KR102419325B1 - 플렉서블 표시 패널 및 이의 제조 방법 - Google Patents

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Abstract

플렉서블 표시 패널은 플렉서블 기판 및 도전층을 포함할 수 있다. 플렉서블 기판은 제1 응력이 작용하는 제1 영역 및 제1 영역으로부터 제1 방향에 위치하고, 제1 응력보다 작은 제2 응력이 작용하는 제2 영역을 포함할 수 있다. 도전층은 플렉서블 기판의 제1 영역 상에 배치되고, 도전성 칼럼들을 포함하는 주상(columnar) 도전부 및 플렉서블 기판의 제2 영역 상에 배치되고, 다결정질 입자들을 포함하는 다결정질(polycrystalline) 도전부를 포함할 수 있다.

Description

플렉서블 표시 패널 및 이의 제조 방법{FLEXIBLE DISPLAY PANEL AND METHOD OF MANUFACTURING THE SAME}
본 발명은 표시 장치에 관한 것이다. 보다 상세하게는, 본 발명은 플렉서블 표시 패널 및 이러한 플렉서블 표시 패널의 제조 방법에 관한 것이다.
단단한 유리 기판 대신 유연한 플라스틱 필름을 사용한 플렉서블(flexible) 표시 패널이 개발되고 있다. 플렉서블 표시 패널은 둥글게 말 수 있는 롤러블(rollable) 표시 장치, 구부릴 수 있는 벤더블(bendable) 표시 장치, 늘릴 수 있는 스트레쳐블(stretchable) 표시 장치 등 여러 가지 형태의 표시 장치로 구현될 수 있다.
플렉서블 표시 패널에는 전기 신호를 전송하기 위한 배선이 배치될 수 있다. 플렉서블 표시 패널이 말리거나, 구부러지거나, 또는 늘어나는 경우에 이러한 배선에 응력이 작용하고, 응력에 의해 배선에 크랙이 생성될 수도 있다.
본 발명의 일 목적은 유연하면서도 낮은 저항을 가지는 배선을 포함하는 플렉서블 표시 패널을 제공하는 것이다.
본 발명의 유연하면서도 낮은 저항을 가지는 배선을 포함하는 플렉서블 표시 패널의 제조 방법을 제공하는 것이다.
다만, 본 발명의 목적이 이와 같은 목적들에 한정되는 것은 아니며, 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위에서 다양하게 확장될 수 있을 것이다.
전술한 본 발명의 일 목적을 달성하기 위하여, 일 실시예에 따른 플렉서블 표시 패널은 제1 응력이 작용하는 제1 영역 및 상기 제1 영역으로부터 제1 방향에 위치하고, 상기 제1 응력보다 작은 제2 응력이 작용하는 제2 영역을 포함하는 플렉서블 기판, 그리고 상기 플렉서블 기판의 상기 제1 영역 상에 배치되고, 도전성 칼럼들을 포함하는 주상(columnar) 도전부 및 상기 플렉서블 기판의 상기 제2 영역 상에 배치되고, 다결정질 입자들을 포함하는 다결정질(polycrystalline) 도전부를 포함하는 도전층을 포함할 수 있다.
일 실시예에 있어서, 상기 플렉서블 기판은 상기 제1 영역과 상기 제2 영역 사이에 위치하고, 상기 제1 응력보다 작고 상기 제2 응력보다 큰 제3 응력이 작용하는 제3 영역을 더 포함할 수 있다. 상기 주상 도전부 및 상기 다결정질 도전부는 상기 플렉서블 기판의 상기 제3 영역 상에서 서로 요철 형상으로 접촉할 수 있다.
일 실시예에 있어서, 상기 주상 도전부의 요철 패턴은 상기 제3 영역에서 상기 제1 방향으로 돌출되고, 상기 다결정질 도전부의 요철 패턴은 상기 제3 영역에서 상기 제1 방향의 반대 방향으로 돌출될 수 있다.
일 실시예에 있어서, 상기 플렉서블 기판은 상기 제1 영역과 상기 제2 영역 사이에 위치하고, 상기 제1 응력보다 작고 상기 제2 응력보다 큰 제3 응력이 작용하는 제3 영역을 더 포함할 수 있다. 상기 도전층은 상기 플렉서블 기판의 상기 제3 영역 상에 배치되고, 도전성 칼럼들 및 다결정질 입자들을 포함하는 혼합(hybrid) 도전부를 더 포함할 수 있다.
일 실시예에 있어서, 상기 혼합 도전부의 상기 도전성 칼럼들의 밀도는 상기 제1 방향을 따라 감소하고, 상기 혼합 도전부의 상기 다결정질 입자들의 밀도는 상기 제1 방향을 따라 증가할 수 있다.
일 실시예에 있어서, 상기 제2 응력은 상기 다결정질 도전부의 임계 응력보다 작을 수 있다.
일 실시예에 있어서, 상기 도전층은 면심 입방(face centered cubic, FCC) 결정 구조를 가지는 금속을 포함할 수 있다.
일 실시예에 있어서, 상기 플렉서블 표시 패널은 상기 플렉서블 기판과 상기 도전층 사이에 배치되는 제1 보조 도전층 및 상기 도전층 상에 배치되는 제2 보조 도전층을 더 포함할 수 있다.
전술한 본 발명의 일 목적을 달성하기 위하여, 일 실시예에 따른 플렉서블 표시 패널은 길이 방향인 제1 방향으로 응력이 작용하는 플렉서블 기판, 그리고 상기 플렉서블 기판 상에 배치되고, 각각 도전성 칼럼들을 포함하는 복수의 주상(columnar) 도전부들 및 각각 다결정질 입자들을 포함하는 복수의 다결정질(polycrystalline) 도전부들을 포함하는 도전층을 포함할 수 있다. 상기 복수의 주상 도전부들 및 상기 복수의 다결정질 도전부들은 스트라이프 형태로 교번적으로 배열될 수 있다.
일 실시예에 있어서, 상기 복수의 주상 도전부들 및 상기 복수의 다결정질 도전부들은 상기 제1 방향을 따라 교번적으로 배열될 수 있다.
일 실시예에 있어서, 상기 복수의 주상 도전부들 및 상기 복수의 다결정질 도전부들은 상기 플렉서블 기판과 평행하고, 상기 제1 방향과 교차하는 제2 방향을 따라 교번적으로 배열될 수 있다.
일 실시예에 있어서, 각각의 상기 복수의 주상 도전부들의 폭은 각각의 상기 복수의 다결정질 도전부들의 폭과 실질적으로 같을 수 있다.
일 실시예에 있어서, 각각의 상기 복수의 주상 도전부들의 폭은 각각의 상기 복수의 다결정질 도전부들의 폭과 다를 수 있다.
일 실시예에 있어서, 상기 도전층은 상기 플렉서블 기판 상에 배치되는 제1 서브 도전층 및 상기 제1 서브 도전층 상에 배치되는 제2 서브 도전층을 포함할 수 있다.
전술한 본 발명의 일 목적을 달성하기 위하여, 일 실시예에 따른 플렉서블 표시 패널의 제조 방법은 챔버 내부에 플렉서블 기판을 배치하는 단계, 제1 전력으로 상기 플렉서블 기판의 제1 영역에 도전성 칼럼들을 포함하는 주상(columnar) 도전부를 형성하는 단계, 그리고 상기 제1 전력보다 큰 제2 전력으로 상기 플렉서블 기판의 제2 영역에 다결정질 입자들을 포함하는 다결정질(polycrystalline) 도전부를 형성하는 단계를 포함할 수 있다.
일 실시예에 있어서, 상기 플렉서블 기판의 상기 제1 영역에는 제1 응력이 작용하고, 상기 플렉서블 기판의 상기 제2 영역에는 상기 제1 응력보다 작은 제2 응력이 작용할 수 있다.
일 실시예에 있어서, 상기 플렉서블 기판의 상기 제1 영역과 상기 제2 영역은 서로 요철 형상으로 접촉할 수 있다.
일 실시예에 있어서, 상기 플렉서블 표시 패널의 제조 방법은 상기 제1 전력보다 크고 상기 제2 전력보다 작은 제3 전력으로 상기 플렉서블 기판의 상기 제1 영역 및 상기 제2 영역 사이에 위치하는 제3 영역에 도전성 칼럼들 및 다결정질 입자들을 포함하는 혼합(hybrid) 도전부를 형성하는 단계를 더 포함할 수 있다.
일 실시예에 있어서, 상기 제1 영역 및 상기 제2 영역은 복수이고, 상기 제1 영역들 및 상기 제2 영역들은 스트라이프 형태로 교번적으로 배열될 수 있다.
일 실시예에 있어서, 상기 주상 도전부를 형성하는 단계는 상기 플렉서블 기판의 상기 제1 영역에 제1 서브 주상 도전부를 형성하는 단계 및 상기 제1 서브 주상 도전부 상에 제2 서브 주상 도전부를 형성하는 단계를 포함할 수 있다. 상기 다결정질 도전부를 형성하는 단계는 상기 플렉서블 기판의 상기 제2 영역에 제1 서브 다결정질 도전부를 형성하는 단계 및 상기 제1 서브 다결정질 도전부 상에 제2 서브 다결정질 도전부를 형성하는 단계를 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 플렉서블 표시 패널의 도전층은 도전성 칼럼들을 포함하는 주상 도전부 및 다결정질 입자들을 포함하는 다결정질 도전부를 포함함으로써, 배선의 유연성이 향상되고, 배선의 저항이 감소될 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 플렉서블 표시 패널의 제조 방법에 있어서, 전력의 크기를 조절하여 도전성 칼럼들을 포함하는 주상 도전부 및 다결정질 입자들을 포함하는 다결정질 도전부를 형성함으로써, 배선의 유연성이 향상되고, 배선의 저항이 감소될 수 있다.
다만, 본 발명의 효과가 전술한 효과에 한정되는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위에서 다양하게 확장될 수 있을 것이다.
도 1a 및 도 1b는 본 발명의 일 실시예에 따른 플렉서블 표시 패널을 포함하는 롤러블 표시 장치를 나타내는 사시도들이다.
도 2는 도 1a 및 도 1b의 X 방향을 따라 배선에 작용하는 응력의 크기를 나타내는 그래프이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 플렉서블 표시 패널을 나타내는 평면도이다.
도 4a 및 도 4b는 도 3의 주상 도전부를 나타내는 사시도들이다.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 플렉서블 표시 패널을 나타내는 평면도이다.
도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 플렉서블 표시 패널을 나타내는 평면도이다.
도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 플렉서블 표시 패널을 나타내는 평면도이다.
도 8은 본 발명의 일 실시예에 따른 플렉서블 표시 패널을 나타내는 단면도이다.
도 9는 전력의 크기에 따라 제조된 도전층의 회절 분석 패턴이다.
도 10은 본 발명의 일 실시예에 따른 플렉서블 표시 패널을 나타내는 단면도이다.
도 11은 본 발명의 일 실시예에 따른 플렉서블 표시 패널을 나타내는 단면도이다.
도 12a 및 도 12b는 본 발명의 일 실시예에 따른 플렉서블 표시 패널을 포함하는 벤더블 표시 장치를 나타내는 사시도들이다.
도 13a 및 도 13b는 본 발명의 일 실시예에 따른 플렉서블 표시 패널을 포함하는 스트레쳐블 표시 장치를 나타내는 사시도들이다.
도 14는 도 12a 및 도 12b의 X 방향을 따라 배선에 작용하는 응력의 크기를 나타내는 그래프이다.
도 15는 본 발명의 일 실시예에 따른 플렉서블 표시 패널을 나타내는 평면도이다.
이하, 첨부한 도면들을 참조하여, 본 발명의 실시예들에 따른 플렉서블 표시 패널들 및 플렉서블 표시 패널의 제조 방법들을 보다 상세하게 설명한다. 첨부된 도면들 상의 동일한 구성 요소들에 대해서는 동일하거나 유사한 참조 부호들을 사용한다.
도 1a 및 도 1b는 본 발명의 일 실시예에 따른 플렉서블 표시 패널을 포함하는 롤러블 표시 장치를 나타내는 사시도들이다. 도 1a는 플렉서블 표시 패널이 펼쳐진 상태를 나타내고, 도 1b는 플렉서블 표시 패널이 말린 상태를 나타낸다.
도 1a 및 도 1b를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 플렉서블 표시 패널(100)은 플렉서블 기판(110) 및 플렉서블 기판(110) 상에 배치되는 배선(120)을 포함할 수 있다. 플렉서블 표시 패널(100)은 영상을 표시할 수 있다. 배선(120)은 플렉서블 기판(110)의 길이 방향인 제1 방향(X 방향)으로 연장될 수 있다.
플렉서블 표시 패널(100)은 롤링축을 기준으로 말릴 수 있다. 이 경우, 플렉서블 표시 패널(100)은 롤러블 표시 장치에 적용될 수 있다. 롤링축은 플렉서블 기판(110)과 평행하고 상기 제1 방향(X 방향)과 수직하는 제2 방향(Y 방향)과 평행할 수 있다. 플렉서블 기판(110)에서 롤링축에 인접하는 중심부(110a) 및 롤링축에서 이격되는 외곽부(110b)가 정의될 수 있다. 플렉서블 표시 패널(100)이 롤링축을 따라 말리는 경우에 플렉서블 표시 패널(100)에는 상기 제1 방향(X 방향)으로 응력이 작용할 수 있다.
도 2는 도 1a 및 도 1b의 X 방향을 따라 배선에 작용하는 응력의 크기를 나타내는 그래프이다.
도 1a, 도 1b 및 도 2를 참조하면, 플렉서블 표시 패널(100)이 X 방향을 따라 말림으로써 배선(120)에는 상기 제1 방향(X 방향)으로 응력이 작용할 수 있다. 또한, 배선(120)에 작용하는 응력의 크기는 상기 제1 방향(X 방향)에 따라 상이할 수 있다. 도 2에 도시된 바와 같이, 배선(120)에 작용하는 응력의 크기는 상기 제1 방향(X 방향)에 따라 감소할 수 있다. 배선(120)에 작용하는 응력의 크기는 플렉서블 기판(110)의 중심부(110a)에 가까워질수록 증가하고, 플렉서블 기판(110)의 외곽부(110b)에 가까워질수록 감소할 수 있다.
이하, 도 3, 도 5, 도 6 및 도 7을 참조하여 본 발명의 실시예들에 따른 플렉서블 표시 패널의 평면 구조를 설명한다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 플렉서블 표시 패널을 나타내는 평면도이다. 도 3은 도 1a 및 도 1b의 플렉서블 표시 패널(100)의 일부를 나타낸 것일 수 있다.
도 3을 참조하면, 배선(120)은 플렉서블 기판(110) 상에 배치되는 도전층(1100)을 포함할 수 있다.
플렉서블 기판(110)은 제1 영역(R1), 제2 영역(R2) 및 제3 영역(R3)을 포함할 수 있다. 제2 영역(R2)은 제1 영역(R1)으로부터 상기 제1 방향(X 방향)에 위치할 수 있다. 제3 영역(R3)은 제1 영역(R1)과 제2 영역(R2) 사이에 위치할 수 있다. 예를 들면, 제1 영역(R1)은 플렉서블 기판(110)의 중심부(110a)에 인접하고, 제2 영역(R2)은 플렉서블 기판(110)의 외곽부(110b)에 인접할 수 있다.
전술한 바와 같이, 플렉서블 기판(110)에 작용하는 응력은 상기 제1 방향(X 방향)을 따라 중심부(110a)에서 외곽부(110b)로 갈수록 감소할 수 있다. 이에 따라, 제1 영역(R1)에는 제1 응력이 작용하고, 제2 영역(R2)에는 상기 제1 응력보다 작은 제2 응력이 작용할 수 있다. 또한, 제3 영역(R3)에는 상기 제1 응력보다 작고, 상기 제2 응력보다 큰 제3 응력이 작용할 수 있다.
도전층(1100)은 주상(columnar) 도전부(1110) 및 다결정질(polycrystalline) 도전부(1120)를 포함할 수 있다. 주상 도전부(1110)는 플렉서블 기판(110)의 제1 영역(R1) 상에 배치되고, 다결정질 도전부(1120)는 플렉서블 기판(110)의 제2 영역(R2) 상에 배치될 수 있다.
도 4a 및 도 4b는 도 3의 주상 도전부를 나타내는 사시도들이다. 도 4a는 주상 도전부에 응력이 작용되지 않은 상태를 나타내고, 도 4b는 주상 도전부에 응력이 작용된 상태를 나타낸다.
도 4a를 참조하면, 주상 도전부(1110)는 복수의 도전성 칼럼들(1111)을 포함할 수 있다. 도전성 칼럼들(1111)은 플렉서블 기판(110)의 상면으로부터 상기 상면에 수직한 제3 방향(Z 방향)을 따라 연장할 수 있다. 그러나, 도전성 칼럼들(1111)은 플렉서블 기판(110)의 상면으로부터 상기 상면에 대하여 소정의 각도로 기울어지도록 형성될 수도 있다. 도전성 칼럼들(1111)은 각각의 측벽들이 서로 접촉하며 계면을 이루는 주상 구조(columnar structure)를 가질 수 있다. 도전성 칼럼들(1111)은 상기 제1 방향(X 방향) 또는 상기 제2 방향(Y 방향)을 따라 서로 인접하여 나란하게 배열될 수 있다. 따라서, 도전성 칼럼들(1111) 각각의 높이는 주상 도전부(1110)의 높이(또는 Z 방향에 따른 두께)와 실질적으로 동일하거나 유사할 수 있다. 실시예들에 있어서, 도전성 칼럼들(1111) 각각의 상면 또는 수평 방향 단면은 육각형, 타원형 또는 원형일 수 있으나, 본 발명의 실시예가 이에 한정되는 것은 아니다.
주상 도전부(1110)는 복수의 개구들(1112)을 더 포함할 수 있다. 개구들(1112)은 도전성 칼럼들(1111) 중에서 근접한 도전성 칼럼들(1111) 사이의 공간들로 정의될 수 있다. 개구들(1112)에 의해 도전성 칼럼들(1111)의 측벽들이 노출될 수 있다. 개구들(124) 각각은 제1 폭(W1)을 가질 수 있다. 도전성 칼럼들(1111)이 상기 제1 방향(X 방향) 또는 상기 제2 방향(Y 방향)을 따라 배열됨에 따라 개구들(1112) 또한 상기 제1 방향(X 방향) 또는 상기 제2 방향(Y 방향)을 따라 배열될 수 있다. 이에 따라, 개구들(1112)의 높이는 도전성 칼럼들(1111)의 높이와 유사할 수 있다. 그러나, 본 발명의 실시예는 이에 한정되지 않고, 주상 도전부(1110)의 도전성 칼럼들(1111)이 서로 치밀하게 인접하여 배치됨에 따라 개구들(1112)이 거의 형성되지 않을 수도 있다.
도 4b를 참조하면, 응력이 작용하여 신장된 플렉서블 기판(110) 상에 도전성 칼럼들(1111)을 포함하는 신장된 주상 도전부(1110)가 배치될 수 있다. 도전성 칼럼들(1111)에 의하여 개구들(1112)이 정의될 수 있고, 신장된 주상 도전부(1110)는 개구들(1112)이 분산된 도전성 네트워크 구조를 가질 수 있다. 예를 들면, 신장된 주상 도전부(1110)는 신장된 플렉서블 기판(110) 상에서 상기 제1 방향(X 방향) 또는 상기 제2 방향(Y 방향)으로 개구들(1112)이 랜덤하게 분산된 2차원적인 도전성 네트워크를 형성할 수 있다.
개구들(1112) 각각은 제2 폭(W2)을 가질 수 있다. 개구들(1112)은 신장된 플렉서블 기판(110) 상에서 그 폭이 더욱 확장되므로, 신장 상태에서의 개구들(1112)의 제2 폭(W2)은 신장되기 전의 개구들(1112)의 제1 폭(W1)보다 클 수 있다. 또한, 플렉서블 기판(110)이 신장됨에 따라 서로 접촉하고 있던 도전성 칼럼들(1111)의 측벽들이 서로 분리되고 이격되어 새로운 개구들(1112)이 생성될 수 있다. 이에 따라, 신장된 주상 도전부(1110)에서 개구들(1112)의 개수가 신장되기 전의 개구들(1112)의 개수보다 증가할 수 있다.
도전성 칼럼들(1111)은 리가먼트 운동(ligament movement)에 의하여 도전성 칼럼들(1111)의 연장 방향을 회전축으로 하여 용이하게 회전할 수 있다. 따라서, 도전성 칼럼들(1111) 사이의 공간에서 개구(1112)가 일 방향으로 진행하거나 전파할 때, 도전성 칼럼(1111)의 상기 리가먼트 운동에 의하여 개구(1112)가 트랩되거나 개구(1112)의 전파 방향이 변화될 수 있다.
일반적으로 플렉서블 기판 상에 다결정질 도전부가 형성된 구조에서 플렉서블 기판에 응력이 작용할 때, 다결정질 도전부 내에 크랙이 전파할 수 있다. 특히, 상기 크랙이 시작된 부분에 인장 응력이 집중됨에 따라 상기 크랙 부분을 통해 더 샤프한 크랙이 더욱 급격히 발생하고 전파될 수 있다. 그러나, 본 발명의 실시예에 따른 주상 도전부(1110)의 도전성 칼럼들(1111)은 리가먼트 운동에 의하여 개구(1112)가 트랩되거나 전파 방향이 용이하게 바뀜으로써 크랙의 일 방향 전파 발생이 방지될 수 있다. 이에 따라, 주상 도전부(1110)는 다결정질 도전부(1120)보다 유연성이 클 수 있다.
다시, 도 3을 참조하면, 다결정질 도전부(1120)는 다결정질 입자들을 포함할 수 있다. 상기 다결정질 입자들은 특정한 방향성을 갖지 않을 수 있다. 다결정질 도전부(1120)는 주상 도전부(1110)보다 낮은 비저항을 가질 수 있다. 예를 들면, 다결정질 도전부(1120)는 약 10 μΩ·cm의 비저항을 가지고, 주상 도전부(1110)는 약 15 μΩ·cm의 비저항을 가질 수 있다. 이에 따라, 도전층(1100)이 다결정질 도전부(1120)를 포함함으로써, 도전층(1100)의 저항이 감소할 수 있다.
다결정질 도전부(1120)가 배치되는 제2 영역(R2)에 작용하는 상기 제2 응력은 다결정질 도전부(1120)의 임계 응력(CS)보다 작을 수 있다. 다결정질 도전부(1120)에 임계 응력(CS)보다 큰 응력이 작용하는 경우에, 다결정질 도전부(1120)에 크랙이 생성될 수 있다. 다결정질 도전부(1120)의 임계 응력(CS)은 도전층(1100)을 구성하는 물질 등에 따라 달라질 수 있다. 도 2에 도시된 바와 같이, 응력은 X 방향을 따라 감소할 수 있고, 응력이 다결정질 도전부(1120)의 임계 응력(CS)에 상응하는 부분을 임계 라인(CL)으로 정의할 수 있다. 임계 라인(CL)이 다결정질 도전부(1120)가 배치되는 제2 영역(R2)에 위치하는 경우에 다결정질 도전부(1120)에 크랙이 생성될 수 있다. 이에 따라, 임계 라인(CL)은 주상 도전부(1110)가 배치되는 제1 영역(R1)에 위치할 수 있다.
도전층(1100)은 면심 입방(face centered cubic, FCC) 결정 구조를 가지는 금속을 포함할 수 있다. 예를 들면, 도전층(1100)은 구리(Cu), 금(Au), 은(Ag), 알루미늄(Al), 철(Fe), 니켈(Ni), 백금(Pt), 납(Pb), 로듐(Rh), 팔라듐(Pd), 이리듐(Ir), 이터븀(Yb) 등의 단원소, 또는 이들의 합금 또는 조합을 포함할 수 있다. 주상 도전부(1110)의 도전성 칼럼들(1111) 각각은 플렉서블 기판(110)의 상면 상에서 상기 FCC 결정 구조의 결정학적 (111) 면을 따라 배열될 수 있다. 여기서, 결정학적 (111) 면을 따라 배열한다는 것은 도전성 칼럼들(1111)의 연장 방향에 수직한 면이 상기 FCC 결정 구조의 결정학적 (111) 면에 대응된다는 것을 의미한다. 예를 들면, 도전성 칼럼들(1111)이 상기 FCC 결정 구조의 결정학적 (111) 면에 따라 배열되는 경우, 도전성 칼럼들(1111) 내의 금속 원자들이 가장 조밀하게 충진될 수 있고, 예를 들면, 도전성 칼럼들(1111)은 육각형 형상의 수평 단면을 가질 수 있다.
주상 도전부(1110)와 다결정질 도전부(1120)는 플렉서블 기판(110)의 제3 영역(R3) 상에서 서로 요철 형상으로 접촉할 수 있다. 주상 도전부(1110)와 다결정질 도전부(1120)가 요철 형상으로 접촉하는 경우에, 주상 도전부(1110)와 다결정질 도전부(1120) 사이의 계면의 면적이 증가할 수 있다. 이에 따라, 서로 다른 결정 구조를 갖는 주상 도전부(1110)와 다결정질 도전부(1120) 사이의 접촉 저항이 증가하는 것을 방지할 수 있다.
주상 도전부(1110)와 다결정질 도전부(1120)는 플렉서블 기판(110)의 제3 영역(R3) 상에서 각각 요철 패턴들(CC1, CC2)을 가질 수 있다. 주상 도전부(1110)의 요철 패턴(CC1)은 돌출부와 함몰부를 가지고, 요철 패턴(CC1)의 상기 돌출부는 상기 제1 방향(X 방향)으로 돌출될 수 있다. 다결정질 도전부(1120)의 요철 패턴(CC2)은 돌출부와 함몰부를 가지고, 요철 패턴(CC2)의 상기 돌출부는 상기 제1 방향(X 방향)의 반대 방향으로 돌출될 수 있다.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 플렉서블 표시 패널을 나타내는 평면도이다.
도 5를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 플렉서블 표시 패널은 플렉서블 기판(110) 및 배선(120)을 포함할 수 있다. 배선(120)은 플렉서블 기판(110) 상에 배치되는 도전층(2100)을 포함할 수 있다. 도 5를 참조하여 설명하는 일 실시예에 따른 플렉서블 표시 패널에 있어서, 도 3을 참조하여 설명한 일 실시예에 따른 플렉서블 표시 패널과 실질적으로 동일하거나 유사한 구성에 대한 설명은 생략한다.
도전층(2100)은 주상 도전부(2110), 다결정질 도전부(2120) 및 혼합(hybrid) 도전부(2130)를 포함할 수 있다. 주상 도전부(2110)는 플렉서블 기판(110)의 제1 영역(R1) 상에 배치되고, 다결정질 도전부(2120)는 플렉서블 기판(110)의 제2 영역(R2) 상에 배치되며, 혼합 도전부(2130)는 플렉서블 기판(110)의 제3 영역(R3) 상에 배치될 수 있다.
혼합 도전부(2130)는 복수의 도전성 칼럼들 및 복수의 다결정질 입자를 포함할 수 있다. 다시 말해, 혼합 도전부(2130)는 주상 도전부(2110)를 구성하는 도전성 칼럼들과 다결정질 도전부(2120)를 구성하는 다결정질 입자를 함께 포함할 수 있다.
혼합 도전부(2130)의 상기 도전성 칼럼들의 밀도는 상기 제1 방향(X 방향)을 따라 감소하고, 혼합 도전부(2130)의 상기 다결정질 입자들의 밀도는 상기 제1 방향(X 방향)을 따라 증가할 수 있다. 이 경우, 혼합 도전부(2130)의 제1 영역(R1)에 인접한 부분에서 상기 도전성 칼럼들의 밀도가 상기 다결정질 입자들의 밀도보다 클 수 있고, 혼합 도전부(2130)의 제2 영역(R2)에 인접한 부분에서 상기 다결정질 입자들의 밀도가 상기 도전성 칼럼들의 밀도보다 클 수 있다. 제3 영역(R3)에서 제1 영역(R1)에 인접한 부분에 작용하는 응력은 제3 영역(R3)에서 제2 영역(R2)에 인접한 부분에 작용하는 응력보다 클 수 있다. 이에 따라, 혼합 도전부(2130)의 제1 영역(R1)에 인접한 부분에서는 유연성이 증가되고, 혼합 도전부(2130)의 제2 영역(R2)에 인접한 부분에서는 저항이 감소될 수 있다.
도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 플렉서블 표시 패널을 나타내는 평면도이다.
도 6을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 플렉서블 표시 패널은 플렉서블 기판(110) 및 배선(120)을 포함할 수 있다. 배선(120)은 플렉서블 기판(110) 상에 배치되는 도전층(3100)을 포함할 수 있다. 도 6을 참조하여 설명하는 일 실시예에 따른 플렉서블 표시 패널에 있어서, 도 3을 참조하여 설명한 일 실시예에 따른 플렉서블 표시 패널과 실질적으로 동일하거나 유사한 구성에 대한 설명은 생략한다.
도전층(3100)은 복수의 주상 도전부들(3110) 및 복수의 다결정질 도전부들(3120)을 포함할 수 있다. 주상 도전부들(3110)은 각각 복수의 도전성 칼럼들을 포함할 수 있다. 다결정질 도전부들(3120)은 각각 복수의 다결정질 입자들을 포함할 수 있다. 주상 도전부들(3110)과 다결정질 도전부들(3120)은 스트라이프(stripe) 형태로 교번적으로 배열될 수 있다. 예를 들면, 인접한 두 개의 주상 도전부들(3110) 사이에 하나의 다결정질 도전부(3120)가 배치되고, 인접한 두 개의 다결정질 도전부들(3120) 사이에 하나의 주상 도전부(3110)가 배치될 수 있다.
주상 도전부들(3110)과 다결정질 도전부들(3120)은 상기 제1 방향(X 방향)을 따라 교번적으로 배열될 수 있다. 도전층(3100)에는 상기 제1 방향(X 방향)으로 응력이 작용할 수 있고, 인접한 주상 도전부(3110)와 다결정질 도전부(3120) 사이의 계면은 상기 제1 방향(X 방향)과 수직하는 상기 제2 방향(Y 방향)을 따라 연장될 수 있다. 이 경우, 상기 제1 방향(X 방향)을 따라 크랙이 전달되는 것이 실질적으로 방지되거나 감소될 수 있다.
각각의 주상 도전부들(3110)은 제3 폭(W3)을 가지고, 각각의 다결정질 도전부들(3120)은 제4 폭(W4)을 가질 수 있다. 제3 폭(W3)은 주상 도전부들(3110)이 배열되는 방향으로 각 주상 도전부(3110)의 길이이고, 제4 폭(W4)은 다결정질 도전부들(3120)이 배열되는 방향으로 각 다결정질 도전부(3120)의 길이일 수 있다.
일 실시예에 있어서, 제3 폭(W3)은 제4 폭(W4)과 실질적으로 같을 수 있다. 이 경우, 하나의 마스크를 이용하여 주상 도전부들(3110)과 다결정질 도전부들(3120)을 형성함으로써, 도전층(3100)을 형성하는 비용 및 시간을 절감할 수 있다. 예를 들면, 마스크를 이용하여 주상 도전부들(3110)을 형성하고, 상기 마스크를 상기 제1 방향(X 방향)으로 이동하여 다결정질 도전부들(3120)을 형성할 수 있다.
다른 실시예에 있어서, 제3 폭(W3)은 제4 폭(W4)과 다를 수 있다. 이 경우, 제3 폭(W3)과 제4 폭(W4)의 비율을 조절하여 도전층(3100)의 유연성을 증가시키거나 저항을 감소시킬 수 있다. 예를 들면, 제3 폭(W3)이 제4 폭(W4)보다 큰 경우에, 도전층(3100)에서 주상 도전부들(3110)이 차지하는 면적이 증가하므로 도전층(3100)의 유연성이 증가할 수 있다. 또한, 제3 폭(W3)이 제4 폭(W4)보다 작은 경우에, 도전층(3100)에서 다결정질 도전부들(3120)이 차지하는 면적이 증가하므로 도전층(3100)의 저항이 감소할 수 있다.
도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 플렉서블 표시 패널을 나타내는 평면도이다.
도 7을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 플렉서블 표시 패널은 플렉서블 기판(110) 및 배선(120)을 포함할 수 있다. 배선(120)은 플렉서블 기판(110) 상에 배치되는 도전층(4100)을 포함할 수 있다. 도 7을 참조하여 설명하는 일 실시예에 따른 플렉서블 표시 패널에 있어서, 도 6을 참조하여 설명한 일 실시예에 따른 플렉서블 표시 패널과 실질적으로 동일하거나 유사한 구성에 대한 설명은 생략한다.
주상 도전부들(4110)과 다결정질 도전부들(4120)은 플렉서블 기판(110)과 평행하고 상기 제1 방향(X 방향)과 수직하는 상기 제2 방향(Y 방향)을 따라 교번적으로 배열될 수 있다. 도 6을 참조하여 설명한 일 실시예에 따른 플렉서블 표시 패널과 다르게, 인접한 주상 도전부(4110)와 다결정질 도전부(4120)의 계면은 상기 제1 방향(X 방향)과 평행하게 연장될 수 있다.
이하, 도 8, 도 10 및 도 11을 참조하여 본 발명의 실시예들에 따른 플렉서블 표시 패널의 단면 구조를 설명한다.
도 8은 본 발명의 일 실시예에 따른 플렉서블 표시 패널을 나타내는 단면도이다.
도 8을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 플렉서블 표시 패널은 플렉서블 기판(110) 및 배선(120)을 포함할 수 있다. 배선(120)은 플렉서블 기판(110) 상에 배치되는 도전층(5100)을 포함할 수 있다.
플렉서블 기판(110)은 폴리에스테르(polyester), 폴리이미드(polyimide), 폴리에틸렌 테레프탈레이트(polyethylene terephthalate, PET), 폴리디메틸실록산(polydimethylsiloxane, PDMS) 등으로 형성될 수 있다. 플렉서블 기판(110)은 제1 영역(111) 및 제2 영역(112)을 포함할 수 있다.
도전층(5100)은 주상 도전부(5110) 및 다결정질 도전부(5120)를 포함할 수 있다. 주상 도전부(5110)는 플렉서블 기판(110)의 제1 영역(111) 상에 배치되고, 다결정질 도전부(5120)는 플렉서블 기판(110)의 제2 영역(112) 상에 배치될 수 있다. 여기서, 주상 도전부(5110)는 도 3의 주상 도전부(1110), 도 5의 주상 도전부(2110), 도 6의 주상 도전부(3110) 및 도 7의 주상 도전부(4110)에 대응할 수 있다. 또한, 다결정질 도전부(5120)는 도 3의 다결정질 도전부(1120), 도 5의 다결정질 도전부(2120), 도 6의 다결정질 도전부(3120) 및 도 7의 다결정질 도전부(4120)에 대응할 수 있다.
한편, 플렉서블 기판(110)은 제1 영역(111)과 제2 영역(112) 사이에 위치하는 제3 영역을 더 포함하고, 도전층(5100)은 상기 제3 영역 상에 배치되는 혼합 도전부를 더 포함할 수 있다. 이 경우, 상기 혼합 도전부는 도 5의 혼합 도전부(2130)에 대응할 수 있다.
이하, 도 8을 참조하여 본 실시예들에 따른 플렉서블 표시 패널의 제조 방법을 설명한다.
먼저, 챔버 내부에 플렉서블 기판(110)을 배치할 수 있다. 플렉서블 기판(110)은 전술한 바와 같이 폴리에스테르, 폴리이미드, 폴리에틸렌테레프탈레이트, 폴리디메틸실록산 등으로 형성될 수 있다. 일 실시예에 있어서, 챔버 내부에 플렉서블 기판(110)을 배치하기 전에 플렉서블 기판(110)의 전처리(세정 처리, 표면 처리 등)를 수행할 수 있으나 필수적인 것은 아니고 생략하여도 무방하다.
그 다음, 플렉서블 기판(110) 상에 도전층(5100)을 형성할 수 있다. 도전층(5100)은 스퍼터링(sputtering) 공정, 화학 기상 증착(chemical vapor deposition, CVD) 공정, 저압 화학 기상 증착(low pressure CVD, LPCVD) 공정, 플라즈마 증대 화학 기상 증착(plasma enhanced CVD, PECVD) 공정, 금속유기 화학 기상 증착(metal-organic CVD) 공정, 원자층 증착(atomic layer deposition, ALD) 공정, 금속유기 원자층 증착(metal-organic ALD) 공정, 전자빔 증발(e-beam evaporation) 공정 또는 분자빔 에피택시(molecular beam epitaxy, MBE) 공정 등을 사용하여 형성될 수 있다.
일 실시예에 있어서, 스퍼터링 공정을 사용하여 플렉서블 기판(110) 상에 도전층(5100)을 형성할 수 있다. 예를 들면, 아르곤(Ar) 등의 불활성 기체를 공정 가스로 사용하고 구리(Cu) 타겟을 사용하며 증착 전력의 크기를 조절하여 스퍼터링 공정을 수행할 수 있다.
도 9는 전력의 크기에 따라 제조된 도전층의 회절 분석 패턴이다.
도 9를 참조하면, 증착 전력이 약 40W 내지 약 100W인 경우에 도전성 칼럼들을 포함하는 도전층이 형성될 수 있고, 증착 전력이 약 200W 내지 약 300W인 경우에 다결정질 구조를 포함하는 도전층이 형성될 수 있다. 한편, 증착 전력이 약 20W인 경우에 비정질 구조를 포함하는 도전층이 형성될 수 있다.
다시 도 8을 참조하면, 플렉서블 기판(110)의 제1 영역(111) 상에 도전성 칼럼들을 포함하는 주상 도전부(5110)를 형성하고, 플렉서블 기판(110)의 제2 영역(112) 상에 다결정질 입자들을 포함하는 다결정질 도전부(5120)를 형성할 수 있다. 일 실시예에서는 주상 도전부(5110)를 형성한 후에 다결정질 도전부(5120)를 형성할 수 있다. 다른 실시예에서는 다결정질 도전부(5120)를 형성한 후에 주상 도전부(5110)를 형성할 수도 있다.
주상 도전부(5110)는 제1 전력으로 형성하고, 다결정질 도전부(5120)는 상기 제1 전력보다 큰 제2 전력으로 형성할 수 있다. 예를 들면, 상기 제1 전력은 약 40W 내지 약 100W일 수 있고, 상기 제2 전력은 약 200W 내지 약 300W일 수 있다. 예를 들면, 상기 제1 전력으로 플렉서블 기판(110)의 제1 영역(111)에 주상 도전부(5110)를 형성한 후에, 증착 전력을 상기 제2 전력으로 높여 플렉서블 기판(110)의 제2 영역(112)에 다결정질 도전부(5120)를 형성할 수 있다.
한편, 플렉서블 기판(110)은 제1 영역(111)과 제2 영역(112) 사이에 위치하는 제3 영역을 더 포함하고, 상기 제3 영역 상에 도전성 칼럼들 및 다결정질 입자들을 포함하는 혼합 도전부를 추가적으로 형성할 수 있다. 이 경우, 상기 혼합 도전부는 도 5의 혼합 도전부(2130)에 대응할 수 있다. 상기 혼합 도전부는 상기 제1 전력보다 크고 상기 제2 전력보다 작은 제3 전력으로 형성할 수 있다. 예를 들면, 상기 제3 전력은 약 100W 내지 약 200W일 수 있다.
도 10은 본 발명의 일 실시예에 따른 플렉서블 표시 패널을 나타내는 단면도이다.
도 10을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 플렉서블 표시 패널은 플렉서블 기판(110) 및 배선(120)을 포함할 수 있다. 배선(120)은 플렉서블 기판(110) 상에 배치되는 도전층(6100)을 포함할 수 있다. 도 10을 참조하여 설명하는 일 실시예에 따른 플렉서블 표시 패널에 있어서, 도 8을 참조하여 설명한 일 실시예에 따른 플렉서블 표시 패널과 실질적으로 동일하거나 유사한 구성에 대한 설명은 생략한다.
도전층(6100)은 주상 도전부(6110) 및 다결정질 도전부(6120)를 포함할 수 있다. 주상 도전부(6110)는 플렉서블 기판(110)의 제1 영역(111)에 배치되는 제1 서브 주상 도전부(6111) 및 제1 서브 주상 도전부(6111) 상에 배치되는 제2 서브 주상 도전부(6112)를 포함할 수 있다. 다결정질 도전부(6120)는 플렉서블 기판(110)의 제2 영역(112)에 배치되는 제1 서브 다결정질 도전부(6121) 및 제1 서브 다결정질 도전부(6121) 상에 배치되는 제2 서브 다결정질 도전부(6122)를 포함할 수 있다. 제1 서브 주상 도전부(6111)의 높이와 제2 서브 주상 도전부(6112)의 높이는 각각 제1 서브 다결정질 도전부(6121)의 높이와 제2 서브 다결정질 도전부(6122)의 높이와 실질적으로 같을 수 있다. 이 경우, 제1 서브 주상 도전부(6111)와 제1 서브 다결정질 도전부(6121)를 포함하는 제1 서브 도전층(6100a) 및 제2 서브 주상 도전부(6112)와 제2 서브 다결정질 도전부(6122)를 포함하는 제2 서브 도전층(6100b)이 정의될 수 있다.
제1 서브 도전층(6100a)과 제2 서브 도전층(6100b)은 분리 형성될 수 있고, 이에 따라, 제1 서브 도전층(6100a)과 제2 서브 도전층(6100b)의 사이에는 계면이 형성될 수 있다. 도전층(6100)에는 상기 제3 방향(Z 방향)으로 응력이 작용할 수 있고, 제1 서브 도전층(6100a)과 제2 서브 도전층(6100b) 사이의 계면은 상기 제3 방향(Z 방향)과 수직하는 상기 제1 방향(X 방향)을 따라 연장될 수 있다. 이 경우, 상기 제3 방향(Z 방향)을 따라 크랙이 전달되는 것이 실질적으로 방지되거나 감소될 수 있다.
도 11은 본 발명의 일 실시예에 따른 플렉서블 표시 패널을 나타내는 단면도이다.
도 11을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 플렉서블 표시 패널은 플렉서블 기판(110) 및 배선(120)을 포함할 수 있다. 배선(120)은 플렉서블 기판(110) 상에 배치되는 도전층(7100), 제1 보조 도전층(7200) 및 제2 보조 도전층(7300)을 포함할 수 있다. 도 11을 참조하여 설명하는 일 실시예에 따른 플렉서블 표시 패널에 있어서, 도 8을 참조하여 설명한 일 실시예에 따른 플렉서블 표시 패널과 실질적으로 동일하거나 유사한 구성에 대한 설명은 생략한다.
제1 보조 도전층(7200)은 플렉서블 기판(110)과 도전층(7100) 사이에 배치되고, 제2 보조 도전층(7300)은 도전층(7100) 상에 배치될 수 있다. 제1 보조 도전층(7200)과 제2 보조 도전층(7300)은 플렉서블 표시 패널의 제조 공정에서 도전층(7100)의 표면에서 돌기가 발생되는 힐록(hillock) 현상을 방지하는 역할을 할 수 있다. 제1 보조 도전층(7200)과 제2 보조 도전층(7300)은 티타늄(Ti), 몰리브넘(Mo) 등으로 형성될 수 있다. 예를 들면, 배선(120)은 Ti/Al/Ti 구조 또는 Mo/Al/Mo 구조를 가질 수 있다.
도 12a 및 도 12b는 본 발명의 일 실시예에 따른 플렉서블 표시 패널을 포함하는 벤더블 표시 장치를 나타내는 사시도들이다. 도 12a는 플렉서블 표시 패널이 펼쳐진 상태를 나타내고, 도 12b는 플렉서블 표시 패널이 구부러진 상태를 나타낸다.
도 12a 및 도 12b를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 플렉서블 표시 패널(200)은 플렉서블 기판(210) 및 플렉서블 기판(210) 상에 배치되는 배선(220)을 포함할 수 있다. 도 12a 및 도 12b를 참조하여 설명하는 일 실시예에 따른 플렉서블 표시 패널에 있어서, 도 1a 및 도 1b를 참조하여 설명한 일 실시예에 따른 플렉서블 표시 패널과 실질적으로 동일하거나 유사한 구성에 대한 설명은 생략한다.
플렉서블 표시 패널(200)은 벤딩축을 기준으로 구부러질 수 있다. 이 경우, 플렉서블 표시 패널(200)은 벤더블 표시 장치에 적용될 수 있다. 벤딩축은 플렉서블 기판(210)과 평행하고 상기 제1 방향(X 방향)과 수직하는 상기 제2 방향(Y 방향)과 평행할 수 있다. 플렉서블 기판(210)에서 벤딩축에 인접하는 중심부(210a) 및 벤딩축에서 이격되는 외곽부(210b)가 정의될 수 있다. 플렉서블 표시 패널(200)이 벤딩축을 따라 구부러지는 경우에 플렉서블 표시 패널(200)에는 중심부(210a)로부터 상기 제1 방향(X 방향) 및 상기 제1 방향의 반대 방향(-X 방향)으로 응력이 작용할 수 있다.
도 13a 및 도 13b는 본 발명의 일 실시예에 따른 플렉서블 표시 패널을 포함하는 스트레쳐블 표시 장치를 나타내는 사시도들이다. 도 13a는 플렉서블 표시 패널에 응력이 작용하지 않은 상태를 나타내고, 도 13b는 플렉서블 표시 패널에 인장 응력이 작용하여 플렉서블 표시 패널이 신장된 상태를 나타낸다.
도 13a 및 도 13b를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 플렉서블 표시 패널(300)은 플렉서블 기판(310) 및 플렉서블 기판(310) 상에 배치되는 배선(320)을 포함할 수 있다. 도 13a 및 도 13b를 참조하여 설명하는 일 실시예에 따른 플렉서블 표시 패널에 있어서, 도 1a 및 도 1b를 참조하여 설명한 일 실시예에 따른 플렉서블 표시 패널과 실질적으로 동일하거나 유사한 구성에 대한 설명은 생략한다.
플렉서블 표시 패널(300)은 상기 제1 방향(X 방향) 및 상기 제1 방향의 반대 방향(-X 방향)으로 신장될 수 있다. 이 경우, 플렉서블 표시 패널(300)은 스트레쳐블 표시 장치에 적용될 수 있다. 플렉서블 기판(310)에서 상기 제1 방향(X 방향)으로 중앙 부근에 위치하는 중심부(310a) 및 양 단부들에 위치하는 외곽부(310b)가 정의될 수 있다. 플렉서블 표시 패널(300)이 상기 제1 방향(X 방향) 및 상기 제1 방향의 반대 방향(-X 방향)을 따라 신장되는 경우에 플렉서블 표시 패널(300)에는 상기 제1 방향(X 방향) 및 상기 제1 방향의 반대 방향(-X 방향)으로 응력이 작용할 수 있다.
도 14는 도 12a 및 도 12b의 X 방향을 따라 배선에 작용하는 응력의 크기를 나타내는 그래프이다.
도 12a, 도 12b 및 도 14를 참조하면, 플렉서블 표시 패널(200)이 벤딩축을 기준으로 구부러지면서 배선(220)에는 상기 제1 방향(X 방향) 및 상기 제1 방향의 반대 방향(-X 방향)으로 응력이 작용할 수 있다. 또한, 배선(220)에 작용하는 응력의 크기는 상기 제1 방향(X 방향)에 따라 상이할 수 있다. 도 14에 도시된 바와 같이, 배선(220)에 작용하는 응력의 크기는 중심부(210a)에서 상기 제1 방향(X 방향) 및 상기 제1 방향의 반대 방향(-X 방향)을 따라 감소할 수 있다. 배선(220)에 작용하는 응력의 크기는 플렉서블 기판(210)의 중심부(210a)에 가까워질수록 증가하고, 플렉서블 기판(210)의 외곽부(210b)에 가까워질수록 감소할 수 있다. 한편, 도 14의 그래프는 도 13a 및 도 13b의 배선에도 적용될 수 있다.
도 15는 본 발명의 일 실시예에 따른 플렉서블 표시 패널을 나타내는 평면도이다.
도 15를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 플렉서블 표시 패널은 플렉서블 기판(210) 및 배선(220)을 포함할 수 있다. 배선(220)은 플렉서블 기판(210) 상에 배치되는 도전층(8100)을 포함할 수 있다. 도 15를 참조하여 설명하는 일 실시예에 따른 플렉서블 표시 패널에 있어서, 도 5를 참조하여 설명한 일 실시예에 따른 플렉서블 표시 패널과 실질적으로 동일하거나 유사한 구성에 대한 설명은 생략한다.
플렉서블 기판(210)은 제1 영역(R1), 두 개의 제2 영역들(R2) 및 두 개의 제3 영역들(R3)을 포함할 수 있다. 두 개의 제2 영역(R2)들은 각각 제1 영역(R1)으로부터 상기 제1 방향(X 방향) 및 상기 제1 방향의 반대 방향(-X 방향)에 위치할 수 있다. 하나의 제3 영역(R3)은 제1 영역(R1)과 하나의 제2 영역(R2) 사이에 위치하고, 다른 하나의 제3 영역(R3)은 제1 영역(R1)과 다른 하나의 제2 영역(R2) 사이에 위치할 수 있다. 예를 들면, 제1 영역(R1)은 플렉서블 기판(210)의 중심부(210a)에 인접하고, 제2 영역들(R2)은 플렉서블 기판(210)의 외곽부(210b)에 인접할 수 있다. 한편, 도 15의 일 실시예에 따른 플렉서블 표시 패널은 도 13a 및 도 13b의 스트레쳐블 표시 장치에도 적용될 수 있다.
본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 플렉서블 표시 패널은 컴퓨터, 노트북, 휴대폰, 스마트폰, 스마트패드, 피엠피(PMP), 피디에이(PDA), MP3 플레이어 등에 포함되는 표시 장치에 적용될 수 있다.
이상, 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 플렉서블 표시 패널들 및 플렉서블 표시 패널의 제조 방법들에 대하여 도면들을 참조하여 설명하였지만, 설시한 실시예들은 예시적인 것으로서 하기의 청구범위에 기재된 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위에서 해당 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의하여 수정 및 변경될 수 있을 것이다.
100, 200, 300: 플렉서블 표시 패널
110, 210, 310: 플렉서블 기판
1100, 2100, 3100, 4100, 5100, 6100, 7100, 8100: 도전층
1110, 2110, 3110, 4110, 5110, 6110, 7110, 8110: 주상 도전부
1111: 도전성 칼럼들
1120, 2120, 3120, 4120, 5120, 6120, 7120, 8120: 다결정질 도전부
2130, 8130: 혼합 도전부
7200: 제1 보조 도전층
7300: 제2 보조 도전층

Claims (20)

  1. 제1 응력이 작용하는 제1 영역 및 상기 제1 영역으로부터 제1 방향에 위치하고, 상기 제1 응력보다 작은 제2 응력이 작용하는 제2 영역을 포함하는 플렉서블 기판; 및
    상기 플렉서블 기판의 상기 제1 영역 상에 배치되고, 도전성 칼럼들을 포함하는 주상(columnar) 도전부 및 상기 플렉서블 기판의 상기 제2 영역 상에 배치되고, 다결정질 입자들을 포함하는 다결정질(polycrystalline) 도전부를 포함하는 도전층을 포함하는, 플렉서블 표시 패널.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 플렉서블 기판은 상기 제1 영역과 상기 제2 영역 사이에 위치하고, 상기 제1 응력보다 작고 상기 제2 응력보다 큰 제3 응력이 작용하는 제3 영역을 더 포함하고,
    상기 주상 도전부 및 상기 다결정질 도전부는 상기 플렉서블 기판의 상기 제3 영역 상에서 서로 요철 형상으로 접촉하는, 플렉서블 표시 패널.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 주상 도전부의 요철 패턴은 상기 제3 영역에서 상기 제1 방향으로 돌출되고,
    상기 다결정질 도전부의 요철 패턴은 상기 제3 영역에서 상기 제1 방향의 반대 방향으로 돌출되는, 플렉서블 표시 패널.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 플렉서블 기판은 상기 제1 영역과 상기 제2 영역 사이에 위치하고, 상기 제1 응력보다 작고 상기 제2 응력보다 큰 제3 응력이 작용하는 제3 영역을 더 포함하고,
    상기 도전층은 상기 플렉서블 기판의 상기 제3 영역 상에 배치되고, 도전성 칼럼들 및 다결정질 입자들을 포함하는 혼합 도전부를 더 포함하는, 플렉서블 표시 패널.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 혼합 도전부의 상기 도전성 칼럼들의 밀도는 상기 제1 방향을 따라 감소하고,
    상기 혼합 도전부의 상기 다결정질 입자들의 밀도는 상기 제1 방향을 따라 증가하는, 플렉서블 표시 패널.
  6. 제1항에 있어서,
    상기 제2 응력은 상기 다결정질 도전부의 임계 응력보다 작은, 플렉서블 표시 패널.
  7. 제1항에 있어서,
    상기 도전층은 면심 입방(face centered cubic, FCC) 결정 구조를 가지는 금속을 포함하는, 플렉서블 표시 패널.
  8. 제1항에 있어서,
    상기 플렉서블 기판과 상기 도전층 사이에 배치되는 제1 보조 도전층; 및
    상기 도전층 상에 배치되는 제2 보조 도전층을 더 포함하는, 플렉서블 표시 패널.
  9. 길이 방향인 제1 방향으로 응력이 작용하는 플렉서블 기판; 및
    상기 플렉서블 기판 상에 배치되고, 각각 도전성 칼럼들을 포함하는 복수의 주상(columnar) 도전부들 및 각각 다결정질 입자들을 포함하는 복수의 다결정질(polycrystalline) 도전부들을 포함하는 도전층을 포함하고,
    상기 복수의 주상 도전부들 및 상기 복수의 다결정질 도전부들은 스트라이프 형태로 교번적으로 배열되는, 플렉서블 표시 패널.
  10. 제9항에 있어서,
    상기 복수의 주상 도전부들 및 상기 복수의 다결정질 도전부들은 상기 제1 방향을 따라 교번적으로 배열되는, 플렉서블 표시 패널.
  11. 제9항에 있어서,
    상기 복수의 주상 도전부들 및 상기 복수의 다결정질 도전부들은 상기 플렉서블 기판과 평행하고, 상기 제1 방향과 교차하는 제2 방향을 따라 교번적으로 배열되는, 플렉서블 표시 패널.
  12. 제9항에 있어서,
    각각의 상기 복수의 주상 도전부들의 폭은 각각의 상기 복수의 다결정질 도전부들의 폭과 같은, 플렉서블 표시 패널.
  13. 제9항에 있어서,
    각각의 상기 복수의 주상 도전부들의 폭은 각각의 상기 복수의 다결정질 도전부들의 폭과 다른, 플렉서블 표시 패널.
  14. 제9항에 있어서,
    상기 도전층은 상기 플렉서블 기판 상에 배치되는 제1 서브 도전층 및 상기 제1 서브 도전층 상에 배치되는 제2 서브 도전층을 포함하는, 플렉서블 표시 패널.
  15. 챔버 내부에 플렉서블 기판을 배치하는 단계;
    제1 전력으로 상기 플렉서블 기판의 제1 영역에 도전성 칼럼들을 포함하는 주상(columnar) 도전부를 형성하는 단계; 및
    상기 제1 전력보다 큰 제2 전력으로 상기 플렉서블 기판의 제2 영역에 다결정질 입자들을 포함하는 다결정질(polycrystalline) 도전부를 형성하는 단계를 포함하는, 플렉서블 표시 패널의 제조 방법.
  16. 제15항에 있어서,
    상기 플렉서블 기판의 상기 제1 영역에는 제1 응력이 작용하고, 상기 플렉서블 기판의 상기 제2 영역에는 상기 제1 응력보다 작은 제2 응력이 작용하는, 플렉서블 표시 패널의 제조 방법.
  17. 제15항에 있어서,
    상기 플렉서블 기판의 상기 제1 영역과 상기 제2 영역은 서로 요철 형상으로 접촉하는, 플렉서블 표시 패널의 제조 방법.
  18. 제15항에 있어서,
    상기 제1 전력보다 크고 상기 제2 전력보다 작은 제3 전력으로 상기 플렉서블 기판의 상기 제1 영역 및 상기 제2 영역 사이에 위치하는 제3 영역에 도전성 칼럼들 및 다결정질 입자들을 포함하는 혼합 도전부를 형성하는 단계를 더 포함하는, 플렉서블 표시 패널의 제조 방법.
  19. 제15항에 있어서,
    상기 제1 영역 및 상기 제2 영역은 복수이고,
    상기 제1 영역들 및 상기 제2 영역들은 스트라이프 형태로 교번적으로 배열되는, 플렉서블 표시 패널의 제조 방법.
  20. 제15항에 있어서,
    상기 주상 도전부를 형성하는 단계는 상기 플렉서블 기판의 상기 제1 영역에 제1 서브 주상 도전부를 형성하는 단계 및 상기 제1 서브 주상 도전부 상에 제2 서브 주상 도전부를 형성하는 단계를 포함하고,
    상기 다결정질 도전부를 형성하는 단계는 상기 플렉서블 기판의 상기 제2 영역에 제1 서브 다결정질 도전부를 형성하는 단계 및 상기 제1 서브 다결정질 도전부 상에 제2 서브 다결정질 도전부를 형성하는 단계를 포함하는, 플렉서블 표시 패널의 제조 방법.
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