KR102443969B1 - 헬륨 미소량 정밀분사 조절이 가능한 포터블 구조의 절약형 진공검사 테스트 건 - Google Patents

헬륨 미소량 정밀분사 조절이 가능한 포터블 구조의 절약형 진공검사 테스트 건 Download PDF

Info

Publication number
KR102443969B1
KR102443969B1 KR1020220057641A KR20220057641A KR102443969B1 KR 102443969 B1 KR102443969 B1 KR 102443969B1 KR 1020220057641 A KR1020220057641 A KR 1020220057641A KR 20220057641 A KR20220057641 A KR 20220057641A KR 102443969 B1 KR102443969 B1 KR 102443969B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
helium
groove
hole
valve
opening
Prior art date
Application number
KR1020220057641A
Other languages
English (en)
Inventor
김용수
추인철
Original Assignee
(주)티씨케이
추인철
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by (주)티씨케이, 추인철 filed Critical (주)티씨케이
Priority to KR1020220057641A priority Critical patent/KR102443969B1/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR102443969B1 publication Critical patent/KR102443969B1/ko

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01M—TESTING STATIC OR DYNAMIC BALANCE OF MACHINES OR STRUCTURES; TESTING OF STRUCTURES OR APPARATUS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01M3/00—Investigating fluid-tightness of structures
    • G01M3/02—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum
    • G01M3/04—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by detecting the presence of fluid at the leakage point
    • G01M3/20—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by detecting the presence of fluid at the leakage point using special tracer materials, e.g. dye, fluorescent material, radioactive material
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05B—SPRAYING APPARATUS; ATOMISING APPARATUS; NOZZLES
    • B05B1/00—Nozzles, spray heads or other outlets, with or without auxiliary devices such as valves, heating means
    • B05B1/005—Nozzles or other outlets specially adapted for discharging one or more gases
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05B—SPRAYING APPARATUS; ATOMISING APPARATUS; NOZZLES
    • B05B1/00—Nozzles, spray heads or other outlets, with or without auxiliary devices such as valves, heating means
    • B05B1/30—Nozzles, spray heads or other outlets, with or without auxiliary devices such as valves, heating means designed to control volume of flow, e.g. with adjustable passages
    • B05B1/3013—Nozzles, spray heads or other outlets, with or without auxiliary devices such as valves, heating means designed to control volume of flow, e.g. with adjustable passages the controlling element being a lift valve
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05B—SPRAYING APPARATUS; ATOMISING APPARATUS; NOZZLES
    • B05B12/00—Arrangements for controlling delivery; Arrangements for controlling the spray area
    • B05B12/002—Manually-actuated controlling means, e.g. push buttons, levers or triggers
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05B—SPRAYING APPARATUS; ATOMISING APPARATUS; NOZZLES
    • B05B9/00—Spraying apparatus for discharge of liquids or other fluent material, without essentially mixing with gas or vapour
    • B05B9/01—Spray pistols, discharge devices
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01M—TESTING STATIC OR DYNAMIC BALANCE OF MACHINES OR STRUCTURES; TESTING OF STRUCTURES OR APPARATUS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01M3/00—Investigating fluid-tightness of structures
    • G01M3/02—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum
    • G01M3/26—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by measuring rate of loss or gain of fluid, e.g. by pressure-responsive devices, by flow detectors
    • G01M3/32—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by measuring rate of loss or gain of fluid, e.g. by pressure-responsive devices, by flow detectors for containers, e.g. radiators
    • G01M3/34—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by measuring rate of loss or gain of fluid, e.g. by pressure-responsive devices, by flow detectors for containers, e.g. radiators by testing the possibility of maintaining the vacuum in containers, e.g. in can-testing machines

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
  • Examining Or Testing Airtightness (AREA)

Abstract

본 발명은 헬륨 미소량 정밀분사 조절이 가능한 포터블 구조의 절약형 진공검사 테스트 건에 관한 것이다.
이에, 본 발명의 기술적 요지는 반도체 설비와 관련된 배관상 리크(Leak) 누설 여부(진공챔버나 진공장비 또는 배관상 누설 유무)를 감지기와 함께 검출할 수 있도록 하는 것으로, 헬륨의 오남용 없이 미소량을 분사할 수 있도록 형성되어 한정된 자원인 헬륨의 사용을 현저하게 절감할 수 있도록 함은 물론 사용량을 미세하고 정밀하게 조절할 수 있도록 하는 것을 특징으로 한다.

Description

헬륨 미소량 정밀분사 조절이 가능한 포터블 구조의 절약형 진공검사 테스트 건{Test gun for vacuum inspection with adjustable helium atomization}
본 발명은 반도체 설비와 관련된 배관상 리크(Leak) 누설 여부(진공챔버나 진공장비 또는 배관상 누설 유무)를 감지기(별도의 디바이스)와 함께 검출할 수 있도록 하는 것으로, 헬륨의 오남용 없이 미소량을 분사할 수 있도록 형성되어 한정된 자원인 헬륨의 사용을 현저하게 절감할 수 있도록 함은 물론 사용량을 미세하고 정밀하게 조절할 수 있도록 하는 것을 특징으로 하는 헬륨 미소량 정밀분사 조절이 가능한 포터블 구조의 절약형 진공검사 테스트 건에 관한 것이다.
이러한 본 발명은 휴대가 간편하고 보관과 취급 및 작업이 편리하여 작업성과 효율성이 크게 향상되는 것을 특징으로 한다.
일반적으로 반도체 설비는 웨이퍼 상에 사진, 식각, 확산, 화학기상증착, 이온주입, 금속증착 등의 공정을 수행하게 하는 것으로, 이러한 반도체 제조공정은 대부분 진공상태에서 진행되고 있으며, 진공상태가 설정된 값에서 정확하게 유지되어야만 정밀한 반도체 제조공정을 수행할 수 있게 된다.
따라서 대부분의 반도체 제조설비는 진공상태를 검사하기 위하여 별도의 진공누설 감지장치가 설치되어 있다.
그러나, 종래의 진공누설 감지장치는 시스템 설비로서, 진공 환경에서 설정된 진공값 이하가 되면 누설을 감지하는 것이 기능의 전부일 뿐 진공 누설시 어느 부분에서 진공이 누설되는가를 정확하게 찾아내지 못하고 있으며 진공누설로 판단(예상)되는 부분을 모두 분해 조립하면서 일일이 확인해야 하는 문제가 발생되었다.
이를 개선하기 위해 최근에는 누설이 예상되는 배관상 리크 부분에 헬륨을 분사하여 진공이 유지되고 있는 관로 내부로 헬륨이 유입되는지 여부를 진공감지기와 함께 검출하면서 진공상태를 파악하고 있다.
즉, 진공챔버나 그 배관상 조립 부분 등 리크가 의심되는 부분에 헬륨과 같은 표적 가스를 살포해 봄(헬륨이 관로 내로 흡입되면서 감지 부저가 울리거나 육안으로 즉시 확인할 수 있게 함)으로서 진공 상태를 파악한 뒤 그에 따른 신속한 조치를 취할 수 있도록 하고 있다.
그러나, 이러한 헬륨은 한정된 자원이면서 한 번 사용시 재수거(재활용)가 불가능한 것으로, 최근 반도체 시장에서는 헬륨의 절약을 도모하면서 동시에 과사용을 엄격히 제한하고 있는 실정이다.
따라서, 반도체 설비의 진공 상태 확인을 위한 헬륨의 분사시 미소량 사용이 적극 권장되고 있어 이를 위한 휴대형 구조의 미세 정밀 분사량 조절구조의 디바이스 개발 요구가 업계에 계속되고 있는 실정이다.
1. 대한민국 공개특허 제10-2000-0041235호(2000.07.15. 공개)
본 발명은 상술한 문제점을 해결하기 위한 것으로, 그 기술적 요지는 반도체 설비와 관련된 배관상 리크(Leak) 누설 여부(진공챔버나 진공장비 또는 배관상 누설 유무)를 감지기(진공상태에서 공기외의 다른 가스 즉, 헬륨이 검출되면 누설로 판단하는 별도의 검출센싱 디바이스임_반도체 설비에서 진공체크시 일반적으로 사용됨)와 함께 검출할 수 있도록 하는 것으로, 헬륨의 오남용 없이 미소량을 분사할 수 있도록 형성되어 한정된 자원인 헬륨의 사용을 현저하게 절감할 수 있도록 함은 물론 사용량을 미세하고 정밀하게 조절할 수 있도록 하는 것을 제공함에 그 목적이 있다.
이러한 본 발명은 휴대가 간편하고 보관과 취급 및 작업이 편리하여 작업성과 효율성이 크게 향상되는 것을 제공함에 그 목적이 있다.
이러한 목적을 달성하기 위해 본 발명은 일측에 연결탭(111)과 주입공(112)이 구비된 손잡이(110)가 형성되도록 하되, 상기 주입공(112)의 내측 단부에는 직교된 방향으로 밸브개폐실(113)이 연통되도록 형성되고, 상기 밸브개폐실(113)의 관로 일측에는 상방향으로 분기된 이송공(114)이 형성되도록 하되, 상기 이송공(114)에는 바이패스관(120)이 내입되도록 형성되며, 상기 바이패스관(120)의 직교방향에는 롱 슈터(130)와 동축으로 형성된 배기공(131)이 형성되도록 하되, 상기 이송공(114)과 배기공(131)은 연결부 관로가 이송공(114)에 삽입된 바이패스관(120)에 의해 차단되면서 헬륨의 공급 유로가 바이패스관(120)으로 확보되도록 하는 건 바디(100)와; 일측에 플러그(210)가 구비되고 타측에 소켓슬라이더(221)를 갖는 바디(220)가 구비되도록 하되, 상기 플러그(210)의 일측에는 숫나사부(211)가 형성되어 연결탭(111)과 체결 조립되도록 하되, 상기 플러그(210)의 타측에는 장착홈(212)을 갖는 조립축(213)이 형성되며, 상기 플러그(210)의 내부에는 통로홈(214)이 관통되도록 형성되고, 상기 바디(220)는 일측에 개구부(222)가 형성되어 플러그의 조립축(213)에 끼움 결합되도록 하되, 상기 바디의 타측에는 수납홈(223)이 형성되고, 상기 수납홈에는 장착볼(224)이 내입되면서 인출공을 통해 장착볼이 장착홈에 끼움 로킹되거나 이탈 해제 언로킹되도록 형성되며, 상기 바디의 개구부(222) 반대측에는 니플탭(225)과 링플렌지(226)가 형성되도록 하되, 상기 링플렌지(226)는 일측에 안내홈(227)이 형성되어 텐션스프링(230)이 장착되도록 형성되고, 상기 바디의 외측에는 소켓슬라이더(221)가 구비되도록 하되, 상기 소켓슬라이더(221)는 안내홈(227)에 수납된 텐션스프링(230)을 기준으로 축방향 업다운되면서 내주면(228)과 해제홈(229)으로 하여금 수납홈(223)에 대한 장착볼(224)의 삽입 탈출을 도모하도록 하는 원터치 커텍터(200)와; 일측에 배출공(311)을 갖는 밸브실린더(310)가 구비되어 밸브개폐실(113)에 내입되도록 하되, 상기 밸브실린더(310)는 축방향 내부 공간에 단속판(321)을 갖는 밸브샤프트(320)가 수납되어 밸브개폐실(113)의 입구단(115)을 개폐하도록 형성되고, 상기 밸브샤프트(320)의 타측 단부에는 축나사(322)가 형성되어 홀더부싱(330)의 끼움홈(331)과 결합된 후 작동레버(340)의 힌지(341) 구동에 따라 방아쇠(342)가 홀더부싱(330)의 가압면(332)을 누르면 홀더부싱(330)의 전후 왕복 동작에 밸브샤프트(320)가 동축방향으로 연동하면서 단속판(321)으로 하여금 입구단(115)의 개폐를 도모하도록 형성되며, 상기 홀더부싱(330)은 일측에 조립나사(333)가 형성되어 로커부싱(350)의 지지턱(351) 나사부(352)와 체결되도록 형성되고, 상기 지지턱(351)의 단부와 홀더부싱(330)의 요홈(334) 사이에는 텐션부재(360)가 삽입되어 작동레버(340)의 그립 여부에 따라 밸브개폐실(113)의 입구단(115)이 개폐되도록 하는 개폐 어셈블리(300)와; 일측에 실린더(410)가 형성되도록 하되, 상기 실린더(410)의 내부에는 유량 조절용 플런저(420)가 형성되어 상단 다이얼(430)의 조임 회전에 따라 지지구(440)를 기준으로 플런저(420)가 승하강하면서 헬륨의 유량의 저속 또는 고속을 조절할 수 있도록 형성되고, 상기 실린더(410)의 하단부에는 직교된 방향으로 연통된 양방향 니플(450)이 형성되어 바이패스관(120)을 통해 이송된 헬륨이 양방향 니플의 유입구(451)로 들어오면 설정된 유량 속도에 따라 유출구(452)로 배기된 후 롱 슈터 선상 외주면에 형성된 공급니플(460)을 경유한 뒤 배기공(131)으로 하여금 배기되도록 하는 헬륨조절밸브(400)가; 구성되어 이루어진다.
이에, 상기 배기공(131)의 길이방향 선상에는 유량조절용 슬릿홈(150)이 설정된 간격을 따라 다수 형성되도록 하되, 상기 슬릿홈(150)에는 가이드베인(160)이 대응되면서 삽입 장착되도록 형성되어 배기공의 길이방향 축선 구간에서 유량 압력조절이 가능하도록 형성된다.
이때, 상기 원터치 커텍터(200)는 니플탭(225)에 주입호스(240)가 연결되도록 하되, 상기 주입호스(240)의 타측 말단에는 헬륨 공급탱크의 접속탭과 연결하기 위한 별도의 원터치 커텍터(200-1)가 더 구비되도록 형성된다.
또한, 상기 롱 슈터(130)는 말단부에 니들 형태의 분사노즐(170)이 결합되도록 하되, 상기 분사노즐(170)의 단부에는 기류 확산용 디퓨져(180)가 더 구비되도록 하는 것이 바람직하다.
이와 같이, 본 발명은 반도체 설비와 관련된 배관상 리크(Leak) 누설 여부(진공챔버나 진공장비 또는 배관상 누설 유무)를 감지기와 함께 검출할 수 있도록 하는 것으로, 헬륨의 오남용 없이 미소량을 분사할 수 있도록 형성되어 한정된 자원인 헬륨의 사용을 현저하게 절감할 수 있도록 함은 물론 사용량을 미세하고 정밀하게 조절할 수 있도록 하는 효과가 있다.
이에, 본 발명은 휴대가 간편하고 보관과 취급 및 작업이 편리하여 작업성과 효율성이 크게 향상되는 효과가 있다.
도 1은 본 발명에 따른 헬륨 미소량 정밀분사 조절이 가능한 포터블 구조의 절약형 진공검사 테스트 건의 예시 측면도,
도 2는 도 1의 건 바디 요부 확대도,
도 3은 본 발명에 따른 원터치 커텍터의 확대 예시도,
도 4는 본 발명에 따른 개폐 어셈블리의 확대 예시도,
도 5는 본 발명에 따른 헬륨조절밸브의 확대 예시도이다.
다음은 첨부된 도면을 참조하며 본 발명을 보다 상세히 설명하겠다.
먼저, 도 1 내지 도 5에 도시된 바와 같이, 본 발명은 건 바디(100), 원터치 커텍터(200), 개폐 어셈블리(300) 및 헬륨조절밸브(400)로 크게 구성된다.
이에, 상기 건 바디(100)는 일측에 연결탭(111)과 주입공(112)이 구비된 손잡이(110)가 형성되도록 하되, 상기 주입공(112)의 내측 단부에는 직교된 방향으로 밸브개폐실(113)이 연통되도록 형성된다.
즉, 상기 연결탭은 후술되는 원터치 커넥터의 플러그 숫나사부가 체결되도록 형성되고, 상기 주입공은 유입 경로 역할을 하도록 형성된다. 다시 말해, 연결탭은 헬륨공급장치로부터 건 바디에 헬륨이 공급되는 연결 시작점을 의미한다.
이때, 상기 밸브개폐실은 주입공의 안쪽 끝단으로부터 90°로 꺽인 연통 공간으로서 헬륨이 이동하는 경로로 후술되는 개폐 어셈블리로 하여금 개방과 폐쇄가 이루어지도록 형성된다.
또한, 상기 밸브개폐실(113)의 관로 일측에는 상방향으로 분기된 이송공(114)이 형성되도록 하되, 상기 이송공(114)에는 바이패스관(120)이 내입되도록 형성된다.
이때, 상기 이송공은 밸브개폐실로부터 연통된 헬륨의 이동 경로로서 후술되는 헬륨조절밸브 측으로 헬륨이 이동되도록 하는 경로를 제공하게 된다.
또한, 상기 바이패스관은 배기공으로 헬륨이 바로 나가지 못하게 하면서 헬륨조절밸브로 하여금 속도가 조절된 후 다시 배기공으로 유입되도록 하는 일종의 관로 차단목적 파이프이다.
이에, 상기 바이패스관은 길이방향 외주면 선상 중 일측 및 타측에 복수의 오링 결합홈(121)이 형성되어 실리콘 오링 또는 패킹이 결합되도록 형성된다. 이는 후술되는 이송공과 배기공의 연통이 차단되도록 하기 위함이다.
다시 말해, 상기 이송공(114)과 배기공(131)은 연결부 관로가 이송공(114)에 삽입된 바이패스관(120)에 의해 차단되면서 헬륨의 공급 유로가 바이패스관(120)으로 확보되도록 하기 위함으로 이는 헬륨이 헬륨조절밸브를 경유하도록 함으로서 유량 속도가 조절되도록 하기 위함이다. 여기서 연결부 관로는 교차점 부분 통로 부분을 의미한다.
이때, 상기 오링 결합홈과 실리콘 오링 또는 패킹은 일정 간격 거리를 두고 이격되는데 이 간격은 배기공을 사이에 두고 형성되어 헬륨이 배기공으로 흘러가지 못하도록 차단하게 된다.
그리고 상기 바이패스관은 길이방향 상측 일부가 이송공의 상단부로 돌출 연장되어 연통니플(190)과 조립되도록 형성된다.
이러한 연통니플은 헬륨조절밸브의 유입구와 호스튜브로 연결된다. 여기서 유입구도 니플 형태로 형성된다.
이때, 상기 바이패스관(120)의 직교방향에는 롱 슈터(130)와 동축으로 형성된 배기공(131)이 형성되어 유량 또는 속도가 조절된 헬륨이 분사될 수 있도록 형성된다.
이에, 상기 배기공의 단부에는 결합턱(140)이 형성되어 니들형 분사노즐(170)이 결합되도록 형성된다. 이는 협소 공간이나 미소량의 헬륨을 용이하게 분사시킬 수 있도록 하기 위함이다.
이때, 상기 분사노즐(170)의 단부에는 기류 확산용 디퓨져(180)가 더 구비되도록 하는 것이 바람직하다.
즉, 상기 기류 확산용 디퓨져는 복수의 날개가 십자형으로 배치되어 헬륨의 분사가 직선으로 나가지 않고 기류 유도홈(181)을 통해 유입되면 체류홈(182)을 경유한 뒤 분사되도록 형성되어 미소량 사용시 분사 분포도가 넓게 퍼지도록 하는 것이 바람직하다.
이때, 상기 체류홈은 단면이 병따개 모양으로서 기류 유도홈의 직경보다 넓게 형성되어 헬륨의 분사가 바로 직통되지 않고 소정의 와류구간을 갖게 함으로서 분사 분포도가 넓게 분포되도록 형성된다.
그리고, 상기 배기공(131)의 길이방향 선상에는 유량조절용 슬릿홈(150)이 설정된 간격을 따라 다수 형성되도록 하되, 상기 슬릿홈(150)에는 가이드베인(160)이 대응되면서 삽입 장착되도록 형성되어 배기공의 길이방향 축선 구간에서 유량 압력조절이 가능하도록 형성된다.
이때, 상기 가이드베인은 내부에 금속재질의 박막형 판재가 내입되고 그 외표면에는 실리콘 재질의 연질 피막이 코팅되어 슬릿홈에 끼움시 기밀을 확보하도록 형성된다.
한편, 상기 원터치 커텍터(200)는 일측에 플러그(210)가 구비되고 타측에 소켓슬라이더(221)를 갖는 바디(220)가 구비되도록 형성된다.
이때, 상기 플러그(210)의 일측에는 숫나사부(211)가 형성되어 연결탭(111)과 체결 조립되도록 하되, 상기 플러그(210)의 타측에는 장착홈(212)을 갖는 조립축(213)이 형성된다.
이에, 상기 플러그(210)의 내부에는 통로홈(214)이 관통되도록 형성되어 헬륨이 흘러 나가도록 형성된다.
이때, 상기 바디(220)는 일측에 개구부(222)가 형성되어 플러그의 조립축(213)에 끼움 결합되도록 하되, 상기 바디의 타측에는 수납홈(223)이 형성된다.
이에, 상기 수납홈에는 장착볼(224)이 내입되면서 인출공을 통해 장착볼이 장착홈에 끼움 로킹되거나 이탈 해제 언로킹되도록 형성된다.
이때, 상기 수납홈 내부에는 장착볼의 반구면보다 직경이 좁은 인출공이 형성되어 소켓슬라이더의 내주면이 밀착되면 인출공(212-1)으로 장착볼이 튀어나와 장착홈에 걸리면서 로킹되도록 형성되고, 소켓슬라이더를 일방향으로 잡아당기면 해제홈을 통해 장착볼이 후퇴하면서 인출공으로부터 탈출하여 언로킹이 되도록 형성된다. 여기서 소켓슬라이더를 일방향으로 잡아당긴다는 의미는 텐션스프링이 신축 압축되는 방향을 의미한다.
이때, 상기 바디의 개구부(222) 반대측에는 니플탭(225)과 링플렌지(226)가 형성되도록 하되, 상기 링플렌지(226)는 일측에 안내홈(227)이 형성되어 텐션스프링(230)이 장착되도록 형성된다.
이에, 상기 바디의 외측에는 소켓슬라이더(221)가 구비되도록 하되, 상기 소켓슬라이더(221)는 안내홈(227)에 수납된 텐션스프링(230)을 기준으로 축방향 업다운되면서 내주면(228)과 해제홈(229)으로 하여금 수납홈(223)에 대한 장착볼(224)의 삽입 탈출을 도모하도록 형성된다. 여기서 삽입 탈출은 잠금과 해제를 의미하는 것으로, 플러그와 바디가 분리되면서 소켓슬라이더의 내부 일측에는 해제홈이 형성되어 업다운시 일정 구간에서 장착볼의 외부 탈출 바디 분리를 도모하는 것을 의미한다.
이때, 상기 원터치 커텍터(200)는 니플탭(225)에 주입호스(240)가 연결되도록 하되, 상기 주입호스(240)의 타측 말단에는 헬륨 공급탱크의 접속탭과 연결하기 위한 별도의 원터치 커텍터(200-1)가 더 구비되도록 형성된다.
이에, 상기 개폐 어셈블리(300)는 일측에 배출공(311)을 갖는 밸브실린더(310)가 구비되어 밸브개폐실(113)에 내입되도록 형성된다.
이때, 상기 밸브실린더(310)는 축방향 내부 공간에 단속판(321)을 갖는 밸브샤프트(320)가 수납되어 밸브개폐실(113)의 입구단(115)을 개폐하도록 형성된다.
이에, 상기 밸브샤프트(320)의 타측 단부에는 축나사(322)가 형성되어 홀더부싱(330)의 끼움홈(331)과 결합된 후 작동레버(340)의 힌지(341) 구동에 따라 방아쇠(342)가 홀더부싱(330)의 가압면(332)을 누르면 홀더부싱(330)의 전후 왕복 동작에 밸브샤프트(320)가 동축방향으로 연동하면서 단속판(321)으로 하여금 입구단(115)의 개폐를 도모하도록 형성된다.
이때, 상기 홀더부싱(330)은 일측에 조립나사(333)가 형성되어 로커부싱(350)의 지지턱(351) 나사부(352)와 체결되도록 형성된다.
이에, 상기 지지턱(351)의 단부와 홀더부싱(330)의 요홈(334) 사이에는 텐션부재(360)가 삽입되어 작동레버(340)의 그립 여부에 따라 밸브개폐실(113)의 입구단(115)이 개폐되도록 형성된다.
한편, 상기 헬륨조절밸브(400)는 일측에 실린더(410)가 형성되도록 하되, 상기 실린더(410)의 내부에는 유량 조절용 플런저(420)가 형성되어 상단 다이얼(430)의 조임 회전에 따라 지지구(440)를 기준으로 플런저(420)가 승하강하면서 헬륨의 유량 저속이나 고속을 조절할 수 있도록 형성된다.
즉, 상기 헬륨조절밸브는 별도의 브라켓의 스크류볼트로 하여금 고정된 것으로, 건 바디의 롱 슈터 후단에 결합되도록 형성된다. 여기서 브라켓의 재질은 금속 또는 수지재질로 형성되는 것이 바람직하다.
이때, 상기 실린더(410)의 하단부에는 직교된 방향으로 연통된 양방향 니플(450)이 형성되어 바이패스관(120)을 통해 이송된 헬륨이 양방향 니플의 유입구(451)로 들어오면 설정된 유량 속도에 따라 유출구(452)로 배기된 후 롱 슈터 선상 외주면에 형성된 공급니플(460)을 경유한 뒤 배기공(131)으로 하여금 배기되도록 형성된다.
본 발명은 상술한 특정의 바람직한 실시예에 한정되지 아니하며, 청구범위에서 청구하는 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 당해 고안이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 누구든지 다양한 변형실시가 가능한 것은 물론이고, 그와 같은 변경은 청구범위 기재의 범위 내에 있게 된다.
100 ... 건 바디 110 ... 손잡이
111 ... 연결탭 112 ... 주입공
113 ... 밸브개폐실 114 ... 이송공
115 ... 입구단 120 ... 바이패스관
121 ... 오링 결합홈 130 ... 롱 슈터
131 ... 배기공 140 ... 단턱부
150 ... 슬릿홈 160 ... 가이드베인
170 ... 분사노즐 180 ... 디퓨져
190 ... 연통니플
200 ... 원터치 커텍터 210 ... 플러그
211 ... 숫나사부 212 ... 장착홈
212-1 ... 인출공
213 ... 조립축 214 ... 통로홈
220 ... 바디 221 ... 소켓슬라이더
222 ... 개구부 223 ... 수납홈
224 ... 장착볼 225 ... 니플탭
226 ... 링플렌지 227 ... 안내홈
228 ... 내주면 229 ... 해제홈
230 ... 텐션스프링 240 ... 주입호스
300 ... 개폐 어셈블리 310 ... 밸브실린더
311 ... 배출공 320 ... 밸브샤프트
321 ... 단속판 322 ... 축나사
330 ... 홀더부싱 331 ... 끼움홈
332 ... 가압면 333 ... 조립나사
334 ... 요홈
340 ... 작동레버 341 ... 힌지
342 ... 방아쇠 350 ... 로커부싱
351 ... 지지턱 352 ... 나사부
360 ... 텐션부재
400 ... 헬륨조절밸브 410 ... 실린더
420 ... 플런저 430 ... 상단 다이얼
440 ... 지지구 450 ... 양방향 니플
451 ... 유입구 452 ... 유출구
460 ... 공급니플

Claims (3)

  1. 일측에 연결탭(111)과 주입공(112)이 구비된 손잡이(110)가 형성되도록 하되, 상기 주입공(112)의 내측 단부에는 직교된 방향으로 밸브개폐실(113)이 연통되도록 형성되고, 상기 밸브개폐실(113)의 관로 일측에는 상방향으로 분기된 이송공(114)이 형성되도록 하되, 상기 이송공(114)에는 바이패스관(120)이 내입되도록 형성되며, 상기 바이패스관(120)의 직교방향에는 롱 슈터(130)와 동축으로 형성된 배기공(131)이 형성되도록 하되, 상기 이송공(114)과 배기공(131)은 연결부 관로가 이송공(114)에 삽입된 바이패스관(120)에 의해 차단되면서 헬륨의 공급 유로가 바이패스관(120)으로 확보되도록 하는 건 바디(100)와;
    일측에 플러그(210)가 구비되고 타측에 소켓슬라이더(221)를 갖는 바디(220)가 구비되도록 하되, 상기 플러그(210)의 일측에는 숫나사부(211)가 형성되어 연결탭(111)과 체결 조립되도록 하되, 상기 플러그(210)의 타측에는 장착홈(212)을 갖는 조립축(213)이 형성되며, 상기 플러그(210)의 내부에는 통로홈(214)이 관통되도록 형성되고, 상기 바디(220)는 일측에 개구부(222)가 형성되어 플러그의 조립축(213)에 끼움 결합되도록 하되, 상기 바디의 타측에는 수납홈(223)이 형성되고, 상기 수납홈에는 장착볼(224)이 내입되면서 인출공을 통해 장착볼이 장착홈에 끼움 로킹되거나 이탈 해제 언로킹되도록 형성되며, 상기 바디의 개구부(222) 반대측에는 니플탭(225)과 링플렌지(226)가 형성되도록 하되, 상기 링플렌지(226)는 일측에 안내홈(227)이 형성되어 텐션스프링(230)이 장착되도록 형성되고, 상기 바디의 외측에는 소켓슬라이더(221)가 구비되도록 하되, 상기 소켓슬라이더(221)는 안내홈(227)에 수납된 텐션스프링(230)을 기준으로 축방향 업다운되면서 내주면(228)과 해제홈(229)으로 하여금 수납홈(223)에 대한 장착볼(224)의 삽입 탈출을 도모하도록 하는 원터치 커텍터(200)와;
    일측에 배출공(311)을 갖는 밸브실린더(310)가 구비되어 밸브개폐실(113)에 내입되도록 하되, 상기 밸브실린더(310)는 축방향 내부 공간에 단속판(321)을 갖는 밸브샤프트(320)가 수납되어 밸브개폐실(113)의 입구단(115)을 개폐하도록 형성되고, 상기 밸브샤프트(320)의 타측 단부에는 축나사(322)가 형성되어 홀더부싱(330)의 끼움홈(331)과 결합된 후 작동레버(340)의 힌지(341) 구동에 따라 방아쇠(342)가 홀더부싱(330)의 가압면(332)을 누르면 홀더부싱(330)의 전후 왕복 동작에 밸브샤프트(320)가 동축방향으로 연동하면서 단속판(321)으로 하여금 입구단(115)의 개폐를 도모하도록 형성되며, 상기 홀더부싱(330)은 일측에 조립나사(333)가 형성되어 로커부싱(350)의 지지턱(351) 나사부(352)와 체결되도록 형성되고, 상기 지지턱(351)의 단부와 홀더부싱(330)의 요홈(334) 사이에는 텐션부재(360)가 삽입되어 작동레버(340)의 그립 여부에 따라 밸브개폐실(113)의 입구단(115)이 개폐되도록 하는 개폐 어셈블리(300)와;
    일측에 실린더(410)가 형성되도록 하되, 상기 실린더(410)의 내부에는 유량 조절용 플런저(420)가 형성되어 상단 다이얼(430)의 조임 회전에 따라 지지구(440)를 기준으로 플런저(420)가 승하강하면서 헬륨의 유량 저속 또는 고속을 조절할 수 있도록 형성되고, 상기 실린더(410)의 하단부에는 직교된 방향으로 연통된 양방향 니플(450)이 형성되어 바이패스관(120)을 통해 이송된 헬륨이 양방향 니플의 유입구(451)로 들어오면 설정된 유량 속도에 따라 유출구(452)로 배기된 후 롱 슈터 선상 외주면에 형성된 공급니플(460)을 경유한 뒤 배기공(131)으로 하여금 배기되도록 하는 헬륨조절밸브(400)가;
    구성되어 이루어진 것을 특징으로 하는 헬륨 미소량 정밀분사 조절이 가능한 포터블 구조의 절약형 진공검사 테스트 건.
  2. 제 1항에 있어서, 상기 배기공(131)의 길이방향 선상에는 유량조절용 슬릿홈(150)이 설정된 간격을 따라 다수 형성되도록 하되, 상기 슬릿홈(150)에는 가이드베인(160)이 대응되면서 삽입 장착되도록 형성되어 배기공의 길이방향 축선 구간에서 유량 압력조절이 가능하도록 하는 것을 특징으로 하는 헬륨 미소량 정밀분사 조절이 가능한 포터블 구조의 절약형 진공검사 테스트 건.
  3. 제 1항에 있어서, 상기 롱 슈터(130)는 말단부에 니들 형태의 분사노즐(170)이 결합되도록 하되, 상기 분사노즐(170)의 단부에는 기류 확산용 디퓨져(180)가 더 구비되도록 하는 것을 특징으로 하는 헬륨 미소량 정밀분사 조절이 가능한 포터블 구조의 절약형 진공검사 테스트 건.
KR1020220057641A 2022-05-11 2022-05-11 헬륨 미소량 정밀분사 조절이 가능한 포터블 구조의 절약형 진공검사 테스트 건 KR102443969B1 (ko)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020220057641A KR102443969B1 (ko) 2022-05-11 2022-05-11 헬륨 미소량 정밀분사 조절이 가능한 포터블 구조의 절약형 진공검사 테스트 건

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020220057641A KR102443969B1 (ko) 2022-05-11 2022-05-11 헬륨 미소량 정밀분사 조절이 가능한 포터블 구조의 절약형 진공검사 테스트 건

Publications (1)

Publication Number Publication Date
KR102443969B1 true KR102443969B1 (ko) 2022-09-19

Family

ID=83460704

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020220057641A KR102443969B1 (ko) 2022-05-11 2022-05-11 헬륨 미소량 정밀분사 조절이 가능한 포터블 구조의 절약형 진공검사 테스트 건

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR102443969B1 (ko)

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20000041235A (ko) 1998-12-22 2000-07-15 김영환 진공챔버의 내부 누설 감지장치
KR20040016783A (ko) * 2002-08-19 2004-02-25 일리노이즈 툴 워크스 인코포레이티드 분무성능이 개선된 스프레이 건
CN215313244U (zh) * 2021-03-29 2021-12-28 海南核电有限公司 一种核电厂用便携式氦气喷枪

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20000041235A (ko) 1998-12-22 2000-07-15 김영환 진공챔버의 내부 누설 감지장치
KR20040016783A (ko) * 2002-08-19 2004-02-25 일리노이즈 툴 워크스 인코포레이티드 분무성능이 개선된 스프레이 건
CN215313244U (zh) * 2021-03-29 2021-12-28 海南核电有限公司 一种核电厂用便携式氦气喷枪

Similar Documents

Publication Publication Date Title
TWI821568B (zh) 使用氣相反應器系統之方法
US7779675B2 (en) Leak indicator comprising a sniffer probe
JP5337802B2 (ja) 吸込み式漏れ検出器
KR102443969B1 (ko) 헬륨 미소량 정밀분사 조절이 가능한 포터블 구조의 절약형 진공검사 테스트 건
US11938358B2 (en) Valve system and method for venting and measuring a gas content of a fire suppression system
US7165443B2 (en) Vacuum leakage detecting device for use in semiconductor manufacturing system
US4638835A (en) Automatic overflow control apparatus for the pipeline passage
CN107001022A (zh) 具有姿态感测装置的燃料分配喷嘴
KR102596133B1 (ko) 연결장치
US10488091B2 (en) Connection device for leak detector
KR102316383B1 (ko) 배관 기밀 시험 장치 및 배관 기밀 시험 방법
JP3482180B2 (ja) 微小流量調整弁
KR200342060Y1 (ko) 역류방지밸브를 가지는 반도체용 처리가스 공급장치의진공발생기
JP2017018938A5 (ko)
US11821533B2 (en) Air release valve with low pressure sealing
CN213364163U (zh) 蒸镀机的多重漏气检测管
CN111365612B (zh) 远程喷氦法检漏可控喷枪的进气系统
CN211694372U (zh) 远程喷氦法检漏可控喷枪的进气系统
CN215174186U (zh) 晶片持取装置的供气装置
KR100906906B1 (ko) 챔버 커버
US11585444B2 (en) Seal for a flow restrictor
CN211178608U (zh) 流量检测装置和管道设备
KR101868316B1 (ko) 반도체 제조용 가스 공급장치
CN207114169U (zh) 一种供气嘴检测装置
US10351413B1 (en) Fluid dispenser having pressure regulator