KR102441605B1

KR102441605B1 - 마스크 인장 장치 및 이를 이용한 마스크 인장 방법

Info

Publication number: KR102441605B1
Application number: KR1020220069565A
Authority: KR
Inventors: 강호민; 이승필
Original assignee: (주)세우인코퍼레이션
Priority date: 2022-06-08
Filing date: 2022-06-08
Publication date: 2022-09-13

Abstract

본 발명은 복수개의 개구홀이 형성된 사각형상을 가지는 마스크 시트의 장변측을 파지하는 복수개의 제1클램프를 포함하는 제1클램프부; 상기 마스크 시트의 단변측을 파지하는 복수개의 제2클램프를 포함하는 제2클램프부; 및 상기 제1클램프의 제1클램프 및 상기 제2클램프의 제2클램프와 연결되며, 상기 제1클램프를 X축 방향으로 전후이동시켜 상기 마스크 시트를 X축 방향으로 인장하고, Y축 방향으로 상기 제2클램프를 전후이동시켜 상기 마스크 시트를 Y축 방향으로 인장하며, 상기 마스크 시트의 수직방향인 Z축을 기준으로 시계방향 또는 반시계방향으로 회전시키는 클램프 이동부를 포함하는 마스크 인장 장치 및 이를 이용한 마스크 인장 방법을 제공한다.
따라서, 사각형상을 가지는 마스크 시트의 장변측과 단변측을 파지하는 제1클램프부와 제2클램프부를 X축 방향과 Y축 방향으로 이동 및 Z축 방향으로 회전하는 클램프 이동부를 이용하여 이동 및 회전시킴으로써 마스크 시트가 인장 시 장변측과 단변측의 외측으로 수평되게 인장되지 않을 경우에 이를 보정할 수 있어 마스크 시트를 외측방향으로 균일하게 인장시킬 수 있다.

Description

마스크 인장 장치 및 이를 이용한 마스크 인장 방법{Mask tensioning device and mask tensioning method using same}

본 발명은 마스크 인장 장치 및 이를 이용한 마스크 인장 방법에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 복수개의 개구홀이 형성된 사각형상을 가지는 마스크 시트의 장변측과 단변측을 파지한 후 마스크 시트를 X축 방향과 Y축 방향으로 이동 및 시계방향과 반시계방향으로 회전시키면서 인장하는 마스크 인장 장치 및 이를 이용하여 마스크 시트를 인장하는 마스크 인장 방법에 관한 것이다.

한국 등록특허 제10-2265520호(2021.06.10. 등록)에 기재된 배경기술을 참조하면, 최근 OLED 제품의 다양화 및 고해상도화에 따른 공통층 마스크, 일명 오픈 마스크(Open mask)의 정밀화가 중요해지고 있다. 그리고, 양산을 위해서 유리 기판 사이즈도 대형화 추세에 따라 점점 큰 사이즈의 유리기판이 제작되고 있고, 이에 OLED 공정에서 메탈 마스크(Metal mask)의 중요도가 점점 높아지고 있다.

상기한 이러한 오픈 마스크는 다양한 방식으로 제작되고 있는데, 이러한 오픈 마스크의 제조방법 중 하나로 선인장 후가공 형태의 오픈 마스크 제조방법이 제안된 바 있다.

상기한 선인장 후가공 형태의 오픈 마스크 제조방법에서는 마스크 시트를 인장기로 늘려 패턴 셀을 가공하게 되는데, 이는 마스크 시트를 정렬함에 있어서 얼라인 키를 잡기 위한 측정의 어려움을 해소하기 위한 것이다.

종래의 오픈 마스크 제조방법에서는 마스크를 인장시킬 때 클램프를 이용하여 일체화된 사각틀 형태의 테두리를 잡아당김에 따라 패턴셀을 구성하는 개구부가 전체적으로 변형되어 개별 패턴셀에 대한 스펙 조정이 어려워질 뿐 아니라, 마스크를 인장 시 마스크를 외측방향과 수평되게 이동시키지 못할 경우 이를 보정하지 못해 인장되는 마스크가 외측방향으로 균일하게 인장되지 않고 불균일하게 인장되는 문제점이 발생하였다.

본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위해 창출된 것으로서, 마스크 프레임에 접합되는 복수개의 개구홀이 형성된 사각형상의 마스크 시트를 인장 시 X축 방향과 Y축 방향으로 이동 및 Z축 방향으로 회전하는 클램프 이동부를 이용하여 마스크 시트의 장변측과 단변측을 파지하는 제1클램프부와 제2클램프부를 이동하면서 회전시킬 수 있어 마스크 시트가 인장 시 장변측과 단변측의 외측으로 수평되게 인장되지 않을 경우에 이를 보정하여 마스크 시트를 외측방향으로 균일하게 인장시킬 수 있도록 하는 마스크 인장 장치 및 이를 이용한 마스크 인장 방법을 제공하는데 그 목적이 있다.

상기와 같은 목적을 달성하기 위하여, 본 발명은 복수개의 개구홀이 형성된 사각형상을 가지는 마스크 시트의 장변측을 파지하는 복수개의 제1클램프를 포함하는 제1클램프부; 상기 마스크 시트의 단변측을 파지하는 복수개의 제2클램프를 포함하는 제2클램프부; 및 상기 제1클램프의 제1클램프 및 상기 제2클램프의 제2클램프와 연결되며, 상기 제1클램프를 X축 방향으로 전후이동시켜 상기 마스크 시트를 X축 방향으로 인장하고, Y축 방향으로 상기 제2클램프를 전후이동시켜 상기 마스크 시트를 Y축 방향으로 인장하며, 상기 마스크시트를 파지한 제1클램프 또는 제2클램프를 상기 마스크 시트의 수직방향인 Z축을 기준으로 시계방향 또는 반시계방향으로 회전시키는 클램프 이동부를 포함하는 마스크 인장 장치를 제공한다.

본 발명에 따른 마스크 인장 장치는 상기 클램프 이동부와 연결되며, 상기 클램프 이동부의 동작을 제어하는 제어부를 더 포함할 수 있다.

본 발명에 따른 마스크 인장 장치에 있어서, 상기 클램프 이동부는 상기 제1클램프 및 상기 제2클램프와 연결되어 상기 제1클램프 및 제2클램프를 하부에서 지지하며 지지판과, 상기 지지판의 하부에 배치되며 상부에는 상기 지지판의 하부와 밀착되어 상기 지지판을 전, 후, 좌, 우 수평방향으로 이동되거나 축 회전되도록 하는 롤러부재가 구비되는 하부 고정 베이스판과, 상기 하부 고정 베이스판의 상부에 구비되어 상기 지지판과 연결되며 상기 하부 고정 베이스판에서 상기 지지판을 X축 방향으로 전후이동, Y축 방향으로 전후이동, 및 시계방향과 반시계방향으로 회전시키는 동력을 제공하는 동력제공 스테이지를 포함할 수 있으며, 상기 지지판의 후측면과 좌측면 및 우측면에는 각각 상기 지지판의 후측과 좌측 및 우측으로 후측 레일 고정단과 좌측 레일 고정단 및 우측 레일 고정단이 돌출될 수 있다.

상기 동력제공 스테이지는 상기 하부 고정 베이스판의 후단에 구비되어 상기 지지판의 후측 레일 고정단과 연결되며 상기 지지판을 X축 방향으로 전후이동시키는 동력을 제공하는 제1구동 스테이지와, 상기 하부 고정 베이판의 양측단에 구비되어 상기 지지판의 좌측 레일 고정단 및 우측 레일 고정단과 연결되며 상기 지지판을 Y축 방향으로 전후이동시키는 동력을 제공하는 제2구동 스테이지 및 제3구동 스테이지를 포함할 수 있다.

상기 제1구동 스테이지는 상기 후측 레일 고정단의 좌측면에 고정 설치된 후측 레일과, 상기 후측 레일에 고정되어 상기 후측 레일의 길이방향으로 이동되는 후측 레일 홀더와, 일단이 상기 후측 레일 홀더에 축 고정된 후측 로드와, 상기 후측 로드의 타단이 연결되며 상기 후측 로드를 인출시켜 상기 후측 로드의 길이를 연장하거나 상기 후측 로드를 인입하여 상기 후측 로드의 길이를 축소시키는 동력을 제공하는 후측 로드 모터를 포함할 수 있다.

상기 제2구동 스테이지는 상기 좌측 레일 고정단의 전면에 고정 설치된 좌측 레일과, 상기 좌측 레일에 고정되어 상기 좌측 레일의 길이방향으로 이동되는 좌측 레일 홀더와, 일단이 상기 좌측 레일 홀더에 축 고정된 좌측 로드와, 상기 좌측 로드의 타단이 연결되며 상기 좌측 로드를 인출시켜 상기 좌측 로드의 길이를 연장하거나 상기 좌측 로드를 인입하여 상기 좌측 로드의 길이를 축소시키는 동력을 제공하는 좌측 로드 모터를 포함할 수 있고, 상기 제3구동 스테이지는 상기 우측 레일 고정단의 전면에 고정 설치된 우측 레일과, 상기 우측 레일에 고정되어 상기 우측 레일의 길이방향으로 이동되는 우측 레일 홀더와, 일단이 상기 우측 레일 홀더에 축 고정된 우측 로드와, 상기 우측 로드의 타단이 연결되며 상기 우측 로드를 인출시켜 상기 우측 로드의 길이를 연장하거나 상기 우측 로드를 인입하여 상기 우측 로드의 길이를 축소시키는 동력을 제공하는 우측 로드 모터를 포함할 수 있다.

본 발명에 따른 마스크 인장 장치는 상기 클램프 이동부와 연결되며, 상기 클램프 이동부를 상기 마스크 시트로 이동시키고 상기 마스크 시트를 인장 후 인장된 마스크 시트를 마스크 프레임의 상부로 이동시키는 클램프 이동수단을 더 포함할 수 있다.

또한, 본 발명은 복수개의 개구홀이 형성된 사각형상을 가지는 마스크 시트의 장변측과 단변측의 둘레면을 복수개의 제1클램프를 포함하는 제1클램프부와 복수개의 제2클램프를 포함하는 제2클램프부를 이용하여 파지하는 마스크 시트 파지 단계; 지지판과 하부 고정 베이스판 및 동력제공 스테이지를 포함하는 클램프 이동부를 동작시켜 상기 제1클램프를 상기 마스크 시트의 장변측인 X축 방향으로 인장하고, 상기 제2클램프를 상기 마스크 시트의 단변측인 Y축 방향으로 인장시키는 마스크 시트 인장 단계; 및 상기 마스크 시트를 인장 시 상기 제1클램프와 상기 제2클램프가 상기 마스크 시트를 장변측과 단변측의 외측으로 인장하지 않는 경우 상기 클램프 이동부를 동작시켜 상기 제1클램프와 제2클램프를 상기 마스크 시트의 수직방향인 Z축을 기준으로 시계방향 또는 반시계방향으로 회전하여 상기 마스크 시트를 인장하는 인장방향을 보정하는 제1클램프 및 제2클램프 보정 단계를 포함하는 마스크 인장 방법을 제공한다.

삭제

본 발명에 따른 마스크 인장 방법에 있어서, 상기 마스크 시트 인장 단계는 상기 동력제공 스테이지의 제1구동 스테이지를 동작시켜 상기 마스크 시트를 상기 마스크 시트의 장변측 외측으로 인장시키는 마스크 시트 장변측 인장 단계와, 상기 동력제공 스테이지의 제2구동 스테이지 및 제3구동 스테이지를 동작시켜 상기 마스크 시트를 상기 마스크 시트의 단변측 외측으로 인장시키는 마스크 시트 단변측 인장 단계를 포함할 수 있고, 상기 마스크 시트 장변측 인장 단계와 상기 마스크 시트 단변측 인장 단계는 동시에 수행될 수 있으며, 동일한 인장응력으로 상기 마스크 시트를 장변측과 단변측으로 인장할 수 있다.

또한, 본 발명은 복수개의 제1스틱과 제2스틱 및 상기 제1스틱이 안착되는 가로 스틱과 상기 제2스틱이 안착되는 세로 스틱에 의해 복수개의 개구홀이 형성된 오픈 마스크를 인장시키기 위한 마스크 인장 방법에 있어서, 상기 복수개의 제1스틱과 제2스틱 및 상기 가로 스틱과 상기 세로 스틱의 양단을 복수개의 클램프를 이용하여 파지하는 스틱 파지 단계; 지지판과 하부 고정 베이스판 및 동력제공 스테이지를 포함하는 클램프 이동부를 동작시켜 상기 제1스틱과 상기 세로 스틱을 파지한 복수개의 클램프를 상기 제1스틱과 상기 세로 스틱의 길이방향인 Y축 방향으로 인장하고, 상기 제2스틱과 상기 가로 스틱을 파지한 복수개의 클램프를 상기 제2스틱과 상기 가로 스틱의 길이방향인 X축 방향으로 인장하는 스틱 인장 단계; 및 상기 제1스틱과 상기 제2스틱 및 상기 가로 스틱과 상기 세로 스틱을 인장 시 상기 복수개의 클램프가 상기 제1스틱과 상기 제2스틱 및 상기 가로 스틱과 상기 세로 스틱의 양단을 길이방향으로 인장하지 않는 경우 상기 클램프 이동부를 동작시켜 상기 복수개의 클램프를 상기 제1스틱과 상기 제2스틱 및 상기 가로 스틱과 상기 세로 스틱의 수직방향인 Z축을 기준으로 시계방향 또는 반시계방향으로 회전하여 상기 제1스틱과 상기 제2스틱 및 상기 가로 스틱과 상기 세로 스틱을 인장하는 인장방향을 보정하는 클램프 보정 단계를 포함하는 마스크 인장 방법을 제공한다.

삭제

본 발명에 따른 마스크 인장 방법에 있어서, 상기 스틱 인장 단계는 상기 동력제공 스테이지의 제1구동 스테이지를 동작시켜 상기 제1스틱과 상기 세로 스틱의 양단을 상기 제1스틱과 상기 세로 스틱의 양단 외측방향으로 인장하는 제1스틱 및 세로 스틱 인장 단계와, 상기 동력제공 스테이지의 제2구동 스테이지 및 제3구동 스테이지를 동작시켜 상기 제2스틱과 가로 스틱의 양단을 상기 제2스틱과 상기 가로 스틱의 양단 외측방향으로 인장하는 제2스틱 및 가로 스틱 인장 단계를 포함할 수 있으며, 상기 제1스틱 및 세로 스틱 인장 단계와 상기 제2스틱 및 가로 스틱 인장 단계는 동시에 수행될 수 있다.

상기 제1스틱에는 상기 제2스틱과 교차되는 부위에 상기 제2스틱이 체결되는 복수개의 체결부가 상기 제1스틱의 외측으로 돌출되게 형성될 수 있고, 상기 체결부의 일면에는 상기 제2스틱이 체결되는 제1체결홈이 형성될 수 있고, 상기 제1체결홈에 체결되는 상기 제2스틱의 일면에는 상기 제1체결홈과 체결되는 제2체결홈이 형성될 수 있으며, 상기 제1스틱에는 상기 가로 스틱과 교차되는 부위에 상기 가로 스틱이 장착되는 제1장착홈이 형성될 수 있고, 상기 제2스틱에는 상기 세로 스틱과 교차되는 부위에 상기 세로 스틱이 장착되는 제2장착홈이 형성될 수 있다.

상기 가로 스틱의 일면과 상기 세로 스틱의 일면에는 각각 상기 세로 스틱과 상기 가로 스틱이 연결되는 가로 연결홈 및 세로 연결홈이 형성될 수 있고, 상기 가로 스틱과 상기 세로 스틱에는 각각 상기 제1스틱과 상기 제2스틱이 장착되는 가로 장착홈과 세로 장착홈이 형성될 수 있다.

본 발명에 따른 마스크 인장 장치 및 이를 이용한 마스크 인장 방법에 의하면, 사각형상을 가지는 마스크 시트의 장변측과 단변측을 파지하는 제1클램프부와 제2클램프부를 X축 방향과 Y축 방향으로 이동 및 Z축 방향으로 회전하는 클램프 이동부를 이용하여 이동 및 회전시킴으로써 마스크 시트가 인장 시 장변측과 단변측의 외측으로 수평되게 인장되지 않을 경우에 이를 보정할 수 있어 마스크 시트를 외측방향으로 균일하게 인장시킬 수 있다.

도 1은 본 발명에 따른 마스크 인장 장치를 개략적으로 도시한 도면이다.
도 2는 도 1에 도시된 클램프 이동부를 도시한 사시도이다.
도 3은 도 2에 도시된 클램프 이동부가 동작하지 않는 상태, X축 방향으로 이동되는 상태, Y축 방향으로 이동되는 상태, Z축 방향으로 회전되는 상태를 도시한 도면이다.
도 4는 도 1에 도시된 마스크 인장 장치가 마스크 시트를 인장하는 상태를 도시한 도면이다.
도 5는 본 발명의 일 실시 예에 따른 마스크 인장 방법의 순서를 도시한 순서도이다.
도 6은 도 5에 도시된 마스크 시트 인장 단계의 세부적인 순서를 도시한 순서도이다.
도 7은 본 발명의 다른 실시 예에 따른 마스크 인장 방법의 순서를 도시한 순서도이다.
도 8은 도 7에 도시된 스틱 인장 단계의 세부적인 순서를 도시한 순서도이다.
도 9는 도 7에 도시된 마스크 인장 방법에 의해 인장되는 오픈 마스크를 개략적으로 도시한 도면이다.
도 10은 도 9에 도시된 제1스틱과 제2스틱 및 가로 스틱과 세로 스틱을 도시한 도면이다.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 따른 바람직한 실시 예를 상세히 설명하기로 한다. 이에 앞서, 본 명세서 및 청구범위에 사용된 용어나 단어는 통상적이거나 사전적인 의미로 한정해서 해석되어서는 아니 되며, 발명자는 그 자신의 발명을 가장 최선의 방법으로 설명하기 위해 용어의 개념을 적절하게 정의할 수 있다는 원칙에 입각하여 본 발명의 기술적 사상에 부합하는 의미와 개념으로 해석되어야만 한다.

도 1 내지 도 4를 참조하면, 본 발명에 따른 마스크 인장 장치(100)는 제1클램프부(1100)와, 제2클램프부(1200)와, 클램프 이동부(1300)를 포함하며, 제어부(1400)와, 클램프 이동수단(미도시)를 더 포함할 수 있다.

상기 제1클램프부(1100)는 복수개의 제1클램프(1110)를 포함하며, 상기 복수개의 제1클램프(1110)는 복수개의 개구홀(12)이 형성된 사각형상을 가지는 마스크 시트(10)의 장변측(10a)을 파지한다.

상기 제2클램프(1200)는 복수개의 제2클램프(1210)를 포함하며, 상기 복수개의 제2클램프(1210)는 복수개의 개구홀(12)이 형성된 사각형상을 가지는 상기 마스크 시트(10)의 단변측(10b)을 파지한다.

상기 마스크 시트(10)의 장변측(10a)을 파지하는 복수개의 제1클램프(1110)와 상기 마스크 시트(10)의 단변측(10b)을 파지하는 복수개의 제2클램프(1210)는 클램프 이동부(1300)와 연결된다.

상기 클램프 이동부(1300)는 연결된 복수개의 제1클램프(1110)와 제2클램프(1210)를 X축 방향으로 전후이동, Y축 방향으로 전후이동 및 시계방향과 반시계방향으로 회전시키는 역할을 하며, 복수개의 제1클램프(1110)와 제2클램프(1210)가 X축 방향과 Y축 방향으로 전후이동 함으로써 복수개의 제1클램프(1110)와 제2클램프(1210)가 파지한 사각형상을 가지는 상기 마스크 시트(10)가 외측방향으로 인장되게 된다.

상기 클램프 이동부(1300)는 지지판(1310)과, 하부 고정 베이스판(1320)과, 동력제공 스테이지(1330)를 포함한다. 상기 지지판(1310)은 복수개의 제1클램프(1110) 및 복수개의 제2클램프(1210)와 연결되어 상기 제1클램프(1110) 및 제2클램프(1210)을 하부에서 지지하는 역할을 하며, 상기 지지판(1310)가 상기 동력제공 스테이지(1330)에서 제공되는 동력에 의해 X축 방향과 Y축 방향으로 전후이동 함에 따라 상기 제1클램프(1210)와 상기 제2클램프(1210)를 X축 방향과 Y축 방향으로 전후이동시키게 된다.

상기 지지판(1310)의 하부에는 하부 고정 베이스판(1320)이 배치되며, 상기 하부 고정 베이스판(1320)의 상부에는 상기 지지판(1310)의 하부와 밀착되어 상기 지지판(1310)이 전, 후, 좌, 우로 수평되게 이동되거나 시계방향 및 반시계 방향으로 회전되도록 하는 롤러부재(미도시)가 구비되는 것이 바람직하다.

상기 지지판(1310)을 하부에서 지지하는 상기 하부 고정 베이스판(1320)의 상부에는 동력제공 스테이지(1330)가 구비되어 상기 지지판(1310)과 연결되며, 상기 동력제공 스테이지(1330)는 상기 하부 고정 베이스판(1320)에서 상기 지지판(1310)을 X축 방향으로 전후이동, Y축 방향으로 전후이동, 및 시계방향과 반시계방향으로 회전시키는 동력을 제공하는 역할을 한다.

상기 지지판(1310)의 후측면과 좌측면 및 우측면에는 각각 상기 지지판(1310)의 후측과 좌측 및 우측으로 상기 동력제공 스테이지(1330)와 연결되는 후측 레일 고정단(1311)과 좌측 레일 고정단(1312) 및 우측 레일 고정단(1313)이 돌출되는 것이 바람직하다.

상기 지지판(1310)과 상기 후측 레일 고정단(1311)과 좌측 레일 고정단(1312) 및 우측 레일 고정단(1313)에 연결되는 상기 동력제공 스테이지(1330)는 제1구동 스테이지(1331)와, 제2구동 스테이지(1332)와, 제3구동 스테이지(1333)를 포함하며, 상기 제1구동 스테이지(1331)는 상기 지지판(1310)을 X축 방향으로 전후이동시키는 동력을 제공하고, 제2구동 스테이지(1332) 및 제3구동 스테이지(1333)는 상기 지지판(1310)을 Y축 방향으로 전후이동시키는 동력을 제공한다.

상기 제1구동 스테이지(1331)는 후측 레일(1331a)와, 후측 레일 홀더(1331b)와, 후측 로드(1331c)와, 후측 로드 모터(1331d)를 포함한다. 상기 후측 레일(1331a)은 상기 지지판(1310)의 후측으로 돌출되는 후측 레일 고정단(1311)의 좌측면에 고정 설치되고, 상기 후측 레일 홀더(1331b)는 상기 후측 레일(1331a)에 고정되어 상기 후측 레일(1331a)의 길이방향으로 이동된다.

상기 후측 로드(1331c)의 일단은 상기 후측 레일 홀더(1331b)에 축 고정되고, 상기 후측 로드(1331c)의 타단은 후측 로드 모터(1331d)와 연결되며, 상기 후측 로드 모터(1331d)는 상기 후측 로드(1331c)를 인출시켜 상기 후측 로드(1331c)의 길이를 연장하거나 상기 후측 로드(1331c)를 인입하여 상기 후측 로드(1331c)의 길이를 축소시키는 동력을 제공한다. 상기 후측 로드 모터(1331d)가 상기 후측 로드(1331c)를 인입하거나 인출함에 따라 상기 후측 레일 고정단(1311)이 이동하게 되고, 그로 인해 상기 지지판(1310)이 상기 후측 로드(1331c)를 인입하거나 인출하는 방향으로 이동하게 된다.

상기 제2구동 스테이지(1332)는 좌측 레일(1332a)와, 좌측 레일 홀더(1332b)와, 좌측 로드(1332c)와, 좌측 로드 모터(1332d)를 포함한다. 상기 좌측 레일(1332a)은 상기 지지판(1310)의 좌측으로 돌출되는 좌측 레일 고정단(1312)의 전면에 고정 설치되고, 상기 좌측 레일 홀더(1332b)는 상기 좌측 레일(1332a)에 고정되어 상기 좌측 레일(1332a)의 길이방향으로 이동된다.

상기 좌측 로드(1332c)의 일단은 상기 좌측 레일 홀더(1332b)에 축 고정되고, 상기 좌측 로드(1332c)의 타단은 좌측 로드 모터(1332d)와 연결되며, 상기 좌측 로드 모터(1332d)는 상기 좌측 로드(1332c)를 인출시켜 상기 좌측 로드(1332c)의 길이를 연장하거나 상기 좌측 로드(1332c)를 인입하여 상기 좌측 로드(1332c)의 길이를 축소시키는 동력을 제공한다. 상기 좌측 로드 모터(1332d)가 상기 좌측 로드(1332c)를 인입하거나 인출함에 따라 상기 좌측 레일 고정단(1312)이 이동하게 되고, 그로 인해 상기 지지판(1310)이 상기 좌측 로드(1332c)를 인입하거나 인출하는 방향으로 이동하게 된다.

상기 제3구동 스테이지(1333)는 우측 레일(1333a)와, 우측 레일 홀더(1333b)와, 우측 로드(1333c)와, 우측 로드 모터(1333d)를 포함하며, 상기 우측 레일(1333a)은 상기 지지판(1310)의 우측으로 돌출되는 우측 레일 고정단(1313)의 전면에 고정 설치되고, 상기 우측 레일 홀더(1333b)는 상기 우측 레일(1333a)에 고정되어 상기 우측 레일(1333a)의 길이방향으로 이동된다. 상기 우측 레일(1333a)와, 우측 레일 홀더(1333b)와, 우측 로드(1333c)와, 우측 로드 모터(1333d)의 동작관계는 상기 좌측 레일(1332a)와, 좌측 레일 홀더(1332b)와, 좌측 로드(1332c)와, 좌측 로드 모터(1332d)의 동작관계와 동일한 바, 그에 대한 상세한 설명은 생략하기로 한다.

상기 제1구동 스테이지(1331)가 단독으로 동작 시에는 상기 지지판(1310)은 X축 방향으로 전후 이동하고, 상기 제2구동 스테이지(1332) 및 제3구동 스테이지(1333)가 연동하여 동작 시에는 상기 지지판(1310)은 Y축 방향으로 전후 이동하며, 상기 제1구동 스테이지(1331), 상기 제2구동 스테이지(1332), 상기 제3구동 스테이지(1333)이 복합적으로 동작 시에는 상기 지지판(1310)은 시계방향 또는 반시계방향으로 회전하게 된다.

상기 지지판(1310)이 시계방향으로 회전 시에는 상기 제1구동 스테이지(1331)는 상기 후방 레일 고정단(1311)을 상기 후측 로드(1331c)를 인출하는 방향으로 이동시키고, 상기 제2구동 스테이지(1332)는 상기 좌측 레일 고정단(1312)을 상기 좌측 로드(1332c)를 인출하는 방향으로 이동시키며, 상기 제3구동 스테이지(1333)는 상기 우측 레일 고정단(1313)을 상기 우측 로드(1333c)를 인입하는 방향으로 이동시킴에 따라 상기 지지판(1310)은 상기 하부 고정 베이스판(1320)의 상부에서 시계방향으로 회전하게 된다.

상기 지지판(1310)이 반시계방향으로 회전 시에는 상기 제1구동 스테이지(1331)는 상기 후방 레일 고정단(1311)을 상기 후측 로드(1331c)를 인입하는 방향으로 이동시키고, 상기 제2구동 스테이지(1332)는 상기 좌측 레일 고정단(1312)을 상기 좌측 로드(1332c)를 인입하는 방향으로 이동시키며, 상기 제3구동 스테이지(1333)는 상기 우측 레일 고정단(1313)을 상기 우측 로드(1333c)를 인출하는 방향으로 이동시킴에 따라 상기 지지판(1310)은 상기 하부 고정 베이스판(1320)의 상부에서 반시계방향으로 회전하게 된다.

상기 클램프 이동부(1300)는 제어부(1400) 및 클램프 이동수단(미도시)와 연결되며, 상기 제어부(1400)는 상기 클램프 이동부(1300)의 동작을 제어하는 역할을 한다. 상기 클램프 이동수단(미도시)는 상기 클램프 이동부(1300)를 상기 마스크 시트(10)로 이동시키고 상기 마스크 시트(10)를 인장 후 인장된 마스크 시트(10)를 마스크 프레임(20)의 상부로 이동시키는 역할을 한다.

상기 마스크 시트(10)의 장변측(10a)과 단변측(10b)를 파지하는 상기 제1클램프부(1100)와 제2클램프부(1200)를 X축 방향과 Y축 방향으로 이동 및 Z축 방향으로 회전하는 클램프 이동부(1300)를 이용하여 이동 및 회전시킴으로써 상기 마스크 시트(10)가 인장 시 장변측(10a)과 단변측(10b)의 외측으로 수평되게 인장되지 않을 경우에 이를 보정할 수 있어 상기 마스크 시트(10)를 외측방향으로 균일하게 인장시킬 수 있게 된다.

도 1, 도 5 및 도 6을 참조하면, 본 발명의 일 실시 예에 따른 마스크 인장 방법은 복수개의 개구홀(12)이 형성된 사각형상을 가지는 마스크 시트(10)를 인장하기 위한 것으로, 마스크 시트 파지 단계(S10)와, 마스크 시트 인장 단계(S20)와, 제1클램프 및 제2클램프 보정 단계(S30)를 더 포함할 수 있다.

도 1 및 도 5를 참조하면, 상기 마스크 시트 파지 단계(S10)는 복수개의 개구홀(12)이 형성된 사각형상을 가지는 마스크 시트(10)의 장변측(10a)과 단변측(10b)의 둘레면을 복수개의 제1클램프(1110)를 포함하는 제1클램프(1100)와 복수개의 제2클램프(1210)를 포함하는 제2클램프부(1200)를 이용하여 파지하는 단계이다.

상기 마스크 시트 파지 단계(S10)를 수행하기 위해 상기 마스크 시트(10)의 장변측(10a)을 파지하는 제1클램프(1110) 및 상기 마스크 시트(10)의 단변측(10b)을 파지하는 제2클램프(1210)와 연결되는 클램프 이동부(1300)를 클램프 이동수단(미도시)을 이용하여 상기 마스크 시트(10)의 장변측(10a) 및 단변측(10b)으로 이동시키는 단계를 수행하는 것이 바람직하다.

상기 마스크 시트 파지 단계(S10)를 수행 후 마스크 시트 인장 단계(S20)를 수행하며, 상기 마스크 시트 인장 단계(S20)는 지지판(1310)과 하부 고정 베이스판(1320) 및 동력제공 스테이지(1330)를 포함하는 클램프 이동부(1300)를 동작시켜 상기 마스크 시트(10)의 장변측(10a)과 단변측(10b)을 파지한 상기 제1클램프(1110)를 상기 마스크 시트(10)의 장변측(10a)인 X축 방향으로 이동시키고, 상기 제2클램프(1210)를 상기 마스크 시트(10)의 단변측(10b)인 Y축 방향으로 이동시켜 상기 마스크 시트(10)를 인장시키는 단계이다.

상기 마스크 시트(10)의 장변측(10a)을 파지하는 제1클램프(1110)와 상기 마스크 시트(10)의 단변측(10b)을 파지하는 제2클램프(1210)는 클램프 이동부(1300)의 지지판(1310)에 연결되며, 상기 지지판(1310)이 X축 방향으로 전후이동 및 Y축 방향으로 전후이동 함에 따라 상기 마스크 시트(10)를 외측방향으로 인장하게 된다.

도 1 및 도 6을 참조하면, 상기 마스크 시트 인장 단계(S20)는 마스크 시트 장변측 인장 단계(S21)와, 마스크 시트 단변측 인장 단계(S22)를 포함하며, 상기 마스크 시트 장변측 인장 단계(S21)와 상기 마스크 시트 단변측 인장 단계(S22)는 동시에 수행되고, 동일한 인장응력으로 상기 마스크 시트(10)를 장변측(10a)과 단변측(10b)으로 인장하는 것이 바람직하다.

상기 마스크 시트 장변측 인장 단계(S21)는 상기 동력제공 스테이지(1330)의 제1구동 스테이지(1331)를 동작시켜 상기 마스크 시트(10)의 장변측(10a)을 파지한 상기 제1클램프부(1100)를 포함하는 복수개의 제1클램프(1110)를 상기 마스크 시트(10)의 장변측(10a) 외측으로 인장시키는 단계이다.

상기 마스크 시트 단변측 인장 단계(S220)는 상기 동력제공 스테이지(1330)의 제2구동 스테이지(1332) 및 제3구동 스테이지(1333)를 동작시켜 상기 마스크 시트(10)의 단변측(10b)을 파지한 상기 제2클램프부(1200)를 포함하는 복수개의 제2클램프(1210)를 상기 마스크 시트(10)의 단변측(10b) 외측으로 인장시키는 단계이다.

상기 마스크 시트 장변측 인장 단계(S21)와 상기 마스크 시트 단변측 인장 단계(S22)를 동시에 수행하고, 동일한 인장응력으로 상기 마스크 시트(10)를 장변측(10a)과 단변측(10b)으로 인장함으로써 사각형상을 가지는 상기 마스크 시트(10)가 변형되지 않고 균등하게 상기 마스크 시트(10)의 외측방향으로 인장되게 된다.

상기 마스크 시트 인장 단계(S20)를 수행 시 제1클램프 및 제2클램프 보정 단계(S30)를 수행하는 것이 바람직하다. 상기 제1클램프 및 제2클램프 보정 단계(S30)는 상기 마스크 시트(10)를 인장 시 상기 제1클램프(1110)와 제2클램프(1210)가 상기 마스크 시트(10)를 장변측(10a)과 단변측(10b)의 외측으로 인장하지 않는 경우 상기 클램프 이동부(1300)를 동작시켜 상기 제1클램프(1110)와 제2클램프(1210)를 상기 마스크 시트(10)의 수직방향인 Z축을 기준으로 시계방향 또는 반시계방향으로 회전하여 상기 마스크 시트(10)를 인장하는 인장방향을 보정하는 단계이다.

상기 제1클램프 및 제2클램프 보정 단계(S30)를 수행함으로써 상기 마스크 시트(10)를 인장 시 복수개의 제1클램프(1110) 및 제2클램프(1210) 중 상기 마스크 시트(10)를 외측방향으로 수평되게 이동시키지 않는 제1클램프(1110) 또는 제2클램프(1210)를 회전시켜 상기 마스크 시트(10)를 인장하는 인장방향을 보정함으로써 상기 마스크 시트(10)가 외측방향으로 균일하게 인장되게 된다.

도 2 및 도 7 내지 도 10을 참조면, 본 발명의 다른 실시 예에 따른 마스크 인장 방법은 복수개의 제1스틱(31)과 제2스틱(32) 및 상기 제1스틱(31)이 안착되는 가로 스틱(33)과 상기 제2스틱(32)이 안착되는 세로 스틱(34)에 의해 복수개의 개구홀(30a)이 형성되는 오픈 마스크(30)를 인장하기 위한 것으로, 스틱 파지 단계(S100)와, 스틱 인장 단계(S200)와, 클램프 보정 단계(S300)를 더 포함할 수 있다.

상기 스틱 파지 단계(S100)는 복수개의 제1스틱(31)과 제2스틱(32) 및 가로 스틱(33)과 세로 스틱(34)의 양단을 클램프 이동부(1300)에 연결된 복수개의 클램프(40)를 이용하여 파지하는 단계이다.

상기 스틱 파지 단계(S100)를 수행하기 위해 상기 복수개의 제1스틱(31)과 제2스틱(32) 및 가로 스틱(33)과 세로 스틱(34)의 양단을 파지하는 복수개의 클램프(40)가 연결되는 클램프 이동부(1300)를 클램프 이동수단(미도시)을 이용하여 제1스틱(31)과 제2스틱(32) 및 가로 스틱(33)과 세로 스틱(34)의 양단으로 이동시키는 단계를 수행하는 것이 바람직하다.

상기 스틱 파지 단계(S100)를 수행 후 스틱 인장 단계(S200)를 수행하며, 상기 스틱 인장 단계(S200)는 지지판(1310)과 하부 고정 베이스판(1320) 및 동력제공 스테이지(1330)를 포함하는 클램프 이동부(1300)를 동작시켜 상기 제1스틱(31)과 상기 세로 스틱(34)의 양단을 파지한 상기 클램프(40)는 상기 제1스틱(31)과 상기 세로 스틱(34)의 길이방향인 Y축 방향으로 이동시켜 인장하고, 상기 제2스틱(32)과 상기 가로 스틱(33)의 양단을 파지한 상기 클램프(40)는 상기 제2스틱(32)과 상기 가로 스틱(33)의 길이방향인 X축 방향으로 이동시켜 인장하는 단계이다.

상기 제1스틱(31)과 상기 제2스틱(32) 및 상기 가로 스틱(33)과 상기 세로 스틱(34)의 양단을 파지한 상기 클램프(40)는 상기 클램프 이동부(1300)의 지지판(1310)에 연결되며, 상기 지지판(1310)이 상기 동력제공 스테이지(1330)에 의해 X축 방향으로 전후이동 및 Y축 방향으로 전후이동 함에 따라 상기 제1스틱(31)과 상기 제2스틱(32) 및 상기 가로 스틱(33)과 상기 세로 스틱(34)의 양단이 외측방향으로 인장하게 된다.

도 2 및 도 8 내지 도 9를 참조하면, 상기 스틱 인장 단계(S200)는 제1스틱 및 세로 스틱 인장 단계(S210)와, 제2스틱 및 가로 스틱 인장 단계(S220)를 포함하며, 상기 제1스틱 및 세로 스틱 인장 단계(S210) 및 제2스틱 및 가로 스틱 인장 단계(S220)는 동시에 동일한 인장응력으로 수행되는 것이 바람직하다.

상기 제1스틱 및 세로 스틱 인장 단계(S210)는 상기 동력제공 스테이지(1330)의 제1구동 스테이지(1331)를 동작시켜 상기 제1스틱(31)과 상기 세로 스틱(34)의 양단을 파지한 상기 클램프(40)를 상기 제1스틱(31)과 상기 세로 스틱(34)의 양단 외측방향으로 인장시키는 단계이다.

상기 제2스틱 및 가로 스틱 인장 단계(S220)는 상기 동력제공 스테이지(1330)의 제2구동 스테이지(1332) 및 제3구동 스테이지(1333)를 동작시켜 상기 제2스틱과 가로 스틱의 양단을 파지한 상기 클램프(40)를 상기 제2스틱(32)과 상기 가로 스틱(33)의 양단 외측방향으로 인장시키는 단계이다.

도 9 및 도 10을 참조하면, 상기 제1스틱(31)에는 상기 제2스틱(32)과 교차되는 부위에 상기 제2스틱(32)이 체결되는 복수개의 체결부(31a)가 형성되며, 복수개의 체결부(31a)는 상기 제1스틱(31)의 외측으로 돌출되게 형성되고, 상기 체결부(31a)의 일면에는 상기 제2스틱(32)이 체결되는 제1체결홈(31b)이 형성되는 것이 바람직하다.

상기 제2스틱(32)의 일면에는 상기 제1체결홈(31b)과 체결되는 제2체결홈(32a)이 형성되는 것이 바람직하며, 상기 제1스틱(31)에 제1체결홈(31b)이 형성되고 상기 제2스틱(32)에 제2체결홈(32a)이 형성됨으로써 상기 제1스틱(31)과 상기 제2스틱(32)이 동일한 두께를 가질 수 있고, 상기 제1스틱(31)과 상기 제2스틱(32)가 동일한 두께를 가짐으로써 동일한 인장응력으로 제1스틱(31)과 제2스틱(32)의 양단을 외측으로 인장시킬 수 있게 된다.

상기 제1스틱(31)에는 상기 가로 스틱(33)과 교차되는 부위에 상기 가로 스틱(33)이 장착되는 제1장착홈(31c)이 형성되고, 상기 가로 스틱(33)의 일면에는 상기 제1스틱(31)의 제1장착홈(31c)이 장착되는 가로 장착홈(33b)이 형성되는 것이 바람직하다.

상기 제1스틱(31)에 상기 제1장착홈(31c)이 형성되고, 상기 가로 스틱(33)에 상기 가로 장착홈(33b)이 형성됨으로써 상기 제1스틱(31)과 상기 가로 스틱(33)이 동일한 두께를 가질 수 있고, 그로 인해 동일한 인장응력으로 상기 제1스틱(31)과 상기 가로 스틱(33)의 양단을 외측으로 인장시킬 수 있게 된다.

상기 가로 스틱(33)의 일면에는 상기 세로 스틱(34)이 연결되는 가로 연결홈 (33a)이 형성되고, 상기 제1스틱(31)이 장착되는 가로 장착홈(33b)이 형성되는 것이 바람직하다.

상기 제2스틱(32)에는 상기 세로 스틱(34)과 교차되는 부위에 상기 세로 스틱(34)이 장착되는 제2착홈(32b)이 형성되고, 상기 세로 스틱(34)의 일면에는 상기 가로 스틱(33)이 연결되는 세로 연결홈(34a)이 형성되는 것이 바람직하다.

상기 제2스틱(32)에 상기 제2장착홈(32b)이 형성되고, 상기 세로 스틱(34)에 상기 세로 장착홈(34b)이 형성됨으로써 상기 제2스틱(32)과 상기 세로 스틱(34)이 동일한 두께를 가질 수 있고, 그로 인해 동일한 인장응력으로 상기 제2스틱(32)과 상기 세로 스틱(34)의 양단을 외측으로 인장시킬 수 있게 된다.

도 2, 도 7 및 도 9를 참조하면, 상기 스틱 인장 단계(S200)를 수행 후 클램프 보정 단계(S300)를 수행하며, 상기 클램프 보정 단계(S300)는 상기 제1스틱(31)과 상기 제2스틱(32) 및 상기 가로 스틱(33)과 상기 세로 스틱(34)을 인장 시 상기 클램프(40)가 상기 제1스틱(31)과 상기 제2스틱(32) 및 상기 가로 스틱(33)과 상기 세로 스틱(34)의 양단을 외측방향으로 수평되게 인장하지 않는 경우 상기 클램프 이동부(1300)를 동작시켜 상기 클램프(40)를 상기 제1스틱(31)과 상기 제2스틱(32) 및 상기 가로 스틱(33)과 상기 세로 스틱(34)의 수직방향인 Z축을 기준으로 시계방향 또는 반시계방향으로 회전하여 상기 제1스틱(31)과 상기 제2스틱(32) 및 상기 가로 스틱(33)과 상기 세로 스틱(34)을 인장하는 상기 클램프(40)의 인장방향을 보정하는 단계이다.

상기 클램프 보정 단계(S300)를 수행함으로써 오픈 마스크(30)의 제1스틱(31)과 제2스틱(32) 및 가로 스틱(33)과 세로 스틱(34)의 양단을 인장하는 복수개의 클램프(40) 중 상기 제1스틱(31)과 제2스틱(32) 및 가로 스틱(33)과 세로 스틱(34)의 양단을 외측방향으로 수평되게 이동시키지 않은 클램프(40)를 회전시켜 상기 제1스틱(31)과 제2스틱(32) 및 가로 스틱(33)과 세로 스틱(34)의 양단을 인장하는 인장방향을 보정함으로써 상기 오픈 마스크(30)가 외측방향으로 균일하게 인장되게 된다.

본 발명은 도면에 도시된 실시 예를 참고로 설명되었으나 이는 예시적인 것에 불과하며, 본 기술 분야의 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 다른 실시 예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 첨부된 특허청구범위의 기술적 사상에 의하여 정해져야 할 것이다.

10 : 마스크 시트 12 : 개구홀
20 : 마스크 프레임 30 : 오픈 마스크
31 : 제1스틱 32 : 제2스틱
33 : 가로 스틱 34 : 세로 스틱
40 : 클램프
100 : 마스크 인장 장치 1100 : 제1클램프부
1110 : 제1클램프 1200 : 제2클램프부
1210 : 제2클램프 1300 : 클램프 이동부
1310 : 지지판 1320 : 하부 고정 베이스판
1330 : 동력제공 스테이지 1400 : 제어부

Claims

복수개의 개구홀이 형성된 사각형상을 가지는 마스크 시트의 장변측을 파지하는 복수개의 제1클램프를 포함하는 제1클램프부;
상기 마스크 시트의 단변측을 파지하는 복수개의 제2클램프를 포함하는 제2클램프부; 및
상기 제1클램프의 제1클램프 및 상기 제2클램프의 제2클램프와 연결되며, 상기 제1클램프를 X축 방향으로 전후이동시켜 상기 마스크 시트를 X축 방향으로 인장하고, Y축 방향으로 상기 제2클램프를 전후이동시켜 상기 마스크 시트를 Y축 방향으로 인장하며, 상기 마스크시트를 파지한 제1클램프 또는 제2클램프를 상기 마스크 시트의 수직방향인 Z축을 기준으로 시계방향 또는 반시계방향으로 회전시키는 클램프 이동부를 포함하는 마스크 인장 장치.
청구항 1에 있어서,
상기 클램프 이동부와 연결되며, 상기 클램프 이동부의 동작을 제어하는 제어부를 더 포함하는 마스크 인장 장치.
청구항 2에 있어서,
상기 클램프 이동부는,
상기 제1클램프 및 상기 제2클램프와 연결되어 상기 제1클램프 및 제2클램프를 하부에서 지지하며 지지판과,
상기 지지판의 하부에 배치되며 상부에는 상기 지지판의 하부와 밀착되어 상기 지지판을 전, 후, 좌, 우 수평방향으로 이동되거나 축 회전되도록 하는 롤러부재가 구비되는 하부 고정 베이스판과,
상기 하부 고정 베이스판의 상부에 구비되어 상기 지지판과 연결되며 상기 하부 고정 베이스판에서 상기 지지판을 X축 방향으로 전후이동, Y축 방향으로 전후이동, 및 시계방향과 반시계방향으로 회전시키는 동력을 제공하는 동력제공 스테이지를 포함하며,
상기 지지판의 후측면과 좌측면 및 우측면에는 각각 상기 지지판의 후측과 좌측 및 우측으로 후측 레일 고정단과 좌측 레일 고정단 및 우측 레일 고정단이 돌출되는 마스크 인장 장치.
청구항 3에 있어서,
상기 동력제공 스테이지는,
상기 하부 고정 베이스판의 후단에 구비되어 상기 지지판의 후측 레일 고정단과 연결되며 상기 지지판을 X축 방향으로 전후이동시키는 동력을 제공하는 제1구동 스테이지와,
상기 하부 고정 베이스판의 양측단에 구비되어 상기 지지판의 좌측 레일 고정단 및 우측 레일 고정단과 연결되며 상기 지지판을 Y축 방향으로 전후이동시키는 동력을 제공하는 제2구동 스테이지 및 제3구동 스테이지를 포함하는 마스크 인장 장치.
청구항 4에 있어서,
상기 제1구동 스테이지는,
상기 후측 레일 고정단의 좌측면에 고정 설치된 후측 레일과,
상기 후측 레일에 고정되어 상기 후측 레일의 길이방향으로 이동되는 후측 레일 홀더와,
일단이 상기 후측 레일 홀더에 축 고정된 후측 로드와,
상기 후측 로드의 타단이 연결되며 상기 후측 로드를 인출시켜 상기 후측 로드의 길이를 연장하거나 상기 후측 로드를 인입하여 상기 후측 로드의 길이를 축소시키는 동력을 제공하는 후측 로드 모터를 포함하는 마스크 인장 장치.
청구항 4에 있어서,
상기 제2구동 스테이지는,
상기 좌측 레일 고정단의 전면에 고정 설치된 좌측 레일과,
상기 좌측 레일에 고정되어 상기 좌측 레일의 길이방향으로 이동되는 좌측 레일 홀더와,
일단이 상기 좌측 레일 홀더에 축 고정된 좌측 로드와,
상기 좌측 로드의 타단이 연결되며 상기 좌측 로드를 인출시켜 상기 좌측 로드의 길이를 연장하거나 상기 좌측 로드를 인입하여 상기 좌측 로드의 길이를 축소시키는 동력을 제공하는 좌측 로드 모터를 포함하고,
상기 제3구동 스테이지는,
상기 우측 레일 고정단의 전면에 고정 설치된 우측 레일과,
상기 우측 레일에 고정되어 상기 우측 레일의 길이방향으로 이동되는 우측 레일 홀더와,
일단이 상기 우측 레일 홀더에 축 고정된 우측 로드와,
상기 우측 로드의 타단이 연결되며 상기 우측 로드를 인출시켜 상기 우측 로드의 길이를 연장하거나 상기 우측 로드를 인입하여 상기 우측 로드의 길이를 축소시키는 동력을 제공하는 우측 로드 모터를 포함하는 마스크 인장 장치.
청구항 1에 있어서,
상기 클램프 이동부와 연결되며, 상기 클램프 이동부를 상기 마스크 시트로 이동시키고 상기 마스크 시트를 인장 후 인장된 마스크 시트를 마스크 프레임의 상부로 이동시키는 클램프 이동수단을 더 포함하는 마스크 인장 장치.
복수개의 개구홀이 형성된 사각형상을 가지는 마스크 시트의 장변측과 단변측의 둘레면을 복수개의 제1클램프를 포함하는 제1클램프부와 복수개의 제2클램프를 포함하는 제2클램프부를 이용하여 파지하는 마스크 시트 파지 단계;
지지판과 하부 고정 베이스판 및 동력제공 스테이지를 포함하는 클램프 이동부를 동작시켜 상기 제1클램프를 상기 마스크 시트의 장변측인 X축 방향으로 인장하고, 상기 제2클램프를 상기 마스크 시트의 단변측인 Y축 방향으로 인장시키는 마스크 시트 인장 단계; 및
상기 마스크 시트를 인장 시 상기 제1클램프와 상기 제2클램프가 상기 마스크 시트를 장변측과 단변측의 외측으로 인장하지 않는 경우 상기 클램프 이동부를 동작시켜 상기 제1클램프와 제2클램프를 상기 마스크 시트의 수직방향인 Z축을 기준으로 시계방향 또는 반시계방향으로 회전하여 상기 마스크 시트를 인장하는 인장방향을 보정하는 제1클램프 및 제2클램프 보정 단계를 포함하는 마스크 인장 방법.
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청구항 8에 있어서,
상기 마스크 시트 인장 단계는,
상기 동력제공 스테이지의 제1구동 스테이지를 동작시켜 상기 마스크 시트를 상기 마스크 시트의 장변측 외측으로 인장시키는 마스크 시트 장변측 인장 단계와,
상기 동력제공 스테이지의 제2구동 스테이지 및 제3구동 스테이지를 동작시켜 상기 마스크 시트를 상기 마스크 시트의 단변측 외측으로 인장시키는 마스크 시트 단변측 인장 단계를 포함하며,
상기 마스크 시트 장변측 인장 단계와 상기 마스크 시트 단변측 인장 단계는 동시에 수행되며, 동일한 인장응력으로 상기 마스크 시트를 장변측과 단변측으로 인장하는 것을 특징으로 하는 마스크 인장 방법.
복수개의 제1스틱과 제2스틱 및 상기 제1스틱이 안착되는 가로 스틱과 상기 제2스틱이 안착되는 세로 스틱에 의해 복수개의 개구홀이 형성된 오픈 마스크를 인장시키기 위한 마스크 인장 방법에 있어서,
상기 복수개의 제1스틱과 제2스틱 및 상기 가로 스틱과 상기 세로 스틱의 양단을 복수개의 클램프를 이용하여 파지하는 스틱 파지 단계;
지지판과 하부 고정 베이스판 및 동력제공 스테이지를 포함하는 클램프 이동부를 동작시켜 상기 제1스틱과 상기 세로 스틱을 파지한 복수개의 클램프를 상기 제1스틱과 상기 세로 스틱의 길이방향인 Y축 방향으로 인장하고, 상기 제2스틱과 상기 가로 스틱을 파지한 복수개의 클램프를 상기 제2스틱과 상기 가로 스틱의 길이방향인 X축 방향으로 인장하는 스틱 인장 단계; 및
상기 제1스틱과 상기 제2스틱 및 상기 가로 스틱과 상기 세로 스틱을 인장 시 상기 복수개의 클램프가 상기 제1스틱과 상기 제2스틱 및 상기 가로 스틱과 상기 세로 스틱의 양단을 길이방향으로 인장하지 않는 경우 상기 클램프 이동부를 동작시켜 상기 복수개의 클램프를 상기 제1스틱과 상기 제2스틱 및 상기 가로 스틱과 상기 세로 스틱의 수직방향인 Z축을 기준으로 시계방향 또는 반시계방향으로 회전하여 상기 제1스틱과 상기 제2스틱 및 상기 가로 스틱과 상기 세로 스틱을 인장하는 인장방향을 보정하는 클램프 보정 단계를 포함하는 마스크 인장 방법.
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청구항 11에 있어서,
상기 스틱 인장 단계는,
상기 동력제공 스테이지의 제1구동 스테이지를 동작시켜 상기 제1스틱과 상기 세로 스틱의 양단을 상기 제1스틱과 상기 세로 스틱의 양단 외측방향으로 인장하는 제1스틱 및 세로 스틱 인장 단계와,
상기 동력제공 스테이지의 제2구동 스테이지 및 제3구동 스테이지를 동작시켜 상기 제2스틱과 가로 스틱의 양단을 상기 제2스틱과 상기 가로 스틱의 양단 외측방향으로 인장하는 제2스틱 및 가로 스틱 인장 단계를 포함하며,
상기 제1스틱 및 세로 스틱 인장 단계와 상기 제2스틱 및 가로 스틱 인장 단계는 동시에 수행되는 것을 특징으로 하는 마스크 인장 방법.
청구항 13에 있어서,
상기 제1스틱에는 상기 제2스틱과 교차되는 부위에 상기 제2스틱이 체결되는 복수개의 체결부가 상기 제1스틱의 외측으로 돌출되게 형성되고,
상기 체결부의 일면에는 상기 제2스틱이 체결되는 제1체결홈이 형성되고, 상기 제1체결홈에 체결되는 상기 제2스틱의 일면에는 상기 제1체결홈과 체결되는 제2체결홈이 형성되며,
상기 제1스틱에는 상기 가로 스틱과 교차되는 부위에 상기 가로 스틱이 장착되는 제1장착홈이 형성되고,
상기 제2스틱에는 상기 세로 스틱과 교차되는 부위에 상기 세로 스틱이 장착되는 제2장착홈이 형성되는 마스크 인장 방법.
청구항 13에 있어서,
상기 가로 스틱의 일면과 상기 세로 스틱의 일면에는 각각 상기 세로 스틱과 상기 가로 스틱이 연결되는 가로 연결홈 및 세로 연결홈이 형성되고,
상기 가로 스틱과 상기 세로 스틱에는 각각 상기 제1스틱과 상기 제2스틱이 장착되는 가로 장착홈과 세로 장착홈이 형성되는 마스크 인장 방법.