KR102523909B1 - Mover and linear servo motor - Google Patents

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사토히로 히라노
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미쓰비시덴키 가부시키가이샤
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Abstract

가동자(1)는 가동 방향으로 분할된 코어(11)와, 코어(11)의 사이에 끼워진 자석(12)에 의해서 형성되고, 가동 방향으로 신장되는 코어 백(15)으로부터 복수의 티스(14)가 돌출되는 형상의 가동자 코어(40)와, 티스(14) 각각에 감겨진 코일(13)을 가지고, 자석(12)으로부터 코어(11)로 들어가는 자속은, 가동 방향의 방향 성분과, 코어 백(15)으로부터 티스(14)로 향하는 방향인 티스 선단 방향의 방향 성분을 포함하고 있고, 또한 코어(11)로부터 자석(12)으로 들어가는 자속은, 가동 방향의 방향 성분과, 티스(14)로부터 코어 백(15)으로 향하는 방향인 티스 근원 방향의 방향 성분을 포함하고 있다. The mover 1 is formed by a core 11 divided in the movable direction and a magnet 12 sandwiched between the core 11, and a plurality of teeth 14 from the core back 15 extending in the movable direction. ) has a protruding shape of the mover core 40 and a coil 13 wound around each of the teeth 14, and the magnetic flux entering the core 11 from the magnet 12 has a directional component in the movable direction, The magnetic flux, which includes a direction component in the direction of the tip of the tooth, which is a direction from the core back 15 to the tooth 14, and enters the magnet 12 from the core 11, has a direction component in the movable direction and the tooth 14 ) to the core back 15, and includes a direction component in the direction of the root of the tooth.

Description

가동자 및 리니어 서보 모터Mover and linear servo motor

본 개시는 자석이 매립된 코어를 구비한 가동자 및 리니어 서보 모터에 관한 것이다. The present disclosure relates to a mover having a core embedded with a magnet and a linear servo motor.

리니어 서보 모터는 가동 방향으로 신장되는 코어 백으로부터 티스가 돌출되는 형상의 가동자 코어와 코일로 가동자가 구성되어 있고, 자석 및 베이스로 고정자가 구성되어 있다. 가동자의 코일은 티스끼리의 사이이 간극인 슬롯에 배치되어 티스에 감겨진다. The linear servomotor has a mover composed of a mover core and a coil in which teeth protrude from a core bag extending in a moving direction, and a stator composed of a magnet and a base. The coil of the mover is disposed in a slot that is a gap between teeth and wound around the teeth.

리니어 서보 모터는 고정자에 자석을 마련하는 구조이면, 모터의 가동 거리를 길게 하기 위해서 고정자의 길이를 길게 하면, 자석의 수가 증가하여 코스트가 증대된다. 코스트의 증대를 방지하기 위해서, 단위 길이당 자석수를 줄이면, 가동자의 추력(推力)이 저하되어 버린다. If the linear servo motor has a structure in which magnets are provided in the stator, when the length of the stator is increased to increase the operating distance of the motor, the number of magnets increases and the cost increases. If the number of magnets per unit length is reduced in order to prevent an increase in cost, the thrust of the mover will decrease.

특허 문헌 1에는, 가동자 코어에 자석이 매립된 리니어 서보 모터가 개시되어 있다. 특허 문헌 1에 개시되는 리니어 서보 모터는, 티스 중 고정자측의 부분에 폭확장(幅擴張) 부분을 마련함으로써, 티스를 통과하는 자속을 증가시키고 있다. 특허 문헌 1에 개시되는 리니어 서보 모터는, 고정자에는 자석을 배치하지 않기 때문에, 가동 거리를 길게 하는 것에 의한 코스트의 상승이 억제된다. Patent Document 1 discloses a linear servo motor in which a magnet is embedded in a mover core. In the linear servomotor disclosed in Patent Literature 1, magnetic flux passing through the teeth is increased by providing a width expansion portion in a part on the stator side of the teeth. In the linear servomotor disclosed in Patent Literature 1, since no magnet is disposed in the stator, the increase in cost due to the lengthening of the movable distance is suppressed.

특허 문헌 1: 일본 공개특허공보 2018－183043호Patent Document 1: Japanese Unexamined Patent Publication No. 2018-183043

특허 문헌 1에 개시되는 리니어 서보 모터는, 티스의 자계가 가동 방향에 대해서 수직이고 또한 고정자측을 향하고 있기 때문에, 가동자의 추력을 향상시키기 어려웠다. In the linear servomotor disclosed in Patent Document 1, since the magnetic field of the teeth is perpendicular to the moving direction and is directed toward the stator, it is difficult to improve the thrust of the mover.

본 개시는 상기를 감안하여 이루어진 것으로서, 티스의 자계를 가동 방향에 대해서 수직이고 또한 고정자측으로 하는 것보다도, 추력을 향상시킨 가동자를 얻는 것을 목적으로 한다. The present disclosure has been made in view of the above, and aims at obtaining a mover with improved thrust rather than making the magnetic field of the teeth perpendicular to the direction of movement and toward the stator.

상술한 과제를 해결하여 목적을 달성하기 위해서, 본 개시에 따른 가동자는, 가동 방향으로 분할된 코어와, 코어의 사이에 끼워진 자석에 의해서 형성되고, 가동 방향으로 신장되는 코어 백으로부터 복수의 티스가 돌출되는 형상의 가동자 코어와, 티스 각각에 감겨진 코일을 가진다. 자석으로부터 코어로 들어가는 자속은, 가동 방향의 방향 성분과, 코어 백으로부터 티스로 향하는 방향인 티스 선단(先端) 방향의 방향 성분을 포함하고 있다. 코어로부터 자석으로 들어가는 자속은, 가동 방향의 방향 성분과, 티스로부터 코어 백으로 향하는 방향인 티스 근원 방향의 방향 성분을 포함하고 있다. In order to solve the above problems and achieve the object, the mover according to the present disclosure is formed by a core divided in the movable direction and a magnet sandwiched between the core, and a plurality of teeth from the core back extending in the movable direction It has a protruding mover core and a coil wound around each tooth. The magnetic flux entering the core from the magnet includes a directional component in the movable direction and a directional component in the direction of the tip of the tooth, which is a direction from the core back to the teeth. The magnetic flux entering the magnet from the core includes a directional component in the movable direction and a directional component in the root direction of the tooth, which is a direction from the teeth to the core back.

본 개시에 따른 가동자는, 티스의 자계를 가동 방향에 대해서 수직이고 또한 고정자측으로 하는 것보다도, 추력을 향상시킬 수 있다고 하는 효과를 달성한다. The mover according to the present disclosure achieves an effect that the thrust can be improved rather than making the magnetic field of the teeth perpendicular to the direction of movement and toward the stator.

도 1은 실시 형태 1에 따른 리니어 서보 모터의 사시도이다.
도 2는 실시 형태 1에 따른 리니어 서보 모터의 단면도이다.
도 3은 실시 형태 1에 따른 리니어 서보 모터의 가동자의 변형예를 나타내는 도면이다.
도 4는 실시 형태 1에 따른 리니어 서보 모터의 가동자의 단면도이다.
도 5는 실시 형태 1에 따른 리니어 서보 모터의 가동자의 자석을 자화하는 방법을 나타내는 도면이다.
도 6은 실시 형태 1에 따른 리니어 서보 모터의 가동자의 자석을 자화하는 방법을 나타내는 도면이다.
도 7은 실시 형태 2에 따른 리니어 서보 모터의 가동자의 단면도이다.
도 8은 실시 형태 2에 따른 리니어 서보 모터의 가동자의 자석을 자화하는 방법을 나타내는 도면이다.
도 9는 실시 형태 3에 따른 리니어 서보 모터의 가동자의 단면도이다.
도 10은 실시 형태 3에 따른 리니어 서보 모터의 가동자의 변형예를 나타내는 도면이다.
도 11은 실시 형태 4에 따른 리니어 서보 모터의 가동자의 단면도이다.
도 12는 실시 형태 5에 따른 리니어 서보 모터의 가동자의 단면도이다.
도 13은 실시 형태 5의 변형예에 따른 리니어 서보 모터의 가동자의 단면도이다.
도 14는 실시 형태 6에 따른 리니어 서보 모터의 가동자의 단면도이다.1 is a perspective view of a linear servo motor according to Embodiment 1;
2 is a cross-sectional view of the linear servo motor according to the first embodiment.
3 is a diagram showing a modified example of the mover of the linear servomotor according to the first embodiment.
4 is a cross-sectional view of the mover of the linear servomotor according to the first embodiment.
5 is a diagram showing a method of magnetizing a magnet of a mover of a linear servomotor according to Embodiment 1;
6 is a diagram showing a method of magnetizing a magnet of a mover of a linear servomotor according to Embodiment 1;
7 is a cross-sectional view of the mover of the linear servo motor according to the second embodiment.
8 is a diagram showing a method of magnetizing a magnet of a mover of a linear servomotor according to Embodiment 2;
9 is a cross-sectional view of the mover of the linear servomotor according to the third embodiment.
10 is a diagram showing a modified example of the mover of the linear servomotor according to the third embodiment.
11 is a cross-sectional view of the mover of the linear servo motor according to the fourth embodiment.
12 is a sectional view of the mover of the linear servomotor according to the fifth embodiment.
13 is a cross-sectional view of a mover of a linear servo motor according to a modified example of the fifth embodiment.
14 is a cross-sectional view of the mover of the linear servomotor according to the sixth embodiment.

이하에, 실시 형태에 따른 가동자 및 리니어 서보 모터를 도면에 기초하여 상세하게 설명한다. Hereinafter, a mover and a linear servo motor according to an embodiment will be described in detail based on the drawings.

실시 형태 1.Embodiment 1.

도 1은 실시 형태 1에 따른 리니어 서보 모터의 사시도이다. 도 2는 실시 형태 1에 따른 리니어 서보 모터의 단면도이다. 리니어 서보 모터(10)는 가동자(1)와 고정자(2)를 가진다. 고정자(2)는 돌기(21)가 등간격으로 배치된 막대 모양이다. 가동자(1)는 고정자(2)의 돌기(21)의 배열 방향으로 이동한다. 즉, 고정자(2)의 돌기(21)의 배열 방향은, 가동자(1)의 가동 방향이기도 하다. 도 2에는, 가동자(1)의 가동 방향을 화살표 A로 나타내고 있다. 1 is a perspective view of a linear servo motor according to Embodiment 1; 2 is a cross-sectional view of the linear servo motor according to the first embodiment. The linear servo motor 10 has a mover 1 and a stator 2. The stator 2 has a rod shape in which protrusions 21 are arranged at equal intervals. The mover 1 moves in the direction in which the protrusions 21 of the stator 2 are arranged. That is, the arrangement direction of the projections 21 of the stator 2 is also the movable direction of the mover 1. In FIG. 2 , the movable direction of the mover 1 is indicated by an arrow A.

가동자(1)는 가동 방향으로 신장되는 코어 백(15)으로부터 복수의 티스(14)가 돌출되는 형상의 가동자 코어(40) 및 코일(13)을 가진다. 가동자 코어(40)는 가동 방향으로 분할된 코어(11)와, 코어(11)의 사이에 끼워진 자석(12)에 의해서 형성되어 있다. 이하의 설명에 있어서, 코어 백(15)으로부터 티스(14)를 향하는 방향을 티스 선단 방향이라고 하고, 티스(14)로부터 코어 백(15)을 향하는 방향을 티스 근원 방향이라고 한다. 도 2에는, 티스 선단 방향을 화살표 B로 나타내고, 티스 근원 방향을 화살표 C로 나타내고 있다. 티스(14)는 가동자(1)의 가동 방향으로 복수 배열되어 있고, 각 티스(14)에 코일(13)이 감겨 있다. 코일(13)은 인접하는 두 개의 티스(14) 사이의 「슬롯」이라고 칭해지는 간극에 배치된다. 가동자(1)는 티스(14)의 배열 방향으로 이동한다. 즉, 가동자(1) 및 고정자(2)는, 티스(14)의 배열 방향과 돌기(21)의 배열 방향이 같은 방향이 되도록 설치된다. The mover 1 has a mover core 40 and a coil 13 in a shape in which a plurality of teeth 14 protrude from the core back 15 extending in the movable direction. The mover core 40 is formed by cores 11 divided in the movable direction and magnets 12 sandwiched between the cores 11 . In the following description, a direction from the core back 15 to the teeth 14 is referred to as a tooth tip direction, and a direction from the teeth 14 to the core back 15 is referred to as a tooth root direction. In Fig. 2, the direction of the tip of the tooth is indicated by arrow B, and the direction of the root of the tooth is indicated by arrow C. A plurality of teeth 14 are arranged in the movable direction of the mover 1, and a coil 13 is wound around each tooth 14. The coil 13 is disposed in a gap called a "slot" between two adjacent teeth 14. The mover 1 moves in the arrangement direction of the teeth 14 . That is, the mover 1 and the stator 2 are installed so that the arrangement direction of the teeth 14 and the arrangement direction of the protrusions 21 are in the same direction.

가동자 코어(40)는 가동 방향에서의 슬롯(16)의 중앙부에서 코어(11)가 분할된 구조로 되어 있다. 슬롯(16)의 중앙부에서 코어(11)가 분할되어 있는 것에 의해, 코일(13)을 감고 나서 티스(14)를 배열시키는 것이 가능해지기 때문에, 티스(14)로의 코일(13)을 용이하게 행할 수 있다. 또한, 가동자 코어(40)는 슬롯(16)의 부분에서 코어(11)가 분할되어 있지 않은 구조여도 된다. 코어(11)가 슬롯(16)의 부분에서 분할되지 않고 연결되어 있는 구조로 하는 것에 의해, 가동자 코어(40)의 부품 개수를 삭감시킬 수 있다. The mover core 40 has a structure in which the core 11 is divided at the center of the slot 16 in the movable direction. Since the core 11 is divided at the center of the slot 16, it is possible to arrange the teeth 14 after winding the coil 13, so that the coil 13 to the teeth 14 can be easily performed. can Further, the mover core 40 may have a structure in which the core 11 is not divided at the slot 16 portion. The number of parts of the mover core 40 can be reduced by setting the structure in which the core 11 is not divided and connected at the slot 16.

코어(11)는 베이스부(111)와, 베이스부(111)로부터 돌출되는 돌출부(112)를 가진다. 베이스부(111)는 코어 백(15)의 일부분이며, 돌출부(112)는 티스(14)의 일부분이다. The core 11 has a base portion 111 and a protrusion 112 protruding from the base portion 111 . The base portion 111 is a part of the core back 15, and the protrusion 112 is a part of the teeth 14.

코어(11) 중 돌출부(112)와 자석(12)과의 계면에 있어서, 자석(12)으로부터 코어(11)로 들어가는 자속은, 가동자(1)의 가동 방향의 방향 성분에 더하여, 티스 선단 방향의 방향 성분을 포함하고 있다. 또, 코어(11) 중 돌출부(112)와 자석(12)과의 계면에 있어서, 코어(11)로부터 자석(12)으로 들어가는 자속은, 가동자(1)의 가동 방향의 방향 성분에 더하여, 티스 근원 방향의 방향 성분을 포함하고 있다. At the interface between the protrusion 112 of the core 11 and the magnet 12, the magnetic flux entering the core 11 from the magnet 12 is, in addition to the directional component of the moving direction of the mover 1, the tip of the tooth It contains the direction component of the direction. In addition, at the interface between the protruding portion 112 of the core 11 and the magnet 12, the magnetic flux entering the magnet 12 from the core 11 is in addition to the direction component of the moving direction of the mover 1, It contains a direction component in the direction of the tooth origin.

도 3은 실시 형태 1에 따른 리니어 서보 모터의 가동자의 변형예를 나타내는 도면이다. 코어(11) 중 돌출부(112)뿐만이 아니라, 베이스부(111)에 있어서도, 자석(12)으로부터 코어(11)로 들어가는 자속이 가동 방향의 방향 성분과 티스 선단 방향의 방향 성분을 포함하고, 코어(11)로부터 자석(12)으로 들어가는 자속이 가동 방향의 방향 성분과 티스 근원 방향의 방향 성분을 포함하고 있어도 된다. 3 is a diagram showing a modified example of the mover of the linear servomotor according to the first embodiment. In not only the protrusion 112 of the core 11, but also the base portion 111, the magnetic flux entering the core 11 from the magnet 12 includes a directional component in the movable direction and a directional component in the direction of the tooth tip, and the core The magnetic flux entering the magnet 12 from (11) may contain a directional component in the movable direction and a directional component in the root direction of the teeth.

도 4는 실시 형태 1에 따른 리니어 서보 모터의 가동자의 단면도이다. 도 4에는, 실시 형태 1에 따른 가동자(1)의 자석(12) 내부의 자속의 방향을 화살표로 나타내고 있다. 티스 선단 방향 및 티스 근원 방향과 가동자(1)의 가동 방향이 이루는 평면을 포함하는 단면에 있어서, 자석(12)의 내부의 자속은, 티스 근원 방향으로 볼록한 곡선 모양이다. 4 is a cross-sectional view of the mover of the linear servomotor according to the first embodiment. 4, the direction of the magnetic flux inside the magnet 12 of the mover 1 according to the first embodiment is indicated by an arrow. In a cross section including a plane formed by the direction of the tip of the tooth and the direction of the tooth root and the moving direction of the mover 1, the magnetic flux inside the magnet 12 has a convex curved shape in the direction of the tooth root.

도 5 및 도 6은, 실시 형태 1에 따른 리니어 서보 모터의 가동자의 자석을 자화하는 방법을 나타내는 도면이다. 우선, 도 5에 나타내는 것처럼, 요크 코어(31) 및 착자 코일(32)을 구비한 착자 요크(3)를, 티스(14)의 선단측에 배치하고, 착자 코일(32)을 자석(12)에 정면으로 마주하게 한다. 그리고, 도 6에 나타내는 것처럼, 티스 선단 방향 및 티스 근원 방향과 가동자(1)의 가동 방향에 수직인 축을 중심으로 고리 모양의 착자 자계(4)를 발생시키는 것에 의해, 자석(12) 내부의 자속을, 티스 선단 방향 및 티스 근원 방향과 가동자(1)의 가동 방향이 이루는 평면을 포함하는 단면에 있어서, 티스 근원 방향으로 볼록해지는 곡선 모양으로 할 수 있다.5 and 6 are views showing a method of magnetizing a magnet of a mover of the linear servomotor according to the first embodiment. First, as shown in FIG. 5, the magnetizing yoke 3 provided with the yoke core 31 and the magnetizing coil 32 is disposed on the front end side of the tooth 14, and the magnetizing coil 32 is attached to the magnet 12 face it head on. Then, as shown in FIG. 6, by generating an annular magnetizing field 4 around an axis perpendicular to the direction of the tip of the tooth, the direction of the root of the tooth, and the moving direction of the mover 1, the inside of the magnet 12 The magnetic flux can be made into a curved shape convex in the tooth root direction in a cross section including a plane formed by the tooth tip direction and tooth root direction and the moving direction of the mover 1.

실시 형태 1에 따른 리니어 서보 모터(10)는, 자석(12)으로부터 코어(11)로 들어가는 자속 및 코어(11)로부터 자석(12)으로 들어가는 자속의 방향이 가동 방향인 경우와 비교하면, 자석(12)으로부터 코어(11)를 경유하여 고정자(2)의 돌기(21)로 들어가는 자속과, 고정자(2)의 돌기(21)로부터 코어(11)를 경유하여 자석(12)으로 들어가는 자속이 증대된다. 이 때문에, 실시 형태 1에 따른 리니어 서보 모터(10)는, 릴럭턴스 토크를 늘려, 가동자(1)의 추력을 향상시킬 수 있다. In the linear servo motor 10 according to Embodiment 1, compared with the case where the magnetic flux entering the core 11 from the magnet 12 and the direction of the magnetic flux entering the magnet 12 from the core 11 are the movable directions, the magnet The magnetic flux entering the protrusion 21 of the stator 2 from (12) via the core 11 and the magnetic flux entering the magnet 12 from the protrusion 21 of the stator 2 via the core 11 It increases. For this reason, the linear servo motor 10 according to the first embodiment can increase the reluctance torque and improve the thrust of the mover 1.

또, 자석(12)이 가동 방향에 수직이고 또한 고정자(2)측의 방향이 되는 티스 선단 방향으로 자계를 발생시키는 경우는, 추력 향상을 위해서는, 티스(14)에 가동 방향의 치수가 큰 자석(12)을 배치할 필요가 있어, 티스(14)의 가동 방향의 치수가 커진다. 그러나, 티스(14)의 가동 방향의 치수가 커지면, 코일(13)의 설치 스페이스인 슬롯(16)이 좁아져, 추력 향상의 방해가 된다. 즉, 자석(12)이 티스 선단 방향으로 자계를 발생시키는 경우에는, 자석(12)으로부터 고정자(2)의 돌기로 들어가는 자속을 늘리면, 코일(13)이 발생시키는 자력이 약해져 버리기 때문에, 가동자(1)의 추력을 향상시키기 어렵다. 실시 형태 1에 따른 리니어 서보 모터(10)는 티스(14)에 배치하는 자석(12)의 가동 방향의 치수를 크게 할 필요가 없기 때문에, 슬롯(16)이 좁아지지 않는다. 따라서 실시 형태 1에 따른 리니어 서보 모터(10)는, 코일(13)의 권수를 줄이지 않고, 릴럭턴스(reluctance) 토크를 늘려, 가동자의 추력을 향상시킬 수 있다. In addition, when the magnet 12 generates a magnetic field in the direction of the tip of the tooth which is perpendicular to the movable direction and is the direction on the side of the stator 2, in order to improve the thrust, a magnet having a large dimension in the movable direction is applied to the tooth 14 It is necessary to arrange 12, and the size of the tooth 14 in the movable direction becomes large. However, if the size of the tooth 14 in the movable direction increases, the slot 16 serving as the installation space for the coil 13 narrows, hindering improvement in thrust. That is, when the magnet 12 generates a magnetic field in the direction of the tip of the tooth, if the magnetic flux entering the protrusion of the stator 2 from the magnet 12 is increased, the magnetic force generated by the coil 13 is weakened. It is difficult to improve the thrust of (1). In the linear servomotor 10 according to Embodiment 1, the size of the magnet 12 arranged on the tooth 14 in the movable direction does not need to be increased, so the slot 16 is not narrowed. Accordingly, the linear servo motor 10 according to the first embodiment can increase the reluctance torque and improve the thrust of the mover without reducing the number of turns of the coil 13 .

또, 실시 형태 1에 따른 가동자(1)는, 티스(14)의 선단측으로부터 자석(12)을 착자하는 경우에, 착자 자계(4)의 방향과 자석(12)의 자화 방향이 동일한 방향이 되기 쉽기 때문에, 착자 자계(4) 중 자화 방향 성분이 커져, 자석(12)을 용이하게 착자시킬 수 있다. Further, in the mover 1 according to Embodiment 1, when magnetizing the magnet 12 from the tip side of the tooth 14, the direction of the magnetizing field 4 and the magnetization direction of the magnet 12 are the same. Since this tends to happen, the magnetization direction component of the magnetizing field 4 becomes large, and the magnet 12 can be easily magnetized.

또한, 자석(12)으로부터 코어(11)의 돌출부(112)로 들어가는 자속이 가동자(1)의 가동 방향의 방향 성분과 티스 선단 방향의 방향 성분을 포함하고, 코어(11)의 돌출부(112)로부터 자석(12)으로 들어가는 자속이 가동자(1)의 가동 방향의 방향 성분과 티스 근원 방향의 방향 성분을 포함하고 있으면 되고, 자석(12) 내부의 자속은 곡선 모양이 아니어도 된다. In addition, the magnetic flux entering the protruding portion 112 of the core 11 from the magnet 12 includes a directional component in the movable direction of the mover 1 and a directional component in the direction of the tip of the tooth, and the protruding portion 112 of the core 11 ) into the magnet 12 as long as it includes a directional component in the movable direction of the mover 1 and a directional component in the root direction of the tooth, and the magnetic flux inside the magnet 12 does not have to be curved.

실시 형태 2.Embodiment 2.

도 7은 실시 형태 2에 따른 리니어 서보 모터의 가동자의 단면도이다. 도 7에는, 실시 형태 2에 따른 가동자(1)의 자석(12) 내부의 자속의 방향을 화살표로 나타내고 있다. 실시 형태 2에 따른 가동자(1)는, 코어 백(15)과 티스(14)에서 자석(12) 내부의 자속의 만곡(灣曲) 방향이 다르다. 티스 선단 방향 및 티스 근원 방향과 가동자(1)의 가동 방향이 이루는 평면을 포함하는 단면에 있어서, 티스(14)에서는, 자석(12) 내부의 자속은, 티스 선단 방향으로 볼록한 곡선 모양으로 되어 있다. 한편, 코어 백(15)에서는, 자석(12) 내부의 자속은, 티스 선단 방향 및 티스 근원 방향과 가동자(1)의 가동 방향이 이루는 평면을 포함하는 단면에 있어서, 티스 근원 방향으로 볼록한 곡선 모양으로 되어 있다. 7 is a cross-sectional view of the mover of the linear servo motor according to the second embodiment. 7, the direction of the magnetic flux inside the magnet 12 of the mover 1 according to the second embodiment is indicated by an arrow. In the mover 1 according to Embodiment 2, the bending direction of the magnetic flux inside the magnet 12 is different between the core back 15 and the teeth 14. In the cross section including the plane formed by the tooth tip direction, the tooth root direction, and the moving direction of the mover 1, in the tooth 14, the magnetic flux inside the magnet 12 is convex in the tooth tip direction. there is. On the other hand, in the core back 15, the magnetic flux inside the magnet 12 is a convex curve in the direction of the tooth root in the cross section including the plane formed by the tooth tip direction and tooth root direction and the movable direction of the mover 1 is in shape

도 8은 실시 형태 2에 따른 리니어 서보 모터의 가동자의 자석을 자화하는 방법을 나타내는 도면이다. 요크 코어(31) 및 착자 코일(32)을 구비한 착자 요크(3)에서, 티스(14)가 신장하는 방향에 있어서의 양방향으로부터 가동자(1)를 사이에 두고, 착자 코일(32)을 자석(12)에 정면으로 마주하게 한다. 그리고, 티스 선단 방향 및 티스 근원 방향과 가동자(1)의 가동 방향에 수직인 축을 중심으로 고리 모양으로 착자 자계(4)를 발생시키는 것에 의해, 자석(12) 내부의 자속을, 티스 선단 방향 및 티스 근원 방향과 가동자(1)의 가동 방향이 이루는 평면을 포함하는 단면에 있어서, 티스(14)에서의 자곡선(磁曲線)의 만곡의 방향과 코어 백(15)에서의 자곡선의 만곡의 방향을 역방향으로 할 수 있다. 8 is a diagram showing a method of magnetizing a magnet of a mover of a linear servomotor according to Embodiment 2; In the magnetizing yoke 3 provided with the yoke core 31 and the magnetizing coil 32, the magnetizing coil 32 is sandwiched by the mover 1 from both directions in the direction in which the teeth 14 extend. Face the magnet 12 face to face. And, by generating the magnetic field 4 in a ring shape around an axis perpendicular to the direction of the tip of the tooth, the direction of the root of the tooth, and the moving direction of the mover 1, the magnetic flux inside the magnet 12 is moved in the direction of the tip of the tooth And in the cross section including the plane formed by the tooth root direction and the movable direction of the mover 1, the direction of the curve of the magnetic curve in the tooth 14 and the magnetic curve in the core back 15 The direction of the curve can be reversed.

실시 형태 2에 따른 가동자(1)는, 티스(14)의 선단측으로부터 자석(12) 전체를 착자하는 경우와 비교하여, 코어 백(15)의 자석(12)이 착자되기 쉽다. 따라서, 자석(12)의 자력을 높여 가동자(1)의 추력을 향상시킬 수 있다. In the mover 1 according to Embodiment 2, the magnet 12 of the core back 15 is more likely to be magnetized than in the case where the entire magnet 12 is magnetized from the tip side of the teeth 14. Therefore, the thrust of the mover 1 can be improved by increasing the magnetic force of the magnet 12 .

실시 형태 3.Embodiment 3.

도 9는 실시 형태 3에 따른 리니어 서보 모터의 가동자의 단면도이다. 도 9에는, 실시 형태 3에 따른 가동자(1)의 자석(12) 내부의 자속의 방향을 화살표로 나타내고 있다. 도 9는 실시 형태 3에 따른 리니어 서보 모터의 가동자의 자석 내부의 자속의 방향을 나타내는 단면도이다. 실시 형태 3에 따른 가동자(1)는, 가동 방향으로 늘어놓여진 두 개의 자석편(12a, 12b)에 의해서 자석(12)이 구성되어 있다. 두 개의 자석편(12a, 12b) 각각의 내부의 자속은, 티스 선단 방향 및 티스 근원 방향과 가동자(1)의 가동 방향이 이루는 평면을 포함하는 단면에 있어서 직선 모양이다. 가동 방향으로 늘어놓여진 두 개의 자석편(12a, 12b)으로 이루어지는 자석(12) 전체에서는, 내부의 자속은, 티스 선단 방향 및 티스 근원 방향과 가동자(1)의 가동 방향이 이루는 평면을 포함하는 단면에 있어서, 티스 근원 방향으로 볼록한 굴곡선 모양이다. 9 is a cross-sectional view of the mover of the linear servomotor according to the third embodiment. 9, the direction of the magnetic flux inside the magnet 12 of the mover 1 according to the third embodiment is indicated by an arrow. Fig. 9 is a cross-sectional view showing the direction of magnetic flux inside the magnet of the mover of the linear servomotor according to Embodiment 3; In the mover 1 according to Embodiment 3, the magnet 12 is constituted by two magnet pieces 12a and 12b arranged in a movable direction. The magnetic flux inside each of the two magnet pieces 12a and 12b has a straight line shape in a cross section including a plane formed by the direction of the tip of the tooth, the direction of the tooth root, and the movable direction of the mover 1. In the entire magnet 12 composed of the two magnet pieces 12a and 12b arranged in the movable direction, the internal magnetic flux includes the plane formed by the direction of the tooth tip and the direction of the tooth root and the movable direction of the mover 1 In cross section, it has the shape of a curved line convex in the direction of the root of the tooth.

자석(12)의 재료에 이용되는 강자성체는, 자기 이방성을 가지고, 자화되기 쉬운 방향과 자화되기 어려운 방향이 존재한다. 실시 형태 3에 따른 자석(12)은, 자석편(12a, 12b)의 내부에서는 자속이 만곡되어 있지 않기 때문에, 두 개의 자석편(12a, 12b) 각각을, 자화되기 쉬운 방향으로 착자함으로써, 자석(12) 전체에서는 내부의 자속을 굴곡선 모양으로 할 수 있다. The ferromagnetic material used for the material of the magnet 12 has magnetic anisotropy, and there are directions in which it is easily magnetized and directions in which it is difficult to magnetize. In the magnet 12 according to Embodiment 3, since the magnetic flux is not curved inside the magnet pieces 12a and 12b, the two magnet pieces 12a and 12b are magnetized in a direction in which they are easily magnetized. (12) As a whole, the internal magnetic flux can be made into a curved line shape.

도 10은 실시 형태 3에 따른 리니어 서보 모터의 가동자의 변형예를 나타내는 도면이다. 도 10에는, 실시 형태 3의 변형예에 따른 가동자(1)의 자석(12) 내부의 자속의 방향을 화살표로 나타내고 있다. 실시 형태 3의 변형예에 따른 가동자(1)에서는, 자석(12)은 티스 선단 방향 및 티스 근원 방향과 가동자(1)의 가동 방향 각각에 두 개씩 늘어놓여진, 합 네 개의 자석편(12a, 12b, 12c, 12d)으로 구성되어 있다. 코어 백(15)에서는, 자석(12) 내부의 자속은, 티스 선단 방향 및 티스 근원 방향과 가동자(1)의 가동 방향이 이루는 평면을 포함하는 단면에 있어서, 티스 선단 방향으로 볼록한 굴곡선 모양이다. 티스(14)에서는, 자석(12) 내부의 자속은, 티스 선단 방향 및 티스 근원 방향과 가동자(1)의 가동 방향이 이루는 평면을 포함하는 단면에 있어서, 티스 근원 방향으로 볼록한 굴곡선 모양이다. 10 is a diagram showing a modified example of the mover of the linear servomotor according to the third embodiment. In Fig. 10, the direction of the magnetic flux inside the magnet 12 of the mover 1 according to the modified example of the third embodiment is indicated by an arrow. In the mover 1 according to the modified example of Embodiment 3, the magnets 12 are four magnet pieces 12a in which two magnets 12 are arranged in two directions, respectively, in the direction of the tip of the tooth, the direction of the tooth root, and the movement direction of the mover 1. , 12b, 12c, 12d). In the core back 15, the magnetic flux inside the magnet 12 has a shape of a curved line convex in the direction of the tooth tip in a cross section including a plane formed by the direction of the tip of the tooth, the direction of the root of the tooth, and the movable direction of the mover 1. am. In the tooth 14, the magnetic flux inside the magnet 12 has a shape of a curved line convex in the direction of the tooth root in a cross section including a plane formed by the direction of the tip of the tooth and the direction of the tooth root and the movable direction of the mover 1. .

자석(12)이 복수의 자석편으로 나누어져 있지 않은 경우에는, 자석(12) 내부에서 자속을 구부리도록 하면, 자화되기 어려운 방향으로 착자되는 부분이 존재해 버리기 때문에, 자석(12)의 자력을 높이는 것이 어려워진다. 실시 형태 3에 따른 가동자(1)는, 자화되기 쉬운 방향을 따라서 자화된 복수의 자석편(12a, 12b, 12c, 12d)이 늘어서는 것에 의해 자석(12) 내부에서 자속의 방향이 구부러지기 때문에, 자석(12)의 자력을 강하게 할 수 있다. 따라서, 실시 형태 3에 따른 가동자(1)는, 자석(12)이 복수의 자석편으로 나누어져 있지 않은 구조와 비교하여, 추력을 향상시킬 수 있다. If the magnet 12 is not divided into a plurality of magnet pieces, if the magnetic flux is bent inside the magnet 12, there will be a portion that is magnetized in a direction that is difficult to magnetize, so the magnetic force of the magnet 12 is reduced. Elevation becomes difficult. In the mover 1 according to Embodiment 3, a plurality of magnetized magnet pieces 12a, 12b, 12c, and 12d are lined up along the easily magnetized direction, so that the direction of magnetic flux is bent inside the magnet 12. Therefore, the magnetic force of the magnet 12 can be strengthened. Therefore, the mover 1 according to Embodiment 3 can improve thrust compared to a structure in which the magnet 12 is not divided into a plurality of magnet pieces.

실시 형태 4.Embodiment 4.

도 11은 실시 형태 4에 따른 리니어 서보 모터의 가동자의 단면도이다. 실시 형태 4에 따른 가동자(1)는, 티스(14) 중, 끝에서 두 개째의 티스(14)만 자석(12)의 두께가 다르다. 구체적으로는, 끝에서 두 개째의 티스(14)의 자석(12)의 두께 L2는, 다른 티스(14)의 자석(12)의 두께 L1 보다도 얇게 되어 있다. 이 외는, 실시 형태 1에 따른 가동자(1)와 마찬가지이다. 11 is a cross-sectional view of the mover of the linear servo motor according to the fourth embodiment. In the mover 1 according to Embodiment 4, among the teeth 14, only the penultimate teeth 14 have different thicknesses of the magnets 12. Specifically, the thickness L2 of the magnet 12 of the penultimate tooth 14 is smaller than the thickness L1 of the magnet 12 of the other tooth 14. Other than that, it is the same as the mover 1 according to the first embodiment.

가동자(1)의 이동에 의해, 고정자(2)의 돌기(21)와 자석(12)과의 위치 관계는, 주기적으로 변화한다. 고정자(2)의 돌기(21)와 자석(12)과의 위치 관계의 주기적인 변화에 따라, 자석(12)이 고정자(2)의 돌기(21)를 흡인하는 힘도 주기적으로 변화하여, 흡인력이 극대가 되는 개소를 자석(12)이 통과할 때에는 가동자(1)의 이동을 방해하는 저항력이 된다. 이 현상은, 일반적으로는 코깅(cogging)이라고 칭해지고 있다. 가동자(1)의 가동 방향의 끝의 티스(14)는, 가동 방향에 있어서의 편측에서만 다른 티스(14)와 인접하기 때문에, 코깅의 영향을 받기 쉽다. 실시 형태 4에 따른 가동자(1)는, 가동자(1)의 가동 방향의 끝에서 두 개째의 티스(14)의 자석(12)이 다른 티스(14)의 자석(12)보다도 얇게 되어 있기 때문에, 끝에서 두 개째의 티스(14)의 자석(12)이 발생시키는 자속은, 다른 티스(14)의 자석(12)이 발생시키는 자속보다도 약하다. 이 때문에, 실시 형태 4에 따른 가동자(1)의 가동 방향의 끝의 티스(14)는, 코깅의 영향을 받기 어렵게 되어 있다. 따라서, 실시 형태 4에 따른 가동자(1)는, 코깅을 저감하여, 에너지 절약을 도모할 수 있다. As the mover 1 moves, the positional relationship between the protrusion 21 of the stator 2 and the magnet 12 changes periodically. According to periodic changes in the positional relationship between the protrusions 21 of the stator 2 and the magnets 12, the force with which the magnet 12 attracts the protrusions 21 of the stator 2 also periodically changes, resulting in an attractive force. When the magnet 12 passes through this maximum location, it becomes a resistance that hinders the movement of the mover 1. This phenomenon is generally referred to as cogging. Since the tooth 14 at the end of the mover 1 in the movable direction is adjacent to the other tooth 14 only on one side in the movable direction, it is easily affected by cogging. In the mover 1 according to Embodiment 4, the magnet 12 of the second tooth 14 from the end in the movable direction of the mover 1 is thinner than the magnets 12 of the other teeth 14. Therefore, the magnetic flux generated by the magnet 12 of the second tooth 14 is weaker than the magnetic flux generated by the magnet 12 of the other tooth 14. For this reason, the teeth 14 at the ends of the mover 1 according to the fourth embodiment in the movable direction are less susceptible to cogging. Therefore, the mover 1 according to Embodiment 4 can reduce cogging and save energy.

실시 형태 5.Embodiment 5.

도 12는 실시 형태 5에 따른 리니어 서보 모터의 가동자의 단면도이다. 도 12에는, 실시 형태 5에 따른 가동자(1)의 자석(12) 내부의 자속의 방향을 화살표로 나타내고 있다. 또, 도 12에는, 방향성 전자 강판의 자화 용이 방향을 하얀 화살표로 나타내고 있다. 실시 형태 5에 따른 가동자(1)는, 코어(11)가 방향성 전자 강판으로 구성되어 있다. 코어(11)는 자석(12)에 접촉하는 자석 접촉부(11a)와, 코어(11)끼리를 연결하는 코어 연결부(11b)를 구비한다. 코어(11) 중 자석 접촉부(11a)에 있어서의 방향성 전자 강판의 자화 용이 방향은, 티스 선단 방향 및 티스 근원 방향이다. 12 is a sectional view of the mover of the linear servomotor according to the fifth embodiment. 12, the direction of the magnetic flux inside the magnet 12 of the mover 1 according to the fifth embodiment is indicated by an arrow. In Fig. 12, the direction of easy magnetization of the grain-oriented electrical steel sheet is indicated by a white arrow. In the mover 1 according to Embodiment 5, the core 11 is made of a grain-oriented electrical steel sheet. The core 11 includes a magnet contact portion 11a that contacts the magnet 12 and a core connection portion 11b that connects the cores 11 to each other. The direction of easy magnetization of the grain-oriented electrical steel sheet in the magnet contact portion 11a of the core 11 is the tooth tip direction and the tooth root direction.

자석 접촉부(11a)에서는, 티스 선단 방향 및 티스 근원 방향으로 방향성 전자 강판의 자화가 용이하기 때문에, 자석(12)으로부터 코어(11)로 들어가는 자속은, 티스(14)의 선단측에 전해지기 쉬워진다. 따라서, 코어(11)에 자화 용이 방향이 없는 경우와 비교하면, 고정자(2)의 돌기(21)로 들어가는 자속이 증대하기 때문에, 가동자(1)의 추력이 향상한다. 마찬가지로, 코일(13)이 발생시키는 자속도 고정자(2)의 돌기(21)로 들어가기 쉬워지기 때문에, 가동자(1)의 추력이 향상된다. In the magnet contact portion 11a, since the magnetization of the grain-oriented electrical steel sheet is easy in the direction of the tip of the tooth and the direction of the root of the tooth, the magnetic flux entering the core 11 from the magnet 12 is easily transmitted to the tip side of the tooth 14 lose Therefore, compared to the case where the core 11 has no easy magnetization direction, since the magnetic flux entering the protrusion 21 of the stator 2 increases, the thrust of the mover 1 improves. Similarly, since the magnetic flux generated by the coil 13 tends to enter the protrusion 21 of the stator 2, the thrust of the mover 1 is improved.

또, 자석(12)을 착자할 때에도, 착자 코일(32)이 발생시키는 자속이 자석(12)을 통과하기 쉽기 때문에, 자석(12)을 용이하게 착자할 수 있다. Also, when magnetizing the magnet 12, since the magnetic flux generated by the magnetizing coil 32 easily passes through the magnet 12, the magnet 12 can be easily magnetized.

실시 형태 5에 따른 가동자(1)는, 자석(12)이 발생시키는 자속 및 코일(13)이 발생시키는 자속 모두가 고정자(2)의 돌기(21)로 들어가기 쉽기 때문에, 추력을 향상시킬 수 있다. In the mover 1 according to Embodiment 5, since both the magnetic flux generated by the magnet 12 and the magnetic flux generated by the coil 13 tend to enter the protrusion 21 of the stator 2, the thrust can be improved. there is.

도 13은 실시 형태 5의 변형예에 따른 리니어 서보 모터의 가동자의 단면도이다. 도 13에는 실시 형태 5의 변형예에 따른 가동자(1)의 자석(12) 내부의 자속의 방향을 화살표로 나타내고 있다. 또, 도 13에는, 방향성 전자 강판의 자화 용이 방향을 하얀 화살표로 나타내고 있다. 실시 형태 5의 변형예에 따른 가동자(1)에서는, 코어(11) 중, 코어 연결부(11b)의 자화 용이 방향은, 가동자(1)의 가동 방향으로 되어 있다. 코어 연결부(11b)의 자화 용이 방향이 가동자(1)의 가동 방향이기 때문에, 코일(13)로의 통전시에 발생하는 자속이 코어 연결부(11b)를 통과하기 쉬워진다. 코일(13)로의 통전시에 발생하는 자속이 코어 연결부(11b)를 통과하기 쉬운 것에 의해, 코일(13)이 발생시키는 자속이 고정자(2)의 돌기(21)로 들어가기 쉬워지기 때문에, 가동자(1)의 추력을 향상시킬 수 있다. 13 is a cross-sectional view of a mover of a linear servo motor according to a modified example of the fifth embodiment. In FIG. 13, the direction of the magnetic flux inside the magnet 12 of the mover 1 according to the modified example of the fifth embodiment is indicated by an arrow. In Fig. 13, the direction of easy magnetization of the grain-oriented electrical steel sheet is indicated by white arrows. In the mover 1 according to the modified example of Embodiment 5, among the cores 11, the direction of easy magnetization of the core connecting portion 11b is the movable direction of the mover 1. Since the direction of easy magnetization of the core connecting portion 11b is the moving direction of the mover 1, magnetic flux generated when the coil 13 is energized easily passes through the core connecting portion 11b. Since the magnetic flux generated when the coil 13 is energized easily passes through the core connecting portion 11b, the magnetic flux generated by the coil 13 easily enters the protrusion 21 of the stator 2, so that the mover The thrust of (1) can be improved.

실시 형태 6.Embodiment 6.

도 14는 실시 형태 6에 따른 리니어 서보 모터의 가동자의 단면도이다. 도 14에는, 실시 형태 6에 따른 가동자(1)의 자석(12) 내부의 자속의 방향을 화살표로 나타내고 있다. 실시 형태 6에 따른 가동자(1)는, 가동 방향에 있어서의 자석(12)의 치수가, 티스(14)의 선단측에서는 짧게 되어 있다. 코어(11)와 자석(12)과의 계면은, 가동 방향에 대해서 비스듬하게 기울어 있다. 이 때문에, 코어(11)와 자석(12)과의 계면의 면적은, 코어(11)와 자석(12)과의 계면이 가동 방향에 대해서 수직인 경우보다도 넓게 되어 있다. 따라서, 코어(11)와 자석(12)과의 계면이 가동 방향에 대해서 수직인 경우와 비교하면, 자석(12)으로부터 코어(11)로 들어가는 자속이 많아져, 가동자(1)의 추력이 향상된다. 14 is a cross-sectional view of the mover of the linear servomotor according to the sixth embodiment. 14, the direction of the magnetic flux inside the magnet 12 of the mover 1 according to the sixth embodiment is indicated by an arrow. In the mover 1 according to Embodiment 6, the dimension of the magnet 12 in the movable direction is shortened on the front end side of the teeth 14. The interface between the core 11 and the magnet 12 is inclined obliquely with respect to the movable direction. For this reason, the area of the interface between the core 11 and the magnet 12 is wider than when the interface between the core 11 and the magnet 12 is perpendicular to the moving direction. Therefore, compared to the case where the interface between the core 11 and the magnet 12 is perpendicular to the direction of movement, the magnetic flux entering the core 11 from the magnet 12 increases, and the thrust of the mover 1 increases. It improves.

또, 티스(14)는 선단부에 있어서 가동 방향에 있어서의 자석(12)의 치수가 짧게 되어 있는 분만큼, 코어(11)의 치수는 길게 되어 있고, 티스(14)에 있어서의 코어(11)의 체적은, 코어(11)와 자석(12)과의 계면이 수직인 경우와 비교하여 크게 되어 있다. 이 때문에, 코어(11)가 자기 포화하기 어려워져 있어, 자석(12) 또는 코일(13)로부터 코어(11)를 통해서 고정자(2)의 돌기(21)로 들어가는 자속을 늘릴 수 있어, 가동자(1)의 추력을 향상시킬 수 있다.In addition, the tooth 14 has a longer dimension of the core 11 corresponding to the shorter dimension of the magnet 12 in the movable direction at the distal end, so that the core 11 in the tooth 14 The volume of is larger than when the interface between the core 11 and the magnet 12 is perpendicular. For this reason, it is difficult for the core 11 to magnetically saturate, and the magnetic flux entering the protrusion 21 of the stator 2 from the magnet 12 or coil 13 through the core 11 can be increased. The thrust of (1) can be improved.

또, 자석(12)은 티스(14)의 선단측이 가는 테이퍼 형상으로 되어 있기 때문에, 고정자(2)의 돌기(21)에 흡인되어도, 코어(11)로부터 빠지기 어렵다. 따라서, 가동자(1)의 강도 및 내구성을 높일 수 있다. In addition, since the magnet 12 has a tapered shape at the front end of the tooth 14, it is difficult to come out of the core 11 even if it is attracted to the protrusion 21 of the stator 2. Therefore, the strength and durability of the mover 1 can be increased.

이상의 실시 형태에 나타낸 구성은, 내용의 일례를 나타내는 것이며, 다른 공지의 기술과 조합하는 것도 가능하고, 요지를 일탈하지 않는 범위에서, 구성의 일부를 생략, 변경하는 것도 가능하다. The structure shown in the above embodiment shows an example of content, and it is also possible to combine with other well-known techniques, and it is also possible to omit or change a part of a structure within the range which does not deviate from the gist.

1: 가동자 2: 고정자
3: 착자 요크 4: 착자 자계
10: 리니어 서보 모터 11: 코어
11a: 자석 접촉부 11b: 코어 연결부
12: 자석 12a, 12b, 12c, 12d: 자석편
13: 코일 14: 티스
15: 코어 백 16: 슬롯
21: 돌기 31: 요크 코어
32: 착자 코일 40: 가동자 코어
111: 베이스부 112: 돌출부1: mover 2: stator
3: magnetizing yoke 4: magnetizing magnetic field
10: linear servo motor 11: core
11a: magnet contact portion 11b: core connection portion
12: magnet 12a, 12b, 12c, 12d: magnet piece
13: Coil 14: Teeth
15: core back 16: slot
21: protrusion 31: yoke core
32: magnetizing coil 40: movable core
111: base part 112: protrusion part

Claims (14)

가동 방향으로 분할된 코어와, 상기 코어의 사이에 끼워진 자석에 의해서 형성되고, 상기 가동 방향으로 신장되는 코어 백으로부터 복수의 티스가 돌출되는 형상의 가동자 코어와, 상기 티스 각각에 감겨진 코일을 가지고,
상기 자석으로부터 상기 코어로 들어가는 자속은, 상기 가동 방향의 방향 성분과, 상기 코어 백으로부터 상기 티스로 향하는 방향인 티스 선단 방향의 방향 성분을 포함하고 있고, 또한 상기 코어로부터 상기 자석으로 들어가는 자속은, 상기 가동 방향의 방향 성분과, 상기 티스로부터 상기 코어 백으로 향하는 방향인 티스 근원 방향의 방향 성분을 포함하고 있고,
상기 자석 중, 적어도 상기 티스의 부분에서는,
상기 자석 중 상기 코어로 향해서 자속이 나오는 부분은, 상기 가동 방향의 방향 성분과, 상기 티스 선단 방향의 방향 성분을 포함하는 방향으로 자화되어 있고,
상기 코어로부터 자속이 들어가는 부분은, 상기 가동 방향의 방향 성분과 상기 티스 근원 방향의 방향 성분을 포함하는 방향으로 자화되어 있고,
상기 자석 중 상기 코어 백의 부분에서는,
상기 자석 중 상기 코어로 향해서 자속이 나오는 부분은, 상기 가동 방향의 방향 성분과 상기 티스 근원 방향의 방향 성분을 포함하는 방향으로 자화되어 있고,
상기 자석 중 상기 코어로부터 자속이 들어가는 부분은, 상기 가동 방향의 방향 성분과 상기 티스 선단 방향의 방향 성분을 포함하는 방향으로 자화되어 있는 것을 특징으로 하는 가동자.A mover core formed by a core divided in the movable direction and a magnet sandwiched between the cores and having a shape in which a plurality of teeth protrude from a core bag extending in the movable direction, and a coil wound around each of the teeth have,
The magnetic flux entering the core from the magnet includes a directional component in the movable direction and a directional component in the direction of the tip of the tooth, which is a direction from the core back to the tooth, and the magnetic flux entering the magnet from the core, It includes a directional component in the movable direction and a directional component in a direction from the tooth root, which is a direction from the tooth to the core back,
Among the magnets, at least in the portion of the teeth,
A portion of the magnet from which magnetic flux comes out toward the core is magnetized in a direction including a directional component in the movable direction and a directional component in the direction of the tip of the tooth;
The part where the magnetic flux enters from the core is magnetized in a direction including a directional component in the movable direction and a directional component in the root direction of the tooth,
In the part of the core bag of the magnet,
A portion of the magnet from which magnetic flux comes out toward the core is magnetized in a direction including a directional component in the movable direction and a directional component in the root direction of the tooth;
A part of the magnet into which magnetic flux enters from the core is magnetized in a direction including a directional component in the movable direction and a directional component in a direction toward the tip of the tooth. 청구항 1에 있어서,
상기 자석은 자화 용이한 방향을 가지는 복수의 자석편으로 나누어져 있는 것을 특징으로 하는 가동자.The method of claim 1,
The mover characterized in that the magnet is divided into a plurality of magnet pieces having easy magnetization directions. 청구항 1에 있어서,
복수의 상기 티스 중, 끝에서 두 개째인 상기 티스에 배치되는 상기 자석은, 끝에서 두 개째 이외의 상기 티스에 배치되는 상기 자석보다도, 상기 가동 방향의 치수가 작은 것을 특징으로 하는 가동자.The method of claim 1,
The mover according to claim 1, wherein the magnet disposed on the second-to-last tooth among the plurality of teeth has a smaller dimension in the movable direction than the magnets disposed on the teeth other than the second-to-last tooth. 청구항 2에 있어서,
복수의 상기 티스 중, 끝에서 두 개째인 상기 티스에 배치되는 상기 자석은, 끝에서 두 개째 이외의 상기 티스에 배치되는 상기 자석보다도, 상기 가동 방향의 치수가 작은 것을 특징으로 하는 가동자.The method of claim 2,
The mover according to claim 1, wherein the magnet disposed on the second-to-last tooth among the plurality of teeth has a smaller dimension in the movable direction than the magnets disposed on the teeth other than the second-to-last tooth. 청구항 1에 있어서,
상기 코어는 자화 용이한 방향을 가지는 방향성 전자 강판으로 구성되어 있고,
상기 티스의 부분의 상기 방향성 전자 강판의 자화 용이한 방향은, 상기 티스 선단 방향 및 상기 티스 근원 방향인 것을 특징으로 하는 가동자.The method of claim 1,
The core is composed of a grain-oriented electrical steel sheet having an easy magnetization direction,
The mover according to claim 1, wherein directions in which the grain-oriented electrical steel sheet of the tooth part is easily magnetized are a direction toward the tip of the tooth and a direction toward the root of the tooth. 청구항 2에 있어서,
상기 코어는 자화 용이한 방향을 가지는 방향성 전자 강판으로 구성되어 있고,
상기 티스의 부분의 상기 방향성 전자 강판의 자화 용이한 방향은, 상기 티스 선단 방향 및 상기 티스 근원 방향인 것을 특징으로 하는 가동자.The method of claim 2,
The core is composed of a grain-oriented electrical steel sheet having an easy magnetization direction,
The mover according to claim 1, wherein directions in which the grain-oriented electrical steel sheet of the tooth part is easily magnetized are a direction toward the tip of the tooth and a direction toward the root of the tooth. 청구항 3에 있어서,
상기 코어는 자화 용이한 방향을 가지는 방향성 전자 강판으로 구성되어 있고,
상기 티스의 부분의 상기 방향성 전자 강판의 자화 용이한 방향은, 상기 티스 선단 방향 및 상기 티스 근원 방향인 것을 특징으로 하는 가동자.The method of claim 3,
The core is composed of a grain-oriented electrical steel sheet having an easy magnetization direction,
The mover according to claim 1, wherein directions in which the grain-oriented electrical steel sheet of the tooth part is easily magnetized are a direction toward the tip of the tooth and a direction toward the root of the tooth. 청구항 4에 있어서,
상기 코어는 자화 용이한 방향을 가지는 방향성 전자 강판으로 구성되어 있고,
상기 티스의 부분의 상기 방향성 전자 강판의 자화 용이한 방향은, 상기 티스 선단 방향 및 상기 티스 근원 방향인 것을 특징으로 하는 가동자.The method of claim 4,
The core is composed of a grain-oriented electrical steel sheet having an easy magnetization direction,
The mover according to claim 1, wherein directions in which the grain-oriented electrical steel sheet of the tooth part is easily magnetized are a direction toward the tip of the tooth and a direction toward the root of the tooth. 청구항 5에 있어서,
상기 코어는 상기 코어 백의 부분에서는, 상기 방향성 전자 강판의 자화 용이한 방향이 상기 가동 방향인 것을 특징으로 하는 가동자.The method of claim 5,
The mover according to claim 1, wherein the direction in which magnetization of the grain-oriented electrical steel sheet is easy is the movable direction in the part of the core back. 청구항 6에 있어서,
상기 코어는 상기 코어 백의 부분에서는, 상기 방향성 전자 강판의 자화 용이한 방향이 상기 가동 방향인 것을 특징으로 하는 가동자.The method of claim 6,
The mover according to claim 1, wherein the direction in which magnetization of the grain-oriented electrical steel sheet is easy is the movable direction in the part of the core back. 청구항 7에 있어서,
상기 코어는 상기 코어 백의 부분에서는, 상기 방향성 전자 강판의 자화 용이한 방향이 상기 가동 방향인 것을 특징으로 하는 가동자.The method of claim 7,
The mover according to claim 1, wherein the direction in which magnetization of the grain-oriented electrical steel sheet is easy is the movable direction in the part of the core back. 청구항 8에 있어서,
상기 코어는 상기 코어 백의 부분에서는, 상기 방향성 전자 강판의 자화 용이한 방향이 상기 가동 방향인 것을 특징으로 하는 가동자.The method of claim 8,
The mover according to claim 1, wherein the direction in which magnetization of the grain-oriented electrical steel sheet is easy is the movable direction in the part of the core back. 청구항 1 내지 청구항 12 중 어느 한 항에 있어서,
상기 자석은 상기 티스의 선단부에서의 상기 가동 방향의 치수가 작은 테이퍼 형상인 것을 특징으로 하는 가동자.According to any one of claims 1 to 12,
The mover according to claim 1, wherein the magnet has a tapered shape having a small dimension in the movable direction at the distal end of the tooth. 복수의 돌기가 배열된 막대 모양의 고정자와,
상기 가동 방향이 상기 돌기의 배열 방향과 동일한 방향이 되도록 상기 고정자에 대향하게 배치된 청구항 1 내지 청구항 12 중 어느 한 항에 기재된 가동자를 가지는 것을 특징으로 하는 리니어 서보 모터.A rod-shaped stator in which a plurality of protrusions are arranged;
A linear servomotor comprising the mover according to any one of claims 1 to 12 disposed opposite to the stator so that the move direction is the same as the arrangement direction of the protrusions.
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