KR102536731B1 - Organic light emitting display device - Google Patents
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Abstract
본 발명의 일 실시예는 표시영역에 정의된 복수의 화소영역 각각에 대응하는 유기발광소자, 상기 유기발광소자의 구동에 대응한 제 1 구동전원을 공급하는 제 1 전원라인과 상기 제 1 구동전원보다 낮은 전압의 제 2 구동전원을 공급하는 제 2 전원라인 사이에 상기 유기발광소자와 직렬로 배치되는 제 1 박막트랜지스터, 및 상기 각 화소영역의 데이터신호를 공급하는 데이터라인과 상기 제 1 박막트랜지스터의 게이트전극에 대응하는 노드 사이에 배치되는 제 2 박막트랜지스터를 포함하고, 상기 제 2 박막트랜지스터는 상기 제 1 박막트랜지스터보다 상측에 배치되고 상기 제 1 박막트랜지스터와 일부 중첩하는 유기발광표시장치를 제공한다.According to an embodiment of the present invention, an organic light emitting element corresponding to each of a plurality of pixel areas defined in a display area, a first power line supplying a first driving power corresponding to driving of the organic light emitting element, and the first driving power A first thin film transistor disposed in series with the organic light emitting element between a second power supply line supplying a second driving power supply of a lower voltage, and a data line supplying a data signal of each pixel area and the first thin film transistor An organic light emitting display device including a second thin film transistor disposed between nodes corresponding to a gate electrode of the first thin film transistor, wherein the second thin film transistor is disposed above the first thin film transistor and partially overlaps the first thin film transistor. do.
Description
본 발명은 각 화소영역에 대응한 유기발광소자를 포함하는 유기발광표시장치에 관한 것이다.The present invention relates to an organic light emitting display device including an organic light emitting element corresponding to each pixel area.
표시장치(Display Device)는 TV, 휴대폰, 노트북 및 태블릿 등과 같은 다양한 전자기기에 적용된다. 이에 표시장치의 박형화, 경량화 및 저소비전력화 등을 개발시키기 위한 연구가 계속되고 있다.Display devices are applied to various electronic devices such as TVs, mobile phones, laptops, and tablets. Accordingly, research is being conducted to develop thinning, lightening, and low power consumption of display devices.
표시장치의 대표적인 예로는 액정표시장치(Liquid Crystal Display device: LCD), 플라즈마표시장치(Plasma Display Panel device: PDP), 전계방출표시장치(Field Emission Display device: FED), 전기발광표시장치(Electro Luminescence Display device: ELD), 전기습윤표시장치(Electro-Wetting Display device: EWD) 및 유기발광표시장치(Organic Light Emitting Display device: OLED) 등을 들 수 있다. Representative examples of the display device include a liquid crystal display device (LCD), a plasma display panel device (PDP), a field emission display device (FED), and an electro luminescence display device. Display device: ELD), Electro-Wetting Display device (EWD), Organic Light Emitting Display device (OLED), and the like.
그 중 유기발광표시장치는 영상이 표시되는 표시영역에 정의된 복수의 화소영역에 대응하는 복수의 유기발광소자를 포함한다. 유기발광소자는 스스로 발광하는 자발광소자이므로, 유기발광표시장치는 액정표시장치에 비해 응답속도가 빠르고, 발광효율, 휘도 및 시야각이 크며, 명암비 및 색재현율이 우수한 장점이 있다. Among them, an organic light emitting display device includes a plurality of organic light emitting elements corresponding to a plurality of pixel areas defined in a display area where an image is displayed. Since the organic light emitting device is a self-emitting device that emits light by itself, the organic light emitting display device has advantages in that it has a fast response speed, high luminous efficiency, luminance and viewing angle, and excellent contrast ratio and color gamut compared to liquid crystal display devices.
유기발광표시장치는 복수의 화소영역을 개별적으로 구동하는 액티브 매트릭스 방식으로 구현될 수 있다. 이러한 액티브 매트릭스 방식의 유기발광표시장치는 각 화소영역에 대응하는 유기발광소자에 구동전류를 공급하는 화소구동회로를 포함한다. An organic light emitting display device may be implemented in an active matrix method that individually drives a plurality of pixel areas. Such an active matrix organic light emitting display device includes a pixel driving circuit for supplying a driving current to an organic light emitting element corresponding to each pixel area.
화소구동회로는 유기발광소자의 구동에 대응한 제 1 구동전원과 제 2 구동전원 사이에 유기발광소자와 직렬로 연결되는 구동 박막트랜지스터, 및 각 화소영역의 데이터신호를 공급하는 스위칭 박막트랜지스터를 포함하는 것이 일반적이다. The pixel driving circuit includes a driving thin film transistor connected in series with the organic light emitting element between a first driving power supply and a second driving power supply corresponding to driving of the organic light emitting element, and a switching thin film transistor supplying a data signal to each pixel area. It is common to do
즉, 일반적인 유기발광표시장치는 각 화소영역에 배치되는 구동 박막트랜지스터 및 스위칭 박막트랜지스터를 포함한다. 이때, 구동 박막트랜지스터 및 스위칭 박막트랜지스터는 동일 평면 상에 배치되므로, 각 화소영역의 서로 다른 일부 영역에 대응된다. That is, a general organic light emitting display device includes a driving thin film transistor and a switching thin film transistor disposed in each pixel area. At this time, since the driving thin film transistor and the switching thin film transistor are disposed on the same plane, they correspond to different partial areas of each pixel area.
한편, 최근 더욱 선명한 화질을 위한 표시장치의 고해상도화가 요구되고 있으며, 그로 인해 각 화소영역의 면적이 축소되는 추세이다. 특히, 3D VR 장치(3-Demension Virtual Reality Device)의 경우, 각 화소영역의 면적은 일반적인 표시장치에 비해 1/20배 이상 축소될 수 있다.On the other hand, there is a recent demand for higher resolution display devices for clearer picture quality, and as a result, the area of each pixel region tends to be reduced. In particular, in the case of a 3D VR device (3-Dimension Virtual Reality Device), the area of each pixel region can be reduced by 1/20 times or more compared to a general display device.
이와 같이, 각 화소영역의 면적이 축소될수록, 각 화소영역에 대응한 둘 이상의 박막트랜지스터 각각이 배치되는 영역의 면적이 축소된다. 즉, 화소영역의 축소된 면적에 의해 박막트랜지스터의 채널 너비(Width) 및 채널 길이(Length)가 감소된다. 그로 인해, 킨크효과(Kink Effect)가 심화됨으로써, 박막트랜지스터의 전압-전류 특성이 저하되는 문제점이 있다. In this way, as the area of each pixel area is reduced, the area of the area where each of the two or more thin film transistors corresponding to each pixel area is disposed is reduced. That is, the channel width and channel length of the thin film transistor are reduced by the reduced area of the pixel region. As a result, as the Kink Effect is intensified, the voltage-current characteristics of the thin film transistor deteriorate.
특히, 구동 박막트랜지스터의 전압-전류(Vds-Ids) 특성에 대한 균일도가 저하되면, 각 화소영역의 유기발광소자의 휘도가 안정적으로 제어될 수 없으므로, 표시장치의 화질이 저하될 수 있는 문제점이 있다. In particular, if the uniformity of the voltage-current (Vds-Ids) characteristics of the driving thin film transistor is lowered, the luminance of the organic light emitting element in each pixel area cannot be stably controlled, so the image quality of the display device may deteriorate. there is.
본 발명은 화소영역의 축소된 면적에서도 박막트랜지스터의 특성 저하가 방지될 수 있는 유기발광표시장치를 제공하기 위한 것이다.An object of the present invention is to provide an organic light emitting display device capable of preventing deterioration of characteristics of a thin film transistor even in a reduced area of a pixel area.
본 발명의 목적들은 이상에서 언급한 목적으로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 본 발명의 다른 목적 및 장점들은 하기의 설명에 의해서 이해될 수 있고, 본 발명의 실시예에 의해 보다 분명하게 이해될 것이다. 또한, 본 발명의 목적 및 장점들은 특허 청구 범위에 나타낸 수단 및 그 조합에 의해 실현될 수 있음을 쉽게 알 수 있을 것이다.The objects of the present invention are not limited to the above-mentioned objects, and other objects and advantages of the present invention not mentioned above can be understood by the following description and will be more clearly understood by the examples of the present invention. It will also be readily apparent that the objects and advantages of the present invention may be realized by means of the instrumentalities and combinations indicated in the claims.
본 발명의 일 예시는 표시영역에 정의된 복수의 화소영역 각각에 대응하는 유기발광소자, 상기 유기발광소자의 구동에 대응한 제 1 구동전원을 공급하는 제 1 전원라인과 상기 제 1 구동전원보다 낮은 전압의 제 2 구동전원을 공급하는 제 2 전원라인 사이에 상기 유기발광소자와 직렬로 배치되는 제 1 박막트랜지스터, 및 상기 각 화소영역의 데이터신호를 공급하는 데이터라인과 상기 제 1 박막트랜지스터의 게이트전극에 대응하는 노드 사이에 배치되는 제 2 박막트랜지스터를 포함하고, 상기 제 2 박막트랜지스터는 상기 제 1 박막트랜지스터보다 상측에 배치되고 상기 제 1 박막트랜지스터와 일부 중첩하는 유기발광표시장치를 제공한다.An example of the present invention is an organic light emitting element corresponding to each of a plurality of pixel areas defined in a display area, a first power line for supplying a first driving power corresponding to driving of the organic light emitting element, and a first driving power source. A first thin film transistor arranged in series with the organic light emitting element between a second power supply line supplying a second low voltage driving power supply, and a data line supplying a data signal of each pixel area and the first thin film transistor An organic light emitting display device including a second thin film transistor disposed between nodes corresponding to a gate electrode, wherein the second thin film transistor is disposed above the first thin film transistor and partially overlaps the first thin film transistor. .
상기 유기발광표시장치는 상기 제 1 및 제 2 박막트랜지스터 사이의 층에 배치되고 상기 제 1 및 제 2 박막트랜지스터 각각으로부터 절연되는 바이어스패턴을 더 포함한다.The organic light emitting display device further includes a bias pattern disposed on a layer between the first and second thin film transistors and insulated from each of the first and second thin film transistors.
상기 제 1 박막트랜지스터는 기판 상에 배치되는 게이트전극과, 상기 게이트전극을 덮는 제 1 게이트절연막 상에 배치되고 상기 게이트전극에 일부 중첩하는 제 1 액티브층을 포함하고, 상기 바이어스패턴은 상기 제 1 액티브층을 덮는 제 1 바이어스절연막 상에 배치되고 상기 게이트전극에 중첩한다. The first thin film transistor includes a gate electrode disposed on a substrate and a first active layer disposed on a first gate insulating layer covering the gate electrode and partially overlapping the gate electrode, and the bias pattern is formed on the first gate insulating layer. It is disposed on the first bias insulating layer covering the active layer and overlaps the gate electrode.
상기 유기발광표시장치는 상기 복수의 화소영역 중 수평방향으로 나란하게 배열된 화소영역들로 이루어진 각 수평라인에 대응하는 스캔라인을 더 포함하고, 상기 제 2 박막트랜지스터는 상기 바이어스패턴을 덮는 제 2 바이어스절연막 상에 배치되고 상기 바이어스패턴에 일부 중첩하는 제 2 액티브층을 포함하고, 상기 스캔라인은 상기 제 2 액티브층을 덮는 제 2 게이트절연막 상에 배치되고 상기 제 2 액티브층에 일부 중첩한다. The organic light emitting display device further includes a scan line corresponding to each horizontal line made up of pixel areas arranged in parallel in a horizontal direction among the plurality of pixel areas, and the second thin film transistor covers the bias pattern. A second active layer disposed on a bias insulating layer and partially overlapping the bias pattern, and the scan line is disposed on a second gate insulating layer covering the second active layer and partially overlapping the second active layer.
상기 제 1 액티브층은 상기 게이트전극에 중첩하는 제 1 채널영역과, 상기 제 1 채널영역의 양측에 대응하는 제 1 및 제 2 전극영역을 포함하고, 상기 제 2 액티브층은 상기 스캔라인에 중첩하는 제 2 채널영역과, 상기 제 2 채널영역의 양측에 대응하는 제 3 및 제 4 전극영역을 포함한다. 그리고, 상기 제 1 채널영역과 상기 제 2 채널영역은 상호 적어도 일부 중첩하고, 상기 바이어스패턴은 적어도 상기 제 1 및 제 2 채널영역의 중첩영역에 대응한다.The first active layer includes a first channel region overlapping the gate electrode and first and second electrode regions corresponding to both sides of the first channel region, and the second active layer overlaps the scan line. and third and fourth electrode regions corresponding to both sides of the second channel region. The first channel region and the second channel region at least partially overlap each other, and the bias pattern corresponds to at least an overlapping region of the first and second channel regions.
상기 제 1 및 제 2 전극영역 중 어느 하나는 상기 제 1 전원라인에 연결되고 다른 나머지 하나는 제 1 도전패턴에 연결되며, 상기 제 1 전원라인, 상기 데이터라인 및 상기 제 1 도전패턴 각각은 상호 이격하고 상기 스캔라인을 덮는 제 1 층간절연막 상에 배치된다.One of the first and second electrode regions is connected to the first power line and the other is connected to a first conductive pattern, and each of the first power line, the data line, and the first conductive pattern is connected to each other. spaced apart from each other and disposed on a first interlayer insulating film covering the scan line.
상기 제 3 및 제 4 전극영역 중 어느 하나는 상기 데이터라인에 연결되고 다른 나머지 하나는 상기 게이트전극에 연결된다.One of the third and fourth electrode regions is connected to the data line and the other is connected to the gate electrode.
상기 제 1 채널영역의 길이방향에서, 상기 바이어스패턴은 상기 게이트전극보다 긴 길이로 이루어지고, 상기 제 1 액티브층은 상기 제 1 및 제 2 전극영역 중 적어도 하나와 상기 제 1 채널영역 사이에 배치되고 상기 제 1 및 제 2 전극영역보다 낮은 농도로 도핑되는 버퍼영역을 더 포함한다.In the longitudinal direction of the first channel region, the bias pattern is longer than the gate electrode, and the first active layer is disposed between at least one of the first and second electrode regions and the first channel region. and a buffer region doped at a lower concentration than the first and second electrode regions.
본 발명의 일실시예에 따른 유기발광표시장치는 각 화소영역의 유기발광소자와 직렬로 배치되는 제 1 박막트랜지스터와, 제 1 박막트랜지스터보다 상측에 배치되고 제 1 박막트랜지스터와 일부 중첩하는 제 2 박막트랜지스터를 포함한다.An organic light emitting display device according to an exemplary embodiment of the present invention includes a first thin film transistor disposed in series with an organic light emitting element in each pixel area, and a second thin film transistor disposed above the first thin film transistor and partially overlapping the first thin film transistor. It includes a thin film transistor.
즉, 제 1 및 제 2 박막트랜지스터가 서로 다른 평면 상에 배치됨에 따라 상호 중첩하도록 배치될 수 있다. 이로써, 각 화소영역의 소자 배치에 있어서 보다 효율적인 집적화가 실현될 수 있고, 화소영역의 축소된 면적에 의한 박막트랜지스터의 전압-전류 특성 저하를 방지할 수 있다. 또한, 축소된 면적의 화소영역에서도 표시장치의 화질 저하가 방지될 수 있으므로, 고해상도화에 유리해질 수 있는 장점이 있다.That is, as the first and second thin film transistors are disposed on different planes, they may be disposed to overlap each other. Accordingly, more efficient integration can be realized in element arrangement of each pixel region, and voltage-current characteristic deterioration of the thin film transistor due to the reduced area of the pixel region can be prevented. In addition, since the deterioration of the image quality of the display device can be prevented even in the pixel area of the reduced area, there is an advantage that can be advantageous for high resolution.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 유기발광표시장치를 나타낸 도면이다.
도 2는 도 1의 유기발광표시장치에 있어서, 어느 하나의 화소영역에 대응한 등가회로의 일 예시를 나타낸 도면이다.
도 3은 도 2의 등가회로에 대응하는 박막트랜지스터 어레이 기판의 평면에 대한 일 예시를 나타낸 도면이다.
도 4는 도 3의 A-A' 단면을 나타낸 도면이다.
도 5는 도 3의 B-B' 단면을 나타낸 도면이다.
도 6은 본 발명의 다른 일 실시예에 따른 도 3의 A-A' 단면을 나타낸 도면이다.
도 7 내지 도 21은 본 발명의 일 실시예에 따른 유기발광표시장치의 제조방법의 각 과정을 나타낸 도면이다.1 is a diagram illustrating an organic light emitting display device according to an exemplary embodiment of the present invention.
FIG. 2 is a diagram illustrating an example of an equivalent circuit corresponding to one pixel area in the organic light emitting display device of FIG. 1 .
FIG. 3 is a diagram showing an example of a plane of a thin film transistor array substrate corresponding to the equivalent circuit of FIG. 2 .
FIG. 4 is a view showing a cross section AA′ of FIG. 3 .
FIG. 5 is a view showing a cross section BB′ of FIG. 3 .
6 is a view showing a cross section AA′ of FIG. 3 according to another embodiment of the present invention.
7 to 21 are views illustrating each process of a method of manufacturing an organic light emitting display device according to an exemplary embodiment of the present invention.
전술한 목적, 특징 및 장점은 첨부된 도면을 참조하여 상세하게 후술되며, 이에 따라 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자가 본 발명의 기술적 사상을 용이하게 실시할 수 있을 것이다. 본 발명을 설명함에 있어서 본 발명과 관련된 공지 기술에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는 상세한 설명을 생략한다. 이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 따른 바람직한 실시예를 상세히 설명하기로 한다. 도면에서 동일한 참조부호는 동일 또는 유사한 구성요소를 가리키는 것으로 사용된다.The above objects, features and advantages will be described later in detail with reference to the accompanying drawings, and accordingly, those skilled in the art to which the present invention belongs will be able to easily implement the technical spirit of the present invention. In describing the present invention, if it is determined that the detailed description of the known technology related to the present invention may unnecessarily obscure the subject matter of the present invention, the detailed description will be omitted. Hereinafter, preferred embodiments according to the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. In the drawings, the same reference numerals are used to indicate the same or similar components.
이하, 본 발명의 일 실시예에 따른 유기발광표시장치에 대하여 첨부한 도면을 참고로 하여 상세히 설명하기로 한다.Hereinafter, an organic light emitting display device according to an exemplary embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 유기발광표시장치를 나타낸 도면이다. 도 2는 도 1의 유기발광표시장치에 있어서, 어느 하나의 화소영역에 대응한 등가회로의 일 예시를 나타낸 도면이다.1 is a diagram illustrating an organic light emitting display device according to an exemplary embodiment of the present invention. FIG. 2 is a diagram illustrating an example of an equivalent circuit corresponding to one pixel area in the organic light emitting display device of FIG. 1 .
도 3은 도 2의 등가회로에 대응하는 박막트랜지스터 어레이 기판의 평면에 대한 일 예시를 나타낸 도면이다. 도 4는 도 3의 A-A' 단면을 나타낸 도면이다. 도 5는 도 3의 B-B' 단면을 나타낸 도면이다. 도 6은 본 발명의 다른 일 실시예에 따른 도 3의 A-A' 단면을 나타낸 도면이다.FIG. 3 is a diagram showing an example of a plane of a thin film transistor array substrate corresponding to the equivalent circuit of FIG. 2 . FIG. 4 is a view showing a cross section taken along line A-A' of FIG. 3 . FIG. 5 is a view showing a cross section BB′ of FIG. 3 . 6 is a view showing a cross section taken along line A-A' of FIG. 3 according to another embodiment of the present invention.
도 1에 도시한 바와 같이, 본 발명의 일 실시예에 따른 유기발광표시장치는 영상이 표시되는 표시영역(AA)에 대응한 복수의 화소영역(PXL)을 포함하는 표시패널(10)과, 표시패널(10)의 데이터라인(14)을 구동하는 데이터구동부(12)와, 표시패널(10)의 스캔라인(15)을 구동하는 게이트구동부(13)와, 데이터구동부(12) 및 게이트구동부(13)의 구동 타이밍을 제어하기 위한 타이밍 콘트롤러(11)를 포함한다.As shown in FIG. 1, an organic light emitting display device according to an embodiment of the present invention includes a
표시패널(10)은 복수의 화소영역(PXL) 중 수평방향으로 나란하게 배열된 화소영역들로 이루어진 각 수평라인에 대응하는 스캔라인(15)과, 복수의 화소영역(PXL) 중 수직방향으로 나란하게 배열된 화소영역들로 이루어진 각 수직라인에 대응하는 데이터라인(14)을 포함한다. The
여기서, 스캔라인(15)에 의한 스캔신호(SCAN1)는 화소영역(PXL)에 데이터를 기입하기 위하여 각 수평라인을 순차적으로 선택하기 위한 것일 수 있다. Here, the scan signal SCAN1 by the
복수의 화소영역(PXL)은 상호 교차하는 스캔라인(15)와 데이터라인(14)에 의해 정의될 수 있다. 이에, 복수의 화소영역(PXL)은 표시영역(AA)에 매트릭스 형태로 배열된다.The plurality of pixel areas PXL may be defined by the
그리고, 표시패널(10)은 복수의 화소영역(PXL)에 제 1 구동전원(VDD)을 공급하는 제 1 구동전원라인과, 제 1 구동전원(VDD)보다 낮은 전위의 제 2 구동전원(VSS)을 공급하는 제 2 구동전원라인을 더 포함한다. Further, the
타이밍 콘트롤러(11)는 외부로부터 입력되는 디지털 비디오 데이터(RGB)를 표시패널(10)의 해상도에 맞게 재정렬하고, 재정렬된 디지털 비디오 데이터(RGB')를데이터구동부(12)에 공급한다. The
그리고, 타이밍 콘트롤러(11)는 수직 동기신호(Vsync), 수평 동기신호(Hsync), 도트클럭신호(DCLK) 및 데이터 인에이블신호(DE) 등의 타이밍 신호들에 기초하여 데이터구동부(12)의 동작 타이밍을 제어하기 위한 데이터 제어신호(DDC)와, 게이트구동부(13)의 동작 타이밍을 제어하기 위한 게이트 제어신호(GDC)를 공급한다.Also, the
데이터구동부(12)는 데이터 제어신호(DDC)에 기초하여 재정렬된 디지털 비디오 데이터(RGB')를 아날로그 데이터전압으로 변환한다. 그리고, 데이터구동부(12)는 재정렬된 디지털 비디오 데이터(RGB')에 기초하여 각 수평기간 동안 각 수평라인의 화소영역에 데이터신호(VDATA)를 공급한다.The
게이트구동부(13)는 게이트 제어신호(GDC)에 기초하여 각 수평라인의 스캔라인(15)에 순차적으로 스캔신호(SCAN1)를 공급할 수 있다. The
별도로 도시하고 있지 않으나, 표시패널(10)은 상호 대향 합착되는 한 쌍의 기판과 그 사이에 배치되는 유기발광소자 어레이를 포함한다. 그리고, 한 쌍의 기판 중 어느 하나는 복수의 화소영역(PXL)을 정의하고 각 화소영역(PXL)의 유기발광소자에 구동전류를 공급하기 위한 박막트랜지스터 어레이 기판이다. Although not separately shown, the
도 2에 도시한 바와 같이, 각 화소영역(PXL)은 유기발광소자(OLED), 제 1 및 제 2 박막트랜지스터(T1, T2) 및 스토리지 커패시터(Cst)를 포함한다.As shown in FIG. 2 , each pixel region PXL includes an organic light emitting diode (OLED), first and second thin film transistors T1 and T2, and a storage capacitor Cst.
유기발광소자(OLED)는 애노드전극과 캐소드전극, 및 이들 사이에 배치되는 유기발광층(미도시)을 포함한다. 예시적으로, 유기발광층은 정공주입층, 정공수송층, 발광층 및 전자수송층을 포함한다. 또는, 유기발광층은 전자주입층을 더 포함할 수 있다. The organic light emitting diode (OLED) includes an anode electrode, a cathode electrode, and an organic light emitting layer (not shown) disposed between them. Illustratively, the organic light emitting layer includes a hole injection layer, a hole transport layer, a light emitting layer, and an electron transport layer. Alternatively, the organic light emitting layer may further include an electron injection layer.
제 1 박막트랜지스터(T1)는 제 1 구동전원(VDD)을 공급하는 제 1 구동전원라인(16)과 제 1 구동전원(VDD)보다 낮은 전위의 제 2 구동전원(VSS)을 공급하는 제 2 구동전원라인 사이에 유기발광소자(OLED)와 직렬로 배치된다.The first thin film transistor T1 includes a first
제 2 박막트랜지스터(T2)는 각 화소영역의 데이터신호(VDATA)를 공급하는 데이터라인(14)과 제 1 박막트랜지스터(T1)의 게이트전극에 대응한 제 1 노드(ND1) 사이에 배치된다. The second thin film transistor T2 is disposed between the
이러한 제 2 박막트랜지스터(T2)는 스캔라인(15)의 스캔신호(SCAN)에 기초하여 턴온되면, 제 1 노드(ND1)에 데이터신호(VDATA)를 공급한다. When the second thin film transistor T2 is turned on based on the scan signal SCAN of the
스토리지 커패시터(Cst)는 제 1 노드(ND1) 및 제 2 노드(ND2) 사이에 배치된다. 제 2 노드(ND2)는 제 1 박막트랜지스터(T1)와 유기발광소자(OLED) 사이의 접점이다. The storage capacitor Cst is disposed between the first node ND1 and the second node ND2. The second node ND2 is a contact point between the first thin film transistor T1 and the organic light emitting diode OLED.
이러한 스토리지 커패시터(Cst)는 턴온된 제 2 박막트랜지스터(T2)를 통해 제 1 노드(ND1)에 공급되는 데이터신호(VDATA)에 기초하여 충전된다. The storage capacitor Cst is charged based on the data signal VDATA supplied to the first node ND1 through the turned-on second thin film transistor T2.
그리고, 제 1 박막트랜지스터(T1)는 스토리지 커패시터(Cst)의 충전전압에 기초하여 턴온하고, 데이터신호(VDATA)에 대응하는 구동전류를 제 2 노드(ND2), 즉 유기발광소자(OLED)에 공급한다.Further, the first thin film transistor T1 is turned on based on the charging voltage of the storage capacitor Cst, and the driving current corresponding to the data signal VDATA is applied to the second node ND2, that is, the organic light emitting diode OLED. supply
도 3에 도시한 바와 같이, 본 발명의 일 실시예에 따른 유기발광표시장치의 박막트랜지스터 어레이 기판은 각 화소영역(PXL)에 대응하는 제 1 및 제 2 박막트랜지스터(도 2의 T1, T2)를 포함한다.As shown in FIG. 3, the thin film transistor array substrate of the organic light emitting display device according to an embodiment of the present invention includes first and second thin film transistors (T1 and T2 in FIG. 2) corresponding to each pixel area PXL. includes
그리고, 유기발광표시장치의 박막트랜지스터 어레이 기판은 제 1 방향(도 3의 수평방향)의 스캔라인(15)과, 제 2 방향(도 3의 수직방향)의 데이터라인(14) 및 제 1 전원라인(16)을 더 포함한다.Further, the thin film transistor array substrate of the organic light emitting display device includes
제 1 박막트랜지스터(T1)는 게이트전극(110) 및 게이트전극(110)에 일부 중첩하는 제 1 액티브층(120)을 포함한다. The first thin film transistor T1 includes a
제 1 액티브층(120)의 일측은 콘택홀(16a)을 통해 제 1 전원라인(16)에 연결되고, 제 1 액티브층(120)의 다른 일측은 콘택홀(151a)을 통해 제 1 도전패턴(151)에 연결된다. One side of the first
도 3에 상세히 도시되지 않았으나, 제 1 도전패턴(151)은 차후 유기발광소자(도 2의 OLED)의 애노드전극(도 4의 Anode)에 연결된다. 즉, 제 1 도전패턴(151)은 제 2 노드(도 2의 ND2)에 대응한다.Although not shown in detail in FIG. 3 , the first
제 2 박막트랜지스터(T2)는 제 1 액티브층(120)보다 상측에 배치되는 제 2 액티브층(140)을 포함한다. 여기서, 제 2 액티브층(140)은 제 1 액티브층(120)에 일부 중첩한다.The second thin film transistor T2 includes the second
즉, 본 발명의 일 실시예에 따르면, 제 2 박막트랜지스터(T2)는 제 1 박막트랜지스터(T1)보다 상측에 배치되고, 제 1 박막트랜지스터(T1)와 일부 중첩한다. That is, according to an embodiment of the present invention, the second thin film transistor T2 is disposed above the first thin film transistor T1 and partially overlaps the first thin film transistor T1.
제 2 액티브층(140)의 일측은 콘택홀(14a)을 통해 데이터라인(14)에 연결되고, 제 2 액티브층(140)의 다른 일측은 콘택홀(152a)을 통해 제 2 도전패턴(152)에 연결된다. One side of the second
그리고, 제 2 도전패턴(152)은 콘택홀(152b)을 통해 제 1 박막트랜지스터(T1)의 게이트전극(110)에 연결된다. 즉, 제 2 액티브층(140)의 다른 일측은 제 2 도전패턴(152)을 통해 제 1 박막트랜지스터(T1)의 게이트전극(110)에 연결된다.Also, the second
더불어, 본 발명의 일 실시예에 따른 유기발광표시장치는 제 1 및 제 2 박막트랜지스터(T1, T2) 사이의 층에 배치되고 제 1 및 제 2 박막트랜지스터(T1, T2) 각각으로부터 절연되는 바이어스패턴(130)을 더 포함한다.In addition, the organic light emitting display device according to an embodiment of the present invention includes a bias disposed in a layer between the first and second thin film transistors T1 and T2 and insulated from the first and second thin film transistors T1 and T2, respectively. A
구체적으로, 바이어스패턴(130)은 제 1 및 제 2 액티브층(120, 140) 사이의 층에 배치되고 제 1 및 제 2 액티브층(120, 140) 각각으로부터 절연된다. 즉, 바이어스패턴(130)은 제 1 액티브층(120)을 덮는 절연막 상에 배치되고, 제 2 액티브층(140)은 바이어스패턴(130)을 덮는 절연막 상에 배치된다. Specifically, the
그리고, 바이어스패턴(130)은 제 1 및 제 2 액티브층(120, 140) 각각과 일부 중첩된다. Also, the
구체적으로, 바이어스패턴(130)은 제 1 및 제 2 액티브층(120, 140) 사이의 중첩영역에 배치된다. 이로써, 제 1 및 제 2 액티브층(120, 140)의 상호 영향이 바이어스패턴(130)에 의해 차단될 수 있다.Specifically, the
또한, 바이어스패턴(130)은 적어도 제 1 액티브층(120)의 채널영역, 즉 제 1 액티브층(120)과 게이트전극(110) 사이의 중첩영역에 중첩될 수 있다. In addition, the
마찬가지로, 바이어스패턴(130)은 적어도 제 2 액티브층(140)의 채널영역, 즉 제 2 액티브층(140)과 스캔라인(15) 사이의 중첩영역에 더 중첩될 수 있다. Similarly, the
이때, 바이어스패턴(130)은 소정의 정전압으로 유지될 수 있다. 예시적으로, 제 1 구동전원(VDD) 및 제 2 구동전원(VSS) 중 어느 하나가 바이어스패턴(130)에 공급될 수 있다. 또는, 별도로 도시하고 있지 않으나, 별도의 바이어스전원(미도시)가 바이어스패턴(130)에 공급될 수도 있다.At this time, the
이러한 바이어스패턴(130)의 정전압에 의해, 제 1 액티브층(120)의 채널영역에서 채널이 안정적으로 유지될 수 있다. 또한, 바이어스패턴(130)의 정전압에 의해, 제 2 액티브층(140)의 채널영역에서도 채널이 안정적으로 유지될 수 있다.A channel can be stably maintained in the channel region of the first
더불어, 수평방향의 스캔라인(15)은 제 2 액티브층(140)을 덮는 절연막 상에 배치되고, 제 2 액티브층(140)과 일부 중첩된다.In addition, the
수직방향의 데이터라인(14) 및 제 1 전원라인(16)은 스캔라인(15)을 덮는 절연막 상에 배치된다. 이와 더불어, 제 1 및 제 2 도전패턴(151, 152) 또한 스캔라인(15)을 덮는 절연막 상에 배치될 수 있다.The
구체적으로, 도 4에 도시한 바와 같이, 제 1 박막트랜지스터(T1)는 기판(101) 상에 배치되는 게이트전극(110) 및 게이트전극(110)을 덮는 제 1 게이트절연막(102) 상에 배치되는 제 1 액티브층(120)을 포함한다. Specifically, as shown in FIG. 4 , the first thin film transistor T1 is disposed on the
제 1 액티브층(120)은 게이트전극(110)과 일부 중첩한다. The first
즉, 제 1 액티브층(120)은 게이트전극(110)에 중첩하는 제 1 채널영역(121)과, 제 1 채널영역(121)의 양측에 대응하는 제 1 및 제 2 전극영역(122, 123)을 포함한다. That is, the first
제 1 액티브층(120)의 제 1 및 제 2 전극영역(122, 123) 중 어느 하나(도 4의 제 1 전극영역(122))는 콘택홀(16a)을 통해 제 1 전원라인(16)에 연결되고, 다른 나머지 하나(도 4의 제 2 전극영역(123))는 콘택홀(151a)을 통해 제 1 도전패턴(151)에 연결된다.Any one of the first and
그리고, 제 1 도전패턴(151)은 제 1 도전패턴(151)을 덮는 절연막(107) 상에 배치된 유기발광소자(도 2의 OLED)의 애노드전극(Anode)과 연결된다. 즉, 제 1 액티브층(120)의 제 2 전극영역(123)과 애노드전극(Anode)은 제 1 도전패턴(151)을 통해 상호 연결되므로, 제 1 도전패턴(151)은 제 2 노드(도 2의 ND2)에 대응한다.Also, the first
바이어스패턴(130)은 제 1 액티브층(120)을 덮는 제 1 바이어스절연막(103) 상에 배치된다.The
이러한 바이어스패턴(130)은 게이트전극(110)에 중첩된다. 즉, 바이어스패턴(130)은 게이트전극(110)에 대응한 제 1 액티브층(120)의 채널영역(121)에 중첩된다. 이로써, 제 1 액티브층(120)의 제 1 채널영역(121)에서의 채널이 바이어스패턴(130)의 정전압에 의해 안정적으로 유지될 수 있다.The
제 2 박막트랜지스터(T2)는 바이어스패턴(130)을 덮는 제 2 바이어스 절연막(104) 상에 배치된 제 2 액티브층(140)을 포함한다.The second thin film transistor T2 includes the second
스캔라인(15)은 제 2 액티브층(140)을 덮는 제 2 게이트절연막(105) 상에 배치되고 제 2 액티브층(140)과 일부 중첩된다.The
도 5에 도시한 바와 같이, 제 2 액티브층(140)은 스캔라인(15)에 중첩하는 제 2 채널영역(141)과, 제 2 채널영역(141)의 양측에 대응하는 제 3 및 제 4 전극영역(142, 143)을 포함한다.As shown in FIG. 5 , the second
제 2 액티브층(140)은 바이어스패턴(130)과 일부 중첩된다. 구체적으로, 바이어스패턴(130)은 제 2 액티브층(140)과 스캔라인(15) 사이의 중첩영역, 즉 제 2 액티브층(140)의 제 2 채널영역(141)에 중첩된다. 이로써, 제 2 액티브층(140)의 제 2 채널영역(141)에서의 채널이 바이어스패턴(130)의 정전압에 의해 안정적으로 유지될 수 있다.The second
제 2 액티브층(140)의 제 3 및 제 4 전극영역(142, 143) 중 어느 하나(도 5의 제 3 전극영역(142))는 콘택홀(14a)을 통해 데이터라인(14)에 연결되고, 다른 나머지 하나(도 5의 제 4 전극영역(143))는 콘택홀(152a)을 통해 제 2 도전패턴(152)에 연결된다.Any one of the third and
제 2 도전패턴(152)은 콘택홀(152b)을 통해 기판(101) 상의 게이트전극(110)에 연결된다. 즉, 제 2 액티브층(140)의 제 4 전극영역(143)과 게이트전극(110)은 제 2 도전패턴(152)을 통해 상호 연결되므로, 제 2 도전패턴(152)은 제 1 노드(도 2의 ND1)에 대응한다.The second
도 4 및 도 5에 도시된 바와 같이, 데이터라인(14), 제 1 전원라인(16), 제 1 및 제 2 도전패턴(151, 152)은 스캔라인(15)을 덮는 제 1 층간절연막(106) 상에 배치된다. As shown in FIGS. 4 and 5 , the
이때, 도 4의 도시와 같이, 제 1 전원라인(16)은 제 1 층간절연막(106), 제 2 게이트절연막(105), 제 2 바이어스절연막(104) 및 제 1 바이어스절연막(103)을 관통하는 콘택홀(16a)을 통해 제 1 전극영역(122)에 연결될 수 있다.At this time, as shown in FIG. 4 , the first
더불어, 별도로 도시되지 않았으나, 제 1 전원라인(16)은 제 1 층간절연막(106), 제 2 게이트절연막(105) 및 제 2 바이어스절연막(104)을 관통하는 콘택홀(도 3의 16b)을 통해 바이어스패턴(130)에 연결될 수 있다.In addition, although not separately shown, the first
제 1 도전패턴(151)은 제 1 층간절연막(106), 제 2 게이트절연막(105), 제 2 바이어스절연막(104) 및 제 1 바이어스절연막(103)을 관통하는 콘택홀(151a)을 통해 제 2 전극영역(123)에 연결될 수 있다.The first
도 5의 도시와 같이, 데이터라인(14)은 제 1 층간절연막(106), 제 2 게이트절연막(105), 제 2 바이어스절연막(104) 및 제 1 바이어스절연막(103)을 관통하는 콘택홀(14a)을 통해 제 3 전극영역(142)에 연결될 수 있다. As shown in FIG. 5 , the
그리고, 제 2 도전패턴(152)은 제 1 층간절연막(106), 제 2 게이트절연막(105), 제 2 바이어스절연막(104) 및 제 1 바이어스절연막(103)을 관통하는 콘택홀(152a)을 통해 제 4 전극영역(143)에 연결되고, 제 1 층간절연막(106), 제 2 게이트절연막(105), 제 2 바이어스절연막(104), 제 1 바이어스절연막(103) 및 제 1 게이트절연막(102)을 관통하는 콘택홀(152b)을 통해 게이트전극(110)에 연결될 수 있다. The second
그리고, 도 4의 도시와 같이, 애노드전극(Anode)은 데이터라인(14), 제 1 전원라인(16), 제 1 및 제 2 도전패턴(151, 152)을 덮는 제 2 층간절연막(107) 상에 배치된다. 그리고, 애노드전극(Anode)은 제 2 층간절연막(107)을 관통하는 콘택홀을 통해 제 1 도전패턴(151)에 연결되고, 이로써, 애노드전극(Anode) 및 제 2 전극영역(123)은 제 1 도전패턴(151)을 통해 상호 연결될 수 있다. And, as shown in FIG. 4, the anode electrode is a second
한편, 도 4에 따르면, 제 1 채널영역(121)의 길이방향에서, 바이어스패턴(130)은 게이트전극(110)과 유사 또는 동일한 길이로 이루어진다. Meanwhile, according to FIG. 4 , in the longitudinal direction of the
그러나, 제 1 채널영역(121)의 길이방향에서, 바이어스패턴(130)은 게이트전극(110)보다 긴 길이로 이루어질 수도 있다.However, in the longitudinal direction of the
도 6은 본 발명의 다른 일 실시예에 따른 도 3의 A-A' 단면을 나타낸 도면이다.6 is a view showing a cross section taken along line A-A' of FIG. 3 according to another embodiment of the present invention.
도 6에 도시한 바와 같이, 본 발명의 다른 일 실시예에 따른 유기발광표시장치는 제 1 액티브층(121)이 버퍼영역(124)을 더 포함하는 점을 제외하면, 도 1 내지 도 5에 도시된 일 실시예와 동일하므로 이하에서 중복 설명을 생략한다.As shown in FIG. 6, the organic light emitting display device according to another embodiment of the present invention is similar to FIGS. 1 to 5 except that the first
도 6에 도시한 바와 같이, 본 발명의 다른 일 실시예에 따르면, 제 1 채널영역(121)의 길이방향에서 바이어스패턴(130)은 게이트전극(110)보다 긴 길이로 이루어진다.As shown in FIG. 6 , according to another embodiment of the present invention, the
이로써, 제 1 액티브층(121)은 제 1 및 제 2 전극영역(122, 123) 중 적어도 하나와 제 1 채널영역(121) 사이에 배치되는 버퍼영역(124)을 더 포함할 수 있다.Thus, the first
버퍼영역(124)은 게이트전극(110)과 중첩되지 않으면서도, 바이어스패턴(130)에 의해 제 1 및 제 2 전극영역(122, 123)보다 낮은 농도로 도핑되는 영역이다. The buffer region 124 is a region doped with a lower concentration than the first and
예시적으로, 버퍼영역(124)은 제 1 및 제 2 전극영역(122, 123) 각각과 제 1 채널영역(121) 사이에 배치될 수 있다.Illustratively, the buffer region 124 may be disposed between each of the first and
이러한 버퍼영역(124)에 의해 제 1 및 제 2 전극영역(122, 123)에 인접한 제 1 채널영역(121)의 가장자리에서 유발되는 캐리어 밀집 현상이 완화될 수 있다. 이로써, 킨크효과가 억제될 수 있으므로, 제 1 박막트랜지스터(T1)의 전압-전류 특성 저하가 더욱 방지될 수 있다.A carrier crowding phenomenon caused at the edge of the
또는, 제 1 박막트랜지스터(T1)의 턴온저항을 감소시키기 위하여, 버퍼영역(124)은 제 1 및 제 2 전극영역(122, 123) 중 제 1 도전패턴(151)에 대응하는 제 2 전극영역(123)과 제 1 채널영역(121) 사이에만 배치될 수도 있다.Alternatively, in order to reduce the turn-on resistance of the first thin film transistor T1, the buffer region 124 is a second electrode region corresponding to the first
이와 같이, 본 발명의 다른 실시예에 따르면, 게이트전극(110)과 중첩되고 게이트전극(110)보다 긴 길이의 바이어스패턴(130)을 배치함으로써, 제 1 액티브층(120)이 버퍼영역(124)을 포함하는 구조로 이루어진 제 1 액티브층(120)을 마련하는 것이 용이해질 수 있다.As described above, according to another embodiment of the present invention, by disposing the
즉, 도핑 공정 시 게이트전극(110)보다 긴 길이로 이루어진 별도의 도핑마스크를 이용하지 않고서도, 바이어스패턴(130)에 의해 버퍼영역(124)을 포함하는 제 1 액티브층(120)이 용이하게 마련될 수 있다. 따라서, 버퍼영역(124)에 대응한 별도의 도핑마스크가 불필요하므로, 도핑공정이 보다 용이하게 실시될 수 있다. That is, during the doping process, the first
다음, 도 7 내지 도 21을 참조하여, 본 발명의 일 실시예에 따른 유기발광표시장치를 제조하는 방법에 대해 설명한다.Next, a method of manufacturing an organic light emitting display device according to an exemplary embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. 7 to 21 .
도 7 내지 도 21은 본 발명의 일 실시예에 따른 유기발광표시장치의 제조방법의 각 과정을 나타낸 도면이다.7 to 21 are views illustrating each process of a method of manufacturing an organic light emitting display device according to an exemplary embodiment of the present invention.
먼저, 도 7, 도 8 및 도 9에 도시한 바와 같이, 기판(101) 상에 제 1 박막트랜지스터(T1)에 대응하는 게이트전극(110)을 배치하고, 게이트전극(110)을 덮는 제 1 게이트절연막(102)을 배치한다. 이어서, 제 1 게이트절연막(102) 상에 게이트전극(110)과 일부 중첩하는 제 1 반도체물질층(120')을 배치하고, 제 1 반도체물질층(120')을 덮는 제 1 바이어스절연막(103)을 배치한다. 여기서, 제 1 반도체물질층(120')은 저온성장폴리실리콘(LTPS)일 수 있다.First, as shown in FIGS. 7, 8 and 9, a
다음, 도 10, 도 11 및 도 12에 도시한 바와 같이, 제 1 바이어스절연막(103) 상에 게이트전극(110)과 중첩하는 바이어스패턴(130)을 배치하고, 바이어스패턴(130)을 덮는 제 2 바이어스절연막(104)을 배치한다. Next, as shown in FIGS. 10, 11 and 12, a
이어서, 도 13, 도 14 및 도 15에 도시한 바와 같이, 제 2 바이어스절연막(104) 상에 바이어스패턴(130)과 일부 중첩하는 제 2 반도체물질층(140')을 배치하고, 제 2 반도체물질층(140')을 덮는 제 2 게이트절연막(105)을 배치한다. Subsequently, as shown in FIGS. 13, 14, and 15, a second semiconductor material layer 140' partially overlapping the
다음, 도 16, 도 17 및 도 18에 도시한 바와 같이, 제 2 게이트절연막(105) 상에 제 2 반도체물질층(140')과 일부 중첩하는 스캔라인(15)을 배치하고, 스캔라인(15)을 덮는 제 1 층간절연막(106)을 배치한다.Next, as shown in FIGS. 16, 17, and 18, a
그리고, 스캔라인(15) 및 바이어스패턴(130)을 마스크로 이용한 상태에서, 제 1 및 제 2 반도체물질층(120', 140')에 대한 도핑 공정을 실시한다. 이로써, 제 1 반도체물질층(120')에 대한 도핑 공정에 의해, 제 1 채널영역(121)과 제 1 및 제 2 전극영역(122, 123)을 포함하는 제 1 액티브층(120)이 마련된다. 그리고, 제 2 반도체물질층(140')에 대한 도핑 공정에 의해, 제 2 채널영역(141)과 제 3 및 제 4 전극영역(142, 143)을 포함하는 제 2 액티브층(140)이 마련된다.Then, a doping process is performed on the first and second semiconductor material layers 120' and 140' while using the
이후, 절연막들을 일부 패터닝하여, 다수의 콘택홀(14a, 16a, 151a, 152a, 152b)을 마련한다.Thereafter, a plurality of
이후, 도 19, 도 20 및 도 21에 도시한 바와 같이, 제 1 층간절연막(106) 상에 상호 이격하는 데이터라인(14), 제 1 전원라인(16), 제 1 및 제 2 도전패턴(151, 152)을 배치한다.Then, as shown in FIGS. 19, 20 and 21, the data lines 14, the
이상과 같이, 본 발명의 일 실시예에 따르면, 각 화소영역에 대응하는 제 1 및 제 2 박막트랜지스터(T1, T2)를 포함한 유기발광표시장치에 있어서, 제 1 및 제 2 박막트랜지스터(T1, T2)가 바이어스패턴(130)을 사이에 두고 수직 방향으로 상호 적어도 일부 중첩하도록 배치된다. 즉, 제 1 및 제 2 박막트랜지스터(T1, T2)가 동일 평면 상에 수평방향으로 상호 이격하여 배치되는 것이 아니라, 수직 방향으로 상호 적어도 일부 중첩하도록 배치된다. As described above, according to one embodiment of the present invention, in the organic light emitting display device including the first and second thin film transistors T1 and T2 corresponding to each pixel area, the first and second thin film transistors T1, T2) are disposed so as to at least partially overlap each other in the vertical direction with the
이로써, 각 화소영역의 소자 배치가 보다 효율적으로 집적화될 수 있으므로, 각 화소영역의 축소된 면적에 따른 박막트랜지스터의 전압-전류 특성 저하가 방지될 수 있다. 그로 인해, 고해상도화에 유리해질 수 있다.Accordingly, since element arrangement in each pixel region can be integrated more efficiently, deterioration in voltage-current characteristics of the thin film transistor due to the reduced area of each pixel region can be prevented. As a result, high resolution may be advantageous.
더불어, 제 1 및 제 2 박막트랜지스터(T1, T2) 사이에 배치된 바이어스패턴(130)에 의해, 제 1 및 제 2 박막트랜지스터(T1, T2) 간의 상호 간섭이 방지될 수 있다. 그러므로, 수평 방향으로 상호 중첩하는 제 1 및 제 2 박막트랜지스터(T1, T2)의 특성 저하가 방지될 수 있다.In addition, mutual interference between the first and second thin film transistors T1 and T2 may be prevented by the
또한, 제 1 및 제 2 채널영역(121, 141)은 바이어스패턴(130)과 중첩된다. 그리고, 바이어스패턴(130)에는 정전압이 공급된다. 이에, 제 1 및 제 2 채널영역(121, 141) 각각에서 발생된 채널의 전계는 바이어스패턴(130)의 정전압의 영향을 받는다. 그러므로, 바이어스패턴(130)의 정전압에 의해 제 1 및 제 2 박막트랜지스터(T1, T2) 각각에서의 채널이 더욱 안정적으로 유지될 수 있다. 이로써, 제 1 및 제 2 박막트랜지스터(T1, T2)의 특성 안정화에 더욱 유리해질 수 있다.In addition, the first and
이상에서 설명한 본 발명은 상술한 실시예 및 첨부된 도면에 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 여러 가지 치환, 변형 및 변경이 가능하다는 것이 본 발명이 속하는 기술분야에서 종래의 지식을 가진 자에게 있어 명백할 것이다.The present invention described above is not limited to the above-described embodiments and the accompanying drawings, and various substitutions, modifications, and changes are possible within the scope of the technical spirit of the present invention. Conventionally in the art to which the present invention belongs It will be clear to those who have knowledge of
T1, T2, T3: 제 1, 제 2, 제 3 박막트랜지스터
15: 스캔라인 14: 데이터라인
16: 제 1 구동전원라인
110: 게이트전극 120: 제 1 액티브층
130: 바이어스패턴 140: 제 2 액티브층
151, 152: 제 1, 제 2 도전패턴T1, T2, T3: first, second, third thin film transistors
15: scan line 14: data line
16: first driving power line
110: gate electrode 120: first active layer
130: bias pattern 140: second active layer
151, 152: first and second conductive patterns
Claims (8)
상기 유기발광소자의 구동에 대응한 제 1 구동전원을 공급하는 제 1 전원라인과 상기 제 1 구동전원보다 낮은 전압의 제 2 구동전원을 공급하는 제 2 전원라인 사이에 상기 유기발광소자와 직렬로 배치되는 제 1 박막트랜지스터;
상기 각 화소영역의 데이터신호를 공급하는 데이터라인과 상기 제 1 박막트랜지스터의 게이트전극에 대응하는 노드 사이에 배치되는 제 2 박막트랜지스터; 및
상기 제 1 및 제 2 박막트랜지스터 사이의 층에 배치되고 상기 제 1 및 제 2 박막트랜지스터 각각으로부터 절연되는 바이어스패턴을 포함하고,
상기 제 2 박막트랜지스터는 상기 제 1 박막트랜지스터보다 상측에 배치되고 상기 제 1 박막트랜지스터와 일부 중첩하는 유기발광표시장치.
an organic light emitting element corresponding to each of a plurality of pixel areas defined in the display area;
between a first power line supplying first driving power corresponding to driving of the organic light emitting device and a second power line supplying second driving power having a lower voltage than the first driving power in series with the organic light emitting device a first thin film transistor disposed thereon;
a second thin film transistor disposed between a data line supplying a data signal of each pixel area and a node corresponding to the gate electrode of the first thin film transistor; and
a bias pattern disposed on a layer between the first and second thin film transistors and insulated from each of the first and second thin film transistors;
The second thin film transistor is disposed above the first thin film transistor and partially overlaps the first thin film transistor.
상기 제 1 박막트랜지스터는 기판 상에 배치되는 게이트전극과, 상기 게이트전극을 덮는 제 1 게이트절연막 상에 배치되고 상기 게이트전극에 일부 중첩하는 제 1 액티브층을 포함하고,
상기 바이어스패턴은 상기 제 1 액티브층을 덮는 제 1 바이어스절연막 상에 배치되고, 상기 게이트전극에 중첩하는 유기발광표시장치.
According to claim 1,
The first thin film transistor includes a gate electrode disposed on a substrate and a first active layer disposed on a first gate insulating layer covering the gate electrode and partially overlapping the gate electrode,
The bias pattern is disposed on a first bias insulating layer covering the first active layer and overlaps the gate electrode.
상기 복수의 화소영역 중 수평방향으로 나란하게 배열된 화소영역들로 이루어진 각 수평라인에 대응하는 스캔라인을 더 포함하고,
상기 제 2 박막트랜지스터는 상기 바이어스패턴을 덮는 제 2 바이어스절연막 상에 배치되고 상기 바이어스패턴에 일부 중첩하는 제 2 액티브층을 포함하고,
상기 스캔라인은 상기 제 2 액티브층을 덮는 제 2 게이트절연막 상에 배치되고 상기 제 2 액티브층에 일부 중첩하는 유기발광표시장치.
According to claim 3,
Further comprising a scan line corresponding to each horizontal line consisting of pixel areas arranged in parallel in a horizontal direction among the plurality of pixel areas;
The second thin film transistor includes a second active layer disposed on a second bias insulating layer covering the bias pattern and partially overlapping the bias pattern,
The scan line is disposed on a second gate insulating layer covering the second active layer and partially overlaps the second active layer.
상기 제 1 액티브층은 상기 게이트전극에 중첩하는 제 1 채널영역과, 상기 제 1 채널영역의 양측에 대응하는 제 1 및 제 2 전극영역을 포함하고,
상기 제 2 액티브층은 상기 스캔라인에 중첩하는 제 2 채널영역과, 상기 제 2 채널영역의 양측에 대응하는 제 3 및 제 4 전극영역을 포함하며,
상기 제 1 채널영역과 상기 제 2 채널영역은 상호 적어도 일부 중첩하고,
상기 바이어스패턴은 적어도 상기 제 1 및 제 2 채널영역의 중첩영역에 대응하는 유기발광표시장치.
According to claim 4,
The first active layer includes a first channel region overlapping the gate electrode and first and second electrode regions corresponding to both sides of the first channel region,
The second active layer includes a second channel region overlapping the scan line, and third and fourth electrode regions corresponding to both sides of the second channel region,
The first channel region and the second channel region overlap each other at least partially;
The bias pattern corresponds to at least an overlapping region of the first and second channel regions.
상기 제 1 및 제 2 전극영역 중 어느 하나는 상기 제 1 전원라인에 연결되고 다른 나머지 하나는 제 1 도전패턴에 연결되며,
상기 제 1 전원라인, 상기 데이터라인 및 상기 제 1 도전패턴 각각은 상호 이격하고 상기 스캔라인을 덮는 제 1 층간절연막 상에 배치되는 유기발광표시장치.
According to claim 5,
One of the first and second electrode regions is connected to the first power line and the other is connected to the first conductive pattern;
The first power line, the data line, and the first conductive pattern are spaced apart from each other and disposed on a first interlayer insulating layer covering the scan line.
상기 제 3 및 제 4 전극영역 중 어느 하나는 상기 데이터라인에 연결되고 다른 나머지 하나는 상기 게이트전극에 연결되는 유기발광표시장치.
According to claim 5,
wherein one of the third and fourth electrode regions is connected to the data line and the other one is connected to the gate electrode.
상기 제 1 채널영역의 길이방향에서, 상기 바이어스패턴은 상기 게이트전극보다 긴 길이로 이루어지고,
상기 제 1 액티브층은 상기 제 1 및 제 2 전극영역 중 적어도 하나와 상기 제 1 채널영역 사이에 배치되고 상기 제 1 및 제 2 전극영역보다 낮은 농도로 도핑되는 버퍼영역을 더 포함하는 유기발광표시장치.According to claim 5,
In the longitudinal direction of the first channel region, the bias pattern has a length longer than that of the gate electrode;
The first active layer may further include a buffer region disposed between at least one of the first and second electrode regions and the first channel region and doped with a lower concentration than the first and second electrode regions. Device.
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