KR102410735B1 - nozzle pressure measurement system - Google Patents
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Abstract
본 발명은 노즐 압력 측정 시스템에 관한 것으로, 보다 상세하게는 OLED 원판의 세척 공정 중 노즐의 분사 압력 편차에 의한 불량을 방지하기 위해 각 노즐의 분사 압력을 주기적으로 모니터링하여 노즐의 불량여부를 검출하기 위한 노즐 압력 측정 시스템에 관한 것이다.
또한, 복수 개의 노즐을 가지는 세척 장치의 노즐별 불량 여부를 물리적으로 검사하기 위한 노즐 압력 측정 시스템에 있어서, 일렬로 배열된 복수 개의 노즐을 따라 평행하게 배치되는 레일과 상기 레일을 따라 이송되는 이송부와 상기 이송부로부터 연장되는 지지체와 상기 지지체의 단부에 배치되어 노즐을 통해 분사된 유체의 압력을 직접 측정하는 센싱부와 상기 이송부를 기 설정된 시간 간격으로 동작시켜 각 노즐을 통해 분사되는 유체의 분사 압력을 모니터링하여 불량 노즐을 검출하기 위한 제어부를 포함하는 것을 특징으로 한다.The present invention relates to a nozzle pressure measurement system, and more particularly, to periodically monitor the injection pressure of each nozzle in order to prevent defects caused by the injection pressure deviation of the nozzles during the cleaning process of the OLED disc to detect whether the nozzle is defective. It relates to a nozzle pressure measurement system for
In addition, in the nozzle pressure measuring system for physically inspecting whether or not each nozzle is defective in a washing apparatus having a plurality of nozzles, a rail disposed in parallel along a plurality of nozzles arranged in a line and a transfer unit transported along the rail; The support extending from the transfer unit and the sensing unit disposed at the end of the support to directly measure the pressure of the fluid injected through the nozzle and the transfer unit are operated at preset time intervals to determine the injection pressure of the fluid injected through each nozzle and a control unit for monitoring and detecting a defective nozzle.
Description
본 발명은 노즐 압력 측정 시스템에 관한 것으로, 보다 상세하게는 OLED 원판의 세척 공정 중 노즐의 분사 압력 편차에 의한 불량을 방지하기 위해 각 노즐의 분사 압력을 주기적으로 모니터링하여 노즐의 불량여부를 검출하기 위한 노즐 압력 측정 시스템에 관한 것이다.The present invention relates to a nozzle pressure measurement system, and more particularly, to periodically monitor the injection pressure of each nozzle in order to prevent defects caused by the injection pressure deviation of the nozzles during the cleaning process of the OLED disc to detect whether the nozzle is defective. It relates to a nozzle pressure measurement system for
디스플레이 제조 공정 중 발생하는 오염에 의한 불량 발생을 방지하기 위해 유리 원판은 세정 공정을 통해 이물이 제거되고 있다.In order to prevent defects due to contamination occurring during the display manufacturing process, foreign substances are removed from the glass original plate through a cleaning process.
일반적으로 세정액을 원판에 분사하는 형태로 세정이 이루어지고 있으며, 세정효율을 높이면서 세정액의 사용량 및 세정시간을 줄이기 위해 다양한 시도가 이루어지고 있다.In general, cleaning is performed in the form of spraying a cleaning liquid on the original plate, and various attempts have been made to increase cleaning efficiency and reduce the amount of cleaning liquid used and cleaning time.
그 중, 한국공개특허 제2003-0083131호 "평판 디스플레이 세정용 유체 혼합 분사 장치"는 세정 효율을 높이기 위한 기술로써, 적은 양의 세정액을 통해 우수한 세정효과를 얻기 위한 발명이나, 노즐의 막힘이나, 불량을 확인할 수 없는 문제점이 있었다.Among them, Korean Patent Application Laid-Open No. 2003-0083131 "fluid mixing injection device for cleaning flat panel display" is a technology to increase cleaning efficiency, and is an invention for obtaining excellent cleaning effect through a small amount of cleaning solution, or clogging of a nozzle, There was a problem that the defect could not be confirmed.
특히, 보다 높아진 해상도와 미세한 화소로 기술이 발전하면서 세정공정에서의 분사 압력의 편차에 의해 원판이 손상되는 문제점이 발생하고 있다.In particular, as the technology develops with higher resolution and finer pixels, there is a problem in that the original plate is damaged due to the deviation of the injection pressure in the cleaning process.
이에 따라, 복수 개의 노즐로 유체를 공급하는 파이프의 내부 압력 변화를 통해 노즐의 불량 여부를 확인하고 있으나, 파이프 내부의 압력 변화만으로는 불량 노즐을 찾고, 교체하기 어려운 문제점이 있었다.Accordingly, there is a problem in that it is difficult to find and replace a defective nozzle only by changing the pressure inside the pipe only, although it is checked whether the nozzle is defective through the change in the internal pressure of the pipe that supplies the fluid to the plurality of nozzles.
본 발명의 목적은 상술한 바와 같은 문제점을 해결하기 위해 안출된 것으로서, 일렬로 배열된 복수 개의 노즐을 통해 분사되는 유체의 분사 압력을 직접적으로 측정하기 위한 노즐 압력 측정 시스템을 제공하는 것이다.SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to provide a nozzle pressure measuring system for directly measuring the injection pressure of a fluid injected through a plurality of nozzles arranged in a line as devised to solve the above-described problems.
본 발명의 다른 목적은 각 노즐의 분사 방향별 분사 압력을 모니터링하기 위한 노즐 압력 측정 시스템을 제공하는 것이다.Another object of the present invention is to provide a nozzle pressure measuring system for monitoring the injection pressure for each injection direction of each nozzle.
상기 목적을 달성하기 위해 본 발명에 따른 노즐 압력 측정 시스템은 복수 개의 노즐을 가지는 세척 장치의 노즐별 불량 여부를 물리적으로 검사하기 위한 노즐 압력 측정 시스템에 있어서, 일렬로 배열된 복수 개의 노즐을 따라 평행하게 배치되는 레일과 상기 레일을 따라 이송되는 이송부와 상기 이송부로부터 연장되는 지지체와 상기 지지체의 단부에 배치되어 노즐을 통해 분사된 유체의 압력을 직접 측정하는 센싱부와 상기 이송부를 기 설정된 시간 간격으로 동작시켜 각 노즐을 통해 분사되는 유체의 분사 압력을 모니터링하여 불량 노즐을 검출하기 위한 제어부를 포함하는 것을 특징으로 한다.In order to achieve the above object, the nozzle pressure measurement system according to the present invention is a nozzle pressure measurement system for physically inspecting whether a cleaning device having a plurality of nozzles is defective for each nozzle, and is parallel along a plurality of nozzles arranged in a line. A rail disposed to be in contact with the rail, a transfer unit transferred along the rail, a support extending from the transfer unit, a sensing unit disposed at an end of the support to directly measure the pressure of the fluid injected through the nozzle, and the transfer unit at a preset time interval and a control unit for detecting a defective nozzle by operating and monitoring the injection pressure of the fluid injected through each nozzle.
또한, 상기 지지체의 단부에 배치된 센싱부를 감싸는 커버를 더 포함하며, 상기 센싱부는 커버의 내부에 일단부가 고정되는 제1 로드셀과 상기 제1 로드셀의 타단부에 고정되어 커버의 외측으로 노출되는 측정로드를 포함하는 것을 특징으로 한다.In addition, the method further includes a cover surrounding the sensing unit disposed at the end of the support, wherein the sensing unit is fixed to the first load cell having one end fixed to the inside of the cover and the other end of the first load cell is fixed to the outside of the cover. It is characterized in that it includes a rod.
또한, 상기 지지체의 단부에 배치된 센싱부를 감싸는 커버를 더 포함하며, 상기 센싱부는 커버의 내부에 상단부가 고정되는 제2 로드셀과 상기 제2 로드셀의 하단부에 일단부가 고정되는 제1 로드셀과 상기 제1 로드셀의 타단부에 고정되어 커버의 외측으로 노출되는 측정로드를 포함하며, 상기 제1 로드셀은 수평하게 배치되어 수직 하중을 검출하고, 상기 제2 로드셀은 수직하게 배치되어 좌, 우 수평방향 하중을 검출하도록 "ㄴ"자 형태로 구성되어 노즐을 통해 분사되는 유체의 분사 방향에 따른 분사 압력을 검출할 수 있는 것을 특징으로 한다.In addition, the method further includes a cover surrounding the sensing unit disposed at the end of the support, wherein the sensing unit includes a second load cell having an upper end fixed inside the cover, a first load cell having one end fixed to a lower end of the second load cell, and the
또한, 상기 측정로드는 유체의 분사 방향 검출 민감도를 높이기 위해 상하 방향 대비 좌우 방향의 분사 압력에 대한 저항이 더 크도록 삼각형 또는 마름모 형태의 단면 구조를 가진 것을 특징으로 한다.In addition, the measurement rod is characterized in that it has a triangular or rhombic cross-sectional structure so that the resistance to the injection pressure in the left and right directions is greater than the vertical direction in order to increase the detection sensitivity of the injection direction of the fluid.
또한, 상기 레일을 감싸는 몸체를 더 포함하며, 상기 몸체는 전면에 상향으로 형성되어 상부에 개방구가 형성된 제1 가이드와 상기 제1 가이드로부터 소정의 거리만큼 이격되어 개방구를 덮도록 하향으로 형성된 제2 가이드를 포함하며, 상기 제2 가이드의 단부 높이는 제1 가이드의 단부 높이보다 낮게 형성되어 노즐을 통해 분사된 유체가 몸체 내부로 유입되는 것을 차단하는 것을 특징으로 한다.In addition, it further comprises a body surrounding the rail, wherein the body is formed downward to cover the opening by a predetermined distance from the first guide and the first guide that is formed upwardly on the front surface and the opening is formed in the upper portion of the first guide. It includes a second guide, and the height of the end of the second guide is lower than the height of the end of the first guide to block the fluid injected through the nozzle from flowing into the body.
또한, 상기 제1 가이드는 단부에 하향으로 꺽여진 형태로 자체 탄성에 의해 제2 가이드에 밀착되는 복수 개의 밀착부를 더 포함하며, 상기 밀착부는 양측 단부가 사선으로 테이퍼진 경사면이 형성되어 상기 제1 가이드와 제2 가이드 사이로 이동되는 지지체가 밀착부의 경사면을 타고 올라와 밀착부를 제2 가이드로부터 이격시키도록 구성된 것을 특징으로 한다.In addition, the first guide further includes a plurality of close contact portions that are in close contact with the second guide by their own elasticity in a downwardly bent form at the ends, and the close contact portions are formed with inclined surfaces tapered diagonally at both ends of the first guide. It is characterized in that the support moving between the guide and the second guide is configured to climb up on the inclined surface of the contact part to separate the contact part from the second guide.
상술한 바와 같이, 본 발명에 따른 노즐 압력 측정 시스템에 의하면, 센싱부가 일렬로 배열된 복수 개의 노즐을 따라 이동하면서 각 노즐을 통해 분사되는 유체의 분사 압력을 직접적으로 측정할 수 있는 효과가 있다.As described above, according to the nozzle pressure measuring system according to the present invention, there is an effect that the sensing unit can directly measure the injection pressure of the fluid injected through each nozzle while moving along the plurality of nozzles arranged in a line.
또한, 본 발명에 따른 노즐 압력 측정 시스템에 의하면, 수직방향뿐만 아니라 수평방향의 압력을 복합적으로 측정함으로써, 각 노즐의 분사 방향별 분사 압력을 모니터링할 수 있는 효과가 있다.In addition, according to the nozzle pressure measuring system according to the present invention, there is an effect of monitoring the injection pressure for each injection direction of each nozzle by complexly measuring the pressure not only in the vertical direction but also in the horizontal direction.
도 1은 본 발명에 따른 노즐 압력 측정 시스템을 도시한 사시도.
도 2는 본 발명에 따른 노즐 압력 측정 시스템의 센싱부를 도시한 도면.
도 3은 본 발명에 따른 노즐 압력 측정 시스템의 다른 실시예에 따른 센싱부를 도시한 도면.
도 4는 본 발명에 따른 노즐 압력 측정 시스템의 단면을 도시한 도면.
도 5 내지 도 7은 본 발명에 따른 노즐 압력 측정 시스템의 밀착부를 도시한 도면.1 is a perspective view showing a nozzle pressure measuring system according to the present invention.
2 is a view showing a sensing unit of the nozzle pressure measuring system according to the present invention.
3 is a view showing a sensing unit according to another embodiment of the nozzle pressure measuring system according to the present invention.
4 is a view showing a cross section of a nozzle pressure measuring system according to the present invention.
5 to 7 are views showing a contact part of the nozzle pressure measuring system according to the present invention.
본 명세서에 개시되어 있는 본 발명의 개념에 따른 실시 예들에 대해서 특정한 구조적 또는 기능적 설명은 단지 본 발명의 개념에 따른 실시 예들을 설명하기 위한 목적으로 예시된 것으로서, 본 발명의 개념에 따른 실시 예들은 다양한 형태들로 실시될 수 있으며 본 명세서에 설명된 실시 예들에 한정되지 않는다.Specific structural or functional descriptions of the embodiments according to the concept of the present invention disclosed in this specification are only exemplified for the purpose of explaining the embodiments according to the concept of the present invention, and the embodiments according to the concept of the present invention are It may be implemented in various forms and is not limited to the embodiments described herein.
본 발명의 개념에 따른 실시 예들은 다양한 변경들을 가할 수 있고 여러 가지 형태들을 가질 수 있으므로 실시 예들을 도면에 예시하고 본 명세서에서 상세하게 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 발명의 개념에 따른 실시 예들을 특정한 개시 형태들에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물, 또는 대체물을 포함한다.Since the embodiments according to the concept of the present invention may have various changes and may have various forms, the embodiments will be illustrated in the drawings and described in detail herein. However, this is not intended to limit the embodiments according to the concept of the present invention to specific disclosed forms, and includes all modifications, equivalents, or substitutes included in the spirit and scope of the present invention.
이하, 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 설명하면 다음과 같다.Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.
도 1은 본 발명에 따른 노즐 압력 측정 시스템을 도시한 사시도이며, 도 2는 본 발명에 따른 노즐 압력 측정 시스템의 센싱부를 도시한 도면이고, 도 3은 본 발명에 따른 노즐 압력 측정 시스템의 단면을 도시한 도면이며, 도 4는 본 발명에 따른 노즐 압력 측정 시스템의 다른 실시예에 따른 센싱부를 도시한 도면이고, 도 5 내지 도 7은 본 발명에 따른 노즐 압력 측정 시스템의 밀착부를 도시한 도면이다.1 is a perspective view showing a nozzle pressure measuring system according to the present invention, Figure 2 is a view showing a sensing unit of the nozzle pressure measuring system according to the present invention, Figure 3 is a cross-section of the nozzle pressure measuring system according to the
도 1에 도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 노즐 압력 측정 시스템은 복수 개의 노즐(1)을 가지는 세척 장치의 각 노즐별 불량 여부를 물리적으로 검사하기 위한 것이다.As shown in FIG. 1 , the nozzle pressure measuring system according to the present invention is for physically inspecting whether each nozzle is defective in a washing apparatus having a plurality of
보다 상세하게는, 일렬로 배열된 복수 개의 노즐(1)을 따라 평행하게 배치되는 레일(2)과 상기 레일(2)을 따라 이송되는 이송부(3)와 상기 이송부(3)로부터 연장되는 지지체(4)와 상기 지지체(4)의 단부에 배치되어 노즐(1)을 통해 분사된 유체의 압력을 측정로드(13)를 통해 직접 측정하는 센싱부(5)와 상기 이송부(3)를 기 설정된 시간 간격으로 동작시켜 각 노즐(1)을 통해 분사되는 유체의 분사 압력을 모니터링하여 불량 노즐을 검출하기 위한 제어부(미도시)를 포함하여 구성된다.More specifically, a
또한, 도 1 또는 도 2에 도시된 바와 같이 상기 지지체(4)의 단부에 배치된 센싱부(5)를 감싸는 커버(6)를 더 포함하며, 상기 센싱부(5)는 커버(6)의 내부에서 지지체(4)에 일단부가 고정되는 제1 로드셀(5)과 상기 제1 로드셀(5)의 타단부에 고정되어 커버(6)의 외측으로 노출되어 노즐(1)을 통해 분사되는 유체로부터 직접적으로 압력을 전달받는 측정로드(13)를 포함하여 구성된다.In addition, as shown in FIG. 1 or FIG. 2 , it further includes a
또한, 상기 센싱부(5) 및 이송부(3)가 복수 개로 구성되어, 복수 개의 노즐(1)을 각 센싱부가 분할하여 모니터링하거나, 각 센싱부(5)의 측정로드(13)가 배치된 방향이 상이하게 구성되어 분사 방향에 따른 압력을 개별적으로 측정하도록 구성될 수도 있다.In addition, the
예를 들면, 하나의 센싱부(5)의 측정로드(13)는 레일(2)의 길이방향을 따라 배치되고, 다른 센싱부(5)의 측정로드(13)는 레일(2)의 폭방향으로 배치될 수 있는 것이다.For example, the
또한, 도 3에 도시된 바와 같이 상기 센싱부(5)는 커버의 내부에 상단부가 고정되는 제2 로드셀(12)과 상기 제2 로드셀(12)의 하단부에 일단부가 고정되는 제1 로드셀(11)과 상기 제1 로드셀(11)의 타단부에 고정되어 커버의 외측으로 노출되는 측정로드(13)를 포함하도록 구성될 수 있다.In addition, as shown in FIG. 3 , the
즉, 상기 제1 로드셀(11)은 수평하게 배치되어 수직 하중을 검출하고, 상기 제2 로드셀(12)은 수직하게 배치되어 좌, 우 수평방향 하중을 검출하도록 "ㄴ"자 형태로 구성된다.That is, the
이와 같이 수직 하중뿐만 아니라 수평방향 하중검출이 가능함에 따라, 노즐을 통해 분사되는 유체의 분사 방향에 따른 분사 압력을 검출할 수 있게 된다.As described above, as the horizontal load as well as the vertical load can be detected, the injection pressure according to the injection direction of the fluid injected through the nozzle can be detected.
이때, 상기 측정로드(13)는 유체의 분사 방향에 따른 검출 민감도를 높이기 위해 상하 방향 대비 좌우 방향의 분사 압력에 대한 저항이 더 크도록 삼각형 또는 마름모 형태의 단면 구조를 가지도록 구성됨이 바람직하다.In this case, the
즉, 수직방향 하중에 대한 저항보다 수평 방향 하중에 대한 저항이 보다 크도록 측정로드(13)의 상부에 경사면을 형성하는 것이다.That is, the inclined surface is formed on the upper portion of the
또한, 도 4에 도시된 바와 같이 상기 레일 및 이송부(3)를 감싸는 몸체(14)를 더 포함하며, 상기 몸체(14)는 전면에 상향으로 형성되어 상부에 개방구가 형성된 제1 가이드(7)와 상기 제1 가이드(7)로부터 소정의 거리만큼 이격되어 개방구를 덮도록 하향으로 형성된 제2 가이드(8)를 포함하며, 제1 가이드(7)와 제2 가이드(8) 사이로 지지체(4)가 이송되도록 구성된다.In addition, as shown in Fig. 4, it further includes a
이때, 상기 제2 가이드(8)의 단부 높이는 제1 가이드(7)의 단부 높이보다 낮게 형성되어 노즐을 통해 분사된 유체가 몸체(14) 내부로 유입되는 것을 차단하도록 덮어주는 형상으로 구성됨이 바람직하다.At this time, it is preferable that the end height of the
또한, 도 5 내지 도 7에 도시된 바와 같이 상기 제1 가이드(7)는 단부에 하향으로 꺽여진 형태로 자체 탄성에 의해 제2 가이드(8)에 밀착되는 복수 개의 밀착부(9)를 더 포함하도록 구성될 수 있다.In addition, as shown in FIGS. 5 to 7 , the
이때, 상기 밀착부(9)는 소정의 탄성을 가지고 지지체(4)가 위치한 영역을 제외한 다른영역에서 제2 가이드(8)에 밀착되어 이물의 유입을 방지하게 된다.At this time, the
또는, 상기 밀착부(9)는 양측 단부가 사선으로 테이퍼진 경사면(10)이 형성되어 상기 제1 가이드(7)와 제2 가이드(8) 사이로 이동되는 지지체(8)가 밀착부(9)의 경사면(10)을 타고 올라와 밀착부(9)를 제2 가이드(8)로부터 이격시키도록 구성될 수도 있다.Alternatively, the
예를 들면, 도 5에 도시된 제1 밀착부(9a)는 지지체(4)에 의해 제2 가이드(8)로부터 이격되어 있으며, 지지체(4)의 이송시 제2 가이드(8)에 밀착되었던 제2 밀착부(9b)는 도 6 또는 도 7에 도시된 바와 같이 제2 밀착부(9b)의 경사면(10)을 타고 진입하는 지지체(4)에 의해 제2 가이드(8)부터 이격되는 형태로 양측에 테이퍼진 경사면(10)이 형성된 복수 개의 밀착부(9)가 제1 가이드(7)와 제2 가이드(8) 사이로 유입되는 이물을 차단하도록 구성될 수 있다.For example, the
이상과 같이 본 발명은 첨부된 도면을 참조하여 바람직한 실시예를 중심으로 기술되었지만 당업자라면 이러한 기재로부터 본 발명의 범주를 벗어남이 없이 많은 다양한 자명한 변형이 가능하다는 것은 명백하다. 따라서 본 발명의 범주는 이러한 많은 변형의 예들을 포함하도록 기술된 청구범위에 의해서 해석되어져야 한다.As described above, the present invention has been described based on preferred embodiments with reference to the accompanying drawings, but it is apparent to those skilled in the art that many various obvious modifications are possible without departing from the scope of the present invention from these descriptions. Accordingly, the scope of the present invention should be construed by the appended claims including examples of many such modifications.
1 : 노즐
2 : 레일
3 : 이송부
4 : 지지체
5 : 센싱부
6 : 커버
7 : 제1 가이드
8 : 제2 가이드
9 : 밀착부
11 : 제1 로드셀
12 : 제2 로드셀
13 : 측정로드
14 : 몸체1: Nozzle
2: rail
3: transfer unit
4: support
5: sensing unit
6: Cover
7: first guide
8: second guide
9: adhesion part
11: first load cell
12: second load cell
13: measuring rod
14: body
Claims (6)
일렬로 배열된 복수 개의 노즐을 따라 평행하게 배치되는 레일과;
상기 레일을 따라 이송되는 이송부와;
상기 이송부로부터 연장되는 지지체와;
상기 지지체의 단부에 배치되어 노즐을 통해 분사된 유체의 압력을 직접 측정하는 센싱부와;
상기 이송부를 기 설정된 시간 간격으로 동작시켜 각 노즐을 통해 분사되는 유체의 분사 압력을 모니터링하여 불량 노즐을 검출하기 위한 제어부를 포함하는 것을 특징으로 하는
노즐 압력 측정 시스템.
In the nozzle pressure measuring system for physically inspecting whether each nozzle is defective in a washing device having a plurality of nozzles,
Rails arranged in parallel along a plurality of nozzles arranged in a line;
a transfer unit transferred along the rail;
a support extending from the transfer unit;
a sensing unit disposed at an end of the support to directly measure the pressure of the fluid injected through the nozzle;
and a control unit for detecting a defective nozzle by operating the transfer unit at a preset time interval to monitor the injection pressure of the fluid injected through each nozzle.
Nozzle pressure measuring system.
상기 지지체의 단부에 배치된 센싱부를 감싸는 커버를 더 포함하며,
상기 센싱부는
커버의 내부에 일단부가 고정되는 제1 로드셀과;
상기 제1 로드셀의 타단부에 고정되어 커버의 외측으로 노출되는 측정로드를 포함하는 것을 특징으로 하는
노즐 압력 측정 시스템.
The method of claim 1,
Further comprising a cover surrounding the sensing unit disposed at the end of the support,
The sensing unit
a first load cell having one end fixed to the inside of the cover;
and a measuring rod fixed to the other end of the first load cell and exposed to the outside of the cover
Nozzle pressure measuring system.
상기 지지체의 단부에 배치된 센싱부를 감싸는 커버를 더 포함하며,
상기 센싱부는
커버의 내부에 상단부가 고정되는 제2 로드셀과;
상기 제2 로드셀의 하단부에 일단부가 고정되는 제1 로드셀과;
상기 제1 로드셀의 타단부에 고정되어 커버의 외측으로 노출되는 측정로드를 포함하며,
상기 제1 로드셀은 수평하게 배치되어 수직 하중을 검출하고, 상기 제2 로드셀은 수직하게 배치되어 좌, 우 수평방향 하중을 검출하도록 "ㄴ"자 형태로 구성되어 노즐을 통해 분사되는 유체의 분사 방향에 따른 분사 압력을 검출할 수 있는 것을 특징으로 하는
노즐 압력 측정 시스템.
The method of claim 1,
Further comprising a cover surrounding the sensing unit disposed at the end of the support,
The sensing unit
a second load cell whose upper end is fixed to the inside of the cover;
a first load cell having one end fixed to a lower end of the second load cell;
and a measuring rod fixed to the other end of the first load cell and exposed to the outside of the cover,
The first load cell is arranged horizontally to detect a vertical load, and the second load cell is arranged vertically to detect a left and right horizontal load in a "L" shape, and the injection direction of the fluid injected through the nozzle characterized in that it is possible to detect the injection pressure according to
Nozzle pressure measuring system.
상기 측정로드는
유체의 분사 방향 검출 민감도를 높이기 위해 상하 방향 대비 좌우 방향의 분사 압력에 대한 저항이 더 크도록 삼각형 또는 마름모 형태의 단면 구조를 가진 것을 특징으로 하는
노즐 압력 측정 시스템.
4. The method of claim 3,
The measurement load is
Characterized in that it has a triangular or rhombus cross-sectional structure so that the resistance to the injection pressure in the left and right directions is greater than in the vertical direction in order to increase the detection sensitivity of the injection direction of the fluid
Nozzle pressure measuring system.
상기 레일을 감싸는 몸체를 더 포함하며,
상기 몸체는 전면에 상향으로 형성되어 상부에 개방구가 형성된 제1 가이드와;
상기 제1 가이드로부터 소정의 거리만큼 이격되어 개방구를 덮도록 하향으로 형성된 제2 가이드를 포함하며,
상기 제2 가이드의 단부 높이는 제1 가이드의 단부 높이보다 낮게 형성되어 노즐을 통해 분사된 유체가 몸체 내부로 유입되는 것을 차단하는 것을 특징으로 하는
노즐 압력 측정 시스템.
The method of claim 1,
Further comprising a body surrounding the rail,
The body is formed upwardly on the front surface of the first guide with an opening formed thereon;
It is spaced apart from the first guide by a predetermined distance and includes a second guide formed downward to cover the opening,
The height of the end of the second guide is formed lower than the height of the end of the first guide to block the fluid injected through the nozzle from flowing into the body
Nozzle pressure measuring system.
상기 제1 가이드는 단부에 하향으로 꺽여진 형태로 자체 탄성에 의해 제2 가이드에 밀착되는 복수 개의 밀착부를 더 포함하며,
상기 밀착부는
양측 단부가 사선으로 테이퍼진 경사면이 형성되어 상기 제1 가이드와 제2 가이드 사이로 이동되는 지지체가 밀착부의 경사면을 타고 올라와 밀착부를 제2 가이드로부터 이격시키도록 구성된 것을 특징으로 하는
노즐 압력 측정 시스템.
6. The method of claim 5,
The first guide further includes a plurality of contact parts that are in close contact with the second guide by their own elasticity in a downwardly bent form at the end,
The adhesion part
Wherein both ends are formed with inclined surfaces tapered obliquely, and a support moving between the first guide and the second guide is configured to climb up the inclined surface of the contact part to separate the contact part from the second guide.
Nozzle pressure measuring system.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1020210051021A KR102410735B1 (en) | 2021-04-20 | 2021-04-20 | nozzle pressure measurement system |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1020210051021A KR102410735B1 (en) | 2021-04-20 | 2021-04-20 | nozzle pressure measurement system |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR102410735B1 true KR102410735B1 (en) | 2022-06-22 |
Family
ID=82216658
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1020210051021A KR102410735B1 (en) | 2021-04-20 | 2021-04-20 | nozzle pressure measurement system |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR102410735B1 (en) |
Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20030083131A (en) | 2002-04-19 | 2003-10-30 | 주식회사 디엠에스 | Cleaning apparatus having fluid mixing nozzle for manufacturing flat panel display |
| KR100665406B1 (en) * | 1999-09-21 | 2007-01-04 | 동경 엘렉트론 주식회사 | Coating apparatus |
| JP2007075703A (en) * | 2005-09-13 | 2007-03-29 | Mitsubishi Heavy Industries Food & Packaging Machinery Co Ltd | Rotary washing apparatus, rotary sterilizing apparatus, drinking water charging line and defective container removal process of the same line |
| KR20200134582A (en) * | 2019-05-22 | 2020-12-02 | 삼성전자주식회사 | Pressure measuring apparatus |
-
2021
- 2021-04-20 KR KR1020210051021A patent/KR102410735B1/en active IP Right Grant
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