 나사홀은 상하 방향으로 길게 형성되고,
    상기 좌우 이동판의 나사홀은 좌우 방향으로 길게 형성되는,
    선재 가이드 장치.
  7. 제6항에 있어서,
    상기 상하 방향 고정 나사는 상기 상하 이동판의 나사홀을 관통하여 상기 바디에 결합되고,
    상기 좌우 방향 고정 나사는 상기 좌우 이동판의 나사홀을 관통하여 상기 상하 이동판에 결합되며,
    상기 상하 이동판의 상하 이동에 연동하여 상기 좌우 이동판의 상하 방향 위치가 변화되게 구성되는,
    선재 가이드 장치.
  8. 제6항에 있어서,
    상기 상하 이동판의 후면에는 상하 방향으로 슬라이드 홈이 형성되고, 상기 바디의 전면에는 상기 상하 이동판의 슬라이드 홈에 체결되는 체결부가 구비되어, 상기 상하 이동판이 상하 방향으로 슬라이드 이동되고,
    상기 좌우 이동판의 후면에는 좌우 방향으로 슬라이드 홈이 형성되고, 상기 상하 이동판의 전면에는 상기 좌우 이동판의 슬라이드 홈에 체결되는 체결부가 구비되어, 상기 좌우 이동판이 좌우 방향으로 슬라이드 이동되도록 구성되는,
    선재 가이드 장치.
  9. 제5항에 있어서,
    상기 바디의 지지부에는 해당 지지부를 상하방향으로 관통하는 나사홀이 형성되고, 해당 나사홀을 관통하여 상기 상하 방향 조절 나사가 설치되며,
    상기 상하 방향 조절 나사의 회전에 따라 상기 상하 이동판이 상하 방향으로 이동되도록 구성되는,
    선재 가이드 장치.
  10. 제9항에 있어서,
    상기 상하 방향 조절 나사의 단부에 상기 상하 이동판이 안착되는 구조로 구성되는,
    선재 가이드 장치.
  11. 제9항에 있어서,
    상기 상하 방향 조절 나사는 제1 조절 나사와 제2 조절 나사를 포함하고,
    상기 제1 조절 나사는 상기 상하 이동판의 좌우 방향 중앙을 기준으로 좌측에 배치되어 상기 상하 이동판의 좌측 부분을 상하 방향으로 이동시키도록 구성되고,
    상기 제2 조절 나사는 상기 상하 이동판의 좌우 방향 중앙을 기준으로 우측에 배치되어 상기 상하 이동판의 우측 부분을 상하 방향으로 이동시키도록 구성되며,
    상기 가이드 롤러는 상기 상하 이동판의 좌측 부분 및 우측 부분 각각의 상하 이동에 의해 각도가 조절되게 구성되는,
    선재 가이드 장치.
  12. 제5항에 있어서,
    상기 좌우 이동부는 제1 블록과 제2 블록을 더 포함하고,
    상기 제1 블록은 상기 좌우 이동판의 일 측면에 결합 고정되고,
    상기 제2 블록은 상기 제1 블록보다 외측에 배치되어 상기 상하 이동판의 전면에 결합 고정되고,
    상기 제2 블록은 상기 좌우 방향 조절 나사를 파지하도록 구성되고,
    상기 제1 블록에는 해당 제1 블록을 관통하는 나사홀이 형성되고, 해당 나사홀을 관통하여 상기 좌우 방향 조절 나사가 설치되며,
    상기 좌우 방향 조절 나사의 회전에 따라 상기 제1 블록이 좌우 방향으로 이동되고, 그에 연동하여 상기 제1 블록과 결합된 상기 좌우 이동판이 좌우로 이동되도록 구성되는,
    선재 가이드 장치.
  13. 제12항에 있어서,
    상기 상하 방향 조절 나사와 상기 좌우 방향 조절 나사는 수동으로 조작 가능하도록 일측에 조작 수단이 구비되는,
    선재 가이드 장치.
  14. 제1항에 있어서,
    상기 바디에 결합되는 고정판;을 더 포함하고,
    상기 고정판은 상기 바디의 상부로 돌출된 구조로 구성되고,
    상기 고정판의 상부 측에는 상기 고정판을 관통하는 나사홀이 형성되는,
    선재 가이드 장치.
  15. 제14항에 있어서,
    상기 고정판은 상기 바디의 좌우 방향 중앙 부분에 배치되고,
    상기 고정판에는 상기 선재가 통과되는 관통홀이 형성되는,
    선재 가이드 장치.
KR1020230059553A 2023-05-09 2023-05-09 선재 가이드 장치 KR102563839B1 (ko)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020230059553A KR102563839B1 (ko) 2023-05-09 2023-05-09 선재 가이드 장치

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020230059553A KR102563839B1 (ko) 2023-05-09 2023-05-09 선재 가이드 장치

Publications (1)

Publication Number Publication Date
KR102563839B1 true KR102563839B1 (ko) 2023-08-07

Family

ID=87561234

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020230059553A KR102563839B1 (ko) 2023-05-09 2023-05-09 선재 가이드 장치

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR102563839B1 (ko)

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR200190115Y1 (ko) * 1996-05-30 2000-08-01 이구택 3차원 이동이 가능한 롤러 고정장치
KR200321539Y1 (ko) * 2003-04-30 2003-07-28 유병섭 선재 가공시스템용 가이딩장치
KR20090023163A (ko) * 2007-08-27 2009-03-04 닛또꾸 엔지니어링 가부시키가이샤 권선 장치
KR101721326B1 (ko) 2015-08-11 2017-03-29 두산중공업 주식회사 초전도 선재의 가이드 장치
KR20230050139A (ko) * 2021-10-07 2023-04-14 세메스 주식회사 기판 반송 장치 및 이를 갖는 기판 처리 설비

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR200190115Y1 (ko) * 1996-05-30 2000-08-01 이구택 3차원 이동이 가능한 롤러 고정장치
KR200321539Y1 (ko) * 2003-04-30 2003-07-28 유병섭 선재 가공시스템용 가이딩장치
KR20090023163A (ko) * 2007-08-27 2009-03-04 닛또꾸 엔지니어링 가부시키가이샤 권선 장치
KR101721326B1 (ko) 2015-08-11 2017-03-29 두산중공업 주식회사 초전도 선재의 가이드 장치
KR20230050139A (ko) * 2021-10-07 2023-04-14 세메스 주식회사 기판 반송 장치 및 이를 갖는 기판 처리 설비

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US10431779B2 (en) Organic layer deposition apparatus, method of manufacturing organic light-emitting display apparatus using the same, and organic light-emitting display apparatus manufactured using the method
EP2435598B1 (en) Method for forming an organic material layer on a substrate
Shen et al. Electronic structure, diffusion, and p-doping at the Au/F 16 CuPc interface
KR102204234B1 (ko) 진공 챔버에서 기판 캐리어를 운송하기 위한 장치, 기판을 진공 프로세싱하기 위한 시스템, 및 진공 챔버에서 기판 캐리어를 운송하기 위한 방법
TW546987B (en) Reusable mass-sensor in manufacture of organic light-emitting devices
KR102563839B1 (ko) 선재 가이드 장치
TW201833353A (zh) 用以沈積一或多層之處理系統及用於其之方法
US20140014917A1 (en) Organic layer deposition apparatus, method of manufacturing organic light-emitting display apparatus using the same, and organic light-emitting display apparatus manufactured using the method
KR20140145383A (ko) 인라인형 대면적 oled 하향식 증착기
KR101297380B1 (ko) 스토커
JP6548856B1 (ja) 成膜装置、蒸着膜の成膜方法および有機el表示装置の製造方法
TW201945567A (zh) 用環境控制進行線性掃描的物理氣相沉積方法和裝置
TW201913860A (zh) 用於真空室中傳輸載體的設備、用於真空處理基板的系統、以及用於真空室中傳輸載體的方法
US20070151841A1 (en) Flexible magnetron including partial rolling support and centering pins
US20070033878A1 (en) Device for guiding plate-like object
JP2009516776A (ja) 部分回転支持体及びセンタリングピンを含む可撓性マグネトロン
KR20140146450A (ko) 유기층 증착 장치 및 이를 이용한 유기 발광 디스플레이 장치의 제조 방법
US7879210B2 (en) Partially suspended rolling magnetron
US20200010948A1 (en) Shielded sputter deposition apparatus and method
KR101203894B1 (ko) 기판 그립 장치
KR100647578B1 (ko) 증착장치 및 증착방법
EP2204467B1 (en) Method and apparatus for depositing mixed layers
JP6086254B2 (ja) 基板処理装置
KR100665524B1 (ko) 초전도 전자석을 이용한 박막 증착장치.
KR20030060608A (ko) 박막 증착 방법 및 그 장치

Legal Events

Date Code Title Description
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant