KR102396220B1 - Apparatus for clamping carrier film - Google Patents

Apparatus for clamping carrier film Download PDF

Info

Publication number
KR102396220B1
KR102396220B1 KR1020200050763A KR20200050763A KR102396220B1 KR 102396220 B1 KR102396220 B1 KR 102396220B1 KR 1020200050763 A KR1020200050763 A KR 1020200050763A KR 20200050763 A KR20200050763 A KR 20200050763A KR 102396220 B1 KR102396220 B1 KR 102396220B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
carrier film
inner ring
friction
elastic body
ring
Prior art date
Application number
KR1020200050763A
Other languages
Korean (ko)
Other versions
KR20210132412A (en
Inventor
김태원
Original Assignee
김태원
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 김태원 filed Critical 김태원
Priority to KR1020200050763A priority Critical patent/KR102396220B1/en
Publication of KR20210132412A publication Critical patent/KR20210132412A/en
Application granted granted Critical
Publication of KR102396220B1 publication Critical patent/KR102396220B1/en

Links

Images

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67011—Apparatus for manufacture or treatment
    • H01L21/67132—Apparatus for placing on an insulating substrate, e.g. tape
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01G—CAPACITORS; CAPACITORS, RECTIFIERS, DETECTORS, SWITCHING DEVICES, LIGHT-SENSITIVE OR TEMPERATURE-SENSITIVE DEVICES OF THE ELECTROLYTIC TYPE
    • H01G13/00—Apparatus specially adapted for manufacturing capacitors; Processes specially adapted for manufacturing capacitors not provided for in groups H01G4/00 - H01G11/00
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01G—CAPACITORS; CAPACITORS, RECTIFIERS, DETECTORS, SWITCHING DEVICES, LIGHT-SENSITIVE OR TEMPERATURE-SENSITIVE DEVICES OF THE ELECTROLYTIC TYPE
    • H01G4/00—Fixed capacitors; Processes of their manufacture
    • H01G4/30—Stacked capacitors

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)

Abstract

본 발명은 캐리어 필름 클램프 장치 및 그 작동 방법이 개시된다. 본 발명의 하나의 실시 예에 따른 캐리어 필름 클램프 장치 및 그 작동 방법은 반도체소자 제조 장치에 있어서 캐리어 필름을 지지하는 내측링 및 상기 내측링의 내측링 외측면과 결합되어 상기 캐리어 필름을 고정하는 외측링을 포함하고, 상기 내측링은 몸체와 상기 몸체 상에 상기 몸체보다 낮은 마찰계수의 재질로 이루어진 저마찰부를 포함하여 구성된다.The present invention discloses a carrier film clamp device and a method of operating the same. A carrier film clamp apparatus and an operating method thereof according to an embodiment of the present invention are combined with an inner ring for supporting a carrier film and an outer surface of the inner ring of the inner ring in a semiconductor device manufacturing apparatus to fix the carrier film Including a ring, the inner ring is configured to include a body and a low friction portion made of a material having a lower friction coefficient than the body on the body.

Description

캐리어 필름 클램프 장치 {APPARATUS FOR CLAMPING CARRIER FILM }Carrier Film Clamp Apparatus {APPARATUS FOR CLAMPING CARRIER FILM }

본 발명은 캐리어 필름 클램프 장치 및 그 작동 방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는 캐리어 필름의 손상을 방지하고 고정 및 해제가 용이한 구조의 캐리어 필름 클램프 장치 및 그 작동 방법에 관한 것이다The present invention relates to a carrier film clamp device and an operating method thereof, and more particularly, to a carrier film clamp device having a structure that prevents damage to a carrier film and facilitates fixing and releasing, and an operating method thereof

최근 들어 반도체 소자 제조 기술에 의하여 제조된 반도체 칩에 의하여 다양한 종류의 전자 제품들의 성능이 크게 향상되고 전자 제품의 사이즈는 크게 감소되고 있다.In recent years, the performance of various kinds of electronic products is greatly improved and the size of the electronic products is greatly reduced by the semiconductor chips manufactured by the semiconductor device manufacturing technology.

이 중 적층 세라믹 커패시터(Multi Layer Ceramic Condencer : 반도체소자)는 전기를 축적하거나 전류를 안정시키기 위하여 사용되는 커패시터(축전지)의 한 종류로서, 그 크기가 작고 정전용량이 커서 최근 휴대전화, MP3 플레이어, PMP 등 휴대용 전자기기에 널리 사용되고 있다. 특히 스마트 폰에는 한 대당 약 1,000~2,000개 이상 사용되고 있고, 점점 스마트해지는 자동차에도 MLCC의 사용이 10,000~20,000여 개에 달할 정도로 그 활용도가 높다.Among them, a multi-layer ceramic capacitor (semiconductor device) is a type of capacitor (storage battery) used to accumulate electricity or stabilize current. It is widely used in portable electronic devices such as PMPs. In particular, more than 1,000 to 2,000 MLCCs are used per unit for smartphones, and the use of MLCCs is high enough that 10,000 to 20,000 MLCCs are used in increasingly smart cars.

반도체소자는 세라믹 시트와 내부 금속 전극을 수십 내지 수백 층 교대로 적층한 후 외부전극을 연결함으로써 완성되며, 그 크기는 1mm 이하부터 수십 mm까지 다양하여 점차 소형화 추세로 진행되고 있다. 반도체소자에 사용되는 세라믹 시트는 지지체 상에 세라믹 슬러리가 균일하게 도포된 후 소성하여 형성되고, 기계적 강도, 치수 안정성, 내열성, 가격경쟁력 등이 우수한 2축 연신 폴리에스테르 필름이 기재로 사용되며, 그 일면에 고분자 실리콘 피막 도공(塗工)된 이형필름 형태로 사용되고 있다.A semiconductor device is completed by alternately stacking tens to hundreds of layers of ceramic sheets and internal metal electrodes and then connecting external electrodes. The size of the semiconductor device varies from less than 1 mm to tens of mm, and is gradually being miniaturized. Ceramic sheets used for semiconductor devices are formed by firing a ceramic slurry uniformly coated on a support, and a biaxially oriented polyester film with excellent mechanical strength, dimensional stability, heat resistance, price competitiveness, etc. is used as a substrate, and the It is used in the form of a release film coated with a polymer silicone film on one side.

상기 반도체소자의 제작 공정 중 하나의 예로서 반도체나 전자부품 등의 제조에서 웨이퍼 레벨의 제조 후 다이싱을 하여 부품을 핸들링하거나 다음 공정으로 진행될 때 이용되는 캐리어 필름 확장 공정에서 확장과 확장 후에 캐리어 필름의 클램핑이 필요하다.As an example of the manufacturing process of the semiconductor device, the carrier film after expansion and expansion in the carrier film expansion process used when handling the parts by dicing after wafer level manufacturing in the manufacturing of semiconductors or electronic parts, or proceeding to the next process clamping is required.

도 1은 종래의 클램프 장치의 모식도이다.BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS It is a schematic diagram of the conventional clamp apparatus.

도 1을 참조하면 캐리어 필름(10)을 지지링(20)에 공급하고 가압링(30)이 상방으로부터 하강하여 상기 캐리어 필름(10)을 클램핑하도록 구성되어 있다.Referring to FIG. 1 , the carrier film 10 is supplied to the support ring 20 and the pressing ring 30 is descended from above to clamp the carrier film 10 .

그러나 이러한 종래의 클램프 장치는 캐리어 필름의 클램핑시에 지지링(20)과 가압링(30) 사이의 간격 조절이 어려워 손상 또는 절단이 발생하는 경우가 많거나 클램핑이 제대로 이루어지지 않아 공정 효율성 및 품질을 저하시키는 문제가 된다.However, in this conventional clamping device, it is difficult to control the gap between the support ring 20 and the pressure ring 30 when the carrier film is clamped, so damage or cutting often occurs, or the clamping is not performed properly, resulting in process efficiency and quality. is a problem that lowers

대한민국 등록특허출원 제 10-1095512 호Republic of Korea Patent Application No. 10-1095512

본 발명의 일 실시 예는 상기 종래 기술의 문제점을 극복하기 위하여 캐리어 필름의 손상이나 절단 없이 클램핑이 이루어져 공정 효율성을 향상시키고 품질을 향상시킬 수 있는 캐리어 필름 클램프 장치 및 그 작동 방법을 제공하고자 한다.An embodiment of the present invention is to overcome the problems of the prior art, clamping is performed without damage or cutting of the carrier film to improve process efficiency and to provide a carrier film clamp device and an operating method thereof that can improve quality.

본 발명의 일 측면에 따르면, 반도체소자 제조 장치에 있어서 캐리어 필름을 지지하는 내측링 및 상기 내측링의 내측링 외측면과 결합되어 상기 캐리어 필름을 고정하는 외측링을 포함하고, 상기 내측링은 몸체와 상기 몸체 상에 상기 몸체보다 낮은 마찰계수의 재질로 이루어진 저마찰부를 포함할 수 있다.According to an aspect of the present invention, in an apparatus for manufacturing a semiconductor device, an inner ring for supporting a carrier film and an outer ring coupled to an outer surface of the inner ring of the inner ring to fix the carrier film, the inner ring is a body and a low-friction part on the body made of a material having a coefficient of friction lower than that of the body.

상기 저마찰부는 상면이 평면 또는 곡면 또는 상면과 곡면일 수 있다.An upper surface of the low-friction part may be a flat surface or a curved surface, or an upper surface and a curved surface.

상기 저마찰부는 상면의 외주부가 라운드 형상일 수 있다.The outer periphery of the upper surface of the low friction part may have a round shape.

상기 외측링에는 탄성체가 구비되어 상기 캐리어 필름을 상기 내측링에 밀착 고정시킬 수 있다.The outer ring may be provided with an elastic body to closely fix the carrier film to the inner ring.

상기 내측링의 내측링 외측면은 수직 방향을 기준으로 하광상협 형태로 경사진 구조일 수 있다.An outer surface of the inner ring of the inner ring may have a structure inclined in the form of a lower gwangsaeng-guk with respect to a vertical direction.

상기 내측링 외측면은 상기 탄성체의 형상에 대응되는 형상일 수 있다.The outer surface of the inner ring may have a shape corresponding to the shape of the elastic body.

상기 내측링 외측면에는 오목부가 형성될 수 있다.A concave portion may be formed on the outer surface of the inner ring.

상기 외측링은 상부에서 하방향으로 이동하여 상기 외측링에 구비되어 있는 상기 탄성체와 상기 내측링 외측면이 밀착하여 상기 캐리어 필름을 고정할 수 있다.The outer ring may move from the upper side to the lower direction so that the elastic body provided on the outer ring and the outer surface of the inner ring are in close contact to fix the carrier film.

상기 탄성체의 탄성체 외측면은 수직 방향을 기준으로 상광하협 형태로 경사진 구조일 수 있다.The outer surface of the elastic body of the elastic body may have a structure inclined in a vertical direction in a vertical direction.

상기 탄성체의 탄성체 외측면에는 돌기부가 형성될 수 있다.A protrusion may be formed on an outer surface of the elastic body of the elastic body.

상기 돌기부는 복수개가 이격 형성될 수 있다.A plurality of the protrusions may be formed to be spaced apart.

상기 오목부와 상기 돌기부가 결합하여 상기 캐리어 필름을 고정할 수 있다.The concave portion and the protrusion may be coupled to fix the carrier film.

상기 외측링에는 탄성체가 구비되어 상기 캐리어 필름을 상기 내측링에 밀착 고정시키고, 상기 탄성체는 크기가 다른 복수개의 이형 돌기부가 이격 형성될 수 있다.An elastic body may be provided on the outer ring to closely fix the carrier film to the inner ring, and a plurality of release protrusions having different sizes may be formed spaced apart from the elastic body.

상기 이형 돌기부는 하측에 위치하는 하측 이형 돌기부의 크기가 상측에 위치하는 상측 이형 돌기부의 크기보다 큰 구조일 수 있다.The release protrusion may have a structure in which the size of the lower release protrusion located at the lower side is larger than the size of the upper release protrusion located at the upper side.

상기 내측링 외측면에는 이형 오목부가 형성되어 있고, 상기 이형 오목부는 하측에 위치하는 하측 이형 오목부의 크기가 상측에 위치하는 상측 이형 오목부의 크기보다 큰 구조일 수 있다.A release concave portion may be formed on the outer surface of the inner ring, and the release concave portion may have a structure in which the size of the lower release concave portion located at the lower side is larger than the size of the upper release concave portion located at the upper side.

상기 외측링에는 탄성체가 구비되어 상기 캐리어 필름을 상기 내측링에 밀착 고정시키고, 상기 탄성체는 반구 형상의 복수개가 이격되어 위치할 수 있다.An elastic body is provided on the outer ring to closely fix the carrier film to the inner ring, and a plurality of elastic bodies having a hemispherical shape may be spaced apart from each other.

상기 외측링에는 탄성체가 구비되어 상기 캐리어 필름을 상기 내측링에 밀착 고정시키고, 상기 탄성체는 구 형상의 복수개가 이격 형성될 수 있다.An elastic body may be provided on the outer ring to closely fix the carrier film to the inner ring, and a plurality of elastic bodies in a spherical shape may be formed to be spaced apart.

상기 외측링에는 상기 탄성체가 위치하는 만입홈이 각각 형성될 수 있다.In the outer ring, the indentation groove in which the elastic body is located may be formed, respectively.

상기 외측링에는 탄성체가 구비되어 상기 캐리어 필름을 상기 내측링에 밀착 고정시키고, 상기 탄성체의 외면은 편평한 면 형상일 수 있다.An elastic body may be provided on the outer ring to closely fix the carrier film to the inner ring, and the outer surface of the elastic body may have a flat surface shape.

본 발명의 다른 측면에 따르면 반도체소자 제조 장치에 있어서 캐리어 필름을 지지하는 내측링 및 상기 내측링의 내측링 외측면과 결합되어 상기 캐리어 필름을 고정하는 외측링을 포함하고, 상기 내측링은 몸체와 상기 몸체 상에 상기 몸체보다 낮은 마찰계수의 재질로 이루어진 저마찰부를 포함하고, 상기 저마찰부는 상면이 곡면일 수 있다.According to another aspect of the present invention, an apparatus for manufacturing a semiconductor device includes an inner ring for supporting a carrier film and an outer ring coupled to an outer surface of the inner ring of the inner ring to fix the carrier film, wherein the inner ring includes a body and A low-friction part made of a material having a lower friction coefficient than the body may be included on the body, and the low-friction part may have a curved upper surface.

반도체소자 제조 장치에 있어서 캐리어 필름을 지지하는 내측링 및 상기 내측링의 내측링 외측면과 결합되어 상기 캐리어 필름을 고정하는 외측링을 포함하고, 상기 내측링은 몸체와 상기 몸체 상에 상기 몸체보다 낮은 마찰계수의 재질로 이루어진 저마찰부를 포함하고, 상기 저마찰부는 상면이 평면에서 반경 방향을 향해 곡면을 이루는 구조일 수 있다.In the semiconductor device manufacturing apparatus, comprising: an inner ring for supporting a carrier film and an outer ring coupled to an outer surface of the inner ring of the inner ring to fix the carrier film, wherein the inner ring is formed on the body and on the body rather than on the body It may include a low friction part made of a material having a low coefficient of friction, and the low friction part may have a structure in which an upper surface of the low friction part is curved from a plane to a radial direction.

상기 평면의 마찰계수는 곡면의 마찰계수보다 작을 수 있다.The coefficient of friction of the plane may be smaller than the coefficient of friction of the curved surface.

본 발명의 또 다른 측면에 따르면 반도체소자 제조 장치에 있어서 캐리어 필름을 지지하는 내측링 및 상기 내측링의 내측링 외측면과 결합되어 상기 캐리어 필름을 고정하는 외측링을 포함하고, 상기 내측링은 몸체와 상기 몸체 상에 상기 몸체보다 낮은 마찰계수의 재질로 이루어진 저마찰부를 포함하고, 상기 저마찰부는 상면이 복수의 상이한 마찰 계수로 구성되어 평면을 이루는 구조일 수 있다.According to another aspect of the present invention, in an apparatus for manufacturing a semiconductor device, an inner ring for supporting a carrier film and an outer ring coupled to an outer surface of the inner ring of the inner ring to fix the carrier film, the inner ring is a body and a low-friction part on the body made of a material having a lower friction coefficient than the body, and the low-friction part may have a structure in which an upper surface is configured with a plurality of different coefficients of friction to form a plane.

상기 평면은 마찰 계수에 따라 중심으로부터 반경방향으로 환형을 이룰 수 있다.The plane may be annular in the radial direction from the center according to the coefficient of friction.

상기 평면은 중심으로부터 반경방향으로 마찰 계수가 커질 수 있다.The plane may have a large coefficient of friction in a radial direction from the center.

상기 평면은 마찰 계수에 따라 표면적이 증가할 수 있다.The plane may have an increased surface area according to the coefficient of friction.

상기 외측링에는 탄성체가 구비되어 상기 캐리어 필름을 상기 내측링에 밀착 고정시키고, 상기 탄성체에는 구 형상의 복수개가 이격 형성될 수 있다.An elastic body may be provided on the outer ring to closely fix the carrier film to the inner ring, and a plurality of spherical shapes may be formed spaced apart from the elastic body.

상기 탄성체는 복수개가 이격 또는 연속 형성될 수 있다.A plurality of the elastic body may be spaced apart or continuously formed.

본 발명의 또 다른 측면에 따르면 캐리어 필름 클램프 장치의 작동 방법으로서, 캐리어 필름을 공급하여 내측링으로 지지하는 단계, 외측링이 상기 내측링을 향해 이동하는 단계, 및 상기 외측링에 구비되어 있는 탄성체와 내측링이 밀착하여 상기 캐리어 필름을 고정하는 단계를 포함할 수 있다.According to another aspect of the present invention, there is provided a method of operating a carrier film clamp device, the step of supplying a carrier film and supporting it with the inner ring, the step of moving the outer ring toward the inner ring, and the elastic body provided on the outer ring and fixing the carrier film in close contact with the inner ring.

상기 캐리어 필름을 고정하는 단계는 상기 내측링에 형성되어 있는 오목부와 상기 탄성체에 형성되어 있는 돌기부가 결합하여 상기 캐리어 필름을 밀착 고정할 수 있다.In the fixing of the carrier film, the concave portion formed in the inner ring and the protrusion formed in the elastic body may be combined to closely fix the carrier film.

상기 캐리어 필름을 고정하는 단계는 몸체와 저마찰부의 상이한 마찰계수에 의해 마찰력의 차이로 상기 캐리어 필름을 밀착 고정할 수 있다.In the fixing of the carrier film, the carrier film may be closely fixed with a difference in frictional force due to different coefficients of friction between the body and the low-friction part.

상기 캐리어 필름을 고정하는 단계는 상기 저마찰부를 구성하는 상이한 마찰계수에 의한 마찰력의 차이로 상기 캐리어 필름을 밀착 고정할 수 있다.In the fixing of the carrier film, the carrier film may be closely fixed with a difference in frictional force due to different coefficients of friction constituting the low-friction part.

본 발명의 하나의 실시 예에 따르면, 캐리어 필름 클램프 장치 및 그 작동 방법은 캐리어 필름의 손상이나 절단을 방지하면서 클램핑이 이루어져 공정 효율성 및 품질을 향상시키는 효과를 제공할 수 있다.According to one embodiment of the present invention, a carrier film clamping device and an operating method thereof may provide an effect of improving process efficiency and quality by clamping while preventing damage or cutting of a carrier film.

도 1은 종래의 클램프 장치의 모식도이다.
도 2는 본 발명의 하나의 실시 예에 따른 캐리어 필름 클램프 장치의 모식도이다.
도 3은 본 발명의 다른 실시 예에 따른 캐리어 필름 클램프 장치의 모식도이다.
도 4는 본 발명의 또 다른 실시 예에 따른 캐리어 필름 클램프 장치의 모식도이다.
도 5는 본 발명의 또 다른 실시 예에 따른 캐리어 필름 클램프 장치의 모식도이다.
도 6은 본 발명의 또 다른 실시 예에 따른 캐리어 필름 클램프 장치의 모식도이다.
도 7은 캐리어 필름 클램프 장치의 작동 방법의 흐름도이다.
도 8은 본 발명의 하나의 실시 예에 따른 캐리어 필름 클램프 장치의 실험예이다.BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS It is a schematic diagram of the conventional clamp apparatus.
2 is a schematic diagram of a carrier film clamp device according to an embodiment of the present invention.
3 is a schematic diagram of a carrier film clamp device according to another embodiment of the present invention.
4 is a schematic diagram of a carrier film clamp device according to another embodiment of the present invention.
5 is a schematic diagram of a carrier film clamp device according to another embodiment of the present invention.
6 is a schematic diagram of a carrier film clamp device according to another embodiment of the present invention.
7 is a flowchart of a method of operating a carrier film clamp device.
8 is an experimental example of a carrier film clamp device according to an embodiment of the present invention.

이하 설명하는 실시 예들은 본 발명의 기술 사상을 당업자가 용이하게 이해할 수 있도록 제공되는 것으로 이에 의해 본 발명이 한정되지는 않는다. 또한, 첨부된 도면에 표현된 사항들은 본 발명의 실시 예들을 쉽게 설명하기 위해 도식화된 도면으로 실제로 구현되는 형태와 상이할 수 있다.The embodiments described below are provided so that those skilled in the art can easily understand the technical spirit of the present invention, and the present invention is not limited thereto. In addition, matters expressed in the accompanying drawings may be different from the forms actually implemented in the drawings schematically for easy explanation of the embodiments of the present invention.

어떤 구성요소가 다른 구성요소에 연결되어 있거나 접속되어 있다고 언급될 때에는, 그 다른 구성요소에 직접적으로 연결 또는 접속되어 있을 수도 있지만, 중간에 다른 구성요소가 존재할 수도 있다고 이해되어야 한다.When a component is referred to as being connected or connected to another component, it may be directly connected or connected to the other component, but it should be understood that another component may exist in between.

도 2는 본 발명의 하나의 실시 예에 따른 캐리어 필름 클램프 장치의 모식도이다.2 is a schematic diagram of a carrier film clamp device according to an embodiment of the present invention.

도 2를 참조하면 본 발명의 하나의 실시 예에 따른 캐리어 필름 클램프 장치(1000)는 캐리어 필름(10)을 지지하는 내측링(100) 및 상기 내측링(100)의 내측링 외측면(110)과 결합되어 상기 캐리어 필름(10)을 고정하는 외측링(200)을 포함하고, 상기 내측링(100)은 몸체(102)와 상기 몸체(102) 상에 상기 몸체(102)보다 낮은 마찰계수의 재질로 이루어진 저마찰부(104)를 포함하여 구성되어 있고, 상기 저마찰부(104)의 마찰계수 μ1은 상기 몸체(102)의 마찰계수 μ2보다 작은 것이 바람직하다. 여기서 상기 저마찰부(104)는 상면(106)이 평면(107)이며 상기 상면(106)의 외주부(109)가 라운드 형상으로 구성되어 있다.Referring to FIG. 2 , the carrier film clamp device 1000 according to an embodiment of the present invention includes an inner ring 100 supporting the carrier film 10 and an inner ring outer surface 110 of the inner ring 100 . and an outer ring 200 coupled to and fixing the carrier film 10 , wherein the inner ring 100 has a lower coefficient of friction than the body 102 on the body 102 and the body 102 . It is configured to include a low friction portion 104 made of a material, and the friction coefficient μ 1 of the low friction portion 104 is preferably smaller than the friction coefficient μ 2 of the body 102 . Here, the upper surface 106 of the low friction portion 104 has a flat surface 107, and the outer peripheral portion 109 of the upper surface 106 has a round shape.

본 발명에 따르면 상기 외측링(200)에는 탄성체(210)가 구비되어 상기 캐리어 필름(10)을 상기 내측링(100)에 밀착 고정시키도록 구성되어 있다.According to the present invention, the outer ring 200 is provided with an elastic body 210 is configured to closely fix the carrier film 10 to the inner ring 100 .

하나의 구체적인 예에서 상기 내측링(100)의 내측링 외측면(110)은 수직 방향을 기준으로 하광상협 형태의 경사진 구조로서 상기 내측링 외측면(110)에는 오목부(112)가 형성되어 있고, 이때 상기 내측링 외측면(110)은 상기 탄성체(210)의 외부 형상에 대응되는 형상이 바람직하다.In one specific example, the inner ring outer surface 110 of the inner ring 100 is a slanted structure in the shape of a lower gwangguk in the vertical direction, and a concave portion 112 is formed in the inner ring outer surface 110 . In this case, the inner ring outer surface 110 preferably has a shape corresponding to the outer shape of the elastic body 210 .

여기서 상기 외측링(200)은 상부에서 하방향으로 이동하여 상기 외측링(200)에 구비되어 있는 상기 탄성체(210)와 상기 내측링 외측면(110)이 밀착하여 상기 캐리어 필름(10)을 고정하도록 되어 있다.Here, the outer ring 200 moves from the top to the bottom so that the elastic body 210 provided in the outer ring 200 and the outer surface 110 of the inner ring are in close contact to fix the carrier film 10 . it is to be done

본 발명에 따르면 상기 탄성체(210)는 수직 방향을 기준으로 상광하협 형태로 경사져 있으며, 상기 탄성체(210)의 탄성체 외측면(211)에는 돌기부(212)가 형성되어 있고, 상기 돌기부(212)는 복수개가 이격 형성되어 있다. 상기 돌기부(212)는 반원, 타원형 또는 다각형 형상일 수 있다.According to the present invention, the elastic body 210 is inclined in a vertical direction in a vertical direction, and a protrusion 212 is formed on the outer surface 211 of the elastic body 210 of the elastic body 210, and the protrusion 212 is A plurality is formed spaced apart. The protrusion 212 may have a semicircular, elliptical, or polygonal shape.

이러한 구조에 의해 상기 오목부(112)와 상기 돌기부(212)가 상호 대응되는 형상의 결합되는 구조로서 상기 캐리어 필름(10)을 밀착 고정하게 된다. 이때 상기 오목부(112)와 상기 돌기부(212)는 각각 복수개가 형성되어 있는 것이 바람직하고, 연속적으로 형성되어 있는 것도 바람직하다.As a result of this structure, the concave portion 112 and the protruding portion 212 are coupled to each other in a shape corresponding to each other, and the carrier film 10 is closely fixed. At this time, it is preferable that the concave portion 112 and the protrusion portion 212 are formed in plurality, respectively, and it is also preferable that they are formed continuously.

한편 상기 내측링 외측면(110)과 상기 탄성체 외측면(211)은 수직 단면을 기준으로 경사 각도 α의 범위는 3° 내지 5°가 바람직하다. 상기 경사 각도 범위를 벗어나서 작은 경우에는 상기 캐리어 필름(10)이 손상되거나 절단되고, 상기 경사 각도 α보다 큰 경우에는 상기 캐리어 필름(10)을 장시간 유지하지 못하여 바람직하지 않다.On the other hand, the range of the inclination angle α of the inner ring outer surface 110 and the elastic body outer surface 211 with respect to the vertical section is preferably 3 ° to 5 °. When the angle of inclination is smaller than the range, the carrier film 10 is damaged or cut, and when the angle of inclination is larger than the angle α, the carrier film 10 cannot be maintained for a long time, which is not preferable.

도 3은 본 발명의 다른 하나의 실시 예에 따른 캐리어 필름 클램프 장치의 모식도이다.3 is a schematic diagram of a carrier film clamp device according to another embodiment of the present invention.

도 3을 참조하면 본 발명의 하나의 실시 예에 따른 캐리어 필름 클램프 장치(1010)는 캐리어 필름(10)을 지지하는 내측링(100) 및 상기 내측링(100)의 내측링 외측면(110)과 결합되어 상기 캐리어 필름(10)을 고정하는 외측링(200)을 포함하고, 상기 내측링(100)은 몸체(102)와 상기 몸체(102) 상에 상기 몸체(102)보다 낮은 마찰계수의 재질로 이루어진 저마찰부(104)를 포함하고, 상기 저마찰부(104)는 상면(106)이 곡면으로 구성되어 있다.Referring to FIG. 3 , the carrier film clamp device 1010 according to an embodiment of the present invention includes an inner ring 100 supporting the carrier film 10 and an inner ring outer surface 110 of the inner ring 100 . and an outer ring 200 coupled to and fixing the carrier film 10 , wherein the inner ring 100 has a lower coefficient of friction than the body 102 on the body 102 and the body 102 . It includes a low-friction part 104 made of a material, and the low-friction part 104 has an upper surface 106 of a curved surface.

상기 외측링(200)에는 탄성체(210)가 구비되어 상기 캐리어 필름(10)을 상기 내측링(100)에 밀착 고정시키고, 상기 탄성체(210)의 탄성체 외측면(211)에는 크기가 다른 복수개의 이형 돌기부(213, 214)가 이격 형성되어 있다.An elastic body 210 is provided on the outer ring 200 to closely fix the carrier film 10 to the inner ring 100 , and a plurality of different sizes are provided on the elastic body outer surface 211 of the elastic body 210 . The irregular protrusions 213 and 214 are formed to be spaced apart.

본 발명에 따르면 상기 이형 돌기부(213, 214)는 하측에 위치하는 하측 이형 돌기부(214)의 크기가 상측에 위치하는 상측 이형 돌기부(213)의 크기보다 크고, 상기 내측링 외측면(110)에는 이형 오목부(113, 114)가 각각 형성되어 있으며, 상기 이형 오목부(113, 114)는 하측에 위치하는 하측 이형 오목부(114)의 크기가 상측에 위치하는 상측 이형 오목부(113)의 크기보다 큰 구조이다. 이는 상기 외측링(200)이 상방으로부터 상기 내측링(100)을 향해 하강하는 경우에 상측 이형 돌기부의 걸림 없이 정위치에 위치하도록 하기 위함이며 다른 동일한 구조에 대한 설명은 생략한다.According to the present invention, the size of the lower release protrusion 214 located on the lower side of the release protrusions 213 and 214 is larger than the size of the upper release protrusion 213 located on the upper side, and the inner ring outer surface 110 has The release concave portions 113 and 114 are respectively formed, and the release concave portions 113 and 114 have the size of the lower release concave portion 114 located on the lower side of the upper release concave portion 113 located on the upper side. The structure is larger than its size. This is to ensure that the outer ring 200 is positioned in the correct position without being caught in the upper deforming protrusion when the outer ring 200 descends from the upper side toward the inner ring 100, and a description of the other same structure will be omitted.

도 4는 본 발명의 또 다른 실시 예에 따른 캐리어 필름 클램프 장치의 모식도이다.4 is a schematic diagram of a carrier film clamp device according to another embodiment of the present invention.

도 4를 참조하면 또 다른 실시 예에 따른 캐리어 필름 클램프 장치(1020)는 캐리어 필름(10)을 지지하는 내측링(100) 및 상기 내측링(100)의 내측링 외측면(110)과 결합되어 상기 캐리어 필름(10)을 고정하는 외측링(200)을 포함하고, 상기 내측링(100)은 몸체(102)와 상기 몸체(102) 상에 상기 몸체(102)보다 낮은 마찰계수의 재질로 이루어진 저마찰부(104)를 포함하고, 상기 저마찰부(104)는 상면(106)이 평면(107)에서 반경 방향을 향해 곡면(108)을 이루도록 구성되어 있다. 이러한 구조에서 상기 평면(107)의 마찰계수 μ3은 곡면(108)의 마찰계수 μ4보다 작은 것이 바람직하다.Referring to FIG. 4 , the carrier film clamp device 1020 according to another embodiment is coupled to the inner ring 100 supporting the carrier film 10 and the inner ring outer surface 110 of the inner ring 100 , and an outer ring 200 for fixing the carrier film 10, wherein the inner ring 100 is made of a material having a lower coefficient of friction than the body 102 on the body 102 and the body 102. It includes a low friction portion 104 , wherein the low friction portion 104 is configured such that an upper surface 106 forms a curved surface 108 in a radial direction in a plane 107 . In this structure, the friction coefficient μ 3 of the plane 107 is preferably smaller than the friction coefficient μ 4 of the curved surface 108 .

본 발명에 따르면 상기 외측링(200)의 외측링 외측면에는 탄성체(210)가 구비되어 상기 캐리어 필름(10)을 상기 내측링(100)에 밀착 고정시킨다.According to the present invention, an elastic body 210 is provided on the outer surface of the outer ring of the outer ring 200 to closely fix the carrier film 10 to the inner ring 100 .

여기서 상기 탄성체(210)는 반구 형상의 복수개가 이격되어 위치하고 있고, 상기 몸체(102)와 상기 저마찰부(104)로 구성되어 있는 상기 내측링(100)에 형성되어 있는 오목부(112)와 각각 결합하게 되며 다른 동일한 구조에 대한 설명은 생략한다.Here, the elastic body 210 has a plurality of hemispherical shapes spaced apart from each other, and a concave portion 112 formed in the inner ring 100 composed of the body 102 and the low friction portion 104 and Each will be combined, and descriptions of other identical structures will be omitted.

도 5는 본 발명의 또 다른 실시 예에 따른 캐리어 필름 클램프 장치의 모식도이다.5 is a schematic diagram of a carrier film clamp device according to another embodiment of the present invention.

도 5를 참조하면 또 다른 실시 예에 따른 캐리어 필름 클램프 장치(1030)는 캐리어 필름(10)을 지지하는 내측링(100) 및 상기 내측링(100)의 내측링 외측면(110)과 결합되어 상기 캐리어 필름(10)을 고정하는 외측링(200)을 포함하고, 상기 내측링(100)은 몸체(102)와 상기 몸체(102) 상에 상기 몸체(102)보다 낮은 마찰계수의 재질로 이루어진 저마찰부(104)를 포함하고, 상기 저마찰부(104)는 상면(106)이 복수의 상이한 마찰 계수로 구성되어 평면(107-1, 107-2, 107-3)을 이루도록 구성되어 있다.Referring to FIG. 5 , the carrier film clamp device 1030 according to another embodiment is combined with the inner ring 100 supporting the carrier film 10 and the inner ring outer surface 110 of the inner ring 100 , and an outer ring 200 for fixing the carrier film 10, wherein the inner ring 100 is made of a material having a lower coefficient of friction than the body 102 on the body 102 and the body 102. a low friction portion 104 , wherein the low friction portion 104 is configured such that the upper surface 106 is configured with a plurality of different coefficients of friction to form planes 107 - 1 , 107 - 2 , 107 - 3 .

하나의 구체적인 예에서 상기 평면(107-1, 107-2, 107-3)은 각각의 마찰 계수(μ5, μ6, μ7) 에 따라 중심으로부터 반경방향으로 환형을 이루되, 마찰 계수의 크기가 μ5 <μ6 <μ7 순서로 되어 중심으로부터 중심으로부터 반경방향으로 점진적으로 커지고, 또한 증가하는 마찰 계수에 따라 표면적이 증가하도록 구성되어 있는 것이 바람직하다. 한편 상기 상면(106)의 외주부(109)는 라운드 형상으로 구성되어 있다.In one specific example, the planes 107-1, 107-2, 107-3 form an annular shape radially from the center according to the respective friction coefficients μ 5 , μ 6 , μ 7 , Preferably, the size is in the order of μ 5 < μ 6 < μ 7 and gradually increases from the center to the radial direction from the center, and the surface area is preferably configured to increase with the increasing coefficient of friction. On the other hand, the outer peripheral portion 109 of the upper surface 106 is configured in a round shape.

본 발명에 따르면 상기 외측링(200)에는 탄성체(210)가 구비되어 상기 캐리어 필름(10)을 상기 내측링(100)에 밀착 고정시킨다.According to the present invention, the outer ring 200 is provided with an elastic body 210 to closely fix the carrier film 10 to the inner ring 100 .

여기서 상기 외측링(200)의 외측링 외측면(201)에는 상기 탄성체(210)가 위치하는 만입홈(202)이 각각 형성되어 있고, 상기 만입홈(202)에는 구 형상의 복수개의 탄성체(210)가 각각 이격되어 위치하고 있다. 상기 탄성체(210)는 상기 내측링(100)의 내측링 외측면(110)에 형성되어 있는 오목부(112)와 각각 결합하게 되며 다른 동일한 구조에 대한 설명은 생략한다.Here, indentation grooves 202 in which the elastic body 210 is located are respectively formed on the outer ring outer surface 201 of the outer ring 200 , and a plurality of spherical elastic bodies 210 are formed in the indentation grooves 202 . ) are spaced apart from each other. The elastic body 210 is coupled to the concave portion 112 formed on the inner ring outer surface 110 of the inner ring 100, respectively, and a description of the other same structure will be omitted.

도 6은 본 발명의 또 다른 실시 예에 따른 캐리어 필름 클램프 장치의 모식도이다.6 is a schematic diagram of a carrier film clamp device according to another embodiment of the present invention.

도 6을 참조하면 또 다른 실시 예에 따른 캐리어 필름 클램프 장치(1040)는 캐리어 필름(10)을 지지하는 내측링(100) 및 상기 내측링(100)의 내측링 외측면(110)과 결합되어 상기 캐리어 필름(10)을 고정하는 외측링(200)을 포함하고, 상기 외측링(200)에는 탄성체(210)가 구비되어 상기 캐리어 필름(10)을 상기 내측링(100)에 밀착 고정시키되, 상기 탄성체(210)의 외면은 편평한 면 형상이다.Referring to FIG. 6 , the carrier film clamp device 1040 according to another embodiment is combined with the inner ring 100 supporting the carrier film 10 and the inner ring outer surface 110 of the inner ring 100 , It includes an outer ring 200 for fixing the carrier film 10, and the outer ring 200 is provided with an elastic body 210 to fix the carrier film 10 in close contact with the inner ring 100, The outer surface of the elastic body 210 has a flat surface shape.

상기 내측링(100)은 몸체(102)와 상기 몸체(102) 상에 상기 몸체(102)보다 낮은 마찰계수의 재질로 이루어진 저마찰부(104)를 포함하여 구성되어 있고, 상기 저마찰부(104)는 상면(106)이 평면(107)이며 상기 상면(106)의 외주부(109)가 라운드 형상으로 구성되어 있으며 다른 동일한 구조에 대한 설명은 생략한다.The inner ring 100 is configured to include a body 102 and a low friction part 104 made of a material having a lower coefficient of friction than the body 102 on the body 102, and the low friction part ( 104), the upper surface 106 is a flat surface 107, the outer peripheral portion 109 of the upper surface 106 is configured in a round shape, the description of the other same structure will be omitted.

도 7은 캐리어 필름 클램프 장치의 작동 방법의 흐름도이고, 도 8은 본 발명의 하나의 실시 예에 따른 캐리어 필름 클램프 장치의 실험예이다.7 is a flowchart of a method of operating a carrier film clamp device, and FIG. 8 is an experimental example of a carrier film clamp device according to an embodiment of the present invention.

도 7 및 도 8을 다른 도면들과 함께 참조하면 본 발명의 하나의 실시 예에 따른 캐리어 필름 클램프 장치의 작동 관계 및 작동 방법은 캐리어 필름(10)을 내측링(100)에 공급하여 상기 내측링(100)의 상면과 내측링 외측면(110)에 의해 지지되도록 하고(S110), 상기 외측링(200)이 상기 내측링(100)을 향해 이동된다(S120).7 and 8 together with other drawings, the operating relationship and operating method of the carrier film clamp device according to an embodiment of the present invention is to supply the carrier film 10 to the inner ring 100 to the inner ring (S110) to be supported by the upper surface and the inner ring outer surface 110 of (100), the outer ring 200 is moved toward the inner ring 100 (S120).

이어서 상기 외측링(200)에 구비되어 있는 상기 탄성체(210)와 상기 내측링(100)이 상호 밀착하여 상기 캐리어 필름(10)을 고정하게 된다(S130).Then, the elastic body 210 and the inner ring 100 provided in the outer ring 200 are in close contact with each other to fix the carrier film 10 (S130).

여기서 상기 캐리어 필름(10)을 고정할 때 상기 내측링(100)에 형성되어 있는 오목부(112)와 상기 탄성체(210)에 형성되어 있는 돌기부(212)가 상호 결합하여 상기 내측링(100)와 상기 외측링(200)의 결합 정확성이 향상되고 상기 캐리어 필름(10)을 밀착 고정하게 된다.Here, when the carrier film 10 is fixed, the concave portion 112 formed on the inner ring 100 and the protrusion portion 212 formed on the elastic body 210 are coupled to each other to form the inner ring 100 . and the coupling accuracy of the outer ring 200 is improved and the carrier film 10 is tightly fixed.

보다 상세하게는 상기 캐리어 필름(10)을 고정하는 단계는 몸체(102)와 저마찰부(104)의 상이한 마찰계수에 의해 마찰력의 차이로 상기 캐리어 필름(10)을 밀착 고정할 수 있다.In more detail, in the fixing of the carrier film 10 , the carrier film 10 may be closely fixed by a difference in frictional force due to different coefficients of friction between the body 102 and the low-friction part 104 .

이에 추가하여 상기 캐리어 필름(10)을 고정하는 단계는 상기 저마찰부(104)를 구성하는 상이한 마찰계수에 의한 마찰력의 차이로 상기 캐리어 필름(10)을 밀착 고정할 수 있다.In addition to this, in the fixing of the carrier film 10 , the carrier film 10 may be closely fixed by a difference in frictional force due to different coefficients of friction constituting the low-friction part 104 .

상기 외측링(200)이 상기 내측링(100)에 정확한 위치로 이동하지 못하는 경우가 발생하여도 상기 탄성체(210)에 의해 정위치로 조절되어 상기 캐리어 필름(10)의 유지력이 지속된다.Even if the outer ring 200 does not move to the correct position on the inner ring 100 , it is adjusted to the correct position by the elastic body 210 to maintain the holding force of the carrier film 10 .

이러한 작동 방법에 의한 실험예를 나타낸 표를 참조하면 상기 내측링 외측면(110)과 상기 탄성체 외측면(211)은 수직 단면을 기준으로 경사 각도 α의 범위가 3° 내지 5°인 경우에 클램핑 유지시간이 우수한 것을 알 수 있다.Referring to the table showing the experimental example by this operation method, the inner ring outer surface 110 and the elastic body outer surface 211 are clamped when the inclination angle α is 3° to 5° with respect to the vertical section. It can be seen that the holding time is excellent.

상기 경사 각도 α의 범위가 3°보다 작은 경우에 상기 캐리어 필름(10)의 클램핑 유지시간이 짧고 손상이 발생된다. 또한 α의 범위가 5°보다 크면 상기 캐리어 필름(10)의 클램핑 유지시간이 짧고 유지력이 저하되는 것을 알 수 있는데 이는 경사 각도 α뿐만 아니라 상기 캐리어 필름(10)과 상기 저마찰부(104)와 상기 몸체(102)로 구성되어 있는 내측링(100) 및 상기 캐리어 필름(10)과 상기 외측링(200) 사이에 작용하는 마찰력에 기인한다.When the range of the inclination angle α is less than 3°, the clamping holding time of the carrier film 10 is short and damage occurs. In addition, when the range of α is greater than 5°, it can be seen that the clamping holding time of the carrier film 10 is short and the holding force is reduced. It is due to the frictional force acting between the inner ring 100 and the carrier film 10 and the outer ring 200 composed of the body (102).

따라서 본 발명에 따른 캐리어 필름 클램프 장치 및 그 작동 방법은 캐리어 필름의 손상이나 절단을 방지하면서 정확한 위치에서 클램핑이 이루어져 공정 효율성 및 품질을 향상시키는 효과를 제공할 수 있다.Therefore, the carrier film clamp device and the operating method thereof according to the present invention can provide an effect of improving process efficiency and quality by clamping at an accurate position while preventing damage or cutting of the carrier film.

본 발명이 속하는 기술분야의 통상의 지식을 가진 자는 본 발명이 그 기술적 사상이나 필수적인 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시 예들은 여러 가지 실시 가능한 예 중에서 당 업자의 이해를 돕기 위하여 가장 바람직한 실시 예를 선정하여 제시한 것일 뿐, 이 발명의 기술적 사상이 반드시 제시된 실시 예에만 의해서 한정되거나 제한되는 것은 아니고, 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 다양한 변화와 부가 및 변경이 가능함은 물론, 균등한 타의 실시 예가 가능함을 밝혀둔다.Those of ordinary skill in the art to which the present invention pertains will understand that the present invention may be embodied in other specific forms without changing the technical spirit or essential features thereof. Therefore, the embodiments described above are only presented by selecting and presenting the most preferred embodiments to help those of ordinary skill in the art understand from among various possible embodiments, and the technical spirit of the present invention is not necessarily limited or limited only by the presented embodiments. No, it is pointed out that various changes, additions, and changes are possible without departing from the technical spirit of the present invention, as well as other equivalent embodiments.

10: 캐리어 필름 20: 지지링
30: 가압링 100: 내측링
102: 몸체 104: 저마찰부
106: 상면 107, 107-1, 107-2, 107-3: 평면
108: 곡면 109: 외주부
110: 내측링 외측면 112: 오목부
113: 상측 이형 오목부 114: 하측 이형 오목부
200: 외측링 201: 외측링 외측면
202: 만입홈 210: 탄성체
211: 탄성체 외측면 212: 돌기부
213: 상측 이형 돌기부 214: 하측 이형 돌기부
1000, 1010, 1020, 1030, 1040: 캐리어 필름 클램프 장치10: carrier film 20: support ring
30: pressure ring 100: inner ring
102: body 104: low friction part
106: upper surface 107, 107-1, 107-2, 107-3: flat surface
108: curved surface 109: outer periphery
110: inner ring outer surface 112: concave portion
113: upper release concave portion 114: lower release concave portion
200: outer ring 201: outer ring outer surface
202: indentation groove 210: elastic body
211: elastic body outer surface 212: protrusion
213: upper release protrusion 214: lower release protrusion
1000, 1010, 1020, 1030, 1040: carrier film clamp device

Claims (12)

삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 반도체소자 제조공정의 캐리어 필름 클램프 장치에 있어서,
캐리어 필름을 지지하는 내측링; 및
상기 내측링의 내측링 외측면과 결합되어 상기 캐리어 필름을 고정하는 외측링;
을 포함하고,
상기 내측링은 몸체와 상기 몸체 상에 상기 몸체의 마찰계수보다 낮은 마찰계수의 재질로 이루어진 저마찰부를 포함하되, 상기 저마찰부는 중심으로부터 반경방향으로 갈수록 평면에서 곡면으로 변화하고,
상기 평면은 마찰 계수에 따라 중심으로부터 반경방향으로 환형을 이루는 것을 특징으로 하는 캐리어 필름 클램프 장치.
In the carrier film clamp device of the semiconductor device manufacturing process,
an inner ring for supporting the carrier film; and
an outer ring coupled to an outer surface of the inner ring of the inner ring to fix the carrier film;
including,
The inner ring includes a body and a low friction part made of a material of a friction coefficient lower than that of the body on the body, and the low friction part changes from a plane to a curved surface from the center in a radial direction,
The carrier film clamp device, characterized in that the plane is annular in the radial direction from the center according to the coefficient of friction.
 삭제delete 제 7 항에 있어서,
상기 평면은 중심으로부터 반경방향으로 갈수록 마찰 계수가 커지는 것을 특징으로 하는 캐리어 필름 클램프 장치.
8. The method of claim 7,
Carrier film clamp device, characterized in that the plane increases in the radial direction from the center of the friction coefficient.
 제 9 항에 있어서,
상기 평면은 마찰 계수에 따라 표면적이 증가하는 것을 특징으로 하는 캐리어 필름 클램프 장치.
10. The method of claim 9,
The plane is a carrier film clamp device, characterized in that the surface area increases according to the coefficient of friction.
 제 7 항에 있어서,
상기 외측링에는 탄성체가 구비되어 상기 캐리어 필름을 상기 내측링에 밀착 고정시키고, 상기 탄성체에는 구 형상의 복수개가 이격 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 캐리어 필름 클램프 장치.
8. The method of claim 7,
The outer ring is provided with an elastic body to fix the carrier film in close contact with the inner ring, and a plurality of spherical shapes are formed in the elastic body to be spaced apart from each other.
 삭제delete
KR1020200050763A 2020-04-27 2020-04-27 Apparatus for clamping carrier film KR102396220B1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020200050763A KR102396220B1 (en) 2020-04-27 2020-04-27 Apparatus for clamping carrier film

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020200050763A KR102396220B1 (en) 2020-04-27 2020-04-27 Apparatus for clamping carrier film

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20210132412A KR20210132412A (en) 2021-11-04
KR102396220B1 true KR102396220B1 (en) 2022-05-10

Family

ID=78521769

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020200050763A KR102396220B1 (en) 2020-04-27 2020-04-27 Apparatus for clamping carrier film

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR102396220B1 (en)

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3179649B2 (en) 1993-02-18 2001-06-25 ゼネラル・エレクトリック・カンパニイ Production method of aromatic ether bisimide
JP2003168657A (en) 2001-11-30 2003-06-13 Apic Yamada Corp Manufacturing apparatus for semiconductor
JP2007081352A (en) * 2005-08-16 2007-03-29 Hugle Electronics Inc Gradient-vibration-type film sheet expander
JP2010147343A (en) * 2008-12-19 2010-07-01 Tokyo Seimitsu Co Ltd Wafer support device and wafer support method
KR100991078B1 (en) 2009-12-04 2010-10-29 임종경 Apparatus and method of expanding

Family Cites Families (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101095512B1 (en) 2009-11-02 2011-12-19 주식회사 에스에프에이 Chucking tray for oled manufacturing
JP3179649U (en) * 2012-08-31 2012-11-08 ヒューグルエレクトロニクス株式会社 Expander expansion ring

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3179649B2 (en) 1993-02-18 2001-06-25 ゼネラル・エレクトリック・カンパニイ Production method of aromatic ether bisimide
JP2003168657A (en) 2001-11-30 2003-06-13 Apic Yamada Corp Manufacturing apparatus for semiconductor
JP2007081352A (en) * 2005-08-16 2007-03-29 Hugle Electronics Inc Gradient-vibration-type film sheet expander
JP2010147343A (en) * 2008-12-19 2010-07-01 Tokyo Seimitsu Co Ltd Wafer support device and wafer support method
KR100991078B1 (en) 2009-12-04 2010-10-29 임종경 Apparatus and method of expanding

Also Published As

Publication number Publication date
KR20210132412A (en) 2021-11-04

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US8608885B2 (en) Substrate heat treatment apparatus
CN111415894A (en) Micro light-emitting diode transfer head
TW201522186A (en) Wafer handling system and method of handling a wafer
JP2013214739A (en) Method of peeling semiconductor chip from metal foil
US11309207B2 (en) Grounding mechanism for multi-layer for electrostatic chuck, and related methods
US20140183728A1 (en) Wafer supporting structure, intermediate structure of a semiconductor package including the wafer supporting structure
JP2000208447A (en) Semiconductor manufacturing apparatus and manufacture of semiconductor device
KR102396220B1 (en) Apparatus for clamping carrier film
KR102396219B1 (en) Apparatus for clamping carrier film and operating method thereof
KR102422147B1 (en) Apparatus for clamping carrier film
JP6033116B2 (en) Laminated wafer processing method and adhesive sheet
TW201013823A (en) Electrode transporter and fixture sets incorporating the same
KR102071123B1 (en) Substrate holding device, substrate holding member, and substrate holding method
JP2016031979A (en) Vacuum chuck
US9101085B2 (en) Expanding device and method for manufacturing components
JP5254832B2 (en) Wafer holding mechanism
JP5535011B2 (en) Substrate holding jig
JP2018508125A (en) Apparatus and method for chucking warped wafers
JP6849508B2 (en) Manufacturing method of holding device
CN218996672U (en) Wafer support
KR200488775Y1 (en) Blade for transferring wafer
KR200460715Y1 (en) Semiconductor chip pick-up apparatus
JP6512182B2 (en) Semiconductor device manufacturing method
CN107180783B (en) Bearing disc assembly and mechanical arm with same
US10950470B2 (en) Substrate bonding apparatus and bonding method using the same

Legal Events

Date Code Title Description
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant