KR102562171B1 - 레이저 삭마를 사용하여 형상화된 섬유 엘리먼트들의 제조를 위한 방법들 및 시스템들 - Google Patents

Abstract

가변 직경 섬유를 제조하는 방법은, 광섬유 케이블을 제공하는 단계, 광섬유 케이블 내부의 미리 결정된 위치에 레이저 빔을 포커싱하는 단계, 및 미리 결정된 위치에 손상 사이트를 생성하는 단계를 포함한다. 방법은 또한, 광섬유 케이블 내부의 일련의 추가의 미리 결정된 위치들에 레이저 빔을 포커싱하는 단계 및 추가의 미리 결정된 위치들에 복수의 추가의 손상 사이트들을 생성하는 단계를 포함한다. 손상 사이트 및 추가의 손상 사이트들은 가변 직경 프로파일을 정의한다. 방법은, 광섬유 케이블을 에천트 용액에 노출시키는 단계, 손상 사이트 및 복수의 추가의 손상 사이트들을 우선적으로 에칭하는 단계, 및 가변 직경 섬유를 릴리즈하기 위해 광섬유 케이블의 부분을 분리시키는 단계를 더 포함한다.

Description

레이저 삭마를 사용하여 형상화된 섬유 엘리먼트들의 제조를 위한 방법들 및 시스템들

[0001] 본 출원은, 2016년 12월 22일자로, "Methods and Systems for Fabrication of Shaped Fiber Elements using Laser Ablation"이라는 명칭으로 출원된 미국 가특허 출원 번호 제62/438,408호를 우선권으로 주장하며, 이로써, 이 미국 가특허 출원의 개시내용은 모든 목적들을 위해 그 전체가 인용에 의해 본원에 포함된다.

[0002] (본원을 포함한) 다음의 정규 미국 특허 출원들은 동시에 출원되었으며, 다른 출원들의 전체 개시내용은 모든 목적들을 위해 인용에 의해 본원에 포함된다:

2017년 12월 21일자로, "METHODS AND SYSTEMS FOR FABRICATION OF SHAPED FIBER ELEMENTS FOR SCANNING FIBER DISPLAYS"라는 명칭으로 출원된 미국 특허 출원 번호 제15/851,005호(대리인 문서 번호 제101782-1060973-002210US호); 및

2017년 12월 21일자로, "METHODS AND SYSTEMS FOR FABRICATION OF SHAPED FIBER ELEMENTS USING LASER ABLATION"이라는 명칭으로 출원된 미국 특허 출원 번호 제15/851,049호(대리인 문서 번호 제101782-1060976-002310US호); 및

2017년 12월 21일자로, "METHODS AND SYSTEMS FOR MULTI-ELEMENT LINKAGE FOR FIBER SCANNING DISPLAY"라는 명칭으로 출원된 미국 특허 출원 번호 제15/851,317호(대리인 문서 번호 제101782-1060978-002410US호).

[0003] 현대 컴퓨팅 및 디스플레이 기술들은 이른바 "가상 현실" 또는 "증강 현실" 경험들을 위한 시스템들의 개발을 용이하게 하였으며, 여기서 디지털적으로 재생된 이미지들 또는 이미지들의 부분들은, 그들이 실제인 것으로 보이거나 또는 실제로서 지각될 수 있는 방식으로 뷰어에게 제시된다. 가상 현실 또는 "VR" 시나리오는 통상적으로, 다른 실제 실세계 시각적 입력에 대한 투명성(transparency) 없이 디지털 또는 가상 이미지 정보의 프리젠테이션(presentation)을 수반하고; 증강 현실 또는 "AR" 시나리오는 통상적으로, 뷰어 주위 실제 세계의 시각화에 대한 증강으로서 디지털 또는 가상 이미지 정보의 프리젠테이션을 수반한다.

[0004] 이러한 디스플레이 기술들에서 이루어진 진전에도 불구하고, 증강 현실 시스템 시스템들, 특히 디스플레이 시스템들과 관련된 개선된 방법들 및 시스템들이 당해 기술분야에 필요하다.

[0005] 본 발명은 일반적으로, 형상화된 광섬유 케이블들의 제조를 위한 방법들 및 시스템들에 관한 것이다. 더 구체적으로, 본 발명의 실시예들은, 테이퍼형(tapered) 및 다른 미리 결정된 프로파일들을 갖는 섬유들을 제조하기 위한 방법들 및 시스템들을 제공한다. 본 발명은 컴퓨터 비전 및 이미지 디스플레이 시스템들의 다양한 애플리케이션들에 적용가능하다.

[0006] 본 발명의 실시예에 따르면, 가변 직경 섬유(variable diameter fiber)를 제조하는 방법이 제공된다. 방법은, 광섬유 케이블을 제공하는 단계, 광섬유 케이블 내부의 미리 결정된 위치에 레이저 빔을 포커싱하는 단계, 및 미리 결정된 위치에 손상 사이트(damage site)를 생성하는 단계를 포함한다. 방법은 또한, 광섬유 케이블 내부의 일련의 추가의 미리 결정된 위치들에 레이저 빔을 포커싱하는 단계 및 추가의 미리 결정된 위치들에 복수의 추가의 손상 사이트들을 생성하는 단계를 포함한다. 손상 사이트 및 추가의 손상 사이트들은 가변 직경 프로파일을 정의한다. 방법은, 광섬유 케이블을 에천트 용액에 노출시키는 단계, 손상 사이트 및 복수의 추가의 손상 사이트들을 우선적으로 에칭하는 단계, 및 가변 직경 섬유를 릴리즈하기 위해 광섬유 케이블의 부분을 분리시키는 단계를 더 포함한다.

[0007] 예로서, 광섬유 케이블은 클래딩 영역(cladding region), 및 클래딩 영역에 배치된 복수의 희생 영역(sacrificial region)들을 포함할 수 있다. 복수의 희생 영역들은 클래딩 영역보다 더 높은 에칭 레이트를 갖는 재료를 포함할 수 있다. 다른 예에서, 복수의 희생 영역들은 하나 이상의 공기 캐비티(air cavity)들을 포함할 수 있다. 더욱이, 광섬유 케이블의 영역들은 미리 결정된 에칭 레이트를 특징으로 할 수 있고, 손상 사이트 및 복수의 추가의 손상 사이트들은 그 미리 결정된 에칭 레이트보다 더 높은 에칭 레이트를 특징으로 할 수 있다. 이러한 실시예에서, 손상 사이트 및 복수의 추가의 손상 사이트들의 제거와 연관된 에칭 시간은 광섬유 케이블의 영역들의 제거와 연관된 에칭 시간보다 짧다.

[0008] 본 발명의 다른 실시예에 따르면, 가변 직경 섬유를 제조하는 방법이 제공된다. 방법은, 클래딩 영역, 섬유 코어, 및 클래딩 영역에 배치된 복수의 희생 영역들을 포함하는 광섬유 케이블을 제공하는 단계를 포함한다. 방법은 또한, 광섬유 케이블 내부의 일련의 미리 결정된 위치들에 레이저 빔을 포커싱하는 단계 및 일련의 미리 결정된 위치들과 연관된 일련의 손상 사이트들을 생성하는 단계를 포함한다. 일련의 손상 사이트들은 광섬유 케이블의 클래딩 영역의 격자(latticework) 및 가변 직경 프로파일을 정의한다. 방법은, 광섬유 케이블을 에천트 용액에 노출시키는 단계, 일련의 손상 사이트들을 우선적으로 에칭하는 단계, 및 가변 직경 섬유를 릴리즈하기 위해 광섬유 케이블의 주변 부분들을 분리시키는 단계를 더 포함한다.

[0009] 다수의 이익들은 종래의 기법들에 비해 본 발명에 의해 달성된다. 예컨대, 본 발명의 실시예들은 섬유 스캐닝 디스플레이 시스템들에 통합될 수 있는 섬유들을 제조하는 데 사용될 수 있는 방법들 및 시스템들을 제공한다. 본 발명의 많은 장점들 및 특징들과 함께 본 발명의 이들 및 다른 실시예들은 아래의 본문 및 첨부된 도면들과 함께 더 상세히 설명된다.

[0010] 도 1a는 본 발명의 실시예에 따른 광섬유 케이블 및 레이저 삭마 빔들의 간략화된 측면도이다.
[0011] 도 1b는 본 발명의 실시예에 따라 비점수차 보정(astigmatic correction)을 이용하는 레이저 삭마 빔들 및 광섬유 케이블의 간략화된 측면도이다.
[0012] 도 1c는 본 발명의 실시예에 따라 비점수차 보정을 이용하는 레이저 삭마 빔 및 광섬유 케이블의 간략화된 단면도이다.
[0013] 도 1d는 본 발명의 실시예에 따라 인덱스 매칭 재료를 이용하는 레이저 삭마 빔 및 광섬유 케이블의 간략화된 측면도이다.
[0014] 도 2는 본 발명의 실시예에 따라 가변 직경 섬유를 제조하는 방법을 예시하는 간략화된 흐름도이다.
[0015] 도 3은 본 발명의 실시예에 따라 격자를 형성하는 레이저 삭마 빔들 및 광섬유 케이블의 간략화된 측면도이다.
[0016] 도 4는 본 발명의 실시예에 따라 테이퍼형 섬유(tapered fiber)를 제조하는 방법을 예시하는 간략화된 흐름도이다.
[0017] 도 5는 본 발명의 실시예에 따라 테이퍼형 발광 팁(tapered light emission tip)을 형성하는 레이저 삭마 빔 및 광섬유 케이블의 간략화된 측면도이다.
[0018] 도 6은 본 발명의 실시예에 따라 미리 결정된 섬유 프로파일을 형성하는 레이저 삭마 빔 및 광섬유 케이블의 간략화된 측면도이다.
[0019] 도 7a는 본 발명의 실시예에 따라 형상화된 섬유의 부분의 간략화된 측면도이다.
[0020] 도 7b는 본 발명의 다른 실시예에 따라 형상화된 섬유의 부분의 간략화된 측면도이다.
[0021] 도 8은 본 발명의 실시예에 따른 희생 영역들을 갖는 섬유 프리폼(fiber preform)의 드로잉(drawing)을 예시하는 간략화된 사시도이다.

[0022] 본 발명의 실시예들은 섬유 스캐닝 디스플레이 시스템들을 위한 엘리먼트들을 제조하기 위한 방법들 및 시스템들에 관한 것이다. 본원에서 설명되는 바와 같이, 본 발명의 실시예들은, 레이저 삭마를 사용하여, 섬유 스캐닝 디스플레이 시스템들에 통합될 수 있는 광학 엘리먼트들을 제조하는 것을 가능하게 한다. 특히, 레이저 삭마에 의해 조각된 섬유 프로파일들을 갖는 캔틸레버형 방출 섬유들은 본원에서 설명되는 기법들을 사용하여 제조된다.

[0023] 본 명세서에서, 레이저 삭마 및 손상 사이트들과 관련하여 논의가 제공되지만, 이는 본 발명의 실시예들을 제한하는 것으로 의도되지 않으며, 본원에서 논의되는 프로세스들을 설명하기 위해, 레이저 수정, 레이저 변경, 수정된 사이트들, 변경된 사이트들 등을 포함한 다른 용어들이 사용될 수 있다. 삭마 및 손상이라는 용어들은, 에천트(그 예들은 HF 또는 KOH를 포함함)가, 수정되지 않은 재료에 비해 더 높은 에칭 레이트를 부여하도록, 포커싱된 레이저 스폿이 관심 재료(예컨대, 용융된 실리카)의 조성 또는 다른 재료 특성들을 변경하거나 수정하는 물리적 프로세스들을 포함하도록 의도된다. 따라서, 본 발명의 실시예들은 재료의 제거를 요구하지 않으며, 삭마라는 용어의 사용은 재료 제거를 요구하는 것으로 의도되지 않는다. 따라서, 본 발명의 실시예들은, 광섬유 재료들의 재료 특성들을 변경시킬 수 있는 다양한 메커니즘들(예컨대 가열, 2-광자 상호작용들 등을 포함함)을 포함한다. 재료 특성들의 그러한 변경들은, 통로들의 격자 ― 통로들의 격자를 통해 에천트, 예컨대 수성 에천트가 클래딩 영역을 통해 이동할 수 있고 그리고 성형된 용융된 실리카 섬유를 뒤에 남길 수 있음 ― 를 생성하기 위해 재료 제거를 요구하지 않으며, 이러한 프로세스들은 본원에서 설명되는 레이저-보조 에칭 프로세스들의 범위 내에 포함된다.

[0024] 본원에서 설명되는 바와 같이, 일련의 실질적으로 인접한 손상 사이트들이 광섬유 케이블의 클래딩 내부에 생성된다. 이러한 손상 사이트들은, 특정 애플리케이션들을 위해 바람직한 미리 결정된 섬유 형상들을 생성하기 위하여, 에천트가 일련의 손상 사이트들을 따라 효과적으로 위킹(wick)함에 따라, 손상 사이트들을 따라 우선적인 에칭을 가능하게 한다. 테이퍼형 섬유 프로파일들이 본원에서 예들로서 사용되지만, 본 발명은 이러한 특정 형상들로 제한되지 않는다.

[0025] 도 1a는 본 발명의 실시예에 따른 광섬유 케이블 및 레이저 삭마 빔들의 간략화된 측면도이다. 펨토초 레이저일 수 있는 레이저(105)에 의해 방출되는 레이저 빔이 제공되어 렌즈(110)를 향해 전파되며, 렌즈(110)는 레이저 빔을 광섬유(125)의 클래딩(115)(외측 영역으로 또한 지칭됨) 내부의 포커스 스폿(120)으로 포커싱한다. 포커스 스폿에서의 레이저 빔의 포커싱은 포커스 스폿에서 손상 사이트의 생성을 초래한다. 섬유 코어와 정렬된 섬유의 길이방향 축(510)(예컨대, z-축)을 중심으로 섬유를 회전시킴으로써(도 1a에서 회전 각도(θ)로 예시됨), 주어진 방사상 거리에 일련의 손상 사이트들이 생성될 수 있다.

[0026] (예컨대, 펨토초 레이저로부터의) 레이저 빔이 길이방향으로 제2 위치로 이동되어 섬유의 표면으로부터 더 먼 거리에 제2 포커스 스폿(130)이 형성됨에 따른, 레이저 빔 및 연관된 광학 엘리먼트들의 이동이 도 1a에 예시된다. 길이방향 축을 중심으로 한 섬유의 회전 시에, 포커스 스폿(120)과 연관된 일련의 손상 사이트들보다 더 작은, 섬유 코어로부터의 방사상 거리를 갖는 일련의 손상 사이트들이 생성된다. 제3 포커스 스폿(140)을 형성하는 제3 길이방향 포지션이 또한 도 1a에 예시된다. 이러한 프로세스를 사용하여, 이러한 실시예에서 테이퍼링된(tapered) 점선 프로파일로 예시된 일련의 손상 사이트들(150)이 생성되며, 일련의 손상 사이트들(150)은 실질적으로 연속적이다. 따라서, 본 발명의 실시예들은, 회전적으로 대칭적인 테이퍼형 광섬유 팁을 생성하는 데 레이저 머시닝 기법이 사용되는 방법들 및 시스템들을 제공한다. 길이방향 축을 중심으로 한 회전 및 길이방향(즉, z) 축에 직교하는 x 및 y 방향들에서의 평행이동을 (예컨대, 서브미크론 정밀도로) 제어함으로써, 섬유 형상은 다른 미리 결정된 형상들로 형상화되거나 또는 테이퍼링될 수 있다.

[0027] 일부 실시예들에서, 포커싱된 스폿의 포지션을 조정하기 위해 렌즈가 이동되는 반면에, 다른 실시예들에서, 렌즈가 실질적으로 동일한 포지션에 유지되는 동안 포커싱된 스폿이 이동되도록 렌즈의 초점 파워(focal power)가 조정될 수 있다. 실질적으로라는 용어의 사용은, 초점 파워 변경들이 종종 렌즈 내부의 엘리먼트들(예컨대, 카메라 줌 렌즈)을 이동시키는 것으로부터 초래되기 때문에, 사용된다. 또 다른 실시예들에서, 레이저 시스템의 레이저 또는 엘리먼트들(광학 엘리먼트들을 포함함)은, 레이저를 섬유에 더 가깝게 또는 섬유로부터 더 멀리 이동시키도록(즉, 초점 스폿으로부터 광섬유 케이블의 코어까지의 포지션의 함수로써 레이저 빔을 조정함) 평행이동될 수 있다.

[0028] 아래에서 설명되는 바와 같이, 에칭 프로세스는, 일련의 손상 사이트들을 따라 우선적으로 에칭하여 도 1에 예시된 실시예의 테이퍼형 섬유 프로파일을 형성하고 그리고 일련의 손상 사이트들보다 더 큰 방사상 거리들에서 섬유 클래딩의 부분을 분리시키는 데 사용될 수 있다.

[0029] 도 1b는 본 발명의 실시예에 따라 비점수차 보정을 이용하는 레이저 삭마 빔들 및 광섬유 케이블의 간략화된 측면도이다. 광이 섬유 내로 섬유 코어를 향해 전파됨에 따라, 섬유는 도면 내로 연장되는 방향으로 원통형 렌즈로서 작용한다. 도면의 평면에서, 섬유는 어떤 포커싱 효과도 도입하지 않는다. 섬유에 의해 도입되는 원통형 렌징(lensing)은 손상이 생성되는 포커스 포인트(150)의 사이즈에 악영향을 미칠 수 있다. 포커스 포인트가 측방향으로 이동함에 따라, 일련의 손상 사이트들(154)이 생성된다. 도 6에서, 포커싱 렌즈(160)에 추가하여, 레이저 빔이 전파되는 광학 경로에 비점수차 렌즈(162)가 통합된다. 예로서, 원통형 렌즈는, 섬유에 의한 포커싱을 보상하기 위해 도면 내로 연장되는 평면에서 보정을 도입하기 위해 비점수차 렌즈(162)로서 사용될 수 있다.

[0030] 일부 구현들에서, 비점수차 렌즈(162) 및/또는 포커싱 렌즈(160)는, 시스템의 동작 동안 초점 길이 및/또는 도입된 비점수차의 양이 조정 수 있도록, 가변 광학 파라미터들을 갖는다.

[0031] 따라서, 광섬유 케이블에 입사되기 전의 파면은, 광섬유 케이블의 원통형 렌즈 거동을 보상하는 비점수차 보정을 포함한다. 비점수차 렌즈(162)를 사용하여, 섬유의 클래딩(152)의 포커스 포인트(150)가 회절 제한된 스폿 사이즈에 접근하여서, 손상 사이트들의 로컬화를 개선시킬 수 있다. 포커싱 렌즈(160) 및 비점수차 렌즈(162)의 사용으로부터 초래되는 빔의 광학 특성들을 고려하는 다른 방식은, 클래딩에서 전파되는 파면이, 손상 사이트에서 회절 제한된 스폿을 형성할 수 있는 균일하고 수렴되는 빔이라는 것이다.

[0032] 일부 실시예들에서, 별개의 렌즈들이 단일 렌즈로 조합될 수 있으며, 이는, 레이저 광을 섬유 내로 포커싱하고 그리고 섬유에서 발생되는 원통형 포커싱을 보상하기 위한 비점수차 사전-보정을 제공하는 둘 모두를 하는 다중 엘리먼트 복합 렌즈일 수 있다.

[0033] 구형 파면(spherical wavefront)을 갖는 빔은 섬유 내부의 회절 제한된 포커스에 수렴된다. 단지 포커스 렌즈(160)만이 사용되는 구현들에서, 클래딩은, 파면을 구체와 상당히 상이하게 만드는 비점수차를 도입한다. 따라서, 일부 실시예들은, 클래딩에 의해 도입된 비점수차에 대처하기 위해 반대 부호의 비점수차를 도입하기 위해, 비점수차 렌즈(162)를 활용한다. 클래딩과 비점수차 렌즈(162)의 조합은 섬유 내부에 구형 파면을 생성한다. 비점수차 렌즈(162)에 대한 비점수차 파워의 정확한 양을 선택하기 위해, 렌즈 설계 프로그램(예컨대, Zemax 또는 Code V)이 사용될 수 있다.

[0034] 도 1c는 본 발명의 실시예에 따라 비점수차 보정을 이용하는 레이저 삭마 빔 및 광섬유 케이블의 간략화된 단면도이다. 비점수차 렌즈(162)와 섬유의 클래딩 사이의 갭이 제로가 되는 제한 내에서, 비점수차 보정은, 렌즈(160)를 162 및 섬유에 대해 이동시키든 렌즈를 이동시키지 않으면서 렌즈(160)의 초점 파워를 변경하든, 모든 포커스 스폿 위치들에 대해 완벽하다. 실제로, 작은 갭은 포지셔닝 에러들을 허용한다. 렌즈 설계 프로그램은, 원하는 초점 스폿 범위 및 초점 스폿의 수렴 각도(NA)가 주어지면, 당업자가 갭을 최적화시키는 것을 가능하게 한다는 것이 인지될 것이다.

[0035] 도 1d는 본 발명의 실시예에 따라 인덱스 매칭 재료를 이용하는 레이저 삭마 빔 및 광섬유 케이블의 간략화된 측면도이다. 도 1d에 예시된 바와 같이, 비점수차 렌즈(162)와 광섬유 케이블 사이의 갭은 클래딩 및 비점수차 렌즈(162) 둘 모두의 비점수차 파워를 제거하는 인덱스 매칭 재료(예컨대, 유체)로 채워진다. 이러한 설계는 비점수차 렌즈(162)의 최상부 근처의 구형파가 굴절 없이 섬유 내로 통과하는 것을 가능하게 한다. 이러한 방법은, 인덱스 매칭 재료들이 레이저 삭마 빔의 흡수와 같은 광학 특성들을 도입할 수 있을지라도 효과적이다. 당업자는 많은 변형들, 수정들 및 대안들을 인식할 것이다.

[0036] 대안적인 실시예들에서, 비점수차 보정에 추가하여, 광학 빔의 파면의 다른 수정들, 예컨대 길이 방향을 따라 연장되는 선형 포커스 영역의 형성이 도입될 수 있다. 당업자는 많은 변형들, 수정들 및 대안들을 인식할 것이다.

[0037] 도 2는 본 발명의 실시예에 따라 가변 직경 섬유를 제조하는 방법을 예시하는 간략화된 흐름도이다. 방법(200)은, 광섬유 케이블을 제공하는 단계(210), 광섬유 케이블 내부의 미리 결정된 위치에 레이저 빔을 포커싱하는 단계(212), 및 미리 결정된 위치에 손상 사이트를 생성하는 단계(214)를 포함한다.

[0038] 방법은 또한, 광섬유 케이블 내부의 일련의 추가의 미리 결정된 위치들에 레이저 빔을 포커싱하는 단계(216) 및 추가의 미리 결정된 위치들에 복수의 추가의 손상 사이트들을 생성하는 단계(218)를 포함한다. 실시예에서, 손상 사이트 및 추가의 손상 사이트들은 섬유 방출 팁을 향한 길이방향 거리의 함수로써 감소되는 직경을 갖는 테이퍼형 프로파일을 정의하여서, 테이퍼형 섬유를 생성한다.

[0039] 방법은, 광섬유 케이블을 에천트 용액에 노출시키는 단계(220), 손상 사이트 및 복수의 추가의 손상 사이트들을 우선적으로 에칭하는 단계(222), 및 가변 직경 섬유를 릴리즈하기 위해 광섬유 케이블의 부분을 분리시키는 단계(224)를 더 포함한다. 우선적인 에칭 프로세스 후에, 가변 직경 섬유를 둘러싸는 클래딩의 부분은, 가변 직경 섬유가 섬유 스캐닝 디스플레이 시스템들 등에 통합되는 것을 가능하게 하기 위해, 제거될 수 있다.

[0040] 본 발명의 실시예에 따르면, 레이저 빔이 포커스 포인트/손상 사이트 및 복수의 추가의 손상 사이트들로 전파될 때의 섬유에 의한 광의 포커싱은, 레이저 빔이 섬유를 통해 전파될 때 발생하는 포커싱과 반대되고 동일한 포커싱의 양을 도입하는 비점수차 렌즈를 사용함으로써 보상된다. 몇몇 구현들에서, 손상 사이트들이 섬유 클래딩에서 다양한 깊이들에, 즉, 섬유의 코어로부터 다양한 거리들에 포지셔닝될 것이기 때문에, 보정 렌즈는, 레이저가 섬유의 클래딩에서 상이한 방사상 거리들을 통해 가로지를 때 조정될 수 있다.

[0041] 도 3 및 도 4와 관련하여 또한 상세하게 설명되는 바와 같이, 추가의 미리 결정된 위치들에 복수의 추가의 손상 사이트들을 생성하는 단계는 광섬유 케이블의 클래딩에 손상 사이트들의 격자를 형성하는 단계를 포함할 수 있다. 예컨대, 일부 실시예들에서, 복수의 방사상 비아(radial via)들이 섬유 코어를 향해 클래딩 영역을 통과할 수 있다. 레이저 빔의 포커스 포인트는, 초기에 복수의 추가의 손상 사이트들의 제1 부분이 섬유 코어에 인접하게 (즉, 섬유 코어로부터 작은 방사상 거리들로) 생성되도록, 그리고 후속적으로, 복수의 추가의 손상 사이트들의 제2 부분이 섬유 코어로부터 더 먼 거리들에 (즉, 더 큰 방사상 거리들로 클래딩 영역의 직경까지) 생성되도록, 제어될 수 있다. 이러한 기법은 레이저 빔이 전파되게 하는 손상 없는 재료(damage free material)들을 제공하여, 빔 품질의 저하를 감소시키거나 방지한다.

[0042] 도 5와 관련하여 추가로 상세하게 논의되는 바와 같이, 섬유 코어는 길이방향 축을 특징으로 하고, 방법은, 복수의 추가의 손상 사이트들이 추가의 미리 결정된 위치들에 생성되는 동안 길이방향 축을 중심으로 섬유를 회전시키는 단계를 포함할 수 있다.

[0043] 도 8과 관련하여 또한 상세하게 논의되는 바와 같이, 광섬유 케이블은 클래딩 영역, 및 클래딩 영역에 배치된 복수의 희생 영역들을 포함할 수 있다. 복수의 희생 영역들은 클래딩 영역보다 더 높은 에칭 레이트를 갖는 재료를 포함할 수 있거나, 또는 에천트가 유동할 수 있게 하는 공기 캐비티들일 수 있다.

[0044] 도 2에 예시된 특정 단계들이, 본 발명의 실시예에 따라 가변 직경 섬유를 제조하는 특정 방법을 제공한다는 것이 인지되어야 한다. 대안적인 실시예들에 따라 다른 시퀀스들의 단계들이 또한 수행될 수 있다. 예컨대, 본 발명의 대안적인 실시예들은 위에서 약술된 단계들을 상이한 순서로 수행할 수 있다. 더욱이, 도 2에 예시된 개별 단계들은 개별 단계에 적합한 다양한 시퀀스들로 수행될 수 있는 다수의 서브-단계들을 포함할 수 있다. 게다가, 특정 애플리케이션들에 따라 추가적인 단계들이 추가되거나 제거될 수 있다. 당업자는 많은 변형들, 수정들 및 대안들을 인식할 것이다.

[0045] 도 2와 관련하여 논의된 바와 같이, 우선적인 에칭은 일련의 손상 사이트들을 따라 발생한다. 일부 구현들에서, 에천트가 이러한 비교적 작은 통로들을 통해 이동하는 데 필요한 시간은 제조 시간을 연장시킬 수 있다. 따라서, 본 발명의 실시예들은, 에칭 시간들을 감소시키기 위해, 섬유 전체에 걸쳐 방사상으로 그리고 길이방향으로 연장되는 손상 포인트들의 격자를 제공 및 활용할 수 있다. 도 3과 관련하여 논의된 바와 같이, 고농도 에천트가 섬유 내로의 많은 진입 포인트들을 갖고 그리고 섬유 클래딩의 미리 결정된 섹션들을 신속하게 제거하고 그리고 원하는 가변 직경 형상, 이를테면, 테이퍼형 형상을 생성하는 것을 가능하게 하는 뼈대 구조(skeletal structure)가 생성될 수 있다. 일부 구현들에서, 미리 결정된 섹션들은, 손상 사이트들의 격자와 연관된 구조에 의해 정의되고, 섹션들로서 제거될 수 있다. 격자의 섹션들이 제거됨에 따라, 에천트의 추가의 유입을 위한 높은 볼륨 영역들이 제공되며, 이는 이러한 섹션들에서의 에칭 레이트를 증가시킨다. 당업자는 많은 변형들, 수정들 및 대안들을 인식할 것이다.

[0046] 도 3은 본 발명의 실시예에 따라 격자를 형성하는 레이저 삭마 빔들 및 광섬유 케이블의 간략화된 측면도이다. 위에서 논의된 바와 같이, 일부 구현들에서, 에천트가 일련의 손상 위치들을 따라 구조 내로 위킹하는 레이트는 원하는 것보다 더 작을 수 있다. 따라서, 도 3에서 예시된 본 발명의 실시예는 격자를 정의하는 추가의 손상 사이트들을 생성하기 위해 레이저를 활용한다. 일련의 손상 사이트들(150)의 형성에 추가하여, 레이저 빔에 의해 예시된 레이저 조사는 길이 방향을 따라 이어지는 일련의 손상 사이트들(332)을 형성하는 데 활용되고, 레이저 빔에 의해 예시된 레이저 조사는 측방향을 따라 이어지는 일련의 손상 사이트들(342)을 형성하는 데 활용된다. 측방향으로 정렬된 손상 사이트들은 또한, 비아들로 지칭될 수 있다. 손상 사이트들의 격자는, 에천트가 섬유의 클래딩을 더 신속하게 침투하는 것을 가능하게 하고 에칭 시간을 감소시키며, 이는 효과적인 에칭 레이트의 증가로 고려될 수 있다. 렌즈(310)는 도 1b와 관련하여 논의된 바와 같은 비점수차 보정을 통합할 수 있다.

[0047] 도 3에 예시된 바와 같이, 가변 직경 섬유 형상은 격자와 함께 정의될 수 있다. 포커싱 깊이의 제어 및 섬유의 회전의 사용을 통해, 레이저는 길이방향으로 스캐닝되어, 주어진 평면에서 가변 직경 형상, 비아들, 및 길이방향으로 정렬된 손상 사이트들을 정의할 수 있다. 이어서, 레이저는 길이방향으로 이동되어, 각각의 길이방향 평면에 적절한 손상 사이트들을 형성하며, 이는 함께 취해질 때, 가변 직경 섬유 형상 및 격자 둘 모두를 형성한다. 비아들은, 섬유의 회전을 중지시키고 그리고 고정된 길이방향 포지션에서 섬유 내로 드릴링함으로써 생성될 수 있다는 것이 주목되어야 한다. 그러한 드릴링은 가장 깊은 포인트(즉, 코어에 인접한 영역)로부터 클래딩 층의 외측들에 인접한 영역으로 진행할 수 있다. 이러한 방식으로, 손상 사이트들 및 연관된 격자 및 가변 직경 패턴들이 섬유의 가장 깊은 부분들에서 먼저 생성되고 시간의 경과에 따라 밖으로 이동할 수 있어서, 최종 손상 사이트들이 형성될 때, 손상 사이트들/결함들이 광학 빔 품질을 손상시키지 않는다.

[0048] 도 4는 본 발명의 실시예에 따라 가변 직경 섬유를 제조하는 방법을 예시하는 간략화된 흐름도이다. 방법(400)은, 클래딩 영역, 섬유 코어, 및 클래딩 영역에 배치된 복수의 희생 영역들을 포함하는 광섬유 케이블을 제공하는 단계(410)를 포함한다. 도 8에 예시된 바와 같이, 복수의 희생 영역들은 섬유 코어에 평행하게 배치된 축을 갖는 원통형 영역들로서 제조될 수 있다. 다른 실시예들에서, 육각형 영역들 등을 포함하는 다른 형상들이 활용될 수 있다. 일부 실시예들에서, 복수의 희생 영역들은 클래딩 영역의 에칭 레이트보다 더 높은 에칭 레이트를 갖는 재료를 사용하여 제조된다. 이러한 실시예들에서 희생 재료들의 예들은 고도로 도핑된 유리(heavily doped glass)를 포함한다. 대안적인 실시예들에서, 복수의 희생 영역들은 공기 캐비티들일 수 있다. 다른 대안적인 실시예들에서, 희생 영역들은 고체 희생 재료들을 포함할 수 있거나, 공기 캐비티들일 수 있거나, 또는 이들의 조합들일 수 있다.

[0049] 방법은 또한, 광섬유 케이블 내부의 일련의 미리 결정된 위치들에 레이저 빔을 포커싱하는 단계(412) 및 일련의 미리 결정된 위치들과 연관된 일련의 손상 사이트들을 생성하는 단계(414)를 포함한다. 섬유 코어는 길이방향 축을 특징으로 할 수 있고, 방법은, 일련의 손상 사이트들이 추가의 미리 결정된 위치들에 생성되는 동안 길이방향 축을 중심으로 섬유를 회전시키는 단계를 포함할 수 있다.

[0050] 일련의 손상 사이트들은 광섬유 케이블의 클래딩 영역의 격자 및 가변 직경 프로파일(예컨대, 테이퍼형 프로파일, 더 큰 직경 섹션들 사이에 더 작은 직경 섹션들을 갖는 프로파일 등)을 정의한다. 격자에 추가하여 또는 격자의 엘리먼트들로서, 일련의 손상 사이트들은 클래딩 영역을 통과하여 섬유 코어를 향하는 다수의 방사상 비아들을 정의할 수 있다. 일련의 손상 사이트들은, 손상 사이트들이 생성될 때 레이저 빔이 손상된 재료를 통과할 필요가 없도록, 초기에 섬유 코어에 인접한 제1 일련의 손상 사이트들을 형성하고, 후속적으로 섬유 코어로부터 더 먼 제2 일련의 손상 사이트들을 형성함으로써 생성될 수 있다.

[0051] 방법은, 광섬유 케이블을 에천트 용액에 노출시키는 단계(416), 일련의 손상 사이트들을 우선적으로 에칭하는 단계(418), 및 가변 직경 섬유를 릴리즈하기 위해 광섬유 케이블의 주변 부분들을 분리시키는 단계(420)를 더 포함한다.

[0052] 도 4에 예시된 특정 단계들이, 본 발명의 실시예에 따라 가변 직경 섬유를 제조하는 특정 방법을 제공한다는 것이 인지되어야 한다. 대안적인 실시예들에 따라 다른 시퀀스들의 단계들이 또한 수행될 수 있다. 예컨대, 본 발명의 대안적인 실시예들은 위에서 약술된 단계들을 상이한 순서로 수행할 수 있다. 더욱이, 도 4에 예시된 개별 단계들은 개별 단계에 적합한 다양한 시퀀스들로 수행될 수 있는 다수의 서브-단계들을 포함할 수 있다. 게다가, 특정 애플리케이션들에 따라 추가적인 단계들이 추가되거나 제거될 수 있다. 당업자는 많은 변형들, 수정들 및 대안들을 인식할 것이다.

[0053] 도 5는 본 발명의 실시예에 따라 테이퍼형 발광 팁을 형성하는 레이저 삭마 빔 및 광섬유 케이블의 간략화된 측면도이다. 도 5에 예시된 바와 같이, 레이저 빔의 포커스 포인트가 일정하게 유지되는 동안에 광섬유 케이블(525)의 길이방향 축(510)을 중심으로 한 광섬유 케이블(525)의 회전(각도(θ)로 예시됨)은, 섬유의 클래딩에 원형의 일련의 손상 사이트들(505)의 형성을 가능하게 한다. 레이저 빔이 길이방향으로 이동되고 더 큰 깊이들(즉, 코어에 더 가까움)에서 포커싱됨에 따라, 테이퍼형 프로파일을 갖는 일련의 손상 사이트들이 형성된다. 따라서, 손상 사이트들이 형성되는 방사상 치수는 길이방향 거리의 함수로써 제어된다.

[0054] 도 6은 본 발명의 실시예에 따라 미리 결정된 섬유 프로파일을 형성하는 레이저 삭마 빔 및 광섬유 케이블의 간략화된 측면도이다. 도 6을 참조하면, 본 발명의 실시예들은 형상화된 프로파일들의 제조를 가능하게 하며, 그 형상은, 손상 사이트들을 따라(격자가 없다고 가정함) 에칭이 완료된 후에 외부 클래딩 영역이, 형상화된 섬유로부터 분리되는 것을 방지한다. 이러한 경우들에서, 도 3에 예시된 격자는 에천트가 외부 클래딩 영역의 길이를 따라 외부 클래딩 영역을 침투하는 것을 가능하게 하여서, 임의적인 형상화된 프로파일들이 제조되는 것을 가능하게 한다.

[0055] 도 6에 예시된 바와 같이, 레이저가 섬유의 길이 방향을 따라 스캐닝됨에 따라, 테이퍼형 이외의 미리 결정된 측방향 치수들을 갖는 임의적인 형상을 갖는 형상화된 프로파일(610)이 생성될 수 있다. 레이저는, 상이한 피리어드(period)들, 상이한 깊이들 등을 사용하여 길이방향으로 여러 번 스캐닝되어, 각각의 패스 상에 상이한 손상 패턴들을 형성하여, 도 3 및 도 6에 예시된 바와 같은 전체적인 격자 및 측방향 치수 형상들을 생성할 수 있다. 상이한 반경들 및/또는 피리어드들을 갖는 코르크스크루(corkscrew) 및 리버스 코르크스크루(reverse corkscrew) 형상들 둘 모두가 교차-해치 패턴(cross-hatch pattern)들을 생성하는 데 사용될 수 있다. 일부 실시예들에서, 원하는 세트의 손상 사이트들이 좌표계에 프로그래밍되고, 섬유가 회전될 때 레이저가 스캐닝되어 원하는 세트의 손상 사이트들을 생성한다. 도 3에 예시된 격자가 직사각형이지만, 이는 본 발명에 의해 요구되는 것은 아니며, 격자의 평면들은 길이 방향에 대해 경사질 수 있다. 도 6에서, 격자(615)는 약 45도 경사져 있고, 클래딩을 통해 연장되어 임의적인 형상화된 프로파일(610)에 도달한다. 따라서, 도 6에 예시된 경사진 격자에 의해 깔때기 형상(funnel shape)들이 제공된다. 추가로, 본원에서 설명된 방법들에 의해, 나선형 구조들 및 임의적인 기하학적 구조의 구조들이 생성될 수 있다. 직사각형 격자들, 경사형 격자들, 나선형 격자들, 및/또는 비아들의 조합들은 본 발명의 범위 내에 포함된다.

[0056] 도 6과 관련하여 논의된 기법들을 사용하여 제조될 수 있는 예시적으로 형상화된 섬유가 도 7a 및 도 7b에 예시된다. 도 7a는 본 발명의 실시예에 따라 형상화된 섬유의 부분의 간략화된 측면도이다. 도 7a에 예시된 바와 같이, 형상화된 섬유는, 압전 모션 액추에이터들을 포함하는 지지 엘리먼트들에 기계적으로 연결될 수 있는 2개의 지지 영역들(150 및 140)을 포함한다. 형상화된 섬유는 또한, 2개의 지지 영역들보다 더 작은 직경을 특징으로 하는 만곡 영역(flexure region)(142)을 포함한다. 추가로, 형상화된 섬유는 섬유 팁에서 종결되는 테이퍼형 광 전달 및 방출 영역(740)을 포함한다. 따라서, 본원에서 설명된 방법들은 복잡한 프로파일을 갖는 이러한 형상화된 섬유의 제조에 적합하다.

[0057] 도 7b는 본 발명의 다른 실시예에 따라 형상화된 섬유의 부분의 간략화된 측면도이다. 도 7b에서, 형상화된 섬유는 일정한 직경 영역(750), 테이퍼형 영역(752), 및 렌즈화 섬유 팁(lensed fiber tip)(754)을 포함한다. 직경, 길이, 및 테이퍼 각도는 특정 애플리케이션에 적합하게 선택될 수 있다. 팽창 영역 및 굴곡형 팁을 포함하는 렌즈화 섬유 팁(754)이 예시되지만, 본 발명의 실시예들은 이러한 특정 구현으로 제한되지 않는다. 다른 실시예들에서, 형상화된 섬유의 단부에 볼 렌즈(ball lens)가 형성된다. 당업자는 많은 변형들, 수정들 및 대안들을 인식할 것이다.

[0058] 도 8은 본 발명의 실시예에 따른 희생 영역들을 갖는 섬유 프리폼의 드로잉을 예시하는 간략화된 사시도이다. 섬유 프리폼(800)은 섬유 코어(805) 및 섬유 클래딩(807)을 포함한다. 하나 이상의 희생 재료 섹션들(810)이 클래딩(807) 전체에 걸쳐 분포된다. 하나 이상의 희생 재료 섹션들(810)은 비아들이 클래딩의 외측 표면(820)으로부터 희생 재료 섹션들까지 통과함으로써 액세스될 수 있다. 희생 재료 섹션들은 섬유의 코어 및/또는 클래딩보다 더 높은 에칭 레이트를 갖는 재료들을 포함한다. 결과적으로, 일단 에천트가 희생 재료 섹션들에 도달하면, 이들은 HF계 에천트들 또는 다른 적절한 에천트들에 의해 용이하게 에칭된다.

[0059] 예들로서, 본 발명의 실시예들에 의해 활용될 수 있는 희생 재료들은 고도로 도핑된 유리 등을 포함한다. 섬유의 드로잉은 도 8의 감소되는 직경(825)에 의해 예시된다.

[0060] 추가로, 고체 재료들에 추가하여, 희생 재료 섹션들은 섬유를 드로잉하는 데 사용되는 프리폼에 내장된 공기 캐비티들로서 정의될 수 있다. 공기 캐비티들의 사용은 벌크 재료를 효과적으로 제거하여서, 효과적인 에칭 레이트를 증가시킨다. 따라서, 광자-결정 섬유(photonic-crystal fiber)들을 위해 사용되는 기법들이, 본 발명의 실시예들에 따라 에칭 레이트들을 향상시키는 데 활용될 수 있다. 에천트가 공기 캐비티들에 도달하는 것을 가능하게 하기 위해, 클래딩 영역의 외측 표면으로부터, 희생 재료 섹션들 대신에 또는 희생 재료 섹션들과 함께 사용되는 공기 캐비티들까지 통과하여 비아들이 형성될 수 있다. 추가로, 공기 캐비티들을 활용하는 일부 실시예들에서, 에천트는 비아들을 통해서뿐만 아니라 섬유의 단부로부터 공기 캐비티들 내로 도입되어서, 에칭 시간의 추가적인 감소들을 제공할 수 있다. 일부 실시예들에서, 공기 캐비티들과 고체 희생 재료들의 조합이 활용된다. 당업자는 많은 변형들, 수정들 및 대안들을 인식할 것이다.

[0061] 본원에 설명된 예들 및 실시예들이 단지 예시 목적들을 위한 것이고 이를 고려하여 다양한 수정들 또는 변경들이 당업자들에게 제안될 것이고 본 출원의 사상 및 범위와 첨부된 청구항들의 범위 내에 포함되는 것이 또한 이해된다.

Claims (20)

1. 가변 직경 섬유(variable diameter fiber)를 제조하는 방법으로서,
   광섬유 케이블을 제공하는 단계;
   상기 광섬유 케이블 내부의 미리 결정된 위치에 레이저 빔을 포커싱하는 단계;
   상기 미리 결정된 위치에 손상 사이트(damage site)를 생성하는 단계;
   상기 광섬유 케이블 내부의 일련의 추가의 미리 결정된 위치들에 상기 레이저 빔을 포커싱하는 단계;
   상기 추가의 미리 결정된 위치들에 복수의 추가의 손상 사이트들을 생성하는 단계 ― 상기 손상 사이트 및 상기 추가의 손상 사이트들은 상기 광섬유 케이블의 길이 방향을 따라 가변 직경 프로파일을 정의함 ―;
   상기 광섬유 케이블을 에천트 용액에 노출시키는 단계;
   상기 손상 사이트 및 상기 복수의 추가의 손상 사이트들을 우선적으로 에칭하는 단계; 및
   상기 가변 직경 섬유를 릴리즈하기 위해 상기 가변 직경 섬유를 둘러싸는 상기 광섬유 케이블의 부분을 분리시키는 단계
   를 포함하는,
   가변 직경 섬유를 제조하는 방법.
2. 제1 항에 있어서,
   상기 미리 결정된 위치에 레이저 빔을 포커싱하는 단계 및 상기 일련의 추가의 미리 결정된 위치들에 레이저 빔을 포커싱하는 단계는, 상기 광섬유 케이블에 대한 충돌(impingement) 전에 상기 레이저 빔에 비점수차(astigmatism)를 도입하는 단계를 포함하는,
   가변 직경 섬유를 제조하는 방법.
3. 제2 항에 있어서,
   상기 레이저 빔의 비점수차는, 상기 레이저 빔이 상기 광섬유 케이블을 통해 전파될 때 원통형 포커싱을 보상하는,
   가변 직경 섬유를 제조하는 방법.
4. 제2 항에 있어서,
   상기 미리 결정된 위치 및 상기 추가의 미리 결정된 위치들 및 상기 광섬유 케이블의 코어로부터의 거리의 함수로써 상기 레이저 빔의 비점수차를 조정하는 단계를 더 포함하는,
   가변 직경 섬유를 제조하는 방법.
5. 제1 항에 있어서,
   상기 가변 직경 프로파일은 테이퍼형 프로파일(tapered profile)을 포함하고, 그리고 상기 가변 직경 섬유는 테이퍼형 섬유를 포함하는,
   가변 직경 섬유를 제조하는 방법.
6. 제1 항에 있어서,
   상기 추가의 미리 결정된 위치들에 복수의 추가의 손상 사이트들을 생성하는 단계는 손상 사이트들의 격자(latticework)를 형성하는 단계를 포함하는,
   가변 직경 섬유를 제조하는 방법.
7. 제1 항에 있어서,
   상기 광섬유 케이블은 외측 영역 및 섬유 코어를 포함하며,
   상기 추가의 미리 결정된 위치들에 복수의 추가의 손상 사이트들을 생성하는 단계는 상기 외측 영역으로부터 상기 섬유 코어를 향해 통과하는 복수의 방사상 비아(radial via)들을 형성하는 단계를 포함하는,
   가변 직경 섬유를 제조하는 방법.
8. 제1 항에 있어서,
   상기 광섬유 케이블은 외측 영역 및 섬유 코어를 포함하며,
   상기 추가의 미리 결정된 위치들에 복수의 추가의 손상 사이트들을 생성하는 단계는, 초기에 상기 섬유 코어에 인접한 복수의 추가의 손상 사이트들의 제1 부분을 생성하고, 후속적으로 상기 외측 영역에 인접한 복수의 추가의 손상 사이트들의 제2 부분을 생성하는 단계를 포함하는,
   가변 직경 섬유를 제조하는 방법.
9. 제1 항에 있어서,
   상기 광섬유 케이블은 길이방향 축을 특징으로 하는 섬유 코어를 포함하며,
   상기 방법은, 상기 추가의 미리 결정된 위치들에서 상기 복수의 추가의 손상 사이트들을 생성하는 동안, 상기 길이방향 축을 중심으로 상기 광섬유 케이블을 회전시키는 단계를 더 포함하는,
   가변 직경 섬유를 제조하는 방법.
10. 제1 항에 있어서,
    상기 광섬유 케이블은 클래딩 영역(cladding region), 및 상기 클래딩 영역에 배치된 복수의 희생 영역(sacrificial region)들을 포함하는,
    가변 직경 섬유를 제조하는 방법.
11. 제1 항에 있어서,
    상기 광섬유 케이블의 영역들은 미리 결정된 에칭 레이트를 특징으로 하고, 그리고 상기 손상 사이트 및 상기 복수의 추가의 손상 사이트들은 상기 미리 결정된 에칭 레이트보다 더 높은 에칭 레이트를 특징으로 하는,
    가변 직경 섬유를 제조하는 방법.
12. 가변 직경 섬유를 제조하는 방법으로서,
    클래딩 영역, 섬유 코어, 및 상기 클래딩 영역에 배치된 복수의 희생 영역들을 포함하는 광섬유 케이블을 제공하는 단계;
    상기 광섬유 케이블 내부의 일련의 미리 결정된 위치들에 레이저 빔을 포커싱하는 단계;
    상기 일련의 미리 결정된 위치들과 연관된 일련의 손상 사이트들을 생성하는 단계 ― 상기 일련의 손상 사이트들은,
    상기 광섬유 케이블의 길이 방향을 따르는 가변 직경 프로파일; 및
    상기 광섬유 케이블의 클래딩 영역의 격자를 정의함 ―;
    상기 광섬유 케이블을 에천트 용액에 노출시키는 단계;
    상기 일련의 손상 사이트들을 우선적으로 에칭하는 단계; 및
    상기 가변 직경 섬유를 릴리즈하기 위해 상기 가변 직경 섬유를 둘러싸는 상기 광섬유 케이블의 주변 부분들을 분리시키는 단계
    를 포함하는,
    가변 직경 섬유를 제조하는 방법.
13. 제12 항에 있어서,
    상기 가변 직경 프로파일은 테이퍼형 프로파일을 포함하는,
    가변 직경 섬유를 제조하는 방법.
14. 제12 항에 있어서,
    상기 희생 영역들은 상기 섬유 코어에 평행하게 배치된 축을 갖는 원통형 영역들을 포함하는,
    가변 직경 섬유를 제조하는 방법.
15. 제14 항에 있어서,
    상기 복수의 희생 영역들은 상기 클래딩 영역의 에칭 레이트보다 더 높은 에칭 레이트를 갖는 재료를 포함하는,
    가변 직경 섬유를 제조하는 방법.
16. 제14 항에 있어서,
    상기 복수의 희생 영역들은 공기 캐비티들을 포함하는,
    가변 직경 섬유를 제조하는 방법.
17. 제12 항에 있어서,
    상기 일련의 미리 결정된 위치들과 연관된 일련의 손상 사이트들을 생성하는 단계는 손상 사이트들의 격자를 형성하는 단계를 포함하는,
    가변 직경 섬유를 제조하는 방법.
18. 제12 항에 있어서,
    상기 일련의 미리 결정된 위치들과 연관된 일련의 손상 사이트들을 생성하는 단계는 상기 클래딩 영역을 통과하여 상기 섬유 코어를 향하는 복수의 방사상 비아들을 형성하는 단계를 포함하는,
    가변 직경 섬유를 제조하는 방법.
19. 제12 항에 있어서,
    상기 일련의 미리 결정된 위치들과 연관된 일련의 손상 사이트들을 생성하는 단계는, 초기에 상기 섬유 코어에 인접한 일련의 손상 사이트들의 제1 부분을 생성하고, 후속적으로 상기 섬유 코어로부터 더 먼 일련의 손상 사이트들의 제2 부분을 생성하는 단계를 포함하는,
    가변 직경 섬유를 제조하는 방법.
20. 제12 항에 있어서,
    상기 섬유 코어는 길이방향 축을 특징으로 하고,
    상기 방법은, 상기 일련의 미리 결정된 위치들과 연관된 일련의 손상 사이트들을 생성하는 동안, 상기 길이방향 축을 중심으로 상기 광섬유 케이블을 회전시키는 단계를 더 포함하는,
    가변 직경 섬유를 제조하는 방법.