KR102409329B1 - 서셉터 및 이를 포함하는 진공챔버 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 몸체의 내부에 열선이 매설되고, 몸체의 하면에 연결된 봉에 열차단부가 설치되는 서셉터 및 이를 포함하는 진공챔버에 관한 것이다.

Description

서셉터 및 이를 포함하는 진공챔버{ Susceptor and Vaccum chamber including the same }
본 발명은 몸체 내부에 열선이 매설되고 상면에 글라스가 올려지는 서셉터 및 이를 포함하는 진공챔버에 관한 것이다.
액정표시장치(LCD)는 어레이 기판과 컬러 필터 기판 사이에 액정을 주입하여, 그 특성을 이용해 영상효과를 얻는 비발광 소자를 뜻한다. 이러한 어레이 기판과 컬러 필터 기판은 각각 유리등의 재질로 이루어지는 투명 기판 상에 수차례에 걸친 박막의 증착, 패터닝 및 식각 공정을 통해 제조되는데, 진공챔버 내부로 반응 및 소스물질이 가스상으로 유입되어 증착 공정을 진행하고자 하는 경우 진공챔버 내부에는, 기판이 안착되며 증착에 적절한 온도로 가열시킬 수 있도록 히터가 내부에 매설되는 서셉터가 설치된다.
종래의 서셉터로는 한국등록특허 제0945441호에 기재된 것이 있다(도 1 참고) .
박막 증착 반응이 진행되는 진공챔버는, 상부 리드와 챔버 바디로 구분된다. 상기 상부 리드의 내부에는 백킹 플레이트와 샤워헤드로 구성되는 가스분산부가 진공챔버의 상단을 가로질러 형성되는데, 외부의 가스저장부로부터 공급된 소스가스는 가스라인을 경유하여 상기 가스분산부로 유입된 뒤, 상기 가스분산부에 다수 설치되는 관통홀을 통하여 기판의 상면으로 분사된다. 특히, PECVD 장치에서 상기 가스분산부는 외부의 RF 전원과 연결되어 상기 기판 상에 분사된 소스가스를 플라즈마 상태로 활성화시키는 상부전극으로 기능한다.
한편, 상기 챔버 바디의 내부에는 상기 가스분산부와 소정간격 이격되는 서셉터 바디가 설치되어 그 상면으로 상기 기판이 안착된다. 상기 서셉터 바디의 중앙 하단으로는 서셉터 샤프트가 챔버 하단부를 관통하면서 결합되어 상기 서셉터 바디를 지지한다. 상기 서셉터 바디의 내면에는 히터가 매설되어 서셉터 상면으로 안치되는 상기 기판을 소정의 온도로 가열시켜 소스가스가 상기 기판의 상면으로 증착될 수 있도록 한다. 이때, 공급되는 소스가스를 플라즈마 처리하여 여기시키는 경우 상기 서셉터 바디는 전기적으로 접지되어 있다. 즉, 상기 서셉터 바디는 그 상면에 안치되는 상기 기판으로 적절한 온도의 열을 공급함과 동시에 상기 상부전극으로 기능하는 상기 가스분산부에 대응되는 하부전극으로 기능한다.
상기 서셉터 샤프트는 상기 서셉터 바디의 상면으로 상기 기판의 로딩/언로딩에 따라 상하로 승하강하여 그 상단에 결합된 서셉터 바디를 수직 방향으로 연동시킨다. 이와 같은 승하강 운동을 위해서 상기 서셉터 바디의 외주변으로는 구동부가 설치되어 모터 등의 구동수단과 연결되어 있다. 다시 말하면 상기 서셉터 샤프트는 서셉터 바디가 수평을 유지하면서 승강할 수 있도록 지지하는 역할 외에 상기 구동부를 통하여 외부로부터 전달된 동력을 전달하는 축의 역할을 수행한다.
서셉터 샤프트의 상단은 서셉터 바디의 저면 중앙과 결합한 뒤에 용접처리를 통하여 밀폐되어 있다. 상기 서셉터 바디 저면의 중앙에 인접한 영역과 주변에 인접한 영역 각각에는 서로 대칭적으로 매설홈이 형성되어 그 내부로 히터가 수용된다. 상기 매설홈으로 상기 히터가 내삽되면 그 저면으로 알루미늄 재질의 커버가 매설홈의 하단으로부터 부설된다.
한편, 상기 서셉터 바디는 상기 서셉터 바디의 저면 중앙에 연결된 상기 서셉터 샤프트를 통해 열이 전달되므로, 상기 서셉터 바디의 중앙부가 그 주변부보다 온도가 낮아지는 온도 편차가 발생한다. 상기 서셉터 바디의 중앙부와 그 주변부의 온도편차로 인해, 상기 기판의 중앙부와 그 주변부에 형성되는 막질의 특성이 서로 상이하게 된다. 소형 기판의 경우에는 위와 같은 온도 편차에 따른 막질의 특성차이가 완제품 품질에 크게 영향을 미치지 않았으나, 최근의 대형 기판에서는 온도편차에 따른 막질의 특성 변화를 줄인 고품질의 막질 형성의 필요성이 대두되었다. 그러나 종래기술로는 서셉터 바디의 중앙부와 그 주변부의 온도편차를 줄이는데 한계가 있다.
한국등록특허 제0945441호
본 발명은 전술한 문제를 해결하기 위하여 안출된 것으로, 몸체의 열균일성이 향상된 서셉터 및 이를 포함하는 진공챔버를 제공함에 그 목적이 있다.
전술한 목적을 해결하기 위하여, 본 발명의 서셉터는, 몸체; 상기 몸체의 내부에 매설되는 열선; 일단이 상기 몸체의 하면에 연결된 봉; 및 상기 봉에 설치되는 열차단부; 를 포함하는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 열차단부는 상기 봉의 내부에 설치되어 상기 봉의 상, 하부로의 열대류를 차단하는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 열차단부는 상기 몸체의 하면에 인접하여 설치되는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 열차단부는 상기 봉과 이종재질로 형성되고 상기 봉의 일부 영역을 이루어, 상기 봉의 상, 하부로의 열전도를 차단하는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 몸체와 상기 봉은 제1금속재질로 이루어지고, 상기 열차단부는 제2금속재질로 이루어지되, 상기 제2금속재질은 상기 제1금속재질보다 열전도율이 낮은 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 봉은 제1금속재질로 이루어진 제1봉 및 제2봉을 포함하고, 상기 열차단부는 상기 제1봉과 상기 제2봉 사이에 위치하는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 열차단부는 상기 봉과 이종재질로 형성되고 상기 봉의 일부 영역을 이루어, 상기 봉의 상, 하부로의 열전도를 차단하는 제1열차단부와, 상기 봉의 내부에 설치되어 상기 봉의 상, 하부로의 열대류를 차단하는 제2열차단부를 포함하되, 상기 제2열차단부는 상기 제1열차단부보다 상기 몸체의 하면에 인접하게 위치하는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 봉은 적어도 2개의 봉이 접착제로 접착된 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 접착제는 무기접착제인 것인 특징으로 한다.
또한, 상기 무기접착제는 세라믹 또는 글라스를 포함하는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 봉들이 접합되는 영역에 요철이 형성된 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 접착제는 상기 봉들 사이의 열전도를 차단하는 것을 특징으로 한다.
또한, 단부로 갈수록 직경이 작아지는 축경부를 갖는 제3봉, 단부로 갈수록 직경이 커지는 확경부를 갖는 제4봉을 포함하되, 상기 접착제는 상기 축경부의 외면과, 상기 확경부의 내면 사이에 배치되는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 봉은 아노다이징처리된 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 열차단부는 상기 몸체를 이루는 금속보다 열전도율이 낮은 금속 단열재로 이루어진 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 열차단부는 상기 몸체를 이루는 금속보다 열전도율이 낮은 비금속 단열재로 이루어진 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 열차단부는 열전도율이 0.03 W/mK 이상 35 W/mK 이하인 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 열차단부는, 유리 섬유, 에어로겔, 또는 산화알루미늄(Al2O3)의 재질로 이루어진 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 열차단부는, 스테인레스 스틸 재질로 이루어진 것을 특징으로 한다.
본 발명의 진공챔버는, 몸체; 상기 몸체의 내부에 매설되는 열선; 일단이 상기 몸체의 하면에 연결된 봉; 및 상기 봉에 설치되는 열차단부; 를 포함하는 서셉터를 포함한다.
본 발명에 의하면 다음과 같은 효과가 있다.
몸체의 열균일성이 향상됨으로, 글라스의 온도 편차를 줄일 수 있어, 고품질의 막질을 형성할 수 있다.
몸체에서 봉을 통해 열전도되어 빠져나가는 열을 줄일 수 있어, 몸체의 중앙부와 그 주변부의 온도 편차가 줄어든다.
몸체에서 봉의 내부를 통해 열대류되어 빠져나가는 열을 줄일 수 있어, 몸체의 중앙부와 그 주변부의 온도 편차가 줄어든다.
세라믹으로 이루어진 열차단부를 이용하여 제3봉 및 제4봉을 결합하기 용이하다.
도 1은 종래의 서셉터를 나타낸 단면도.
도 2는 본 발명의 바람직한 제1실시예에 따른 서셉터를 나타낸 단면도(정면 방향)
도 3은 도 2의 저면 사시도(리프트 핀 및 승강부재 제외).
도 4는 히터부의 분리 상태도.
도 5는 도 2의 봉을 확대 도시한 단면도.
도 6은 도 2의 글라스가 상승된 서셉터의 단면도.
도 7은 본 발명의 바람직한 제2실시예에 따른 봉의 확대 단면도.
이하, 첨부한 도면들을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시 예를 상세히 설명하기로 한다. 본 발명의 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 첨부한 도면들과 함께 상세히 후술된 실시 예를 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 여기서 설명하는 실시 예에 한정된 것이 아니라 서로 다른 형태로 구체화될 수도 있다. 오히려, 여기서 소개되는 실시 예는 개시된 내용이 철저하고 완전해질 수 있도록, 그리고 당업자에게 본 발명의 사상이 충분히 전달될 수 있도록 하기 위해 제공되는 것이며, 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다. 명세서 전문에 걸쳐 동일 참조 부호는 동일 구성 요소를 지칭한다.
본 명세서에서 사용된 용어는 실시 예들을 설명하기 위한 것이며 본 발명을 제한하고자 하는 것은 아니다. 본 명세서에서, 단수형은 문구에서 특별히 언급하지 않는 한 복수형도 포함한다. 명세서에서 사용되는 '포함한다(comprises)' 및/또는 '포함하는(comprising)'은 언급된 구성요소, 단계, 동작 및/또는 소자는 하나 이상의 다른 구성요소, 단계, 동작 및/또는 소자의 존재 또는 추가를 배제하지 않는다. 또한, 바람직한 실시 예에 따른 것이기 때문에, 설명의 순서에 따라 제시되는 참조 부호는 그 순서에 반드시 한정되지는 않는다.
본 명세서에서 기술하는 실시 예들은 본 발명의 이상적인 예시 도인 단면도 및/또는 평면도들을 참고하여 설명될 것이다. 도면들에 있어서, 막 및 영역들의 두께는 기술적 내용의 효과적인 설명을 위해 과장된 것이다. 따라서, 제조 기술 및/또는 허용 오차 등에 의해 예시도의 형태가 변형될 수 있다. 따라서, 본 발명의 실시 예들은 도시된 특정 형태로 제한되는 것이 아니라 제조 공정에 따라 생성되는 형태의 변화도 포함하는 것이다. 따라서, 도면에서 예시된 영역들은 개략적인 속성을 가지며, 도면에서 예시된 영역들의 모양은 소자의 영역의 특정 형태를 예시하기 위한 것이며 발명의 범주를 제한하기 위한 것이 아니다.
참고적으로, 이하에서 설명될 본 발명의 구성들 중 종래기술과 동일한 구성은 전술한 종래기술을 비롯하여 종래에 많이 공지되어 있으므로, 별도의 상세한 설명은 생략한다.
본 발명의 바람직한 제1실시예에 따른 서셉터는, 도 2 내지 도 6에 도시한 바와 같이, 몸체(100);와, 몸체(100)의 내부에 매설되는 열선(114);과, 일단이 몸체(100)의 하면에 연결된 봉(300); 및 봉(300)에 설치되는 열차단부(130);를 포함하는 것을 특징으로 한다.
몸체(100)의 상면에는 글라스(500)가 올려지고, 글라스(500)를 들어올리는 리프트 핀(400)이 몸체(100)를 관통하여 배치된다.
몸체(100)는 도 2 및 도 3에 도시한 바와 같이, 직육면체 형상으로 형성된다. 몸체(100)의 상면에는 직육면체 형상의 글라스(500)가 올려진다. 몸체(100)는 알루미늄 재질이 바람직할 수 있고, 표면이 양극산화처리 될 수 있다.
몸체(100)는 몸체(100)의 내부에 매설되는 열선(114)을 포함하는 히터부(110)와, 리프트 핀(400)이 삽입되는 관통구(150)를 포함하여 이루어진다.
히터부(110)는 도 3에 도시한 바와 같이, 몸체(100)의 하면에 형성된다. 특별히, 도 3과 같이, 몸체(100)의 하면 중에서 중앙부에 인접한 부분과, 테두리에 인접한 부분에 형성될 수 있다.
히터부(110)는, 도 2 내지 도 4에 도시한 바와 같이, 몸체(100)의 하면에 형성된 홈(112)과, 홈(112)의 내부에 삽입된 열선(114)과, 열선(114)의 하측에 배치된 지지부재(116)와, 지지부재(116)의 하측에 배치되어 홈(112)의 개구를 덮는 커버(118)를 포함하여 이루어진다.
홈(112)은 도 4와 같이, 몸체(100)의 하면에서 상측으로 볼록하게 형성된다. 그리고 홈(112)의 내부를 따라 열선(114)이 삽입된다. 도 4에 도시한 바와 같이, 홈(112)은 개구의 폭이, 상기 개구의 상측부의 폭보다 크다.
열선(114)은 홈(112)을 따라 삽입되고, 도 2와 같이, 몸체(100)의 하면 중앙에 결합된 봉(300)의 내부를 관통하여 연장 형성된다. 열선(114)을 통해 몸체(100)가 가열되고, 열전도를 통해 몸체(100) 상면의 글라스(500)가 가열된다.
도 2 및 도 4에 도시한 바와 같이, 열선(114)의 하측에는 지지부재(116)가 배치된다. 지지부재(116)는 열선(114)과 커버(118) 사이에 위치한다. 지지부재(116)의 상면은 하측으로 볼록한 포물선 형상을 이룬다. 지지부재(116)의 상면에 열선(114)이 올려져, 열선(114)을 지지한다.
지지부재(116)의 하측에는 커버(118)가 배치된다. 커버(118)는 홈(112)의 상기 개구에 삽입되어 홈(112)의 상기 개구를 덮는다. 커버(118)는 몸체(100)의 하면에 용접(특별히, 마찰교반용접)으로 결합될 수 있다. 커버(118)의 폭은 지지부재(116)보다 크다.
한편, 몸체(100)에는 도 3과 같이, 다수 개의 관통구(150)가 형성된다. 관통구(150)는 도 2와 같이, 몸체(100)의 상, 하면을 관통하여 형성된다. 관통구(150)의 내부에는 리프트 핀(400)이 배치되어 상하로 이동하며 글라스(500)를 들어올리게 된다.
글라스(500)는 몸체(100)의 상면에 올려진 후, 막질의 형성, 패터닝 및 식각 공정 등을 거치게 되며, 도 6과 같이, 리프트 핀(400)에 의해 들어올려지게 된다. 글라스(500)가 들어올려지면, 몸체(100)의 상면과 글라스(500) 사이의 공간으로 이동부재가 삽입되어 글라스(500)를 이동시키게 된다.
리프트 핀(400)은 막대 형상으로 형성되며, 상부의 단면이 역삼각형 형상으로 형성된다. 리프트 핀(400)의 하단은 승강부재(405)에 연결된다. 리프트 핀(400)은 몸체(100)에 형성된 관통구(150)의 내부를 왕복하며 글라스(500)를 들어올리거나, 내리게 된다.
승강부재(405)는 도 2 및 도 6에 도시한 바와 같이, 봉(300)의 외주에 인접하여 배치된 원통부와, 상기 원통부의 상단에 연결된 평판부를 포함하여 이루어진다. 리프트 핀(400)은 상기 평판부의 상면에 연결된다.
승강부재(405)는 도 2 및 도 6에 도시한 바와 같이, 상하로 이동하며 리프트 핀(400)을 통해 글라스(500)를 들어올리거나 내리는 역할을 한다.
한편, 몸체(100)의 하면 중앙에는 도 2, 도 3 및 도 5에 도시한 바와 같이, 원통 형상의 봉(300)이 결합된다. 봉(300)은 중공으로 형성되고, 봉(300)의 상단은 몸체(100)의 하면 중앙에 용접(특별히, 마찰교반용접)될 수 있다. 봉(300)의 내부에는 몸체(100)에 매설된 열선(114)이 연장되어 배치된다. 봉(300)은 몸체(100)를 지지하고, 외측에 승강부재(405)가 배치된다.
봉(300)에는 열차단부(330,340)가 설치되되, 열차단부(330,340)는 봉(300)의 일부 영역을 이루는 제1열차단부(330)와, 봉(300)의 내부에 설치되는 제2열차단부(340)를 포함한다.
봉(300)은 몸체(100)의 하면에 결합되는 제1봉(310)과, 제1봉(310)의 하단에 결합된 제1열차단부(330)와, 제1열차단부(330)의 하단에 결합된 제2봉(320)을 포함하여 이루어진다. 몸체(100), 제1봉(310) 및 제2봉(320)은 제1금속재질로 이루어질 수 있고, 제1열차단부(330)는 제2금속재질로 이루어질 수 있다.
전술한 바와 같이, 제1열차단부(330)는 제1봉(310) 및 제2봉(320)과 이종재질로 형성되고, 제1봉(310)과 제2봉(320) 사이에 위치하여 봉(300)의 일부 영역을 이룬다. 제1열차단부(330)는 제1봉(310) 및 제2봉(320)과 일체로 형성된다. 제1열차단부(330)는 제1봉(310) 및 제2봉(320)에 용접(바람직하게는, 마찰교반용접일 수 있다) 결합으로 연결될 수 있다.
몸체(100), 제1봉(310) 및 제2봉(320) 모두 상기 제1금속재질로 이루어져 재질이 동일하다. 상기 제1금속재질은 열전도율이 좋은 알루미늄이 바람직할 수 있다. 제1열차단부(330)의 재질인 상기 제2금속재질은, 상기 제1금속재질보다 열전도율이 낮다.
제1열차단부(330)는 몸체(100)를 이루는 금속(바람직하게는, 알루미늄일 수 있다)인 상기 제1금속재질보다 열전도율이 낮은 금속 단열재일 수 있다.
또는 전술한 바와 달리, 제1열차단부(330)는 상기 제1금속재질보다 열전도율이 낮은 비금속 단열재일 수 있다.
제1열차단부(330)는 스테인레스 스틸 재질이 바람직할 수 있고, 열전도율은 0.03 W/mK 이상 35 W/mK 이하가 바람직할 수 있다.
이상과 같은 제1열차단부(330)를 통해 봉(300)의 상, 하부로의 열전도를 차단할 수 있다. 다시 말해, 제1봉(310)과 제2봉(320) 사이의 열전도를 차단하여, 몸체(100)에서 봉(300)을 통해 열전도되어 빠져나가는 열을 줄일 수 있다. 이로 인해, 몸체(100)의 중앙부와 그 주변부의 온도 편차를 줄일 수 있다.
한편, 제2열차단부(340)는 도 2 및 도 5에 도시한 바와 같이, 봉(300)의 내부에 설치된다. 특별히, 제2열차단부(340)는 제1봉(310)의 내부에 설치되되, 몸체(100)의 하면에 인접하여 설치되는 것이 바람직할 수 있다.
제2열차단부(340)는 제1봉(310)의 내부 중 적어도 일부를 채울 수 있다. 제2열차단부(340)는 열선(114)을 감싸면서 제1봉(310)의 내부 공간을 채워, 봉(300)의 상, 하부로의 열대류를 차단한다.
제2열차단부(340)도 제1열차단부(330)와 마찬가지로 상기 제2금속재질로 이루어질 수 있다. 제2열차단부(340)는 몸체(100)를 이루는 금속(바람직하게는, 알루미늄일 수 있다)인 상기 제1금속재질보다 열전도율이 낮은 금속 단열재일 수 있다.
또는 전술한 바와 달리, 제2열차단부(340)는 상기 제1금속재질보다 열전도율이 낮은 비금속 단열재일 수 있다.
제2열차단부(340)는 유리 섬유, 에어로겔, 또는 산화알루미늄(Al2O3)의 재질이 바람직할 수 있고, 열전도율은 0.03 W/mK 이상 35 W/mK 이하가 바람직할 수 있다.
이상과 같은 제2열차단부(340)를 통해, 봉(300)의 상, 하부로의 열대류를 차단하여, 몸체(100)의 하면에서 열대류를 통해 봉(300)의 내부로 빠져나가는 열을 줄일 수 있다. 그래서 몸체(100)의 중앙부와 그 주변부의 온도 편차가 줄어든다.
제2열차단부(340)는 제1열차단부(330)보다 몸체(100)의 하면에 인접하게 위치한다.
글라스(500)는 몸체(100)와의 열전도에 의해 가열된 상태에서 막질이 형성되므로, 몸체(100)의 온도 편차는 글라스(500)의 온도 편차를 유발하게 된다.
몸체(100)의 중앙부는 봉(300)과의 열전달로 인해, 그 주변부보다 온도가 낮아지는 특성이 있다. 본 발명은 봉(300)에 열차단부(330,340)가 설치되어, 몸체(100)의 하면 중앙에 결합된 봉(300)으로 열전도 및 열대류를 통해 열이 빠져나가는 것을 차단할 수 있기 때문에, 몸체(100)의 중앙부와 그 주변부 사이의 온도 편차를 줄일 수 있다. 다시 말해, 몸체(100)의 중앙부와 그 주변부의 열균일성이 향상됨으로써, 결과적으로 글라스(500)의 중앙부와 그 주변부의 온도 편차가 줄어 고품질의 막질을 형성할 수 있다.
한편, 제2실시예에 따른 봉(360)은, 도 7에 도시한 바와 같이, 적어도 2개의 봉(362,364)이 접착제(370)로 접착된 것이다. 도 7과 같이, 제3봉(362)과 제4봉(364)이 접착제(370)로 접착된다. 접착제(370)는 무기접착제가 바람직할 수 있고, 세라믹 또는 글라스를 포함할 수 있다. 접착제(370)는 제3봉(362)과 제4봉(364) 사이에 위치한다. 또한, 봉(360)은 제4봉(364)의 하단에 결합되는 제5봉(366)을 더 포함한다. 봉(360)의 내부에는 열선(114)이 배치된다. 접착제(370)는 제3봉(362)과 제4봉(364) 사이의 열전도를 차단하는 것일 수 있다.
제3봉(362)은 중공인 원통 형상으로 형성되고, 상단이 몸체의 하면에 결합된다. 제3봉(362)은 몸체의 하면에 용접(바람직하게는 마찰교반용접) 결합될 수 있다. 제3봉(362)의 상부는 확경되어 있다.
그리고 제3봉(362)의 하부는 하단부로 갈수록 직경이 작아지는 축경부(363)를 포함한다. 제3봉(362)의 하측에는 제4봉(364)이 이격되어 배치되고, 제3봉(362)과 제4봉(364)의 사이에는 접착제(370)가 배치된다.
제4봉(364)은 중공인 원통 형상으로 형성되고, 제4봉(364)의 상부는 상단부로 갈수록 직경이 커지는 확경부(365)를 포함한다.
접착제(370)는 축경부(363)의 외면과, 확경부(365)의 내면 사이에 배치된다.
접착제(370)의 일면은 축경부(363)의 외면에 접하고, 타면은 확경부(365)의 내면에 접한다. 접착제(370)는 제3봉(362)과 제4봉(364)을 서로 결합시킨다. 제3봉(362) 및 제4봉(364)은 접착제(370)에 의해 본딩된다. 접착제(370)는 제3봉(362) 및 제4봉(364)을 이루는 재질보다 열전도율이 낮아서 그 사이의 열전도를 차단하게 된다.
제3봉(362)의 축경부(363)는 제4봉(364)의 확경부(365)의 내부로 삽입된다. 그리고 축경부(363)의 외면과 확경부(365)의 내면은 나란히 배치되고, 그 사이에 위치하는 접착제(370)를 통해 서로 결합된다.
제3봉과 제4봉이 접합되는 영역인, 축경부(363)의 외면과, 확경부(365)의 내면에는 요철(미도시)이 형성될 수 있다. 요철로 인해 축경부(363)의 외면과 확경부(365)의 내면사이의 인접하는 면적이 넓어져 더 견고히 접합될 수 있다.
전술한 바와 같이, 제3봉(362) 및 제4봉(364)이 각각 축경부(363) 및 확경부(365)를 포함하여 둘 사이에 넓은 면적이 인접하도록 배치하기 용이하다. 따라서, 접착제(370)를 이용하여 제3봉(362) 및 제4봉(346)을 결합하기 용이하다.
또한, 제3봉(362) 및 제4봉(364)은 표면이 아노다이징처리될 수 있다. 아노다이징처리된 제3봉(362) 및 제4봉(364)의 표면은 제3봉(362) 및 제4봉(364)을 이루는 재질보다 열전도율이 낮다.
아노다이징처리된 제3봉(362) 및 제4봉(364)의 표면과, 제3봉(362) 및 제4봉(364) 사이의 접착제(370)를 통해 제3봉(362) 및 제4봉(364) 사이의 열전도가 이중으로 차단되는 효과가 있다.
또한, 제4봉(364)의 하단에는 제5봉(366)이 결합될 수 있다. 제4봉(364)의 하단과 제5봉(366)의 상단은 서로 용접(바람직하게는 마찰교반용접) 결합될 수 있다. 제5봉(366)은 중공인 원통 형상이고, 아노다이징처리될 수 있다.
본 발명의 진공챔버(미도시)는 전술한 바와 같은 몸체(100)와, 몸체(100)의 내부에 매설되는 열선(114)과, 일단이 몸체(100)의 하면에 연결된 봉(300,360)과, 봉(300,360)에 설치되는 열차단부(330,340,370)를 포함하는 서셉터를 포함한다. 진공챔버에 대해서는 전술한 종래기술을 비롯하여 종래에 많이 공지되어 있으므로, 별도의 상세한 설명은 생략한다.
상술한 바와 같이, 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당기술분야의 당업자는 하기의 특허청구범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 또는 변형하여 실시할 수 있다.
100: 몸체 110: 히터부
112: 홈 114: 열선
116: 지지부재 118: 커버
150: 관통구 170: 측면
300: 봉 310: 제1봉
320: 제2봉 330, 340: 열차단부
330: 제1열차단부 340: 제2열차단부
360: 봉 362: 제3봉
363: 축경부 364: 제4봉
365: 확경부 366: 제5봉
370: 접착제,열차단부 400: 리프트 핀
405: 승강부재 500: 글라스

Claims (20)

  1. 몸체;
    상기 몸체의 내부에 매설되는 열선;
    일단이 상기 몸체의 하면에 연결된 봉; 및
    상기 봉에 설치되는 열차단부; 를 포함하고,
    상기 봉은, 제1봉과 제2봉을 포함하고,
    상기 열차단부는, 상기 제1봉 및 상기 제2봉과 이종재질로 형성되는 제1열차단부와 제2열차단부를 포함하고,
    상기 제1봉은, 상기 몸체의 하면에 결합되고,
    상기 제1열차단부는, 상기 제1봉의 하단에 결합되고,
    상기 제2봉은, 상기 제1열차단부의 하단에 결합되고,
    상기 제1열차단부는, 상기 제1봉과 상기 제2봉 사이에 위치하여 상기 제1봉과 상기 제2봉 사이의 열전도를 차단하고,
    상기 제2열차단부는, 상기 몸체의 하면에 인접하도록 상기 제1봉의 내부에 설치되고, 상기 제1봉의 내부 공간을 적어도 일부 채워 상기 몸체의 하면에서 열대류를 통해 상기 봉의 내부로 빠져나가는 열을 줄이는 것을 특징으로 하는 서셉터.
  2. 삭제
  3. 삭제
  4. 삭제
  5. 삭제
  6. 삭제
  7. 삭제
  8. 청구항 1에 있어서,
    상기 봉은 적어도 2개의 봉이 접착제로 접착된 것을 특징으로 하는 서셉터.
  9. 청구항 8에 있어서,
    상기 접착제는 무기접착제인 것인 특징으로 하는 서셉터.
  10. 청구항 9에 있어서,
    상기 무기접착제는 세라믹 또는 글라스를 포함하는 것을 특징으로 하는 서셉터.
  11. 청구항 8에 있어서,
    상기 봉들이 접합되는 영역에 요철이 형성된 것을 특징으로 하는 서셉터.
  12. 청구항 8에 있어서,
    상기 접착제는 상기 봉들 사이의 열전도를 차단하는 것을 특징으로 하는 서셉터.
  13. 청구항 8에 있어서,
    단부로 갈수록 직경이 작아지는 축경부를 갖는 제3봉,
    단부로 갈수록 직경이 커지는 확경부를 갖는 제4봉을 포함하되,
    상기 접착제는 상기 축경부의 외면과, 상기 확경부의 내면 사이에 배치되는 것을 특징으로 하는 서셉터.
  14. 청구항 8에 있어서,
    상기 봉은 아노다이징처리된 것을 특징으로 하는 서셉터.
  15. 청구항 1에 있어서,
    상기 열차단부는 상기 몸체를 이루는 금속보다 열전도율이 낮은 금속 단열재로 이루어진 것을 특징으로 하는 서셉터.
  16. 청구항 1에 있어서,
    상기 열차단부는 상기 몸체를 이루는 금속보다 열전도율이 낮은 비금속 단열재로 이루어진 것을 특징으로 하는 서셉터.
  17. 청구항 1에 있어서,
    상기 열차단부는 열전도율이 0.03 W/mK 이상 35 W/mK 이하인 것을 특징으로 하는 서셉터.
  18. 청구항 1에 있어서,
    상기 열차단부는, 유리 섬유, 에어로겔, 또는 산화알루미늄(Al2O3)의 재질로 이루어진 것을 특징으로 하는 서셉터.
  19. 청구항 1에 있어서,
    상기 열차단부는, 스테인레스 스틸 재질로 이루어진 것을 특징으로 하는 서셉터.
  20. 몸체;
    상기 몸체의 내부에 매설되는 열선;
    일단이 상기 몸체의 하면에 연결된 봉; 및
    상기 봉에 설치되는 열차단부; 를 포함하고,
    상기 봉은, 제1봉과 제2봉을 포함하고,
    상기 열차단부는, 상기 제1봉 및 상기 제2봉과 이종재질로 형성되는 제1열차단부와 제2열차단부를 포함하고,
    상기 제1봉은, 상기 몸체의 하면에 결합되고,
    상기 제1열차단부는, 상기 제1봉의 하단에 결합되고,
    상기 제2봉은, 상기 제1열차단부의 하단에 결합되고,
    상기 제1열차단부는, 상기 제1봉과 상기 제2봉 사이에 위치하여 상기 제1봉과 상기 제2봉 사이의 열전도를 차단하고,
    상기 제2열차단부는, 상기 몸체의 하면에 인접하도록 상기 제1봉의 내부에 설치되고, 상기 제1봉의 내부 공간을 적어도 일부 채워 상기 몸체의 하면에서 열대류를 통해 상기 봉의 내부로 빠져나가는 열을 줄이는 것을 포함하는 서셉터를 포함하는 진공챔버.
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