KR102537942B1

KR102537942B1 - Bellows pump

Info

Publication number: KR102537942B1
Application number: KR1020210114166A
Authority: KR
Inventors: 박해신; 이승종; 윤여준; 박민경
Original assignee: 주식회사 이노디스
Priority date: 2021-08-27
Filing date: 2021-08-27
Publication date: 2023-05-31
Also published as: KR20230031679A; TW202309398A; CN115717586A; TWI795071B

Abstract

본 발명은 벨로우즈 펌프에 관한 것이다. 본 발명의 일 실시예에 따른 벨로우즈 펌프는 반도체 공정에 사용되는 벨로우즈 펌프에 있어서, 내부에 약액을 펌핑하여 공급하는 한 쌍의 펌핑실이 형성되고, 상기 펌핑실에 유입된 약액을 압축하여 공급하는 한 쌍의 벨로우즈가 구비되는 메인 바디; 상기 메인 바디의 양측에 각각 나사 결합으로 조립되어 상기 펌핑실의 개방된 부분을 막아 밀폐시키는 커버; 및 상기 커버가 조립된 상기 메인 바디의 일측면에 결합되고, 상기 메인 바디의 내부로 압축 공기의 공급을 제어하는 컨트롤 바디를 포함하고, 상기 커버에서 상기 메인 바디에 조립되는 압입리브는은 압입되어 결합되는데, 압입된 상기 전단 원주면이 외측으로 돌출된 면가공부는 상기 메인 바디의 일측면에 대응되도록 면가공되고, 상기 컨트롤 바디의 적어도 일부분이 상기 면가공부에 밀착되게 접촉될 수 있다.The present invention relates to bellows pumps. A bellows pump according to an embodiment of the present invention is a bellows pump used in a semiconductor process, in which a pair of pumping chambers for pumping and supplying a chemical solution are formed, and the chemical solution introduced into the pumping chamber is compressed and supplied. A main body provided with a pair of bellows; Covers assembled on both sides of the main body by screwing to block and seal the open portion of the pumping chamber; And a control body coupled to one side of the main body to which the cover is assembled and controlling the supply of compressed air into the main body, wherein the press-fitting rib assembled to the main body in the cover is press-fitted In addition, the surface processing part in which the press-fitted shear circumferential surface protrudes outward is processed to correspond to one side surface of the main body, and at least a portion of the control body can be in close contact with the surface processing part.

Description

Bellows Pump {BELLOWS PUMP}

본 발명은 벨로우즈 펌프에 관한 것이다.The present invention relates to bellows pumps.

일반적으로 벨로우즈 펌프는 반도체 제조 장비 예를 들어 반도체 제조장치에 있어서의 IC나 액정의 표면세정 등의 각종 처리에 사용되는 약액의 순환 수송 등에 이용된다.In general, bellows pumps are used for circulating and transporting chemicals used for various treatments such as surface cleaning of ICs or liquid crystals in semiconductor manufacturing equipment, for example, semiconductor manufacturing equipment.

이러한 벨로우즈 펌프는 외형을 구성하는 메인 바디와, 상기 메인 바디에 설치되어 약액을 가압하여 배출시키는 한 쌍의 벨로우즈와, 압축 공기가 공급됨에 따라 상기 벨로우즈를 교호로 이동시키면 팽창/수축이 이루어지도록 하는 이동축과, 상기 한 쌍의 벨로우즈 각각에 구비되는 압축판을 포함할 수 있다. This bellows pump includes a main body constituting the outer shape, a pair of bellows installed on the main body to pressurize and discharge the chemical liquid, and alternately moving the bellows as compressed air is supplied to expand / contract. It may include a moving shaft and a compression plate provided on each of the pair of bellows.

이때, 상기 메인 바디의 내부에는 상기 벨로우즈가 설치되는 한 쌍의 펌핑실이 형성되고, 상기 펌핑실을 밀폐시키기 위해 메인 바디의 양측에는 각각 커버가 체결된다. 그리고, 메인 바디의 내부에는 압축 공기가 주입되면 이동되면서 벨로우즈가 수축/팽창되도록 하기 위한 피스톤 하우징이 설치된다. 피스톤 하우징은 몸체와 헤드부를 포함하는데, 몸체의 헤드부의 결합은 일측을 관통하는 체결핀에 의해 이루어진다. At this time, a pair of pumping chambers in which the bellows are installed are formed inside the main body, and covers are fastened to both sides of the main body to seal the pumping chambers. A piston housing is installed inside the main body to contract/expand the bellows while moving when compressed air is injected. The piston housing includes a body and a head, and the head of the body is coupled with a fastening pin penetrating one side.

하지만, 상기 몸체와 헤드부를 관통하는 체결핀은 결합된 상태에서 벨로우즈펌프이 구동 중에 발생하는 진동에 의해 헐거워지면서 후방으로 빠지는 문제가 있었다. 체결핀은 후방으로의 이동이 제한되지 않고 체결핀의 압입에 의해서만 몸체와 헤드부의 결합이 이루어졌기 때문에, 체결핀이 후방으로 빠지면 피스톤 하우징의 결합이 견고하지 못하게 되는 것이다.However, there was a problem in that the fastening pin penetrating the body and the head part was loosened by vibration generated during driving of the bellows pump in a coupled state and fell backward. Since the locking pin is not restricted in moving backward and the body and the head are coupled only by press-fitting the locking pin, when the locking pin falls backward, the coupling of the piston housing becomes unstable.

또한, 메인 바디와 피스톤 하우징이 형성하는 공간은 기존에는 별도의 배출구가 형성되지 않아 피스톤 하우징의 이동 시 내부 압력 부하가 걸리는 문제가 있었다. In addition, since a separate outlet is not formed in the space formed by the main body and the piston housing, there is a problem in that an internal pressure load is applied when the piston housing is moved.

본 발명은 벨로우즈 펌프의 내부에 설치되는 피스톤 하우징을 구성하는 몸체와 헤드부의 결합을 견고하게 할 수 있는 구조를 가진 벨로우즈 펌프를 제공하는 것이다.The present invention is to provide a bellows pump having a structure capable of solidly coupling a body and a head constituting a piston housing installed inside the bellows pump.

또한, 본 발명은 벨로우즈 펌프의 내부에서 피스톤 하우징에 가해지는 내부 압력 부하가 걸리지 않도록 하기 위한 벨로우즈 펌프를 제공하는 것이다. In addition, the present invention is to provide a bellows pump for preventing the internal pressure load applied to the piston housing from the inside of the bellows pump.

본 발명의 일 실시예에 따른 벨로우즈 펌프는 내부에 약액을 펌핑하여 공급하는 펌핑실이 형성되는 메인 바디; 상기 펌핑실에 수축 또는 팽창되게 설치되고, 상기 펌핑실에 유입된 약액을 압축하여 공급하는 벨로우즈; 상기 메인 바디의 중앙을 관통하여 이동가능하게 설치되고, 양측 가장자리는 상기 벨로우즈의 각각에 구비된 압축판과 연결되는 이동축; 상기 메인 바디의 양측에 각각 결합되어 상기 펌핑실의 개방된 부분을 막아 밀폐시키는 커버; 상기 압축판에 선단부가 결합되고, 후단부는 상기 커버의 내측에 이동가능하게 결합되는 피스톤 하우징; 및 상기 피스톤 하우징에 이동가능하게 결합되고, 공기가 주입되면 상기 피스톤 하우징을 밀어 상기 벨로우즈가 수축되도록 하는 피스톤을 포함할 수 있다.A bellows pump according to an embodiment of the present invention includes a main body in which a pumping chamber for pumping and supplying a chemical solution is formed; a bellows installed in the pumping chamber to contract or expand, and compressing and supplying the chemical solution introduced into the pumping chamber; a movable shaft installed to be movable through the center of the main body, and both edges of which are connected to compression plates provided on each of the bellows; Covers coupled to both sides of the main body to block and seal the open portion of the pumping chamber; a piston housing having a front end coupled to the compression plate and a rear end movably coupled to the inside of the cover; and a piston movably coupled to the piston housing and pushing the piston housing to contract the bellows when air is injected.

상기 피스톤 하우징은, 상기 압축판에 결합되는 헤드부; 상기 헤드부를 관통하여 상기 압축판에 결합되는 체결핀; 및 상기 체결핀이 헤드부에 결합된 상태에서 상기 체결핀의 후단을 지지하면서 상기 헤드부에 결합되는 몸체부를 포함할 수 있다. The piston housing may include a head portion coupled to the compression plate; a fastening pin coupled to the compression plate through the head; and a body portion coupled to the head portion while supporting a rear end of the coupling pin in a state in which the coupling pin is coupled to the head portion.

상기 몸체부에는 상기 헤드부의 내면에 형성된 압입홈에 압입되어 체결되는 압입리브가 원주방향을 따라 형성될 수 있다.Press-fitting ribs may be formed on the body portion in a circumferential direction by being press-fitted into press-fitting grooves formed on an inner surface of the head portion.

상기 헤드부와 몸체부에는 상기 피스톤이 위치한 공간에 연통되는 벤트홀이 관통하여 형성될 수 있다.A vent hole communicating with a space where the piston is located may be formed through the head part and the body part.

상기 헤드부에는 상기 벤트홀을 통해 유입된 공기가 배출되도록 배출홈이 외측을 향하여 개구되게 형성될 수 있다.A discharge groove may be formed in the head portion to open outward so that air introduced through the vent hole is discharged.

상기 벨로우즈의 후단부에는 상기 메인 바디와의 실링을 위한 실링부가 구비되는데, 상기 실링부는, 상기 메인 바디 및 커버의 각각 양측이 압입되어 결합되고, 한 쌍이 이격되어 배치되는 실링돌기; 및 이격된 상기 실링돌기의 사이에 삽입되는 오링을 포함할 수 있다.A sealing part for sealing with the main body is provided at the rear end of the bellows, and the sealing part includes a sealing protrusion, in which both sides of the main body and the cover are press-fitted and coupled, and a pair of sealing protrusions are spaced apart from each other; and an O-ring inserted between the spaced sealing protrusions.

본 발명의 일 실시예에 따르면, 벨로우즈 펌프의 내부에 설치되는 피스톤 하우징을 구성하는 몸체부와 헤드부의 결합을 견고하게 할 수 있어 벨로우즈 펌프의 작동 중에 결합이 풀리는 것을 방지할 수 있다. According to one embodiment of the present invention, coupling between the body portion and the head portion constituting the piston housing installed inside the bellows pump can be strengthened, so that the coupling can be prevented from being released during operation of the bellows pump.

또한, 벨로우즈 펌프의 내부에서 피스톤 하우징에 가해지는 내부 압력 부하가 걸리지 않아 안정적인 벨로우즈 펌프의 작동이 가능하다. In addition, since the internal pressure load applied to the piston housing is not applied inside the bellows pump, stable operation of the bellows pump is possible.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 벨로우즈 펌프의 정단면도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 벨로우즈 펌프의 측단면도이다.
도 3은 피스톤 하우징의 결합 구조를 확대한 단면도이다.
도 4는 피스톤 하우징의 단면도이다.
도 5는 도 1의 점선 부분으로서, 벨로우즈 펌프의 실링 구조를 확대한 단면도이다.1 is a front cross-sectional view of a bellows pump according to an embodiment of the present invention.
2 is a side cross-sectional view of a bellows pump according to an embodiment of the present invention.
3 is an enlarged cross-sectional view of a coupling structure of a piston housing.
4 is a sectional view of the piston housing.
FIG. 5 is an enlarged cross-sectional view of the sealing structure of the bellows pump, as shown by the dotted line in FIG. 1 .

본 발명은 다양한 변환을 가할 수 있고 여러 가지 실시예를 가질 수 있는 바, 특정 실시예들을 도면에 예시하고 상세하게 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 발명을 특정한 실시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변환, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 본 발명을 설명함에 있어서 관련된 공지 기술에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 흐릴 수 있다고 판단되는 경우 그 상세한 설명을 생략한다.Since the present invention can apply various transformations and have various embodiments, specific embodiments are illustrated in the drawings and described in detail. However, it should be understood that this is not intended to limit the present invention to specific embodiments, and includes all transformations, equivalents, and substitutes included in the spirit and scope of the present invention. In describing the present invention, if it is determined that a detailed description of related known technologies may obscure the gist of the present invention, the detailed description will be omitted.

제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다.Terms such as first and second may be used to describe various components, but the components should not be limited by the terms. These terms are only used for the purpose of distinguishing one component from another.

본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시 예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함한다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서 상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.Terms used in this application are only used to describe specific embodiments, and are not intended to limit the present invention. Singular expressions include plural expressions unless the context clearly dictates otherwise. In this application, terms such as "comprise" or "have" are intended to designate that there is a feature, number, step, operation, component, part, or combination thereof described in the specification, but one or more other features It should be understood that the presence or addition of numbers, steps, operations, components, parts, or combinations thereof is not precluded.

또한, 명세서 전체에서, "연결된다"라고 할 때, 이는 둘 이상의 구성요소가 직접적으로 연결되는 것만을 의미하는 것이 아니고, 둘 이상의 구성요소가 다른 구성요소를 통하여 간접적으로 연결되는 것, 물리적으로 연결되는 것뿐만 아니라 전기적으로 연결되는 것, 또는 위치나 기능에 따라 상이한 명칭들로 지칭되었으나 일체인 것을 의미할 수 있다.Also, throughout the specification, when it is said to be "connected", this does not mean that two or more components are directly connected, but that two or more components are indirectly connected through another component, or physically connected. It may mean not only being, but also being electrically connected, or being referred to by different names depending on location or function, but being integral.

이하, 본 발명에 의한 벨로우즈 펌프의 일 실시예를 첨부도면을 참조하여 상세히 설명하기로 하며, 첨부 도면을 참조하여 설명함에 있어, 동일하거나 대응하는 구성 요소는 동일한 도면번호를 부여하고 이에 대한 중복되는 설명은 생략하기로 한다.Hereinafter, an embodiment of a bellows pump according to the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings, and in the description with reference to the accompanying drawings, the same or corresponding components are assigned the same reference numerals, Description will be omitted.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 벨로우즈 펌프의 정단면도이고, 도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 벨로우즈 펌프의 측단면도이며, 도 3은 피스톤 하우징의 결합 구조를 확대한 단면도이고, 도 4는 피스톤 하우징의 단면도이며, 도 5는 도 1의 점선 부분으로서, 벨로우즈 펌프의 실링 구조를 확대한 단면도이다.1 is a front cross-sectional view of a bellows pump according to an embodiment of the present invention, Figure 2 is a side cross-sectional view of a bellows pump according to an embodiment of the present invention, Figure 3 is an enlarged cross-sectional view of a coupling structure of a piston housing, 4 is a cross-sectional view of the piston housing, and FIG. 5 is an enlarged cross-sectional view of the sealing structure of the bellows pump as shown by the dotted line in FIG.

이에 도시된 바에 따르면, 본 발명의 일 실시예에 따른 벨로우즈 펌프는 내부에 약액을 펌핑하여 공급하는 펌핑실(20)이 형성되는 메인 바디(10); 상기 펌핑실(20)에 수축 또는 팽창되게 설치되고, 상기 펌핑실(20)로 유입된 약액을 압축하여 공급하는 벨로우즈(30); 상기 메인 바디(10)의 중앙을 관통하여 이동가능하게 설치되고, 양측 가장자리는 상기 벨로우즈(30)의 각각에 구비된 압축판(32)과 연결되는 이동축(11); 상기 메인 바디(10)의 양측에 각각 결합되어 상기 펌핑실(20)의 개방된 부분을 막아 밀폐시키는 커버(60); 상기 압축판(32)에 선단부가 결합되고, 후단부는 상기 커버(60)의 내측에 이동가능하게 결합되는 피스톤 하우징(40); 및 상기 피스톤 하우징(40)에 이동가능하게 결합되고, 공기가 주입되면 상기 피스톤 하우징(40)을 밀어 상기 벨로우즈(30)가 수축되도록 하는 피스톤(58)을 포함할 수 있다. According to this, the bellows pump according to an embodiment of the present invention includes a main body 10 in which a pumping chamber 20 for pumping and supplying a chemical solution is formed therein; a bellows 30 installed to contract or expand in the pumping chamber 20 and compressing and supplying the chemical solution introduced into the pumping chamber 20; a movable shaft 11 installed to be movable through the center of the main body 10 and connected to compression plates 32 provided at both edges of the bellows 30; Covers 60 coupled to both sides of the main body 10 to block and seal the open portion of the pumping chamber 20; a piston housing 40 having a front end coupled to the compression plate 32 and a rear end movably coupled to the inside of the cover 60; and a piston 58 movably coupled to the piston housing 40 and pushing the piston housing 40 so that the bellows 30 contracts when air is injected.

메인 바디(10)는 벨로우즈 펌프의 전체적인 외관을 형성하는 것으로서, 대략 직육면체 형상으로 형성되되 일 측면은 곡면으로 형성될 수 있다. 메인 바디(10)의 내부에는 한 쌍의 펌핑실(20), 한 쌍의 공급실(22)이 형성되고 이들은 약액의 이동 거리를 최소화하기 위해 직교로 배치된다. 예를 들어, 펌핑실(20)은 내부에 약액을 펌핑하여 공급하는 것으로서 도 1에서와 같이 메인 바디(10)의 내부 좌측 및 우측에 배치되고, 공급실(22)은 도 2에서와 같이 펌핑실(20)과 직교하게 전방 및 후방에 배치될 수 있다. The main body 10 forms the overall appearance of the bellows pump, and is formed in a substantially rectangular parallelepiped shape, but one side surface may be formed in a curved surface. Inside the main body 10, a pair of pumping chambers 20 and a pair of supply chambers 22 are formed, and they are orthogonally arranged to minimize the moving distance of the chemical solution. For example, the pumping chamber 20 pumps and supplies the chemical solution therein, and is disposed on the inside left and right sides of the main body 10 as shown in FIG. 1, and the supply chamber 22 is a pumping chamber as shown in FIG. (20) and can be placed in the front and rear.

각각의 펌핑실(20)에는 한 쌍의 벨로우즈(30)가 수축 또는 팽창되게 설치된다. 각각의 벨로우즈(30)의 선단에는 압축판(32)이 구비되어 펌핑실(20)에 유입된 약액을 가압하여 송출한다. 그리고, 벨로우즈(30)의 후단은 커버(60)에 고정된다. In each pumping chamber 20, a pair of bellows 30 are installed to contract or expand. A compression plate 32 is provided at the front end of each bellows 30 to pressurize and discharge the chemical solution introduced into the pumping chamber 20 . And, the rear end of the bellows 30 is fixed to the cover 60.

도 2를 참조하면, 메인 바디(10)의 일측면에는 록킹홈(12)이 형성된다. 록킹홈(12)은 컨트롤 바디(70)의 록킹부(74)가 슬라이딩 결합되는 부분으로서, 메인 바디(10)의 일측면의 하단에서 상방으로 일정 높이만큼 연장되어 형성된다. Referring to FIG. 2 , a locking groove 12 is formed on one side of the main body 10 . The locking groove 12 is a part to which the locking part 74 of the control body 70 is slidably coupled, and is formed by extending upward by a predetermined height from the lower end of one side of the main body 10 .

도 1 및 도 2를 참조하면, 메인 바디(10)의 상면 및 하면에는 각각 상부 플레이트(14) 및 하부 플레이트(16)가 결합된다. 본 실시예에서 하부 플레이트(16)는 메인 바디(10)의 일측면에 컨트롤 바디(70)가 결합된 상태에서 메인 바디(10)의 하면에 결합됨으로써, 메인 바디(10)의 하면 뿐만 아니라 컨트롤 바디(70)의 하면도 커버하여 컨트롤 바디(70)의 결합을 견고하게 유지하도록 한다. Referring to FIGS. 1 and 2 , an upper plate 14 and a lower plate 16 are coupled to the upper and lower surfaces of the main body 10, respectively. In this embodiment, the lower plate 16 is coupled to the lower surface of the main body 10 in a state in which the control body 70 is coupled to one side of the main body 10, thereby controlling the lower surface of the main body 10 as well as the lower surface of the main body 10. The lower surface of the body 70 is also covered to firmly maintain the coupling of the control body 70 .

한편, 메인 바디(10)의 양측에는 펌핑실(20)의 개방된 부분을 막아 밀폐시키는 커버(60)가 결합된다. 커버(60)는 메인 바디(10)와 마주하는 면이 함몰되어 소정의 공간을 형성하며 대략 원통 형상으로 형성된다. 본 실시예에서 커버(60)는 메인 바디(10)의 양측에 결합되는 선단부에 나사 결합을 위한 나사 결합부(62)가 구비된다. 나사 결합부(62)는 메인 바디(10)의 양측 외주면에 구비된 바디 나사 결합부(18)와 나사 결합된다.On the other hand, both sides of the main body (10) is coupled with a cover (60) for sealing the open portion of the pumping chamber (20). The surface of the cover 60 facing the main body 10 is depressed to form a predetermined space and is formed in a substantially cylindrical shape. In this embodiment, the cover 60 is provided with a screw coupling portion 62 for screw coupling at the front end coupled to both sides of the main body 10 . The screw coupling portion 62 is screwed with the body screw coupling portion 18 provided on both outer circumferential surfaces of the main body 10 .

한편, 메인 바디(10)의 내부에는 이동축(11)이 중앙을 관통하여 설치된다. 이동축(11)은 메인 바디(10)의 좌우 방향으로 왕복 이동하는 것으로서 양측 단부는 펌핑실(20)까지 연장되어 각각의 벨로우즈(30)와 연결된다.On the other hand, the moving shaft 11 is installed through the center of the main body 10 . The moving shaft 11 reciprocates in the left and right directions of the main body 10, and both ends extend to the pumping chamber 20 and are connected to each bellows 30.

체크밸브(28)는 공급실(22)에 설치됨과 동시에 공급실(22) 상부 및 하부에 위치하여 교호로 동작되며 약액의 이동을 막거나, 개방하여 약액이 펌핑실(20)에 번갈아 가며 공급되도록 하고, 벨로우즈(30)에 의해 펌핑된 약액의 배출을 가능하게 한다. The check valve 28 is installed in the supply chamber 22 and is located in the upper and lower parts of the supply chamber 22 and is operated alternately to block or open the chemical solution so that the chemical solution is alternately supplied to the pumping chamber 20 , It enables the discharge of the chemical liquid pumped by the bellows 30.

메인 바디(10)의 일측면 하부에는 약액을 공급실(22)로 유입시키는 약액 유입부(80)가 구비되고, 상면에는 펌핑실(20)과 연결되는 약액 배출부(82)가 구비된다.A chemical solution inlet 80 for introducing chemical solution into the supply chamber 22 is provided on the lower side of one side of the main body 10, and a chemical solution outlet 82 connected to the pumping chamber 20 is provided on the upper surface.

도 3을 참조하면, 피스톤 하우징(40)은 선단부가 압축판(32)에 결합되기 때문에 압축 공기가 주입되면 피스톤(58)에 의해 압축판(32) 및 이동축(11)과 함께 이동된다. 그리고, 피스톤 하우징(40)의 후단부는 커버(60)의 내측에 이동가능하게 결합된다. 보다 구체적으로, 피스톤 하우징(40)의 후단부는 커버(60)의 내측에 이동가능하게 끼워진 상태로 결합되기 때문에 커버(60)에 대해서 상대 이동될 수 있다. Referring to FIG. 3 , since the front end of the piston housing 40 is coupled to the compression plate 32, when compressed air is injected, the piston 58 moves together with the compression plate 32 and the moving shaft 11. Then, the rear end of the piston housing 40 is movably coupled to the inside of the cover 60 . More specifically, since the rear end of the piston housing 40 is movably coupled to the inside of the cover 60, it can move relative to the cover 60.

피스톤 하우징(40)은 압축판에 결합되는 헤드부(50), 상기 헤드부(50)를 관통하여 상기 압축판(32)에 결합되는 체결핀(56), 및 상기 체결핀(56)이 헤드부(50)에 결합된 상태에서 상기 체결핀(56)의 후단을 지지하면서 상기 헤드부(50)에 결합되는 몸체부(42)를 포함할 수 있다. The piston housing 40 includes a head portion 50 coupled to the compression plate, a fastening pin 56 coupled to the compression plate 32 through the head portion 50, and a head portion 56 of the fastening pin 56. It may include a body portion 42 coupled to the head portion 50 while supporting the rear end of the fastening pin 56 in a state coupled to the portion 50 .

몸체부(42)는 중앙에 이동홀(41)이 관통하여 형성되고, 이동홀(41)에는 피스톤(58)이 이동가능하게 결합된다. 몸체부(42)의 후단에는 걸림돌기(44)가 내측으로 돌출되어 형성되어 피스톤(58)의 이탈방지 돌기(59)가 걸어짐으로써, 피스톤(58)이 이동과정에서 이탈되는 것이 방지될 수 있다. The body portion 42 is formed through a movable hole 41 at the center, and a piston 58 is movably coupled to the movable hole 41 . At the rear end of the body portion 42, a locking protrusion 44 is formed to protrude inward, and the separation prevention protrusion 59 of the piston 58 is hooked, thereby preventing the piston 58 from being separated during movement. there is.

또한, 몸체부(42)의 선단에는 헤드부(50)이 내면에 형성된 압입홈(55)에 압입되어 체결되는 압입리브(46)가 원주방향을 따라 형성된다. 압입리브(46)가 상기와 같이 형성되기 때문에 압입홈(55) 또한 원주방향을 따라 링 형상으로 형성된다. In addition, at the front end of the body portion 42, a press-fitting rib 46 is formed along the circumferential direction by being press-fitted into the press-fitting groove 55 formed on the inner surface of the head portion 50. Since the press-fit rib 46 is formed as described above, the press-fit groove 55 is also formed in a ring shape along the circumferential direction.

이와 같이 몸체부(42)의 압입리브(46)가 압입홈(55)에 압입되어 체결되면 몸체부(42)가 체결핀(56)의 후단을 지지하면서 헤드부(50)에 결합되기 때문에, 피스톤 하우징(40)의 전체적인 결합 구조가 견고하게 유지될 수 있고 체결핀(56)이 진동에 의해 후방으로 빠지는 것을 원천적으로 방지할 수 있다. 즉, 기존에는 체결핀(56)의 후단을 지지하는 구조가 없어 벨로우즈 펌프의 작동 과정에서 발생하는 진동에 의해 체결핀(56)이 빠지는 문제가 있었으나, 상술한 구조를 적용하면 체결핀(56)이 체결된 상태에서 피스톤 하우징(40)의 결합이 견고하게 유지될 수 있다. 또한, 헤드부(50)에 몸체부(42)를 결합할 때 압입리브(46)에 의해 압입 체결되기 때문에 조립방식도 간편해지고 결합 상태도 견고해질 수 있다. In this way, when the press-fitting rib 46 of the body part 42 is press-fitted into the press-fit groove 55 and fastened, the body part 42 is coupled to the head part 50 while supporting the rear end of the fastening pin 56. The entire coupling structure of the piston housing 40 can be firmly maintained, and the fastening pin 56 can be fundamentally prevented from falling backward due to vibration. That is, in the past, there was a problem in that there was no structure for supporting the rear end of the locking pin 56, so that the locking pin 56 came off due to vibration generated during the operation of the bellows pump. However, when the above structure is applied, the locking pin 56 In this fastened state, the coupling of the piston housing 40 can be firmly maintained. In addition, since the body part 42 is press-fitted by the press-fitting rib 46 when the head part 50 is coupled, the assembly method is simplified and the coupling state can be strengthened.

헤드부(50)는 선단에 압축판(32)에 나사 결합되는 나사봉(51)이 구비된다. 그리고, 몸체부(42)와 헤드부(50)에는 피스톤(58)이 위치한 공간에 연통되는 벤트홀(52)이 관통하여 형성된다. 벤트홀(52)은 도 4에서와 같이 복수개가 일정한 중심각을 가지고 원주 방향을 따라 형성될 수 있다. 피스톤(58)이 위치한 공간은 커버(60)에 끼워진 피스톤 하우징(40)과 커버(60) 사이의 공간인데 벨로우즈 펌프의 작동 중에 내부 압력 부하가 걸릴 수 있다. 따라서, 본 실시예에서는 이를 해결하기 위해 몸체부(42)와 헤드부(50)에 벤트홀(52)을 형성하여 공기가 빠져나갈 수 있도록 함으로써, 안정적인 벨로우즈 펌프의 작동이 가능하다.The head portion 50 is provided with a screw rod 51 screwed to the compression plate 32 at the front end. In addition, a vent hole 52 communicating with the space where the piston 58 is located is formed through the body portion 42 and the head portion 50 . As shown in FIG. 4 , a plurality of vent holes 52 may be formed along the circumferential direction with a constant central angle. The space where the piston 58 is located is a space between the cover 60 and the piston housing 40 inserted into the cover 60, and an internal pressure load may be applied during operation of the bellows pump. Therefore, in the present embodiment, in order to solve this problem, a vent hole 52 is formed in the body part 42 and the head part 50 to allow air to escape, thereby enabling a stable operation of the bellows pump.

또한, 헤드부(50)에는 벤트홀(52)을 통해 유입된 공기가 배출되도록 배출홈(54)이 외측을 향하여 개구되게 형성될 수 있다. 배출홈(54)은 전후방으로 길게 형성되는 벤트홀(52)의 선단과 연통되게 형성될 수 있으며, 헤드부(50)의 외면을 원주 방향으로 소정 깊이만큼 함몰하여 형성한다. In addition, a discharge groove 54 may be formed in the head portion 50 to open outward so that air introduced through the vent hole 52 is discharged. The discharge groove 54 may be formed to be in communication with the front end of the vent hole 52 formed long in the front and rear, and is formed by recessing the outer surface of the head part 50 by a predetermined depth in the circumferential direction.

체결핀(56)은 도 3에서 하나가 체결되는 것으로 도시하였으나, 이에 제한되는 것은 아니고 복수개가 원주 방향을 따라 배치되어 체결될 수 있다. Although one fastening pin 56 is shown in FIG. 3 as being fastened, it is not limited thereto, and a plurality of fastening pins 56 may be disposed along the circumferential direction and fastened.

피스톤(58)은 상술한 바와 같이 피스톤 하우징(40)의 이동홀(41)을 따라 이동가능하게 결합된다. 피스톤(58)은 압축 공기가 주입되면 피스톤 하우징(40)을 이동시켜 벨로우즈(30)가 교호로 수축/팽창하도록 보조한다.As described above, the piston 58 is movably coupled along the moving hole 41 of the piston housing 40 . The piston 58 assists the bellows 30 to alternately contract/expand by moving the piston housing 40 when compressed air is injected.

도 5를 참조하면, 벨로우즈(30)의 후단부에는 메인 바디(10)와의 실링을 위한 실링부(34,36)가 구비된다. 실링부(34,36)는 실링돌기(34)와 오링(36)을 포함한다. 실링돌기(34)는 벨로우즈(30)의 후단부에서 돌출되게 형성되어 메인 바디(10) 및 커버(60)의 양측이 압입되어 결합된다. 실링돌기(34)는 한 쌍이 상하로 이격되어 배치될 수 있고, 이격된 실링돌기(34)의 사이에는 오링(36)이 삽입되어 밀폐성을 향상시킬 수 있다. 본 도면에서 오링(36)은 좌측에만 배치되는 것으로 도시하였으나, 이에 제한되는 것은 아니고 양측으로 각각 접하도록 구비될 수도 있다. Referring to FIG. 5 , sealing parts 34 and 36 for sealing with the main body 10 are provided at the rear end of the bellows 30 . The sealing parts 34 and 36 include a sealing protrusion 34 and an O-ring 36. The sealing protrusion 34 is formed to protrude from the rear end of the bellows 30 so that both sides of the main body 10 and the cover 60 are press-fitted and coupled. A pair of sealing protrusions 34 may be spaced apart vertically, and an O-ring 36 may be inserted between the spaced sealing protrusions 34 to improve sealing. In this drawing, the O-ring 36 is shown as being disposed only on the left side, but is not limited thereto and may be provided to be in contact with each other on both sides.

결국, 본 실시예에서는 실링돌기(34)의 압입 결합 구조 및 오링(36)의 실링 구조를 적용함으로써, 벨로우즈(30)의 후단부 측에서 리크가 발생하는 것을 방지할 수 있다. As a result, in the present embodiment, by applying the press-fit coupling structure of the sealing protrusion 34 and the sealing structure of the O-ring 36, it is possible to prevent leakage from occurring at the rear end of the bellows 30.

상기에서는 본 발명의 특정의 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 하기의 특허 청구의 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.Although the above has been described with reference to specific embodiments of the present invention, those skilled in the art can make various modifications to the present invention within the scope not departing from the spirit and scope of the present invention described in the claims below. It will be understood that it can be modified and changed accordingly.

10: 메인 바디 11: 이동축
12: 록킹홈 14: 상부 플레이트
16: 하부 플레이트 18: 바디 나사 결합부
20: 펌핑실 22: 공급실
28: 체크밸브 30: 벨로우즈
32: 압축판 40: 피스톤 하우징
41: 이동홀 42: 몸체부
44: 걸림돌기 46: 압입리브
50: 헤드부 51: 나사봉
52: 벤트홀 54: 배출홈
56: 체결핀 58: 피스톤
59: 이탈방지 돌기 60: 커버
62: 나사 결합부 70: 컨트롤 바디
74: 록킹부 80: 약액 유입부
82: 약액 배출부10: main body 11: moving axis
12: locking groove 14: upper plate
16: lower plate 18: body screw coupling
20: pumping room 22: supply room
28: check valve 30: bellows
32: compression plate 40: piston housing
41: moving hole 42: body part
44: stumbling block 46: press-fit rib
50: head part 51: screw rod
52: vent hole 54: discharge groove
56: fastening pin 58: piston
59: departure prevention protrusion 60: cover
62: screw joint 70: control body
74: locking part 80: liquid inlet part
82: chemical liquid discharge unit

Claims

A main body in which a pumping chamber for pumping and supplying chemical liquid is formed therein;
a bellows installed in the pumping chamber to contract or expand, and compressing and supplying the chemical solution introduced into the pumping chamber;
a movable shaft installed to be movable through the center of the main body, and both edges of which are connected to compression plates provided on each of the bellows;
Covers coupled to both sides of the main body to block and seal the open portion of the pumping chamber;
a piston housing having a front end coupled to the compression plate and a rear end movably coupled to the inside of the cover; and
A piston movably coupled to the piston housing and pushing the piston housing to contract the bellows when air is injected;
The piston housing,
a head portion coupled to the compression plate;
a fastening pin coupled to the compression plate through the head; and
A bellows pump comprising a body coupled to the head while supporting a rear end of the locking pin in a longitudinal direction of the locking pin in a state in which the locking pin is coupled to the head.

According to claim 1,
A bellows pump in which the body part has a press-fitting rib formed along a circumferential direction by being press-fitted into a press-fitting groove formed on an inner surface of the head part.

According to claim 1,
A bellows pump formed through the head and body through a vent hole communicating with the space where the piston is located.

According to claim 3,
The bellows pump is formed in the head portion so that the discharge groove is opened toward the outside so that the air introduced through the vent hole is discharged.

According to claim 1,
A sealing part for sealing with the main body is provided at the rear end of the bellows.
The sealing part may include sealing protrusions in which both sides of the main body and the cover are press-fitted and coupled, and a pair is spaced apart from each other; and an O-ring inserted between the spaced sealing protrusions.