KR102404110B1

KR102404110B1 - 펌프

Info

Publication number: KR102404110B1
Application number: KR1020200115605A
Authority: KR
Inventors: 김도현
Original assignee: 한온시스템이에프피코리아 주식회사
Priority date: 2020-09-09
Filing date: 2020-09-09
Publication date: 2022-06-02
Also published as: KR20220033331A

Abstract

본 발명은, 유체탱크에 저장된 유체를 펌핑시켜 엔진의 메인 갤러리에 공급하는 펌프로, 유체가 펌핑되는 펌핑실과, 상기 펌핑실의 체적을 변화시키는 제어 챔버와, 상기 제어 챔버의 압력을 제어하는 제어 밸브를 포함하고, 상기 제어 밸브는 상기 펌핑실로부터 토출된 유체를 다시 펌프로 안내하는 피드백 유로와 상기 제어 챔버 사이에 구비되고, 상기 제어 밸브는, 상기 피드백 유로와 연결되는 제1 포트; 상기 제어 챔버와 연결되는 제2 포트; 및 상기 유체 탱크와 연결되는 제3 포트를 포함하고, 상기 피드백 유로의 압력이 일정 압력 이상이면 상기 제1 포트와 상기 제2 포트가 연통되어 상기 피드백 유로의 최대 압력을 제한하고, 상기 피드백 유로의 압력이 일정 압력 미만이면 상기 제2 포트와 상기 제3 포트가 연통되는 것을 특징으로 하는 펌프를 제공한다.

Description

펌프{PUMP}

본 발명은 펌프에 관한 것으로, 보다 상세하게는 하나의 제어 챔버와 밸브를 갖는 펌프에 관한 것이다.

일반적으로, 자동차의 엔진에는 윤활 및 냉각 등을 위한 목적으로 오일이 요구되고, 오일을 공급하기 위해 오일 펌프가 구비된다. 오일 펌프는 엔진 회전수(RPM)에 따라 오일을 적절한 유량 및 유압으로 공급할 필요가 있어, 유량 및 유압을 가변적으로 공급할 수 있는 가변 용량형 오일 펌프가 널리 이용된다.

종래 오일 펌프는 유량 및 유압을 제어하기 위해 2개의 제어 챔버를 포함하고, 밸브가 열릴 경우에만 제1 챔버의 오일이 제2 챔버로 유동할 수 있어 2단 가변 제어가 가능하다. 그런데, 이러한 구조에서는 제1 챔버에는 항상 유압이 작용하는 상태이므로 오일 펌프의 고회전 영역에서 공동(Cativation) 현상이 발생하면, 슬라이드의 내부와 외부의 압력 균형이 깨지면서 슬라이드가 의도치 않게 이동하여 개변된다. 이같이 의도치 않은 시점에 개변되면 토출되는 오일의 유량과 유압이 목표한 값에 미치지 못하게 되어 결과적으로 엔진에 적절한 유량 및 유압을 갖는 오일을 공급하지 못하는 문제점이 있다.

따라서, 고회전 영역에서 공동 현상이 발생하더라도 스스로 개변되지 않고 성능을 유지할 수 있는 펌프의 개발이 필요하다.

본 발명은 전술한 문제를 해결하기 위한 것으로, 고회전 구간에서도 성능을 유지할 수 있는 펌프를 제공하는 것을 목적으로 한다.

전술한 과제를 해결하기 위해, 본 발명의 실시예는, 유체 탱크에 저장된 유체를 펌핑시켜 엔진의 메인 갤러리에 공급하는 펌프로, 유체가 펌핑되는 펌핑실과, 상기 펌핑실의 체적을 변화시키는 제어 챔버와, 상기 제어 챔버의 압력을 제어하는 제어 밸브를 포함하고, 상기 제어 밸브는 상기 펌핑실로부터 토출된 유체를 다시 펌프로 안내하는 피드백 유로와 상기 제어 챔버 사이에 구비되고, 상기 제어 밸브는, 상기 피드백 유로와 연결되는 제1 포트; 상기 제어 챔버와 연결되는 제2 포트; 및 상기 유체 탱크와 연결되는 제3 포트를 포함하고, 상기 피드백 유로의 압력이 일정 압력 이상이면 상기 제1 포트와 상기 제2 포트가 연통되어 상기 피드백 유로의 최대 압력을 제한하고, 상기 피드백 유로의 압력이 일정 압력 미만이면 상기 제2 포트와 상기 제3 포트가 연통되는 것을 특징으로 하는 펌프를 제공한다.

또한, 본 발명의 실시예에 따르면, 상기 피드백 유로는, 메인 갤러리에 공급된 유체를 상기 제어 밸브로 안내할 수 있다.

또한, 본 발명의 실시예에 따르면, 상기 피드백 유로는, 상기 펌핑실로부터 토출되어 상기 메인 갤러리에 공급되기 전의 유체를 상기 제어 밸브로 안내할 수 있다.

또한, 본 발명의 실시예에 따르면, 상기 제어 밸브는, 바디; 상기 바디 내부에 이동 가능하게 장착되는 스풀; 및 상기 스풀을 지지하는 밸브 스프링;을 포함하고, 상기 스풀이 이동함에 따라서 상기 제1 포트 및 상기 제2 포트가 연통되거나, 상기 제2 포트와 상기 제3 포트가 연통되도록 작동할 수 있다.

또한, 본 발명의 실시예에 따르면, 상기 스풀은 상기 제1 포트를 폐쇄하는 부분의 외경보다 상기 제2 포트를 폐쇄하는 부분의 외경이 더 크게 형성되어, 상기 제1 포트측 유체와 상기 제2 포트측 유체의 압력 차이에 의해 개방 가능할 수 있다.

또한, 본 발명의 실시예에 따르면, 상기 제어 밸브는, 전류를 인가하여 스풀을 이동시킴으로써 개방 가능한 솔레노이드 밸브일 수 있다.

또한, 본 발명의 실시예에 따르면, 상기 제어 밸브는 비례 제어 방식으로 작동되어 개방된 정도를 연속적으로 조절 가능할 수 있다.

또한, 본 발명의 실시예에 따르면, 상기 제어 챔버의 압력이 증가함에 따라 상기 펌핑실을 둘러싸도록 구비되는 슬라이드가 이동하여 상기 펌핑실의 체적을 변화시킬 수 있다.

또한, 본 발명의 실시예에 따르면, 상기 슬라이드는 스프링에 의해 탄성 지지되어 상기 제어 챔버의 압력이 감소하면 원래의 위치로 복귀될 수 있다.

또한, 본 발명의 실시예에 따르면, 상기 제2 포트와 상기 제어 챔버를 연결하는 제어 유로를 더 포함할 수 있다.

본 발명의 실시예에 따른 펌프는, 고회전 구간에서도 오일의 유량과 유압을 적절하게 유지할 수 있다.

또한, 하나의 제어 챔버와 하나의 밸브를 포함하여 펌프의 구조가 단순하고, 제조 비용이 절감된다.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 펌프를 포함하는 오일 순환 시스템을 나타낸 도면,
도 2는 도 1에서 IPR 솔레노이드 밸브가 열린 상태를 나타낸 도면,
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 펌프의 내부를 나타낸 도면,
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 펌프에서 IPR 솔레노이드 밸브를 나타낸 단면도,
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 펌프를 포함하는 오일 순환 시스템의 다른 실시예를 나타낸 도면,
도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 펌프의 성능 시험 결과를 나타낸 그래프이다.

이하에서는 본 발명의 일 실시예에 따른 펌프와 이를 포함하는 오일 순환 시스템에 대해 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명한다.

먼저, 도 1 및 도 2를 참조하여 본 발명의 일 실시예에 따른 오일 펌프(100)를 포함하는 오일 순환 시스템에 대하여 설명한다. 본 실시예에서 작동 유체는 오일인 것으로 설명하지만 이 밖의 다른 유체가 사용되는 변경도 가능하다.

도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일 실시예에 따른 오일 펌프(100)는 오일 순환 시스템의 일부로서 오일 탱크(10)에 체류하는 오일을 펌핑시켜 메인 갤러리(20)에 공급하는 역할을 한다. 상기 오일 탱크(10)는 오일이 저장되는 공간이며, 상기 메인 갤러리(20)는 엔진 내부에 형성되는 주된 오일 유로로, 오일 공급을 필요로 하는 여러 부분을 향하도록 분개될 수 있다.

상기 오일 탱크(10)에 저장된 오일이 흡입 유로(S)를 통해 상기 오일 펌프(100)로 유동한다. 그리고, 후술할 펌핑실(114)에서 가압된 오일이 토출 유로(D)를 통해 상기 메인 갤러리(20)로 토출된다.

상기 메인 갤러리(20)로 토출된 오일은 엔진의 실린더 등에 공급되어 윤활 및 냉각 등의 기능을 수행한 후 다시 상기 오일 탱크(10)로 복귀하게 된다.

상기 메인 갤러리(20)에서, 일부 오일은 피드백 유로(F)를 통해 제어 밸브로 유동한다. 본 실시예에서는 제어 밸브의 예시로 IPR 솔레노이드 밸브(Integrated Pressure Relief Solenoid Valve)(200)가 구비된다. 상기 IPR 솔레노이드 밸브(200)는 상기 오일 펌프(100)에서 토출되는 오일의 유량 및 유압을 조절하기 위해 구비되는 것이다. 상기 IPR 솔레노이드 밸브(200)의 상세한 구조 및 기능에 관하여서는 후술하기로 한다.

상기 피드백 유로(F)를 통해 상기 IPR 솔레노이드 밸브(200)로 향하는 오일이 일정 압력보다 작은 경우에는 상기 IPR 솔레노이드 밸브(200)가 개방되지 않아 제어 챔버(140)로의 유동이 불가하다. 이같이 IPR 솔레노이드 밸브(200)가 닫힌 상태(OFF)에 해당하는 오일 순환 시스템이 도 1에 나타나 있다. 다만, 상기 펌핑실(114)로부터 상기 제어 챔버(140)로 리크(leak)되는 소량의 오일은 상기 IPR 솔레노이드 밸브(200)를 거쳐서 드레인 유로(DR)을 통해 상기 오일 탱크(10)로 회수될 수 있다.

반면, 상기 피드백 유로(F)를 통해 상기 IPR 솔레노이드 밸브(200)로 향하는 오일이 일정 압력 이상인 경우에는 상기 IPR 솔레노이드 밸브(200)가 전부 또는 일부 개방된다. 이같이 IPR 솔레노이드 밸브(200)가 열린 상태(ON)에 해당하는 오일 순환 시스템이 도 2에 나타나 있다. 이때 오일이 상기 IPR 솔레노이드 밸브(200)로부터 제어 유로(C)를 통해 상기 제어 챔버(140)로 유동하고, 상기 제어 챔버(140)의 압력이 상승하면 상기 펌핑실(114)의 체적이 변화된다. 이에 의하여, 토출되는 오일의 유량 및 유압이 감소하게 된다.

도 3에 도시된 바와 같이, 본 실시예에 따른 오일 펌프(100)는, 외관을 형성하며 내부에 공간과 유로들이 형성되는 하우징(110), 상기 하우징(110)에 회전 가능하게 장착되는 로터(120), 상기 로터(120)와 일치하지 않는 중심을 갖고 상기 로터(120)를 둘러싸는 슬라이드(130), 상기 로터(120)와 상기 슬라이드(130) 사이의 공간으로써 상기 로터(120)의 회전에 의해 오일을 펌핑시키는 펌핑실(114), 상기 슬라이드(130)와 상기 하우징(110) 사이의 공간으로 오일이 체류되는 제어 챔버(140), 피드백 유로(F)와 연결되어 상기 제어 챔버(140)의 유압을 조절하는 IPR 솔레노이드 밸브(200)를 포함한다.

상기 하우징(110)은 상기 오일 펌프의 외관을 형성하는 것으로, 도시되지 않은 커버와 결합될 수 있다. 상기 하우징의 내부에는 상기 로터(120) 및 상기 슬라이드(130)와 같은 부품이 장착될 수 있도록 공간이 형성된다. 그리고 상기 하우징(110)에는 상기 오일 탱크(10)로부터 오일을 흡입하는 흡입공(112), 펌핑된 오일을 상기 메인 갤러리(20)로 토출시키기 위한 토출 유로(D) 및 토출공(116)이 형성된다. 다만, 상기 토출 유로(D)는 반드시 상기 하우징(110) 내부에 형성되어야 하는 것은 아니고, 오일 펌프와 엔진이 이격되도록 배치되는 경우에는 상기 하우징(110)에는 토출공(116)만이 형성되고 상기 토출 유로(D)가 상기 하우징(110) 외부로 연장될 수도 있다. 이러한 세부적인 구조들은 오일 펌프의 용량이나 하우징(110)의 크기 등을 고려하여 적절하게 선택될 수 있다. 한편, 상기 하우징(110)에는 상기 IPR 솔레노이드 밸브(200)가 구비된다. 즉, 상기 IPR 솔레노이드 밸브(200)는 상기 오일 펌프(100)에 일체로 구비되는 것이고, 이는 IPR 솔레노이드 밸브(200)와 연결되는 유로들의 길이나 형상을 짧고 단순화하여 유압의 손실 등을 방지하고 제조 비용을 절감시키기는 효과가 있다.

상기 로터(120)는 엔진과 연동되어 회전하는 구동축과 연결되어 엔진 RPM에 따라 다른 회전속도로 회전할 수 있다. 상기 로터(120)의 외주면에는 방사상으로 복수의 베인이 결합되어 상기 로터(120)의 회전에 의해 오일이 펌핑된다.

상기 슬라이드(130)는 일측에서 힌지(132)에 의해 상기 하우징(110)과 결합되고, 타측에서 스프링(134)과 맞닿아 있다. 상기 슬라이드(130)는 상기 제어 챔버(140)에서 상기 슬라이드(130)에 가하는 압력에 의해 상기 힌지(132)를 중심으로 피벗 운동한다.

상기 제어 챔버(140)는 상기 펌핑실(114)과는 구분된 공간이며, 상기 슬라이드(130)와 상기 하우징(110) 사이의 틈새에 해당한다. 상기 제어 챔버(140)는 상기 스프링(134)의 반대측에 위치하여 상기 스프링(134)이 상기 슬라이드(130)에 가하는 힘과 반대 방향으로 압력을 작용한다.

이에 대해 구체적으로 설명하면, 상기 제어 챔버(140)의 압력이 높아지면 상기 슬라이드(130)가 도면상 반시계 방향으로 회전하려는 힘을 받고 이것이 상기 스프링(134)이 상기 슬라이드(130)에 가하는 힘보다 크면 상기 슬라이드(130)가 이동하는 것이고, 상기 제어 챔버(140)의 압력이 낮아지면 상기 스프링(134)의 탄성력에 의해 상기 슬라이드(130)가 도면상 시계 방향으로 회전하게 된다.

이같은 원리로 상기 슬라이드(130)가 이동하여 상기 펌핑실(114)의 체적이 변하고, 이로 인해 상기 오일 펌프(100)에서 토출되는 오일의 유량 및 유압이 변하게 된다.

상기 IPR 솔레노이드 밸브(200)에 관하여 상세하게 설명한다. 도 4에 도시된 바와 같이, 상기 IPR 솔레노이드 밸브(200)는 외관을 형성하고 내부에 공간이 형성되며 제1 포트 내지 제3 포트(202, 204, 206)가 개구되어 있는 바디(210), 상기 바디(210) 내부에서 슬라이딩 가능하게 장착되는 스풀(220), 상기 스풀(220)의 일측을 탄성 지지하는 밸브 스프링(230)을 포함한다.

상기 IPR 솔레노이드 밸브(200)는 전류를 인가함에 따라 상기 스풀(220)이 이동함으로써 포트가 개방되거나 폐쇄되는 방식으로 작동하며, 완전히 닫힌 OFF 상태와 완전히 열린 ON 상태 뿐 아니라 그 사이의 연속적인 구간(일부 개방)에서도 작동 가능한 비례 제어 밸브이다.

상기 IPR 솔레노이드 밸브(200)에 전류가 인가되지 않아 완전히 닫힌 OFF 상태에서는, 상기 제1 포트(202)가 닫히고 상기 제2 포트(204)와 상기 제3 포트(206)가 서로 연통된다. 이 상태에서 상기 제2 포트(204)와 상기 제3 포트(206)가 연통될 수 있게 하는 이유는, 전술한 바와 같이 상기 펌핑실(114)로부터 상기 제어 챔버(140)로 누설된 오일의 배출을 위함이다. 즉, 상기 제2 포트(204)는 상기 제어 유로(C)를 통해 상기 제어 챔버(140)와 연결되어 있어 상기 펌핑실(114)에서 상기 제어 챔버(140)로 누설된 오일은 상기 제2 포트(204)로 유입되고, 상기 제3 포트(206)로 빠져나가 드레인 유로(DR)를 통해 상기 오일 탱크(10)로 흘려보낼 수 있는 것이다.

도 4에 도시된 것처럼, 상기 스풀(220)은 상기 제1 포트(202)를 막는 부분의 외경(d1)보다 상기 제2 포트(204)를 막는 부분의 외경(d2)이 더 크게 형성된다. 이에 대응되도록 상기 하우징(110)의 내경 또한 상기 제2 포트(204) 근처가 상기 제1 포트(202) 근처보다 크도록 중간에 단차가 형성되어 있다. 이같은 외경 차이를 둠으로써, 상기 제1 포트(202)에 일정한 압력 이상이 가해지면 상기 제1 포트(202)측과 상기 제2 포트(204)측의 압력차에 의해 상기 스풀(220)이 밸브를 개방시키는 방향(도면상 우측)으로 이동한다. 그러면 상기 제1 포트(202)와 상기 제2 포트(204)가 연통되고, 결과적으로 상기 피드백 유로(F)를 통해 유입된 오일이 상기 제어 챔버(140)로 유동하게 된다.

이같이 상기 IPR 솔레노이드 밸브(200)는 전류 없이 유압에 의해 기계적으로도 작동됨으로써 최대 유압을 제한하는 릴리프 밸브의 기능을 한다. 따라서, 본 실시예에 따른 오일 펌프(100)는 별도의 릴리프 밸브를 구비할 필요가 없다.

한편, 전류의 인가에 의해 상기 스풀(220)이 이동하는 것은 비례 제어 방식으로 이루어진다. 이때 인가하는 전류값은 차량 ECU에 의해 제어될 수 있으며, 이에 따라 상기 오일 펌프(100)에서 토출되는 오일의 유량 및 유압이 적절하게 제어된다.

한편, 도 1 및 도 2에 도시된 것처럼 상기 피드백 유로(F)가 상기 메인 갤러리(20)로부터 상기 IPR 솔레노이드 밸브(200)로 연결되는 방식은 메인 갤러리(20)압 제어 방식에 해당하고, 도 5에 도시된 것처럼 상기 피드백 유로(F)가 상기 토출 유로(D)로부터 분기되어 상기 IPR 솔레노이드 밸브(200)로 연결되는 방식은 토출압 제어 방식에 해당한다.

상기 두 가지 방식은 상기 메인 갤러리(20)의 유압을 이용하는지 상기 토출 유로(D)의 유압을 이용하는지에 따라 구분되는 방식이며, 엔진이 요구하는 제어 방식에 따라서 두 가지 방식 중 하나의 제어 방식이 선택될 수 있다.

도 6에 도시된 것처럼, 본 실시예에 따른 오일 펌프(100)는 고회전 구간(6000RPM)에서도 유량 및 유압이 급격하게 감소되지 않고 유지될 수 있다. 고회전 구간(6000RPM)의 그래프 형상을 보면 저회전 구간(2000RPM)의 그래프와 큰 차이가 없다.

이하, 본 발명의 일 실시예에 따른 오일 펌프(100)의 작용효과에 대하여 설명한다.

본 실시예에 따른 오일 펌프(100)는, 하나의 상기 제어 챔버(140)를 갖고, 상기 제어 챔버(140)에는 언제나 압력이 가해지는 것이 아니므로, 고회전 영역에서 압력 불균형에 의해 의도치 않게 개변되는 현상이 발생하지 않는다. 즉, 고회전 영역에서도 유량 및 유압이 급격히 감소되지 않고 오일 펌프(100)의 성능이 유지된다.

또한, 본 실시예는 릴리프 밸브의 기능이 통합된 상기 IPR 솔레노이드 밸브(200)만을 구비하므로 오일 펌프(100)를 구성하는 부품 수가 감소되고 이에 따라 제조 비용과 전체적인 사이즈가 작아된다.

또한, 상기 IPR 솔레노이드 밸브(200)가 오일 펌프(100)에 일체화되어 있어, 포트에 연결되는 유로들의 길이를 짧게 할 수 있다. 이에 따라 밸브가 오일 펌프(100) 외부에 별도로 구비되는 경우에 비해 유압 손실이나 누설 등의 문제에서 보다 유리하다.

10: 오일 탱크
20: 메인 갤러리
100: 오일 펌프
110: 하우징
112: 흡입공
114: 펌핑실
116: 토출공
120: 로터
130: 슬라이드
132: 힌지
134: 스프링
140: 제어 챔버
200: IPR(Integrated Pressure Relief) 솔레노이드 밸브
202: 제1 포트(P)
204: 제2 포트(A)
206: 제3 포트(T)
210: 바디
220: 스풀
230: 밸브 스프링
S: 흡입 유로
D: 토출 유로
F: 피드백 유로
DR: 드레인 유로
C: 제어 유로

Claims

유체 탱크에 저장된 유체를 펌핑시켜 엔진의 메인 갤러리에 공급하는 펌프로,
펌프 외관을 형성하며 내부에 공간과 유로들이 형성되는 하우징과,
유체가 펌핑되는 펌핑실과, 상기 펌핑실의 체적을 변화시키는 제어 챔버와, 상기 제어 챔버의 압력을 제어하는 제어 밸브를 포함하고,
상기 제어 밸브는 상기 펌핑실로부터 토출된 유체를 다시 펌프로 안내하는 피드백 유로와 상기 제어 챔버 사이에 구비되고,
상기 제어 밸브는,
상기 피드백 유로와 연결되는 제1 포트;
상기 제어 챔버와 연결되는 제2 포트; 및
상기 유체 탱크와 연결되는 제3 포트를 포함하고,
상기 피드백 유로의 압력이 일정 압력 이상이면 상기 제1 포트와 상기 제2 포트가 연통되어 상기 피드백 유로의 최대 압력을 제한하고,
상기 피드백 유로의 압력이 일정 압력 미만이면 상기 제2 포트와 상기 제3 포트가 연통되고,
상기 제어 챔버의 압력이 증가함에 따라 상기 펌핑실을 둘러싸도록 구비되는 슬라이드가 이동하여 상기 펌핑실의 체적을 변화시키고,
상기 제어 챔버는 상기 펌핑실과 구분된 공간이며 상기 슬라이드와 상기 하우징 사이에서 유체가 체류되는 하나의 공간으로 형성되는 것을 특징으로 하는 펌프.
제1항에 있어서,
상기 피드백 유로는, 메인 갤러리에 공급된 유체를 상기 제어 밸브로 안내하는 것을 특징으로 하는 펌프.
제1항에 있어서,
상기 피드백 유로는, 상기 펌핑실로부터 토출되어 상기 메인 갤러리에 공급되기 전의 유체를 상기 제어 밸브로 안내하는 것을 특징으로 하는 펌프.
제1항에 있어서,
상기 제어 밸브는,
바디;
상기 바디 내부에 이동 가능하게 장착되는 스풀; 및
상기 스풀을 지지하는 밸브 스프링;을 포함하고,
상기 스풀이 이동함에 따라서 상기 제1 포트 및 상기 제2 포트가 연통되거나, 상기 제2 포트와 상기 제3 포트가 연통되도록 작동하는 것을 특징으로 하는 펌프.
제4항에 있어서,
상기 스풀은 상기 제1 포트를 폐쇄하는 부분의 외경보다 상기 제2 포트를 폐쇄하는 부분의 외경이 더 크게 형성되어, 상기 제1 포트측 유체와 상기 제2 포트측 유체의 압력 차이에 의해 개방 가능한 것을 특징으로 하는 펌프.
제4항에 있어서,
상기 제어 밸브는, 전류를 인가하여 스풀을 이동시킴으로써 개방 가능한 솔레노이드 밸브인 것을 특징으로 하는 펌프.
제6항에 있어서,
상기 제어 밸브는 비례 제어 방식으로 작동되어 개방된 정도를 연속적으로 조절 가능한 것을 특징으로 하는 펌프.
삭제
제1항에 있어서,
상기 슬라이드는 스프링에 의해 탄성 지지되어 상기 제어 챔버의 압력이 감소하면 원래의 위치로 복귀되는 것을 특징으로 하는 펌프.
제1항에 있어서,
상기 제2 포트와 상기 제어 챔버를 연결하는 제어 유로를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 펌프.