KR102498707B1 - 반도체 제조공정에 사용되는 약품배관 피팅용 풀림방지블럭 - Google Patents

Abstract

본 발명은 피팅부에 나사체결된 암너트의 외부에 풀림방지블럭을 장착하여 외부 진동으로 암너트가 풀리는 것을 차단하는 것으로 약품의 누출로 인한 반도체 제조공정장치의 고장 및 안전사고를 미연에 방지하고, 내측방향으로 만곡되는 탄성만곡편이 형성된 체결부를 구비하여 풀림방지블럭을 간편하게 조립할 수 있는 효과가 있다.

Description

반도체 제조공정에 사용되는 약품배관 피팅용 풀림방지블럭 { Loosening block for chemical pipe fittings used in semiconductor manufacturing process }

본 발명은 반도체 제조공정에 사용되는 약품배관 피팅용 풀림방지블럭에 관한 것으로서 보다 상세하게는 반도체 제조공정상 발생하는 외부 진동으로 암너트가 풀리는 것이 차단되도록 피팅부에 체결된 암너트의 외부에 풀림방지블럭이 장착되고, 풀림방지블럭이 간편하게 조립되도록 내측방향으로 만곡되는 탄성만곡편이 형성된 반도체 제조공정에 사용되는 약품배관 피팅용 풀림방지블럭에 관한 것이다.

일반적으로 반도체 제조 공정에서는 초순수(DIW), 황산, 인산, 염산, 질산, 불산 등의 화학 약품(이하, 단순히 "약품"이라고 함)을 세정 약품, 식각 약품, 현상 약품 등으로 사용하고 있다. 이들 약품은 화학적 활성을 위하여 일정 온도로 가열하여 반도체 제조 공정에 사용한다.

이러한 종래의 약품공급 시스템에 대한 기술문헌으로 국내 공개실용신안공보 제20-1999-0036453호가 개시되었다.

한편, 상기 개시된 종래의 기술적 구조를 살펴보면 각각 특정한 약품이 담긴 약품탱크가 약품공급실에 수개 설치되고, 그 각각의 약품탱크에는 하나의 순환배관이 연결되며, 순환배관에는 약품공급펌프가 설치되어 순환배관을 통해 약품이 순환되어 약품탱크로 되돌아 가도록 구성되었다.

여기서, 상기 순환배관의 단부에는 각각의 순환배관이 연결되는 피팅부가 구비되는데 이러한 피팅부는 순환배관의 일단부에 형성된 수볼트부와, 타단부에 형성된 걸림돌부와, 상기 수볼트부에 체결되며 상기 걸림돌부가 내부로 삽입되어 이탈을 방지하는 컵형태의 암너트부로 구성된다.

그러나, 최근들어 순환배관을 통하여 액상의 약품을 이동시키기 위해서 구비된 약품공급펌프 및 외부의 구동장치 즉, 모터 및 콤프레샤등의 진동이 발생되는 장치로서 상기 수볼트부에 체결된 암너트부의 체결이 헐거워지거나 잠겨진 부분이 풀려 약품이 외부로 누출되는 상황들이 발생되고 있다.

이러한 상황들로 인하여 순환배관의 외부로 약품이 누출되어 주변 장치들을 부식시켜 고가의 반도체 공정장비를 수명을 단축시키거나 작업자의 피부에 접촉되어 안전사고를 발생시키는 문제점이 있었다.

본 발명은 상기와 같은 종래 기술의 문제점을 해결하기 위해 창작된 것으로 본 발명의 목적은 피팅부에 나사체결된 암너트의 외부에 풀림방지블럭을 장착하여 외부 진동으로 암너트가 풀리는 것을 차단하는 것으로 약품의 누출로 인한 반도체 제조공정장치의 고장 및 안전사고를 미연에 방지하고, 내측방향으로 만곡되는 탄성만곡편이 형성된 체결부를 구비하여 풀림방지블럭을 간편하게 조립할 수 있는 반도체 제조공정에 사용되는 약품배관 피팅용 풀림방지블럭을 제공함에 있다.

상기한 목적을 달성하기 위한 본 발명에 의한 반도체 제조공정에 사용되는 약품배관 피팅용 풀림방지블럭은 반도체 제조공정에 사용되며 외주면에 멈춤돌기가 형성된 약품배관과, 상기 약품배관과 또 다른 약품배관을 연결하는 암너트로 이루어진 피팅부의 풀림을 방지하는 풀림방지블럭으로서 상기 암너트의 일면에 안착된 반쪽짜리 원통형상의 블럭구와, 상기 블럭구의 상면에 상기 암너트가 삽입되는 너트수용홈과, 상기 블럭구의 일측면에 상기 멈춤돌기에 걸려지도록 차단된 돌기걸림벽과, 상기 블럭구의 타측면에 상기 암너트의 일측면을 차단하는 너트차단벽과, 상기 돌기걸림벽과 너트차단벽의 내부면에 상기 약품배관이 관통하는 배관공으로 이루어진 베이스부와; 상기 블럭구의 상부에 구비된 체결구와, 상기 체결구의 내부면에 형성되며 상기 암너트의 외주면이 안착되는 너트안착홈과, 상기 체결구의 하면에서 하부로 연장되며 상기 블럭구와 결합되는 체결편으로 이루어진 체결부;로 구성된 것을 특징으로 한다.

상기 체결편의 하단부에는 상기 블럭구의 외주면을 가압하며 체결되도록 내측방향으로 만곡된 탄성만곡편이 형성된 것을 특징으로 한다.

상기 블럭구의 외주면에는 체결편이 끼워지도록 내측으로 요입된 체결편홈이 형성되고, 상기 체결편홈의 내측면에는 상기 탄성만곡편과 동일하게 만곡된 탄성만곡홈이 형성된 것을 특징으로 한다.

상기 체결편의 내측면에는 내측방향으로 돌출된 걸림돌기가 형성되고; 상기 체결편홈에는 상기 걸림돌기가 삽입된 걸림홈이 형성된 것을 특징으로 한다.

상기 너트수용홈과 너트안착홈의 내측면에는 상기 암너트의 회전을 방지하는 탄성재질의 회전방지패드가 구비된 것을 특징으로 한다.

상기 블럭구의 하면에는 상기 암너트의 풀림으로 누출된 약품이 육안으로 확인되도록 하부방향으로 개방된 확인천공부가 형성된 것을 특징으로 한다.

이와 같이 본 발명에 따른 반도체 제조공정에 사용되는 약품배관 피팅용 풀림방지블럭의 효과는 다음과 같다.

첫째, 피팅부에 나사체결된 암너트의 외부에 풀림방지블럭을 장착함으로써, 외부 진동으로 암너트가 풀리는 것을 차단하여 약품의 누출로 인한 반도체 제조공정장치의 고장 및 안전사고를 미연에 방지할 수 있고,

둘째, 내측방향으로 만곡되는 탄성만곡편이 형성된 체결부를 구비함으로써, 풀림방지블럭을 간편하게 조립할 수 있으며,

셋째, 탄성만곡편의 내측면에 걸림돌기를 형성하고 블럭구의 내측부에 걸림홈을 형성함으로써, 풀림방지블럭의 결합력을 대폭 향상시킬 수 있고,

넷째, 너트수용홈과 너트안착홈의 내측면에 탄성재질의 회전방지패드를 구비함으로써, 암너트의 회전을 미연에 방지할 수 있으며,

다섯째, 블럭구의 하면에 하부방향으로 개방된 확인천공부를 형성함으로써, 암너트의 풀림으로 누출된 약품을 육안으로 확인하거나 외부로 유출시켜 피팅부의 불량 및 파손을 미연에 파악할 수 있는 효과가 있다.

도 1은 본 발명에 따른 피팅부를 나타내 보인 분해사시도이고,
도 2는 본 발명에 따른 풀림방지블럭이 장착된 피팅부를 나타내 보인 사시도이며,
도 3은 본 발명에 따른 풀림방지블럭이 분해된 피팅부를 나타내 보인 분해사시도이고,
도 4는 본 발명에 다른 풀림방지블럭이 체결된 것을 나타내 보인 결합도 및 부분확대 단면도이며,
도 5는 본 발명의 탄성만곡편 및 탄성만곡홈을 나타내 보인 부분 분해사시도이고,
도 6은 본 발명의 걸림돌기 및 걸림홈을 나타내 보인 부분 분해사시도이며,
도 7은 본 발명의 회전방지패드을 나타내 보인 부분 분해사시도이고,
도 8은 본 발명의 확인천공부를 나타내 보인 하부 결합사시도이다.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 일 실시예를 상세히 설명하면 다음과 같다.

본 발명에 따른 반도체 제조공정에 사용되는 약품배관 피팅용 풀림방지블럭은 반도체 제조공정에 사용되며 외주면에 멈춤돌기(P1)가 형성된 약품배관(P)과, 상기 약품배관(P)과 또 다른 약품배관(P)을 연결하는 암너트(N)로 이루어진 피팅부(F)의 풀림을 방지하는 풀림방지블럭(1)으로써, 도 1 내지 도 4에 도시된 바와 같이 상기 암너트(N)의 일면에 안착된 반쪽짜리 원통형상의 블럭구(11)와, 상기 블럭구(11)의 상면에 상기 암너트(N)가 삽입되는 너트수용홈(12)과, 상기 블럭구(11)의 일측면에 상기 멈춤돌기(P1)에 걸려지도록 차단된 돌기걸림벽(13)과, 상기 블럭구(11)의 타측면에 상기 암너트(N)의 일측면을 차단하는 너트차단벽(14)과, 상기 돌기걸림벽(13)과 너트차단벽(14)의 내부면에 상기 약품배관(P)이 관통하는 배관공(15)으로 이루어진 베이스부(10)와; 상기 블럭구(11)의 상부에 구비된 체결구(21)와, 상기 체결구(21)의 내부면에 형성되며 상기 암너트(N)의 외주면이 안착되는 너트안착홈(22)과, 상기 체결구(21)의 하면에서 하부로 연장되며 상기 블럭구(11)와 결합되는 체결편(23)으로 이루어진 체결부(20);로 구성된다.

한편, 상기 피팅부(F)는 상기 약품배관(P)의 일단부에 형성된 수나사(B)와,, 상기 수나사(B)에 체결되는 상기 암너트(N)와, 상기 암너트(N)의 내부에 삽입되어 상기 약품배관(P)이 타측으로 이탈되는 것을 차단하도록 상기 약품배관(P)의 타단부에 돌출된 걸림돌부(미도시)로 이루어지는 것이 바람직하다.

그리고, 상기 체결편(23)의 하단부에는 도 5에 도시된 바와 같이 상기 블럭구(11)의 외주면을 가압하며 체결되도록 내측방향으로 만곡된 탄성만곡편(24)이 형성된다.

또한, 상기 블럭구(11)의 외주면에는 체결편(23)이 끼워지도록 내측으로 요입된 체결편홈(16)이 형성되고, 상기 체결편홈(16)의 내측면에는 상기 탄성만곡편(24)과 동일하게 만곡된 탄성만곡홈(161)이 형성된다.

그리고, 상기 체결편(23)의 내측면에는 도 6에 도시된 바와 같이 내측방향으로 돌출된 걸림돌기(231)가 형성되고; 상기 체결편홈(16)에는 상기 걸림돌기(231)가 삽입된 걸림홈(162)이 형성된다.

또한, 상기 너트수용홈(12)과 너트안착홈(22)의 내측면에는 도 7에 도시된 바와 같이 상기 암너트(N)의 회전을 방지하는 탄성재질의 회전방지패드(121)가 구비된다.

그리고, 상기 블럭구(11)의 하면에는 도 8에 도시된 바와 같이 상기 암너트(N)의 풀림으로 누출된 약품(A)이 육안으로 확인되도록 하부방향으로 개방된 확인천공부(111)가 형성된다.

상기와 같은 구성으로 이루어진 본 발명에 따른 반도체 제조공정에 사용되는 약품배관 피팅용 풀림방지블럭의 작용을 살펴보면 다음과 같다.

본 발명에 따른 반도체 제조공정에 사용되는 약품배관 피팅용 풀림방지블럭은 본 발명에 따른 반도체 제조공정에 사용되는 약품배관 피팅용 풀림방지블럭은 반도체 제조공정에 사용되며 외주면에 멈춤돌기(P1)가 형성된 약품배관(P)과, 상기 약품배관(P)과 또 다른 약품배관(P)을 연결하는 암너트(N)로 이루어진 피팅부(F)의 풀림을 방지하는 풀림방지블럭(1)이다.

즉, 상기 풀림방지블럭(1)은 도 1 내지 도 4에 도시된 바와 같이 상기 피팅부(F)에 나사체결된 암너트(N)의 외부에 장착됨으로써, 외부의 진동으로 상기 암너트(N)가 풀리는 것을 미연에 차단할 수 있게 된다.

여기서, 상기 암너트(N)의 풀림을 차단하는 작용은 상기 멈춤돌기(P1)에 걸려지도록 차단된 돌기걸림벽(13)과, 상기 블럭구(11)의 타측면에 상기 암너트(N)의 일측면을 차단하는 너트차단벽(14)이 형성된 베이스부(10)를 통하여 상기 암너트(N)의 양측을 막아주는 것으로 외부의 진동으로 암너트(N)가 회전되더라도 이동을 차단하여 더이상 풀리는 것을 방지할 수 있게 된다.

이때, 상기 베이스부(10)의 상부에 "C"형상의 체결부(20)를 구비함으로써, 상기 베이스부(10)가 하부로 낙하하지 않고 상기 암너트(N)에 체결시킬 수 있게 된다.

그리고, 상기 체결편(23)의 하단부에 도 5에 도시된 바와 같이 상기 블럭구(11)의 외주면을 가압하며 체결되도록 내측방향으로 만곡된 탄성만곡편(24)이 형성되고, 상기 블럭구(11)의 외주면에 상기 탄성만곡편(24)과 동일하게 만곡된 탄성만곡홈(161)이 형성됨으로써, 상기 체결부(20)를 상기 베이스부(10)의 상부방향으로 밀어 넣을 경우 상기 탄성만곡편(24)이 외측으로 벌어지며 상기 탄성만곡홈(161)으로 인입하게 된다.

이후 상기 탄성만곡홈(161)에 삽입된 탄성만곡편(24)은 내측으로 만곡된 힘으로 상기 베이스부(10)와 체결하게 된다.

그리고, 상기 체결편(23)의 내측면에 도 6에 도시된 바와 같이 내측방향으로 돌출된 걸림돌기(231)가 형성되고; 상기 체결편홈(16)에 상기 걸림돌기(231)가 삽입된 걸림홈(162)이 형성됨으로써, 상기 체결편(23)이 체결편홈(16)으로 삽입된 후 결합력이 향상되도록 하여 견고하게 체결할 수 있게 된다.

또한, 상기 너트수용홈(12)과 너트안착홈(22)의 내측면에는 도 7에 도시된 바와 같이 탄성재질의 회전방지패드(121)가 구비됨으로써, 상기 암너트(N)의 회전을 방지하여 풀리는 것을 미연에 차단할 수 있게 된다.

그리고, 상기 블럭구(11)의 하면에는 도 8에 도시된 바와 같이 하부방향으로 개방된 확인천공부(111)가 형성됨으로써, 상기 암너트(N)의 풀림으로 누출된 약품(A)을 육안으로 확인하여 피팅부(F)의 불량 및 파손을 미연에 파악할 수 있게 된다.

본 발명은 상술한 특정의 바람직한 실시 예에 한정되지 아니하며, 청구범위에서 청구하는 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 당해 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 누구든지 다양한 변형실시가 가능한 것은 물론이고, 그와 같은 변경은 청구범위 기재의 범위 내에 있게 된다.

<도면의 주요 부분에 대한 부호 설명>
F : 피팅부 P : 약품배관
P1 : 멈춤돌기 N : 암너트
A : 약품 1 : 풀림방지블럭
10 : 베이스부 11 : 블럭구
111 : 확인천공부 12 : 너트수용홈
121 : 회전방지패드 13 : 돌기걸림벽
14 : 너트차단벽 15 : 배관공
16 : 체결편홈 161 : 탄성만곡홈
162 : 걸림홈 20 : 체결부
21 : 체결구 22 : 너트안착홈
23 : 체결편 231 : 걸림돌기
24 : 탄성만곡편

Claims (6)

1. 반도체 제조공정에 사용되며 외주면에 멈춤돌기(P1)가 형성된 약품배관(P)과, 상기 약품배관(P)과 또 다른 약품배관(P)을 연결하는 암너트(N)로 이루어진 피팅부(F)의 풀림을 방지하는 풀림방지블럭(1)에 있어서,
   상기 암너트(N)의 일면에 안착된 반쪽짜리 원통형상의 블럭구(11)와, 상기 블럭구(11)의 상면에 상기 암너트(N)가 삽입되는 너트수용홈(12)과, 상기 블럭구(11)의 일측면에 상기 멈춤돌기(P1)에 걸려지도록 차단된 돌기걸림벽(13)과, 상기 블럭구(11)의 타측면에 상기 암너트(N)의 일측면을 차단하는 너트차단벽(14)과, 상기 돌기걸림벽(13)과 너트차단벽(14)의 내부면에 상기 약품배관(P)이 관통하는 배관공(15)으로 이루어진 베이스부(10)와;
   상기 블럭구(11)의 상부에 구비된 체결구(21)와, 상기 체결구(21)의 내부면에 형성되며 상기 암너트(N)의 외주면이 안착되는 너트안착홈(22)과, 상기 체결구(21)의 하면에서 하부로 연장되며 상기 블럭구(11)와 결합되는 체결편(23)으로 이루어진 체결부(20)로 구성되고;
   상기 체결편(23)의 하단부에는 상기 블럭구(11)의 외주면을 가압하며 체결되도록 내측방향으로 만곡된 탄성만곡편(24)이 형성되며;
   상기 블럭구(11)의 외주면에는 체결편(23)이 끼워지도록 내측으로 요입된 체결편홈(16)이 형성되고, 상기 체결편홈(16)의 내측면에는 상기 탄성만곡편(24)과 동일하게 만곡된 탄성만곡홈(161)이 형성되고;
   상기 체결편(23)의 내측면에는 내측방향으로 돌출된 걸림돌기(231)가 형성되고; 상기 체결편홈(16)에는 상기 걸림돌기(231)가 삽입된 걸림홈(162)이 형성되며;
   상기 너트수용홈(12)과 너트안착홈(22)의 내측면에는 상기 암너트(N)의 회전을 방지하는 탄성재질의 회전방지패드(121)가 구비되고;
   상기 블럭구(11)의 하면에는 상기 암너트(N)의 풀림으로 누출된 약품(A)을 육안으로 확인하거나 외부로 유출되도록 하부방향으로 개방된 확인천공부(111)가 형성된 것을 특징으로 하는 반도체 제조공정에 사용되는 약품배관 피팅용 풀림방지블럭.
   
   
   
   
   
   
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