KR102426629B1 - 비축 광학장비의 파면오차 측정장치 - Google Patents

비축 광학장비의 파면오차 측정장치 Download PDF

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Abstract

본 발명은 광학테이블 상에 설치하여 측정하기 어려운 고중량 대구경 광학장비의 파면오차를 측정할 수 있고, 특히 중력 영향을 크게 받는 지상용 대구경 광학장비의 경우, 오차 값이 가장 큰 수직방향(중력방향)으로 파면오차를 측정함으로써 신뢰성 높은 측정이 가능하며, 또한 광축의 정렬 민감도가 높은 비축 광학계에 대해 미세한 위치조정을 통해 정확한 파면오차를 측정할 수 있고, 광학계와 기구물 간의 조립을 위해 주입된 접착제가 경화되는 시간 동안에 광학조립체 단위에서 파면오차를 측정함으로써 파면오차 측정에 접착제 경화 및 조립이 미치는 영향을 고려할 수 있는 비축 광학장비의 파면오차 측정장치를 제공한다.
본 발명의 비축 광학장비의 파면오차 측정장치는, 주경이 위를 향하도록 하여 광학조립체를 착탈 가능하게 고정하는 장착판과, 장착판 및 광학조립체를 X축 수평방향으로 미세 이동시키기 위한 제1 센터미세조정기구와, 장착판 및 광학조립체를 Y축 수평방향으로 미세 이동시키기 위한 제2 센터미세조정기구와, 장착판 및 광학조립체를 상기 X축 수평방향의 축선과 Y축 수평방향의 축선을 중심으로 하여 각각 소정각도 회전시키기 위한 경사미세조정기구와, 광학조립체의 파면오차를 측정하기 위한 측정장비를 상기 광학조립체 상부에 위치시키기 위한 지지프레임을 포함하여 이루어진다.

Description

비축 광학장비의 파면오차 측정장치{Wavefront error measuring device of off-axis optical equipment}
본 발명은 비축 광학장비의 파면오차 측정장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 광학계와 기구물의 조립을 위한 접착제가 경화되는 동안 광학계의 파면오차 변화를 정밀하게 측정할 수 있는 비축 광학장비의 파면오차 측정장치에 관한 것이다.
일반적으로 군사용 망원경 또는 레이저 관측장비에 사용되는 비축 광학장비는 경통과, 상기 경통의 하부에 설치되고 광학계인 주경이 장착된 광학조립체를 포함하여 이루어지고, 경통의 중심축선과 주경의 중심축선이 소정 각도 불일치하여 설치된다.
따라서, 경통과 광학계인 주경의 위치가 정확하게 정렬된 상태로 조립이 이루어져야 하고, 이를 위해 광학조립체의 주경 파면오차를 정확하게 측정해야 한다.
파면오차 측정은, 광학조립체의 기구물과 주경의 조립을 위한 접착제가 경화되는 동안 이루어지는 것으로, 종래에는 간섭계, CGH(Computer Generated Holography) 등의 측정장비 및 측정대상인 광학조립체를 광학테이블 상에 설치하여 정렬한 후, 측정하였다.
이러한 측정방식은 광학테이블 상에 광학조립체의 주경이 위를 향하는 수평방향 설치가 가능한 소구경 또는 저중량 광학장비의 파면오차 측정에 적합하고, 단독의 광학계에 대한 파면오차를 측정하여 광학성능을 파악하기 위한 목적으로 사용되는 것이 일반적이다.
그러나, 상기한 종래의 파면오차 측정방식은, 대구경 광학장비의 파면오차 측정시 소구경 광학장비에 비하여 상대적으로 먼 초점거리로 인해 광학테이블 상에 간섭계, CGH 등의 측정장비와 광학조립체를 설치하기 어렵고, 지상용 대구경 광학장비의 경우 수직 방향(중력방향)으로 가장 큰 파면오차가 발생하므로, 수직방향으로 파면오차를 측정해야 하지만, 종래 측정방식은 수평방향의 파면오차 측정이 일반적이기 때문에 중력에 의한 파면오차 영향을 파악하는데 어려운 문제가 있다.
또한, 광학조립체의 기구물과 광학계인 주경의 조립을 위한 접착제의 경화시간이 수일 내지 수주 소요되는 동안 파면오차 변화를 파악하는 것이 중요하지만, 종래의 측정방식은 주경 단품에 대한 성능 파악을 위한 목적이 대부분이므로 접착제 경화에 의한 파면오차 영향을 파악하기 어려운 문제가 있다.
본 발명은 상기와 같은 종래의 문제점을 해결하기 위한 것으로, 그 목적은 광학테이블 상에 설치하여 측정하기 어려운 고중량 대구경 광학장비의 파면오차를 측정할 수 있고, 특히 중력 영향을 크게 받는 지상용 대구경 광학장비의 경우, 오차 값이 가장 큰 수직방향(중력방향)으로 파면오차를 측정함으로써 신뢰성 높은 측정이 가능한 비축 광학장비의 파면오차 측정장치를 제공하는데 있다.
본 발명의 다른 목적은 광축의 정렬 민감도가 높은 비축 광학계에 대해 미세한 위치조정을 통해 정확한 파면오차를 측정할 수 있고, 광학계와 기구물 간의 조립을 위해 주입된 접착제가 경화되는 시간 동안에 광학조립체 단위에서 파면오차를 측정함으로써 파면오차 측정에 접착제 경화 및 조립이 미치는 영향을 고려할 수 있으며, 제작하고자 하는 광학장비의 주경에 대한 직경, 파면형상 등의 외형 치수가 모두 다른 경우에도 공용으로 사용할 수 있는 비축 광학장비의 파면오차 측정장치를 제공하는데 있다.
상기의 목적을 달성하기 위하여 본 발명은, 주경이 위를 향하도록 하여 광학조립체를 착탈 가능하게 고정하는 장착판; 상기 장착판 및 광학조립체를 X축 수평방향으로 미세 이동시키기 위한 제1 센터미세조정기구; 상기 장착판 및 광학조립체를 Y축 수평방향으로 미세 이동시키기 위한 제2 센터미세조정기구; 상기 장착판 및 광학조립체를 상기 X축 수평방향의 축선과 Y축 수평방향의 축선을 중심으로 하여 각각 소정각도 회전시키기 위한 경사미세조정기구; 및 상기 광학조립체의 파면오차를 측정하기 위한 측정장비를 상기 광학조립체 상부에 위치시키기 위한 지지프레임을 포함하여 이루어진 비축 광학장비의 파면오차 측정장치에 특징이 있다.
또한 본 발명에 있어서, 상기 제1 센터미세조정기구는, 상기 장착판이 상면에 설치되는 제1 받침판; 상기 제1 받침판 하부에 배치된 제2 받침판; 상기 제1 받침판과 제2 받침판 사이에 X축 수평방향으로 설치된 복수개의 X축암,수레일; 및 상기 제1 받침판과 제2 받침판 사이에 설치되어 제2 받침판에 대하여 제1 받침판을 X축방향으로 이동시키기 위한 X축미세이동수단을 포함하여 이루어진 비축 광학장비의 파면오차 측정장치에 특징이 있다.
또한 본 발명에 있어서, 상기 제2 센터미세조정기구는, 상기 제2 받침판 하부에 배치된 제3 받침판; 상기 제2 받침판과 제3 받침판 사이에 Y축 수평방향으로 설치된 복수개의 Y축암,수레일; 및 상기 제2 받침판과 제3 받침판 사이에 설치되어 제3 받침판에 대하여 제2 받침판을 Y축방향으로 이동시키기 위한 Y축미세이동수단을 포함하여 이루어진 비축 광학장비의 파면오차 측정장치에 특징이 있다.
또한 본 발명에 있어서, 상기 X축미세이동수단은, 2개의 마이크로미터(micrometer)를 상기 제1 및 제2 받침판의 X축방향 양측에 각각 X축 수평방향으로 배치하여 상기 제1 받침판에 고정하고, 마이크로미터의 스핀들의 끝단은 대향하는 제2 받침판의 측면에 접촉시킴으로써 이루어지고, 상기 Y축미세이동수단은, 2개의 마이크로미터를 상기 제1 및 제2 받침판의 Y축방향 양측에 각각 Y축 수평방향으로 배치하여 상기 제2 받침판에 고정하고, 마이크로미터의 스핀들은 대향하는 제3 받침판의 측면에 접촉시켜 이루어진 비축 광학장비의 파면오차 측정장치에 특징이 있다.
또한 본 발명에 있어서, 상기 경사미세조정기구는, X축수평방향으로 양쪽에 제1 회전지지부가 형성되고, Y축수평방향으로 양쪽에 제2 회전지지부가 형성된 링형상프레임과, 상기 제3 받침판 양측에 수직방향으로 설치되어, 상기 제1 회전지지부가 X축수평방향으로 배치된 X방향축에 의해 회전지지되는 지지대와, 상기 지지대와 제1 회전지지부 사이에 설치되어 상기 링형상프레임에 대하여 지지대 및 제3 받침판를 X방향축을 중심으로 소정각도 회전시키기 위한 X축미세회전수단과, 상기 제2 회전지지부가 Y축수평방향으로 배치된 Y방향축에 의해 회전지지되는 받침프레임과, 상기 제2 회전지지부와 받침프레임 사이에 설치되어 상기 받침프레임에 대하여 링형상프레임을 Y방향축을 중심으로 소정각도 회전시키기 위한 Y축미세회전수단으로 이루어진 비축 광학장비의 파면오차 측정장치에 특징이 있다.
또한 본 발명에 있어서, 상기 X축미세회전수단은, 2개의 마이크로미터를 X방향축과 직교하는 수평방향으로 배치하여 상기 제1 회전지지부를 사이에 두고 양쪽에 대칭으로 위치시키고, 양쪽 마이크로미터는 상기 지지대에 고정하고, 양쪽 마이크로미터의 스핀들은 각각 대향하는 제1 회전지지부의 측면에 접촉시켜 이루어지며, 상기 Y축미세회전수단은 2개의 마이크로미터를 Y방향축과 직교하는 수평방향으로 배치하여 상기 제2 회전지지부를 사이에 두고 양쪽에 대칭으로 위치시키고, 양쪽 마이크로미터는 상기 받침프레임에 고정하고, 양쪽 마이크로미터의 스핀들은 각각 대향하는 제2 회전지지부의 측면에 접촉시켜 이루어진 비축 광학장비의 파면오차 측정장치에 특징이 있다.
상기의 특징적 구성을 가지는 본 발명에 의하면, 측정장치의 장착판에 광학조립체를 장착하는 것에 의해 주경이 위를 향하도록 설치할 수 있어 광학테이블 상에 설치하여 측정하기 어려운 고중량 대구경 광학장비에 대하여 파면오차 측정이 가능하며, 특히 중력 영향을 크게 받아 오차값이 큰 지상용 대구경 광학장비의 파면오차에 적합하고 신뢰성 높은 측정이 가능한 효과가 있다.
또한 본 발명은 제1 및 제2 센터미세조정기구와 경사미세조정기구를 이용하여 광학조립체를 수평의 X,Y축방향과 경사방향으로 미세조정할 수 있어 광축의 정렬 민감도가 높은 비축 광학계에 대해 미세한 위치조정을 통해 정확한 파면오차를 측정할 수 있고, 광학조립체의 고정상태가 장시간 유지되므로 광학계와 기구물 간의 조립을 위해 주입된 접착제가 경화되는 시간 동안에 파면오차를 측정함으로써 접착제의 경화 및 조립이 파면오차에 미치는 영향 파악이 용이한 효과가 있다.
또한 본 발명은 하나의 측정장치로 구경 및 파면형상과 같은 외형치수가 다른 주경에 대하여 호환적으로 파면오차 측정이 가능하므로, 치구 제작 비용 및 관리비용이 절감되는 효과가 있다.
도 1은 본 발명에 따른 비축 광학장비의 파면오차 측정장치를 나타낸 사시도.
도 2는 도 1에서 광학조립체 장착 및 미세조정기구를 나타낸 분해 사시도.
도 3은 본 발명의 조립장치에서 광학조립체의 센터미세조정기구를 아래에서 본 사시도.
도 4는 도 3에서 센터미세조정기구를 나타낸 주요부 확대도.
도 5는 도 1에서 Y축미세회전수단을 나타낸 A부 확대도.
이하, 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부도면에 의거하여 상세하게 설명한다.
도 1은 본 발명에 따른 비축 광학장비의 파면오차 측정장치를 나타낸 사시도로서, 도시된 바와 같이 본 발명의 측정장치는, 광학조립체(A)를 장착하여 측정을 위한 광학조립체(A)의 주경(A1) 위치를 미세 조정하기 위한 미세조정부(11)와, 상기 미세조정부(11)에 장착된 광학조립체(A)의 파면오차를 측정하기 위한 측정부(12)로 이루어지고, 상기 미세조정부(11)와 측정부(12)는 광학테이블(D) 상에 올려 놓고 사용하거나, 광학테이블(D)에 고정 설치하여 사용할 수 있게 한다.
측정부(12)는 상기 광학조립체(A)의 파면오차를 측정하기 위한 측정장비를 미세조정부(11)에 장착되는 광학조립체(A)의 상부에 위치시키기 위한 지지프레임(12a)을 포함하여 이루어진다. 지지프레임(12a)의 적절한 위치에는 파면오차 측정을 위한 간섭계(B)와 CGH(C) 설치를 위한 제1 및 제2 장착대(12b,12c)를 구비하는 것이 바람직하고, 제1 및 제2 장착대(12b,12c)의 높이는 도시하지는 않았지만, 제1 및 2 장착대(12b,12c)가 상,하방향으로 지지프레임(12a)을 따라 이동 가능하게 설치하거나, 지지프레임(12a)의 상,하방향 길이를 조절 가능하게 함으로써 변경할 수 있도록 하는 것이 바람직하다.
미세조정부(11)는, 도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이 광학조립체(A)가 착탈 가능하게 장착되는 장착판(20)과, 광학조립체(A)를 X축수평방향 및 Y축수평방향으로 미세이동시키기 위한 제1 및 제2 센터미세조정기구(30,40)와, 광학조립체(A)를 X축 및 Y축 수평방향 축선을 중심으로 하여 소정각도 회전시키기 위한 경사미세조정기구(50)로 이루어진다.
도 2 및 도 3에 도시된 바와 같이, 장착판(20)은 미세조정부(11)의 제1 센터미세조정기구(30)에 고정설치되는 것으로, 광학조립체(A)의 구조물인 하판(A2)과 나사구멍(21)을 통해 나사(22)로 착탈 가능하게 고정됨으로써 광학조립체(A)의 광학계인 주경(A1)이 위를 향하게 장착할 수 있다.
미세조정부(11)의 제1 센터미세조정기구(30)는 상기 장착판(20) 및 장착판(20)에 장착된 광학조립체(A)를 X축 수평방향으로 미세 이동시키기 위한 것으로, 도 2, 도 3 및 도 4에 도시된 바와 같이, 장착판(20)의 중심부가 고정부재(23)를 통해 상면에 고정 설치되는 제1 받침판(31)을 구비하고, 제1 받침판(31) 하부에 소정 간격을 두고 배치된 제2 받침판(32)을 구비한다.
또한 제1 받침판(31)과 제2 받침판(32) 사이에는 제2 받침판(32)에 대하여 제1 받침판(31)을 X축 수평방향으로 이동시키기 위한 X축암,수레일(33,34)이 장착판(20)의 중심인 고정부재(23)를 사이에 두고 양쪽에 구비된다. 본 실시예에서는 제1 받침판(31)에 X축수레일(34)을 설치하고 제2 받침판(32)에 X축암레일(33)을 설치한 것으로 예시하였으나, 반대로 제1 받침판(31)에 X축암레일(33)을 설치하고 제2 받침판(32)에 X축수레일(34)을 설치하여도 동일한 작용을 수행할 수 있다.
또한 상기 제1 받침판(31)과 제2 받침판(32) 사이에는 제2 받침판(32)에 대하여 제1 받침판(31)을 X축 수평방향으로 이동시키기 위한 X축미세이동수단이 설치된다.
X축미세이동수단은, 공지의 마이크로미터(35)(micrometer)를 이용한 것으로, 2개의 마이크로미터(35)(도 2 참조)를 제1 및 제2 받침판(31,32)의 양측에 각각 X축 수평방향으로 배치하여, 마이크로미터(35)는 상기 제1 받침판(31)에 고정하고, 스핀들(35a)의 끝단은 대향하는 제2 받침판(32)의 측면에 접촉시킴으로써 구성할 수 있으며, 마이크로미터(35)의 스핀들(35a)이 미세하게 직선이동하는 것을 이용하여 제2 받침판(32)에 대하여 제1 받침판(31)을 미세이동시켜 광학조립체(A)를 X축 수평방향으로 미세 조정할 수 있다.
미세조정부(11)의 제2 센터미세조정기구(40)는 상기 장착판(20) 및 장착판(20)에 장착된 광학조립체(A)를 Y축 수평방향으로 미세 이동시키기 위한 것으로, 도 2, 도 3 및 도 4에 도시된 바와 같이, 제1 센터미세조정기구(30)의 하부에 설치된다.
제2 센터미세조정기구(40)는 제2 받침판(32) 하부에 소정 간격을 두고 배치된 제3 받침판(41)을 구비한다(도 3 참조).
또한 제2 받침판(32)과 제3 받침판(41) 사이에는 제3 받침판(41)에 대하여 제2 받침판(32)를 Y축 수평방향으로 이동시키기 위한 Y축암,수레일(42,43)이 장착판(20)의 중심인 고정부재(23)를 사이에 두고 양쪽에 구비된다. 본 실시예에서는 제2 받침판(32)에 Y축수레일(43)을 설치하고 제3 받침판(41)에 Y축암레일(42)을 설치한 것으로 예시하였으나, 반대로 제2 받침판(32)에 Y축암레일(42)을 설치하고 제3 받침판(41)에 Y축수레일(43)을 설치하여도 동일한 작용을 수행할 수 있다.
또한 상기 제2 받침판(32)과 제3 받침판(41) 사이에는 제3 받침판(41)에 대하여 제2 받침판(32)을 Y축 수평방향으로 이동시키기 위한 Y축미세이동수단이 설치된다.
Y축미세이동수단은, X축미세이동수단과 마찬가지로 공지의 마이크로미터(44)를 이용한 것으로, 2개의 마이크로미터(44)를 제2 및 제3 받침판(32,41)의 양측에 각각 Y축 수평방향으로 배치하여, 마이크로미터(44)는 상기 제2 받침판(32)에 고정하고, 스핀들(44a)의 끝단은 대향하는 제3 받침판(41)의 측면에 접촉시킴으로써 구성할 수 있으며, 마이크로미터(44)의 스핀들(44a)이 미세하게 직선이동하는 것을 이용하여 제3 받침판(41)에 대하여 제2 받침판(32)을 미세이동시켜 광학조립체(A)를 Y축 수평방향으로 미세 조정할 수 있다.
경사미세조정기구(50)는 도 2, 도 3 및 도 5에 도시된 바와 같이 장착판(20)과 이에 장착된 광학조립체(A)를 X축 수평방향의 축선과 Y축 수평방향의 축선을 중심으로 하여 각각 소정각도 회전시키기 위한 것으로, X축 수평방향으로 양쪽에 제1 회전지지부(51)가 형성되고, Y축 수평방향으로 양쪽에 제2 회전지지부(52)가 형성된 링형상프레임(53)을 구비한다.
링형상프레임(53)의 제1 회전지지부(51)는 상기 제3 받침판(41) 양측에 수직방향으로 구비된 지지대(54)와 X축 수평방향으로 배치된 X방향축(54a)에 의해 상호 회전지지되고, 제2 회전지지부(52)는 받침프레임(55)과 Y축 수평방향으로 배치된 Y방향축(55a)에 의해 상호 회전지지된다.
또한, 상기 지지대(54)와 제1 회전지지부(51) 사이에는 X축미세회전수단이 설치되어 상기 링형상프레임(53)에 대하여 지지대(54) 및 제3 받침판(41)을 X방향축(54a)을 중심으로 소정각도 회전시켜 제1 및 제2 센터미세조정기구(30,40)를 포함하여 장착판(20) 및 광학조립체(A)를 X축 수평방향 축선을 중심으로 하여 소정각도 회전시킬 수 있게 되어 있다.
X축미세회전수단은, 공지의 마이크로미터(56)를 이용한 것으로, 2개의 마이크로미터(56)를 X방향축(54a)과 직교하는 수평방향으로 배치하여 상기 제1 회전지지부(51)를 사이에 두고 양쪽에 대칭으로 위치시키고, 양쪽 마이크로미터(56)는 상기 지지대(54)에 고정하고, 양쪽 스핀들(56a)은 각각 대향하는 제1 회전지지부(51)의 측면에 접촉시켜 이루어진다.
따라서 마이크로미터(56)를 조작하여 스핀들(56a)를 미세하게 출몰시키는 것에 의해 링형상프레임(53)에 대하여 X방향축(54a)을 중심으로 하는 지지대(54) 및 제3 받침판(41)의 미세한 회전조작이 가능하게 되어 있다.
또한 상기 제2 회전지지부(52)와 받침프레임(55) 사이에는 Y축미세회전수단이 설치되어 상기 받침프레임(55)에 대하여 링형상프레임(53)을 Y방향축(55a)을 중심으로 소정각도 회전시켜 제1 및 제2 센터미세조정기구(30,40)를 포함하여 장착판(20) 및 광학조립체(A)를 Y축 수평방향 축선을 중심으로 하여 소정각도 회전시킬 수 있도록 되어 있다.
Y축미세회전수단은 X축미세회전수단과 마찬가지로 공지의 마이크로미터(57)를 이용한 것으로, 도 5에 도시된 바와 같이 2개의 마이크로미터(57)를 Y방향축(55a)과 직교하는 수평방향으로 배치하여 상기 제2 회전지지부(52)를 사이에 두고 양쪽에 대칭으로 위치시키고, 양쪽 마이크로미터(57)는 상기 받침프레임(55)에 고정하고, 양쪽 마이크로미터(57)의 스핀들(57a)은 각각 대향하는 제2 회전지지부(52)의 측면에 접촉시켜 이루어진다.
따라서 마이크로미터(57)를 조작하여 스핀들(57a)을 미세하게 출몰시키는 것에 의해 받침프레임(55)에 대하여 Y방향축(55a)을 중심으로 하는 링형상프레임(53)의 미세한 회전조작이 가능하게 되어 있다.
이러한 구성으로 이루어진 본 발명의 작용을 설명하면 다음과 같다. 도 1에서와 같이 본 발명의 측정장치는 광학테이블(D) 상에 미세조정부(11)와 측정부(12)를 설치하여 사용할 수 있다.
먼저, 미세조정부(11)의 장착판(20) 상에 광학조립체(A)를 올려 방향을 맞추어 놓고, 도 2에 나타낸 바와 같이 장착판(20)의 나사구멍(21)을 통해 나사(22)로 광학조립체(A)를 장착판(20)에 고정하면, 광학조립체(A)의 주경(A1)이 위를 향하도록 설치할 수 있다.
이어서, 장착판(20)에 장착된 광학조립체(A)의 주경(A1)과 측정부(12)의 간섭계(B) 및 CGH(C)의 초점거리를 맞추고, 미세조정부(11)의 제1 및 제2 센터미세조정기구(30,40)와 경사미세조정기구(50)를 이용하여 주경(A1)의 위치를 X,Y축수평방향 및 X,Y축수평방향을 축선으로 하는 회전방향으로 미세조정하면서 측정부(12)의 간섭계(B) 영상 확인을 통해 주경(A1)의 파면오차를 측정한다.
즉, 도 3 및 도 4에 나타낸 바와 같이, 제1 센터미세조정기구(30)의 양쪽 마이크로미터(35)를 조작하여 어느 한쪽 스핀들(35a)은 전진시키고 다른 한쪽 스핀들(35a)은 후진시키는 방식으로 미세하게 출몰시키면, 양쪽 스핀들(35a)의 출몰거리만큼 제2 받침판(32)에 대하여 제1 받침판(31)이 X축암,수레일(33,34)에 안내되어 X축수평방향으로 미세하게 이동하게 되므로, 제1 받침판(31)에 고정된 장착판(20)과 장착판(20)에 장착된 광학조립체(A)의 주경(A1) 위치를 X축수평방향으로 미세하게 조정할 수 있다.
마찬가지로, 제2 센터미세조정기구(40)의 양쪽 마이크로미터(44)를 조작하여 어느 한쪽 스핀들(44a)은 전진시키고 다른 한쪽 스핀들(44a)은 후진시켜 미세하게 출몰시키면, 양쪽 스핀들(44a)의 출몰거리만큼 제3 받침판(41)에 대하여 제2 받침판(32)이 Y축암,수레일(42,43)에 안내되어 Y축수평방향으로 미세하게 이동하므로, 제2 받침판(32) 상에 설치된 제1 받침판(31), 장착판(20) 및 광학조립체(A)의 주경(A1) 위치를 Y축수평방향으로 미세하게 조정할 수 있다.
또한, 도 3 및 도 5에 나타낸 바와 같이 경사미세조정기구(50)에 구비된 X축미세회전수단의 양쪽 마이크로미터(56)를 조작하여 양쪽 스핀들(56a)을 미세하게 출몰시키면, 양쪽 스핀들(56a)의 출몰거리만큼 링형상프레임(53)에 대하여 지지대(54) 및 제3 받침판(41)이 X방향축(54a)을 중심으로 미세하게 회전하게 되므로, 제1 및 제2 센터미세조정기구(30,40), 장착판(20) 및 광학조립체(A)를 X방향축(54a)을 중심으로 미세하게 회전시켜 광학조립체(A)의 주경(A1)에 대하여 X축수평방향의 축선을 중심으로 하는 경사각을 미세하게 조정할 수 있다.
마찬가지로, Y축미세회전수단의 양쪽 마이크로미터(57)를 조작하여 양쪽 스핀들(57a)을 출몰시키면, 양쪽 스핀들(57a)의 출몰거리만큼 받침프레임(55)에 대하여 링형상프레임(53)이 Y방향축(55a)을 중심으로 미세하게 회전하게 되므로, 링형상프레임(53), 제1 및 제2 센터미세조정기구(30,40), 장착판(20) 및 광학조립체(A)를 Y방향축(55a)을 중심으로 미세하게 회전시켜 광학조립체(A)의 주경(A1)에 대하여 Y축수평방향의 축선을 중심으로 하는 경사각을 미세하게 조정할 수 있다.
이와 같이 본 발명은, 제1 및 제2 센터미세조정기구(30,40)와 경사미세조정기구(50)를 이용하여 광학조립체(A)의 주경(A1) 위치를 조정할 수 있고, 또한 마이크로미터(35,44,56,57)를 이용하여 아주 미세하게 조정하는 것이 가능하므로, 주경(A1)의 파면오차를 정확하게 측정할 수 있고, 광학테이블(D) 상에 설치하여 측정하기 어려운 고중량 대구경 광학장비의 파면오차 측정에 매우 유용하다.
더욱이, 본 발명의 측정장치에 의해 광학조립체(A)의 고정상태가 장시간 유지되므로 광학조립체(A)의 기구물과 주경(A1)의 조립을 위해 주입된 접착제가 경화되는 시간 동안에 파면오차를 측정함으로써 접착제의 경화 및 조립이 파면오차에 미치는 영향까지도 파악이 가능한 이점이 있다.
이상과 같이 도면과 명세서에서 최적 실시 예가 개시되었다. 여기서 특정한 용어들이 사용되었으나, 이는 단지 본 발명을 설명하기 위한 목적에서 사용된 것이지 의미 한정이나 특허청구범위에 기재된 본 발명의 범위를 제한하기 위하여 사용된 것은 아니다. 그러므로 본 기술 분야의 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 타 실시 예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 첨부된 특허청구범위의 기술적 사상에 의해 정해져야 할 것이다.
11 : 미세조정부 12 : 측정부
20 : 장착판 30,40 : 제1 및 제2 센터미세조정기구
31,32,41 : 제1 내지 제3 받침판 33,34 : X축암,수레일
42,43 : Y축암,수레일 35,44,56,57 : 마이크로미터
50 : 경사미세조정기구 51,52 : 제1 및 제2 회전지지부
53 : 링형상프레임 54 : 지지대
55 : 받침프레임 A : 광학조립체
A1 : 주경 B : 간섭계
C : CGH D : 광학테이블

Claims (6)

  1. 주경이 위를 향하도록 하여 광학조립체를 착탈 가능하게 고정하는 장착판;
    상기 장착판 및 광학조립체를 X축 수평방향으로 미세 이동시키기 위한 제1 센터미세조정기구;
    상기 장착판 및 광학조립체를 Y축 수평방향으로 미세 이동시키기 위한 제2 센터미세조정기구;
    상기 장착판 및 광학조립체를 상기 X축 수평방향의 축선과 Y축 수평방향의 축선을 중심으로 하여 각각 소정각도 회전시키기 위한 경사미세조정기구; 및
    상기 광학조립체의 파면오차를 측정하기 위한 측정장비를 상기 광학조립체 상부에 위치시키기 위한 지지프레임을 포함하여 이루어지며,
    상기 제1 센터미세조정기구는,
    상기 장착판이 상면에 설치되는 제1 받침판;
    상기 제1 받침판 하부에 배치된 제2 받침판;
    상기 제1 받침판과 제2 받침판 사이에 X축 수평방향으로 설치된 복수개의 X축암,수레일; 및
    상기 제1 받침판과 제2 받침판 사이에 설치되어 제2 받침판에 대하여 제1 받침판을 X축방향으로 이동시키기 위한 X축미세이동수단을 포함하여 이루어지고,
    상기 제2 센터미세조정기구는,
    상기 제2 받침판 하부에 배치된 제3 받침판;
    상기 제2 받침판과 제3 받침판 사이에 Y축 수평방향으로 설치된 복수개의 Y축암,수레일; 및
    상기 제2 받침판과 제3 받침판 사이에 설치되어 제3 받침판에 대하여 제2 받침판을 Y축방향으로 이동시키기 위한 Y축미세이동수단을 포함하여 이루어지고,
    상기 경사미세조정기구는,
    X축수평방향으로 양쪽에 제1 회전지지부가 형성되고, Y축수평방향으로 양쪽에 제2 회전지지부가 형성된 링형상프레임과,
    상기 제3 받침판 양측에 수직방향으로 설치되어, 상기 제1 회전지지부가 X축수평방향으로 배치된 X방향축에 의해 회전지지되는 지지대와,
    상기 지지대와 제1 회전지지부 사이에 설치되어 상기 링형상프레임에 대하여 지지대 및 제3 받침판를 X방향축을 중심으로 소정각도 회전시키기 위한 X축미세회전수단과,
    상기 제2 회전지지부가 Y축수평방향으로 배치된 Y방향축에 의해 회전지지되는 받침프레임과,
    상기 제2 회전지지부와 받침프레임 사이에 설치되어 상기 받침프레임에 대하여 링형상프레임을 Y방향축을 중심으로 소정각도 회전시키기 위한 Y축미세회전수단으로 이루어진 것을 특징으로 하는 비축 광학장비의 파면오차 측정장치.
  2. 삭제
  3. 삭제
  4. 제 1 항에 있어서, 상기 X축미세이동수단은, 2개의 마이크로미터를 상기 제1 및 제2 받침판의 X축방향 양측에 각각 X축 수평방향으로 배치하여 상기 제1 받침판에 고정하고, 마이크로미터의 스핀들의 끝단은 대향하는 제2 받침판의 측면에 접촉시킴으로써 이루어지고,
    상기 Y축미세이동수단은, 2개의 마이크로미터를 상기 제1 및 제2 받침판의 Y축방향 양측에 각각 Y축 수평방향으로 배치하여 상기 제2 받침판에 고정하고, 마이크로미터의 스핀들은 대향하는 제3 받침판의 측면에 접촉시켜 이루어진 것을 특징으로 하는 비축 광학장비의 파면오차 측정장치.
  5. 삭제
  6. 제 1 항에 있어서, 상기 X축미세회전수단은, 2개의 마이크로미터를 X방향축과 직교하는 수평방향으로 배치하여 상기 제1 회전지지부를 사이에 두고 양쪽에 대칭으로 위치시키고, 양쪽 마이크로미터는 상기 지지대에 고정하고, 양쪽 마이크로미터의 스핀들은 각각 대향하는 제1 회전지지부의 측면에 접촉시켜 이루어지며,
    상기 Y축미세회전수단은 2개의 마이크로미터를 Y방향축과 직교하는 수평방향으로 배치하여 상기 제2 회전지지부를 사이에 두고 양쪽에 대칭으로 위치시키고, 양쪽 마이크로미터는 상기 받침프레임에 고정하고, 양쪽 마이크로미터의 스핀들은 각각 대향하는 제2 회전지지부의 측면에 접촉시켜 이루어진 것을 특징으로 하는 비축 광학장비의 파면오차 측정장치.
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