KR102535549B1 - Fixed temperature water supplying device - Google Patents

Fixed temperature water supplying device Download PDF

Info

Publication number
KR102535549B1
KR102535549B1 KR1020170026586A KR20170026586A KR102535549B1 KR 102535549 B1 KR102535549 B1 KR 102535549B1 KR 1020170026586 A KR1020170026586 A KR 1020170026586A KR 20170026586 A KR20170026586 A KR 20170026586A KR 102535549 B1 KR102535549 B1 KR 102535549B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
water
storage tank
passage
temperature
cooling
Prior art date
Application number
KR1020170026586A
Other languages
Korean (ko)
Other versions
KR20170102817A (en
Inventor
다다오미 마츠모토
마사루 사이토
Original Assignee
가부시기가이샤 디스코
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 가부시기가이샤 디스코 filed Critical 가부시기가이샤 디스코
Publication of KR20170102817A publication Critical patent/KR20170102817A/en
Application granted granted Critical
Publication of KR102535549B1 publication Critical patent/KR102535549B1/en

Links

Images

Classifications

    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23QDETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
    • B23Q11/00Accessories fitted to machine tools for keeping tools or parts of the machine in good working condition or for cooling work; Safety devices specially combined with or arranged in, or specially adapted for use in connection with, machine tools
    • B23Q11/14Methods or arrangements for maintaining a constant temperature in parts of machine tools
    • B23Q11/146Methods or arrangements for maintaining a constant temperature in parts of machine tools by controlling the temperature of a cutting liquid
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23QDETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
    • B23Q11/00Accessories fitted to machine tools for keeping tools or parts of the machine in good working condition or for cooling work; Safety devices specially combined with or arranged in, or specially adapted for use in connection with, machine tools
    • B23Q11/0003Arrangements for preventing undesired thermal effects on tools or parts of the machine
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23QDETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
    • B23Q11/00Accessories fitted to machine tools for keeping tools or parts of the machine in good working condition or for cooling work; Safety devices specially combined with or arranged in, or specially adapted for use in connection with, machine tools
    • B23Q11/10Arrangements for cooling or lubricating tools or work
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23QDETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
    • B23Q11/00Accessories fitted to machine tools for keeping tools or parts of the machine in good working condition or for cooling work; Safety devices specially combined with or arranged in, or specially adapted for use in connection with, machine tools
    • B23Q11/12Arrangements for cooling or lubricating parts of the machine
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23QDETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
    • B23Q11/00Accessories fitted to machine tools for keeping tools or parts of the machine in good working condition or for cooling work; Safety devices specially combined with or arranged in, or specially adapted for use in connection with, machine tools
    • B23Q11/14Methods or arrangements for maintaining a constant temperature in parts of machine tools
    • B23Q11/141Methods or arrangements for maintaining a constant temperature in parts of machine tools using a closed fluid circuit for cooling or heating
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B24GRINDING; POLISHING
    • B24BMACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
    • B24B55/00Safety devices for grinding or polishing machines; Accessories fitted to grinding or polishing machines for keeping tools or parts of the machine in good working condition
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B24GRINDING; POLISHING
    • B24BMACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
    • B24B55/00Safety devices for grinding or polishing machines; Accessories fitted to grinding or polishing machines for keeping tools or parts of the machine in good working condition
    • B24B55/02Equipment for cooling the grinding surfaces, e.g. devices for feeding coolant
    • B24B55/03Equipment for cooling the grinding surfaces, e.g. devices for feeding coolant designed as a complete equipment for feeding or clarifying coolant
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F25REFRIGERATION OR COOLING; COMBINED HEATING AND REFRIGERATION SYSTEMS; HEAT PUMP SYSTEMS; MANUFACTURE OR STORAGE OF ICE; LIQUEFACTION SOLIDIFICATION OF GASES
    • F25DREFRIGERATORS; COLD ROOMS; ICE-BOXES; COOLING OR FREEZING APPARATUS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • F25D31/00Other cooling or freezing apparatus
    • F25D31/005Combined cooling and heating devices

Abstract

본 발명은 구동부의 파손을 방지하면서, 냉각수의 교환 작업 및 휴지 시간을 대폭 삭감하는 것을 목적으로 한다.
정온수(定溫水) 공급 장치(1)는, 가공용의 물을 저류하는 제1 저류 탱크(11)와, 제1 저류 탱크의 물을 가공 장치(3)로 공급하는 제1 유로(12)와, 제1 유로 내의 수온을 조정하는 수온 조정 수단(16)과, 구동부 냉각용의 물을 저류하는 제2 저류 탱크(21)와, 제2 저류 탱크의 물을 구동부(4)로 공급하는 제2 유로(22)와, 구동부로부터 제2 저류 탱크로 구동부 냉각 후의 물을 복귀시키는 순환 유로(23)와, 수온 조정 수단에 의해 온도 조정된 물을 제1 유로로부터 제2 저류 탱크로 공급하는 정온수 공급 유로(31)와, 제2 저류 탱크 내의 물을 외부로 배수하는 배수 유로(32)를 구비하고, 제1 유로로부터 제2 저류 탱크로 급수하고 제2 저류 탱크로부터 배수하여 제2 저류 탱크의 물을 교환하는 구성으로 이루어진다.
An object of the present invention is to drastically reduce cooling water replacement work and idle time while preventing damage to the drive unit.
The constant temperature water supply device 1 includes a first storage tank 11 for storing water for processing, and a first flow path 12 for supplying water in the first storage tank to the processing device 3. and a water temperature adjusting means (16) for adjusting the water temperature in the first passage, a second storage tank (21) for storing water for cooling the driving unit, and a second storage tank for supplying water in the second storage tank to the driving unit (4). Two flow passages 22, a circulation flow passage 23 for returning water after cooling of the drive section from the drive section to the second storage tank, and a constant temperature supplying water whose temperature has been adjusted by the water temperature adjusting means from the first passage to the second storage tank. A water supply passage 31 and a drainage passage 32 for draining the water in the second storage tank to the outside are provided, and water is supplied from the first passage to the second storage tank and drained from the second storage tank. It consists of a configuration that exchanges the water of

Figure R1020170026586
Figure R1020170026586

Description

정온수 공급 장치{FIXED TEMPERATURE WATER SUPPLYING DEVICE}Fixed temperature water supply device {FIXED TEMPERATURE WATER SUPPLYING DEVICE}

본 발명은 물 공급원으로부터의 물을 일정한 온도로 조정하여 가공 장치에 공급하는 정온수(定溫水) 공급 장치에 관한 것이다. The present invention relates to a constant temperature water supply device for adjusting water from a water supply source to a constant temperature and supplying it to a processing device.

일반적으로 연삭 장치나 절삭 장치 등의 가공 장치에서는, 가공수나 스핀들의 냉각수 등의 수온이 일정 온도로 관리된다. 일정 온도의 가공수나 냉각수의 공급에 의해, 기계 부품의 열팽창 및 열수축에 의한 가공 정밀도의 악화나, 스핀들의 갉아먹음 등과 같이 부품끼리의 접촉에 의해 장치 자체를 손상시키는 것을 방지하고 있다. 종래, 가공 장치에 공급되는 물을 일정 온도로 유지하는 정온수 공급 장치가 알려져 있다(예컨대, 특허문헌 1 참조). 정온수 공급 장치는, 저류 탱크로부터 가공 장치에 이르는 유로의 도중에 온도 조정기가 설치되고, 온도 조정기에 의해 일정 온도로 조정된 물이 가공 장치에 공급된다.BACKGROUND OF THE INVENTION [0002] Generally, in a machining device such as a grinding device or a cutting device, the water temperature of processing water or cooling water of a spindle is managed at a constant temperature. By supplying processing water or cooling water at a constant temperature, deterioration of processing accuracy due to thermal expansion and contraction of mechanical parts and damage to the device itself due to contact between parts such as spindle gnawing are prevented. Conventionally, a constant temperature water supply device that maintains water supplied to a processing device at a constant temperature is known (for example, see Patent Document 1). In the constant temperature water supply device, a temperature regulator is installed in the middle of a flow path from the storage tank to the processing device, and water adjusted to a constant temperature by the temperature controller is supplied to the processing device.

[특허문헌 1] 일본 특허 공개 제2007-127343호 공보[Patent Document 1] Japanese Unexamined Patent Publication No. 2007-127343

그런데, 스핀들 등의 구동부의 냉각수는, 가공물 등에 공급되는 가공수 정도의 순도나 온도 조정이 불필요하기 때문에, 가공 장치와 정온수 공급 장치 사이에서 순환시켜 사용되는 경우가 있다. 이 경우, 가공수를 교환하지 않고 장기간에 걸쳐 냉각수가 계속해서 사용되면, 불순물이 농축되어 배관 등에 오물로서 퇴적되고, 이 오물이 냉각수와 함께 구동부에 공급됨으로써, 구동부의 파손을 초래할 우려가 있었다. 또한, 구동부의 냉각수의 교환 시에는, 가공 장치의 가동을 정지할 필요가 있기 때문에, 휴지 시간(downtime)이 발생해 버린다고 하는 문제가 있었다.By the way, cooling water of a drive unit such as a spindle is circulated between a processing device and a constant temperature water supply device in some cases because the purity of the processing water supplied to the processing product or the like and temperature adjustment are unnecessary. In this case, if the cooling water is continuously used for a long period of time without exchanging the working water, impurities are concentrated and deposited as dirt in the pipe or the like, and this dirt is supplied to the drive unit together with the cooling water, causing damage to the drive unit. In addition, when replacing the cooling water of the drive unit, there is a problem that downtime occurs because it is necessary to stop the operation of the processing device.

본 발명은 이러한 점을 감안하여 이루어진 것으로, 구동부의 파손을 방지하면서, 냉각수의 교환 작업 및 휴지 시간을 대폭 삭감할 수 있는 정온수 공급 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.The present invention has been made in view of these points, and an object of the present invention is to provide a constant temperature water supply device capable of significantly reducing coolant replacement work and idle time while preventing damage to the drive unit.

본 발명의 정온수 공급 장치는, 물 공급원으로부터의 물을 일정한 온도로 조정하여 가공 장치에 공급하는 정온수 공급 장치로서, 물 공급원으로부터 공급되는 가공용의 물을 저류하는 제1 저류 탱크와, 상기 제1 저류 탱크로부터 가공 장치로 물을 송출하는 제1 송출 펌프와, 상기 제1 저류 탱크로부터 상기 가공 장치에 이르는 제1 유로 상의 상기 제1 송출 펌프보다 하류에 배치되며 물의 온도를 정해진 온도로 조정하는 수온 조정 수단과, 상기 가공 장치의 구동부 냉각용의 물을 저류하는 제2 저류 탱크와, 상기 제2 저류 탱크로부터 상기 가공 장치로 물을 송출하는 제2 송출 펌프와, 상기 가공 장치 내의 구동부 냉각 후의 물을 상기 제2 저류 탱크로 복귀시켜 순환시키는 순환 유로와, 상기 제1 유로 상의 상기 수온 조정 수단의 하류에서 상기 제1 유로로부터 분기되어 제2 저류 탱크에 연통(連通)되도록 형성되며 상기 제2 저류 탱크로 상기 정해진 온도로 조정된 물을 공급하는 정온수 공급 유로와, 상기 제1 유로로부터 상기 정온수 공급 유로로의 분기 개소에 배치되는 제1 전자 밸브와, 상기 제2 저류 탱크로부터 상기 가공 장치에 이르는 제2 유로 상의 상기 제2 송출 펌프보다 하류에서 상기 제2 유로로부터 분기되어 형성되며 상기 제2 저류 탱크의 물을 외부로 배수하기 위한 배수 유로와, 상기 제2 유로로부터 상기 배수 유로로의 분기 개소에 배치되는 제2 전자 밸브와, 적어도 상기 제1 전자 밸브 및 상기 제2 전자 밸브의 개폐를 제어하는 제어 수단을 구비하고, 상기 제어 수단은, 상기 제2 저류 탱크로부터 배수하는 타이밍을 관리하는 타이밍 관리부와, 상기 제1 전자 밸브 및 상기 제2 전자 밸브의 개폐를 제어하는 전자 밸브 제어부를 구비하며, 정해진 타이밍에서, 상기 제2 전자 밸브를 개방하여 상기 제2 저류 탱크 내의 물을 정해진 양 배수하고, 상기 제1 전자 밸브를 개방하여 상기 제1 유로 내의 상기 물을 상기 제2 저류 탱크로 정해진 양 공급하여, 순환하는 구동부 냉각수 내에 침입한 불순물 농도를 상승시키지 않는 것을 특징으로 한다. A constant temperature water supply device of the present invention is a constant temperature water supply device that adjusts water from a water supply source to a constant temperature and supplies it to a processing device, comprising: a first storage tank for storing water for processing supplied from the water supply source; 1 a first delivery pump for delivering water from a storage tank to a processing device, disposed downstream of the first delivery pump on a first flow path from the first storage tank to the processing device and adjusting the temperature of the water to a predetermined temperature; A water temperature adjusting unit, a second storage tank for storing water for cooling the drive unit of the processing device, a second delivery pump for sending water from the second storage tank to the processing device, and A circulation flow path for returning and circulating water to the second storage tank, branched from the first flow path downstream of the water temperature adjusting means on the first flow path, and communicating with the second storage tank, wherein the second A constant temperature water supply passage for supplying water adjusted to the predetermined temperature to a storage tank, a first solenoid valve arranged at a branching location from the first passage to the constant temperature water supply passage, and the process from the second storage tank. A drain passage formed downstream of the second delivery pump on a second passage leading to the device and branched from the second passage for draining the water in the second storage tank to the outside, and from the second passage to the drain passage a second solenoid valve disposed at a branching point of the first solenoid valve, and control means for controlling opening and closing of at least the first solenoid valve and the second solenoid valve, wherein the control means determines the timing of draining water from the second storage tank. a timing management unit for managing and an electromagnetic valve control unit for controlling opening and closing of the first solenoid valve and the second solenoid valve, wherein the second solenoid valve is opened at a predetermined timing to discharge water in the second storage tank at a predetermined timing. It is characterized in that the amount of water is discharged, and the first solenoid valve is opened to supply a predetermined amount of the water in the first flow path to the second storage tank, so that the concentration of impurities entering the cooling water of the driving unit that circulates is not increased.

이 구성에 의하면, 제1 저류 탱크 내의 가공용의 물이 제1 유로의 도중에서 수온 조정 수단에 의해 정해진 온도로 조정되고, 온도 조정 후의 가공용의 물의 일부가 정온수 공급 유로를 통해 제2 저류 탱크에 공급된다. 한편, 제2 저류 탱크 내의 구동부 냉각용의 물이 제2 유로를 통해 가공 장치의 구동부에 공급되고, 순환 유로를 통해 제2 저류 탱크로 복귀되며, 구동부 냉각용의 물의 일부가 배수 유로를 통해 배수된다. 즉, 제2 저류 탱크 내의 구동부 냉각용의 물이 배수되는 한편, 제1 저류 탱크로부터 가공용의 물이 제2 저류 탱크에 공급되기 때문에, 제2 저류 탱크 내의 물이 자동적으로 교체된다. 물이 교체되면서 제2 저류 탱크와 가공 장치의 구동부 사이에서 구동부 냉각용의 물이 순환되기 때문에, 불순물 농도가 상승하는 일이 없고, 불순물이 퇴적된 오물의 공급에 의해 구동부가 파손되는 일이 없다. 또한, 장치를 계속해서 가동한 상태에서 제2 저류 탱크 내의 물이 자동적으로 교체되기 때문에, 구동부 냉각용의 물의 교환 작업이 불필요해지고, 휴지 시간을 대폭 삭감할 수 있다. 또한, 제2 저류 탱크에는, 배수량과 대략 동일한 양의 온도 조정 후의 가공용의 물이 공급되기 때문에, 구동부 냉각용의 물의 온도 변화가 적어, 온도 변화에 의한 기계 트러블을 방지할 수 있다. 또한, 단일의 수온 조정 수단에 의해 2계통의 물을 조정할 수 있기 때문에, 부품수를 줄여 비용을 삭감할 수 있다. According to this configuration, the water for processing in the first storage tank is adjusted to a temperature determined by the water temperature adjusting means in the middle of the first flow path, and part of the water for processing after temperature adjustment is passed through the constant temperature water supply flow path to the second storage tank. are supplied On the other hand, the water for cooling the drive unit in the second storage tank is supplied to the drive unit of the processing unit through the second flow path, returned to the second storage tank through the circulation flow path, and part of the water for cooling the drive unit is drained through the drain flow path. do. That is, since the water for cooling the driving unit in the second storage tank is drained off while the water for processing is supplied from the first storage tank to the second storage tank, the water in the second storage tank is automatically replaced. Since the water for cooling the drive unit is circulated between the second storage tank and the drive unit of the processing unit while the water is being replaced, the impurity concentration does not rise and the drive unit is not damaged due to the supply of dirt on which impurities are deposited. . In addition, since the water in the second storage tank is automatically replaced while the device continues to operate, the water replacement work for cooling the driving unit becomes unnecessary, and the idle time can be significantly reduced. In addition, since the temperature-adjusted processing water is supplied to the second storage tank in an amount substantially equal to the amount of discharged water, the temperature change of the driving part cooling water is small, and mechanical trouble due to temperature change can be prevented. Moreover, since two systems of water can be regulated by a single water temperature adjusting means, the cost can be reduced by reducing the number of parts.

또한, 본 발명의 정온수 공급 장치에 있어서, 상기 제2 저류 탱크로부터 상기 가공 장치에 이르는 제2 유로 상의 상기 제2 송출 펌프보다 하류에 배치되며 물을 정해진 온도로 냉각하는 냉각 수단을 구비한다.In addition, in the constant temperature water supply device of the present invention, a cooling means disposed downstream of the second delivery pump on a second flow path extending from the second storage tank to the processing device and cooling the water to a predetermined temperature is provided.

본 발명에 의하면, 제2 저류 탱크 내의 구동부 냉각용의 물이 배수되는 한편, 제1 저류 탱크로부터 가공용의 정온수가 제2 저류 탱크에 공급되기 때문에, 제2 저류 탱크 내의 물이 자동적으로 교체된다. 따라서, 구동부의 파손을 방지하면서, 냉각수의 교환 작업 및 휴지 시간을 대폭 삭감할 수 있다. According to the present invention, since the water for cooling the driving unit in the second storage tank is drained while the constant temperature water for processing is supplied from the first storage tank to the second storage tank, the water in the second storage tank is automatically replaced. Accordingly, it is possible to drastically reduce the cooling water replacement work and idle time while preventing damage to the drive unit.

도 1은 본 실시형태의 정온수 공급 장치의 모식도이다.
도 2는 본 실시형태의 정온수 공급 장치에 의한 물의 공급 동작의 설명도이다.
1 is a schematic diagram of a constant temperature water supply device of the present embodiment.
2 is an explanatory diagram of water supply operation by the constant temperature water supply device of the present embodiment.

이하, 첨부 도면을 참조하여, 본 실시형태의 정온수 공급 장치에 대해 설명한다. 도 1은 본 실시형태의 정온수 공급 장치의 모식도이다. 한편, 이하의 설명에서는, 절삭 장치 또는 연삭 장치 등의 가공 장치에 정온수 공급 장치가 설치되는 구성을 예시하지만, 이 구성에 한정되지 않는다. 정온수 공급 장치는, 스핀들 등의 구동부를 구비한 다른 가공 장치에 구비되어도 좋다. Hereinafter, the constant temperature water supply device of the present embodiment will be described with reference to the accompanying drawings. 1 is a schematic diagram of a constant temperature water supply device of the present embodiment. On the other hand, in the following description, a configuration in which a constant temperature water supply device is installed in a processing device such as a cutting device or a grinding device is exemplified, but is not limited to this configuration. The constant temperature water supply device may be provided in another processing device equipped with a driving unit such as a spindle.

도 1에 도시된 바와 같이, 정온수 공급 장치(1)는, 물 공급원(2)으로부터의 물을 일정한 온도로 조정하여 가공 장치(3)에 공급하는 것으로, 가공용의 물을 공급하는 제1 계통(10)과 구동부 냉각용의 물을 공급하는 제2 계통(20)을 구비한다. 제1 계통(10)에서는, 가공 장치(3)의 노즐(도시하지 않음) 등에 가공용의 물이 공급되어 가공 개소가 냉각 및 세정된다. 공급 후의 가공용의 물은 가공 장치(3)의 워터 케이스(도시하지 않음) 등을 통해 외부로 배수된다. 가공용의 물은 가공 대상의 가공물 등에도 분무되기 때문에, 가공 정밀도에 영향이 발생하지 않도록 일정 온도로 조정된다.As shown in Fig. 1, the constant temperature water supply device 1 adjusts the water from the water supply source 2 to a constant temperature and supplies it to the processing device 3, and the first system supplies the water for processing. (10) and a second system (20) for supplying water for cooling the driving unit. In the first system 10, water for processing is supplied to a nozzle (not shown) or the like of the processing device 3 to cool and clean the processing area. The water for processing after supply is drained to the outside through a water case (not shown) of the processing device 3 or the like. Since the water for processing is also sprayed on the workpiece to be processed, etc., the temperature is adjusted to a certain level so as not to affect the processing accuracy.

제2 계통(20)에서는, 스핀들, 척 테이블이나 스피너 테이블의 축 모터 등의 구동부(4) 내에 구동부 냉각용의 물이 공급되어, 이들 구동부(4)에서 발생하는 열이 냉각된다. 구동부 냉각용의 물은, 구동부(4)를 냉각하면 되기 때문에, 가공용의 물과 같은 순도나 온도 조정이 불필요하고, 정온수 공급 장치(1)와 가공 장치(3) 사이에서 순환된다. 이와 같이, 가공 장치(3)의 가동 시에는, 물 공급원(2)으로부터의 물이 제1 계통(10)을 통해 가공 장치(3)에 계속해서 공급되고, 제2 계통(20)에서 물이 순환하여 구동부(4)에서 발생하는 열을 계속해서 냉각한다. In the second system 20, water for cooling the driving units is supplied into the driving units 4 such as the shaft motor of the spindle, chuck table or spinner table, and the heat generated in these driving units 4 is cooled. Since the water for cooling the drive unit only needs to cool the drive unit 4, it circulates between the constant temperature water supply device 1 and the processing device 3 without the same purity or temperature adjustment as for processing water. In this way, during operation of the processing device 3, water from the water supply source 2 is continuously supplied to the processing device 3 via the first system 10, and water is supplied from the second system 20. It circulates and continuously cools the heat generated in the drive unit 4.

그런데, 일반적으로 구동부 냉각용의 물을 장기간에 걸쳐 순환시켜 계속해서 사용하면, 불순물이 농축되어 오물로서 유로 등에 퇴적될 우려가 있다. 그래서, 본 실시형태의 정온수 공급 장치(1)에서는, 제2 계통(20)을 순환하는 구동부 냉각용의 물의 일부를 배수하고 제1 계통(10)의 가공용의 물의 일부를 제2 계통(20)에 공급하여, 제2 계통(20) 내의 물을 자동적으로 교체하도록 한다. 이에 의해, 불순물의 농축을 억제할 수 있고, 또한 가공 장치(3)를 가동시킨 상태에서 제2 계통(20) 내의 물이 교체되기 때문에, 휴지 시간을 대폭 삭감하는 것이 가능하게 된다. However, if water for cooling the drive unit is generally circulated over a long period of time and continuously used, there is a risk that impurities are concentrated and deposited as dirt in a passage or the like. Therefore, in the constant temperature water supply device 1 of the present embodiment, a part of the water for cooling the driving unit circulating in the second system 20 is drained, and a part of the water for processing in the first system 10 is discharged to the second system 20. ), so that the water in the second system 20 is automatically replaced. As a result, the concentration of impurities can be suppressed, and since the water in the second system 20 is replaced while the processing device 3 is operating, it is possible to drastically reduce the idle time.

또한, 가공 장치(3)의 초기 가동 시에 구동부 냉각용의 물이 지나치게 차가우면, 각 구동부(4)의 베어링 등이 수축하여 회전축이 갉아먹어 버릴 가능성이 있다. 통상은, 가공 전에 구동부(4)의 아이들링 시의 발열로, 구동부 냉각용의 물을 일정 온도까지 상승시켜 가공 중의 갉아먹음을 억제하고 있으나, 초기 가동 시의 기동이 늦어진다. 그래서, 본 실시형태에서는, 제1 계통(10)에서 정해진 온도로 온도 조정된 가공용의 물을 제2 계통(20)에 공급하도록 한다. 이에 의해, 제2 계통(20) 내의 구동부 냉각용의 물이 지나치게 차가워지는 일이 없어, 초기 가동 시의 기동을 빠르게 한다.In addition, if the water for cooling the driving unit is too cold during the initial operation of the processing device 3, there is a possibility that the bearings of each driving unit 4 shrink and the rotating shaft is eaten away. Normally, the water for cooling the drive unit is raised to a certain temperature due to heat generated during idling of the drive unit 4 prior to processing to suppress gnawing during processing, but startup at the time of initial operation is delayed. Therefore, in the present embodiment, water for processing whose temperature has been adjusted to a predetermined temperature in the first system 10 is supplied to the second system 20 . Thereby, the water for cooling the driving unit in the second system 20 does not become too cold, and startup at the time of initial operation is accelerated.

이하, 본 실시형태의 정온수 공급 장치(1)의 제1 계통(10) 및 제2 계통(20)의 상세 구성에 대해 설명한다. 제1 계통(10)에는, 제1 저류 탱크(11)로부터 가공 장치(3)에 이르는 제1 유로(12)가 형성된다. 제1 유로(12) 상에는, 상류로부터 하류를 향해 제1 저류 탱크(11), 제1 송출 펌프(14), 제1 압력 검출 수단(15), 수온 조정 수단(16), 제1 필터(17)가 순서대로 설치된다. 제1 저류 탱크(11)에는 물 공급원(2)으로부터 공급되는 가공용의 물이 저류되고, 제1 저류 탱크(11) 내의 물은 제1 송출 펌프(14)에 의해 제1 저류 탱크(11)로부터 가공 장치(3)로 송출된다. Hereinafter, detailed configurations of the first system 10 and the second system 20 of the constant temperature water supply device 1 of the present embodiment will be described. In the first system 10, a first flow path 12 extending from the first storage tank 11 to the processing device 3 is formed. On the first flow path 12, from upstream to downstream, a first storage tank 11, a first delivery pump 14, a first pressure detection means 15, a water temperature adjusting means 16, and a first filter 17 ) are installed in sequence. In the first storage tank 11, water for processing supplied from the water supply source 2 is stored, and the water in the first storage tank 11 is discharged from the first storage tank 11 by the first delivery pump 14. It is sent to the processing device 3.

제1 송출 펌프(14)의 송출압은 제1 압력 검출 수단(15)에 의해 검출되고, 제1 압력 검출 수단(15)의 검출 결과에 따라 제1 송출 펌프(14)의 송출압이 조정된다. 제1 유로(12) 상의 제1 송출 펌프(14)의 하류에서는, 수온 조정 수단(16)에 의해 물의 온도가 정해진 온도로 조정된다. 수온 조정 수단(16)은, 칠러 등의 제1 냉각 수단(18)과 히터 등의 가열 수단(19)으로 이루어지고, 제1 냉각 수단(18)의 냉각과 가열 수단(19)의 가열을 조합하여 물이 정해진 온도로 조정된다. 정해진 온도가 된 물(정온수)은 제1 필터(17)를 통과하여, 가공용의 물로서 가공 장치(3) 내의 노즐에 공급된다. The delivery pressure of the 1st delivery pump 14 is detected by the 1st pressure detection means 15, and the delivery pressure of the 1st delivery pump 14 is adjusted according to the detection result of the 1st pressure detection means 15. . Downstream of the first delivery pump 14 on the first flow path 12, the water temperature adjusting means 16 adjusts the water temperature to a predetermined temperature. The water temperature adjusting means 16 consists of a first cooling means 18 such as a chiller and a heating means 19 such as a heater, and the cooling of the first cooling means 18 and the heating of the heating means 19 are combined. This adjusts the water to a set temperature. Water having reached a predetermined temperature (constant temperature water) passes through the first filter 17 and is supplied to a nozzle in the processing device 3 as water for processing.

제2 계통(20)에는, 제2 저류 탱크(21)로부터 가공 장치(3)의 구동부(4)에 이르는 제2 유로(22)와, 가공 장치(3)의 구동부(4)로부터 제2 저류 탱크(21)에 이르는 순환 유로(23)가 형성된다. 제2 유로(22) 상에는, 상류로부터 하류를 향해 제2 저류 탱크(21), 제2 송출 펌프(24), 제2 압력 검출 수단(25), 제2 냉각 수단(냉각 수단)(26), 제2 필터(27)가 설치된다. 제2 저류 탱크(21)에는 가공 장치(3)의 구동부 냉각용의 물이 저류되고, 제2 저류 탱크(21) 내의 물은 제2 송출 펌프(24)에 의해 제2 저류 탱크(21)로부터 가공 장치(3)의 구동부(4)로 송출된다. In the second system 20, a second flow path 22 from the second storage tank 21 to the drive unit 4 of the processing device 3 and a second storage tank from the drive unit 4 of the processing device 3 A circulation passage 23 leading to the tank 21 is formed. On the second flow path 22, from upstream to downstream, a second storage tank 21, a second delivery pump 24, a second pressure detection means 25, a second cooling means (cooling means) 26, A second filter 27 is installed. Water for cooling the driving unit of the processing device 3 is stored in the second storage tank 21, and the water in the second storage tank 21 is discharged from the second storage tank 21 by the second delivery pump 24. It is sent to the drive part 4 of the processing device 3.

제2 송출 펌프(24)의 송출압은 제2 압력 검출 수단(25)에 의해 검출되고, 제2 압력 검출 수단(25)의 검출 결과에 따라 제2 송출 펌프(24)의 송출압이 조정된다. 제2 유로(22) 상의 제2 송출 펌프(24)의 하류에서는, 칠러 등의 제2 냉각 수단(26)에 의해 물의 온도가 정해진 온도로 냉각된다. 정해진 온도로 냉각된 물은 제2 필터(27)를 통과하여, 구동부 냉각용의 물로서 가공 장치(3) 내의 구동부(4)에 공급된다. 또한, 구동부 냉각 후의 물은, 순환 유로(23)를 통해 제2 저류 탱크(21) 내로 복귀되고, 제2 저류 탱크(21)와 구동부(4) 사이에서 순환된다. The delivery pressure of the second delivery pump 24 is detected by the second pressure detection means 25, and the delivery pressure of the second delivery pump 24 is adjusted according to the detection result of the second pressure detection means 25. . Downstream of the second delivery pump 24 on the second flow path 22, the temperature of the water is cooled to a predetermined temperature by a second cooling means 26 such as a chiller. The water cooled to a predetermined temperature passes through the second filter 27 and is supplied to the driving unit 4 in the processing device 3 as water for cooling the driving unit. In addition, the water after cooling the driving unit is returned to the inside of the second storage tank 21 through the circulation flow passage 23 and is circulated between the second storage tank 21 and the driving unit 4 .

또한, 제1 계통(10)에는, 수온 조정 수단(16)의 하류에서 제1 유로(12)로부터 분기되어 제2 저류 탱크(21)에 연통되는 정온수 공급 유로(31)가 형성되고, 정온수 공급 유로(31)를 통해 제1 유로(12)로부터 제2 저류 탱크(21)에 정해진 온도로 조정된 물이 공급된다. 제2 계통(20)에는, 제2 송출 펌프(24)의 하류에서 제2 유로(22)로부터 분기되어 제2 저류 탱크(21)의 물을 외부로 배수하는 배수 유로(32)가 형성된다. 제1 유로(12)로부터 정온수 공급 유로(31)로의 분기 개소에는, 제2 저류 탱크(21)로의 급수용의 제1 전자 밸브(33)가 배치되고, 제2 유로(22)로부터 배수 유로(32)로의 분기 개소에는, 제2 저류 탱크(21)의 배수용의 제2 전자 밸브(34)가 배치된다. Further, in the first system 10, a constant temperature water supply flow path 31 branching off from the first flow path 12 downstream of the water temperature adjusting means 16 and communicating with the second storage tank 21 is formed, Water adjusted to a predetermined temperature is supplied to the second storage tank 21 from the first flow path 12 through the water supply flow path 31 . In the second system 20, a drain flow path 32 branching from the second flow path 22 downstream of the second delivery pump 24 and draining water from the second storage tank 21 to the outside is formed. A first solenoid valve 33 for supplying water to the second storage tank 21 is disposed at a branching point from the first flow path 12 to the constant temperature water supply flow path 31, and a drain flow path from the second flow path 22. The 2nd solenoid valve 34 for draining of the 2nd storage tank 21 is arrange|positioned at the branching part to (32).

정온수 공급 장치(1)에는, 적어도 제1 전자 밸브(33) 및 제2 전자 밸브(34)의 개폐를 제어하는 제어 수단(41)이 설치된다. 제어 수단(41)에는, 제2 저류 탱크(21)로부터의 배수 타이밍을 관리하는 타이밍 관리부(42)와, 제1 전자 밸브(33) 및 제2 전자 밸브(34)의 개폐를 제어하는 전자 밸브 제어부(43)가 설치된다. 한편, 제어 수단(41)은 각종 처리를 실행하는 프로세서나 메모리 등에 의해 구성된다. 메모리는, 용도에 따라 ROM(Read Only Memory), RAM(Random Access Memory) 등 중의 하나 또는 복수의 기억 매체로 구성된다. 메모리에는, 타이밍 관리나 개폐 제어를 실행하기 위한 프로그램 등이 기억된다.The constant temperature water supply device 1 is provided with control means 41 for controlling opening and closing of at least the first solenoid valve 33 and the second solenoid valve 34 . The control means 41 includes a timing management unit 42 that manages the timing of draining water from the second storage tank 21, and solenoid valves that control opening and closing of the first solenoid valve 33 and the second solenoid valve 34. A control unit 43 is installed. On the other hand, the control means 41 is constituted by a processor or memory that executes various processes. The memory is composed of one or a plurality of storage media, such as ROM (Read Only Memory) and RAM (Random Access Memory), depending on the purpose. The memory stores programs for executing timing management and opening/closing control.

이와 같이 구성된 정온수 공급 장치(1)에서는, 정해진 타이밍에서, 제2 전자 밸브(34)가 개방되어 제2 저류 탱크(21) 내의 물이 정해진 양만큼 배수되고, 제1 전자 밸브(33)가 개방되어 제1 유로(12) 내의 물이 제2 저류 탱크(21)에 정해진 양만큼 공급된다. 제2 저류 탱크(21) 내의 물이 정해진 양씩 교체되면서, 제2 저류 탱크(21)와 가공 장치(3)의 구동부(4) 사이에서 물이 순환된다. 따라서, 제2 저류 탱크(21)와 구동부(4)에서 순환하는 물의 불순물 농도의 상승이 억제되고, 제2 저류 탱크(21) 내의 구동부 냉각용의 물의 교환 작업이 자동적으로 실시된다.In the constant temperature water supply device 1 configured as described above, at a predetermined timing, the second solenoid valve 34 is opened, the water in the second storage tank 21 is drained by a predetermined amount, and the first solenoid valve 33 It is opened so that the water in the first flow passage 12 is supplied to the second storage tank 21 in a predetermined amount. As the water in the second storage tank 21 is replaced by a predetermined amount, the water is circulated between the second storage tank 21 and the drive unit 4 of the processing device 3 . Therefore, an increase in the impurity concentration of the water circulating in the second storage tank 21 and the driving unit 4 is suppressed, and the operation of replacing the water for cooling the driving unit in the second storage tank 21 is automatically performed.

도 2를 참조하여, 정온수 공급 장치에 의한 물의 공급 동작에 대해 설명한다. 도 2는 본 실시형태의 정온수 공급 장치에 의한 물의 공급 동작의 설명도이다. 한편, 도 2a는 제1 유로로부터 제2 저류 탱크(21)로의 급수를 정지한 급수 정지 상태, 도 2b는 제1 유로로부터 제2 저류 탱크(21)로 급수하는 급수 상태를 각각 도시하고 있다.Referring to Fig. 2, the operation of supplying water by the constant temperature water supply device will be described. 2 is an explanatory diagram of water supply operation by the constant temperature water supply device of the present embodiment. Meanwhile, FIG. 2A shows a water supply stop state in which water supply from the first flow passage to the second storage tank 21 is stopped, and FIG. 2B shows a water supply state where water is supplied from the first flow passage to the second storage tank 21.

도 2a에 도시된 바와 같이, 제2 저류 탱크(21)로의 급수 정지 상태에서는, 타이밍 관리부(42)로부터의 지시에 따라, 전자 밸브 제어부(43)에 의해 정온수 공급 유로(31)의 제1 전자 밸브(33) 및 배수 유로(32)의 제2 전자 밸브(34)가 폐쇄된다. 이에 의해, 제1 유로(12)로부터 제2 저류 탱크(21)로의 급수가 정지되고, 제2 저류 탱크(21)로부터 외부로의 배수가 정지된다. 이 제2 저류 탱크(21)로의 급수 정지 상태에서는, 물 공급원(2)으로부터 제1 저류 탱크(11)로 가공용의 물이 공급되고, 제1 저류 탱크(11) 내의 물이 제1 송출 펌프(14)의 송출압에 의해 제1 유로(12) 내로 송출된다.As shown in FIG. 2A , in the state where the water supply to the second storage tank 21 is stopped, the solenoid valve control unit 43, in accordance with an instruction from the timing management unit 42, opens the first The solenoid valve 33 and the second solenoid valve 34 of the drain passage 32 are closed. As a result, water supply from the first flow path 12 to the second storage tank 21 is stopped, and drainage from the second storage tank 21 to the outside is stopped. In the state in which water supply to the second storage tank 21 is stopped, water for processing is supplied from the water supply source 2 to the first storage tank 11, and the water in the first storage tank 11 is supplied to the first delivery pump ( It is delivered into the first flow passage 12 by the delivery pressure of 14).

제1 유로(12) 내의 물은, 수온 조정 수단(16)을 통과함으로써 정해진 온도로 조정된다. 제1 유로(12) 내의 수온이 정해진 온도 이상인 경우에는, 수온 조정 수단(16)의 제1 냉각 수단(18)에 의해 정해진 온도까지 냉각된다. 또한, 제1 유로(12) 내의 수온이 정해진 온도보다 낮은 경우에는, 수온 조정 수단(16)의 가열 수단(19)에 의해 정해진 온도까지 가열된다. 그리고, 정해진 온도의 물은 제1 필터(17)에 의해 이물질이 제거된 상태로 가공 장치(3)의 노즐로부터 가공물의 가공점을 향해 분사된다. 이 가공용의 물은, 가공 장치(3)의 워터 케이스 등을 통해 외부로 배출된다.The water in the first flow passage 12 is adjusted to a predetermined temperature by passing through the water temperature adjusting means 16 . When the water temperature in the first flow path 12 is equal to or higher than the predetermined temperature, the first cooling unit 18 of the water temperature adjusting unit 16 cools the water to the predetermined temperature. Moreover, when the water temperature in the 1st flow path 12 is lower than a predetermined temperature, it is heated up to the predetermined temperature by the heating means 19 of the water temperature adjusting means 16. Then, the water at the predetermined temperature is sprayed from the nozzle of the processing device 3 toward the processing point of the processing object in a state in which foreign substances are removed by the first filter 17 . This water for processing is discharged to the outside through a water case or the like of the processing device 3 .

한편, 제2 저류 탱크(21) 내의 물은 제2 송출 펌프(24)의 송출압에 의해 제2 유로(22) 내로 송출된다. 제2 유로(22) 내의 물은 제2 냉각 수단(26)을 통과함으로써 정해진 온도까지 냉각된다. 제2 유로(22) 내의 수온이 정해진 온도 이상인 경우에는, 제2 냉각 수단(26)에 의해 정해진 온도 이하까지 냉각된다. 또한, 제2 유로(22) 내의 수온이 정해진 온도보다 낮은 경우에는, 제2 냉각 수단(26)에 의해 냉각되지 않고 통과한다. 그리고, 냉각 후의 물은 제2 필터(27)에 의해 이물질이 제거된 상태로 가공 장치(3)의 구동부(4)에 공급된다. 구동부 냉각 후의 물은 순환 유로(23)를 통해 제2 저류 탱크(21)로 복귀된다.On the other hand, the water in the second storage tank 21 is delivered into the second flow passage 22 by the delivery pressure of the second delivery pump 24 . The water in the second flow path 22 is cooled to a predetermined temperature by passing through the second cooling means 26 . When the water temperature in the second flow path 22 is equal to or higher than the predetermined temperature, the second cooling unit 26 cools the water to a predetermined temperature or lower. In addition, when the temperature of the water in the second flow passage 22 is lower than the predetermined temperature, it passes through without being cooled by the second cooling means 26 . Then, the water after cooling is supplied to the driving unit 4 of the processing device 3 in a state in which foreign substances are removed by the second filter 27 . The water after cooling the driving unit is returned to the second storage tank 21 through the circulation passage 23 .

이와 같이, 가공 장치(3)에는, 제1 유로(12)를 통해 정해진 온도로 조정된 가공용의 물이 공급되기 때문에, 가공물의 가공 시의 가공 정밀도의 저하가 억제된다. 또한, 가공 장치(3)의 구동부(4)에는, 제2 유로(22)를 통해 정해진 온도 이하로 냉각된 구동부 냉각용의 물이 공급되기 때문에, 구동부(4)로부터 열을 빼앗아 구동부(4)의 녹아붙음(seizure) 등이 억제된다. 또한, 구동부 냉각 후의 물은 열을 흡수하여 따뜻해지지만, 제2 저류 탱크(21)로 복귀된 후에 다시 제2 유로(22) 내에서 정해진 온도 이하로 냉각됨으로써, 다시 구동부 냉각용의 물로서 재이용된다. In this way, since water for processing adjusted to a predetermined temperature is supplied to the processing device 3 via the first flow path 12, a decrease in processing accuracy during processing of the workpiece is suppressed. In addition, since water for cooling the drive unit cooled to a predetermined temperature or lower is supplied to the drive unit 4 of the processing device 3 through the second flow path 22, heat is taken from the drive unit 4 and the drive unit 4 Seizure and the like are suppressed. In addition, the water after cooling the driving unit absorbs heat and becomes warm, but after returning to the second storage tank 21, it is cooled again to a predetermined temperature or less within the second flow path 22, and is reused as water for cooling the driving unit again. .

도 2b에 도시된 바와 같이, 제2 저류 탱크(21)로의 급수 상태에서는, 타이밍 관리부(42)로부터의 지시에 따라, 전자 밸브 제어부(43)에 의해 정온수 공급 유로(31)의 제1 전자 밸브(33) 및 배수 유로(32)의 제2 전자 밸브(34)가 개방된다. 이에 의해, 제1 유로(12)로부터 제2 저류 탱크(21)로의 급수가 개시되고, 제2 저류 탱크(21)로부터 외부로의 배수가 개시된다. 이 제2 저류 탱크(21)로의 급수 상태에서는, 제1 저류 탱크(11)로부터 제1 송출 펌프(14)에 의해 가공용의 물이 송출되면, 수온 조정 수단(16)을 통과한 정해진 온도의 물이 제1 유로(12)의 도중 부분에서 정온수 공급 유로(31)에 의해 분류(分流)된다.As shown in FIG. 2B , in the state of supplying water to the second storage tank 21, the solenoid valve control unit 43, in accordance with the instructions from the timing management unit 42, moves the first electromagnetic valve through the constant temperature water supply passage 31. The valve 33 and the second solenoid valve 34 of the drainage passage 32 are opened. Thus, water supply from the first flow path 12 to the second storage tank 21 is started, and drainage from the second storage tank 21 to the outside is started. In the state of water supply to this second storage tank 21, when water for processing is sent from the first storage tank 11 by the first delivery pump 14, water of a predetermined temperature has passed through the water temperature adjusting means 16. In the middle part of this first flow path 12, it is divided by the constant temperature water supply flow path 31.

제1 유로(12)를 직진하는 물은 가공 장치(3)의 노즐로부터 가공점을 향해 분사되고, 가공 장치(3)의 워터 케이스 등을 통해 외부로 배출된다. 정온수 공급 유로(31)로 유입되는 물은 제2 저류 탱크(21)로 공급되고, 제2 저류 탱크(21)에 있어서 구동부 냉각용의 물로서 저류된다. 이때, 정온수 공급 유로(31) 내의 물은 수온 조정 수단(16)에 의해 정해진 온도로 조정되기 때문에, 제2 저류 탱크(21)에 저류되어 있던 물의 온도가 대폭 변화하는 일이 없다. 한편, 제1 전자 밸브(33)가 개방됨으로써 수압이 저하되어도, 제1 송출 펌프(14)의 송출압이 충분히 높기 때문에, 가공 장치(3)까지 가공용의 물을 송출하는 것이 가능하게 된다.Water going straight through the first flow path 12 is sprayed from the nozzle of the processing device 3 toward the processing point, and is discharged to the outside through a water case of the processing device 3 or the like. The water flowing into the constant temperature water supply passage 31 is supplied to the second storage tank 21 and is stored in the second storage tank 21 as water for cooling the drive unit. At this time, since the water in the constant temperature water supply passage 31 is adjusted to a predetermined temperature by the water temperature adjusting means 16, the temperature of the water stored in the second storage tank 21 does not change significantly. On the other hand, since the delivery pressure of the 1st delivery pump 14 is sufficiently high even if the water pressure drops because the 1st solenoid valve 33 opens, it becomes possible to deliver processing water to the processing apparatus 3.

한편, 제2 저류 탱크(21)로부터 제2 송출 펌프(24)에 의해 구동부 냉각용의 물이 송출되면, 제2 유로(22)의 도중 부분에서 배수 유로(32)에 의해 분류된다. 제2 유로(22)를 직진하는 물은, 제2 냉각 수단(26)에 의해 정해진 온도 이하로 냉각되어 가공 장치(3)의 구동부(4)로 공급되고, 또한 순환 유로(23)를 통해 제2 저류 탱크(21)로 복귀된다. 배수 유로(32)로 유입되는 물은 외부로 배수되어, 제2 저류 탱크(21)와 구동부(4) 사이에서 순환 중에 불순물이 농축되기 전에 수량이 감소된다. 이와 같이, 정온수 공급 유로(31)로부터 제2 저류 탱크(21)로 급수되는 분만큼, 제2 저류 탱크(21)로부터 배수 유로(32)를 통해 배수된다.On the other hand, when the water for cooling the drive unit is sent from the second storage tank 21 by the second delivery pump 24, it is diverted by the drain passage 32 in the middle part of the second flow passage 22. The water going straight through the second flow path 22 is cooled to a temperature equal to or lower than a predetermined temperature by the second cooling means 26, supplied to the driving unit 4 of the processing device 3, and further passed through the circulation flow path 23. It returns to the 2nd storage tank 21. The water flowing into the drainage passage 32 is drained to the outside, and the amount of water is reduced before impurities are concentrated while circulating between the second storage tank 21 and the drive unit 4 . In this way, water supplied from the constant temperature water supply passage 31 to the second storage tank 21 is drained from the second storage tank 21 through the drain passage 32 .

제2 저류 탱크(21)의 물이 조금씩 교체되어 불순물의 농도의 상승이 억제되기 때문에, 불순물이 퇴적된 오물이 구동부(4)에 공급되는 일이 없고, 구동부(4)의 파손이 방지된다. 또한, 가공 장치(3)를 가동시킨 상태에서 제2 저류 탱크(21) 내의 물이 자동적으로 교체되기 때문에, 제2 저류 탱크(21) 내의 물의 교환 작업을 저감하고, 장치 정지에 의한 휴지 시간을 삭감할 수 있다. 이 경우, 24시간으로 제2 저류 탱크(21) 내의 물이 교체되도록, 제2 저류 탱크(21)로의 급수 타이밍과 제2 저류 탱크(21)로부터의 배수 타이밍이 제어되는 것이 바람직하다. Since the water in the second storage tank 21 is replaced little by little and an increase in the concentration of impurities is suppressed, dirt accumulated with impurities is not supplied to the drive unit 4 and damage to the drive unit 4 is prevented. In addition, since the water in the second storage tank 21 is automatically replaced while the processing device 3 is operating, the work of exchanging the water in the second storage tank 21 is reduced, and the idle time caused by stopping the device is shortened. can be cut down In this case, it is preferable that the timing of supplying water to the second storage tank 21 and the timing of draining water from the second storage tank 21 are controlled so that the water in the second storage tank 21 is replaced in 24 hours.

상기한 바와 같이 제2 저류 탱크(21)에는 정온수 공급 유로(31)로부터 정해진 온도의 물이 공급되기 때문에, 제2 저류 탱크(21) 내의 물이 지나치게 낮아지는 일이 없다. 제2 유로(22) 내의 수온이 극단적으로 저하되지 않기 때문에, 가공 장치(3)의 초기 가동 전의 공전(空轉) 시간(아이들링 시간)을 짧게 해도, 베어링의 수축 등에 기인한 구동부(4)의 회전축의 갉아먹음 등의 문제가 발생하는 일이 없다. 따라서, 가공 장치(3)의 초기 가동 시의 기동을 빠르게 할 수 있다. 한편, 제2 전자 밸브(34)가 개방됨으로써 수압이 저하되어도, 제2 송출 펌프(24)의 송출압이 충분히 높기 때문에, 구동부(4)까지 냉각용의 물을 송출하는 것이 가능하게 된다.As described above, since water at a predetermined temperature is supplied to the second storage tank 21 from the constant temperature water supply passage 31, the water in the second storage tank 21 does not become excessively low. Since the water temperature in the second flow path 22 does not drop extremely, even if the idling time (idling time) before the initial operation of the processing device 3 is shortened, the rotating shaft of the driving unit 4 due to shrinkage of the bearing or the like There is no occurrence of problems such as gnawing of Therefore, the start-up at the time of initial operation of the processing apparatus 3 can be accelerated. On the other hand, since the delivery pressure of the 2nd delivery pump 24 is high enough even if the water pressure falls because the 2nd solenoid valve 34 opens, it becomes possible to deliver cooling water to the drive part 4.

이상과 같이, 본 실시형태의 정온수 공급 장치(1)에서는, 제2 저류 탱크(21) 내의 구동부 냉각용의 물이 배수되는 한편, 제1 저류 탱크(11)로부터 가공용의 물이 제2 저류 탱크(21)로 공급되기 때문에, 제2 저류 탱크(21) 내의 물이 자동적으로 교체된다. 물이 교체되면서 제2 저류 탱크(21)와 가공 장치의 구동부(4) 사이에서 구동부 냉각용의 물이 순환되기 때문에, 불순물 농도가 상승하는 일이 없고, 불순물이 퇴적된 오물의 공급에 의해 구동부(4)가 파손되는 일이 없다. 또한, 장치를 계속해서 가동하는 상태에서 제2 저류 탱크(21) 내의 물이 자동적으로 교체되기 때문에, 구동부 냉각용의 물의 교환 작업이 불필요해지고, 휴지 시간을 대폭 삭감할 수 있다. 또한, 제2 저류 탱크(21)에는, 배수량과 대략 동일한 양의 온도 조정 후의 가공용의 물이 공급되기 때문에, 구동부 냉각용의 물의 온도 변화가 적어, 온도 변화에 의한 기계 트러블을 방지할 수 있다.As described above, in the constant temperature water supply device 1 of the present embodiment, the water for cooling the driving unit in the second storage tank 21 is drained, while the water for processing from the first storage tank 11 is stored in the second storage tank 21. Since it is supplied to the tank 21, the water in the second storage tank 21 is automatically replaced. Since the water for cooling the drive unit is circulated between the second storage tank 21 and the drive unit 4 of the processing unit while the water is being replaced, the impurity concentration does not rise, and the dirt accumulated with impurities is supplied to the drive unit. (4) is not damaged. In addition, since the water in the second storage tank 21 is automatically replaced while the device continues to operate, the water replacement work for cooling the driving unit becomes unnecessary, and the idle time can be significantly reduced. In addition, since the temperature-adjusted water for processing is supplied to the second storage tank 21 in an amount substantially equal to the amount of discharged water, the temperature change of the water for cooling the driving unit is small, and mechanical trouble due to temperature change can be prevented.

한편, 본 발명은 상기 실시형태에 한정되지 않고, 여러 가지로 변경하여 실시하는 것이 가능하다. 상기 실시형태에 있어서, 첨부 도면에 도시되어 있는 크기나 형상 등에 대해서는, 이것에 한정되지 않고, 본 발명의 효과를 발휘하는 범위 내에서 적절히 변경하는 것이 가능하다. 그 외에, 본 발명의 목적의 범위를 일탈하지 않는 한에 있어서 적절히 변경하여 실시하는 것이 가능하다.On the other hand, the present invention is not limited to the above embodiment, and can be implemented with various modifications. In the above embodiment, the size, shape, etc. shown in the accompanying drawings are not limited to this, and can be appropriately changed within the range of exhibiting the effect of the present invention. In addition, it is possible to change and implement suitably unless it deviates from the range of the objective of this invention.

예컨대, 상기한 실시형태에 있어서, 제1 유로(12)의 물이 수온 조정 수단(16)에 의해 정해진 온도로 조정되고, 제2 유로(22)의 물이 제2 냉각 수단(26)에 의해 정해진 온도 이하로 조정되는 구성으로 하였으나, 이 구성에 한정되지 않는다. 예컨대, 제2 유로(22) 내에서는 수온 조정하지 않도록 제2 유로(22)에 제2 냉각 수단(26)을 설치하지 않아도 좋다. 제2 유로(22) 내의 물은 구동부(4)로부터 열을 빼앗아 따뜻해지지만, 제1 유로(12)로부터 정해진 온도의 물이 제2 저류 탱크(21)로 급수되기 때문에, 제2 유로(22) 내의 물이 지나치게 고온이 되는 일이 없어, 구동부(4)를 계속해서 냉각할 수 있다. 이와 같이, 단일의 수온 조정 수단(16)에 의해 제1 유로(12) 및 제2 유로(22)의 2계통에 정해진 온도의 물을 공급할 수 있기 때문에, 부품수를 적게 하여 비용을 저감할 수 있다.For example, in the above embodiment, the water in the first flow passage 12 is adjusted to a predetermined temperature by the water temperature adjusting means 16, and the water in the second flow passage 22 is adjusted to a predetermined temperature by the second cooling means 26. Although it was set as the structure adjusted below the predetermined temperature, it is not limited to this structure. For example, the second cooling unit 26 may not be provided in the second flow path 22 so as not to adjust the water temperature within the second flow path 22 . The water in the second flow path 22 is warmed by taking away heat from the drive unit 4, but since water at a predetermined temperature is supplied from the first flow path 12 to the second storage tank 21, the second flow path 22 The water inside does not become too hot, and the driving part 4 can be cooled continuously. In this way, since water at a predetermined temperature can be supplied to the two systems of the first flow passage 12 and the second flow passage 22 by the single water temperature adjusting means 16, the cost can be reduced by reducing the number of parts. there is.

또한, 상기한 실시형태에 있어서, 제2 저류 탱크(21)로의 급수 타이밍과 제2 저류 탱크(21)로부터의 배수 타이밍이 동시에 실시되었으나, 이 구성에 한정되지 않는다. 제2 저류 탱크(21)에 정해진 양 이상의 물이 저류되면, 제2 저류 탱크(21)로의 급수 타이밍과 제2 저류 탱크(21)로부터의 배수 타이밍이 뒤바뀌어도 좋다.In addition, in the above-described embodiment, the timing of supplying water to the second storage tank 21 and the timing of draining water from the second storage tank 21 were performed simultaneously, but it is not limited to this configuration. If the second storage tank 21 contains more than a predetermined amount of water, the timing of supplying water to the second storage tank 21 and the timing of draining water from the second storage tank 21 may be reversed.

또한, 상기한 실시형태에 있어서, 제1 필터(17)의 하류에서 제1 유로(12)로부터 정온수 공급 유로(31)가 분기되어 형성되는 구성으로 하였으나, 이 구성에 한정되지 않는다. 정온수 공급 유로(31)는 수온 조정 수단(16)의 하류에서 제1 유로(12)로부터 분기되어 형성되면 되고, 예컨대, 정온수 공급 유로(31)는 제1 필터(17)의 상류에서 제1 유로(12)로부터 분기되어 형성되어도 좋다. In the above embodiment, the constant temperature water supply passage 31 is branched from the first flow passage 12 downstream of the first filter 17, but is not limited to this configuration. The constant temperature water supply passage 31 may be formed by branching from the first passage 12 at the downstream of the water temperature adjusting means 16. For example, the constant temperature water supply passage 31 may be formed upstream of the first filter 17. It may be formed by branching from one flow path 12 .

또한, 상기한 실시형태에 있어서, 제2 송출 펌프(24)와 제2 냉각 수단(26) 사이에서 제2 유로(22)로부터 배수 유로(32)가 분기되어 형성되는 구성으로 하였으나, 이 구성에 한정되지 않는다. 배수 유로(32)는 제2 송출 펌프(24)의 하류에서 제2 유로(22)로부터 분기되어 형성되면 되고, 예컨대 배수 유로(32)는 순환 유로(23)로부터 분기되어 형성되어도 좋다. In the above embodiment, the drain flow path 32 is formed by branching from the second flow path 22 between the second delivery pump 24 and the second cooling means 26. Not limited. The drain flow path 32 may be formed by branching from the second flow path 22 downstream of the second delivery pump 24, for example, the drain flow path 32 may be formed by branching from the circulation flow path 23.

또한, 상기한 실시형태에 있어서, 구동부(4)로서, 스핀들, 척 테이블이나 스피너 테이블의 축 모터를 예시하였으나, 이 구성에 한정되지 않는다. 구동부(4)는, 가공 장치(3)의 가동에 따라 발열하는 구동 부위이면, 특별히 한정되지 않는다. Further, in the above-described embodiment, as the driving unit 4, a spindle, a chuck table, or a shaft motor of a spinner table was exemplified, but it is not limited to this configuration. The drive unit 4 is not particularly limited as long as it is a drive unit that generates heat as the processing device 3 operates.

이상 설명한 바와 같이, 본 발명은 구동부의 파손을 방지하면서, 냉각수의 교환 작업 및 휴지 시간을 대폭 삭감할 수 있다고 하는 효과를 가지며, 특히, 절삭 장치나 연삭 장치 등의 가공 장치에 가공수 및 냉각수를 공급하는 정온수 공급 장치에 유용하다. As described above, the present invention has the effect of significantly reducing cooling water replacement work and idle time while preventing damage to the drive unit. It is useful for supplying fixed-temperature water.

1: 정온수 공급 장치 2: 물 공급원
3: 가공 장치 4: 구동부
11: 제1 저류 탱크 12: 제1 유로
14: 제1 송출 펌프 16: 수온 조정 수단
21: 제2 저류 탱크 22: 제2 유로
23: 순환 유로 24: 제2 송출 펌프
26: 제2 냉각 수단(냉각 수단) 31: 정온수 공급 유로
32: 배수 유로 33: 제1 전자 밸브
34: 제2 전자 밸브 41: 제어 수단
42: 타이밍 관리부 43: 전자 밸브 제어부
1: constant temperature water supply unit 2: water supply source
3: processing device 4: driving unit
11: first storage tank 12: first flow path
14: first delivery pump 16: water temperature adjusting means
21: second storage tank 22: second flow path
23: circulation flow path 24: second delivery pump
26: second cooling means (cooling means) 31: constant temperature water supply passage
32: drain flow path 33: first solenoid valve
34: second solenoid valve 41: control means
42: timing management unit 43: electromagnetic valve control unit

Claims (2)

물 공급원으로부터의 물을 일정한 온도로 조정하여 가공 장치에 공급하는 정온수(定溫水) 공급 장치로서,
물 공급원으로부터 공급되는 가공용의 물을 저류하는 제1 저류 탱크와, 상기 제1 저류 탱크로부터 가공 장치로 물을 송출하는 제1 송출 펌프와, 상기 제1 저류 탱크로부터 상기 가공 장치에 이르는 제1 유로 상의 상기 제1 송출 펌프보다 하류에 배치되며 물의 온도를 정해진 온도로 조정하는 수온 조정 수단과, 상기 가공 장치의 구동부 냉각용의 물을 저류하는 제2 저류 탱크와, 상기 제2 저류 탱크로부터 상기 가공 장치로 물을 송출하는 제2 송출 펌프와, 상기 가공 장치 내의 구동부 냉각 후의 물을 상기 제2 저류 탱크로 복귀시켜 순환시키는 순환 유로와, 상기 제1 유로 상의 상기 수온 조정 수단의 하류에서 상기 제1 유로로부터 분기되어 제2 저류 탱크에 연통(連通)되도록 형성되며 상기 제2 저류 탱크로 상기 정해진 온도로 조정된 물을 공급하는 정온수 공급 유로와, 상기 제1 유로로부터 상기 정온수 공급 유로로의 분기 개소에 배치되는 제1 전자 밸브와, 상기 제2 저류 탱크로부터 상기 가공 장치에 이르는 제2 유로 상의 상기 제2 송출 펌프보다 하류에서 상기 제2 유로로부터 분기되어 형성되며 상기 제2 저류 탱크의 물을 외부로 배수하기 위한 배수 유로와, 상기 제2 유로로부터 상기 배수 유로로의 분기 개소에 배치되는 제2 전자 밸브와, 적어도 상기 제1 전자 밸브 및 상기 제2 전자 밸브의 개폐를 제어하는 제어 수단을 구비하고,
상기 제어 수단은, 상기 제2 저류 탱크로부터 배수하는 타이밍을 관리하는 타이밍 관리부와, 상기 제1 전자 밸브 및 상기 제2 전자 밸브의 개폐를 제어하는 전자 밸브 제어부를 구비하며,
정해진 타이밍에서, 상기 제2 전자 밸브를 개방하여 상기 제2 저류 탱크 내의 물을 정해진 양 배수하고, 상기 제1 전자 밸브를 개방하여 상기 제1 유로 내의 상기 물을 상기 제2 저류 탱크로 정해진 양 공급하여, 순환하는 구동부 냉각수 내에 침입한 불순물 농도를 상승시키지 않는 것을 특징으로 하는 정온수 공급 장치.
A constant temperature water supply device for adjusting water from a water supply source to a constant temperature and supplying it to a processing device,
A first storage tank for storing water for processing supplied from a water supply source, a first delivery pump for sending water from the first storage tank to the processing device, and a first flow passage extending from the first storage tank to the processing device. A water temperature adjusting means disposed downstream of the first delivery pump on the upper side and adjusting the temperature of the water to a predetermined temperature; a second storage tank for storing water for cooling the driving unit of the processing device; A second delivery pump for delivering water to the device, a circulation passage for returning and circulating the water after cooling the driving unit in the processing device to the second storage tank, and downstream of the water temperature adjusting means on the first passage, the first A constant temperature water supply passage branched from the passage and formed to communicate with the second storage tank and supplying water adjusted to the predetermined temperature to the second storage tank, and a constant temperature water supply passage from the first passage to the constant temperature water supply passage A first solenoid valve disposed at a branching point, and formed by branching from the second flow path downstream of the second delivery pump on a second flow path from the second storage tank to the processing device, and water in the second storage tank a drain passage for draining the drain to the outside, a second solenoid valve disposed at a branching point from the second passage to the drain passage, and control means for controlling opening and closing of at least the first solenoid valve and the second solenoid valve. to provide,
The control unit includes a timing management unit that manages timing of draining water from the second storage tank and an electromagnetic valve control unit that controls opening and closing of the first electromagnetic valve and the second electromagnetic valve,
At a predetermined timing, the second solenoid valve is opened to drain a predetermined amount of water in the second storage tank, and the first solenoid valve is opened to supply a predetermined amount of water in the first passage to the second storage tank. The constant hot water supply device characterized in that the concentration of impurities infiltrated into the circulating cooling water of the driving unit is not increased.
제 1항에 있어서,
상기 제2 저류 탱크로부터 상기 가공 장치에 이르는 제2 유로 상의 상기 제2 송출 펌프보다 하류에 배치되며 물을 정해진 온도로 냉각하는 냉각 수단을 구비하는 것인, 정온수 공급 장치.
According to claim 1,
and a cooling means disposed downstream of the second delivery pump on a second flow passage extending from the second storage tank to the processing device and cooling water to a predetermined temperature.
KR1020170026586A 2016-03-02 2017-02-28 Fixed temperature water supplying device KR102535549B1 (en)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JPJP-P-2016-039805 2016-03-02
JP2016039805A JP6636359B2 (en) 2016-03-02 2016-03-02 Constant temperature water supply device

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20170102817A KR20170102817A (en) 2017-09-12
KR102535549B1 true KR102535549B1 (en) 2023-05-22

Family

ID=59791522

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020170026586A KR102535549B1 (en) 2016-03-02 2017-02-28 Fixed temperature water supplying device

Country Status (4)

Country Link
JP (1) JP6636359B2 (en)
KR (1) KR102535549B1 (en)
CN (1) CN107150258B (en)
TW (1) TWI691689B (en)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR102661118B1 (en) * 2023-08-11 2024-04-26 함정수 Laser processing machine cooling line cleaning method

Families Citing this family (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN107830686A (en) * 2017-10-25 2018-03-23 芜湖美的厨卫电器制造有限公司 Heat storage water heater
JP6603288B2 (en) * 2017-10-25 2019-11-06 ファナック株式会社 Cutting fluid supply device for machine tools
JP6884387B2 (en) * 2017-10-30 2021-06-09 伸和コントロールズ株式会社 Liquid temperature control device and temperature control method using it
JP7100462B2 (en) * 2018-02-20 2022-07-13 株式会社ディスコ Water temperature setting method
JP7427326B2 (en) * 2019-08-26 2024-02-05 株式会社ディスコ Constant temperature water supply device
EP3800522B1 (en) * 2019-10-04 2022-05-04 Surpass World Technology Co., Ltd. Auxiliary apparatus using four-way electronic valve to achieve temperature rise and fall effect on component of machine tool
CN112809554A (en) * 2021-01-04 2021-05-18 郑州旭飞光电科技有限公司 Water supply system and cooling system
JP2023023042A (en) 2021-08-04 2023-02-16 株式会社ディスコ Constant temperature liquid supply device

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20080295540A1 (en) 2005-02-02 2008-12-04 Hydac System Gmbh Cooling Device
JP2009202295A (en) 2008-02-28 2009-09-10 Disco Abrasive Syst Ltd Processing device of machining waste liquid
WO2013065660A1 (en) 2011-10-31 2013-05-10 コマツNtc株式会社 Cooling device for machine tool

Family Cites Families (14)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3303731A (en) * 1962-12-25 1967-02-14 Zawistowski Ferdynand Temperature controlled lathe
JPH088057Y2 (en) * 1991-07-15 1996-03-06 エスエムシー株式会社 Cooling medium circulation line
JP3188363B2 (en) * 1994-01-21 2001-07-16 エフエスアイ・インターナショナル・インコーポレーテッド Temperature controller using circulating coolant and temperature control method therefor
JP3555913B2 (en) * 1996-07-25 2004-08-18 株式会社日平トヤマ Machine Tools
JP2000198044A (en) * 1999-01-07 2000-07-18 Disco Abrasive Syst Ltd Control system for machining water specific resistance
JP4704170B2 (en) * 2005-09-28 2011-06-15 富士重工業株式会社 Machining system
JP2007127343A (en) * 2005-11-04 2007-05-24 Disco Abrasive Syst Ltd Constant temperature water supplying system
JP2011011261A (en) * 2009-06-30 2011-01-20 Disco Abrasive Syst Ltd Cooling system for machining apparatus
TW201239289A (en) * 2011-01-24 2012-10-01 Nihon Itomic Co Ltd Hot water supply system
JP2012223846A (en) * 2011-04-19 2012-11-15 Disco Corp Machining waste liquid treating apparatus
CN202572007U (en) * 2012-05-17 2012-12-05 宜兴市灵人机械有限公司 System for controlling temperature of main shaft of processing machine
JP5961515B2 (en) * 2012-10-04 2016-08-02 宏和工業株式会社 Cooling system
CN103822377A (en) * 2012-11-17 2014-05-28 陕西科林能源发展股份有限公司 Solar energy and air energy heat pump complementary family energy supply system
CN105222219B (en) * 2015-09-16 2017-08-29 江苏天舒电器有限公司 A kind of source pump alternating temperature heating temperature control method of water and its control device

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20080295540A1 (en) 2005-02-02 2008-12-04 Hydac System Gmbh Cooling Device
JP2009202295A (en) 2008-02-28 2009-09-10 Disco Abrasive Syst Ltd Processing device of machining waste liquid
WO2013065660A1 (en) 2011-10-31 2013-05-10 コマツNtc株式会社 Cooling device for machine tool

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR102661118B1 (en) * 2023-08-11 2024-04-26 함정수 Laser processing machine cooling line cleaning method

Also Published As

Publication number Publication date
KR20170102817A (en) 2017-09-12
CN107150258B (en) 2020-11-24
JP6636359B2 (en) 2020-01-29
CN107150258A (en) 2017-09-12
TWI691689B (en) 2020-04-21
TW201732205A (en) 2017-09-16
JP2017156017A (en) 2017-09-07

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR102535549B1 (en) Fixed temperature water supplying device
JP6603288B2 (en) Cutting fluid supply device for machine tools
KR102260928B1 (en) Constant temperature water supplying system
CA2955824C (en) Intelligent seawater cooling system
DK152558B (en) SLIDE SHOE BEARING SYSTEM FOR A LARGE DIAMETER ROTARY BODY.
US20070175814A1 (en) Machining liquid processing apparatus in wire electric discharge machine
JP4839137B2 (en) Wire saw
TWI794317B (en) Liquid temperature adjustment device and temperature adjustment method using the same
KR101668363B1 (en) Energy system
TWM578203U (en) High pressure cooling system of machine tool
JPH11166549A (en) Lubricating oil quantity control device of bearing part
JP7147177B2 (en) Indirect evaporative air cooler
JP2017160830A (en) Water storage tank
JP2009029078A (en) Wire saw device
JP4658866B2 (en) Cooling system
KR20190045999A (en) Cooling apparatus of main spindle for machine center
JP6983379B2 (en) Cold water production system
JP6894735B2 (en) Heating and cooling system
CN220464356U (en) Line cutting machine liquid way system and line cutting machine
KR20090064640A (en) Device for accurately controlling temperature for use with ultraprecision machine
US5140124A (en) Machining fluid circulating apparatus
JPH07241769A (en) Oil temperature regulator
JP6869306B2 (en) Heat medium supply method and heat medium utilization equipment for heat medium utilization equipment
KR200385277Y1 (en) Cooling device of nail rolling machine
JPH05154742A (en) Control device for water-soluble oil solution

Legal Events

Date Code Title Description
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant