KR102442463B1 - 균일도가 개선된 기판 트레이 - Google Patents

균일도가 개선된 기판 트레이 Download PDF

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Abstract

본 발명은 양면 증착 공정시, 기판의 가장자리가 두꺼워지는 것을 방지하기 위한 기판 트레이에 관한 것으로서,
외형을 이루는 제1 부재, 제1 부재의 안쪽으로 돌출되게 형성되고, 기판이 안착되는 제3 부재를 포함하며, 증착막 공정시 상기 각 부재에 부딪혀 되돌아 오는 증착막 성분을 방지하여 기판의 증착막의 두께가 균일하게 마련되는 기판 트레이를 제공하는 것이다.

Description

균일도가 개선된 기판 트레이{Substrate tray with improvement of uniformity}
본 발명은 솔라셀 웨이퍼(wafer)의 양면증착 장치에 있어서, 증착막 공정의 균일도가 개선된 기판 트레이에 관한 것이다.
고효율 태양 전지인 PERC 태양 전지의 PERC 솔라셀의 효율을 향상시키고 양산을 위해 필요한 기술로서, 전극 형성시 스크린 프린팅 기술의 성능한계를 극복하는 것, 미세 금속 전극 형성, 전극과 실리콘층간의 접촉 계면의 면적 축소, 표면 패시베이션(Passivation) 기술 등의 연구 개발이 필요하다.
이러한 솔라셀을 이루는 기판(웨이퍼)의 제조시, 기판의 처리 시간을 단축할 수 있도록 복수의 기판을 마련한 보트 장치가 개발되어 있다.
본 발명이 해결하고자 하는 과제는 기판이 안착되는 기판 트레이의 형상에 따라 기판의 가장자리가 두꺼워지는 현상이 발생하는데, 기판 트레이의 형상 또는 소재 개선을 통하여 증착막의 균일도 저하를 개선하기 위한 것이다.
본 발명의 과제의 해결 수단은 외형을 이루는 제1 부재, 제1 부재의 안쪽으로 돌출되게 형성되고, 기판이 안착되는 제3 부재를 포함하며, 증착막 공정시 상기 각 부재에 부딪혀 되돌아 오는 증착막 성분을 방지하여 기판의 증착막의 두께가 균일하게 마련되는 기판 트레이를 제공하는 것이다.
PECVD(Plasma-enhanced chemical vapor deposition) 공정에서, 각기 다른 전극을 가지는 기판이 존재하고, 기판 사이에 양극과 음극의 전극을 선택적으로 가지는 스위칭 전극을 구성시켜 기판의 한쪽면을 증착시킨 후 스위칭 전극을 다른 방향으로 이동시켜 증착이 이루어지지 않은 반대면을 증착 시킬 수 있게 스위칭 전극을 이동시킬 수 있다. 그러나, 기판의 AlOx & SiNx 막 증착시에, 기판 트레이의 형상에 따라 기판의 가장자리의 두께가 두꺼워지고, 균일도가 나빠지는 문제점이 있다.
기판에 증착막을 생성시키는 보트 장치에 의해서, 기판은 기판 트레이에 의해서 상부면 또는 하부면 방향으로 양면 증착이 될 수 있다.
본 발명의 기판 트레이는 상부면에 상기 기판을 안착하는 제3 부재, 제3 부재의 일면과 대면하고, 상기 양면 막증착 공정시에 상기 기판의 외형 유지를 위한 강성도를 제공하는 제1 부재, 내부에 상기 기판이 안착되는 소정 형상의 개구부를 포함할 수 있고, 양면 막증착 공정시 기판 트레이에 부딪혀 되돌아 오는 증착막 성분을 방지하여 기판의 두께가 균일하게 생성될 수 있다.
또한, 본 발명의 기판 트레이는, 일면은 제3 부재에 대면하고, 타면은 제1 부재에 대면하며, 제1 부재와 제3 부재의 사이에 마련되고, 제3 부재와 제1 부재를 소정의 간격만큼 이격시킬 수 있는 제2 부재를 포함할 수 있다.
기판 트레이에 안착된 기판의 높이보다 제1 부재의 일부가 돌출될 수 있고, 제2 부재에 의해서 기판의 가장자리로부터 제1 부재의 돌출된 부분까지의 거리가 멀어질 수 있어, 막증착 공정시 돌출된 부분에 부딪혀 되돌아 오는 증착막 성분의 양을 줄일 수 있어 증착시 기판의 두께가 균일하게 생성될 수 있다.
제3 부재와 대면하는 제2 부재의 일면중 외부로 돌출되는 면의 높이는 기판의 높이와 동일하거나 거의 동일하게 마련될 수 있기에, 기판은 제3 부재와 대면하는 제2 부재의 일면중 외부로 돌출되는 면에 의해서는 가장자리가 두꺼워지지 않을 수 있다.
기판이 안착되고 이탈되는 기판 트레이가 안정적인 강성을 갖기 위해서, 기판 트레이의 특정 소재가 결정되면, 제3 부재는 증착 공정내에서 기판이 기판 트레이에 안정적으로 안착되는 최소한의 너비와 높이로 구비될 수 있다. 특정한 기판 트레이의 소재에 따라 제3 부재의 형상이 결정되면, 제3 부재를 제외한 기판 트레이의 나머지 부분인 제1 부재와 제2 부재의 소정의 형상으로 기판의 가장자리 두께가 두꺼워지는 것을 방지할 수 있다.
기판 트레이는 기판의 가장자리가 두꺼워지는 것을 방지하기 위해, 다양한 형상과 소재로 마련될 수 있다.
제2 부재의 상부면의 길이를 제1 부재의 상부면의 길이 또는 제3 부재의 상부면의 길이보다 상대적으로 길게 마련할 수 있다.
따라서, 기판의 가장자리로부터 제1 부재까지의 거리가 멀어질 수 있다. 증착막 성분이 기판을 증착하는 과정에서, 제1 부재의 일면중 외부로 돌출되는 면에 부딪혀 되돌아 오는 거리가 멀 수 있고, 이로 인해 기판의 가장자리의 두께가 두꺼워지는 것을 방지할 수 있다.
일반적으로 기판 트레이는 흑연으로 구비될 수 있으나, 기판 트레이의 소재를 강성도가 높은 금속 등으로 마련할 수 있다. 기판 트레이는 양극이나 음극의 전극의 역할을 위해 전도성이 좋고 강성도가 높은 소재이면 충분할 수 있다.
강성도 높은 금속 등으로 마련된 기판 트레이는 제1 부재의 두께가 얇아질 수 있다. 따라서, 결과적으로 기판의 상부면으로부터 제1 부재의 끝단까지의 길이 또는 기판의 하부면으로부터 제3 부재의 끝단까지의 길이가 짧아질 수 있다.
따라서, 제1 부재의 돌출된 부분이나 제3 부재에 의해서 상부면,하부면 증착시에 부딪혀 되돌아 오는 증착 막 성분이 줄어들어 기판의 가장자리 두께가 얇아질 수 있다.
기판 트레이에 제3 부재의 상부면에 안착한 기판의 가장자리에 대면하는 곡선면이 기판 트레이에 마련될 수 있다.
기판의 가장자리와 대면되는 기판 트레이에 곡선면이 마련될 수 있다.
기판의 가장자리와 대면하는 곡선면의 일단은 곡선면의 일단에서 곡선면의 중앙으로 갈수록 곡선면에 접한 직선의 기울기가 증가하는 형상일 수 있다.
곡선면의 타단은 곡선면의 중앙에서 곡선면의 타단으로 갈수록 곡선면에 접한 직선의 기울기가 감소하는 형상일 수 있다.
곡선면은 제1 부재의 상부면의 일단과, 제3 부재에 안착된 기판의 측면과 대면하는 제2 부재의 끝단을 연결할 수 있고, 기판의 양면 막증착 공정시에, 상기 곡선면으로 인해 증착막 성분이 곡선면을 타고 넘어가며, 기판 트레이에 의해 기판으로 되돌아 오는 증착막 성분이 줄어들어 기판의 가장자리 두께가 얇아질 수 있다. 또한, 기판의 하부면과 대면하는 제3 부재에 곡선면이 구비될 수 있고, 곡선면으로 증착막 성분이 타고 넘어가 기판 트레이에 의해 기판으로 되돌아 오는 증착막 성분이 줄어 기판의 가장자리가 두꺼워 지는 것을 방지할 수 있다.
도 1은 본 발명의 기판 트레이를 양면 막 증착하는 방법에 대한 개략도이다.
도 2는 본 발명의 기판 트레이의 평면도이다.
도 3은 도 2의 기판 트레이의 정단면도이다.
도 4는 도 2의 일부 영역에 대한 확대 정단면도이다.
도 5는 도 4의 실시 예 1을 도시한 정단면도이다.
도 6은 도 4의 실시 예 2를 도시한 정단면도이다.
도 7은 도 4의 실시 예 3을 도시한 정단면도이다.
이하, 본 발명을 실시하기 위한 구체적인 내용을 첨부된 예시 도면에 의거 상세하게 설명한다
도 1은 본 발명의 기판 트레이(10)를 양면 막 증착하는 방법에 대한 개략도이다.
솔라셀의 웨이퍼 기판(S)은 PECVD(Plasma-enhanced chemical vapor deposition) 공정에 의해서 막이 증착될 수 있다. 막은 AlOx & SiNx로 마련될 수 있다.
복수의 기판(S)이 안착되는 보트 장치(도시되지 않음)가 구비될 수 있고, 보트 장치에 의해 기판(S)은 아래,위 양면 증착이 가능할 수 있다.
도 1을 참조하면, 기판(S)의 양면증착이 되는 과정을 개념적으로 도시한 것이다.
보트 장치에 의해서 기판(S)이 증착되는 위치는 제1 위치와 제2 위치로 구별될 수 있다.
도 1의 (a)는 제1 위치를 도시한 것이고, 도 1의 (b)는 제2 위치를 도시한 것이다.
보트 장치에 의해서 기판 트레이(10)는 제1 위치와 제2 위치를 순차적으로 왕복할 수 있다.
기판 트레이(10)는 제1 기판 트레이(12a,12b,12c)와 제2 기판 트레이(14a,14b)로 구별될 수 있고, 제1 기판 트레이(12a,12b,12c)는 함께 움직일 수 있으며, 제2 기판 트레이(14a,14b)는 함께 움직일 수 있다.
예를 들어, 제1 위치에서는 제2 기판 트레이(14a,14b)가 제1 기판 트레이의 상부에 마련될 수 있고, 제2 위치에서는 제2 기판 트레이가 제1 기판 트레이의 하부에 구비될 수 있다.
보트 장치에 의해서, 기판 트레이(10)는 양극 또는 음극으로 대전될 수 있고, 전극의 역할을 할 수 있다.
제1 기판 트레이(12a,12b,12c)는 제1 위치에서 제2 위치로 바뀌면서, 전극이 그대로일 수 있다.
제2 기판 트레이(14a,14b)는 제1 위치에서 제2 위치로 바뀌면서, 전극이 스위칭될 수 있다.
따라서, 제1 위치와 제2 위치에서, 각 기판 트레이(10) 쌍의 사이 부분에서 방전이 일어나고, 기판 트레이(10)의 막증착을 위한 플라즈마가 발생할 수 있다.
제1 위치에서는 제1 기판 트레이(12a,12b,12c)에 안착된 기판의 하부면과 제2 기판 트레이(14a,14b)에 안착된 기판의 상부면이 증착될 수 있고, 제2 위치에서는 제2 기판 트레이(14a,14b)에 안착된 기판의 하부면과 제1 기판 트레이(12a,12b,12c)에 안착된 기판의 상부면이 증착될 수 있다.
상기의 보트 장치에 의해서, 기판(S)은 기판 트레이(10)에 의해서 상부면 또는 하부면 방향으로 양면 증착이 될 수 있다.
도 2는 본 발명의 기판 트레이(10)의 평면도이다.
도 3은 본 발명의 기판 트레이(10)의 정단면도이다.
도 4의 (a)는 도 2의 (b)의 A-A'에 대한 확대 정단면도이고, 도 4의 (b)는 도 2의 (b)의 B-B'에 대한 확대 정단면도이다.
도 4의 (a)는 제3 부재(300)를 포함할 수 있고, 도 4의 (b)는 제3 부재(300)를 포함하지 않을 수 있다.
도 4의 (a)는 기판 트레이(10)에 기판이 안착된 경우, 제3 부재(300)를 포함한 영역을 도시한 것이다.
도 4의 (b)는 기판 트레이(10)에 기판(S)이 안착된 경우, 제3 부재(300)를 포함하지 않은 영역을 도시한 것이다. 기판(S)은 기판의 하부면으로부터 제3 부재(300)의 끝단까지의 길이(h2)만큼 제3 부재(300)의 끝단으로부터 이격되어 있을 수 있다.
이하에서는 제3 부재(300)를 포함한 영역을 도시한 도 4의 (a)에 대해서 자세히 설명하고, 도 5 내지 7의 실시 예들도 제3 부재(300)를 포함할 수 있다.
도 2 내지 도 4를 참조하면, 도 2와 3에 도시된 기판 트레이(10)는 도 1에서 도시된 기판 트레이(10)중에 어느 하나일 수 있다.
기판 트레이(10)는 제1 부재(100), 제2 부재(200), 제3 부재(300)를 포함할 수 있다.
제3 부재(300)의 상부면(300b)에는 기판(S)이 안착될 수 있고, 제2 부재(200)는 제3 부재(300)의 일면과 대면하고, 제3 부재(300)와 대면하는 제2 부재(200)의 일면중 외부로 돌출되는 면(100b)은 제3 부재(300)에 안착된 기판(S)의 끝단과 대면할 수 있다.
제1 부재(100) 내지 제3 부재(300)는 기판 트레이(10)의 기판 증착막의 균일한 형성을 위한 기능적인 구별이다. 이하에서 설명하는 각 부재(100,200,300)의 기능을 수행하는 형상의 변형은 균등 범위내일 수 있다.
제1 부재(100) 내지 제3 부재(300)는 동일 소재일 수 있고, 전기적으로 연결될 수 있다.
제1 부재(100)는 사각형 형태로 트레이의 외형을 이룰 수 있다.
일면이 제1 부재(100)의 안쪽면에 형성되는 제2 부재(200)는, 제1 부재(100)보다는 작은 크기의 사각형 형태로 제1 부재(100)의 내부에 마련될 수 있고, 제2 부재(200)에는 기판(S)이 안착할 수 있는 개구부(400)가 구비될 수 있다. 제2 부재(200)의 안쪽면에는 기판(S)을 안착할 수 있는 제3 부재(300)가 마련될 수 있고, 기판(S)은 제2 부재(200)의 상기 개구부(400)에 안착될 수 있다.
제3 부재(300)는 제2 부재(200)의 내주면을 따라 간격을 두고 복수로 돌출되게 형성될 수 있다.
기판의 크기와 개구부(400)의 크기의 상대적인 차이로 인해, 개구부(400)는 복수개로 분할하여 마련될 수 있다.
상기 개구부(400)가 복수개로 분할되는 경우에는, 분할 프레임이 개구부에 구비될 수 있고, 예를 들어, 수직으로 교차하는 분할 프레임에 의해 제2 부재 내부에 4개의 분할 개구부가 형성될 수 있다.
분할 프레임은 안착된 기판의 높이와 동일한 높이를 가질 수 있고, 그로 인해 막 증착시 증착막 성분이 돌출된 부위없이 균일한 두께로 증착될 수 있다.
분할 프레임에 의한 막 증착 방해가 없기 때문에, 개구부(400)가 복수로 분할되어도 제2 부재(200) 내부에 하나의 개구부(400)가 있는 경우와 기판의 두께에 관해서는 동일하게 적용될 수 있다.
각 분할된 4개의 분할 개구부에 기판이 각각 안착되어 4개의 기판이 마련될 수 있다.
개구부가 분할된 경우, 개구부가 하나인 경우와 마찬가지로, 기판은 제3 부재에 의해서 지지될 수 있고, 예를들어 개구부이 4개로 분할된 경우에는, 제2 부재의 2개 면에 제3 부재가 마련될 수 있고, 분할 프레임의 2개 면에 제3 부재가 구비될 수 있다.
이하에서는 설명의 편의를 위해 단일 개구부를 가정하고 설명하고, 복수의 개구부에 대해서도 동일하게 적용될 수 있다.
제1 부재(100)는 제2 부재(200)의 일면과 대면하고, 기판 트레이(10) 전체를 단단히 지지할 수 있다.
제1 부재(100)의 상부면(100a)이 제2 부재(200)의 상부면(200a)과 플랫한 상태로 이어지게 마련되면, 증착막 형성시 제1 부재(100)의 돌출된 면으로부터 기판으로 가는 증착막 성분이 감소될 수 있다.
그러나, 이 경우에는 제1 부재(100)의 상부면(100a)의 길이가 길어지므로, 기판 트레이(10)의 설계상, 제1 부재(100)의 상부면(100a)의 길이가 충분히 확보되지 않는 경우에는, 기판 트레이(10)에 안착된 기판(S)의 높이보다 높게 돌출된 면이 제1 부재(100)에 형성될 수 있고, 이로 인해 기판을 증착한 증착막 성분이 트레이에 의해 다시 기판 방향으로 되돌아와 기판의 가장자리가 두꺼워질 수 있다.
도 3을 참조하면, 둥근 화살표는 증착막 성분이 제1 부재(100) 또는 제3 부재(300)에 부딪혀 기판(S)쪽으로 되돌아 오는 것을 도시한 것이다.
제3 부재(300)와 대면하는 제2 부재(200)의 일면중 외부로 돌출되는 면(200a)의 높이는 기판의 높이와 동일하거나 거의 동일하게 마련될 수 있기에, 기판은 제3 부재(300)와 대면하는 제2 부재(200)의 일면중 외부로 돌출되는 면(200a)에 의해서는 가장자리가 두꺼워지지 않을 수 있다.
제2 부재(200)와 대면하는 제1 부재(100)의 일면중 외부로 돌출되는 면(100a), 제3 부재(300)와 대면하는 제2 부재(200)의 일면중 외부로 돌출되는 면(100b), 제2 부재(200)와 대면하는 제3 부재(300)의 일면과 외부로 돌출되는 제3 부재(300)의 타면(300a)이 마련될 수 있다.
또한 제1 부재(100)의 상부면(100b), 제2 부재(200)의 상부면(200b), 제3 부재(300)의 상부면(300b)이 구비될 수 있다.
도 2의 (a)는 기판이 기판 트레이(10)로부터 이탈한 것을 도시한 것이고, 도 2의 (b)는 기판이 기판 트레이(10)에 안착한 것을 도시한 것이다.
도 4는 도 2 (b)의 A-A'를 따라 절단한 정단면도이다.
기판(S)은 제3 부재(300)의 상부면과 제2 부재(200)의 측면 일부와 대면할 수 있어 기판(S)은 기판 트레이(10)에 안정적으로 안착될 수 있다.
기판 트레이(10)는 전기전도성이 좋고 내구성이 높은 흑연일 수 있고, 도 1에 설명한 것처럼 전극이 될 수 있다.
기판은 기판 트레이(10)에 안착된 상태에서 상부면 또는 하부면 방향(D)으로부터 양면 증착이 가능할 수 있다.
증착막이 기판(S)의 상부면에 증착되는 경우, 기판 트레이(10)의 강성도를 높이기 위해 마련된 제1 부재(100)의 일단 측면(100a)에 의해서 증착되는 막 성분이 고르게 퍼지지 못할 수 있다. 이 경우, 널리 퍼지지 못한 막 성분이 기판의 가장자리에 퇴적되어, 결과적으로 기판의 가장 자리가 다른 위치보다 막이 두꺼워질 수 있다. 막이 고르게 증착되지 않으면, 기판의 기능이 저하되고 불량이 발생할 수 있다.
마찬가지 이유로, 막이 기판의 하부면에 증착되는 경우, 기판(S)을 기판 트레이(10)에 안착하기 위해, 기판을 지지하는 제3 부재(300)의 측면(300a)에 의해서 증착되는 막 성분이 고르게 퍼지지 못할 수 있다.
증착막 성분이 고르게 퍼지지 못하고 되돌아 오는 돌출 일부 면(100a,300a)의 길이는 제1 부재(100)와 제2 부재(200)의 높이 차이이거나 제3 부재(300)의 높이일 수 있다.
제1 부재(100)와 제2 부재(200)의 높이 차이는 기판의 상부면으로부터 제1 부재(100)의 끝단까지의 높이(h1)일 수 있다.
제3 부재(300)의 높이는 기판의 하부면으로부터 제3 부재(300)의 끝단까지의 길이(h2)일수 있다.
증착이 균등하기 위해서는, 제3 부재(300)의 높이(h2)는 제1 부재(100)의 높이나 제2 부재(200)의 높이보다 상대적으로 낮을 수 있다. 기판 트레이(10)의 소재에 따라, 기판이 기판 트레이(10)에 단단히 안착될 수 있는 제3 부재(300)의 높이(h2)가 결정될 수 있다.
제3 부재(300)와 대면하는 제2 부재(200)의 일면중 외부로 돌출되는 면(100b)은 기판 트레이(10)에 안착된 기판의 높이와 같거나 클 수 있다. 기판의 가장자리가 두꺼워 지는 것을 방지하기 위해서는, 제3 부재(300)와 대면하는 제2 부재(200)의 일면중 외부로 돌출되는 면(100b)은 기판의 높이와 거의 동일하게 구비될 수 있다.
막이 기판의 하부면에 증착되는 경우, 기판이 안착되는 제3 부재(300)의 상부면(300a)도 기판을 지지할 수 있는 최소한의 넓이로 마련될 수 있다.
제3 부재(300)는 기판의 하부면 증착을 위해서 기판을 지지할 수 있는 최소한의 크기로 제2 부재(200)의 일면에 구비될 수 있다.
제3 부재(300)는 예를 들어, 기판 트레이(10) 내부 각면당 4개씩 16개가 마련될 수 있다.
기판이 안착되고 이탈되는 기판 트레이(10)가 안정적인 강성을 갖기 위해서, 기판 트레이(10)의 소재가 결정되면, 제3 부재(300)는 증착 공정내에서 기판이 기판 트레이(10)에 안정적으로 안착되는 최소한의 너비와 높이로 구비될 수 있다. 특정한 기판 트레이(10)의 소재에 따라 제3 부재(300)의 형상이 결정되면, 제3 부재(300)를 제외한 기판 트레이(10)의 나머지 부분인 제1 부재(100)와 제2 부재(200)의 소정의 형상으로 기판의 가장자리 두께가 두꺼워지는 것을 방지할 수 있다.
기판 트레이(10)는 다양한 형상 또는 소재로 마련될 수 있고, 예를 들어, 제1 부재(100)와 제2 부재(200)가 특정 형상으로 구비되거나(실시 예1과 실시 예2), 기판은 강성도가 높은 기판 트레이(10)의 소재로 마련될 수 있다(실시 예3).
[실시 예 1]
도 5는 본 발명의 실시 예 1을 도시한 정단면도이다.
도 5를 참조하면, 제2 부재(200)의 상부면(100b)의 길이(d2)를 제1 부재(100)의 상부면의 길이(d1) 또는 제3 부재(300)의 상부면의 길이(d3)보다 상대적으로 길게 마련할 수 있다.
따라서, 기판의 가장자리로부터 제1 부재(100)까지의 거리가 멀어질 수 있다. 증착막 성분이 기판을 증착하는 과정에서, 제1 부재(100)의 일면중 외부로 돌출되는 면(100a)에 부딪혀 되돌아 오는 거리가 멀 수 있다.
제2 부재(200)의 상부면(200b)의 길이가 길어짐에 따라, 제2 부재(200)에 차지하는 부피가 증가할 수 있고, 상대적으로 제1 부재와 제3 부재(300)의 두께는 얇게 마련될 수 있다. 따라서, 제2 부재(200)와 대면하는 제1 부재(100)의 일면중 외부로 돌출되는 면(100a)과 외부로 돌출되는 제3 부재(300)의 타면(300a)의 길이가 짧아 질 수 있어, 막증착시에 기판 트레이(10)에 의해서 되돌아오는 증착막 성분이 적어질 수 있다.
따라서, 상기 실시 예 1에 의해서, 증착시 막의 두께가 기판의 가장자리에서 두꺼워지는 것을 방지할 수 있다.
[실시 예 2]
도 6는 본 발명의 실시 예 2를 도시한 정단면도이다.
일반적으로 기판 트레이(10)는 흑연으로 구비될 수 있으나, 도 6을 참조하면, 기판 트레이(10)의 소재를 전기전도도가 좋고 강성도가 높은 금속 등으로 마련할 수 있다. 본 발명의 기판 트레이(10)는 양극이나 음극의 전극의 역할을 위해 전도성이 좋고 강성도가 높은 소재이면 충분할 수 있다.
증착막이 기판의 가장자리에서 두꺼워지는 것을 방지하기 위해서, 제2 부재(200)와 대면하는 제1 부재(100)의 일면중 외부로 돌출되는 면(100a)이 없이 제1 부재(100)와 제2 부재(200)의 상부면이 일체로 플랫(flat)하게 마련될 수 있다. 그러나, 기판 트레이(10)의 강성도가 더 필요한 경우에는, 제1 부재(100)의 일면중 외부로 돌출되는 면(100a)은 소정의 길이를 가질 수 있다.
강성도 높은 소재에 의해서 기판 트레이(10) 전체의 두께가 강성도 낮은 소재일때보다 얇아질 수 있고, 제1 부재(100)의 일면중 외부로 돌출되는 면(100a)의 길이(h1)와 외부로 돌출되는 제3 부재(300)의 타면(300a)의 길이(h2)가 강성도 낮은 소재일 때보다 짧아질 수 있다.
기판의 상부면 증착시에는 제1 부재(100)의 일면중 외부로 돌출되는 면(100a)에 부딪혀 되돌아오는 증착막 성분이 적어지고, 기판의 하부면 증착시에는 외부로 돌출되는 제3 부재(300)의 타면(300a)에 부딪혀 되돌아오는 증착막 성분이 적어질 수 있다.
따라서, 상기 실시 예 2에 의해서, 증착시 막의 두께가 기판의 가장자리에서 두꺼워지는 것을 방지할 수 있다.
[실시 예 3]
도 7은 본 발명의 실시 예 3을 도시한 정단면도이다.
도 7을 참조하면, 기판(S)과 기판 트레이(10) 간의 상대적 크기가 설비에 따라 제한될 수 있다. 이 경우에는, 도 5의 실시 예 1처럼 제2 부재(200)의 상부면(200b)의 길이(d2)를 늘리기 어려울 수 있다.
기판(S)의 상부면과 대면하는 곡선면이 기판 트레이(10)에 마련될 수 있다.
곡선면은 직선으로 경사면을 형성할수 있고, 곡선의 양끝단에서 부드럽게 이어질 수 있다.
기판(S)과 대면하는 곡면의 일단은 곡면에 접하는 직선의 기울기가 곡면의 중앙으로 갈수록 증가하게 마련될수 있다.
기판(S)과 대면하는 곡면의 일단보다 돌출되는 높이로 마련되는 곡면의 타단은 곡면의 중앙에서 곡면의 타단으로 갈수록 곡면에 접한 직선의 기울기가 감소하게 구비될 수 있다.
곡선면은 제1 부재(100) 또는 제2 부재(200)에 구비될 수 있고, 제1 부재(100)와 제2 부재(200)의 상면을 이어지게 마련될 수 있다.
증착막 성분이 곡선면을 따라 충분히 흘러 넘어간다면, 제3 부재(300)만으로 충분할 수 있다. 곡선면의 길이가 충분치 않다면, 제2 부재(200)가 필요할 수 있다. 이하에서는 제2 부재(200)가 있는 경우로 설명하지만 제3 부재(300)만 있는 경우에도 동일하게 적용할 수 있다.
제2 부재(200)의 상부면(200b)의 일단과 제1 부재(100)의 상부면(100b)의 일단을 연결하는 곡선면(200b')을 마련할 수 있다.
기판 트레이(10)와 대면하는 기판의 가장자리를 따라 곡선면(200b')이 대면될 수 있고, 막 증착시에 증착막 성분은 기판 증착후 기판 트레이(10)에 의해서 되돌아오지 않고 곡선면(200b')을 따라 그대로 넘어갈 수 있다. 따라서, 기판(S)을 증착시킨 증착막 성분이 기판의 가장자리를 두껍게 만들지 않을 수 있다.
제2 부재(200)에 추가되는 형상은 상기 곡선면(200b')을 가지는 삼각면 기둥 형상으로 기판 트레이(10)의 각 면마다 구비될 수 있다.
상기 삼각면 기둥의 단면은 제2 부재(200)의 상부면(200b)의 일단과 제1 부재(100)의 상부면(100b)의 일단을 연결하는 곡선면(200b')과 기판 상부면으로부터 제1 부재(100)의 끝단 까지의 길이(h1)를 높이로 가지는 삼각면 형상으로 마련될 수 있다.
제2 부재(200)에 삼각면 기둥만큼 기판 트레이(10)의 강성도가 보강되었기 때문에, 제1 부재(100)의 높이와 제3 부재(300)의 높이가 곡선면(200b')이 없는 형상일 때보다 더 낮게 구비될 수 있다.
따라서, 기판의 상부면 증착시에는, 증착막 성분이 제2 부재(200)와 대면하는 제1 부재(100)의 일면중 외부로 돌출되는 면(100a)에 의해 기판으로 되돌아 오지 않고, 곡선면(200b')을 따라 대부분 기판 트레이(10) 바깥으로 흘러 갈 수 있다.
기판의 하부면 증착시에는, 제3 부재(300)의 높이(h2)는 곡선면(200b')이 없는 형상일 때보다 더 낮게 마련될 수 있고, 제1 부재(100)와 마찬가지로 제 3부재(300)에도 곡선면이 구비될 수 있으며, 증착막 성분이 제3 부재(300)에 의해서 기판으로 되돌아 오는 양이 줄 수 있다.
따라서, 상기 실시 예 3에 의해서, 증착시 막의 두께가 기판(S)의 가장자리에서 두꺼워지는 것을 방지할 수 있다.
10... 기판 트레이
12a,12b,12c... 제1 기판 트레이 14a,14b... 제2 기판 트레이
100... 제1 부재 200... 제2 부재
300... 제3 부재
400... 개구부
100a,200a,300a... 측면 100b,200b,200b',300b...상부면
h1,h2... 높이 d1,d2,d3... 폭
D... 막증착 방향
S... 기판

Claims (9)

  1. 외형을 이루는 제1 부재;
    상기 제1 부재의 안쪽으로 돌출되게 형성되는 제2 부재;
    상기 제2 부재의 내주면을 따라 간격을 두고 돌출되게 형성되고, 기판이 안착되는 복수의 제3 부재;
    를 포함하며,
    상기 제1 부재는 상부면으로 정의되는 제1 상부면, 외측면으로 정의되는 제1 외측면 및 하부면으로 정의되는 제1 하부면을 포함하고,
    상기 제1 외측면은 상기 제1 상부면 및 상기 제1 하부면 사이를 연결하고,
    상기 제2 부재는 상부면으로 정의되는 제2 상부면, 상기 기판과 마주하는 제2 내주면 및 하부면으로 정의되는 제2 하부면을 포함하고,
    상기 제2 상부면은 상기 제1 상부면 및 상기 제2 내주면 사이를 연결하고,
    상기 제3 부재는 상부면으로 정의되는 제3 상부면, 상기 제3 상부면 및 상기 제2 하부면 사이를 연결하는 제3 하부면을 포함하고,
    상기 제1 내지 제3 부재는 일체로 형성되고,
    상기 제1 및 제2 하부면은 동일 평면상에 배치되고,
    상기 제1 상부면, 상기 제1 하부면 및 상기 제2 하부면은 서로 평행하고,
    상기 제2 상부면 및 상기 제3 하부면 각각은 상기 제1 상부면에 대해 경사지게 배치되고,
    상기 제2 상부면의 수평 방향 길이는 상기 제3 하부면의 수평 방향 길이보다 길고,
    상기 제2 상부면의 수직 방향 높이는 상기 제3 하부면의 수직 방향 높이보다 높고,
    상기 제2 상부면은 상기 제3 상부면과 수직 방향으로 오버랩되지 않는 영역에 배치되는 기판 트레이.
  2. 제1 항에 있어서,
    상기 제2 부재에는 상하로 관통되는 중공 형상의 개구부가 형성되는 기판 트레이.
  3. 삭제
  4. 삭제
  5. 제1 항에 있어서,
    상기 제1 부재는 상기 기판보다 수직 방향으로 돌출되고,
    상기 제1 부재 내지 제3 부재의 소재가 제1 소재에서 상기 제1 소재보다 강성도 높은 제2 소재로 변경되면, 상기 제1 부재가 상기 기판으로부터 수직 방향으로 돌출되는 길이, 및 상기 제3 부재의 수직 방향 길이가 감소하는 기판 트레이.
  6. 삭제
  7. 제1 항에 있어서,
    상기 제2 상부면은 곡선면을 형성하고,
    상기 제2 상부면은 상기 제2 부재의 내부를 향하여 오목하게 함몰되는 기판 트레이.
  8. 제1 항에 있어서,
    플라즈마에 의해 기판의 상부 및 하부의 양면에 막을 증착하는 보트 장치가 마련되고,
    상기 보트 장치에는 수직 방향을 따라 복수의 기판이 안착되며,
    상기 복수의 기판은 제1 기판 및 제2 기판으로 분별되고,
    상기 보트 장치에 의해, 상기 제1 기판은 상기 제1 기판끼리 함께 동작하고, 상기 제2 기판은 상기 제2 기판끼리 함께 동작하며,
    상기 제1 기판 및 제2 기판은 수직 방향을 따라 교대로 배치되고,
    인접한 상기 제1 기판 및 제2 기판은 기판 쌍을 형성하고,
    상기 기판 쌍의 사이 공간에서 플라즈마 방전이 발생하여 기판에 막이 증착되며,
    제1 상태는 제1 기판이 제2 기판의 하부에 위치한 것이고, 제2 상태는 제1 기판이 제2 기판의 상부에 위치한 것이며,
    상기 제1 기판과 제2 기판 중 어느 하나가 나머지에 대해 상대적인 상하 왕복 동작을 하부면, 상기 제1 상태 및 제2 상태는 상호 전환되고,
    상기 제1 상태에서 상기 제2 기판의 상부면 및 상기 제1 기판의 하부면이 막증착되고, 상기 제2 상태에서 상기 제1 기판의 상부면 및 상기 제2 기판의 하부면이 막증착되며,
    상기 제1 기판은 상기 제1 상태에서 제2 상태로 바뀌면서 극성이 그대로이고, 상기 제2 기판은 상기 제1 상태에서 제2 상태로 바뀌면서 극성이 스위칭되며,
    상기 제1 상태 및 제2 상태 전환에 의해 상기 기판의 상부면 및 하부면이 증착되는 동안, 상기 제1 기판 및 제2 기판과 함께 동작하는 기판 트레이.
  9. 제1 항에 있어서,
    상기 제2 부재에는 상하로 관통되는 중공 형상의 개구부가 형성되고,
    상기 개구부를 복수개로 분할하는 분할 프레임을 포함하고,
    상기 분할 프레임은 안착된 기판의 높이와 같거나 낮은 길이로 마련되는 기판 트레이.
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