KR102436225B1 - Printed circuit board - Google Patents

Printed circuit board Download PDF

Info

Publication number
KR102436225B1
KR102436225B1 KR1020170096464A KR20170096464A KR102436225B1 KR 102436225 B1 KR102436225 B1 KR 102436225B1 KR 1020170096464 A KR1020170096464 A KR 1020170096464A KR 20170096464 A KR20170096464 A KR 20170096464A KR 102436225 B1 KR102436225 B1 KR 102436225B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
layer
circuit
metal layer
insulating material
metal
Prior art date
Application number
KR1020170096464A
Other languages
Korean (ko)
Other versions
KR20190012849A (en
Inventor
김민수
이진욱
Original Assignee
삼성전기주식회사
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 삼성전기주식회사 filed Critical 삼성전기주식회사
Priority to KR1020170096464A priority Critical patent/KR102436225B1/en
Priority to JP2017233479A priority patent/JP7073602B2/en
Priority to CN201711267780.6A priority patent/CN109310006B/en
Publication of KR20190012849A publication Critical patent/KR20190012849A/en
Application granted granted Critical
Publication of KR102436225B1 publication Critical patent/KR102436225B1/en

Links

Images

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K1/00Printed circuits
    • H05K1/02Details
    • H05K1/0201Thermal arrangements, e.g. for cooling, heating or preventing overheating
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K1/00Printed circuits
    • H05K1/02Details
    • H05K1/0271Arrangements for reducing stress or warp in rigid printed circuit boards, e.g. caused by loads, vibrations or differences in thermal expansion
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K1/00Printed circuits
    • H05K1/02Details
    • H05K1/03Use of materials for the substrate
    • H05K1/05Insulated conductive substrates, e.g. insulated metal substrate
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K1/00Printed circuits
    • H05K1/02Details
    • H05K1/11Printed elements for providing electric connections to or between printed circuits
    • H05K1/115Via connections; Lands around holes or via connections
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K3/00Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
    • H05K3/46Manufacturing multilayer circuits
    • H05K3/4611Manufacturing multilayer circuits by laminating two or more circuit boards
    • H05K3/4623Manufacturing multilayer circuits by laminating two or more circuit boards the circuit boards having internal via connections between two or more circuit layers before lamination, e.g. double-sided circuit boards

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Production Of Multi-Layered Print Wiring Board (AREA)
  • Parts Printed On Printed Circuit Boards (AREA)
  • Structure Of Printed Boards (AREA)

Abstract

본 발명은 인쇄회로기판에 관한 것이다. 인쇄회로기판은 서로 대향하는 일면 및 타면을 구비하는 절연재; 상기 절연재의 상기 일면 및 타면에 형성되는 회로층; 및 상기 회로층 상에 형성되는 금속층을 포함하고, 상기 금속층의 전기전도율은 상기 회로층의 전기전도율보다 작고, 상기 절연재의 상기 일면 측에 위치하는 상기 금속층의 두께는, 상기 절연재의 상기 타면 측에 위치하는 상기 금속층의 두께보다 크다. The present invention relates to a printed circuit board. The printed circuit board includes an insulating material having one surface and the other surface facing each other; a circuit layer formed on the one surface and the other surface of the insulating material; and a metal layer formed on the circuit layer, wherein the electrical conductivity of the metal layer is smaller than the electrical conductivity of the circuit layer, and the thickness of the metal layer located on the one side of the insulating material is on the other side of the insulating material. greater than the thickness of the metal layer on which it is located.

Description

인쇄회로기판{PRINTED CIRCUIT BOARD}Printed Circuit Board {PRINTED CIRCUIT BOARD}

본 발명은 인쇄회로기판에 관한 것이다.The present invention relates to a printed circuit board.

PCB 제조 과정에서, PCB가 열처리 되는 공정을 거치면서 휨(warpage)이 발생할 수 있다. 전자제품의 소형, 박형화에 따라 PCB도 박판화 되고 있고, 박판화가 진행될수록 휨에 따른 불량률이 문제가 될 수 있다. 휨 발생 원인은 수지 절연재와 금속 회로 간의 열팽창계수(CTE) 차이, 탄성계수의 차이 등 다양하다. 휨을 제어하기 위하여, 저팽창 수지 개발, 무기필러 함유량 조절 등 절연재를 조절하는 기술이 개발된 바 있다. 한편, 휨을 저감시키기 위해 절연재를 조절하는 기술 외에, 인쇄회로기판에 휨 방지 구조물을 부가하거나, 회로의 디자인 등을 조절하는 기술도 개발되고 있다.In the PCB manufacturing process, warpage may occur while the PCB is subjected to a heat treatment process. As electronic products become smaller and thinner, PCBs are also becoming thinner, and as the thinning progresses, the defect rate due to warpage can become a problem. The causes of warpage are various, such as the difference in the coefficient of thermal expansion (CTE) between the resin insulating material and the metal circuit, and the difference in the elastic modulus. In order to control warpage, a technology for controlling the insulating material, such as the development of a low expansion resin and the control of the inorganic filler content, has been developed. On the other hand, in addition to the technology for controlling the insulation material to reduce the warpage, a technology for adding a warpage preventing structure to the printed circuit board or controlling the design of the circuit is being developed.

한국공개특허 제 2016-0080433 호(2016.07.08 공개)Korea Patent Publication No. 2016-0080433 (published on July 8, 2016)

본 발명의 일 측면에 따르면, 서로 대향하는 일면 및 타면을 구비하는 절연재; 상기 절연재의 상기 일면 및 타면에 형성되는 회로층; 및 상기 회로층 상에 형성되는 금속층을 포함하고, 상기 금속층의 전기전도율은 상기 회로층의 전기전도율보다 작고, 상기 절연재의 상기 일면 측에 위치하는 상기 금속층의 두께는, 상기 절연재의 상기 타면 측에 위치하는 상기 금속층의 두께보다 큰 인쇄회로기판이 제공된다.According to an aspect of the present invention, an insulating material having one surface and the other surface facing each other; a circuit layer formed on the one surface and the other surface of the insulating material; and a metal layer formed on the circuit layer, wherein the electrical conductivity of the metal layer is smaller than the electrical conductivity of the circuit layer, and the thickness of the metal layer located on the one side of the insulating material is on the other side of the insulating material. A printed circuit board greater than the thickness of the metal layer is provided.

본 발명의 일 측면에 따르면, 서로 대향하는 일면 및 타면을 구비하는 절연재; 상기 절연재의 상기 일면 상에 적층되는 하나 이상의 제1 절연층; 상기 절연재의 상기 타면 상에 적층되는 하나 이상의 제2 절연층; 상기 하나 이상의 제1 절연층 중 적어도 어느 하나 상에 형성되는 제1 회로층; 상기 하나 이상의 제2 절연층 중 적어도 어느 하나 상에 형성되는 제2 회로층; 상기 제1 회로층 상에 형성되는 제1 금속층; 및 상기 제2 회로층 상에 형성되는 제2 금속층을 포함하고, 상기 제1 금속층의 전기전도율은 상기 제1 회로층의 전기전도율보다 작고, 상기 제2 금속층의 전기전도율은 상기 제2 회로층의 전기전도율보다 작고, 상기 제1 금속층의 두께는 상기 제2 금속층의 두께보다 큰 인쇄회로기판이 제공된다.According to an aspect of the present invention, an insulating material having one surface and the other surface facing each other; at least one first insulating layer laminated on the one surface of the insulating material; at least one second insulating layer laminated on the other surface of the insulating material; a first circuit layer formed on at least one of the one or more first insulating layers; a second circuit layer formed on at least one of the one or more second insulating layers; a first metal layer formed on the first circuit layer; and a second metal layer formed on the second circuit layer, wherein the electrical conductivity of the first metal layer is smaller than the electrical conductivity of the first circuit layer, and the electrical conductivity of the second metal layer is that of the second circuit layer. The printed circuit board is smaller than the electrical conductivity and the thickness of the first metal layer is greater than the thickness of the second metal layer.

본 발명의 일 측면에 따르면, 절연재; 상기 절연재 상에 형성되는 회로층; 상기 회로층 상에 형성되고, 전기전도율이 상기 회로층의 전기전도율보다 작은 금속층; 상기 절연재 상에 적층되는 절연층; 상기 절연층 및 상기 금속층을 관통하는 비아홀을 포함하고, 상기 비아홀의 저면을 통하여 상기 회로층이 노출되는 인쇄회로기판이 제공된다.According to one aspect of the present invention, an insulating material; a circuit layer formed on the insulating material; a metal layer formed on the circuit layer and having an electrical conductivity smaller than that of the circuit layer; an insulating layer laminated on the insulating material; There is provided a printed circuit board including a via hole penetrating the insulating layer and the metal layer, the circuit layer being exposed through a bottom surface of the via hole.

도 1은 본 발명의 실시예에 따른 인쇄회로기판의 단면도.
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 인쇄회로기판의 단면도.
도 3은 본 발명의 실시예에 따른 인쇄회로기판의 단면도.
도 4는 본 발명의 실시예에 따른 인쇄회로기판의 단면도.
도 5는 본 발명의 실시예에 따른 인쇄회로기판의 단면도.
도 6은 본 발명의 실시예에 따른 인쇄회로기판의 단면도.
도 7은 본 발명의 실시예에 따른 인쇄회로기판의 단면도.
도 8은 본 발명의 실시예에 따른 인쇄회로기판의 단면도.
도 9는 본 발명의 실시예에 따른 인쇄회로기판의 단면도.
도 10 내지 도 20는 본 발명의 실시예에 따른 인쇄회로기판 제조 방법을 나타낸 도면.
도 21은 회로 형성 공법에 따른 다양한 회로층을 나타낸 도면.
도 22는 본 발명의 실시예에 따른 인쇄회로기판의 단면도.
도 23은 본 발명의 실시예에 따른 인쇄회로기판의 단면도.
도 24는 본 발명의 실시예에 따른 인쇄회로기판의 단면도.
도 25는 도 24의 부분 확대도.
도 26은 본 발명의 실시예에 따른 인쇄회로기판의 단면도.
도 27은 도 26의 부분 확대도.
도 28은 본 발명의 실시예에 따른 인쇄회로기판의 단면도.
도 29은 도 28의 부분 확대도.
1 is a cross-sectional view of a printed circuit board according to an embodiment of the present invention.
2 is a cross-sectional view of a printed circuit board according to an embodiment of the present invention.
3 is a cross-sectional view of a printed circuit board according to an embodiment of the present invention.
4 is a cross-sectional view of a printed circuit board according to an embodiment of the present invention.
5 is a cross-sectional view of a printed circuit board according to an embodiment of the present invention.
6 is a cross-sectional view of a printed circuit board according to an embodiment of the present invention.
7 is a cross-sectional view of a printed circuit board according to an embodiment of the present invention.
8 is a cross-sectional view of a printed circuit board according to an embodiment of the present invention.
9 is a cross-sectional view of a printed circuit board according to an embodiment of the present invention.
10 to 20 are views showing a printed circuit board manufacturing method according to an embodiment of the present invention.
21 is a view showing various circuit layers according to a circuit forming method;
22 is a cross-sectional view of a printed circuit board according to an embodiment of the present invention.
23 is a cross-sectional view of a printed circuit board according to an embodiment of the present invention.
24 is a cross-sectional view of a printed circuit board according to an embodiment of the present invention.
Fig. 25 is a partially enlarged view of Fig. 24;
26 is a cross-sectional view of a printed circuit board according to an embodiment of the present invention.
Fig. 27 is a partially enlarged view of Fig. 26;
28 is a cross-sectional view of a printed circuit board according to an embodiment of the present invention.
Fig. 29 is a partially enlarged view of Fig. 28;

본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다.The terms used in the present application are only used to describe specific embodiments, and are not intended to limit the present invention. The singular expression includes the plural expression unless the context clearly dictates otherwise.

본 출원에서, 어떤 부분이 어떤 구성요소를 "포함"한다고 할 때, 이는 특별히 반대되는 기재가 없는 한 다른 구성요소를 제외하는 것이 아니라 다른 구성요소를 더 포함할 수 있는 것을 의미한다. 또한, 명세서 전체에서, "상에"라 함은 대상부분의 위 또는 아래에 위치함을 의미하는 것이며, 반드시 중력 방향을 기준으로 상 측에 위치하는 것을 의미하는 것이 아니다.In the present application, when a part "includes" a certain component, this means that other components may be further included, rather than excluding other components, unless otherwise stated. In addition, throughout the specification, "on" means to be located above or below the target part, and does not necessarily mean to be located above the direction of gravity.

또한, 결합이라 함은, 각 구성 요소 간의 접촉 관계에 있어, 각 구성 요소 간에 물리적으로 직접 접촉되는 경우만을 뜻하는 것이 아니라, 다른 구성이 각 구성 요소 사이에 개재되어, 그 다른 구성에 구성 요소가 각각 접촉되어 있는 경우까지 포괄하는 개념으로 사용하도록 한다.In addition, in the contact relationship between each component, the term "coupling" does not mean only when there is direct physical contact between each component, but another component is interposed between each component, so that the component is in the other component It should be used as a concept that encompasses even the cases in which each is in contact.

제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다.Terms such as first, second, etc. may be used to describe various elements, but the elements should not be limited by the terms. The above terms are used only for the purpose of distinguishing one component from another.

도면에서 나타난 각 구성의 크기 및 두께는 설명의 편의를 위해 임의로 나타내었으므로, 본 발명이 반드시 도시된 바에 한정되지 않는다.Since the size and thickness of each component shown in the drawings are arbitrarily indicated for convenience of description, the present invention is not necessarily limited to the illustrated bar.

본 발명에 따른 인쇄회로기판의 실시예를 첨부도면을 참조하여 상세히 설명하기로 하며, 첨부 도면을 참조하여 설명함에 있어, 동일하거나 대응하는 구성요소는 동일한 도면번호를 부여하고 이에 대한 중복되는 설명은 생략하기로 한다.An embodiment of a printed circuit board according to the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings, and in the description with reference to the accompanying drawings, the same or corresponding components are given the same reference numerals, and overlapping descriptions thereof are to be omitted.

또한 이하에서 설명한 본 발명의 각각의 실시예는 반드시 하나의 실시예 만을 나타내는 개념이 아니며, 각각의 실시예에 대하여 종속된 실시예들을 포괄하는 개념으로 이해되어야 한다. In addition, each embodiment of the present invention described below is not necessarily a concept representing only one embodiment, and should be understood as a concept encompassing embodiments dependent on each embodiment.

도 1 내지 도 9는 다양한 실시예에 따른 인쇄회로기판의 단면도이다.1 to 9 are cross-sectional views of a printed circuit board according to various embodiments.

도 1을 참조하면, 본 발명의 실시예에 따른 인쇄회로기판은, 절연재(110), 회로층(120) 및 금속층(130)을 포함하고, 상기 금속층(130)의 전기전도율은 상기 회로층(120)의 전기전도율보다 작고, 상기 절연재(110)의 상기 일면 측에 위치하는 금속층(131)의 두께는, 상기 절연재(110) 상기 타면 측에 위치하는 금속층(132)의 두께보다 클 수 있다.1, the printed circuit board according to an embodiment of the present invention includes an insulating material 110, a circuit layer 120 and a metal layer 130, and the electrical conductivity of the metal layer 130 is the circuit layer ( 120), and the thickness of the metal layer 131 positioned on the one side of the insulating material 110 may be greater than the thickness of the metal layer 132 positioned on the other side of the insulating material 110.

절연재(110)는 수지와 같은 절연물질로 조성되는 자재로, 얇은 판상이다. 절연재(110)의 측면을 제외한, 서로 대향하는 양면을 일면 및 타면으로 일컬을 수 있다. 즉, 절연재(110)는 일면 및 타면을 구비할 수 있다.The insulating material 110 is a material composed of an insulating material such as resin, and has a thin plate shape. Except for the side surface of the insulating material 110 , both surfaces facing each other may be referred to as one surface and the other surface. That is, the insulating material 110 may have one surface and the other surface.

절연재(110)의 수지는 열경화성 수지, 열가소성 수지 등의 다양한 소재일 수 있으며, 구체적으로 에폭시 수지 또는 폴리이미드 등일 수 있다. 여기서, 에폭시 수지는, 예를 들어, 나프탈렌계 에폭시 수지, 비스페놀 A형 에폭시 수지, 비스페놀 F형 에폭시 수지, 노볼락계 에폭시 수지, 크레졸 노볼락계 에폭시 수지, 고무 변성형 에폭시 수지, 고리형 알리파틱계 에폭시 수지, 실리콘계 에폭시 수지, 질소계 에폭시 수지, 인계 에폭시 수지 등일 수 있으나, 이에 한정되지 않는다.The resin of the insulating material 110 may be various materials such as a thermosetting resin or a thermoplastic resin, and specifically, may be an epoxy resin or polyimide. Here, the epoxy resin is, for example, a naphthalene type epoxy resin, a bisphenol A type epoxy resin, a bisphenol F type epoxy resin, a novolak type epoxy resin, a cresol novolak type epoxy resin, a rubber modified type epoxy resin, a cyclic alipha It may be a tick-based epoxy resin, a silicone-based epoxy resin, a nitrogen-based epoxy resin, a phosphorus-based epoxy resin, and the like, but is not limited thereto.

절연재(110)는 프리프레그(PPG) 또는 빌드업 필름(build up film)일 수 있다. 프리프레그의 경우에는 상기 수지에 유리섬유(glass cloth)와 같은 섬유 보강재가 포함될 수 있다. 빌드업 필름의 경우에는 상기 수지에 실리카와 같은 무기 필러(filler)가 충진될 수 있다. 이러한 빌드업 필름으로는 ABF(Ajinomoto Build-up Film) 등이 사용될 수 있다.The insulating material 110 may be a prepreg (PPG) or a build-up film. In the case of the prepreg, a fiber reinforcement such as glass cloth may be included in the resin. In the case of the build-up film, an inorganic filler such as silica may be filled in the resin. As such a build-up film, Ajinomoto Build-up Film (ABF) or the like may be used.

절연재(110)는 인쇄회로기판의 중간에 위치하는 코어(core)일 수 있으며, 또는 코어 상에 적층되는 각각의 층일 수 있다. The insulating material 110 may be a core positioned in the middle of the printed circuit board, or may be each layer laminated on the core.

회로층(120)은 절연재(110)의 일면 및 타면에 형성되어 전기신호를 전달하기 위하여 패턴화 되어 있는 전도체이다. 회로층(120)은 복수의 회로패턴의 집합으로 이해할 수 있으며, 회로층(120)의 각 회로패턴은 소정의 폭과 두께를 가지도록 형성되고, 회로 디자인 설계에 따라 길이, 방향 등이 결정된다.The circuit layer 120 is a conductor that is formed on one surface and the other surface of the insulating material 110 and is patterned to transmit electrical signals. The circuit layer 120 may be understood as a set of a plurality of circuit patterns, and each circuit pattern of the circuit layer 120 is formed to have a predetermined width and thickness, and the length and direction are determined according to the circuit design design. .

회로층(120)은 금속으로 형성될 수 있으며, 전기전도 특성을 고려하여 구리(Cu), 팔라듐(Pd), 알루미늄(Al), 니켈(Ni), 티타늄(Ti), 금(Au), 백금(Pt) 등의 금속 또는 이들의 합금으로 이루어질 수 있다. The circuit layer 120 may be formed of a metal, and in consideration of electrical conductivity, copper (Cu), palladium (Pd), aluminum (Al), nickel (Ni), titanium (Ti), gold (Au), platinum It may be made of a metal such as (Pt) or an alloy thereof.

회로층(120)은 시드층(S1)을 포함할 수 있다. 시드층(S1)은 회로층(120)과 동일한 금속으로 형성될 수 있다. 시드층(S1)의 존재는 회로층(120) 형성 공법에 따라 결정될 수 있으며, 특히, 회로층(120)이 SAP, MSAP 등의 공법으로 형성되는 경우에, 회로층(120)에는 시드층(S1)이 포함될 수 있다. The circuit layer 120 may include a seed layer S1 . The seed layer S1 may be formed of the same metal as the circuit layer 120 . The presence of the seed layer S1 may be determined according to the method of forming the circuit layer 120 . In particular, when the circuit layer 120 is formed by a method such as SAP or MSAP, the circuit layer 120 includes a seed layer ( S1) may be included.

도 1에서는 회로층(120)이 SAP 공법으로 형성된 예라고 이해할 수 있고, 여기서 시드층(S1)은 절연재(110)의 일면 및 타면에 직접 형성된다. 이와 달리, 회로층(120)이 MSAP 공법으로 형성된다면, 시드층(S4)은 절연재(110)의 일면 및 타면과 약간 이격되게 나타날 수 있다(도 21(c) 참고). 여기서, 시드층(S4)과 절연재(110)의 일면(또는 타면) 간의 이격 거리는 MSAP에서 사용되는 원자재의 얇은 금속박(동박)(M) 두께와 일치할 것이다. In FIG. 1 , it can be understood that the circuit layer 120 is an example formed by the SAP method, wherein the seed layer S1 is directly formed on one surface and the other surface of the insulating material 110 . Alternatively, if the circuit layer 120 is formed by the MSAP method, the seed layer S4 may appear slightly spaced apart from one surface and the other surface of the insulating material 110 (refer to FIG. 21(c) ). Here, the separation distance between the seed layer S4 and the one surface (or the other surface) of the insulating material 110 will match the thickness of the thin metal foil (copper foil) M of the raw material used in the MSAP.

도 1을 참조하여 발명을 설명하고 있으나, 회로층(120)이 반드시 SAP 공법으로 형성되어야 한다는 것은 아니며, MSAP 를 포함한 다른 공법을 배제하는 것 또한 아니다. 예를 들어, 도 21(b)와 같이 subtractive 또는 tenting 공법으로 회로층(120)을 형성하는 경우에는 회로층(120)은 시드층을 포함하지 않을 수 있으며, 이는 도 21(a)의 SAP 공법으로 형성한 회로층(120)과 차이가 있다. Although the invention has been described with reference to FIG. 1 , the circuit layer 120 does not necessarily have to be formed by the SAP method, nor does it exclude other methods including MSAP. For example, when the circuit layer 120 is formed by a subtractive or tenting method as shown in FIG. 21(b), the circuit layer 120 may not include a seed layer, which is the SAP method of FIG. 21(a). It is different from the circuit layer 120 formed by

회로층(120)은 절연재(110)의 일면에 형성되는 제1 회로층(121)과 절연재(110)의 타면에 형성되는 제2 회로층(122)으로 구분될 수 있다.The circuit layer 120 may be divided into a first circuit layer 121 formed on one surface of the insulating material 110 and a second circuit layer 122 formed on the other surface of the insulating material 110 .

회로층(120)은 절연재(110)의 일면에 형성되는 제1 회로층(121)과 절연재(110)의 타면에 형성되는 제2 회로층(122)은 실질적으로 동일한 두께를 가질 수 있으며, 예를 들어, 제1 회로층(121) 및 제2 회로층(122)의 두께는 15um일 수 있다.In the circuit layer 120 , the first circuit layer 121 formed on one surface of the insulating material 110 and the second circuit layer 122 formed on the other surface of the insulating material 110 may have substantially the same thickness. For example, the thickness of the first circuit layer 121 and the second circuit layer 122 may be 15 μm.

금속층(130)은 회로층(120) 상에 형성되며, 금속으로 이루어진 층이다. 금속층(130)의 금속은 합금 소재일 수 있으며, 구체적으로 인바(invar)와 같은 Fe-Ni(니켈강) 합금, Cu-Zn 합금인 황동(brass)과 같은 구리 합금일 수 있다. The metal layer 130 is formed on the circuit layer 120 and is a layer made of metal. The metal of the metal layer 130 may be an alloy material, and specifically, a Fe-Ni (nickel steel) alloy such as invar, or a copper alloy such as brass, which is a Cu-Zn alloy.

금속층(130)은 회로층(120)과 접촉되도록 형성될 수 있고, 회로층(120)의 폭과 일치하게 형성될 수 있다. 이 경우, 평면도에서는 금속층(130)만 관찰되고 회로층(120)은 관찰되지 않을 수 있다. 다만, 이러한 형상으로 한정되는 것은 아니며, 금속층(130)과 회로층(120)이 접촉되지 않는 구조에 대해서는 후술하기로 한다.The metal layer 130 may be formed to contact the circuit layer 120 , and may be formed to match the width of the circuit layer 120 . In this case, only the metal layer 130 may be observed and the circuit layer 120 may not be observed in the plan view. However, it is not limited to this shape, and a structure in which the metal layer 130 and the circuit layer 120 do not contact will be described later.

금속층(130)의 전기전도율은 회로층(120)의 전기전도율보다 작다. 따라서, 전기신호는 실질적으로 회로층(120)으로 전달될 수 있다.The electrical conductivity of the metal layer 130 is smaller than the electrical conductivity of the circuit layer 120 . Accordingly, the electrical signal may be substantially transmitted to the circuit layer 120 .

금속층(130)의 두께는 회로층(120)의 두께보다 작을 수 있다. 금속층(130)의 두께는 결합하고 있는 회로층(120)의 두께의 2/3을 넘지 않는다.The thickness of the metal layer 130 may be smaller than the thickness of the circuit layer 120 . The thickness of the metal layer 130 does not exceed 2/3 of the thickness of the circuit layer 120 to which it is coupled.

금속층(130)의 전기전도율이 회로층(120)의 전기전도율보다 작기 때문에, 금속층(130)은 회로층(120) 보다 작은 두께로 형성됨으로써, 효과적인 신호 전달을 도모할 수 있다. 여기서, 회로층(120)은 15um의 두께, 금속층(130)은 2-5um의 두께로 형성될 수 있다.Since the electrical conductivity of the metal layer 130 is smaller than the electrical conductivity of the circuit layer 120 , the metal layer 130 is formed to have a smaller thickness than the circuit layer 120 , thereby achieving effective signal transmission. Here, the circuit layer 120 may have a thickness of 15 μm, and the metal layer 130 may have a thickness of 2-5 μm.

금속층(130)은 제1 회로층(121) 상에 형성되는 제1 금속층(131)과 제2 회로층(122) 상에 형성되는 제2 금속층(132)을 포함한다. 즉, 제1 금속층(131)은 절연재(110)의 일면 측에 형성되고, 제2 금속층(132)은 절연재(110)의 타면 측에 형성된다.The metal layer 130 includes a first metal layer 131 formed on the first circuit layer 121 and a second metal layer 132 formed on the second circuit layer 122 . That is, the first metal layer 131 is formed on one side of the insulating material 110 , and the second metal layer 132 is formed on the other side of the insulating material 110 .

절연재(110)의 일면 측에 위치하는 금속층(131)의 두께는, 절연재(110)의 타면 측에 위치하는 금속층(132)의 두께보다 클 수 있다. 즉, 제1 금속층(131)의 두께는 제2 금속층(132)의 두께보다 클 수 있다.The thickness of the metal layer 131 positioned on one side of the insulating material 110 may be greater than the thickness of the metal layer 132 positioned on the other side of the insulating material 110 . That is, the thickness of the first metal layer 131 may be greater than the thickness of the second metal layer 132 .

인쇄회로기판이 제조 공정에서 열처리 됨에 따라, 인쇄회로기판에는 휨이 발생할 수 있다. 금속층(130)은 인쇄회로기판의 휨(warpage)을 제어할 수 있으며, 특히, 절연재(110)의 양면에 형성된 금속층(130)의 두께를 서로 다르게 함으로써 인쇄회로기판의 휨은 효과적으로 제어될 수 있다. As the printed circuit board is heat treated in the manufacturing process, warpage may occur in the printed circuit board. The metal layer 130 can control warpage of the printed circuit board, and in particular, by making the thickness of the metal layer 130 formed on both sides of the insulating material 110 different from each other, the warpage of the printed circuit board can be effectively controlled. .

예를 들어, 금속층이 없는 경우에 인쇄회로기판이 (측면에서 보았을 때) 아래로 볼록하게 휜다면(smile) 절연재(110) 하면 측의 금속층(130)을 상대적으로 두껍게 형성하여 휨을 저감할 수 있고, 반대로, 금속층이 없는 경우에 인쇄회로기판이 위로 볼록하게 휜다면(crying) 절연재(110) 상면 측의 금속층(130)을 상대적으로 두껍게 형성하여 휨을 저감할 수 있다.For example, if the printed circuit board is bent convexly downward (when viewed from the side) when there is no metal layer (smile), the metal layer 130 on the lower surface of the insulating material 110 is formed relatively thickly to reduce warpage and , Conversely, if the printed circuit board is bent convexly upward when there is no metal layer (crying), the metal layer 130 on the upper surface side of the insulating material 110 is formed to be relatively thick to reduce warpage.

금속층(130)의 열팽창계수는 회로층(120)의 열팽창계수보다 작을 수 있고, 이 경우, 금속층(130)의 강성(rigidity)은 회로층(120)의 강성보다 클 수 있다. 또는, 금속층(130)의 열팽창계수는 회로층(120)의 열팽창계수보다 클 수 있고, 이 경우, 금속층(130)의 강성은 회로층(120)의 강성보다 작을 수 있다.The coefficient of thermal expansion of the metal layer 130 may be smaller than the coefficient of thermal expansion of the circuit layer 120 . In this case, the rigidity of the metal layer 130 may be greater than that of the circuit layer 120 . Alternatively, the coefficient of thermal expansion of the metal layer 130 may be greater than that of the circuit layer 120 , and in this case, the rigidity of the metal layer 130 may be less than that of the circuit layer 120 .

여기서, 강성은 외력에 대한 변형률을 의미하고, 단순하게는 축방향력(수직응력)이 주어질 때 변형률이라고 볼 수 있다. 이러한 강성은 탄성계수(modulus of elasticity) 또는 영률(Young's modulus)에 따라 달라지며, 탄성계수 또는 영률이 클수록 강성은 크다고 이해할 수 있다.Here, rigidity means the strain with respect to an external force, and it can be simply regarded as the strain when an axial force (normal stress) is given. This stiffness depends on the modulus of elasticity or Young's modulus, and it can be understood that the greater the modulus or Young's modulus, the greater the stiffness.

금속층(130)의 열팽창계수는 회로층(120)의 열팽창계수보다 작고, 금속층(130)의 강성은 회로층(120)의 강성보다 큰 경우로서, 회로층(120)이 구리, 금속층(130)이 인바로 형성되는 예가 있다. 또한, 금속층(130)의 열팽창계수는 회로층(120)의 열팽창계수보다 크고, 금속층(130)의 강성은 회로층(120)의 강성보다 작은 경우로서, 회로층(120)이 구리, 금속층(130)이 황동으로 형성되는 예가 있다.The coefficient of thermal expansion of the metal layer 130 is smaller than the coefficient of thermal expansion of the circuit layer 120 , and the rigidity of the metal layer 130 is greater than that of the circuit layer 120 . There is an example in which this invar is formed. In addition, the thermal expansion coefficient of the metal layer 130 is greater than the thermal expansion coefficient of the circuit layer 120, and the rigidity of the metal layer 130 is smaller than the rigidity of the circuit layer 120, and the circuit layer 120 is made of copper, metal layer ( 130) is formed of brass.

어느 경우에나, 금속층(130)의 열팽창계수는 절연재(110)의 수지의 열팽창계수보다 작고, 금속층(130)의 강성은 절연재(110)의 수지의 강성보다 크므로, 절연재(110) 양면에 형성되는 금속층(131, 132)의 두께 차이, 즉, 제1 금속층(131)과 제2 금속층(132)의 두께 차이를 조절함으로써 인쇄회로기판의 휨을 제어할 수 있다.In any case, the thermal expansion coefficient of the metal layer 130 is smaller than the thermal expansion coefficient of the resin of the insulating material 110 , and the rigidity of the metal layer 130 is greater than the rigidity of the resin of the insulating material 110 , so it is formed on both sides of the insulating material 110 . The warpage of the printed circuit board may be controlled by adjusting the thickness difference between the metal layers 131 and 132 , that is, the thickness difference between the first metal layer 131 and the second metal layer 132 .

한편, 제1 금속층(131)과 제2 금속층(132)의 두께 차이는 절연재(110) 양면의 배선밀도(wiring density) 차이, 즉, 제1 회로층(121)과 제2 회로층(122)의 배선밀도 차이에 따라 결정될 수 있다. 회로층(120)의 배선밀도는 회로층(120)의 부피로 결정된다. 요컨대 금속층(130)의 두께는 회로층(120)의 부피를 고려하여 설정될 수 있다. 여기서, 회로층(120)의 부피는 회로층(120)을 구성하는 복수의 회로패턴의 전체 부피를 의미한다.On the other hand, the difference in the thickness of the first metal layer 131 and the second metal layer 132 is a wiring density difference between both surfaces of the insulating material 110 , that is, the first circuit layer 121 and the second circuit layer 122 . can be determined according to the difference in wiring density of The wiring density of the circuit layer 120 is determined by the volume of the circuit layer 120 . In other words, the thickness of the metal layer 130 may be set in consideration of the volume of the circuit layer 120 . Here, the volume of the circuit layer 120 means the total volume of the plurality of circuit patterns constituting the circuit layer 120 .

예를 들어, 절연재(110)의 일면 측에 위치하는 제1 회로층(121)의 부피가 절연재(110)의 타면 측에 위치하는 제2 회로층(122)의 부피보다 작은 경우에, 절연재(110)의 일면 측에 위치하는 제1 금속층(131)의 두께가 절연재(110) 타면 측에 위치하는 제2 금속층(132)의 두께보다 클 수 있다.For example, when the volume of the first circuit layer 121 positioned on one side of the insulating material 110 is smaller than the volume of the second circuit layer 122 positioned on the other side of the insulating material 110, the insulating material ( The thickness of the first metal layer 131 positioned on one side of the 110 may be greater than the thickness of the second metal layer 132 positioned on the other side of the insulating material 110 .

구체적으로, 절연재(110) 상면에 위치하는 회로층(120)의 부피가 작고, 절연재(110) 하면에 위치하는 회로층(120)의 부피가 큰 경우에, 열팽창계수는 절연재(110)의 상면이 상대적으로 크고, 강성은 절연재(110)의 상면이 상대적으로 작으므로, 인쇄회로기판의 열처리 시에, 위로 볼록한 형상으로 휨이 발생할 수 있으며, 절연재(110) 상면에 위치하는 금속층(130)의 두께를 절연재(110) 하면에 위치하는 금속층(130)의 두께보다 크게 함으로써 절연재(110) 상하면의 열팽창률 및 강성의 균형을 맞추어 인쇄회로기판 휨을 제어할 수 있다.Specifically, when the volume of the circuit layer 120 positioned on the upper surface of the insulating material 110 is small and the volume of the circuit layer 120 positioned on the lower surface of the insulating material 110 is large, the coefficient of thermal expansion is the upper surface of the insulating material 110 . This is relatively large and the rigidity of the upper surface of the insulating material 110 is relatively small, so during the heat treatment of the printed circuit board, bending may occur in a convex shape, and the metal layer 130 located on the upper surface of the insulating material 110 By making the thickness greater than the thickness of the metal layer 130 positioned on the lower surface of the insulating material 110 , the printed circuit board warpage can be controlled by balancing the coefficient of thermal expansion and rigidity of the upper and lower surfaces of the insulating material 110 .

반대로, 절연재(110) 상면에 위치하는 회로층(120)의 부피가 크고, 절연재(110) 하면에 위치하는 회로층(120)의 부피가 작은 경우에, 열팽창계수는 절연재(110)의 하면이 상대적으로 크고, 강성은 절연재(110)의 하면이 상대적으로 작으므로, 인쇄회로기판의 열처리 시에, 아래로 볼록한 형상으로 휨이 발생할 수 있으며, 절연재(110) 하면에 위치하는 금속층(130)의 두께를 절연재(110) 상면에 위치하는 금속층(130)의 두께보다 크게 함으로써 절연재(110) 상하면의 열팽창률 및 강성의 균형을 맞추어 인쇄회로기판 휨을 제어할 수 있다.Conversely, when the volume of the circuit layer 120 positioned on the upper surface of the insulating material 110 is large and the volume of the circuit layer 120 positioned on the lower surface of the insulating material 110 is small, the coefficient of thermal expansion is the lower surface of the insulating material 110 . Since the lower surface of the insulating material 110 is relatively large, and the rigidity is relatively small, bending may occur in a convex shape downward during heat treatment of the printed circuit board, and the metal layer 130 located on the lower surface of the insulating material 110 may be By making the thickness greater than the thickness of the metal layer 130 positioned on the upper surface of the insulating material 110 , the bending of the printed circuit board can be controlled by balancing the coefficient of thermal expansion and rigidity of the upper and lower surfaces of the insulating material 110 .

결국, 금속층(130)은 회로층(120)에 비하여 전기전도율과 두께가 작아, 회로층(120)을 통한 전기신호 전달에는 실질적으로 관여하지 않으면서, 절연재(110) 양면에 대한 금속층(131, 132) 두께 차이에 따라 인쇄회로기판의 휨을 제어하는 역할을 할 수 있다.As a result, the metal layer 130 has small electrical conductivity and thickness compared to the circuit layer 120, and does not substantially participate in electrical signal transmission through the circuit layer 120, while the metal layer 131 on both sides of the insulating material 110, 132) Depending on the thickness difference, it can play a role in controlling the warpage of the printed circuit board.

도 2를 참조하면, 본 발명의 실시예에 따른 인쇄회로기판은 관통비아(140)를 포함할 수 있다.Referring to FIG. 2 , the printed circuit board according to the embodiment of the present invention may include a through via 140 .

관통비아(140)는 절연재(110) 내부를 관통하여 형성되고, 절연재(110)의 일면에 형성된 제1 회로층(121)과 절연재(110) 타면에 형성된 제2 회로층(122)을 연결한다. The through via 140 is formed through the inside of the insulating material 110 , and connects the first circuit layer 121 formed on one surface of the insulating material 110 and the second circuit layer 122 formed on the other surface of the insulating material 110 . .

관통비아(140)는 절연재(110) 내부를 관통하는 관통비아홀(141) 내부에 도전층이 형성됨으로써 만들어질 수 있다. 여기서, 도전층은 도금층, 전도성페이스트, 전도성잉크 등을 포함할 수 있다.The through-via 140 may be formed by forming a conductive layer inside the through-via hole 141 penetrating the inside of the insulating material 110 . Here, the conductive layer may include a plating layer, conductive paste, conductive ink, and the like.

한편, 관통비아(140)와 회로층(120)은 시드층(S1)을 포함할 수 있고, 시드층(S1)은 관통비아홀(141) 내벽 및 절연재(110)의 일면 및 타면에 형성될 수 있다. 이 경우, 관통비아(140)의 도전층은 무전해도금으로 형성된 시드층(S1)과 전해도금으로 형성된 전해도금층을 포함할 수 있다.Meanwhile, the through-via 140 and the circuit layer 120 may include a seed layer S1 , and the seed layer S1 may be formed on the inner wall of the through-via hole 141 and one and the other surfaces of the insulating material 110 . have. In this case, the conductive layer of the through-via 140 may include a seed layer S1 formed by electroless plating and an electrolytic plating layer formed by electroplating.

도 3을 참조하면, 본 발명의 실시예에 따른 인쇄회로기판은 관통비아(140) 및 합금층(150)을 포함할 수 있다.Referring to FIG. 3 , the printed circuit board according to the embodiment of the present invention may include a through-via 140 and an alloy layer 150 .

관통비아(140)는 절연재(110) 내부를 관통하여 형성되고, 절연재(110)의 일면에 형성된 제1 회로층(121)과 절연재(110) 타면에 형성된 제2 회로층(122)을 연결한다. The through via 140 is formed through the inside of the insulating material 110 , and connects the first circuit layer 121 formed on one surface of the insulating material 110 and the second circuit layer 122 formed on the other surface of the insulating material 110 . .

관통비아(140)는 절연재(110) 내부를 관통하는 관통비아홀(141) 내부에 도전층이 형성됨으로써 만들어질 수 있다. The through-via 140 may be formed by forming a conductive layer inside the through-via hole 141 penetrating the inside of the insulating material 110 .

합금층(150)은 절연재(110) 및 관통비아(140) 사이, 그리고 절연재(110) 및 회로층(120) 사이에 형성될 수 있다. 합금층(150)은 금속층(130)과 동일한 금속으로 형성될 수 있다. The alloy layer 150 may be formed between the insulating material 110 and the through-via 140 , and between the insulating material 110 and the circuit layer 120 . The alloy layer 150 may be formed of the same metal as the metal layer 130 .

도 3에 도시된 바와 같이, 합금층(150)은 시드층(S2)을 포함할 수 있다. 시드층(S2)은 합금층(150)과 동일한 금속으로 형성될 수 있다. 시드층(S2)은 관통비아홀(141) 내벽 및 절연재(110)의 일면 및 타면에 형성될 수 있다. 이 경우, 상기 도전층은 도금층, 특히 전해도금으로 형성된 도금층일 수 있다. 또한, 이 경우, 관통비아(140)의 폭은 관통비아홀(141)의 폭보다 작다.As shown in FIG. 3 , the alloy layer 150 may include a seed layer S2 . The seed layer S2 may be formed of the same metal as the alloy layer 150 . The seed layer S2 may be formed on the inner wall of the through-via hole 141 and one and the other surfaces of the insulating material 110 . In this case, the conductive layer may be a plating layer, particularly a plating layer formed by electroplating. Also, in this case, the width of the through-via 140 is smaller than the width of the through-via hole 141 .

도 4를 참조하면, 도 3을 참조하여 설명한 합금층(150)에 있어서, 절연재(110)의 일면에 위치하는 제1 합금층(151)의 두께는, 절연재(110)의 타면에 위치하는 제2 합금층(152)의 두께보다 클 수 있다. 관통비아홀(141) 내벽, 즉, 절연재(110) 및 관통비아(140) 사이에 형성되는 제3 합금층(153)의 두께는 제1 합금층(151) 및/또는 제2 합금층(152)의 두께와 동일하거나 상이할 수 있으나, 관통비아(140)의 폭을 확보하기 위해서 지나치게 크지 않아야 하므로, 제2 합금층(152)의 두께보다 작을 수 있다.Referring to FIG. 4 , in the alloy layer 150 described with reference to FIG. 3 , the thickness of the first alloy layer 151 positioned on one surface of the insulating material 110 is the thickness of the first alloy layer 151 positioned on the other surface of the insulating material 110 . 2 It may be greater than the thickness of the alloy layer 152 . The thickness of the third alloy layer 153 formed between the inner wall of the through-via hole 141 , that is, the insulating material 110 and the through-via 140 , is determined by the first alloy layer 151 and/or the second alloy layer 152 . It may be the same as or different from the thickness of the through-via 140 , but should not be too large to secure the width of the through-via 140 , so it may be smaller than the thickness of the second alloy layer 152 .

도 5를 참조하면, 본 발명의 실시예에 따른 인쇄회로기판은 솔더 레지스트층(170)을 포함할 수 있다.Referring to FIG. 5 , the printed circuit board according to the embodiment of the present invention may include a solder resist layer 170 .

솔더 레지스트층(170)은 금속층(130) 상에 적층되며, 감광성 절연물질로 형성될 수 있다. 솔더 레지스트층(170)에는 개구부(O)가 형성되고, 개구부(O)를 통하여 회로층(120)이 노출될 수 있다. 회로층(120)의 노출된 영역은 전자부품을 연결하기 위한 와이어 본딩 패드(pad) 또는 솔더볼 패드(pad)가 된다. 솔더 레지스트층(170)의 개구부(O)를 통하여 회로층(120)이 노출되기 위해서, 금속층(130)은 개구부(O) 영역에는 형성되지 않을 수 있다. 금속층(130)의 전기전도율은 회로층(120)의 전기전도율보다 작으므로, 패드가 되는 영역은 금속층(130)이 아닌 회로층(120)의 일부인 것이 전기신호 전달 측면에서 유리하다.The solder resist layer 170 is stacked on the metal layer 130 and may be formed of a photosensitive insulating material. An opening O may be formed in the solder resist layer 170 , and the circuit layer 120 may be exposed through the opening O . The exposed region of the circuit layer 120 becomes a wire bonding pad or a solder ball pad for connecting electronic components. In order to expose the circuit layer 120 through the opening O of the solder resist layer 170 , the metal layer 130 may not be formed in the opening O region. Since the electrical conductivity of the metal layer 130 is smaller than that of the circuit layer 120 , it is advantageous in terms of electrical signal transmission that the pad region is a part of the circuit layer 120 rather than the metal layer 130 .

도 6을 참조하면, 본 발명의 실시예에 따른 인쇄회로기판은, 도 5를 참조하여 설명한 인쇄회로기판에서 표면처리층(171)을 더 포함할 수 있다.Referring to FIG. 6 , the printed circuit board according to the embodiment of the present invention may further include a surface treatment layer 171 in the printed circuit board described with reference to FIG. 5 .

표면처리층(171)은, 솔더 레지스트층(170)의 개구부(O)를 통하여 노출되는 회로층(120)의 영역 상에 형성되어, 회로층(120)의 산화를 방지할 수 있다. 표면처리층(171)은 금속으로 형성될 수 있다. 금속 소재의 표면처리층(171)은 무으로 형성될 수 있다. 또한, 표면처리층(171)은 복수의 층으로 구성될 수 있다. 예를 들어, 표면처리층(171)은 금으로 형성될 수 있다. 또한, 표면처리층(171')은, 니켈층 및 금층의 복수 층으로 형성될 수 있다. 이 경우, '회로층(구리층)-니켈층-금층' 순으로 형성되어, 니켈층이 구리층과 금층 간의 확산을 방지할 수 있다. 한편, 표면처리층(171)은 OSP 등의 비금속으로 형성될 수 있다. The surface treatment layer 171 is formed on the region of the circuit layer 120 exposed through the opening O of the solder resist layer 170 to prevent oxidation of the circuit layer 120 . The surface treatment layer 171 may be formed of a metal. The surface treatment layer 171 made of a metal material may be formed of nothing. In addition, the surface treatment layer 171 may be composed of a plurality of layers. For example, the surface treatment layer 171 may be formed of gold. Also, the surface treatment layer 171 ′ may be formed of a plurality of layers of a nickel layer and a gold layer. In this case, the 'circuit layer (copper layer)-nickel layer-gold layer' is formed in the order, so that the nickel layer can prevent diffusion between the copper layer and the gold layer. Meanwhile, the surface treatment layer 171 may be formed of a non-metal such as OSP.

도 7을 참조하면, 본 발명의 실시예에 따른 인쇄회로기판은, 빌드업층(160)을 포함할 수 있다. 빌드업층(160)은 절연층(161, 162), 빌드업회로층(163, 164), 비아(165), 빌드업금속층(167, 168) 등을 포함할 수 있다. 도 7에는 양면에 각각 빌드업층(160)이 한 층씩 형성되어, 인쇄회로기판이 (회로층 수 기준으로)4층으로 도시되어 있으나, 빌드업층(160)은 복수로 형성될 수 있어, 인쇄회로기판이 4층, 6층, 8층… 등과 같이 다양한 회로층 수를 가질 수 있다.Referring to FIG. 7 , the printed circuit board according to the embodiment of the present invention may include a build-up layer 160 . The build-up layer 160 may include insulating layers 161 and 162 , build-up circuit layers 163 and 164 , vias 165 , and build-up metal layers 167 and 168 . In FIG. 7 , one buildup layer 160 is formed on each side of the printed circuit board as four layers (based on the number of circuit layers). The substrate is 4 layers, 6 layers, 8 layers... The number of circuit layers may vary.

절연층(161, 162)은 금속층(130) 상에 적층되며, 제1 절연층(161)은 제1 금속층(131) 상에 및 제2 절연층(162)은 제2 금속층(132) 상에 각각 적층된다. The insulating layers 161 and 162 are stacked on the metal layer 130 , the first insulating layer 161 is on the first metal layer 131 and the second insulating layer 162 is on the second metal layer 132 . each is stacked.

절연층(161, 162)은 수지와 같은 절연물질로 조성되며, 절연층(161, 162)의 수지는 열경화성 수지, 열가소성 수지 등의 다양한 소재일 수 있으며, 구체적으로 에폭시 수지 또는 폴리이미드 등일 수 있다. The insulating layers 161 and 162 are made of an insulating material such as resin, and the resin of the insulating layers 161 and 162 may be various materials such as a thermosetting resin or a thermoplastic resin, and specifically, it may be an epoxy resin or polyimide, etc. .

절연층(161, 162)은 프리프레그(PPG) 또는 빌드업 필름(build up film)일 수 있다. 프리프레그의 경우에는 상기 수지에 유리섬유(glass cloth)와 같은 섬유 보강재가 포함될 수 있다. 빌드업 필름의 경우에는 상기 수지에 실리카와 같은 무기 필러(filler)가 충진될 수 있다. 이러한 빌드업 필름으로는 ABF(Ajinomoto Build-up Film) 등이 사용될 수 있다.The insulating layers 161 and 162 may be a prepreg (PPG) or a build-up film. In the case of the prepreg, a fiber reinforcement such as glass cloth may be included in the resin. In the case of the build-up film, an inorganic filler such as silica may be filled in the resin. As such a build-up film, Ajinomoto Build-up Film (ABF) or the like may be used.

절연층(161, 162)은 절연재(110)와 동일한 물질로 형성될 수 있으며, 서로 다른 물질로 형성될 수도 있다. 예를 들어, 절연재(110)는 프리프레그이고, 절연층(161, 162)은 빌드업 필름으로 형성될 수 있다.The insulating layers 161 and 162 may be formed of the same material as the insulating material 110 or may be formed of different materials. For example, the insulating material 110 may be a prepreg, and the insulating layers 161 and 162 may be formed of a build-up film.

빌드업회로층(163, 164)은 절연층(161, 162) 상에 형성되어 전기신호를 전달하기 위하여 패턴화 되어 있는 전도체이다. 빌드업회로층(163, 164)은 상술한 회로층(120)과 기능 측면에서 실질적으로 동일하나 설명을 위해 구분할 필요가 있어 빌드업회로층(163, 164)이라는 용어를 도입하였다. The build-up circuit layers 163 and 164 are conductors formed on the insulating layers 161 and 162 and patterned to transmit electrical signals. The build-up circuit layers 163 and 164 are substantially the same as the above-described circuit layer 120 in terms of function, but they need to be distinguished for explanation, so the terms build-up circuit layers 163 and 164 are introduced.

빌드업회로층(163, 164)은 복수의 회로패턴의 집합으로 이해할 수 있다. 회로층(120)과 빌드업회로층(163, 164)은 기능적으로는 동일한 구성으로 이해할 수 있어 상술한 회로층(120)에 대한 설명은 빌드업회로층(163, 164)에도 적용된다. 다만, 형성되는 위치가 서로 다르다. 회로층(120)은 코어인 절연재(110) 상에 형성되는 회로패턴의 집합이고, 빌드업회로층(163, 164)은 절연재(110) 상에 적층되는 절연층(161, 162) 상에 형성되는 회로패턴의 집합이다. 빌드업회로층(163, 164)이 두께는 회로층(120)의 두께와 실질적으로 동일할 수 있다. The build-up circuit layers 163 and 164 may be understood as a set of a plurality of circuit patterns. The circuit layer 120 and the build-up circuit layers 163 and 164 may be functionally understood to have the same configuration, so that the description of the circuit layer 120 is also applied to the build-up circuit layers 163 and 164 . However, the formed positions are different from each other. The circuit layer 120 is a set of circuit patterns formed on the insulating material 110 as a core, and the build-up circuit layers 163 and 164 are formed on the insulating layers 161 and 162 stacked on the insulating material 110 . It is a set of circuit patterns that become The build-up circuit layers 163 and 164 may have substantially the same thickness as the circuit layer 120 .

빌드업회로층(163, 164)은 금속으로 형성될 수 있으며, 전기전도 특성을 고려하여 구리(Cu), 팔라듐(Pd), 알루미늄(Al), 니켈(Ni), 티타늄(Ti), 금(Au), 백금(Pt) 등의 금속 또는 이들의 합금으로 이루어질 수 있다. The build-up circuit layers 163 and 164 may be formed of metal, and in consideration of electrical conductivity, copper (Cu), palladium (Pd), aluminum (Al), nickel (Ni), titanium (Ti), gold ( Au), a metal such as platinum (Pt), or an alloy thereof may be formed.

빌드업회로층(163, 164)은 시드층(S3)을 포함할 수 있다. 시드층(S3)은 빌드업회로층(163, 164)과 동일한 금속으로 형성될 수 있다. 시드층(S3)의 존재는 빌드업회로층(163, 164) 형성 공법에 따라 결정될 수 있으며, 특히, 빌드업회로층(163, 164)이 SAP, MSAP 등의 공법으로 형성되는 경우에, 빌드업회로층(163, 164)에는 시드층(S3)이 포함될 수 있다. The buildup circuit layers 163 and 164 may include a seed layer S3 . The seed layer S3 may be formed of the same metal as the build-up circuit layers 163 and 164 . The presence of the seed layer S3 may be determined according to a method of forming the build-up circuit layers 163 and 164 . In particular, when the build-up circuit layers 163 and 164 are formed by a method such as SAP or MSAP, build A seed layer S3 may be included in the up-circuit layers 163 and 164 .

도 7을 참조하여 발명을 설명하고 있으나, 빌드업회로층(163, 164)이 반드시 SAP 공법으로 형성되어야 한다는 것은 아니며, MSAP 를 포함한 다른 공법을 배제하는 것 또한 아니다. Although the invention has been described with reference to FIG. 7 , the build-up circuit layers 163 and 164 are not necessarily formed by the SAP method, and other methods including MSAP are not excluded.

빌드업회로층(163, 164)은 절연재(110)의 일면 측에 형성되는 제1 빌드업회로층(163)과 절연재(110)의 타면 측에 형성되는 제2 빌드업회로층(164)으로 구분될 수 있다.The build-up circuit layers 163 and 164 are a first build-up circuit layer 163 formed on one side of the insulating material 110 and a second build-up circuit layer 164 formed on the other side of the insulating material 110 . can be distinguished.

제1 빌드업회로층(163)과 제2 빌드업회로층(164)은 실질적으로 동일한 두께를 가질 수 있으며, 예를 들어, 제1 빌드업회로층(163)과 제2 빌드업회로층(164)의 두께는 15um일 수 있다.The first buildup circuit layer 163 and the second buildup circuit layer 164 may have substantially the same thickness, for example, the first buildup circuit layer 163 and the second buildup circuit layer ( 164) may have a thickness of 15 μm.

비아(165)는 절연층(161, 162)을 관통하여 빌드업회로층(163, 164)과 회로층(120)을 연결하는 전도체이고, 서로 다른 층에 있는 회로패턴 간에 전기신호를 전달한다. 비아(165)는 빌드업회로층(163, 164) 및 회로층(120)과 동일한 금속으로 형성될 수 있다.The via 165 is a conductor that penetrates the insulating layers 161 and 162 to connect the build-up circuit layers 163 and 164 and the circuit layer 120 , and transfers electrical signals between circuit patterns in different layers. The via 165 may be formed of the same metal as the build-up circuit layers 163 and 164 and the circuit layer 120 .

비아(165)는 회로층(120)과 직접 접촉되도록 금속층(130)은 비아(165) 형성 영역에는 형성되지 않는다. 금속층(130)의 전기전도율이 회로층(120)의 전기전도율보다 작으므로, 비아(165)와 회로층(120)이 직접 접촉되는 것이 전기신호 전달에 있어서 유리하다.The metal layer 130 is not formed in the via 165 formation region so that the via 165 is in direct contact with the circuit layer 120 . Since the electrical conductivity of the metal layer 130 is smaller than that of the circuit layer 120 , direct contact between the via 165 and the circuit layer 120 is advantageous in electrical signal transmission.

비아(165)는 절연층(161, 162)에 형성된 비아홀(166) 내부에 도전층이 형성됨으로써 만들어질 수 있다. 여기서, 도전층은 도금층 등일 수 있다.The via 165 may be formed by forming a conductive layer inside the via hole 166 formed in the insulating layers 161 and 162 . Here, the conductive layer may be a plating layer or the like.

상기 빌드업회로층(163, 164) 및 상기 비아(165)는 시드층(S3)을 포함할 수 있고, 시드층(S3)은 비아홀(166) 내부 표면(내벽 및 저부) 및 절연층(161, 162) 상에 형성될 수 있다. 이 경우, 도전층은 전해도금으로 형성된 도금층이고, 비아(165)는 무전해도금으로 형성된 시드층(S3)과 전해도금으로 형성된 도금층을 포함한다.The build-up circuit layers 163 and 164 and the via 165 may include a seed layer S3 , and the seed layer S3 includes an inner surface (inner wall and bottom) of the via hole 166 and an insulating layer 161 . , 162) may be formed on. In this case, the conductive layer is a plating layer formed by electroplating, and the via 165 includes a seed layer S3 formed by electroless plating and a plating layer formed by electroplating.

빌드업금속층(167, 168)은 빌드업회로층(163, 164) 상에 형성되고, 금속층(130)과 동일한 금속으로 이루어질 수 있다. 빌드업금속층(167, 168)은 금속층(130)과 실질적으로 동일한 기능을 하므로, 상술한 금속층(130)의 설명이 동일하게 빌드업금속층(167, 168)에 적용될 수 있다.The build-up metal layers 167 and 168 are formed on the build-up circuit layers 163 and 164 and may be made of the same metal as the metal layer 130 . Since the build-up metal layers 167 and 168 function substantially the same as the metal layer 130 , the above-described description of the metal layer 130 may be equally applied to the build-up metal layers 167 and 168 .

상기 절연재(110)의 상기 일면 측에 위치하는 빌드업금속층(167, 168)의 두께는, 상기 절연재(110)의 상기 타면 측에 위치하는 빌드업금속층(167, 168)의 두께보다 클 수 있다.The thickness of the build-up metal layers 167 and 168 positioned on the one side of the insulating material 110 may be greater than the thickness of the build-up metal layers 167 and 168 positioned on the other side of the insulating material 110 . .

제1 빌드업회로층(163) 상에 형성되는 빌드업금속층을 제1 빌드업금속층(167), 제2 빌드업회로층(164) 상에 형성되는 빌드업금속층을 제2 빌드업금속층(168)이라 할 수 있으며, 제1 빌드업금속층(167)의 두께가 제2 빌드업금속층(168)의 두께보다 클 수 있다. 이것으로써 인쇄회로기판의 휨이 제어될 수 있다.The build-up metal layer formed on the first build-up circuit layer 163 and the build-up metal layer formed on the first build-up metal layer 167 and the second build-up circuit layer 164 are formed on the second build-up metal layer 168 . ), and the thickness of the first buildup metal layer 167 may be greater than the thickness of the second buildup metal layer 168 . This allows the warpage of the printed circuit board to be controlled.

빌드업금속층(167, 168)의 두께는 회로층(120) 및/또는 빌드업회로층(163, 164)의 배선밀도에 따라 결정될 수 있다. 예를 들어, 제1 회로층(121) 및/또는 제1 빌드업회로층(163)의 배선밀도가 제2 회로층(122) 및/또는 제2 빌드업회로층(164)의 배선밀도보다 작은 경우, 제1 빌드업금속층(167)의 두께가 제2 빌드업금속층(168)의 두께보다 클 수 있다.The thickness of the build-up metal layers 167 and 168 may be determined according to the wiring density of the circuit layer 120 and/or the build-up circuit layers 163 and 164 . For example, the wiring density of the first circuit layer 121 and/or the first buildup circuit layer 163 is higher than the wiring density of the second circuit layer 122 and/or the second buildup circuit layer 164 . When it is small, the thickness of the first build-up metal layer 167 may be greater than the thickness of the second build-up metal layer 168 .

도 7을 참조하면, 본 발명의 실시예에 따른 인쇄회로기판은, 솔더 레지스트층(170)을 더 포함할 수 있다.Referring to FIG. 7 , the printed circuit board according to the embodiment of the present invention may further include a solder resist layer 170 .

솔더 레지스트층(170)은 빌드업금속층(167, 168) 상에 적층되며, 감광성 절연물질로 형성될 수 있다. 솔더 레지스트층(170)에는 개구부(O)가 형성되고, 개구부(O)를 통하여 빌드업회로층(163, 164)이 노출될 수 있다. 빌드업회로층(163, 164)의 노출된 영역은 패드(pad)가 된다. 솔더 레지스트층(170)의 개구부(O)를 통하여 빌드업회로층(163, 164)이 노출되기 위해서, 빌드업금속층(167, 168)은 개구부(O) 영역에는 형성되지 않을 수 있다. 빌드업금속층(167, 168)의 전기전도율은 빌드업회로층(163, 164)의 전기전도율보다 작으므로, 패드가 되는 영역은 빌드업금속층(167, 168)이 아닌 빌드업회로층(163, 164)의 일부인 것이 전기신호 전달 측면에서 유리하다.The solder resist layer 170 is stacked on the build-up metal layers 167 and 168 and may be formed of a photosensitive insulating material. An opening O may be formed in the solder resist layer 170 , and the build-up circuit layers 163 and 164 may be exposed through the opening O. Exposed regions of the build-up circuit layers 163 and 164 become pads. In order to expose the build-up circuit layers 163 and 164 through the opening O of the solder resist layer 170 , the build-up metal layers 167 and 168 may not be formed in the opening O region. Since the electrical conductivity of the build-up metal layers 167 and 168 is smaller than the electrical conductivity of the build-up circuit layers 163 and 164, the pad area is the build-up circuit layer 163, not the build-up metal layers 167 and 168. 164) is advantageous in terms of electrical signal transmission.

도 8을 참조하면, 본 발명의 실시예에 따른 인쇄회로기판은, 도 7을 참조하여 설명한 인쇄회로기판에서 표면처리층(171)을 더 포함할 수 있다.Referring to FIG. 8 , the printed circuit board according to the embodiment of the present invention may further include a surface treatment layer 171 in the printed circuit board described with reference to FIG. 7 .

표면처리층(171)은, 솔더 레지스트층(170)의 개구부(O)를 통하여 노출되는 빌드업회로층(163, 164)의 영역 상에 형성되어, 빌드업회로층(163, 164)의 산화를 방지할 수 있다. 표면처리층(171)은 금속으로 형성될 수 있다. 금속 소재의 표면처리층(171)은 무전해도금으로 형성될 수 있다. 또한, 표면처리층(171)은 복수의 층으로 구성될 수 있다. 예를 들어, 표면처리층(171)은 금으로 형성될 수 있다. 또한, 표면처리층(171')은, 니켈층 및 금층의 복수 층으로 형성될 수 있다. 이 경우, '빌드업회로층(구리층)-니켈층-금층' 순으로 형성될 수 있다. 니켈층이 구리층과 금층 간의 확산을 방지할 수 있다. 한편, 표면처리층(171)은 OSP와 같이 비금속으로 형성될 수 있다.The surface treatment layer 171 is formed on the regions of the build-up circuit layers 163 and 164 exposed through the opening O of the solder resist layer 170 , and the build-up circuit layers 163 and 164 are oxidized. can prevent The surface treatment layer 171 may be formed of a metal. The surface treatment layer 171 made of a metal material may be formed by electroless plating. In addition, the surface treatment layer 171 may be composed of a plurality of layers. For example, the surface treatment layer 171 may be formed of gold. Also, the surface treatment layer 171 ′ may be formed of a plurality of layers of a nickel layer and a gold layer. In this case, the 'build-up circuit layer (copper layer)-nickel layer-gold layer' may be formed in the order. The nickel layer may prevent diffusion between the copper layer and the gold layer. Meanwhile, the surface treatment layer 171 may be formed of a non-metal such as OSP.

도 9를 참조하면, 도 6을 참조하여 설명한 인쇄회로기판에서, 금속층(130)과 회로층(120)은 두께 방향으로 서로 이격될 수 있다. 즉, 금속층(130)은 회로층(120)으로부터 이격되게 형성될 수 있다. 솔더 레지스트층(170)은 금속층(130)과 회로층(120)이 이격되어 발생하는 공간에도 더 형성될 수 있다. 다르게 말하면, 금속층(130)이 솔더 레지스트층(170) 중간에 위치할 수 있다.Referring to FIG. 9 , in the printed circuit board described with reference to FIG. 6 , the metal layer 130 and the circuit layer 120 may be spaced apart from each other in the thickness direction. That is, the metal layer 130 may be formed to be spaced apart from the circuit layer 120 . The solder resist layer 170 may be further formed in a space in which the metal layer 130 and the circuit layer 120 are spaced apart. In other words, the metal layer 130 may be positioned in the middle of the solder resist layer 170 .

금속층(130)은 회로층(120)이 형성되지 않은 영역까지 연장될 수 있다. 이 경우, 금속층(130) 형성 영역(횡단면적)은 회로층(120) 형성 영역(횡단면적)보다 크다. 다만, 이 경우에도 금속층(130)은 솔더 레지스트층(170)의 개구부(O)에는 형성되지 않는다. 금속층(130)은 개구부(O) 영역에 대응하여 구멍이 형성된 금속시트(sheet)일 수 있다. 즉, 금속층(130)은 회로층(120) 회로패턴의 패턴대로 패턴화 되지 않는다. 또한, 이 경우 모든 전기신호는 회로층(120)으로 전달되며 금속층(130)으로는 전달되지 않는다.The metal layer 130 may extend to a region where the circuit layer 120 is not formed. In this case, the metal layer 130 formation region (cross-sectional area) is larger than the circuit layer 120 formation region (cross-sectional area). However, even in this case, the metal layer 130 is not formed in the opening O of the solder resist layer 170 . The metal layer 130 may be a metal sheet in which a hole is formed corresponding to the area of the opening O. That is, the metal layer 130 is not patterned according to the pattern of the circuit pattern of the circuit layer 120 . Also, in this case, all electrical signals are transmitted to the circuit layer 120 and not to the metal layer 130 .

금속층(130)의 두께와 관련하여, 절연재(110)의 일면 측에 위치하는 제1 금속층(131)의 두께는 절연재(110)의 타면 측에 위치하는 제2 금속층(132)의 두께보다 클 수 있고, 이로써 인쇄회로기판의 휨이 제어될 수 있다. 이 외에 도 6 등을 참조하여 설명한 사항들은 본 실시예에도 적용될 수 있다.With respect to the thickness of the metal layer 130 , the thickness of the first metal layer 131 positioned on one side of the insulating material 110 may be greater than the thickness of the second metal layer 132 positioned on the other side of the insulating material 110 . Thereby, the warpage of the printed circuit board can be controlled. In addition, the matters described with reference to FIG. 6 may be applied to the present embodiment as well.

이하, 본 발명의 실시예에 따른 인쇄회로기판의 제조방법에 대해 소개하기로 한다.Hereinafter, a method of manufacturing a printed circuit board according to an embodiment of the present invention will be introduced.

도 10 내지 도 20는 본 발명의 실시예에 따른 인쇄회로기판의 제조방법을 나타낸 도면이다.10 to 20 are views showing a method of manufacturing a printed circuit board according to an embodiment of the present invention.

도 10을 참조하면, 절연재(110)에 관통비아홀(141)이 형성되고, 관통비아홀(141) 내벽과 절연재(110)의 일면 및 타면에 시드층(S1)이 형성된다. 관통비아홀(141)은 드릴 비트 등으로 형성 가능하고, 시드층(S1)은 무전해도금으로 형성될 수 있다. 관통비아(140)는 시드층(S1) 상에 전해도금되는 전해도금층을 포함할 수 있다. Referring to FIG. 10 , a through-via hole 141 is formed in the insulating material 110 , and a seed layer S1 is formed on an inner wall of the through-via hole 141 and one and the other surfaces of the insulating material 110 . The through-via hole 141 may be formed using a drill bit or the like, and the seed layer S1 may be formed by electroless plating. The through-via 140 may include an electroplating layer electrolytically plated on the seed layer S1 .

도 11을 참조하면, 도금 레지스트(R1)를 이용하여 회로층(120)이 형성된다. 여기서, 제1 회로층(121), 관통비아(140)의 전해도금층, 제2 회로층(122)이 동일한 도금 과정에서 형성될 수 있다.Referring to FIG. 11 , the circuit layer 120 is formed using a plating resist R1 . Here, the first circuit layer 121 , the electrolytic plating layer of the through-via 140 , and the second circuit layer 122 may be formed in the same plating process.

제1 회로층(121)과 제2 회로층(122)의 높이(두께)는 도금 레지스트(R1)의 높이(두께)보다 작다. 이는 동일한 도금 레지스트(R1)를 이용하여 금속층(130)을 형성하기 위함이다.The height (thickness) of the first circuit layer 121 and the second circuit layer 122 is smaller than the height (thickness) of the plating resist R1 . This is to form the metal layer 130 using the same plating resist R1.

즉, 도 12를 참조하면, 회로층(120) 상에 금속층(130)이 형성된다. 금속층(130)은 도금 레지스트(R1)를 이용한 전해도금으로 형성될 수 있다.That is, referring to FIG. 12 , the metal layer 130 is formed on the circuit layer 120 . The metal layer 130 may be formed by electroplating using a plating resist R1 .

도 13을 참조하면, 도금 레지스트(R1)가 박리되고, 시드층(S1)의 불필요한 부분이 제거된다. 시드층(S1)의 불필요한 제거는 에칭으로 수행될 수 있다. 여기서 '불필요한 부분'이란 회로층(120)의 영역이 아닌 곳을 의미하고, 불필요한 쇼트를 방지하기 위함이다.Referring to FIG. 13 , the plating resist R1 is peeled off, and an unnecessary portion of the seed layer S1 is removed. The unnecessary removal of the seed layer S1 may be performed by etching. Here, the 'unnecessary part' means a place that is not a region of the circuit layer 120 and is to prevent unnecessary short circuit.

도 14 내지 도 17을 참조하면, 빌드업층(160)이 형성된다. 14 to 17 , a buildup layer 160 is formed.

도 14 및 도 15를 참조하면, 금속층(130) 상에 절연층(161, 162)이 적층되고, 비아홀(166)이 형성된다. 비아홀(166)은 금속층(130)의 일부 영역까지 제거되는 방식으로 형성될 수 있다. 이 경우, 비아홀(166)은 단계적으로 형성된다. 즉, 금속층(130)이 노출되도록 절연층(161, 162) 영역의 비아홀(A)이 먼저 제거되고(도 14), 이후에 금속층(130) 영역의 비아홀(B)이 제거된다(도 15). 이는 절연층(161, 162)과 금속층(130)의 재료 차이에서 기인하는 것이다. 14 and 15 , insulating layers 161 and 162 are stacked on the metal layer 130 , and a via hole 166 is formed. The via hole 166 may be formed in such a way that even a partial region of the metal layer 130 is removed. In this case, the via hole 166 is formed in stages. That is, the via hole A of the insulating layer 161 and 162 region is first removed to expose the metal layer 130 ( FIG. 14 ), and then the via hole B of the metal layer 130 region is removed ( FIG. 15 ). . This is due to a material difference between the insulating layers 161 and 162 and the metal layer 130 .

절연층(161, 162) 영역의 비아홀(A)은 레이저 드릴로 형성될 수 있으며, 금속층(130) 영역의 비아홀(B)은 에칭으로 형성될 수 있다. 금속층(130)과 회로층(120)이 서로 다른 에칭액에 반응하도록 설정하여 금속층(130) 에칭에 있어 회로층(120)이 스토퍼(stopper)가 될 수 있다. 또한, 금속층(130)이 에칭될 때, 절연층(161, 162)이 에칭 레지스트 역할을 할 수 있다.The via hole A in the insulating layer 161 and 162 region may be formed by laser drilling, and the via hole B in the metal layer 130 region may be formed by etching. By setting the metal layer 130 and the circuit layer 120 to react with different etching solutions, the circuit layer 120 may serve as a stopper in etching the metal layer 130 . Also, when the metal layer 130 is etched, the insulating layers 161 and 162 may serve as etching resists.

즉, 비아홀(166)의 단면 형상을 보면, 절연층(161, 162) 영역의 비아홀(A) 폭은 절연재(110) 측으로 갈수록 작아지는데, 이는 레이저 광량이 내측으로 갈수록 작아지기 때문이다. 한편, 금속층(130) 영역의 비아홀(B) 폭도 절연재(110) 측으로 갈수록 작아지며, 이는 에칭이 등방성 에칭인 경우에 그러하다. 특히, 이 경우, 금속층(130) 영역의 비아홀(B) 내벽이 곡면을 이룰 수 있다.That is, when looking at the cross-sectional shape of the via hole 166 , the width of the via hole A of the insulating layer 161 and 162 region decreases toward the insulating material 110 , because the amount of laser light decreases toward the inside. Meanwhile, the width of the via hole B in the region of the metal layer 130 also decreases toward the insulating material 110 , which is the case when the etching is isotropic etching. In particular, in this case, the inner wall of the via hole B in the region of the metal layer 130 may form a curved surface.

한편, 절연층(161, 162) 영역의 비아홀(A)과 금속층(130) 영역의 비아홀(B)이 만나는 지점에서, 절연층(161, 162) 영역의 비아홀(A) 폭은 금속층(130) 영역의 비아홀(B) 폭보다 작을 수 있다. 또한, 금속층(130) 영역의 비아홀(B)의 최저부 폭은 절연층(161, 162) 영역의 비아홀(A)의 최저부 폭과 실질적으로 동일하다.On the other hand, at the point where the via hole (A) of the insulating layer (161, 162) region and the via hole (B) of the metal layer 130 region meet, the width of the via hole (A) of the insulating layer (161, 162) region is the metal layer 130. It may be smaller than the width of the via hole (B) of the region. In addition, the minimum width of the via hole B in the metal layer 130 region is substantially the same as the minimum width of the via hole A in the insulating layer 161 and 162 region.

다만, 에칭 조건을 조절하여 금속층(130) 영역의 비아홀(B) 폭이 일정하게 되도록 할 수 있을 것이다.However, the width of the via hole B in the region of the metal layer 130 may be made constant by adjusting the etching conditions.

도 16을 참조하면, 비아홀(166) 내부와 절연층(161, 162) 상에 시드층(S3)을 형성하고, 도금 레지스트(R2)를 적층한 뒤 패터닝한다.Referring to FIG. 16 , a seed layer S3 is formed inside the via hole 166 and on the insulating layers 161 and 162 , and a plating resist R2 is laminated and then patterned.

도 17을 참조하면, 빌드업회로층(163, 164)과 빌드업금속층(167, 168)이 순차적으로 도금되어 형성된다. 도금 레지스트(R2)는 박리된다.Referring to FIG. 17 , the build-up circuit layers 163 and 164 and the build-up metal layers 167 and 168 are sequentially plated. The plating resist R2 is peeled off.

도 18 및 도 19을 참조하면, 빌드업금속층(167, 168) 상에 솔더 레지스트층(170)이 형성되며, 솔더 레지스트층(170)에는 개구부(O)가 형성된다. 개구부(O) 역시 빌드업금속층(167, 168) 일부를 제거하도록 형성되어, 상술한 비아홀(166)과 마찬가지로 두 개의 부분으로 구분될 수 있다. 즉, 개구부(O)는 솔더 레지스트층(170) 영역의 개구부(C)와 빌드업금속층(167, 168) 영역의 개구부(D)를 포함할 수 있다.18 and 19 , a solder resist layer 170 is formed on the build-up metal layers 167 and 168 , and an opening O is formed in the solder resist layer 170 . The opening O is also formed to remove a portion of the build-up metal layers 167 and 168 , and may be divided into two parts like the above-described via hole 166 . That is, the opening O may include an opening C in the region of the solder resist layer 170 and an opening D in the region of the build-up metal layers 167 and 168 .

개구부(O)의 단면 형상을 보면, 솔더 레지스트층(170) 영역의 개구부(C) 폭은 절연재(110) 측으로 갈수록 작아지는데, 이는 포토리소그래피 공정에서 노광량(또는 레이저 드릴의 광량)이 내측으로 갈수록 작아지기 때문이다. 한편, 빌드업금속층(167, 168) 영역의 개구부(D) 폭도 절연재(110) 측으로 갈수록 작아지며, 이는 에칭이 등방성 에칭인 경우에 그러하다. 특히, 이 경우, 빌드업금속층(167, 168) 영역의 개구부(D) 내벽이 곡면을 이룰 수 있다. Looking at the cross-sectional shape of the opening O, the width of the opening C of the solder resist layer 170 region becomes smaller toward the insulating material 110 side. because it gets smaller. Meanwhile, the width of the opening D in the region of the buildup metal layers 167 and 168 also becomes smaller toward the insulating material 110 side, which is the case when the etching is isotropic etching. In particular, in this case, the inner wall of the opening D of the region of the build-up metal layers 167 and 168 may form a curved surface.

한편, 솔더 레지스트층(170) 영역의 개구부(C)과 빌드업금속층(167, 168) 영역의 개구부(D)이 만나는 지점에서, 솔더 레지스트층(170) 영역의 개구부(C) 폭은 빌드업금속층(167, 168) 영역의 개구부(D) 폭보다 작을 수 있다. 또한, 빌드업금속층(167, 168) 영역의 개구부(D)의 최저부 폭은 솔더 레지스트층(170) 영역의 개구부(C)의 최저부 폭과 실질적으로 동일하다.On the other hand, at the point where the opening C of the solder resist layer 170 and the opening D of the buildup metal layers 167 and 168 meet, the width of the opening C of the solder resist layer 170 is the build-up area. The width of the opening D of the metal layers 167 and 168 may be smaller than the width. In addition, the width of the lowest portion of the opening D of the regions of the buildup metal layers 167 and 168 is substantially the same as the width of the lowest portion of the opening C of the region of the solder resist layer 170 .

다만, 에칭 조건을 조절하여 빌드업금속층(167, 168) 영역의 개구부(D) 폭이 일정하게 되도록 할 수 있을 것이다.However, the width of the openings D in the regions of the buildup metal layers 167 and 168 may be uniform by adjusting the etching conditions.

도 20을 참조하면, 개구부(O)에 의하여 노출된 빌드업회로층(163, 164)에 표면처리층(171)이 형성된다. 표면처리층(171)은 금속이 도금되어 하나 이상의 층으로 형성될 수 있다.Referring to FIG. 20 , a surface treatment layer 171 is formed on the buildup circuit layers 163 and 164 exposed by the opening O. As shown in FIG. The surface treatment layer 171 may be formed of one or more layers by plating metal.

도 22는 본 발명의 실시예에 따른 인쇄회로기판의 단면도이다. 이하, 상술한 내용이 동일하게 적용될 수 있다.22 is a cross-sectional view of a printed circuit board according to an embodiment of the present invention. Hereinafter, the above-described contents may be equally applied.

도 22를 참조하면, 본 발명의 실시예에 따른 인쇄회로기판은, 절연재(110), 하나 이상의 제1 절연층(161), 하나 이상의 제2 절연층(162), 제1 회로층(221), 제2 회로층(222), 제1 금속층(231) 및 제2 금속층(232)을 포함할 수 있다.Referring to FIG. 22 , the printed circuit board according to the embodiment of the present invention includes an insulating material 110 , one or more first insulating layers 161 , one or more second insulating layers 162 , and a first circuit layer 221 . , a second circuit layer 222 , a first metal layer 231 , and a second metal layer 232 .

절연재(110)는 서로 대향하는 일면 및 타면을 구비한다. 절연재(110)의 일면 및 타면에는 회로(321, 322)가 형성될 수 있다. 절연재(110)의 일면 및 타면에 형성된 회로(321, 322)는 절연재(110)를 관통하는 관통비아(141)를 통하여 전기적으로 연결될 수 있다.The insulating material 110 has one surface and the other surface facing each other. Circuits 321 and 322 may be formed on one surface and the other surface of the insulating material 110 . The circuits 321 and 322 formed on one surface and the other surface of the insulating material 110 may be electrically connected through the through-via 141 penetrating the insulating material 110 .

절연재(110) 일면 상에는 하나 이상의 제1 절연층(161)이 적층될 수 있다. 예를 들어, 제1 절연층(161)이 두 개라면, 도 22에 도시된 바와 같이, 절연재(110)의 일면 상에(도 22를 기준으로 절연재(110)의 하측으로) 두 개의 층이 두께 방향으로 순차적으로 적층될 수 있다.One or more first insulating layers 161 may be stacked on one surface of the insulating material 110 . For example, if there are two first insulating layers 161 , as shown in FIG. 22 , two layers are formed on one surface of the insulating material 110 (to the lower side of the insulating material 110 based on FIG. 22 ). They may be sequentially stacked in the thickness direction.

또한, 절연재(110) 타면 상에는 하나 이상의 제2 절연층(162)이 적층될 수 있다. 예를 들어, 제2 절연층(162)이 두 개라면, 도 22에 도시된 바와 같이, 절연재(110)의 타면 상에(도 22를 기준으로 절연재(110)의 상측으로) 두 개의 층이 두께 방향으로 순차적으로 적층될 수 있다.In addition, one or more second insulating layers 162 may be stacked on the other surface of the insulating material 110 . For example, if there are two second insulating layers 162 , as shown in FIG. 22 , two layers are formed on the other surface of the insulating material 110 (toward the upper side of the insulating material 110 with reference to FIG. 22 ). They may be sequentially stacked in the thickness direction.

제1 절연층(161) 및 제2 절연층(162) 각각이 세 개, 네 개 … 등으로 이루어진 경우에도, 상술한 방식으로 절연재(110)의 양면에 두께 방향으로 순차적으로 적층될 수 있다.Each of the first insulating layer 161 and the second insulating layer 162 is three, four... Even when made of, etc., it may be sequentially laminated in the thickness direction on both surfaces of the insulating material 110 in the above-described manner.

한편, 제1 절연층(161) 및 제2 절연층(162)이 각각 한 개라면, 절연재(110) 양면에 각각 한 개씩의 절연층이 적층되는 셈이 되고, 그 제1 절연층(161) 및 제2 절연층(162)은 최외층에 위치하는 절연층이 된다.On the other hand, if each of the first insulating layer 161 and the second insulating layer 162 is one, one insulating layer is laminated on both surfaces of the insulating material 110, and the first insulating layer 161 and the second insulating layer 162 is an insulating layer located at the outermost layer.

제1 회로층(221)은 상술한 하나 이상의 제1 절연층(161) 중 적어도 어느 하나 상에 형성된다. 제1 절연층(161)이 한 개라면, 그 제1 절연층(161) 상에 제1 회로층(221)이 형성될 것이며, 제1 절연층(161)이 두 개 이상인 경우에는 그 중 적어도 어느 하나 상에 형성된다. 물론, 제1 회로층(221)이 형성되지 않은 다른 제1 절연층(161) 상에도 다른 회로(321)는 형성되고 제1 회로층(221)과 전기적으로 연결될 수 있다. The first circuit layer 221 is formed on at least one of the one or more first insulating layers 161 described above. If there is one first insulating layer 161 , the first circuit layer 221 will be formed on the first insulating layer 161 , and when there are two or more first insulating layers 161 , at least one of them formed on either one. Of course, another circuit 321 may be formed on the other first insulating layer 161 on which the first circuit layer 221 is not formed and may be electrically connected to the first circuit layer 221 .

도 22에 도시된 바와 같이, 제1 회로층(221)은 하나 이상의 제1 절연층(161) 중 최외층에 위치하는 제1 절연층(161) 상에 형성될 수 있다.As shown in FIG. 22 , the first circuit layer 221 may be formed on the first insulating layer 161 positioned at the outermost layer among the one or more first insulating layers 161 .

제2 회로층(222)은 상술한 하나 이상의 제2 절연층(162) 중 적어도 어느 하나 상에 형성된다. 제2 절연층(162)이 한 개라면, 그 제2 절연층(162) 상에 제2 회로층(222)이 형성될 것이며, 제2 절연층(162)이 두 개 이상인 경우에는 그 중 적어도 어느 하나 상에 형성된다. 물론, 제2 회로층(222)이 형성되지 않은 다른 제2 절연층(162) 상에도 다른 회로(322)는 형성되고 제2 회로층(222)과 전기적으로 연결될 수 있다.The second circuit layer 222 is formed on at least one of the one or more second insulating layers 162 described above. If there is one second insulating layer 162 , the second circuit layer 222 will be formed on the second insulating layer 162 , and when there are two or more second insulating layers 162 , at least one of them formed on either one. Of course, another circuit 322 may be formed on another second insulating layer 162 on which the second circuit layer 222 is not formed and may be electrically connected to the second circuit layer 222 .

도 22에 도시된 바와 같이, 제2 회로층(222)은 하나 이상의 제2 절연층(162) 중 최외층에 위치하는 제2 절연층(162) 상에 형성될 수 있다.22 , the second circuit layer 222 may be formed on the second insulating layer 162 positioned at the outermost layer among the one or more second insulating layers 162 .

제1 금속층(231)은 제1 회로층(221) 상에 형성되며, 제1 금속층(231)의 전기전도율은 제1 회로층(221)의 전기전도율보다 작다.The first metal layer 231 is formed on the first circuit layer 221 , and the electrical conductivity of the first metal layer 231 is smaller than that of the first circuit layer 221 .

제2 금속층(232)은 제2 회로층(222) 상에 형성되며, 제2 금속층(232)의 전기전도율은 제2 회로층(222)의 전기전도율보다 작다.The second metal layer 232 is formed on the second circuit layer 222 , and the electrical conductivity of the second metal layer 232 is smaller than that of the second circuit layer 222 .

제1 회로층(221)과 제2 회로층(222)은 서로 동일한 두께를 가질 수 있다. 또한, 제1 금속층(231)의 두께는 제1 회로층(221)의 두께보다 작고, 제2 금속층(232)의 두께는 제2 회로층(222)의 두께보다 작을 수 있다. 제1 금속층(231)의 두께는 제1 회로층(221)의 두께의 2/3을 넘지 않는다. 또한, 제2 금속층(232)의 두께는 제2 회로층(222)의 두께의 2/3을 넘지 않는다. 한편, 제1 금속층(231)의 두께는 제2 금속층(232)의 두께보다 클 수 있다. 이러한 두께 조절로 인하여, 인쇄회로기판의 휨이 제어될 수 있다.The first circuit layer 221 and the second circuit layer 222 may have the same thickness. Also, the thickness of the first metal layer 231 may be smaller than the thickness of the first circuit layer 221 , and the thickness of the second metal layer 232 may be smaller than the thickness of the second circuit layer 222 . The thickness of the first metal layer 231 does not exceed 2/3 of the thickness of the first circuit layer 221 . In addition, the thickness of the second metal layer 232 does not exceed 2/3 of the thickness of the second circuit layer 222 . Meanwhile, the thickness of the first metal layer 231 may be greater than the thickness of the second metal layer 232 . Due to this thickness control, the warpage of the printed circuit board can be controlled.

제1 회로층(221)과 제2 회로층(222)은 주성분을 구리로하는 층일 수 있고, 제1 금속층(231)과 제2 금속층(232)은 인바(invar)와 같은 Fe-Ni(니켈강) 합금, Cu-Zn 합금인 황동(brass)과 같은 구리 합금 소재로 이루어질 수 있다.The first circuit layer 221 and the second circuit layer 222 may be layers containing copper as a main component, and the first metal layer 231 and the second metal layer 232 are Fe-Ni (nickel steel) such as invar. ) alloy, and may be made of a copper alloy material such as brass, which is a Cu-Zn alloy.

본 발명의 실시예에 따른 인쇄회로기판은 최외층에 위치하는 상기 제1 절연층(161) 및 상기 제2 절연층(162) 상에 각각 적층되는 솔더 레지스트층(170)을 더 포함할 수 있다.The printed circuit board according to an embodiment of the present invention may further include a solder resist layer 170 respectively laminated on the first insulating layer 161 and the second insulating layer 162 positioned on the outermost layer. .

솔더 레지스트층(170)에는 개구부(O)가 형성되고, 개구부(O)를 통하여 제1 회로층(221) 및 제2 회로층(222)이 노출되도록 제1 금속층(231) 및 제2 금속층(232)은 개구부 영역에는 형성되지 않을 수 있다. 이러한 구조적 특징은, 방법적으로 볼 때, 제1 회로층(221)에 제1 금속층(231)이 형성된 후, 제1 금속층(231)이 에칭됨으로써, 에칭 영역이 개구부(O)(의 일부)가 될 수 있다. 마찬가지로, 제2 회로층(222)에 제2 금속층(232)이 형성된 후, 제2 금속층(232)이 에칭됨으로써, 에칭 영역이 개구부(O)(의 일부)가 될 수 있다.An opening O is formed in the solder resist layer 170, and the first metal layer 231 and the second metal layer ( 232 may not be formed in the opening region. This structural feature is, in a methodological view, after the first metal layer 231 is formed on the first circuit layer 221 , the first metal layer 231 is etched, so that the etched area is an opening O (part of) can be Similarly, after the second metal layer 232 is formed on the second circuit layer 222 , the second metal layer 232 is etched, so that the etching region may become (part of) the opening O.

도 23은 본 발명의 실시예에 따른 인쇄회로기판의 단면도이다.23 is a cross-sectional view of a printed circuit board according to an embodiment of the present invention.

도 23을 참조하면, 도 22를 참조하여 설명한 인쇄회로기판에서, 제1 금속층(231)과 제1 회로층(221)이 두께 방향으로 서로 이격되어, 제1 금속층(231)과 제1 회로층(221) 사이에는 공간이 마련되고, 상기 공간에는 솔더 레지스트층(170)이 형성된다. Referring to FIG. 23 , in the printed circuit board described with reference to FIG. 22 , the first metal layer 231 and the first circuit layer 221 are spaced apart from each other in the thickness direction, and the first metal layer 231 and the first circuit layer A space is provided between the 221 , and a solder resist layer 170 is formed in the space.

마찬가지로, 제2 금속층(232)과 제2 회로층(222)이 두께 방향으로 서로 이격되어, 제2 금속층(232)과 제2 회로층(222) 사이에는 공간이 마련되고, 상기 공간에는 솔더 레지스트층(170)이 형성된다.Similarly, the second metal layer 232 and the second circuit layer 222 are spaced apart from each other in the thickness direction, so that a space is provided between the second metal layer 232 and the second circuit layer 222 , and the solder resist is in the space. Layer 170 is formed.

여기서, 제1 금속층(231)의 형성 영역은 제1 회로층(221)의 형성 영역보다 클 수 있다. 제2 금속층(232)의 형성 영역은 제2 회로층(222)의 형성 영역보다 클 수 있다. Here, the formation area of the first metal layer 231 may be larger than the formation area of the first circuit layer 221 . The formation area of the second metal layer 232 may be larger than the formation area of the second circuit layer 222 .

제1 금속층(231)은 제1 회로층(221)이 형성되지 않은 영역 상에도 형성될 수 있고, 솔더 레지스트층(170) 개구부(O)를 제외한 전 영역에 걸쳐 형성될 수 있다. 제2 금속층(232)은 제2 회로층(222)이 형성되지 않은 영역 상에도 형성될 수 있고, 솔더 레지스트층(170) 개구부(O)를 제외한 전 영역에 걸쳐 형성될 수 있다. 제1 금속층(231) 및 제2 금속층(232)은 금속시트일 수 있다. The first metal layer 231 may be formed on a region where the first circuit layer 221 is not formed, and may be formed over the entire region except for the opening O of the solder resist layer 170 . The second metal layer 232 may be formed on a region where the second circuit layer 222 is not formed, and may be formed over the entire region except for the opening O of the solder resist layer 170 . The first metal layer 231 and the second metal layer 232 may be metal sheets.

도 24는 본 발명의 실시예에 따른 인쇄회로기판의 단면도, 도 25는 도 24의 부분 확대도, 도 26은 본 발명의 실시예에 따른 인쇄회로기판의 단면도, 도 27은 도 26의 부분 확대도, 도 28은 본 발명의 실시예에 따른 인쇄회로기판의 단면도, 도 29는 도 28의 부분 확대도이다.24 is a cross-sectional view of a printed circuit board according to an embodiment of the present invention, FIG. 25 is a partial enlarged view of FIG. 24, FIG. 26 is a cross-sectional view of a printed circuit board according to an embodiment of the present invention, and FIG. 27 is a partial enlarged view of FIG. 28 is a cross-sectional view of a printed circuit board according to an embodiment of the present invention, and FIG. 29 is a partially enlarged view of FIG. 28 .

도 24를 참조하면, 본 발명의 실시예에 따른 인쇄회로기판은, 절연재(110), 회로층(121, 122), 금속층(131, 132) 및 절연층(161, 162)을 포함하고, 절연층(161, 162) 및 금속층(131, 132)에는 비아홀(166)이 형성되고, 비아홀(166)의 저면을 통하여 회로층(121, 122)이 노출될 수 있다.Referring to FIG. 24 , the printed circuit board according to the embodiment of the present invention includes an insulating material 110 , circuit layers 121 and 122 , metal layers 131 and 132 , and insulating layers 161 and 162 . A via hole 166 may be formed in the layers 161 and 162 and the metal layers 131 and 132 , and the circuit layers 121 and 122 may be exposed through the bottom surface of the via hole 166 .

절연재(110)는 수지와 같은 절연물질로 조성되는 판상의 자재로, 상술한 바와 같다.The insulating material 110 is a plate-shaped material composed of an insulating material such as resin, as described above.

회로층(121, 122)은 전기신호를 전달하기 위해 패턴화 된 전도체로, 절연재(110) 상에 형성된다. 회로층(121, 122)은 절연재(110)의 양면 상에 형성될 수 있다.The circuit layers 121 and 122 are patterned conductors to transmit electrical signals, and are formed on the insulating material 110 . The circuit layers 121 and 122 may be formed on both surfaces of the insulating material 110 .

금속층(131, 132)은 회로층(121, 122) 상에 형성되고, 전기전도율이 회로층(121, 122)의 전기전도율보다 작은 금속으로 형성되는 전도체이다. The metal layers 131 and 132 are formed on the circuit layers 121 and 122 and are conductors formed of a metal having electrical conductivity lower than the electrical conductivity of the circuit layers 121 and 122 .

절연층(161, 162)은 수지와 같은 절연물질로 조성되는 판상의 자재로, 절연재(110)와 동일하거나 다른 물질로 형성될 수 있다. The insulating layers 161 and 162 are a plate-shaped material composed of an insulating material such as resin, and may be formed of the same or a different material as the insulating material 110 .

비아홀(166)은 상기 절연층(161, 162) 및 상기 금속층(131, 132)을 관통하는 홀로, 상기 비아홀(166)의 저면을 통하여 회로층(121, 122)이 노출될 수 있다. 또한, 비아홀(166)에 도전층이 형성되어 비아(165)가 형성되면, 금속층(131, 132)과 비아(165)의 측면이 접촉될 수 있다. 이 경우, 비아(165)의 저면은 회로층(121, 122)과 직접 접촉될 수 있다.The via hole 166 is a hole penetrating the insulating layers 161 and 162 and the metal layers 131 and 132 , and the circuit layers 121 and 122 may be exposed through the bottom surface of the via hole 166 . In addition, when a conductive layer is formed in the via hole 166 to form the via 165 , the metal layers 131 and 132 and side surfaces of the via 165 may contact each other. In this case, the bottom surface of the via 165 may directly contact the circuit layers 121 and 122 .

비아홀(166)은 제1 홀(E) 및 제2 홀(F)을 포함할 수 있다. 제1 홀(E)은 제2 홀(F)보다 외측에 위치하고, 제1 홀(E)의 폭과 제2 홀(F)의 폭 각각은 내측으로 갈수록 작아진다.The via hole 166 may include a first hole (E) and a second hole (F). The first hole (E) is located outside the second hole (F), and each of the width of the first hole (E) and the width of the second hole (F) becomes smaller toward the inside.

도 25에는, 제1 홀(E) 및 제2 홀(F)을 포함하는 비아홀(166)의 여러 형태가 도시되어 있다.In FIG. 25 , various types of via holes 166 including a first hole E and a second hole F are shown.

도 25의 (a), (b)에 도시된 바와 같이, 제1 홀(E)과 제2 홀(F)이 접하는 면에 있어서, 제1 홀(E)의 폭이 제2 홀(F)의 폭보다 작을 수 있다. 또한, (b)에 도시된 바와 같이, 제2 홀(F)의 측면은 곡면을 이룰 수 있다. 이는 금속층(131, 132)이 등방성 에칭 됨으로써 제2 홀(F)이 형성된 결과라 할 수 있다. 여기서, 제1 홀(E)의 최내측 폭 및 제2 홀(F)의 최내측 폭은 실질적으로 동일할 수 있다.As shown in (a) and (b) of Figure 25, in the surface where the first hole (E) and the second hole (F) are in contact, the width of the first hole (E) is the second hole (F) may be smaller than the width of In addition, as shown in (b), the side surface of the second hole (F) may form a curved surface. This may be a result of forming the second hole F by isotropically etching the metal layers 131 and 132 . Here, the innermost width of the first hole (E) and the innermost width of the second hole (F) may be substantially the same.

한편, 금속층(131, 132)의 두께, 에칭 방법, 조건 등을 조절함으로써, (c)에 도시된 것과 같이, 제1 홀(E)과 제2 홀(F)이 접하는 면에 있어서, 제1 홀(E)의 폭과 제2 홀(F)의 폭을 동일하게 구현할 수 있다.On the other hand, by adjusting the thickness, etching method, conditions, etc. of the metal layers 131 and 132 , as shown in (c), in the surface where the first hole E and the second hole F are in contact, the first The width of the hole E and the width of the second hole F may be the same.

도 26을 참조하면, 비아홀(166) 내에 비아(165)가 형성되며, 비아(165)는 시드층을 포함할 수 있다. 또한, 절연층(161, 162) 상에는 비아(165)와 연결되는 빌드업회로층(163, 164)이 형성될 수 있고, 빌드업회로층(163, 164) 상에는 빌드업금속층(167, 168)이 형성될 수 있다. Referring to FIG. 26 , a via 165 is formed in the via hole 166 , and the via 165 may include a seed layer. In addition, buildup circuit layers 163 and 164 connected to vias 165 may be formed on the insulating layers 161 and 162 , and buildup metal layers 167 and 168 on the buildup circuit layers 163 and 164 . can be formed.

비아홀(166) 내의 비아(165)의 측면은 금속층(131, 132)과 접촉될 수 있으며, 비아(165)가 시드층을 포함하는 경우에, 금속층(131, 132)은 시드층과 접촉될 수 있다.Sides of the via 165 in the via hole 166 may contact the metal layers 131 and 132 , and when the via 165 includes a seed layer, the metal layers 131 and 132 may contact the seed layer. have.

도 27에는, 도 25의 (a), (b), (c)에 따라 시드층, 비아(165), 빌드업회로층(163, 164), 빌드업금속층(167, 168)이 형성된 상태가 도시되어 있다.27 shows a state in which the seed layer, the via 165, the build-up circuit layers 163 and 164, and the build-up metal layers 167 and 168 are formed according to (a), (b) and (c) of FIGS. 25 . is shown.

도 28을 참조하면, 절연층(161, 162) 상에 솔더 레지스트층(170)이 형성되며, 솔더 레지스트층(170)에 개구부(O)가 형성되고, 개구부(O)는 제1 개구(G)와 제2 개구(H)를 포함할 수 있다. 제1 개구(G)는은 제2 개구(H)보다 외측에 위치하고, 제1 개구(G)의 폭과 제2 개구(H)의 폭 각각은 내측으로 갈수록 작아진다.Referring to FIG. 28 , a solder resist layer 170 is formed on the insulating layers 161 and 162 , an opening O is formed in the solder resist layer 170 , and the opening O is a first opening G ) and a second opening (H). The first opening G is located outside the second opening H, and the width of the first opening G and the width of the second opening H become smaller toward the inside.

도 29에는, 제1 개구(G) 및 제2 개구를 포함하는 개구부(O)의 여러 형태가 도시되어 있다.In FIG. 29 , various forms of an opening O comprising a first opening G and a second opening are shown.

도 29의 (a), (b)에 도시된 바와 같이, 제1 개구(G)와 제2 개구(H)가 서로 접하는 면에 있어서, 제1 개구(G)의 폭이 제2 개구(H)의 폭보다 작을 수 있다. 또한, (b)에 도시된 바와 같이, 제2 개구(H)의 측면은 곡면을 이룰 수 있다. 이는 빌드업금속층(167, 168)이 등방성 에칭 됨으로써 제2 개구(H)가 형성된 결과라 할 수 있다. 여기서, 여기서, 제1 개구(G)의 최내측 폭 및 제2 개구(H)의 최내측 폭은 실질적으로 동일할 수 있다.29A and 29B , in the surface where the first opening G and the second opening H are in contact with each other, the width of the first opening G is equal to the width of the second opening H ) may be smaller than the width of In addition, as shown in (b), the side surface of the second opening (H) may form a curved surface. This may be a result of forming the second opening H by the isotropic etching of the build-up metal layers 167 and 168 . Here, the innermost width of the first opening G and the innermost width of the second opening H may be substantially the same.

한편, 빌드업금속층(167, 168)의 두께, 에칭 방법, 조건 등을 조절함으로써, (c)에 도시된 것과 같이, 제1 개구(G)와 제2 개구(H)가 접하는 면에 있어서, 제1 개구(G)의 폭과 제2 개구(H)의 폭을 동일하게 구현할 수 있다.On the other hand, by adjusting the thickness, etching method, conditions, etc. of the build-up metal layers 167 and 168, as shown in (c), in the surface where the first opening (G) and the second opening (H) are in contact, The width of the first opening G and the width of the second opening H may be the same.

한편, 도 28, 도 29에 도시된 바와 같이, 개구부(O)를 통하여 노출된 빌드업회로층(163, 164) 상에는 표면처리층(171)이 형성될 수 있다.Meanwhile, as shown in FIGS. 28 and 29 , a surface treatment layer 171 may be formed on the buildup circuit layers 163 and 164 exposed through the opening O. As shown in FIG.

이상, 본 발명의 실시예에 대하여 설명하였으나, 해당 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면, 특허청구범위에 기재된 본 발명의 사상으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서, 구성 요소의 부가, 변경, 삭제 또는 추가 등에 의해 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있을 것이며, 이 또한 본 발명의 권리 범위 내에 포함된다고 할 것이다.In the above, although the embodiments of the present invention have been described, those of ordinary skill in the art can add, change, delete or add components within the scope that does not depart from the spirit of the present invention described in the claims. The present invention may be variously modified and changed by such as, and this will also be included within the scope of the present invention.

110: 절연재
120: 회로층
121, 221: 제1 회로층
122, 222: 제2 회로층
130: 금속층
131, 231: 제1 금속층
132, 232: 제2 금속층
140: 관통비아
141: 관통비아홀
150: 합금층
151: 제1 합금층
152: 제2 합금층
153: 제3 합금층
160: 빌드업층
161: 제1 절연층
162: 제2 절연층
163: 제1 빌드업회로층
164: 제2 빌드업회로층
165: 비아
166: 비아홀
167: 제1 빌드업금속층
168: 제2 빌드업금속층
170: 솔더 레지스트층
O: 개구부
171: 표면처리층
S1, S2, S3, S4: 시드층
R1, R2: 도금 레지스트
110: insulation material
120: circuit layer
121, 221: first circuit layer
122, 222: second circuit layer
130: metal layer
131, 231: first metal layer
132, 232: second metal layer
140: through via
141: through-via hole
150: alloy layer
151: first alloy layer
152: second alloy layer
153: third alloy layer
160: build-up layer
161: first insulating layer
162: second insulating layer
163: first build-up circuit layer
164: second build-up circuit layer
165: via
166: via hole
167: first build-up metal layer
168: second build-up metal layer
170: solder resist layer
O: opening
171: surface treatment layer
S1, S2, S3, S4: seed layer
R1, R2: plating resist

Claims (22)

서로 대향하는 일면 및 타면을 구비하는 절연재;
상기 절연재의 상기 일면 및 타면 상에 형성되는 회로층; 및
상기 회로층 상에 형성되는 금속층을 포함하고,
상기 금속층의 전기전도율은 상기 회로층의 전기전도율보다 작고,
상기 절연재의 상기 일면 측에 위치하는 상기 금속층의 두께는, 상기 절연재의 상기 타면 측에 위치하는 상기 금속층의 두께보다 큰 인쇄회로기판.
an insulating material having one surface and the other surface facing each other;
a circuit layer formed on the one surface and the other surface of the insulating material; and
a metal layer formed on the circuit layer;
The electrical conductivity of the metal layer is smaller than the electrical conductivity of the circuit layer,
The thickness of the metal layer located on the one side of the insulating material is greater than the thickness of the metal layer located on the other side of the insulating material.
제1항에 있어서,
상기 금속층의 두께는 상기 회로층의 두께보다 작은 인쇄회로기판.
According to claim 1,
The thickness of the metal layer is smaller than the thickness of the circuit layer printed circuit board.
제1항에 있어서,
상기 금속층의 열팽창계수는 상기 회로층의 열팽창계수보다 작고,
상기 금속층의 강성은 상기 회로층의 강성보다 큰 인쇄회로기판.
According to claim 1,
The coefficient of thermal expansion of the metal layer is smaller than the coefficient of thermal expansion of the circuit layer,
A printed circuit board having a rigidity of the metal layer greater than a rigidity of the circuit layer.
제1항에 있어서,
상기 금속층의 열팽창계수는 상기 회로층의 열팽창계수보다 크고,
상기 금속층의 강성은 상기 회로층의 강성보다 작은 인쇄회로기판.
According to claim 1,
The coefficient of thermal expansion of the metal layer is greater than the coefficient of thermal expansion of the circuit layer,
The rigidity of the metal layer is smaller than that of the circuit layer.
제1항에 있어서,
상기 절연재의 상기 일면 측에 위치하는 상기 회로층의 부피는, 상기 절연재의 상기 타면 측에 위치하는 상기 회로층의 부피보다 작은 인쇄회로기판.
According to claim 1,
The volume of the circuit layer located on the one side of the insulating material is smaller than the volume of the circuit layer located on the other side of the insulating material.
제1항에 있어서,
상기 절연재 내부를 관통하여 형성되고,
상기 절연재의 상기 일면에 형성된 상기 회로층과 상기 절연재의 상기 타면에 형성된 상기 회로층을 연결하는 관통비아를 더 포함하는 인쇄회로기판.
According to claim 1,
It is formed through the inside of the insulating material,
The printed circuit board further comprising a through via connecting the circuit layer formed on the first surface of the insulating material and the circuit layer formed on the other surface of the insulating material.
제6항에 있어서,
상기 절연재 및 상기 관통비아 사이, 그리고 상기 절연재 및 상기 회로층 사이에 형성되는 합금층을 더 포함하고,
상기 금속층과 상기 합금층은 서로 동일한 물질로 이루어진 인쇄회로기판.
7. The method of claim 6,
Further comprising an alloy layer formed between the insulating material and the through-via and between the insulating material and the circuit layer,
The printed circuit board is made of the same material as the metal layer and the alloy layer.
제7항에 있어서,
상기 절연재의 상기 일면에 위치하는 상기 합금층의 두께는, 상기 절연재 상기 타면에 위치하는 상기 합금층의 두께보다 큰 인쇄회로기판.
8. The method of claim 7,
The thickness of the alloy layer positioned on the one surface of the insulating material is greater than a thickness of the alloy layer positioned on the other surface of the insulating material.
제7항에 있어서,
상기 관통비아는 상기 절연재를 관통하는 관통비아홀 내에 형성되고,
상기 합금층은 시드층을 포함하고,
상기 시드층은 상기 관통비아홀 내벽 및 상기 절연재의 상기 일면 및 타면에 형성되는 인쇄회로기판.
8. The method of claim 7,
The through-via is formed in a through-via hole passing through the insulating material;
The alloy layer includes a seed layer,
The seed layer is formed on the inner wall of the through-via hole and on the one surface and the other surface of the insulating material.
서로 대향하는 일면 및 타면을 구비하는 절연재;
상기 절연재의 상기 일면 상에 적층되는 하나 이상의 제1 절연층;
상기 절연재의 상기 타면 상에 적층되는 하나 이상의 제2 절연층;
상기 하나 이상의 제1 절연층 중 적어도 어느 하나 상에 형성되는 제1 회로층;
상기 하나 이상의 제2 절연층 중 적어도 어느 하나 상에 형성되는 제2 회로층;
상기 제1 회로층 상에 형성되는 제1 금속층; 및
상기 제2 회로층 상에 형성되는 제2 금속층을 포함하고,
상기 제1 금속층의 전기전도율은 상기 제1 회로층의 전기전도율보다 작고,
상기 제2 금속층의 전기전도율은 상기 제2 회로층의 전기전도율보다 작고,
상기 제1 금속층의 두께는 상기 제2 금속층의 두께보다 큰 인쇄회로기판.
an insulating material having one surface and the other surface facing each other;
at least one first insulating layer laminated on the one surface of the insulating material;
at least one second insulating layer laminated on the other surface of the insulating material;
a first circuit layer formed on at least one of the one or more first insulating layers;
a second circuit layer formed on at least one of the one or more second insulating layers;
a first metal layer formed on the first circuit layer; and
a second metal layer formed on the second circuit layer;
The electrical conductivity of the first metal layer is smaller than the electrical conductivity of the first circuit layer,
The electrical conductivity of the second metal layer is smaller than the electrical conductivity of the second circuit layer,
The thickness of the first metal layer is greater than the thickness of the second metal layer printed circuit board.
제10항에 있어서,
상기 제1 회로층 및 상기 제1 금속층은 최외층에 위치하는 제1 절연층 상에 형성되고,
상기 제2 회로층 및 상기 제2 금속층은 최외층에 위치하는 제2 절연층 상에 형성되는 인쇄회로기판.
11. The method of claim 10,
The first circuit layer and the first metal layer are formed on a first insulating layer located in the outermost layer,
The second circuit layer and the second metal layer are formed on a second insulating layer located in an outermost layer.
제11항에 있어서,
최외층에 위치하는 상기 제1 절연층 및 상기 제2 절연층 상에 각각 적층되는 솔더 레지스트층을 더 포함하고,
상기 솔더 레지스트층에는 개구부가 형성되고,
상기 개구부를 통하여 상기 제1 회로층 및 상기 제2 회로층이 노출되도록,
상기 제1 금속층 및 상기 제2 금속층은 상기 개구부 영역에는 형성되지 않는 인쇄회로기판.
12. The method of claim 11,
Further comprising a solder resist layer laminated on each of the first insulating layer and the second insulating layer located in the outermost layer,
An opening is formed in the solder resist layer,
so that the first circuit layer and the second circuit layer are exposed through the opening,
The first metal layer and the second metal layer are not formed in the opening region.
제12항에 있어서,
상기 제1 금속층과 상기 제1 회로층은 두께 방향으로 서로 이격되고,
상기 솔더 레지스트층은 상기 제1 금속층과 상기 제1 회로층 사이에 더 형성되는 인쇄회로기판
13. The method of claim 12,
The first metal layer and the first circuit layer are spaced apart from each other in a thickness direction,
The solder resist layer is a printed circuit board further formed between the first metal layer and the first circuit layer.
제13항에 있어서,
상기 제1 금속층의 형성 영역은 상기 제1 회로층의 형성 영역보다 큰 인쇄회로기판.
14. The method of claim 13,
The formation area of the first metal layer is larger than the formation area of the first circuit layer.
절연재;
상기 절연재 상에 형성되는 회로층;
상기 회로층 상에 형성되고, 전기전도율이 상기 회로층의 전기전도율보다 작은 금속층;
상기 절연재 상에 적층되는 절연층;
상기 절연층 및 상기 금속층을 관통하는 비아홀을 포함하고,
상기 비아홀의 저면을 통하여 상기 회로층이 노출되는 인쇄회로기판.
insulation material;
a circuit layer formed on the insulating material;
a metal layer formed on the circuit layer and having an electrical conductivity smaller than that of the circuit layer;
an insulating layer laminated on the insulating material;
a via hole passing through the insulating layer and the metal layer;
A printed circuit board in which the circuit layer is exposed through a bottom surface of the via hole.
제15항에 있어서,
상기 비아홀 내에 형성되는 비아를 더 포함하고,
상기 비아의 측면은 상기 금속층과 접촉되는 인쇄회로기판.
16. The method of claim 15,
Further comprising a via formed in the via hole,
A side surface of the via is in contact with the metal layer.
제15항에 있어서,
상기 비아홀은 제1 홀 및 제2 홀을 포함하고,
상기 제1 홀은 상기 절연층을 관통하고,
상기 제2 홀은 상기 금속층을 관통하고,
상기 제1 홀의 폭 및 상기 제2 홀의 폭 각각은 상기 절연재 측으로 갈수록 작아지는 인쇄회로기판.
16. The method of claim 15,
The via hole includes a first hole and a second hole,
The first hole passes through the insulating layer,
The second hole passes through the metal layer,
Each of the width of the first hole and the width of the second hole decreases toward the insulating material.
제17항에 있어서,
상기 제1 홀과 상기 제2 홀이 접하는 면에서,
상기 제1 홀의 폭은 상기 제2 홀의 폭보다 작은 인쇄회로기판.
18. The method of claim 17,
On the surface where the first hole and the second hole are in contact,
A width of the first hole is smaller than a width of the second hole.
제17항에 있어서,
상기 제2 홀의 측면은 곡면인 인쇄회로기판.
18. The method of claim 17,
A side surface of the second hole is a curved printed circuit board.
제15항에 있어서,
상기 금속층의 두께는 상기 회로층의 두께보다 작은 인쇄회로기판.
16. The method of claim 15,
The thickness of the metal layer is smaller than the thickness of the circuit layer printed circuit board.
제15항에 있어서,
상기 금속층의 열팽창계수는 상기 회로층의 열팽창계수보다 작고,
상기 금속층의 강성은 상기 회로층의 강성보다 큰 인쇄회로기판.
16. The method of claim 15,
The coefficient of thermal expansion of the metal layer is smaller than the coefficient of thermal expansion of the circuit layer,
A printed circuit board having a rigidity of the metal layer greater than a rigidity of the circuit layer.
제15항에 있어서,
상기 금속층의 열팽창계수는 상기 회로층의 열팽창계수보다 크고,
상기 금속층의 강성은 상기 회로층의 강성보다 작은 인쇄회로기판.
16. The method of claim 15,
The coefficient of thermal expansion of the metal layer is greater than the coefficient of thermal expansion of the circuit layer,
The rigidity of the metal layer is smaller than that of the circuit layer.
KR1020170096464A 2017-07-28 2017-07-28 Printed circuit board KR102436225B1 (en)

Priority Applications (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020170096464A KR102436225B1 (en) 2017-07-28 2017-07-28 Printed circuit board
JP2017233479A JP7073602B2 (en) 2017-07-28 2017-12-05 Printed circuit board
CN201711267780.6A CN109310006B (en) 2017-07-28 2017-12-05 Printed circuit board with improved heat dissipation

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020170096464A KR102436225B1 (en) 2017-07-28 2017-07-28 Printed circuit board

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20190012849A KR20190012849A (en) 2019-02-11
KR102436225B1 true KR102436225B1 (en) 2022-08-25

Family

ID=65207695

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020170096464A KR102436225B1 (en) 2017-07-28 2017-07-28 Printed circuit board

Country Status (3)

Country Link
JP (1) JP7073602B2 (en)
KR (1) KR102436225B1 (en)
CN (1) CN109310006B (en)

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20210092547A (en) * 2020-01-16 2021-07-26 엘지이노텍 주식회사 Printed circuit board and method of manufacturing thereof

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2005044914A (en) * 2003-07-25 2005-02-17 Cmk Corp Printed wiring board and manufacturing method therefor
JP2009188146A (en) * 2008-02-06 2009-08-20 Murata Mfg Co Ltd Method for manufacturing wiring board
WO2011002022A1 (en) * 2009-06-30 2011-01-06 イビデン株式会社 Printed circuit board and manufacturing method of printed circuit board
WO2017056666A1 (en) 2015-09-28 2017-04-06 株式会社東芝 Silicon nitride circuit board and semiconductor module using same

Family Cites Families (14)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP5326278B2 (en) 2005-08-29 2013-10-30 日立金属株式会社 Circuit board, semiconductor module using the same, and circuit board manufacturing method
KR100999918B1 (en) * 2008-09-08 2010-12-13 삼성전기주식회사 Printed circuit board and method of manufacturing the same
JP5287976B2 (en) 2009-03-09 2013-09-11 株式会社村田製作所 Resin wiring board
KR101089959B1 (en) 2009-09-15 2011-12-05 삼성전기주식회사 Printed circuit board and fabricating method of the same
KR101070098B1 (en) 2009-09-15 2011-10-04 삼성전기주식회사 Printed circuit board and fabricating method of the same
JP2011222946A (en) 2010-03-26 2011-11-04 Sumitomo Bakelite Co Ltd Circuit board, semiconductor device, method of manufacturing circuit board and method of manufacturing semiconductor device
KR20140030918A (en) * 2012-09-04 2014-03-12 삼성전기주식회사 Printed circuit board
CN104823530B (en) * 2012-12-11 2018-03-30 三井金属矿业株式会社 Multilayer printed-wiring board and its manufacture method
JP6112452B2 (en) * 2013-03-29 2017-04-12 パナソニックIpマネジメント株式会社 Double-sided metal-clad laminate and method for producing the same
KR102107037B1 (en) * 2014-02-21 2020-05-07 삼성전기주식회사 Printed circuit board and method of manufacturing the same
JP2016035969A (en) * 2014-08-01 2016-03-17 味の素株式会社 Circuit board and method for manufacturing the same
KR101733442B1 (en) 2014-12-29 2017-05-10 주식회사 케이씨씨 Warpage-preventing structure of substrate
KR102435124B1 (en) * 2015-10-07 2022-08-24 삼성전기주식회사 Printed circuit board and method of manufacturing the same
KR102494340B1 (en) * 2015-12-24 2023-02-01 삼성전기주식회사 Printed circuit board

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2005044914A (en) * 2003-07-25 2005-02-17 Cmk Corp Printed wiring board and manufacturing method therefor
JP2009188146A (en) * 2008-02-06 2009-08-20 Murata Mfg Co Ltd Method for manufacturing wiring board
WO2011002022A1 (en) * 2009-06-30 2011-01-06 イビデン株式会社 Printed circuit board and manufacturing method of printed circuit board
WO2017056666A1 (en) 2015-09-28 2017-04-06 株式会社東芝 Silicon nitride circuit board and semiconductor module using same

Also Published As

Publication number Publication date
CN109310006A (en) 2019-02-05
JP2019029637A (en) 2019-02-21
JP7073602B2 (en) 2022-05-24
CN109310006B (en) 2023-07-07
KR20190012849A (en) 2019-02-11

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US20130062108A1 (en) Wiring board and method of manufacturing the same
US8945329B2 (en) Printed wiring board and method for manufacturing printed wiring board
US20110114372A1 (en) Printed wiring board
US6838314B2 (en) Substrate with stacked vias and fine circuits thereon, and method for fabricating the same
JP2010135721A (en) Printed circuit board comprising metal bump and method of manufacturing the same
US9716059B2 (en) Package substrate and method for manufacturing package substrate
JP6409442B2 (en) Package substrate
KR102442387B1 (en) Printed circuit board
US9854669B2 (en) Package substrate
JP2015185838A (en) Package substrate and manufacturing method of the same
KR102436225B1 (en) Printed circuit board
JP4452065B2 (en) Wiring board manufacturing method
US9263784B2 (en) Package substrate
JP5432800B2 (en) Wiring board manufacturing method
JP2005150552A (en) Method of manufacturing wiring board
JP6714897B2 (en) Printed circuit board and manufacturing method thereof
US11277910B2 (en) Wiring substrate
JP7392966B2 (en) printed circuit board
JP2002198650A (en) Multi-layer wiring board and method of manufacturing the same
KR20170079542A (en) Printed circuit board
KR101217436B1 (en) Substrate for semiconductor device and fabricating method thereof
TW202103534A (en) Via structures in the circuit board and fabrication methods thereof
JP2003249760A (en) Printed wiring board and electronic apparatus employing it
JP2006041391A (en) Method of manufacturing printed wiring board and printed wiring board manufactured thereby
JP2016134395A (en) Manufacturing method of printed wiring board

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant