KR101189132B1 - Flexible circuit clad laminate, printed circuit board using it, and method of manufacturing the same - Google Patents

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KR101189132B1 KR1020120006905A KR20120006905A KR101189132B1 KR 101189132 B1 KR101189132 B1 KR 101189132B1 KR 1020120006905 A KR1020120006905 A KR 1020120006905A KR 20120006905 A KR20120006905 A KR 20120006905A KR 101189132 B1 KR101189132 B1 KR 101189132B1
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Abstract

PURPOSE: A flexible circuit copper clad laminate, a printed circuit board using the same, and a manufacturing method thereof are provided to obtain high physical property by including a tiecoat layer containing Ni, Mo, and Nb with a preset ratio. CONSTITUTION: A preprocessed polymer film(1) is provided. A tiecoat layer(2) is formed on the polymer film. The thickness of the tiecoat layer is 5 to 35 nm. A copper seed layer(3a) is formed on the tiecoat layer. The thickness of the copper seed layer is 20 to 100 nm. A copper coating layer(3b) is formed on the copper seed layer.

Description

연성회로 동장 적층판과 이를 이용한 인쇄회로 기판 및 그 제조 방법{Flexible circuit clad laminate, printed circuit board using it, and method of manufacturing the same}Flexible circuit clad laminate, printed circuit board using it, and method of manufacturing the same

본 발명은 연성회로 동장 적층판과 이를 이용한 인쇄회로 기판 및 그 제조 방법에 관한 것으로서, 구체적으로는 에칭성, 박리강도, 박막 밀도 특성 등이 우수한 연성회로 동장 적층판과 이를 이용한 인쇄회로 기판 및 그 제조 방법에 관한 것이다.The present invention relates to a flexible circuit copper clad laminate, a printed circuit board using the same, and a method of manufacturing the same. It is about.

인쇄 회로기판(PCB; Printed circuit board)은 각종 부품을 접속할 전기 배선을 회로 설계에 따라 배선 도형으로 표현한 것으로 각종 부품을 연결하거나 지지해주는 역할을 한다. 특히, 노트북 컴퓨터, 휴대폰, PDA, 소형 비디오 카메라 및 전자수첩 등의 전자기기의 발달에 따라 인쇄 회로기판의 수요가 증대되었다. 나아가 상기의 전자기기들은 휴대성이 강조되면서 점점 소형화 및 경량화 되어가는 추세이다. 따라서 인쇄 회로기판은 더욱 집적화, 소형화, 경량화 되고 있다.Printed circuit board (PCB) is a representation of the electrical wiring to connect the various parts according to the circuit design according to the circuit design and serves to connect or support the various components. In particular, with the development of electronic devices such as notebook computers, mobile phones, PDAs, small video cameras and electronic organizers, the demand for printed circuit boards has increased. Furthermore, the electronic devices are becoming smaller and lighter, with the emphasis on portability. Therefore, printed circuit boards are becoming more integrated, smaller, and lighter.

상기 인쇄 회로기판은 그 물리적 특성에 따라 리지드(rigid) 인쇄 회로기판, 연성(flexible) 인쇄 회로기판, 이 두 가지가 결합된 리지드-플렉서블 인쇄 회로기판 및 리지드-플렉서블 인쇄 회로기판과 유사한 멀티-플렉서블 인쇄 회로기판으로 나뉜다. 특히, 연성 인쇄 회로기판의 원자재인 연성회로 동박 적층판(FCCL; flexible circuit clad laminate)은 휴대폰, 디지털캠코더, 노트북, LCD 모니터 등 디지털 가전제품에 사용되는 것으로서 굴곡성이 크고 경박단소화에 유리한 특성 때문에 최근 수요가 급속히 증가하고 있다.The printed circuit board may be a multi-flexible substrate similar to a rigid printed circuit board, a flexible printed circuit board, a rigid-flexible printed circuit board, a rigid-flexible printed circuit board, and a rigid-flexible printed circuit board. It is divided into a printed circuit board. In particular, flexible circuit clad laminate (FCCL), a raw material for flexible printed circuit boards, is used in digital home appliances such as mobile phones, digital camcorders, notebooks, and LCD monitors. Demand is growing rapidly.

연성회로 동장 적층판은 폴리머 필름층과 금속 전도층을 적층한 것으로 가요성을 갖는 것이 특징이다. 연성회로 동장 적측판은 특히 유연성이나 굴곡성이 요구되는 전자기기 또는 전자기기의 소재 부분에 이용되며, 전자기기의 소형화, 경량화에 공헌하고 있다.The flexible circuit copper clad laminate is a laminate of a polymer film layer and a metal conductive layer, and is characterized by having flexibility. Flexible circuit copper eccentric red plate is especially used for electronic devices or material parts of electronic devices that require flexibility and flexibility, and contributes to miniaturization and light weight of electronic devices.

이와 같은 기술과 관련된 종래의 연성회로 동박 적층판은 크게 동박에 폴리이미드계 수지를 도포하는 방식과 폴리머 필름 위에 구리를 증착하는 방식으로 나뉘어진다. 특히 구리 증착 방식은 매우 얇은 두께의 구리막 형성이 가능하다. Conventional flexible circuit copper foil laminates related to this technology are largely divided into a method of applying a polyimide resin to the copper foil and a method of depositing copper on the polymer film. In particular, the copper deposition method can form a very thin copper film.

증착 방식의 연성회로 동박 적층판은 폴리머 필름 위에 스퍼터링(sputtering) 방식으로 타이코트(tiecoat)층을 형성한 후, 이를 구리 전해 도금조를 통해 연속적으로 통과시키면서 구리를 전해 도금하여 제조한다.A flexible flexible copper clad laminate of a deposition method is prepared by forming a tiecoat layer on a polymer film by sputtering, and then electroplating copper while continuously passing it through a copper electrolytic plating bath.

상기 제작된 연성회로 동박 적층판은 회로 형성 후 회로상에 반도체 칩이나 전기 소자 등이 실장되어 사용되며, 드라이버 IC(Driver IC)의 소형화, 다핀화, 협 피치(pitch)화가 급속히 진행되고 있는 상황이다. 따라서, 에칭성, 박리강도, 박막 밀도 특성 등의 물성이 우수한 연성회로 동박 적층판이 요구되는 실정이다.The fabricated flexible circuit copper clad laminate has a semiconductor chip or an electric element mounted on the circuit after circuit formation, and is used in a miniaturized, multi-pinned, narrow pitch of a driver IC. . Accordingly, there is a need for a flexible circuit copper foil laminate having excellent physical properties such as etching properties, peel strength, and thin film density characteristics.

그러나, 타이코트 층으로서 NiCr 합금, NiMoV 합금 또는 NiMoTi 합금 등을 주로 사용하는 기존의 연성회로 동박 적층판은 이러한 요구를 충족시키지 못하는 문제점이 있다.However, the existing flexible circuit copper foil laminate mainly using NiCr alloy, NiMoV alloy or NiMoTi alloy as a tie coat layer does not meet this requirement.

본 발명은 상술한 종래기술을 고려하여 창안된 것으로서, 에칭성, 박리강도, 박막 밀도 특성 등의 물성이 우수한 연성회로 동박 적층판을 제공하는 것을 목적으로 한다.The present invention has been made in view of the above-described prior art, and an object thereof is to provide a flexible circuit copper foil laminate having excellent physical properties such as etching property, peel strength, thin film density characteristics, and the like.

상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 연성회로 동장 적층판은, 폴리머 필름, 상기 폴리머 필름의 적어도 일 면에 형성되는 타이코트(tiecoat) 층 및 상기 타이코트 층에 형성되는 구리(Cu) 층을 포함하는 연성회로 동장 적층판에 있어서, 상기 타이코트 층은 2.0wt% 내지 9.5wt% 의 나이오븀(Nb), 6.0wt% 내지 13.5wt% 의 몰리브덴(Mo) 및 잔부의 니켈(Ni)을 함유하는 합금으로 이루어진다.A flexible circuit copper clad laminate according to the present invention for achieving the above object, a polymer film, a tiecoat layer formed on at least one side of the polymer film and a copper (Cu) layer formed on the tiecoat layer In the flexible circuit copper clad laminate comprising a, the tie coat layer contains 2.0wt% to 9.5wt% niobium (Nb), 6.0wt% to 13.5wt% molybdenum (Mo) and the balance nickel (Ni) Made of alloy.

바람직하게, 상기 타이코트 층의 밀도는 6.70ⅹ1022 atom/cm3 이상으로 형성될 수 있다.Preferably, the tie coat layer may have a density of about 6.70 × 10 22 atoms / cm 3 or more.

바람직하게, 상기 타이코트 층의 부식전류밀도는 0.6mA/cm2 이상일 수 있다.Preferably, the corrosion current density of the tie coat layer may be 0.6 mA / cm 2 or more.

바람직하게, 상기 타이코트 층의 두께는 5nm 내지 35nm 일 수 있다.Preferably, the thickness of the tie coat layer may be 5nm to 35nm.

바람직하게, 상기 폴리머 필름은 열경화성 수지, 열가소성 수지, 폴리에스테르 수지, 폴리이미드 수지, 축중합체 또는 이들 중 선택된 적어도 2 이상의 혼합물 중 적어도 하나로 이루어질 수 있다.Preferably, the polymer film may be made of at least one of a thermosetting resin, a thermoplastic resin, a polyester resin, a polyimide resin, a condensate, or a mixture of at least two or more thereof selected from them.

바람직하게, 상기 폴리머 필름은 폴리이미드 수지일 수 있다.Preferably, the polymer film may be a polyimide resin.

바람직하게, 상기 구리 층은, 상기 타이코트 층에 형성되는 구리 시드 층; 및 상기 구리 시드 층에 형성되는 구리 피막 층을 포함할 수 있다.Advantageously, said copper layer comprises: a copper seed layer formed on said tiecoat layer; And a copper film layer formed on the copper seed layer.

바람직하게, 상기 구리 시드 층의 두께는 20nm 내지 100nm 일 수 있다.Preferably, the thickness of the copper seed layer may be 20nm to 100nm.

바람직하게, 상기 구리 피막 층의 두께는 5㎛ 내지 15㎛ 일 수 있다.Preferably, the copper coating layer may have a thickness of 5 μm to 15 μm.

한편, 상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 연성 회로 기판은, 상기 연성회로 동장 적층판의 구리 층에 형성된 배선 패턴을 구비한다.On the other hand, the flexible circuit board according to the present invention for achieving the above object is provided with a wiring pattern formed on the copper layer of the flexible circuit copper clad laminate.

상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 연성회로 동장 적층판의 제조 방법은, (a) 폴리머 필름을 준비하는 단계; (b) 상기 폴리머 필름의 적어도 일 면에 2.0wt% 내지 9.5wt% 의 나이오븀(Nb), 6.0wt% 내지 13.5wt% 의 몰리브덴(Mo) 및 잔부의 니켈(Ni)을 함유하는 합금으로 이루어지는 타이코트 층을 형성하는 단계; 및 (c) 상기 타이코트 층에 구리 층을 형성하는 단계; 를 포함한다.Method for producing a flexible circuit copper clad laminate according to the present invention for achieving the above object, (a) preparing a polymer film; (b) an alloy containing 2.0 wt% to 9.5 wt% of niobium (Nb), 6.0 wt% to 13.5 wt% of molybdenum (Mo), and the balance of nickel (Ni) on at least one side of the polymer film; Forming a tiecoat layer; And (c) forming a copper layer on the tiecoat layer; It includes.

바람직하게, 상기 (a)단계는, 상기 폴리머 필름을 플라즈마 처리함으로써 표면의 오염 물질의 제거와 표면의 개질을 실시하는 단계를 포함할 수 있다.Preferably, the step (a) may include the step of removing the contaminants on the surface and modifying the surface by plasma treatment of the polymer film.

바람직하게, 상기 (b)단계는, 상기 폴리머 필름에 타이코트 층을 스퍼터링(sputtering)법을 사용하여 형성하는 단계일 수 있다.Preferably, step (b) may be a step of forming a tie coat layer on the polymer film by using a sputtering method.

바람직하게, 상기 (c)단계는, 상기 타이코트 층에 구리 시드 층을 형성한 후 상기 구리 시드 층에 구리 피막 층을 형성하는 단계일 수 있다.Preferably, step (c) may be a step of forming a copper coating layer on the copper seed layer after forming a copper seed layer on the tie coat layer.

바람직하게, 상기 구리 시드 층의 형성은 스퍼터링법에 의하며, 상기 구리 피막 층의 형성은 전해 도금법에 의할 수 있다.Preferably, the copper seed layer may be formed by sputtering, and the copper coating layer may be formed by electroplating.

한편, 상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 연성회로 기판의 제조 방법은, 상기 연성회로 동장 적층판의 제조 단계; 및 상기 연성회로 동장 적층판의 구리 층에 배선 패턴을 형성하는 단계를 포함한다.On the other hand, the method of manufacturing a flexible circuit board according to the present invention for achieving the above object, the manufacturing step of the flexible circuit copper clad laminate; And forming a wiring pattern on the copper layer of the flexible circuit copper clad laminate.

본 발명에 따르면, 폴리머 필름 상에 형성되는 타이코트층을 이루는 합금이 니켈(Ni), 몰리브덴(Mo) 및 나이오븀(Nb)을 포함하도록 하며, 합금에 포함되는 금속의 함량비를 조절함으로써 연성회로 동박 적층판의 물성을 향상시키는 효과를 얻는다.According to the present invention, the alloy forming the tie coat layer formed on the polymer film is to include nickel (Ni), molybdenum (Mo) and niobium (Nb), ductility by controlling the content ratio of the metal contained in the alloy The effect of improving the physical property of a circuit copper foil laminated board is acquired.

본 명세서에 첨부되는 다음의 도면은 본 발명의 바람직한 실시예를 예시하는 것이며, 상술한 발명의 상세한 설명과 함께 본 발명의 기술사상을 더욱 이해시키는 역할을 하는 것이므로, 본 발명은 그러한 도면에 기재된 사항에만 한정되어 해석되어서는 아니된다.
도 1은 본 발명에 따른 연성회로 동박 적층판의 단면도이다.
도 2는 본 발명에 따른 연성회로 동박 적층판의 제조 방법을 나타내는 순서도이다.
The following drawings, which are attached to this specification, illustrate exemplary embodiments of the present invention, and together with the detailed description of the present invention, serve to further understand the technical spirit of the present invention. It should not be construed as limited to.
1 is a cross-sectional view of a flexible circuit copper laminate according to the present invention.
2 is a flowchart illustrating a method of manufacturing a flexible circuit copper clad laminate according to the present invention.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 상세히 설명하기로 한다. 이에 앞서, 본 명세서 및 청구범위에 사용된 용어나 단어는 통상적이거나 사전적인 의미로 한정하여 해석되어서는 아니되며, 발명자는 그 자신의 발명을 가장 최선의 방법으로 설명하기 위해 용어의 개념을 적절하게 정의할 수 있다는 원칙에 입각하여 본 발명의 기술적 사상에 부합하는 의미와 개념으로 해석되어야만 한다. 따라서, 본 명세서에 기재된 실시예와 도면에 도시된 구성은 본 발명의 가장 바람직한 일 실시예에 불과할 뿐이고 본 발명의 기술적 사상을 모두 대변하는 것은 아니므로, 본 출원시점에 있어서 이들을 대체할 수 있는 다양한 균등물과 변형예들이 있을 수 있음을 이해하여야 한다.Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. Prior to this, terms or words used in the present specification and claims should not be construed as being limited to the ordinary or dictionary meanings, and the inventors should properly explain the concept of terms in order to explain their own invention in the best way. Based on the principle that can be defined, it should be interpreted as meaning and concept corresponding to the technical idea of the present invention. Therefore, the embodiments described in this specification and the configurations shown in the drawings are merely the most preferred embodiments of the present invention and do not represent all the technical ideas of the present invention. Therefore, It is to be understood that equivalents and modifications are possible.

도 1 및 도 2를 참조하여 본 발명에 따른 연성회로 동박 적층판 및 그 제조 방법을 설명하기로 한다. 1 and 2, a flexible circuit copper foil laminate and a method of manufacturing the same according to the present invention will be described.

도 1은 본 발명에 따른 연성회로 동박 적층판의 단면도이고, 도 2는 본 발명에 따른 연성회로 동박 적층판의 제조 방법을 나타내는 순서도이다.1 is a cross-sectional view of a flexible circuit copper foil laminate according to the present invention, Figure 2 is a flow chart showing a manufacturing method of a flexible circuit copper foil laminate according to the present invention.

도 1 및 도 2를 참조하면, 본 발명에 따른 연성회로 동박 적층판은 폴리머 필름(1), 타이코트 층(2) 및 구리 층(3)이 순차적으로 적층되어 이루어진다.1 and 2, a flexible circuit copper foil laminate according to the present invention is formed by sequentially stacking a polymer film 1, a tie coat layer 2, and a copper layer 3.

상기 폴리머 필름(1)은 열 경화성 수지, 열 가소성 수지, 폴리에스테르 수지, 폴리이미드 수지, 축중합체 또는 이들로부터 선택된 적어도 2 이상의 혼합물 중 적어도 하나로 이루어진 단일층 또는 복합층의 필름이다. 상기 폴리머 필름(1)은 필러(filler)(또는 필러 없이), 직조 유리(woven glass), 비 직조 유리(non woven glass) 및/또는 다른 섬유재료로 만들어질 수 있다. The polymer film 1 is a film of a single layer or a composite layer made of at least one of a thermosetting resin, a thermoplastic resin, a polyester resin, a polyimide resin, a condensation polymer or at least two or more mixtures thereof selected from them. The polymer film 1 may be made of filler (or without filler), woven glass, non woven glass and / or other fibrous material.

상기 열 경화성 수지로는 페놀 수지, 페놀알데하이드 수지, 푸란 수지, 아미노플라스트 수지, 알키드 수지, 알릴 수지, 에폭시 수지, 에폭시 프리프레그(prepreg), 폴리우레탄 수지, 열 경화성 폴리에스테르 수지, 실리콘 수지 등이 사용될 수 있다. 상기 열 가소성 수지로는 폴리에틸렌, 폴리프로필렌, 에틸렌/비닐 공중합체, 에틸렌 아크릴산 공중합체 등이 사용될 수 있다. 상기 폴리에스테르 수지로는 2가 지방족과 방향족 카르복실산과 디올 또는 트리올로 제조된 것들이 사용될 수 있다. 상기 폴리이미드 수지는 특히 유용한데, 이것은 4가 산 2 무수물(tetrabasic acid dianhydride)을 방향족 디아민과 접촉시켜 폴리아믹산을 산출한 후 이것이 열 또는 촉매에 의해 고분자 중량 선형 폴리이미드로 변화하는 반응을 통해서 얻을 수 있다. 상기 축중합체로는 폴리아미드, 폴리에테르 이미드, 폴리술폰, 폴리에테르술폰, 폴리벤즈아졸, 방향족 폴리술폰 등이 사용될 수 있다. 상기 폴리머 필름(1)은 타이코트 층(2)을 증착시키기 전에 전처리 공정을 거치게 된다. 즉, 상기 폴리머 필름(1)은 표면의 오염 물질을 제거하고 표면을 개질하기 위해 타이코트 층(2)의 형성에 앞서 플라즈마 처리 된다.The thermosetting resins include phenol resins, phenolaldehyde resins, furan resins, aminoplast resins, alkyd resins, allyl resins, epoxy resins, epoxy prepregs, polyurethane resins, thermosetting polyester resins, silicone resins, and the like. This can be used. As the thermoplastic resin, polyethylene, polypropylene, ethylene / vinyl copolymer, ethylene acrylic acid copolymer, or the like may be used. As the polyester resin, those made of divalent aliphatic and aromatic carboxylic acids and diols or triols may be used. The polyimide resins are particularly useful, which are obtained through the reaction of tetrabasic acid dianhydride with an aromatic diamine to yield a polyamic acid which is then converted to high molecular weight linear polyimide by heat or catalyst. Can be. The condensation polymer may be polyamide, polyether imide, polysulfone, polyethersulfone, polybenzazole, aromatic polysulfone and the like. The polymer film 1 is subjected to a pretreatment process before depositing the tie coat layer 2. That is, the polymer film 1 is plasma treated prior to the formation of the tie coat layer 2 to remove contaminants on the surface and to modify the surface.

상기 타이코트 층(2)은 폴리머 필름(1)의 양 면 중 적어도 일 면에 형성되는 것으로서, 니켈(Ni)을 주성분으로 하는 합금으로 이루어진다. 상기 타이코트 층(2)은 폴리머 필름(1)에 건식 도금법의 일종인 스퍼터링(sputtering)법에 의해 증착될 수 있으며, 대략 5nm 내지 35nm 의 두께로 형성되는 것이 바람직하다. 상기 타이코트 층(2)의 두께가 5nm 미만인 경우에는 배선 패턴 형성을 위한 에칭 시에 박리 강도 저하의 염려가 있으며, 35nm를 초과하는 경우에는 에칭 공정이 용이하지 않게 되는 문제점이 있다.The tie coat layer 2 is formed on at least one of both surfaces of the polymer film 1, and is made of an alloy containing nickel (Ni) as a main component. The tie coat layer 2 may be deposited on the polymer film 1 by a sputtering method, which is a kind of dry plating method, and is preferably formed to a thickness of about 5 nm to 35 nm. When the thickness of the tie coat layer 2 is less than 5 nm, there is a concern that the peeling strength is lowered at the time of etching for forming the wiring pattern, and when the thickness exceeds 35 nm, the etching process is not easy.

상기 타이코트 층(2)을 이루는 합금은 니켈 이외에도 몰리브덴(Mo) 및 나이오븀(Nb)을 더 포함한다. 상기 합금을 이루는 몰리브덴의 함량은 합금의 전체 중량 대비 대략 6.0wt% 내지 13.5wt% 인 것이 바람직하다. 상기 몰리브덴의 함량이 6.0wt% 미만인 경우에는 에칭성이 떨어지는 문제점, 즉 부식전류 밀도값이 낮아지는 문제점이 있다. 반대로, 상기 몰리브덴의 함량이 13.5wt% 를 초과하는 경우에는 연성회로 동장 적층판의 박리 강도가 떨어지는 문제점이 있다. 상기 합금 내에 존재하는 나이오븀의 함량은 대략 2.0wt% 내지 9.5wt% 인 것이 바람직하다. 상기 나이오븀의 함량이 2wt% 미만인 경우에는 연성회로 동장 적층판의 박리 강도가 떨어지는 문제점이 있다. 상기 박리 강도가 일정 수치 미만(고온: 0.4kgf/cm 미만, 상온: 0.6kgf/cm 미만)으로 떨어지는 경우에는 협피치화가 적용된 연성회로 동장 적층판에 있어서, 외부 온도 변화에 따른 박리 현상(폴리머 필름-타이코트 사이의)이 발생되는 문제점이 있다. 반대로, 상기 나이오븀의 함량이 9.5wt% 를 초과하는 경우에는 에칭성이 떨어지는, 즉 부식전류 밀도값이 낮게 측정(0.6mA/cm2 미만)되는 문제점이 있다. 상기 부식전류 밀도가 0.6mA/cm2 미만으로 측정되는 경우 에칭 시에 잔사가 남으므로 이온 마이그레이션(ion-migration) 발생으로 인해 배선간 단락의 문제가 발생할 수 있다. 따라서, 상기 합금은 2.0wt% 내지 9.5wt% 의 나이오븀(Nb), 6.0wt% 내지 13.5wt% 의 몰리브덴(Mo) 및 잔부의 니켈(77wt% 내지 92wt%)로 이루어지는 것이 가장 바람직하다. The alloy forming the tie coat layer 2 further includes molybdenum (Mo) and niobium (Nb) in addition to nickel. The content of molybdenum constituting the alloy is preferably about 6.0wt% to 13.5wt% relative to the total weight of the alloy. When the content of molybdenum is less than 6.0wt%, there is a problem in that the etching property is poor, that is, the corrosion current density value is low. On the contrary, when the content of molybdenum exceeds 13.5 wt%, the peel strength of the flexible circuit copper clad laminate is inferior. The content of niobium present in the alloy is preferably about 2.0 wt% to 9.5 wt%. If the content of niobium is less than 2wt%, there is a problem that the peel strength of the flexible circuit copper clad laminate falls. When the peel strength falls below a certain value (high temperature: less than 0.4kgf / cm, room temperature: less than 0.6kgf / cm), peeling phenomenon due to external temperature change in a flexible circuit copper clad laminate to which narrow pitch is applied (polymer film— There is a problem that occurs between the tie coat). On the contrary, when the content of niobium exceeds 9.5 wt%, there is a problem that the etching property is inferior, that is, the corrosion current density value is low (less than 0.6 mA / cm 2 ). When the corrosion current density is measured below 0.6 mA / cm 2 , a residue may remain during etching, and thus, a problem of a short circuit between wires may occur due to ion migration. Therefore, the alloy is most preferably made of 2.0wt% to 9.5wt% of niobium (Nb), 6.0wt% to 13.5wt% of molybdenum (Mo) and the balance nickel (77wt% to 92wt%).

한편, 상기 타이코트 층(2)을 폴리머 필름(1)에 증착함에 있어서 합금의 밀도값이 대략 6.70ⅹ1022atoms/cm3 이상을 유지하도록 하는 것이 바람직하다. 상기 합금의 밀도값이 6.70ⅹ1022atoms/cm3 미만인 경우에는 고온 및/또는 상온에 있어서 폴리머 필름(1)과 타이코트 층(2) 사이의 박리 강도가 낮아지는 문제점이 있다. 상기 합금의 밀도는 스퍼터(sputter)의 전력(power)을 달리 함으로써 조절할 수 있다.On the other hand, in depositing the tie coat layer 2 on the polymer film 1, it is preferable to maintain the density value of the alloy of about 6.70 6.10 22 atoms / cm 3 or more. When the density value of the alloy is less than 6.70ⅹ10 22 atoms / cm 3 , there is a problem that the peel strength between the polymer film 1 and the tie coat layer 2 becomes low at high temperature and / or room temperature. The density of the alloy can be adjusted by varying the power of the sputter.

상기 구리 층(3)은 타이코트 층(2)의 상부에 형성되는 것으로서 구리 시드 층(3a) 및 구리 피막 층(3b)을 포함한다. 상기 구리 시드 층(3a)은 타이코트 층(2)에 스퍼터링법에 의해 증착되어 형성되는 층으로서, 대략 10nm 내지 100nm 두께로 형성된다. The copper layer 3 is formed on top of the tie coat layer 2 and includes a copper seed layer 3a and a copper coating layer 3b. The copper seed layer 3a is a layer formed by sputtering on the tie coat layer 2 and is formed to a thickness of approximately 10 nm to 100 nm.

상기 피막 층(3b)은 구리 시드 층(3a) 상에 전해 도금법에 의해 형성되는 구리 층으로서, 대략 5㎛ 내지 15㎛ 두께로 형성되는 것이 바람직하며, 더욱 바람직하게는 8㎛ 내지 8.5㎛ 두께로 형성될 수 있다. The coating layer 3b is a copper layer formed on the copper seed layer 3a by an electroplating method, and is preferably formed in a thickness of about 5 μm to 15 μm, more preferably 8 μm to 8.5 μm. Can be formed.

상술한 바와 같이 본 발명에 따른 연성회로 동장 적층판은 전처리 공정을 거친 폴리머 필름(1)을 준비하는 단계(S1), 타이코트 층(2)을 형성하는 단계(S2), 구리 시드 층(3a)을 형성하는 단계(S3) 및 구리 피막 층(3b)을 형성하는 단계(S4)를 거쳐 제조된다. 상기 동장 적층판은 일정 함량 범위의 니켈, 몰리브덴 및 나이오븀을 함유하는 타이코트 층을 구비함으로써 우수한 물성을 갖는다.As described above, in the flexible circuit copper clad laminate according to the present invention, a step (S1) of preparing a polymer film 1 which has been subjected to a pretreatment process, a step of forming a tie coat layer (S2), and a copper seed layer 3a And a step (S4) of forming a copper film layer (3b). The copper clad laminate has excellent physical properties by having a tie coat layer containing nickel, molybdenum and niobium in a certain content range.

한편, 상기 공정을 통해 제조된 연성회로 동장 적층판의 구리 층을 포토 에칭 등의 공지된 방법을 사용하여 에칭함으로써 원하는 배선 패턴을 형성할 수 있으며, 이로써 인쇄회로 기판(PCB)이 얻어지게 된다.On the other hand, by etching a copper layer of the flexible circuit copper clad laminate manufactured through the above process using a known method such as photoetching, a desired wiring pattern can be formed, thereby obtaining a printed circuit board (PCB).

이하, 상기 연성회로 동장 적층판의 제조를 위한 전처리 및 성막 조건(표 1), 물성의 평가 방법 및 실험예(표 2)를 설명하기로 한다. Hereinafter, the pretreatment and film formation conditions (Table 1), the evaluation method of physical properties and the experimental example (Table 2) for manufacturing the flexible circuit copper clad laminate will be described.

Figure 112012005707152-pat00001
Figure 112012005707152-pat00001

<물성 평가 방법><Property evaluation method>

- 박리강도: 필강도 측정은 IPC-TM-650, NUMBER2.4.9에 준거한 방법으로 행하였음. UTM 장비를 사용하여 8개 측정 후 최대, 최소 값을 제외한 나머지 값을 평균함. 리드폭은 1㎜로 하고 필요 각도는 90도로 하였음. 내열성의 지표로써 1㎜의 리드를 형성한 필름 기재를 150℃의 오븐에 168시간 방치하고 꺼낸 후 박리강도를 평가함.-Peel strength: Peel strength was measured according to IPC-TM-650, NUMBER2.4.9. After 8 measurements using the UTM instrument, the average of the values excluding the maximum and minimum values is obtained. The lead width was 1mm and the required angle was 90 degrees. The peeling strength was evaluated after leaving the film base material with a 1 mm lead as an indicator of heat resistance and leaving it in an oven at 150 ° C. for 168 hours.

- 박막밀도: 샘플 7㎜x7㎜를 준비, RBS (Rutherford Backscattering Spectrometer) 분석장비를 사용하여 tiecoat의 밀도를 측정하였음 (밀도=atoms/㎤)Thin Film Density: A sample 7mm × 7mm was prepared and the density of the tiecoat was measured using a Rutherford Backscattering Spectrometer (RBS) analyzer (density = atoms / cm 3)

- 에칭성: 폴리이미드(PI)/타이코트 층(20㎚)/구리 시드 층(60㎚)을 증착하여 30㎜x30㎜ 크기로 샘플링한 후 전기화학 테스트 용액에 딥핑(dipping)하여 Potentio-Stat를 사용, 부식전류밀도의 값을 측정하여 에칭 경향성을 확인 하였음. (에칭용액조건: Base 5㎖ + DI Water 1.5L /Base 용액: FeCl3?6H2O : 76.2g + DI water 152.4g 비중1.3)Etchability: A polyimide (PI) / tiecoat layer (20 nm) / copper seed layer (60 nm) was deposited and sampled in a size of 30 mm × 30 mm and then dipped into an electrochemical test solution to dilute the Potentio-Stat. The etching tendency was confirmed by measuring the value of corrosion current density. (Etching solution condition: Base 5ml + DI water 1.5L / Base solution: FeCl 3 ~ 6H 2 O: 76.2g + DI water 152.4g Specific gravity 1.3)

Figure 112012005707152-pat00002
Figure 112012005707152-pat00002

상기 실시예 7과 비교예 2 및 비교예 5에 나타난 실험 결과를 비교하고, 실시예 11과 비교예 6에 나타난 실험 결과를 비교해 보면, 타이코트 층(2)의 나이오븀 함량이 2.0wt% 내지 9.5wt% 범위를 유지하는 경우 연성회로 동장 적층판의 물성(박리 강도 및 에칭성)이 우수함을 알 수 있다. 또한, 상기 실시예 8과 비교예 3에 나타난 실험결과를 비교하고, 실시예 6과 비교예 4에 나타난 실험 결과를 비교해 보면, 타이코트 층(2)의 몰리브덴 함량이 6.0wt% 내지 13.5wt% 범위를 유지하는 경우 연성회로 동장 적층판의 물성(박리 강도 및 에칭성)이 우수함을 알 수 있다. 즉, 상기 범위에서 측정되는 연성회로 동장 적층판의 부식전류밀도는 0.6mA/cm2 이상을 유지하며, 고온 박리 강도 및 상온 박리 강도는 각각 0.40kgf/cm 및 0.6kgf/cm 이상을 유지한다. Comparing the experimental results shown in Example 7 and Comparative Example 2 and Comparative Example 5, and comparing the experimental results shown in Example 11 and Comparative Example 6, the niobium content of the tie coat layer (2) to 2.0wt% to When the 9.5wt% range is maintained, it can be seen that the physical properties (peel strength and etching property) of the flexible circuit copper clad laminate are excellent. In addition, comparing the experimental results shown in Example 8 and Comparative Example 3, and comparing the experimental results shown in Example 6 and Comparative Example 4, the molybdenum content of the tie coat layer (2) is 6.0wt% to 13.5wt% In the case of maintaining the range, it can be seen that the physical properties (peel strength and etching property) of the flexible circuit copper clad laminate are excellent. That is, the corrosion current density of the flexible circuit copper clad laminate measured in the above range is maintained at 0.6 mA / cm 2 or more, the high temperature peel strength and room temperature peel strength is maintained at 0.40kgf / cm and 0.6kgf / cm or more, respectively.

한편, 상기 실시예들과 비교예 7 및 8을 비교해 보면, 타이코트 층(2)의 밀도는 6.70ⅹ1022 atom/cm3 이상을 유지해야 고온 및 상온에서의 박리강도가 일정 수준 이상(고온: 0.4kgf/cm, 상온: 0.6kgf/cm 이상)으로 유지됨을 알 수 있다.On the other hand, when comparing the Examples and Comparative Examples 7 and 8, the density of the tie coat layer (2) should be maintained at 6.70ⅹ10 22 atom / cm 3 or more, the peel strength at a high temperature and room temperature above a certain level (high temperature: 0.4kgf / cm, room temperature: 0.6kgf / cm or more) can be seen that.

이상에서 본 발명은 비록 한정된 실시예와 도면에 의해 설명되었으나, 본 발명은 이것에 의해 한정되지 않으며 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 본 발명의 기술사상과 아래에 기재될 특허청구범위의 균등범위 내에서 다양한 수정 및 변형이 가능함은 물론이다.While the present invention has been particularly shown and described with reference to exemplary embodiments thereof, it is to be understood that the invention is not to be limited to the details thereof and that various changes and modifications will be apparent to those skilled in the art. And various modifications and variations are possible within the scope of the appended claims.

1: 폴리머 필름 2: 타이코트 층
3: 구리 층 3a: 구리 시드 층
3b: 구리 피막 층
1: polymer film 2: tie coat layer
3: copper layer 3a: copper seed layer
3b: copper film layer

Claims (16)

폴리머 필름, 상기 폴리머 필름의 적어도 일 면에 형성되는 타이코트(tiecoat) 층 및 상기 타이코트 층에 형성되는 구리(Cu) 층을 포함하는 연성회로 동장 적층판에 있어서,
상기 타이코트 층은 2.0wt% 내지 9.5wt% 의 나이오븀(Nb), 6.0wt 내지 13.5wt% 의 몰리브덴(Mo) 및 잔부의 니켈(Ni)을 함유하는 합금으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 연성회로 동장 적층판.
In the flexible circuit copper clad laminate comprising a polymer film, a tiecoat layer formed on at least one side of the polymer film and a copper (Cu) layer formed on the tiecoat layer,
The tie coat layer is composed of an alloy containing 2.0 wt% to 9.5 wt% of niobium (Nb), 6.0 wt% to 13.5 wt% of molybdenum (Mo), and a balance of nickel (Ni). Laminates.
제1항에 있어서,
상기 타이코트 층의 밀도는 6.70ⅹ1022 atom/cm3 이상인 것을 특징으로 하는 연성회로 동장 적층판.
The method of claim 1,
The tie coat layer has a density of 6.70ⅹ10 22 atom / cm 3 or more, flexible circuit copper clad laminate.
제1항에 있어서,
상기 타이코트 층의 부식전류밀도는 0.6mA/cm2 이상인 것을 특징으로 하는 연성회로 동장 적층판.
The method of claim 1,
Corrosion current density of the tie coat layer is a flexible circuit copper clad laminate, characterized in that more than 0.6mA / cm 2 .
제2항에 있어서,
상기 타이코트 층의 두께는 5nm 내지 35nm 인 것을 특징으로 하는 연성회로 동장 적층판.
The method of claim 2,
The thickness of the tie coat layer is a flexible circuit copper clad laminate, characterized in that 5nm to 35nm.
제1항에 있어서,
상기 폴리머 필름은 열경화성 수지, 열가소성 수지, 폴리에스테르 수지, 폴리이미드 수지, 축중합체 또는 이들 중 적어도 2 이상의 혼합물 중 적어도 하나로 이루어진 것을 특징으로 하는 연성회로 동장 적층판.
The method of claim 1,
Wherein the polymer film is made of at least one of a thermosetting resin, a thermoplastic resin, a polyester resin, a polyimide resin, a condensation polymer, or a mixture of at least two or more thereof.
제5항에 있어서,
상기 폴리머 필름은 폴리이미드 수지인 것을 특징으로 하는 연성회로 동장 적층판.
The method of claim 5,
The polymer film is a flexible circuit copper clad laminate, characterized in that the polyimide resin.
제1항에 있어서,
상기 구리 층은,
상기 타이코트 층에 형성되는 구리 시드 층; 및
상기 구리 시드 층에 형성되는 구리 피막 층을 포함하는 것을 특징으로 하는 연성회로 동장 적층판.
The method of claim 1,
The copper layer,
A copper seed layer formed on the tiecoat layer; And
And a copper film layer formed on the copper seed layer.
제7항에 있어서,
상기 구리 시드 층의 두께는 20nm 내지 100nm 인 것을 특징으로 하는 연성회로 동장 적층판.
The method of claim 7, wherein
The copper seed layer is a flexible circuit copper clad laminate, characterized in that the thickness of 20nm to 100nm.
제8항에 있어서,
상기 구리 피막 층의 두께는 5㎛ 내지 15㎛ 인 것을 특징으로 하는 연성회로 동장 적층판.
9. The method of claim 8,
The thickness of the copper film layer is a flexible circuit copper clad laminate, characterized in that 5㎛ to 15㎛.
제1항 내지 제9항 중 어느 한 항에 따른 연성회로 동장 적층판의 구리 층에 형성된 배선 패턴을 구비하는 인쇄회로 기판.The printed circuit board provided with the wiring pattern formed in the copper layer of the flexible circuit copper clad laminated board of any one of Claims 1-9. (a) 폴리머 필름을 준비하는 단계;
(b) 상기 폴리머 필름의 적어도 일 면에 2.0wt% 내지 9.5wt% 의 나이오븀(Nb), 6.0wt 내지 13.5wt% 의 몰리브덴(Mo) 및 잔부의 니켈(Ni)을 함유하는 합금으로 이루어지는 타이코트 층을 형성하는 단계; 및
(c) 상기 타이코트 층에 구리 층을 형성하는 단계; 를 포함하는 연성회로 동장 적층판의 제조 방법.
(a) preparing a polymer film;
(b) a tie composed of an alloy containing 2.0 wt% to 9.5 wt% of niobium (Nb), 6.0 wt to 13.5 wt% of molybdenum (Mo), and the balance of nickel (Ni) on at least one side of the polymer film; Forming a coat layer; And
(c) forming a copper layer on the tiecoat layer; Method for producing a flexible circuit copper clad laminate comprising a.
제11항에 있어서,
상기 (a)단계는, 상기 폴리머 필름을 플라즈마 처리함으로써 표면의 오염 물질의 제거와 표면의 개질을 실시하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 연성회로 동장 적층판의 제조 방법.
The method of claim 11,
The step (a), the method of manufacturing a flexible circuit copper clad laminate comprising the step of removing the contaminants on the surface and modifying the surface by plasma treatment of the polymer film.
제11항에 있어서,
상기 (b)단계는, 상기 폴리머 필름에 타이코트 층을 스퍼터링(sputtering)법을 사용하여 증착하는 단계인 것을 특징으로 하는 연성회로 동장 적층판의 제조 방법.
The method of claim 11,
The step (b) is a method for manufacturing a flexible circuit copper clad laminate, characterized in that the step of depositing a tie coat layer on the polymer film using a sputtering method.
제11항에 있어서,
상기 (c)단계는, 상기 타이코트 층에 구리 시드 층을 형성한 후 상기 구리 시드 층에 구리 피막 층을 형성하는 단계인 것을 특징으로 하는 연성회로 동장 적층판의 제조 방법.
The method of claim 11,
The step (c) is a step of forming a copper seed layer on the copper seed layer after forming a copper seed layer on the tie coat layer, the method of manufacturing a flexible circuit copper clad laminate.
제14항에 있어서,
상기 구리 시드 층은 상기 타이코트 층에 스퍼터링법에 의해 증착되며,
상기 구리 피막 층은 상기 구리 시드 층에 전해도금법에 의해 도금되는 것을 특징으로 하는 연성회로 동장 적층판의 제조 방법.
15. The method of claim 14,
The copper seed layer is deposited on the tiecoat layer by sputtering,
And said copper film layer is plated on said copper seed layer by electroplating.
제11항 내지 제15항 중 어느 한 항에 따른 연성회로 동장 적층판의 제조 단계; 및
상기 연성회로 동장 적층판의 구리 층에 배선 패턴을 형성하는 단계를 포함하는 인쇄회로 기판의 제조 방법.
Manufacturing a flexible circuit copper clad laminate according to any one of claims 11 to 15; And
Forming a wiring pattern on the copper layer of the flexible circuit copper clad laminate.
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