KR102525847B1 - Control system, control method and substrate processing apparatus - Google Patents

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KR102525847B1 KR1020210033733A KR20210033733A KR102525847B1 KR 102525847 B1 KR102525847 B1 KR 102525847B1 KR 1020210033733 A KR1020210033733 A KR 1020210033733A KR 20210033733 A KR20210033733 A KR 20210033733A KR 102525847 B1 KR102525847 B1 KR 102525847B1
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마코토 고이즈미
다카히로 도미타
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주니치 오가와
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도쿄엘렉트론가부시키가이샤
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Abstract

기판을 처리하는 기판 처리 장치를 제어하는 제어 시스템이며, 상기 기판 처리 장치와 동일한 장소에 배치되어, 상기 기판 처리 장치에 대한 제어의 지시를 유저로부터 접수하는 제1 단말기 및 제2 단말기와, 상기 기판 처리 장치와는 다른 장소에 배치되어, 상기 기판 처리 장치에 대한 제어의 지시를 유저로부터 접수하는 제3 단말기와, 상기 기판 처리 장치의 이상이 검지된 경우, 상기 제3 단말기에 의한 상기 기판 처리 장치에 대한 제어를 무효로 하는 제어 장치를 갖는 제어 시스템을 제공한다.A control system for controlling a substrate processing apparatus that processes substrates, which is disposed at the same location as the substrate processing apparatus and includes a first terminal and a second terminal that receive a control instruction for the substrate processing apparatus from a user; A third terminal disposed at a location different from the processing apparatus and receiving an instruction to control the substrate processing apparatus from a user, and when an abnormality of the substrate processing apparatus is detected, the substrate processing apparatus by the third terminal Provided is a control system having a control device that invalidates control for

Figure R1020210033733
Figure R1020210033733

Description

제어 시스템, 제어 방법 및 기판 처리 장치{CONTROL SYSTEM, CONTROL METHOD AND SUBSTRATE PROCESSING APPARATUS}Control system, control method and substrate processing apparatus {CONTROL SYSTEM, CONTROL METHOD AND SUBSTRATE PROCESSING APPARATUS}

본 개시는 제어 시스템, 제어 방법 및 기판 처리 장치에 관한 것이다.The present disclosure relates to a control system, a control method, and a substrate processing apparatus.

특허문헌 1에는, 반도체 제조 장치를 조작 제어하는 복수의 단말기 중, 배타 요구를 송신한 하나의 단말기만의 조작 제어를 반도체 제조 장치가 접수하는 전유 상태로 설정하는 시스템이 개시되어 있다. 특허문헌 1에 따르면 조작자의 조작상의 혼란을 저감시킬 수 있다.Patent Literature 1 discloses a system for setting the operation control of only one terminal that has transmitted an exclusive request among a plurality of terminals that operate and control the semiconductor manufacturing equipment to an exclusive state in which the semiconductor manufacturing equipment accepts. According to Patent Literature 1, operator confusion in operation can be reduced.

일본 특허 공개 제2003-037048호 공보Japanese Unexamined Patent Publication No. 2003-037048

본 개시는, 장치에 대한 조작을 적절히 행할 수 있는 기술을 제공한다.The present disclosure provides a technique capable of appropriately operating a device.

본 개시의 일 양태에 의한 제어 시스템은, 기판을 처리하는 기판 처리 장치를 제어하는 제어 시스템이며, 상기 기판 처리 장치와 동일한 장소에 배치되어, 상기 기판 처리 장치에 대한 제어의 지시를 유저로부터 접수하는 제1 단말기 및 제2 단말기와, 상기 기판 처리 장치와는 다른 장소에 배치되어, 상기 기판 처리 장치에 대한 제어의 지시를 유저로부터 접수하는 제3 단말기와, 상기 기판 처리 장치의 이상이 검지된 경우, 상기 제3 단말기에 의한 상기 기판 처리 장치에 대한 제어를 무효로 하는 제어 장치를 갖는다.A control system according to one aspect of the present disclosure is a control system that controls a substrate processing apparatus that processes a substrate, is disposed at the same place as the substrate processing apparatus, and receives instructions for controlling the substrate processing apparatus from a user. When an abnormality is detected in the first terminal, the second terminal, and the third terminal disposed in a location different from the substrate processing apparatus and receiving an instruction to control the substrate processing apparatus from a user, and the substrate processing apparatus , and a control device for invalidating control of the substrate processing apparatus by the third terminal.

본 개시에 따르면 장치에 대한 조작을 적절히 행할 수 있다.According to the present disclosure, the device can be properly operated.

도 1은 실시 형태에 따른 제어 시스템의 구성예를 도시하는 도면이다.
도 2a는 실시 형태에 따른 제어 장치의 하드웨어 구성예를 도시하는 도면이다.
도 2b는 실시 형태에 따른 기판 처리 장치의 일례를 도시하는 도면이다.
도 3은 실시 형태에 따른 제어 장치의 기능 구성의 일례를 도시하는 도면이다.
도 4는 실시 형태에 따른 제어 시스템의 처리의 일례를 도시하는 시퀀스도이다.
도 5a는 실시 형태에 따른 메인 단말기, 서브 단말기 및 리모트 단말기의 표시 화면의 일례에 대하여 설명하는 도면이다.
도 5b는 실시 형태에 따른 핸디 단말기의 표시 화면의 일례에 대하여 설명하는 도면이다.1 is a diagram showing a configuration example of a control system according to an embodiment.
2A is a diagram showing an example of a hardware configuration of a control device according to an embodiment.
2B is a diagram showing an example of the substrate processing apparatus according to the embodiment.
3 is a diagram showing an example of the functional configuration of the control device according to the embodiment.
4 is a sequence diagram showing an example of processing of the control system according to the embodiment.
5A is a diagram for explaining an example of a display screen of a main terminal, a sub terminal, and a remote terminal according to an embodiment.
5B is a diagram for explaining an example of a display screen of the handy terminal according to the embodiment.

이하, 본 개시의 실시 형태에 대하여, 첨부된 도면을 참조하면서 설명한다. 또한 본 명세서 및 도면에 있어서, 실질적으로 동일한 구성 요소에 대해서는 동일한 번호를 붙임으로써, 중복된 설명을 생략하는 경우가 있다.EMBODIMENT OF THE INVENTION Hereinafter, embodiment of this indication is described, referring an accompanying drawing. In this specification and drawings, the same reference numerals are assigned to substantially the same components, and thus redundant descriptions are omitted in some cases.

<시스템 구성><System Configuration>

도 1은, 실시 형태에 따른 제어 시스템(1)의 구성예를 도시하는 도면이다. 실시 형태에 따른 제어 시스템(1)에 따르면, 장치에 대한 조작을 적절히 행할 수 있다. 이하에서는 제어 시스템(1)이, 플랫 패널 디스플레이(Flat Panel Display: FPD)용 기판을 처리하는 기판 처리 장치를 제어하는 예에 대하여 설명한다. 또한 개시의 제어 시스템(1)은 각종 장치를 제어할 수 있다.1 is a diagram showing a configuration example of a control system 1 according to an embodiment. According to the control system 1 according to the embodiment, the device can be appropriately operated. Hereinafter, an example in which the control system 1 controls a substrate processing apparatus that processes a substrate for a flat panel display (FPD) will be described. In addition, the control system 1 of the disclosure can control various devices.

도 1에 있어서, 제어 시스템(1)은 메인 단말기(10A)(「제1 단말기」의 일례), 서브 단말기(10B)(「제2 단말기」의 일례), 핸디 단말기(10C)(「제4 단말기」의 일례), 리모트 단말기(10D)(「제3 단말기」의 일례), 제어 장치(20) 및 기판 처리 장치(30)를 갖는다. 또한 이하에서 메인 단말기(10A), 서브 단말기(10B), 핸디 단말기(10C) 및 리모트 단말기(10D)의 각각에 대하여 구별할 필요가 없는 경우에는 간단히 「단말기(10)」라고도 칭한다.In Fig. 1, the control system 1 includes a main terminal 10A (an example of a "first terminal"), a sub terminal 10B (an example of a "second terminal"), and a handy terminal 10C (an example of a "second terminal"). terminal”), a remote terminal 10D (an example of “third terminal”), a control device 20, and a substrate processing device 30. In the following, when there is no need to distinguish between the main terminal 10A, the sub terminal 10B, the handy terminal 10C, and the remote terminal 10D, they are simply referred to as "terminals 10".

또한 제어 시스템(1)은, 도시하지 않은 제1 스위치(40A), 제2 스위치(40B), 제3 스위치(40C)(이하에서 구별할 필요가 없는 경우에는 간단히 「스위치(40)」라고도 칭함)도 갖는다. 단말기(10)와 제어 장치(20) 및 제어 장치(20)와 스위치(40)는 각각 네트워크 N을 통하여 접속되어도 된다. 또한 메인 단말기(10A), 서브 단말기(10B), 핸디 단말기(10C) 및 리모트 단말기(10D)의 수는 도 1의 예에 한정되지 않는다.In addition, the control system 1 includes a first switch 40A, a second switch 40B, and a third switch 40C (hereinafter referred to simply as “switch 40” if there is no need to distinguish them), which are not shown. ) also has The terminal 10 and the control device 20 and the control device 20 and the switch 40 may be connected via the network N, respectively. Also, the number of main terminals 10A, sub terminals 10B, handy terminals 10C and remote terminals 10D is not limited to the example of FIG. 1 .

단말기(10)는, 기판 처리 장치(30)를 제어하기 위한 조작을 유저(보수원, 엔지니어 등)로부터 접수하는 장치이다. 단말기(10)는 컴퓨터를 가져도 된다.The terminal 10 is a device that accepts an operation for controlling the substrate processing apparatus 30 from a user (maintenance worker, engineer, etc.). The terminal 10 may have a computer.

또한 단말기(10)는 컴퓨터를 갖지 않아도 된다. 이 경우, 단말기(10)는, 제어 장치(20)로부터 수신한 표시 화면의 정보를 표시하는 모니터 또는 터치 패널 디스플레이를 가져도 된다. 또한 단말기(10)는, 유저로부터의 조작을 접수하는 키보드와 마우스, 또는 터치 패널 디스플레이를 가져도 된다.Also, the terminal 10 does not have to have a computer. In this case, the terminal 10 may have a monitor or touch panel display that displays the information on the display screen received from the control device 20 . In addition, the terminal 10 may have a keyboard and a mouse that accept operations from the user, or a touch panel display.

(메인 단말기(10A)에 대하여)(Regarding the main terminal 10A)

메인 단말기(10A) 및 서브 단말기(10B)는, 예를 들어 기판 처리 장치(30)와 동일한 장소(현장, 로컬)에 설치(배치)되어도 된다. 이 경우, 기판 처리 장치(30)와 동일한 장소로서, 예를 들어 메인 단말기(10A) 및 서브 단말기(10B)는, 예를 들어 기판 처리 장치(30)가 설치되는 공장 등의 시설 내에 설정되어도 된다. 또한 기판 처리 장치(30)와 동일한 장소로서, 메인 단말기(10A) 및 서브 단말기(10B)는, 예를 들어 기판 처리 장치(30)가 설치되는 클린 룸 내에 설정되어도 된다.The main terminal 10A and the sub-terminal 10B may be installed (placed) in the same place (site, local) as the substrate processing apparatus 30, for example. In this case, as the same place as the substrate processing apparatus 30, for example, the main terminal 10A and the sub terminal 10B may be set in a facility such as a factory where the substrate processing apparatus 30 is installed, for example. . Also, as the same place as the substrate processing apparatus 30, the main terminal 10A and the sub terminal 10B may be set in a clean room in which the substrate processing apparatus 30 is installed, for example.

메인 단말기(10A)는, 예를 들어 제어 장치(20)의 부근에 설치되어도 된다. 메인 단말기(10A)는 컴퓨터를 갖지 않고 키보드와 마우스 및 터치 패널 디스플레이를 가져도 된다. 이 경우, 메인 단말기(10A)의 키보드와 마우스는 USB(Universal Serial Bus) 케이블에 의하여 제어 장치(20)와 접속되어도 된다. 또한 메인 단말기(10A)의 터치 패널 디스플레이는, 예를 들어 DVI(Digital Visual Interface) 케이블, 또는 아날로그 RGB 컴포넌트 영상 신호를 전송하는 VGA 케이블 등의 디스플레이 케이블에 의하여 제어 장치(20)로부터 수신한 표시 화면의 정보를 표시하고, 유저로부터 입력된 정보를 RS-232C 케이블에 의하여 제어 장치(20)에 전송해도 된다.The main terminal 10A may be installed near the control device 20, for example. The main terminal 10A may have a keyboard and mouse and a touch panel display without having a computer. In this case, the keyboard and mouse of the main terminal 10A may be connected to the control device 20 by a USB (Universal Serial Bus) cable. In addition, the touch panel display of the main terminal 10A displays the display screen received from the control device 20 through a display cable such as a DVI (Digital Visual Interface) cable or a VGA cable for transmitting an analog RGB component video signal, for example. The information may be displayed, and the information input from the user may be transmitted to the control device 20 via an RS-232C cable.

(서브 단말기(10B)에 대하여)(Regarding the sub terminal 10B)

서브 단말기(10B)는, 예를 들어 당해 시설 내에서 메인 단말기(10A)와는 떨어진 장소에 설치되어도 된다. 서브 단말기(10B)는 컴퓨터를 갖지 않고 터치 패널 디스플레이를 가져도 된다. 이 경우, 서브 단말기(10B)의 터치 패널 디스플레이와 제어 장치(20)는, 예를 들어 아날로그 RGB 컴포넌트 영상 신호를 전송하는 VGA 케이블과, 유저로부터 입력된 정보(입력 신호)를 전송하는 RS-232C 케이블, 당해 영상 신호 및 당해 입력 신호를 IP 네트워크에 전송하는 장치, 및 LAN(Local Area Network) 등에 의하여 접속되어도 된다.The sub terminal 10B may be installed in a place away from the main terminal 10A within the facility, for example. The subterminal 10B may have a touch panel display without having a computer. In this case, the touch panel display and control device 20 of the sub-terminal 10B are, for example, a VGA cable for transmitting an analog RGB component video signal and RS-232C for transmitting information (input signal) input from a user. They may be connected by a cable, a device that transmits the video signal and the input signal to an IP network, a local area network (LAN), or the like.

(핸디 단말기(10C)에 대하여)(About handy terminal 10C)

핸디 단말기(10C)는, 예를 들어 기판 처리 장치(30)가 설치되는 공장 등의 시설 내에서 이용 가능한 가반형 단말기여도 된다. 핸디 단말기(10C)는, 예를 들어 LAN 케이블, PLC(Power Line Communications)용 케이블 및 RS-232C 케이블 등의 케이블(유선)에 의하여 기판 처리 장치(30)에 접속되어, 기판 처리 장치(30)를 통하여 제어 장치(20)와 통신을 행한다. 또한 핸디 단말기(10C)는, 무선 LAN, BLE(Bluetooth(등록 상표) Low Energy) 및 NFC(Near field communication) 등의 근거리 무선 통신에 의하여 기판 처리 장치(30)에 접속되어, 기판 처리 장치(30)를 통하여 제어 장치(20)와 통신을 행하도록 해도 된다.The handy terminal 10C may be a portable terminal that can be used within facilities such as a factory where the substrate processing apparatus 30 is installed, for example. The handy terminal 10C is connected to the substrate processing apparatus 30 by a cable (wired) such as a LAN cable, a PLC (Power Line Communications) cable, and an RS-232C cable, for example, and the substrate processing apparatus 30 It communicates with the control device 20 through. In addition, the handy terminal 10C is connected to the substrate processing apparatus 30 by short-range wireless communication such as wireless LAN, BLE (Bluetooth (registered trademark) Low Energy) and NFC (Near field communication), and the substrate processing apparatus 30 ) may be used to communicate with the control device 20.

(리모트 단말기(10D)에 대하여)(Regarding the remote terminal 10D)

리모트 단말기(10D)는, 예를 들어 기판 처리 장치(30)와는 다른 장소(리모트)에 설치되어도 된다. 이 경우, 기판 처리 장치(30)와는 다른 장소로서, 예를 들어 리모트 단말기(10D)는, 예를 들어 기판 처리 장치(30)가 설치되는 공장 등의 시설 외에 설정되어도 된다. 이 경우, 리모트 단말기(10D)는, 예를 들어 유저의 오피스 등에 설치되어도 된다. 리모트 단말기(10D)는, 예를 들어 노트북 PC(Personal Computer) 등의 정보 처리 장치여도 된다. 이 경우, 리모트 단말기(10D)와 제어 장치(20)는, 예를 들어 아날로그 RGB 컴포넌트 영상 신호를 전송하는 VGA 케이블과, 키보드와 마우스에 의하여 유저로부터 입력된 정보(입력 신호)를 전송하는 USB 케이블, 당해 영상 신호 및 당해 입력 신호를 IP 네트워크에 전송하는 장치, 및 LAN(Local Area Network) 등에 의하여 접속되어도 된다.The remote terminal 10D may be installed in a place (remote) different from the substrate processing apparatus 30, for example. In this case, as a location different from the substrate processing apparatus 30 , for example, the remote terminal 10D may be set outside of a facility such as a factory where the substrate processing apparatus 30 is installed. In this case, the remote terminal 10D may be installed in a user's office or the like, for example. The remote terminal 10D may be, for example, an information processing device such as a notebook PC (Personal Computer). In this case, the remote terminal 10D and the control device 20 are, for example, a VGA cable for transmitting an analog RGB component video signal and a USB cable for transmitting information (input signal) input from a user by a keyboard and a mouse. , a device for transmitting the video signal and the input signal to an IP network, and a LAN (Local Area Network) or the like may be connected.

(스위치(40)에 대하여)(Regarding the switch 40)

제1 스위치(40A)는, 서브 단말기(10B) 및 리모트 단말기(10D)에 의한 기판 처리 장치(30)에 대한 제어를 무효로 하기 위한 스위치이다. 제1 스위치(40A)가 온으로 설정되어 있는 경우, 메인 단말기(10A)만으로부터 기판 처리 장치(30)를 제어할 수 있게 된다. 또한 제1 스위치(40A)가 온으로 설정되어 있는 경우이더라도 핸디 단말기(10C)가 기판 처리 장치(30)에 접속되어 있는 경우에는, 메인 단말기(10A)에 의한 기판 처리 장치(30)의 적어도 일부에 대한 제어가 무효로 되어, 핸디 단말기(10C)로부터만 기판 처리 장치(30)의 당해 적어도 일부를 제어할 수 있다. 또한 제1 스위치(40A)가 오프로 설정되면, 제2 스위치(40B) 혹은 제3 스위치(40C)를 온으로 함으로써, 서브 단말기(10B) 혹은 리모트 단말기(10D)에 의한 기판 처리 장치(30)에 대한 제어를 유효로 할 수 있다.The first switch 40A is a switch for invalidating the control of the substrate processing apparatus 30 by the sub terminal 10B and the remote terminal 10D. When the first switch 40A is set to ON, the substrate processing apparatus 30 can be controlled from only the main terminal 10A. In addition, even when the first switch 40A is set to ON, when the handy terminal 10C is connected to the substrate processing apparatus 30, at least a part of the substrate processing apparatus 30 by the main terminal 10A The control for is invalidated, and at least a part of the substrate processing apparatus 30 can be controlled only from the handy terminal 10C. Further, when the first switch 40A is set to OFF, the substrate processing apparatus 30 by the sub terminal 10B or the remote terminal 10D is performed by turning on the second switch 40B or the third switch 40C. The control for can be made valid.

제1 스위치(40A)는, 예를 들어 메인 단말기(10A)의 부근에 설치되어도 된다. 제1 스위치(40A)는 유저에 의하여 눌려서 온으로 설정된 경우, 그 취지를 나타내는 신호(메인 전환 신호)를 제어 장치(20)에 송신한다. 제어 장치(20)의 전환부(24)는 당해 신호를 수신하면, 서브 단말기(10B) 및 리모트 단말기(10D)로부터의 입력을 무효로 한다. 또한 제1 스위치(40A)는, 메인 단말기(10A) 등의 표시 화면에 표시되는 버튼 등이어도 된다. 단, 안전상의 관점에서는, 표시 화면에 표시되는 소프트웨어로 제어되는 버튼이 아니라 하드적인 스위치 쪽이 바람직하다. 이 경우, 메인 단말기(10A)는, 당해 버튼 등이 유저에 의해 온으로 설정되면, 그 취지를 나타내는 정보와 메인 단말기(10A)의 식별 정보를 제어 장치(20)에 송신해도 된다.The first switch 40A may be installed near the main terminal 10A, for example. When the first switch 40A is pressed by the user and set to ON, it transmits a signal to that effect (main switching signal) to the controller 20. When the signal is received, the switching unit 24 of the control device 20 invalidates inputs from the sub terminal 10B and the remote terminal 10D. Also, the first switch 40A may be a button or the like displayed on a display screen of the main terminal 10A or the like. However, from the viewpoint of safety, it is preferable to use a hard switch rather than a button controlled by software displayed on the display screen. In this case, the main terminal 10A may transmit, to the controller 20, information indicating that effect and identification information of the main terminal 10A when the button or the like is set to on by the user.

제2 스위치(40B)는, 메인 단말기(10A) 및 리모트 단말기(10D)에 의한 기판 처리 장치(30)에 대한 제어를 무효로 하기 위한 스위치이다. 제2 스위치(40B)가 온으로 설정되어 있는 경우, 서브 단말기(10B)만으로부터 기판 처리 장치(30)를 제어할 수 있게 된다. 또한 제2 스위치(40B)가 온으로 설정되어 있는 경우이더라도 핸디 단말기(10C)가 기판 처리 장치(30)에 접속되어 있는 경우에는, 서브 단말기(10B)에 의한 기판 처리 장치(30)의 적어도 일부에 대한 제어가 무효로 되어, 핸디 단말기(10C)로부터만 기판 처리 장치(30)의 당해 적어도 일부를 제어할 수 있다. 또한 제2 스위치(40B)가 오프로 설정되면, 제1 스위치(40A) 혹은 제3 스위치(40C)를 온으로 함으로써, 메인 단말기(10A) 혹은 리모트 단말기(10D)에 의한 기판 처리 장치(30)에 대한 제어를 유효로 할 수 있다.The second switch 40B is a switch for invalidating the control of the substrate processing apparatus 30 by the main terminal 10A and the remote terminal 10D. When the second switch 40B is set to ON, it becomes possible to control the substrate processing apparatus 30 from only the sub terminal 10B. In addition, even when the second switch 40B is set to ON, when the handy terminal 10C is connected to the substrate processing apparatus 30, at least a part of the substrate processing apparatus 30 by the sub terminal 10B The control for is invalidated, and at least a part of the substrate processing apparatus 30 can be controlled only from the handy terminal 10C. Further, when the second switch 40B is set to off, the substrate processing apparatus 30 by the main terminal 10A or the remote terminal 10D is turned on by turning on the first switch 40A or the third switch 40C. The control for can be made valid.

제2 스위치(40B)는, 예를 들어 서브 단말기(10B)의 부근에 설치되어도 된다. 제2 스위치(40B)는 유저에 의하여 온으로 설정된 경우, 그 취지를 나타내는 신호(서브 전환 신호)를 제어 장치(20)에 송신한다. 제어 장치(20)의 전환부(24)는 당해 신호를 수신하면, 메인 단말기(10A) 및 리모트 단말기(10D)로부터의 입력을 무효로 한다. 또한 제2 스위치(40B)는, 서브 단말기(10B) 등의 표시 화면에 표시되는 버튼 등이어도 된다. 단, 안전상의 관점에서는, 표시 화면에 표시되는 소프트웨어로 제어되는 버튼이 아니라 하드적인 스위치 쪽이 바람직하다. 이 경우, 서브 단말기(10B)는, 당해 버튼 등이 유저에 의해 온으로 설정되면, 그 취지를 나타내는 정보와 서브 단말기(10B)의 식별 정보를 제어 장치(20)에 송신해도 된다.The second switch 40B may be installed near the subterminal 10B, for example. When the second switch 40B is set to on by the user, it transmits a signal to that effect (sub switching signal) to the controller 20. Upon receiving the signal, the switching unit 24 of the control device 20 invalidates inputs from the main terminal 10A and the remote terminal 10D. Further, the second switch 40B may be a button or the like displayed on a display screen of the sub terminal 10B or the like. However, from the viewpoint of safety, it is preferable to use a hard switch rather than a button controlled by software displayed on the display screen. In this case, the subterminal 10B may transmit to the control device 20 information indicating that effect and identification information of the subterminal 10B when the button or the like is set to on by the user.

제3 스위치(40C)는, 메인 단말기(10A) 및 서브 단말기(10B)에 의한 기판 처리 장치(30)에 대한 제어를 무효로 하기 위한 스위치이다. 또한 핸디 단말기(10C)가 기판 처리 장치(30)에 접속되어 있더라도 제3 스위치(40C)는, 핸디 단말기(10C)에 의한 기판 처리 장치(30)에 대한 제어를 무효로 한다. 제3 스위치(40C)가 온으로 설정되어 있는 경우, 리모트 단말기(10D)만으로부터 기판 처리 장치(30)를 제어할 수 있게 된다. 또한 제3 스위치(40C)가 오프로 설정되면, 제1 스위치(40A) 혹은 제2 스위치(40B)를 온으로 함으로써, 메인 단말기(10A) 혹은 서브 단말기(10B)에 의한 기판 처리 장치(30)에 대한 제어를 유효로 할 수 있다.The 3rd switch 40C is a switch for invalidating the control with respect to the substrate processing apparatus 30 by the main terminal 10A and the sub terminal 10B. In addition, even if the handy terminal 10C is connected to the substrate processing apparatus 30, the third switch 40C invalidates the control of the substrate processing apparatus 30 by the handy terminal 10C. When the third switch 40C is set to ON, the substrate processing apparatus 30 can be controlled only from the remote terminal 10D. Further, when the third switch 40C is set to OFF, the substrate processing apparatus 30 by the main terminal 10A or the sub terminal 10B is turned on by turning on the first switch 40A or the second switch 40B. The control for can be made valid.

제3 스위치(40C)는, 예를 들어 기판 처리 장치(30)가 설치되는 공장 등의 시설 내에 설치되어도 된다. 이것에 의하여, 현장에서의 조작에 의하여, 기판 처리 장치(30)를 제어 가능한 단말기(10)를 리모트 단말기(10D)로 전환할 수 있다. 이 경우, 제3 스위치(40C)는, 예를 들어 메인 단말기(10A)의 부근에 설치되어도 된다. 이 경우, 제3 스위치(40C)는 메인 단말기(10A)의 하우징 상에 마련되어 있어도 된다. 제3 스위치(40C)는 유저에 의하여 온으로 설정된 경우, 그 취지를 나타내는 신호를 제어 장치(20)에 송신한다. 또한 제3 스위치(40C)는, 메인 단말기(10A) 등의 표시 화면에 표시되는 버튼 등이어도 된다. 단, 안전상의 관점에서는, 표시 화면에 표시되는 소프트웨어로 제어되는 버튼이 아니라 하드적인 스위치 쪽이 바람직하다. 이 경우, 메인 단말기(10A)는, 당해 버튼 등이 유저에 의해 온으로 설정되면, 그 취지를 나타내는 정보와 메인 단말기(10A)의 식별 정보를 제어 장치(20)에 송신해도 된다.The 3rd switch 40C may be installed in facilities, such as a factory where the substrate processing apparatus 30 is installed, for example. Thereby, the terminal 10 capable of controlling the substrate processing apparatus 30 can be switched to the remote terminal 10D by operation at the site. In this case, the third switch 40C may be installed near the main terminal 10A, for example. In this case, the third switch 40C may be provided on the housing of the main terminal 10A. When the third switch 40C is set to on by the user, it transmits a signal to the effect to the controller 20. Further, the third switch 40C may be a button or the like displayed on a display screen of the main terminal 10A or the like. However, from the viewpoint of safety, it is preferable to use a hard switch rather than a button controlled by software displayed on the display screen. In this case, the main terminal 10A may transmit, to the controller 20, information indicating that effect and identification information of the main terminal 10A when the button or the like is set to on by the user.

또한 복수의 스위치(40)에 대하여 온으로 설정하는 조작(예를 들어 누름 등)이 이루어진 경우, 제어 장치(20)는 당해 복수의 스위치(40) 중, 먼저 온으로 설정하는 조작이 이루어진 스위치(40)만을 온으로 설정하고, 다른 쪽 스위치(40)는 강제적으로 오프로 설정해도 된다. 또한 제어 장치(20)는, 강제적으로 오프로 설정되어 있는 스위치(40)가 조작된 경우, 다른 스위치(40)가 먼저 조작되어 있는 것을 나타내는 정보를 유저에게 통보해도 된다. 이 경우, 예를 들어 제1 스위치(40A)가 먼저 눌려서 온으로 설정된 후 제2 스위치(40B)가 눌린 경우, 제1 스위치(40A)가 먼저 조작되어 있는 것이 유저에게 통보된다.In addition, when an operation (for example, pressing, etc.) of setting a plurality of switches 40 to be turned on is performed, the control device 20 switches the switch ( 40 may be set to ON, and the other switch 40 may be forcibly set to OFF. Further, the control device 20 may notify the user of information indicating that another switch 40 has been operated first, when the switch 40 that is forcibly set to OFF is operated. In this case, for example, when the first switch 40A is first pressed and set to ON, and then the second switch 40B is pressed, the user is notified that the first switch 40A has been operated first.

이 경우, 제어 장치(20)는, 예를 들어 제2 스위치(40B)가 온으로 설정된 경우에는, 제2 스위치(40B)에 대응지어져 있는 램프를 녹색으로 점등시켜도 된다. 그리고 제1 스위치(40A)가 먼저 온으로 조작되었기 때문에 제2 스위치(40B)가 강제적으로 오프로 설정되어 있는 경우이자, 기판 처리 장치(30)에 이상이 발생하고 있지 않은 경우에는, 제2 스위치(40B)가 눌리면, 제2 스위치(40B)에 대응지어져 있는 램프를 소정 기간 황색으로 점등시켜도 된다.In this case, the control device 20 may light the lamp associated with the second switch 40B in green, for example, when the second switch 40B is set to ON. And when the 2nd switch 40B is forcibly set to OFF because the 1st switch 40A was operated on first, and when abnormality does not occur in the substrate processing apparatus 30, the 2nd switch When 40B is depressed, the lamp associated with the second switch 40B may be lit in yellow for a predetermined period of time.

또한 제1 스위치(40A)가 먼저 온으로 조작되었기 때문에 제2 스위치(40B)가 강제적으로 오프로 설정되어 있는 경우이자, 기판 처리 장치(30)에 이상이 발생하고 있는 경우에는, 제2 스위치(40B)가 눌리면, 제2 스위치(40B)에 대응지어져 있는 램프를 소정 기간 황색으로 점멸(일정 주기로의 점등과 무점등의 반복)을 시켜도 된다. 이것에 의하여, 예를 들어 유저는, 제2 스위치(40B)의 누름이 무효로 되어 있는 이유를 파악할 수 있다.In addition, when the second switch 40B is forcibly set to off because the first switch 40A was first operated to be on, and when an abnormality occurs in the substrate processing apparatus 30, the second switch ( 40B) is pressed, the lamp associated with the second switch 40B may be made to blink in yellow for a predetermined period (repetition of lighting and non-lighting at regular intervals). By this, for example, the user can grasp the reason why pressing of the 2nd switch 40B is invalid.

또한 제3 스위치(40C)를, 로컬의 단말기, 즉, 메인 단말기(10A)와 서브 단말기(10B) 중 어느 단말기에 의한 제어와, 리모트의 단말기, 즉, 리모트 단말기(10D)에 의한 제어를 전환하는 로컬/리모트 전환 스위치로서 구성해도 되고, 제1 스위치(40A)와 제2 스위치(40B)를 통합하여, 메인 단말기(10A)에 의한 제어와 서브 단말기(10B)에 의한 제어를 전환하는 메인/서브 전환 스위치로서 구성해도 된다. 이 경우, 로컬/리모트 전환 스위치는, 온의 설정과 오프의 설정의 선택이 아니라, 로컬 단말기에 의한 제어와 리모트 단말기에 의한 제어의 선택을 행하며, 메인/서브 전환 스위치에 대해서도, 마찬가지로 메인 단말기(10A)에 의한 제어와 서브 단말기(10B)에 의한 제어의 선택을 행한다. 로컬/리모트 전환 스위치에 의하여 로컬 단말기를 선택한 경우, 메인/서브 전환 스위치에 의하여 선택되어 있는 메인 단말기(10A) 혹은 서브 단말기(10B)에 의한 제어가 행해지게 된다.In addition, the third switch 40C switches between control by a local terminal, that is, one of the main terminal 10A and the sub terminal 10B, and control by a remote terminal, that is, the remote terminal 10D. It may be configured as a local/remote changeover switch that switches between control by the main terminal 10A and control by the sub terminal 10B by integrating the first switch 40A and the second switch 40B. You may configure as a sub changeover switch. In this case, the local/remote changeover switch does not select between ON setting and OFF setting, but selects control by the local terminal and control by the remote terminal, and the main/sub changeover switch similarly to the main terminal ( Control by 10A) and control by subterminal 10B are selected. When a local terminal is selected by the local/remote selection switch, control is performed by the main terminal 10A or the sub terminal 10B selected by the main/sub selection switch.

(제어 장치(20)에 대하여)(Regarding the control device 20)

제어 장치(20)는, 단말기(10)로부터 수신한 정보(신호)에 기초하여 기판 처리 장치(30)를 제어한다. 또한 기판 처리 장치(30)의 각종 센서에 의하여 측정된 정보 등을 각 단말기(10)에 표시시킨다. 이것에 의하여 기판 처리 장치(30)의 유저는, 기판에 대한 처리 상황, 및 기판 처리 장치(30)의 각 부의 이상의 유무 등, 기판 처리 장치(30)의 각종 상태를 리모트 단말기(10D)에 의하여 오피스 등으로부터도 감시할 수 있다.The control device 20 controls the substrate processing device 30 based on the information (signal) received from the terminal 10 . In addition, information measured by various sensors of the substrate processing apparatus 30 is displayed on each terminal 10 . As a result, the user of the substrate processing apparatus 30 can check various conditions of the substrate processing apparatus 30, such as the processing status of the substrate and the presence or absence of abnormalities in each part of the substrate processing apparatus 30, by the remote terminal 10D. It can also be monitored from the office, etc.

제어 장치(20)는, 기판 처리 장치(30)에 이상이 발생한 경우, 기판 처리 장치(30)에 대한 제어를 행할 수 있는 단말기(10)를, 로컬적으로 설치되어 있는 단말기(10)(메인 단말기(10A), 서브 단말기(10B) 및 핸디 단말기(10C) 중 어느 것)만으로 제한한다. 이것에 의하여 유저는, 기판 처리 장치(30)가 정상적으로 동작하고 있는 경우에는 현장 및 오피스 등으로부터 기판 처리 장치(30)의 감시 및 조작을 행할 수 있다. 그리고 유저는, 기판 처리 장치(30)에 이상이 발생하고 있는 경우에는, 기판 처리 장치(30)에 대한 조작은 현장으로부터만으로 제한하고, 기판 처리 장치(30)의 감시는 현장 및 오피스 등으로부터 행할 수 있다. 그 때문에, 예를 들어 현장에서 복구 작업을 행하고 있는 유저가, 리모트로부터의 다른 유저의 조작에 의하여 혼란스러워지는 것 등을 저감시킬 수 있다. 또한 현장의 상황을 확인하지 않고 리모트로부터 조작되는 것을 방지할 수 있다.The control device 20 configures the terminal 10 capable of controlling the substrate processing device 30 when an abnormality occurs in the substrate processing device 30, and the terminal 10 (main device) installed locally. terminal 10A, sub-terminal 10B, and handy terminal 10C). In this way, when the substrate processing apparatus 30 is operating normally, the user can monitor and operate the substrate processing apparatus 30 from the site or office. In addition, when a problem occurs in the substrate processing apparatus 30, the user can limit the operation of the substrate processing apparatus 30 only from the site, and monitor the substrate processing apparatus 30 from the site or office. can Therefore, it is possible to reduce, for example, a user performing restoration work on site being confused by other user's operation from the remote. In addition, it is possible to prevent manipulation from the remote without checking the on-site situation.

또한 제어 장치(20)는 메인 단말기(10A), 서브 단말기(10B) 및 리모트 단말기(10D)에 대하여 동일한 표시 화면을 표시시켜도 된다. 이 경우, 제어 장치(20)는 메인 단말기(10A), 서브 단말기(10B) 및 리모트 단말기(10D)에 대하여 동일한 영상 신호를 송신해도 된다.Also, the control device 20 may display the same display screen for the main terminal 10A, the sub terminal 10B, and the remote terminal 10D. In this case, the control device 20 may transmit the same video signal to the main terminal 10A, the sub terminal 10B and the remote terminal 10D.

또한 제어 장치(20)는 핸디 단말기(10C)에 대하여, 핸디 단말기(10C)에 의한 조작이 가능한 각 기기를 제어하기 위한 표시 화면, 및 각종 센서에 의하여 측정된 당해 각 기기에 관한 정보를 통지하기 위한 표시 화면을 표시시켜도 된다.In addition, the control device 20 notifies the handy terminal 10C of a display screen for controlling each device operable by the handy terminal 10C and information about each device measured by various sensors. A display screen may be displayed.

(기판 처리 장치(30)에 대하여)(Regarding the substrate processing device 30)

기판 처리 장치(30)는, FPD용 기판에 대하여 각종 처리를 행하는 장치이다. 또한 FPD에는, 예를 들어 액정 디스플레이(Liquid Crystal Display: LCD), 일렉트로 루미네센스(Electro Luminescence: EL), 플라스마 디스플레이 패널(Plasma Display Panel; PDP) 등이 포함되어도 된다. 또한 FPD는, 예를 들어 텔레비전, 모니터, 스마트폰, 및 태블릿 단말기에 이용되어도 된다. 또한 FPD용 기판의 재료로서는 유리 또는 합성 수지 등이 이용되어도 된다.The substrate processing apparatus 30 is an apparatus that performs various processes with respect to the substrate for FPD. Further, the FPD may include, for example, a liquid crystal display (LCD), an electro luminescence (EL), a plasma display panel (PDP), and the like. In addition, FPD may be used for televisions, monitors, smartphones, and tablet terminals, for example. Moreover, as a material of the board|substrate for FPD, glass, synthetic resin, etc. may be used.

기판 처리 장치(30)는, 예를 들어 기판에 대하여 에칭 처리나, CVD(Chemical Vapor Deposition)법을 이용한 성막 처리 등을 행하여 박막 트랜지스터(Thin Film Transistor: TFT) 등을 기판 상에 형성해도 된다. 이 경우, 기판 처리 장치(30)는, 예를 들어 기판 G 상에 게이트 전극이나 게이트 절연막, 반도체층 등을 패터닝하면서 순차 적층해 감으로써 TFT를 형성해도 된다. 또한 기판 처리 장치(30)는, 공기 청정도가 확보된 클린 룸 내에 설치되어도 된다.The substrate processing apparatus 30 may form a thin film transistor (TFT) or the like on the substrate by performing, for example, an etching process or a film formation process using a CVD (Chemical Vapor Deposition) method on the substrate. In this case, the substrate processing apparatus 30 may form the TFT by sequentially laminating, for example, a gate electrode, a gate insulating film, a semiconductor layer, etc. on the substrate G while patterning. Further, the substrate processing apparatus 30 may be installed in a clean room in which air cleanliness is ensured.

<하드웨어 구성><Hardware Configuration>

《제어 장치(20)》<<control device 20>>

도 2a는, 실시 형태에 따른 제어 장치(20)의 하드웨어 구성예를 도시하는 도면이다. 또한 단말기(10)가 컴퓨터를 갖는 경우에는, 당해 컴퓨터의 하드웨어 구성은, 도 2a의 제어 장치(20)의 하드웨어 구성과 마찬가지여도 된다.2A is a diagram showing an example hardware configuration of the control device 20 according to the embodiment. In addition, when the terminal 10 has a computer, the hardware configuration of the computer may be the same as that of the control device 20 in FIG. 2A.

도 2a의 제어 장치(20)는, 각각 버스 B로 상호 간에 접속되어 있는 드라이브 장치(200), 보조 기억 장치(202), 메모리 장치(203), CPU(204) 및 인터페이스 장치(205) 등을 갖는다.The control device 20 of FIG. 2A includes a drive device 200, an auxiliary storage device 202, a memory device 203, a CPU 204, an interface device 205, and the like, which are connected to each other via a bus B, respectively. have

제어 장치(20)에서의 처리를 실현하는 프로그램은 기록 매체(201)에 의하여 제공되어도 된다. 이 경우, 프로그램을 기록한 기록 매체(201)가 드라이브 장치(200)에 세트되면, 프로그램이 기록 매체(201)로부터 드라이브 장치(200)를 통하여 보조 기억 장치(202)에 인스톨된다. 프로그램의 인스톨은 반드시 기록 매체(201)로부터 행할 필요는 없으며, 네트워크를 통하여 다른 컴퓨터로부터 다운로드되도록 해도 된다. 보조 기억 장치(202)는, 인스톨된 프로그램을 저장함과 함께 필요한 파일이나 데이터 등을 저장한다.A program for realizing the processing in the control device 20 may be provided by the recording medium 201 . In this case, when the recording medium 201 on which the program is recorded is set in the drive device 200, the program is installed from the recording medium 201 to the auxiliary storage device 202 via the drive device 200. Installation of the program does not necessarily have to be performed from the recording medium 201, and may be downloaded from another computer via a network. The auxiliary storage device 202 stores installed programs as well as necessary files and data.

메모리 장치(203)는, 프로그램의 기동 지시가 있은 경우에 보조 기억 장치(202)로부터 프로그램을 판독하여 저장한다. CPU(204)는, 메모리 장치(203)에 저장된 프로그램에 따라 제어 장치(20)에 따른 기능을 실현한다. 인터페이스 장치(205)는, 네트워크에 접속하기 위한 인터페이스로서 이용된다.The memory device 203 reads and stores the program from the auxiliary storage device 202 when there is an instruction to start the program. The CPU 204 realizes functions according to the control device 20 according to programs stored in the memory device 203 . The interface device 205 is used as an interface for connecting to a network.

또한 기록 매체(201)의 일례로서는, CD-ROM, DVD 디스크, 또는 USB 메모리 등의 가반형 기록 매체를 들 수 있다. 또한 보조 기억 장치(202)의 일례로서는 HDD(Hard Disk Drive) 또는 플래시 메모리 등을 들 수 있다. 기록 매체(201) 및 보조 기억 장치(202) 중 어느 것에 대해서도 컴퓨터 판독 가능한 기록 매체에 상당한다.Further, as an example of the recording medium 201, a portable type recording medium such as a CD-ROM, a DVD disc, or a USB memory is exemplified. Also, as an example of the auxiliary storage device 202, a hard disk drive (HDD) or flash memory may be used. Both of the recording medium 201 and the auxiliary storage device 202 correspond to computer-readable recording media.

《기판 처리 장치(30)》<<substrate processing apparatus 30>>

도 2b는, 실시 형태에 따른 기판 처리 장치(30)의 일례를 도시하는 도면이다. 실시 형태에 따른 기판 처리 장치(30)는, 기판별로 각종 처리를 행하는 프로세스 모듈(프로세스 챔버, 처리실)이 복수 결합되어 있는 클러스터 툴이어도 된다. 도 2b의 예에서는, 기판 처리 장치(30)는, 복수의 프로세스 챔버를 갖는 멀티 챔버형이다.2B is a diagram showing an example of the substrate processing apparatus 30 according to the embodiment. The substrate processing apparatus 30 according to the embodiment may be a cluster tool in which a plurality of process modules (process chambers and processing chambers) that perform various processes for each substrate are combined. In the example of FIG. 2B , the substrate processing apparatus 30 is a multi-chamber type having a plurality of process chambers.

도 2b의 예에서는, 기판 처리 장치(30)는 각 챔버로서 트랜스퍼 모듈(반송 챔버)(31), 로드 로크 모듈(로드 로크 챔버)(32), 프로세스 모듈(33A), 프로세스 모듈(33B), 프로세스 모듈(33C)(이하에서 구별할 필요가 없는 경우에는 간단히 「프로세스 모듈(33)」이라 칭함)을 갖고 있다(일례로서 이들 챔버 중 어느 것을 제1 챔버라 하고 다른 어느 것을 제2 챔버라 칭할 수도 있음).In the example of FIG. 2B , the substrate processing apparatus 30 includes a transfer module (transfer chamber) 31, a load lock module (load lock chamber) 32, a process module 33A, a process module 33B, It has a process module 33C (hereinafter simply referred to as "process module 33" where there is no need to distinguish) (as an example, which of these chambers will be referred to as a first chamber and which other will be referred to as a second chamber). may).

로드 로크 모듈(32) 및 각 프로세스 모듈(33)은 각각 게이트 밸브를 통하여 트랜스퍼 모듈(31)에 접속되어 있다.The load lock module 32 and each process module 33 are connected to the transfer module 31 via a gate valve, respectively.

로드 로크 모듈(32)은, 트랜스퍼 모듈(31)에 기판을 공급하는 장치이다. 로드 로크 모듈(32)은, 예를 들어 2단으로 적층되며, 각 층에 있어서, 기판을 보유 지지하는 랙, 및 기판의 위치 조절을 행하는 포지셔너 등이 마련되어도 된다. 또한 로드 로크 모듈(32)은, 상압과 진공 사이에서 내부의 압력을 전환할 수 있도록 구성되어 있으며, 적재된 다수의 기판 G을 반송하는 캐리어(반송 장치)와의 사이에서 기판의 수수를 행해도 된다. 이 경우, 로드 로크 모듈(32)이 진공으로 제어된 후, 마찬가지로 진공으로 제어되어 있는 트랜스퍼 모듈(31)과의 사이의 게이트 밸브가 열리고 로드 로크 모듈(32)로부터 트랜스퍼 모듈(31)에 대하여 기판이 공급되어도 된다.The load lock module 32 is a device that supplies a substrate to the transfer module 31 . The load lock module 32 is stacked in two stages, for example, and in each layer, a rack for holding a board and a positioner for adjusting the position of the board may be provided. In addition, the load lock module 32 is configured such that the internal pressure can be switched between normal pressure and vacuum, and substrates may be transferred between carriers (transport devices) that transport a plurality of stacked substrates G. . In this case, after the load lock module 32 is vacuum-controlled, the gate valve between the transfer module 31 and the transfer module 31, which is also vacuum-controlled, is opened, and the load lock module 32 moves the substrate to the transfer module 31. may be supplied.

트랜스퍼 모듈(31)은, 각 프로세스 모듈(33)에 기판을 공급하는 장치이다. 트랜스퍼 모듈(31)에는, 예를 들어 회전 가능하고, 또한 각 프로세스 모듈(33)측으로 슬라이드 가능한 반송 기구(311)(암, 로봇)가 탑재되어도 된다. 당해 반송 기구는, 로드 로크 모듈(32)로부터 공급된 기판을, 원하는 프로세스 모듈(33)에 공급한다.The transfer module 31 is a device that supplies substrates to each process module 33 . The transfer module 31 may be equipped with, for example, a transport mechanism 311 (arm, robot) that is rotatable and can slide toward each process module 33 . The transport mechanism supplies the substrate supplied from the load lock module 32 to a desired process module 33 .

프로세스 모듈(33)은, 기판에 대하여 각종 처리를 행하는 장치이다. 프로세스 모듈(33)은, 예를 들어 플라스마를 발생시켜, 할로겐계 에칭 가스(예를 들어 염소계 에칭 가스)를 적용한 건식 에칭 처리를 행해도 된다.The process module 33 is a device that performs various processes on a substrate. The process module 33 may generate, for example, plasma and perform a dry etching process using a halogen-based etching gas (eg, chlorine-based etching gas).

트랜스퍼 모듈(31)은 각 프로세스 모듈(33)에 의하여, 예를 들어 CVD(Chemical Vaper Deposition) 처리 및 PVD(Physical Vaper Deposition) 처리 등의 성막 처리와, 에칭 처리를 시퀀셜하게 실행시켜도 된다. 이 경우, 트랜스퍼 모듈(31)은, 예를 들어 먼저 프로세스 모듈(33A)에 기판을 공급하고, 당해 기판에 대하여 제1 처리를 실행시켜도 된다. 그리고 트랜스퍼 모듈(31)은 프로세스 모듈(33B)에 당해 기판을 공급하고, 당해 기판에 대하여 제2 처리를 실행시켜도 된다. 그리고 트랜스퍼 모듈(31)은 프로세스 모듈(33C)에 당해 기판을 공급하고, 당해 기판에 대하여 제3 처리를 실행시켜도 된다.The transfer module 31 may sequentially perform, for example, a film formation process such as a chemical vapor deposition (CVD) process and a physical vapor deposition (PVD) process, and an etching process by each process module 33 . In this case, the transfer module 31 may first supply a substrate to the process module 33A, for example, and then execute the first process on the substrate. Then, the transfer module 31 may supply the substrate to the process module 33B and execute the second process on the substrate. Then, the transfer module 31 may supply the substrate to the process module 33C and execute the third process on the substrate.

또한 도 2b에 도시한 바와 같이 프로세스 모듈(33A), 프로세스 모듈(33B), 프로세스 모듈(33C) 및 로드 로크 모듈(32)의 외부(외측)에는 각각, 핸디 단말기(10C)를 접속하기 위한 포트(301A)(「제1 포트」의 일례), 포트(301B)(「제2 포트」의 일례), 포트(301C) 및 포트(301D)(이하에서 구별할 필요가 없는 경우에는 간단히 「포트(301)」라 칭함)가 마련되어 있다. 각 포트(301)는, 예를 들어 LAN 등에 의하여 제어 장치(20)와 접속되어 있다. 또한 제1 포트 및 제2 포트의 예는 이에 한정되지 않으며, 어느 포트(301)가 제1 포트로 되고 제2 포트로 되어도 된다. 또한 트랜스퍼 모듈(31)에도, 핸디 단말기(10C)를 접속하기 위한 포트를 마련해도 된다.Further, as shown in FIG. 2B, ports for connecting the handy terminal 10C are provided on the outside (outside) of the process module 33A, process module 33B, process module 33C, and load lock module 32, respectively. 301A (an example of “first port”), port 301B (an example of “second port”), port 301C, and port 301D 301)”) is provided. Each port 301 is connected to the control device 20 by LAN or the like, for example. Examples of the first port and the second port are not limited thereto, and any port 301 may be the first port or the second port. Also, the transfer module 31 may be provided with a port for connecting the handy terminal 10C.

<기능 구성><Function Configuration>

도 3을 참조하여, 실시 형태에 따른 제어 장치(20)의 기능 구성에 대하여 설명한다. 도 3은, 실시 형태에 따른 제어 장치(20)의 기능 구성의 일례를 도시하는 도면이다.Referring to Fig. 3, a functional configuration of the control device 20 according to the embodiment will be described. 3 is a diagram showing an example of the functional configuration of the control device 20 according to the embodiment.

제어 장치(20)는 이상 검지부(21), 이상 시 전환부(22), 접수부(23), 전환부(24) 및 제어부(25)를 갖는다. 이들 각 부는, 제어 장치(20)에 인스톨된 하나 이상의 프로그램과, 제어 장치(20)의 CPU(204) 등의 하드웨어의 협동에 의하여 실현되어도 된다. 또한 이들 각 부는, 하나 또는 복수의 회로에 의하여 실현하는 것도 가능하다. 여기서, 당해 회로는, 예를 들어 ASIC(Application Specific Integrated Circuit), DSP(digital signal processor), FPGA(field programmable gate array), 및 릴레이로 구성되는 회로 등에 의하여 실현되어도 된다. 또한, 예를 들어 이들 각 부 중의 일부(예를 들어 제어부(25))는, 제어 장치(20)에 인스톨된 하나 이상의 프로그램과, 제어 장치(20)의 CPU(204) 등의 하드웨어의 협동에 의하여 실현되고, 다른 부(예를 들어 이상 검지부(21), 이상 시 전환부(22), 접수부(23) 및 전환부(24))는 ASIC 등의 회로에 의하여 실현되어도 된다.The control device 20 has an abnormality detection unit 21, an abnormal switching unit 22, an acceptance unit 23, a switching unit 24 and a control unit 25. Each of these units may be realized by cooperation between one or more programs installed in the control device 20 and hardware such as the CPU 204 of the control device 20 . In addition, each of these parts can also be realized by one or a plurality of circuits. Here, the circuit may be realized by, for example, a circuit composed of an application specific integrated circuit (ASIC), a digital signal processor (DSP), a field programmable gate array (FPGA), and a relay. In addition, for example, a part of each of these units (for example, the control unit 25) cooperates with one or more programs installed in the control device 20 and hardware such as the CPU 204 of the control device 20. other units (e.g., the abnormal detection unit 21, the abnormal switching unit 22, the accepting unit 23, and the switching unit 24) may be realized by circuits such as ASICs.

이상 검지부(21)는, 기판 처리 장치(30)의 각종 센서에 의하여 측정된 정보 등에 기초하여, 기판 처리 장치(30)에 있어서의 각종 이상을 검지한다.The abnormality detection unit 21 detects various abnormalities in the substrate processing apparatus 30 based on information measured by various sensors of the substrate processing apparatus 30 and the like.

이상 시 전환부(22)는, 이상 검지부(21)에 의하여 이상이 검지된 경우에, 기판 처리 장치(30)에 대한 제어를 행할 수 있는 단말기(10)를, 로컬적으로 설치되어 있는 단말기(10)(메인 단말기(10A), 서브 단말기(10B) 및 핸디 단말기(10C) 중 어느 것)만으로 제한한다.When an abnormality is detected by the abnormality detection unit 21, the switching unit 22 at abnormality sets the terminal 10 capable of controlling the substrate processing apparatus 30 to a locally installed terminal ( 10) (any one of the main terminal 10A, the sub terminal 10B, and the handy terminal 10C).

접수부(23)는, 스위치(40)의 온 및 오프 등의 조작을 유저로부터 접수한다.The acceptance unit 23 accepts operations such as on and off of the switch 40 from the user.

전환부(24)는, 접수부(23)에 의하여 접수한 유저의 조작에 응답하여, 유저로부터 지정된 단말기(10)만으로부터 기판 처리 장치(30)를 제어할 수 있도록 한다.The switching unit 24 enables the substrate processing apparatus 30 to be controlled from only the terminal 10 designated by the user in response to the user's operation accepted by the reception unit 23 .

제어부(25)는, 기판 처리 장치(30)의 각종 센서에 의하여 측정된 정보 등에 기초하는 표시 화면을 단말기(10)에 표시시킨다. 또한 제어부(25)는, 이상 시 전환부(22) 또는 전환부(24)에 의하여 결정된 단말기(10)로부터의 지시에 따라 기판 처리 장치(30)의 각 부를 제어한다.The controller 25 causes the terminal 10 to display a display screen based on information measured by various sensors of the substrate processing apparatus 30 and the like. In addition, the control unit 25 controls each unit of the substrate processing apparatus 30 according to instructions from the terminal 10 determined by the switching unit 22 or the switching unit 24 in the event of an abnormality.

<처리><Process>

도 4 내지 도 5b를 참조하여, 실시 형태에 따른 제어 시스템(1)의 처리의 일례에 대하여 설명한다. 도 4는, 실시 형태에 따른 제어 시스템(1)의 처리의 일례를 도시하는 시퀀스도이다. 도 5a는, 실시 형태에 따른 메인 단말기(10A), 서브 단말기(10B) 및 리모트 단말기(10D)의 표시 화면의 일례에 대하여 설명하는 도면이다. 도 5b는, 실시 형태에 따른 핸디 단말기(10C)의 표시 화면의 일례에 대하여 설명하는 도면이다.An example of processing of the control system 1 according to the embodiment will be described with reference to FIGS. 4 to 5B. 4 is a sequence diagram showing an example of processing of the control system 1 according to the embodiment. 5A is a diagram for explaining an example of display screens of the main terminal 10A, the sub terminal 10B, and the remote terminal 10D according to the embodiment. 5B is a diagram for explaining an example of a display screen of the handy terminal 10C according to the embodiment.

스텝 S1에 있어서, 제어 장치(20)의 전환부(24)는, 유저의 지시에 따라 리모트 단말기(10D)로부터의 조작만을 유효(입력 가능)로 한다. 여기서, 제어 장치(20)는, 예를 들어 유저에 의하여 제1 스위치(40A) 및 제2 스위치(40B)가 오프로 설정되어 있고 제3 스위치(40C)가 온으로 설정된 경우, 리모트 단말기(10D)로부터의 조작만을 유효로 해도 된다. 이것에 의하여 리모트 단말기(10D)만으로부터 기판 처리 장치(30)를 제어할 수 있다. 그 때문에, 예를 들어 각각 다른 장소에 있는 복수의 유저가 각 단말기(10)로부터 동시에 기판 처리 장치(30)를 제어함으로써 혼란이 생기는 것을 저감시킬 수 있다.In step S1, the switching unit 24 of the control device 20 makes valid (input possible) only the operation from the remote terminal 10D according to the user's instruction. Here, the control device 20, for example, when the first switch 40A and the second switch 40B are set to off and the third switch 40C is set to on by the user, the remote terminal 10D ) may be valid. Thereby, the substrate processing apparatus 30 can be controlled only from the remote terminal 10D. Therefore, when a plurality of users in different places control the substrate processing apparatus 30 simultaneously from each terminal 10, for example, confusion can be reduced.

제어 장치(20)는, 도 5a와 같은 표시 화면(501)을 메인 단말기(10A), 서브 단말기(10B) 및 리모트 단말기(10D)에 표시시켜도 된다. 도 5a의 예에서는, 표시 화면(501)에는, 기판 처리 장치(30)의 각 부를 제어하는 버튼(502A 내지 502D) 등이 표시되어 있다. 리모트 단말기(10D)로부터의 조작만이 유효로 되어 있는 경우, 제어 장치(20)는, 리모트 단말기(10D)에서 버튼(502A 내지 502D) 등이 조작된 경우에만, 눌린 버튼에 따른 제어를 기판 처리 장치(30)에 실행시킨다.The control device 20 may display the display screen 501 as shown in FIG. 5A on the main terminal 10A, the sub terminal 10B, and the remote terminal 10D. In the example of FIG. 5A , buttons 502A to 502D for controlling each part of the substrate processing apparatus 30 and the like are displayed on the display screen 501 . When only the operation from the remote terminal 10D is enabled, the control device 20 performs the control corresponding to the pressed button only when the buttons 502A to 502D or the like are operated on the remote terminal 10D. run on the device 30.

리모트 단말기(10D)로부터의 조작만이 유효로 되어 있는 경우에 메인 단말기(10A) 및 서브 단말기(10B) 중 어느 것으로부터 리모트 단말기(10D)에서 버튼(502A 내지 502D) 등이 조작된 경우, 제어 장치(20)는 당해 조작을 무효로 한다.When buttons 502A to 502D or the like are operated on the remote terminal 10D from either the main terminal 10A or the sub terminal 10B when only the operation from the remote terminal 10D is enabled, the control Device 20 invalidates the operation.

계속해서, 제어 장치(20)의 이상 검지부(21)는 기판 처리 장치(30)의 이상을 검지한다(스텝 S2). 여기서, 제어 장치(20)의 이상 검지부(21)는, 기판 처리 장치(30)의 각종 센서에 의하여 측정된 정보 등에 기초하여, 기판 처리 장치(30)에 있어서의 각종 이상을 검지한다. 제어 장치(20)의 이상 검지부(21)는, 예를 들어 프로세스 모듈(33) 내의 진공 상태를 유지하는 펌프의 고장을 검지해도 된다. 또한 제어 장치(20)의 이상 검지부(21)는, 예를 들어 트랜스퍼 모듈(31) 내의 반송 기구(311)의 동작 중에, 트랜스퍼 모듈(31) 내로 진입하기 위한 도어가 개방 상태인 것을 검지해도 된다.Subsequently, the abnormality detection unit 21 of the control device 20 detects an abnormality of the substrate processing apparatus 30 (step S2). Here, the abnormality detection unit 21 of the control device 20 detects various abnormalities in the substrate processing apparatus 30 based on information measured by various sensors of the substrate processing apparatus 30 and the like. The abnormality detection unit 21 of the control device 20 may detect, for example, a failure of a pump that maintains a vacuum state in the process module 33 . In addition, the abnormality detection unit 21 of the control device 20 may detect, for example, that a door for entering into the transfer module 31 is in an open state during operation of the transport mechanism 311 in the transfer module 31. .

제어 장치(20)의 이상 검지부(21)는 이상을 검지한 경우, 기판 처리 장치(30)의 각 구동부를 정지시켜도 된다. 또한 제어 장치(20)의 이상 검지부(21)는 이상을 검지한 경우, 기판 처리 장치(30)의 각 구동부 중, 이상이 발생한 개소에 관한 각 구동부만을 정지시켜도 된다.When an abnormality is detected, the abnormality detection unit 21 of the control device 20 may stop each drive unit of the substrate processing apparatus 30 . In addition, when an abnormality is detected, the abnormality detection unit 21 of the control device 20 may stop only each of the driving units related to the location where the abnormality occurred among the driving units of the substrate processing apparatus 30 .

또한 제어 장치(20)의 제어부(25)는, 이상 검지부(21)에 의하여 이상이 검지된 경우, 경보(알람)의 표시 화면 및 소리를 메인 단말기(10A), 서브 단말기(10B) 및 리모트 단말기(10D)에 통보시켜도 된다. 이것에 의하여 유저는 오피스 등으로부터 현장으로 이동하여 기판 처리 장치(30)의 복구를 행할 수 있다. 또한 당해 경보에는, 이상 검지부(21)에 의하여 검지된 이상의 내용을 나타내는 정보가 포함되어도 된다.In addition, the control unit 25 of the control device 20, when an abnormality is detected by the abnormality detection unit 21, displays an alarm (alarm) and a sound to the main terminal 10A, the sub terminal 10B, and the remote terminal. (10D) may be notified. As a result, the user can move from the office or the like to the site to restore the substrate processing apparatus 30 . Further, the warning may include information indicating the contents of the abnormality detected by the abnormality detection unit 21 .

계속해서, 제어 장치(20)의 이상 시 전환부(22)는, 리모트 단말기(10D)로부터의 입력을 무효(불가)로 하고(스텝 S3), 로컬의 단말기(10)(메인 단말기(10A), 서브 단말기(10B) 및 핸디 단말기(10C) 중 어느 것)로부터의 조작만을 유효로 한다(스텝 S4). 이것에 의하여, 예를 들어 기판 처리 장치(30)에 이상이 발생하고 있을 때, 오피스 등의 원격으로부터의 조작에 의하여 기판 처리 장치(30)가 동작됨으로써 복구 작업이 저해되는 것을 저감시킬 수 있다.Subsequently, the abnormal switching unit 22 of the control device 20 invalidates (disables) the input from the remote terminal 10D (step S3), and the local terminal 10 (main terminal 10A) , the sub-terminal 10B and the handy terminal 10C) are validated (step S4). In this way, for example, when an abnormality occurs in the substrate processing apparatus 30, the substrate processing apparatus 30 is operated by operation from a remote location such as an office, thereby reducing the impediment of the recovery operation.

여기서, 제어 장치(20)는, 기판 처리 장치(30)의 이상이 검지되고 있는 동안에는 제3 스위치(40C)를 강제적으로 오프로 설정함으로써 제3 스위치(40C)에 대한 조작을 무효로 하여, 유저에 의하여 제3 스위치(40C)를 온으로 설정할 수 없도록 제어해도 된다. 이것에 의하여, 예를 들어 제1 스위치(40A)가 유저에 의하여 온으로 설정된 경우에는 메인 단말기(10A)만으로부터 기판 처리 장치(30)를 제어할 수 있게 된다. 또한 제2 스위치(40B)가 유저에 의하여 온으로 설정된 경우에는 서브 단말기(10B)만으로부터 기판 처리 장치(30)를 제어할 수 있게 된다.Here, the control device 20 disables the operation of the third switch 40C by forcibly setting the third switch 40C to OFF while the abnormality of the substrate processing apparatus 30 is being detected, and the user You may control so that the 3rd switch 40C cannot be set to ON by this. This makes it possible to control the substrate processing apparatus 30 only from the main terminal 10A, for example, when the first switch 40A is set to on by the user. In addition, when the second switch 40B is set to on by the user, the substrate processing apparatus 30 can be controlled from only the sub terminal 10B.

여기서, 제어 장치(20)는, 예를 들어 로컬의 단말기(10)에 의한 기판 처리 장치(30)에 대한 제어의 결과를 나타내는 정보를 리모트 단말기(10D)에도 표시시켜도 된다. 이것에 의하여 유저는, 리모트 단말기(10D)로부터 기판 처리 장치(30)를 조작할 수 없는 경우에도, 메인 단말기(10A) 및 서브 단말기(10B) 중 어느 것에 의한 조작 결과를 리모트 단말기(10D)로부터 감시할 수 있다. 이 경우, 제어 장치(20)는, 예를 들어 리모트 단말기(10D)에 대하여 메인 단말기(10A) 및 서브 단말기(10B)와 동일한 표시 화면을 표시시킴으로써, 로컬의 단말기(10)에 의한 조작 결과를 리모트 단말기(10D)에 표시시켜도 된다. 또한 핸디 단말기(10C)에 의한 조작 결과를 리모트 단말기(10D)로부터 감시할 수 있도록 해도 된다.Here, the control device 20 may also display, for example, information indicating a result of control of the substrate processing device 30 by the local terminal 10 on the remote terminal 10D. In this way, even when the user cannot operate the substrate processing apparatus 30 from the remote terminal 10D, the operation result by either the main terminal 10A or the sub-terminal 10B is displayed from the remote terminal 10D. can be monitored In this case, the control device 20 displays the same display screen as that of the main terminal 10A and the sub terminal 10B on the remote terminal 10D, for example, so that the result of operation by the local terminal 10 is displayed. It may be displayed on the remote terminal 10D. Furthermore, the result of operation by the handy terminal 10C may be monitored from the remote terminal 10D.

계속해서, 기판 처리 장치(30)는 핸디 단말기(10C)와 접속된다(스텝 S5). 여기서, 기판 처리 장치(30)의 포트(301)에, 핸디 단말기(10C)와 접속되어 있는 케이블이 접속된다.Subsequently, the substrate processing apparatus 30 is connected to the handy terminal 10C (step S5). Here, a cable connected to the handy terminal 10C is connected to the port 301 of the substrate processing apparatus 30 .

또한 유저는, 예를 들어 프로세스 모듈(33) 내를 눈으로 보면서 조작을 행할 수 없는 위치에 메인 단말기(10A) 및 서브 단말기(10B)가 설치되어 있는 경우, 핸디 단말기(10C)를 갖고 프로세스 모듈(33)의 부근으로 이동한다. 그리고 유저는 핸디 단말기(10C)를, 프로세스 모듈(33)의 외측에 마련되어 있는 포트(301)에 접속한다.Further, the user has the handy terminal 10C and the process module, for example, when the main terminal 10A and the sub terminal 10B are installed in a position where operation cannot be performed while viewing the inside of the process module 33 with the naked eye. Move to the vicinity of (33). And the user connects the handy terminal 10C to the port 301 provided on the outside of the process module 33.

계속해서, 기판 처리 장치(30)는, 핸디 단말기(10C)와 접속된 것의 통지(접속 통지)를 제어 장치(20)에 송신한다(스텝 S6). 여기서, 핸디 단말기(10C)가 접속된 기판 처리 장치(30)의 포트(301)는, 당해 포트(301)의 식별 정보(포트 ID)와, 핸디 단말기(10C)와 접속되었다는 취지를 나타내는 정보를 포함하는 접속 통지를 제어 장치(20)에 송신해도 된다.Subsequently, the substrate processing apparatus 30 transmits a notification (connection notification) of being connected to the handy terminal 10C to the control apparatus 20 (step S6). Here, the port 301 of the substrate processing apparatus 30 to which the handy terminal 10C is connected transmits identification information (port ID) of the port 301 and information indicating that the handy terminal 10C is connected. You may transmit the connection notification containing it to the control apparatus 20.

계속해서, 제어 장치(20)의 전환부(24)는, 기판 처리 장치(30)의 각 부 중, 핸디 단말기(10C)가 접속되어 있는 포트(301)에 따른 각 부에 대하여, 핸디 단말기(10C)로부터의 조작만을 유효로 한다(스텝 S7). 이것에 의하여, 예를 들어 프로세스 모듈(33)의 부근에서 복구 작업을 행하고 있는 유저가, 프로세스 모듈(33)로부터 떨어진 위치로부터의 다른 유저의 조작에 의하여 혼란스러워지는 것을 저감시킬 수 있다. 또한 이것에 의하여 유저는, 예를 들어 프로세스 모듈(33) 내를 눈으로 보면서 핸디 단말기(10C)로부터 프로세스 모듈(33) 내의 각 부와, 프로세스 모듈(33)에 관련되는 트랜스퍼 모듈(31) 내의 각 부 등을 조작할 수 있다. 그 때문에 유저는, 예를 들어 프로세스 모듈(33) 내에 있어서의 펌프의 고장 상황, 및 트랜스퍼 모듈(31) 내에 있어서의 진입 도어의 개방 상태를 눈으로 보아 확인하면서 조작할 수 있다.Subsequently, the switching unit 24 of the control device 20 switches the handy terminal (with respect to each unit corresponding to the port 301 to which the handy terminal 10C is connected among each unit of the substrate processing apparatus 30) 10C) is validated (step S7). This can reduce, for example, a user performing recovery work in the vicinity of the process module 33 being confused by other users' operations from a position away from the process module 33 . In addition, by this, the user sees the inside of the process module 33, for example, from the handy terminal 10C, each part in the process module 33 and the inside of the transfer module 31 related to the process module 33. Each part can be operated. Therefore, the user can operate while visually confirming, for example, the failure state of the pump in the process module 33 and the open state of the access door in the transfer module 31 .

여기서, 제어 장치(20)는, 예를 들어 프로세스 모듈(33A)의 외측에 마련되어 있는 포트(301A)에 핸디 단말기(10C)가 접속된 경우, 제어 장치(20)는, 예를 들어 프로세스 모듈(33A) 및 트랜스퍼 모듈(31) 내의 각 부에 대하여, 핸디 단말기(10C)로부터의 조작만을 유효로 해도 된다. 또한 포트(301A)에 핸디 단말기(10C)가 접속된 경우, 제어 장치(20)는, 예를 들어 로드 로크 모듈(32) 내의 각 부에 대해서도, 핸디 단말기(10C)로부터의 조작만을 유효로 해도 된다. 프로세스 모듈(33B), 프로세스 모듈(33C) 등에 대해서도 마찬가지이다.Here, the control device 20 is, for example, when the handy terminal 10C is connected to the port 301A provided on the outside of the process module 33A, the control device 20 is, for example, the process module ( 33A) and each part in the transfer module 31, only the operation from the handy terminal 10C may be effective. In addition, when the handy terminal 10C is connected to the port 301A, the control device 20 also validates only the operation from the handy terminal 10C for each part in the load lock module 32, for example. do. The same applies to the process module 33B and the process module 33C.

또한 제어 장치(20)는, 예를 들어 로드 로크 모듈(32)의 외측에 마련되어 있는 포트(301D)에 핸디 단말기(10C)가 접속된 경우, 제어 장치(20)는, 예를 들어 로드 로크 모듈(32) 및 트랜스퍼 모듈(31) 내의 각 부에 대하여, 핸디 단말기(10C)로부터의 조작만을 유효로 해도 된다.In addition, the control device 20, for example, when the handy terminal 10C is connected to the port 301D provided on the outside of the load lock module 32, the control device 20, for example, the load lock module For each unit in (32) and the transfer module 31, only the operation from the handy terminal 10C may be validated.

여기서, 제어 장치(20)는, 도 5b와 같은 표시 화면(511)을 핸디 단말기(10C)에 표시시켜도 된다. 도 5b의 예에서는, 표시 화면(511)에는 기판 처리 장치(30)의 각 부 중, 핸디 단말기(10C)가 접속되어 있는 포트(301)에 따른 각 부를 제어하는 버튼(512A 내지 512F) 등이 표시되어 있다. 도 5b에 있어서 해칭으로 나타나 있는 버튼(512E)에 대응하는 모듈과 버튼(512F)에 대응하는 모듈은 조작 불능인 것을 나타낸다. 예를 들어 도 5b의 버튼(512D)에 대응하는 「P/C-1」이 프로세스 모듈(33A)이라고 한 경우, 도 5b는, 프로세스 모듈(33A)의 포트(301A)에 핸디 단말기(10C)가 접속된 상태를 도시하며, 「P/C-1」은 제어 가능하지만 다른 프로세스 모듈인 「P/C-2」 및 「P/C-3」은 제어 가능하지 않은 것을 의미한다. 여기서, 「P/C-1」에 대응하는 버튼(512D)를 누름으로써, 「P/C-1」의 각 부를 제어하는 하위의 메뉴 화면으로 이행하여 「P/C-1」에 관한 각종 조작이 가능해진다.Here, the control device 20 may display the display screen 511 as shown in FIG. 5B on the handy terminal 10C. In the example of FIG. 5B , buttons 512A to 512F for controlling each part corresponding to the port 301 to which the handy terminal 10C is connected among the parts of the substrate processing apparatus 30 are displayed on the display screen 511. indicated. The module corresponding to the button 512E and the module corresponding to the button 512F shown by hatching in Fig. 5B indicate that they are inoperable. For example, when “P/C-1” corresponding to button 512D in FIG. 5B is the process module 33A, FIG. shows a connected state, meaning that "P/C-1" is controllable, but other process modules, "P/C-2" and "P/C-3" are not controllable. Here, by pressing the button 512D corresponding to "P/C-1", it shifts to the lower menu screen for controlling each part of "P/C-1" and various operations related to "P/C-1" this becomes possible

또한 제어 장치(20)는, 핸디 단말기(10C)가 접속되어 있는 포트(301)를 나타내는 정보를 메인 단말기(10A), 서브 단말기(10B) 및 리모트 단말기(10D)에 표시시켜도 된다. 또한 제어 장치(20)는, 핸디 단말기(10C)로부터의 조작만이 유효로 되어 있는 기판 처리 장치(30)의 각 부이자, 기판 처리 장치(30)의 각 부 중, 핸디 단말기(10C)가 접속되어 있는 포트(301)에 따른 각 부를 나타내는 정보를 메인 단말기(10A), 서브 단말기(10B) 및 리모트 단말기(10D)에 표시시켜도 된다. 이것에 의하여 유저는, 핸디 단말기(10C)가 접속되어 있는 부위, 및 메인 단말기(10A) 등으로부터 조작할 수 없는 각 부에 대하여, 핸디 단말기(10C) 이외의 각 단말기(10)로부터 파악할 수 있다.The control device 20 may also display information indicating the port 301 to which the handy terminal 10C is connected, on the main terminal 10A, the sub terminal 10B, and the remote terminal 10D. In addition, the control device 20 is each part of the substrate processing apparatus 30 in which only the operation from the handy terminal 10C is effective, and among the parts of the substrate processing apparatus 30, the handy terminal 10C is Information indicating each unit according to the connected port 301 may be displayed on the main terminal 10A, the sub terminal 10B, and the remote terminal 10D. With this, the user can grasp, from each terminal 10 other than the handy terminal 10C, the part to which the handy terminal 10C is connected and each part that cannot be operated from the main terminal 10A or the like. .

계속해서, 제어 장치(20)의 전환부(24)는, 기판 처리 장치(30)의 각 부 중, 핸디 단말기(10C)가 접속된 포트(301)에 따른 각 부 이외의 각 부, 예를 들어 도 5b에 있어서는, 버튼이 해칭된 「P/C-2」 및 「P/C-3」에 대하여, 메인 단말기(10A) 및 서브 단말기(10B) 중 어느 것으로부터의 조작만을 유효로 한다(스텝 S8).Subsequently, among the parts of the substrate processing apparatus 30, the switching unit 24 of the control device 20 switches each unit other than each unit according to the port 301 to which the handy terminal 10C is connected, for example. For example, in FIG. 5B , for "P/C-2" and "P/C-3" with hatched buttons, only operations from either the main terminal 10A or the sub terminal 10B are valid ( Step S8).

(핸디 단말기(10C)가 절단된 경우에 대하여)(Regarding the case where the handy terminal 10C is disconnected)

또한 핸디 단말기(10C)가 절단된 경우, 제어 장치(20)의 전환부(24)는, 각 단말기(10)로부터의 제어에 대하여, 핸디 단말기(10C)가 접속되기 전의 상태로 되돌린다. 이 경우, 핸디 단말기(10C)의 케이블이 포트(301)로부터 빠지거나 함으로써 핸디 단말기(10C)와 기판 처리 장치(30)의 접속이 해제(절단)된 경우, 당해 포트(301), 핸디 단말기(10C)와 절단된 것의 통지(절단 통지)를 제어 장치(20)에 송신한다. 여기서, 당해 절단 통지에는, 당해 포트(301)의 식별 정보(포트 ID)와, 핸디 단말기(10C)와 절단되었다는 취지를 나타내는 정보가 포함되어도 된다. 그리고 제어 장치(20)는, 당해 포트(301)에 따른 각 부에 대해서도, 로컬의 단말기(10)인 메인 단말기(10A) 및 서브 단말기(10B) 중 어느 것으로부터의 조작만을 유효로 한다.Furthermore, when the handy terminal 10C is disconnected, the switching unit 24 of the control device 20 returns to the state before the handy terminal 10C is connected to the control from each terminal 10 . In this case, when the connection between the handy terminal 10C and the substrate processing apparatus 30 is disconnected (cut) because the cable of the handy terminal 10C is disconnected from the port 301, the port 301, the handy terminal ( 10C) and a notice of cutting (cutting notice) are transmitted to the control device 20 . Here, the disconnection notice may include identification information (port ID) of the port 301 and information indicating that the handy terminal 10C has been disconnected. Also, the control device 20 validates only operations from either of the main terminal 10A and the sub terminal 10B, which are the local terminals 10, for each unit corresponding to the port 301 in question.

(기판 처리 장치(30)가 복구된 경우에 대하여)(Regarding the case where the substrate processing device 30 is restored)

또한 기판 처리 장치(30)가 복구된 경우, 각 단말기(10)로부터의 제어에 대하여, 이상이 발생하기보다도 전의 상태로 되돌릴 수 있도록 해도 된다. 이 경우, 이상 검지부(21)에 의하여 이상이 검지되지 않게 된 경우, 제어 장치(20)의 이상 시 전환부(22)는, 제3 스위치(40C)를 강제적으로 오프로 설정하는 기능을 정지(해제)해도 된다. 이것에 의하여, 기판 처리 장치(30)가 복구된 경우, 유저에 의하여 제1 스위치(40A) 및 제2 스위치(40B)가 오프로 설정되고 제3 스위치(40C)가 온으로 설정되면, 리모트 단말기(10D)로부터의 조작만을 유효(입력 가능)로 할 수 있다.Further, when the substrate processing apparatus 30 is restored, control from each terminal 10 may be returned to a state prior to the occurrence of an abnormality. In this case, when the abnormality is not detected by the abnormality detection unit 21, the abnormal switching unit 22 of the control device 20 stops the function of forcibly setting the third switch 40C to OFF ( can be released). By this, when the substrate processing apparatus 30 is restored, when the first switch 40A and the second switch 40B are set to off and the third switch 40C is set to on by the user, the remote terminal Only operations from (10D) can be made valid (input possible).

또한 이상 검지부(21)에 의하여 이상이 검지되지 않게 된 경우, 제어 장치(20)는, 제3 스위치(40C)를 강제적으로 오프로 설정하는 기능을 정지함과 함께, 제3 스위치(40C)에 대응지어져 있는 통보 장치(예를 들어 회전등)를 동작시키거나 함으로써, 제3 스위치(40C)를 온으로 설정 가능(조작이 유효)하게 된 것을 유저에게 통보해도 된다. 그리고 제어 장치(20)는, 제3 스위치(40C)가 유저에 의하여 온으로 설정된 경우, 당해 통보 장치의 동작을 정지시켜도 된다. 이것에 의하여, 예를 들어 복구 후에 제3 스위치(40C)를 온으로 설정하는 것을 유저가 깜박한 채 현장의 클린 룸에서부터 나가 버리는 것을 저감시킬 수 있다. 이 경우, 당해 통보 장치는, 예를 들어 메인 단말기(10A)의 하우징 상에 마련되어 있어도 된다.In addition, when abnormality is no longer detected by the abnormality detection unit 21, the control device 20 stops the function of forcibly setting the third switch 40C to OFF, and the third switch 40C The user may be notified that the third switch 40C can be set to ON (the operation is effective) by operating an associated notification device (for example, a rotating lamp). Then, the control device 20 may stop the operation of the notification device when the third switch 40C is set to on by the user. Thereby, it can reduce that a user forgot to set the 3rd switch 40C to ON after restoration|restoration, and leaves from the clean room of a site, for example. In this case, the notification device may be provided on the housing of the main terminal 10A, for example.

<변형예><Example of modification>

단말기(10) 및 제어 장치(20)의 각 기능부는, 예를 들어 하나 이상의 컴퓨터에 의하여 제공되는 클라우드 컴퓨팅에 의하여 실현되어 있어도 된다. 또한 단말기(10), 제어 장치(20) 및 기판 처리 장치(30) 중의 복수의 장치를 일체의 장치로 해도 된다. 이 경우, 예를 들어 제어 장치(20)와 기판 처리 장치(30)는 일체의 장치로서 구성되어도 된다. 또한, 예를 들어 메인 단말기(10A) 또는 서브 단말기(10B)(이하에서 「메인 단말기(10A) 등」이라고도 칭함)와 제어 장치(20)는 일체의 장치로서 구성되어도 된다. 또한, 예를 들어 메인 단말기(10A) 등과 제어 장치(20)와 기판 처리 장치(30)는 일체의 장치로서 구성되어도 된다.Each functional unit of the terminal 10 and the control device 20 may be realized by cloud computing provided by one or more computers, for example. In addition, a plurality of devices among the terminal 10, the control device 20, and the substrate processing device 30 may be formed as a single device. In this case, for example, the control device 20 and the substrate processing device 30 may be configured as an integral device. Further, for example, the main terminal 10A or the sub terminal 10B (hereinafter also referred to as "main terminal 10A or the like") and the control device 20 may be configured as an integral device. Further, for example, the main terminal 10A, the control device 20, and the substrate processing device 30 may be configured as an integrated device.

또한 단말기(10), 제어 장치(20) 및 기판 처리 장치(30)의 각 장치를 복수의 장치에 의하여 실현해도 된다. 이 경우, 예를 들어 제어 장치(20)의 각 기능부 중, 이상 검지부(21) 및 이상 시 전환부(22)를 다른 기능부와는 별체의 장치로 해도 된다.In addition, each device of the terminal 10, the control device 20, and the substrate processing device 30 may be realized by a plurality of devices. In this case, for example, among the functional units of the control device 20, the abnormality detection unit 21 and the abnormal switching unit 22 may be devices separate from other functional units.

상기 실시 형태에 예시한 구성 등에 대하여 그 외의 구성 요소가 조합되거나 한 다른 실시 형태여도 되며, 또한 본 개시는, 여기서 나타낸 구성에 하등 한정되는 것은 아니다. 이 점에 관해서는, 본 개시의 취지를 일탈하지 않는 범위에서 변경하는 것이 가능하며, 그 응용 형태에 따라 적절히 정할 수 있다.Other embodiments may be used in combination or combination of other constituent elements with respect to the configurations exemplified in the above embodiments, and the present disclosure is not limited to the configurations shown here in any way. Regarding this point, it is possible to change it within the range which does not deviate from the meaning of this indication, and it can decide suitably according to the application form.

Claims (10)

기판을 처리하는 기판 처리 장치를 제어하는 제어 시스템이며,
상기 기판 처리 장치와 동일한 장소에 배치되어, 상기 기판 처리 장치에 대한 제어의 지시를 유저로부터 접수하는 제1 단말기 및 제2 단말기와,
상기 기판 처리 장치와는 다른 장소에 배치되어, 상기 기판 처리 장치에 대한 제어의 지시를 유저로부터 접수하는 제3 단말기와,
상기 기판 처리 장치의 이상이 검지된 경우, 상기 제3 단말기에 의한 상기 기판 처리 장치에 대한 제어를 무효로 하는 제어 장치를 갖는, 제어 시스템.A control system for controlling a substrate processing apparatus that processes a substrate,
A first terminal and a second terminal disposed at the same place as the substrate processing apparatus and receiving instructions for controlling the substrate processing apparatus from a user;
a third terminal disposed at a location different from the substrate processing apparatus and receiving a control instruction for the substrate processing apparatus from a user;
and a control device that invalidates control of the substrate processing device by the third terminal when an abnormality of the substrate processing device is detected. 제1항에 있어서,
상기 제어 장치는,
상기 기판 처리 장치의 이상이 검지된 경우, 상기 제1 단말기 및 상기 제2 단말기 중 어느 한쪽에 의한 상기 기판 처리 장치에 대한 제어를 유효로 하는,
제어 시스템.According to claim 1,
The control device,
When an abnormality of the substrate processing apparatus is detected, control of the substrate processing apparatus by either one of the first terminal and the second terminal is effective.
control system. 제1항에 있어서,
상기 제어 장치는,
상기 제1 단말기 및 상기 제2 단말기 중 적어도 한쪽에 의한 상기 기판 처리 장치에 대한 제어의 결과를 나타내는 정보를 상기 제3 단말기에 표시시키는,
제어 시스템.According to claim 1,
The control device,
Displaying information indicating a result of control of the substrate processing apparatus by at least one of the first terminal and the second terminal on the third terminal,
control system. 제1항에 있어서,
상기 제어 시스템은,
상기 제2 단말기 및 상기 제3 단말기에 의한 상기 기판 처리 장치에 대한 제어를 무효로 하는 제1 스위치와,
상기 제1 단말기 및 상기 제3 단말기에 의한 상기 기판 처리 장치에 대한 제어를 무효로 하는 제2 스위치를 갖고,
상기 제어 장치는,
상기 제1 스위치가 상기 제2 스위치보다도 먼저 조작된 경우, 상기 제1 단말기에 의한 상기 기판 처리 장치에 대한 제어를 유효로 하고, 상기 제2 단말기에 의한 상기 기판 처리 장치에 대한 제어를 무효로 하고, 상기 제2 스위치가 조작된 경우, 상기 제1 스위치가 먼저 조작되어 있는 것을 나타내는 정보를 유저에게 통보하는,
제어 시스템.According to claim 1,
The control system,
A first switch for invalidating control of the substrate processing apparatus by the second terminal and the third terminal;
a second switch that invalidates control of the substrate processing apparatus by the first terminal and the third terminal;
The control device,
When the first switch is operated before the second switch, the control of the substrate processing apparatus by the first terminal is valid, and the control of the substrate processing apparatus by the second terminal is invalid, , When the second switch is operated, notifying the user of information indicating that the first switch is operated first,
control system. 제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 제어 시스템은,
상기 제1 단말기 및 상기 제2 단말기에 의한 상기 기판 처리 장치에 대한 제어를 무효로 하는 제3 스위치와,
상기 제3 스위치에 대응지어진 통보 장치를 갖고,
상기 제어 장치는,
상기 기판 처리 장치의 이상이 검지된 경우, 상기 제3 스위치의 조작을 무효로 하고,
상기 기판 처리 장치의 이상이 복구된 경우, 상기 제3 스위치의 조작이 유효로 된 것을 상기 통보 장치에 의하여 유저에게 통보하는,
제어 시스템.According to any one of claims 1 to 4,
The control system,
A third switch for invalidating control of the substrate processing apparatus by the first terminal and the second terminal;
a notification device associated with the third switch;
The control device,
When an abnormality of the substrate processing apparatus is detected, invalidating the operation of the third switch;
When the abnormality of the substrate processing apparatus is restored, notifying the user by the notification device that the operation of the third switch has become effective,
control system. 제5항에 있어서,
상기 제어 장치는,
상기 기판 처리 장치의 이상이 복구된 경우, 상기 제3 스위치의 조작이 유효로 된 것을 상기 통보 장치에 의하여 유저에게 통보하고, 상기 제3 스위치가 유저에 의해 조작된 경우, 상기 통보 장치에 의한 통보를 정지하는,
제어 시스템.According to claim 5,
The control device,
When the abnormality of the substrate processing apparatus is restored, the notification device notifies the user that the operation of the third switch has become effective, and when the third switch is operated by the user, notification by the notification device to stop,
control system. 제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 제어 시스템은,
상기 기판 처리 장치에 유선 및 근거리 무선 중 적어도 한쪽에 의하여 접속되어, 상기 기판 처리 장치에 대한 제어의 지시를 유저로부터 접수하는 제4 단말기를 갖고,
상기 제어 장치는,
상기 기판 처리 장치에 포함되는 제1 챔버의 외측에 마련된 제1 포트에 상기 제4 단말기가 접속된 경우, 상기 기판 처리 장치의 각 부 중, 상기 제1 포트에 따른 각 부에 대하여 상기 제4 단말기에 의한 제어만을 유효로 하고,
상기 기판 처리 장치에 포함되는 제2 챔버의 외측에 마련된 제2 포트에 상기 제4 단말기가 접속된 경우, 상기 기판 처리 장치의 각 부 중, 상기 제2 포트에 따른 각 부에 대하여 상기 제4 단말기에 의한 제어만을 유효로 하는,
제어 시스템.According to any one of claims 1 to 4,
The control system,
A fourth terminal that is connected to the substrate processing apparatus by at least one of wired and short-distance wireless and receives instructions for controlling the substrate processing apparatus from a user;
The control device,
When the fourth terminal is connected to a first port provided outside a first chamber included in the substrate processing apparatus, the fourth terminal is connected to each unit of the substrate processing apparatus according to the first port. Only the control by
When the fourth terminal is connected to a second port provided outside a second chamber included in the substrate processing apparatus, the fourth terminal is connected to each unit of the substrate processing apparatus according to the second port. Only the control by
control system. 제7항에 있어서,
상기 제어 장치는,
상기 제1 포트에 상기 제4 단말기가 접속된 경우, 상기 기판 처리 장치의 각 부 중, 상기 제4 단말기에 의한 제어만이 유효로 되어 있는, 상기 제1 포트에 따른 각 부를 나타내는 정보를 상기 제1 단말기, 상기 제2 단말기 및 상기 제3 단말기에 표시시키는,
제어 시스템.According to claim 7,
The control device,
When the fourth terminal is connected to the first port, among the parts of the substrate processing apparatus, information indicating each part according to the first port in which only the control by the fourth terminal is effective is transmitted to the first port. Displayed on the first terminal, the second terminal and the third terminal,
control system. 기판을 처리하는 기판 처리 장치와 동일한 장소에 배치되어, 상기 기판 처리 장치에 대한 제어의 지시를 유저로부터 접수하는 제1 단말기 및 제2 단말기와, 상기 기판 처리 장치와는 다른 장소에 배치되어, 상기 기판 처리 장치에 대한 제어의 지시를 유저로부터 접수하는 제3 단말기 중 어느 것으로부터 입력된 정보에 기초하여 상기 기판 처리 장치를 제어하는 제어 시스템이,
상기 기판 처리 장치의 이상이 검지된 경우, 상기 제3 단말기에 의한 상기 기판 처리 장치에 대한 제어를 무효로 하는, 제어 방법.A first terminal and a second terminal disposed at the same place as a substrate processing apparatus for processing a substrate and receiving instructions for controlling the substrate processing apparatus from a user, and disposed at a different place from the substrate processing apparatus, A control system that controls the substrate processing apparatus based on information input from any of the third terminals that receive instructions for controlling the substrate processing apparatus from the user,
The control method of disabling control of the substrate processing apparatus by the third terminal when an abnormality of the substrate processing apparatus is detected. 기판을 처리하는 기판 처리 장치이며,
상기 기판 처리 장치와 동일한 장소에 배치되어, 상기 기판 처리 장치에 대한 제어의 지시를 유저로부터 접수하는 제1 단말기 및 제2 단말기와, 상기 기판 처리 장치와는 다른 장소에 배치되어, 상기 기판 처리 장치에 대한 제어의 지시를 유저로부터 접수하는 제3 단말기 중 어느 것으로부터 입력된 정보에 기초하여 상기 기판 처리 장치의 각 부를 제어하고,
상기 기판 처리 장치의 이상이 검지된 경우, 상기 제3 단말기에 의한 상기 기판 처리 장치에 대한 제어를 무효로 하는, 기판 처리 장치.A substrate processing apparatus for processing a substrate,
a first terminal and a second terminal disposed at the same location as the substrate processing apparatus and receiving instructions for controlling the substrate processing apparatus from a user; and disposed at a different location from the substrate processing apparatus, the substrate processing apparatus Control each part of the substrate processing apparatus based on information input from any of the third terminals that receive a control instruction from the user,
and invalidating control of the substrate processing apparatus by the third terminal when an abnormality of the substrate processing apparatus is detected.
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