KR102402606B1 - 플렉서블 디스플레이 장치 및 그 제조방법 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 외부 투습에 강건하고 신뢰성이 향상된 플렉서블 디스플레이 장치 및 그 제조방법을 위하여, 일면과 상기 일면에 반대되는 타면을 갖는, 플렉서블 기판. 상기 플렉서블 기판의 상기 일면에 배치되는 디스플레이부, 상기 플렉서블 기판의 상기 타면에 배치되는 제1 배리어층 및 상기 제1 배리어층과 상기 플렉서블 기판 사이에 개재되며 금속을 포함하는 제1 물질층을 구비하는, 플렉서블 디스플레이 장치를 제공한다.

Description

플렉서블 디스플레이 장치 및 그 제조방법{Flexible display apparatus and manufacturing method thereof}
본 발명은 플렉서블 디스플레이 장치 및 그 제조방법에 관한 것으로서, 더 상세하게는 외부 투습에 강건하고 신뢰성이 향상된 플렉서블 디스플레이 장치 및 그 제조방법에 관한 것이다.
디스플레이 장치들 중, 유기발광 디스플레이 장치는 시야각이 넓고 컨트라스트가 우수할 뿐만 아니라 응답속도가 빠르다는 장점을 가지고 있어 차세대 디스플레이 장치로서 주목을 받고 있다.
일반적으로 유기발광 디스플레이 장치는 기판 상에 박막트랜지스터 및 유기발광소자들을 형성하고, 유기발광소자들이 스스로 빛을 발광하여 작동한다. 이러한 유기발광 디스플레이 장치는 휴대폰 등과 같은 소형 제품의 디스플레이부로 사용되기도 하고, 텔레비전 등과 같은 대형 제품의 디스플레이부로 사용되기도 한다.
유기발광 디스플레이 장치 중에서도, 최근 플렉서블 디스플레이 장치에 관한 관심이 높아짐에 따라 이에 관한 연구가 활발히 진행되고 있다. 이러한 플렉서블 디스플레이 장치를 구현하기 위해서는 종래의 글라스재 기판이 아닌 합성 수지 등과 같은 재질의 플렉서블 기판을 이용한다. 이러한 플렉서블 기판은 플렉서블 특성을 갖기에, 제조공정 등에서 핸들링이 용이하지 않다. 따라서 플렉서블 디스플레이 장치의 제조 시 충분한 강성(rigidity)을 갖는 지지기판 상에 플렉서블 기판을 비롯하여 각종 층들을 형성하는 공정을 거친 후, 플렉서블 기판을 지지기판으로부터 분리하는 과정을 거친다.
그러나 이러한 종래의 플렉서블 디스플레이 장치 및 그 제조방법에는, 플렉서블 기판 측으로부터의 투습을 방지하기 위해 플렉서블 기판을 이중층 이상으로 형성하는 경우 제조 공정이 복잡해지고, 플렉서블 기판을 단일층으로 형성하는 경우 플렉서블 기판과 지지 기판의 미박리 또는 플렉서블 기판 하부로 외기 침투 가능성이 높아 플렉서블 디스플레이 장치의 신뢰성이 저하된다는 문제점이 존재하였다.
본 발명은 상기와 같은 문제점을 포함하여 여러 문제점들을 해결하기 위한 것으로서, 외부 투습에 강건하고 신뢰성이 향상된 플렉서블 디스플레이 장치 및 그 제조방법을 제공하는 것을 목적으로 한다. 그러나 이러한 과제는 예시적인 것으로, 이에 의해 본 발명의 범위가 한정되는 것은 아니다.
본 발명의 일 관점에 따르면, 일면과 상기 일면에 반대되는 타면을 갖는, 플렉서블 기판; 상기 플렉서블 기판의 상기 일면에 배치되는 디스플레이부; 상기 플렉서블 기판의 상기 타면에 배치되는 제1 배리어층; 및 상기 제1 배리어층과 상기 플렉서블 기판 사이에 개재되며 금속을 포함하는 제1 물질층;을 구비하는, 플렉서블 디스플레이 장치가 제공된다.
본 실시예에 있어서, 상기 플렉서블 기판과 상기 디스플레이부 사이에 개재되는 제2 배리어층을 더 포함할 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 제1 배리어층 및 상기 제2 배리어층은 무기물을 포함할 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 제1 물질층은 금속의 산화물을 포함할 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 플렉서블 기판과 상기 제2 배리어층 사이에 개재되며 금속을 포함하는 제2 물질층을 더 포함할 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 제2 물질층은 금속의 산화물을 포함할 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 플렉서블 기판은 상기 일면과 상기 타면을 연결하는 측면을 더 가지며, 상기 제2 배리어층은 상기 플렉서블 기판의 상기 일면 및 상기 측면을 덮을 수 있다.
본 발명의 다른 관점에 따르면, 일면과 상기 일면에 반대되는 타면을 갖는, 플렉서블 기판; 상기 플렉서블 기판의 상기 일면에 배치되는 디스플레이부; 상기 플렉서블 기판의 상기 타면에 배치되는 제1 배리어층; 및 상기 플렉서블 기판과 상기 디스플레이부 사이에 개재되며 금속을 포함하는 제1 물질층;을 구비하는, 플렉서블 디스플레이 장치가 제공된다.
본 실시예에 있어서, 상기 제1 물질층과 상기 디스플레이부 사이에 개재되는 제2 배리어층을 더 포함할 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 제1 물질층은 금속의 산화물을 포함할 수 있다.
본 발명의 또 다른 관점에 따르면, 지지 기판 상에 무기물을 포함하는 희생층을 형성하는 단계; 상기 희생층 상에 제1 배리어층을 형성하는 단계; 상기 제1 배리어층 상에 금속을 포함하는 제1 물질층을 형성하는 단계; 상기 제1 물질층 상에 플렉서블 기판을 형성하는 단계; 및 상기 제1 배리어층을 상기 지지 기판으로부터 분리시키는 단계;를 포함하는, 플렉서블 디스플레이 장치의 제조방법이 제공된다.
본 실시예에 있어서, 상기 플렉서블 기판 상에 디스플레이부를 형성하는 단계; 및 상기 플렉서블 기판과 상기 디스플레이부 사이에 제2 배리어층을 형성하는 단계;를 더 포함하는, 플렉서블 디스플레이 장치의 제조방법이 제공된다.
본 실시예에 있어서, 상기 제1 배리어층과 상기 제2 배리어층은 무기물을 포함할 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 플렉서블 기판과 상기 제2 배리어층 사이에 금속을 포함하는 제2 물질층을 형성하는 단계를 더 포함할 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 제2 물질층은 상기 금속과 결합하는 산소를 더 포함할 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 희생층은 내화 금속(refractory metal)류 중 적어도 하나를 포함하는 산화물일 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 제1 물질층은 상기 금속과 결합하는 산소를 더 포함할 수 있다.
전술한 것 외의 다른 측면, 특징, 이점이 이하의 도면, 특허청구범위 및 발명의 상세한 설명으로부터 명확해질 것이다.
이러한 일반적이고 구체적인 측면이 시스템, 방법, 컴퓨터 프로그램, 또는 어떠한 시스템, 방법, 컴퓨터 프로그램의 조합을 사용하여 실시될 수 있다.
상기한 바와 같이 이루어진 본 발명의 일 실시예에 따르면, 제조가 용이하고 외부 투습에 강건한 플렉서블 디스플레이 장치 및 그 제조방법을 구현할 수 있다. 물론 이러한 효과에 의해 본 발명의 범위가 한정되는 것은 아니다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 관한 플렉서블 디스플레이 장치의 적층 구조를 개략적으로 도시하는 단면도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 관한 플렉서블 디스플레이 장치의 적층 구조를 개략적으로 도시하는 단면도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 관한 플렉서블 디스플레이 장치의 적층 구조를 개략적으로 도시하는 단면도이다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 관한 플렉서블 디스플레이 장치의 적층 구조를 개략적으로 도시하는 단면도이다.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 관한 플렉서블 디스플레이 장치의 디스플레이부 구조를 개략적으로 도시하는 단면도이다.
도 6 내지 도 9는 본 발명의 일 실시예에 관한 플렉서블 디스플레이 장치의 제조 공정을 개략적으로 도시하는 단면도들이다.
본 발명은 다양한 변환을 가할 수 있고 여러 가지 실시예를 가질 수 있는 바, 특정 실시예들을 도면에 예시하고 상세한 설명에 상세하게 설명하고자 한다. 본 발명의 효과 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예들에 한정되는 것이 아니라 다양한 형태로 구현될 수 있다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예들을 상세히 설명하기로 하며, 도면을 참조하여 설명할 때 동일하거나 대응하는 구성 요소는 동일한 도면부호를 부여하고 이에 대한 중복되는 설명은 생략하기로 한다.
본 발명은 다양한 변환을 가할 수 있고 여러 가지 실시예를 가질 수 있는 바, 특정 실시예들을 도면에 예시하고 상세한 설명에 상세하게 설명하고자 한다. 본 발명의 효과 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예들에 한정되는 것이 아니라 다양한 형태로 구현될 수 있다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예들을 상세히 설명하기로 하며, 도면을 참조하여 설명할 때 동일하거나 대응하는 구성 요소는 동일한 도면부호를 부여하고 이에 대한 중복되는 설명은 생략하기로 한다.
이하의 실시예에서, 제1, 제2 등의 용어는 한정적인 의미가 아니라 하나의 구성 요소를 다른 구성 요소와 구별하는 목적으로 사용되었다. 또한, 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다.
한편, 포함하다 또는 가지다 등의 용어는 명세서상에 기재된 특징, 또는 구성요소가 존재함을 의미하는 것이고, 하나 이상의 다른 특징들 또는 구성요소가 부가될 가능성을 미리 배제하는 것은 아니다. 또한, 막, 영역, 구성 요소 등의 부분이 다른 부분 "위에" 또는 "상에" 있다고 할 때, 다른 부분의 "바로 위에" 또는 "바로 상에" 있는 경우뿐만 아니라, 그 중간에 다른 막, 영역, 구성 요소 등이 개재되어 있는 경우도 포함한다.
도면에서는 설명의 편의를 위하여 구성 요소들이 그 크기가 과장 또는 축소될 수 있다. 예컨대, 도면에서 나타난 각 구성의 크기 및 두께는 설명의 편의를 위해 임의로 나타내었으므로, 본 발명이 반드시 도시된 바에 한정되지 않는다.
x축, y축 및 z축은 직교 좌표계 상의 세 축으로 한정되지 않고, 이를 포함하는 넓은 의미로 해석될 수 있다. 예를 들어, x축, y축 및 z축은 서로 직교할 수도 있지만, 서로 직교하지 않는 서로 다른 방향을 지칭할 수도 있다.
어떤 실시예가 달리 구현 가능한 경우에 특정한 공정 순서는 설명되는 순서와 다르게 수행될 수도 있다. 예를 들어, 연속하여 설명되는 두 공정이 실질적으로 동시에 수행될 수도 있고, 설명되는 순서와 반대의 순서로 진행될 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 관한 플렉서블 디스플레이 장치(1)의 적층 구조를 개략적으로 도시하는 단면도이다.
도 1을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 관한 플렉서블 디스플레이 장치(1)는 플렉서블 기판(100), 외부로 이미지를 디스플레이하는 디스플레이부(200), 제1 배리어층(120), 제2 배리어층(140) 및 금속을 포함하는 제1 물질층(130)을 구비한다.
플렉서블 기판(100)은 가요성 기판일 수 있으며, 내열성 및 내구성이 우수한 플라스틱으로 구성될 수 있다. 예컨대, 플렉서블 기판(100)은 폴리에테르술폰(PES, polyethersulfone), 폴리아크릴레이트(PA, polyacrylate), 폴리에테르 이미드(PEI,polyetherimide), 폴리에틸렌 나프탈레이트(PEN, polyethyelenen napthalate), 폴리에틸렌 테레프탈레이드(PET, polyethyelene terepthalate), 폴리페닐렌설파이드(PPS, polyphenylene sulfide), 폴리아릴레이트(PAR, polyarylate), 폴리이미드(polyimide: PI), 폴리카보네이트(PC), 셀룰로오스 트리 아세테이트(cellulosetriacetate), 셀룰로오스 아세테이트 프로피오네이트(cellulose acetate propionate: CAP), 폴리아릴렌에테르술폰(poly(aryleneether sulfone)) 및 이들의 조합으로 이루어진 그룹에서 선택된 어느 하나를 포함할 수 있다.
플렉서블 기판(100)은 일면(100a)과 일면(100a)에 반대되는 타면(100b)을 가질 수 있다. 플렉서블 기판(100)의 일면(100a) 상에는 디스플레이부(200)가 배치될 수 있다. 디스플레이부(200)는 박막트랜지스터(TFT, 도 5 참조) 및 박막트랜지스터(TFT)에 전기적으로 연결된 발광소자를 구비할 수 있다. 이러한 디스플레이부(200)는 액정 디스플레이부일 수도 있고, 유기발광 디스플레이부일 수도 있다.
디스플레이부(200) 상에는 디스플레이부(200)를 외부로부터 밀봉하는 박막봉지층(300)이 구비될 수 있다. 도 1에 도시되어 있지는 않으나, 박막봉지층(300)은 한 층 이상의 유기막과 무기막이 교번하여 적층된 구조로 형성될 수 있다. 박막봉지층은 외부로부터 디스플레이부(200)로 유입되는 외기를 방지하여야 하므로, 디스플레이부(200)를 완전히 덮도록 박막봉지층의 끝 단은 플렉서블 기판(100)이나 후술할 제2 배리어층(140)에 컨택할 수 있다.
플렉서블 기판(100)의 타면(100b) 상에는 제1 배리어층(120)이 배치될 수 있다. 제1 배리어층(120)은 무기물을 포함할 수 있으며, 예컨대 실리콘옥사이드 및/또는 실리콘나이트라이드 등으로 형성될 수 있으나, 본 발명이 반드시 이에 한정되는 것은 아니다.
플렉서블 기판(100)의 일면(100a) 상에는 제2 배리어층(140)이 배치될 수 있으며, 이러한 제2 배리어층(140)은 플렉서블 기판(100)과 디스플레이부(200) 사이에 개재될 수 있다. 제2 배리어층(140)은 무기물을 포함할 수 있으며, 예컨대 실리콘옥사이드 및/또는 실리콘나이트라이드 등으로 형성될 수 있으나, 본 발명이 반드시 이에 한정되는 것은 아니다. 이러한 제2 배리어층(140)은 플렉서블 기판(100)에 유입된 불순물이 디스플레이부(200) 측으로 진행되지 않도록 하는 보호막 역할을 할 수 있다.
한편 본 실시예에 따른 플렉서블 디스플레이 장치는 플렉서블 기판(100)과 제1 배리어층(120) 사이에 개재되는 제1 물질층(130)을 구비할 수 있다. 제1 물질층(130)은 금속 및/또는 금속 산화물을 포함할 수 있다. 제1 물질층(130)은 예컨대 ITO, 알루미늄(Al), 백금(Pt), 팔라듐(Pd), 은(Ag), 마그네슘(Mg), 금(Au), 니켈(Ni), 네오디뮴(Nd), 이리듐(Ir), 크롬(Cr), 리튬(Li), 칼슘(Ca), 몰리브덴(Mo), 티타늄(Ti), 텅스텐(W), 구리(Cu) 중 하나 이상의 물질 및/또는 하나 이상의 물질의 산화물을 포함할 수 있으나, 반드시 이에 한정되는 것은 아니다.
이러한 제1 물질층(130)은 상술한 것과 같이 플렉서블 기판(100)과 제1 배리어층(120) 사이에 개재될 수 있다. 제1 물질층(130)은 플렉서블 기판(100) 및 제1 배리어층(120) 사이에 직접 개재될 수 있으며, 플렉서블 기판(100) 및 제1 배리어층(120)에 면 접촉하여 직접 컨택할 수 있다.
플렉서블 기판(100)의 타면에 배치된 제1 배리어층(120)은 플렉서블 기판(100)의 타면(100b) 측으로부터의 외기 투습을 방지하기 위해 플렉서블 기판(100)의 타면(100b) 상에 배치되는데, 이러한 제1 배리어층(120)은 무기물을 포함하는 반면, 플렉서블 기판(100)은 플라스틱재와 같은 유기물을 포함할 수 있다. 따라서 플렉서블 기판(100) 측으로 유입되는 외기 투습을 방지하기 위해 플렉서블 기판(100)과 제1 배리어층(120)이 밀착 형성되어야 함에도 불구하고, 상호 포함하고 있는 물질의 물성의 차이로 인하여 박리 불량의 이슈 또는 유기층과 무기층 간에 발생하는 기포 형성 이슈 등의 문제점이 발생하였다.
이에 본 발명의 일 실시예에 관한 플렉서블 디스플레이 장치(1)에서는 플렉서블 기판(100)과 제1 배리어층(120) 사이에 금속 또는 금속 산화물을 포함하는 제1 물질층(130)을 개재함으로써 상술한 문제점을 해결할 수 있다. 금속 또는 금속 산화물을 포함하는 제1 물질층(130)은 일면(100a)으로 플렉서블 기판(100)과 접하면서 동시에 타면(100b)으로 제1 배리어층(120)과 접하게된다. 금속 또는 금속 산화물을 포함하는 제1 물질층(130)은 유기층 및 무기층 양 측 모두와 접착력(adhesion)이 우수한 특성을 갖는바, 따라서 이와 같은 제1 물질층(130)은 플렉서블 기판(100)과 제1 배리어층(120) 사이에 개재하였을 때, 층을 형성하는 물질의 물성의 차이로 인하여 박리 불량의 이슈 또는 유기층과 무기층 간에 발생하는 기포 형성 이슈 등을 획기적으로 해결할 수 있다. 또한 제1 물질층(130)은 배리어 기능도 함께 수행할 수 있어, 플렉서블 기판(100)을 두 층 이상 구비하는 효과를 기대할 수 있다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 관한 플렉서블 디스플레이 장치(2)의 적층 구조를 개략적으로 도시하는 단면도이다.
도 2의 플렉서블 디스플레이 장치(2)에서는 제2 배리어층(140)의 구조를 제외하고 전술한 도 1의 플렉서블 디스플레이 장치(2)와 동일한 바, 중복되는 내용은 생략한다.
도 2를 참조하면, 제2 배리어층(140)은 플렉서블 기판(100)과 디스플레이부(200) 사이에 개재될 수 있다. 본 실시예에서 제2 배리어층(140)은 플렉서블 기판(100)의 일면(100a)과 측면(100c)을 모두 덮도록 배치될 수 있다. 따라서 제2 배리어층(140)의 끝 단은 제1 물질층(130)에 컨택할 수 있다. 이러한 구조를 통해 제2 배리어층(140)이 디스플레이부(200)의 하면으로 유입될 수 있는 불순물을 차단함과 동시에 플렉서블 기판(100)의 측면(100c)으로 유입될 수 있는 불순물까지 차단할 수 있다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 관한 플렉서블 디스플레이 장치(3)의 적층 구조를 개략적으로 도시하는 단면도이다.
도 3을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 관한 플렉서블 디스플레이 장치(3)는 플렉서블 기판(100), 외부로 이미지를 디스플레이하는 디스플레이부(200), 제1 배리어층(120), 제2 배리어층(140) 및 금속을 포함하는 제1 물질층(130)을 구비한다.
플렉서블 기판(100)은 플렉서블 특성을 갖는 것으로서, PET(Polyethylen terephthalate), PEN(Polyethylen naphthalate), 폴리이미드(Polyimide) 등과 같은 플라스틱재 등, 다양한 재료로 형성된 것일 수 있다.
플렉서블 기판(100)은 일면(100a)과 일면(100a)에 반대되는 타면(100b)을 가질 수 있다. 플렉서블 기판(100)의 일면(100a) 상에는 디스플레이부(200)가 배치될 수 있다. 디스플레이부(200)는 박막트랜지스터 및 박막트랜지스터에 전기적으로 연결된 발광소자를 구비할 수 있다. 이러한 디스플레이부(200)는 액정 디스플레이부일 수도 있고, 유기발광 디스플레이부일 수도 있다.
디스플레이부(200) 상에는 디스플레이부(200)를 외부로부터 밀봉하는 박막봉지층(300)이 구비될 수 있다. 도 3에 도시되어 있지는 않으나, 박막봉지층(300)은 한 층 이상의 유기막(미도시)과 무기막(미도시)이 교번하여 적층된 구조로 형성될 수 있다. 박막봉지층은 외부로부터 디스플레이부(200)로 유입되는 외기를 방지하여야 하므로, 디스플레이부(200)를 완전히 덮도록 박막봉지층의 끝 단은 플렉서블 기판(100)이나 후술할 제2 배리어층(140)에 컨택할 수 있다.
플렉서블 기판(100)의 타면(100b) 상에는 제1 배리어층(120)이 배치될 수 있다. 제1 배리어층(120)은 무기물을 포함할 수 있으며, 예컨대 실리콘옥사이드 및/또는 실리콘나이트라이드 등으로 형성될 수 있으나, 본 발명이 반드시 이에 한정되는 것은 아니다.
플렉서블 기판(100)의 일면(100a) 상에는 제2 배리어층(140)이 배치될 수 있으며, 이러한 제2 배리어층(140)은 플렉서블 기판(100)과 디스플레이부(200) 사이에 개재될 수 있다. 제2 배리어층(140)은 무기물을 포함할 수 있으며, 예컨대 실리콘옥사이드 및/또는 실리콘나이트라이드 등으로 형성될 수 있으나, 본 발명이 반드시 이에 한정되는 것은 아니다. 이러한 제2 배리어층(140)은 플렉서블 기판(100)에 유입된 불순물이 디스플레이부(200) 측으로 진행되지 않도록 하는 보호막 역할을 할 수 있다.
한편 본 실시예에 따른 플렉서블 디스플레이 장치(2)는 플렉서블 기판(100)과 제2 배리어층(140) 사이에 개재되는 제1 물질층(130)을 구비할 수 있다. 제1 물질층(130)은 금속 및/또는 금속 산화물을 포함할 수 있다. 제1 물질층(130)은 예컨대 ITO, 알루미늄(Al), 백금(Pt), 팔라듐(Pd), 은(Ag), 마그네슘(Mg), 금(Au), 니켈(Ni), 네오디뮴(Nd), 이리듐(Ir), 크롬(Cr), 리튬(Li), 칼슘(Ca), 몰리브덴(Mo), 티타늄(Ti), 텅스텐(W), 구리(Cu) 중 하나 이상의 물질 및/또는 하나 이상의 물질의 산화물을 포함할 수 있으나, 반드시 이에 한정되는 것은 아니다.
이러한 제1 물질층(130)은 상술한 것과 같이 플렉서블 기판(100)과 제2 배리어층(140) 사이에 개재될 수 있다. 제1 물질층(130)은 플렉서블 기판(100) 및 제2 배리어층(140) 사이에 직접 개재될 수 있으며, 플렉서블 기판(100) 및 제2 배리어층(140)에 면 접촉하여 직접 컨택할 수 있다.
플렉서블 기판(100)의 타면(100b)에 배치된 제2 배리어층(140)은 플렉서블 기판(100)의 일면(100a) 측으로부터의 외기 투습을 방지하기 위해 플렉서블 기판(100)의 일면(100a) 상에 배치되는데, 이러한 제2 배리어층(140)은 무기물을 포함하는 반면, 플렉서블 기판(100)은 플라스틱재와 같은 유기물을 포함할 수 있다. 따라서 플렉서블 기판(100) 측으로 유입되는 외기 투습을 방지하기 위해 플렉서블 기판(100)과 제2 배리어층(140)이 밀착 형성되어야 함에도 불구하고, 상호 포함하고 있는 물질의 물성의 차이로 인하여 박리 불량의 이슈 또는 유기층과 무기층 간에 발생하는 기포 형성 이슈 등의 문제점이 발생하였다.
이에 본 발명의 일 실시예에 관한 플렉서블 디스플레이 장치(2)에서는 플렉서블 기판(100)과 제2 배리어층(140) 사이에 금속 또는 금속 산화물을 포함하는 제1 물질층(130)을 개재함으로써 상술한 문제점을 해결할 수 있다. 금속 또는 금속 산화물을 포함하는 제1 물질층(130)은 일면(100a)으로 플렉서블 기판(100)과 접하면서 동시에 타면(100b)으로 제2 배리어층(140)과 접하게된다. 금속 또는 금속 산화물을 포함하는 제1 물질층(130)은 유기층 및 무기층 양 측 모두와 접착력(adhesion)이 우수한 특성을 갖는바, 따라서 이와 같은 제1 물질층(130)은 플렉서블 기판(100)과 제2 배리어층(140) 사이에 개재하였을 때, 층을 형성하는 물질의 물성의 차이로 인하여 박리 불량의 이슈 또는 유기층과 무기층 간에 발생하는 기포 형성 이슈 등을 획기적으로 해결할 수 있다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 관한 플렉서블 디스플레이 장치(4)의 적층 구조를 개략적으로 도시하는 단면도이다.
도 4를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 관한 플렉서블 디스플레이 장치(3)는 플렉서블 기판(100), 외부로 이미지를 디스플레이하는 디스플레이부(200), 제1 배리어층(120), 제2 배리어층(140), 금속을 포함하는 제1 물질층(130a) 및 제2 물질층(130b)을 구비한다.
플렉서블 기판(100)은 플렉서블 특성을 갖는 것으로서, PET(Polyethylen terephthalate), PEN(Polyethylen naphthalate), 폴리이미드(Polyimide) 등과 같은 플라스틱재 등, 다양한 재료로 형성된 것일 수 있다.
플렉서블 기판(100)은 일면(100a)과 일면(100a)에 반대되는 타면(100b)을 가질 수 있다. 플렉서블 기판(100)의 일면(100a) 상에는 디스플레이부(200)가 배치될 수 있다. 디스플레이부(200)는 박막트랜지스터 및 박막트랜지스터에 전기적으로 연결된 발광소자를 구비할 수 있다. 이러한 디스플레이부(200)는 액정 디스플레이부일 수도 있고, 유기발광 디스플레이부일 수도 있다.
디스플레이부(200) 상에는 디스플레이부(200)를 외부로부터 밀봉하는 박막봉지층(300)이 구비될 수 있다. 도 4에 도시되어 있지는 않으나, 박막봉지층(300)은 한 층 이상의 유기막과 무기막이 교번하여 적층된 구조로 형성될 수 있다. 박막봉지층은 외부로부터 디스플레이부(200)로 유입되는 외기를 방지하여야 하므로, 디스플레이부(200)를 완전히 덮도록 박막봉지층의 끝 단은 플렉서블 기판(100)이나 후술할 제2 배리어층(140)에 컨택할 수 있다.
플렉서블 기판(100)의 타면(100b) 상에는 제1 배리어층(120)이 배치될 수 있다. 제1 배리어층(120)은 무기물을 포함할 수 있으며, 예컨대 실리콘옥사이드 및/또는 실리콘나이트라이드 등으로 형성될 수 있으나, 본 발명이 반드시 이에 한정되는 것은 아니다.
플렉서블 기판(100)의 일면(100a) 상에는 제2 배리어층(140)이 배치될 수 있으며, 이러한 제2 배리어층(140)은 플렉서블 기판(100)과 디스플레이부(200) 사이에 개재될 수 있다. 제2 배리어층(140)은 무기물을 포함할 수 있으며, 예컨대 실리콘옥사이드 및/또는 실리콘나이트라이드 등으로 형성될 수 있으나, 본 발명이 반드시 이에 한정되는 것은 아니다. 이러한 제2 배리어층(140)은 플렉서블 기판(100)에 유입된 불순물이 디스플레이부(200) 측으로 진행되지 않도록 하는 보호막 역할을 할 수 있다.
한편 본 실시예에 따른 플렉서블 디스플레이 장치는 플렉서블 기판(100)과 제1 배리어층(120) 사이에 개재되는 제1 물질층(130a)을 구비할 수 있다. 제1 물질층(130a)은 금속 및/또는 금속 산화물을 포함할 수 있다.
이러한 제1 물질층(130a)은 상술한 것과 같이 플렉서블 기판(100)과 제1 배리어층(120) 사이에 개재될 수 있다. 제1 물질층(130a)은 플렉서블 기판(100) 및 제1 배리어층(120) 사이에 직접 개재될 수 있으며, 플렉서블 기판(100) 및 제1 배리어층(120)에 면 접촉하여 직접 컨택할 수 있다.
또한 본 실시예에 따른 플렉서블 디스플레이 장치(2)는 플렉서블 기판(100)과 제2 배리어층(140) 사이에 개재되는 제2 물질층(130b)을 구비할 수 있다.
이러한 제2 물질층(130b)은 상술한 것과 같이 플렉서블 기판(100)과 제2 배리어층(140) 사이에 개재될 수 있다. 제2 물질층(130b)은 플렉서블 기판(100) 및 제2 배리어층(140) 사이에 직접 개재될 수 있으며, 플렉서블 기판(100) 및 제2 배리어층(140)에 면 접촉하여 직접 컨택할 수 있다.
이러한 제1 물질층(130a) 및 제2 물질층(130b)은 금속 및/또는 금속 산화물을 포함할 수 있다. 제1 물질층(130a) 및 제2 물질층(130b)은 예컨대 ITO, 알루미늄(Al), 백금(Pt), 팔라듐(Pd), 은(Ag), 마그네슘(Mg), 금(Au), 니켈(Ni), 네오디뮴(Nd), 이리듐(Ir), 크롬(Cr), 리튬(Li), 칼슘(Ca), 몰리브덴(Mo), 티타늄(Ti), 텅스텐(W), 구리(Cu) 중 하나 이상의 물질 및/또는 하나 이상의 물질의 산화물을 포함할 수 있으나, 반드시 이에 한정되는 것은 아니다.
플렉서블 기판(100)의 일면(100a)에 배치된 제2 배리어층(140) 및 타면(100b)에 배치된 제1 배리어층(120)은 플렉서블 기판(100) 측으로부터의 외기 투습을 방지하기 위해 플렉서블 기판(100)의 일면(100a) 및 타면(100b) 상에 배치되는데, 이러한 제1 배리어층(120) 및 제2 배리어층(140)은 무기물을 포함하는 반면, 플렉서블 기판(100)은 플라스틱재와 같은 유기물을 포함할 수 있다. 따라서 플렉서블 기판(100) 측으로 유입되는 외기 투습을 방지하기 위해 플렉서블 기판(100)과 제1, 제2 배리어층(120, 140)이 밀착 형성되어야 함에도 불구하고, 상호 포함하고 있는 물질의 물성의 차이로 인하여 박리 불량의 이슈 또는 유기층과 무기층 간에 발생하는 기포 형성 이슈 등의 문제점이 발생하였다.
이에 본 발명의 일 실시예에 관한 플렉서블 디스플레이 장치(4)에서는 플렉서블 기판(100)과 제1, 제2 배리어층(120, 140) 사이에 각각 금속 및/또는 금속 산화물을 포함하는 제1 물질층(130a) 및 제2 물질층(130b)을 개재함으로써 상술한 문제점을 해결할 수 있다. 금속 또는 금속 산화물을 포함하는 제1 물질층(130a)은 일면(100a)으로는 플렉서블 기판(100)과 접하면서 동시에 타면(100b)으로는 제1 배리어층(120)과 접하게된다. 마찬가지로, 제2 물질층(130b)은 일면(100a)으로는 플렉서블 기판(100)과 접하면서 동시에 타면(100b)으로는 제2 배리어층(140)과 접하게된다. 금속 및/또는 금속 산화물을 포함하는 제1 물질층(130a) 및 제2 물질층(130b)은 유기층 및 무기층 양 측 모두와 접착력(adhesion)이 우수한 특성을 갖는바, 따라서 이와 같은 제1 물질층(130a) 및 제2 물질층(130b)은 플렉서블 기판(100)과 제1, 제2 배리어층(120, 140) 사이에 각각 개재하였을 때, 층을 형성하는 물질의 물성의 차이로 인하여 박리 불량의 이슈 또는 유기층과 무기층 간에 발생하는 기포 형성 이슈 등을 획기적으로 해결할 수 있다.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 관한 플렉서블 디스플레이 장치(1, 2, 3, 4)의 디스플레이부(200) 구조를 개략적으로 도시하는 단면도이다.
도 1 및 도 5를 참조하면, 플렉서블 기판(100) 상에는 디스플레이부(200)가 배치되고, 디스플레이부(200)는 유기발광소자(OLED), 유기발광소자(OLED)에 전기적으로 연결되는 박막트랜지스터(TFT) 및 캐패시터(CAP)를 포함할 수 있다. 전술한 것과 같이, 디스플레이부(200)는 액정 디스플레이부일 수도 있고, 유기발광 디스플레이부일 수도 있으나, 본 실시예에서는 디스플레이부(200)가 유기발광 디스플레이부인 경우를 예시로 설명한다.
플렉서블 기판(100) 상에는 플렉서블 기판(100)의 면을 평탄화하기 위해 또는 박막트랜지스터(TFT)의 반도체층(202)으로 불순물 등이 침투하는 것을 방지하기 위해, 실리콘옥사이드 또는 실리콘나이트라이드 등으로 형성된 버퍼층(201)이 배치되고, 이 버퍼층(201) 상에 반도체층(202)이 위치하도록 할 수 있다.
본 실시예에서는 도 1에 도시된 것과 같이, 플렉서블 기판(100)과 버퍼층(201) 사이에 제2 배리어층(140)이 개재될 수 있다.
반도체층(202)의 상부에는 게이트 전극(204)이 배치되는데, 이 게이트 전극(204)에 인가되는 신호에 따라 소스 전극(206s) 및 드레인 전극(206d)이 전기적으로 소통된다. 게이트 전극(204)은 인접층과의 밀착성, 적층되는 층의 표면 평탄성 그리고 가공성 등을 고려하여, 예컨대 알루미늄(Al), 백금(Pt), 팔라듐(Pd), 은(Ag), 마그네슘(Mg), 금(Au), 니켈(Ni), 네오디뮴(Nd), 이리듐(Ir), 크롬(Cr), 리튬(Li), 칼슘(Ca), 몰리브덴(Mo), 티타늄(Ti), 텅스텐(W), 구리(Cu) 중 하나 이상의 물질로 단층 또는 다층으로 형성될 수 있다.
이때 반도체층(202)과 게이트 전극(204)과의 절연성을 확보하기 위하여, 실리콘옥사이드 및/또는 실리콘나이트라이드 등으로 형성되는 게이트 절연막(203)이 반도체층(202)과 게이트 전극(204) 사이에 개재될 수 있다.
게이트 전극(204)의 상부에는 층간 절연막(205)이 배치될 수 있는데, 이는 실리콘옥사이드 또는 실리콘나이트라이드 등의 물질로 단층으로 형성되거나 또는 다층으로 형성될 수 있다.
층간 절연막(205)의 상부에는 소스 전극(206s) 및 드레인 전극(206d)이 배치된다. 소스 전극(206s) 및 드레인 전극(206d)은 층간 절연막(205)과 게이트 절연막(203)에 형성되는 컨택홀을 통하여 반도체층(202)에 각각 전기적으로 연결된다. 소스 전극(206s) 및 드레인 전극(206d)은 도전성 등을 고려하여 예컨대 알루미늄(Al), 백금(Pt), 팔라듐(Pd), 은(Ag), 마그네슘(Mg), 금(Au), 니켈(Ni), 네오디뮴(Nd), 이리듐(Ir), 크롬(Cr), 리튬(Li), 칼슘(Ca), 몰리브덴(Mo), 티타늄(Ti), 텅스텐(W), 구리(Cu) 중 하나 이상의 물질로 단층 또는 다층으로 형성될 수 있다.
한편 도면에는 도시되지 않았으나, 이러한 구조의 박막트랜지스터(TFT)의 보호를 위해 박막트랜지스터(TFT)를 덮는 보호막(미도시)이 배치될 수 있다. 보호막은 예컨대 실리콘옥사이드, 실리콘나이트라이드 또는 실리콘옥시나이트라이드 등과 같은 무기물로 형성될 수 있다.
한편, 박막트랜지스터(TFT) 상에 제1 절연막(207)이 배치될 수 있다. 이 경우 제1 절연막(207)은 평탄화막일 수도 있고 보호막일 수도 있다. 이러한 제1 절연막(207)은 박막트랜지스터(TFT) 상부에 유기발광소자가 배치되는 경우 박막트랜지스터(TFT) 의 상면을 대체로 평탄화하게 하고, 박막트랜지스터(TFT) 및 각종 소자들을 보호하는 역할을 한다. 이러한 제1 절연막(207) 은 예컨대 아크릴계 유기물 또는 BCB(Benzocyclobutene) 등으로 형성될 수 있다. 이때 도 5에 도시된 것과 같이, 버퍼층(201), 게이트 절연막(203), 층간 절연막(205) 및 제1 절연막(207)은 플렉서블 기판(100)의 전면(全面)에 형성될 수 있다.
한편, 박막트랜지스터(TFT) 상부에는 제2 절연막(208)이 배치될 수 있다. 이경우 제2 절연막(208)은 화소정의막일 수 있다. 제2 절연막(208)은 상술한 제1 절연막(207) 상에 위치할 수 있으며, 개구를 가질 수 있다. 이러한 제2 절연막(208)은 플렉서블 기판(100) 상에 화소영역을 정의하는 역할을 한다.
이러한 제2 절연막(208)은 예컨대 유기 절연막으로 구비될 수 있다. 그러한 유기 절연막으로는 폴리메틸메타크릴레이트(PMMA)와 같은 아크릴계 고분자, 폴리스티렌(PS), phenol그룹을 갖는 고분자 유도체, 이미드계 고분자, 아릴에테르계 고분자, 아마이드계 고분자, 불소계고분자, p-자일렌계 고분자, 비닐알콜계 고분자 및 이들의 혼합물 등을 포함할 수 있다.
한편, 제2 절연막(208) 상에는 유기발광소자(OLED)가 배치될 수 있다. 유기발광소자(OLED)는 화소 전극(210), 발광층(EML: Emission Layer)을 포함하는 중간층(220) 및 대향 전극(230)을 포함할 수 있다.
화소 전극(210)은 (반)투명 전극 또는 반사형 전극으로 형성될 수 있다. (반)투명 전극으로 형성될 때에는 예컨대 ITO, IZO, ZnO, In2O3, IGO 또는 AZO로 형성될 수 있다. 반사형 전극으로 형성될 때에는 Ag, Mg, Al, Pt, Pd, Au, Ni, Nd, Ir, Cr 및 이들의 화합물 등으로 형성된 반사막과, ITO, IZO, ZnO, In2O3, IGO 또는 AZO로 형성된 층을 가질 수 있다. 물론 본 발명이 이에 한정되는 것은 아니고 다양한 재질로 형성될 수 있으며, 그 구조 또한 단층 또는 다층이 될 수 있는 등 다양한 변형이 가능하다.
제2 절연막(208)에 의해 정의된 화소영역에는 중간층(220)이 각각 배치될 수 있다. 이러한 중간층(220)은 전기적 신호에 의해 빛을 발광하는 발광층(EML: Emission Layer)을 포함하며, 발광층(EML)을 이외에도 발광층(EML)과 화소 전극(210) 사이에 배치되는 홀 주입층(HIL: Hole Injection Layer), 홀 수송층(HTL: Hole Transport Layer) 및 발광층(EML)과 대향 전극(230) 사이에 배치되는 전자 수송층(ETL: Electron Transport Layer), 전자 주입층(EIL: Electron Injection Layer) 등이 단일 혹은 복합의 구조로 적층되어 형성될 수 있다. 물론 중간층(220)은 반드시 이에 한정되는 것은 아니고, 다양한 구조를 가질 수도 있음은 물론이다.
발광층(EML)을 포함하는 중간층(220)을 덮으며 화소 전극(210)에 대향하는 대향 전극(230)이 플렉서블 기판(100) 전면(全面)에 걸쳐서 배치될 수 있다. 대향 전극(230)은 (반)투명 전극 또는 반사형 전극으로 형성될 수 있다.
대향 전극(230)이 (반)투명 전극으로 형성될 때에는 일함수가 작은 금속 즉, Li, Ca, LiF/Ca, LiF/Al, Al, Ag, Mg 및 이들의 화합물로 형성된 층과 ITO, IZO, ZnO 또는 In2O3 등의 (반)투명 도전층을 가질 수 있다. 대향 전극(230)이 반사형 전극으로 형성될 때에는 Li, Ca, LiF/Ca, LiF/Al, Al, Ag, Mg 및 이들의 화합물로 형성된 층을 가질 수 있다. 물론 대향 전극(230)의 구성 및 재료가 이에 한정되는 것은 아니며 다양한 변형이 가능함은 물론이다.
지금까지는 플렉서블 디스플레이 장치에 대해서만 주로 설명하였으나, 본 발명이 이에 한정되는 것은 아니다. 예컨대 이러한 플렉서블 디스플레이 장치를 제조하기 위한 플렉서블 디스플레이 장치 제조방법 역시 본 발명의 범위에 속한다고 할 것이다.
도 6 내지 도 9는 본 발명의 일 실시예에 관한 플렉서블 디스플레이 장치(1)의 제조 공정을 개략적으로 도시하는 단면도들이다.
도 6을 참조하면, 먼저 지지 기판(10) 상에 무기물을 포함하는 희생층(110)을 형성하는 단계를 거쳐, 희생층(110) 상에 제1 배리어층(120)을 형성한 후, 제1 배리어층(120) 상에 금속 및/또는 금속 산화물을 포함하는 제1 물질층(130)을 형성할 수 있다.
지지 기판(10)은 글라스재, 금속재 등으로 형성할 수 있으며, 제조 공정 중에 플렉서블 기판 상에 형성되는 각종 층들을 지지하는 역할을 할 수 있다.
희생층(110)은 예컨대, 내화 금속(refractory metal)류 중 적어도 하나를 포함하는 산화물을 포함하여 형성할 수 있다. 내화 금속이란 높은 열에도 녹지 아니하고 잘 견디는 금속 또는 그러한 금속의 합금을 지칭하는 것으로, 일반적으로 1100℃ 이상의 고온에서도 녹지 않는 금속을 의미한다. 이러한 내화 금속으로는 예컨대 Nb, Mo, Ta, W, Ti 등을 포함할 수 있다. 이와 같은 내화 금속의 산화물을 포함하는 희생층(110)을 지지 기판(10) 상에 전면 형성함에 따라, 지기 기판으로부터 플렉서블 기판을 분리하는 과정에서 플렉서블 기판이 손상되거나 미박리되는 등의 이슈를 해결할 수 있다.
제1 배리어층(120)은 이러한 희생층(110) 상에 형성될 수 있다. 제1 배리어층(120)은 무기물을 포함할 수 있으며, 예컨대 실리콘옥사이드 및/또는 실리콘나이트라이드 등으로 형성될 수 있으나, 본 발명이 반드시 이에 한정되는 것은 아니다.
제1 물질층(130)은 제1 배리어층(120) 상에 형성될 수 있다. 제1 물질층(130)은 금속 및/또는 금속 산화물을 포함할 수 있다. 제1 물질층(130)은 예컨대 ITO, 알루미늄(Al), 백금(Pt), 팔라듐(Pd), 은(Ag), 마그네슘(Mg), 금(Au), 니켈(Ni), 네오디뮴(Nd), 이리듐(Ir), 크롬(Cr), 리튬(Li), 칼슘(Ca), 몰리브덴(Mo), 티타늄(Ti), 텅스텐(W), 구리(Cu) 중 하나 이상의 물질 및/또는 하나 이상의 물질의 산화물을 포함할 수 있으나, 반드시 이에 한정되는 것은 아니다.
도 7을 참조하면, 제1 물질층(130) 상에 플렉서블 기판(100)을 형성하는 단계를 거쳐, 플렉서블 기판(100) 상에 제2 배리어층(140)을 형성할 수 있다.
플렉서블 기판(100)은 플렉서블 특성을 갖는 것으로서, PET(Polyethylen terephthalate), PEN(Polyethylen naphthalate), 폴리이미드(Polyimide) 등과 같은 플라스틱재 등, 다양한 재료로 형성된 것일 수 있다.
제2 배리어층(140)은 무기물을 포함할 수 있으며, 예컨대 실리콘옥사이드 및/또는 실리콘나이트라이드 등으로 형성될 수 있으나, 본 발명이 반드시 이에 한정되는 것은 아니다.
도 8을 참조하면, 제2 배리어층(140) 상에 디스플레이부(200)를 형성하는 단계를 거쳐, 디스플레이부(200)를 덮는 박막봉지층을 디스플레이부(200) 상에 형성할 수 있다. 디스플레이부(200)의 상세한 구조에 관하여는 전술한 도 5의 설명과 중복되는바 이를 원용한다.
그 후 도 9를 참조하면, 희생층(110) 계면에서 지지 기판(10)과 제1 배리어층(120)을 분리하는 단계를 거칠 수 있다. 이때 지지 기판(10)과 제1 배리어층(120)을 분리하는 과정에서, 제1 물질층(130)이 존재하지 않는 경우 제1 배리어층(120)과 플렉서블 기판(100) 사이에 물성 차이에 따른 박리 이슈가 발생한다.
즉, 플렉서블 기판(100)의 타면(100b)에 배치된 제1 배리어층(120)은 플렉서블 기판(100)의 타면(100b)측으로부터의 외기 투습을 방지하기 위해 플렉서블 기판(100)의 타면(100b) 상에 형성되는데, 이러한 제1 배리어층(120)은 무기물을 포함하는 반면, 플렉서블 기판(100)은 플라스틱재와 같은 유기물을 포함할 수 있다. 따라서 플렉서블 기판(100) 측으로 유입되는 외기 투습을 방지하기 위해 플렉서블 기판(100)과 제1 배리어층(120)이 밀착 형성되어야 함에도 불구하고, 상호 포함하고 있는 물질의 물성의 차이로 인하여 박리 불량의 이슈 또는 유기층과 무기층 간에 발생하는 기포 형성 이슈 등의 문제점이 발생한다.
따라서 본 실시예에 따른 플렉서블 디스플레이 장치의 제조방법에서는 상술한 것과 같이 플렉서블 기판(100)과 제1 배리어층(120) 사이에 제1 물질층(130)을 형성할 수 있다. 제1 물질층(130)은 플렉서블 기판(100) 및 제1 배리어층(120) 사이에 직접 개재될 수 있으며, 플렉서블 기판(100) 및 제1 배리어층(120)에 면 접촉하여 직접 컨택할 수 있다.
금속 또는 금속 산화물을 포함하는 제1 물질층(130)은 일면(100a)으로 플렉서블 기판(100)과 접하면서 동시에 타면(100b)으로 제1 배리어층(120)과 접하게된다. 금속 또는 금속 산화물을 포함하는 제1 물질층(130)은 유기층 및 무기층 양 측 모두와 접착력(adhesion)이 우수한 특성을 갖는바, 따라서 이와 같은 제1 물질층(130)은 플렉서블 기판(100)과 제1 배리어층(120) 사이에 개재하였을 때, 층을 형성하는 물질의 물성의 차이로 인하여 박리 불량의 이슈 또는 유기층과 무기층 간에 발생하는 기포 형성 이슈 등을 획기적으로 해결할 수 있다. 또한 제1 물질층(130)은 배리어 기능도 함께 수행할 수 있어, 플렉서블 기판(100)을 두 층 이상 구비하는 효과를 기대할 수 있다.
본 발명은 도면에 도시된 실시예를 참고로 설명되었으나 이는 예시적인 것에 불과하며, 당해 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 다른 실시예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 첨부된 특허청구범위의 기술적 사상에 의하여 정해져야 할 것 이다.
1, 2, 3, 4: 플렉서블 디스플레이 장치
10: 지지 기판
100: 플렉서블 기판
100a: 일면
100c: 측면
100b: 타면
110: 희생층
120: 제1 배리어층
130: 제1 물질층
140: 제2 배리어층
200: 디스플레이부
300: 박막봉지층

Claims (17)

  1. 일면과 상기 일면에 반대되는 타면을 갖고, 유기물을 포함하는, 플렉서블 기판;
    상기 플렉서블 기판의 상기 일면에 배치되는 디스플레이부;
    상기 플렉서블 기판의 상기 타면에 배치되며 무기물을 포함하는 제1 배리어층;
    상기 플렉서블 기판과 상기 디스플레이부 사이에 개재되는 제2 배리어층;
    상기 제1 배리어층과 상기 플렉서블 기판 사이에 개재되어 각각 직접 접촉하며 금속을 포함하는 제1 물질층; 및
    상기 플렉서블 기판과 상기 제2 배리어층 사이에 개재되어 각각 직접 접촉하며 금속을 포함하는 제2 물질층;을 구비하고,
    상기 제1 물질층 및 상기 제2 물질층은 알루미늄(Al), 백금(Pt), 팔라듐(Pd), 은(Ag), 마그네슘(Mg), 금(Au), 니켈(Ni), 네오디뮴(Nd), 이리듐(Ir), 크롬(Cr), 리튬(Li), 칼슘(Ca), 몰리브덴(Mo), 텅스텐(W), 구리(Cu) 중 선택된 적어도 하나 이상의 물질을 포함하는, 플렉서블 디스플레이 장치.
  2. 삭제
  3. 삭제
  4. 제1항에 있어서,
    상기 제1 물질층은 금속의 산화물을 포함하는, 플렉서블 디스플레이 장치.
  5. 삭제
  6. 제1항에 있어서,
    상기 제2 물질층은 금속의 산화물을 포함하는, 플렉서블 디스플레이 장치.
  7. 제1항에 있어서,
    상기 플렉서블 기판은 상기 일면과 상기 타면을 연결하는 측면을 더 가지며, 상기 제2 배리어층은 상기 플렉서블 기판의 상기 일면 및 상기 측면을 덮는, 플렉서블 디스플레이 장치.
  8. 삭제
  9. 삭제
  10. 삭제
  11. 지지 기판 상에 무기물을 포함하는 희생층을 형성하는 단계;
    상기 희생층 상에 무기물을 포함하는 제1 배리어층을 형성하는 단계;
    상기 제1 배리어층 바로 상에 금속을 포함하는 제1 물질층을 형성하는 단계;
    상기 제1 물질층 바로 상에 유기물을 포함하는 플렉서블 기판을 형성하는 단계;
    상기 플렉서블 기판 바로 상에 금속을 포함하는 제2 물질층을 형성하는 단계;
    상기 제2 물질층 바로 상에 무기물을 포함하는 제2 배리어층을 형성하는 단계; 및
    상기 제1 배리어층을 상기 지지 기판으로부터 분리시키는 단계;
    를 포함하고,
    상기 제1 물질층 및 상기 제2 물질층은 알루미늄(Al), 백금(Pt), 팔라듐(Pd), 은(Ag), 마그네슘(Mg), 금(Au), 니켈(Ni), 네오디뮴(Nd), 이리듐(Ir), 크롬(Cr), 리튬(Li), 칼슘(Ca), 몰리브덴(Mo), 텅스텐(W), 구리(Cu) 중 선택된 적어도 하나 이상의 물질을 포함하는, 플렉서블 디스플레이 장치의 제조방법.
  12. 제11항에 있어서,
    상기 플렉서블 기판 상에 디스플레이부를 형성하는 단계;를 더 포함하는, 플렉서블 디스플레이 장치의 제조방법.
  13. 삭제
  14. 삭제
  15. 제11항에 있어서,
    상기 제2 물질층은 상기 금속과 결합하는 산소를 더 포함하는, 플렉서블 디스플레이 장치의 제조방법.
  16. 제11항에 있어서,
    상기 희생층은 내화 금속(refractory metal)류 중 적어도 하나를 포함하는 산화물인, 플렉서블 디스플레이 장치의 제조방법.
  17. 제11항에 있어서,
    상기 제1 물질층은 상기 금속과 결합하는 산소를 더 포함하는, 플렉서블 디스플레이 장치의 제조방법.
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