KR102561497B1 - 초박 유리 처리장치 및 초박 유리 처리방법 - Google Patents

초박 유리 처리장치 및 초박 유리 처리방법 Download PDF

Info

Publication number
KR102561497B1
KR102561497B1 KR1020200073680A KR20200073680A KR102561497B1 KR 102561497 B1 KR102561497 B1 KR 102561497B1 KR 1020200073680 A KR1020200073680 A KR 1020200073680A KR 20200073680 A KR20200073680 A KR 20200073680A KR 102561497 B1 KR102561497 B1 KR 102561497B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
ultra
thin glass
pores
porous plate
adhesive
Prior art date
Application number
KR1020200073680A
Other languages
English (en)
Other versions
KR20210156027A (ko
Inventor
조재준
유정필
안성수
양상희
Original Assignee
에이피시스템 주식회사
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 에이피시스템 주식회사 filed Critical 에이피시스템 주식회사
Priority to KR1020200073680A priority Critical patent/KR102561497B1/ko
Priority to CN202110667277.XA priority patent/CN113799471A/zh
Publication of KR20210156027A publication Critical patent/KR20210156027A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR102561497B1 publication Critical patent/KR102561497B1/ko

Links

Images

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B32—LAYERED PRODUCTS
    • B32B—LAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
    • B32B37/00—Methods or apparatus for laminating, e.g. by curing or by ultrasonic bonding
    • B32B37/12—Methods or apparatus for laminating, e.g. by curing or by ultrasonic bonding characterised by using adhesives
    • B32B37/1284—Application of adhesive
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
    • C03C27/00—Joining pieces of glass to pieces of other inorganic material; Joining glass to glass other than by fusing
    • C03C27/06—Joining glass to glass by processes other than fusing
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B32—LAYERED PRODUCTS
    • B32B—LAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
    • B32B17/00—Layered products essentially comprising sheet glass, or glass, slag, or like fibres
    • B32B17/06—Layered products essentially comprising sheet glass, or glass, slag, or like fibres comprising glass as the main or only constituent of a layer, next to another layer of a specific material
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B32—LAYERED PRODUCTS
    • B32B—LAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
    • B32B37/00—Methods or apparatus for laminating, e.g. by curing or by ultrasonic bonding
    • B32B37/10—Methods or apparatus for laminating, e.g. by curing or by ultrasonic bonding characterised by the pressing technique, e.g. using action of vacuum or fluid pressure
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B32—LAYERED PRODUCTS
    • B32B—LAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
    • B32B37/00—Methods or apparatus for laminating, e.g. by curing or by ultrasonic bonding
    • B32B37/12—Methods or apparatus for laminating, e.g. by curing or by ultrasonic bonding characterised by using adhesives
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B32—LAYERED PRODUCTS
    • B32B—LAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
    • B32B38/00—Ancillary operations in connection with laminating processes
    • B32B38/0004—Cutting, tearing or severing, e.g. bursting; Cutter details
    • G—PHYSICS
    • G09—EDUCATION; CRYPTOGRAPHY; DISPLAY; ADVERTISING; SEALS
    • G09F—DISPLAYING; ADVERTISING; SIGNS; LABELS OR NAME-PLATES; SEALS
    • G09F9/00—Indicating arrangements for variable information in which the information is built-up on a support by selection or combination of individual elements
    • G09F9/30—Indicating arrangements for variable information in which the information is built-up on a support by selection or combination of individual elements in which the desired character or characters are formed by combining individual elements
    • G09F9/301—Indicating arrangements for variable information in which the information is built-up on a support by selection or combination of individual elements in which the desired character or characters are formed by combining individual elements flexible foldable or roll-able electronic displays, e.g. thin LCD, OLED
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B32—LAYERED PRODUCTS
    • B32B—LAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
    • B32B2457/00—Electrical equipment
    • B32B2457/20—Displays, e.g. liquid crystal displays, plasma displays

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Fluid Mechanics (AREA)
  • General Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Ceramic Engineering (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Geochemistry & Mineralogy (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Theoretical Computer Science (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Joining Of Glass To Other Materials (AREA)

Abstract

본 발명은 초박 유리 처리장치 및 초박 유리 처리방법에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 복수의 초박 유리를 적층하는 초박 유리 처리장치 및 초박 유리 처리방법에 관한 것이다.
본 발명의 일실시예에 따른 초박 유리 처리장치는 초박 유리를 지지하는 스테이지; 상기 스테이지에 지지된 초박 유리 상에 접착제를 제공하는 접착제 제공부; 및 복수의 기공을 갖는 다공성 플레이트를 포함하며, 상기 복수의 기공 중 적어도 일부를 통해 기체를 분사하여 상기 접착제가 개재되어 적층된 복수의 초박 유리 상에 가압력을 제공하는 비접촉 가압부;를 포함할 수 있다.

Description

초박 유리 처리장치 및 초박 유리 처리방법{Apparatus for processing ultra thin glass and method for processing ultra thin glass}
본 발명은 초박 유리 처리장치 및 초박 유리 처리방법에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 복수의 초박 유리를 적층하는 초박 유리 처리장치 및 초박 유리 처리방법에 관한 것이다.
최근 디스플레이(display) 제품은 변화와 혁신을 지속하여 비약적인 기술적 발전을 이루었다. 사용 기능이 다양해지고 제품 모양에 있어서도 진화를 거듭하여 휴대가 간편하면서도 편리한 제품 개발을 지속하였다. 향후의 제품 변화도 이러한 다기능 및 제품 모양의 간편, 편리성을 반영하여 끊임없이 발전될 것이고, 그 목표점은 구부릴 수 있는 벤더블(bendable), 접을 수 있는 폴더블(foldable), 말 수 있는 롤러블(rollable) 형태의 디스플레이 제품으로 지속 발전할 것이다.
이러한 벤더블, 폴더블, 롤러블 디스플레이와 같은 플렉서블(flexible) 디스플레이 제품을 구현하기 위해서는 최우선적으로 구부러지면서 제품 성능을 유지할 수 있는 디스플레이 부품이 필요하며, 종래에는 플렉서블 디스플레이 제품에 고강도 필름을 적용해 왔다. 하지만, 고강도 필름 제품은 굴곡 테스트에서 10만회 이하까지만 가능하고, 투과율도 96 % 이하인 단점를 갖는다. 이에 따라 최근에는 아주 얇으면서 10만회 이상의 접고 펴는 것이 가능하고 투과율도 98 % 이상인 가요성의 초박 유리(Ultra-Thin Glass; UTG) 개발에 집중하여 오고 있다.
이러한 초박 유리(UTG)는 150 ㎛ 이하로 너무 얇아 소정 크기 또는 모양으로 절단(cutting)하는 절단 가공 또는 엣지(edge) 가공 등의 가공 시에 다루기(handling) 어려울 뿐만 아니라 쉽게 깨져 버리는 등 파손되는 문제점이 있다.
이에 이러한 초박 유리를 다양한 제품 사이즈와 용도에 맞게 깨짐 불량 없이 안정적으로 제조할 수 있는 초박 유리를 처리하는 방법 및 장치가 요구되고 있다.
한국등록특허공보 제10-1334406호
본 발명은 비접촉 방식으로 복수의 초박 유리를 합착하는 초박 유리 처리장치 및 초박 유리 처리방법에 관한 것이다.
본 발명의 일실시예에 따른 초박 유리 처리장치는 초박 유리를 지지하는 스테이지; 상기 스테이지에 지지된 초박 유리 상에 접착제를 제공하는 접착제 제공부; 및 복수의 기공을 갖는 다공성 플레이트를 포함하며, 상기 복수의 기공 중 적어도 일부를 통해 기체를 분사하여 상기 접착제가 개재되어 적층된 복수의 초박 유리 상에 가압력을 제공하는 비접촉 가압부;를 포함할 수 있다.
상기 접착제의 높이와 상기 접착제 상에 적층된 초박 유리의 높이 중 적어도 어느 하나를 측정하는 높이측정부;를 더 포함할 수 있다.
상기 다공성 플레이트의 영역별로 기공의 내부압력을 선택적으로 제어하는 제어부;를 더 포함할 수 있다.
면가압을 위한 상기 다공성 플레이트의 영역별 상대압력변수 분포가 저장되는 압력변수분포 저장부;를 더 포함하고, 상기 제어부는 상기 압력변수분포 저장부에 저장된 상기 다공성 플레이트의 영역별 상대압력변수 분포에 따라 상기 다공성 플레이트의 영역별로 상기 기공의 내부압력을 선택적으로 제어할 수 있다.
상기 다공성 플레이트는 기공이 각각 형성되는 복수의 단위 플레이트로 이루어질 수 있다.
상기 비접촉 가압부는, 상기 다공성 플레이트와 연결되며, 상기 적어도 일부의 기공에 기체를 제공하는 가스공급원; 및 상기 다공성 플레이트와 연결되며, 상기 복수의 기공 중 나머지 일부의 기공에 음압을 형성하는 진공펌프 중 적어도 어느 하나를 더 포함할 수 있다.
상기 다공성 플레이트의 평면적은 상기 초박 유리의 평면적 이상일 수 있다.
상기 비접촉 가압부는 상기 초박 유리의 전체면에 동시에 상기 가압력을 제공할 수 있다.
상기 복수의 초박 유리가 적층된 초박유리 적층체를 가공하는 가공부;를 더 포함할 수 있다.
본 발명의 다른 실시예에 따른 초박 유리 처리방법은 스테이지 상에 제1 초박 유리를 지지하는 과정; 상기 스테이지에 지지된 제1 초박 유리 상에 접착제를 제공하는 과정; 상기 접착제 상에 제2 초박 유리를 제공하는 과정; 및 다공성 플레이트의 복수의 기공 중 적어도 일부를 통해 기체를 분사하여 상기 제2 초박 유리 상에 가압력을 제공하는 과정;을 포함할 수 있다.
상기 접착제의 높이를 측정하는 과정; 및 상기 다공성 플레이트에 의한 상기 가압력을 결정하는 과정;을 더 포함할 수 있다.
면가압을 위한 상기 다공성 플레이트의 영역별 상대압력변수 분포를 결정하는 과정;을 더 포함할 수 있다.
상기 다공성 플레이트의 영역별로 기공의 내부압력을 선택적으로 제어하는 과정;을 더 포함할 수 있다.
상기 다공성 플레이트는 기공이 각각 형성되는 복수의 단위 플레이트로 이루어지고, 상기 기공의 내부압력을 선택적으로 제어하는 과정은 상기 복수의 단위 플레이트 각각을 독립적으로 각각 제어하여 수행될 수 있다.
상기 영역별 상대압력변수 분포를 결정하는 과정은, 상기 다공성 플레이트 상에 예비 초박 유리를 제공하는 과정; 상기 복수의 기공 중 적어도 일부의 기공을 통해 기체를 분사하여 상기 예비 초박 유리를 부상시키는 과정; 부상된 예비 초박 유리의 평탄도를 측정하는 과정; 및 측정된 예비 초박 유리의 평탄도에 따라 상기 다공성 플레이트의 영역별로 상기 기공의 내부압력을 제어하여 상기 부상된 예비 초박 유리를 평탄화시키는 과정을 포함할 수 있다.
상기 부상된 예비 초박 유리를 평탄화시키는 과정은 상기 복수의 기공 중 일부에 다른 기공과 상이한 내부압력을 형성하는 과정을 포함할 수 있다.
상기 제2 초박 유리의 높이를 측정하는 과정; 및 측정된 상기 제2 초박 유리의 높이에 따라 상기 다공성 플레이트의 영역별로 상기 기공의 내부압력을 제어하는 과정;을 더 포함할 수 있다.
상기 제1 초박 유리와 상기 제2 초박 유리가 적층된 초박유리 적층체를 가공하는 과정;을 더 포함할 수 있다.
본 발명의 실시 형태에 따른 초박 유리 처리장치는 다공성 플레이트를 통해 기체를 분사하여 복수의 초박 유리(Ultra-Thin Glass; UTG)의 합착을 위한 가압력을 비접촉 방식으로 제공함으로써, 초박 유리 표면의 오염 및 파손(또는 손상)을 방지할 수 있다. 또한, 전면(全面) 합착 방식으로 초박 유리의 가압면(또는 표면) 전체적으로 동시에 가압력을 제공하여 복수의 초박 유리를 합착함으로써, 롤러(roller) 등을 이용하여 일부면씩 순차적으로 가압하는 경우보다 합착을 위한 공정시간(tact time)을 단축할 수도 있다.
그리고 높이측정부를 통해 도포된 접착제의 높이 및/또는 적층된 초박 유리의 표면 높이를 측정하여 다공성 플레이트의 영역별 기공의 내부압력을 제어(또는 보정)함으로써, 초박 유리의 영역별로 가압력(또는 기체압력)을 다르게 조절할 수 있고, 초박유리 적층체의 평탄도를 일정 수준으로 유지할 수 있다.
또한, 다공성 플레이트의 영역별 상대압력변수 분포를 다공성 플레이트의 복수의 기공에 적용하여 다공성 플레이트의 상태(예를 들어, 특성과 관련된 요인)에 따라 초박 유리의 전체면에 균일한 가압력이 제공되도록 할 수 있다.
그리고 다공성 플레이트를 복수의 단위 플레이트로 구성하여 각각의 단위 플레이트를 독립적으로 제어함으로써, 다공성 플레이트의 영역별로 기공의 내부압력을 제어하는 것이 용이해질 수 있다.
한편, 다공성 플레이트에 진공펌프가 연결되어 다공성 플레이트의 영역별로 기공의 내부압력을 제어(또는 조정)하면서 일부의 기공에 음압을 형성할 수도 있으며, 이에 따라 더욱 효과적으로 초박 유리의 전체면에 균일한 가압력을 제공할 수 있고, 복수의 초박 유리를 기울어짐 없이 평탄하게 합착시킬 수 있다.
도 1은 본 발명의 일실시예에 따른 초박 유리 처리장치를 나타낸 개략단면도.
도 2는 본 발명의 일실시예에 따른 접착제 제공부의 접착제 제공을 설명하기 위한 개념도.
도 3은 본 발명의 일실시예에 따른 복수의 단위 플레이트로 이루어진 다공성 플레이트를 나타낸 사시도.
도 4는 본 발명의 일실시예에 따른 가공부에 의한 절단 가공을 설명하기 위한 개념도.
도 5는 본 발명의 다른 실시예에 따른 초박 유리 처리방법을 나타낸 순서도.
도 6은 본 발명의 다른 실시예에 따른 가압력의 결정을 설명하기 위한 개념도.
도 7은 본 발명의 다른 실시예에 따른 다공성 플레이트의 영역별 상대압력변수 분포를 결정하는 과정을 나타낸 그림.
도 8은 본 발명의 다른 실시예에 따른 제2 초박 유리의 높이에 따른 다공성 플레이트의 영역별 기공의 내부압력 제어를 설명하기 위한 개념도.
이하에서는 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 더욱 상세히 설명하기로 한다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 것이며, 단지 본 실시예들은 본 발명의 개시가 완전하도록 하며, 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이다. 설명 중, 동일 구성에 대해서는 동일한 참조부호를 부여하도록 하고, 도면은 본 발명의 실시예를 정확히 설명하기 위하여 크기가 부분적으로 과장될 수 있으며, 도면상에서 동일 부호는 동일한 요소를 지칭한다.
도 1은 본 발명의 일실시예에 따른 초박 유리 처리장치를 나타낸 개략단면도이다.
도 1을 참조하면, 본 발명의 일실시예에 따른 초박 유리 처리장치(100)는 초박 유리(10)를 지지하는 스테이지(110); 상기 스테이지(110)에 지지된 초박 유리(10) 상에 접착제(20)를 제공하는 접착제 제공부(120); 및 복수의 기공(131a)을 갖는 다공성 플레이트(131)를 포함하며, 상기 복수의 기공(131a) 중 적어도 일부를 통해 기체를 분사하여 상기 접착제(20)가 개재되어 적층된 복수의 초박 유리(10) 상에 가압력을 제공하는 비접촉 가압부(130);를 포함할 수 있다.
스테이지(110)는 초박 유리(Ultra-Thin Glass; UTG, 10)를 지지할 수 있으며, 복수의 초박 유리(UTG, 10) 사이사이에 접착제(20)를 개재하여 초박유리(UTG) 적층체(50)를 형성하는 동안 최하층의 초박 유리(10)가 움직이지 않도록 고정할 수 있다. 예를 들어, 스테이지(110)는 다공성(porous)의 표면에 초박 유리(10)를 지지하여 흡착 고정할 수 있다. 이때, 초박 유리(10)를 흡착하는 흡착력에 의해 일부가 기공(pore)으로 빨려 들어가 초박 유리(10)가 휘어지거나 굴곡지지 않도록 기공의 폭(또는 직경)은 초박 유리(10)의 두께(Thickness; T) 이하일 수 있다. 여기서, 기공(들)의 크기가 일정하지 않은 경우에는 가장 큰 기공의 폭이 초박 유리(10)의 두께 이하일 수 있다.
여기서, 이송부(미도시)를 통해 스테이지(110) 상에 초박 유리(10)를 이송할 수 있으며, 이송부(미도시)는 초박 유리(10)의 서로 대향하는 양면 중 어느 한 면을 지지하여 이송할 수 있다. 예를 들어, 이송부(미도시)는 흡착 고정 방식으로 초박 유리(10)를 지지하여 이송할 수 있으며, 이송로봇으로 구성될 수 있다. 이때, 흡착 고정을 위한 이송부(미도시)의 기공도 스테이지(110)와 같이 초박 유리(10)의 두께 이하 폭(또는 직경)을 가질 수 있다. 여기서, 이송부(미도시)는 스테이지(110)에 접하는 최하층의 초박 유리(10)를 이송(또는 제공)할 수도 있고, 초박 유리(10) 상에 제공된 접착제(20) 상에 초박 유리(10)를 제공할 수도 있으며, 스테이지(110)를 향하는 면이 노출되도록 스테이지(110) 상에 초박 유리(10)를 이송할 수 있으면 족하다. 한편, 최하층의 초박 유리(10)는 이송부(미도시) 외의 다른 장치에 의해 스테이지(110) 상에 지지되어 스테이지(110)의 이동에 의해 공정 위치에 제공될 수도 있다.
도 2는 본 발명의 일실시예에 따른 접착제 제공부의 접착제 제공을 설명하기 위한 개념도로, 도 2(a)는 제1 접착제의 제공을 나타내고, 도 2(b)는 제2 접착제의 제공을 나타낸다.
도 2를 참조하면, 접착제 제공부(120)는 스테이지(110)에 지지된 초박 유리(10) 상에 접착제(20)를 제공할 수 있으며, 스테이지(110) 상에서 상부에 노출된 초박 유리(10)에 접하여 접착제(20)를 제공할 수 있고, 접착제(20)를 통해 복수의 초박 유리(10)를 접착시킬 수 있다. 이때, 접착제 제공부(120)는 초박 유리(10) 상에 점성을 갖는 액상의 접착제(20)를 도포하여 제공할 수 있으며, 수지(resin) 등 액상의 접착제(20)를 초박 유리(10) 상에 프린팅(printing)할 수 있다. 여기서, 접착제(20)는 자외선(Ultra-Violet; UV) 등의 빛에 의해 광경화(Photo-curing)될 수 있으며, 경화(curing)되는 경우에 접착력(adhesive force)이 향상될 수 있다.
예를 들어, 접착제(20)는 소정 파장의 빛이 조사될 경우에 급속히 경화될 수 있으며, 상기 소정 파장의 빛은 특정 파장대의 자외선(UV) 또는 가시광선(visible light)일 수 있다. 이때, 접착제(20)는 254 ㎚ 또는 365 ㎚ 파장대의 자외선에 의해 경화되는 광경화성 접착제(Light Cure Adhesive) 또는 UV 접착제(Ultra-Violet Ray Adhesive)일 수 있고, 접착제(20)의 내부에는 광개시제(Photoinitiator)가 함유될 수도 있다.
여기서, 접착제 제공부(120)는 초박 유리(10)의 가장자리부에 제1 접착제(21)를 제공할 수 있고, 초박 유리(10)의 중앙부에 제1 접착제(21)와 상이한 제2 접착제(22)를 제공할 수 있다. 여기서, 제1 접착제(21)와 제2 접착제(22)는 점성, 재료(또는 조성), 밀도, 물질 상태(예를 들어, 액체, 젤, 고체) 중 적어도 어느 하나가 상이할 수 있다. 예를 들어, 제1 접착제(21)와 제2 접착제(22)는 점성이 상이할 수 있으며, 이로 인해 재료 및/또는 밀도가 상이할 수도 있다. 그리고 제1 접착제(21)는 제1 파장의 빛에 의해 경화될 수 있고, 제2 접착제(22)는 상기 제1 파장과 상이한 제2 파장에 의해 경화될 수 있다.
접착제 제공부(120)는 초박 유리(10)의 가장자리부와 중앙부를 구분하여 접착제(20)를 제공할 수 있으며, 초박 유리(10)의 가장자리부에는 접착제(20)가(즉, 상기 제2 접착제 및/또는 상기 제1 접착제가) 초박 유리(10)를 벗어나 누출되는 것을 억제 또는 방지하기 위한 댐(dam)부 또는 씰(seal)부를 형성할 수 있고, 초박 유리(10)의 중앙부에는 상기 댐부 또는 상기 씰부가 둘러싼 공간 내에서 확산되어 복수의 초박 유리(10) 사이를 안정적으로 접착시키는 접착제(20)를(즉, 상기 제2 접착제를) 제공할 수 있다. 여기서, 제1 접착제(21)는 상기 댐부 또는 상기 씰부를 형성하는 접착제(20)일 수 있으며, 점성을 갖는 액상으로 이루어져 초박 유리(10)의 가장자리부 상에 도포될 수 있고, 효과적으로 상기 댐부 또는 상기 씰부를 형성할 수 있도록 점성이 높은 접착제(20)를 사용할 수 있다. 그리고 제2 접착제(22)는 비접촉 가압부(130)에 의한 가압에 의해 상기 댐부 또는 상기 씰부가 둘러싼 공간 내에서 확산되는 접착제(20)일 수 있으며, 점성을 갖는 액상으로 이루어져 초박 유리(10)의 중앙부 상에 도포될 수 있고, 복수의 초박 유리(10) 사이에서 효과적으로 확산될 수 있도록 제1 접착제(21)보다 점성이 낮은 접착제(20)를 사용할 수 있다.
예를 들어, 제1 접착제(21)와 제2 접착제(22)는 초박 유리(10) 상에 프린팅(printing)되어 제공될 수 있으며, 제1 접착제(21)는 제1 접착제 토출부(121)를 통해 초박 유리(10)의 가장자리를 따라(또는 둘러) 프린팅될 수 있고, 제2 접착제(22)는 제2 접착제 토출부(122)를 통해 상기 댐부 또는 상기 씰부가 둘러싼 공간 내(즉, 상기 초박 유리의 중앙부)에 프린팅될 수 있다.
비접촉 가압부(130)는 기체(gas)를 분사하여 접착제(20)가 개재되어 적층된 복수의 초박 유리(10) 상에 비접촉 방식으로 가압력을 제공할 수 있으며, 서로 대향하는(또는 접하는) 복수의 초박 유리(10)를 접근시켜 접착제(20)가 복수의 초박 유리(10) 사이에서 균일하게 확산되도록 할 수 있다. 예를 들어, 비접촉 가압부(130)는 스테이지(110) 상에 제공될 수 있으며, 스테이지(110) 상에 노출되는 상부의 초박 유리(10)를 전체적으로 서서히 가압하여 액상의 접착제(20)가 복수의 초박 유리(10) 사이에서 균일하게 확산되도록 할 수 있다.
여기서, 비접촉 가압부(130)는 복수의 기공(131a)을 갖는 다공성 플레이트(131)를 포함할 수 있고, 복수의 기공(131a) 중 적어도 일부를 통해 기체(예를 들어, 공기)를 분사할 수 있다. 여기서, 기공(131a)은 불규칙적으로 형성된 구멍(pore)일 수도 있고, 규칙적으로 배열되어 유로(path)를 형성하는 관통홀(hole)을 포함할 수 있다. 이때, 기공(131a)이 불규칙적으로 형성된 구멍인 경우에는 둘 이상의 구멍(들)이 연통되어 기체가 흐를 수 있는 채널(channel)을 형성할 수 있다. 예를 들어, 둘 이상의 기공(131a)이 연통됨으로써, 다공성 플레이트(131)의 서로 대향하는 제1 면과 제2 면을 연결(또는 연통)하는 채널을 형성할 수 있다.
복수의 기공(131a) 중 적어도 일부를 통해 기체를 분사하여 복수의 초박 유리(10) 상에 가압력을 제공함으로써, 비접촉 방식으로 복수의 초박 유리(10)를 합착할 수 있고, 초박 유리(10) 표면의 오염 및 파손(또는 손상)을 방지할 수 있다.
여기서, 비접촉 가압부(130)는 초박 유리(10)의 전체면(또는 전면)에 동시에 가압력을 제공할 수 있으며, 초박 유리(10)의 가압면(또는 표면) 전체적으로 동시에 가압할 수 있고, 초박 유리(10) 전체적으로 동시에 가압하여 복수의 초박 유리(10)를 합착하는 전면(全面) 합착 방식으로 복수의 초박 유리(10)를 합착할 수 있다. 이에 따라 롤러(roller) 등을 이용하여 초박 유리(10)의 일부면씩 순차적으로 가압하는 경우보다 복수의 초박 유리(10)의 합착을 위한 공정시간(tact time)을 단축할 수 있다.
이때, 다공성 플레이트(131)의 평면적은 초박 유리(10)의 평면적 이상일 수 있다. 다공성 플레이트(131)은 초박 유리(10)의 평면적 이상의 평면적을 가질 수 있으며, 초박 유리(10)의 전체면에 가압력(즉, 기체압력)을 제공하여 초박 유리(10)를 가압할 수 있고, 전면 합착 방식으로 복수의 초박 유리(10)를 합착할 수 있다. 예를 들어, 다공성 플레이트(131)의 평면적 전체에서 복수의 기공(131a)의 분포 면적을 초박 유리(10)의 평면적과 동일하게 하여 초박 유리(10)의 전체면에 기체를 분사할 수 있다. 이를 통해 초박 유리(10)의 전체면에 기체압력(또는 기압)을 제공할 수 있고, 초박 유리(10)를 가압할 수 있다. 한편, 복수의 기공(131a)의 내부압력을 선택적으로 제어하여 다공성 플레이트(131)의 영역별 기공(131a)에 의한 기체압력 분포를 조정하는 경우에 복수의 기공(131a) 중 일부에는 공기(또는 기체)를 빨아들이는 흡인력을 제공하는 음압(陰壓)이 형성될 수도 있다.
초박 유리(10)는 약 150 ㎛ 이하로 매우 얇으므로, 소정 크기(size) 또는 모양으로 절단(cutting)하는 절단 가공 또는 초박 유리(10)의 엣지(edge) 면을 다듬는 엣지 가공 등의 가공 시에 파지(handling)가 어려워 좌/우 흔들림이 심해질 수 밖에 없었으며, 이로 인해 정밀한 가공이 어려웠고, 쉽게 깨져 버리는 등 초박 유리(10)의 파손이 발생하였다.
이에, 본 발명에서는 접착제(20)를 통해 복수의 초박 유리(10)를 적층하여 초박유리 적층체(50)를 형성함으로써, 150 ㎛를 넘는 두께로 그 두께를 증가시켜 절단 가공 또는 엣지 가공 등의 가공 시에 파지가 용이해질 수 있으며, 안정적인 파지가 이루어져 정밀한 가공이 가능하고, 가공 시에 초박 유리(10)가 파손되는 것을 방지할 수 있다. 또한, 복수의 초박 유리(10)가 한 번에 가공될 수 있으며, 이에 따라 크기 등의 가공 균일성이 우수한 초박 유리(10)의 처리(processing)가 이루어질 수 있고, 절단 가공의 횟수가 줄어들어 초박 유리(10)의 처리를 위한 공정시간이 단축될 수도 있다.
본 발명에 따른 초박 유리 처리장치(100)는 접착제(20)의 높이와 접착제(20) 상에 적층된 초박 유리(10)의 높이 중 적어도 어느 하나를 측정하는 높이측정부(140);를 더 포함할 수 있다.
높이측정부(140)는 접착제(20)의 높이 및/또는 접착제(20) 상에 적층된 초박 유리(10)의 높이를 측정할 수 있으며, 복수의 지점에서 접착제(20)의 높이 및/또는 접착제(20) 상에 적층된 초박 유리(10)의 높이를 측정할 수 있다. 높이측정부(140)는 초박 유리(10) 상에 제공(또는 도포)되는 접착제(20)의 높이를 측정할 수 있으며, 적어도 2개 이상의 지점에서 좌우 및/또는 전후의 접착제(20)의 높이를 측정할 수 있고, 4개 이상의 지점에서 전후좌우의 접착제(20)의 높이를 측정할 수 있다. 이때, 측정된 접착제(20)의 높이(예를 들어, 평균 높이)를 이용하여 비접촉 가압부(130)를 통해 복수의 초박 유리(10) 상에 제공되는 가압력을 결정할 수 있고, 접착제(20)가 복수의 초박 유리(10) 사이에서 균일하게 확산될 수 있는 알맞은 가압력을 결정할 수 있다. 또한, 2개 이상의 지점에서 측정된 접착제(20)의 높이를 이용하여 초박 유리(10) 상에 제공된 접착제(20)의 평탄도(또는 수평도)를 계측할 수 있으며, 계측된 접착제(20)의 평탄도에 따라 다공성 플레이트(131)의 영역별 기공(131a)의 내부압력을 조절할 수 있고, 초박 유리(10)의 영역별로 가압력(또는 기체압력)을 다르게 할 수 있다. 예를 들어, 다공성 플레이트(131)의 영역별로 기공(131a)의 내부압력을 선택적으로 제어함으로써, 초박 유리(10)의 영역별로 제공되는 기공(131a)에 의한 기체압력(또는 가압력)을 조절할 수 있으며, 접착제(20)의 높이가 상대적으로 높은 영역에는 상대적으로 높은 기체압력을 제공할 수 있고, 접착제(20)의 높이가 상대적으로 낮은 영역에는 상대적으로 낮은 기체압력을 제공할 수 있다.
그리고 높이측정부(140)는 초박 유리(10)의 높이를 복수의 지점에서 측정할 수 있으며, 접착제(20) 상에 적층된 (최)상부의 초박 유리(10)의 높이를 측정할 수 있다. 여기서, 2개 이상의 지점에서 측정된 초박 유리(10)의 높이를 이용하여 초박 유리(10)의 좌우 평탄도 및/또는 전후 평탄도를 계측할 수 있으며, 전후좌우 모두의 평탄도를 계측(또는 측정)할 수 있도록 4개 이상의 지점에서 초박 유리(10)의 높이를 측정할 수 있다. 계측된 초박 유리(10)의 평탄도에 따라 초박 유리(10)의 영역별로 기공(131a)에 의한 기체압력을 조절할 수 있으며, 다공성 플레이트(131)의 영역별로 기공(131a)의 내부압력을 선택적으로 제어함으로써, 초박 유리(10)의 영역별로 제공되는 기공(131a)에 의한 기체압력을 조절할 수 있다. 예를 들어, 초박 유리(10)의 높이가 상대적으로 높은 지점(또는 영역)에는 상대적으로 높은 기체압력을 제공할 수 있고, 초박 유리(10)의 높이가 상대적으로 낮은 지점에는 상대적으로 낮은 기체압력을 제공할 수 있다. 이를 통해 복수의 초박 유리(10)가 합착되어 적층된 초박유리 적층체(50)의 평탄도를 일정 수준으로 유지할 수 있다.
이때, 높이측정부(140)는 접착제(20) 상에 올려놓아지기만 한 초박 유리(10)의 높이를 측정할 수도 있고, 가압되어 합착된 복수의 초박 유리(10) 중 (최)상부의 초박 유리(10)의 높이를 측정할 수도 있다. 접착제(20) 상에 올려놓아지기만 한 초박 유리(10)의 높이를 측정하는 경우에는 초박 유리(10)의 영역별로 제공되는 기공(131a)에 의한 기체압력을 제어하여 접착제(20) 상에 올려놓아진 초박 유리(10)에 대한 기체압력 (분포) 또는 가압력을 제공할 수 있고, 가압되어 합착된 복수의 초박 유리(10) 중 상부의 초박 유리(10)의 높이를 측정하는 경우에는 초박 유리(10)의 영역별로 제공되는 기공(131a)에 의한 기체압력을 제어하여 다음에 적층되는 초박 유리(10)에 대한 기체압력 또는 가압력을 제공할 수 있다.
한편, 높이측정부(140)는 예비 초박 유리(10a)를 이용한 다공성 플레이트(131)의 영역별 상대압력변수 분포를 결정하는 과정(S50)에도 이용할 수 있으며, 이에 대한 자세한 설명은 상기 상대압력변수 분포를 결정하는 과정(S50)에서 자세히 설명하기로 한다.
그리고 높이측정부(140)를 통해 접착제(20)의 높이 및/또는 접착제(20) 상에 적층된 초박 유리(10)의 높이를 측정하여 복수의 초박 유리(10) 상에 제공될 가압력을 결정할 수 있으며, 측정된 접착제(20)의 높이 및/또는 접착제(20) 상에 적층된 초박 유리(10)의 높이를 이용하여 계측된 접착제(20)의 평탄도 및/또는 초박 유리(10)의 평탄도에 따라 초박 유리(10)의 영역별로 제공되는 가압력이 달라지도록 할 수도 있다. 여기서, 본 발명의 초박 유리 처리장치(100)는 높이측정부(140)에 의해 측정된 접착제(20)의 높이와 접착제(20) 상에 적층된 초박 유리(10)의 높이 중 적어도 어느 하나를 이용하여 결정된 가압력 (분포)을 저장하는 가압력 저장부(미도시);를 더 포함할 수 있다. 가압력 저장부(미도시)에 저장된 가압력 (분포)에 따라 복수의 초박 유리(10) 상에 가압력을 제공하여 (최)상부의 초박 유리(10)를 가압할 수 있고, 복수의 초박 유리(10)를 합착시킬 수 있다.
본 발명에 따른 초박 유리 처리장치(100)는 다공성 플레이트(131)의 영역별로 기공(131a)의 내부압력을 선택적으로 제어하는 제어부(150);를 더 포함할 수 있다.
제어부(150)는 다공성 플레이트(131)의 영역별로 기공(131a)의 내부압력을 선택적으로 제어할 수 있으며, 이를 통해 다공성 플레이트(131)의 영역별 기공(131a)의 내부압력 분포를 조정(또는 조절)할 수 있고, 초박 유리(10)의 영역별로 제공되는 기공(131a)에 의한 기체압력을 조절할 수 있다. 이에, 높이측정부(140)를 이용하여 측정한 도포된 접착제(20)의 높이 및/또는 적층된 초박 유리(10)의 표면 높이에 따라 기공(131a)에 의한 기체압력 분포(또는 가압력)를 제어 및/또는 보정할 수 있다.
여기서, 제어부(150)는 복수의 기공(131a) 각각에 대해 독립적으로 내부압력을 제어할 수도 있고, 복수의 기공(131a)을 2개 이상씩 그룹화(grouping)하여 각 그룹마다 독립적으로 내부압력을 제어할 수도 있다. 예를 들어, 제어부(150)는 복수의 기공(131a)에 연결되어 기체를 공급하기 위한 가스공급관로(132a)에 각각 제공된 가스 밸브(132b) 및/또는 복수의 기공(131a)에 연결되어 복수의 기공(131a)에 진공(압)을 형성하기 위한 진공관로(133a)에 각각 제공된 진공 밸브(133b)를 제어하여 다공성 플레이트(131)의 영역별로 기공(131a)의 내부압력을 선택적으로 제어할 수 있다. 이때, 복수의 기공(131a) 각각에 대해 독립적으로 내부압력을 제어하는 경우에는 복수의 가스공급관로(132a) 및/또는 복수의 진공관로(133a)가 복수의 기공(131a)에 각각 연결되고 각 가스공급관로(132a) 및/또는 진공관로(133a)마다 가스 밸브(132b) 및/또는 진공 밸브(133b)가 제공될 수 있고, 복수의 기공(131a)을 2개 이상씩 그룹화하는 경우에는 복수의 기공(131a)에 각각 연결된 복수의 가스공급관로(132a) 및/또는 복수의 진공관로(133a)를 그룹화된 복수의 기공(131a)에 따라 그룹화하여 복수의 가스공급관로(132a) 및/또는 복수의 진공관로(133a)의 각 그룹마다 가스 밸브(132b) 및/또는 진공 밸브(133b)가 제공될 수 있다.
본 발명에 따른 초박 유리 처리장치(100)는 면(面)가압을 위한 다공성 플레이트(131)의 영역별 상대압력변수 분포가 저장되는 압력변수분포 저장부(155);를 더 포함할 수 있다.
압력변수분포 저장부(155)는 다공성 플레이트(131)를 통해 초박 유리(10)를 면가압하기 위한 다공성 플레이트(131)의 영역별 상대압력변수 분포가 저장될 수 있으며, 저장된 다공성 플레이트(131)의 영역별 상대압력변수 분포에 따라 다공성 플레이트(131)의 영역별로 기공(131a)의 내부압력을 제어하여 적어도 일부의 기공(131a)을 통해 기체를 분사할 수 있고, 초박 유리(10) 전체적으로 가압력을 제공할 수 있다. 여기서, 압력변수분포 저장부(155)에는 초박 유리(10)의 전체면에 균일한 가압력을 제공할 수 있는 다공성 플레이트(131)의 영역별 상대압력변수 분포가 저장될 수 있으며, 높이측정부(140)를 통해 측정된 접착제(20)의 높이 및/또는 접착제(20) 상에 적층된 초박 유리(10)의 높이에 따라 초박유리 적층체(50)를 평탄화시킬 수 있도록 다공성 플레이트(131)의 영역별로 기공(131a)의 상대압력변수를 보정(또는 제어)한 다공성 플레이트(131)의 영역별 기공(131a)의 상대압력변수 분포로 갱신(renewal)되어 저장될 수도 있다.
예를 들어, 압력변수분포 저장부(155)에는 다공성 플레이트(131)의 영역별 상대압력변수 분포가 테이블(table)화 또는 맵(map)화되어 저장될 수 있다. 테이블 또는 맵에 따라 각 영역 또는 각 기공(131a)에 상대압력변수를 반영하여 다공성 플레이트(131)의 영역별로 기공(131a)의 내부압력을 형성할 수 있다.
그리고 제어부(150)는 압력변수분포 저장부(155)에 저장된 상기 다공성 플레이트(131)의 영역별 상대압력변수 분포에 따라 다공성 플레이트(131)의 영역별로 기공(131a)의 내부압력을 선택적으로 제어할 수 있다. 즉, 제어부(150)는 상기 다공성 플레이트(131)의 영역별 상대압력변수 분포에 따라 다공성 플레이트(131)의 영역별로 기공(131a)의 내부압력을 선택적으로 제어함으로써, 초박 유리(10)의 전체면에 균일한 가압력이 제공되도록 할 수도 있고, 접착제(20) 및/또는 접착제(20) 상에 적층된 초박 유리(10)가 평탄하지 않아 기울어진 경우에 초박 유리(10)의 영역별로 상이한 가압력을 제공하여 초박유리 적층체(50)가 평탄화되도록 할 수도 있다.
도 3은 본 발명의 일실시예에 따른 복수의 단위 플레이트로 이루어진 다공성 플레이트를 나타낸 사시도이다.
도 3을 참조하면, 다공성 플레이트(131)는 기공(131a)이 각각 형성되는 복수의 단위 플레이트(131b)로 이루어질 수 있으며, 각 단위 플레이트(131b)에는 하나의 기공(131a)이 형성될 수도 있고, 복수의 기공(131a)이 형성될 수도 있다. 각 단위 플레이트(131b)에 하나의 기공(131a)이 형성되는 경우에는 각 단위 플레이트(131b)마다 하나의 가스공급관로(132a) 및/또는 진공관로(133a)를 연결하여 용이하게 각 기공(131a)의 내부압력을 독립적으로 제어할 수 있으며, 각 단위 플레이트(131b)에 복수의 기공(131a)이 형성되는 경우에는 각 단위 플레이트(131b)별로 복수의 기공(131a)이 그룹화될 수 있고, 각 단위 플레이트(131b)마다 가스공급관로(132a) 및/또는 진공관로(133a)를 연결하여 용이하게 각각 그룹화된 기공(131a)의 내부압력을 그룹별로 제어할 수 있다. 이를 통해 각 단위 플레이트(131b)별로 기공(131a)의 내부압력을 제어할 수 있고, 이에 따라 다공성 플레이트(131)의 영역별로 기공(131a)의 내부압력을 용이하게 제어(또는 조정)할 수 있다.
여기서, 제어부(150)는 복수의 단위 플레이트(131b) 각각에 대해 독립적으로 기공(131a)의 내부압력을 제어할 수 있으며, 각각의 단위 플레이트(131b)를 독립적으로 제어함으로써, 각 단위 플레이트(131b)마다 하나의 기공(131a)이 형성된 경우에 각 기공(131a)의 내부압력을 독립적으로 제어할 수 있고, 각 단위 플레이트(131b)마다 복수의 기공(131a)이 형성된 경우에 각 단위 플레이트(131b)별로 그룹화된 기공(131a)(들)을 그룹별로 제어할 수 있다. 이때, 복수의 단위 플레이트(131b)의 개수는 접착제(20)의 높이 및/또는 초박 유리(10)의 높이를 측정하는 상기 복수의 지점의 개수 이상일 수 있다. 이를 통해 상기 복수의 지점에서의 높이 차이에 맞추어 각 단위 플레이트(131b)의 기공(131a)의 내부압력을 결정할 수 있으며, 초박유리 적층체(50)의 평탄도를 일정 수준으로 유지하면서 복수의 초박 유리(10)를 적층하여 합착할 수 있다.
비접촉 가압부(130)는 다공성 플레이트(131)와 연결되며, 상기 적어도 일부의 기공(131a)에 기체를 제공하는 가스공급원(132); 및 다공성 플레이트(131)와 연결되며, 복수의 기공(131a) 중 나머지 일부의 기공(131a)에 음압을 형성하는 진공펌프(133) 중 적어도 어느 하나를 더 포함할 수 있다. 가스공급원(132)는 다공성 플레이트(131)와 연결될수 있고, 가스공급관로(132a)를 통해 상기 적어도 일부의 기공(131a)에 기체를 제공할 수 있다. 여기서, 가스공급관로(132a)는 모든 복수의 기공(131a)에 연결될 수 있으며, 각 가스공급관로(132a)에 제공된 가스 밸브(132b)가 제어부(150)에 의해 각각 제어되어, 복수의 기공(131a)에 선택적으로 기체가 제공될 수 있고, 복수의 기공(131a) 중 적어도 일부의 기공(131a)에 기체를 제공할 수 있다. 이때, 가스 밸브(132b)는 기공(131a)에 공급되는 기체량(또는 가스량)을 조절할 수도 있고, 기공(131a)에 공급되는 기체량에 따라 기공(131a)의 내부압력(또는 분사압)이 결정될 수 있다.
진공펌프(133)는 다공성 플레이트(131)와 진공관로(133a)를 통해 연결될 수 있으며, 공기(또는 기체)를 빨아들여(또는 흡인하여) 복수의 기공(131a) 중 나머지 일부의 기공(131a)에 음압(또는 진공압)을 형성할 수 있다. 여기서, 진공관로(133a)는 모든 복수의 기공(131a)에 연결될 수 있으며, 모든 복수의 기공(131a)에 기체의 분사(즉, 양압)가 필요한 경우에는 모든 복수의 기공(131a)에 음압이 형성되지 않을 수도 있다. 즉, 각 진공관로(133a)에 제공된 진공 밸브(133b)가 제어부(150)에 의해 각각 제어되어, 복수의 기공(131a)에 선택적으로 음압이 형성될 수 있고, 복수의 기공(131a) 중 나머지 일부의 기공(131a)에 음압을 형성할 수 있다. 이때, 복수의 초박 유리(10) 상에 기체 분사에 의한 가압력을 제공하여야 하므로, 복수의 기공(131a) 중 음압이 형성되는 기공(131a)은 없어도 되지만, 복수의 기공(131a) 중 기체를 분사하는 기공(131a)은 없으면 안되고, 꼭 필요하다. 한편, 진공 밸브(133b)는 기공(131a)에 형성되는 진공압(또는 음압)의 세기를 조절할 수도 있고, 기공(131a)에 형성되는 진공압에 따라 기공(131a)의 내부압력(또는 흡인력)이 결정될 수 있다.
평탄화되어 접착제(20) 상에 제공된 초박 유리(10)가 평탄화된 상태를 유지하면서 기울어지지 않고 가압되거나, 기울어져 적층된 초박 유리(10)가 가압에 의해 평탄화되기 위해서는 기체압력의 분포(즉, 상기 다공성 플레이트의 영역별 상대압력변수 분포)가 중요하다. 이때, 기공(131a)에서 기체가 분사되는 세기(즉, 양압)로만 기체압력의 분포를 조절하게 되면, 일부 부분(또는 일부 영역)에 위치하는 기공(131a)의 분사압을 낮춰주거나, 상기 일부 부분에 위치하는 기공(131a)에 대한 기체 공급을 차단(또는 중지)하더라도 주변(또는 주위)의 기공(131a)(들)에서 분사되는 기체의 분사압에 영향을 받아 상기 일부 부분에 대응되는 초박 유리(10)의 (일부) 부분에도 가압력이 제공되게 된다. 이로 인해 초박 유리(10)의 어느 부분은 가압하여 눌러주고, 초박 유리(10)의 다른 어느 부분은 빨아(또는 흡인하여) 당겨주는 것을 할 수 없으며, 이에 따라 초박 유리(10)의 평탄화를 유지하면서 초박 유리(10)를 가압하거나, 기울어진 초박 유리(10)를 평탄화시키면서 초박 유리(10)를 가압하는 것도 할 수 없게 된다.
하지만, 진공펌프(133)를 통해 상기 일부 부분에 위치하는 기공(131a)에 음압을 형성하게 되면, 주변의 기공(131a)(들)에서 분사되는 기체의 분사압(즉, 양압)에 의한 영향을 상기 음압으로 상쇄시켜 상기 일부 부분에 대응되는 초박 유리(10)의 (일부) 부분에 빨아 당겨주는 흡인력이 제공될 수 있으며, 이를 통해 초박 유리(10)의 어느 부분(즉, 상기 일부 부분에 대응되는 초박 유리의 부분과 다른 부분)은 가압하여 눌러주고, 초박 유리(10)의 다른 어느 부분(즉, 상기 일부 부분에 대응되는 초박 유리의 부분)은 빨아 당겨줄 수 있다. 이에 따라 초박 유리(10)의 각 부분에서의 가압력과 흡인력을 조절하여 초박 유리(10)의 평탄화를 유지하면서 초박 유리(10)를 가압할 수 있고, 기울어진 초박 유리(10)를 평탄화시키면서 초박 유리(10)를 가압할 수 있다.
도 4는 본 발명의 일실시예에 따른 가공부에 의한 절단 가공을 설명하기 위한 개념도로, 도 4(a)는 커팅 휠을 이용한 초박유리 적층체의 절단을 나타내고, 도 4(b)는 일정 크기의 적층체 유닛으로 분리된 초박유리 적층체를 나타낸다.
도 4를 참조하면, 본 발명에 따른 초박 유리 처리장치(100)는 복수의 초박 유리(10)가 적층된 초박유리 적층체(50)를 가공하는 가공부;를 더 포함할 수 있다.
상기 가공부는 복수의 초박 유리(10)가 적층된 초박유리 적층체(50)를 가공할 수 있으며, 소정 크기 또는 모양으로 절단하는 절단 가공 및/또는 엣지 면을 다듬는 엣지 가공 등의 가공을 수행할 수 있다. 여기서, 상기 절단 가공은 초박유리 적층체(50)를 필요한 일정 크기로 절단하여 적층체 유닛(laminate unit, 5)으로 분리(또는 분할)할 수 있다. 예를 들어, 상기 가공부는 커팅 휠(cutting wheel, 161)을 포함할 수 있으며, 상기 절단 가공에서는 다이아몬드 연마제로 만들어진 커팅 휠(161)이 장착된 컴퓨터 수치제어(Computer Numerical Control; CNC) 절단기를 사용하여 일정한 크기의 적층체 유닛(5)으로 절단(또는 분리)할 수 있다. 한편, 상기 가공부는 레이저(laser)를 이용하는 레이저 컷팅 방식으로 초박유리 적층체(50)를 절단할 수도 있다.
그리고 상기 엣지 가공은 초박유리 적층체(50) 및/또는 적층체 유닛(5)의 엣지 면에 칩핑(chipping)을 제거할 수 있다. 예를 들어, 폴리싱(polishing) 휠을 사용하여 초박유리 적층체(50) 및/또는 형상 가공된 적층체 유닛(5)의 엣지 면에 존재하는 미세한 칩핑을 제거할 수 있다. 이때, 폴리싱 휠의 표면 재료는 곱고 내구성이 좋은 천을 사용할 수 있다. 초박유리 적층체(50) 및/또는 적층체 유닛(5)의 복수의 초박 유리(10) 각각의 엣지 면이 “C”자 형태로 라운드가 진 C각을 형성하기 위해 화학 엣지연마를 할 수도 있다. 초박유리 적층체(50) 및/또는 적층체 유닛(5)을 화학 엣지 힐링 장비에 견고하게 장착한 후에 화학 연마액이 충액된 엣지 힐링수조에 충분히 잠기게 위치하게 하여, 초박유리 적층체(50) 및/또는 적층체 유닛(5)을 천천히 회전시키면서 엣지 면 전체가 골고루 힐링이 될 수 있도록 화학 연마를 진행할 수 있다. 이를 통해 초박 유리(10)가 우수한 엣지 강도를 가질 수 있으며, 초박 유리(10)의 굴곡강도를 향상시킬 수 있고, 초박유리 적층체(50) 및/또는 적층체 유닛(5)으로부터 복수의 초박 유리(10) 각각의 분리가 용이해질 수도 있다.
본 발명에서는 접착제(20)를 통해 복수의 초박 유리(10)를 적층하여 초박유리 적층체(50)를 형성함으로써, 150 ㎛를 넘는 두께로 그 두께를 증가시킨 후에 절단 가공 또는 엣지 가공 등의 가공 시에 파지가 용이해질 수 있으며, 안정적인 파지가 이루어져 정밀한 가공이 가능하고, 가공 시에 초박 유리(10)가 파손되는 것을 방지할 수 있다. 또한, 복수의 초박 유리(10)가 한 번에 가공될 수 있으며, 이에 따라 크기 등의 가공 균일성이 우수한 초박 유리(10)의 처리(processing)가 이루어질 수 있고, 절단 가공의 횟수가 줄어들어 초박 유리(10)의 처리를 위한 공정시간이 단축될 수도 있다.
한편, 초박 유리(10)는 10 내지 150 ㎛의 두께를 가질 수 있고, 초박유리 적층체(50)는 2 내지 50장의 초박 유리(10)가 적층되어 형성될 수 있다. 유리(glass)는 일반적으로 취성(brittleness)을 가지며, 그 두께가 150 ㎛를 초과하여 경도까지 갖게 되는 경우에는 잘 구부러지지 않고 억지로 구부리게 되면 깨져 버리는 문제가 발생하게 되고, 제품 성능을 유지하면서 구부러지게 할 수 없어 플렉서블(flexible) 디스플레이(display)에 적용하지 못하게 된다. 이에 따라 400 ㎛ 이상의 두께를 갖는 원판 유리를 식각액으로 부식시켜 식각(etching)함으로써, 두께를 줄여 10 내지 150 ㎛의 두께를 갖는 초박 유리(10)를 제조(또는 마련)할 수 있으며, 초박 유리(10)가 10 내지 150 ㎛의 두께를 가질 수 있다.
최근에는 폴더블(foldable) 디스플레이에 적용할 수 있도록 굽힘 반경(bend Radius; R)이 1 내지 10 ㎜인 초박 유리(10)가 요구되고 있으며, 본 발명의 초박 유리(10)는 굽힘 반경이 1 내지 10 ㎜일 수 있다. 여기서, 초박 유리(10)의 가요성(flexibility)은 굽힘 반경으로 특징될 수 있으며, 굽힘 반경(R)은 초박 유리(10)의 굽힘 위치에서 내측 곡률(inner curvature)로서 측정될 수 있고, 초박 유리(10)의 두께(T), 영률(Young's modulus) 및 굽힘 강도(bending strength)에 의해 결정될 수 있다. 이때, 초박 유리(10)의 매우 얇은 두께, 낮은 영률 및 높은 굽힘 강도가 초박 유리(10)의 낮은 굽힘 반경 및 우수한 가요성에 기여한다. 150 ㎛ 이하의 두께에서는 초박 유리(10)가 가요성을 가질 수 있지만, 100 내지 150 ㎛의 두께를 갖는 초박 유리(10)는 벤더블(bendable) 수준의 굽힘(bending)만 가능할 뿐이고, 접을 수 있도록 굽힘 반경(R)이 1 내지 10 ㎜인 폴더블 수준의 굽힘은 불가능하다. 이에, 상기 폴더블 수준의 굽힘이 가능할 수 있도록 바람직하게는 초박 유리(10)는 10 내지 100 ㎛의 두께를 가질 수 있다.
초박 유리(10)는 높은 굽힘 강도 및/또는 낮은 영률을 갖기 위해 화학 강화(chemical strengthening)된 초박 유리(10)일 수 있다. 여기서, 상기 화학 강화는 초박 유리(10)의 표면 및/또는 가장자리의 코팅(coating)에 의해 수행될 수 있다. 예를 들어, 상기 화학 강화에서는 초박 유리(10)의 표면에 압축 응력층을 형성하여 초박 유리(10)의 표면을 강화할 수 있다. 즉, 초박 유리(10)는 표면에 상기 압축 응력층을 포함할 수 있으며, 상기 화학 강화에 의해 표면에 압축 응력층이 형성된 초박 유리(10)일 수 있다. 상기 압축 응력층은 초박 유리(10)의 표면에서의 이온 교환에 의해 초박 유리(10)의 표면 상에 형성될 수 있으며, 압축 응력은 초박 유리(10)가 구부러질 때에 인장 응력에 대응할 수 있다. 이에 따라 초박 유리(10)의 굽힘 강도가 향상될 수 있고, 초박 유리(10)에 대한 핸들링 및 가공이 용이해질 수 있으며, 초박 유리(10)의 굽힘 반경이 작아질 수 있고, 초박 유리(10)의 가요성이 향상될 수 있다.
이때, 알칼리(예를 들어, Li, Na, K 등) 및/또는 알루미늄(Al) 함유 조성을 갖는 초박 유리(10)는 특정 두께(예를 들어, 약 100 ㎛ 이하)에서 높은 기계적 강도를 얻을 수 있을 뿐만 아니라 우수한 가요성 및 굽힘성을 얻을 수 있다. 알칼리 금속 산화물(예를 들어, K2O, Na2O 및 Li2O)을 유리 가공 개질제로서 사용하여 초박 유리(10) 내에 존재하는 나트륨(Na) 및 리튬(Li)과 Na+/Li+, Na+/K+ 및 Li+/K+의 이온 교환을 발생시킴으로써, 상기 압축 응력층을 형성하고, 초박 유리(10)를 화학 강화할 수 있다.
예를 들어, 상기 화학 강화는 초박 유리(10) 내의 알칼리 이온과 교환하기 위한 1가 이온을 함유하는 염욕(salt bath) 내로 초박 유리(10)를 침지(dipping)시킴으로써, 수행될 수 있으며, 염욕 중의 1가 이온의 직경은 초박 유리(10) 내의 알칼리 금속 이온의 직경보다 클 수 있고, 이에 따라 이온 교환 후에 초박 유리(10)의 표면 상에 작용하는 압축 응력을 생성할 수 있다. 이를 통해 초박 유리(10)의 굽힘 강도 및 가요성이 향상될 수 있으며, 상기 화학 강화에 의해 유도된 압축 응력(Compressive Stress; CS)은 초박 유리(10)의 스크래치(scratch) 저항성을 증가시켜 초박 유리(10)가 쉽게 스크래치가 나지 않도록 할 수 있고, 이온 교환층의 깊이(Depth of ion-exchange Layer; DoL)는 스크래치 내성(scratch tolerance)을 증가시켜 스크래치가 나도 초박 유리(10)가 덜 깨지도록 할 수 있다.
상기 화학 강화에 가장 통상적으로 사용되는 염은 Na+ 함유 용융 염 또는 K+ 함유 용융 염 또는 이들의 혼합물이다. 흔히 사용되는 염은 NaNO3, KNO3, NaCl, KCl, K2SO4, Na2SO4 및 Na2CO3를 포함할 수 있고, NaOH, KOH 및 기타 나트륨 염 또는 칼륨 염 또는 세슘 염과 같은 첨가제가 상기 화학 강화를 위한 이온 교환 속도의 보다 우수한 제어를 위해 사용될 수 있다.
한편, 초박 유리(10)는 탄산나트륨(Na2CO3)을 포함하는 소다 석회 유리(soda-lime glass)일 수 있으며, 초박 유리(10) 표면의 나트륨 이온(Na+)의 일부가 유리 전이 온도(또는 연화점) 이상에서 이온 반지름이 보다 큰 칼륨 이온(K+) 등과 대체될 수 있다. 즉, 초박 유리(10)의 구조에서 Na+가 들어있던 초박 유리(10)의 내부 공간에 입자가 큰 K+를 넣어 Na+가 들어있던 작은 공간을 꽉 차게 들어가게 해서 초박 유리(10)의 표면을 더욱 강하게 압축해 뛰어난 탄력성을 갖도록 할 수 있고, 표면 흠집에 강할 수 있다. 칼륨 이온(K+)은 나트륨 이온(Na+)보다 입자가 크기 때문에 더 많은 공간을 차지하게 되고, 이 상태에서 초박 유리(10)가 냉각되면 압축 응력이 강한 층(즉, 상기 압축 응력층)이 초박 유리(10)의 표면에 형성되어 흠집과 스크래치를 막아주는 내구성을 가질 수 있다. 그리고 초박 유리(10)는 알칼리 함유 유리(예를 들어, 알칼리 실리케이트 유리, 알칼리 보로실리케이트 유리, 알칼리 알루미노보로실리케이트 유리, 알칼리 붕소 유리, 알칼리 게르마네이트 유리, 알칼리 보로게르마네이트 유리 및 이들의 조합)일 수 있으며, 이온 교환 및 상기 화학 강화가 가능하도록 알칼리를 함유할 수 있다.
초박유리 적층체(50)는 2 내지 50장의 초박 유리(10)가 적층되어 형성될 수 있다. 150 ㎛(0.15㎜)를 넘는 두께를 갖는 유리는 1장 단위로 물리적 연마법을 사용하여 엣지 가공 등의 가공이 가능하고 유리의 가장자리(edge)에 “C”자 형태로 라운드가 진 C각 형성도 가능하지만, 150 ㎛ 이하의 두께를 갖는 초박 유리(10)에서는 100 % 파손되므로, 1장 단위로 물리적 연마법을 적용할 수 없다. 초박 유리(10)를 한 장씩 가공함으로 인해 100 % 파손되는 것을 방지하기 위해서 2 내지 50장의 초박 유리(10)를 적층하여 150 ㎛를 넘는 두께를 갖는 초박유리 적층체(50)를 형성한 후에 절단 가공, 엣지 가공 등의 가공을 수행할 수 있다. 초박유리 적층체(50)를 형성한 후에 복수의 초박 유리(10)를 한 번에 가공하는 경우에는 150 ㎛을 넘는 두께를 갖게 되어 절단 가공 또는 엣지 가공 등의 가공 시에 파지가 용이해질 수 있으며, 안정적인 파지가 이루어져 정밀한 가공이 가능하고, 가공 시에 초박 유리(10)가 파손되는 것을 방지할 수 있다. 또한, 복수의 초박 유리(10)가 한 번에 가공됨으로써, 크기 등의 가공 균일성이 우수한 초박 유리(10)의 처리가 이루어질 수 있고, 절단 가공 등의 가공 횟수가 줄어들어 초박 유리(10)의 처리를 위한 공정시간이 단축될 수도 있다.
도 5는 본 발명의 다른 실시예에 따른 초박 유리 처리방법을 나타낸 순서도이다.
도 5를 참조하여 본 발명의 다른 실시예에 따른 초박 유리 처리방법을 보다 상세히 살펴보는데, 본 발명의 일실시예에 따른 초박 유리 처리장치와 관련하여 앞서 설명된 부분과 중복되는 사항들은 생략하도록 한다.
본 발명의 다른 실시예에 따른 초박 유리 처리방법은 스테이지(110) 상에 제1 초박 유리(11)를 지지하는 과정(S100); 상기 스테이지(110)에 지지된 제1 초박 유리(11) 상에 접착제(20)를 제공하는 과정(S200); 상기 접착제(20) 상에 제2 초박 유리(12)를 제공하는 과정(S300); 및 다공성 플레이트(131)의 복수의 기공(131a) 중 적어도 일부를 통해 기체를 분사하여 상기 제2 초박 유리(12) 상에 가압력을 제공하는 과정(S400);을 포함할 수 있다.
먼저, 스테이지(110) 상에 제1 초박 유리(11)를 지지한다(S100). 스테이지(110) 상에 제1 초박 유리(11)를 지지할 수 있으며, 접착제(20)를 통해 제1 초박 유리(11) 상에 제2 초박 유리(12)를 적층하여 초박유리 적층체(50)를 형성하는 동안 제1 초박 유리(10)가 움직이지 않도록 고정할 수 있다. 예를 들어, 스테이지(110)는 다공성(porous)의 표면에 제1 초박 유리(11)를 지지하여 흡착 고정할 수 있다.
다음으로, 상기 스테이지(110)에 지지된 제1 초박 유리(11) 상에 접착제(20)를 제공한다(S200). 스테이지(110)에 지지된 제1 초박 유리(11) 상에 접착제(20)를 제공할 수 있으며, 접착제(20)를 통해 제1 초박 유리(11)와 제2 초박 유리(12)를 접착시킬 수 있다. 이때, 접착제 제공부(120)를 이용할 수 있으며, 제1 초박 유리(11) 상에 점성을 갖는 액상의 접착제(20)를 도포하여 제공할 수 있으며, 수지(resin) 등 액상의 접착제(20)를 제1 초박 유리(11) 상에 프린팅(printing)할 수 있다. 여기서, 접착제(20)는 자외선(UV) 등의 빛에 의해 광경화될 수 있으며, 경화되는 경우에 접착력이 향상될 수 있다.
그 다음 상기 접착제(20) 상에 제2 초박 유리(12)를 제공한다(S300). 접착제(20) 상에 제2 초박 유리(12)를 제공함으로써, 접착제(20)를 통해 제1 초박 유리(11)와 제2 초박 유리(12)를 접착시킬 수 있다. 여기서, 제1 초박 유리(11)와 제2 초박 유리(12)는 동일한 초박 유리(10)일 수 있고, 적층 순서에 따라 구분한 것일 수 있다.
그리고 다공성 플레이트(131)의 복수의 기공(131a) 중 적어도 일부를 통해 기체(예를 들어, 공기)를 분사하여 상기 제2 초박 유리(12) 상에 가압력을 제공한다(S400). 제2 초박 유리(12) 상에 가압력을 제공할 수 있으며, 서로 대향하는 제1 초박 유리(11)와 제2 초박 유리(12)를 접근시켜 접착제(20)가 제1 초박 유리(11)와 제2 초박 유리(12) 사이에서 균일하게 확산되도록 할 수 있다. 예를 들어, 스테이지(110) 상에 노출되는 제2 초박 유리(12)를 서서히 가압하여 액상의 접착제(20)가 제1 초박 유리(11)와 제2 초박 유리(12) 사이에서 균일하게 확산되도록 할 수 있다. 여기서, 다공성 플레이트(131)는 복수의 기공(131a)을 가질 수 있으며, 기공(131a)은 불규칙적으로 형성된 구멍(pore)일 수도 있고, 규칙적으로 배열되어 유로(path)를 형성하는 관통홀(hole)을 포함할 수 있다. 이때, 다공성 플레이트(131)는 복수의 기공(131a) 중 적어도 일부를 통해 기체를 분사할 수 있다. 복수의 기공(131a) 중 적어도 일부를 통해 기체를 분사하여 (최)상부의 초박 유리(10) 상에 가압력을 제공함으로써, 비접촉 방식으로 복수의 초박 유리(10)를 합착할 수 있고, (최)상부의 초박 유리(10) 표면의 오염 및 파손을 방지할 수 있다.
즉, 다공성 플레이트(131)를 통해 기체를 분사하여 비접촉 방식으로 제2 초박 유리(12) 상에 가압력을 제공함으로써, 제2 초박 유리(12) 표면의 오염 및 파손을 방지하면서 제1 초박 유리(11)와 제2 초박 유리(12)를 합착할 수 있다.
제1 초박 유리(11)와 제2 초박 유리(12)는 접착제(20)에 의해 적층되어 초박유리 적층체(50)를 형성할 수 있으며, 2 내지 50장의 초박 유리(10)가 적층된 초박유리 적층체(50)를 형성할 수 있다. 150 ㎛(0.15㎜)를 넘는 두께를 갖는 유리는 1장 단위로 물리적 연마법을 사용하여 엣지 가공 등의 가공이 가능하고 유리의 가장자리에 “C”자 형태로 라운드가 진 C각 형성도 가능하지만, 150 ㎛ 이하의 두께를 갖는 제1 초박 유리(11) 또는 제2 초박 유리(12)에서는 100 % 파손되므로, 1장 단위로 물리적 연마법을 적용할 수 없다. 제1 초박 유리(11) 또는 제2 초박 유리(12)를 한 장씩 가공함으로 인해 100 % 파손되는 것을 방지하기 위해서 150 ㎛를 넘는 두께로 제1 초박 유리(11) 상에 1 내지 49장의 제2 초박 유리(12)를 적층하여 초박유리 적층체(50)를 형성한 후에 절단 가공, 엣지 가공 등의 가공을 수행할 수 있다. 초박유리 적층체(50)를 형성한 후에 제1 초박 유리(11)와 제2 초박 유리(12)를 한 번에 가공하는 경우에는 150 ㎛를 넘는 두께를 갖게 되어 절단 가공 또는 엣지 가공 등의 가공 시에 파지가 용이해질 수 있으며, 안정적인 파지가 이루어져 정밀한 가공이 가능하고, 가공 시에 제1 초박 유리(11) 또는 제2 초박 유리(12)가 파손되는 것을 방지할 수 있다. 또한, 제1 초박 유리(11)와 제2 초박 유리(12)가(즉, 복수의 초박 유리가) 한 번에 가공됨으로써, 크기 등의 가공 균일성이 우수한 초박 유리(10)의 처리가 이루어질 수 있고, 절단 가공 등의 가공 횟수가 줄어들어 복수의 초박 유리(10)의 처리를 위한 공정시간이 단축될 수도 있다.
여기서, 3장 이상의 초박 유리(10)가 적층된 초박유리 적층체(50)를 형성할 수도 있으며, 3장의 초박 유리(10)가 적층된 초박유리 적층체(50)를 형성하기 위해 제2 초박 유리(12) 상에 제3 초박 유리(13)를 더 적층할 수 있고, n장의 초박 유리(10)가 적층된 초박유리 적층체(50)를 형성하기 위해 제2 초박 유리(12) 상에 제n 초박 유리(10n)까지 n-2장의 초박 유리(10)를 더 적층할 수 있다. 이때, 합착되어 (최)상부에 노출된 초박 유리(10)의 표면(예를 들어, 상기 제2 초박 유리의 표면)에 접착제(20)를 제공하면서 n-2장의 초박 유리(10)를 더 적층할 수 있다. 제1 초박 유리(11), 제2 초박 유리(12) 및 제3 초박 유리(13)는 초박 유리(10)의 층수에 따라 구분한 것일 수 있고, n층의 초박 유리(10)는 제n 초박 유리(10n)일 수 있다.
도 6은 본 발명의 다른 실시예에 따른 가압력의 결정을 설명하기 위한 개념도로, 도 6(a)는 접착제의 높이 불균일에 따른 가압력의 결정에 의한 불균일한 다공성 플레이트의 영역별 기체압력 분포를 나타내고, 도 6(b)는 불균일한 다공성 플레이트의 영역별 기체압력 분포를 통해 평탄하게 합착된 제1 초박 유리와 제2 초박 유리를 나타낸다.
도 6을 참조하면, 본 발명에 따른 초박 유리 처리방법은 접착제(20)의 높이를 측정하는 과정(S250); 및 다공성 플레이트(131)에 의한 상기 가압력을 결정하는 과정(S260);을 더 포함할 수 있다.
접착제(20)의 높이를 측정할 수 있다(S250). 높이측정부(140)를 이용하여 초박 유리(10) 상(예를 들어, 상기 제1 초박 유리 상)에 제공되는 접착제(20)의 높이를 측정할 수 있고, 복수의 지점에서 접착제(20)의 높이를 측정할 수 있으며, 적어도 2개 이상의 지점에서 좌우 및/또는 전후의 접착제(20)의 높이를 측정할 수도 있고, 4개 이상의 지점에서 전후좌우의 접착제(20)의 높이를 측정할 수도 있다.
그리고 다공성 플레이트(131)에 의한 상기 가압력을 결정할 수 있다(S260). 측정된 접착제(20)의 높이(예를 들어, 평균 높이)를 이용하여 비접촉 가압부(130)를 통해 (최)상부의 초박 유리(10) 상(예를 들어, 상기 제2 초박 유리 상)에 제공되는 다공성 플레이트(131)에 의한 상기 가압력을 결정할 수 있으며, 접착제(20)가 복수의 초박 유리(10) 사이(예를 들어, 상기 제1 초박 유리와 상기 제2 초박 유리 사이)에서 균일하게 확산될 수 있는 알맞은 가압력을 결정할 수 있다. 예를 들어, 접착제(20)의 높이가 높아 접착제(20)의 양이 많은 경우에는 접착제(20)가 초박 유리(10) 상(예를 들어, 상기 제1 초박 유리 상)에서 넘쳐흘러 누출되지 않도록 낮은 가압력을 제공할 수 있고, 접착제(20)의 높이가 낮아 접착제(20)의 양이 적은 경우에는 접착제(20)가 초박 유리(10) 상(예를 들어, 상기 제1 초박 유리 상)에 골고루 퍼질 수 있도록 낮은 가압력을 제공할 수 있다. 이때, 접착제(20)의 양이 많지 않아 접착제(20)가 초박 유리(10) 상에서 넘쳐흘러 누출될 염려가 없는 경우에는 접착제(20)의 높이에 비례하여 상기 가압력을 제공함으로써, 복수의 초박 유리(10) 사이의 간격을 최대한 줄여줄 수 있다. 즉, 접착제(20)의 높이가 높은 경우에는 높은 가압력을 제공하고, 접착제(20)의 높이가 낮은 경우에는 낮은 가압력을 제공함으로써, 복수의 초박 유리(10) 사이의 간격을 줄여줄 수 있다.
그리고 2개 이상의 지점에서 측정된 접착제(20)의 높이를 이용하여 초박 유리(10) 상에 제공된 접착제(20)의 평탄도를 계측할 수 있으며, 계측된 접착제(20)의 평탄도에 따라 초박 유리(10)의(예를 들어, 상기 제2 초박 유리의) 영역별로 기공(131a)에 의한 기체압력을 조절할 수 있다. 예를 들어, 도 6(a)와 같이, 다공성 플레이트(131)의 영역별로 기공(131a)의 내부압력을 선택적으로 제어함으로써, 초박 유리(10)의 영역별로 제공되는 기공(131a)에 의한 기체압력을 조절할 수 있으며, 접착제(20)의 높이가 상대적으로 높은 영역에는 상대적으로 높은 기체압력을 제공할 수 있고, 접착제(20)의 높이가 상대적으로 낮은 영역에는 상대적으로 낮은 기체압력을 제공할 수 있다.
이와 같이, 상기 복수의 지점에서 접착제(20)의 높이를 측정하여 다공성 플레이트(131)에 의한 상기 가압력을 결정할 수 있으며, 결정된 상기 가압력에 따라 복수의 초박 유리(10)가 안정적으로 합착되도록 할 수 있고, (최)상부의 초박 유리(10)를 가압하여 초박유리 적층체(50)의 평탄도가 일정 수준으로 유지되도록 할 수 있다.
본 발명에 따른 초박 유리 처리방법은 면(面)가압을 위한 다공성 플레이트(131)의 영역별 상대압력변수 분포를 결정하는 과정(S50);을 더 포함할 수 있다.
면가압을 위한 다공성 플레이트(131)의 영역별 상대압력변수 분포를 결정할 수 있다(S50). 다공성 플레이트(131)는 기공(131a)이 불규칙적으로 형성되어 다공성 플레이트(131)의 영역별 기공(131a) 밀도가 달라질 수 있고, (최)상부의 초박 유리(10)의 각 영역(또는 부분)에 제공되는 가압력이 달라질 수 있다. 그리고 다공성 플레이트(131)의 각 기공(131a)은 서로 이격되어 형성되기 때문에 각 기공(131a) 사이에 기공(131a)이 형성되지 않는 부분이 발생하게 되고, 이러한 부분으로 인해 (최)상부의 초박 유리(10)의 부분(또는 지점)에 따라 가장 근접한 기공(131a)으로부터의 거리가 달라져서 (최)상부의 초박 유리(10)의 부분에 따라 제공되는 가압력이 달라질 수 있다. 또한, 복수의 기공(131a) 간에 크기 오차가 발생하여 크기 오차에 따라 (최)상부의 초박 유리(10)의 각 부분에 제공되는 가압력이 달라질 수도 있다. 다공성 플레이트(131)의 영역별 기공(131a) 밀도가 달라지거나, 복수의 기공(131a) 간의 이격 (거리) 또는 크기 오차 등으로 인해 모든 복수의 기공(131a)에 동일한 내부압력을 제공하여도 (최)상부의 초박 유리(10) 상에 전체적으로 균일한 가압력을 제공하지 못하게 될 수 있고, 이렇게 동일한 기체압력 (분포)으로 (최)상부의 초박 유리(10)를 가압하여 복수의 초박 유리(10)를 가압하는 경우에는 초박유리 적층체(50)의 평탄도가 저하될 수 있다. 이에 따라 (최)상부의 초박 유리(10) 상에 전체적으로 균일한 가압력을 제공할 수 있도록 다공성 플레이트(131)의 영역별 상대압력변수 분포를 결정할 수 있다. 한편, 측정된 접착제(20)의 높이 및/또는 초박 유리(10)의 높이에 따라 초박유리 적층체(50)의 평탄도가 일정 수준으로 유지되도록 다공성 플레이트(131)의 영역별 상대압력변수 분포를 결정할 수도 있다. 예를 들어, 측정된 접착제(20)의 높이 및/또는 초박 유리(10)의 높이가 높은 부분(또는 영역)에는 높은 기체압력이 제공되고, 측정된 접착제(20)의 높이 및/또는 초박 유리(10)의 높이가 낮은 부분에는 낮은 기체압력이 제공되도록 다공성 플레이트(131)의 영역별 상대압력변수 분포를 결정할 수 있다.
본 발명에 따른 초박 유리 처리방법은 다공성 플레이트(131)의 영역별로 기공(131a)의 내부압력을 선택적으로 제어하는 과정(S60);을 더 포함할 수 있다.
그리고 다공성 플레이트(131)의 영역별로 기공(131a)의 내부압력을 선택적으로 제어할 수 있다(S60). 복수의 기공(131a) 모두에 내부압력을 동일하게 하는 것뿐만 아니라 상기 다공성 플레이트(131)의 영역별 상대압력변수 분포에 따라 다공성 플레이트(131)의 영역별로 기공(131a)의 내부압력을 선택적으로 제어할 수 있고, 각 기공(131a)이 위치하는 영역별로 기공(131a)의 내부압력을 상이하게(또는 다르게) 할 수도 있다. 이때, 다공성 플레이트(131)의 영역별 상대압력변수 분포에 따라 다공성 플레이트(131)의 영역별로 기공(131a)의 내부압력을 선택적으로 제어할 수 있으며, 상기 다공성 플레이트(131)의 영역별 상대압력변수 분포는 결정된 다공성 플레이트(131)의 영역별 상대압력변수 분포일 수도 있고, 보정(또는 갱신)된 다공성 플레이트(131)의 영역별 상대압력변수 분포일 수도 있다.
예를 들어, 제어부(150)를 통해 다공성 플레이트(131)의 영역별로 기공(131a)의 내부압력을 선택적으로 제어할 수 있으며, 이에 따라 다공성 플레이트(131)의 영역별 기공(131a)의 내부압력 분포를 제어(또는 조정)할 수 있고, (최)상부의 초박 유리(10)의 영역별로 제공되는 기공(131a)에 의한 기체압력을 조절할 수 있다. 이에, 높이측정부(140)를 이용하여 측정한 도포된 접착제(20)의 높이 및/또는 적층된 초박 유리(10)의 표면 높이에 따라 기공(131a)에 의한 기체압력 분포를 제어 및/또는 보정할 수 있다.
여기서, 복수의 기공(131a) 각각에 대해 독립적으로 내부압력을 제어할 수도 있고, 복수의 기공(131a)을 2개 이상씩 그룹화하여 각 그룹마다 독립적으로 내부압력을 제어할 수도 있다. 예를 들어, 복수의 기공(131a)에 연결되어 기체를 공급하기 위한 가스공급관로(132a)에 각각 제공된 가스 밸브(132b) 및/또는 복수의 기공(131a)에 연결되어 복수의 기공(131a)에 진공(압)을 형성하기 위한 진공관로(133a)에 각각 제공된 진공 밸브(133b)를 제어하여 다공성 플레이트(131)의 영역별로 기공(131a)의 내부압력을 선택적으로 제어할 수 있다. 이때, 복수의 기공(131a) 각각에 대해 독립적으로 내부압력을 제어하는 경우에는 복수의 가스공급관로(132a) 및/또는 복수의 진공관로(133a)가 복수의 기공(131a)에 각각 연결되고 각 가스공급관로(132a) 및/또는 진공관로(133a)마다 가스 밸브(132b) 및/또는 진공 밸브(133b)가 제공될 수 있고, 복수의 기공(131a)을 2개 이상씩 그룹화하는 경우에는 복수의 기공(131a)에 각각 연결된 복수의 가스공급관로(132a) 및/또는 복수의 진공관로(133a)를 그룹화된 복수의 기공(131a)에 따라 그룹화하여 복수의 가스공급관로(132a) 및/또는 복수의 진공관로(133a)의 각 그룹마다 가스 밸브(132b) 및/또는 진공 밸브(133b)가 제공될 수 있다.
그리고 다공성 플레이트(131)는 기공(131a)이 각각 형성되는 복수의 단위 플레이트(131b)로 이루어질 수 있으며, 각 단위 플레이트(131b)에는 하나의 기공(131a)이 형성될 수도 있고, 복수의 기공(131a)이 형성될 수도 있다. 각 단위 플레이트(131b)에 하나의 기공(131a)이 형성되는 경우에는 각 단위 플레이트(131b)마다 하나의 가스공급관로(132a) 및/또는 진공관로(133a)를 연결하여 용이하게 각 기공(131a)의 내부압력을 독립적으로 제어할 수 있으며, 각 단위 플레이트(131b)에 복수의 기공(131a)이 형성되는 경우에는 각 단위 플레이트(131b)별로 복수의 기공(131a)이 그룹화될 수 있고, 각 단위 플레이트(131b)마다 가스공급관로(132a) 및/또는 진공관로(133a)를 연결하여 용이하게 각각 그룹화된 기공(131a)의 내부압력을 그룹별로 제어할 수 있다. 이를 통해 각 단위 플레이트(131b)별로 기공(131a)의 내부압력을 제어할 수 있고, 이에 따라 다공성 플레이트(131)의 영역별로 기공(131a)의 내부압력을 용이하게 제어(또는 조정)할 수 있다.
상기 기공(131a)의 내부압력을 선택적으로 제어하는 과정(S60)은 복수의 단위 플레이트(131b) 각각을 독립적으로 각각 제어하여 수행될 수 있다. 복수의 단위 플레이트(131b) 각각에 대해 독립적으로 기공(131a)의 내부압력을 제어할 수 있으며, 각각의 단위 플레이트(131b)를 독립적으로 제어함으로써, 각 단위 플레이트(131b)마다 하나의 기공(131a)이 형성된 경우에 각 기공(131a)의 내부압력을 독립적으로 제어할 수 있고, 각 단위 플레이트(131b)마다 복수의 기공(131a)이 형성된 경우에 각 단위 플레이트(131b)별로 그룹화된 기공(131a)(들)을 그룹별로 제어할 수 있다. 이때, 복수의 단위 플레이트(131b)의 개수는 접착제(20)의 높이 및/또는 초박 유리(10)의 높이를 측정하는 상기 복수의 지점의 개수 이상일 수 있다. 이를 통해 상기 복수의 지점에서의 높이 차이에 맞추어 각 단위 플레이트(131b)의 기공(131a)의 내부압력을 결정할 수 있으며, 초박유리 적층체(50)의 평탄도를 일정 수준으로 유지하면서 복수의 초박 유리(10)를 적층하여 합착할 수 있다.
도 7은 본 발명의 다른 실시예에 따른 다공성 플레이트의 영역별 상대압력변수 분포를 결정하는 과정을 나타낸 그림으로, 도 7(a)는 기공이 상부를 향하도록 배치된 다공성 플레이트에 예비 초박 유리가 제공된 상태를 나타내며, 도 7(b)는 복수의 기공 전체에서 기체를 분사하여 예비 초박 유리를 부상시킨 상태를 나타내고, 도 7(c)는 복수의 기공 중 일부에 음압을 형성하여 부상된 예비 초박 유리를 평탄화시킨 상태를 나타낸다.
도 7을 참조하면, 상기 영역별 상대압력변수 분포를 결정하는 과정(S50)은 다공성 플레이트(131) 상에 예비 초박 유리(10a)를 제공하는 과정(S51); 복수의 기공(131a) 중 적어도 일부의 기공(131a)을 통해 기체를 분사하여 예비 초박 유리(10a)를 부상시키는 과정(S52); 부상된 예비 초박 유리(10a)의 평탄도를 측정하는 과정(S53); 및 측정된 예비 초박 유리(10a)의 평탄도에 따라 다공성 플레이트(131)의 영역별로 기공(131a)의 내부압력을 제어하여 상기 부상된 예비 초박 유리(10a)를 평탄화시키는 과정(S54)을 포함할 수 있다.
상기 영역별 상대압력변수 분포를 결정하는 과정(S50)에서는 도 7(a)와 같이, 다공성 플레이트(131) 상에 예비 초박 유리(10a)를 제공할 수 있다(S51). 이때, 다공성 플레이트(131)는 기공(131a)이 상부를 향하도록 배치할 수 있으며, 기공(131a)이 상부를 향하도록 배치하여 복수의 기공(131a) 상에 예비 초박 유리(10a)를 제공할 수 있고, 예비 초박 유리(10a)를 부양시키면서 다공성 플레이트(131)의 영역별 상대압력변수 분포를 결정할 수 있다. 기공(131a)이 상부를 향하도록 다공성 플레이트(131)를 배치한 후에 기공(131a)을 통해 예비 초박 유리(10a)에 기체가 분사되도록 다공성 플레이트(131)의 복수의 기공(131a) 상에 예비 초박 유리(10a)를 제공할 수 있다.
그리고 복수의 기공(131a) 중 적어도 일부의 기공(131a)을 통해 기체를 분사하여 예비 초박 유리(10a)를 부상시킬 수 있다(S52). 복수의 기공(131a) 중 적어도 일부를 통해 기체를 분사하여 예비 초박 유리(10a)를 부상시킬 수 있으며, 복수의 기공(131a)에 내부압력이 형성될 수 있고, 각 기공(131a)들이 다공성 플레이트(131)의 영역별 기공(131a)의 내부압력 분포를 이룰 수 있다. 이때, 다공성 플레이트(131)의 영역별 상대압력변수 분포가 한번도 결정되지 않은 초기에는 모든 복수의 기공(131a)을 통해 기체를 분사할 수 있다.
여기서, 예비 초박 유리(10a)에 전체적으로 균일한 가압력이 제공되는지 확인하기 위해 부상된 예비 초박 유리(10a)의 평탄도를 측정할 수 있다(S53). 높이측정부(140)를 통해 부상된 예비 초박 유리(10a)의 높이를 상기 복수의 지점 중 적어도 2개 이상에서 측정하여 상기 부상된 예비 초박 유리(10a)의 평탄도를 측정(또는 계측)할 수 있다. 이때, 도 7(b)와 같이, 부상된 예비 초박 유리(10a)가 평탄하지 않을 수 있으며, 부상된 예비 초박 유리(10a)가 평탄하지 않은 경우에는 예비 초박 유리(10a)에 전체적으로 균일한 가압력이 제공되지 않는 것을 의미할 수 있고, 이러한 경우에 예비 초박 유리(10a)에 전체적으로 균일한 가압력이 제공되도록 부상된 예비 초박 유리(10a)의 평탄화가 필요할 수 있다.
그 다음 측정된 예비 초박 유리(10a)의 평탄도에 따라 다공성 플레이트(131)의 영역별로 기공(131a)의 내부압력을 제어하여 상기 부상된 예비 초박 유리(10a)를 평탄화시킬 수 있다(S54). 다공성 플레이트(131)의 영역별로 기공(131a)의 내부압력을 제어할 수 있으며, 이를 통해 상기 부상된 예비 초박 유리(10a)의 평탄도를 보정하여 상기 부상된 예비 초박 유리(10a)를 수평하게 평탄화시킬 수 있다. 이렇게 상기 부상된 예비 초박 유리(10a)를 평탄화시킨 다공성 플레이트(131)의 영역별 기공(131a)의 내부압력 분포에 따라 다공성 플레이트(131)의 영역별 상대압력변수 분포를 결정할 수 있다.
여기서, 상기 부상된 예비 초박 유리(10a)를 평탄화시키는 과정(S54)은 복수의 기공(131a) 중 일부에 다른 기공과 상이한 내부압력을 형성하는 과정(S5)을 포함할 수 있다.
상기 부상된 예비 초박 유리(10a)를 평탄화시키면서 복수의 기공(131a) 중 일부에 다른 기공과 상이한 내부압력을 형성할 수 있다(S5). 이때, 도 7(c)와 같이, 복수의 기공(131a) 중 일부에 음압을 형성할 수도 있다. 예를 들어, 상기 부상된 예비 초박 유리(10a) 중 상대적으로 높이 올라간 부분에 대응되는 기공(131a)(들)에 음압을 형성하여 상기 상대적으로 높이 올라간 부분을 잡아당김으로써, 상기 부상된 예비 초박 유리(10a)를 평탄하게 만들 수 있고, 상기 부상된 예비 초박 유리(10a)의 평탄도를 보정할 수 있다. 여기서, 다공성 플레이트(131)에 연결되는 진공펌프(133)를 통해 복수의 기공(131a) 중 일부에 음압을 형성할 수 있다.
상기 부상된 예비 초박 유리(10a)가 기울어진 상태에서 상기 상대적으로 높이 올라간 부분에 대응되는 기공(131a)(들)에 분사압을 낮춰주거나, 기체 공급을 중지하더라도 주변의 기공(131a)(들)에서 분사되는 기체의 분사압에 영향을 받아 상기 상대적으로 높이 올라간 부분이 상기 부상된 예비 초박 유리(10a)가 평탄하게 될만한 높이까지 낮아질 수 없다. 즉, 다공성 플레이트(131)의 복수의 기공(131a)에 양압만이 형성되게 되면, 일부 기공(131a)의 양압의 세기를 낮춘다고 하더라도 상기 상대적으로 높이 올라간 부분이 낮아질 수 있도록 양압을 상쇄시킬 힘이 제공되지 않으므로, 상기 상대적으로 높이 올라간 부분을 잡아당길 수 없게 된다.
하지만, 진공펌프(133)를 통해 복수의 기공(131a) 중 일부에 음압을 형성하게 되면, 주변의 기공(131a)(들)에서 분사되는 기체의 분사압(즉, 양압)에 의한 영향을 상기 음압으로 상쇄시켜 상기 상대적으로 높이 올라간 부분을 흡인력으로 잡아당겨 줄 수 있으며, 이에 따라 복수의 기공(131a) 각각에서의 양압과 음압을 조화시켜 예비 초박 유리(10a)의 각 부분에서의 부상력(또는 가압력)과 흡인력을 조절함으로써, 기울어진(또는 평탄하지 않은) 상기 부상된 예비 초박 유리(10a)를 평탄화시킬 수 있다.
도 8은 본 발명의 다른 실시예에 따른 제2 초박 유리의 높이에 따른 다공성 플레이트의 영역별 기공의 내부압력 제어를 설명하기 위한 개념도로, 도 8(a)는 초박유리 적층체의 평탄도 보정을 위한 다공성 플레이트의 영역별 기공의 내부압력 제어를 나타내고, 도 8(b)는 다공성 플레이트의 영역별 기공의 내부압력 제어를 통해 평탄화된 초박유리 적층체를 나타낸다.
도 8을 참조하면, 본 발명에 따른 초박 유리 처리방법은 제2 초박 유리(12)의 높이를 측정하는 과정(S450); 및 측정된 제2 초박 유리(12)의 높이에 따라 다공성 플레이트(131)의 영역별로 기공(131a)의 내부압력을 제어하는 과정(S460);을 더 포함할 수 있다.
제2 초박 유리(12)의 높이를 측정할 수 있다(S450). 높이측정부(140)를 통해 제2 초박 유리(12)의 높이를 복수의 지점에서 측정할 수 있으며, 2개 이상의 지점에서 측정된 제2 초박 유리(12)의 높이를 이용하여 제2 초박 유리(12)의 좌우 평탄도 및/또는 전후 평탄도를 계측할 수 있고, 전후좌우 모두의 평탄도를 계측할 수 있도록 4개 이상의 지점에서 제2 초박 유리(12)의 높이를 측정할 수도 있다. 여기서, 제2 초박 유리(12)의 높이를 측정하는 복수의 지점의 개수는 접착제(20)의 높이를 측정하는 복수의 지점의 개수와 동일할 수 있다.
그리고 측정된 제2 초박 유리(12)의 높이에 따라 다공성 플레이트(131)의 영역별로 기공(131a)의 내부압력을 제어할 수 있다(S460). 측정된 상기 복수의 지점에서의 제2 초박 유리(12)의 높이에 따라 제2 초박 유리(12)의 평탄도를 계측할 수 있고, 계측된 제2 초박 유리(12)의 평탄도에 따라 다공성 플레이트(131)의 영역별로 기공(131a)의 내부압력을 제어(또는 조절)할 수 있으며, 제2 초박 유리(12)의 평탄도를 반영하여 보정된 다공성 플레이트(131)의 영역별 상대압력변수 분포에 따라 다공성 플레이트(131)의 영역별로 기공(131a)의 내부압력을 제어할 수 있다. 예를 들어, 보정된 다공성 플레이트(131)의 영역별 상대압력변수 분포는 도 8과 같이 제3 초박 유리(13)를 적층하면서 적용될 수 있으며, 제2 초박 유리(12)의 높이가 상대적으로 높은 지점(또는 영역)에는 제3 초박 유리(13) 상에 상대적으로 높은 기체압력을 제공할 수 있고, 제2 초박 유리(12)의 높이가 상대적으로 낮은 지점에는 제3 초박 유리(13) 상에 상대적으로 낮은 기체압력을 제공할 수 있다. 이를 통해 복수의 초박 유리(10)가(예를 들어, 상기 제1 초박 유리, 상기 제2 초박 유리 및 상기 제3 초박 유리가) 합착되어 적층된 초박유리 적층체(50)의 평탄도를 일정 수준으로 유지할 수 있다.
본 발명에 따른 초박 유리 처리방법은 제1 초박 유리(11)와 제2 초박 유리(12)가 적층된 초박유리 적층체(50)를 가공하는 과정(S500);을 더 포함할 수 있다.
그리고 제1 초박 유리(11)와 제2 초박 유리(12)가 적층된 초박유리 적층체(50)를 가공할 수 있다(S500). 제1 초박 유리(11)와 제2 초박 유리(12)가 적층된 초박유리 적층체(50)를 가공할 수 있으며, 소정 크기 또는 모양으로 절단하는 절단 가공 및/또는 엣지 면을 다듬는 엣지 가공 등의 가공을 수행할 수 있다.
즉, 상기 초박유리 적층체(50)를 가공하는 과정(S500)은 초박유리 적층체(50)를 소정 크기로 절단하는 과정(S510); 및 초박유리 적층체(50)의 엣지 면을 연마하는 과정(S520)을 포함할 수 있다.
초박유리 적층체(50)를 소정 크기로 절단할 수 있다(S510). 초박유리 적층체(50)를 필요한 일정 크기로 절단하여 적층체 유닛(5)으로 분할(또는 분리)할 수 있다. 예를 들어, 다이아몬드 연마제로 만들어진 커팅 휠(171)이 장착된 컴퓨터 수치제어 절단기를 사용하여 일정한 크기의 적층체 유닛(5)으로 절단(또는 분리)할 수 있다. 한편, 레이저를 이용하는 레이저 컷팅 방식으로 초박유리 적층체(50)를 절단할 수도 있다.
그리고 초박유리 적층체(50)의 엣지 면을 연마할 수 있다(S520). 초박유리 적층체(50)의 엣지 면을 연마하는 엣지 가공을 수행할 수 있으며, 초박유리 적층체(50) 및/또는 적층체 유닛(5)의 엣지 면에서 칩핑(chipping)을 제거할 수 있다. 예를 들어, 폴리싱 휠을 사용하여 초박유리 적층체(50) 및/또는 형상 가공된 적층체 유닛(5)의 엣지 면에 존재하는 미세한 칩핑을 제거할 수 있다. 이때, 폴리싱 휠의 표면 재료는 곱고 내구성이 좋은 천을 사용할 수 있다. 한편, 우수한 엣지 강도를 위한 “C”자 형태로 라운드가 진 C각을 형성하기 위해 화학 엣지연마를 할 수도 있다.
본 발명의 초박 유리 처리방법은 가공된 적층체 유닛(5)에서 제1 초박 유리(11)와 제2 초박 유리(12)을 각각 분리하는 과정(S550);을 더 포함할 수 있다.
가공된 적층체 유닛(5)에서 제1 초박 유리(11)와 제2 초박 유리(12)을 각각 분리할 수 있다(S550). 가공된 적층체 유닛(5)에서 제1 초박 유리(11)와 제2 초박 유리(12)을 각각 낱장으로 분리할 수 있으며, 특수 약액(예를 들어, 아세톤 계열의 약품 또는 알칼리 수세액) 또는 초순수(DeIonized water; DI water) 등에 의한 용액 처리로 접착제(20)를 녹여 제거한 후에 손으로 제1 초박 유리(11)와 제2 초박 유리(12)를(즉, 복수의 초박 유리를) 한장씩 분리할 수 있다.
이처럼, 본 발명에서는 다공성 플레이트를 통해 기체를 분사하여 복수의 초박 유리의 합착을 위한 가압력을 비접촉 방식으로 제공함으로써, 초박 유리 표면의 오염 및 파손을 방지할 수 있다. 또한, 전면 합착 방식으로 초박 유리의 가압면 전체적으로 동시에 가압력을 제공하여 복수의 초박 유리를 합착함으로써, 롤러 등을 이용하여 일부면씩 순차적으로 가압하는 경우보다 합착을 위한 공정시간을 단축할 수도 있다. 그리고 높이측정부를 통해 도포된 접착제의 높이 및/또는 적층된 초박 유리의 표면 높이를 측정하여 다공성 플레이트의 영역별 기공의 내부압력을 제어함으로써, 초박 유리의 영역별로 가압력을 다르게 조절할 수 있고, 초박유리 적층체의 평탄도를 일정 수준으로 유지할 수 있다. 또한, 다공성 플레이트의 영역별 상대압력변수 분포를 다공성 플레이트의 복수의 기공에 적용하여 다공성 플레이트의 상태에 따라 초박 유리의 전체면에 균일한 가압력이 제공되도록 할 수 있다. 그리고 다공성 플레이트를 복수의 단위 플레이트로 구성하여 각각의 단위 플레이트를 독립적으로 제어함으로써, 다공성 플레이트의 영역별로 기공의 내부압력을 용이하게 제어할 수 있다. 한편, 다공성 플레이트에 진공펌프가 연결되어 다공성 플레이트의 영역별로 기공의 내부압력을 제어하면서 일부의 기공에 음압을 형성할 수도 있으며, 이에 따라 더욱 효과적으로 초박 유리의 전체면에 균일한 가압력을 제공할 수 있고, 복수의 초박 유리를 기울어짐 없이 평탄하게 합착시킬 수 있다.
상기 설명에서 사용한 “~ 상에”라는 의미는 직접 접촉하는 경우와 직접 접촉하지는 않지만 상부 또는 하부에 대향하여 위치하는 경우를 포함하고, 상부면 또는 하부면 전체에 대향하여 위치하는 것뿐만 아니라 부분적으로 대향하여 위치하는 것도 가능하며, 위치상 떨어져 대향하거나 상부면 또는 하부면에 직접 접촉한다는 의미로 사용하였다. 따라서, “스테이지 상에”는 스테이지의 표면(상부면 또는 하부면)이 될 수도 있고, 스테이지의 표면에 제공된 초박 유리의 표면 상이 될 수도 있다.
이상에서 본 발명의 바람직한 실시예에 대하여 도시하고 설명하였으나, 본 발명은 상기한 실시예에 한정되지 아니하며, 청구범위에서 청구하는 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 당해 본 발명이 속하는 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 타 실시예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서, 본 발명의 기술적 보호범위는 아래의 특허청구범위에 의해서 정하여져야 할 것이다.
5 : 적층체 유닛 10 : 초박 유리
10a: 예비 초박 유리 11 : 제1 초박 유리
12 : 제2 초박 유리 13 : 제3 초박 유리
20 : 접착제 20a: 경화된 접착제
21 : 제1 접착제 22 : 제2 접착제
50 : 초박유리 적층체 100 : 초박 유리 처리장치
110 : 스테이지 120 : 접착제 제공부
121 : 제1 접착제 토출부 122 : 제2 접착제 토출부
130 : 비접촉 가압부 131 : 다공성 플레이트
131a: 기공 131b: 단위 플레이트
132 : 가스공급원 132a: 가스공급관로
132b: 가스 밸브 133 : 진공펌프
133a: 진공관로 133b: 진공 밸브
140 : 높이측정부 150 : 제어부
155 : 압력변수분포 저장부 161 : 커팅 휠

Claims (18)

  1. 초박 유리를 지지하는 스테이지;
    상기 스테이지에 지지된 초박 유리 상에 접착제를 제공하는 접착제 제공부; 및
    복수의 기공을 갖는 다공성 플레이트를 포함하며, 상기 복수의 기공 중 적어도 일부를 통해 기체를 분사하여 상기 접착제가 개재되어 적층된 복수의 초박 유리 상에 가압력을 제공하는 비접촉 가압부;를 포함하고,
    상기 다공성 플레이트의 평면적은 상기 초박 유리의 평면적 이상이며,
    상기 비접촉 가압부는 상기 초박 유리의 전체면에 동시에 상기 가압력을 제공하고,
    상기 복수의 초박 유리의 영역별 상기 가압력을 조절하기 위해 상기 다공성 플레이트의 영역별로 기공의 내부압력을 선택적으로 제어하는 제어부;를 더 포함하는 초박 유리 처리장치.
  2. 청구항 1에 있어서,
    상기 접착제의 높이와 상기 접착제 상에 적층된 초박 유리의 높이 중 적어도 어느 하나를 측정하는 높이측정부;를 더 포함하는 초박 유리 처리장치.
  3. 삭제
  4. 청구항 1에 있어서,
    면가압을 위한 상기 다공성 플레이트의 영역별 상대압력변수 분포가 저장되는 압력변수분포 저장부;를 더 포함하고,
    상기 제어부는 상기 압력변수분포 저장부에 저장된 상기 다공성 플레이트의 영역별 상대압력변수 분포에 따라 상기 다공성 플레이트의 영역별로 상기 기공의 내부압력을 선택적으로 제어하는 초박 유리 처리장치.
  5. 청구항 1에 있어서,
    상기 다공성 플레이트는 기공이 각각 형성되는 복수의 단위 플레이트로 이루어지는 초박 유리 처리장치.
  6. 청구항 1에 있어서,
    상기 비접촉 가압부는,
    상기 다공성 플레이트와 연결되며, 상기 적어도 일부의 기공에 기체를 제공하는 가스공급원; 및
    상기 다공성 플레이트와 연결되며, 상기 복수의 기공 중 나머지 일부의 기공에 음압을 형성하는 진공펌프 중 적어도 어느 하나를 더 포함하는 초박 유리 처리장치.
  7. 삭제
  8. 삭제
  9. 청구항 1에 있어서,
    상기 복수의 초박 유리가 적층된 초박유리 적층체를 가공하는 가공부;를 더 포함하는 초박 유리 처리장치.
  10. 스테이지 상에 제1 초박 유리를 지지하는 과정;
    상기 스테이지에 지지된 제1 초박 유리 상에 접착제를 제공하는 과정;
    상기 접착제 상에 제2 초박 유리를 제공하는 과정;
    다공성 플레이트의 복수의 기공 중 적어도 일부를 통해 기체를 분사하여 상기 제2 초박 유리 상에 가압력을 제공하는 과정; 및
    상기 제2 초박 유리의 영역별 상기 가압력을 조절하기 위해 상기 다공성 플레이트의 영역별로 기공의 내부압력을 선택적으로 제어하는 과정;을 포함하고,
    상기 다공성 플레이트의 평면적은 상기 제1 초박 유리 및 상기 제2 초박 유리의 평면적 이상이며,
    상기 가압력을 제공하는 과정에서는 상기 제2 초박 유리의 전체면에 동시에 상기 가압력을 제공하는 초박 유리 처리방법.
  11. 청구항 10에 있어서,
    상기 접착제의 높이를 측정하는 과정; 및
    상기 다공성 플레이트에 의한 상기 가압력을 결정하는 과정;을 더 포함하는 초박 유리 처리방법.
  12. 청구항 10에 있어서,
    면가압을 위한 상기 다공성 플레이트의 영역별 상대압력변수 분포를 결정하는 과정;을 더 포함하는 초박 유리 처리방법.
  13. 삭제
  14. 청구항 10에 있어서,
    상기 다공성 플레이트는 기공이 각각 형성되는 복수의 단위 플레이트로 이루어지고,
    상기 기공의 내부압력을 선택적으로 제어하는 과정은 상기 복수의 단위 플레이트 각각을 독립적으로 각각 제어하여 수행되는 초박 유리 처리방법.
  15. 청구항 12에 있어서,
    상기 영역별 상대압력변수 분포를 결정하는 과정은,
    상기 다공성 플레이트 상에 예비 초박 유리를 제공하는 과정;
    상기 복수의 기공 중 적어도 일부의 기공을 통해 기체를 분사하여 상기 예비 초박 유리를 부상시키는 과정;
    부상된 예비 초박 유리의 평탄도를 측정하는 과정; 및
    측정된 예비 초박 유리의 평탄도에 따라 상기 다공성 플레이트의 영역별로 상기 기공의 내부압력을 제어하여 상기 부상된 예비 초박 유리를 평탄화시키는 과정을 포함하는 초박 유리 처리방법.
  16. 청구항 15에 있어서,
    상기 부상된 예비 초박 유리를 평탄화시키는 과정은 상기 복수의 기공 중 일부에 다른 기공과 상이한 내부압력을 형성하는 과정을 포함하는 초박 유리 처리방법.
  17. 청구항 12에 있어서,
    상기 제2 초박 유리의 높이를 측정하는 과정; 및
    측정된 상기 제2 초박 유리의 높이에 따라 상기 다공성 플레이트의 영역별로 상기 기공의 내부압력을 제어하는 과정;을 더 포함하는 초박 유리 처리방법.
  18. 청구항 10에 있어서,
    상기 제1 초박 유리와 상기 제2 초박 유리가 적층된 초박유리 적층체를 가공하는 과정;을 더 포함하는 초박 유리 처리방법.
KR1020200073680A 2020-06-17 2020-06-17 초박 유리 처리장치 및 초박 유리 처리방법 KR102561497B1 (ko)

Priority Applications (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020200073680A KR102561497B1 (ko) 2020-06-17 2020-06-17 초박 유리 처리장치 및 초박 유리 처리방법
CN202110667277.XA CN113799471A (zh) 2020-06-17 2021-06-16 用于处理超薄玻璃的设备和用于处理超薄玻璃的方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020200073680A KR102561497B1 (ko) 2020-06-17 2020-06-17 초박 유리 처리장치 및 초박 유리 처리방법

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20210156027A KR20210156027A (ko) 2021-12-24
KR102561497B1 true KR102561497B1 (ko) 2023-07-31

Family

ID=78942522

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020200073680A KR102561497B1 (ko) 2020-06-17 2020-06-17 초박 유리 처리장치 및 초박 유리 처리방법

Country Status (2)

Country Link
KR (1) KR102561497B1 (ko)
CN (1) CN113799471A (ko)

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2009070687A (ja) 2007-09-13 2009-04-02 Canon Inc 気密容器の製造方法
KR101370034B1 (ko) 2012-11-30 2014-03-06 주식회사 나래나노텍 합착 기판 두께 측정 장치 및 방법, 및 이를 구비한 기판 합착 장치 및 방법
JP2018065746A (ja) * 2013-02-19 2018-04-26 日本電気硝子株式会社 ガラス積層体及び光学結像部材

Family Cites Families (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101334406B1 (ko) 2012-01-06 2013-11-29 주식회사 나래나노텍 개선된 기판 합착 장치 및 합착 방법
JP2016161007A (ja) * 2015-02-27 2016-09-05 株式会社日本製鋼所 ガス浮上ワーク支持装置および非接触ワーク支持方法
KR102139625B1 (ko) * 2018-05-24 2020-07-29 (주)엠씨케이테크 다층소재의 비접촉 접합방법

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2009070687A (ja) 2007-09-13 2009-04-02 Canon Inc 気密容器の製造方法
KR101370034B1 (ko) 2012-11-30 2014-03-06 주식회사 나래나노텍 합착 기판 두께 측정 장치 및 방법, 및 이를 구비한 기판 합착 장치 및 방법
JP2018065746A (ja) * 2013-02-19 2018-04-26 日本電気硝子株式会社 ガラス積層体及び光学結像部材

Also Published As

Publication number Publication date
KR20210156027A (ko) 2021-12-24
CN113799471A (zh) 2021-12-17

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US9844858B2 (en) Flat-plate bonding jig and method of manufacturing flat-plate laminated body
CN107814478B (zh) 弯曲玻璃物品的制造方法和弯曲玻璃物品
CN109368999B (zh) 一种超薄玻璃加工工艺
JP5784903B2 (ja) 板状接合体の製造方法及び板状体の接合装置
JP2010215500A (ja) 保護されたエッジを備えた板ガラス、エッジ保護部材およびこれを用いる板ガラスを製造する方法
US11389919B2 (en) Methods for strengthening edges of laminated glass articles and laminated glass articles formed therefrom
WO2013137329A1 (ja) 電子機器用カバーガラスのガラス基板、及びその製造方法
JP5799131B2 (ja) 充填装置
CN109823005A (zh) 一种固态光学胶全贴合方法
JP2019194142A (ja) 化学強化ガラス板、携帯情報端末および化学強化ガラス板の製造方法
KR102561497B1 (ko) 초박 유리 처리장치 및 초박 유리 처리방법
JP2019008865A (ja) レンチキュラー構造体
KR102561496B1 (ko) 초박 유리 처리장치 및 초박 유리 처리방법
CN112424136A (zh) 用于微电子制造的载体
US5316702A (en) Method of producing durable bonds between an optical preform and an optical resin layer cast on the preform surface
KR101480708B1 (ko) 측면강화코팅된 정전용량 터치센서의 제조방법
KR102508912B1 (ko) 초박 유리 처리장치 및 초박 유리 처리방법
CN114434903A (zh) 用于制造柔性玻璃的玻璃叠层结构物及其制造方法
JP2014031286A (ja) 電子機器用カバーガラスのガラス基板の製造方法
KR102508911B1 (ko) 초박 유리 처리장치 및 초박 유리 처리방법
US7934435B2 (en) Modular glass reference plate assembly
US20200399158A1 (en) Methods and apparatus for manufacturing a glass ribbon
JPH07281165A (ja) 平面基板の貼り合わせ方法および平板型レンズアレイの製造方法
JP2015187065A (ja) ガラス積層体の製造方法及びガラス積層体
KR20220143259A (ko) 초박막 글라스를 제조하는 방법

Legal Events

Date Code Title Description
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant