KR102434366B1 - Flexible display device - Google Patents

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Abstract

본 발명의 플렉서블 표시 장치는, 표시 영역 및 표시 영역에 인접한 벤딩 영역을 구비하는 기판, 기판 상에 위치하고, 표시 영역으로부터 벤딩 영역으로 연장되며, 적어도 벤딩 영역에서 굴곡 형상을 가지는 배선 및 기판의 벤딩 영역에 구비되며, 배선의 하부에 위치하는 복수 개의 요철 패턴을 포함하고, 복수 개의 요철 패턴 각각의 폭은 상기 배선의 폭 보다 작다.A flexible display device of the present invention includes a substrate having a display area and a bending area adjacent to the display area, a wiring positioned on the substrate, extending from the display area to the bending area, and having at least a curved shape in the bending area, and a bending area of the substrate and a plurality of concave-convex patterns positioned below the wiring, wherein a width of each of the plurality of concave-convex patterns is smaller than the width of the wiring.

Description

플렉서블 표시 장치{FLEXIBLE DISPLAY DEVICE}Flexible display device {FLEXIBLE DISPLAY DEVICE}

본 발명은 플렉서블 기판에 요철부를 구비하는 표시 장치에 관한 것이다.The present invention relates to a display device including an uneven portion on a flexible substrate.

최근, 본격적인 정보화 시대로 접어듦에 따라 전기적 정보 신호를 시각적으로 표현하는 디스플레이 분야가 급속도로 발전해 왔고, 이에 부응하여 박형화, 경량화, 저 소비전력화의 우수한 성능을 지닌 여러 가지 다양한 표시 장치(Display Device)가 개발되고 있다.Recently, as we enter the information age in earnest, the field of display that visually expresses electrical information signals has developed rapidly, and in response to this, various display devices with excellent performance of thinness, light weight, and low power consumption have been developed. is being developed

이와 같은 표시 장치의 구체적인 예로는 액정 표시 장치(LCD), 유기 발광 표시 장치(OLED), 전계 발광 표시 장치(Electro-luminescent Display), 전기 영동 표시 장치(EPD) 및 전기 습윤 표시 장치(EWD) 등을 들 수 있다. 특히, 유기 발광 표시 장치는 자체 발광 특성을 갖는 차세대 표시 장치로서, 액정 표시 장치에 비해 시야각, 콘트라스트(contrast), 응답 속도, 소비 전력 등의 측면에서 우수한 특성을 갖는다. Specific examples of such a display device include a liquid crystal display (LCD), an organic light emitting display (OLED), an electro-luminescent display, an electrophoretic display (EPD), an electrowetting display (EWD), etc. can be heard In particular, an organic light emitting display device is a next-generation display device having self-luminous characteristics, and has superior characteristics in terms of viewing angle, contrast, response speed, power consumption, and the like, compared to a liquid crystal display device.

최근에는 플렉서블(flexible) 소재인 플라스틱 등과 같이 유연성 있는 기판에 표시부, 배선 등을 형성하여, 종이처럼 휘어져도 화상 표시가 가능하게 제조되는 플렉서블 표시 장치가 주목을 받고 있다.Recently, a flexible display device that is manufactured to display an image even if it is bent like paper by forming a display unit and wiring on a flexible substrate such as plastic, which is a flexible material, has been attracting attention.

유연성 있는 기판을 사용하여 플렉서블 표시 장치를 제조하면서, 기판, 기판 위에 형성되는 각종 절연층 및 금속 물질로 형성되는 배선 등의 가요성(flexibility)을 확보하는 것이 중요한 과제가 되고 있다.While manufacturing a flexible display device using a flexible substrate, it is an important task to secure flexibility of the substrate, various insulating layers formed on the substrate, and wiring formed of a metal material.

플렉서블 표시 장치의 소형화, 고해상도화가 진행되면서, 배선을 배치할 공간이 부족하게 되었다. 특히, 배선을 배치하기 위해 비표시 영역을 증가시키는 경우, 소형화, 박형화, 베젤/테두리 좁히기 또는 없애기(narrow bezel / zero bezel) 형상을 구현하는데 어려움이 발생할 수 있다. 따라서 본 발명의 발명자들은 플렉서블 표시 장치를 벤딩하거나 폴딩하여, 베젤/테두리 좁히기 또는 없애기 형상을 구현하고자 하였다.As the size and resolution of the flexible display device progresses, a space for arranging wiring becomes insufficient. In particular, when the non-display area is increased to arrange wiring, it may be difficult to realize miniaturization, thinness, and narrow bezel/zero bezel shape. Accordingly, the inventors of the present invention have attempted to implement a shape of narrowing or eliminating the bezel/edge by bending or folding the flexible display device.

플렉서블 표시 장치가 벤딩되거나 폴딩되는 경우, 배선이 형성된 기판이 벤딩되거나 폴딩되어 응력을 받아 배선이 파손(crack)될 수 있다. 배선이 파손되면, 정상적인 신호 전달이 이루어지지 않으므로 박막 트랜지스터나 유기 발광 소자가 정상적으로 동작하지 못하게 되고, 플렉서블 표시 장치의 불량으로 이어질 수 있다. When the flexible display device is bent or folded, the substrate on which the wiring is formed is bent or folded, and the wiring may be cracked due to stress. If the wiring is damaged, normal signal transmission is not performed, so that the thin film transistor or the organic light emitting diode may not operate normally, which may lead to a defect in the flexible display device.

또한, 플렉서블 표시 장치가 벤딩되거나 폴딩되는 경우, 기판이 벤딩되거나 폴딩되어 응력에 의해 기판도 파손(crack)될 수 있다. 기판의 일부 영역에 파손되는 경우, 발생된 파손은 기판의 다른 영역으로 전파되고, 기판 상에 있는 배선으로 전파되어 플렉서블 표시 장치의 불량으로 이어질 수 있다.Also, when the flexible display device is bent or folded, the substrate may be bent or folded and the substrate may also be cracked due to stress. When a portion of the substrate is damaged, the generated damage may be propagated to other regions of the substrate and may be propagated to wiring on the substrate, which may lead to defects in the flexible display device.

이에, 본 발명의 발명자들은 플렉서블 표시 장치가 벤딩되거나 폴딩되는 경우 기판 및 배선이 파손되는 것이 최소화될 수 있는 새로운 구조에 대해서 고안하게 되었다.Accordingly, the inventors of the present invention have devised a new structure in which damage to the substrate and wiring can be minimized when the flexible display device is bent or folded.

본 명세서의 과제들은 이상에서 언급한 과제들로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 과제들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.The tasks of the present specification are not limited to the tasks mentioned above, and other tasks not mentioned will be clearly understood by those skilled in the art from the following description.

본 발명의 일 실시예에 따른 플렉서블 표시 장치는, 표시 영역 및 표시 영역에 인접한 벤딩 영역을 구비하는 기판, 기판 상에 위치하고, 표시 영역으로부터 벤딩 영역으로 연장되며, 적어도 벤딩 영역에서 굴곡 형상을 가지는 배선 및 기판의 벤딩 영역에 구비되며, 배선의 하부에 위치하는 복수 개의 요철 패턴을 포함하고, 복수 개의 요철 패턴 각각의 폭은 배선의 폭 보다 작다.A flexible display device according to an exemplary embodiment includes a substrate having a display area and a bending area adjacent to the display area, a wiring positioned on the substrate, extending from the display area to the bending area, and having a curved shape at least in the bending area and a plurality of concavo-convex patterns provided in the bending region of the substrate and positioned under the wiring, wherein a width of each of the plurality of concavo-convex patterns is smaller than the width of the wiring.

요철 패턴은, 기판의 표면적을 넓히는 표면적 확충(Expansion) 구조를 구비하여, 배선으로 전달되는 벤딩 스트레스를 최소화한다.The concave-convex pattern has a surface area expansion structure that increases the surface area of the substrate to minimize bending stress transmitted to the wiring.

요철 패턴은, 굴곡 형상을 가지는 배선에 대응하여 위치한다.The concave-convex pattern is positioned corresponding to the wiring having a curved shape.

표면적 확충 구조는, 요철 패턴이 기판의 하면에 볼록하게 돌출된다.In the surface area expansion structure, the concave-convex pattern convexly protrudes on the lower surface of the substrate.

표면적 확충 구조는, 요철 패턴이 기판의 상면에 오목하게 침강된다.In the surface area expansion structure, the concave-convex pattern is concavely deposited on the upper surface of the substrate.

굴곡 형상을 가지는 배선의 하면은, 볼록하게 돌출되어 요철 패턴을 충진하는 배선이다.The lower surface of the wiring having a curved shape is a wiring that protrudes convexly and fills the concave-convex pattern.

굴곡 형상을 가지는 배선의 상면은, 요철 패턴에 대응하는 부분이 오목하게 침강된다.In the upper surface of the wiring having a curved shape, a portion corresponding to the concave-convex pattern is depressed.

요철 패턴은, 벤딩 영역의 벤딩 축에 가까울수록 더 조밀하게 배치된다.The concavo-convex pattern is arranged more densely as it approaches the bending axis of the bending region.

본 발명의 또 다른 실시예에 따른 표시 장치는, 플렉서블 기판을 포함하는 표시 장치에 있어서, 플렉서블 기판은 복수 개의 요철 구조물을 포함하는 요철부를 구비하여, 플렉서블 기판이 벤딩될 때 발생하는 벤딩 스트레스에 저항(Resistance)하여 플렉서블 기판 및 플렉서블 기판 상에 있는 배선의 파손(Crack)을 최소화하도록 구성된다.A display device according to another embodiment of the present invention includes a display device including a flexible substrate, wherein the flexible substrate includes concavo-convex portions including a plurality of concavo-convex structures to resist bending stress generated when the flexible substrate is bent. (Resistance) to minimize the breakage (crack) of the flexible substrate and the wiring on the flexible substrate.

요철 구조물은, 플렉서블 기판이 구비하는 벤딩 영역에서 표면적을 넓혀서 플렉서블 기판이 받는 벤딩 스트레스를 분산한다.The concave-convex structure expands a surface area in a bending region of the flexible substrate to distribute bending stress applied to the flexible substrate.

요철 구조물 하나의 폭은, 상기 배선의 폭보다 작다.A width of one uneven structure is smaller than a width of the wiring.

하나의 요철 구조물과 인접한 또 다른 하나의 요철 구조물 사이의 간격은 0.5μm 내지 3μm이다.An interval between one concave-convex structure and another adjacent concave-convex structure is 0.5 μm to 3 μm.

배선은, 요철 구조물과 접촉하여 배선이 받는 벤딩 스트레스가 배선의 볼록부에 의해서 분산되도록 구성된다.The wiring is configured such that bending stress applied to the wiring in contact with the concave-convex structure is distributed by the convex portion of the wiring.

배선의 볼록부는, 요철 구조물이 배선과 접촉하는 일면에 위치한다.The convex portion of the wiring is located on one surface where the concave-convex structure contacts the wiring.

배선은, 볼록부와 대응하는 오목부를 배선의 타면에 구비하여 배선의 연신율이 향상되도록 구성된다.The wiring is configured such that the elongation of the wiring is improved by providing a concave portion corresponding to the convex portion on the other surface of the wiring.

요철 구조물은, 배선과 접촉하는 플렉서블 기판의 일면과 대향하는 타면에 위치하여 배선으로 전달되는 벤딩 스트레스를 최소화한다.The concave-convex structure is positioned on one surface of the flexible substrate in contact with the wiring and the other surface facing the wiring to minimize bending stress transmitted to the wiring.

본 발명은 플렉서블 기판이 복수 개의 요철 구조물을 포함하는 요철부를 구비하여, 상기 플렉서블 기판 및 기판 상에 있는 배선의 파손을 최소화될 수 있다.According to the present invention, since the flexible substrate has an uneven portion including a plurality of uneven structures, damage to the flexible substrate and wiring on the substrate may be minimized.

본 발명의 실시예들에 따른 효과는 이상에서 예시된 내용에 의해 제한되지 않으며 더욱 다양한 효과들이 본 명세서 내에 포함되어 있다.Effects according to the embodiments of the present invention are not limited by the contents exemplified above, and more various effects are included in the present specification.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 플렉서블 표시 장치를 설명하기 위한 평면도이다.
도 2는 도 1의 I-I'에 따른 플렉서블 표시 장치의 단면도이다.
도 3은 도 2의 A 영역에 대한 배선 구조를 설명하기 위한 평면도이다.
도 4는 도 3의 II-II'에 따른 배선 구조의 단면도이다.
도 5는 도 4의 표면적 확충 구조를 구비하는 기판 및 벤딩 영역에 배선을 형성하는 방법을 설명하기 위한 순서도이다
도 6 및 도 8은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 플렉서블 표시 장치가 구비하는 배선 구조를 설명하기 위한 단면도이다.
도 9는 도 8의 표면적 확충 구조를 구비하는 기판 및 벤딩 영역에 배선을 형성하는 방법을 설명하기 위한 순서도이다
1 is a plan view illustrating a flexible display device according to an exemplary embodiment.
FIG. 2 is a cross-sectional view of the flexible display device taken along line I-I' of FIG. 1 .
FIG. 3 is a plan view for explaining a wiring structure for a region A of FIG. 2 .
4 is a cross-sectional view of a wiring structure taken along line II-II' of FIG. 3 .
FIG. 5 is a flowchart for explaining a method of forming a wiring in a bending region and a substrate having the surface area expansion structure of FIG. 4 ;
6 and 8 are cross-sectional views illustrating a wiring structure included in a flexible display device according to another exemplary embodiment.
9 is a flowchart for explaining a method of forming a wiring in a bending region and a substrate having the surface area expansion structure of FIG. 8 ;

본 명세서의 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예들에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 것이며, 단지 본 실시예들은 본 발명의 개시가 완전하도록 하며, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이며, 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다.Advantages and features of the present specification and methods of achieving them will become apparent with reference to the embodiments described below in detail in conjunction with the accompanying drawings. However, the present invention is not limited to the embodiments disclosed below, but will be implemented in various different forms, and only these embodiments allow the disclosure of the present invention to be complete, and common knowledge in the technical field to which the present invention belongs It is provided to fully inform the possessor of the scope of the invention, and the present invention is only defined by the scope of the claims.

본 명세서의 실시예를 설명하기 위한 도면에 개시된 형상, 크기, 비율, 각도, 개수 등은 예시적인 것이므로 본 명세서가 도시된 사항에 한정되는 것은 아니다. 명세서 전체에 걸쳐 동일 참조 부호는 동일 구성 요소를 지칭한다. 또한, 본 발명을 설명함에 있어서, 관련된 공지 기술에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우 그 상세한 설명은 생략한다. 본 명세서 상에서 언급된 '포함한다', '갖는다', '이루어진다' 등이 사용되는 경우 '~만'이 사용되지 않는 이상 다른 부분이 추가될 수 있다. 구성 요소를 단수로 표현한 경우에 특별히 명시적인 기재 사항이 없는 한 복수를 포함하는 경우를 포함한다. 구성 요소를 해석함에 있어서, 별도의 명시적 기재가 없더라도 오차 범위를 포함하는 것으로 해석한다.The shapes, sizes, proportions, angles, numbers, etc. disclosed in the drawings for explaining the embodiments of the present specification are exemplary, and thus the present specification is not limited to the illustrated matters. Like reference numerals refer to like elements throughout. In addition, in describing the present invention, if it is determined that a detailed description of a related known technology may unnecessarily obscure the subject matter of the present invention, the detailed description thereof will be omitted. When 'including', 'having', 'consisting', etc. mentioned in this specification are used, other parts may be added unless 'only' is used. When a component is expressed in the singular, the case in which the plural is included is included unless specifically stated otherwise. In interpreting the components, it is interpreted as including an error range even if there is no separate explicit description.

위치 관계에 대한 설명일 경우, 예를 들어, '~상에', '~상부에', '~하부에', '~옆에' 등으로 두 부분의 위치 관계가 설명되는 경우, '바로' 또는 '직접'이 사용되지 않는 이상 두 부분 사이에 하나 이상의 다른 부분이 위치할 수도 있다. 소자 또는 층이 다른 소자 또는 층 "위 (on)"로 지칭되는 것은 다른 소자 바로 위에 또는 중간에 다른 층 또는 다른 소자를 개재한 경우를 모두 포함한다. 어떤 구성 요소가 다른 구성요소에 "연결", "결합" 또는 "접속"된다고 기재된 경우, 그 구성 요소는 그 다른 구성요소에 직접적으로 연결되거나 또는 접속될 수 있지만, 각 구성 요소 사이에 다른 구성 요소가 "개재"되거나, 각 구성 요소가 다른 구성 요소를 통해 "연결", "결합" 또는 "접속"될 수도 있다고 이해되어야 할 것이다. In the case of a description of the positional relationship, for example, when the positional relationship of two parts is described as 'on', 'on', 'on', 'beside', etc., 'right' Alternatively, one or more other parts may be positioned between two parts unless 'directly' is used. Reference to a device or layer “on” another device or layer includes any intervening layer or other device directly on or in the middle of another device. When it is described that a component is “connected”, “coupled” or “connected” to another component, the component may be directly connected or connected to the other component, but other components may be interposed between each component. It should be understood that each component may be “interposed” or “connected,” “coupled,” or “connected” through another component.

비록 제1, 제2 등이 다양한 구성요소들을 서술하기 위해서 사용되나, 이들 구성요소들은 이들 용어에 의해 제한되지 않는다. 이들 용어들은 단지 하나의 구성요소를 다른 구성요소와 구별하기 위하여 사용하는 것이다. 따라서, 이하에서 언급되는 제1 구성요소는 본 발명의 기술적 사상 내에서 제2 구성요소일 수도 있다.Although first, second, etc. are used to describe various elements, these elements are not limited by these terms. These terms are only used to distinguish one component from another. Accordingly, the first component mentioned below may be the second component within the spirit of the present invention.

명세서 전체에 걸쳐 동일 참조 부호는 동일 구성 요소를 지칭한다.Like reference numerals refer to like elements throughout.

도면에서 나타난 각 구성의 크기 및 두께는 설명의 편의를 위해 도시된 것이며, 본 발명이 도시된 구성의 크기 및 두께에 반드시 한정되는 것은 아니다.The size and thickness of each component shown in the drawings are illustrated for convenience of description, and the present invention is not necessarily limited to the size and thickness of the illustrated component.

본 발명의 여러 실시예들의 각각 특징들이 부분적으로 또는 전체적으로 서로 결합 또는 조합 가능하고, 기술적으로 다양한 연동 및 구동이 가능하며, 각 실시예들이 서로에 대하여 독립적으로 실시 가능할 수도 있고 연관 관계로 함께 실시할 수도 있다.Each feature of the various embodiments of the present invention may be partially or wholly combined or combined with each other, technically various interlocking and driving are possible, and each of the embodiments may be implemented independently of each other or may be implemented together in a related relationship. may be

이하에서는 도면을 참조하여 본 발명에 대해 상세히 설명하기로 한다.Hereinafter, the present invention will be described in detail with reference to the drawings.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 플렉서블 표시 장치를 설명하기 위한 평면도이다. 1 is a plan view illustrating a flexible display device according to an exemplary embodiment.

도 1에 도시된 바와 같이, 플렉서블 표시 장치(100)는 표시 영역(active area; A/A) 및 표시 영역(A/A)을 둘러싸는 비표시 영역(inactive area; I/A)을 포함한다. 표시 영역(A/A)에는 유기 발광 소자(160)들이 포함된 픽셀 어레이(Pixel array)가 배치된다. 플렉서블 표시 장치(100)는 표시 영역(A/A)이 1개인 것으로 도시되었으나, 표시 영역(A/A)은 복수일 수도 있다.1 , the flexible display device 100 includes an active area A/A and an inactive area I/A surrounding the display area A/A. . A pixel array including organic light emitting devices 160 is disposed in the display area A/A. Although the flexible display device 100 is illustrated as having one display area A/A, there may be a plurality of display areas A/A.

표시 영역(A/A)은 플렉서블 표시 장치(100)에서 영상이 표시되는 영역으로서, 표시 영역(A/A)에는 유기 발광 소자(160) 및 유기 발광 소자(160)를 구동하기 위한 다양한 구동 소자들이 배치될 수 있다. The display area A/A is an area in which an image is displayed in the flexible display device 100 , and the display area A/A includes the organic light emitting device 160 and various driving devices for driving the organic light emitting device 160 . can be placed.

비표시 영역(I/A)은 표시 영역(A/A) 주위에 배치될 수 있다. 구체적으로 비표시 영역(I/A)은 표시 영역(A/A)을 둘러쌀 수 있다. 비표시 영역(I/A)은 사각형 형태의 표시 영역(A/A)을 둘러싸는 것으로 도시되었으나, 표시 영역(A/A)의 형태 및 배치와 표시 영역(A/A)에 인접한 비표시 영역(I/A)의 형태 및 배치는 이에 한정되지 않는다. 예를 들어, 사용자가 착용 가능한(wearable) 기기의 표시 장치일 경우 일반 손목시계와 같은 원(circular) 형태를 가질 수도 있으며, 차량 계기판 등에 응용 가능한 자유형(free-form) 표시 장치에도 본 실시예들의 개념들이 적용될 수도 있다.The non-display area I/A may be disposed around the display area A/A. Specifically, the non-display area I/A may surround the display area A/A. Although the non-display area I/A is illustrated as enclosing the rectangular display area A/A, the shape and arrangement of the display area A/A and the non-display area adjacent to the display area A/A The shape and arrangement of (I/A) are not limited thereto. For example, in the case of a display device of a wearable device by a user, it may have a circular shape such as a general wrist watch, and also in a free-form display device applicable to a vehicle instrument panel, etc. of the present embodiments. Concepts may apply.

비표시 영역(I/A)은 예를 들어, 스캔 라인(SL)과 같은 신호를 공급하는 배선(170) 및 게이트 구동부(191) 등과 같은 회로부가 형성되는 영역이다. 게이트 구동부(191)는 GIP 형태로 배치될 수 있다. 또한, 데이터 드라이버도 비표시 영역(I/A)에 배치될 수 있다.The non-display area I/A is, for example, an area in which circuits such as the wiring 170 supplying a signal such as the scan line SL and the gate driver 191 are formed. The gate driver 191 may be disposed in a GIP shape. Also, the data driver may be disposed in the non-display area I/A.

비표시 영역(I/A)에 패드(195)가 배치된다. 예를 들어, 비표시 영역(I/A)에서 기판(110)의 일 측에 패드(195)가 배치된다. 패드(195)는 외부 모듈, 예를 들어, FPCB(flexible printed circuit board), COF(chip on film) 등이 본딩되는(bonded) 금속 패턴이다. 패드(195)는 기판(110)의 일 측에 배치되는 것으로 도시되었으나, 패드(195)의 형태 및 배치는 이에 한정되지 않는다.A pad 195 is disposed in the non-display area I/A. For example, the pad 195 is disposed on one side of the substrate 110 in the non-display area I/A. The pad 195 is a metal pattern to which an external module, for example, a flexible printed circuit board (FPCB), a chip on film (COF), or the like is bonded. Although the pad 195 is illustrated as being disposed on one side of the substrate 110 , the shape and arrangement of the pad 195 are not limited thereto.

비표시 영역(I/A)에 배선(170)이 배치된다. 배선(170)은 패드(195)와 본딩되는 외부 모듈로부터의 신호(전압)를 표시 영역(A/A) 또는 게이트 구동부(191)와 같은 회로부에 전달하기 위한 배선(170)이다. 예를 들어, 배선(170)을 통해 게이트 구동부(191)를 구동하기 위한 다양한 신호, 데이터 신호, 고전위 전압(VDD), 저전위 전압(VSS) 등과 같은 다양한 신호가 전달될 수 있다. 이때 배선(170)은 표시 영역(A/A)에 배치된 다양한 도전성 구성요소와 동일한 물질로 동시에 형성될 수 있다.A wiring 170 is disposed in the non-display area I/A. The wiring 170 is a wiring 170 for transmitting a signal (voltage) from an external module bonded to the pad 195 to a circuit unit such as the display area A/A or the gate driver 191 . For example, various signals for driving the gate driver 191 may be transmitted through the wiring 170 , such as a data signal, a high potential voltage VDD, and a low potential voltage VSS. In this case, the wiring 170 may be simultaneously formed of the same material as various conductive components disposed in the display area A/A.

벤딩 영역(B/A)(또는 폴딩 영역)은 플렉서블 표시 장치(100)가 벤딩(또는 폴딩)될 때, 휠 수 있는 영역이다. 본 발명에서 벤딩 영역(B/A)은 표시 영역(A/A)과 인접하는 비표시 영역(I/A)에 위치한다. 벤딩 영역(B/A)은 패드(195) 및 패드(195)에 본딩된 외부 모듈을 기판(110)의 하부에 배치하기 위한 영역이다. 즉, 벤딩 영역(B/A)이 벤딩됨에 따라(도 1의 화살표 방향) 기판(110)의 패드(195)에 본딩된 외부 모듈이 기판(110) 하부로 이동하게 되고, 기판(110) 상부에서 바라보았을 때 외부 모듈이 시인되지 않을 수 있다. 또한, 벤딩 영역(B/A)이 벤딩됨에 따라 기판(110) 상부에서 시인되는 비표시 영역(I/A)의 크기가 감소되어 네로우 베젤(narrow bezel)이 구현될 수 있다. 단, 본 발명에서는 비표시 영역(I/A)에 벤딩 영역(B/A)이 있는 것으로 묘사하였으나, 이에 한정되지 않으며, 벤딩 영역(B/A)은 표시 영역(A/A) 전체 또는 일부에 위치할 수 있으며, 표시 영역(A/A) 자체를 다양한 방향으로 벤딩 가능하여 표시 영역(A/A)에 위치한 벤딩 영역(B/A)도 본 발명에서 언급한 효과를 누릴 수 있다.The bending area B/A (or folding area) is an area that can be bent when the flexible display device 100 is bent (or folded). In the present invention, the bending area B/A is located in the non-display area I/A adjacent to the display area A/A. The bending area B/A is an area for disposing the pad 195 and the external module bonded to the pad 195 under the substrate 110 . That is, as the bending region B/A is bent (in the direction of the arrow in FIG. 1 ), the external module bonded to the pad 195 of the substrate 110 moves to the lower portion of the substrate 110 , and the upper portion of the substrate 110 . External modules may not be recognized when viewed from In addition, as the bending area B/A is bent, the size of the non-display area I/A viewed from the upper portion of the substrate 110 may be reduced, so that a narrow bezel may be implemented. However, in the present invention, although it has been described that the bending area B/A is included in the non-display area I/A, the present invention is not limited thereto, and the bending area B/A is all or part of the display area A/A. may be positioned in the , and since the display area A/A itself can be bent in various directions, the bending area B/A located in the display area A/A may also enjoy the effects mentioned in the present invention.

벤딩 영역(B/A)은 벤딩 축(Bending axis)(또는 폴딩 축)을 기준으로 특정한 곡률 반경에 따라 벤딩될 수 있다. 구체적으로, 벤딩 축은 X축 일 수 있다. 벤딩 영역(BA)이 벤딩 축을 기준으로 벤딩되는 경우, 벤딩 영역(BA)은 원 또는 타원의 일부를 형성할 수 있다. 이때, 벤딩 영역(BA)의 곡률 반경은 벤딩 영역(BA)이 형성하는 원 또는 타원의 일부에 대응하는 원 또는 타원의 반지름을 의미한다. 본 발명에서는 벤딩 영역(B/A)에 X축 방향의 벤딩 축이 위치하고, Y축 방향으로 벤딩 영역(B/A)으로부터 연장되어 벤딩 축과 수직하여 표시 영역(A/A)이 위치하는 것을 예로 들어 설명하나, 본 발명이 이에 한정되는 것은 아니다.The bending area B/A may be bent according to a specific radius of curvature based on a bending axis (or a folding axis). Specifically, the bending axis may be the X-axis. When the bending area BA is bent based on the bending axis, the bending area BA may form a part of a circle or an ellipse. In this case, the radius of curvature of the bending area BA means a radius of a circle or an ellipse corresponding to a part of the circle or ellipse formed by the bending area BA. In the present invention, the bending axis in the X-axis direction is positioned in the bending area B/A, and the display area A/A is positioned perpendicular to the bending axis by extending from the bending area B/A in the Y-axis direction. Although described as an example, the present invention is not limited thereto.

도 2는 도 1의 I-I'에 따른 플렉서블 표시 장치의 단면도이다. 도 2에 도시된 본 발명의 일 실시예에 따른 플렉서블 표시 장치(100)는 유기 발광 소자(160)에서 발광된 광이 캐소드(163)을 통해서 플렉서블 표시 장치 상부로 방출되는 탑 에미션(top emission) 방식의 플렉서블 표시 장치이다. 단 본 발명은 탑 에미션 방식의 플렉서블 표시 장치(100)에 한정되지 않으며, 바텀 에미션(bottom-emission) 방식, 및 양면 에미션(dual side-emission) 방식의 플렉서블 표시 장치에서 적용될 수 있다. FIG. 2 is a cross-sectional view of the flexible display device taken along line I-I' of FIG. 1 . In the flexible display device 100 according to an embodiment of the present invention shown in FIG. 2 , the light emitted from the organic light emitting diode 160 is emitted to the upper portion of the flexible display device through the cathode 163 top emission. ) type of flexible display device. However, the present invention is not limited to the top-emission flexible display device 100, and may be applied to the bottom-emission and dual side-emission flexible display devices.

도 2에 도시된 바와 같이, 기판(110)은 플렉서블 표시 장치(100)의 다양한 구성요소들을 지지한다. 기판(110)에는 유기 발광 소자(160)들이 포함된 픽셀 어레이(pixel array)가 배치된다. As shown in FIG. 2 , the substrate 110 supports various components of the flexible display device 100 . A pixel array including organic light emitting devices 160 is disposed on the substrate 110 .

기판(110)은 플렉서빌리티(flexibility)(또는 가요성)를 갖는 플라스틱 물질로 이루어질 수 있으므로, 벤딩 가능한 플렉서블(flexible) 기판(110)이다. 이때 플렉서블 기판(110)은 벤딩 축을 기준으로 벤딩(bending)될 때 플렉서블 표시 장치는 벤딩될 수 있다. 예를 들어, 기판(110)이 폴리이미드(PI)로 이루어지는 경우, 기판(110) 하부에 유리로 이루어지는 지지 기판이 배치된 상황에서 제조 공정이 진행되고, 제조 공정이 완료된 후 지지 기판이 릴리즈(release)될 수 있다. 또한, 지지 기판이 릴리즈된 후, 플렉서블 기판을 지지하기 위한 백 플레이트(back plate)가 플렉서블 기판(110) 하부에 배치될 수도 있다. Since the substrate 110 may be made of a plastic material having flexibility (or flexibility), it is a flexible substrate 110 that is bendable. In this case, when the flexible substrate 110 is bent based on the bending axis, the flexible display device may be bent. For example, when the substrate 110 is made of polyimide (PI), the manufacturing process proceeds in a situation where a support substrate made of glass is disposed under the substrate 110, and after the manufacturing process is completed, the support substrate is released ( can be released). In addition, after the support substrate is released, a back plate for supporting the flexible substrate may be disposed under the flexible substrate 110 .

박막 트랜지스터(130)는 플렉서블 기판(110) 상에 배치된다. 박막 트랜지스터(130)는 폴리 실리콘으로 이루어지는 액티브 층(131), 게이트 전극(134), 소스 전극(132) 및 드레인 전극(133)을 포함한다. 박막 트랜지스터(130)는 구동 박막 트랜지스터이고, 게이트 전극(134)이 액티브 층(131) 상에 배치되는 탑 게이트 구조의 박막 트랜지스터이다. 설명의 편의를 위해, 플렉서블 표시 장치(100)에 포함될 수 있는 다양한 박막 트랜지스터 중 구동 박막 트랜지스터만을 도시하였으나, 스위칭 박막 트랜지스터 등과 같은 다른 박막 트랜지스터도 플렉서블 표시 장치(100)에 포함될 수 있다. 또한, 설명의 편의를 위해, 박막 트랜지스터(130)가 코플래너(coplanar) 구조인 것으로 설명하였으나, 스태거드(staggered) 구조 등과 같은 다른 구조로 박막 트랜지스터(130)가 구현될 수도 있다.The thin film transistor 130 is disposed on the flexible substrate 110 . The thin film transistor 130 includes an active layer 131 made of polysilicon, a gate electrode 134 , a source electrode 132 , and a drain electrode 133 . The thin film transistor 130 is a driving thin film transistor and has a top gate structure in which the gate electrode 134 is disposed on the active layer 131 . For convenience of description, only a driving thin film transistor among various thin film transistors that may be included in the flexible display device 100 is illustrated, but other thin film transistors such as a switching thin film transistor may also be included in the flexible display device 100 . Also, for convenience of description, although the thin film transistor 130 has been described as having a coplanar structure, the thin film transistor 130 may be implemented with other structures such as a staggered structure.

박막 트랜지스터(130)의 액티브 층(131)은 플렉서블 기판(110) 상에 배치된다. 액티브 층(131)은 박막 트랜지스터(130) 구동 시 채널이 형성되는 채널 영역(channel area; CA), 채널 영역(CA) 양 측의 소스 영역(source area; SA) 및 드레인 영역(drain area; DA)을 포함한다. 채널 영역(CA), 소스 영역(SA) 및 드레인 영역(DA)은 이온 도핑(불순물 도핑)에 의해 정의된다.The active layer 131 of the thin film transistor 130 is disposed on the flexible substrate 110 . The active layer 131 includes a channel area CA in which a channel is formed when the thin film transistor 130 is driven, a source area SA and a drain area DA on both sides of the channel area CA. ) is included. The channel region CA, the source region SA, and the drain region DA are defined by ion doping (impurity doping).

박막 트랜지스터(130)의 액티브 층(131)은 폴리 실리콘으로 이루어질 수 있다. 이에, 플렉서블 기판(110) 상에 아몰퍼스 실리콘(a-Si) 물질을 증착하고, 탈수소화 공정, 결정화 공정, 활성화 공정 및 수소화 공정을 수행하는 방식으로 폴리 실리콘이 형성되고, 폴리 실리콘을 패터닝하여 액티브 층(131)이 형성될 수 있다. 액티브 층(131)이 폴리 실리콘으로 이루어지는 경우, 박막 트랜지스터(130)는 저온 폴리 실리콘(Low Temperature Poly-Silicon; LTPS)을 이용한 LTPS 박막 트랜지스터(130)일 수 있다. 폴리 실리콘 물질은 이동도가 높아, 액티브 층(131)이 폴리 실리콘으로 이루어지는 경우 에너지 소비 전력이 낮고 신뢰성이 우수하다는 장점이 있다.The active layer 131 of the thin film transistor 130 may be made of polysilicon. Accordingly, polysilicon is formed by depositing an amorphous silicon (a-Si) material on the flexible substrate 110 and performing a dehydrogenation process, a crystallization process, an activation process, and a hydrogenation process, and patterning the polysilicon to form an active material. A layer 131 may be formed. When the active layer 131 is made of polysilicon, the thin film transistor 130 may be an LTPS thin film transistor 130 using low temperature poly-silicon (LTPS). Since the polysilicon material has high mobility, when the active layer 131 is made of polysilicon, energy consumption is low and reliability is excellent.

게이트 절연층(112)은 액티브 층(131)과 플렉서블 기판(110) 상에 배치된다. 게이트 절연층(112)은 무기물인 질화 실리콘(SiNx) 또는 산화 실리콘(SiOx)의 단일층 또는 질화 실리콘(SiNx) 또는 산화 실리콘(SiOx)의 다중층으로 구성될 수 있다. 게이트 절연층(112)에는 소스 전극(132) 및 드레인 전극(133) 각각이 액티브 층(131)의 소스 영역(SA) 및 드레인 영역(DA) 각각에 컨택하기 위한 컨택홀을 구비한다. The gate insulating layer 112 is disposed on the active layer 131 and the flexible substrate 110 . The gate insulating layer 112 may be formed of a single layer of inorganic silicon nitride (SiNx) or silicon oxide (SiOx) or a multilayer of silicon nitride (SiNx) or silicon oxide (SiOx). The gate insulating layer 112 has a contact hole through which the source electrode 132 and the drain electrode 133 respectively contact the source area SA and the drain area DA of the active layer 131 .

게이트 전극(134)은 게이트 절연층(112) 상에 배치된다. 게이트 절연층(112) 상에 몰리브덴(Mo) 등과 같은 금속층을 형성하고, 금속층을 패터닝하여 게이트 전극(134)이 형성된다. 게이트 전극(134)은 액티브 층(131)의 채널 영역(CA)과 중첩하도록 게이트 절연층(112) 상에 배치된다.The gate electrode 134 is disposed on the gate insulating layer 112 . A metal layer such as molybdenum (Mo) is formed on the gate insulating layer 112 and the metal layer is patterned to form a gate electrode 134 . The gate electrode 134 is disposed on the gate insulating layer 112 to overlap the channel region CA of the active layer 131 .

게이트 전극(134) 상에 층간 절연층(115)이 배치된다. 층간 절연층(115)은 무기물인 질화 실리콘(SiNx) 또는 산화 실리콘(SiOx)의 단일층 또는 질화 실리콘(SiNx) 또는 산화 실리콘(SiOx)의 다중층으로 구성될 수 있다. 층간 절연층(115)에는 소스 전극(132) 및 드레인 전극(133) 각각이 액티브 층(131)의 소스 영역(SA) 및 드레인 영역(DA) 각각에 컨택하기 위한 컨택홀이 형성된다. An interlayer insulating layer 115 is disposed on the gate electrode 134 . The interlayer insulating layer 115 may be formed of a single layer of inorganic silicon nitride (SiNx) or silicon oxide (SiOx) or a multilayer of silicon nitride (SiNx) or silicon oxide (SiOx). A contact hole is formed in the interlayer insulating layer 115 to contact each of the source electrode 132 and the drain electrode 133 to the source area SA and the drain area DA of the active layer 131 .

소스 전극(132) 및 드레인 전극(133)은 층간 절연층(115) 상에 배치된다. 소스 전극(132) 및 드레인 전극(133)은 도전성 금속 물질로 이루어질 수 있고, 예를 들어, 티타늄(Ti)/알루미늄(Al)/티타늄(Ti)의 3층 구조 등으로 이루어질 수 있다. 소스 전극(132) 및 드레인 전극(133) 각각은 컨택홀을 통해 액티브 층(131)의 소스 영역(SA) 및 드레인 영역(DA) 각각에 연결된다.The source electrode 132 and the drain electrode 133 are disposed on the interlayer insulating layer 115 . The source electrode 132 and the drain electrode 133 may be formed of a conductive metal material, for example, may have a three-layer structure of titanium (Ti)/aluminum (Al)/titanium (Ti). Each of the source electrode 132 and the drain electrode 133 is connected to each of the source area SA and the drain area DA of the active layer 131 through a contact hole.

스토리지 커패시터(120)는 플렉서블 기판(110) 상에 배치된다. 스토리지 커패시터(120)는 게이트 절연층(112) 상에 배치된 제1 전극(121) 및 층간 절연층(115) 상에 배치된 제2 전극(122)을 포함한다. 스토리지 커패시터(120)의 제1 전극(121)은 박막 트랜지스터(130)의 게이트 전극(134)과 동일한 물질로 동시에 형성되고, 스토리지 커패시터(120)의 제2 전극(122)은 박막 트랜지스터(130)의 소스 전극(132) 및 드레인 전극(133)과 동일한 물질로 동시에 형성될 수 있다. 이에 따라, 스토리지 커패시터(120)는 별도의 추가적인 공정의 필요 없이, 박막 트랜지스터(130) 제조 공정 중에 형성될 수 있으므로, 공정 비용 및 공정 시간 측면에서 효율성이 존재한다.The storage capacitor 120 is disposed on the flexible substrate 110 . The storage capacitor 120 includes a first electrode 121 disposed on the gate insulating layer 112 and a second electrode 122 disposed on the interlayer insulating layer 115 . The first electrode 121 of the storage capacitor 120 is simultaneously formed of the same material as the gate electrode 134 of the thin film transistor 130 , and the second electrode 122 of the storage capacitor 120 is formed of the thin film transistor 130 . It may be simultaneously formed of the same material as the source electrode 132 and the drain electrode 133 of Accordingly, since the storage capacitor 120 may be formed during the manufacturing process of the thin film transistor 130 without the need for a separate additional process, efficiency exists in terms of process cost and process time.

패시베이션층(116)은 박막 트랜지스터(130) 및 스토리지 커패시터(120) 상에 배치될 수 있다. 패시베이션층(116)은 박막 트랜지스터(130) 및 스토리지 커패시터(120)를 보호하기 위한 절연층이다. 패시베이션층(116)은 무기물인 질화 실리콘(SiNx) 또는 산화 실리콘(SiOx)의 단일층 또는 질화 실리콘(SiNx) 또는 산화 실리콘(SiOx)의 다중층으로 구성될 수 있다. 패시베이션층(116)은 유기 발광 소자(160)의 애노드(161)가 박막 트랜지스터(130)와 연결되기 위한 컨택홀을 구비한다. 패시베이션층(116)은 반드시 필요한 구성요소는 아니며, 플렉서블 표시 장치(100)의 설계에 따라 생략될 수도 있다.The passivation layer 116 may be disposed on the thin film transistor 130 and the storage capacitor 120 . The passivation layer 116 is an insulating layer for protecting the thin film transistor 130 and the storage capacitor 120 . The passivation layer 116 may be formed of a single layer of inorganic silicon nitride (SiNx) or silicon oxide (SiOx) or a multilayer of silicon nitride (SiNx) or silicon oxide (SiOx). The passivation layer 116 has a contact hole through which the anode 161 of the organic light emitting diode 160 is connected to the thin film transistor 130 . The passivation layer 116 is not a necessary component and may be omitted depending on the design of the flexible display device 100 .

평탄화 층(113)은 패시베이션층(116) 상에 배치된다. 평탄화 층(113)은 박막 트랜지스터(130) 상부를 평탄화하기 위한 절연층으로서, 유기물로 이루어질 수 있다. 패시베이션층(116)은 박막 트랜지스터(130) 및 스토리지 커패시터(120)의 상부의 형상을 따라 형성되므로, 박막 트랜지스터(130) 및 스토리지 커패시터(120)에 의해 패시베이션층(116)이 평탄화되지 못하고 단차가 존재할 수 있다. 이에, 평탄화 층(113)은 박막 트랜지스터(130) 및 스토리지 커패시터(120) 상부를 평탄화하여, 유기 발광 소자(160)가 보다 신뢰성 있게 형성될 수 있다. 평탄화 층(113)에는 박막 트랜지스터(130)의 소스 전극(132)을 노출시키기 위한 컨택홀이 형성된다.A planarization layer 113 is disposed on the passivation layer 116 . The planarization layer 113 is an insulating layer for planarizing the upper portion of the thin film transistor 130 , and may be made of an organic material. Since the passivation layer 116 is formed along the shape of the upper portions of the thin film transistor 130 and the storage capacitor 120 , the passivation layer 116 is not planarized by the thin film transistor 130 and the storage capacitor 120 , and a step difference is not achieved. may exist. Accordingly, the planarization layer 113 planarizes the upper portions of the thin film transistor 130 and the storage capacitor 120 , so that the organic light emitting diode 160 can be formed more reliably. A contact hole for exposing the source electrode 132 of the thin film transistor 130 is formed in the planarization layer 113 .

평탄화 층(113) 상에 유기 발광 소자(160)가 배치된다. 유기 발광 소자(160)는 평탄화 층(113)에 형성되어 박막 트랜지스터(130)의 소스 전극(132)과 전기적으로 연결된 애노드(161), 애노드(161) 상에 배치된 유기층(162) 및 유기층(162) 상에 형성된 캐소드(163)를 포함한다. 플렉서블 표시 장치(100)가 탑 에미션 방식의 플렉서블 표시 장치이므로, 애노드(161)는 유기층(162)에서 발광된 광을 캐소드(163) 측으로 반사시키기 위한 반사층 및 유기층(162)에 정공을 공급하기 위한 투명 도전층을 포함할 수 있다. 다만, 애노드(161)는 투명 도전층만을 포함하고 반사층은 애노드(161)와 별개의 구성요소인 것으로 정의될 수도 있다. 유기층(162)은 특정 색의 광을 발광하기 위한 유기층(162)으로서, 적색 유기 발광층, 녹색 유기 발광층, 청색 유기 발광층 및 백색 유기 발광층 중 하나를 포함할 수 있다. 만약, 유기층(162)이 백색 유기 발광층을 포함하는 경우, 유기 발광 소자(160) 상부에 백색 유기 발광층으로부터의 백색 광을 다른 색의 광으로 변환하기 위한 컬러 필터가 배치될 수 있다. 또한, 유기층(162)은 유기 발광층 이외에 정공 수송층, 정공 주입층, 전자 주입층, 전자 수송층 등과 같은 다양한 유기층(162)을 더 포함할 수도 있다. 캐소드(163)는 투명 도전성 물질로 이루어질 수 있으며, 예를 들어, IZO(Indium-Zinc-Oxide) 등과 같은 투명 도전성 산화물이나 이테르븀(Yb)을 포함하도록 이루어질 수도 있다.The organic light emitting diode 160 is disposed on the planarization layer 113 . The organic light emitting diode 160 is formed on the planarization layer 113 and is electrically connected to the source electrode 132 of the thin film transistor 130. The anode 161, the organic layer 162 disposed on the anode 161 and the organic layer ( and a cathode 163 formed on 162 . Since the flexible display device 100 is a top-emission flexible display device, the anode 161 reflects the light emitted from the organic layer 162 toward the cathode 163 and supplies holes to the organic layer 162 . It may include a transparent conductive layer for However, it may be defined that the anode 161 includes only a transparent conductive layer and the reflective layer is a separate component from the anode 161 . The organic layer 162 is an organic layer 162 for emitting light of a specific color, and may include one of a red organic emission layer, a green organic emission layer, a blue organic emission layer, and a white organic emission layer. If the organic layer 162 includes a white organic light emitting layer, a color filter for converting white light from the white organic light emitting layer into light of a different color may be disposed on the organic light emitting device 160 . In addition, the organic layer 162 may further include various organic layers 162 such as a hole transport layer, a hole injection layer, an electron injection layer, an electron transport layer, in addition to the organic emission layer. The cathode 163 may be made of a transparent conductive material, and may include, for example, a transparent conductive oxide such as Indium-Zinc-Oxide (IZO) or ytterbium (Yb).

뱅크(114)는 애노드(161) 및 평탄화 층(113) 상에 배치된다. 뱅크(114)는 표시 영역(A/A)에서 인접하는 화소 영역을 구분하는 방식으로 화소 영역을 정의한다. 뱅크(114)는 유기물로 이루어질 수 있다. 예를 들어, 뱅크(114)는 폴리이미드(polyimide), 아크릴(acryl) 또는 벤조사이클로부텐(benzocyclobutene; BCB)계 수지로 이루어질 수 있으나, 이에 한정되는 것은 아니다.Bank 114 is disposed on anode 161 and planarization layer 113 . The bank 114 defines a pixel area in a manner of dividing adjacent pixel areas in the display area A/A. The bank 114 may be formed of an organic material. For example, the bank 114 may be made of polyimide, acryl, or benzocyclobutene (BCB)-based resin, but is not limited thereto.

유기 발광 소자(160) 상에는 수분에 취약한 유기 발광 소자(160)를 수분에 노출되지 않도록 보호하기 위한 봉지부가 형성될 수 있다. 예를 들어, 봉지부는 무기층과 유기층이 교대 적층된 구조를 가질 수 있다.An encapsulation unit may be formed on the organic light emitting device 160 to protect the organic light emitting device 160, which is vulnerable to moisture, from being exposed to moisture. For example, the encapsulation unit may have a structure in which inorganic layers and organic layers are alternately stacked.

이하에서는, 벤딩 영역(B/A)에 배치된 굴곡 형상의 배선(171) 및 요철부(180)의 구조에 대해 보다 상세히 설명하기 위해 도 3 및 도 4를 함께 참조하여 설명하도록 하겠다.Hereinafter, the structure of the curved wiring 171 and the concave-convex portion 180 disposed in the bending region B/A will be described in more detail with reference to FIGS. 3 and 4 together.

도 3은 도 2의 A 영역에 대한 배선 구조를 설명하기 위한 평면도이다. 도 4는 도 3의 II-II'에 따른 배선 구조의 단면도이다.FIG. 3 is a plan view for explaining a wiring structure for a region A of FIG. 2 . 4 is a cross-sectional view of a wiring structure taken along line II-II' of FIG. 3 .

도 3에 도시된 바와 같이, 벤딩 영역(B/A)에는 배선(171)이 배치된다. 밴딩 영역(B/A)에 배치된 배선은 표시 영역(A/A)으로부터 벤딩 영역(B/A)으로 연장되어 플렉서블 기판(110) 상에 위치할 수 있다. 따라서 배선(171)은 표시 영역(A/A)에 배치된 도전성 구성요소와 동일한 도전성 물질로 형성될 수 있다. 예를 들어, 배선(171)은 소스 전극(132) 및 드레인 전극(133)과 동일한 도전성 물질로 형성될 수 있으나, 이에 한정되지 않고 다른 물질로 형성될 수 있다.As shown in FIG. 3 , a wiring 171 is disposed in the bending area B/A. The wiring disposed in the bending area B/A may extend from the display area A/A to the bending area B/A and be positioned on the flexible substrate 110 . Accordingly, the wiring 171 may be formed of the same conductive material as the conductive component disposed in the display area A/A. For example, the wiring 171 may be formed of the same conductive material as the source electrode 132 and the drain electrode 133 , but is not limited thereto and may be formed of a different material.

벤딩 영역(B/A)에 배치된 배선(171)의 일부분은 양 끝에서 직선 형상인 배선일 수 있다. 그러나 벤딩 영역(B/A)을 가로지르는 배선(171)의 나머지 부분은 플렉서블 표시 장치(100)가 벤딩될 때 벤딩 스트레스에 저항할 수 있는 굴곡 형상일 수 있다. 굴곡 형상의 배선(171)은 예를 들어, 다이아몬드 형상으로 나뉨/모임 배선 설계가 있는 구조로, 단일 배선 형상의 배선 구조에 배해 훨씬 낮은 전기 저항을 갖을 수 있다. 또한 굴곡 형상의 배선(171)은 배선의 일 부분이 손상되어도, 나머지 배선이 예비 통로로 기능을 할 수 있다. 그러나 벤딩 영역(B/A)에 배치된 배선(171)의 형상은 이에 한정되지 않으며, 사인파, 구형파 톱니, 물결, 빗금 형상 또는 이와 유사한 형상 중 하나 이상의 형상으로 구비될 수 있다. A portion of the wiring 171 disposed in the bending area B/A may be a wiring having a linear shape at both ends. However, the remaining portion of the wiring 171 crossing the bending region B/A may have a curved shape capable of resisting bending stress when the flexible display device 100 is bent. The curved wiring 171 has, for example, a diamond-shaped split/group wiring design, and may have a much lower electrical resistance compared to a single wiring-shaped wiring structure. Also, in the curved wiring 171 , even if a portion of the wiring is damaged, the remaining wiring may function as a preliminary passage. However, the shape of the wiring 171 disposed in the bending area B/A is not limited thereto, and may be provided in at least one of a sine wave, a square wave sawtooth, a wave, a hatched shape, or a shape similar thereto.

벤딩 영역(B/A)에 배선(171)을 형성하기 위해서는 도전성 물질을 기판(110) 상에 증착한 후, 형성하고자 하는 배선의 형상으로 도전성 물질을 에칭(etching) 등의 공정으로 패터닝하여 형성될 수 있다. 이때 공정의 세밀도에는 한계가 있을 수 있으므로, 배선(171)들 사이의 간격을 좁히는데 한계가 있을 수 있다. 따라서 벤딩 영역(B/A)에서 배선(171)들을 형성하기 위해 많은 공간이 요구되므로, 비표시 영역(I/A)의 면적이 커지게 되고 네로우 베젤 구현에 어려움이 발생할 수 있다. 특히 외부 모듈이 본딩되는 패드부와 연결된 배선(171)은 표시 영역(A/A)에서 비표시 영역(I/A)으로 연장된 배선(171)이 복잡한 구조로 배치될 수 있으므로, 비표시 영역(I/A)에 더 많은 공간이 요구된다. 따라서 비표시 영역(I/A)에 있는 벤딩 영역(B/A)을 벤딩 시켜 복잡한 구조의 배선이 있는 비표시 영역(I/A)을 플렉서블 표시 장치(100)의 하부로 위치시켜 네로우 베젤이 구현될 수 있다.In order to form the wiring 171 in the bending region B/A, a conductive material is deposited on the substrate 110, and then the conductive material is patterned in the shape of the wiring to be formed by an etching process or the like. can be In this case, since there may be a limit in the precision of the process, there may be a limit in narrowing the gap between the wirings 171 . Accordingly, since a large amount of space is required to form the wirings 171 in the bending area B/A, the area of the non-display area I/A increases and it may be difficult to implement a narrow bezel. In particular, in the wiring 171 connected to the pad portion to which the external module is bonded, the wiring 171 extending from the display area A/A to the non-display area I/A may be disposed in a complex structure, so that the non-display area (I/A) requires more space. Accordingly, by bending the bending area B/A in the non-display area I/A, the non-display area I/A having the wiring having a complicated structure is positioned below the flexible display device 100 to form a narrow bezel This can be implemented.

이때 벤딩 영역(B/A)에 배치된 굴곡 형상의 배선(171)들은 플렉서블 표시 장치(100)가 벤딩될 때 파손(또는 크랙)(Crack)될 수 있다. 또한 벤딩 영역(B/A)에서 굴곡 형상의 배선(171) 하부에 있어서 배선(171)과 인접하게 배치된 기판(110)도 플렉서블 표시 장치(100)가 벤딩될 때 파손(또는 크랙)(Crack)될 수 있다. 특히, 벤딩 영역(B/A)에 있는 벤딩 축(Bending axis) 인근에서 굴곡 형상인 배선(171)이 받는 벤딩 스트레스는 가장 클 수 있다. 따라서 벤딩 축 인근에서 굴곡 형상의 배선(171)이 파손될 확률은 증가할 수 있다. 이에 따라 벤딩 영역(B/A)에 있는 굴곡 형상인 배선(171) 및 기판(110)의 파손을 방지하기 위하여 요철부(180)를 배치하게 되었다.In this case, the curved wirings 171 disposed in the bending area B/A may be damaged (or cracked) when the flexible display device 100 is bent. Also, the substrate 110 disposed adjacent to the wiring 171 under the curved wiring 171 in the bending area B/A is also damaged (or cracked) when the flexible display device 100 is bent. ) can be In particular, the bending stress applied to the wiring 171 having a curved shape near a bending axis in the bending area B/A may be greatest. Accordingly, the probability that the curved wiring 171 is damaged near the bending axis may increase. Accordingly, in order to prevent damage to the curved wiring 171 and the substrate 110 in the bending region B/A, the concave-convex portion 180 is disposed.

도 4에 도시된 바와 같이, 요철부(180)는 플렉서블 기판(110)에 포함된다. 요철부(180)는 벤딩 영역(B/A)에서 플렉서블 기판(110)에 일체로 구비될 수 있다. 이때 벤딩 영역(B/A)에 배치된 요철부(180)는 복수 개의 요철 구조물(181)을 포함하고 있다. As shown in FIG. 4 , the concave-convex portion 180 is included in the flexible substrate 110 . The concavo-convex portion 180 may be integrally provided on the flexible substrate 110 in the bending region B/A. In this case, the concave-convex portion 180 disposed in the bending area B/A includes a plurality of concave-convex structures 181 .

복수 개의 요철 구조물(181)(또는 요철 패턴)은 예를 들어, 원기둥 또는 반구의 형상으로 요철부에 포함될 수 있다. 이때 요철 구조물(181)의 반경은 0.5㎛ 내지 3㎛ 일 수 있다. 이런 반경의 범위를 고려하여 하나의 요철 구조물(181)의 반경이 클수록, 요철부의 표면적은 넓을 수 있다.The plurality of concavo-convex structures 181 (or concavo-convex patterns) may be included in the concavo-convex portion in the shape of, for example, a cylinder or a hemisphere. In this case, the radius of the concave-convex structure 181 may be 0.5 μm to 3 μm. As the radius of one concave-convex structure 181 increases in consideration of the range of the radius, the surface area of the concavo-convex portion may be larger.

또한 하나의 요철 구조물(181)과 인접한 또 다른 하나의 요철 구조물(181) 사이의 간격은 0.5㎛ 내지 3㎛ 일 수 있다. 이런 간격의 범위를 고려하여 하나의 요철 구조물(181)과 인접한 또 다른 하나의 요철 구조물(181) 사이의 간격이 좁을 수록, 요철부(180)가 구비하는 복수 개의 요철 구조물(181)은 조밀하게 배치될 수 있다. 따라서 하나의 요철 구조물(181)과 인접한 또 다른 하나의 요철 구조물(181)이 조밀하게 배치될수록, 요철부(180)의 표면적은 넓어질 수 있다.In addition, the interval between one concave-convex structure 181 and another adjacent concave-convex structure 181 may be 0.5 μm to 3 μm. Considering the range of this interval, the narrower the distance between one concave-convex structure 181 and another adjacent concave-convex structure 181, the more densely the plurality of concavo-convex structures 181 provided in the concave-convex structure 180 is. can be placed. Accordingly, as one concave-convex structure 181 and another concave-convex structure 181 are densely disposed, the surface area of the concavo-convex structure 180 may increase.

즉, 요철부(180)는 복수 개의 요철 구조물(181)의 형상, 크기 및 구조물 사이의 간격 등을 조절하여 벤딩 영역(B/A)에서 표면적을 넓힐 수 있다. 따라서 벤딩 영역(B/A)에서 기판(110)의 표면적도 넓어질 수 있다. 이때 기판(110)은 벤딩 영역(B/A)에 있는 벤딩 축을 기준으로 벤딩될 수 있다. 따라서 기판(110)은 벤딩 영역(B/A)에서 벤딩 스트레스를 받을 수 있다. That is, the concave-convex portion 180 may increase the surface area in the bending region B/A by adjusting the shape, size, and spacing between the plurality of concave-convex structures 181 . Accordingly, the surface area of the substrate 110 in the bending area B/A may also be increased. In this case, the substrate 110 may be bent based on a bending axis in the bending area B/A. Accordingly, the substrate 110 may receive bending stress in the bending region B/A.

벤딩 스트레스는 힘의 한 종류로서, 힘을 받는 전체 면적에 작용할 수 있다. 이때 전체 면적이 증가할수록, 단위면적 당 받는 힘은 감소할 수 있다. 따라서 표면적이 증가할수록 힘을 받는 전체 면적이 증가하므로, 벤딩 스트레스는 증가된 표면적에 분산될 수 있다. 따라서 단위면적 당 받는 벤딩 스트레스는 감소될 수 있다. Bending stress is a type of force that can act on the entire area subjected to the force. In this case, as the total area increases, the force received per unit area may decrease. Therefore, as the surface area increases, the total area subjected to the force increases, so that the bending stress can be distributed over the increased surface area. Therefore, the bending stress per unit area can be reduced.

다시 말해, 요철부(180)는 복수 개의 요철 구조물(181)을 구비하여 표면적을 넓힐 수 있고, 플렉서블 기판(110)은 이러한 요철부(180)를 벤딩 영역(B/A)에 포함하여 표면적을 넓힐 수 있다. 따라서 복수 개의 요철 구조물(181)은 벤딩 영역(B/A)에서 플렉서블 기판(110)의 표면적을 넓혀서, 플렉서블 기판(110)이 벤딩될 때 받는 벤딩 스트레스를 분산할 수 있다. 이에 따라 요철부(180)는 플렉서블 기판(110)의 벤딩 영역(B/A)이 벤딩될 때 발생하는 벤딩 스트레스에 저항(Resistance)할 수 있다. 따라서 플렉서블 표시 장치(100)가 벤딩될 때 요철부(180)를 구비하는 플렉서블 기판(110)의 파손이 최소화될 수 있다.In other words, the concave-convex portion 180 may include a plurality of concave-convex structures 181 to increase the surface area, and the flexible substrate 110 includes the concave-convex portion 180 in the bending region B/A to increase the surface area. can be expanded Accordingly, the plurality of concave-convex structures 181 may increase the surface area of the flexible substrate 110 in the bending region B/A, thereby distributing bending stress received when the flexible substrate 110 is bent. Accordingly, the uneven portion 180 may resist bending stress generated when the bending region B/A of the flexible substrate 110 is bent. Accordingly, when the flexible display device 100 is bent, damage to the flexible substrate 110 having the concave-convex portion 180 may be minimized.

또한, 벤딩 영역(B/A)에서 요철부(180)를 구비하는 플렉서블 기판(110) 상에는 배선(171)이 위치할 수 있다. 이때 벤딩 영역(B/A)에서 배선과 대응하는 복수 개의 요철 구조물(181)이 벤딩 스트레스를 분산하므로, 플렉서블 기판(110)을 통해 배선으로 전달되는 벤딩 스트레스는 최소화될 수 있다. 따라서 플렉서블 표시 장치(100)가 벤딩될 때 벤딩 영역(B/A)에 있는 배선(171)의 파손은 최소화될 수 있다.Also, the wiring 171 may be positioned on the flexible substrate 110 having the concave-convex portion 180 in the bending region B/A. In this case, since the bending stress is distributed by the plurality of uneven structures 181 corresponding to the wiring in the bending area B/A, the bending stress transmitted to the wiring through the flexible substrate 110 may be minimized. Accordingly, when the flexible display device 100 is bent, damage to the wiring 171 in the bending area B/A may be minimized.

또한, 하나의 요철 구조물(181)의 폭은 벤딩 영역(B/A)에 있는 하나의 굴곡 형상인 배선(171)의 폭보다 작을 수 있다. 이때 벤딩 영역(B/A)에 있는 굴곡 형상의 배선(171)은 복수 개의 요철 구조물(181)에 대응될 수 있다. 따라서 복수 개의 요철 구조물(181)이 벤딩 스트레스를 분산하여, 굴곡 형상인 배선(171)이 받는 벤딩 스트레스를 최소화될 수 있다. 이에 따라 플렉서블 표시 장치(100)가 벤딩될 때 벤딩 영역(B/A)에 있는 배선(171)의 파손은 더욱 최소화될 수 있다. Also, the width of one concave-convex structure 181 may be smaller than the width of one curved wiring 171 in the bending area B/A. In this case, the curved wiring 171 in the bending area B/A may correspond to the plurality of concave-convex structures 181 . Accordingly, the bending stress applied to the wiring 171 having a curved shape may be minimized by dispersing the bending stress of the plurality of concave-convex structures 181 . Accordingly, when the flexible display device 100 is bent, damage to the wiring 171 in the bending area B/A may be further minimized.

이하에서는, 요철부(180)의 배치에 대해서 보다 상세히 설명하도록 하겠다.Hereinafter, the arrangement of the concave-convex portion 180 will be described in more detail.

도 4에 도시된 바와 같이, 플렉서블 기판(110)은 벤딩 영역(B/A)에 요철부(180)를 포함한다. 여기서, 요철부(180)는 나노미터 크기 패턴(nano-scale pattern)으로 칭하거나 구성될 수도 있다. 요철부(180)의 복수 개의 요철 구조물(181)은 플렉서블 기판(110)의 하면(또는 배면)에 구비될 수 있다. 이때 복수 개의 요철 구조물(181)은 플렉서블 기판(110)의 하면에 부분적으로 구비되어, 벤딩 영역(B/A)에서 플렉서블 기판(110)의 표면적을 넓히는 표면적 확충(Expansion) 구조(190)를 구비하고 있다.As shown in FIG. 4 , the flexible substrate 110 includes the concavo-convex portion 180 in the bending area B/A. Here, the concavo-convex portion 180 may be referred to as or configured as a nano-scale pattern. The plurality of concave-convex structures 181 of the concave-convex portion 180 may be provided on the lower surface (or the rear surface) of the flexible substrate 110 . At this time, the plurality of concave-convex structures 181 are partially provided on the lower surface of the flexible substrate 110, and have a surface area expansion structure 190 to widen the surface area of the flexible substrate 110 in the bending area B/A. are doing

구체적으로, 표면적 확충 구조(190)는 복수 개의 요철 구조물(181)이 플렉서블 기판(110)의 하면에 부분적으로 구비되어 구현될 수 있다. 복수 개의 요철 구조물(181)은 플렉서블 기판(110)의 하면에 볼록하게 돌출될 수 있다. 이때 복수 개의 요철 구조물(181)은 굴곡 형상의 배선(171)이 플렉서블 기판(110)의 상면에 배치된 특정 영역에 대응하여 배치될 수 있다. 따라서 요철 구조물(181)은 굴곡 형상의 배선(171)이 배치된 플렉서블 기판(110)의 특정 영역의 하면에만 배치될 수 있다. 따라서 복수 개의 요철 패턴은 굴곡 형상의 배선(171)이 있는 특정 영역에 대응하여 플렉서블 기판(110) 하면의 표면적을 부분적으로 넓힐 수 있다. 즉 복수 개의 요철 구조물(181)은 상면에 굴곡 형상의 배선(171)이 위치하는 플렉서블 기판(110)의 하면의 일 부분의 표면적을 넓힐 수 있고, 나머지 부분은 표면적을 넓히지 않을 수 있다. Specifically, the surface area expansion structure 190 may be implemented in which a plurality of concave-convex structures 181 are partially provided on the lower surface of the flexible substrate 110 . The plurality of concave-convex structures 181 may convexly protrude from the lower surface of the flexible substrate 110 . In this case, the plurality of concave-convex structures 181 may be disposed to correspond to a specific region in which the curved wiring 171 is disposed on the upper surface of the flexible substrate 110 . Accordingly, the concave-convex structure 181 may be disposed only on the lower surface of a specific region of the flexible substrate 110 on which the curved wiring 171 is disposed. Accordingly, the plurality of concave-convex patterns may partially increase the surface area of the lower surface of the flexible substrate 110 to correspond to a specific region in which the curved wiring 171 is located. That is, the plurality of concave-convex structures 181 may increase the surface area of a portion of the lower surface of the flexible substrate 110 on which the curved wiring 171 is positioned on the upper surface, and may not increase the surface area of the other portion.

플렉서블 기판(110)이 벤딩 영역(B/A)에 있는 벤딩 축을 기준으로 벤딩될 때, 플렉서블 기판(110)은 벤딩 스트레스를 받을 수 있다. 이때 플렉서블 기판(110)의 하면의 일 부분에 복수 개의 요철 구조물(181)을 구비한 표면적 확충 구조(290)는 기판(110)의 하면의 표면적을 부분적으로 넓힐 수 있다. When the flexible substrate 110 is bent based on the bending axis in the bending region B/A, the flexible substrate 110 may be subjected to bending stress. In this case, the surface area expansion structure 290 including the plurality of concave-convex structures 181 on a portion of the lower surface of the flexible substrate 110 may partially increase the surface area of the lower surface of the substrate 110 .

따라서 플렉서블 기판(110) 하면의 일 부분에 있는 표면적 확충 구조(190)는 플렉서블 기판(110)이 벤딩될 때 받는 벤딩 스트레스를, 플렉서블 기판(110)의 하면의 일 부분에서 분산할 수 있다. 이에 따라 플렉서블 기판(110)의 파손은 최소화될 수 있다.Accordingly, the surface area expansion structure 190 on a portion of the lower surface of the flexible substrate 110 may distribute bending stress received when the flexible substrate 110 is bent in a portion of the lower surface of the flexible substrate 110 . Accordingly, damage to the flexible substrate 110 may be minimized.

또한, 플렉서블 기판(110)을 통해, 벤딩 스트레스가 분산되므로, 플렉서블 기판(110) 상면에 있는 굴곡 형상의 배선(171)으로 전달되는 벤딩 스트레스는 최소화 될 수 있다. 따라서 플렉서블 표시 장치(100)가 벤딩될 때 벤딩 영역(B/A)에 있는 굴곡 형상의 배선(171)의 파손이 최소화될 수 있다.In addition, since the bending stress is distributed through the flexible substrate 110 , the bending stress transmitted to the curved wiring 171 on the upper surface of the flexible substrate 110 may be minimized. Accordingly, when the flexible display device 100 is bent, damage to the curved wiring 171 in the bending area B/A may be minimized.

이때 표면적 확충 구조(190)를 구비하는 플렉서블 기판(110)은 특정 공정으로 형성될 수 있다In this case, the flexible substrate 110 having the surface area expansion structure 190 may be formed by a specific process.

도 5는 도 4의 표면적 확충 구조를 구비하는 기판 및 벤딩 영역에 배선을 형성하는 방법을 설명하기 위한 순서도이다. 도 5는 플렉서블 기판(110)의 하면에 표면적 확충 구조(190)를 형성하고, 벤딩 영역(B/A)에 굴곡 형상인 배선(171)을 형성하는 방법에 대한 공정을 순서대로 설명하기 위한 순서도이다. FIG. 5 is a flowchart illustrating a method of forming a wiring in a bending region and a substrate having the surface area expansion structure of FIG. 4 . 5 is a flowchart for sequentially explaining a process for forming the surface area expansion structure 190 on the lower surface of the flexible substrate 110 and forming the curved wiring 171 in the bending region B/A. to be.

도 5에 도시된 바와 같이, 하부 원장 기판을 식각한다. (S1)As shown in FIG. 5 , the lower mother substrate is etched. (S1)

하부 원장 기판은 플렉서블 표시 장치(100) 제조 과정에서 플렉서블 기판(110) 및 플렉서블 기판(110) 상에 배치되는 구성요소들을 지지하기 위한 기판이다. 따라서 하부 원장 기판은 강성(Rigid)을 갖는 물질로 이루어질 수 있으며, 예를 들어, 유리로 이루어질 수 있으나, 이에 한정되는 것은 아니다. The lower mother substrate is a substrate for supporting the flexible substrate 110 and components disposed on the flexible substrate 110 during the manufacturing process of the flexible display device 100 . Accordingly, the lower mother substrate may be made of a material having rigidity, for example, glass, but is not limited thereto.

하부 원장 기판은 표시 영역, 비표시 영역을 포함한다. 이때 하부 원장 기판의 표시 영역은 플렉서블 표시 장치(100)의 표시 영역(A/A)과 대응되며 하부 원장 기판의 비표시 영역은 플렉서블 표시 장치(100)의 비표시 영역(I/A)과 대응된다. The lower mother substrate includes a display area and a non-display area. In this case, the display area of the lower mother substrate corresponds to the display area A/A of the flexible display device 100 , and the non-display area of the lower mother substrate corresponds to the non-display area I/A of the flexible display device 100 . do.

이때 하부 원장 기판의 비표시 영역 중 플렉서블 표시 장치(100)의 비표시 영역(I/A)에 있는 벤딩 영역(B/A)과 대응되는 부분이 식각될 수 있다. 하부 원장 기판은 레이저를 통한 물리적 충격을 가해서 식각(etching) 공정이 진행될 수 있다. 이때 레이저에 의해서 하부 원장 기판의 표면이 부분적으로 식각되면, 하부 원장 기판에는 오목한 요철 패턴이 형성될 수 있다. In this case, a portion corresponding to the bending area B/A in the non-display area I/A of the flexible display device 100 among the non-display areas of the lower mother substrate may be etched. The lower mother substrate may be subjected to an etching process by applying a physical impact through a laser. In this case, when the surface of the lower mother substrate is partially etched by the laser, a concave and convex pattern may be formed on the lower mother substrate.

또한 하부 원장 기판은 마스크를 이용한 패턴 형성 공정에서 사용되는 포토레지스트(Photoresist)를 이용한 식각 공정으로, 하부 원장 기판의 표면이 부분적으로 식각될 수 있다. 이때 하부 원장 기판 표면에 포토레지스트를 형성하고, 건식-식각(Dry-etching)을 통해서, 포토레지스트가 없는 하부 원장 기판의 표면의 일 부분이 식각될 수 있다. 이때 건식-식각 공정에 사용되는 물질로는 예를 들어, 플로린화수소 (Hydrogen fluoride, HF) 기체가 사용될 수 있으나 이에 한정되지 않는다. 건식-식각 공정이 완료된 후, 하부 원장 기판 표면에 있는 포토 레지스트를 제거한다. 이에 따라 하부 원장 기판의 표면이 부분적으로 식각되어, 오목한 요철 패턴이 형성될 수 있다. 이때 하부 원장 기판에 형성된 오목한 요철 패턴은 이후, 플렉서블 표시 장치(100)의 벤딩 영역(B/A)에 대응할 수 있다.In addition, the lower mother substrate is an etching process using a photoresist used in a pattern forming process using a mask, and the surface of the lower mother substrate may be partially etched. In this case, a photoresist is formed on the surface of the lower mother substrate, and a portion of the surface of the lower mother substrate without the photoresist may be etched through dry-etching. In this case, the material used in the dry-etching process may include, for example, hydrogen fluoride (HF) gas, but is not limited thereto. After the dry-etching process is completed, the photoresist on the surface of the lower ledger substrate is removed. Accordingly, the surface of the lower mother substrate may be partially etched to form a concave-convex pattern. In this case, the concave-convex pattern formed on the lower mother substrate may then correspond to the bending region B/A of the flexible display device 100 .

하부 원장 기판이 식각된 후, 하부 원장 기판 상에 희생층을 형성한다. (S2) 희생층에 레이저를 조사하면 계면의 결합이 분해되어 후술할 플렉서블 기판(110)과의 접착력이 약화될 수 있는 물질로 이루어질 수 있다. 희생층은, 예를 들어, 질화 실리콘(SiNx)층과 산화 실리콘(SiOx)층이 적층된 구조로 이루어질 수 있으며, 하부 원장 기판 표면에 증착하는 방식으로 형성될 수 있다. 이때 희생층은 오목한 요철 패턴이 있는 표면에 형성될 수 있다. 따라서 희생층은 하부 원장 기판이 식각되어 형성된 오목한 요철 패턴 내부에도 형성될 수 있다.After the lower mother substrate is etched, a sacrificial layer is formed on the lower mother substrate. (S2) When the laser is irradiated to the sacrificial layer, the bonding of the interface is decomposed and the adhesive force with the flexible substrate 110 to be described later may be weakened. The sacrificial layer may have, for example, a structure in which a silicon nitride (SiNx) layer and a silicon oxide (SiOx) layer are stacked, and may be formed by depositing on the surface of the lower mother substrate. In this case, the sacrificial layer may be formed on a surface having a concave-convex pattern. Accordingly, the sacrificial layer may be formed inside the concave-convex pattern formed by etching the lower mother substrate.

이어서, 희생층 상에 플렉서블 기판을 형성한다. (S3)Next, a flexible substrate is formed on the sacrificial layer. (S3)

플렉서블 기판(110)은 플렉서블 표시 장치(100)의 다양한 구성요소들을 지지한다. 플렉서블 기판(110)은 플라스틱 물질로 이루어질 수 있고, 예를 들어, 폴리이미드(PI) 또는 포토아크릴(photo acryl)로 이루어질 수 있으나 이에 한정되지는 않는다. 플렉서블 기판(110)이 폴리이미드(PI)로 이루어지는 경우, 폴리이미드(PI)가 하부 원장 기판에 도포되는 방식으로 플렉서블 기판(110)이 형성될 수 있다. 이때 플렉서블 기판(110)을 형성하는 물질은 하부 원장 기판의 표면이 부분적으로 식각되어 형성된 오목한 요철 패턴 내부에도 형성될 수 있다. The flexible substrate 110 supports various components of the flexible display device 100 . The flexible substrate 110 may be made of a plastic material, for example, polyimide (PI) or photo acryl (photo acryl), but is not limited thereto. When the flexible substrate 110 is made of polyimide (PI), the flexible substrate 110 may be formed in such a way that the polyimide (PI) is applied to the lower mother substrate. In this case, the material forming the flexible substrate 110 may be formed inside the concave-convex pattern formed by partially etching the surface of the lower mother substrate.

따라서 하부 원장 기판의 오목한 요철 패턴에 대응하여, 플렉서블 기판(110)의 볼록하게 돌출된 요철 구조물(181)이 형성될 수 있다. 이때 플렉서블 기판(110)의 볼록하게 돌출된 요철 구조물(181)은 플렉서블 표시 장치(100)의 벤딩 영역(B/A)에 대응하여 형성될 수 있다.Accordingly, in response to the concave and convex pattern of the lower mother substrate, the convexly protruding concave-convex structure 181 of the flexible substrate 110 may be formed. In this case, the convexly protruding concave-convex structure 181 of the flexible substrate 110 may be formed to correspond to the bending region B/A of the flexible display device 100 .

이어서, 플렉서블 기판(110) 상에 배선을 형성한다. (S4)Next, wiring is formed on the flexible substrate 110 . (S4)

플렉서블 기판(100) 상에 회로부 및 유기 발광 소자를 포함하는 표시부를 형성한다. 또한 플렉서블 기판(100)의 벤딩 영역(B/A)에 대응하여 굴곡 형상의 배선(171)을 형성한다. 이때 굴곡 형상의 배선(171)은 벤딩 영역(B/A)에서 요철 구조물(181)을 하면에 구비하는 플렉서블 기판(110)의 상면에 형성된다. 따라서 플렉서블 기판(110)의 하면에는 볼록하게 돌출된 요철 패턴이 위치하게 되고, 플렉서블 기판(110)의 상면에는 굴곡 형상의 배선(171)이 위치하게 된다.A display unit including a circuit unit and an organic light emitting device is formed on the flexible substrate 100 . Also, a wiring 171 having a curved shape is formed to correspond to the bending area B/A of the flexible substrate 100 . In this case, the curved wiring 171 is formed on the upper surface of the flexible substrate 110 having the concave-convex structure 181 on the lower surface in the bending region B/A. Accordingly, a convexly protruding concave-convex pattern is positioned on the lower surface of the flexible substrate 110 , and the curved wiring 171 is positioned on the upper surface of the flexible substrate 110 .

마지막으로, 하부 원장 기판을 제거한다. (S5)Finally, the lower mother substrate is removed. (S5)

하부 원장 기판 상에 형성된 플렉서블 기판(110) 상에 플렉서블 표시 장치(100)를 구성하는 구성 요소들이 형성된 후, 하부 원장 기판의 하면, 즉 하부 원장 기판에서 희생층이 배치된 상면의 반대면에 레이저를 조사한다. 이때 플렉서블 기판(100)과 하부 원장 기판 사이에 있는 희생층의 접착력은 감소될 수 있다. 따라서 레이저 조사에 의해 희생층의 접착력이 감소되어, 하부 원장 기판 상에 있는 플렉서블 기판(110) 및 플렉서블 표시 장치의 구성 요소들의 손상없이, 하부 원장 기판이 제거될 수 있다.After the components constituting the flexible display device 100 are formed on the flexible substrate 110 formed on the lower mother substrate, a laser is placed on the lower surface of the lower mother substrate, that is, on the opposite surface of the upper surface on which the sacrificial layer is disposed on the lower mother substrate. investigate In this case, the adhesive force of the sacrificial layer between the flexible substrate 100 and the lower mother substrate may be reduced. Accordingly, the adhesive force of the sacrificial layer is reduced by laser irradiation, so that the lower mother substrate may be removed without damaging the flexible substrate 110 and components of the flexible display device on the lower mother substrate.

도 6 내지 도 8은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 플렉서블 표시 장치가 구비하는 배선 구조를 설명하기 위한 단면도이다. 도 6 내지 도 8은 도 4와 비교하여, 플렉서블 표시 장치(100)가 벤딩 영역(B/A)에 구비하는 굴곡 형상의 배선(171,271) 및 요철부(280, 380, 480)의 구조만 다를 뿐, 나머지 구조는 동일하므로 중복 설명은 생략한다.6 to 8 are cross-sectional views illustrating a wiring structure included in a flexible display device according to still another exemplary embodiment of the present invention. 6 to 8 are different from those of FIG. 4 only in the structures of the curved wirings 171,271 and the concavo-convex portions 280, 380, and 480 provided in the bending area B/A of the flexible display device 100. However, since the rest of the structure is the same, a redundant description will be omitted.

도 6에 도시된 바와 같이, 플렉서블 기판(110)은 벤딩 영역(B/A)에 요철부(280)를 포함한다. 요철부(280)의 복수 개의 요철 구조물(281)은 플렉서블 기판(110)의 하면(또는 배면)에 구비될 수 있다. 이때 복수 개의 요철 구조물(281)은 플렉서블 기판(110)의 하면에 구비되어, 벤딩 영역(B/A)에서 플렉서블 기판(110)의 표면적을 넓히는 표면적 확충(Expansion) 구조(290)를 구비하고 있다.As shown in FIG. 6 , the flexible substrate 110 includes the concavo-convex portion 280 in the bending area B/A. The plurality of concave-convex structures 281 of the concavo-convex portion 280 may be provided on the lower surface (or rear surface) of the flexible substrate 110 . At this time, the plurality of concave-convex structures 281 are provided on the lower surface of the flexible substrate 110, and have a surface area expansion structure 290 that widens the surface area of the flexible substrate 110 in the bending area B/A. .

구체적으로, 표면적 확충 구조(290)는 복수 개의 요철 구조물(281)이 플렉서블 기판(110)의 하면에 전체적으로 구비되어 구현될 수 있다. 복수 개의 요철 구조물(281)은 플렉서블 기판(110)의 하면에 볼록하게 돌출될 수 있다. 이때 복수 개의 요철 구조물(281)은 플렉서블 기판(110)의 벤딩 영역(B/A)에 전체적으로 배치될 수 있다. 따라서 복수 개의 요철 구조물(281)은 벤딩 영역(B/A)에서 플렉서블 기판(110) 하면의 표면적을 전체적으로 넓힐 수 있다. Specifically, the surface area expansion structure 290 may be implemented in which a plurality of concave-convex structures 281 are provided entirely on the lower surface of the flexible substrate 110 . The plurality of concave-convex structures 281 may convexly protrude from the lower surface of the flexible substrate 110 . In this case, the plurality of concave-convex structures 281 may be entirely disposed in the bending area B/A of the flexible substrate 110 . Accordingly, the plurality of concave-convex structures 281 may increase the overall surface area of the lower surface of the flexible substrate 110 in the bending area B/A.

플렉서블 기판(110)이 벤딩 영역(B/A)에 있는 벤딩 축을 기준으로 벤딩될 때, 플렉서블 기판(110)은 벤딩 스트레스를 받을 수 있다. 이때 플렉서블 기판(110)의 하면에 복수 개의 요철 구조물(281)을 구비한 표면적 확충 구조(290)는 플렉서블 기판(110)의 하면의 표면적을 넓힐 수 있다. 특히, 플렉서블 기판(110)의 벤딩 영역(B/A) 전체에 복수 개의 요철 구조물(281)이 형성된 표면적 확충 구조(290)는, 부분적으로 복수 개의 요철 구조물(181)이 형성된 표면적 확충 구조(190) 보다 플렉서블 기판(110)의 표면적을 더 넓힐 수 있다.When the flexible substrate 110 is bent based on the bending axis in the bending region B/A, the flexible substrate 110 may be subjected to bending stress. In this case, the surface area expansion structure 290 having the plurality of concave-convex structures 281 on the lower surface of the flexible substrate 110 may increase the surface area of the lower surface of the flexible substrate 110 . In particular, the surface area expansion structure 290 in which the plurality of concave-convex structures 281 are formed in the entire bending region B/A of the flexible substrate 110 is the surface area expansion structure 190 in which the plurality of concave-convex structures 181 are partially formed. ), the surface area of the flexible substrate 110 may be increased.

따라서 플렉서블 기판(110)의 하면에 있는 표면적 확충 구조(290)는 플렉서블 기판(110)이 벤딩될 때 받는 벤딩 스트레스를 플렉서블 기판(110) 하면의 더 넓은 표면적으로 분산할 수 있다. 이에 따라 플렉서블 기판(110)의 파손은 더욱 최소화될 수 있다.Accordingly, the surface area expansion structure 290 on the lower surface of the flexible substrate 110 may distribute the bending stress received when the flexible substrate 110 is bent to a larger surface area of the lower surface of the flexible substrate 110 . Accordingly, damage to the flexible substrate 110 may be further minimized.

또한, 벤딩 영역(B/A)에서 표면적 확충 구조(290)를 구비하는 플렉서블 기판(110) 상면에 굴곡 형상인 배선(271)이 위치하고 있다. 플렉서블 기판(110)의 하면에 구비된 요철 구조물(281) 하나의 폭은 플렉서블 기판(110) 상면에 배치된 굴곡 형상의 배선(171)의 폭 보다 작을 수 있다. 이때 복수 개의 요철 구조물(281)이 굴곡 형상의 배선(171)에 대응될 수 있다. 즉, 복수 개의 요철 구조물(281)은 굴곡 형상의 배선(171)과 접촉하는 플렉서블 기판(110)의 일면과 대향하는 타면에 위치한다.Also, a curved wiring 271 is positioned on the upper surface of the flexible substrate 110 having the surface area expansion structure 290 in the bending region B/A. The width of one uneven structure 281 provided on the lower surface of the flexible substrate 110 may be smaller than the width of the curved wiring 171 disposed on the upper surface of the flexible substrate 110 . In this case, the plurality of concave-convex structures 281 may correspond to the curved wiring 171 . That is, the plurality of concave-convex structures 281 are located on one surface of the flexible substrate 110 in contact with the curved wiring 171 and the other surface opposite to that of the flexible substrate 110 .

따라서 플렉서블 기판(110) 하면에 있는 표면적 확충 구조(290)는 플렉서블 기판(110)이 벤딩될 때 받는 벤딩 스트레스를 플렉서블 기판(110) 하면의 넓은 표면적으로 분산할 수 있다. 이에 따라 플렉서블 기판(110)을 통해, 플렉서블 기판(110) 상면에 있는 굴곡 형상의 배선(171)으로 전달되는 벤딩 스트레스는 최소화될 수 있다. 따라서 플렉서블 표시 장치(100)가 벤딩될 때 벤딩 영역(B/A)에 있는 굴곡 형상의 배선(171)의 파손이 최소화될 수 있다. Accordingly, the surface area expansion structure 290 on the lower surface of the flexible substrate 110 may distribute the bending stress received when the flexible substrate 110 is bent over a large surface area of the lower surface of the flexible substrate 110 . Accordingly, the bending stress transmitted to the curved wiring 171 on the upper surface of the flexible substrate 110 through the flexible substrate 110 may be minimized. Accordingly, when the flexible display device 100 is bent, damage to the curved wiring 171 in the bending area B/A may be minimized.

도 7에 도시된 바와 같이, 플렉서블 기판(110)은 벤딩 영역(B/A)에 요철부(380)를 포함한다. 요철부(380)의 복수 개의 요철 구조물(381)은 플렉서블 기판(110)의 하면(또는 배면)에 구비될 수 있다. 이때 복수 개의 요철 구조물(181)은 플렉서블 기판(110)의 하면에 부분적으로 구비되어, 벤딩 영역(B/A)에서 플렉서블 기판(110)의 표면적을 넓히는 표면적 확충(Expansion) 구조(390)를 구비하고 있다.As shown in FIG. 7 , the flexible substrate 110 includes the concavo-convex portion 380 in the bending area B/A. The plurality of concave-convex structures 381 of the concavo-convex portion 380 may be provided on the lower surface (or the rear surface) of the flexible substrate 110 . In this case, the plurality of concave-convex structures 181 are partially provided on the lower surface of the flexible substrate 110, and have a surface area expansion structure 390 that widens the surface area of the flexible substrate 110 in the bending area B/A. are doing

구체적으로, 표면적 확충 구조(390)는 복수 개의 요철 구조물(381)이 플렉서블 기판(110)의 하면에 부분적으로 구비되어 구현될 수 있다. 복수 개의 요철 구조물(381)은 플렉서블 기판(110)의 하면에 볼록하게 돌출될 수 있다. 이때 복수 개의 요철 구조물(381)은 플렉서블 기판(110)의 벤딩 영역(B/A)에서 벤딩 축에 가까울수록 더 조밀하게 배치될 수 있다. 따라서 복수 개의 요철 구조물(381)은 벤딩 영역(B/A)에서 벤딩 축에 가까울수록 플렉서블 기판(110)의 하면의 표면적을 넓힐 수 있다.Specifically, the surface area expansion structure 390 may be implemented by partially providing a plurality of concave-convex structures 381 on the lower surface of the flexible substrate 110 . The plurality of concave-convex structures 381 may convexly protrude from the lower surface of the flexible substrate 110 . In this case, the plurality of concave-convex structures 381 may be arranged more densely as they are closer to the bending axis in the bending area B/A of the flexible substrate 110 . Accordingly, the surface area of the lower surface of the flexible substrate 110 may increase as the plurality of concave-convex structures 381 are closer to the bending axis in the bending area B/A.

플렉서블 기판(110)이 벤딩 영역(B/A)에 있는 벤딩 축을 기준으로 벤딩될 때, 플렉서블 기판(110)은 벤딩 스트레스를 받을 수 있다. 특히 벤딩 영역(B/A)의 벤딩 축에 가까울수록 플렉서블 기판(110)이 받는 벤딩 스트레스는 상대적으로 클 수 있다. 이때 플렉서블 기판(110)의 하면에 복수 개의 요철 구조물(381)을 구비한 표면적 확충 구조(390)는 벤딩 영역(B/A)에서 벤딩 축에 가까울수록, 요철 구조물(381)을 조밀하게 배치하여 플렉서블 기판(110)의 하면의 표면적을 넓힐 수 있다. 따라서 플렉서블 기판(110)의 하면에 있는 표면적 확충 구조(390)는 플렉서블 기판(110)이 벤딩될 때 받는 벤딩 스트레스를 플렉서블 기판(110) 하면의 넓은 표면적으로 분산할 수 있다. 특히, 벤딩 영역(B/A)의 벤딩 축 부근에서 받는 벤딩 스트레스는, 벤딩 축 부근에 조밀하게 배치된 요철 구조물(381)에 의해서 더 용이하게 분산될 수 있다. 이에 따라 플렉서블 기판(110)의 파손은 최소화될 수 있다.When the flexible substrate 110 is bent based on the bending axis in the bending region B/A, the flexible substrate 110 may be subjected to bending stress. In particular, the closer to the bending axis of the bending region B/A, the greater the bending stress that the flexible substrate 110 receives. At this time, as the surface area expansion structure 390 having a plurality of concave-convex structures 381 on the lower surface of the flexible substrate 110 is closer to the bending axis in the bending area B/A, the concave-convex structures 381 are densely arranged. The surface area of the lower surface of the flexible substrate 110 may be increased. Accordingly, the surface area expansion structure 390 on the lower surface of the flexible substrate 110 may distribute the bending stress received when the flexible substrate 110 is bent over a large surface area of the lower surface of the flexible substrate 110 . In particular, the bending stress received near the bending axis of the bending area B/A may be more easily distributed by the uneven structure 381 densely disposed near the bending axis. Accordingly, damage to the flexible substrate 110 may be minimized.

또한 플렉서블 기판을 통해, 벤딩 스트레스가 분산되므로, 플렉서블 기판(110) 상면에 있는 굴곡 형상의 배선(171)으로 전달되는 벤딩 스트레스는 최소화될 수 있다. 따라서 플렉서블 표시 장치(100)가 벤딩될 때 벤딩 영역(B/A)에 있는 굴곡 형상의 배선(171)의 파손이 최소화될 수 있다Also, since the bending stress is distributed through the flexible substrate, the bending stress transmitted to the curved wiring 171 on the upper surface of the flexible substrate 110 may be minimized. Accordingly, when the flexible display device 100 is bent, damage to the curved wiring 171 in the bending area B/A may be minimized.

도 8에 도시된 바와 같이, 플렉서블 기판(110)은 벤딩 영역(B/A)에 요철부(480)를 포함한다. 요철부(480)의 복수 개의 요철 구조물(481)은 플렉서블 기판(110)의 상면(또는 전면)에 구비될 수 있다. 이때 복수 개의 요철 구조물(481)은 플렉서블 기판(110)의 상면에 부분적으로 구비되어, 벤딩 영역(B/A)에서 플렉서블 기판(110)의 표면적을 넓히는 표면적 확충(Expansion) 구조(490)를 구비하고 있다.As shown in FIG. 8 , the flexible substrate 110 includes an uneven portion 480 in the bending area B/A. The plurality of concave-convex structures 481 of the concave-convex portion 480 may be provided on the upper surface (or the front surface) of the flexible substrate 110 . In this case, the plurality of concave-convex structures 481 are partially provided on the upper surface of the flexible substrate 110, and have a surface area expansion structure 490 to widen the surface area of the flexible substrate 110 in the bending area B/A. are doing

구체적으로, 표면적 확충 구조(490)는 복수 개의 요철 구조물(481)이 플렉서블 기판(110)의 상면에 부분적으로 구비되어 구현될 수 있다. 복수 개의 요철 구조물(481)은 플렉서블 기판(110)의 상면에 오목하게 침강될 수 있다. 이때 복수 개의 요철 구조물(481)은 굴곡 형상의 배선(271)에 의해 덮일 수 있다. 즉, 굴곡 형상의 배선(271)은 플렉서블 기판(110)의 상면에 위치하면서 복수 개의 요철 구조물(481)과 대응하여 위치할 수 있다. Specifically, the surface area expansion structure 490 may be implemented in which a plurality of concave-convex structures 481 are partially provided on the upper surface of the flexible substrate 110 . The plurality of concave-convex structures 481 may be concavely deposited on the upper surface of the flexible substrate 110 . In this case, the plurality of concave-convex structures 481 may be covered by the curved wiring 271 . That is, the curved wiring 271 may be positioned on the upper surface of the flexible substrate 110 to correspond to the plurality of concave-convex structures 481 .

따라서 굴곡 형상의 배선(271)의 하면은 볼록하게 돌출되어 플렉서블 기판(110)의 상면에 있는 복수 개의 요철 구조물(481)에 의해 구비된 공간을 충진시킬 수 있다. 이때 굴곡 형상의 배선(271)의 상면은 요철 구조물(481)에 대응하는 부분이 오목하게 침강될 수 있다. Accordingly, the lower surface of the curved wiring 271 may convexly protrude to fill the space provided by the plurality of concave-convex structures 481 on the upper surface of the flexible substrate 110 . In this case, a portion corresponding to the concave-convex structure 481 may be concavely settled on the upper surface of the curved wiring 271 .

즉, 굴곡 형상의 배선(271)은 복수 개의 요철 구조물(481)과 접촉하는 일면에 볼록부를 구비하고 있다. 또한 굴곡 형상의 배선(271)은 볼록부와 대응하는 오목부를 굴곡 형상의 배선(271)의 일면과 대향하는 타면에 구비할 수 있다. 이에 따라, 요철 구조물(481)이 굴곡 형상의 배선(271) 하부에 위치하는 플렉서블 기판(110)의 상면의 표면적을 넓힐 수 있고, 이에 대응되는 굴곡 형상의 배선(271)도 표면적이 부분적으로 넓어진 표면적 확충(Expansion) 구조(490)를 구비하고 있다.That is, the curved wiring 271 has a convex portion on one surface in contact with the plurality of concave-convex structures 481 . In addition, the curved wiring 271 may include a concave portion corresponding to the convex portion on the other surface opposite to one surface of the curved wiring 271 . Accordingly, the concave-convex structure 481 may increase the surface area of the upper surface of the flexible substrate 110 positioned under the curved wiring 271 , and the curved wiring 271 corresponding to this may also have a partially enlarged surface area. A surface area expansion structure 490 is provided.

플렉서블 기판(110)이 벤딩 영역(B/A)에 있는 벤딩 축을 기준으로 벤딩될 때, 플렉서블 기판(110)은 벤딩 스트레스를 받을 수 있다. 이때 복수 개의 요철 구조물(481)은 플렉서블 기판(110)이 벤딩될 때 받는 벤딩 스트레스를, 플렉서블 기판(110)의 상면의 일 부분에 분산할 수 있다.When the flexible substrate 110 is bent based on the bending axis in the bending region B/A, the flexible substrate 110 may be subjected to bending stress. In this case, the plurality of concave-convex structures 481 may distribute bending stress received when the flexible substrate 110 is bent to a portion of the upper surface of the flexible substrate 110 .

또한 벤딩 스트레스가 복수 개의 요철 구조물(481)과 접촉하는 굴곡 형상의 배선(271)으로 전달되어도, 굴곡 형상의 배선(271)이 구비하는 볼록부에 의해 벤딩 스트레스가 굴곡 형상의 배선(271)의 볼록부로 분산될 수 있다. 즉, 벤딩 스트레스는 요철 구조물(481)뿐만 아니라, 굴곡 형상의 배선(271)이 구비하는 볼록부에 의해 분산되므로, 벤딩 스트레스가 분산되는 정도는 더 증가될 수 있다.In addition, even when bending stress is transmitted to the curved wiring 271 in contact with the plurality of concave-convex structures 481 , the bending stress is applied to the bending-shaped wiring 271 by the convex portions of the curved wiring 271 . It can be dispersed in convex portions. That is, since the bending stress is distributed not only by the uneven structure 481 but also by the convex portions of the curved wiring 271 , the degree to which the bending stress is dispersed may be further increased.

이때 플렉서블 기판(110)의 상면에 복수 개의 요철 구조물(481)이 없는 부분은, 복수 개의 요철 구조물(481)이 있는 부분보다, 분산할 수 있는 벤딩 스트레스가 상대적으로 작을 수 있다. 또한 복수 개의 요철 구조물(481)이 있는 부분은 굴곡 형상의 배선(271)의 볼록부도 위치하므로 벤딩 스트레스가 더욱 분산될 수 있다. 따라서 굴곡 형상의 배선(271)이 있는 영역에 대응하는 플렉서블 기판(110)의 부분의 파손이 플렉서블 기판(110)의 나머지 부분의 파손보다 더 최소화될 수 있다.In this case, a portion in which the plurality of uneven structures 481 is not present on the upper surface of the flexible substrate 110 may have a lower bending stress that can be dispersed than a portion in which the plurality of uneven structures 481 are provided. In addition, since the convex portion of the curved wiring 271 is also located in the portion where the plurality of concave-convex structures 481 are located, bending stress may be further dispersed. Accordingly, damage to the portion of the flexible substrate 110 corresponding to the region in which the curved wiring 271 is located may be further minimized than damage to the remaining portion of the flexible substrate 110 .

플렉서블 기판(110) 및 굴곡 형상의 배선(271)의 볼록부를 통해, 벤딩 스트레스가 분산되므로, 플렉서블 기판(110) 상면에 있는 굴곡 형상의 배선(271)으로 전달되는 벤딩 스트레스는 더 최소화 될 수 있다. 또한 굴곡 형상의 배선(271)은 오목부를 구비하여, 플렉서블 기판이 벤딩될 때 밀집된 오목부가 연신될 수 있다. 즉, 굴곡 형상의 배선(271)은 오목부를 구비하여 연신율이 향상될 수 있다. 따라서 플렉서블 표시 장치(100)가 벤딩될 때 벤딩 영역(B/A)에 있는 굴곡 형상의 배선(171)의 파손이 최소화될 수 있다Since bending stress is distributed through the convex portions of the flexible substrate 110 and the curved wiring 271, the bending stress transmitted to the curved wiring 271 on the upper surface of the flexible substrate 110 can be further minimized. . In addition, the curved wiring 271 has a concave portion, so that the dense concave portion can be stretched when the flexible substrate is bent. That is, the curved wiring 271 may have a concave portion to improve elongation. Accordingly, when the flexible display device 100 is bent, damage to the curved wiring 171 in the bending area B/A may be minimized.

이때 표면적 확충 구조(490)를 상면에 구비하는 플렉서블 기판(110) 및 볼록부를 구비하는 굴곡 형상의 배선(271)은 특정 공정으로 형성될 수 있다.In this case, the flexible substrate 110 having the surface area expansion structure 490 on the upper surface and the curved wiring 271 having the convex portion may be formed by a specific process.

도 9는 도 8의 표면적 확충 구조(490)를 구비하는 기판 및 벤딩 영역에 배선을 형성하는 방법을 설명하기 위한 순서도이다. 도 9는 플렉서블 기판(110)의 상면에 표면적 확충 구조(490)를 형성하고, 벤딩 영역(B/A)에 볼록부를 구비하는 굴곡 형상인 배선(271)을 형성하는 방법에 대한 공정을 순서대로 설명하기 위한 순서도이다. FIG. 9 is a flowchart for explaining a method of forming a wiring in a bending region and a substrate having the surface area expansion structure 490 of FIG. 8 . 9 shows a method of forming a surface area expansion structure 490 on the upper surface of the flexible substrate 110 and forming a curved wiring 271 having a convex portion in the bending region B/A in sequence. It is a flowchart for explanation.

도 9에 도시된 바와 같이, 하부 원장 기판을 식각한다. (S1')As shown in FIG. 9 , the lower mother substrate is etched. (S1')

하부 원장 기판은 플렉서블 표시 장치(100) 제조 과정에서 플렉서블 기판(110) 및 플렉서블 기판(110) 상에 배치되는 구성요소들을 지지하기 위한 기판이다. 따라서 하부 원장 기판은 강성(Rigid)을 갖는 물질로 이루어질 수 있으며, 예를 들어, 유리로 이루어질 수 있으나, 이에 한정되는 것은 아니다. The lower mother substrate is a substrate for supporting the flexible substrate 110 and components disposed on the flexible substrate 110 during the manufacturing process of the flexible display device 100 . Accordingly, the lower mother substrate may be made of a material having rigidity, for example, glass, but is not limited thereto.

하부 원장 기판은 표시 영역, 비표시 영역을 포함한다. 이때 하부 원장 기판의 표시 영역은 플렉서블 표시 장치(100)의 표시 영역(A/A)과 대응되며 하부 원장 기판의 비표시 영역은 플렉서블 표시 장치(100)의 비표시 영역(I/A)과 대응된다. The lower mother substrate includes a display area and a non-display area. In this case, the display area of the lower mother substrate corresponds to the display area A/A of the flexible display device 100 , and the non-display area of the lower mother substrate corresponds to the non-display area I/A of the flexible display device 100 . do.

이때 하부 원장 기판의 비표시 영역 중 플렉서블 표시 장치(100)의 비표시 영역(I/A)에 있는 벤딩 영역(B/A)과 대응되는 부분이 식각될 수 있다. 하부 원장 기판은 레이저를 통한 물리적 충격을 가해서 식각(etching) 공정이 진행될 수 있다. 이때 레이저에 의해서 하부 원장 기판의 표면이 부분적으로 식각되면, 하부 원장 기판에는 볼록한 요철 패턴이 형성될 수 있다. In this case, a portion corresponding to the bending area B/A in the non-display area I/A of the flexible display device 100 among the non-display areas of the lower mother substrate may be etched. The lower mother substrate may be subjected to an etching process by applying a physical impact through a laser. In this case, when the surface of the lower mother substrate is partially etched by the laser, a convex concave-convex pattern may be formed on the lower mother substrate.

또한 하부 원장 기판은 마스크를 이용한 패턴 형성 공정에서 사용되는 포토레지스트(Photoresist)를 이용한 식각 공정으로, 하부 원장 기판의 표면이 부분적으로 식각될 수 있다. 이때 하부 원장 기판 표면에 포토레지스트를 형성하고, 건식-식각(Dry-etching)을 통해서, 포토레지스트가 없는 하부 원장 기판의 표면의 일 부분이 식각될 수 있다. 이때 건식-식각 공정에 사용되는 물질로는 예를 들어, HF 기체가 사용될 수 있으나 이에 한정되지 않는다. 건식-식각 공정이 완료된 후, 원장 기판 표면에 있는 포토 레지스트를 제거한다. 이에 따라 하부 원장 기판의 표면이 부분적으로 식각되어, 볼록한 요철 패턴이 형성될 수 있다. 이때 하부 원장 기판에 형성된 볼록한 요철 패턴은 이후, 플렉서블 표시 장치(100)의 벤딩 영역(B/A)에 대응할 수 있다.In addition, the lower mother substrate is an etching process using a photoresist used in a pattern forming process using a mask, and the surface of the lower mother substrate may be partially etched. In this case, a photoresist is formed on the surface of the lower mother substrate, and a portion of the surface of the lower mother substrate without the photoresist may be etched through dry-etching. In this case, as a material used in the dry-etching process, for example, HF gas may be used, but is not limited thereto. After the dry-etching process is completed, the photoresist on the surface of the mother substrate is removed. Accordingly, the surface of the lower mother substrate may be partially etched to form a convex and concave-convex pattern. In this case, the convex concavo-convex pattern formed on the lower mother substrate may correspond to the bending region B/A of the flexible display device 100 .

하부 원장 기판이 식각된 후, 하부 원장 기판상에 희생층을 형성한다. (S2') 희생층에 레이저를 조사하면 계면의 결합이 분해되어 후술할 플렉서블 기판(110)과의 접착력이 약화될 수 있는 물질로 이루어질 수 있다. 희생층은, 예를 들어, 질화 실리콘(SiNx)층과 산화 실리콘(SiOx)층이 적층된 구조로 이루어질 수 있으며, 하부 원장 기판 표면에 증착하는 방식으로 형성될 수 있다. 이때 희생층은 볼록한 요철 패턴이 있는 표면에 형성될 수 있다. 따라서 희생층은 하부 원장 기판이 식각되어 형성된 볼록한 요철 패턴을 덮어서 볼록한 패턴을 구비하도록 형성될 수 있다.After the lower mother substrate is etched, a sacrificial layer is formed on the lower mother substrate. (S2') When the laser is irradiated to the sacrificial layer, the bonding of the interface is decomposed and the adhesive force with the flexible substrate 110, which will be described later, may be weakened. The sacrificial layer may have, for example, a structure in which a silicon nitride (SiNx) layer and a silicon oxide (SiOx) layer are stacked, and may be formed by depositing on the surface of the lower mother substrate. In this case, the sacrificial layer may be formed on a surface having a convex concave-convex pattern. Accordingly, the sacrificial layer may be formed to have a convex pattern by covering the convex concavo-convex pattern formed by etching the lower mother substrate.

이어서, 희생층 상에 플렉서블 기판을 형성한다. (S3')Next, a flexible substrate is formed on the sacrificial layer. (S3')

플렉서블 기판(110)은 플렉서블 표시 장치(100)의 다양한 구성요소들을 지지한다. 플렉서블 기판(110)은 플라스틱 물질로 이루어질 수 있고, 예를 들어, 폴리이미드(PI) 또는 포토아크릴(photo-acryl)로 이루어질 수 있으나 이에 한정되지는 않는다. 플렉서블 기판(110)이 폴리이미드(PI)로 이루어지는 경우, 폴리이미드(PI)가 하부 원장 기판에 도포되는 방식으로 플렉서블 기판(110)이 형성될 수 있다. 이때 플렉서블 기판(110)을 형성하는 물질은 하부 원장 기판의 표면이 부분적으로 식각되어 형성된 볼록한 요철 패턴 표면을 덮을 수 있다. 따라서 하부 원장 기판의 볼록한 요철 패턴에 대응하여, 플렉서블 기판(110)의 오목하게 침강된 요철 구조물(481)이 형성될 수 있다. 이때 플렉서블 기판(110)의 오목하게 침강된 요철 구조물(481)은 플렉서블 표시 장치(100)의 벤딩 영역(B/A)에 대응하여 형성될 수 있다.The flexible substrate 110 supports various components of the flexible display device 100 . The flexible substrate 110 may be made of a plastic material, for example, polyimide (PI) or photo-acryl, but is not limited thereto. When the flexible substrate 110 is made of polyimide (PI), the flexible substrate 110 may be formed in such a way that the polyimide (PI) is applied to the lower mother substrate. In this case, the material forming the flexible substrate 110 may cover the surface of the convex and concave-convex pattern formed by partially etching the surface of the lower mother substrate. Accordingly, the concave-convex structure 481 of the flexible substrate 110 may be formed to correspond to the convex-convex pattern of the lower mother substrate. In this case, the concave-convex structure 481 of the flexible substrate 110 may be formed to correspond to the bending area B/A of the flexible display device 100 .

이어서, 하부 원장 기판을 제거한다. (S4')Then, the lower mother substrate is removed. (S4')

하부 원장 기판의 하면, 즉 하부 원강 기판에서 희생층이 배치된 상면의 반대 면에 레이저를 조사한다. 이때 플렉서블 기판(100)과 하부 원장 기판 사이에 있는 희생층의 접착력은 감소될 수 있다. 따라서 레이저 조사에 의해 희생층의 접착력이 감소되어, 하부 원장 기판 상에 있는 플렉서블 기판(110)의 손상 없이, 하부 원장 기판이 제거될 수 있다.The laser is irradiated to the lower surface of the lower mother substrate, that is, the opposite surface of the upper surface on which the sacrificial layer is disposed on the lower raw steel substrate. In this case, the adhesive force of the sacrificial layer between the flexible substrate 100 and the lower mother substrate may be reduced. Accordingly, the adhesive force of the sacrificial layer is reduced by laser irradiation, so that the lower mother substrate may be removed without damage to the flexible substrate 110 on the lower mother substrate.

이이서, 플렉서블 기판을 뒤집어 다른 지지 기판 상에 배치시킨다. (S5')Thereafter, the flexible substrate is turned over and placed on the other supporting substrate. (S5')

하부 원장 기판이 제거된 플렉서블 기판을, 뒤집어서, 지지 기판상에 배치시킨다. 이때 플렉서블 기판이 구비하는 오목하게 침강된 요철 구조물(181)이 형성된 일면이 상면이 되도록 위치시킨다. 즉 플렉서블 기판의 요철 구조물(181)이 없는 타면이 지지 기판과 접촉하게 배치시킨다. 이때 지지 기판은 하부 원장 기판과 동일한 기판일 수 있으며, 플렉서블 기판 상에 배치되는 구성요소들을 지지할 수 있다면, 강성을 갖는 어떠한 물질로도 이루어질 수 있다.The flexible substrate from which the lower mother substrate has been removed is turned over and placed on the support substrate. At this time, the flexible substrate is positioned so that one surface on which the concave-convex structure 181 is formed becomes the upper surface. That is, the other surface of the flexible substrate without the concave-convex structure 181 is disposed in contact with the support substrate. In this case, the supporting substrate may be the same substrate as the lower mother substrate, and may be made of any material having rigidity as long as it can support components disposed on the flexible substrate.

마지막으로, 플렉서블 기판 상에 배선을 형성한다. (S6')Finally, wiring is formed on the flexible substrate. (S6')

플렉서블 기판(100) 상에 회로부 및 유기 발광 소자를 포함하는 표시부를 형성한다. 또한 플렉서블 기판(100)의 벤딩 영역(B/A)에 대응하여 굴곡 형상의 배선(171)을 형성한다. 이때 굴곡 형상의 배선(271)은 벤딩 영역(B/A)에서 요철 구조물(181)을 상면에 구비하는 플렉서블 기판(110)의 상면에 형성된다. 따라서 플렉서블 기판(110)의 상면에는 오목하게 침강된 요철 패턴이 위치하게 되고, 플렉서블 기판(110)의 상면에 형성된 굴곡 형상의 배선(171)은 요철 패턴에 대응하여 볼록부가 형성될 수 있다. 즉 플렉서블 기판(110)의 상면과 접촉하는 굴곡 형상의 배선(171)의 하면에 볼록부가 형성될 수 있다. 또한 굴곡 형상의 배선(171)은 볼록부에 대응하여, 굴곡 형상의 배선(171)의 상면에 오목부가 형성될 수 있다.A display unit including a circuit unit and an organic light emitting device is formed on the flexible substrate 100 . Also, the wiring 171 having a curved shape is formed to correspond to the bending area B/A of the flexible substrate 100 . In this case, the curved wiring 271 is formed on the upper surface of the flexible substrate 110 having the concave-convex structure 181 on the upper surface in the bending region B/A. Accordingly, a concavely depressed concave-convex pattern is positioned on the upper surface of the flexible substrate 110 , and a convex portion may be formed in the curved wiring 171 formed on the upper surface of the flexible substrate 110 to correspond to the concave-convex pattern. That is, the convex portion may be formed on the lower surface of the curved wiring 171 in contact with the upper surface of the flexible substrate 110 . In addition, the curved wiring 171 may have a concave portion formed on the upper surface of the curved wiring 171 to correspond to the convex portion.

본 명세서의 실시예들에 대하여 다음과 같이 설명할 수도 있다.Embodiments of the present specification may be described as follows.

명세서 실시예들에 의하면, 상면에 구현된 픽셀 어레이(pixel array)를 포함하는 유연한(flexible) 기판; 및 상기 기판의 하면 및 상면 중 적어도 한 면에 나노미터 크기 패턴(nano-scale pattern)을 포함하며, 상기 기판은 벤딩(bending) 부를 포함하며, 상기 기판은 상기 나노미터 크기 패턴이 없는 기존의 기판에 비하여 유연성(flexibility)이 향상된 플렉서블 표시 장치를 제공한다.According to embodiments of the specification, a flexible substrate including a pixel array implemented on an upper surface; and a nano-scale pattern on at least one of a lower surface and an upper surface of the substrate, wherein the substrate includes a bending part, and the substrate is a conventional substrate without the nano-scale pattern. To provide a flexible display device having improved flexibility compared to the present invention.

상기 기판의 벤딩 부를 덮는 코팅(coating)층을 더 포함하며, 상기 나노미터 크기 패턴이 없는 기존의 기판에 비하여 상기 코팅층의 두께가 더 얇게 구현할 수도 있다.It may further include a coating layer covering the bending portion of the substrate, and the thickness of the coating layer may be thinner than that of the conventional substrate without the nanometer-sized pattern.

상기 기판의 상면에 위치하고 상기 픽셀 어레이와 연결된 배선을 더 포함하며, 상기 기판의 나노미터 크기 패턴은 상기 배선의 형상에 대응되도록 구현할 수도 있다.It may further include a wiring disposed on the upper surface of the substrate and connected to the pixel array, and a nanometer-sized pattern of the substrate may be implemented to correspond to a shape of the wiring.

상기 기판의 상면에 위치하고 상기 픽셀 어레이와 연결된 배선을 더 포함하며, 상기 배선은 상기 기판의 나노미터 크기 패턴에 대응되는 나노미터 크기 패턴으로 구현할 수도 있다.It may further include a wiring disposed on the upper surface of the substrate and connected to the pixel array, wherein the wiring may be implemented as a nanometer-sized pattern corresponding to the nanometer-sized pattern of the substrate.

이상 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시 예들을 더욱 상세하게 설명하였으나, 본 발명은 반드시 이러한 실시 예로 국한되는 것은 아니고, 본 발명의 기술사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 다양하게 변형 실시될 수 있다. 따라서, 본 발명에 개시된 실시 예들은 본 발명의 기술 사상을 한정하기 위한 것이 아니라 설명하기 위한 것이고, 이러한 실시예에 의하여 본 발명의 기술 사상의 범위가 한정되는 것은 아니다. 그러므로 이상에서 기술한 실시 예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 한다. 본 발명의 보호 범위는 청구범위에 의하여 해석되어야 하며, 그와 동등한 범위 내에 있는 모든 기술 사상은 본 발명의 권리범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.Although the embodiments of the present invention have been described in more detail with reference to the accompanying drawings, the present invention is not necessarily limited to these embodiments, and various modifications may be made within the scope without departing from the technical spirit of the present invention. Accordingly, the embodiments disclosed in the present invention are not intended to limit the technical spirit of the present invention, but to explain, and the scope of the technical spirit of the present invention is not limited by these embodiments. Therefore, it should be understood that the embodiments described above are illustrative in all respects and not restrictive. The protection scope of the present invention should be construed by the claims, and all technical ideas within the scope equivalent thereto should be construed as being included in the scope of the present invention.

100: 플렉서블 표시 장치
110: 플렉서블 기판
171, 271: 굴곡 형상의 배선
180, 280, 380, 480: 요철부
181, 281, 381, 481: 요철 구조물
190, 290, 390, 490: 표면적 확충 구조
100: flexible display device
110: flexible substrate
171, 271: curved wiring
180, 280, 380, 480: irregularities
181, 281, 381, 481: uneven structure
190, 290, 390, 490: Surface area expansion structure

Claims (20)

표시 영역 및 상기 표시 영역에 인접한 벤딩 영역을 구비하는 기판;
상기 기판 상에 위치하고, 상기 표시 영역으로부터 상기 벤딩 영역으로 연장되며, 적어도 상기 벤딩 영역에서 굴곡 형상을 가지는 배선; 및
상기 기판의 상기 벤딩 영역에 구비되며, 상기 배선의 하부에 위치하는 복수 개의 요철 패턴을 포함하고,
상기 복수 개의 요철 패턴 각각의 폭은 상기 배선의 폭 보다 작고,
상기 복수 개의 요철 패턴은, 상기 벤딩 영역의 벤딩 축에 가까울수록 더 조밀하게 배치된, 플렉서블 표시 장치.
a substrate including a display area and a bending area adjacent to the display area;
a wiring disposed on the substrate, extending from the display area to the bending area, and having a curved shape at least in the bending area; and
It is provided in the bending region of the substrate and includes a plurality of concave-convex patterns positioned under the wiring,
The width of each of the plurality of concave-convex patterns is smaller than the width of the wiring,
The plurality of concavo-convex patterns are more densely disposed as they are closer to a bending axis of the bending region.
제1 항에 있어서,
상기 요철 패턴은, 상기 기판의 표면적을 넓히는 표면적 확충(Expansion) 구조를 구비하여, 상기 배선으로 전달되는 벤딩 스트레스를 최소화하는, 플렉서블 표시 장치.
The method of claim 1,
The concave-convex pattern includes a surface area expansion structure for increasing a surface area of the substrate to minimize bending stress transmitted to the wiring.
제2 항에 있어서,
상기 요철 패턴은, 상기 굴곡 형상을 가지는 배선에 대응하여 위치하는, 플렉서블 표시 장치.
3. The method of claim 2,
The concave-convex pattern is positioned to correspond to the wiring having the curved shape.
제3 항에 있어서,
상기 표면적 확충 구조는, 요철 패턴이 상기 기판의 하면에 볼록하게 돌출된, 플렉서블 표시 장치.
4. The method of claim 3,
The structure for increasing the surface area may include a flexible display in which a concave-convex pattern convexly protrudes from a lower surface of the substrate.
제3 항에 있어서,
상기 표면적 확충 구조는, 상기 요철 패턴이 상기 기판의 상면에 오목하게 침강된, 플렉서블 표시 장치.
4. The method of claim 3,
In the structure for increasing the surface area, the concave-convex pattern is concavely deposited on an upper surface of the substrate.
제5 항에 있어서,
상기 굴곡 형상을 가지는 배선의 하면은, 볼록하게 돌출되어 상기 요철 패턴을 충진하는 배선인, 플렉서블 표시 장치.
6. The method of claim 5,
A lower surface of the wiring having the curved shape is a wiring that convexly protrudes and fills the concavo-convex pattern.
제6 항에 있어서,
상기 굴곡 형상을 가지는 배선의 상면은, 상기 요철 패턴에 대응하는 부분이 오목하게 침강된, 플렉서블 표시 장치.
7. The method of claim 6,
a portion corresponding to the concave-convex pattern is concavely depressed on the upper surface of the wiring having the curved shape.
삭제delete 표시 영역 및 상기 표시 영역에 인접한 벤딩 영역을 구비하는 플렉서블 기판을 포함하는 표시 장치에 있어서,
상기 플렉서블 기판은 복수 개의 요철 구조물을 포함하는 요철부를 구비하고,
상기 복수 개의 요철 구조물을 상기 벤딩 영역의 벤딩 축에 가까울수록 더 조밀하게 배치하여, 상기 플렉서블 기판이 벤딩될 때 발생하는 벤딩 스트레스에 저항(Resistance)하여 상기 플렉서블 기판 및 상기 플렉서블 기판 상에 있는 배선의 파손(Crack)을 최소화하도록 구성된, 플렉서블 표시 장치.
A display device comprising: a flexible substrate having a display area and a bending area adjacent to the display area;
The flexible substrate has a concave-convex portion including a plurality of concave-convex structures,
The plurality of concave-convex structures are arranged more densely as they are closer to the bending axis of the bending region to resist bending stress generated when the flexible substrate is bent, so that the flexible substrate and the wiring on the flexible substrate are formed. A flexible display device configured to minimize cracks.
제9 항에 있어서,
상기 요철 구조물은, 상기 플렉서블 기판이 구비하는 벤딩 영역에서 표면적을 넓혀서 상기 플렉서블 기판이 받는 벤딩 스트레스를 분산하는, 플렉서블 표시 장치.
10. The method of claim 9,
The concave-convex structure expands a surface area in a bending region of the flexible substrate to distribute bending stress applied to the flexible substrate.
제10 항에 있어서,
상기 요철 구조물 하나의 폭은, 상기 배선의 폭보다 작은, 플렉서블 표시 장치.
11. The method of claim 10,
A width of one of the concave-convex structures is smaller than a width of the wiring.
제11 항에 있어서,
상기 하나의 요철 구조물과 인접한 또 다른 하나의 요철 구조물 사이의 간격은 0.5μm 내지 3μm인, 플렉서블 표시 장치.
12. The method of claim 11,
A distance between the one concave-convex structure and another adjacent concave-convex structure is 0.5 μm to 3 μm.
제11 항에 있어서,
상기 배선은, 상기 요철 구조물과 접촉하여 상기 배선이 받는 벤딩 스트레스가 상기 배선의 볼록부에 의해서 분산되도록 구성된, 플렉서블 표시 장치.
12. The method of claim 11,
The wiring is configured to be in contact with the concave-convex structure so that bending stress applied to the wiring is distributed by the convex portion of the wiring.
제13 항에 있어서,
상기 배선의 볼록부는, 상기 요철 구조물이 상기 배선과 접촉하는 일면에 위치하는, 플렉서블 표시 장치.
14. The method of claim 13,
The convex portion of the wiring is positioned on a surface of the uneven structure in contact with the wiring.
제14 항에 있어서,
상기 배선은, 상기 볼록부와 대응하는 오목부를 상기 배선의 타면에 구비하여 상기 배선의 연신율이 향상되도록 구성된, 플렉서블 표시 장치.
15. The method of claim 14,
The wiring is configured to include a concave portion corresponding to the convex portion on the other surface of the wiring to improve elongation of the wiring.
제11 항에 있어서,
상기 요철 구조물은, 상기 배선과 접촉하는 상기 플렉서블 기판의 일면과 대향하는 타면에 위치하여 상기 배선으로 전달되는 벤딩 스트레스를 최소화하는, 플렉서블 표시 장치.
12. The method of claim 11,
The concave-convex structure is positioned on the other surface opposite to one surface of the flexible substrate in contact with the wiring to minimize bending stress transmitted to the wiring.
상면에 구현된 픽셀 어레이(pixel array)가 배치되는 표시부와 상기 표시부에 인접한 벤딩부를 포함하는 유연한(flexible) 기판; 및
상기 기판의 하면 및 상면 중 적어도 한 면에 나노미터 크기 패턴(nano-scale pattern)을 포함하며,
상기 나노미터 크기 패턴을 상기 벤딩부의 벤딩 축에 가까울수록 더 조밀하게 배치하여, 상기 기판은 상기 나노미터 크기 패턴이 없는 기존의 기판에 비하여 유연성(flexibility)이 향상된 플렉서블 표시 장치.
a flexible substrate including a display unit on which a pixel array implemented on an upper surface is disposed and a bending unit adjacent to the display unit; and
At least one of the lower surface and upper surface of the substrate includes a nano-scale pattern (nano-scale pattern),
A flexible display device in which the nanometer-sized pattern is more densely disposed as it is closer to the bending axis of the bending part, so that the substrate has improved flexibility compared to a conventional substrate without the nanometer-sized pattern.
제17 항에 있어서,
상기 기판의 벤딩 부를 덮는 코팅(coating)층을 더 포함하며, 상기 나노미터 크기 패턴이 없는 기존의 기판에 비하여 상기 코팅층의 두께가 더 얇은 플렉서블 표시 장치.
18. The method of claim 17,
The flexible display device further includes a coating layer covering the bending portion of the substrate, wherein the coating layer has a thinner thickness than the conventional substrate without the nanometer-sized pattern.
제17 항에 있어서,
상기 기판의 상면에 위치하고 상기 픽셀 어레이와 연결된 배선을 더 포함하며, 상기 기판의 나노미터 크기 패턴은 상기 배선의 형상에 대응되도록 구현된 플렉서블 표시 장치.
18. The method of claim 17,
The flexible display device further includes a wiring disposed on the upper surface of the substrate and connected to the pixel array, wherein a nanometer-sized pattern of the substrate corresponds to a shape of the wiring.
제17 항에 있어서,
상기 기판의 상면에 위치하고 상기 픽셀 어레이와 연결된 배선을 더 포함하며, 상기 배선은 상기 기판의 나노미터 크기 패턴에 대응되는 나노미터 크기 패턴으로 구현된 플렉서블 표시 장치.
18. The method of claim 17,
The flexible display device further includes a wiring disposed on the upper surface of the substrate and connected to the pixel array, wherein the wiring is implemented in a nanometer-sized pattern corresponding to the nanometer-sized pattern of the substrate.
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