KR102510096B1 - 높이조절형 음극접점장치 - Google Patents

높이조절형 음극접점장치 Download PDF

Info

Publication number
KR102510096B1
KR102510096B1 KR1020220130646A KR20220130646A KR102510096B1 KR 102510096 B1 KR102510096 B1 KR 102510096B1 KR 1020220130646 A KR1020220130646 A KR 1020220130646A KR 20220130646 A KR20220130646 A KR 20220130646A KR 102510096 B1 KR102510096 B1 KR 102510096B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
upper structure
housing
metal strip
coupled
contact device
Prior art date
Application number
KR1020220130646A
Other languages
English (en)
Inventor
박지훈
Original Assignee
대성하이피(주)
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 대성하이피(주) filed Critical 대성하이피(주)
Priority to KR1020220130646A priority Critical patent/KR102510096B1/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR102510096B1 publication Critical patent/KR102510096B1/ko

Links

Images

Classifications

    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C25ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PROCESSES; APPARATUS THEREFOR
    • C25DPROCESSES FOR THE ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PRODUCTION OF COATINGS; ELECTROFORMING; APPARATUS THEREFOR
    • C25D17/00Constructional parts, or assemblies thereof, of cells for electrolytic coating
    • C25D17/005Contacting devices
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C25ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PROCESSES; APPARATUS THEREFOR
    • C25DPROCESSES FOR THE ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PRODUCTION OF COATINGS; ELECTROFORMING; APPARATUS THEREFOR
    • C25D7/00Electroplating characterised by the article coated
    • C25D7/06Wires; Strips; Foils
    • C25D7/0614Strips or foils

Abstract

본 발명은 다양한 폭을 가지는 금속스트립에 호환될 수 있는 음극접접장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 금속스트립의 상부접점을 형성하는 상부구조물이 승하강 가능하도록 형성되어 다양한 폭을 가지는 금속스트립에 호환될 수 있는 음극접점장치에 관한 것이다.
본 발명의 일 실시예에 따른 음극접점장치는, 금속스트립을 일정한 속도로 이송시키면서 공정을 순차적으로 수행하는 연속도금장치의 음극접점장치에 있어서, 하우징과, 상기 하우징의 외측면 둘레를 따라 돌출 형성된 단턱에 안착되고, 금속스트립의 하부를 지지해주는 하부구조물과, 상기 하부구조물로부터 상부를 향해 소정간격 이격되어 배치되되, 간격조정이 가능하도록 승하강되는 구조를 가지며, 상기 금속스트립의 상부를 지지해주는 상부구조물 및 상기 하우징의 축방향을 따라 삽입 설치되고, 회전력에 의해 상기 하우징을 회전시키면서 상기 하부구조물과 상부구조물 사이에 배치된 금속스트립을 이송시키는 샤프트를 포함한다.

Description

높이조절형 음극접점장치{Height adjustable cathode contact device}
본 발명은 다양한 폭을 가지는 금속스트립에 호환될 수 있는 높이조절형 음극접접장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 금속스트립의 상부접점을 형성하는 상부구조물이 승하강 가능하도록 형성되어 다양한 폭을 가지는 금속스트립에 호환될 수 있는 음극접점장치에 관한 것이다.
본 명세서에서 달리 표시되지 않는 한, 이 섹션에 설명되는 내용들은 이 출원의 청구항들에 대한 종래 기술이 아니며, 이 섹션에 포함된다고 하여 종래 기술이라고 인정되는 것은 아니다.
일반적으로 도금은 금속이나 비금속 표면에 이질의 금속을 사용하여 피막을 만들어 주는 기술로서, 처리방법에 따라 전기도금, 화학도금, 용융도금, 진공도금, 침투도금, 이온도금 등으로 나눌 수 있으며, 도금의 목적에 따라 장식도금, 방식도금, 장식/방식용 도금, 공업용도금 등으로 구분된다.
그 중에서 전기도금은 전기분해의 원리를 이용하여 표면에 금속이온을 환원 석출시켜 얇은 피막을 입히는 표면처리 방법으로 도금시키려는 금속의 염류를 주성분으로 하는 수용액인 전해용액인 도금용액속에 도금할 물체를 음극과 연결하고 다른 금속에 양극을 직류로 연결하여 통전시켜 용해액내의 용해된 금속이 제품 표면에 금속 피막으로 입혀지는 방식이다.
전자제품에 사용되는 단자 등은 원활한 신호전달을 위해 전술한 전기도금 방식을 통해 표면을 도금처리하게 되는데, 이때 각 단자를 개별적으로 도금하는 것이 아니라 연결판에 다수의 단자가 결합되어 있는 금속스트립의 상태로 도금 공정을 수행하게 된다.
이때, 상기 금속스트립을 도금하는 공정은 도금액에 도금 대상물을 침지하여 전원을 연결하는 도금공정 이외에도 탈지나 세척, 하지도금 등의 예비 공정이 수반되며 이러한 일련의 공정은 각 공정장치가 연속적으로 인접하여 설치된 연속도금장치에서 수행된다.
상기 연속도금장치는 도금대상물인 금속스트립을 일정한 속도로 이송시키면서 각 공정을 순차적으로 수행하는 장치로, 전기도금을 위해서 (+)이온의 목적 금속을 포함하는 도금액을 공급하는 도금조를 구비해야 하며, 금속스트립을 상기 도금조에 침지한 채 (-)전원을 연결하면 (+)전하의 금속이온이 금속스트립에 흡착함으로써 도금이 이루어진다.
따라서, 상기 금속스트립은 항상 (-)전원과 전기적으로 연결되어야 하며, 이를 위해 통상의 도금조의 선단과 후단에는 금속스트립과 (-)전원을 연결하는 전극접점장치(또는 음극접점장치)가 설치된다.
여기서, 종래의 전극접점장치는 상단-하단 접점 일체형으로 이루어져, 금속스트립이 특정 폭으로 이루어진 금속스트립에 대해서만 사용 가능하며 다른 폭으로 이루어진 금속스트립은 사용할 수 없어 호환이 불가능하다는 문제점이 존재하였다.
그에 따라, 다양한 금속스트립의 폭에 대해 각각 사용할 수 있도록 금속스트립별 전극접점장치를 개별적으로 구비되어야 함에 따라, 부품 재고관리가 어렵고, 특히 다른 폭을 가진 금속스트립을 생산할 경우 접점을 전면교체해야 함에 따라 교체하는 동안의 정지로스(Loss)가 발생한다는 단점이 존재한다.
한국 특허등록 제10-0670117호(2007.01.16 공고)
본 발명은 전술한 문제점을 해결하기 위하여, 금속스트립의 상부접점을 형성하는 상부구조물이 승하강 가능하도록 형성되어 다양한 폭을 가지는 금속스트립에 호환될 수 있는 음극접점장치를 제공하고자 한다.
또한, 상술한 바와 같은 기술적 과제들로 한정되지 않으며, 이하의 설명으로부터 또 다른 기술적 과제가 도출될 수도 있음은 자명하다.
본 발명의 일 실시예에 따른 음극접점장치는, 금속스트립을 일정한 속도로 이송시키면서 공정을 순차적으로 수행하는 연속도금장치의 음극접점장치에 있어서, 하우징과, 상기 하우징의 외측면 둘레를 따라 돌출 형성된 단턱에 안착되고, 금속스트립의 하부를 지지해주는 하부구조물과, 상기 하부구조물로부터 상부를 향해 소정간격 이격되어 배치되되, 간격조정이 가능하도록 승하강되는 구조를 가지며, 상기 금속스트립의 상부를 지지해주는 상부구조물 및 상기 하우징의 축방향을 따라 삽입 설치되고, 상기 하우징과 함께 축방향 회전되면서 상기 하부구조물과 상부구조물 사이에 배치된 금속스트립을 이송시키는 샤프트를 포함한다.
본 발명의 바람직한 특징에 따르면, 상기 하우징 상부에 결합 설치되어, 상기 상부구조물의 하부를 지지하는 상부구조물 지지부를 더 포함할 수 있다.
본 발명의 바람직한 특징에 따르면, 상기 하부구조물의 일면 상부에서, 상기 샤프트를 중심으로 주변 둘레를 따라 복수개의 위치결정구조물이 설치되고, 상기 상부구조물은, 상기 복수개의 위치결정구조물에 대응되는 위치에 삽입홈이 형성되고, 상기 위치결정구조물을 기준으로 상부구조물을 상승 또는 하강시켜 위치를 조정할 수 있다.
본 발명의 바람직한 특징에 따르면, 상기 샤프트에 삽입 고정되고, 상기 상부구조물의 상부에 위치하여 상부구조물의 상부를 지지해주는 고정홀더를 더 포함할 수 있다.
본 발명의 바람직한 특징에 따르면, 상기 상부구조물은, 상기 상부구조물 지지부 및 고정홀더를 샤프트를 중심으로 나선방향으로 회전됨에 따라 상승 또는 하강될 수 있다.
본 발명에 따르면, 단일폭을 갖는 금속스트립에만 사용 가능하였던 종래의 상하단 접점 일체형 전극접점장치에 비하여, 상부구조물의 높이조정이 가능함에 따라 다양한 폭을 갖는 금속스트립에 호환 가능하다는 장점이 있다.
또한, 하나의 음극접점장치만으로 다양한 폭을 갖는 금속스트립에 사용 가능하여, 장치의 교체가 불필요하고 부품관리가 용이하며, 접점 전면교체에 따른 정지로스가 발생하지 않아 생산 효율적이라는 장점이 있다.
본 발명의 효과는 상기한 효과로 한정되는 것은 아니며, 본 발명의 상세한 설명 또는 특허청구범위에 기재된 발명의 구성으로부터 추론 가능한 모든 효과를 포함하는 것으로 이해되어야 한다.
도 1 내지 도 3은 종래 전극접점장치의 개략적인 도면.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 음극접점장치의 단면도.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 음극접점장치에 있어서, 상부구조물이 높이조절되는 전후상태도.
도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 음극접점장치에 있어서, 상부구조물이 높이조절방식을 도시한 도면.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 바람직한 실시예에 따른 음극접점장치의 구성, 동작 및 작용효과에 대하여 살펴본다. 참고로, 이하 도면에서, 각 구성요소는 편의 및 명확성을 위하여 생략되거나 개략적으로 도시되었으며, 각 구성요소의 크기는 실제 크기를 반영하는 것은 아니다. 또한, 명세서 전체에 걸쳐 동일 참조 부호는 동일 구성요소를 지칭하며 개별 도면에서 동일 구성에 대한 도면 부호는 생략하기로 한다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 음극접점장치의 단면도를 도시하고, 도 4는 상부구조물이 높이조절되는 전후상태도를 도시하며, 도 5는 상부구조물이 높이조절방식을 도시한 도면을 도시하고, 도 6은 각 구성부품이 설치되는 전후상태도를 나타낸다.
본 발명의 일 실시예에 따른 음극접점장치는, 금속스트립(s)을 일정한 속도로 이송시키면서 공정을 순차적으로 수행하는 연속도금장치의 음극접점장치에 있어서, 하우징(100)과, 상기 하우징(100)의 외측면 둘레를 따라 돌출 형성된 단턱(110)에 안착되고, 금속스트립(s)의 하부를 지지해주는 하부구조물(200)과, 상기 하부구조물(200)로부터 상부를 향해 소정간격 이격되어 배치되되, 간격조정이 가능하도록 승하강되는 구조를 가지며, 상기 금속스트립(s)의 상부를 지지해주는 상부구조물(300) 및 상기 하우징(100)의 축방향을 따라 삽입 설치되고, 상기 하우징(100)과 함께 축방향 회전되면서 상기 하부구조물(200)과 상부구조물(300) 사이에 배치된 금속스트립(s)을 이송시키는 샤프트(400)를 포함한다.
상기 하우징(100)은 소정의 직경과 높이를 가지는 원통형으로 이루어지며, 중심축에서 수직방향을 따라 연장 형성되는 샤프트(400)에 의해 삽입 고정되고, 상기 샤프트(400)와 함께 축방향 회전하면서 금속스트립(s)을 이송시킨다.
상기 하우징(100)의 외주면 둘레 중앙에 위치하여 방사상으로 소정길이 돌출되는 단턱(110)이 형성될 수 있으며, 상기 단턱(110)은 후술하는 하부구조물(200)의 하부를 안정적으로 지지해줄 수 있다.
상기 하부구조물(200)은 상기 하우징(100)의 상부로부터 하부를 향해 삽입될 수 있도록 중앙에 소정의 공간이 형성되며, 상기 하우징(100)의 수직방향 중앙의 외측면 둘레를 따라 돌출 형성된 단턱(110)에 의해 하부가 지지되면서 위치가 고정된다.
상기 단턱(110)은 수직방향으로 나사가 삽입될 수 있는 나사삽입홀이 형성되고, 상기 하부구조물(200)에는 상기 나사삽입홀에 대응되는 위치에 나사삽입홀이 형성되며, 상기 하부구조물(200)과 단턱(110)이 나사체결되어 하우징(100)과 결합될 수 있다.
상기 하부구조물(200)이 하우징(100)에 결합된 이후, 하부구조물(200) 상부에 위치하며, 하우징(100) 상부에 상부구조물 지지부(500)가 결합 설치될 수 있다.
상기 상부구조물 지지부(500)는 하부구조물(200)을 기준으로 하우징(100)의 상부 둘레를 폐쇄하도록 설치될 수 있으며, 바람직하게는 하우징(100)의 상부 측면부를 감싸는 측면폐쇄부(510)와 하우징(100)의 상부면을 감싸는 상부폐쇄부(520)로 이루어진다.
상기 상부폐쇄부(520)는 측면폐쇄부(510)의 중앙에 위치하며, 상부를 향해 소정높이만큼 돌출된 형상을 가지고, 상기 상부폐쇄부(520)의 하부면에 하우징(100)의 상부면이 접하면서 하우징(100)에 안착될 수 있고, 상부폐쇄부(520)의 상부에는 후술하는 상부구조물(300)이 안착되어 상부구조물(300)을 안정적으로 지지할 수 있다.
상기 상부구조물 지지부(500)가 설치된 이후, 그 상부에 상부구조물(300)이 결합 설치된다. 상기 상부구조물(300)은 하부구조물(200)로부터 소정간격 이격되어 설치될 수 있다.
상기 상부구조물(300)은 중심축으로부터 방사상으로 소정거리 이격된 위치에서 원주방향을 따라 복수개의 삽입홀(310)이 형성될 수 있다. 상기 하부구조물(200)에서 삽입홀(310)에 대응되는 위치에도 위치결정구조물(210)이 소정깊이만큼 삽입될 수 있는 위치결정구조물 결합홈(220)이 형성될 수 있으며, 상기 위치결정구조물 결합홈(220)에 위치결정구조물(210)이 상부를 향해 연장 형성되도록 결합된다.
상기 위치결정구조물(210)이 하부구조물(200)에 결합된 상태에서, 상부구조물(300)의 삽입홀(310)에 위치결정구조물(210)이 삽입되면서 상부구조물(300)이 결합된다.
여기서, 상기 하부구조물(200)은 금속 스트립(s)의 하부접점을 형성하고, 상부구조물(300)은 금속 스트립(s)의 상부접점을 형성하게 되는데, 전술한 문제점인 단일폭을 가진 금속 스트립(s)에 대해서만 적용 가능하고 호환이 불가능하다는 문제점을 해결하기 위하여, 본 발명에서는 상기 위치결정구조물(210)을 기준으로 상기 상부구조물(300)이 상승 또는 하강되면서 위치조정이 가능하도록 이루어진다.
즉, 상기 상부구조물(300)은 상부구조물 지지부(500)의 상부폐쇄부(520) 상부에 안착되는 위치까지 하강되었을 때, 가장 작은 폭을 가진 금속 스트립(s)(예를 들어, 16mm의 폭을 가진 금속 스트립(s))에 접접을 형성할 수 있고, 상기 위치결정구조물(210)을 기준으로 상부구조물(300)을 승강 및 고정시킴으로써, 더 큰 폭을 가진 금속 스트립(s)(예를 들어, 16~28mm까지 다양한 폭을 가진 금속 스트립(s))에 대해서도 접접을 형성하여 다양한 폭을 가진 금속 스트립(s)에 호환될 수 있다는 장점이 있다.
본 발명의 바람직한 특징에 따르면, 상기 샤프트(400)에 삽입 고정되고, 상기 상부구조물(300)의 상부에 위치하여 상부구조물(300)의 상부를 지지해주는 고정홀더(600)를 더 포함할 수 있다.
상기 고정홀더(600)의 하부면은 상부구조물(300)의 상부면에 접하는 위치까지 하강되어 승하강 가능한 상부구조물(300)의 위치가 가변되지 않도록 고정해주는 역할을 한다.
따라서, 상기 상부구조물(300)의 하부는 상부구조물 지지부(500)에 의해 지지되고, 고정홀더(600)에 의해 위치가 고정될 수 있으며, 승하강시 위치결정구조물(210)을 따라 승하강되면서 위치가 결정될 수 있다.
여기서 상기 상부구조물(300)은, 상기 상부구조물 지지부(500) 및 고정홀더(600)를 샤프트(400)를 중심으로 나선방향으로 회전됨에 따라 상승 또는 하강될 수 있다.
상기 상부구조물(300)이 승하강되기 위한 일 실시예로, 상부구조물(300)이 위치고정된 상태에서, 상기 고정홀더(600)를 샤프트(400)를 중심으로 나선형 회전함에 따라 승강될 수 있다. 상기 고정홀더(600)가 승강되면서 상부구조물(300)과의 간격이 발생하고, 그 간격만큼 상부구조물(300)을 승강시킬 수 있다. 또한, 상부구조물(300) 승강 시 상기 위치결정구조물(210)이 수평방향으로 이탈되지 않고 수직방향으로만 승강될 수 있도록 가이드해줄 수 있으며, 상기 고정홀더(600)의 하부면까지 이동된 상부구조물(300)은 위치가 고정되어 큰 폭을 가진 금속 스트립(s)에 대해 상부접점을 형성할 수 있다.
이상 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 설명하였지만, 본 명세서에 기재된 실시예와 도면에 도시된 구성은 본 발명의 가장 바람직한 일 실시예에 불과할 뿐이고 본 발명의 기술적 사상을 모두 대변하는 것은 아니므로, 본 출원시점에 있어서 이들을 대체할 수 있는 다양한 균등물과 변형예들이 있을 수 있음을 이해하여야 한다. 그러므로 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적인 것이 아닌 것으로서 이해되어야 하고, 본 발명의 범위는 상세한 설명보다는 후술하는 특허청구범위에 의하여 나타내어지며, 특허청구범위의 의미 및 범위 그리고 그 등가 개념으로부터 도출되는 모든 변경 또는 변형된 형태가 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 한다.
100 : 하우징
110 : 단턱
200 : 하부구조물
210 : 위치결정구조물
220 : 위치결정구조물 결합홈
300 : 상부구조물
310 : 삽입홀
400 : 샤프트
500 : 상부구조물 지지부
510 : 측면폐쇄부
520 : 상부폐쇄부
600 : 고정홀더
S : 금속스트립

Claims (5)

  1. 금속스트립을 일정한 속도로 이송시키면서 공정을 순차적으로 수행하는 연속도금장치의 음극접점장치에 있어서,
    하우징;
    상기 하우징의 외측면 둘레를 따라 돌출 형성된 단턱에 안착되고, 금속스트립의 하부를 지지하는 하부구조물;
    상기 하부구조물의 상측으로 소정간격 이격되어 배치되고, 간격조정이 가능하도록 승하강되는 구조를 가지며, 금속스트립의 상부를 지지하는 상부구조물;
    상기 하우징의 축방향을 따라 삽입 설치되고, 상기 하우징과 함께 축방향 회전되면서 상기 하부구조물과 상부구조물 사이에 배치된 금속스트립을 이송시키는 샤프트;
    상기 샤프트에 승하강 가능하게 삽입 결합되며, 상기 하우징 상부에 결합되어 상기 상부구조물의 하부를 지지하는 상부구조물 지지부;
    상기 샤프트에 승하강 가능하게 삽입 결합되며, 상기 상부구조물의 상부에 결합되어 상기 상부구조물의 상부를 지지하는 고정홀더; 및
    상기 하부구조물의 일면 상부에서 상기 샤프트를 중심으로 주변 둘레를 따라 배치되는 복수 개의 위치결정구조물;을 포함하며,
    상기 상부구조물은 복수개의 상기 위치결정구조물에 대응되는 위치에 삽입홀이 형성되고, 상기 하부구조물은 상기 삽입홀에 대응되는 위치에 상기 위치결정구조물이 소정 깊이만큼 삽입결합되는 위치결정구조물 결합홈이 형성되어 상기 위치결정구조물 결합홈에 상기 위치결정구조물이 상부를 향해 연장 형성되도록 결합되며,
    상기 위치결정구조물은 상기 위치결정구조물을 기준으로 상기 상부구조물이 승하강되도록 가이드하여 상기 상부구조물이 수평방향으로 이탈되지 않고 수직방향으로만 승하강될 수 있도록 위치를 조정하고,
    상기 상부구조물은, 상기 고정홀더를 상기 샤프트를 중심으로 승하강시켜 다양한 금속스트립의 폭에 맞춰 상기 하부구조물과 소정 간격을 유지하도록 배치하고 상기 상부구조물 지지부를 상기 샤프트를 중심으로 승하강시켜 상기 상부구조물의 상부가 상기 고정홀더와 접촉결합되고 상기 상부구조물의 하부가 상기 상부구조물 지지부와 접촉결합되도록 고정시킴으로써 상승 또는 하강되어 위치가 고정되는 높이조절형 음극접점장치.
  2. 삭제
  3. 삭제
  4. 삭제
  5. 삭제
KR1020220130646A 2022-10-12 2022-10-12 높이조절형 음극접점장치 KR102510096B1 (ko)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020220130646A KR102510096B1 (ko) 2022-10-12 2022-10-12 높이조절형 음극접점장치

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020220130646A KR102510096B1 (ko) 2022-10-12 2022-10-12 높이조절형 음극접점장치

Publications (1)

Publication Number Publication Date
KR102510096B1 true KR102510096B1 (ko) 2023-03-15

Family

ID=85512176

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020220130646A KR102510096B1 (ko) 2022-10-12 2022-10-12 높이조절형 음극접점장치

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR102510096B1 (ko)

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100670117B1 (ko) 2005-03-10 2007-01-16 대성하이피(주) 연속도금장치의 전극접점장치
KR101596365B1 (ko) * 2015-08-17 2016-02-22 주식회사 나노이앤피 금도금용 누름압력 조정용 케소드롤러조립체
KR101598180B1 (ko) * 2014-08-21 2016-02-29 주식회사 포스코 에지 과도금 방지를 위한 에지 마스크장치

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100670117B1 (ko) 2005-03-10 2007-01-16 대성하이피(주) 연속도금장치의 전극접점장치
KR101598180B1 (ko) * 2014-08-21 2016-02-29 주식회사 포스코 에지 과도금 방지를 위한 에지 마스크장치
KR101596365B1 (ko) * 2015-08-17 2016-02-22 주식회사 나노이앤피 금도금용 누름압력 조정용 케소드롤러조립체

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US2500206A (en) Apparatus for plating
US10053792B2 (en) Plating cup with contoured cup bottom
TW527444B (en) System for electrochemically processing a workpiece
US6193859B1 (en) Electric potential shaping apparatus for holding a semiconductor wafer during electroplating
US9099297B2 (en) Electrochemical processor
US20090134034A1 (en) Prevention of substrate edge plating in a fountain plating process
US8496789B2 (en) Electrochemical processor
KR102197189B1 (ko) 기판 지지 장치
CN103603024A (zh) 一种使电镀层厚度均匀的电镀设备
CN115335555A (zh) 镀覆装置、以及镀覆方法
CN1609282A (zh) 局部电镀的方法以及装置
KR102510096B1 (ko) 높이조절형 음극접점장치
US10557982B2 (en) Die core for light guide plate, manufacturing method thereof, and light guide plate
KR102049961B1 (ko) 차폐된 컨택 링을 구비한 전해 프로세서
CN205934088U (zh) 一种多层电镀挂具
US5364523A (en) Method of electroplating half sliding bearings
JP2002523625A (ja) 棒状被処理物の部分的な電気化学的処理用装置
KR20150017998A (ko) 수평셀 전기도금장치
US3694336A (en) Method for can electrodeposition
CN108265325B (zh) 一种电镀槽
CN114574922B (zh) 一种电子元件的制造方法和制造装置
CN202509152U (zh) 电镀用阳极组件和电镀装置
JP2012526914A (ja) ウェハを処理する方法及びデバイス
KR20020021629A (ko) 전기전도성 중합체로 코팅된 공작물의 전기도금 공정
CN209941131U (zh) 一种旋转式自动卸料电镀滚桶

Legal Events

Date Code Title Description
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant