KR102416879B1 - 순차적 공정 압력 측정 시스템 - Google Patents
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Abstract
본 발명의 순차적 공정 압력 측정 시스템에 따르면, 과포화 증기를 이용하여 지정된 공정을 수행하는 시스템에 있어서, 매니폴드(Manifold)에 구비된 과포화 증기를 지정된 공정을 수행하는 N(N≥2)개의 챔버로 공급하기 위한 각 챔버 별 s(s≥1)개의 급기관을 포함하는 (N*s)개의 급기관과 상기 (N*s)개의 급기관을 경유하여 상기 매니폴드에 공급된 과포화 증기를 상기 N개의 챔버로 급기하는 것을 열거나 닫는 (N*s)개의 급기밸브와 지정된 공정을 위해 N개의 챔버로 공급된 과포화 증기를 배기하기 위한 N개의 배기관과 상기 N개의 챔버로 공급되어 공정에 사용된 과포화 증기를 상기 N개의 배기관을 경유하여 배기하는 것을 열거나 닫는 N개의 배기밸브와 상기 N개의 배기관의 일 측을 상기 N개의 챔버에 연결하기 위한 N개의 챔버 측 배기용 플랜지와 상기 N개의 챔버 측 배기용 플랜지에 연결된 N개의 배기관의 다른 일 측에 연결되는 N개의 배기관 측 플랜지와 상기 N개의 배기밸브에 구비 또는 연결되는 N개의 배기밸브 측 플랜지와 상기 N개의 배기관 측 플랜지와 N개의 배기밸브 측 플랜지 사이에 구비되며 N개의 압력측정관과 연결되는 N개의 압력측정용 플랜지와 상기 N개의 압력측정용 플랜지와 연결된 N개의 압력측정관의 일 측과 연결되고 지정된 압력측정장치와 연결된 압력측정관과 연결된 N개의 전자밸브 및 지정된 제i(i≥1)차 공정을 위해 상기 N개의 챔버로 과포화 증기를 급기하는 경우 상기 N개의 배기밸브를 닫고 상기 (N*s)개의 급기밸브를 열며, 상기 N개의 전자밸브 중 지정된 순서에 따라 어느 한 제n(1≤n≤N) 전자밸브를 염과 동시에 나머지 (N-1)개의 전자밸브를 닫거나 닫은 상태를 유지하여 제n 압력측정용 플랜지와 연결된 압력측정관을 통해 지정된 압력측정장치로 제n 챔버의 압력을 전달하여 압력을 측정하도록 제어하고, 상기 제i차 공정에 사용된 과포화 증기를 배기하는 경우 상기 (N*s)개의 급기밸브를 닫아 급기를 차단하고 상기 N개의 배기밸브를 열도록 제어하는 제어모듈을 포함한다.
Description
본 발명은 N(N≥2)개의 챔버에 과포화 증기를 급기하여 지정된 공정을 수행한 후 배기하는 과정을 반복하는 시스템에서 N개의 챔버에 연결된 N개의 배기관과 N개의 배기밸브를 연결하는 N개의 배기관 측 플랜지(Flange)와 N개의 배기밸브 측 플랜지 사이에 N개의 압력측정용 플랜지를 구비하고 상기 N개의 압력측정용 플랜지와 지정된 압력측정장치 사이에 압력측정관을 N:1의 관계로 연결한 후, N개의 챔버에 과포화 증기를 급기하여 지정된 공정을 수행할 때마다 N개의 압력측정용 플랜지 중 어느 한 제n(1≤n≤N) 압력측정용 플랜지를 통해 제n 챔버의 압력을 압력측정장치로 전달하여 측정하는 과정을 지정된 순서에 따라 순차 수행하는 시스템을 제공하는 것이다.
종래에 수십 개 내지 수백 개 이상의 복수의 챔버에 과포화 증기를 급기하여 지정된 공정을 수행하는 다양한 산업시설(예컨대, 간편밥 제조 공장 등)이 존재한다. 이러한 종래의 산업시설들은 각각의 레시피에 따라 챔버에 공급되는 과포화 증기의 압력을 제어하여 공정을 수행하는데, 24시간 쉬지 않고(또는 매일 반복적으로) 운영되는 특성 상 일정 기간 이상 사용하게 되면 설비의 노후화로 인해 공정 상의 다양한 오류가 발생하게 된다.
한편 상기와 같은 공정 상의 오류를 판별하거나 예측하기 위해서는 지정된 공정을 수행하는 복수의 챔버 내 공정 압력을 측정해야 하는데, 최근 구축된 일부 산업시설을 제외하고 오래된 산업시설의 경우 챔버 내 압력을 측정하지 않고 운영되는 사례가 비일비재하며, 이 경우 과포화 증기를 챔버로 공급하기 전 감압밸브나 매니폴드의 압력을 측정하여 챔버 내의 압력을 예측하는 방식이 사용되기도 한다. 한편 최근 구축된 일부 산업시설의 경우 챔버 내 압력을 측정하기도 하는데, 이 경우 챔버에 직접 구멍을 뚫어 압력 센서를 직접 챔버에 연통하여 챔버 내 압력을 센싱하는 방식이 사용되고 있다(특허등록공보 제10-1371363호(2014년03월07일), 특허등록공보 제10-2040758호(2019년11월05일)). 그러나 종래에 챔버에 직접 구멍을 뚫고 압력 센서를 연통하여 센싱하는 방식의 경우 산업시설 내 챔버의 개수가 증가할 경우 압력 센서의 개수도 증가하여 비용이 증가하는 문제점을 지니고 있으며, 복수의 챔버 중 일부 챔버 압력이 다른 챔버 압력과 다를 경우 압력 센서에 오류가 발생한 것인지 챔버나 급기관 또는 배기관 등에 누수가 발생한 것인 것 판별하기 난해한 문제점을 지니고 있다.
본 발명의 목적은, 과포화 증기를 이용하여 지정된 공정을 수행하는 시스템에 있어서, 매니폴드(Manifold)에 구비된 과포화 증기를 지정된 공정을 수행하는 N(N≥2)개의 챔버로 공급하기 위한 각 챔버 별 s(s≥1)개의 급기관을 포함하는 (N*s)개의 급기관과 상기 (N*s)개의 급기관을 경유하여 상기 매니폴드에 공급된 과포화 증기를 상기 N개의 챔버로 급기하는 것을 열거나 닫는 (N*s)개의 급기밸브와 지정된 공정을 위해 N개의 챔버로 공급된 과포화 증기를 배기하기 위한 N개의 배기관과 상기 N개의 챔버로 공급되어 공정에 사용된 과포화 증기를 상기 N개의 배기관을 경유하여 배기하는 것을 열거나 닫는 N개의 배기밸브와 상기 N개의 배기관의 일 측을 상기 N개의 챔버에 연결하기 위한 N개의 챔버 측 배기용 플랜지와 상기 N개의 챔버 측 배기용 플랜지에 연결된 N개의 배기관의 다른 일 측에 연결되는 N개의 배기관 측 플랜지와 상기 N개의 배기밸브에 구비 또는 연결되는 N개의 배기밸브 측 플랜지와 상기 N개의 배기관 측 플랜지와 N개의 배기밸브 측 플랜지 사이에 구비되며 N개의 압력측정관과 연결되는 N개의 압력측정용 플랜지와 상기 N개의 압력측정용 플랜지와 연결된 N개의 압력측정관의 일 측과 연결되고 지정된 압력측정장치와 연결된 압력측정관과 연결된 N개의 전자밸브 및 지정된 제i(i≥1)차 공정을 위해 상기 N개의 챔버로 과포화 증기를 급기하는 경우 상기 N개의 배기밸브를 닫고 상기 (N*s)개의 급기밸브를 열며, 상기 N개의 전자밸브 중 지정된 순서에 따라 어느 한 제n(1≤n≤N) 전자밸브를 염과 동시에 나머지 (N-1)개의 전자밸브를 닫거나 닫은 상태를 유지하여 제n 압력측정용 플랜지와 연결된 압력측정관을 통해 지정된 압력측정장치로 제n 챔버의 압력을 전달하여 압력을 측정하도록 제어하고, 상기 제i차 공정에 사용된 과포화 증기를 배기하는 경우 상기 (N*s)개의 급기밸브를 닫아 급기를 차단하고 상기 N개의 배기밸브를 열도록 제어하는 제어모듈을 포함하는 순차적 공정 압력 측정 시스템을 제공함에 있다.
본 발명에 따른 순차적 공정 압력 측정 시스템은, 과포화 증기를 이용하여 지정된 공정을 수행하는 시스템에 있어서, 매니폴드(Manifold)에 구비된 과포화 증기를 지정된 공정을 수행하는 N(N≥2)개의 챔버로 공급하기 위한 각 챔버 별 s(s≥1)개의 급기관을 포함하는 (N*s)개의 급기관과 상기 (N*s)개의 급기관을 경유하여 상기 매니폴드에 공급된 과포화 증기를 상기 N개의 챔버로 급기하는 것을 열거나 닫는 (N*s)개의 급기밸브와 지정된 공정을 위해 N개의 챔버로 공급된 과포화 증기를 배기하기 위한 N개의 배기관과 상기 N개의 챔버로 공급되어 공정에 사용된 과포화 증기를 상기 N개의 배기관을 경유하여 배기하는 것을 열거나 닫는 N개의 배기밸브와 상기 N개의 배기관의 일 측을 상기 N개의 챔버에 연결하기 위한 N개의 챔버 측 배기용 플랜지와 상기 N개의 챔버 측 배기용 플랜지에 연결된 N개의 배기관의 다른 일 측에 연결되는 N개의 배기관 측 플랜지와 상기 N개의 배기밸브에 구비 또는 연결되는 N개의 배기밸브 측 플랜지와 상기 N개의 배기관 측 플랜지와 N개의 배기밸브 측 플랜지 사이에 구비되며 N개의 압력측정관과 연결되는 N개의 압력측정용 플랜지와 상기 N개의 압력측정용 플랜지와 연결된 N개의 압력측정관의 일 측과 연결되고 지정된 압력측정장치와 연결된 압력측정관과 연결된 N개의 전자밸브 및 지정된 제i(i≥1)차 공정을 위해 상기 N개의 챔버로 과포화 증기를 급기하는 경우 상기 N개의 배기밸브를 닫고 상기 (N*s)개의 급기밸브를 열며, 상기 N개의 전자밸브 중 지정된 순서에 따라 어느 한 제n(1≤n≤N) 전자밸브를 염과 동시에 나머지 (N-1)개의 전자밸브를 닫거나 닫은 상태를 유지하여 제n 압력측정용 플랜지와 연결된 압력측정관을 통해 지정된 압력측정장치로 제n 챔버의 압력을 전달하여 압력을 측정하도록 제어하고, 상기 제i차 공정에 사용된 과포화 증기를 배기하는 경우 상기 (N*s)개의 급기밸브를 닫아 급기를 차단하고 상기 N개의 배기밸브를 열도록 제어하는 제어모듈을 포함하는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 따른 순차적 공정 압력 측정 시스템에 있어서, 상기 제어모듈은, 제(i+1)차 공정을 위해 상기 N개의 챔버로 과포화 증기를 급기하는 경우 상기 N개의 배기밸브를 닫고 상기 (N*s)개의 급기밸브를 열며, 상기 N개의 전자밸브 중 지정된 순서에 따라 어느 한 제n'(1≤n'≤N, n≠n') 전자밸브를 염과 동시에 나머지 (N-1)개의 전자밸브를 닫거나 닫은 상태를 유지하여 제n' 압력측정용 플랜지와 연결된 압력측정관을 통해 지정된 압력측정장치로 제n' 챔버의 압력을 전달하여 압력을 측정하도록 제어하고, 상기 제(i+1)차 공정에 사용된 과포화 증기를 배기하는 경우 상기 (N*s)개의 급기밸브를 닫아 급기를 차단하고 상기 N개의 배기밸브를 열도록 제어하는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 따른 순차적 공정 압력 측정 시스템에 있어서, 상기 제어모듈은, 상기 공정에 사용된 과포화 증기를 배기하는 경우 상기 N개의 전자밸브를 닫거나 닫은 상태를 유지하도록 제어하는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 따른 순차적 공정 압력 측정 시스템에 있어서, 상기 (N*s)개의 급기밸브를 상기 매니폴드에 연결하기 위한 (N*s)개의 매니폴드 측 플랜지와 상기 (N*s)개의 급기밸브에 구비 또는 연결되는 (N*s)개의 급기밸브 측 플랜지와 상기 (N*s)개의 급기밸브 측 플랜지에 상기 (N*s)개의 급기관의 일 측을 연결하는 (N*s)개의 급기관 측 플랜지 및 상기 (N*s)개의 급기관 측 플랜지에 연결된 상기 (N*s)개의 급기관의 다른 일 측을 상기 N개의 챔버에 연결하는 (N*s)개의 챔버 측 급기용 플랜지;를 더 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 따른 순차적 공정 압력 측정 시스템에 있어서, 상기 급기관은, 지정된 일정 기간 동안 챔버로 공급되는 과포화 증기의 고온 고압에 의한 손상율이 기 설정된 기준값 이하인 재질을 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 따른 순차적 공정 압력 측정 시스템에 있어서, 상기 급기관은, 지정된 공정 전 또는 중 또는 후에 챔버에 주기적으로 가해지는 물리적 충격량에 의한 손상을 억제하는 유연한 재질이나 충격 흡수 구조를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 따른 순차적 공정 압력 측정 시스템에 있어서, 상기 급기관은, 기 설정된 초기가압 시간 내에 기 설정된 유효압력의 과포화 증기를 고속 급기받기 위해 각 챔버 별로 복수개 구비되는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 따른 순차적 공정 압력 측정 시스템에 있어서, 상기 배기관은, 지정된 일정 기간 동안 챔버로 공급된 과포화 증기의 고온 고압에 의한 손상율이 기 설정된 기준값 이하인 재질을 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 따른 순차적 공정 압력 측정 시스템에 있어서,상기 배기관은, 지정된 공정 전 또는 중 또는 후에 챔버에 주기적으로 가해지는 물리적 충격량에 의한 손상을 억제하는 유연한 재질이나 충격 흡수 구조를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 따른 순차적 공정 압력 측정 시스템에 있어서, 상기 N개의 압력측정관은, N개의 압력측정용 플랜지와 N개의 전자밸브 사이에 구비되며, 기 설정된 기준 길이 이내의 길이를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 따른 순차적 공정 압력 측정 시스템에 있어서, 상기 제어모듈과 연동하여 지정된 공정 또는 급기 중에 전자밸브가 열린 챔버를 식별하는 챔버식별정보를 수신하는 수신부와, 상기 압력측정장치와 연동하여 지정된 공정 또는 급기 중에 상기 열린 상태의 전자밸브를 통해 측정된 압력변화측정정보를 수집하는 수집부와,상기 챔버식별정보와 압력변화측정정보를 지정된 운영DB에 연계 저장하는 저장부를 구비한 분석모듈을 더 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 따른 순차적 공정 압력 측정 시스템에 있어서, 상기 분석모듈은, 상기 수집 또는 저장된 압력변화측정정보를 판독하여 기 설정된 유효압력 미만인 제q(1≤q≤N) 챔버를 확인하는 압력 분석부와, 상기 확인된 제q 챔버의 챔버식별정보를 포함하는 분석결과정보를 생성하는 결과 생성부와, 상기 분석결과정보를 지정된 출력수단을 통해 출력하거나 지정된 단말로 전송하는 결과 처리부를 더 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 따른 순차적 공정 압력 측정 시스템에 있어서,상기 분석모듈은, 상기 수집 또는 저장된 압력변화측정정보를 판독하여 급기 개시 후 기 설정된 초기가압 시간 내에 기 설정된 유효압력에 도달하지 못한 제q(1≤q≤N) 챔버를 확인하는 압력 분석부와, 상기 확인된 제q 챔버의 챔버식별정보를 포함하는 분석결과정보를 생성하는 결과 생성부와, 상기 분석결과정보를 지정된 출력수단을 통해 출력하거나 지정된 단말로 전송하는 결과 처리부를 더 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 따른 순차적 공정 압력 측정 시스템에 있어서, 상기 분석모듈은, 상기 수집 또는 저장된 압력변화측정정보를 판독하여 급기 개시 후 배기 개시 전 사이의 지정된 공정 시간 동안 기 설정된 유효공정압력 이상의 압력을 유지한 압력유지시간이 기 설정된 유효유지시간 미만인 제q(1≤q≤N) 챔버를 확인하는 압력 분석부와, 상기 확인된 제q 챔버의 챔버식별정보를 포함하는 분석결과정보를 생성하는 결과 생성부와, 상기 분석결과정보를 지정된 출력수단을 통해 출력하거나 지정된 단말로 전송하는 결과 처리부를 더 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 따른 순차적 공정 압력 측정 시스템에 있어서, 상기 분석모듈은, 상기 N개의 챔버에 대하여 주기적으로 수행된 공정유효성검사의 검사결과를 포함하는 공정유효성검사정보를 확인하여 지정된 관리DB에 저장하는 검사 확인부와, 상기 확인 또는 저장된 공정유효성검사정보를 판독하여 공정유효성이 기 설정된 기준값 이상 손상된 제p(1≤p≤N) 챔버를 확인하는 검사 분석부와, 상기 운영DB로부터 상기 제p 챔버의 챔버식별정보와 연계된 적어도 하나의 압력변화측정정보를 확인하는 압력 확인부와, 상기 공정유효성이 손상된 제p 챔버의 공정유효성검사정보와 상기 확인된 제p 챔버의 압력변화측정정보 사이의 상관 관계에 대응하는 공정유효성 손상 압력변화패턴정보를 생성하여 지정된 저장매체에 저장하는 정보 생성부를 더 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 따른 순차적 공정 압력 측정 시스템에 있어서, 상기 공정유효성검사는, 챔버에 식균모듈을 투입하여 지정된 공정을 거친 후 살균 상태를 검사하는 살균 검사, 챔버에 연결된 s개의 급기관 별 핀홀(pin hole) 발생을 검사하는 급기관 핀홀 검사, 챔버에 연결된 배기관의 핀홀(pin hole) 발생을 검사하는 배기관 핀홀 검사, 챔버에 구비된 가스켓(gasket)의 파손 상태를 검사하는 가스켓 파손 검사 중 적어도 하나의 검사를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 따른 순차적 공정 압력 측정 시스템에 있어서, 상기 정보 생성부는, 상기 제p 챔버의 압력변화측정정보의 관측된 특징에 대응하는 입력 정보와 상기 제p 챔버의 공정유효성검사정보의 관측된 결과에 대응하는 출력 정보를 지정된 인공지능모듈에 대입하여 상기 공정유효성이 손상된 제p 챔버의 공정유효성검사정보와 상기 제p 챔버의 압력변화측정정보 사이의 상관 관계를 학습시키는 기능을 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 따른 순차적 공정 압력 측정 시스템에 있어서,상기 분석모듈은, 상기 공정유효성 손상 압력변화패턴정보를 근거로 상기 운영DB에 최근 일정 시간 내에 저장된 압력변화측정정보를 분석하여 공정유효성의 손상이 예측되거나 발생한 제q(1≤q≤N) 챔버를 확인하는 압력 분석부와, 상기 확인된 제q 챔버의 챔버식별정보를 포함하는 분석결과정보를 생성하는 결과 생성부와, 상기 분석결과정보를 지정된 출력수단을 통해 출력하거나 지정된 단말로 전송하는 결과 처리부를 더 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 따르면, 수십 개 내지 수백 개 이상의 복수의 챔버에 과포화 증기를 급기하여 지정된 공정을 수행하는 산업시설(예컨대, 간편밥 제조 공장 등) 등에서 종래 챔버들을 교체하지 않음은 물론, 복수의 각 챔버 별로 복수의 압력측정장치를 탑재하지 않고도, 저렴한 비용으로 각 챔버 별 공정 압력을 순차적으로 전수 측정하여 공정유효성을 효율적으로 관리하는 이점이 있다.
도 1은 본 발명의 실시 방법에 따른 순차적 공정 압력 측정 시스템의 구성을 도시한 도면이다.
도 2는 본 발명의 실시 방법에 따른 순차적 공정 압력 측정 과정을 도시한 흐름도이다.
도 3은 본 발명의 실시 방법에 따른 압력 수집 및 분석 과정을 도시한 흐름도이다.
도 4는 본 발명의 실시 방법에 따른 공정유효성 분석 및 관리 과정을 도시한 흐름도이다.
도 2는 본 발명의 실시 방법에 따른 순차적 공정 압력 측정 과정을 도시한 흐름도이다.
도 3은 본 발명의 실시 방법에 따른 압력 수집 및 분석 과정을 도시한 흐름도이다.
도 4는 본 발명의 실시 방법에 따른 공정유효성 분석 및 관리 과정을 도시한 흐름도이다.
이하 첨부된 도면과 설명을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예에 대한 동작 원리를 상세히 설명한다. 다만, 하기에 도시되는 도면과 후술되는 설명은 본 발명의 특징을 효과적으로 설명하기 위한 여러 가지 방법 중에서 바람직한 실시 방법에 대한 것이며, 본 발명이 하기의 도면과 설명만으로 한정되는 것은 아니다.
즉, 하기의 실시예는 본 발명의 수 많은 실시예 중에 바람직한 합집합 형태의 실시예에 해당하며, 하기의 실시예에서 특정 구성(또는 단계)을 생략하는 실시예, 또는 특정 구성(또는 단계)에 구현된 기능을 특정 구성(또는 단계)으로 분할하는 실시예, 또는 둘 이상의 구성(또는 단계)에 구현된 기능을 어느 하나의 구성(또는 단계)에 통합하는 실시예, 특정 구성(또는 단계)의 동작 순서를 교체하는 실시예 등은, 하기의 실시예에서 별도로 언급하지 않더라도 모두 본 발명의 권리범위에 속함을 명백하게 밝혀두는 바이다. 따라서 하기의 실시예를 기준으로 부분집합 또는 여집합에 해당하는 다양한 실시예들이 본 발명의 출원일을 소급받아 분할될 수 있음을 분명하게 명기하는 바이다.
또한, 하기에서 본 발명을 설명함에 있어 관련된 공지 기능 또는 구성에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명을 생략할 것이다. 그리고 후술되는 용어들은 본 발명에서의 기능을 고려하여 정의된 용어들로서, 이는 사용자, 운용자의 의도 또는 관례 등에 따라 달라질 수 있다. 그러므로 그 정의는 본 발명에서 전반에 걸친 내용을 토대로 내려져야 할 것이다.
결과적으로, 본 발명의 기술적 사상은 청구범위에 의해 결정되며, 이하 실시예는 진보적인 본 발명의 기술적 사상을 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 효율적으로 설명하기 위한 일 수단일 뿐이다.
도면1은 본 발명의 실시 방법에 따른 순차적 공정 압력 측정 시스템의 구성을 도시한 도면이다.
보다 상세하게 본 도면1은 N(N≥2)개의 챔버(120)에 과포화 증기를 급기하여 지정된 공정을 수행한 후 배기하는 과정을 반복하는 시스템에서 N개의 챔버(120)에 연결된 N개의 배기관(128)과 N개의 배기밸브(136)를 연결하는 N개의 배기관 측 플랜지(130)(Flange)와 N개의 배기밸브 측 플랜지(134) 사이에 N개의 압력측정용 플랜지(132)를 구비하고 상기 N개의 압력측정용 플랜지(132)와 지정된 압력측정장치(146) 사이에 압력측정관(142)을 N:1의 관계로 연결한 후, N개의 챔버(120)에 과포화 증기를 급기하여 지정된 공정을 수행할 때마다 N개의 압력측정용 플랜지(132) 중 어느 한 제n(1≤n≤N) 압력측정용 플랜지(132)를 통해 제n 챔버(120)의 압력을 압력측정장치(146)로 전달하여 측정하는 과정을 지정된 순서에 따라 순차 수행하는 시스템의 구성을 도시한 것으로서, 본 발명이 속한 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면, 본 도면1을 참조 및/또는 변형하여 상기 순차적 공정 압력 측정 시스템에 대한 다양한 실시 방법(예컨대, 일부 구성부가 생략되거나, 또는 세분화되거나, 또는 합쳐진 실시 방법)을 유추할 수 있을 것이나, 본 발명은 상기 유추되는 모든 실시 방법을 포함하여 이루어지며, 본 도면1에 도시된 실시 방법만으로 그 기술적 특징이 한정되지 아니한다.
도면1을 참조하면, 과포화 증기를 이용하여 지정된 공정을 수행하는 본 발명의 시스템은, 보일러(100)로부터 제공된 고압력의 과포화 증기를 제공받아 1차 감압하는 이송용 감압밸브(102)와, 상기 이송용 감압밸브(102)를 통해 1차 감압되어 이송된 과포화 증기를 2차 감압하는 공급용 감압밸브(104)와, 상기 공급용 감압밸브(104)를 통해 감압된 과포화 증기를 공급받아 유지하는 매니폴드(106)(Manifold)와, 상기 매니폴드(106)의 과포화 증기를 급기받아 가압되면서 지정된 공정을 수행하는 N(N≥2)개의 챔버(120)를 포함한다.
상기 이송용 감압밸브(102)는 보일러(100)를 통해 생성되어 제공된 고압력의 과포화 증기를 수십~수백미터 정도 거리의 공급용 감압밸브(104)까지 이송 가능한 압력으로 1차 감압하고, 상기 공급용 감압밸브(104)는 상기 이송용 감압밸브(102)를 통해 1차 감압되어 이송된 과포화 증기를 매니폴드(106)에 공급하도록 설정된 압력으로 2차 감압한다.
상기 매니폴드(106)는 상기 공급용 감압밸브(104)를 통해 2차 감압된 과포화 증기를 공급받아 축적하고 있다. 바람직하게, 상기 매니폴드(106)는 N개의 챔버(120)에 동시에 과포화 증기를 급기하여 N개의 챔버(120)의 압력을 기 설정된 초기가압 시간 내에 기 설정된 유효압력에 도달시키기 위한 대용량의 과포화 증기를 축적할 수 있다.
도면1을 참조하면, 본 발명의 시스템은, 매니폴드(106)에 구비된 과포화 증기를 지정된 공정을 수행하는 N개의 챔버(120)로 공급하기 위한 각 챔버(120) 별 s(s≥1)개의 급기관(116)을 포함하는 (N*s)개의 급기관(116)과, 상기 (N*s)개의 급기관(116)을 경유하여 상기 매니폴드(106)에 공급된 과포화 증기를 상기 N개의 챔버(120)로 급기하는 것을 열거나 닫는 (N*s)개의 급기밸브(110)를 포함하며, 상기 (N*s)개의 급기밸브(110)를 상기 매니폴드(106)에 연결하기 위한 (N*s)개의 매니폴드 측 플랜지(108)와, 상기 (N*s)개의 급기밸브(110)에 구비 또는 연결되는 (N*s)개의 급기밸브 측 플랜지(112)와, 상기 (N*s)개의 급기밸브 측 플랜지(112)에 상기 (N*s)개의 급기관(116)의 일 측을 연결하는 (N*s)개의 급기관 측 플랜지(114)와, 상기 (N*s)개의 급기관 측 플랜지(114)에 연결된 상기 (N*s)개의 급기관(116)의 다른 일 측을 상기 N개의 챔버(120)에 연결하는 (N*s)개의 챔버 측 급기용 플랜지(118)를 포함한다.
각 챔버(120)는 매니폴드(106)에 구비된 과포화 증기를 급기받기 위해 s개의 급기관(116)이 연결된다. 바람직하게, 각 챔버(120)는 상기 매니폴드(106)로부터 기 설정된 초기가압 시간 내에 기 설정된 유효압력의 과포화 증기를 고속 급기받기 위해 복수개의 급기관(116)이 연결되는 것이 바람직하다.
본 발명의 실시 방법에 따르면, 상기 급기관(116)은 지정된 일정 기간 동안 챔버(120)로 공급되는 과포화 증기의 고온 고압에 의한 손상율이 기 설정된 기준값 이하인 재질을 포함하여 제작되되는 것이 바람직하다. 한편 상기 급기관(116)은 상기 과포화 증기의 압력과 온도를 견디는 동안 경질화되고, 챔버(120) 측의 챔버 상부(122)와 하부(124)가 밀착되었다가 떨어지는 과정 중에 전달되는 충격에 의해 손상이 발생할 수 있다. 이에 상기 급기관(116)은 지정된 공정 전 또는 중 또는 후에 챔버(120)에 주기적으로 가해지는 물리적 충격량에 의한 손상을 억제하는 유연한 재질이나 충격 흡수 구조를 포함하여 이루어지는 것이 바람직하다. 다만 그러함에도 상기 급기관(116)은 공정이 반복되고 시간이 경과함에 따라 점차 경화되거나 파손되어 핀홀(pin hole)이 발생할 수 있는데, 이에 의해 압력 손실 내지 공정유효성 오류가 발생할 수 있다.
상기 매니폴드(106)는 N개의 챔버(120)로 과포화 증기를 급기하기 위한 (N*s)개의 급기밸브(110)를 상기 매니폴드(106)에 연결하기 위한 (N*s)개의 매니폴드 측 플랜지(108)를 구비하거나 연결될 수 있다. 한편 본 발명의 다른 실시 방법에 따르면, 상기 매니폴드(106)와 급기밸브(110) 사이에는 별도의 급기관(116) 내지 급기관(116)을 연결하기 위한 별도의 플랜지를 더 구비할 수 있으며, 이에 의해 본 발명이 한정되지 아니한다.
상기 (N*s)개의 급기밸브(110)는 상기 매니폴드(106)와 N개의 챔버(120) 사이에 구비되며, 제어모듈(148)의 제어를 통해 상기 매니폴드(106)에 공급된 과포화 증기를 상기 (N*s)개의 급기관(116)을 경유하여 상기 N개의 챔버(120)로 급기하는 것을 열거나 닫는 기능을 수행한다.
상기 (N*s)개의 급기밸브(110)는 (N*s)개의 급기밸브 측 플랜지(112)와 (N*s)개의 급기관 측 플랜지(114)를 통해 (N*s)개의 급기관(116)의 일 측과 연결되며, 상기 (N*s)개의 급기관(116)의 다른 일 측은 (N*s)개의 챔버 측 급기용 플랜지(118)를 통해 N개의 챔버(120)에 연결된다.
본 발명의 실시 방법에 따르면, 상기 N개의 챔버(120)는 상기 (N*s)개의 급기밸브(110)를 열어 상기 매니폴드(106)의 과포화 증기를 급기하기 전에 각 챔버(120)의 상부(122)와 하부(124)를 밀착시켜 밀폐된 상태를 유지하며, 각 챔버(120)가 밀폐된 상태에서 상기 (N*s)개의 급기밸브(110)를 열어 상기 매니폴드(106)의 과포화 증기를 급기한다. 한편 상기 N개의 챔버(120)는 상기 밀폐된 상태를 유지하기 위해 각 챔버(120)의 상부(122)와 하부(124) 사이에 가스켓(gasket)이 구비되는데, 상기 가스켓은 공정이 반복되고 시간이 경과함에 따라 점차 경화되고, 각 챔버(120)의 상부(122)와 하부(124)를 밀착시켰다가 개방하는 과정 중의 물리적 충격량에 의해 파손될 수 있다. 이 경우 상기 챔버(120)의 상부(122)와 하부(124)를 밀착시키더라도 상기 가스켓의 파손에 의해 밀폐된 상태를 유지할 수 없으며, 결과적으로 압력 손실 내지 공정유효성 오류가 발생할 수 있다.
도면1을 참조하면, 본 발명의 시스템은, 지정된 공정을 위해 N개의 챔버(120)로 공급된 과포화 증기를 배기하기 위한 N개의 배기관(128)과, 상기 N개의 챔버(120)로 공급되어 공정에 사용된 과포화 증기를 상기 N개의 배기관(128)을 경유하여 배기하는 것을 열거나 닫는 N개의 배기밸브(136)와, 상기 N개의 배기관(128)의 일 측을 상기 N개의 챔버(120)에 연결하기 위한 N개의 챔버 측 배기용 플랜지(126)와, 상기 N개의 챔버 측 배기용 플랜지(126)에 연결된 N개의 배기관(128)의 다른 일 측에 연결되는 N개의 배기관 측 플랜지(130)와, 상기 N개의 배기밸브(136)에 구비 또는 연결되는 N개의 배기밸브 측 플랜지(134)와, 상기 N개의 배기관 측 플랜지(130)와 N개의 배기밸브 측 플랜지(134) 사이에 구비되며 N개의 압력측정관(142)과 연결되는 N개의 압력측정용 플랜지(132)와, 상기 N개의 압력측정용 플랜지(132)와 연결된 N개의 압력측정관(142)의 일 측과 연결되고 지정된 압력측정장치(146)와 연결된 압력측정관(142)과 연결된 N개의 전자밸브(144)를 구비한다.
각 챔버(120)는 지정된 공정에 사용된 과포화 증기를 배기하기 위해 배기관(128)을 구비한다. 바람직하게, 각 챔버(120)는 과포화 증기를 배기하기 하나의 배기관(128)이 연결될 수 있으나, 이에 의해 본 발명이 한정되는 것은 아니며, 본 발명은 각 챔버(120)에 복수의 배기관(128)이 연결되는 실시예도 권리범위로 포함할 수 있다.
본 발명의 실시 방법에 따르면, 상기 배기관(128)은 지정된 일정 기간 동안 챔버(120)로 공급되는 과포화 증기의 고온 고압에 의한 손상율이 기 설정된 기준값 이하인 재질을 포함하여 제작되되는 것이 바람직하다. 한편 상기 배기관(128)은 상기 과포화 증기의 압력과 온도를 견디는 동안 경질화되고, 챔버(120) 측의 챔버 상부(122)와 하부(124)가 밀착되었다가 떨어지는 과정 중에 전달되는 충격에 의해 손상이 발생할 수 있다. 이에 상기 배기관(128)은 지정된 공정 전 또는 중 또는 후에 챔버(120)에 주기적으로 가해지는 물리적 충격량에 의한 손상을 억제하는 유연한 재질이나 충격 흡수 구조를 포함하여 이루어지는 것이 바람직하다. 다만 그러함에도 상기 배기관(128)은 공정이 반복되고 시간이 경과함에 따라 점차 경화되거나 파손되어 핀홀(pin hole)이 발생할 수 있는데, 이에 의해 압력 손실 내지 공정유효성 오류가 발생할 수 있다.
상기 N개의 챔버(120)는 공정에 사용된 과포화 증기를 배기하기 위한 N개의 배기관(128)을 연결하기 위한 N개의 챔버 측 배기용 플랜지(126)를 구비하거나 연결될 수 있다.
상기 N개의 배기관(128)의 일 측은 상기 N개의 챔버 측 배기용 플랜지(126)를 통해 상기 N개의 챔버(120)에 연결되고, 상기 N개의 배기관(128)의 다른 일 측은 N개의 배기관 측 플랜지(130)에 연결된다.
상기 N개의 배기밸브(136)는 상기 N개의 배기관(128)을 경유하여 상기 N개의 챔버(120)와 연결되며, 제어모듈(148)의 제어를 통해 상기 N개의 챔버(120)로 공급되어 지정된 공정에 사용된 과포화 증기를 상기 N개의 배긱관을 경유하여 배기하는 것을 열거나 닫는 기능을 수행한다. 한편 상기 N개의 배기밸브(136)는 배기구(140)에 연결되는 N개의 배기구 측 플랜지(138)를 구비하거나 연결될 수 있다.
상기 N개의 배기밸브(136)는 N개의 배기밸브 측 플랜지(134)를 구비하거나 연결된다. 한편 상기 N개의 배기밸브 측 플랜지(134)는 상기 N개의 배기관 측 플랜지(130)와 연결되어 상기 N개의 배기밸브(136)와 N개의 배기관(128)을 연결할 수 있는데, 본 발명에 따르면 상기 N개의 배기밸브 측 플랜지(134)와 N개의 배기관 측 플랜지(130) 사이에 N개의 압력측정용 플랜지(132)를 구비함으로써, 상기 N개의 배기밸브(136)가 닫히고 상기 N개의 챔버(120)가 밀폐된 상태에서 상기 매니폴드(106)의 과포화 증기가 상기 N개의 챔버(120)로 공급되어 지정된 공정을 수행하는 동안 상기 N개의 압력측정용 플랜지(132) 중 어느 한 제n(1≤n≤N) 압력측정용 플랜지(132)는 지정된 제n 압력측정관(142)을 통해 제n 챔버(120)의 압력을 지정된 압력측정장치(146)로 전달하여 상기 제n 챔버(120)의 공정 압력을 측정할 수 있다.
상기 N개의 전자밸브(144)는 제어모듈(148)에 의해 제어되며, 상기 N개의 압력측정용 플랜지(132)와 연결된 N개의 압력측정관(142)의 일 측과 연결되고 지정된 압력측정장치(146)와 연결된 압력측정관(142)과 연결된다. 바람직하게, 상기 N개의 압력측정용 플랜지(132) 및 N개의 전자밸브(144)는 상기 N개의 압력측정관(142)을 통해 지정된 압력측정장치(146)와 N:1의 관계로 연결되는 것이 바람직하다.
도면1을 참조하면, 본 발명의 시스템은, 지정된 제i(i≥1)차 공정을 위해 상기 N개의 챔버(120)로 과포화 증기를 급기하는 경우 상기 N개의 배기밸브(136)를 닫고 상기 (N*s)개의 급기밸브(110)를 열며, 상기 N개의 전자밸브(144) 중 지정된 순서에 따라 어느 한 제n(1≤n≤N) 전자밸브(144)를 염과 동시에 나머지 (N-1)개의 전자밸브(144)를 닫거나 닫은 상태를 유지하여 제n 압력측정용 플랜지(132)와 연결된 압력측정관(142)을 통해 지정된 압력측정장치(146)로 제n 챔버(120)의 압력을 전달하여 압력을 측정하도록 제어하고, 상기 제i차 공정에 사용된 과포화 증기를 배기하는 경우 상기 (N*s)개의 급기밸브(110)를 닫아 급기를 차단하고 상기 N개의 배기밸브(136)를 열며, 상기 N개의 전자밸브(144)를 닫거나 닫은 상태를 유지하도록 제어하는 제어모듈(148)을 포함하며, 상기 제어모듈(148)은 제(i+1)차 공정을 위해 상기 N개의 챔버(120)로 과포화 증기를 급기하는 경우 상기 N개의 배기밸브(136)를 닫고 상기 (N*s)개의 급기밸브(110)를 열며, 상기 N개의 전자밸브(144) 중 지정된 순서에 따라 어느 한 제n'(1≤n'≤N, n≠n') 전자밸브(144)를 염과 동시에 나머지 (N-1)개의 전자밸브(144)를 닫거나 닫은 상태를 유지하여 제n' 압력측정용 플랜지(132)와 연결된 압력측정관(142)을 통해 지정된 압력측정장치(146)로 제n' 챔버(120)의 압력을 전달하여 압력을 측정하도록 제어하고,
상기 제(i+1)차 공정에 사용된 과포화 증기를 배기하는 경우 상기 (N*s)개의 급기밸브(110)를 닫아 급기를 차단하고 상기 N개의 배기밸브(136)를 열며, 상기 N개의 전자밸브(144)를 닫거나 닫은 상태를 유지하도록 제어함으로써, 지정된 순서에 따라 N개의 챔버(120) 별 공정 압력을 순차 측정하도록 제어한다.
지정된 제i(i≥1)차 공정을 위해 상기 N개의 챔버(120)로 과포화 증기를 급기하는 경우, 상기 제어모듈(148)은 상기 N개의 챔버(120)가 밀폐된 상태에서 상기 N개의 배기밸브(136)를 닫음과 동시에 상기 (N*s)개의 급기밸브(110)를 열어 상기 N개의 챔버(120)로 과포화 증기를 급기하도록 제어한다. 한편 상기 제어모듈(148)은 상기 N개의 챔버(120)로 과포화 증기를 급기하기 전 또는 중에 상기 N개의 전자밸브(144) 중 지정된 순서에 따라 어느 한 제n 전자밸브(144)를 염과 동시에 나머지 (N-1)개의 전자밸브(144)를 닫거나 닫은 상태를 유지함으로써, 상기 제n 압력측정용 플랜지(132)와 연결된 제n 압력측정관(142)과 제n 전자밸브(144)를 통해 지정된 압력측정장치(146)로 제n 챔버(120)의 압력을 전달하여 상기 제n 챔버(120)의 공정 압력을 측정하도록 제어한다.
한편 상기 제i차 공정에 사용된 과포화 증기를 배기하는 경우, 상기 제어모듈(148)은 상기 (N*s)개의 급기밸브(110)를 닫아 급기를 차단하고 상기 N개의 배기밸브(136)를 열어 배기하도록 제어한다. 한편 본 발명의 실시 방법에 따르면, 상기 제어모듈(148)은 상기 N개의 챔버(120)로 공급된 과포화 증기를 배기하기 전 또는 중에 상기 제i차 공정에서 열었던 제n 전자밸브(144)를 닫아 결과적으로 상기 N개의 전자밸브(144)를 닫거나 닫은 상태를 유지함으로써, 상기 압력측정장치(146)를 통해 제n 챔버(120)의 압력을 측정하는 과정을 차단 또는 멈춤할 수 있다.
한편 상기 제i차 공정을 수행한 후 제(i+1)차 공정을 위해 상기 N개의 챔버(120)로 과포화 증기를 급기하는 경우, 상기 제어모듈(148)은 상기 N개의 챔버(120)가 밀폐된 상태에서 상기 N개의 배기밸브(136)를 닫음과 동시에 상기 (N*s)개의 급기밸브(110)를 열어 상기 N개의 챔버(120)로 과포화 증기를 급기하도록 제어한다. 한편 상기 제어모듈(148)은 상기 N개의 챔버(120)로 과포화 증기를 급기하기 전 또는 중에 상기 N개의 전자밸브(144) 중 지정된 순서에 따라 상기 제i차 공정에서 열었던 제n 전자밸브(144) 이외에 다음 순서에 대응하는 어느 한 제n'(1≤n'≤N, n≠n') 전자밸브(144)를 염과 동시에 나머지 (N-1)개의 전자밸브(144)를 닫거나 닫은 상태를 유지함으로써, 상기 제n'압력측정용 플랜지(132)와 연결된 제n'압력측정관(142)과 제n'전자밸브(144)를 통해 지정된 압력측정장치(146)로 제n' 챔버(120)의 압력을 전달하여 상기 제n'챔버(120)의 공정 압력을 측정하도록 제어한다.
한편 상기 제(i+1)차 공정에 사용된 과포화 증기를 배기하는 경우, 상기 제어모듈(148)은 상기 (N*s)개의 급기밸브(110)를 닫아 급기를 차단하고 상기 N개의 배기밸브(136)를 열어 배기하도록 제어한다. 한편 본 발명의 실시 방법에 따르면, 상기 제어모듈(148)은 상기 N개의 챔버(120)로 공급된 과포화 증기를 배기하기 전 또는 중에 상기 제(i+1)차 공정에서 열었던 제n' 전자밸브(144)를 닫아 결과적으로 상기 N개의 전자밸브(144)를 닫거나 닫은 상태를 유지함으로써, 상기 압력측정장치(146)를 통해 제n' 챔버(120)의 압력을 측정하는 과정을 차단 또는 멈춤할 수 있다.
도면1을 참조하면, 본 발명의 시스템은, 상기 제어모듈(148)과 연동하여 지정된 공정 또는 급기 중에 전자밸브(144)가 열린 챔버(120)를 식별하는 챔버(120)식별정보를 수신하는 수신부(152)와, 상기 압력측정장치(146)와 연동하여 지정된 공정 또는 급기 중에 상기 열린 상태의 전자밸브(144)를 통해 측정된 압력변화측정정보를 수집하는 수집부(154)와, 상기 챔버(120)식별정보와 압력변화측정정보를 지정된 운영DB에 연계 저장하는 저장부(156)를 구비한 분석모듈(150)을 포함한다.
상기 제어모듈(148)이 지정된 공정 또는 급기를 위해 N개의 챔버(120)가 밀폐된 상태에서 N개의 배기밸브(136)를 닫고 (N*s)개의 급기밸브(110)를 열어 상기 N개의 챔버(120)로 과포화 증기를 급기하면서, 상기 N개의 압력측정용 플랜지(132)와 연결된 N개의 전자밸브(144) 중 어느 한 제n 전자밸브(144)를 열어 지정된 압력측정장치(146)를 통해 제n 챔버(120)의 공정 압력을 측정하도록 제어하는 경우, 상기 수신부(152)는 상기 제어모듈(148)과 연동하여 상기 압력 측정을 위해 상기 열린 상태의 제n 전자밸브(144)에 대응하는 제n 챔버(120)를 식별하는 챔버(120)식별정보를 수신한다.
한편 상기 제n 전자밸브(144)가 열려 상기 압력측정장치(146)를 통해 상기 제n 챔버(120)의 공정 압력을 측정하는 경우, 상기 수집부(154)는 상기 압력측정장치(146)와 연동하여 상기 열린 상태의 제n 전자밸브(144)를 통해 측정된 제n 챔버(120)의 압력변화측정정보를 수집한다. 상기 저장부(156)는 상기 수신부(152)를 통해 수신된 제n 챔버(120)의 챔버(120)식별정보와 상기 수집부(154)를 통해 수집된 제n 챔버(120)의 압력변화측정정보를 지정된 운영DB에 연계 저장한다.
도면1을 참조하면, 상기 분석모듈(150)은, 상기 수집 또는 저장된 압력변화측정정보를 판독하여 이상 상태가 발생한 제q(1≤q≤N) 챔버(120)를 확인하는 압력 분석부(166)와, 상기 확인된 제q 챔버(120)의 챔버(120)식별정보를 포함하는 분석결과정보를 생성하는 결과 생성부(168)와, 상기 분석결과정보를 지정된 출력수단을 통해 출력하거나 지정된 단말로 전송하는 결과 처리부(170)를 포함한다.
본 발명의 제1 분석 실시예에 따르면, 상기 압력 분석부(166)는 상기 수집 또는 저장된 압력변화측정정보를 판독하여 기 설정된 유효압력 미만인 제q 챔버(120)를 확인할 수 있다. 이 경우 상기 결과 생성부(168)는 상기 확인된 제q 챔버(120)의 챔버(120)식별정보를 포함하는 분석결과정보를 생성하고, 상기 결과 처리부(170)는 상기 분석결과정보를 지정된 출력수단을 통해 출력하거나 지정된 단말로 전송할 수 있다.
본 발명의 제2 분석 실시예에 따르면, 상기 압력 분석부(166)는 상기 수집 또는 저장된 압력변화측정정보를 판독하여 급기 개시 후 기 설정된 초기가압 시간 내에 기 설정된 유효압력에 도달하지 못한 제q 챔버(120)를 확인할 수 있다. 이 경우 상기 결과 생성부(168)는 상기 확인된 제q 챔버(120)의 챔버(120)식별정보를 포함하는 분석결과정보를 생성하고, 상기 결과 처리부(170)는 상기 분석결과정보를 지정된 출력수단을 통해 출력하거나 지정된 단말로 전송할 수 있다.
본 발명의 제3 분석 실시예에 따르면, 상기 압력 분석부(166)는 상기 수집 또는 저장된 압력변화측정정보를 판독하여 급기 개시 후 배기 개시 전 사이의 지정된 공정 시간 동안 기 설정된 유효공정압력 이상의 압력을 유지한 압력유지시간이 기 설정된 유효유지시간 미만인 제q 챔버(120)를 확인할 수 있다. 이 경우 상기 결과 생성부(168)는 상기 확인된 제q 챔버(120)의 챔버(120)식별정보를 포함하는 분석결과정보를 생성하고, 상기 결과 처리부(170)는 상기 분석결과정보를 지정된 출력수단을 통해 출력하거나 지정된 단말로 전송할 수 있다.
본 발명의 제4 분석 실시예에 따르면, 상기 압력 분석부(166)는 상기 제1 내지 제3 분석 실시예 중 적어도 둘 이상을 조합하여 이상 상태가 발생한 제q 챔버(120)를 확인할 수 있으며, 이 경우 상기 결과 생성부(168)는 상기 확인된 제q 챔버(120)의 챔버(120)식별정보를 포함하는 분석결과정보를 생성하고, 상기 결과 처리부(170)는 상기 분석결과정보를 지정된 출력수단을 통해 출력하거나 지정된 단말로 전송할 수 있다.
도면1을 참조하면, 상기 분석모듈(150)은, 상기 N개의 챔버(120)에 대하여 주기적으로 수행된 공정유효성검사의 검사결과를 포함하는 공정유효성검사정보를 확인하여 지정된 관리DB에 저장하는 검사 확인부(158)와, 상기 확인 또는 저장된 공정유효성검사정보를 판독하여 공정유효성이 기 설정된 기준값 이상 손상된 제p(1≤p≤N) 챔버(120)를 확인하는 검사 분석부(160)와, 상기 운영DB로부터 상기 제p 챔버(120)의 챔버(120)식별정보와 연계된 적어도 하나의 압력변화측정정보를 확인하는 압력 확인부(162)와, 상기 공정유효성이 손상된 제p 챔버(120)의 공정유효성검사정보와 상기 확인된 제p 챔버(120)의 압력변화측정정보 사이의 상관 관계에 대응하는 공정유효성 손상 압력변화패턴정보를 생성하여 지정된 저장매체에 저장하는 정보 생성부(164)를 포함한다.
상기 N개의 챔버(120)는 상기 제1 내지 제4 분석 실시예 중 적어도 하나를 통해 이상 상태가 발생한 제q 챔버(120)를 확인하는 방식 외에, 주기적으로 상기 N개의 챔버(120)에 대한 공정유효성검사를 수행할 수 있다. 바람직하게, 상기 공정유효성검사는 챔버(120)에 식균모듈을 투입하여 지정된 공정을 거친 후 살균 상태를 검사하는 살균 검사, 챔버(120)에 연결된 s개의 급기관(116) 별 핀홀(pin hole) 발생을 검사하는 급기관(116) 핀홀 검사, 챔버(120)에 연결된 배기관(128)의 핀홀(pin hole) 발생을 검사하는 배기관(128) 핀홀 검사, 챔버(120)에 구비된 가스켓(gasket)의 파손 상태를 검사하는 가스켓 파손 검사 중 적어도 하나의 검사를 포함할 수 있다.
한편 상기 N개의 챔버(120)에 대한 공정유효성검사를 수행된 경우, 상기 검사 확인부(158)는 상기 N개의 챔버(120)에 대하여 주기적으로 수행된 공정유효성검사의 검사결과를 포함하는 공정유효성검사정보를 지정된 단말을 통해 입력받거나 통신망을 경유하여 수신하여 지정된 관리DB에 저장한다.
상기 관리DB에 하나 이상의 공정유효성검사정보가 저장된 경우, 상기 검사 분석부(160)는 상기 확인 또는 저장된 공정유효성검사정보를 판독하여 공정유효성이 기 설정된 기준값 이상 손상된 제p 챔버(120)를 확인할 수 있다. 예를들어, 상기 공정유효성검사가 살균 검사인 경우 상기 검사 분석부(160)는 상기 공정유효성검사정보를 판독하여 살균력이 기 설정된 기준 살균 수치 미만인 제p 챔버(120)를 확인할 수 있다.
한편 상기 검사 분석부(160)를 통해 공정유효성이 기 설정된 기준값 이상 손상된 제p 챔버(120)를 확인한 경유, 상기 압력 확인부(162)는 상기 운영DB로부터 상기 제p 챔버(120)의 챔버(120)식별정보와 연계된 적어도 하나의 압력변화측정정보를 확인하고, 상기 정보 생성부(164)는 상기 공정유효성이 손상된 제p 챔버(120)의 공정유효성검사정보와 상기 확인된 제p 챔버(120)의 압력변화측정정보 사이의 상관 관계에 대응하는 공정유효성 손상 압력변화패턴정보를 생성하여 지정된 저장매체에 저장한다.
본 발명의 실시 방법에 따르면, 상기 정보 생성부(164)는 상기 공정유효성이 손상된 제p 챔버(120)의 압력변화측정정보의 관측된 특징에 대응하는 입력 정보와 상기 공정유효성이 손상된 제p 챔버(120)의 공정유효성검사정보의 관측된 결과에 대응하는 출력 정보를 지정된 인공지능모듈에 대입하여 상기 공정유효성이 손상된 제p 챔버(120)의 공정유효성검사정보와 상기 제p 챔버(120)의 압력변화측정정보 사이의 상관 관계를 학습시킬 수 있다.
한편 본 발명의 제5 분석 실시예에 따르면, 상기 정보 생성부(164)를 통해 공정유효성 손상 압력변화패턴정보가 생성되어 저장된 경우, 상기 압력 분석부(166)는 상기 공정유효성 손상 압력변화패턴정보를 근거로 상기 운영DB에 최근 일정 시간 내에 저장된 압력변화측정정보를 분석하여 공정유효성의 손상이 예측되거나 발생한 제q 챔버(120)를 확인할 수 있다. 예를들어, 상기 공정유효성 손상 압력변화패턴정보가 상기 공정유효성이 손상된 제p 챔버(120)의 압력변화측정정보를 학습한 인공지능모듈인 경우, 상기 압력 분석부(166)는 상기 운영DB에 최근 일정 시간 내에 저장된 압력변화측정정보를 상기 인공지능모듈에 대입하여 공정유효성의 손상이 예측되거나 발생한 제q 챔버(120)를 확인할 수 있다. 한편 상기 압력 분석부(166)를 통해 상기 공정유효성의 손상이 예측되거나 발생한 제q 챔버(120)가 확인된 경우, 상기 결과 생성부(168)는 상기 확인된 제q 챔버(120)의 챔버(120)식별정보를 포함하는 분석결과정보를 생성하고, 상기 결과 처리부(170)는 상기 분석결과정보를 지정된 출력수단을 통해 출력하거나 지정된 단말로 전송할 수 있다.
도면2는 본 발명의 실시 방법에 따른 순차적 공정 압력 측정 과정을 도시한 흐름도이다.
보다 상세하게 본 도면2는 과포화 증기를 N개의 챔버(120)에 공급하여 제i차 공정을 수행하는 중에 제n 압력측정용 플랜지(132)와 제n 전자밸브(144)를 통해 제n 챔버(120)의 공정 압력을 측정하고, 제(i+1)차 공정을 수행하는 중에 제n' 압력측정용 플랜지(132)와 제n' 전자밸브(144)를 통해 제n' 챔버(120)의 공정 압력을 측정하는 과정을 도시한 것으로서, 본 발명이 속한 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면, 본 도면2를 참조 및/또는 변형하여 상기 과정에 대한 다양한 실시 방법(예컨대, 일부 단계가 생략되거나, 또는 순서가 변경된 실시 방법)을 유추할 수 있을 것이나, 본 발명은 상기 유추되는 모든 실시 방법을 포함하여 이루어지며, 본 도면2에 도시된 실시 방법만으로 그 기술적 특징이 한정되지 아니한다.
도면2를 참조하면, 제i차 공정을 수행할 N개의 챔버(120)가 밀폐된 경우(200), 상기 제어모듈(148)은 상기 N개의 배기밸브(136)를 닫고 상기 (N*s)개의 급기밸브(110)를 열며, 상기 N개의 전자밸브(144) 중 지정된 순서에 따라 어느 한 제n 전자밸브(144)를 염과 동시에 나머지 (N-1)개의 전자밸브(144)를 닫거나 닫은 상태를 유지하도록 제어하며(205), 압력측정장치(146)는 상기 N개의 챔버(120)에 과포화 증기를 급기하여 제i차 공정을 수행하는 동안 상기 제n 압력측정용 플랜지(132)와 제n 전자밸브(144)에 연결된 압력측정관(142)을 통해 제n 챔버(120)의 압력을 전달받아 상기 제n 챔버(120)의 공정 압력을 측정하여 압력변화측정정보를 생성한다(210).
한편 상기 제i차 공정 수행이 완료되는 경우, 상기 제어모듈(148)은 상기 (N*s)개의 급기밸브(110)를 닫아 급기를 차단하고 상기 N개의 배기밸브(136)를 열도록 제어하며, 상기 N개의 전자밸브(144)를 닫거나 닫은 상태를 유지하도록 제어한다(215).
한편 상기 제i차 공정을 수행한 후 제(i+1)차 공정을 수행할 N개의 챔버(120)가 밀폐된 경우(220), 상기 제어모듈(148)은 상기 N개의 배기밸브(136)를 닫고 상기 (N*s)개의 급기밸브(110)를 열며, 상기 N개의 전자밸브(144) 중 지정된 순서에 따라 어느 한 제n'전자밸브(144)를 염과 동시에 나머지 (N-1)개의 전자밸브(144)를 닫거나 닫은 상태를 유지하도록 제어하며(225), 압력측정장치(146)는 상기 N개의 챔버(120)에 과포화 증기를 급기하여 제(i+1)차 공정을 수행하는 동안 상기 제n' 압력측정용 플랜지(132)와 제n' 전자밸브(144)에 연결된 압력측정관(142)을 통해 제n' 챔버(120)의 압력을 전달받아 상기 제n' 챔버(120)의 공정 압력을 측정하여 압력변화측정정보를 생성한다(230).
한편 상기 제(i+1)차 공정 수행이 완료되는 경우, 상기 제어모듈(148)은 상기 (N*s)개의 급기밸브(110)를 닫아 급기를 차단하고 상기 N개의 배기밸브(136)를 열도록 제어하며, 상기 N개의 전자밸브(144)를 닫거나 닫은 상태를 유지하도록 제어한다(235).
도면3은 본 발명의 실시 방법에 따른 압력 수집 및 분석 과정을 도시한 흐름도이다.
보다 상세하게 본 도면3은 상기 도면2의 과정을 통해 순차 측정된 압력을 수집하여 분석하는 과정을 도시한 것으로서, 본 발명이 속한 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면, 본 도면3을 참조 및/또는 변형하여 상기 과정에 대한 다양한 실시 방법(예컨대, 일부 단계가 생략되거나, 또는 순서가 변경된 실시 방법)을 유추할 수 있을 것이나, 본 발명은 상기 유추되는 모든 실시 방법을 포함하여 이루어지며, 본 도면3에 도시된 실시 방법만으로 그 기술적 특징이 한정되지 아니한다.
도면3을 참조하면, 상기 도면2의 과정에서 상기 제어모듈(148)을 통해 N개의 챔버(120)에 대응하는 N개의 전자밸브(144) 중 지정된 순서에 따라 어느 한 전자밸브(144)가 열린 경우, 상기 분석모듈(150)은 상기 제어모듈(148)과 연동하여 순차 압력 측정을 위해 전자밸브(144)가 열린 챔버(120)를 식별하는 챔버(120)식별정보를 수신한다(300). 한편 상기 도면2의 과정에서 상기 압력측정장치(146)가 상기 열린 상태의 전자밸브(144)를 통해 어느 한 챔버(120)의 압력을 측정하는 경우, 상기 분석모듈(150)은 상기 압력측정장치(146)와 연동하여 상기 열린 상태의 전자밸브(144)를 통해 측정된 압력변화측정정보를 수집하고(305), 상기 챔버(120)식별정보와 압력변화측정정보를 지정된 운영DB에 연계 저장한다(310).
한편 상기 분석모듈(150)은 상기 수집 또는 저장된 압력변화측정정보를 판독하여 이상 상태가 발생한 제q 챔버(120)를 확인한다(315).
만약 이상 상태가 발생한 제q 챔버(120)를 확인한 경우, 상기 분석모듈(150)은 상기 확인된 제q 챔버(120)의 챔버(120)식별정보를 포함하는 분석결과정보를 생성하고(320), 상기 분석결과정보를 지정된 출력수단을 통해 출력하거나 지정된 단말로 전송한다(325).
도면4는 본 발명의 실시 방법에 따른 공정유효성 분석 및 관리 과정을 도시한 흐름도이다.
보다 상세하게 본 도면4는 상기 도면3의 과정을 통해 압력변화측정정보를 통해 N개의 챔버(120) 별 공정유효성을 분석 및 관리하는 과정을 도시한 것으로서, 본 발명이 속한 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면, 본 도면4를 참조 및/또는 변형하여 상기 과정에 대한 다양한 실시 방법(예컨대, 일부 단계가 생략되거나, 또는 순서가 변경된 실시 방법)을 유추할 수 있을 것이나, 본 발명은 상기 유추되는 모든 실시 방법을 포함하여 이루어지며, 본 도면4에 도시된 실시 방법만으로 그 기술적 특징이 한정되지 아니한다.
도면4를 참조하면, 상기 분석모듈(150)은 상기 N개의 챔버(120)에 대하여 주기적으로 수행된 공정유효성검사의 검사결과를 포함하는 공정유효성검사정보를 확인하여 지정된 관리DB에 저장하고(400), 상기 확인 또는 저장된 공정유효성검사정보를 판독하여 공정유효성이 기 설정된 기준값 이상 손상된 제p 챔버(120)를 확인한다(405).
만약 공정유효성이 기 설정된 기준값 이상 손상된 제p 챔버(120)를 확인한 경우, 상기 분석모듈(150)은 상기 운영DB로부터 상기 도면3의 과정을 통해 저장된 상기 제p 챔버(120)의 챔버(120)식별정보와 연계된 적어도 하나의 압력변화측정정보를 확인하고(410), 상기 공정유효성이 손상된 제p 챔버(120)의 공정유효성검사정보와 상기 확인된 제p 챔버(120)의 압력변화측정정보 사이의 상관 관계에 대응하는 공정유효성 손상 압력변화패턴정보를 생성하여 지정된 저장매체에 저장한다(415). 본 발명의 일 예에 따르면, 상기 분석모듈(150)은 상기 제p 챔버(120)의 압력변화측정정보의 관측된 특징에 대응하는 입력 정보와 상기 제p 챔버(120)의 공정유효성검사정보의 관측된 결과에 대응하는 출력 정보를 지정된 인공지능모듈에 대입하여 상기 공정유효성이 손상된 제p 챔버(120)의 공정유효성검사정보와 상기 제p 챔버(120)의 압력변화측정정보 사이의 상관 관계를 학습시킬 수 있다.
한편 상기 공정유효성 손상 압력변화패턴정보가 생성되어 저장된 경우, 상기 분석모듈(150)은 상기 공정유효성 손상 압력변화패턴정보를 근거로 상기 운영DB에 최근 일정 시간 내에 저장된 압력변화측정정보를 분석하여 공정유효성의 손상이 예측되거나 발생한 제q 챔버(120)를 확인한다(420).
만약 공정유효성의 손상이 예측되거나 발생한 제q 챔버(120)가 확인된 경우, 상기 분석모듈(150)은 상기 확인된 제q 챔버(120)의 챔버(120)식별정보를 포함하는 분석결과정보를 생성하고(425), 상기 분석결과정보를 지정된 출력수단을 통해 출력하거나 지정된 단말로 전송한다(430).
100 : 보일러 102 : 이송용 감압밸브
104 : 공급용 감압밸브 106 : 매니폴드
108 : 매니폴드 측 플랜지 110 : 급기밸브
112 : 급기관 측 플랜지 116 : 급기관
118 : 챔버 측 급기용 플랜지 120 : N(N≥2)개의 챔버
122 : 챔버 상부 124 : 챔버 하부
126 : 챔버 측 배기용 플랜지 128 : 배기관
130 : 배기관 측 플랜지 132 : 압력측정용 플랜지
134 : 배기밸브 측 플랜지 136 : 배기밸브
138 : 배기구 측 플랜지 140 : 배기구
142 : 압력측정관 144 : 전자밸브
146 : 압력측정장치 148 : 제어모듈
150 : 분석모듈 152 : 수신부
154 : 수집부 156 : 저장부
158 : 검사 확인부 160 : 검사 분석부
162 : 압력 확인부 164 : 정보 생성부
166 : 압력 분석부 168 : 결과 생성부
170 : 결과 처리부
104 : 공급용 감압밸브 106 : 매니폴드
108 : 매니폴드 측 플랜지 110 : 급기밸브
112 : 급기관 측 플랜지 116 : 급기관
118 : 챔버 측 급기용 플랜지 120 : N(N≥2)개의 챔버
122 : 챔버 상부 124 : 챔버 하부
126 : 챔버 측 배기용 플랜지 128 : 배기관
130 : 배기관 측 플랜지 132 : 압력측정용 플랜지
134 : 배기밸브 측 플랜지 136 : 배기밸브
138 : 배기구 측 플랜지 140 : 배기구
142 : 압력측정관 144 : 전자밸브
146 : 압력측정장치 148 : 제어모듈
150 : 분석모듈 152 : 수신부
154 : 수집부 156 : 저장부
158 : 검사 확인부 160 : 검사 분석부
162 : 압력 확인부 164 : 정보 생성부
166 : 압력 분석부 168 : 결과 생성부
170 : 결과 처리부
Claims (18)
- 과포화 증기를 이용하여 지정된 공정을 수행하는 시스템에 있어서,
매니폴드(Manifold)에 구비된 과포화 증기를 지정된 공정을 수행하는 N(N≥2)개의 챔버로 공급하기 위한 각 챔버 별 s(s≥1)개의 급기관을 포함하는 (N*s)개의 급기관;
상기 (N*s)개의 급기관을 경유하여 상기 매니폴드에 공급된 과포화 증기를 상기 N개의 챔버로 급기하는 것을 열거나 닫는 (N*s)개의 급기밸브;
지정된 공정을 위해 N개의 챔버로 공급된 과포화 증기를 배기하기 위한 N개의 배기관;
상기 N개의 챔버로 공급되어 공정에 사용된 과포화 증기를 상기 N개의 배기관을 경유하여 배기하는 것을 열거나 닫는 N개의 배기밸브;
상기 N개의 배기관의 일 측을 상기 N개의 챔버에 연결하기 위한 N개의 챔버 측 배기용 플랜지;
상기 N개의 챔버 측 배기용 플랜지에 연결된 N개의 배기관의 다른 일 측에 연결되는 N개의 배기관 측 플랜지;
상기 N개의 배기밸브에 구비 또는 연결되는 N개의 배기밸브 측 플랜지;
상기 N개의 배기관 측 플랜지와 N개의 배기밸브 측 플랜지 사이에 구비되며 N개의 압력측정관과 연결되는 N개의 압력측정용 플랜지;
상기 N개의 압력측정용 플랜지와 연결된 N개의 압력측정관의 일 측과 연결되고 지정된 압력측정장치와 연결된 압력측정관과 연결된 N개의 전자밸브; 및
지정된 제i(i≥1)차 공정을 위해 상기 N개의 챔버로 과포화 증기를 급기하는 경우 상기 N개의 배기밸브를 닫고 상기 (N*s)개의 급기밸브를 열며, 상기 N개의 전자밸브 중 지정된 순서에 따라 어느 한 제n(1≤n≤N) 전자밸브를 염과 동시에 나머지 (N-1)개의 전자밸브를 닫거나 닫은 상태를 유지하여 제n 압력측정용 플랜지와 연결된 압력측정관을 통해 지정된 압력측정장치로 제n 챔버의 압력을 전달하여 압력을 측정하도록 제어하고,
상기 제i차 공정에 사용된 과포화 증기를 배기하는 경우 상기 (N*s)개의 급기밸브를 닫아 급기를 차단하고 상기 N개의 배기밸브를 열도록 제어하는 제어모듈;을 포함하는 순차적 공정 압력 측정 시스템.
- 제 1항에 있어서, 상기 제어모듈은,
제(i+1)차 공정을 위해 상기 N개의 챔버로 과포화 증기를 급기하는 경우 상기 N개의 배기밸브를 닫고 상기 (N*s)개의 급기밸브를 열며, 상기 N개의 전자밸브 중 지정된 순서에 따라 어느 한 제n'(1≤n'≤N, n≠n') 전자밸브를 염과 동시에 나머지 (N-1)개의 전자밸브를 닫거나 닫은 상태를 유지하여 제n' 압력측정용 플랜지와 연결된 압력측정관을 통해 지정된 압력측정장치로 제n' 챔버의 압력을 전달하여 압력을 측정하도록 제어하고,
상기 제(i+1)차 공정에 사용된 과포화 증기를 배기하는 경우 상기 (N*s)개의 급기밸브를 닫아 급기를 차단하고 상기 N개의 배기밸브를 열도록 제어하는 것을 특징으로 하는 순차적 공정 압력 측정 시스템.
- 제 1항 또는 제 2항에 있어서, 상기 제어모듈은,
상기 공정에 사용된 과포화 증기를 배기하는 경우 상기 N개의 전자밸브를 닫거나 닫은 상태를 유지하도록 제어하는 것을 특징으로 하는 순차적 공정 압력 측정 시스템.
- 제 1항에 있어서,
상기 (N*s)개의 급기밸브를 상기 매니폴드에 연결하기 위한 (N*s)개의 매니폴드 측 플랜지;
상기 (N*s)개의 급기밸브에 구비 또는 연결되는 (N*s)개의 급기밸브 측 플랜지;
상기 (N*s)개의 급기밸브 측 플랜지에 상기 (N*s)개의 급기관의 일 측을 연결하는 (N*s)개의 급기관 측 플랜지; 및
상기 (N*s)개의 급기관 측 플랜지에 연결된 상기 (N*s)개의 급기관의 다른 일 측을 상기 N개의 챔버에 연결하는 (N*s)개의 챔버 측 급기용 플랜지;를 더 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 순차적 공정 압력 측정 시스템.
- 제 1항에 있어서, 상기 급기관은,
지정된 일정 기간 동안 챔버로 공급되는 과포화 증기의 고온 고압에 의한 손상율이 기 설정된 기준값 이하인 재질을 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 순차적 공정 압력 측정 시스템.
- 제 1항에 있어서, 상기 급기관은,
지정된 공정 전 또는 중 또는 후에 챔버에 주기적으로 가해지는 물리적 충격량에 의한 손상을 억제하는 유연한 재질이나 충격 흡수 구조를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 순차적 공정 압력 측정 시스템.
- 제 1항에 있어서, 상기 급기관은,
기 설정된 초기가압 시간 내에 기 설정된 유효압력의 과포화 증기를 고속 급기받기 위해 각 챔버 별로 복수개 구비되는 것을 특징으로 하는 순차적 공정 압력 측정 시스템.
- 제 1항에 있어서, 상기 배기관은,
지정된 일정 기간 동안 챔버로 공급된 과포화 증기의 고온 고압에 의한 손상율이 기 설정된 기준값 이하인 재질을 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 순차적 공정 압력 측정 시스템.
- 제 1항에 있어서, 상기 배기관은,
지정된 공정 전 또는 중 또는 후에 챔버에 주기적으로 가해지는 물리적 충격량에 의한 손상을 억제하는 유연한 재질이나 충격 흡수 구조를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 순차적 공정 압력 측정 시스템.
- 제 1항에 있어서, 상기 N개의 압력측정관은,
N개의 압력측정용 플랜지와 N개의 전자밸브 사이에 구비되며, 기 설정된 기준 길이 이내의 길이를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 순차적 공정 압력 측정 시스템.
- 제 1항에 있어서,
상기 제어모듈과 연동하여 지정된 공정 또는 급기 중에 전자밸브가 열린 챔버를 식별하는 챔버식별정보를 수신하는 수신부와,
상기 압력측정장치와 연동하여 지정된 공정 또는 급기 중에 상기 열린 상태의 전자밸브를 통해 측정된 압력변화측정정보를 수집하는 수집부와,
상기 챔버식별정보와 압력변화측정정보를 지정된 운영DB에 연계 저장하는 저장부를 구비한 분석모듈을 더 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 순차적 공정 압력 측정 시스템.
- 제 11항에 있어서, 상기 분석모듈은,
상기 수집 또는 저장된 압력변화측정정보를 판독하여 기 설정된 유효압력 미만인 제q(1≤q≤N) 챔버를 확인하는 압력 분석부와,
상기 확인된 제q 챔버의 챔버식별정보를 포함하는 분석결과정보를 생성하는 결과 생성부와,
상기 분석결과정보를 지정된 출력수단을 통해 출력하거나 지정된 단말로 전송하는 결과 처리부를 더 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 순차적 공정 압력 측정 시스템.
- 제 11항에 있어서, 상기 분석모듈은,
상기 수집 또는 저장된 압력변화측정정보를 판독하여 급기 개시 후 기 설정된 초기가압 시간 내에 기 설정된 유효압력에 도달하지 못한 제q(1≤q≤N) 챔버를 확인하는 압력 분석부와,
상기 확인된 제q 챔버의 챔버식별정보를 포함하는 분석결과정보를 생성하는 결과 생성부와,
상기 분석결과정보를 지정된 출력수단을 통해 출력하거나 지정된 단말로 전송하는 결과 처리부를 더 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 순차적 공정 압력 측정 시스템.
- 제 11항에 있어서, 상기 분석모듈은,
상기 수집 또는 저장된 압력변화측정정보를 판독하여 급기 개시 후 배기 개시 전 사이의 지정된 공정 시간 동안 기 설정된 유효공정압력 이상의 압력을 유지한 압력유지시간이 기 설정된 유효유지시간 미만인 제q(1≤q≤N) 챔버를 확인하는 압력 분석부와,
상기 확인된 제q 챔버의 챔버식별정보를 포함하는 분석결과정보를 생성하는 결과 생성부와,
상기 분석결과정보를 지정된 출력수단을 통해 출력하거나 지정된 단말로 전송하는 결과 처리부를 더 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 순차적 공정 압력 측정 시스템.
- 제 11항에 있어서, 상기 분석모듈은,
상기 N개의 챔버에 대하여 주기적으로 수행된 공정유효성검사의 검사결과를 포함하는 공정유효성검사정보를 확인하여 지정된 관리DB에 저장하는 검사 확인부와,
상기 확인 또는 저장된 공정유효성검사정보를 판독하여 공정유효성이 기 설정된 기준값 이상 손상된 제p(1≤p≤N) 챔버를 확인하는 검사 분석부와,
상기 운영DB로부터 상기 제p 챔버의 챔버식별정보와 연계된 적어도 하나의 압력변화측정정보를 확인하는 압력 확인부와,
상기 공정유효성이 손상된 제p 챔버의 공정유효성검사정보와 상기 확인된 제p 챔버의 압력변화측정정보 사이의 상관 관계에 대응하는 공정유효성 손상 압력변화패턴정보를 생성하여 지정된 저장매체에 저장하는 정보 생성부를 더 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 순차적 공정 압력 측정 시스템.
- 제 15항에 있어서, 상기 공정유효성검사는,
챔버에 식균모듈을 투입하여 지정된 공정을 거친 후 살균 상태를 검사하는 살균 검사,
챔버에 연결된 s개의 급기관 별 핀홀(pin hole) 발생을 검사하는 급기관 핀홀 검사,
챔버에 연결된 배기관의 핀홀(pin hole) 발생을 검사하는 배기관 핀홀 검사,
챔버에 구비된 가스켓(gasket)의 파손 상태를 검사하는 가스켓 파손 검사 중 적어도 하나의 검사를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 순차적 공정 압력 측정 시스템.
- 제 15항에 있어서, 상기 정보 생성부는,
상기 제p 챔버의 압력변화측정정보의 관측된 특징에 대응하는 입력 정보와 상기 제p 챔버의 공정유효성검사정보의 관측된 결과에 대응하는 출력 정보를 지정된 인공지능모듈에 대입하여 상기 공정유효성이 손상된 제p 챔버의 공정유효성검사정보와 상기 제p 챔버의 압력변화측정정보 사이의 상관 관계를 학습시키는 기능을 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 순차적 공정 압력 측정 시스템.
- 제 15항에 있어서, 상기 분석모듈은,
상기 공정유효성 손상 압력변화패턴정보를 근거로 상기 운영DB에 최근 일정 시간 내에 저장된 압력변화측정정보를 분석하여 공정유효성의 손상이 예측되거나 발생한 제q(1≤q≤N) 챔버를 확인하는 압력 분석부와,
상기 확인된 제q 챔버의 챔버식별정보를 포함하는 분석결과정보를 생성하는 결과 생성부와,
상기 분석결과정보를 지정된 출력수단을 통해 출력하거나 지정된 단말로 전송하는 결과 처리부를 더 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 순차적 공정 압력 측정 시스템.
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| KR101439919B1 (ko) | 2014-06-12 | 2014-09-15 | 엘앤텍(주) | 밀폐 제품의 대용량 리크와 소용량 리크 모두를 검출할 수 있는 기밀 검사 장치 |
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