KR102511918B1 - 이동의 편리성과 가공정밀도가 높은 쿼츠링 래핑용 래핑장치 - Google Patents

이동의 편리성과 가공정밀도가 높은 쿼츠링 래핑용 래핑장치 Download PDF

Info

Publication number
KR102511918B1
KR102511918B1 KR1020210076615A KR20210076615A KR102511918B1 KR 102511918 B1 KR102511918 B1 KR 102511918B1 KR 1020210076615 A KR1020210076615 A KR 1020210076615A KR 20210076615 A KR20210076615 A KR 20210076615A KR 102511918 B1 KR102511918 B1 KR 102511918B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
lapping
turntable
quartz ring
wrapping
plate
Prior art date
Application number
KR1020210076615A
Other languages
English (en)
Other versions
KR20220167529A (ko
Inventor
박기식
Original Assignee
주식회사 세미스타
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 주식회사 세미스타 filed Critical 주식회사 세미스타
Priority to KR1020210076615A priority Critical patent/KR102511918B1/ko
Publication of KR20220167529A publication Critical patent/KR20220167529A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR102511918B1 publication Critical patent/KR102511918B1/ko

Links

Images

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B24—GRINDING; POLISHING
    • B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
    • B24B37/00—Lapping machines or devices; Accessories
    • B24B37/04—Lapping machines or devices; Accessories designed for working plane surfaces
    • B24B37/07—Lapping machines or devices; Accessories designed for working plane surfaces characterised by the movement of the work or lapping tool
    • B24B37/10—Lapping machines or devices; Accessories designed for working plane surfaces characterised by the movement of the work or lapping tool for single side lapping
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B24—GRINDING; POLISHING
    • B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
    • B24B37/00—Lapping machines or devices; Accessories
    • B24B37/11—Lapping tools
    • B24B37/12—Lapping plates for working plane surfaces
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B24—GRINDING; POLISHING
    • B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
    • B24B37/00—Lapping machines or devices; Accessories
    • B24B37/34—Accessories
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B24—GRINDING; POLISHING
    • B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
    • B24B41/00—Component parts such as frames, beds, carriages, headstocks
    • B24B41/06—Work supports, e.g. adjustable steadies
    • B24B41/061—Work supports, e.g. adjustable steadies axially supporting turning workpieces, e.g. magnetically, pneumatically

Abstract

본 발명은 이동의 편리성과 가공정밀도가 높은 쿼츠링 래핑용 래핑장치에 관한 것으로, 더욱 자세하게는 턴테이블구동모터(130)에 의해 회전하도록 구성되는 턴테이블(140)의 상부에 쿼츠링을 고정하기 위한 진공흡착이 가능한 홀더(150)를 구성하고, 승하강부(200)에 의해 승하강되며 상기 쿼츠링의 표면과 맞닿도록 하여 표면을 래핑하는 래핑부로 구성되는 쿼츠링 래핑용 래핑장치를 구성함으로써, 경량화시킨 장치임에 따라 설치위치에 대한 제약이 없고 초기 제작비용이 절감되고, 쿼츠링에 전용으로 사용됨에 따라 원가를 낮출 수 있음은 물론, 무엇보다 쿼츠링이 래핑시 발생하는 진동을 완화시키고 진공흡착을 통해 견고한 고정력을 가져 정밀가공을 통해 최종적으로 완성되는 쿼츠링의 제품 품질을 향상시킬 수가 있어 고객 신뢰도를 높일 수 있는 유용한 발명이다.

Description

이동의 편리성과 가공정밀도가 높은 쿼츠링 래핑용 래핑장치{Lapping device for quartz ring wrapping with high movement convenience and high processing precision}
본 발명은 이동의 편리성과 가공정밀도가 높은 쿼츠링 래핑용 래핑장치에 관한 것으로, 더욱 자세하게는 래핑장치를 사용에 따라 다양한 위치로 이동가능하게 구성시킴은 물론, 쿼츠링 래핑에 적합한 홀더 및 장치를 경량화시켜서 설치 위치에 대한 제약 및 초기 제작비용을 줄이는 한편, 쿼츠링을 래핑 시 진동완화를 통해 가공정밀도를 높여 품질을 향상시킬 수 있도록 하는 기술에 관한 것이다.
통상적으로 쿼츠링은 반도체 제공정 중 플라즈마 에칭공정에 주로 사용되며, 에칭장비에서 플라즈마 밀폐의 역할을 주로 수행하는 공정의 핵심부품으로, 에칭공정의 특성상 해당 고정에 적용되는 부품의 품질은 반도체 생산 수율에 영향을 끼치기 때문에 높은 치수정밀도와 표면 조도의 수준을 요구한다.
여기서, 반도체 공정 중 최종단계인 래핑공정은 구면 또는 원통의 형상가공된 제품의 표면을 더욱 정밀하게 가공하는 공정으로, 제품의 표면정밀도와 치수정밀도를 원하는 수준으로 완성하기 위한 공정이다.
한편, 래핑공정에 사용되는 장비는 대체적으로 가공품(쿼츠링 등)을 고정하기 위한 홀더, 가공을 수행하는 모터, 모터와 연결되어 실질적으로 가공품(쿼츠링 등)을 래핑하는 래핑판, 상기 모터를 제어하는 컨트롤러로 구성된다.
이러한 종래의 장비를 사용하여 쿼츠링을 래핑할 경우 표면에서의 균열과 불순물 등의 미세결함들이 발생하기 마련이고, 이는 플라즈마 내저항성에 크게 영향을 끼치게 되는 문제점을 갖고 있어, 플라즈마 공정상에서 품질저하의 원인으로 작용하게 된다.
또한, 반도체 공정장비에 사용되는 쿼츠링을 가공 시, 래핑공정은 수요처로 공급하기 위한 가공이 마지막 단계이다 보니 래핑 공정에서의 불량은 소재의 폐기 비용뿐만 아니라 전단계에서의 형상가공비용까지 고스란히 Loss로 부담되고 있는 실정이다.
우선 종래의 기술들을 살펴보면,
등록번호 10-1148147호(특) 기판을 폴리싱하는 장치에 있어서, 폴리싱면을 구비한 폴리싱테이블; 상기 폴리싱면에 대하여 기판을 홀딩하여 가압하도록 구성된 톱링본체; 상기 톱링본체의 외주부에 제공되어, 상기 폴리싱면을 가압하도록 구성된 리테이너링; 및 상기 톱링본체에 고정되고, 상기 리테이너링의 링부재와 슬라이딩접촉하여 상기 링부재의 이동을 안내하도록 구성된 리테이너링가이드를 포함하여 이루어지되, 상기 링부재와 상기 리테이너링가이드가 서로 슬라이딩접촉하게 되는 슬라이딩접촉면 가운데 어느 하나가 저마찰재료(low friction material)로 이루어지며, 상기 링부재에는 금속링이 장착되고, 상기 금속링의 외주면에 상기 저마찰재료가 제공되는 폴리싱장치에 관한 기술이다.
상기한 종래 기술은 쿼츠링에 특화된 장비가 아닌 일반적으로 공통적으로 사용되는 반도체 부품들을 연막하기 위한 장치로써, 쿼츠링을 랩핑할 시 기계장치의 복잡한 조작이 수반될 수밖에 없는 문제점을 갖고 있고, 정밀한 가공이 불가하고 대체적으로 공통적으로 사용되는 장비로, 고가에 달하는 영세업자에게는 많은 비용이 지출될 수밖에 없는 부담으로 작용할 수밖에 없다.
즉, 공통적인 범용장비를 사용할 시, 제품의 형상에 장비를 맞추는 것이 아니라, 장비에 제품을 맞추게 되므로, 쿼츠링의 사이즈 및 두께 등 가공품에 따라 품질의 편차를 보일 수밖에 없고, 비효율적인 공간으로 인해 래핑판의 마모로 인한 교체 비용의 증가, 장비 사용의 비효율성이 증가하여 쿼츠링의 원가 상승의 요인이 될 수밖에 없다.
따라서 본 발명의 목적은 작업자들이 사용상의 편리성을 부여할 수 있도록 래핑장치를 전체적으로 이동식으로 구성할 수 있도록 하고, 쿼츠링의 품질과 생산성을 개선하기 위해서 쿼츠링의 구조에 적합한 전용 래핑장치를 개발하여 가공비용, 소모품의 사용을 줄이고, 불량률을 개선하여 생산성을 극대화할 수 있도록 하는 한편, 유압방식이 아닌 공압박식을 사용하여 관리 비용을 절감하며, 1개당 5분의 최적 가공시간 반영으로 기존 대비 200% 생산속도를 높여 수 있도록 하는 이동의 편리성과 가공정밀도가 높은 쿼츠링 래핑용 래핑장치를 제공함에 주안점을 두고 그 기술적 과제로 완성해낸 것이다.
상기 목적을 달성하기 위한 기술적 사상으로서, 가공품을 래핑하기 위한 래핑장치에 있어서, 지면에 설치 구성되되, 하부에 바퀴가 구성되는 몸체부(110)와, 상기 몸체(110)의 내부에 외부전력으로부터 전원을 공급받아 작동하는 컨트롤러(120)와, 상기 몸체(110)의 내부에 구성되되 상기 컨트롤러(120)의 제어에 따라 수직 회전하는 턴테이블구동모터(130)와, 상기 몸체(110)의 상측에 구성되되, 하부에 수직방향으로 축 설치되어 상기 턴테이블구동모터(130)와 연결되고, 상부가 상기 축보다 더 큰 지름으로 구성되어 상기 턴테이블구동모터(130)에 의해 회전하는 턴테이블(140)과, 상기 턴테이블(140)의 상부에 구성되되, 상측 가장자리에 진공홀(151)이 형성되어 상부에 안착되는 쿼츠링을 진공흡착하는 홀더(150)로 구성되는 본체부(100); 상기 본체부(100)의 상부 가장자리 일측에 구성되는 하판(210)과, 상기 하판(210)과 수직방향으로 이격되게 구성되는 상판(220)과, 상기 하판(210)과 상판(220) 사이에 양측단부가 연결되는 2개 이상의 LM샤프트(230)와, 상기 LM샤프트(230)에 외주에 끼워지는 승하강몸체(240)와, 상기 승하강몸체(240)를 중심으로 상기 LM샤프트(230)에 사이에 각각 끼워지는 LM베어링(250)과, 상기 하판(210)의 상부에 구성되되 LM샤프트(230) 사이에 배치되고, 끝단에 상기 승하강몸체(240)와 연결되어 상기 승하강몸체(240)를 유동시키는 에어실린더(260)와, 상기 에어실린더(260)의 로드 외주에 구성되어 래핑작업 시 진동완화를 위한 압축스프링(270)으로 구성되는 승하강부(200); 일측이 상기 승하강부(200)의 상판(220)과 연결 구성되는 수평바(310)와, 상기 수평바(310)의 상부에 구성되되 상기 상판(220)과 연결되는 타측에 구성되는 스핀들구동모터(320)와, 상기 수평바(310)의 하부에 구성되되, 상기 스핀들구동모터(320)와 연결되어 상기 턴테이블(140)과 반대방향으로 회전하는 스핀들(330)과, 상기 스핀들(330)의 하부 끝단에 구성되어 쿼츠링과 맞닿아 쿼츠링을 래핑하는 래핑판(340)과, 상기 스핀들(330)의 끝단과 래핑판(340) 사이에 구성되어 상기 래핑판(340)으로 쿼츠링을 래핑 시 발생하는 진동을 완화시켜주기 위한 완충스프링(350)으로 구성되는 래핑부(300);를 포함하고, 상기 진공홀(151)은, 상기 홀더(150)의 상측 가장자리를 따라 형성되는 진공테(151a)와, 상기 진공테(151a)의 가장자리에 연장되게 형성되되 서로 동일한 간격을 하며, 상기 진공테(151a)의 폭보다 더 큰 폭을 갖는 증폭홀(151b)이 형성되며, 상기 본체부(100)의 상측에는 상기 턴테이블(140)의 외주에 일정간격 이격되게 돌출되어, 래핑 시 발생하는 슬러리 찌꺼기가 래핑장치의 외부로 누설되지 않도록 돌출되는 돌출부(101)가 형성되고, 상기 턴테이블(140)의 상측에는 래핑 시 발생하는 슬러리 찌꺼기가 배출될 수 있도록 단면에 “ㅗ”형상을 갖는 하나 이상의 슬러리배출홀(141)이 형성되고, 상기 턴테이블(140)의 상측에는 2개 이상의 체결홈(143)이 형성되며, 상기 홀더(150)에는 상기 체결홈(143)과 대응하는 결합홈(153)이 형성되어, 상호 결합되며, 상기 본체부(100)의 상부 일측에는 슬라이드홀(103)이 형성되고, 상기 하판(210)의 하부에는 상기 슬라이드홀(103)과 대응되어 형성되어 슬라이딩 결합되는 슬라이드부(211)가 형성되어, 체결볼트로 본체부(100)와 하판(210)이 체결되며, 상기 승하강부(200)의 승하강몸체(240)에는 슬라이드홀(241)이 형성되고, 상기 래핑부(300)의 수평바(310)의 일측에 상기 슬라이드홀(241)에 끼워지되, 상기 래핑부(300)의 수평이동을 선택적으로 조절할 수 있도록 구성되는 것을 기술적 특징으로 한다.
본 발명에 따른 이동의 편리성과 가공정밀도가 높은 쿼츠링 래핑용 래핑장치에 의하면, 래핑장치의 본연의 목적을 그대로 유지함과 동시에, 하부에 구성되는 바퀴를 통해 작업자들이 필요에 따라 다양한 위치로 이동이 가능하여 작업의 편리성이 부여되며, 경량화시킨 장치임에 따라 설치위치에 대한 제약이 없고 초기 제작비용이 절감되고, 쿼츠링에 전용으로 사용됨에 따라 원가를 낮출 수 있음은 물론, 무엇보다 쿼츠링이 래핑시 발생하는 진동을 완화시키고 진공흡착을 통해 견고한 고정력을 가져 정밀가공을 통해 최종적으로 완성되는 쿼츠링의 제품 품질을 향상시킬 수가 있어 고객 신뢰도를 높일 수 있는 유용한 발명이다.
도 1은 본 발명의 바람직한 실시 예를 나타내는 정면도
도 2는 본 발명의 바람직한 실시 예를 나타내는 평면도
도 3은 본 발명의 본체부의 바람직한 실시 예를 나타내는 평면도, 단면도
도 4는 본 발명의 본체부의 바람직한 실시 예를 나타내는 사시도
도 5는 본 발명의 본체부의 바람직한 실시 예를 나타내는 측단면도, 확대도
도 6은 본 발명의 턴테이블과 홀더의 바람직한 실시 예를 나타내는 사시도
도 7은 본 발명의 턴테이블과 홀더의 바람직한 실시 예를 나타내는 평면도, 정단면도
도 8은 도 7의 a와b의 바람직한 실시 예를 나타내는 확대도
도 9는 본 발명의 턴테이블의 회전과 래핑판의 회전의 작동상태를 나타내는 도면
도 10은 본 발명의 턴테이블과 홀더의 다른 실시 예를 나타내는 평면도, 분해도
도 11은 본 발명의 승하강부와 래핑부의 바람직한 실시 예를 나타내는 정면도, 측면도
도 12는 본 발명의 승하강부의 바람직한 실시 예를 나타내는 작동상태도
도 13은 본 발명의 본체부와 승하강부의 다른 실시 예를 나타내는 도면
도 14는 본 발명의 본체부와 승하강부의 다른 실시 예를 나타내는 도면
도 15는 본 발명의 승하강부와 래핑부의 다른 실시 예를 나타내는 도면
본 발명은 래핑장치를 사용에 따라 다양한 위치로 이동가능하게 구성시킴은 물론, 쿼츠링 래핑에 적합한 홀더 및 장치를 경량화시켜서 설치 위치에 대한 제약 및 초기 제작비용을 줄이는 한편, 쿼츠링을 래핑 시 진동완화를 통해 가공정밀도를 높여 품질을 향상시킬 수 있도록 하는 이동의 편리성과 가공정밀도가 높은 쿼츠링 래핑용 래핑장치을 제곤한다.
이하, 첨부되는 도면과 관련하여 상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 바람직한 구성 및 작용에 대하여 도 1 내지 도 15를 참고로 하여 설명하면 다음과 같다.
우선 본 발명을 설명하기에 앞서 그 구성을 도 1 내지 도 2를 참고하여 설명하면 살펴보면, 본체부(100), 승하강부(200), 래핑부(300)로 구성된다.
상기 본체부(100)는 도 1 내지 도 10을 참고하여 설명하면,
상기 본체부(100)는 도 1 내지 도 4에 도시된 바와 같이, 몸체(110), 컨트롤러(120), 턴테이블구동모터(130), 턴테이블(140), 홀더(150)로 구성된다.
상기 몸체(110)는 지면에 설치 구성되되, 도 1 내지 도 4에 도시된 바와 같이 내부에 공간이 마련되어 하기될 턴테이블구동모터(130)가 배치 구성되고, 상기 본체부(100)의 상측에는 상기 턴테이블(140)의 외주에 일정간격 이격되게 형성되되 상부로 돌출되어, 래핑 시 발생하는 슬러리 찌꺼기가 래핑장치의 외부로 누설되지 않도록 돌출되는 돌출부(101)가 형성된다.
상기 돌출부(101)는 실질적으로 쿼츠링을 홀더(150)에 안착시켜 고정한 상태에서 래핑부(300)를 통해 쿼츠링을 래핑 시 지속적으로 슬러리를 투입하게 되며 래핑 시 형성되는 슬러리 찌꺼기의 외부누설을 방지할 수 있도록 하게 형성되고, 도 4에 도시된 바와 같이, 상부로 돌출되게 형성되되, 일측이 개방된 형태로 형성되어 작업자들이 상기 쿼츠링을 상기 홀더(150)의 안착 시 불편함이 없도록 하여 작업상의 편리성을 부여할 수 있게 된다.
여기서, 상기 본체부(110)의 하부에는 가장자리에 다수의 바퀴가 구성되어 작업자들이 작업여건 등에 따라서 래핑장치를 다양한 위치로 이동시켜서 작업을 수행할 수가 있고, 본 발명에서는 상기 본체부(110)가 사각형태로 형성됨에 따라 하부 각 모서리 부분의 각각의 바퀴들이 구성되는 것으로 도시하였다.
또한, 본 발명의 바퀴는 결합 및 분리구조를 가지도록 구성되어 파손 등과 같은 문제가 발생 시 유지보수에 탁월한 효과를 가질 수가 있다.
한편, 상기 본체부(100)의 외측 전면에는 컨트롤러(120)가 구성된다.
상기 컨트롤러(120)는 도 1에 도시된 바와 같이 상기 턴테이블구동모터(130) 및 하기될 승하강부(200)와 래핑부(300) 등 본 발명의 래핑장치를 전체적으로 제어하도록 구성되고, 상기 홀더(150)에 상부에 쿼츠링을 고정하기 위한 진공흡착이 가능한 진공라인을 제어하도록 구성된다.
상기 턴테이블구동모터(130)는 도 4에 도시된 바와 같이 상기 몸체(110)의 내부에 구성되되 상기 컨트롤러(120)의 제어에 따라 구동하도록 구성되며, 실질적으로 턴테이블구동모터(130)의 끝단에 상기 턴테이블(140)의 하부와 연결되는데 이때 연결수단으로는 체인, 벨트 또는 상기 턴테이블(140)의 하단을 기어구조로 형성하고, 상기 턴테이블구동모터(130)의 끝단을 상기 턴테이블(140) 하단 기어구조와 맞물려 치합되도록 하여 구성할 수도 있고, 본 발명에서는 벨트로 연결 구성되는 것으로 도시하였다.
상기 턴테이블(140)은 도 상기 몸체(110)의 상측에 구성되되, 하부에 수직방향으로 축 설치되어 상기 턴테이블구동모터(130)와 연결되고, 상부가 상기 축보다 더 큰 지름으로 구성되어 상기 턴테이블구동모터(130)에 의해 회전하도록 구성된다.
이를 더욱 상세하게 설명하면, 도 3, 5, 7에 도시된 바와 같이 원형의 형상으로 형성되며 하부에 상기 몸체(110)의 내부로 삽입 구성되며 그 끝단이 상기 턴테이블구동모터(130)와 연결 구성되는데, 상기 턴테이블(140)의 하부는 기어구조 또는 체인 및 벨트가 연결 구성될 수 있도록 형성되어, 상기 턴테이블구동모터(130)와 연결 되고, 상부는 상기 하부보다 더큰 지름을 가지도록 형성된다.
이때, 도 5, 6에 도시된 바와 같이 상기 턴테이블(140)의 상측에는 래핑 시 발생하는 슬러리 찌꺼기가 배출될 수 있도록 단면에 “ㅗ”형상을 갖는 하나 이상의 슬러리배출홀(141)이 형성되도록 하여, 쿼츠링을 래핑 시 발생하는 슬러리 찌꺼기가 원활하게 배출되게 되어 쿼츠링을 래핑 시 불량률을 억제할 수 있어 품질향상에 도움을 줄 수 있도록 구성된다.
또한, 상기 슬러리배출홀(141)의 경우 도 6에 도시된 바와 같이 턴테이블(140)을 상측 중앙부를 기준으로 3방향으로 형성되고 상호 일정한 간격으로 형성되도록 하여 균일한 배출이 가능한 효과가 있다.
또한, 본 발명에서 도시하진 않았지만, 상기 슬러리배출홀(141)이 중앙부측 방향에서 외측방향으로 서서히 하부방향으로 경사지도록 형성되어서 더욱 원활한 배출이 이루어질 수 있도록 형성할 수도 있고, 본 발명에서는 경사지지 않고 직선으로 형성되도록 도시하였다.
이러한 상기 턴테이블(140)은 턴테이블구동모터(130)가 회전과 동시에 그 회전력을 전달받아 회전하게 된다.
상기 턴테이블(140)의 상부에는 도 1 내지 도 5에 도시된 바와 같이 실질적으로 쿼츠링을 고정하기 위한 홀더(150)가 구성되는데, 상기 홀더(150)는 도 3, 5, 6, 7에 도시된 바와 같이 상기 턴테이블(140)의 상부에 구성되되, 상측 가장자리에 진공홀(151)이 형성되어 상부에 안착되는 쿼츠링을 진공흡착하도록 구성된다.
상기 홀더(150)를 더욱 상세하게 설명하면, 도 6에 도시된 바와 같이 원형의 형상으로 중앙부분에는 공간이 마련되고, 상측에 진공홈(151)이 형성된다.
상기 진공홀(151)은 도 6에 상기 홀더(150)의 상측 가장자리를 따라 형성되는 진공테(151a)가 형성되고, 상기 진공테(151a)의 가장자리에 연장되게 형성되되 서로 동일한 간격을 하며, 상기 진공테(151a)의 폭보다 더 큰 폭을 갖는 증폭홀(151b)가 형성되어, 상기 홀더(150)의 상측에 안착되는 쿼츠링의 하단부를 진공흡착 할 수 있게 된다.
이때, 상기 진공홀(151)의 진공을 위하여 상기 컨트롤러(120)에 의해 제어되는 별도의 진공펌프가 구비되는 것이 바람직하고, 상기 진공펌프와 진공홀(151)의 연결은 파이프, 호스 등 통상의 연결수단으로 연결 구성될 수가 있으며, 본 발명에서는 진공펌프와 관련하여 별도로 도시하진 않았다.
또한, 상기 진공펌프와 연결되고 상기 진공홀(151)과의 연결을 위해 구성되는 연결수단의 경우 쿼츠링으로 전달되는 흡착력을 균일하게 하기 위하여 홀더(150)의 하측 중앙부에 상기 진공펌프와 연결되는 하나의 흡입구를 통해 흡착 또는, 상기 증폭홀(151b)의 위치와 동일한 위치에 각각의 흡입구를 구성하여 균일한 흡착력이 전달될 수 있도록 구성할 수도 있다.
한편, 상기 진공테(151a)는 상기 홀더(150)의 상측 가장자리에 일정간격 이격된 상태로 하나 이상으로 형성될 수가 있고, 본 발명에서는 하나로 형성되는 것으로 도시하였다.
또한, 상기 증폭홀(151b)의 경우 상기 진공테(151a)로부터 당겨지는 흡착력을 증폭시켜서 상부에 안착되는 쿼츠링과의 접촉면을 크게 하여 안정적인 흡착이 이루어질 수 있고, 상기 증폭홀(151b)의 위치 또한 4방향에서 균일한 위치에 형성되도록 하여 균일한 흡착력을 가질 수가 있어 쿼츠링을 래핑 시 제품 품질향상에 도움을 줄 수가 있게 된다.
또한, 상기 증폭홀(151b)이 4개로 형성되는 것으로 도시하였지만, 필요에 따라서 4개 이상으로 형성되되, 짝수 개수로 형성될 수가 있다.
또한, 상기 홀더(150)의 크기는 상기 턴테이블(150)과 동일 또는 조금 작게 형성될 수가 있고, 본 발명에서는 상기 턴테이블(150)보다 조금 작게 형성되는 것으로 도시하였다.
여기서, 도 10에 상기 턴테이블(140)의 상측에는 2개 이상의 체결홈(143)이 형성되고, 상기 홀더(150)에는 상기 체결홈(143)과 대응하는 결합홈(153)이 형성되어, 상호 결합되도록 구성할 수가 있고, 상기 체결홈(143)과 결합홈(153)의 체결은 통상의 볼트와 같은 결합부재를 이용하여 결합된다.
한편, 승하강부(200)는, 11, 12에 도시된 바와 같이 상기 홀더(150)에 안착되는 쿼츠링과 래핑판(340)을 상호 이격 또는 맞닿게 하기 위한 구성으로서, 하판(210), 상판(220), LM샤프트(230), 승하강몸체(240), LM베어링(250), 에어실린더(260), 압축스프링(270)으로 구성된다.
상기 하판(210)는 도 11 내지 도 12에 도시된 바와 같이 실질적으로 본체부(100)의 상부 가장자리 일측에 구성되는 구성으로, 상기 본체부(100)와 통상의 볼트 결합을 통해 결합 구성된다.
이때, 도 13에 도시된 바와 같이 상기 본체부(100)의 상부 일측에는 슬라이드홀(103)이 형성되고, 상기 하판(210)의 하부에는 상기 슬라이드홀(103)과 대응되어 형성되어 슬라이딩 결합되는 슬라이드부(211)가 형성되어, 체결볼트로 본체부(100)와 하판(210)이 체결되도록 구성하여, 상기 승하강부(200)의 안정적인 승하강을 도모할 수 있게 되어, 래핑판(340)의 흔들림 없이 수직방향으로 승하강이 이루어질 수 있게 되어 최종적으로 래핑 시 래핑 불량을 억제할 수가 있게 된다.
상기 상판(220)는 상기 하판(210)과 수직방향으로 이격되게 구성되는 것으로 하기될 LM샤프트(230)의 일측에 연결 구성되는 구성이다.
상기 LM샤프트(230)는 도 11에 도시된 바와 같이 상기 하판(210)과 상판(220) 사이에 위치하고 양측단부가 상기 하판(210)과 상판(220)에 연결 구성되되 2개 이상으로 구성되어 하기 될 승하강몸체(240)가 끼워지도록 구성되며, 상기 LM샤프트(230)의 형상은 원형 또는 다각형으로 형성될 수가 있다.
상기 승하강몸체(240)는 도 12에 도시된 바와 같이 상기 LM샤프트(230)에 외주에 끼워져 하기될 에어실린더(260)에 의해 상기 LM샤프트(230)상에서 승, 하강이 이루어질 수 있도록 구성되는데, 상기 LM샤프트(230)의 외형에 따라 상기 LM샤프트(230)에 끼워지는 홀의 형상이 대응되게 형성될 수가 있게 되고, 하측 중앙부에는 에어실린더(260)가 연결 구성된다.
상기 LM베어링(250)은 상기 승하강몸체(240)를 중심으로 상기 LM샤프트(230)에 사이에 각각 끼워지는데, 도 11 또는 도 12에 도시된 바와 같이 상기 승하강몸체(240)를 중심으로 상부에 배치되는 LM베어링(250)은 싱글구조로 구성되고, 하부에 배치되는 LM베어링(250)은 더블구조로 구성되어 상기 승하강몸체(240)가 하부로 이동 시 흔들림을 더욱 유연하게 하여 작동될 수가 있다
상기 에어실린더(260)는 상기 하판(210)의 상부에 구성되되 상기 LM샤프트(230) 사이에 배치되고, 끝단에 상기 승하강몸체(240)와 연결되어 상기 승하강몸체(240)를 유동시키도록 구성되는데, 이때, 상기 에어실린더(260)로 에어 공급 등을 수행하기 위한 에어펌프 등이 구비되는 것이 바람직하고 그 연결 등은 통상의 연결수단으로 연결됨으로 별도도 도시하진 않았다.
이때, 상기 에어실린더(260)의 상기 에어실린더(260)의 로드 외주에 구성되어 래핑작업 시 진동완화를 위한 압축스프링(270)이 구성되는데 상기 압축스프링(270)의 경우 본 발명의 래핑 장치가 래핑 작업을 수행 시 흔들림으로부터 충격완화를 할 수 있게 구성되며, 상기 압축스프링(270)의 경우 밀림성질을 가지는 것이 바람직하다.
상기 래핑부(300)는 도 1, 11, 12에 도시된 바와 같이 수평바(310), 스핀들구동모터(320), 스핀들(330), 래핑판(340), 완충스프링(350)으로 구성된다.
상기 수평바(310)는 일측이 상기 승하강부(200)의 상판(220)과 연결 구성되어, 상기 승하강부(200)의 승, 하강에 맞춰 래핑부(300)를 전체적으로 승, 하강될 수 있도록 구성되는데, 도 15에 도시된 바와 같이 상기 승하강부(200)의 승하강몸체(240)에는 슬라이드홀(241)이 형성되고, 상기 래핑부(300)의 수평바(310)의 일측에 상기 슬라이드홀(241)에 끼워지되, 상기 래핑부(300)의 수평이동을 선택적으로 조절할 수 있도록 구성하여 상기 쿼츠링의 크기 등, 래핑하려는 표면에 맞춰 다양하게 위치조절함으로써, 사용상의 편리성을 부여할 수가 있다.
상기 스핀들구동모터(320)는 상기 수평바(310)의 상부에 구성되되 상기 상판(220)과 연결되는 타측에 구성되도록 하여 스핀들(320)을 일측 또는 타측방향으로 회전시킬 수가 있게 되고, 전력수단으로는 외부전력을 통해 전력공급이 이루어진다.
상기 스핀들(330)은 상기 수평바(310)의 하부에 구성되되, 상기 스핀들구동모터(320)와 연결되어 상기 턴테이블(140)과 반대방향으로 회전하게 되고, 스핀들(330)은 통상의 스핀들을 적용한 것으로 상세한 설명은 생략하기로 한다.
상기 스핀들(330)의 하부 끝단에 구성되어 실질적으로 쿼츠링의 상측 표면과 맞닿아 쿼츠링을 래핑하는 래핑판(340)이 구성되는데 상기 래핑판(340)은 둥근 원판형상으로 형성되어 쿼츠링을 래핑한다.
이때, 상기 스핀들(330)의 끝단과 래핑판(340) 사이에 구성되어 상기 래핑판(340)으로 쿼츠링을 래핑 시 발생하는 진동을 완화시켜주기 위한 완충스프링(350)이 구성되어, 상기 래핑판(340)이 쿼츠링을 래핑 시 발생되는 충격을 완화시킬 수 있도록 한다.
즉, 상기 승하강부(200)의 압축스프링(270)은 승하강장치 및 래핑부(300)의 전체적인 충격을 완화시킴과 아울러, 상기 래핑부(300)의 완충스프링(350)은 래핑부(300)의 충격을 완화시키는 역할을 수행하게 된다.
본 발명에 따른 이동의 편리성과 가공정밀도가 높은 쿼츠링 래핑용 래핑장치에 의하면, 래핑장치의 본연의 목적을 그대로 유지함과 동시에, 하부에 구성되는 바퀴를 통해 작업자들이 필요에 따라 다양한 위치로 이동이 가능하여 작업의 편리성이 부여되며, 경량화시킨 장치임에 따라 설치위치에 대한 제약이 없고 초기 제작비용이 절감되고, 쿼츠링에 전용으로 사용됨에 따라 원가를 낮출 수 있음은 물론, 무엇보다 쿼츠링이 래핑시 발생하는 진동을 완화시키고 진공흡착을 통해 견고한 고정력을 가져 정밀가공을 통해 최종적으로 완성되는 쿼츠링의 제품 품질을 향상시킬 수가 있어 고객 신뢰도를 높일 수 있는 유용한 발명이다.
100 : 본체부 101 : 돌출부 103 : 슬라이드홀
110 : 몸체 120 : 컨트롤러 130 : 턴테이블구동모터
140 : 턴테이블 141 : 슬러리배출홈 143 : 체결홈
150 : 홀더 151 : 진공홈 151a : 진공테
151b : 증폭홀 153 : 결합홈
200 : 승하강부
210 : 하판 211 :슬라이드부 220 : 상판
230 : LM샤프트 240 : 승하강몸체 241 : 슬라이드홀
250 : LM베어링 260 : 에어실린더 270 : 압축스프링
300 : 래핑부
310 : 수평바 320 : 스핀들구동모터 330 : 스핀들
340 : 래핑판 350 : 완충스프링

Claims (1)

  1. 가공품을 래핑하기 위한 래핑장치에 있어서,
    지면에 설치 구성되되, 하부에 바퀴가 구성되는 몸체(110)와, 상기 몸체(110)의 내부에 외부전력으로부터 전원을 공급받아 작동하는 컨트롤러(120)와, 상기 몸체(110)의 내부에 구성되되 상기 컨트롤러(120)의 제어에 따라 수직 회전하는 턴테이블구동모터(130)와, 상기 몸체(110)의 상측에 구성되되, 하부에 수직방향으로 축 설치되어 상기 턴테이블구동모터(130)와 연결되고, 상부가 상기 축보다 더 큰 지름으로 구성되어 상기 턴테이블구동모터(130)에 의해 회전하는 턴테이블(140)과, 상기 턴테이블(140)의 상부에 구성되되, 상측 가장자리에 진공홀(151)이 형성되어 상부에 안착되는 쿼츠링을 진공흡착하는 홀더(150)로 구성되는 본체부(100);
    상기 본체부(100)의 상부 가장자리 일측에 구성되는 하판(210)과, 상기 하판(210)과 수직방향으로 이격되게 구성되는 상판(220)과, 상기 하판(210)과 상판(220) 사이에 양측단부가 연결되는 2개 이상의 LM샤프트(230)와, 상기 LM샤프트(230)에 외주에 끼워지는 승하강몸체(240)와, 상기 승하강몸체(240)를 중심으로 상기 LM샤프트(230)에 사이에 각각 끼워지는 LM베어링(250)과, 상기 하판(210)의 상부에 구성되되 LM샤프트(230) 사이에 배치되고, 끝단에 상기 승하강몸체(240)와 연결되어 상기 승하강몸체(240)를 유동시키는 에어실린더(260)와, 상기 에어실린더(260)의 로드 외주에 구성되어 래핑작업 시 진동완화를 위한 압축스프링(270)으로 구성되는 승하강부(200);
    일측이 상기 승하강부(200)의 상판(220)과 연결 구성되는 수평바(310)와, 상기 수평바(310)의 상부에 구성되되 상기 상판(220)과 연결되는 타측에 구성되는 스핀들구동모터(320)와, 상기 수평바(310)의 하부에 구성되되, 상기 스핀들구동모터(320)와 연결되어 상기 턴테이블(140)과 반대방향으로 회전하는 스핀들(330)과, 상기 스핀들(330)의 하부 끝단에 구성되어 쿼츠링과 맞닿아 쿼츠링을 래핑하는 래핑판(340)과, 상기 스핀들(330)의 끝단과 래핑판(340) 사이에 구성되어 상기 래핑판(340)으로 쿼츠링을 래핑 시 발생하는 진동을 완화시켜주기 위한 완충스프링(350)으로 구성되는 래핑부(300);를 포함하고,
    상기 진공홀(151)은, 상기 홀더(150)의 상측 가장자리를 따라 형성되는 진공테(151a)와, 상기 진공테(151a)의 가장자리에 연장되게 형성되되 서로 동일한 간격을 하며, 상기 진공테(151a)의 폭보다 더 큰 폭을 갖는 증폭홀(151b)이 형성되며, 상기 본체부(100)의 상측에는 상기 턴테이블(140)의 외주에 일정간격 이격되게 돌출되어, 래핑 시 발생하는 슬러리 찌꺼기가 래핑장치의 외부로 누설되지 않도록 돌출되는 돌출부(101)가 형성되고, 상기 턴테이블(140)의 상측에는 래핑 시 발생하는 슬러리 찌꺼기가 배출될 수 있도록 단면에 “ㅗ”형상을 갖는 하나 이상의 슬러리배출홀(141)이 형성되고,
    상기 턴테이블(140)의 상측에는 2개 이상의 체결홈(143)이 형성되며, 상기 홀더(150)에는 상기 체결홈(143)과 대응하는 결합홈(153)이 형성되어, 상호 결합되며,
    상기 본체부(100)의 상부 일측에는 슬라이드홀(103)이 형성되고, 상기 하판(210)의 하부에는 상기 슬라이드홀(103)과 대응되어 형성되어 슬라이딩 결합되는 슬라이드부(211)가 형성되어, 체결볼트로 본체부(100)와 하판(210)이 체결되며, 상기 승하강부(200)의 승하강몸체(240)에는 슬라이드홀(241)이 형성되고, 상기 래핑부(300)의 수평바(310)의 일측에 상기 슬라이드홀(241)에 끼워지되, 상기 래핑부(300)의 수평이동을 선택적으로 조절할 수 있도록 구성되는 것을 특징으로 하는 이동의 편리성과 가공정밀도가 높은 쿼츠링 래핑용 래핑장치.
KR1020210076615A 2021-06-14 2021-06-14 이동의 편리성과 가공정밀도가 높은 쿼츠링 래핑용 래핑장치 KR102511918B1 (ko)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020210076615A KR102511918B1 (ko) 2021-06-14 2021-06-14 이동의 편리성과 가공정밀도가 높은 쿼츠링 래핑용 래핑장치

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020210076615A KR102511918B1 (ko) 2021-06-14 2021-06-14 이동의 편리성과 가공정밀도가 높은 쿼츠링 래핑용 래핑장치

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20220167529A KR20220167529A (ko) 2022-12-21
KR102511918B1 true KR102511918B1 (ko) 2023-03-20

Family

ID=84536670

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020210076615A KR102511918B1 (ko) 2021-06-14 2021-06-14 이동의 편리성과 가공정밀도가 높은 쿼츠링 래핑용 래핑장치

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR102511918B1 (ko)

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN117020847B (zh) * 2023-10-08 2024-01-23 江苏汇九齿轮有限公司 一种齿轮内孔键槽修磨机构及其方法

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2007210074A (ja) 2006-02-10 2007-08-23 Shuwa Kogyo Kk 研削装置および研磨装置、並びに研削方法および研磨方法
JP2012016758A (ja) 2010-07-06 2012-01-26 Disco Corp 研削装置
KR102225140B1 (ko) 2012-05-31 2021-03-09 가부시키가이샤 에바라 세이사꾸쇼 연마 장치

Family Cites Families (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100539702B1 (ko) * 2004-04-13 2005-12-29 주식회사 환웅 오티에스 정밀 구심 연마장치의 감압구조

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2007210074A (ja) 2006-02-10 2007-08-23 Shuwa Kogyo Kk 研削装置および研磨装置、並びに研削方法および研磨方法
JP2012016758A (ja) 2010-07-06 2012-01-26 Disco Corp 研削装置
KR102225140B1 (ko) 2012-05-31 2021-03-09 가부시키가이샤 에바라 세이사꾸쇼 연마 장치

Also Published As

Publication number Publication date
KR20220167529A (ko) 2022-12-21

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR102359647B1 (ko) 가공정밀도를 향상시킬 수 있는 쿼츠링 래핑용 래핑장치
KR102511918B1 (ko) 이동의 편리성과 가공정밀도가 높은 쿼츠링 래핑용 래핑장치
TW201434082A (zh) 研磨裝置及研磨方法
CN112276793B (zh) 一种稳定性佳的打磨主机
CN1229636C (zh) 轮胎均匀性试验机
KR102080751B1 (ko) 가공물 반전 장치 및 이를 이용한 가공물 반전 방법
CN212859021U (zh) 一种浮动式轴承套圈内孔抛光装置
CN109397031A (zh) 一种回转式石材加工设备
CN112478783B (zh) 基板玻璃分离机及分离方法
JP5674145B2 (ja) 片面研磨装置
CN111843624B (zh) 一种罐体表面打磨方法
CN110893576B (zh) 抛光机
CN111730469A (zh) 一种罐体表面打磨设备
KR20130140057A (ko) 연마구
CN107866731B (zh) 一种双面研磨机
CN107825256A (zh) 一种金属手机外壳整形打磨设备
CN209095239U (zh) 轴颈抛光装置及装有该轴颈抛光装置的超精机
CN209364303U (zh) 一种回转式石材加工设备
JPH1158193A (ja) 平面研削方法及び平面研削装置
JP4548581B2 (ja) 超仕上盤
CN108818184B (zh) 一种卸簧机构
KR20000047941A (ko) 유리 퍼널 시일 엣지를 연마하기 위한 방법 및 그 연마 장비
CN112338798B (zh) 一种具有防抖动结构的抛光磨头
CN212399135U (zh) 一种罐体表面打磨设备
CN219275450U (zh) 一种宽砂带磨床的砂带张紧调节机构

Legal Events

Date Code Title Description
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant