KR102394018B1 - 스프링 캐리어 - Google Patents

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Abstract

작업편과 결합하기 위한 툴링은 몸체 및 탄성 재료로부터 모놀리식 구조로서 형성된 스프링 섹션을 갖는다. 적어도 3 개의 변형 가능한 암들은 이동 가능한 셔틀을 몸체에 연결하며, 암들은 몸체에 대한 셔틀의 제한된 이동을 가능하게 하도록 구성된다.

Description

스프링 캐리어{SPRUNG CARRIER}
본 발명은 툴링(tooling) 및 캐리어에 관한 것이다.
인쇄 또는 가공 공정과 같은 처리공정을 위해 예컨대 반도체 기판, 웨이퍼, 회로 기판 등과 같은 작업편을 고정하는데 사용되는 다양한 기술이 있다. 예컨대, 진공 클램핑은 신뢰성 있고 제어 가능하기 때문에 널리 사용된다. 그러나, 진공 클램핑이 기술적으로 부적절하거나 비용면에서 부적절한 다양한 상황이 있다. 견고한 고정 시스템은 작업편을 운반하고 탄성적인 기계적 클램핑을 실행하는 툴링을 포함하는 스프링 캐리어(sprung carrier)를 사용한다. 이러한 캐리어에 대한 바람직한 옵션은 스프링 암을 플라스틱 또는 다른 강성이지만 탄성적으로 변형 가능한 재료의 몸체 안으로 가공함으로써(즉, 기계 공구를 사용하여) 툴링을 제공하고, 작업편의 적어도 하나의 부분이 몸체에 부착되고, 작업편의 다른 부분이 스프링 암에 부착된 상태에서, 몸체 상에 작업편을 지지하는 것이다. 이러한 부착은, 예컨대, 캐리어 몸체와 암 모두에 돌출 핀을 제공하는 것을 포함할 수 있으며, 이 핀은 작업편에 형성된 대응하는 구멍과 결합된다. 스프링 시스템은 일련의 작업편에서 변형을 이루고 작업편의 열 팽창 및 압축을 허용하는 요구를 만족시키도록 사용되는 것이 중요하다.
공지된 스프링 캐리어(1)의 예는 세장형 회로 기판(2)을 장착하기 위하며 이 예에서 도 1a의 위로부터, 도 1b의 측면으로부터 및 도 1c의 단부로부터 개략적으로 도시되어 있다. 실제로, 캐리어(1) 및 기판(2)은 도시된 것보다 몇 배 더 길 수 있다. 캐리어(1)는 캐리어(1)의 플라스틱 재료를 가공함으로써 제 1 단부에 형성된 스프링 레그(3), 이 예에서는 "L 형" 레그를 포함하는 툴링을 가진다. 가공 공정은 레그(3) 주위에 갭(4)을 생성하고, 이는 레그가 캐리어(1)의 잔여부에 대해 이동하게 한다. 돌출 핀(5)은 기판(2)의 단부에 있는 대응하는 구멍과 결합하도록 레그(3)의 원위 단부에 위치된다. 기판(2)의 다른 단부는 캐리어(1)의 다른 제 2 단부에 있는 핀(6)과 유사하게 결합한다. 캐리어(1)의 플라스틱 재료는 탄성적이기 때문에, 레그(3)는 스프링으로서 작용하여, 도시된 중립 위치를 향한 편향력을 공급하면서 기판(2)의 길이와 평행한 방향(A)으로의 의도된 이동을 허용한다.
그러나, 이러한 캐리어는 관련된 문제를 가지고 있다. 특히, 레그(3)는 비틀림 하에서 캐리어의 평면 내에 놓인 방향(B)으로 회전할 것이다. 이로 인해, 핀(5) 및 기판(2)이 방향(A)에 직각으로의 원치 않는 이동 구성요소와 함께 주축에서 멀어지게 이동하게 할 수 있다. 이로 인해, 올바른 후속 처리를 보장하기 위한 추가 조치가 필요할 수 있으며, 이로 인해 처리 시간과 장비 비용이 추가될 수 있다.
또한, 핀(5)을 통해 레그(3)에 가해지는 힘은 레그가 캐리어(1)의 평면으로부터 멀어지게 벤딩되게 하여, 캐리어(1)의 상부면이 더 이상 완전히 수평이 아니다. 예컨대, 기판(2)이 냉각되어 수축되면, 수축은 레그(3)의 자유 단부가 상승하게 할 수 있는데, 즉 레그(3)의 주요 길이와 평행하고 방향(A)에 직교하는 회전축을 중심으로 방향(C)으로 회전할 수 있게 한다. 이는 기판(2)이 캐리어(1)로부터 들어 올려지게 할 수 있으며, 이는 후속 처리 동안 심각한 문제를 야기할 수 있다. 마찬가지로, 기판(2)의 열 팽창으로 인해 레그(3)의 자유 단부가 하향으로 회전하여 기판(2)에 변형이 가해질 수 있다. 또한, 일부 상황에서 레그(3)가 방향(A)에 평행한 축을 중심으로 방향(D)으로 회전하게 유발될 수 있다.
이러한 문제는 도 1a 내지 도 1c의 비교적 단순한 캐리어(1)보다 더 복잡한 캐리어에서 악화될 수 있다. 예컨대, 캐리어가 복수의 기판을 어레이에 장착 및 정렬시키려는 경우, 상이한 기판들 사이의 상이한 회전량으로 인해, 정렬 오류가 발생할 수 있다.
본 발명은 이러한 문제점을 회피하고, 기판 장착시 원하지 않는 회전 또는 리프팅 구성요소를 완전히 또는 적어도 실질적으로 제거하는 캐리어에 대한 결합 툴링을 제공한다.
본 발명에 따르면, 이 목적은 몸체 블록으로 가공될 수 있는 개선된 스프링 섹션에 의해 달성되며, 이는 다중 스프링 메커니즘을 사용함으로써 회전을 포함한 원치 않는 이동을 방지한다.
본 발명의 제 1 양태에 따르면, 작업편과 결합하기 위한 툴링이 제공되며, 상기 툴링은 몸체 및 탄성 재료로부터 모놀리식 구조로서 형성된 스프링 섹션을 포함하고, 상기 스프링 섹션은:
셔틀; 및
상기 셔틀을 상기 몸체에 각각 연결하는 적어도 3 개의 변형 가능한 암들을 포함하고,
상기 툴링은 사용 시에 작업편과 결합하도록 상기 셔틀에 의해 운반되는 결합 부재를 추가로 포함하고,
상기 암들은 상기 몸체에 대한 상기 셔틀의 제한된 이동을 가능하게 하도록 구성된다.
본 발명의 제 2 양태에 따르면, 제 1 양태에 따른 툴링을 포함하는, 적어도 하나의 작업편을 운반하기 위한 캐리어가 제공된다.
본 발명의 다른 특정 양태 및 특징은 첨부된 청구범위에 기재되어 있다.
명확성 및 일관성을 위해, 본원 및 첨부된 청구범위에 걸쳐 사용된 하기 용어는 다음과 같이 해석되어야 한다:
"모놀리식(Monolithic)"은 단일의 원래 재료 덩어리로부터 일체로 형성된 것을 의미하는데 사용된다;
"툴링"은 작업 위치에서 작업편을 지지, 운반 및/또는 구속하기에 적합한 장비 또는 장치를 의미하는데 사용된다;
"작업편"은 특히 반도체 기판, 웨이퍼 및 회로 기판을 포함하지만 이에 제한되지 않는 실질적으로 평면인 기판을 의미하는데 사용된다.
본 발명은 이제 첨부 도면(실척이 아님)을 참조하여 설명될 것이다.
도 1a 내지 도 1c는 각각 위, 측면 및 단부로부터 공지된 스프링 캐리어를 개략적으로 도시한다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 툴링을 포함하는 캐리어를 위로부터 개략적으로 도시한다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 툴링을 변위된 구성으로 위로부터 개략적으로 도시한다.
도 4는 본 발명의 다른 실시예에 따른 툴링을 포함하는 캐리어를 위로부터 개략적으로 도시한다.
도 5는 본 발명의 다른 실시예에 따른 개별화된 팔레트 캐리어를 사시도로 개략적으로 도시한다.
도 6은 도 5의 캐리어의 상부면을 확대 사시도로 개략적으로 도시한다.
도 7은 도 5의 캐리어의 하측면을 사시도로 개략적으로 도시한다.
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 툴링(11)을 포함하는 세장형 캐리어(10)를 위로부터 개략적으로 도시한다. 이러한 유형의 캐리어(10)는 즉 세장형 기판(도시되지 않음)을 안전하게 운반하기 위해, 도 1에 도시된 캐리어(1)와 유사한 용도를 가진다. 캐리어(10)는 실척으로 도시되지 않으며, 예컨대 도시된 것보다 훨씬 더 길 수 있다. 캐리어(10)는 예컨대 강성 플라스틱 재료와 같은 강성 재료로 형성되고, 실질적으로 일정한 두께(즉, 페이지 방향)의 직사각형 슬래브의 기본 형태를 갖는다. 이 실시예에서, 툴링(11)은 일 단부에서 캐리어(10)의 개방부(12) 내에 위치된 별개의 아이템으로서 제공된다. 당업자에게 잘 이해될 수 있는 예컨대 스크류, 접착제, 클립, 클램프 등의 다양한 고정 수단(도시되지 않음)이 툴링(11)을 캐리어(10)에 고정하기 위해 사용될 수 있으며, 개방부(12)는 사용된 고정 수단에 따라 캐리어(10)의 두께의 전부 또는 일부에 걸쳐서 연장될 수 있다. 툴링(11)은 필요하다면 다른 방식으로 캐리어(10) 내에 선택적으로 장착될 수 있다. 이러한 유형의 설계는 필요에 따라 모듈 방식으로 다른 툴링이 캐리어(10)에 장착될 수 있는 가요성을 갖는다. 툴링(11)은 개방부(12)의 깊이 및 개방부 내에서 툴링을 고정하는데 사용되는 고정 수단에 따라, 캐리어(10)의 두께와 유사하거나 더 얇은 실질적으로 일정한 두께의 실질적으로 직사각형 슬래브(비록 도 2에서 직사각형의 모서리는 취급이 용이하도록 약간 둥글게 도시되어 있음)의 기본 형태를 갖지만, 툴링(11)의 상부면이 캐리어(10)의 상부면과 동일 평면에 있도록 배열되어, 기판이 운반되는 평탄한 표면을 제공한다.
툴링(11)은 몸체(13) 및 스프링 섹션을 가지며, 이 스프링 섹션은 셔틀(14) 및 셔틀(14)을 몸체(13)에 연결하는 적어도 3 개의 세장형이면서 비교적 얇은 변형 가능한 암을 포함한다. 도시된 바와 같이, 아래에 더 자세히 설명되는 4개의 변형 가능한 암(15A-D)이 있다. 몸체(13) 및 스프링 섹션은 플라스틱 재료와 같은 강성이지만 탄성적인 재료로 모놀리식 구조로 형성된다. 유리하게는, 동일한 재료가 툴링의 캐리어(10)와 몸체 및 스프링 섹션 모두에 사용될 수 있는데, 이러한 재료는 특정 두께를 초과할 때 강성이고 변형에 저항할 수 있지만, 그 두께 미만일 때 예컨대 각각의 암(15A-D)의 두께에서 더 쉽게 변형될 수 있다는 점에 유의해야 한다. 스프링 섹션은 바람직하게는 탄성 재료의 고형 블록으로 가공함으로써 형성되며, 암(15A-D) 및 셔틀(14) 주위에 이동 갭(16)을 생성한다. 도 2에서, 셔틀(14)은 중립 상태로 도시되어 있어서 편향력이 없으며, 이동 갭(16)의 폭은 모든 곳에서 실질적으로 일정하다.
여기서 돌출 핀(17) 형태의 결합 부재는 셔틀의 상부면에 장착되어, 그로부터 상향 돌출된다. 캐리어(10)의 주축을 따라 핀(17)과 일직선으로, 원위 단부에서 캐리어(10)의 상부면으로부터 돌출하는 유사한 핀(18)이 제공된다. 사용 중에, 각 단부에 상보적 크기의 구멍이 제공된 기판은 그러므로 캐리어 상에 위치되고 이들 핀(17, 18)을 통해 고정될 수 있다.
각각의 변형 가능한 암(15A-D)은 그들의 주요 암 축들(즉, 각각의 암을 따라 이어지는 축들)이 평행하게 배열된 세장형이어서, 셔틀(14)의 이동을 암 축들과 직교하고 암 축들을 포함하는 평면과 평행한 이동 축을 따르는 병진이동으로 제한하고, 도 2에서 이 이동이 "M"으로 도시된다. 변형 가능한 암 중 적어도 2 개는 이동 축을 따라 이격되고, 예컨대 각각의 암(15A 및 15C)은 도시된 바와 같이 각각의 암(15B 및 15D)으로부터 이격되어 있다. 이 배열은 암 축들에 평행한 축을 중심으로 하는 셔틀(14)의 회전을 방지한다. 또한, 적어도 2개의 변형 가능한 암들은 암 축들에 평행한 방향으로 이격되고, 예컨대 각각의 암(15A 및 15B)은 도시된 바와 같이 각각의 암(15C 및 15D)으로부터 이격되어 있다. 이 배열은 툴링(11)의 평면 내에서 셔틀(14)의 원하지 않는 이동을 방지하고, 그 이동을 방향(M)에 평행하게 제한한다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 툴링(11)을 변위된 구성으로 위에서 개략적으로 도시한다. 도 3에 도시된 툴링(11)은 몸체(13)가 직사각형 형태인 점을 제외하고는 도 2의 것과 동일하고, 그러므로 유사한 참조 번호가 유지된다. 도 3에 도시된 바와 같이, 여기서 셔틀(14)은 도시된 바와 같이 이 예에서 우측에서 좌측으로 이동/변위 방향(M)으로 몸체(13)에 대해 변위된다. 가능한 최대 변위는 갭(16)의 폭에 의해 제한되므로, 셔틀(14)이 몸체(13)에 접할 때, 방향(M)으로의 추가 변위는 가능하지 않다는 것을 알 수 있다. 툴링(11)의 재료는 탄성적으로 변형 가능하고, 따라서 방향(M)으로의 셔틀(14)의 변위는 반대 편향력(F)을 발생시켜 셔틀(14)을 도 2에 도시된 중립 위치로 되돌려 보낸다. 물론, 셔틀이 반대 방향으로 변위되면, 결과적인 편향력도 역전될 것이다.
도 4는 본 발명의 다른 실시예에 따른 툴링을 포함하는 캐리어(20)를 위로부터 개략적으로 도시한다. 이 실시예는 도 2와 유사한 점이 많으므로 상세히 설명 할 필요는 없다. 이 실시예에서, 툴링의 몸체(23) 및 스프링 섹션을 갖는 캐리어(20)는 모놀리식 구조로서 형성된다. 이 배열은 도 2에 도시된 것만큼 가요성이 있지 않지만, 제조가 더 간단하고 잠재적으로 핀(27, 28)의 상대적으로 정확한 배치를 제공한다. 이 실시예에서, 스프링 섹션은 몸체(23)를 셔틀(24)에 연결하는 3 개의 변형 가능한 암(25A-C)만을 포함한다. 암(25A, 25B)은 암 축들에 평행한 축을 중심으로 하는 셔틀(24)의 회전을 방지하기 위해 이동 축을 따라 이격되어 있다. 또한, 암(25A, 25B)의 각각은 암(25)으로부터 암 축들에 평행한 방향으로 이격되어 툴링 평면 내에서 셔틀(24)의 원치 않는 이동을 방지한다.
개별화된 팔레트 캐리어에 관한 본 발명의 다른 실시예가 이제 도 5 내지 도 7을 참조하여 설명될 것이며, 여기서 도 5는 개별화된 팔레트 캐리어(30)를 개략적으로 사시도로 도시하고, 도 6은 방향(P)으로 캐리어(30)의 상부면의 확대 사시도를 개략적으로 도시하고, 도 7은 캐리어(30)의 하측면을 사시도로 개략적으로 도시한다.
도 5 내지 도 7에 도시된 것과 같은 개별화된 팔레트 캐리어(30)는 전형적으로 인쇄 회로 기판(PCB)을 생성하기 위해 예컨대 전도성 페이스트 또는 잉크로 인쇄 또는 금속화와 같은 동시 처리 작업을 위해 복수의 작업편을 지지하고 고정하는데 사용된다. 이러한 공정에서는, 개별화된 작업편이 동일한 상대 배향으로 고정되는 것이 일반적으로 필수적이다. 도시된 캐리어(30)는 정렬을 보장하기 위해 캐리어(30)에 작업편(31)을 고정하고 작업편을 캐리어에 대해 참조할 수 있다. 캐리어(30)의 벌크는 예컨대 플라스틱 재료와 같이 강성이지만 탄성적으로 변형 가능한 재료로 형성된다.
캐리어(30)는 그 상부면에 개별 각각의 작업편(31)을 수용하기 위한 프레임(32)의 어레이; 여기서는 5 x 3 어레이를 포함하고, 하나의 작업편(31)은 도 5에 제자리에 도시되어 있다. 캐리어(30)는 프레임(32)의 치수에 근접하게 적응하는 좁은 범위의 크기 내에 있는 특정 크기의 작업편(31) 또는 작업편들에 대해 설계되는 것을 주목해야 한다. 도시된 바와 같이, 프레임(32)은 특정 직사각형 작업편이 리세스의 적어도 2 개의 인접한 측면과 접하는 2 개의 인접한 측면을 갖는 리세스 내에 놓일 수 있도록 크기설정된 직사각형 리세스를 캐리어의 몸체 내에 포함한다. 이것은 특히 간단한 구성이며, 프레임이 캐리어와 모놀리식으로 형성될 수 있게 한다. 그러나, 예컨대 프레임이 상향 돌출 벽 또는 장벽을 포함하는 대안적인 구성이 동일하게 가능하다. 각각의 프레임(32)은 각각의 작업편과 결합하도록 각각의 툴링(33)에 의해 적어도 부분적으로 한정된다. 도시된 바와 같이, 각각의 툴링(33)은 가공에 의해 캐리어(30)와 모놀리식으로 형성되어, 캐리어(30)는 각각의 툴링(33)의 몸체를 효과적으로 구성하지만, 대안적인 실시예에서는 개별적으로 형성되고 후속하여 캐리어(30)에 고정될 수 있다. 각각의 툴링(33)은 동일 배향으로 정렬된다. 툴링(33)은 특히 도 6을 참조하여 이하에서 더 상세하게 설명될 것이다. 액세스 개구(34)는 각각의 프레임(32)의 모서리에서 캐리어(30) 내에 형성되며, 이 개구는 캐리어(30) 내로 충분히 깊이 연장되어서, 공구가 작업편(31)의 내부 및 하부에 삽입될 수 있게 해서 필요에 따라 작업편을 들어올리고(prize up) 따라서 캐리어(30)로부터 작업편을 용이하게 제거할 수 있다. 도 5에는 캐리어(30)에 수용된 캠 스크류(35)가 도시되어 있으며, 그 기능은 도 7을 특히 참조하여 아래에서 더 상세히 설명될 것이다.
도 6은 툴링(33)을 보다 상세히 도시한다. 툴링(33)은 예컨대 도 2에 도시된 것과 많은 유사성을 가지며, 예컨대 4 개의 변형 가능한 암(37)을 통해 캐리어(30)에 장착된 이동 가능한 셔틀(36)을 갖는다. 셔틀(36)은 내부 직각 모서리(39)를 형성하는 상승 프로파일을 갖는 결합 헤드(38)를 그 일 단부에 포함한다. 도시된 중립 위치에서, 직각 모서리(39)는 프레임(32)의 경계의 약간 내측으로 위치되며, 이러한 방식으로 프레임(32)을 부분적으로 한정한다. 따라서, 결합 헤드(38)는 사용 시에 작업편(31)의 측면과 결합하기 위한 셔틀(36)의 표면을 포함한다. 도 2의 툴링에서와 같이, 4 개의 변형 가능한 암(37)은 방향(M)을 따라 셔틀(36)의 이동을 제한하도록 작용한다. 정확한 크기의 작업편(31)이 프레임(32)에 삽입될 때, 작업편의 모서리는 툴링(33)의 직각 모서리(39)와 결합하고, 상기 프레임(32)에 대하여 상기 셔틀을 외측으로 밀어낸다. 상기 셔틀은 중립 위치를 향해 다시 편향될 것이고, 따라서 상기 작업편(31)은 상기 결합 헤드(38)와 상기 프레임(32)의 반대 표면 사이에서 효과적으로 클램핑될 것이다. 캐리어(30)의 모든 툴링(33)이 동일한 배향을 가지며, 캐리어(30) 내의 프레임(32)이 정렬되므로, 작업편은 캐리어(30)에 대해 정확하게 참조될 것이다.
도 7은 캐리어(30)의 하측면을 도시하고, 캐리어(30)는 좌우로 연장되는 축을 중심으로 뒤집어지만, 도 5와 동일한 관점에서 취해진다. 작동 플레이트(40)는 고정구(41)에 의해 캐리어(30)의 하측면에 장착된다. 편리하게, 플레이트(40)는 도시된 바와 같이 캐리어(30)의 베이스에 형성된 리세스 내에 위치될 수 있거나, 또는 대안적으로 캐리어(30)의 베이스 아래에 있을 수 있다. 작동 플레이트(40)는 작동 방향 축(A)을 따라 캐리어(30)에 대해 왕복 운동할 수 있도록 고정구(41)에 의해서 캐리어(30)에 이동 가능하게 장착된다. 이동 가이드(42)는 이 축을 따라 작동 플레이트(40)의 이동을 제한하도록 작용한다. 액추에이터, 여기서는 캠 스크류(35) 는 이 축을 따라 작동 플레이트(40)를 이동시키도록 작동 가능하다. 작동 플레이트(40)는 각각의 작동 부재(43)를 통해 각각의 툴링(33)의 셔틀(36)과 협동적으로 결합한다. 이러한 방식으로, 작동 플레이트(40)가 캠 스크류(35)의 적절한 회전에 의해 제 1 개방 방향으로 이동될 때, 각각 셔틀(36) 및 이에 따른 각각의 결합 헤드(38)는 캐리어(30)에 대해 이동하게 되며, 이에 따라 작업편(31)이 각각의 프레임(32) 내에 쉽게 배치될 수 있도록 각각의 프레임(32)을 확대시킨다. 캠 스크류(35)가 그 다음 반대 방향으로 해제되거나 또는 회전하면, 셔틀(36)은 반대, 폐쇄 방향으로 편향 하에서 이동하여 작업편을 참조하고 클램핑한다.
전술한 실시예는 단지 예시적인 것이며, 본 발명의 범위 내의 다른 가능성 및 대안은 당업자에게 명백할 것이다. 예컨대, 도 2의 캐리어에 의해서, 툴링은 캐리어에 대해 다른 방식으로, 즉 도시된 배향으로 180 °회전되도록 위치될 수 있다.
도 7에 도시된 바와 같이 개별화된 팔레트 캐리어에는 작동 플레이트가 필수적이지 않다. 작업편은 예컨대 개별적으로 배치될 수 있거나, 스프링을 개방하고 프레임을 확대하기 위해 다른 기술이 사용될 수 있다.
1 캐리어
2 기판
3 레그
4 갭
5 레그 핀
6 캐리어 핀
10, 20 캐리어
11 툴링
12 개방부
13, 23 몸체
14, 24 셔틀
15A-D 암
16 이동 갭
17, 27 셔틀 핀
18, 28 캐리어 핀
25A-C 암
30 개별화된 팔레트 캐리어
31 작업편
32 프레임
33 툴링
34 액세스 개구
35 캠
36 셔틀
37 암
38 결합 헤드
39 직각 모서리
40 작동 플레이트
41 고정구
42 이동 가이드
43 작동 부재
M 이동/변위 방향
F 편향력
P 보기 방향
A 작동 방향 축
B-D 회전 방향

Claims (14)

  1. 작업편과 결합하기 위한 툴링(tooling)으로서,
    몸체, 및 탄성 재료로부터 모놀리식 구조로서 형성된 스프링 섹션을 포함하고,
    상기 스프링 섹션은:
    셔틀; 및
    상기 셔틀을 상기 몸체에 각각 연결하는 적어도 3 개의 변형 가능한 암들을 포함하고,
    상기 툴링은 사용 시에 작업편과 결합하도록 상기 셔틀에 의해 운반되는 결합 부재를 추가로 포함하고,
    상기 암들은 상기 몸체에 대한 상기 셔틀의 제한된 이동을 가능하게 하도록 구성되고,
    상기 변형 가능한 암들은 세장형이되, 상기 변형 가능한 암들의 주요 암 축들은 평행하게 배열되어, 상기 암 축들과 직교하고 상기 암 축들을 포함하는 평면에 평행한 이동 축을 따르는 병진이동으로 상기 셔틀의 이동을 제한하는, 툴링.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 스프링 섹션은 4 개의 변형 가능한 암들을 포함하는, 툴링.
  3. 삭제
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 변형 가능한 암들 중 적어도 2 개는 상기 이동 축을 따라 이격되고, 상기 변형 가능한 암들 중 적어도 2 개는 상기 암 축들에 평행한 방향으로 이격되는, 툴링.
  5. 제 1 항, 제 2 항 및 제 4 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 결합 부재는 상기 셔틀에 장착된 핀을 포함하는, 툴링.
  6. 제 1 항, 제 2 항 및 제 4 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 결합 부재는 상기 작업편의 측부와 결합하기 위한 상기 셔틀의 표면을 포함하는, 툴링.
  7. 제 1 항에 따른 툴링을 포함하는, 적어도 하나의 작업편을 운반하기 위한 캐리어.
  8. 제 7 항에 있어서,
    상기 툴링이 상기 캐리어에 부착되는, 캐리어.
  9. 제 7 항에 있어서,
    상기 캐리어, 몸체 및 스프링 섹션은 모놀리식 구조로서 형성되는, 캐리어.
  10. 제 7 항 내지 제 9 항 중 어느 한 항에 있어서,
    각각의 작업편과 결합하는 복수의 툴링들을 포함하는, 캐리어.
  11. 제 10 항에 있어서,
    각각의 개별 작업편을 수용하기 위한 복수의 프레임들을 포함하고, 각각의 프레임은 각각의 툴링에 의해 적어도 부분적으로 형성되는, 캐리어.
  12. 제 11 항에 있어서,
    각각의 툴링은 동일한 배향으로 정렬되고, 상기 캐리어는 각각의 툴링의 셔틀과 협력 결합되는(cooperative engagement) 작동 플레이트를 포함하여, 개방 방향으로의 상기 작동 플레이트의 이동은 각각의 툴링의 상기 셔틀, 나아가서는 결합 부재가 상기 각각의 몸체에 대해 이동하고 상기 각각의 프레임을 확대시키게 하는, 캐리어.
  13. 제 12 항에 있어서,
    상기 작동 플레이트를 상기 개방 방향으로 이동시키기 위한 액추에이터를 포함하는, 캐리어.
  14. 제 13 항에 있어서,
    상기 액추에이터는 캠 스크류를 포함하는, 캐리어.
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