KR102559553B1 - 상면 보강부를 구비한 스퍼터링 타겟 및 이의 제조방법 - Google Patents

Abstract

본 발명은 타겟부와 백킹 플레이트부로 구성된 스퍼터링 타겟에 관한 것으로, 일 실시예에서, 타겟부와 백킹 플레이트부로 구성된 스퍼터링 타겟으로서, 상기 백킹 플레이트부의 상면에 형성된 보강부를 포함하고, 상기 보강부는 상기 백킹 플레이트부보다 기계적 강도가 높은 재질로 형성된 것을 특징으로 하는 스퍼터링 타겟을 제공한다.

Description

상면 보강부를 구비한 스퍼터링 타겟 및 이의 제조방법 {Sputtering target with upper-side reinforcement region and method for manufacturing the same sputtering target}

본 발명은 스퍼터링 타겟에 관한 것으로, 보다 상세하게는 타겟의 백킹 플레이트 영역에 보강부가 형성되어 기계적 강성을 향상시킨 스퍼터링 타겟 및 그 제조방법에 관한 것이다.

물리 기상 증착(Physical Vapor Deposition; PVD) 공정에 이용되는 장치의 하나인 스퍼터 장치는 반도체 기판, LCD 등의 평판 디스플레이 등의 제조시 박막을 증착하는 장치이다. 스퍼터 장치의 챔버 내부에 스퍼터링 타겟을 설치한 후 챔버 내부를 진공으로 만들고 챔버 내부로 가스를 주입하여 플라즈마를 생성시킨다. 플라즈마에 의해 이온화된 가스입자가 스퍼터링 타겟의 표면에 충돌하면 스퍼터링 타겟 표면의 입자가 스퍼터되어 배출된 후 기판 위에 증착된다.

일반적으로 이러한 스퍼터 장치에 사용되는 스퍼터링 타겟은 스퍼터된 입자를 배출하는 타겟부와 타겟부를 지지하는 백킹 플레이트부(backing plate)로 구성되며 백킹 플레이트는 타겟부를 지지하기 위해 강성이 높은 재질로 구성된다.

최근 스퍼터링 타겟의 사용 시간을 높이고 제조 비용을 절감하기 위해 타겟부와 백킹 플레이트부를 하나의 재질로 만든 일체형 타겟의 사용 비중이 점차 높아지고 있다. 그런데 스퍼터링 타겟을 일체형으로 제작할 경우 타겟의 강성이 약해지는 문제가 있다. 통상 스퍼터링 공정시 스퍼터링 타겟의 타겟부 측에 진공이 걸리고 백킹 플레이트부 측으로 냉각 수압을 받기 때문에 타겟에 응력이 작용하게 되므로 타겟 강성이 충분하지 못하면 타겟이 휘어지는 문제가 있다.

백킹 플레이트부를 타겟부와 접합한 2피스형 스퍼터링 타겟에서는 백킹 플레이트부에 의해 기계적 강도를 유지할 수 있으므로 이러한 문제가 없지만 구리(Cu)나 알루미늄(Al)으로 구성된 일체형 타겟의 경우 기계적 강도가 부족하여 스퍼터링 공정 중에 타겟이 휘어지거나 변형이 발생하는 문제가 있다.

이러한 문제를 해결하기 위해 예를 들어 하기 특허문헌1은 타겟과 백킹 플레이트가 동일 재료로 제작된 일체 구조형 타겟에 있어서 타겟을 소성 가공하여 기계적 강도를 높게 함으로써 타겟의 휨을 방지하는 기술을 개시하였다. 그러나 타겟 전체의 기계적 강도를 높이기 위해 소성 가공의 조건을 변경하면 타겟 자체의 스퍼터 특성이 변화되어 버리므로 기판 위에 박막을 균일하게 형성할 수 없게 되는 문제가 발생한다.

특허문헌1: 일본 공개특허 제2002-121662호 (2002년 4월 26일 공개) 특허문헌2: 일본 특허공개 제2012-515847호 (2012년 7월 12일 공개) 특허문헌3: 한국 공개특허 제2014-0106906호 (2014년 9월 4일 공개)

본 발명은 상술한 바와 같은 문제점을 해결하기 위해 안출된 것으로, 스퍼터링 타겟의 플랜지부 영역에 기계적 강성이 높은 재질로 보강부를 형성함으로써 기계적 강도가 향상된 스퍼터링 타겟을 제공하는 것을 목적으로 한다.

본 발명의 일 실시예에 따르면, 타겟부와 백킹 플레이트부로 구성된 스퍼터링 타겟으로서, 상기 백킹 플레이트부의 상면에 형성된 보강부를 포함하고, 상기 보강부는 상기 백킹 플레이트부보다 기계적 강도가 높은 재질로 형성된 것을 특징으로 하는 스퍼터링 타겟을 제공한다.

본 발명의 일 실시예에 따르면, 타겟부와 백킹 플레이트부로 구성된 스퍼터링 타겟으로서, 상기 스퍼터링 타겟이, 상기 백킹 플레이트부의 상면에 방사상 방향으로 소정 길이씩 형성된 복수개의 제1 보강부를 포함하고, 상기 제1 보강부는 상기 백킹 플레이트부보다 기계적 강도가 높은 재질로 형성된 것을 특징으로 하는 스퍼터링 타겟을 제공한다.

본 발명의 일 실시예에 따르면, 타겟부와 백킹 플레이트부로 구성된 스퍼터링 타겟을 제조하는 방법으로서, 상기 백킹 플레이트부의 상면에 소정 폭과 깊이의 그루브를 형성하는 단계; 상기 그루브에 와이어를 삽입하는 단계; 및 상기 와이어를 상기 백킹 플레이트부에 접합하여 보강부를 형성하는 단계;를 포함하고, 상기 와이어는 상기 백킹 플레이트부보다 기계적 강도가 높은 이종 재질로 구성된 것을 특징으로 하는 스퍼터링 타겟 제조방법을 제공한다.

본 발명의 일 실시예에 따르면 스퍼터링 타겟의 플랜지부 영역에 기계적 강성이 높은 재질로 보강부를 형성함으로써 스퍼터링 타겟의 강성을 높이는 기술적 효과를 가진다.

또한 본 발명의 일 실시예에 따르면 스퍼터링 타겟의 플랜지부만 기계적 강도를 높임으로써 스퍼터 중의 타겟의 변형을 억제할 수 있으므로 종래의 스퍼터 특성을 변화시키는 경우가 없고, 따라서 균일성이 우수한 박막을 형성하는 것이 가능하고 미세화 및 고집적화가 진행되는 반도체 제품의 수율이나 신뢰성을 향상시킬 수 있는 효과가 있다.

도1은 본 발명의 제1 실시예에 따른 스퍼터링 타겟의 사시도,
도2는 제1 실시예에 따른 스퍼터링 타겟의 단면을 나타내는 도면,
도3은 제1 실시예에 따른 스퍼터링 타겟의 저면을 나타내는 도면,
도4는 제1 실시예에 따른 스퍼터링 타겟의 제조방법을 설명하는 도면,
도5 내지 도7은 대안적 실시예에 따른 스퍼터링 타겟을 설명하는 도면,
도8은 제2 실시예에 따른 스퍼터링 타겟의 단면을 나타내는 도면,
도9는 제2 실시예에 따른 스퍼터링 타겟의 상면을 나타내는 도면,
도10은 제2 실시예에 따른 스퍼터링 타겟의 제조방법을 설명하는 도면,
도11 내지 도14는 대안적 실시예에 따른 스퍼터링 타겟을 설명하는 도면이다.

이상의 본 발명의 목적들, 다른 목적들, 특징들 및 이점들은 첨부된 도면과 관련된 이하의 바람직한 실시예들을 통해서 쉽게 이해될 것이다. 그러나 본 발명은 여기서 설명되는 실시예들에 한정되지 않고 다른 형태로 구체화될 수도 있다. 오히려, 여기서 소개되는 실시예들은 개시된 내용이 철저하고 완전해질 수 있도록 그리고 당업자에게 본 발명의 사상이 충분히 전달될 수 있도록 하기 위해 제공되는 것이다.

본 명세서에서 구성요소간 위치 관계를 설명하기 위해 '상부', '하부', '좌측', '우측', '전방', '후방' 등과 같이 상대적 위치를 나타내는 용어는 절대적 기준으로서의 방향이나 위치를 의미하지 않을 수 있으며 각 도면을 참조하여 본 발명을 설명할 때 해당 도면을 기준으로 설명의 편의를 위해 사용되는 상대적 표현일 수 있다.

본 명세서에서 어떤 구성요소(A)가 다른 구성요소(B)에 연결(또는 결합, 체결, 부착 등)된다고 언급하는 경우 그것은 구성요소(A)가 다른 구성요소(B)에 직접적으로 연결되거나 또는 그들 사이에 제 3의 구성요소를 개재하여 간접적으로 연결되는 것을 의미한다.

본 명세서의 도면들에 있어서 구성요소들의 길이, 두께, 또는 넓이는 기술적 내용의 효과적인 설명을 위해 과장된 것이며 어느 한 구성요소와 다른 구성요소의 상대적 크기도 구체적 실시예에 따라 달라질 수 있다.

본 명세서에서 구성요소의 단수형은 문구에서 특별히 언급하지 않는 한 복수형도 포함한다. 명세서에서 사용되는 '~를 포함한다', '~로 구성된다', 및 '~으로 이루어진다' 라는 표현은 언급된 구성요소 외에 하나 이상의 다른 구성요소의 존재 또는 추가를 배제하지 않는다.

본 명세서에서 제1, 제2 등의 용어가 구성요소들을 기술하기 위해서 사용된 경우, 이들 구성요소들이 이 같은 용어들에 의해서 한정되어서는 안 된다. 이들 용어들은 단지 어느 구성요소를 다른 구성요소와 구별시키기 위해서 사용되었을 뿐이다. 여기에 설명되고 예시되는 실시예들은 그것의 상보적인 실시예들도 포함한다.

이하 도면을 참조하여 본 발명을 상세히 설명하도록 한다. 아래의 특정 실시예들을 기술하는데 있어서 여러 가지의 특정적인 내용들은 발명을 더 구체적으로 설명하고 이해를 돕기 위해 작성되었다. 하지만 본 발명을 이해할 수 있을 정도로 이 분야의 지식을 갖고 있는 독자는 이러한 여러 가지의 특정적인 내용들이 없어도 사용될 수 있다는 것을 인지할 수 있다. 어떤 경우에는, 발명을 기술하는 데 있어서 흔히 알려졌으면서 발명과 크게 관련 없는 부분들은 본 발명을 설명하는 데 있어 혼돈을 막기 위해 기술하지 않음을 미리 언급해 둔다.

도1 내지 도3은 본 발명의 일 실시예에 따른 스퍼터링 타겟(100)을 설명하는 도면으로, 도1은 스퍼터링 타겟(100)의 사시도이고 도2와 도3은 스퍼터링 타겟(100)의 단면과 저면을 각각 개략적으로 나타낸다.

도1 내지 도3을 참조하면, 일 실시예에 따른 스퍼터링 타겟(100)은 타겟부(110)와 백킹 플레이트부(backing plate)(120)로 구성될 수 있다. 타겟부(110)는 물리기상증착(PVD) 공정시 스퍼터될 물질로 구성되고 예를 들어 구리, 알루미늄, 티타늄, 탄탈륨 등 금속 또는 합금 재질로 제조된다. 백킹 플레이트부(120)는 타겟부(110)의 일 면에 일체로 부착되어 타겟부(110)를 지지하는 역할을 하며 예를 들어 알루미늄, 구리, 황동계 구리합금 등의 재료로 구성될 수 있다.

타겟부(110)와 백킹 플레이트부(120)는 소정 직경을 갖는 디스크 형상이며, 스퍼터링 타겟(100)의 타겟부(110)와 백킹 플레이트부(120)가 이종 재료인 경우 타겟부(110)와 백킹 플레이트부(120)가 각기 별도로 제작된 후 접합되어 스퍼터링 타겟(100)으로 제조된다.

다른 실시예에서 스퍼터링 타겟(100)이 타겟부(110)와 백킹 플레이트부(120)가 동일 재질로 구성되는 일체형 타겟일 수 있고, 이 경우 예컨대 디스크 형상의 모재(preform)를 가공하여 타겟부(110)와 백킹 플레이트부(120)로 구성된 일체형 스퍼터링 타겟을 제조할 수 있다.

이하에서는 본 발명에 따른 스퍼터링 타겟이 일체형 타겟인 것으로 가정하고 설명하기로 한다. 즉 도2(a)에서 타겟부(110)와 백킹 플레이트부(120) 사이의 경계선(a)은 편의상 타겟부(110) 영역과 백킹 플레이트부(120) 영역을 구분하기 위한 가상의 선임을 이해할 것이다. 물론 본 발명은 일체형 타겟 뿐만 아니라 타겟부와 백킹 플레이트부가 서로 상이한 금속 또는 금속합금으로 구성된 스퍼터링 타겟에도 적용될 수 있음은 물론이다.

일 실시예에서 스퍼터링 타겟(100)(이하 간단히 "타겟"이라고도 함)은 타겟부(110) 주위 영역인 플랜지부(121)를 포함한다. 일반적으로 백킹 플레이트부(120)의 직경이 타겟부(110)보다 더 크며 따라서 플랜지부(121)는 백킹 플레이트부(120)에 속하는 영역일 수 있다. 타겟(100)이 원형의 디스크 형상인 경우 플랜지부(121)가 오링(O-ring)용 그루브(123)를 포함한다. 그루브(123)는 플랜지부(121)의 상면에 타겟부(110)를 둘러싸는 링(ring) 형상으로 형성되며, 타겟(100)이 PVD 장치에 설치될 때 타겟(100)과 장치내 챔버 사이를 밀폐하기 위한 오링을 수용할 수 있다. 또한 타겟(100)은 플랜지부(121)의 상면 가장자리를 따라 형성된 다수의 결합용 관통공(124)을 포함할 수 있다. 결합용 관통공(124)은 타겟(100)을 PVD 장치의 챔버 내부에 고정 설치하기 위한 것으로 예컨대 볼트 등 결합부재가 관통하기 위한 것이다. 본 발명의 일 실시예에서 스퍼터링 타겟(100)은 백킹 플레이트부(120)의 하면(120a)에 형성된 보강부(130)를 포함한다. 보강부(130)는 백킹 플레이트부(120)보다 기계적 강도가 높은 재질로 형성된다. 예를 들어 일체형 타겟(100)이 알루미늄이나 구리 타겟인 경우 보강부(130)는 황동계 구리합금 또는 알루미늄계 합금으로 구성될 수 있다. 예를 들어 황동계 구리합금은 구리와 아연이 6:4 비율 또는 7:3 비율을 갖는 황동일 수 있다.

도2(a)와 도3(a)에 도시한 것처럼 보강부(130)는 타겟부(110)를 둘러싸는 플랜지부(121)의 하면에 형성된다. 도3(a)에서는 타겟(100)의 하면에서 볼 때 보강부(130)가 링 형상을 갖는 것으로 도시하였지만 타겟(100)이 원형 디스크가 아닌 경우 보강부(130)의 형상도 달라질 수 있다. 예컨대 타겟(100)이 사각형의 판상 형상을 갖는 경우 타겟 하면에서 볼 때 보강부(130)가 사각형 형상을 갖게 됨을 이해할 것이다.

보강부(130)는 플랜지부(121) 하면의 임의의 영역에 형성될 수 있다. 그러나 타겟(100)이 PVD 장치에 설치되어 스퍼터링 공정이 수행될 때 그루브(123) 주위 영역이 응력을 가장 많이 받는 반면 플랜지부(121)의 두께가 그루브(123) 영역에서 가장 얇기 때문에, 바람직하게는, 보강부(130)가 오링용 그루브(123)의 하방 영역, 즉 플랜지부(121)에서 상면의 오링용 그루브(123)와 마주보는(대향하는) 하면 영역에 형성될 수 있다.

예를 들면플랜지부(121)의 두께가 10 내지 15mm이고 오링용 그루브(123)가 3mm 내지 4mm로 형성되면, 본 발명에 따른 보강부(130)는 플랜지부(121)의 하면으로부터 대략 3 내지 8mm의 두께(깊이)로 형성될 수 있다. 대안적으로, 보강부(130)는 플랜지부(121) 두께의 20 내지 80%의 두께로 형성될 수 있다. 또한 보강부(130)의 폭은 3 내지 20mm 일 수 있다.

일 실시예에서 타겟(100)을 제작한 후 백킹 플레이트부(120)의 하면(120a)에 링 형상의 보강부(130)의 모재(예컨대 링 형상의 황동 와이어)를 접합하여 보강부(130)를 형성할 수 있다. 이 때 보강부 모재와 백킹 플레이트부(120) 사이의 접합을 위해 공지의 다양한 접합 방식 중 하나를 사용할 수 있으며, 본 발명의 일 실시예에서는 마찰교반접합(FSW) 방식을 사용한다. 이와 관련하여 도2(b)와 도3(b)는 보강부(130)를 FSW 방식으로 접합한 타겟의 사진으로, 도2(b)는 도2(a)의 "A" 영역에 해당하는 실제 타겟의 단면 모습으로 구리 백킹 플레이트부(120)에 황동 재질의 보강부(130)를 FSW 방식으로 접합한 경우의 단면이고, 도3(b)는 도3(a)의 "B" 영역에 해당하는 실제 타겟 사진으로, 백킹 플레이트부(120)의 하면(120a)에 FSW 방식으로 접합된 보강부(130)가 나타나 있다.

도4는 일 실시예에 따라 일체형 스퍼터링 타겟(100)을 제조하는 예시적 방법을 나타낸다. 도4를 참조하면, 우선 스퍼터링 타겟(100)의 모재(100a)를 준비한다. 일 실시예에서 일반적인 금속재의 제조방법에 따라 예컨대 용해·주조법, 분말 성형법, 스프레이 포밍법, 열간 정수압 가압법(HIP) 등의 방법으로 타겟 모재(100a)를 제작할 수 있다. 도4의 실시예에서 타겟 모재(100a)는 원형 단면의 디스크 형상인 것으로 가정하지만 도면에는 단면 일부분만 도시하였음을 이해할 것이다.

타겟 모재(100a)가 준비되면 도4(a)에 도시한 것처럼 타겟 모재(100a)에 그루브(125)를 형성한다. 그루브(125)는 보강부(130)를 형성할 위치에 형성되며, 예를 들어 모재(100a)의 표면에서 볼 때 링 형상으로 형성된다. 그루브(125)의 폭과 깊이는 후술할 와이어(135)의 두께에 따라 결정될 수 있다.

그 후 도4(b)에 도시한 것처럼 그루브(125)에 와이어(135)를 삽입한다. 와이어(135)는 보강부(130) 형성을 위한 것으로 타겟 모재(100a)보다 기계적 강도 높은 임의의 재질로 구성될 수 있으며, 예를 들어 백킹 플레이트부(120)가 구리나 알루미늄일 때 와이어(135)가 황동 재질일 수 있다. 와이어(135)의 단면이 원형일 수도 있지만 단면이 사각형 등 다각형 형상일 수도 있다. 또한 와이어(135) 전체가 그루브(125) 내에 수용될 수도 있고 도4(b)에 도시한 것처럼 와이어(135)의 일부분이 모재(100a) 표면 위로 돌출될 수도 있다.

그 후 도4(c)에 도시한 바와 같이 와이어(135)를 타겟 모재(100a)에 접합하여 보강부(130)를 형성한다. 도시한 실시예에서 마찰교반접합(FSW)에 의해 와이어(135)를 타겟 모재(100a)에 접합한다. FSW 방식은 회전툴(150)을 회전시키면서 접합 부위에 부분적으로 삽입하여 이동시키고 이 때 발생하는 마찰열을 이용하여 회전툴(150) 주변부의 금속을 연화시켜 소성 유동을 발생시켜서 금속 재질을 접합하는 접합 방식이다. 회전툴(150)의 가압력, 회전속도, 이동속도, 삽입 깊이 등은 접합 대상, 즉 와이어(135)와 타겟 모재(100a)의 재질, 두께 등에 따라 달라질 수 있다.

FSW 방식에 의한 접합시 회전툴(150)이 통과한 마찰 교반부에는 소성 유동에 두 접합대상(즉, 와이어(135)와 모재(100a))이 섞이며 접합되기 때문에 표면에 도2(b)와 도3(b)에서 알 수 있듯이 명료한 교반 자국이 생기고 접합 표면에 굴곡이 생길 수도 있다. 따라서 일 실시예에서 이러한 교반 자국을 완화시키거나 접합 표면을 평탄화하기 위해 어닐링이나 연마 등 추가 공정을 수행할 수도 있다.

한편 대안적 실시예에서 와이어(135)의 접합을 위한 접합 방식으로 FSW 대신 전자빔 용접(EBW), 레이저 용접(LW) 등 공지의 다른 접합 방식을 사용할 수도 있다. 전자빔 용접 및 레이저 용접은 열원으로서 전자 또는 레이저의 고도로 집중된 빔을 이용하여 비접촉 방식으로 금속을 접합한다. 고밀도의 전자 또는 레이저 빔은 와이어(135)와 타겟 모재(100a)의 그루브(125) 영역에 거의 순간적인 국부적 용해를 발생시켜 와이어(135)를 타겟 모재(100a)에 접합시킬 수 있다.

위와 같이 와이어(135)를 타겟 모재(100a)의 그루브(125) 영역에 접합시킴으로써 보강부(130)를 형성하고, 그 후 도4(c)에 "B"로 표시한 영역을 기계적 가공을 통해 제거하여 플랜지부(121)를 형성함으로써 도4(d)에 도시한 것처럼 타겟부(110) 영역과 백킹 플레이트부(120) 영역으로 이루어진 일체형 스퍼터링 타겟(100)을 얻을 수 있다. 그리고 추가의 기계적 가공을 통해 도4(e)에 도시한 것처럼 플랜지부의 상면에 오링용 그루브(123) 및 도1에 도시한 관통공(124) 등을 추가적으로 형성할 수 있다.

한편 도4에서는 보강부(130)를 형성한 후 "B" 영역을 제거하여 플랜지부를 형성하는 것으로 설명하였지만 이는 예시적인 방법이며, 대안적 실시예에서 플랜지부를 먼저 형성한 후 보강부(130)를 형성할 수도 있고, 또 다른 방법으로, 플랜지부와 오링용 그루브(123)를 먼저 형성한 후 보강부(130)를 나중에 형성할 수도 있음은 물론이다.

이제 도5 내지 도7을 참조하여 대안적 실시예에 따른 스퍼터링 타겟을 설명하기로 한다.

우선 도5(a)는 대안적 실시예에 따른 스퍼터링 타겟(100)의 저면을 나타내고 도5(b)는 도5(a)의 C-C' 선을 따른 단면을 개략적으로 도시하였다. 도5를 참조하면, 이 대안적 실시예에 따른 스퍼터링 타겟은 2겹의 링 형상의 보강부(130)로 구성된다. 즉 보강부(130)는 하면에서 볼 때 링 형상의 제1 보강부(130a) 및 제1 보강부(130a)를 둘러싸는 링 형상의 제2 보강부(130b)로 구성된다. 제1 보강부(130a)와 제2 보강부(130b)의 각각은 도2 내지 도4를 참조하여 설명한 것과 동일 또는 유사한 구성 및 제조방법에 따라 형성될 수 있다. 다만 도5의 실시예에서 제1 보강부(130a)와 제2 보강부(130b)의 재질이 동일할 필요는 없으며, 제1 보강부(130a)와 제2 보강부(130b)가 백킹 플레이트부(120)보다 더 큰 기계적 강도를 갖는 재질 중 각각 선택된 임의의 재질로 형성될 수 있다.

도5의 2겹 보강부(130)를 구비한 스퍼터링 타겟을 제조하는 예시적 방법으로서, 도4(a)의 단계에서 2개의 그루브(125), 즉 제1 그루브와 상기 제1 그루브를 방사상 외측 방향에서 둘러싸는 제2 그루브를 형성하고, 도4(b) 단계에서 2개의 와이어(135), 즉 제1 와이어와 제2 와이어를 각각 제1 그루브와 제2 그루브에 각각 삽입한다. 그 후 도4(c)의 단계에서 FSW 방법에 의해 제1 와이어를 제1 그루브와 접합하고 제2 와이어를 제2 그루브와 접합하여 2개의 보강부(130)를 형성할 수 있다.

제1 보강부(130a)와 제2 보강부(130b)의 형성 위치는 플랜지부(121)의 하면 중 오링용 그루브(123)와 마주보는 영역일 수 있다. 즉 오링용 그루브(123)의 수직 대향하는 플랜지부(121) 하면 지점에서 방사상 방향으로 소정 거리 이내의 영역에 형성할 수 있다.

도6(a)는 다른 대안적 실시예에 따른 스퍼터링 타겟(100)의 저면을 도식적으로 나타낸 것으로, 보강부(140)가 타겟(100)의 저면에 방사상 형태로 형성되었다. 즉 도6(a)의 실시예에서 스퍼터링 타겟(100)은 백킹 플레이트부(120)의 하면에 타겟(100)의 중심부에서부터 방사상 방향으로 소정 길이씩 형성된 복수개의 보강부(140)를 포함한다. 보강부(140)의 재질과 형성방법 등은 도2 내지 도4를 참조하여 설명한 보강부(130)와 동일 또는 유사하므로 설명을 생략한다.

보강부(140)의 개수는 제한되지 않으며 타겟의 대칭성을 위해 복수의 보강부(140)가 서로 등간격(즉, 서로 등각도로) 이격되어 배열되는 것이 바람직하다. 예를 들어 도6(a)의 실시예에서 45도 간격으로 이격된 8개의 보강부(140)를 도시하였지만, 예컨대 60도 간격으로 이격된 6개의 보강부를 가질 수도 있다.

또한 방사상 방향으로 보강부(140)의 각각의 길이는 동일한 것이 바람직하며, 일 실시예에서 보강부(140)가 플랜지부(121)의 하면 영역에 형성된다. 또한, 도6(a)에서는 보강부(140)가 타겟(100)의 외주면 끝까지 형성된 것으로 도시하였지만, 도1에 도시한 것처럼 타겟(100)의 외주면 영역에 다수의 관통공(124)이 형성될 수 있으므로 이 경우 보강부(140)가 관통공(124)과 오버랩되지 않는 영역까지 형성될 수도 있다. 대안적 실시예에서, 관통공(124)을 형성하기 전에 보강부(140)를 먼저 형성할 수 있으며, 이 경우 보강부(140)가 형성된 영역에 관통공(124)를 형성할 수도 있으므로 보강부(140)와 관통공(124)가 오버랩될 수도 있다.

도6(b)는 또 다른 대안적 실시예에 따른 스퍼터링 타겟(100)의 저면을 도식적으로 나타낸 것으로, 이 대안적 실시예에서 타겟(100)은 방사상 방향으로 배열된 다수의 제1 보강부(140) 및 링(ring) 형상으로 배열된 제2 보강부(150)를 구비하며 제1 보강부(140)와 제2 보강부(150)가 서로 교차하면서 배치되어 있다. 도6(b)의 실시예에서 제1 보강부(140)는 도6(a)의 보강부(140)와 동일 또는 유사한 구성을 가지며 제2 보강부(150)는 도2 내지 도4를 참조하여 설명한 보강부(130)와 동일 또는 유사한 구성을 가진다.

이와 같이 방사상 방향으로 배열된 제1 보강부(140)와 링 형상으로 배열된 제2 보강부(150)를 구비함으로써 타겟(100)에 더 큰 기계적 강도를 부여할 수 있다. 또한 도6(b)의 실시예에서도 제1 보강부(140)와 제2 보강부(150)가 반드시 동일 재질로 형성될 필요가 없으며 각각 백킹 플레이트부(120)보다 기계적 강도가 높은 임의의 재질 중 선택될 수 있다.

도7은 또 다른 대안적 실시예에 따른 스퍼터링 타겟을 설명하는 도면으로 타겟(100)의 측단면을 개략적으로 도시하였다. 이 실시예에서 타겟(100)은 하면에서 볼 때 플랜지부(121)에 링(ring) 형상의 보강부(170)를 구비하되, 보강부(170)가 상하 방향으로 배열된 2개의 링 형상의 보강부(170a,170b)로 구성된다. 즉 보강부(170)가 타겟(100)의 백킹 플레이트부(120)의 하면에 형성된 하부 보강부(170a) 및 하부 보강부(170a)의 상부에 위치하며 백킹 플레이트부(120)의 하면으로부터 소정 깊이로 매립된 상부 보강부(170b)를 포함한다.

일 실시예에서 하부 보강부(170a)와 상부 보강부(170b)가 동일 재질로 형성될 수 있고 서로 상이한 재질일 수도 있다. 대안적 일 실시예에서, 상부 보강부(170b)가 백킹 플레이트부(120) 보다 기계적 강성이 높은 재질로 형성되고 하부 보강부(170a)는 백킹 플레이트부(120)와 동일한 재질로 형성될 수도 있다. 이 경우 하부 보강부(170b)와 백킹 플레이트부(120)가 동일 재질이므로 마찰교반접합(FSW)을 하더라도 백킹 플레이트부(120)의 하면에 도3(b)에서와 같은 교반 자국이 거의 생기지 않으며, 따라서 심미적으로 향상된 효과를 얻을 수 있다.

또한 일 실시예에서 FSW 방식으로 보강부(170)의 접합시 하부 보강부(170a)와 상부 보강부(170b) 모두 마찰 교반에 의해 소성 유동을 형성하여 백킹 플레이트부(120)와 접합할 수도 있고, 대안적으로, 회전툴(150)의 삽입 깊이를 조절하여 하부 보강부(170a)만 마찰 교반하여 백킹 플레이트부(120)에 FSW 방식으로 접합할 수도 있고 이 경우 상부 보강부(170b)는 원래 재질 상태 그대로 백킹 플레이트부(120) 내부에 매립될 수 있다.

이제 이하에서는 도8 내지 도14를 참조하여 본 발명의 제2 실시예에 따른 스퍼터링 타겟(200)을 설명하기로 한다.

도8과 도9는 제2 실시예에 따른 스퍼터링 타겟(200)의 단면과 상면을 각각 개략적으로 도시하였다. 도8과 도9를 참조하면, 제2 실시예에 따른 스퍼터링 타겟(200)은 일체형 타겟으로서 타겟부(210)와 백킹 플레이트부(220)로 구성되고, 플랜지부(221)에 오링용 그루브(223) 및 보강부(230)가 형성되어 있다.

도1 내지 도7의 제1 실시예의 타겟(100)과 비교할 때 제2 실시예의 타겟(200)은 플랜지부(221)의 상면에 보강부(230)를 갖는 점에서 차이가 있다. 보강부(230)는 백킹 플레이트부(220)보다 기계적 강도가 높은 임의의 재질로 구성될 수 있다. 예를 들어 일체형 타겟(200)이 구리, 알루미늄, 티타늄, 또는 탄탈륨 등 금속 또는 합금 재질로 제조되는 경우 보강부(230)는 황동계 구리합금 또는 알루미늄 합금 등의 금속 또는 합금 재료로 구성될 수 있다. 일 실시예에서 보강부(230)와 백킹 플레이트(220) 사이의 접합력을 높이기 위해 보강부(230)의 재질이 백킹 플레이트부(220)의 성분을 포함하는 합금인 것이 바람직할 수 있다. 예를 들어 백킹 플레이트부(220)가 구리이면 보강부(230)를 구리합금으로 선택하고 백킹 플레이트부(220)가 알루미늄이면 보강부(230)를 알루미늄 합금으로 선택할 수 있다.

일 실시예에서 보강부(230)는 플랜지부(221) 영역에 형성되되 타겟(200)의 위에서 볼 때 타겟부(210)를 둘러싸는 링(ring) 형상으로 형성된다. 이 때 보강부(230)가 오링용 그루브(223)의 방사상 내측 또는 방사상 외측 중 한 영역에 형성될 수 있다. 그러나 일반적으로 오링용 그루브(223)의 방사상 외측에는 타겟과 PVD 장치의 결합을 위한 관통공(도1의 124)이 형성되어야 하므로, 도8과 도9에 도시한 것처럼 오링용 그루브(223)의 방사상 내측 위치에 보강부(230)가 형성되는 것이 바람직할 수 있다.

일반적으로 플랜지부(221)의 두께가 대략 10 내지 15mm인 경우 보강부(230)는 플랜지부(221)의 상면으로부터 대략 3 내지 8mm의 두께(깊이)로, 또는 대안적으로 플랜지부(221) 두께의 20 내지 80%의 두께로 형성될 수 있다.

도10은 제2 실시예에 따른 일체형 스퍼터링 타겟(200)의 예시적 제조방법을 나타낸다. 도10의 실시예에서 원형 단면의 디스크 형상의 타겟(200)을 제조하는 것으로 가정하지만 도면에는 단면의 일부분만 도시하였음을 이해할 것이다.

우선 도10(a)에 도시한 것처럼 스퍼터링 타겟의 모재(200a)를 준비한다. 도4를 참조하여 설명한 바와 같이 용해·주조법, 분말 성형법, 스프레이 포밍법, 열간 정수압 가압법(HIP) 등 일반적인 금속재 제조방법에 따라 타겟 모재(200a)를 제작할 수 있다. 그 후 도10(a)에 "D"로 표시한 영역을 기계가공을 통해 제거하여 타겟부(210) 영역과 백킹 플레이트부(220) 영역으로 이루어진 일체형 타겟(200)을 형성한다.

다음으로 도10(b)에 도시한 것과 같이 백킹 플레이트부(220)의 플랜지부(221)의 상면에 소정 폭과 깊이의 보강용 그루브(225)를 형성하고, 일 실시예에서 오링용 그루브(223)도 함께 형성할 수 있다. 보강용 그루브(225)는 보강부(230)를 형성할 위치에 형성되며, 예를 들어 타겟(200)의 위에서 볼 때 링 형상으로 형성된다. 보강용 그루브(225)의 폭과 깊이는 후술할 와이어(235)의 두께에 따라 결정될 수 있다.

그 후 도10(c)에 도시한 것처럼 보강용 그루브(225)에 와이어(235)를 삽입한다. 와이어(235)는 보강부(230) 형성을 위한 것으로 타겟(200)의 백킹 플레이트부(220)보다 기계적 강도 높은 임의의 재질로 구성될 수 있고, 예를 들어 백킹 플레이트부(220)가 구리나 알루미늄일 때 와이어(235)가 황동 재질일 수 있다. 와이어(235)의 단면은 원형일 수도 있고 사각형 등 다각형 형상일 수도 있다. 또한 와이어(235)가 그루브(225) 홈에 완전히 수용될 수도 있고 도10(c)에 도시한 것처럼 와이어(235)의 일부분이 플랜지부의 표면 위로 돌출될 수도 있다.

그 후 도10(d)에 도시한 바와 같이 와이어(235)를 타겟(200)에 접합하여 보강부(230)를 형성한다. 일 실시예에서 회전툴(150)을 이용하여 마찰교반접합(FSW) 방식으로 와이어(235)를 타겟(200)에 접합할 수 있고, 그 후 일 실시예에서 교반 자국을 없애거나 접합 표면을 평탄화하기 위해 어닐링이나 연마 등 추가 공정을 수행할 수 있다.

한편 도10에서는 보강용 그루브(225)와 오링용 그루브(223)을 한번의 공정(도10(b))에서 형성하는 것으로 도시하였지만 이는 예시적인 것이며 대안적 실시예에서 보강부(230)를 형성한 후 오링용 그루브(223)를 형성할 수도 있다.

이제 도11 내지 도14를 참조하여 대안적 실시예에 따른 스퍼터링 타겟을 설명하기로 한다.

도11(a)는 대안적 실시예에 따른 스퍼터링 타겟(200)의 측단면 일부를 나타낸다. 도11(a)의 실시예에서 스퍼터링 타겟(200)은 플랜지부의 상면에 형성된 보강부(240)를 구비하며 보강부(240)는 타겟(200)의 위에서 볼 때 타겟부(210)를 둘러싸는 링(ring) 형상으로 형성된다. 이 실시예에서 보강부(240)는 오링용 그루브(223)를 둘러싸는 영역에 형성된다. 즉 오링용 그루브(223)를 형성할 위치에 보강부(240)를 먼저 형성한 후 보강부(240) 영역 내에 오링용 그루브(223)를 형성한다. 일반적인 타겟의 경우 오링용 그루브(223)가 형성된 영역이 강성에 가장 취약할 수 있으나 본 발명의 실시예와 같이 오링용 그루브(223)를 둘러싸는 영역을 백킹 플레이트부(220)보다 강성이 높은 재질로 구성함으로써 오링용 그루브 영역의 강성을 충분히 보강할 수 있다.

도11(b)는 다른 대안적 실시예에 따른 스퍼터링 타겟(200)의 측단면 일부를 나타내며, 이 실시예에서 타겟(200)은 플랜지부의 상면에 두 개의 보강부(230,240)를 구비한다. 즉 도11(b)의 실시예에서 보강부는 타겟 상면에서 볼 때 링(ring) 형상의 제1 보강부(230) 및 제1 보강부(230)를 방사상 외측 방향에서 둘러싸는 링 형상의 제2 보강부(240)로 구성될 수 있다. 제1 보강부(230)와 제2 보강부(240)의 각각은 도10을 참조하여 설명한 것과 동일 또는 유사한 구성 및 제조방법에 따라 형성될 수 있다.

도11(b)의 실시예에서 제1 보강부(230)와 제2 보강부(240)의 각각은 백킹 플레이트부(220)보다 더 큰 기계적 강도를 갖는 재질 중에서 선택될 수 있고 두 보강부(230,240)의 재질이 동일할 수도 있지만 서로 상이할 수도 있다.

도11(b)의 보강부(230,240)를 구비한 스퍼터링 타겟을 제조하는 예시적 방법으로서, 예를 들어 타겟(200)의 플랜지부에 링 형상의 제1 그루브 및 상기 제1 그루브를 방사상 외측 방향에서 둘러싸는 제2 그루브를 형성하고 제1 그루브에 제1 와이어를 삽입하고 제2 그루브에 제2 와이어를 삽입한다. 그 후 마찰교반접합 방식 등 공지의 접합 방식으로 제1 와이어와 제2 와이어 각각을 백킹 플레이트부(220)에 접합하여 제1 보강부(230)와 제2 보강부(240)를 형성하며, 그 후 제2 보강부(240) 영역 내에 오링용 그루브(223)를 형성함으로써 도11(b)와 같은 타겟을 제조할 수 있다.

도11(c)는 또 다른 대안적 실시예에 따른 스퍼터링 타겟(200)의 측단면 일부를 나타내며, 이 실시예에서 타겟(200)은 플랜지부의 상면에 보강부(250)를 구비하되 보강부(250)가 타겟 상면에서 볼 때 링 형상이고 오링용 그루브(223)의 방사상 외측에 위치하여 형성된다. 한편, 오링용 그루브(223)의 방사상 외측 영역에 타겟(200)과 PVD 장치간 결합을 위한 도1의 관통공(도1의 124)이 형성되어 있을 경우 이러한 관통공(124)과 오러랩되는 영역에 보강부가 형성되거나, 또는 관통공(124)의 외곽 또는 외주부에 보강부가 형성될 수 있다.

도12(a)는 또 다른 대안적 실시예에 따른 스퍼터링 타겟(200)의 측단면 일부를 나타낸다. 이 실시예에서 타겟(200)은 도8과 도9와 유사하게 상면에서 볼 때 플랜지부(221)에 링 형상의 보강부(230)를 구비하되, 보강부(230)가 상하 방향으로 배열된 2개의 링 형상의 보강부(230a,230b)로 구성된다. 즉 보강부(230)가 타겟(200)의 백킹 플레이트부(220)의 플랜지부 상면에 형성된 상부 보강부(230a) 및 상부 보강부(230a)의 하부에 위치하며 백킹 플레이트부(220)의 상면으로부터 소정 깊이로 매립된 하부 보강부(230b)를 포함한다.

일 실시예에서 상부 보강부(230a)와 하부 보강부(230b)가 동일 재질로 형성될 수 있고 서로 상이한 재질일 수도 있다. 대안적 일 실시예에서, 상부 보강부(230a)가 백킹 플레이트부(220)와 동일한 재질로 형성되고 하부 보강부(230b)가 백킹 플레이트부(220)보다 기계적 강성이 높은 재질로 형성될 수 있고, 이 경우 상부 보강부(230a)와 백킹 플레이트부(220)가 동일 재질이므로 마찰교반접합(FSW)으로 접합하더라도 백킹 플레이트부(220)의 상면에 도3(b)에서와 같은 교반 자국이 거의 생기지 않으므로 심미적으로 향상된 효과를 얻을 수 있다.

또한 일 실시예에서 FSW 방식으로 보강부(230)를 접합할 때 상부 보강부(230a)와 하부 보강부(230b) 모두 마찰 교반에 의해 소성 유동을 형성하여 백킹 플레이트부(220)와 접합할 수도 있고, 대안적으로 회전툴(150)의 삽입 깊이를 조절하여 상부 보강부(230a)만 마찰 교반하여 백킹 플레이트부(220)에 FSW 방식으로 접합하고 하부 보강부(230b)는 원래 재질 상태 그대로 백킹 플레이트부(220) 내부에 매립할 수 있다.

도12(b)는 대안적 실시예에 따른 스퍼터링 타겟(200)의 측단면 일부를 나타낸다. 도12(b)의 실시예에서 스퍼터링 타겟(200)은 플랜지부의 상면에 링(ring) 형상으로 형성된 보강부(240)를 구비하되, 도11(a)와 유사하게 보강부(240)가 오링용 그루브(223)를 둘러싸는 영역에 형성된다. 즉 오링용 그루브(223)를 형성할 위치에 보강부(240)를 먼저 형성한 후 보강부(240) 영역 내에 오링용 그루브(223)를 형성한다. 또한 도12(b)의 실시예에서 보강부(240)는 상하 방향으로 배열된 2개의 링 형상의 보강부(240a,240b)로 구성된다. 즉 보강부(240)가 타겟(200)의 백킹 플레이트부(220)의 플랜지부 상면에 형성된 상부 보강부(240a) 및 상기 상부 보강부(240a)의 하부에 위치하며 백킹 플레이트부(220)의 상면으로부터 소정 깊이로 매립된 하부 보강부(240b)로 구성된다.

일 실시예에서 상부 보강부(240a)와 하부 보강부(240b)가 동일 재질로 형성될 수 있고 서로 상이한 재질일 수도 있다. 대안적 일 실시예에서, 상부 보강부(240a)가 백킹 플레이트부(220)와 동일한 재질로 형성되고 하부 보강부(240b)가 백킹 플레이트부(220)보다 기계적 강성이 높은 재질로 형성될 수 있다.

도12(b)의 경우 보강부(240) 영역 내에 오링용 그루브(223)를 형성해야 하므로, FSW 방식으로 보강부(240)를 접합할 때 상부 보강부(240a)와 하부 보강부(240b) 모두 마찰 교반에 의해 소성 유동을 형성하여 백킹 플레이트부(220)와 접합하는 것이 바람직하다. 이 경우에도 상부 보강부(240a)와 백킹 플레이트부(220)가 동일 재질인 경우 백킹 플레이트부(220) 상면에 교반 자국이 거의 생기지 않으므로 심미적으로 향상된 효과를 얻을 수 있다.

도12(c)는 다른 대안적 실시예에 따른 스퍼터링 타겟(200)의 측단면 일부를 나타내며 이 실시예는 도12(a)와 도12(b)의 조합에 해당한다. 즉 도12(c)의 실시예에서 타겟(200)은 플랜지부의 상면에 두 개의 보강부(230,240)를 구비하되, 타겟 상면에서 볼 때 링(ring) 형상의 제1 보강부(230) 및 제1 보강부(230)를 방사상 외측 방향에서 둘러싸는 링 형상의 제2 보강부(240)를 포함할 수 있다. 제1 보강부(230)와 제2 보강부(240)의 각각은 도12(a)와 도12(b)를 참조하여 설명한 것과 동일 또는 유사한 구성 및 제조방법에 따라 형성될 수 있다.

이 실시예에서 제1 보강부(230)의 상부 보강부(230a)와 제2 보강부(240)의 상부 보강부(240a)를 백킹 플레이트부(220)와 동일한 재질로 구성하고 제1 보강부(230)의 하부 보강부(230b)와 제2 보강부(240)의 하부 보강부(240b)를 백킹 플레이트부(220)보다 강성이 높은 재질로 구성할 경우 플랜지부 상면에 교반 자국이 생기지 않으면서도 백킹 플레이트부(220)의 강성을 높일 수 있는 효과가 있다.

도13은 다른 대안적 실시예에 따른 스퍼터링 타겟(200)을 도시한 것으로 도13(a)는 타겟(200)의 상면을 나타내고 도13(b)는 도13(a)의 E-E' 선을 따른 측단면을 개략적으로 나타내었다. 도13을 참조하면, 일 실시예에서 타겟(200)은 백킹 플레이트부(220)의 플랜지부 상면에 방사상 형태로 형성된 보강부(280)를 포함할 수 있다. 보강부(280)는 타겟(200)의 중심부에서부터 방사상 방향으로 소정 길이씩 형성된다. 보강부(280)의 재질과 형성방법 등은 도10을 참조하여 설명한 것과 유사하므로 설명을 생략한다. 다만 도13(b)에 도시한 것처럼 보강부(280) 영역과 오링용 그루브(223)가 교차하기 때문에, 우선 백킹 플레이트부(220)의 플랜지부에 보강부(280)를 형성하고 그 후 오링용 그루브(223)를 형성해야 함을 이해할 것이다.

보강부(280)의 개수는 제한되지 않으며 타겟의 대칭성을 위해 복수의 보강부(280)가 서로 등간격(즉, 서로 등각도로) 이격되어 배열되는 것이 바람직하다. 예를 들어 도13의 실시예에서 45도 간격으로 이격된 8개의 보강부(280)를 도시하였지만, 예컨대 6개의 보강부가 60도 간격으로 이격될 수도 있다.

방사상 방향으로 보강부(280)의 각각의 길이가 동일한 것이 바람직하다. 한편, 타겟(100)의 외주면 영역에 다수의 관통공(도1의 124)이 형성될 경우, 보강부(280)가 관통공(124)과 오버랩되거나 또는 관통공(124)의 외곽 또는 안쪽 영역 어디에도 보강부(280)가 형성될 수 있다.

도14는 또 다른 대안적 실시예에 따른 스퍼터링 타겟(200)의 상면을 도식적으로 나타낸 것으로, 이 대안적 실시예에서 타겟(200)은 방사상 방향으로 배열된 다수의 제1 보강부(280) 및 링(ring) 형상으로 배열된 제2 보강부(290)를 구비한다. 제1 보강부(280)와 제2 보강부(290)는 플랜지부 영역에 형성되며 서로 교차하면서 배치되어 있다. 도14의 실시예에서 제1 보강부(280)는 도13의 보강부(280)와 동일 또는 유사한 구성을 가지며 제2 보강부(290)는 도11(a) 또는 도12(b)를 참조하여 설명한 보강부(240)와 동일 또는 유사한 구성을 가진다.

이와 같이 방사상 방향으로 배열된 제1 보강부(280)와 링 형상으로 배열된 제2 보강부(290)를 동시에 구비함으로써 타겟(200)에 더 큰 기계적 강도를 부여할 수 있다. 또한 도14의 실시예에서도 제1 보강부(280)와 제2 보강부(290)가 반드시 동일 재질로 형성될 필요가 없으며 각각 백킹 플레이트부(120)보다 기계적 강도가 높은 임의의 재질 중 선택될 수 있다.

이상과 같이 본 발명이 속하는 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이러한 명세서의 기재로부터 다양한 수정 및 변형이 가능함을 이해할 수 있다. 그러므로 본 발명의 범위는 설명된 실시예에 국한되어 정해져서는 아니되며 후술하는 특허청구범위뿐 아니라 이 특허청구범위와 균등한 것들에 의해 정해져야 한다.

100, 200: 스퍼터링 타겟
110, 210: 타겟부
121, 221: 플랜지부
123, 223: 오링용 그루브
120, 220: 백킹 플레이트부
130, 140, 150, 170, 230, 240, 280, 290: 보강부
135, 235: 와이어

Claims (15)

1. 타겟부와 백킹 플레이트부로 구성된 스퍼터링 타겟으로서,
   상기 백킹 플레이트부의 플랜지부(221) 영역의 상부면에서 상기 타겟부 주위를 둘러싸도록 형성된 오링용 그루브(223); 및
   상기 백킹 플레이트부의 플랜지부(221)의 상면 중에서 상기 오링용 그루브(223)의 방사상 내측으로 상기 타겟부를 둘러싸는 링(ring) 형상으로 매립 형성된 제1 보강부(230)를 포함하고,
   상기 제1 보강부(230)는 상기 백킹 플레이트부보다 기계적 강도가 높은 재질로 형성된 것을 특징으로 하는 스퍼터링 타겟.
2. 삭제
3. 제 1 항에 있어서,
   상기 제1 보강부의 재질이 상기 백킹 플레이트부의 재질을 포함하는 합금인 것을 특징으로 하는 스퍼터링 타겟.
4. 제 1 항에 있어서,
   상기 백킹 플레이트부가 구리 또는 알루미늄으로 형성되고, 상기 제1 보강부는 황동 또는 알루미늄 합금으로 형성된 것을 특징으로 하는 스퍼터링 타겟.
5. 제 1 항에 있어서,
   상기 제1 보강부(230)가 상기 백킹 플레이트부의 상면에 형성된 상부 보강부(230a) 및 상부 보강부(230a)의 하부에 위치하며 백킹 플레이트부의 상면으로부터 소정 깊이로 매립된 하부 보강부(230b)를 포함하는 것을 특징으로 하는 스퍼터링 타겟.
6. 제 1 항에 있어서,
   상기 제1 보강부(230)를 방사상 외측 방향에서 둘러싸는 링(ring) 형상의 제2 보강부(240)를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 스퍼터링 타겟.
7. 제 6 항에 있어서,
   상기 제1 보강부(230)와 제2 보강부(240) 중 적어도 하나의 보강부가, 상기 백킹 플레이트부의 상면에 형성된 상부 보강부 및 상부 보강부의 하부에 위치하며 백킹 플레이트부의 상면으로부터 소정 깊이로 매립된 하부 보강부를 포함하는 것을 특징으로 하는 스퍼터링 타겟.
8. 제 5 항 또는 제 7 항에 있어서,
   상기 상부 보강부는 상기 백킹 플레이트부와 동일 재질로 형성되고 상기 하부 보강부는 상기 백킹 플레이트부보다 기계적 강도가 높은 재질로 형성된 것을 특징으로 하는 스퍼터링 타겟.
9. 타겟부와 백킹 플레이트부로 구성된 스퍼터링 타겟으로서,
   상기 스퍼터링 타겟이, 상기 백킹 플레이트부의 플랜지부(221) 영역의 상부면에서 방사상 방향으로 소정 길이씩 매립 형성된 복수개의 제1 보강부(280)를 포함하고,
   복수개의 제1 보강부(280)의 각각은 서로 등간격으로 이격되어 배치되고,
   상기 제1 보강부는 상기 백킹 플레이트부보다 기계적 강도가 높은 재질로 형성된 것을 특징으로 하는 스퍼터링 타겟.
10. 삭제
11. 제 9 항에 있어서,
    상기 스퍼터링 타겟이 상기 백킹 플레이트부의 상부면에 링(ring) 형상으로 매립 형성된 제2 보강부(290)를 더 포함하고, 제1 보강부와 제2 보강부가 서로 교차하도록 배열된 것을 특징으로 하는 스퍼터링 타겟.
12. 타겟부와 백킹 플레이트부로 구성된 스퍼터링 타겟을 제조하는 방법으로서,
    상기 백킹 플레이트부의 상면에 소정 폭과 깊이의 그루브를 형성하는 단계;
    상기 그루브에 와이어를 삽입하는 단계; 및
    상기 와이어를 상기 백킹 플레이트부에 접합하여 보강부를 형성하는 단계;를 포함하고,
    상기 와이어는 상기 백킹 플레이트부보다 기계적 강도가 높은 이종 재질로 구성된 것을 특징으로 하는 스퍼터링 타겟 제조방법.
13. 제 12 항에 있어서,
    상기 보강부가 상기 백킹 플레이트의 플랜지부에 형성된 것을 특징으로 하는 스퍼터링 타겟 제조방법.
14. 제 12 항에 있어서,
    상기 보강부를 형성한 후, 상기 보강부가 형성된 영역에 오링용 그루브를 형성하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 스퍼터링 타겟 제조방법.
15. 제 14 항에 있어서,
    상기 그루브는 제1 그루브 및 제1 그루브를 방사상 외측 방향에서 둘러싸는 제2 그루브를 포함하고, 상기 와이어는 제1 와이어와 제2 와이어를 포함하며,
    상기 와이어를 삽입하는 단계에서, 상기 제1 그루브에 제1 와이어를 삽입하고 제2 그루브에 제2 와이어를 삽입하고,
    상기 보강부를 형성하는 단계에서, 제1 와이어와 제2 와이어 각각을 상기 백킹 플레이트부에 접합하여 제1 보강부와 제2 보강부를 형성하며,
    상기 오링용 그루브를 형성하는 단계에서, 상기 제2 보강부가 형성된 영역에 상기 오링용 그루브를 형성하는 것을 특징으로 하는 스퍼터링 타겟 제조방법.

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