KR102509119B1 - Apparatus for separating a film - Google Patents

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Abstract

필름을 상기 필름의 외곽에 부착된 링 가이드로부터 분리하는 필름 분리 장치는, 상기 링 가이드를 지지하는 지지 스테이지, 상기 지지 스테이지의 중심부에 승강 가능하게 구비되며, 상기 필름의 중심부를 밀어서 상기 링 가이드 및 필름을 일차적으로 분리하도록 구비된 승강 블록 및 상기 승강 블록으로부터 상기 지지 스테이지를 향하여 연장 가능하게 구비되며, 상기 링 가이드 및 필름 사이에 인입되는 돌출 블록을 포함한다.The film separation device for separating the film from the ring guide attached to the outer edge of the film is provided with a support stage for supporting the ring guide, and is movable at the center of the support stage, and pushes the center of the film to separate the ring guide and the ring guide. It includes a lifting block provided to primarily separate the film, and a protruding block extending from the lifting block toward the support stage and inserted between the ring guide and the film.

Description

필름 분리 장치{APPARATUS FOR SEPARATING A FILM}Film separation device {APPARATUS FOR SEPARATING A FILM}

본 발명의 실시예들은 필름 분리 장치에 관한 것이다. 보다 상세하게는, 본 발명의 실시예들은 필름을 상기 필름을 지지하는 링 가이드로부터 분리할 수 있는 필름 분리 장치에 관한 것이다. Embodiments of the present invention relate to a film separation device. More specifically, embodiments of the present invention relate to a film separation device capable of separating a film from a ring guide supporting the film.

반도체 제조 공정 또는 디스플레이 제조 공정에 있어서, 링 가이드에 부착된 필름을 수직 방향으로 슬롯에 인입하여 보관하는 카세트가 이용된다. 상기 카세트 내에 수납된 복수의 필름들이 보관되어 여러 공정을 위하여 복수의 위치들로 이송될 수 있다.In a semiconductor manufacturing process or a display manufacturing process, a cassette is used for storing a film attached to a ring guide by being drawn into a slot in a vertical direction. A plurality of films housed in the cassette may be stored and transported to a plurality of locations for various processes.

상기 카세트 내에는 복수의 슬롯이 수직 방향으로 따라 형성된다. 상기 슬롯에는 링 가이드에 부착된 복수의 필름들이 슬롯마다 수납될 수 있다.A plurality of slots are formed along the vertical direction in the cassette. A plurality of films attached to the ring guide may be accommodated in the slot for each slot.

특정 위치에서 도착한 카세트는 그 내부에 수납된 링 가이드에 부착된 필름을 개별적으로 언로딩된다. 이때, 상기 링 가이드로부터 상기 필름을 분리하여 상기 필름이 개별적으로 배출된다. 한편, 상기 링 가이드는 별도로 카세트 내에 투입될 수 있다.The cassette arriving at a specific location unloads the film attached to the ring guide stored therein individually. At this time, the film is individually discharged by separating the film from the ring guide. Meanwhile, the ring guide may be separately put into the cassette.

이때, 상기 링 가이드로부터 상기 필름을 용이하게 분리할 수 있는 필름 분리 장치가 필요하다.At this time, a film separation device capable of easily separating the film from the ring guide is required.

본 발명의 실시예들은 필름을 상기 필름이 부착된 링 가이드로부터 용이하게 분리할 수 있는 필름 분리 장치를 제공한다. Embodiments of the present invention provide a film separation device capable of easily separating a film from the ring guide to which the film is attached.

본 발명의 실시예들에 따른 필름을 상기 필름의 외곽에 부착된 링 가이드로부터 분리하는 필름 분리 장치로서, 필름 분리 장치는, 상기 링 가이드를 지지하는 지지 스테이지, 상기 링 가이드를 사이에 두고 상기 지지 스테이지를 향하여 가압하는 가압 블록, 상기 지지 스테이지의 중심부에 승강 가능하게 구비되며, 상기 필름의 중심부를 밀어서 상기 링 가이드 및 필름을 일차적으로 분리하도록 구비된 승강 블록 및 상기 승강 블록으로부터 상기 지지 스테이지를 향하여 연장 가능하게 구비되며, 상기 링 가이드 및 필름 사이에 인입되는 돌출 블록을 포함한다.A film separation device according to embodiments of the present invention for separating a film from a ring guide attached to the outer edge of the film, the film separation device comprising: a support stage supporting the ring guide; A press block for pressing toward the stage, a lift block provided to be liftable at the center of the support stage, and provided to primarily separate the ring guide and the film by pushing the center of the film, and a lift block from the lift block toward the support stage. It is provided to be extendable and includes a protruding block inserted between the ring guide and the film.

본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 돌출 블록을 상기 필름의 최외각까지 연장되도록 하는 수평 구동부가 추가적으로 제공된다.In one embodiment of the present invention, a horizontal driving unit is additionally provided to extend the protruding block to the outermost edge of the film.

본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 승강 블록을 회전시켜 상기 돌출 블록을 상기 승강 블록을 중심으로 회전시키는 회전 구동부가 추가적으로 제공된다.In one embodiment of the present invention, a rotation driving unit for rotating the lifting block to rotate the protruding block around the lifting block is additionally provided.

본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 승강 블록과 마주보도록 이동가능하게 배치되며, 상기 필름을 홀딩할 수 있도록 구비된 홀딩 블록이 추가적으로 제공될 수 있다.In one embodiment of the present invention, a holding block movably disposed to face the lifting block and provided to hold the film may be additionally provided.

여기서, 상기 홀딩 블록은 홀딩 몸체부 및 상기 홀딩 몸체부를 둘러싸며, 상기 필름의 외곽부를 가압하거나 홀딩할 수 있도록 구비된 승강부를 포함할 수 있다.Here, the holding block may include a holding body portion and an elevation portion provided to press or hold the outer portion of the film surrounding the holding body portion.

상술한 바와 같은 본 발명의 실시예들에 따른 필름 분리 장치에 따르면, 승강 블록이 지지 스테이지의 중심부에 승강 가능하게 구비되며, 상기 필름의 중심부를 밀어서 상기 링 가이드 및 필름을 일차적으로 분리하고, 돌출 블록이 상기 승강 블록으로부터 상기 지지 스테이지를 향하여 연장 가능하게 구비되며, 상기 링 가이드 및 필름 사이에 인입되는 추가적으로 분리함으로써, 상기 필름이 링 가이드로부터 용이하게 분리될 수 있다.According to the film separation device according to the embodiments of the present invention as described above, the lifting block is provided to be liftable at the center of the support stage, and the ring guide and the film are primarily separated by pushing the center of the film, and the protruding A block is provided to be extendable from the lifting block toward the support stage, and the film can be easily separated from the ring guide by additionally separating the ring guide and the film.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 필름 분리 장치를 설명하기 위한 단면도이다.
도 2 및 도 3은 도 1의 필름 분리 장치의 구동을 설명하기 위한 단면도들이다.1 is a cross-sectional view for explaining a film separation device according to an embodiment of the present invention.
2 and 3 are cross-sectional views for explaining the driving of the film separation device of FIG. 1 .

이하, 본 발명의 실시예들은 첨부 도면들을 참조하여 상세하게 설명된다. 그러나, 본 발명은 하기에서 설명되는 실시예들에 한정된 바와 같이 구성되어야만 하는 것은 아니며 이와 다른 여러 가지 형태로 구체화될 수 있을 것이다. 하기의 실시예들은 본 발명이 온전히 완성될 수 있도록 하기 위하여 제공된다기보다는 본 발명의 기술 분야에서 숙련된 당업자들에게 본 발명의 범위를 충분히 전달하기 위하여 제공된다.Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. However, the present invention does not have to be configured as limited to the embodiments described below and may be embodied in various other forms. The following examples are not provided to fully complete the present invention, but rather to fully convey the scope of the present invention to those skilled in the art.

본 발명의 실시예들에서 하나의 요소가 다른 하나의 요소 상에 배치되는 또는 연결되는 것으로 설명되는 경우 상기 요소는 상기 다른 하나의 요소 상에 직접 배치되거나 연결될 수도 있으며, 다른 요소들이 이들 사이에 개재될 수도 있다. 이와 다르게, 하나의 요소가 다른 하나의 요소 상에 직접 배치되거나 연결되는 것으로 설명되는 경우 그들 사이에는 또 다른 요소가 있을 수 없다. 다양한 요소들, 조성들, 영역들, 층들 및/또는 부분들과 같은 다양한 항목들을 설명하기 위하여 제1, 제2, 제3 등의 용어들이 사용될 수 있으나, 상기 항목들은 이들 용어들에 의하여 한정되지는 않을 것이다.In the embodiments of the present invention, when one element is described as being disposed on or connected to another element, the element may be directly disposed on or connected to the other element, and other elements may be interposed therebetween. It could be. Alternatively, when an element is described as being directly disposed on or connected to another element, there cannot be another element between them. The terms first, second, third, etc. may be used to describe various items such as various elements, compositions, regions, layers and/or parts, but the items are not limited by these terms. will not

본 발명의 실시예들에서 사용된 전문 용어는 단지 특정 실시예들을 설명하기 위한 목적으로 사용되는 것이며, 본 발명을 한정하기 위한 것은 아니다. 또한, 달리 한정되지 않는 이상, 기술 및 과학 용어들을 포함하는 모든 용어들은 본 발명의 기술 분야에서 통상적인 지식을 갖는 당업자에게 이해될 수 있는 동일한 의미를 갖는다. 통상적인 사전들에서 한정되는 것들과 같은 상기 용어들은 관련 기술과 본 발명의 설명의 문맥에서 그들의 의미와 일치하는 의미를 갖는 것으로 해석될 것이며, 명확히 한정되지 않는 한 이상적으로 또는 과도하게 외형적인 직감으로 해석되지는 않을 것이다.Technical terms used in the embodiments of the present invention are only used for the purpose of describing specific embodiments, and are not intended to limit the present invention. In addition, unless otherwise limited, all terms including technical and scientific terms have the same meaning as can be understood by those skilled in the art having ordinary knowledge in the technical field of the present invention. The above terms, such as those defined in conventional dictionaries, shall be construed to have a meaning consistent with their meaning in the context of the relevant art and description of the present invention, unless expressly defined, ideally or excessively outwardly intuition. will not be interpreted.

본 발명의 실시예들은 본 발명의 이상적인 실시예들의 개략적인 도해들을 참조하여 설명된다. 이에 따라, 상기 도해들의 형상들로부터의 변화들, 예를 들면, 제조 방법들 및/또는 허용 오차들의 변화는 충분히 예상될 수 있는 것들이다. 따라서, 본 발명의 실시예들은 도해로서 설명된 영역들의 특정 형상들에 한정된 바대로 설명되어지는 것은 아니라 형상들에서의 편차를 포함하는 것이며, 도면들에 설명된 요소들은 전적으로 개략적인 것이며 이들의 형상은 요소들의 정확한 형상을 설명하기 위한 것이 아니며 또한 본 발명의 범위를 한정하고자 하는 것도 아니다.Embodiments of the present invention are described with reference to schematic illustrations of idealized embodiments of the present invention. Accordingly, variations from the shapes of the illustrations, eg, variations in manufacturing methods and/or tolerances, are fully foreseeable. Accordingly, embodiments of the present invention are not to be described as being limited to specific shapes of regions illustrated as diagrams, but to include variations in shapes, and elements described in the drawings are purely schematic and their shapes is not intended to describe the exact shape of the elements, nor is it intended to limit the scope of the present invention.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 필름 분리 장치를 설명하기 위한 단면도이다.1 is a cross-sectional view for explaining a film separation device according to an embodiment of the present invention.

도 1을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 필름 분리 장치(100)는, 지지 스테이지, 가압 블록, 승강 부재 및 돌출 블록을 포함한다. 상기 필름 분리 장치(100)는 필름(10)을 상기 필름의 외곽에 부착된 링 가이드(20)로부터 분리할 수 있다. 상기 링 가이드(20)는 디스크 형상을 가진다. 상기 링 가이드(20)는 상기 필름(10)의 외곽을 지지할 수 있다. 이로써, 상기 링 가이드(20)는 필름(10)의 형태, 예를 들면 펼쳐진 상태를 유지할 수 있다. 상기 필름(10) 상에는 복수의 부품들이 배열된 상태로 부착될 수 있다.Referring to FIG. 1 , a film separation apparatus 100 according to an embodiment of the present invention includes a support stage, a pressing block, an elevating member, and a protruding block. The film separation device 100 may separate the film 10 from the ring guide 20 attached to the outside of the film. The ring guide 20 has a disk shape. The ring guide 20 may support the outside of the film 10 . Thus, the ring guide 20 can maintain the shape of the film 10, for example, in an unfolded state. A plurality of parts may be attached to the film 10 in an arranged state.

상기 지지 스테이지(110)는 상기 링 가이드(20)를 지지한다. 상기 지지 스테이지(110)는 예를 들면 디스크 형상을 가질 수 있다. 상기 지지 스테이지(110)는 상기 승강 부재(130)를 수용할 수 있는 공간을 갖는 디스크 형상을 가질 수 있다. The support stage 110 supports the ring guide 20 . The support stage 110 may have a disk shape, for example. The support stage 110 may have a disk shape having a space capable of accommodating the elevating member 130 .

상기 승강 블록(130)은 상기 지지 스테이지(110)의 중심부에 승강 가능하게 구비된다. 상기 승강 블록(130)은 상기 필름(10)의 중심부를 상방으로 밀수 있다. 이로써, 상기 승강 블록(130)은 상기 링 가이드(20)가 클램핑된 상태에서 상기 링 가이드(20) 및 필름(10)을 일차적으로 분리할 수 있다.The lifting block 130 is provided at the center of the support stage 110 to be able to move up and down. The lifting block 130 may push the central portion of the film 10 upward. Accordingly, the lifting block 130 may primarily separate the ring guide 20 and the film 10 in a state in which the ring guide 20 is clamped.

상기 승강 블록(130)은 예를 들면, 사각 기둥 형상을 가질 수 있다. 상기 승강 블록(130)은 별도의 승강 구동부와 연결될 수 있다. 상기 승강 구동부는 예를 들면 실린더, 모터 등과 같은 직선 구동원을 포함할 수 있다.The lifting block 130 may have, for example, a square pillar shape. The lift block 130 may be connected to a separate lift driver. The lifting driver may include, for example, a linear driving source such as a cylinder or a motor.

상기 돌출 블록(140)은 상기 승강 블록(130)으로부터 상기 지지 스테이지(110)를 향하여 연장 가능하게 구비된다. 상기 돌출 블록(140)은 상기 승강 블록(130)의 상단부에 위치할 수 있다. 상기 돌출 블록(140)은 복수의 부재(140a, 140b)을 상호 접거나 펼쳐서 길이를 조절할 수 있는 접이식 구조를 가질 수 있다. 이와 다르게, 상기 돌출 블록(140)은 텔레스코프 구조를 가질 수 있다. The protruding block 140 is provided to be extendable from the lifting block 130 toward the support stage 110 . The protruding block 140 may be located at an upper end of the lifting block 130 . The protruding block 140 may have a folding structure capable of adjusting its length by folding or unfolding the plurality of members 140a and 140b. Alternatively, the protruding block 140 may have a telescopic structure.

상기 돌출 블록(140)은 상기 링 가이드(20) 및 필름(10) 사이에 인입될 수 있다. 이로서, 상기 돌출 블록(140)이 상기 링 가이드(20) 및 필름(10)을 이차적으로 분리할 수 있다.The protruding block 140 may be inserted between the ring guide 20 and the film 10 . As a result, the protruding block 140 may secondarily separate the ring guide 20 and the film 10 .

본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 승강 블록(130)을 회전시켜 상기 돌출 블록(140)을 상기 승강 블록(130)을 중심으로 회전시키는 회전 구동부가 추가적으로 제공될 수 있다. 이로써, 상기 회전 구동부가 회전함에 따라 상기 링 가이드(20) 및 필름(10)을 완전히 분리할 수 있다. In one embodiment of the present invention, a rotation driving unit may be additionally provided to rotate the lifting block 130 to rotate the protruding block 140 around the lifting block 130 . Thus, as the rotary driving unit rotates, the ring guide 20 and the film 10 can be completely separated.

본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 돌출 블록(140)은 선단부로 갈수록 첨예한 형상을 가질 수 있다. 이로써, 상기 돌출 블록(140)이 상기 링 가이드(20) 및 필름(10) 사이에 인입될 경우, 상기 돌출 블록(140)이 보다 용이하게 인입될 수 있다.In one embodiment of the present invention, the protruding block 140 may have a sharp shape toward the front end. Thus, when the protruding block 140 is inserted between the ring guide 20 and the film 10, the protruding block 140 can be more easily inserted.

도 2 및 도 3은 도 1의 필름 분리 장치의 구동을 설명하기 위한 단면도들이다.2 and 3 are cross-sectional views for explaining the operation of the film separation device of FIG. 1 .

도 2를 참조하면, 상기 승강 블록(130)이 상기 지지 스테이지(110)의 중심부에 상승한다. 이로써, 상기 승강 블록(130)은 상기 필름(10)의 중심부를 상방으로 밀 수 있다. 따라서, 상기 승강 블록(130)은 상기 링 가이드(20) 및 필름(10)을 일차적으로 분리할 수 있다.Referring to FIG. 2 , the lifting block 130 rises to the center of the support stage 110 . Thus, the lifting block 130 can push the center of the film 10 upward. Accordingly, the lifting block 130 may primarily separate the ring guide 20 and the film 10 .

도 3을 참조하면, 상기 돌출 블록(140)은 연장되어, 상기 링 가이드(20) 및 필름(10) 사이에 인입될 수 있다. 이로써, 상기 돌출 블록(140)이 상기 링 가이드(20) 및 필름(10)을 이차적으로 분리할 수 있다.Referring to FIG. 3 , the protruding block 140 may be extended and inserted between the ring guide 20 and the film 10 . Thus, the protruding block 140 may secondarily separate the ring guide 20 and the film 10 .

이후, 승강 블록(130)이 회전함에 따라 상기 돌출 블록(140)이 함께 회전한다. 이로써, 상기 돌출 블록(140)이 상기 링 가이드(20) 및 필름(10)을 완전히 분리할 수 있다.Then, as the elevation block 130 rotates, the protruding block 140 rotates together. Thus, the protruding block 140 can completely separate the ring guide 20 and the film 10 .

본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 승강 블록과 마주보도록 이동가능하게 배치되며, 상기 필름을 홀딩할 수 있도록 구비된 홀딩 블록(120)이 추가적으로 제공될 수 있다.In one embodiment of the present invention, a holding block 120 movably arranged to face the lifting block and provided to hold the film may be additionally provided.

여기서, 상기 홀딩 블록(120)은 홀딩 몸체부(121) 및 상기 홀딩 몸체부(121)를 둘러싸며, 상기 필름의 외곽부를 가압하거나 홀딩할 수 있도록 구비된 승강부(122)를 포함할 수 있다.Here, the holding block 120 may include a holding body portion 121 and an elevation portion 122 provided to surround the holding body portion 121 and to press or hold the outer portion of the film. .

상기 홀딩 블록(120)은 상기 필름을 가압하거나 홀딩할 수 있다. 상기 홀딩 블록(120)은 상기 가이드 링으로부터 분리된 필름을 홀딩하여 다른 위치로 이송할 수 있다.The holding block 120 may press or hold the film. The holding block 120 may hold the film separated from the guide ring and transport it to another location.

상기 홀딩 몸체부(121)는 상기 승강 블록(130)에 대응되도록 위치할 수 있다. The holding body part 121 may be positioned to correspond to the lifting block 130 .

상기 승강부(122)은 상기 홀딩 몸체부(121)를 둘러싸도록 구비된다. 또한, 상기 승강부(122)는 상기 지지 스테이지(110)의 상부에 배치된다. 상기 승강부(122)은 상기 링 가이드(20)를 사이에 두고 상기 지지 스테이지(110)를 향하여 가압할 수 있다. 한편, 승강부(122)는 필름의 외주부를 홀딩 할 수 있다. The elevation part 122 is provided to surround the holding body part 121 . In addition, the elevation part 122 is disposed above the support stage 110 . The elevation part 122 may press the ring guide 20 toward the support stage 110 therebetween. Meanwhile, the elevating unit 122 may hold the outer periphery of the film.

상기 승강부(122)은 지지 스테이지(110)와 동일한 형상, 예를 들면 디스크 형상을 가질 수 있다. The elevation part 122 may have the same shape as the support stage 110 , for example, a disk shape.

상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 청구범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.Although the above has been described with reference to preferred embodiments of the present invention, those skilled in the art can variously modify and change the present invention without departing from the spirit and scope of the present invention described in the claims below. You will understand that there is

10: 기판 20: 링 가이드
100: 필름 분리 장치 110: 지지 스테이지
130: 승강 블록 140: 돌출 블록10: substrate 20: ring guide
100: film separation device 110: support stage
130: lifting block 140: protruding block

Claims (5)

필름을 상기 필름의 외곽에 부착된 링 가이드로부터 분리하는 필름 분리 장치로서,
상기 링 가이드를 지지하는 지지 스테이지;
상기 지지 스테이지의 중심부에 승강 가능하게 구비되며, 상기 필름의 중심부를 밀어서 상기 링 가이드 및 필름을 일차적으로 분리하도록 구비된 승강 블록; 및
상기 승강 블록으로부터 상기 지지 스테이지를 향하여 연장 가능하게 구비되며, 상기 링 가이드 및 필름 사이에 인입되는 돌출 블록을 포함하는 것을 특징으로 하는 필름 분리 장치. As a film separation device for separating the film from the ring guide attached to the outside of the film,
a support stage supporting the ring guide;
an elevating block provided at the central portion of the support stage to be movable, and configured to primarily separate the ring guide and the film by pushing the central portion of the film; and
and a protruding block extending from the lifting block toward the support stage and being inserted between the ring guide and the film. 제1항에 있어서, 상기 돌출 블록을 상기 필름의 최외각까지 연장되도록 하는 수평 구동부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 필름 분리 장치.The film separation device according to claim 1, further comprising a horizontal drive unit extending the protruding block to an outermost edge of the film. 제1항에 있어서, 상기 승강 블록을 회전시켜 상기 돌출 블록을 상기 승강 블록을 중심으로 회전시키는 회전 구동부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 필름 분리 장치.The film separation device according to claim 1, further comprising a rotation driving unit which rotates the lifting block to rotate the projecting block about the lifting block. 제1항에 있어서, 상기 승강 블록과 마주보도록 이동가능하게 배치되며, 상기 필름을 홀딩할 수 있도록 구비된 홀딩 블록을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 필름 분리 장치. The film separation device according to claim 1, further comprising a holding block movably disposed to face the lifting block and provided to hold the film. 제4항에 있어서, 상기 홀딩 블록은 홀딩 몸체부 및 상기 홀딩 몸체부를 둘러싸며, 상기 필름의 외곽부를 가압하거나 홀딩할 수 있도록 구비된 승강부를 포함하는 것을 특징으로 하는 필름 분리 장치.The film separation device according to claim 4, wherein the holding block includes a holding body and an elevation portion surrounding the holding body and pressurizing or holding an outer portion of the film.
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