KR102461189B1 - Flexible copper clad laminate, printed circuit board using the same - Google Patents

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Abstract

본 발명의 일 실시예에 따른 연성동장 적층판은, 수지 층; 상기 수지 층 상에 형성되는 타이코트 층; 및 상기 타이코트 층 상에 형성되는 구리 층을 포함하며, 상기 수지 층과 타이코트 층 간의 박리 시에 상기 타이코트 층의 표면에서 나타나는 C-C, C-N, C-O 및 C=O 의 바인딩 레이쇼(binding ratio)는 각각 40at% 이상, 25at% 이상, 7at% 이상 및 10at% 이상이다.Flexible copper-clad laminate according to an embodiment of the present invention, a resin layer; a tie coat layer formed on the resin layer; and a copper layer formed on the tie coat layer, wherein binding ratios of C-C, C-N, C-O and C=O appearing on the surface of the tie coat layer upon peeling between the resin layer and the tie coat layer. ) are 40at% or more, 25at% or more, 7at% or more, and 10at% or more, respectively.

Description

연성 동장 적층판 및 이를 이용한 인쇄회로 기판{Flexible copper clad laminate, printed circuit board using the same}Flexible copper clad laminate and printed circuit board using the same

본 발명은, 연성동장 적층판(FCCL) 및 이를 이용한 인쇄회로 기판에 관한 것으로서, 좀 더 구체적으로는 기존이 연성동장 적층판 대비 고온 박리강도 특성이 우수한 연성동장 적층판 및 이를 이용한 인쇄회로 기판에 관한 것이다.The present invention relates to a flexible copper clad laminate (FCCL) and a printed circuit board using the same, and more particularly, to a flexible copper clad laminate having superior high-temperature peel strength characteristics compared to a conventional flexible copper clad laminate, and a printed circuit board using the same.

인쇄 회로기판(PCB; Printed circuit board)은 각종 부품을 접속할 전기 배선을 회로 설계에 따라 배선 도형으로 표현한 것으로 각종 부품을 연결하거나 지지해주는 역할을 한다. 특히, 노트북 컴퓨터, 휴대폰, PDA, 소형 비디오 카메라 및 전자수첩 등의 전자기기의 발달에 따라 인쇄 회로기판의 수요가 증대되었다. 나아가 상기의 전자기기들은 휴대성이 강조되면서 점점 소형화 및 경량화 되어가는 추세이다. 따라서 인쇄 회로기판은 더욱 집적화, 소형화, 경량화 되고 있다.A printed circuit board (PCB) is an electrical wiring for connecting various parts expressed in a wiring diagram according to a circuit design, and serves to connect or support various parts. In particular, the demand for printed circuit boards has increased with the development of electronic devices such as notebook computers, mobile phones, PDAs, small video cameras, and electronic notebooks. Furthermore, the electronic devices are increasingly smaller and lighter as portability is emphasized. Accordingly, printed circuit boards are becoming more integrated, smaller, and lighter.

상기 인쇄 회로기판은 그 물리적 특성에 따라 리지드(rigid) 인쇄 회로기판, 연성(flexible) 인쇄 회로기판, 이 두 가지가 결합된 리지드-플렉서블 인쇄 회로기판 및 리지드-플렉서블 인쇄 회로기판과 유사한 멀티-플렉서블 인쇄 회로기판으로 나뉜다. 특히, 연성 인쇄 회로기판의 원자재인 연성동장 적층판(FCCL; flexible copper clad laminate)은 휴대폰, 디지털캠코더, 노트북, LCD 모니터 등 디지털 가전제품에 사용되는 것으로서 굴곡성이 크고 경박단소화에 유리한 특성 때문에 최근 수요가 급속히 증가하고 있다.According to the physical properties of the printed circuit board, a rigid printed circuit board, a flexible printed circuit board, a rigid-flexible printed circuit board combining the two, and a rigid-flexible printed circuit board similar to a multi-flexible divided into printed circuit boards. In particular, flexible copper clad laminate (FCCL), a raw material for flexible printed circuit boards, is used in digital home appliances such as mobile phones, digital camcorders, notebook computers, and LCD monitors. is increasing rapidly.

연성동장 적층판은 폴리머 필름층과 금속 전도층을 적층한 것으로 가요성을 갖는 것이 특징이다. 연성동장 적층판은 특히 유연성이나 굴곡성이 요구되는 전자기기 또는 전자기기의 소재 부분에 이용되며, 전자기기의 소형화, 경량화에 공헌하고 있다.A flexible copper-clad laminate is a laminate of a polymer film layer and a metal conductive layer, and is characterized by flexibility. Flexible copper clad laminates are used in electronic devices or material parts of electronic devices that require particularly flexibility or flexibility, contributing to miniaturization and weight reduction of electronic devices.

이와 같은 기술과 관련된 종래의 연성동장 적층판은 크게 동박에 폴리이미드계 수지를 도포하는 방식과 폴리머 필름 위에 구리를 증착하는 방식으로 나뉘어진다. 특히 구리 증착 방식은 매우 얇은 두께의 구리막 형성이 가능하다. Conventional flexible copper-clad laminates related to this technology are largely divided into a method of applying a polyimide-based resin to a copper foil and a method of depositing copper on a polymer film. In particular, the copper deposition method can form a very thin copper film.

증착 방식의 연성동장 적층판은 폴리머 필름 위에 스퍼터링(sputtering) 방식으로 타이코트(tiecoat) 층을 형성한 후, 이를 구리 전해 도금조를 통해 연속적으로 통과시키면서 구리를 전해 도금하여 제조한다.The deposition-type flexible copper-clad laminate is manufactured by forming a tiecoat layer on a polymer film by sputtering, and then passing it through a copper electrolytic plating bath continuously while electrolytically plating copper.

상기 제작된 연성동장 적층판은 회로 형성 후 회로상에 반도체 칩이나 전기 소자 등이 실장되어 사용되며, 드라이버 IC(Driver IC)의 소형화, 다핀화, 협 피치(pitch)화가 급속히 진행되고 있는 상황이다. 따라서, 에칭성, 박리강도, 박막 밀도 특성 등의 물성이 우수한 연성동장 적층판이 요구된다.The fabricated flexible copper clad laminate is used after a circuit is formed and a semiconductor chip or electric device is mounted on the circuit, and the miniaturization, multi-pin, and narrow pitch of driver ICs are rapidly progressing. Accordingly, there is a demand for a flexible copper-clad laminate having excellent physical properties such as etching properties, peel strength, and thin film density characteristics.

이러한 동장 적층판의 물성들 중 박리강도 관련해서는, 특히 고온박리 강도 특성의 향상을 위한 많은 노력들이 있었으나, 여전히 충분히 만족할 만한 고온박리 강도를 얻어내지 못하고 있는 실정이다.Regarding peel strength among the physical properties of the copper clad laminate, there have been many efforts to improve the high temperature peel strength characteristics, but it is still not possible to obtain a sufficiently satisfactory high temperature peel strength.

본 발명은 상술한 문제점을 고려하여 창안된 것으로서, 수지 층과 타이코트 층 사이의 고온 박리강도를 현저히 향상시킬 수 있는 기술을 제공하는 것을 일 목적으로 한다.The present invention was devised in consideration of the above problems, and an object of the present invention is to provide a technique capable of remarkably improving the high-temperature peel strength between the resin layer and the tie coat layer.

다만, 본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는 상술한 과제에 제한되지 않으며, 위에서 언급되지 않은 또 다른 기술적 과제들은 아래에 기재된 발명의 설명으로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.However, the technical problems to be achieved by the present invention are not limited to the above-described problems, and other technical problems not mentioned above will be clearly understood by those skilled in the art from the description of the invention described below.

본 발명자들은, 수지 층과 타이코트 층 사이의 고온박리 강도를 향상시킬 수 있는 기술을 개발하기 위해 연구를 거듭하였다. 그 결과, 본 발명자들은, 수지 층과 금속 층간의 박리 후 금속 층의 표면에서 나타나는 C-C, C-N, C-O, C=O 결합비(binding ratio)가 일정 수준 이상이 되도록 제어 하고, 또한 박리 후의 금속 층 표면에서 나타나는 조도가 일정 범위 이내가 되도록 제어함으로써 요구되는 강도를 만족시키는 연성동장 적층판을 제조하기에 이르렀다.The present inventors have continued research to develop a technique capable of improving the high-temperature peel strength between the resin layer and the tie coat layer. As a result, the present inventors control that the C-C, C-N, C-O, C=O binding ratio appearing on the surface of the metal layer after peeling between the resin layer and the metal layer is at a certain level or more, and also the metal layer after peeling By controlling the roughness appearing on the surface to be within a certain range, a flexible copper-clad laminate that satisfies the required strength has been manufactured.

이와 같은 연구에 따라 개발된 본 발명의 일 실시예에 따른 연성동장 적층판은, 수지 층; 상기 수지 층 상에 형성되는 타이코트 층; 및 상기 타이코트 층 상에 형성되는 구리 층을 포함하며, 상기 수지 층과 타이코트 층 간의 박리 시에 상기 타이코트 층의 표면에서 나타나는 C-C, C-N, C-O 및 C=O 의 바인딩 레이쇼(binding ratio)는 각각 40at% 이상, 25at% 이상, 7at% 이상 및 10at% 이상인 것이다.A flexible copper-clad laminate according to an embodiment of the present invention developed according to such research includes a resin layer; a tie coat layer formed on the resin layer; and a copper layer formed on the tie coat layer, wherein binding ratios of C-C, C-N, C-O and C=O appearing on the surface of the tie coat layer upon peeling between the resin layer and the tie coat layer. ) is 40at% or more, 25at% or more, 7at% or more, and 10at% or more, respectively.

상기 수지 층은, 상기 수지 층은 폴리이미드(PI) 수지로 이루어질 수 있다.The resin layer may be formed of a polyimide (PI) resin.

상기 수지 층은, 표면에서 나타나는 C-C, C-N, C-O 및 C=O 의 바인딩 레이쇼가 각각 75at% 이상, 20at% 이상, 5at% 이상 및 10at% 이상일 수 있다.The resin layer may have a binding ratio of C-C, C-N, C-O and C=O appearing on the surface of 75at% or more, 20at% or more, 5at% or more, and 10at% or more, respectively.

상기 타이코트 층은, 상기 박리 후에 표면에서 나타나는 조도가 12nm 내지 19nm 일 수 있다.The tie-coat layer may have a roughness appearing on the surface after the peeling of 12 nm to 19 nm.

상기 타이코트 층은, Ni, Mo 및 Nb를 함유하는 합금으로 이루어질 수 있다.The tie coat layer may be formed of an alloy containing Ni, Mo and Nb.

상기 타이코트 층은, 5nm 내지 35nm 의 두께로 형성될 수 있다.The tie coat layer may be formed to a thickness of 5 nm to 35 nm.

상기 구리 층은, 상기 타이코트 층 상에 형성되는 구리 시드 층; 및 상기 구리 시드 층 상에 형성되는 구리 피막 층을 포함할 수 있다.The copper layer may include a copper seed layer formed on the tie coat layer; and a copper film layer formed on the copper seed layer.

상기 구리 시드 층은, 10nm 내지 100nm 의 두께로 형성될 수 있다.The copper seed layer may be formed to a thickness of 10 nm to 100 nm.

상기 구리 피막 층은, 5㎛ 내지 15㎛ 의 두께로 형성될 수 있다.The copper film layer may be formed to a thickness of 5 μm to 15 μm.

한편, 본 발명의 일 실시예에 따른 인쇄회로 기판은, 본 발명의 일 실시예에 따른 연성동장 적층판의 구리 층에 형성된 배선 패턴을 구비한다.Meanwhile, a printed circuit board according to an embodiment of the present invention includes a wiring pattern formed on a copper layer of the flexible copper clad laminate according to an embodiment of the present invention.

본 발명의 일 실시예에 따른 연성동장 적층판의 제조방법은, (a) 수지 층을 이루는 폴리머 필름을 준비하는 단계; (b) 수지 층 상에 플라즈마 전처리를 수행하는 단계; (c) 플라즈마 전처리가 수행된 상기 수지 층 상에 타이코트 층을 형성하는 단계; 및 (d) 상기 타이코트 층 상에 구리 층을 형성하는 단계; 를 포함하며, 상기 (b)단계는, 상기 수지 층과 타이코트 층 간의 박리 시에 상기 수지 층의 표면에서 나타나는 C-C, C-N, C-O 및 C=O 의 바인딩 레이쇼(binding ratio)가 각각 40at% 이상, 25at% 이상, 7at% 이상 및 10at% 이상이 되도록 플라즈마 처리를 수행하는 단계에 해당한다.A method of manufacturing a flexible copper-clad laminate according to an embodiment of the present invention comprises the steps of: (a) preparing a polymer film constituting a resin layer; (b) performing plasma pretreatment on the resin layer; (c) forming a tie coat layer on the resin layer subjected to plasma pretreatment; and (d) forming a copper layer on the tie coat layer; In the step (b), the binding ratios of C-C, C-N, C-O and C=O appearing on the surface of the resin layer during peeling between the resin layer and the tie coat layer are each 40at% It corresponds to the step of performing plasma treatment so as to be more than, 25at% or more, 7at% or more, and 10at% or more.

상기 (b)단계는, 상기 박리 후에 상기 타이코트 층의 표면에서 나타나는 조도가 12nm 내지 19nm 가 되도록 플라즈마 전처리를 수행하는 단계일 수 있다.The step (b) may be a step of performing plasma pretreatment so that the roughness appearing on the surface of the tie coat layer becomes 12 nm to 19 nm after the exfoliation.

상기 (b)단계는, 상기 박리 후에 상기 타이코트 층의 표면에서 나타나는 조도가 12nm 내지 19nm 가 되도록 플라즈마 전처리를 수행하는 단계일 수 있다.The step (b) may be a step of performing plasma pretreatment so that the roughness appearing on the surface of the tie coat layer becomes 12 nm to 19 nm after the exfoliation.

상기 (b)단계는, 질소 가스를 이용하여 2.0 내지 2.5kV 의 전압 조건 하에서 플라즈마 전처리를 수행하는 단계일 수 있다.Step (b) may be a step of performing plasma pretreatment under a voltage condition of 2.0 to 2.5 kV using nitrogen gas.

본 발명의 일 측면에 따르면, 연성동장 적층판을 이루는 수지 층과 타이코트 층 사이의 고온 박리강도가 향상됨으로써 우수한 품질을 갖는 연성동장 적층판을 얻을 수 있게 된다.According to one aspect of the present invention, it is possible to obtain a flexible copper-clad laminate having excellent quality by improving the high-temperature peel strength between the resin layer and the tie coat layer constituting the flexible copper-clad laminate.

본 발명의 다른 측면에 따르면, 연성동장 적층판의 품질을 향상시킴으로써 연성동장 적층판의 구리 층 상에 배선패턴을 형성하여 제조되는 인쇄 회로기판의 품질 또한 현저히 향상될 수 있다.According to another aspect of the present invention, by improving the quality of the flexible copper clad laminate, the quality of the printed circuit board manufactured by forming a wiring pattern on the copper layer of the flexible copper clad laminate can also be significantly improved.

본 명세서에 첨부되는 다음의 도면은 본 발명의 바람직한 실시예를 예시하는 것이며, 상술한 발명의 상세한 설명과 함께 본 발명의 기술사상을 더욱 이해시키는 역할을 하는 것이므로, 본 발명은 그러한 도면에 기재된 사항에만 한정되어 해석되어서는 아니된다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 연성동박 적층판의 단면도이다.
The following drawings attached to the present specification illustrate preferred embodiments of the present invention, and together with the detailed description of the present invention serve to further understand the technical spirit of the present invention, the present invention is should not be construed as being limited only to
1 is a cross-sectional view of a flexible copper clad laminate according to an embodiment of the present invention.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 상세히 설명하기로 한다. 이에 앞서, 본 명세서 및 청구범위에 사용된 용어나 단어는 통상적이거나 사전적인 의미로 한정하여 해석되어서는 아니되며, 발명자는 그 자신의 발명을 가장 최선의 방법으로 설명하기 위해 용어의 개념을 적절하게 정의할 수 있다는 원칙에 입각하여 본 발명의 기술적 사상에 부합하는 의미와 개념으로 해석되어야만 한다. 따라서, 본 명세서에 기재된 실시예와 도면에 도시된 구성은 본 발명의 가장 바람직한 일 실시예에 불과할 뿐이고 본 발명의 기술적 사상을 모두 대변하는 것은 아니므로, 본 출원시점에 있어서 이들을 대체할 수 있는 다양한 균등물과 변형예들이 있을 수 있음을 이해하여야 한다.Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. Prior to this, the terms or words used in the present specification and claims should not be construed as being limited to conventional or dictionary meanings, and the inventor should properly understand the concept of the term in order to best describe his invention. Based on the principle that it can be defined, it should be interpreted as meaning and concept consistent with the technical idea of the present invention. Therefore, the configuration shown in the embodiments and drawings described in the present specification is merely the most preferred embodiment of the present invention and does not represent all of the technical spirit of the present invention, so at the time of the present application, various It should be understood that there may be equivalents and variations.

도 1을 참조하여, 본 발명의 일 실시예에 따른 연성동장 적층판 및 그 제조방법을 설명하기로 한다.1, a flexible copper-clad laminate and a manufacturing method thereof according to an embodiment of the present invention will be described.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 연성동박 적층판의 단면도이다.1 is a cross-sectional view of a flexible copper clad laminate according to an embodiment of the present invention.

도 1을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 연성동장 적층판은, 수지 층(1), 타이코트 층(2) 및 구리 층(3)이 순차적으로 적층되어 이루어진다.Referring to FIG. 1 , in the flexible copper-clad laminate according to an embodiment of the present invention, a resin layer 1 , a tie coat layer 2 and a copper layer 3 are sequentially laminated.

상기 수지 층(1)은, 폴리 이미드(PI) 수지로 이루어진 필름에 해당한다.The resin layer 1 corresponds to a film made of polyimide (PI) resin.

본 발명에 이용되는 상기 수지 층(1)은, 표면에서 나타나는 C-C, C-N, C-O 및 C=O 의 바인딩 레이쇼가 각각 75at% 이상, 20at% 이상, 5at% 이상 및 10at% 이상으로 나타난다.The resin layer (1) used in the present invention has a binding ratio of C-C, C-N, C-O and C=O appearing on the surface of 75at% or more, 20at% or more, 5at% or more, and 10at% or more, respectively.

상기 타이코트 층(2)은, 수지 층(1)과 구리 층(3) 사이의 접착력 향상을 위해 수지 층(1) 상에 형성되는 것으로서, 니켈(Ni), 몰리브덴(Mo) 및 나이오븀(Nb)을 함유하는 합금으로 이루어진다.The tie coat layer (2) is formed on the resin layer (1) to improve adhesion between the resin layer (1) and the copper layer (3), and includes nickel (Ni), molybdenum (Mo) and niobium ( made of an alloy containing Nb).

상기 타이코트 층(2)은, 수지 층(1) 상에 건식 도금법의 일종인 스퍼터링(sputtering)법에 의해 증착될 수 있으며, 대략 5nm 내지 35nm 범위의 두께로 형성되는 것이 바람직하다.The tie coat layer 2 may be deposited on the resin layer 1 by a sputtering method, which is a type of dry plating method, and is preferably formed to a thickness of approximately 5 nm to 35 nm.

상기 타이코트 층(2)의 두께가 5mm 미만인 경우, 인쇄회로 기판의 제작을 위해 연성동장 적층판의 에칭을 통해 배선 패턴을 형성시키는 공정을 진행함에 있어서 수지 층(1)과 타이코트 층(2) 사이의 박리강도 저하의 우려가 있다.When the thickness of the tie coat layer (2) is less than 5 mm, the resin layer (1) and the tie coat layer (2) in the process of forming a wiring pattern through etching of a flexible copper clad laminate for the manufacture of a printed circuit board There is a risk of lowering the peel strength between them.

이와는 반대로, 상기 타이코트 층(2)의 두께가 35mm를 초과하는 경우에는 에칭 공정이 용이하지 않게 되는 문제점이 있다.On the contrary, when the thickness of the tie coat layer 2 exceeds 35 mm, there is a problem in that the etching process is not easy.

상기 구리 층(3)은, 타이코트 층(2) 상에 형성되는 것으로서, 구리 시드 층(3a) 및 구리 피막 층(3b)을 포함한다. 상기 구리 시드 층(3a)은 타이코트 층(2) 상에 스퍼터링법에 의해 증착되어 형성되는 층으로서, 대략 10nm 내지 100nm 의 두께로 형성된다.The copper layer 3 is formed on the tie coat layer 2 and includes a copper seed layer 3a and a copper coating layer 3b. The copper seed layer 3a is a layer formed by depositing on the tie coat layer 2 by a sputtering method, and is formed to a thickness of approximately 10 nm to 100 nm.

상기 구리 피막 층(3b)은, 구리 시드 층(3a) 상에 전해 도금법에 의해 형성되는 층으로서, 대략 5㎛ 내지 15㎛ 범위의 두께로 형성되는 것이 바람직하다.The copper film layer 3b is a layer formed by an electrolytic plating method on the copper seed layer 3a, and is preferably formed to a thickness in the range of about 5 μm to 15 μm.

한편, 본 발명에 있어서, 상기 수지 층(1) 표면의 오염 물질을 제거하고 표면을 개질하기 위해 상기 타이코트 층(2)의 형성에 앞서 수지 층(1)에 대한 플라즈마 전처리 공정이 수행된다.Meanwhile, in the present invention, a plasma pretreatment process for the resin layer 1 is performed prior to the formation of the tie coat layer 2 in order to remove contaminants on the surface of the resin layer 1 and modify the surface.

이러한 플라즈마 전처리 공정은, DC 플라즈마 공정, RF 플라즈마 공정 또는 Ion 플라즈마 공정을 이용하여 수행될 수 있으며, 질소(N2) 가스를 이용하여 대략 2.0 내지 2.5kV의 전압 범위에서 수행될 수 있다.The plasma pretreatment process may be performed using a DC plasma process, an RF plasma process, or an Ion plasma process, and may be performed in a voltage range of approximately 2.0 to 2.5 kV using nitrogen (N 2 ) gas.

이와 같이, 플라즈마 전처리 공정을 진행함에 있어서, 세부적인 공정 조건들을 제한함으로써, 연성동장 적층판의 물성을 조절할 수 있다.As such, in the plasma pretreatment process, by limiting detailed process conditions, the physical properties of the flexible copper clad laminate can be controlled.

아래 표1을 참조하면, 상기 플라즈마 전처리 공정을 거친 수지 층(1)을 이용하여 제작된 연성동장 적층판에 대한 고온박리 강도 실험 결과가 나타나 있다.Referring to Table 1 below, high-temperature peel strength test results for flexible copper-clad laminates manufactured using the resin layer 1 that have undergone the plasma pretreatment process are shown.

Figure 112015119416125-pat00001
Figure 112015119416125-pat00001

평가시료의 준비Preparation of evaluation samples

기판으로 이용되는 폴리이미드(PI) 기재의 일 면에 스퍼터를 이용하여 타이코트 층(NiMoNb)를 20nm 두께로 증착하고, 그 위에 구리 시드 층을 60nm 두께로 증착하였다. 그리고, 전기도금을 이용하여 12㎛ 두께로 구리 피막 층을 형성하였다.A tie coat layer (NiMoNb) was deposited to a thickness of 20 nm by sputtering on one surface of a polyimide (PI) substrate used as a substrate, and a copper seed layer was deposited thereon to a thickness of 60 nm. Then, a copper film layer was formed to a thickness of 12 μm using electroplating.

타이코트 층을 성막하기 전에 PI 표면을 플라즈마 처리를 통해 표면 개질을 해주게 되면, 고온 열처리 후의 연성동장 적층판에 있어서 우수한 고온박리강도 특성을 갖게 된다. 플라즈마 처리는 PI 표면의 기능기(functional group)의 비율을 변화시키고 이로 인해 금속 층과 수지 층 사이의 박리강도가 달라지게 된다.If the PI surface is surface-modified through plasma treatment before the tie coat layer is formed, the flexible copper-clad laminate after high-temperature heat treatment has excellent high-temperature peel strength characteristics. Plasma treatment changes the ratio of functional groups on the PI surface, which results in different peel strength between the metal layer and the resin layer.

물성 측정방법How to measure physical properties

- 박리강도: 필강도 측정은 IPC-TM-650, NUMBER2.4.9 에 준거한 방법으로 행하였으며, UTM 장비를 사용하여 8개 측정 후 max, min 값을 제외한 나머지 값의 평균을 구하는 방식으로 결정하였다. 내열성의 지표로서 1mm의 리드를 형성한 필름 기재를 150℃의 오븐에 168시간 방치하고 꺼낸 후 박리강도를 평가하였다.- Peel strength: Peel strength was measured by a method based on IPC-TM-650, NUMBER2.4.9, and after 8 measurements using UTM equipment, the average of the remaining values excluding max and min values was determined. . As an index of heat resistance, the film substrate on which a lead of 1 mm was formed was left in an oven at 150° C. for 168 hours, and the peel strength was evaluated.

- 화학적 결합상태(XPS 분석): X-ray를 조사하여 원자의 core electron 의 운동 에너지를 측정하여 원자의 화학 결합 상태를 확인하였다(AXIS-His, KRATOS 社).- Chemical bond state (XPS analysis): The chemical bond state of the atom was confirmed by measuring the kinetic energy of the atom's core electron by irradiating X-rays (AXIS-His, KRATOS).

- 표면조도(AFM 분석): micro tip을 이용하여 표면의 조도를 관찰하였다(NANO Stationall. Surface imaging system 社).- Surface roughness (AFM analysis): The surface roughness was observed using a micro tip (NANO Stationall. Surface imaging system, Inc.).

상기 실험 결과에 따르면, 본 발명의 일 실시예에 따른 연성동장 적층판을 구성하는 수지 층(1)과 타이코트 층(2) 간의 박리 시에 타이코트 층(2)의 표면(박리 이 전에는 수지 층(1)과 맞닿아 있던 면)에서 나타나는 C-C, C-N, C-O 및 C=O 의 바인딩 레이쇼(binding ratio)가 각각 40at% 이상, 25at% 이상, 7at% 이상 및 10at% 이상인 경우 연성동장 적층판의 고온박리 강도가 높게 나타남을 확인할 수 있다.According to the experimental results, when peeling between the resin layer 1 and the tie coat layer 2 constituting the flexible copper clad laminate according to an embodiment of the present invention, the surface of the tie coat layer 2 (resin layer before peeling) If the binding ratios of C-C, C-N, C-O and C=O appearing in (1) on the side in contact with (1) are 40at% or more, 25at% or more, 7at% or more, and 10at% or more, respectively, the It can be seen that the high-temperature peel strength is high.

또한, 상기 실험 결과에 따르면, 박리 이 후에 측정된 타이코트 층(2)의 표면(박리 이 전에는 수지 층(1)과 맞닿아 있던 면)의 조도는 12nm 내지 19nm 범위를 나타내는 경우 연성동장 적층판의 고온박리 강도가 충분히 높게 나타나는 것임을 확인할 수 있다.In addition, according to the experimental results, when the roughness of the surface of the tie coat layer 2 (the surface that was in contact with the resin layer 1 before peeling) measured after peeling was in the range of 12 nm to 19 nm, that of the flexible copper clad laminate It can be confirmed that the high-temperature peel strength is sufficiently high.

한편, 상술한 바와 같은 물성을 갖는 연성동장 적층판의 구리 층(2) 및 타이코트 층(2)을 포토 에칭 등의 방법을 이용하여 에칭함으로써 원하는 배선 패턴을 형성할 수 있으며, 이로써 우수한 물성을 갖는 인쇄회로 기판(PCB)을 얻을 수 있게 된다.On the other hand, a desired wiring pattern can be formed by etching the copper layer 2 and the tie coat layer 2 of the flexible copper clad laminate having the above-described physical properties using a method such as photo etching, thereby having excellent physical properties. A printed circuit board (PCB) can be obtained.

이상에서 본 발명은 비록 한정된 실시예와 도면에 의해 설명되었으나, 본 발명은 이것에 의해 한정되지 않으며 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 본 발명의 기술사상과 아래에 기재될 특허청구범위의 균등범위 내에서 다양한 수정 및 변형이 가능함은 물론이다.In the above, although the present invention has been described with reference to limited embodiments and drawings, the present invention is not limited thereto and will be described below with the technical idea of the present invention by those of ordinary skill in the art to which the present invention pertains. It goes without saying that various modifications and variations are possible within the scope of equivalents of the claims.

1: 폴리머 필름 2: 타이코트 층
3: 구리 층 3a: 구리 시드 층
3b: 구리 피막 층
1: polymer film 2: tie coat layer
3: copper layer 3a: copper seed layer
3b: copper film layer

Claims (14)

수지 층;
상기 수지 층 상에 형성되는 타이코트 층; 및
상기 타이코트 층 상에 형성되는 구리 층을 포함하며,
상기 수지 층과 타이코트 층 간의 박리 시에 상기 타이코트 층의 표면에서 나타나는 C-C, C-N, C-O 및 C=O 의 바인딩 레이쇼(binding ratio)는 각각 40at% 이상, 25at% 이상, 7at% 이상 및 10at% 이상인 연성동장 적층판.
resin layer;
a tie coat layer formed on the resin layer; and
a copper layer formed on the tie coat layer;
The binding ratios of CC, CN, CO and C=O appearing on the surface of the tie coat layer during peeling between the resin layer and the tie coat layer are respectively 40at% or more, 25at% or more, 7at% or more, and Flexible copper-clad laminates with 10at% or more.
제1항에 있어서,
상기 수지 층은,
상기 수지 층은 폴리이미드(PI) 수지로 이루어지는 것을 특징으로 하는 연성동장 적층판.
According to claim 1,
The resin layer,
The resin layer is a flexible copper-clad laminate, characterized in that made of polyimide (PI) resin.
제2항에 있어서,
상기 수지 층은 플라즈마 처리되며,
상기 플라즈마 처리 전 상기 수지 층의 표면에서 나타나는 C-C, C-N, C-O 및 C=O 의 바인딩 레이쇼가 각각 75at% 이상, 20at% 이상, 5at% 이상 및 10at% 이상인 것을 특징으로 하는 연성동장 적층판.
3. The method of claim 2,
The resin layer is plasma-treated,
A flexible copper-clad laminate, characterized in that the binding ratios of CC, CN, CO and C=O appearing on the surface of the resin layer before the plasma treatment are 75at% or more, 20at% or more, 5at% or more, and 10at% or more, respectively.
제1항에 있어서,
상기 타이코트 층은,
상기 박리 후에 표면에서 나타나는 조도가 12nm 내지 19nm 인 것을 특징으로 하는 연성동장 적층판.
According to claim 1,
The tie coat layer,
A flexible copper-clad laminate, characterized in that the roughness appearing on the surface after the peeling is 12 nm to 19 nm.
제1항에 있어서,
상기 타이코트 층은,
Ni, Mo 및 Nb를 함유하는 합금으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 연성동장 적층판.
According to claim 1,
The tie coat layer,
A flexible copper-clad laminate, characterized in that it is made of an alloy containing Ni, Mo and Nb.
제1항에 있어서,
상기 타이코트 층은,
5nm 내지 35nm 의 두께로 형성되는 것을 특징으로 하는 연성동장 적층판.
According to claim 1,
The tie coat layer,
Flexible copper-clad laminate, characterized in that it is formed to a thickness of 5nm to 35nm.
제1항에 있어서,
상기 구리 층은,
상기 타이코트 층 상에 형성되는 구리 시드 층; 및
상기 구리 시드 층 상에 형성되는 구리 피막 층을 포함하는 것을 특징으로 하는 연성동장 적층판.
According to claim 1,
The copper layer is
a copper seed layer formed on the tie coat layer; and
and a copper film layer formed on the copper seed layer.
제7항에 있어서,
상기 구리 시드 층은,
10nm 내지 100nm 의 두께로 형성되는 것을 특징으로 하는 연성동장 적층판.
8. The method of claim 7,
The copper seed layer comprises:
Flexible copper-clad laminate, characterized in that it is formed to a thickness of 10nm to 100nm.
제7항에 있어서,
상기 구리 피막 층은,
5㎛ 내지 15㎛ 의 두께로 형성되는 것을 특징으로 하는 연성동장 적층판.
8. The method of claim 7,
The copper film layer,
Flexible copper-clad laminate, characterized in that it is formed to a thickness of 5㎛ to 15㎛.
제1항 내지 제9항 중 어느 한 항에 따른 연성동장 적층판에 형성된 배선 패턴을 구비하는 인쇄회로 기판.A printed circuit board having a wiring pattern formed on the flexible copper-clad laminate according to any one of claims 1 to 9. (a) 수지 층을 이루는 폴리머 필름을 준비하는 단계;
(b) 수지 층 상에 플라즈마 전처리를 수행하는 단계;
(c) 플라즈마 전처리가 수행된 상기 수지 층 상에 타이코트 층을 형성하는 단계; 및
(d) 상기 타이코트 층 상에 구리 층을 형성하는 단계; 를 포함하며,
상기 (b)단계는, 상기 수지 층과 타이코트 층 간의 박리 시에 상기 수지 층의 표면에서 나타나는 C-C, C-N, C-O 및 C=O 의 바인딩 레이쇼(binding ratio)가 각각 40at% 이상, 25at% 이상, 7at% 이상 및 10at% 이상이 되도록 플라즈마 처리를 수행하는 단계인 연성동장 적층판의 제조방법.
(a) preparing a polymer film constituting a resin layer;
(b) performing plasma pretreatment on the resin layer;
(c) forming a tie coat layer on the resin layer subjected to plasma pretreatment; and
(d) forming a copper layer on the tie coat layer; includes,
In the step (b), the binding ratio of CC, CN, CO and C=O appearing on the surface of the resin layer upon peeling between the resin layer and the tie coat layer is 40at% or more, 25at%, respectively More than, 7at% or more, and a method of manufacturing a flexible copper-clad laminate which is a step of performing plasma treatment so that it is more than 10at%.
제11항에 있어서,
상기 (b)단계는,
상기 박리 후에 상기 타이코트 층의 표면에서 나타나는 조도가 12nm 내지 19nm 가 되도록 플라즈마 전처리를 수행하는 단계인 것을 특징으로 하는 연성동장 적층판의 제조방법.
12. The method of claim 11,
Step (b) is,
and performing plasma pretreatment so that the roughness appearing on the surface of the tie coat layer becomes 12 nm to 19 nm after the peeling.
삭제delete 제11항에 있어서,
상기 (b)단계는,
질소 가스를 이용하여 2.0 내지 2.5kV 의 전압 조건 하에서 플라즈마 전처리를 수행하는 단계인 것을 특징으로 하는 연성동장 적층판의 제조방법.
12. The method of claim 11,
Step (b) is,
Method of manufacturing a flexible copper-clad laminate, characterized in that the step of performing plasma pretreatment under a voltage condition of 2.0 to 2.5 kV using nitrogen gas.
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