KR102559591B1 - 레이저 어블레이션에 의한 나노 로드의 제조 방법 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 분산제 수용액에서 액상 펄스 레이저 어블레이션을 수행하는 나노 로드의 제조 방법에 관한 것이다.

Description

레이저 어블레이션에 의한 나노 로드의 제조 방법{Method for preparation of nano rod by laser ablation}
본 발명은 레이저 어블레이션에 의한 나노 로드의 제조 방법에 관한 것으로, 구체적으로는 펄스 레이저 어블레이션을 이용한 나노 로드의 제조 방법에 관한 것이다.
금속 또는 금속 산화물 나노 입자는 다양한 기술 분야에서 사용되고 있는데, 금속 나노 입자의 경우 다양한 화학 반응의 촉매로 사용되고, 금속 산화물 나노 입자의 경우 리튬 이차전지의 전극재로 널리 이용된다.
한편, 미세 입자를 제조하는 방법으로는 분쇄, 마쇄 방법 등이 있다. 그러나 분쇄 또는 마쇄 방법에 의하는 경우, 기계의 정밀도에 한계가 있어 마이크로미터 수준보다 작은 입자를 생산하기가 사실상 불가능하였다.
이러한 분쇄, 마쇄 방법보다 더 작은 나노 수준의 입자를 제조할 수 있는 기술로 폭발법, 분무 냉동법이 개발되어 있다. 폭발법, 분무 냉동법에 의하는 경우, 나노미터 수준의 입자가 제조되지만, 나노 입자를 얻기 위하여 많은 에너지가 소모되고, 제조되는 입자의 크기를 조절하기 힘들다는 단점이 있다. 또한, 이렇게 입자의 크기를 조절하기 어렵기 때문에 제조된 입자 중 크기가 큰 것은 다시 이 공정을 되풀이해야 하므로 공정이 복잡해지는 문제가 있다.
이에 반하여 레이저 어블레이션(ablation) 기술은 고체 시료에 강력한 세기를 가지는 레이저를 조사하여 나노 입자를 제조하는 방법으로, 상기 고체 시료는 레이저 빔의 다광자 이온화(Multi Photo Ionization)에 의하여 액화 또는 승화가 되고, 지속적인 레이저 조사에 의하여 완전한 기체 상태로 상전이가 일어나게 된다. 상기 기화 또는 승화한 시료는 레이저 빔에 의해 에너지를 받아 수천 K의 온도와 수 GPa의 고압으로 변해 플라즈마 상태가 일어나게 된다. 상기 플라즈마 상태에서 나노 입자들이 생성되게 된다. 레이저 어블레이션에 의하여 나노 입자를 제조하는 방법은 단시간에 전처리 과정 없이 빠르게 나노 입자를 제조할 수 있는 장점이 있다.
최근에는 연속파 레이저가 아닌 펄스 레이저를 조사하는 펄스 레이저 어블레이션 기술에 의하여 나노 입자를 제조하는 기술도 활발히 개발되고 있다. 펄스 레이저는 짧은 시간 동안 고출력 레이저를 발산하는 레이저로, 연속파 레이저에 비하여 고출력 레이저를 조사할 수 있어 어블레이션 속도를 빠르게 할 수 있다는 장점이 있다.
펄스 레이저 어블레이션 방법에 의하여 얻어진 나노 입자는 주로 구형의 형태를 가진다. 한편, 구형의 나노 입자는 비표면적이 작으므로, 사용에 한계가 있어 비표면적이 보다 넓은 다른 형태의 나노 입자를 제조하기 위해서 추가적인 기술의 개발이 필요한 실정이다.
한국 등록공보: KR 10-0821357
본 발명의 이루고자 하는 기술적 과제는 로드 형태의 나노 입자를 효과적으로 제조할 수 있는 나노 로드를 제조하는 방법을 제공하는 것이다.
다만, 본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는 상기 언급한 과제로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 과제들은 하기의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
본 발명의 일 실시 상태는, 분산제를 포함하는 수용액을 준비하는 단계; 상기 수용액에 금속 또는 금속 산화물 판재를 침지시키는 단계; 및 상기 판재에 적외선 펄스 레이저를 조사하여 어블레이션 시키는 단계를 포함하는 나노 로드의 제조 방법을 제공한다.
본 발명의 일 실시 상태에 따르면, 로드 형태의 금속 또는 금속 산화물 나노 입자를 효과적으로 제조할 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시 상태에 따른 나노 로드의 제조 방법을 개략적으로 나타낸 도면이다.
도 2는 종래의 액상 펄스 레이저 어블레이션을 수행하여 나노 입자를 제조하는 방법을 개략적으로 나타낸 도면이다.
도 3은 본 발명의 일 실시상태에 따른 나노 로드의 제조 방법에서, 판재에 레이저가 조사되는 지점을 이동시켜 가면서 레이저를 조사하는 방식을 개략적으로 나타낸 도면이다.
도 4는 본 발명의 실시예 1에 따라 제조한 철(Fe) 나노 입자의 촬영 위치를 달리하여 촬영한 고분해능 투과 전자 현미경(HR-TEM) 사진(x40,000(좌우 모두))이다.
도 5는 본 발명의 실시예 2에 따라 제조한 철 나노 입자의 고분해능 투과 전자 현미경(HR-TEM) 사진(x20,000(좌), x40,000(우))이다.
도 6은 본 발명의 실시예 3에 따라 제조한 철 나노 입자의 고분해능 투과 전자 현미경(HR-TEM) 사진(x20,000(좌), x40,000(우))이다.
도 7은 본 발명의 비교예 1에 따라 제조한 철 나노 입자의 고분해능 투과 전자 현미경(HR-TEM) 사진(x10,000(좌), x40,000(우))이다.
도 8은 본 발명의 비교예 2에 따라 제조한 철 나노 입자의 고분해능 투과 전자 현미경(HR-TEM) 사진(x20,000(좌), x40,000(우))이다.
도 9는 본 발명의 비교예 3에 따라 제조한 철 나노 입자의 고분해능 투과 전자 현미경(HR-TEM) 사진(x20,000(좌), x40,000(우))이다.
본 명세서에서 어떤 부분이 어떤 구성 요소를 "포함"한다고 할 때, 이는 특별히 반대되는 기재가 없는 한 다른 구성 요소를 제외하는 것이 아니라 다른 구성 요소를 더 포함할 수 있는 것을 의미한다.
이하 본 명세서에 대하여 더욱 상세하게 설명한다.
본 발명의 일 실시 상태는 수지형 분산제를 포함하는 수용액을 준비하는 단계; 상기 수용액에 금속 또는 금속 산화물 판재를 침지시키는 단계; 및 상기 판재에 적외선 펄스 레이저를 조사하여 어블레이션시키는 단계를 포함하는 나노 로드의 제조 방법을 제공한다.
도 1에는 본 발명의 일 실시 상태에 따라 나노 로드를 제조하는 방법을 개략적으로 나타내었다. 종래에는 도 2에 나타낸 바와 같이, 수지형 분산제 없이 물에 금속 또는 금속 산화물 판재를 침지시킨 후, 상기 판재에 펄스 레이저를 조사하여 어블레이션시켜 나노 입자를 제조하였고, 그 결과 주로 구형의 나노 입자만 제조할 수 있었다. 한편, 본 발명의 일 실시 상태와 같이 물에 수지형 분산제를 포함한 수용액에 금속 또는 금속 산화물 판재를 침지시킨 후 액상 펄스 레이저 어블레이션을 수행하면 로드 형태의 나노 입자를 제조할 수 있다.
본 발명의 일 실시 상태에 따르면, 상기 수지형 분산제는, 예를 들면, 폴리우레탄계 수지, 폴리에스테르계 수지, 불포화 폴리아미드계 수지, 폴리카르복시산계 수지, 폴리실록산계 수지, 폴리비닐알코올계 수지, 아민계 수지 및 이들의 염으로 이루어진 군에서 선택된 1종 이상일 수 있다. 또한, 상기 아민계 수지는, 예를 들어, 폴리알릴아민, 폴리비닐아민 및 폴리에틸렌이민으로 이루어진 군에서 선택된 1종 이상일 수 있으며, 이에 제한되는 것은 아니다. 예를 들어, 상기 수지형 분산제는 폴리알릴아민의 염산염인 폴리알릴아민 하이드로클로라이드(PAH)일 수 있다.
상기 수지형 분산제가 포함된 수용액 내에서 액상 펄스 레이저 어블레이션을 수행함으로써, 생성된 나노 입자가 수용액 상에 콜로이드 상태로 잘 분산되어 어블레이션의 속도를 높일 수 있고, 어블레이션 결과 구형 나노 입자 외에 나노 로드를 얻을 수 있다.
본 발명의 일 실시 상태에 따르면, 상기 수용액은 물 100 중량부에 대하여 상기 수지형 분산제를 0.01 중량부 이상 3 중량부 이하, 구체적으로는 0.1 중량부 이상 2 중량부 이하, 0.1 중량부 이상 1 중량부 이하, 0.1 중량부 이상 0.7 중량부 이하 또는 0.3 중량부 이상 0.7 중량부 이하의 함량으로 포함할 수 있고, 더욱 구체적으로는 0.5 중량부의 함량으로 포함할 수 있다.
수용액에 상기 수지형 분산제를 상기 함량 범위 내로 포함함으로써 어블레이션의 속도를 빠르게 할 수 있고, 어블레이션 결과 나노 로드를 제조할 수 있다. 또한, 상기 수지형 분산제의 농도에 따라서 나노 입자 중의 나노 로드의 생성 비율이 달라지므로, 상기 범위 내에서 분산제의 농도를 조절함으로써 일정 비율 이상의 나노 로드를 얻을 수 있다.
본 발명의 일 실시 상태에 따르면, 상기 금속 판재는 철, 구리, 니켈, 티타늄 및 알루미늄으로 이루어진 군에서 선택된 1종 이상일 수 있으나, 반드시 이에 제한되는 것은 아니다.
상기 금속 산화물 판재는 이산화티타늄, 산화아연 및 산화알루미늄으로 이루어진 군에서 선택된 1종 이상을 포함할 수 있으나, 반드시 이에 제한되는 것은 아니다. 구체적으로, 상기 금속 산화물 판재는 이산화티타늄 분말을 성형틀에 채운 후 가압하여 만든 판재일 수 있다.
본 발명의 일 실시 상태에 따르면, 상기 판재는 0.5 mm 이상 5 mm 이하의 두께를 가질 수 있다. 구체적으로, 상기 판재는 0.5 mm 이상 3 mm 이하, 0.5 mm 이상 2 mm 이하 또는 1 mm 이상 2 mm 이하의 두께를 가질 수 있다. 상기 범위의 두께를 가짐으로써 어블레이션을 연속적으로 수행할 수 있어 나노 로드를 빠르게 제조할 수 있고, 낭비되는 재료를 최소화할 수 있다.
본 발명의 일 실시 상태에 따르면, 상기 적외선 펄스 레이저는 공지된 레이저 장치를 이용하여 조사할 수 있다. 구체적으로, 상기 적외선 펄스 레이저는 Nd:YAG 펄스 레이저일 수 있다. 또한 펄스 폭이 1 ps(pico second) 이상 10 ns(nano second) 이하일 수 있다. 구체적으로는, 펄스 폭은 1 ps 이상 5 ns 이하, 1 ps 이상 1 ns 이하, 1 ps 이상 500 ps 이하, 1 ps 이상 200 ps 이하 또는 1 ps 이상 100 ps 이하, 더욱 구체적으로는 1 ps 이상 10 ps 이하일 수 있다. 적외선 펄스 레이저의 펄스 폭을 상기 범위 내로 조절함으로써 어블레이션 반응부의 반응 조건을 조절하여 생성되는 나노 로드의 크기와 형태를 조절할 수 있다. 또한, 상기 펄스 레이저가 적외선 펄스 레이저가 아닌 경우, 예를 들면, 파장 355 nm의 자외선 영역의 펄스 레이저를 사용하는 경우, 나노 로드뿐만 아니라 마이크로 로드(micro rod)도 함께 생성될 수 있다.
본 발명의 일 실시 상태에 따르면, 상기 적외선 펄스 레이저는 50 μJ/pulse 이상 1000 μJ/pulse 이하의 에너지를 가질 수 있다. 구체적으로, 본 발명의 일 실시 상태에 따르면, 상기 적외선 펄스 레이저는 50 μJ/pulse 이상 750 μJ/pulse 이하, 75 μJ/pulse 이상 500 μJ/pulse 이하, 100 μJ/pulse 이상 400 μJ/pulse 이하 또는 120 μJ/pulse 이상 200 μJ/pulse 이하, 더욱 구체적으로는 150 μJ/pulse 이상 180 μJ/pulse 이하의 에너지를 가질 수 있다. 상기한 범위의 에너지를 가지는 레이저를 조사함으로써 어블레이션 시 국소적인 반응부에 예를 들어, 약 104 K의 고온 및 약 1 GPa의 고온, 고압 조건이 형성되어, 빠르게 나노 로드를 생성할 수 있고, 생성되는 나노 로드의 크기를 조절할 수 있다.
본 발명의 일 실시상태에 따르면, 상기 적외선 펄스 레이저는 800 nm 이상 1200 nm 이하의 적외선 영역의 파장을 갖는 레이저를 사용할 수 있다. 구체적으로는, 1064 nm의 적외선 영역의 파장을 갖는 Nd:YAG 레이저를 사용할 수 있다. 상기 범위의 적외선 영역의 파장을 갖는 펄스 레이저를 사용하는 경우 장축 길이 30 nm 이상 150 nm 이하의 나노 로드가 주로 형성된다.
또한, 펄스 레이저 조사 시, 레이저 조사 장치와 상기 수용액 사이에 포커스 렌즈를 개재하여, 레이저가 렌즈를 통과하도록 함으로써 레이저 광선을 판재에 더욱 집광되도록 할 수 있다. 상기 적외선 펄스 레이저를 포커스 렌즈에 의하여 더욱 집광함으로써 작은 출력의 펄스 레이저 조사만으로도 어블레이션 반응의 속도를 더 빠르게 할 수 있다.
또한, 상기 적외선 펄스 레이저 조사 시, 스캐너 장치를 사용하여 상기 판재 위에 조사되는 레이저를 한 지점에 계속하여 조사하는 것이 아니라, 일정한 패턴을 그리면서 조사하는 위치를 이동시켜 어블레이션을 수행할 수 있다. 구체적으로, 상기 적외선 펄스 레이저는 100 mm/s 이상 10,000 mm/s 이하의 조사 속도로 상기 판재 위에 패턴을 그리면서 조사될 수 있다. 상기와 같은 빠른 속도로 패턴을 그리면서 레이저를 조사함으로써 어블레이션에 의하여 발생한 나노 로드가 수용액 속으로 분산되기 전에 레이저 조사를 방해하는 것을 피할 수 있어 어블레이션의 효율을 향상시킬 수 있다.
본 명세서에서 "조사 속도"는 조사되는 레이저의 일 지점에서 타 지점까지 이동하는 속도를 의미할 수 있다.
본 발명의 일 실시 상태에 따르면 상기 나노 로드는 장축이 30 nm 이상 150 nm 이하이고, 단축이 5 nm 이상 20 nm 이하이며, 아스펙트비가 3 이상 6 이하일 수 있다. 이와 같은 나노 로드의 장축 및 단축의 길이와 아스펙트비는 상기 수지형 분산제의 농도, 적외선 펄스 레이저의 에너지, 파장 또는 펄스 폭을 변화시켜 조절할 수 있다. 장축 및 단축의 길이가 상기 범위 내이고, 아스펙트 비가 상기 범위 내인 경우, 상기 나노 로드는 다양한 화학 반응의 촉매 또는 이차 전지의 전극 활물질 등에 사용 시 보다 큰 비표면적을 갖게 되어 우수한 촉매 효율 및 우수한 전지의 충방전 효율을 구현할 수 있다.
이하, 본 발명을 구체적으로 설명하기 위해 실시예를 들어 상세하게 설명하기로 한다. 그러나, 본 발명에 따른 실시예들은 여러 가지 다른 형태로 변형될 수 있으며, 본 발명의 범위가 아래에서 기술하는 실시예들에 한정되는 것으로 해석되지 않는다. 본 명세서의 실시예들은 당업계에서 평균적인 지식을 가진 자에게 본 발명을 보다 완전하게 설명하기 위해 제공되는 것이다.
[실시예 1]
유리 비커에 탈이온수 40 g을 넣고 수지형 분산제로 폴리알릴아민 하이드로클로라이드(PAH, 상품명: PAA-HCL-03, Mw 17,500, Nittobo社 제) 0.04 g을 첨가하여 혼합한 수용액을 준비하였다. 상기 수용액에 20 mm Ⅹ 20 mm로 커팅하여 준비한 두께 1 mm의 철 판재(Posco社 제)를 침지시키고, 상기 철 판재에 적외선 펄스 레이저로 Nd:YAG 펄스 레이저(Trumicro5050, Trumpft社 제)를 도 3에 나타낸 바와 같이 조사하였다. 구체적으로, 5000 mm/s의 조사 속도로 10 mm Ⅹ 10 mm 영역에서 0.1 μm 간격으로 평행선을 양 방향으로 번갈아 가면서 그리며 10 분간 조사하여 액상 펄스 레이저 어블레이션을 수행하였다. 상기 적외선 펄스 레이저는 펄스 폭 3 ps, 파장은 1064 nm, 출력은 35 W, 주파수는 200 kHz, 조사량은 172 μJ/pulse이었다.
제조된 나노 입자를 포함하는 수용액을 고분해능 투과 전자 현미경(HR-TEM, Hitach社 제)의 그리드(grid) 상에 떨어뜨려 상온에서 건조한 후 HR-TEM에 넣고 촬영하였다. 서로 다른 두 위치를 촬영한 이미지는 도 4에 나타내었다.
[실시예 2]
탈이온수에 PAH를 0.2 g 혼합한 것을 제외하고는 실시예 1과 동일한 과정으로 액상 펄스 레이저 어블레이션을 수행한 뒤, 실시예 1과 동일한 방법으로 HR-TEM 촬영하였다. 촬영한 이미지는 도 5(x20,000(좌), x40,000(우))에 나타내었다.
[실시예 3]
탈이온수에 PAH를 0.4 g 혼합한 것을 제외하고는 실시예 1과 동일한 과정으로 액상 펄스 레이저 어블레이션을 수행한 뒤, 실시예 1과 동일한 방법으로 HR-TEM 촬영하였다. 촬영한 이미지는 도 6(x20,000(좌), x40,000(우))에 나타내었다.
[비교예 1]
탈이온수에 PAH를 0.2 g 혼합하고, 1064 nm 파장의 적외선 펄스 레이저를 주파수 변환 장치(add-on frequency conversion module: Xiton Photonics社 제 XHB series TM5050)를 이용하여 355 nm 파장의 자외선 펄스 레이저로 변경하여 사용하는 것을 제외하고는 실시예 1과 동일한 과정으로 액상 펄스 레이저 어블레이션을 수행한 뒤, 실시예 1과 동일한 방법으로 HR-TEM 촬영하였다. 촬영한 이미지는 도 7(x10,000(좌), x40,000(우))에 나타내었다.
[비교예 2]
탈이온수에 PAH를 혼합하지 않은 것을 제외하고는 실시예 1과 동일한 과정으로 액상 펄스 레이저 어블레이션을 수행한 뒤, 실시예 1과 동일한 방법으로 HR-TEM 촬영하였다. 촬영한 이미지는 도 8(x20,000(좌), x40,000(우))에 나타내었다.
[비교예 3]
펄스 레이저의 파장을 비교예 1과 동일한 방법에 의하여 355 nm로 변환하여 사용한 것을 제외하고는 비교예 2와 동일한 과정으로 액상 펄스 레이저 어블레이션을 수행한 뒤, 실시예 1과 동일한 방법으로 HR-TEM 촬영하였다. 촬영한 이미지는 도 9(x20,000(좌), x40,000(우))에 나타내었다.
도 4, 5 및 6을 참고하면, 실시예 1 내지 3의 방법으로 PAH를 혼합한 수용액 내에서 액상 펄스 레이저 어블레이션을 수행한 결과 구형 철 나노 입자뿐만 아니라 철 나노 로드가 함께 생성되는 것을 확인할 수 있었다. 특히 철 나노 로드의 생성 비율은 PAH를 탈이온수 100 중량부에 대하여 0.5 중량부의 비율로 혼합한 실시예 2에서 가장 높게 확인되었다. 또한, HR-TEM 이미지를 이미지 분석 프로그램을 사용하여 분석 결과 실시예 1에서는 장축 길이 48.7 nm ~ 59.5 nm이고 단축 길이는 10.1 nm ~ 16.7 nm, 실시예 2에서는 장축 길이 64.8 nm ~ 87.4 nm이고 단축 길이는 8.68 nm ~ 17.6 nm이며, 실시예 3에서는 장축 길이 99.6 nm 및 단축길이 16.8 nm 크기를 갖는 나노 로드가 주로 생성되었다. 따라서 장축 길이 30 nm 이상 150 nm 이하 및 단축 길이 5 nm 이상 20 nm 이하를 갖는 나노 로드가 얻어졌다.
한편, 도 5 및 7을 참고하면, 동일한 농도의 PAH를 사용하되, 적외선 영역의 파장을 갖는 펄스 레이저를 사용하여 액상 펄스 레이저 어블레이션을 수행한 실시예 2 및 자외선 영역의 파장을 갖는 펄스 레이저를 사용하여 액상 펄스 레이저 어블레이션을 수행한 비교예 1의 HR-TEM 이미지를 분석 프로그램을 사용하여 비교하였을 때, 실시예 2에 의하여 얻어진 철 나노 로드는 장축 길이가 30 nm 이상 150 nm 이하의 범위에 포함되는 반면, 비교예 1에 의하여 얻어진 철 나노 로드는 장축 길이가 500 nm 이상 1200 nm 이하의 범위로, 나노 로드 뿐만 아니라 마이크로 로드까지 함께 생성되는 것을 확인할 수 있었다.
따라서 나노 단위의 장축 길이를 갖는 나노 로드를 제조하기 위하여서는 적외선 영역의 파장을 갖는 펄스 레이저를 사용하는 것이 적절함을 확인할 수 있다.
한편, 도 8 및 9를 참고하면, PAH를 전혀 혼합하지 않은 탈이온수를 사용하여 액상 펄스 레이저 어블레이션을 수행한 경우에는 나노 로드를 거의 찾아볼 수 없고 대부분 구형의 나노 입자가 얻어졌음을 확인할 수 있다.

Claims (11)

  1. 수지형 분산제를 포함하는 수용액을 준비하는 단계;
    상기 수용액에 금속 또는 금속 산화물 판재를 침지시키는 단계; 및
    상기 판재에 적외선 펄스 레이저를 조사하여 어블레이션시키는 단계를 포함하는 나노 로드의 제조 방법으로서, 상기 수지형 분산제는 아민계 수지이고, 상기 아민계 수지는 폴리알릴아민, 폴리비닐아민 및 폴리에틸렌이민으로 이루어진 군에서 선택된 1종 이상인 나노 로드의 제조 방법.
  2. 삭제
  3. 삭제
  4. 제1항에 있어서,
    상기 수용액은 물 100 중량부에 대하여 상기 수지형 분산제를 0.01 중량부 이상 3 중량부 이하로 포함하는 나노 로드의 제조 방법.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 금속 판재는 철, 구리, 니켈, 티타늄 및 알루미늄으로 이루어진 군에서 선택된 1종 이상을 포함하는 나노 로드의 제조 방법.
  6. 제1항에 있어서,
    상기 금속 산화물 판재는 이산화티타늄, 산화아연 및 산화알루미늄으로 이루어진 군에서 선택된 1종 이상을 포함하는 나노 로드의 제조 방법.
  7. 제1항에 있어서
    상기 금속 또는 금속 산화물 판재는 두께가 0.5 mm 이상 5 mm 이하인 나노 로드의 제조 방법.
  8. 제1항에 있어서,
    상기 적외선 펄스 레이저는 펄스 폭이 1 ps(pico second) 이상 10 ns(nano second) 이하인 나노 로드의 제조 방법.
  9. 제1항에 있어서,
    상기 적외선 펄스 레이저는 50 μJ/pulse 이상 1000 μJ/pulse 이하의 에너지를 갖는 나노 로드의 제조 방법.
  10. 제1항에 있어서,
    상기 적외선 펄스 레이저는 파장이 800 nm 이상 1200 nm 이하인 나노 로드의 제조방법.
  11. 제1항에 있어서,
    장축이 30 nm 이상 150 nm 이하이고, 단축이 5 nm 이상 20 nm 이하이며, 아스펙트비가 3 이상 6 이하인 나노 로드의 제조 방법.

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