KR102388693B1 - 압력 검출 장치 - Google Patents

Abstract

압력 검출 유닛(10)과, 유로 유닛(20)을 구비하며, 압력 검출 유닛(10)은 다이어프램(12a)을 가지는 압력 센서(12)와, 다이어프램(12a)에 접합된 제1 연결부(11)를 가지고, 유로 유닛(20)은 다이어프램(22)과, 다이어프램(22)에 접합된 제2 연결부(23)를 가지며, 제1 연결부(11) 및 제2 연결부(23) 중 어느 한쪽이 자석에 의해 형성되어 있고, 제1 연결부(11) 및 제2 연결부(23) 중 어느 다른 쪽이 자석 또는 자성체에 의해 형성되어 있으며, 유로 유닛(20)이 압력 검출 유닛(10)에 장착된 상태에서, 제1 연결부(11)와 제2 연결부(23)가 자력에 의해 흡인된 상태로 배치되는 압력 검출 장치를 제공한다.

Description

압력 검출 장치{Pressure Detection Device}

본 발명은 유로를 유통하는 유체의 압력을 검출하는 압력 검출 장치에 관한 것이다.

종래, 약액 등의 액체를 유통시키는 유로가 형성된 바디와, 보호 시트를 통하여 수압면(受壓面)에 전달되는 액체의 압력을 검출하는 센서 본체가 일체화된 인라인형 압력 센서가 알려져 있다(예를 들면, 특허문헌 1 참조).

특허문헌 1에 개시된 압력 센서는, 센서 본체의 하면에 장착된 보호 시트를 통하여 센서 본체에 전달되는 유체의 압력을 검출하는 것이다.

일본 공개특허 제2005―207946호 공보

특허문헌 1에 개시된 압력 센서는, 유체의 압력에 의해 보호 시트가 센서 본체의 하면에 가압되는 경우에는, 유체가 보호 시트를 가압하는 압력에 따른 검출값을 얻을 수 있다.

그러나, 특허문헌 1에 개시된 압력 센서는, 유체의 압력이 저하되어 보호 시트가 센서 본체의 하면으로부터 벗겨지는 힘을 받는 경우에는, 유체의 압력[부압(負壓)]에 따른 검출값을 얻을 수 없다. 이것은, 특허문헌 1에 개시된 압력 센서가, 센서 본체의 하면이 가압되는 힘을 검출값으로서 얻는 정전(靜電) 용량 타입 또는 압전 타입의 압력 센서이기 때문이다. 그러므로, 특허문헌 1에 개시된 압력 센서는 유체의 압력이 부압이 되는 경우에 유체의 압력을 정확하게 검출할 수 없었다.

또한, 특허문헌 1에 개시된 압력 센서는 유로가 형성된 바디와 센서 본체가 일체로 되어 있으므로, 검출 대상의 액체를 변경하는 경우에는 기존의 유로를 순수(純水) 등으로 세정할 필요가 있다.

그러나, 유로를 세정하는 방식에서는 유로 내에 잔존하는 액체를 완전히 제거하는 것이 곤란한 동시에 세정 작업에 많은 시간을 요한다. 그러므로, 예를 들면, 유로 내가 멸균 등 되어 완전히 청결한 상태의 유로를 필요로 하는 의료 분야나 바이오 테크놀러지 관련 분야 등에 있어서, 유로를 세정하여 액체를 변경하는 방식은 작업의 신속성과 안전성의 관점에서 충분하지 않다.

본 발명은 이와 같은 사정에 비추어 이루어진 것으로, 유로에 도입하는 유체를 변경시키는 작업의 신속성과 안전성을 높이면서, 유체의 압력이 부압이 되는 경우라도 유체의 압력을 정확하게 검출하는 것을 가능하게 한 압력 검출 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.

본 발명은 상기의 과제를 해결하기 위해, 하기의 수단을 채용하였다.

본 발명의 일 양태에 따른 압력 검출 장치는, 압력 검출부에 전달되는 압력을 검출하는 압력 검출 유닛과, 유체를 도입하는 유로가 형성된 유로 유닛과, 상기 유로 유닛을 상기 압력 검출 유닛에 착탈가능하게 장착되는 장착 기구를 구비하고, 상기 압력 검출 유닛이, 상기 압력 검출부를 가지는 압력 센서와, 상기 압력 검출부에 접합된 제1 연결부를 가지며, 상기 유로 유닛이, 상기 유로를 유통하는 유체의 압력을 받아 변위하는 수압부(受壓部)와, 상기 수압부에 접합된 제2 연결부를 가지며, 상기 제1 연결부 및 상기 제2 연결부 중 어느 한쪽이 자석에 의해 형성되어 있고, 상기 제1 연결부 및 상기 제2 연결부 중 어느 다른 쪽이 자석 또는 자성체에 의해 형성되어 있으며, 상기 장착 기구에 의해 상기 유로 유닛이 상기 압력 검출 유닛에 장착된 상태에서, 상기 제1 연결부와 상기 제2 연결부가 자력에 의해 흡인된 상태로 배치된다.

본 발명의 일 양태에 따른 압력 검출 장치에 따르면, 장착 기구에 의해, 유로 유닛이 압력 검출 유닛에 착탈 가능하게 장착되므로, 유로에 도입하는 유체를 변경시키는 경우에는, 사용이 끝난 유로 유닛을 압력 검출 유닛으로부터 분리해 내고, 미사용의 유로 유닛을 새롭게 압력 검출 유닛에 장착할 수 있다.

그러므로, 유로에 도입하는 유체를 변경시키는 경우에, 많은 시간을 필요로 하는 유로의 세정 작업이 불필요해지므로, 작업의 신속성을 높일 수 있다. 또한, 미사용의 유로 유닛을 새롭게 사용할 수 있으므로, 안전성을 높일 수 있다.

또한, 본 발명의 일 양태에 따른 압력 검출 장치에 따르면, 장착 기구에 의해 유로 유닛이 압력 검출 유닛에 장착된 상태에서, 압력 검출부에 접합된 제1 연결부와 수압부에 접합된 제2 연결부가 자력에 의해 흡인된 상태로 배치된다. 그러므로, 유로를 유통하는 유체의 압력이 정압(正壓)인 경우, 유체의 압력에 의해 수압부에 접합된 제2 연결부가 유로 측으로부터 떼어 놓아지고, 제2 연결부가 제1 연결부를 압력 검출부를 향해 가압한다. 이로써, 유체의 압력이 정압으로서 압력 검출부에 의해 검출된다.

또한, 유로를 유통하는 유체의 압력이 부압인 경우, 유체의 압력에 의해 수압부에 접합된 제2 연결부가 유로 측으로 끌어당겨지고, 제2 연결부가 자력으로 연결한 제1 연결부를 유로 측으로 끌어당긴다. 이로써, 유체의 압력이 부압으로서 압력 검출부에 의해 검출된다.

이와 같이, 본 발명의 일 양태에 따른 압력 검출 장치에 따르면, 유로에 도입하는 유체를 변경시키는 작업의 신속성과 안전성을 높이면서, 유체의 압력이 부압이 되는 경우라도 유체의 압력을 정확하게 검출하는 것을 가능하게 한 압력 검출 장치를 제공할 수 있다.

본 발명의 일 양태에 따른 압력 검출 장치에 있어서는, 상기 제1 연결부가 자석에 의해 형성되어 있고, 상기 제2 연결부가 자성체에 의해 형성되어 있어도 된다.

사용이 만료되어 교환되는 유로 유닛에 비교적 저렴한 자성체를 사용함으로써, 압력 검출 장치를 계속적으로 사용할 때의 러닝 비용(running cost)을 저감할 수 있다.

본 발명의 일 양태에 따른 압력 검출 장치에 있어서는, 상기 제1 연결부의 상기 유로 유닛 측의 끝면이 평면 형상으로 형성되어 있고, 상기 제2 연결부의 상기 압력 검출 유닛 측의 끝면이 상기 제1 연결부를 향해 돌출하는 구면(球面) 형상으로 형성되어 있어도 된다.

이와 같이 함으로써, 제1 연결부와 제2 연결부가 제1 연결부의 구면 형상의 선단의 1점에서만 연결되게 되고, 제1 연결부와 제2 연결부와의 사이에서 압력이 전달되는 위치가 1점으로 정해진다. 그러므로, 제1 연결부와 제2 연결부와의 사이에서 압력이 전달되는 위치가 변동되어 압력 검출값에 오차가 생기는 문제점을 억제할 수 있다.

본 발명의 일 양태에 따른 압력 검출 장치에 있어서는, 상기 제2 연결부가, 상기 수압부와 상기 압력 검출부에 의해 구획되는 내부 공간에 배치되어 있고, 상기 제1 연결부가, 상기 압력 검출부의 상기 내부 공간과 접하지 않는 면에 접합되어 있고, 상기 장착 기구에 의해 상기 유로 유닛이 상기 압력 검출 유닛에 장착된 상태에서, 상기 제1 연결부와 상기 제2 연결부가 상기 압력 검출부를 사이에 끼고 지지하여 상기 제1 연결부와 상기 제2 연결부가 자력에 의해 흡인된 상태로 배치되는 구성이라도 된다.

본 구성에 가해지는 압력 검출 장치에 의하면, 제1 연결부가 압력 검출부의 내부 공간과 접하지 않는 측의 면에 접합되어 있으므로, 유로 유닛을 압력 검출 유닛으로부터 분리해 낼 때, 제1 연결부와 압력 검출부와의 접합 부분에는 제1 연결부가 압력 검출부에 가까워지는 방향의 자력이 작용한다. 그러므로, 제1 연결부가 압력 검출부의 내부 공간과 접하는 측의 면에 접합되어 있는 경우와 비교하여, 자력의 작용에 의해 제1 연결부가 압력 검출부로부터 박리되는 문제점을 억제할 수 있다. 또한, 제1 연결부와 압력 검출부와의 접합 부분이 조작자에 의해 뜻하지 않게 접촉되지 않기 때문에, 조작자의 부주의에 의해 제1 연결부가 압력 검출부로부터 박리되는 문제점을 억제할 수 있다.

본 발명의 일 양태에 따른 압력 검출 장치에 있어서는, 상기 압력 검출 유닛이, 막 형태로 형성되는 상기 수압부와 막 형태로 형성되는 상기 압력 검출부에 의해 구획되는 내부 공간과 대기압으로 유지되는 외부 공간을 서로 연통시키는 연통 유로를 가지고 있어도 된다.

이와 같이 함으로써, 유로 유닛의 수압부와 압력 검출 유닛의 압력 검출부에 의해 구획되는 내부 공간이 대기압으로 유지된다. 그러므로, 압력 검출부에 의한 유체의 압력의 검출을 정확하게 행할 수 있다.

본 발명에 따르면, 유로에 도입하는 유체를 변경시키는 작업의 신속성과 안전성을 높이면서, 유체의 압력이 부압이 되는 경우라도 유체의 압력을 정확하게 검출하는 것을 가능하게 한 압력 검출 장치를 제공할 수 있다.

도 1은 제1 실시형태의 압력 검출 장치를 나타낸 부분 종단면도.
도 2는 압력 검출 유닛으로부터 유로 유닛을 분리해 낸 압력 검출 장치를 나타낸 부분 종단면도.
도 3는 도 1에 나타낸 압력 검출 장치의 I 부분의 부분 확대도.
도 4는 도 3에 나타낸 유로 유닛 및 너트의 II―II 화살표 단면도.
도 5는 도 4에 나타낸 유로 유닛 및 너트의 저면도.
도 6은 제2 실시형태의 압력 검출 장치를 나타낸 부분 확대도.
도 7은 제3 실시형태의 압력 검출 장치를 나타낸 부분 확대도.
도 8은 제4 실시형태의 압력 검출 장치를 나타낸 부분 확대도.
도 9는 제4 실시형태의 압력 검출 장치의 변형예를 나타낸 부분 확대도.
도 10은 제4 실시형태의 압력 검출 장치의 다른 변형예를 나타낸 부분 확대도.
도 11은 제5 실시형태의 압력 검출 장치를 나타낸 부분 확대도.
도 12는 제6 실시형태의 압력 검출 장치를 나타낸 부분 확대도.

[제1 실시형태]

이하, 본 발명의 제1 실시형태의 압력 검출 장치(100)를 도면을 참조하여 설명한다.

도 1에 나타낸 바와 같이, 본 실시형태의 압력 검출 장치(100)는, 설치면(S)에 체결 볼트(도시하지 않음)에 의해 장착된 압력 검출 유닛(10)과, 유로(21a)가 내부에 형성된 유로 유닛(20)과, 유로 유닛(20)을 압력 검출 유닛(10)에 착탈 가능하게 장착하는 너트(30)(장착 기구)를 구비한다.

도 1에 나타낸 바와 같이, 압력 검출 유닛(10)은 설치면(S)에 장착되고, 유로 유닛(20)은 너트(30)에 의해 압력 검출 유닛(10)에 장착된다. 압력 검출 장치(100)는 유로 유닛(20)이 너트(30)에 의해 압력 검출 유닛(10)에 장착되어 일체화한 상태로, 설치면(S)에 장착되어 있다.

다음에, 압력 검출 유닛(10)에 대하여 상세하게 설명한다. 압력 검출 유닛(10)은 다이어프램(12a)에 전달되는 압력을 검출하는 장치이다. 압력 검출 유닛(10)은 제1 연결부(11)와, 압력 센서(12)와, 압력 센서(12)를 수용하는 본체부(13)와, 압력 센서(12)를 본체부(13)에 배치한 상태로 유지하는 센서 유지부(14)와, 압력 센서(12)와 케이블(200)과의 사이에서 전원 및 전기 신호를 전달하기 위한 센서 기판(도시하지 않음)과, 센서 기판을 수용하는 하우징(17)을 구비한다. 케이블(200)은 센서 기판과 외부의 제어 장치를 전기적으로 접속하는 것이다.

제1 연결부(11)는 축선 Y1을 따라 원통형으로 형성되는 영구 자석이며, 예를 들면, 네오디뮴 등에 의해 형성되어 있다. 제1 연결부(11)는 접착제(예를 들면, 에폭시 수지계 접착제)에 의해 압력 센서(12)의 다이어프램(12a)에 접합되어 있다. 도 3에 나타낸 바와 같이, 제1 연결부(11)의 유로 유닛(20) 측의 끝면은 축선 Y1에 직교하는 평면 상에 배치되는 평면 형상으로 되도록 형성되어 있다. 제1 연결부(11)는 영구 자석의 자력에 의해 자성체인 제2 연결부(23)를 끌어당겨 접촉된 상태를 유지한다. 유로 유닛(20)이 가지는 제2 연결부(23)에 대해서는 후술한다.

그리고, 이상의 설명에서는 제1 연결부(11)를 영구 자석으로 하고, 제2 연결부(23)를 자성체로 하였으나, 다른 양태이라도 된다. 예를 들면, 제1 연결부(11)와 제2 연결부(23)의 양쪽을 영구 자석으로 해도 된다. 또한, 제1 연결부(11)를 자성체로 하고, 제2 연결부(23)를 영구 자석으로 해도 된다. 이상과 같이, 본 실시형태의 압력 검출 장치(100)는 제1 연결부(11) 및 제2 연결부(23) 중 어느 한쪽이 자석에 의해 형성되어 있고, 제1 연결부(11) 및 제2 연결부(23) 중 어느 다른 쪽이 자석 또는 자성체에 의해 형성되어 있는 것으로 한다.

이하에서는 제1 연결부(11)를 영구 자석으로 하고, 제2 연결부(23)를 자성체로 한 예에 대하여 설명한다.

도 3의 (도 1의 I 부분의 부분 확대도)에 나타낸 바와 같이, 압력 센서(12)는, 내부식성이 있는 재료(예를 들면, 사파이어)에 의해 박막 형태로 형성되는 다이어프램(12a)(압력 검출면)과, 다이어프램(12a)에 접착되는 변형 저항(도시하지 않음)과, 다이어프램(12a)을 유지하는 베이스부(12c)를 가진다.

압력 센서(12)는 다이어프램(12a)에 전달되는 압력에 따라 변형되는 변형 저항의 저항값의 변화에 따라 압력 신호를 출력하는 변형식의 센서이다. 베이스부(12c)에는 다이어프램(12a)과 연통되는 관통공(12b)이 형성되어 있고, 다이어프램(12a)의 한쪽 면(도 3에서의 아래쪽 면)이 대기압으로 유지된다. 그러므로, 압력 센서(12)는 대기압을 기준으로 한 게이지압(gauge pressure)을 검출하는 센서로 되어 있다.

본체부(13)는 내부에 압력 센서(12)를 수용하는 동시에 너트(30)에 의해 유로 유닛(20)이 장착되는 부재이다. 본체부(13)는 예를 들면 SUS304 등의 금속 재료에 의해 형성되어 있다. 도 3에 나타낸 바와 같이, 본체부(13)에는, 유로 유닛(20)이 가지는 다이어프램(22)과 압력 센서(12)가 가지는 다이어프램(12a)에 의해 구획되는 내부 공간(S1)과 대기압으로 유지되는 외부 공간(S2)을 서로 연통시키는 연통 유로(12d)가 형성되어 있다.

센서 유지부(14)는 도 1 및 도 2에 나타낸 바와 같이, 축선 Y1(제1 축선) 주위에 원통형으로 형성되는 부재이며, 외주면(外周面)에 수나사가 형성되어 있다. 센서 유지부(14)는 본체부(13)의 내주측에 압력 센서(12)를 배치한 상태에서, 외주면에 형성된 수나사를 본체부(13)의 내주면(內周面)에 형성된 암나사에 체결함으로써, 압력 센서(12)를 본체부(13)에 유지한다.

센서 기판(도시하지 않음)은 압력 센서(12)가 출력하는 압력 신호를 증폭하는 증폭 회로(도시하지 않음)와, 증폭 회로에 의해 증폭된 압력 신호를 케이블(200)의 압력 신호선(도시하지 않음)에 전달하는 인터페이스 회로와, 케이블(200)을 통하여 외부로부터 공급되는 전원 전압을 압력 센서(12)에 전달하는 전원 회로(도시하지 않음)와, 제로점 조정 스위치(도시하지 않음)가 눌러진 경우에 제로점 조정을 행하는 제로점 조정 회로(도시하지 않음) 등을 구비한다.

제로점 조정 회로는, 제로점 조정 스위치(도시하지 않음)가 조작자에 의해 눌러진 경우에, 그 시점에서 압력 센서(12)가 출력하는 압력 신호를 초기값(제로)으로서 설정하도록 조정하는 회로이다.

다음에, 유로 유닛(20)에 대하여 상세하게 설명한다.

도 3 내지 도 5에 나타낸 바와 같이, 유로 유닛(20)은, 유로 본체(21)와, 다이어프램(수압부)(22)과, 제2 연결부(23)를 구비한다.

여기서, 도 4는 도 3에 나타낸 유로 유닛(20) 및 너트(30)의 II―II 화살표 단면도이다. 또한, 도 5는 도 4에 나타낸 유로 유닛(20) 및 너트(30)를 아래쪽으로부터 본 저면도이다.

유로 본체(21)는 유입구(21b)로부터 유출구(21c)를 향해 축선 X1을 따라 연장되는 유통 방향으로 유체를 유통시키는 유로(21a)가 내부에 형성된 것이다. 유로 본체(21)는, 예를 들면, 폴리카보네이트에 의해 형성되어 있다. 유로 본체(21)의 축선 X1 방향의 대략 중앙 위치에는, 유로 유닛(20)의 아래쪽을 향해 개구되는 유체실(24)이 형성되어 있다. 유체실(24)은 축선 Y1에 직교하는 단면이 원형으로 되는 공간이며, 유로(21a)의 일부를 형성한다.

유로 본체(21)의 유입구(21b)에는 유체를 유입구(21b)에 유입되는 유입측 배관(미도시)이 장착되고, 유로 유닛(20)의 유출구(21c)에는 유출구(21c)로부터 유출되는 유체를 유통시키는 유출측 배관(도시하지 않음)이 장착된다. 유입구(21b)로부터 유출구(21c)를 향한 유로(21a)를 유통하는 유체의 압력은 압력 검출 유닛(10)에 의해 검출된다.

여기서, 유체란, 예를 들면 배양액, 혈액, 투석액 등의 액체이다. 유로 유닛(20)은 후술하는 너트(30)에 의해 압력 검출 유닛(10)에 대하여 용이하게 착탈 가능하다. 그러므로, 본 실시형태의 압력 검출 장치(100)에서는 유로(21a)를 세정하는 기구를 설치하지 않고, 유로(21a)를 가지는 유로 유닛(20)을 적절한 타이밍에서 교환 가능하도록 되어 있다. 이와 같은 압력 검출 장치(100)는 유로 안이 예를 들어 멸균되어 완전히 청결한 상태의 유로가 필요로 되는 의료 분야나 바이오 테크놀러지 관련 분야 등에 있어서 특히 유효하다.

또한, 도 4에 있어서는 유입구(21b)로부터 유체가 유입되어 유출구(21c)로부터 유체가 유출되는 것으로 하였으나, 다른 양태이어도 된다. 예를 들면, 도 4에 나타낸 유입구(21b)를 유출구로 하고, 도 4에 나타낸 유출구(21c)를 유입구로 하도록, 유체의 흐름 방향을 역으로 해도 된다. 또한, 유입구(21b) 또는 유출구(21c) 중 어느 한쪽을 폐색시키고, 유로의 말단의 폐색한 유로(21a)에 도입된 유체의 압력을 검출하도록 해도 된다.

다이어프램(22)은 내부식성이 있는 재료(예를 들면, 실리콘 수지 재료, 폴리카보네이트)에 의해 박막 형태로 형성되는 부재이다. 다이어프램(22)은 축선 Y1을 중심축으로 한 평면에서 볼 때 원형으로 형성되는 부재이며, 유로 본체(21)의 하면에 접착 또는 용착(溶着)에 의해 접합되어 있다. 그러므로, 유체실(24)에 도입된 유체는 유체실(24)로부터 외부로 유출되는 경우가 없다. 다이어프램(22)은 박막 형태로 형성되어 있으므로, 유로(21a)의 일부인 유체실(24)을 유통하는 유체의 압력을 받아 축선 Y1 방향으로 변위한다.

제2 연결부(23)는 축선 Y1을 따라 원통형으로 형성되는 자성체이며, JIS 규격에 의해 규정되는 S45C 등의 철재에 의해 형성되어 있다. 제2 연결부(23)는 접착제(예를 들면, 에폭시 수지계 접착제)에 의해 다이어프램(22)의 압력 검출 유닛(10) 측의 면에 접합되어 있다. 도 3에 나타낸 바와 같이, 제2 연결부(23)의 압력 검출 유닛(10) 측의 끝면은 축선 Y1을 따라 제1 연결부(11)를 향해 돌출하는 구면 형상으로 형성되어 있다. 제2 연결부(23)는 영구 자석인 제1 연결부(11)의 자력에 의해 끌어 당겨져 제1 연결부(11)와 접촉된 상태로 유지된다.

다음에, 너트(30)를 사용하여 유로 유닛(20)을 압력 검출 유닛(10)에 장착하는 기구에 대하여 설명한다.

도 2 및 도 4에 나타낸 바와 같이, 너트(30)는 축선 Y1을 따라 원통형으로 형성되는 부재이며, 내주면에 축선 Y1 주위로 연장되는 무단(無端) 형태의 환형(環形) 돌기부(31)가 형성되어 있다. 한편, 유로 유닛(20)의 하단측의 외주면에는 축선 Y1 주위로 연장되는 무단 형태의 환형 홈부(25)가 형성되어 있다. 탄성 변형 가능한 재료(예를 들면, 수지 재료)에 의해 형성되는 너트(30)는 유로 유닛(20)의 하단 측의 외주면을 향해 압입됨으로써, 환형 돌기부(31)가 환형 홈부(25)에 걸어맞추어진 상태가 된다.

도 2 및 도 4에 나타낸 바와 같이, 환형 돌기부(31)가 환형 홈부(25)에 걸어맞추어진 상태에 있어서, 환형 돌기부(31)의 내주면과 환형 홈부(25)의 외주면과의 사이에는 미소한 간극이 형성된다. 그러므로, 너트(30)는 유로 유닛(20)에 장착된 상태에서, 유로 본체(21)에 대하여 축선 Y1 주위로 상대적으로 회전 가능하도록 되어 있다. 이로써, 작업자는 유로 유닛(20)을 유지한 상태에서 너트(30)를 축선 Y1 주위로 회전시키는 것이 가능해진다.

작업자는, 설치면(S)에 설치된 압력 검출 유닛(10)에 유로 유닛(20)을 장착하는 경우, 다음과 같은 수순으로 작업한다.

첫째로, 도 2에 나타낸 바와 같이, 유로 유닛(20)의 중심축을 압력 검출 유닛(10)의 중심축인 축선 Y1과 일치시키도록 유로 유닛(20)을 배치한다. 그리고, 유로 유닛(20)을 축선 Y1을 따라 아래쪽으로 이동시켜, 유로 유닛(20)의 아래쪽에 형성된 오목부(20a)에 본체부(13)가 삽입된 상태로 한다.

다음에, 작업자는 유로 유닛(20)을 파지하면서, 너트(30)를 축선 Y1 주위에 체결 방향으로 회전시킴으로써, 너트(30)의 내주면에 형성된 암나사(32)를 본체부(13)의 외주면에 형성된 수나사(13a)에 체결한다. 너트(30)의 암나사(32)와 압력 검출 유닛(10)의 수나사(13a)를 체결함으로써, 유로 유닛(20)의 제2 연결부(23)가 압력 검출 유닛(10)의 제1 연결부(11)에 서서히 가까워져 접촉하고, 도 1 및 도 3에 나타낸 상태로 된다. 이상과 같이 하여, 유로 유닛(20)이 압력 검출 유닛(10)에 장착된다.

그리고, 이상에 있어서는, 미사용의 유로 유닛(20)을 압력 검출 유닛(10)에 장착하는 수순을 설명하였다. 사용이 끝난 유로 유닛(20)을 압력 검출 유닛(10)으로부터 분리해 내는 수순은 이상에서 설명한 수순의 역으로 된다.

작업자는, 도 1에 나타낸 상태로 유로 유닛(20)을 파지하면서, 너트(30)를 축선 Y1 주위에 체결 해제 방향으로 회전시킴으로써, 너트(30)의 암나사(32)와 압력 검출 유닛(10)의 수나사(13a)와의 체결을 해제한다.

본 실시형태의 압력 검출 장치(100)는 다이어프램(12a)에 접합된 제1 연결부(11)와 다이어프램(22)에 접합된 제2 연결부(23)를, 너트(30)의 암나사(32)와 압력 검출 유닛(10)의 수나사(13a)를 체결함으로써 접촉시킨다. 그러므로, 제1 연결부(11)와 제2 연결부(23)가 뜻하지 않게 접촉하여 다이어프램(12a) 및 다이어프램(22)이 손상되는 것을 방지할 수 있다.

도 1 및 도 3에 나타낸 바와 같이, 본 실시형태의 압력 검출 장치(100)에서는 너트(30)에 의해 유로 유닛(20)이 압력 검출 유닛(10)에 장착된 상태에서, 영구 자석으로 형성된 제1 연결부(11)의 자력에 의해 자성체로 형성된 제2 연결부(23)가 제1 연결부(11)에 끌어당겨져 접촉된 상태로 되어 있다. 그러므로, 유체실(24)의 유체의 압력이 정압으로 되었을 경우, 다이어프램(22)이 축선 Y1을 따라 아래쪽으로 변위되고, 그 변위(變位)가 제2 연결부(23)와 제1 연결부(11)를 통하여 다이어프램(12a)에 전달된다.

또한, 유체실(24)의 유체의 압력이 부압으로 되었을 경우, 다이어프램(22)이 축선 Y1을 따라 위쪽으로 변위한다. 제2 연결부(23)가 자력에 의해 제1 연결부(11)와 접촉된 상태로 유지되므로, 다이어프램(22) 및 제2 연결부(23)가 유체실(24) 측으로 끌어당겨지면, 제1 연결부(11) 및 다이어프램(12a)도 유체실(24) 측으로 끌어당겨진다. 이로써, 유체실(24)의 유체의 부압에 의해 다이어프램(22)이 변위한 경우, 제1 연결부(11)에 접합되는 다이어프램(12a)이 유체실(24) 측으로 끌어당겨지고, 다이어프램(12a)의 변형에 따라 변형 저항의 저항값이 부압을 나타내는 값으로 변화한다.

이상 설명한 본 실시형태의 압력 검출 장치(100)에 의해 얻을 수 있는 작용 및 효과에 대하여 설명한다.

본 실시형태의 압력 검출 장치(100)에 따르면, 너트(30)에 의해, 유로 유닛(20)이 압력 검출 유닛(10)에 착탈 가능하게 장착되므로, 유로(21a)를 유통시키는 유체를 변경시키는 경우에는, 사용이 끝난 유로 유닛(20)을 압력 검출 유닛(10)으로부터 분리해 내고, 미사용의 유로 유닛(20)을 새롭게 압력 검출 유닛(10)에 장착할 수 있다.

그러므로, 유로(21a)를 유통시키는 유체를 변경시키는 경우에, 많은 시간을 필요로 하는 유로(21a)의 세정 작업이 불필요해지므로, 작업의 신속성을 높일 수 있다. 또한, 미사용의 유로 유닛(20)을 새롭게 사용할 수 있으므로, 안전성을 높일 수 있다.

또한, 본 실시형태의 압력 검출 장치(100)에 의하면, 너트(30)에 의해 유로 유닛(20)이 압력 검출 유닛(10)에 장착된 상태에 있어서, 다이어프램(12a)에 접합된 제1 연결부(11)와 다이어프램(22)에 접합된 제2 연결부(23)가 자력에 의해 접촉된 상태로 배치된다. 그러므로, 유로(21a)를 유통하는 유체의 압력이 정압인 경우, 유체의 압력에 의해 다이어프램(22)에 접합된 제2 연결부(23)가 유로(21a) 측으로부터 떼어 놓아지고, 제2 연결부(23)가 제1 연결부(11)를 다이어프램(12a)을 향해 가압한다. 이로써, 유체의 압력이 정압으로서 다이어프램(12a)의 변형 저항에 의해 검출된다.

또한, 유로(21a)를 유통하는 유체의 압력이 부압인 경우, 유체의 압력에 의해 다이어프램(22)에 접합된 제2 연결부(23)가 유로(21a) 측으로 끌어당겨지고, 제2 연결부(23)가 자력으로 연결한 제1 연결부(11)를 유로(21a) 측으로 끌어당긴다. 이로써, 유체의 압력이 부압으로서 다이어프램(12a)의 변형 저항에 의해 검출된다.

이와 같이, 본 실시형태의 압력 검출 장치(100)에 따르면, 유로(21a)를 유통시키는 유체를 변경시키는 작업의 신속성과 안전성을 높이면서, 유체의 압력이 부압으로 되는 경우라도 유체의 압력을 정확하게 검출하는 것을 가능하게 한 압력 검출 장치(100)를 제공할 수 있다.

또한, 본 실시형태의 압력 검출 장치(100)에 있어서는, 제1 연결부(11)가 자석에 의해 형성되어 있고, 제2 연결부(23)가 자성체에 의해 형성되어 있다.

사용이 만료되어 교환되는 유로 유닛(20)에 비교적 저렴한 자성체를 사용함으로써, 압력 검출 장치(100)를 계속적으로 사용할 때의 러닝 비용을 저감할 수 있다.

본 실시형태의 압력 검출 장치(100)에 있어서는, 제1 연결부(11)의 유로 유닛(20) 측의 끝면이 평면 형상으로 형성되어 있고, 제2 연결부(23)의 압력 검출 유닛(10) 측의 끝면이 제1 연결부(11)를 향해 돌출하는 구면 형상으로 형성되어 있다.

이와 같이 함으로써, 제1 연결부(11)와 제2 연결부(23)가 제1 연결부(11)의 구면 형상의 선단의 1점만에서 연결되게 되고, 제1 연결부(11)와 제2 연결부(23)와의 사이에서 압력이 전달되는 위치가 1점으로 정해진다. 그러므로, 제1 연결부(11)와 제2 연결부(23)와의 사이에서 압력이 전달되는 위치가 변동되어 압력 검출값에 오차가 생기는 문제점을 억제할 수 있다.

본 실시형태의 압력 검출 장치(100)에 있어서는, 압력 검출 유닛(10)이, 다이어프램(22)과 다이어프램(12a)에 의해 구획되는 내부 공간(S1)과 대기압으로 유지되는 외부 공간(S2)을 연통시키는 연통 유로(12d)를 가진다.

이와 같이 함으로써, 유로 유닛(20)의 다이어프램(22)과 압력 검출 유닛(10)의 다이어프램(12a)에 의해 구획되는 내부 공간(S1)이 대기압으로 유지된다. 그러므로, 다이어프램(12a)에 의한 유체의 압력의 검출을 정확하게 행할 수 있다.

[제2 실시형태]

이하, 본 발명의 제2 실시형태의 압력 검출 장치에 대하여, 도면을 참조하여 설명한다.

제2 실시형태는 제1 실시형태의 변형예이며, 이하에서 특별히 설명하는 경우를 제외하고, 제1 실시형태와 마찬가지인 것으로 하고, 동일한 부호를 부여하여 설명을 생략한다.

제2 실시형태의 압력 검출 장치는 압력 검출 유닛(10)의 다이어프램(12a)에 접합되는 제1 연결부(11A)에 위치결정공(11Aa)이 형성되어 있는 점에서, 제1 실시형태와는 상위하다.

도 6에 나타낸 바와 같이, 제1 연결부(11A)의 유로 유닛(20) 측의 끝면은 축선 Y1에 직교하는 평면 상에 배치되는 평면 형상으로 되도록 형성되어 있다. 또한, 제1 연결부(11A)의 유로 유닛(20) 측의 끝면에는 위치결정공(11Aa)이 형성되어 있다.

도 6에 나타낸 위치결정공(11Aa)은 아래쪽을 향해 오목한 원뿔형의 내면을 가지는 구멍이다. 도 6에 나타낸 바와 같이, 위치결정공(11Aa)은 축선 Y1에 따른 종단면에 있어서 아래쪽을 향해 오목한 V자 형상으로 되어 있다. 제2 연결부(23)가 제1 연결부(11A)에 자력에 의해 접촉된 상태에서, 제2 연결부(23)의 구면 형상의 끝면의 중심 위치는, 위치결정공(11Aa)과 일치한 위치로 된다.

도 6에 나타낸 바와 같이, 제2 연결부(23)의 구면 형상의 끝면의 일부가, 축선 Y1과 일치하는 중심 위치에 있어서 위치결정공(11Aa)에 수용된 상태가 된다. 그러므로, 제1 연결부(11A)와 제2 연결부(23)의 접촉 위치에 외력이 작용한 경우라도, 제1 연결부(11A)의 중심 위치가 위치결정공(11Aa)의 위치로부터 어긋나지 않도록 유지된다. 그러므로, 다이어프램(22)에 작용하는 유체의 압력이 축선 Y1과 일치한 위치로부터 다이어프램(12a)에 전달되고, 다이어프램(12a)에 의해 유체의 압력을 정확하게 검출할 수 있다.

[제3 실시형태]

이하, 본 발명의 제3 실시형태의 압력 검출 장치에 대하여, 도면을 참조하여 설명한다.

제3 실시형태는 제1 실시형태의 변형예이며, 이하에서 특별히 설명하는 경우를 제외하고, 제1 실시형태와 마찬가지인 것으로 하고, 동일한 부호를 부여하여 설명을 생략한다.

제3 실시형태의 압력 검출 장치는 유로 유닛(20)의 다이어프램(22)에 접합되는 제2 연결부(23A)의 압력 검출 유닛(10) 측의 끝면이 평면 형상인 점에서, 제1 실시형태와는 상위하다.

도 7에 나타낸 바와 같이, 제2 연결부(23A)의 압력 검출 유닛(10) 측의 끝면은, 축선 Y1에 직교하는 평면 상에 배치되는 평면 형상으로 되도록 형성되어 있다. 또한, 제1 연결부(11)의 유로 유닛(20) 측의 끝면은 축선 Y1에 직교하는 평면 상에 배치되는 평면 형상으로 되도록 형성되어 있다.

이와 같이, 제3 실시형태의 압력 검출 장치에서는 제1 연결부(11)와 제2 연결부(23A)의 서로 대향하는 끝면이 평면 형상으로 되어 있다. 그러므로, 제1 연결부(11)의 끝면과 제2 연결부(23A)의 끝면이 접촉되었을 때의 접촉 면적이 커지고, 제1 연결부(11)와 제2 연결부(23A)가 자력에 의해 접촉하는 접촉력이 커지게 된다. 그러므로, 본 실시형태의 압력 검출 장치와 제1 실시형태의 압력 검출 장치에서 같은 자력을 가지는 영구 자석을 채용한 경우, 본 실시형태의 압력 검출 장치의 쪽이, 제1 연결부(11)와 제2 연결부(23A)와의 접촉력을 크게 할 수 있다.

제1 연결부(11)와 제2 연결부(23A)와의 접촉력을 크게 함으로써, 다이어프램(22)과 그에 접합되는 제2 연결부(23A)가 다이어프램(12a)으로부터 이격되는 방향으로 이동할 때, 제2 연결부(23A)가 제1 연결부(11)를 끌어당기는 흡인력이 증가한다. 그러므로, 제1 연결부(11)의 이동에 대하여 제1 연결부(11)가 제2 연결부(23A)에 접촉하면서 이동 가능한 거리가 증대한다. 따라서, 본 실시형태의 압력 검출 장치의 쪽이, 제1 실시형태의 압력 검출 장치보다도, 부압의 계측 범위가 확대된다.

[제4 실시형태]

이하, 본 발명의 제4 실시형태의 압력 검출 장치에 대하여, 도면을 참조하여 설명한다.

제4 실시형태는 제1 실시형태의 변형예이며, 이하에서 특별히 설명하는 경우를 제외하고, 제1 실시형태와 마찬가지인 것으로 하고, 동일한 부호를 부여하여 설명을 생략한다.

제4 실시형태의 압력 검출 장치는 제2 연결부(23B)가, 자성체(23Ba)와 자성체(23Ba)를 수용하는 수지제의 커버부(23Bb)에 의해 형성되는 점에서, 제1 실시형태의 압력 검출 장치와 상이하다.

도 8에 나타낸 바와 같이, 본 실시형태의 제2 연결부(23B)는 자성체(23Ba)와 자성체(23Ba)를 수용하는 수지제의 커버부(23Bb)에 의해 형성되어 있다. 자성체(23Ba)는 접착제에 의해 다이어프램(22)에 접합되어 있다. 또한, 커버부(23Bb)는, 접착제 또는 열 용착에 의해 다이어프램(22)에 접합되어 있다.

본 실시형태의 제2 연결부(23B)는 자성체(23Ba)가 내부 공간(S1)에 노출되지 않도록 커버부(23Bb)에 의해 보호된다. 그러므로, 본 실시형태의 제2 연결부(23B)에 의하면, 자성체(23Ba)와 제1 연결부(11)가 접촉하여 서로 마모되는 문제점이나, 자성체(23Ba)가 내부 공간(S1)에 노출되어 부식되는 문제점 등을 방지할 수 있다.

그리고, 도 8에 나타낸 제2 연결부(23B)는 자성체(23Ba)의 주위만을 커버부(23Bb)로 덮는 것이었지만, 다른 양태이라도 된다. 예를 들면, 도 9에 나타낸 제2 연결부(23C)와 같이, 자성체(23Ca)의 주위만 아니라 다이어프램(22)의 압력 검출 유닛(10) 측의 끝면 전체를 수지제의 커버부(23Cb)로 덮는 변형예로 해도 된다. 본 변형예에 의하면, 다이어프램(22)의 압력 검출 유닛(10) 측의 끝면 전체가 커버부(23Cb)에 의해 덮히므로, 다이어프램(22)을 보호할 수 있다. 또한, 자성체(23Ca)가 다이어프램(22)으로부터 박리되는 문제점을 억제할 수 있다.

또한, 도 9에 나타낸 제2 연결부(23C)의 구성에 더하여, 제1 연결부(11B)를 영구 자석(11Ba)과 영구 자석(11Ba)을 수용하는 수지제의 커버부(11Bb)에 의해 형성하는 다른 변형예로 해도 된다.

도 10에 나타낸 바와 같이, 다른 변형예의 제1 연결부(11B)는 영구 자석(11Ba)이 내부 공간(S1)에 노출되지 않도록 커버부(11Bb)에 의해 보호된다. 그러므로, 본 변형예의 제1 연결부(11B)에 의하면, 영구 자석(11Ba)과 제2 연결부(23C)가 접촉하여 서로 마모되는 문제점이나, 영구 자석(11Ba)이 내부 공간(S1)에 노출되어 부식되는 문제점 등을 방지할 수 있다. 또한, 다이어프램(12a)의 유로 유닛(20) 측의 끝면 전체가 커버부(11Bb)에 의해 덮히므로, 다이어프램(12a)을 보호할 수 있다. 또한, 영구 자석(11Ba)가 다이어프램(12a)으로부터 박리되는 문제점을 억제할 수 있다.

[제5 실시형태]

이하, 본 발명의 제5 실시형태의 압력 검출 장치에 대하여, 도면을 참조하여 설명한다.

제5 실시형태는 제1 실시형태의 변형예이며, 이하에서 특별히 설명하는 경우를 제외하고, 제1 실시형태와 마찬가지인 것으로 하고, 동일한 부호를 부여하여 설명을 생략한다.

제5 실시형태의 압력 검출 장치는 제2 연결부(23D)가 다이어프램(22)과 인서트 성형에 의해 일체로 형성되어 있는 점에서 제1 실시형태의 압력 검출 장치와 상이하도록 되어 있다.

도 11에 나타낸 바와 같이, 본 실시형태의 압력 검출 장치는 제2 연결부(23D)의 유로(21a) 측이, 상단부의 축선 Y1 주위의 직경이 크고, 상단부보다도 하부의 축선 Y1 주위의 직경이 작은 형상으로 되어 있다. 또한, 제2 연결부(23D)는, 인서트 성형에 의해, 수지 재료에 의해 형성되는 다이어프램(22)과 일체로 되도록 형성되어 있다.

본 실시형태의 압력 검출 장치는 제2 연결부(23D)가 다이어프램(22)과 일체로 되어 있고, 제2 연결부(23D)를 다이어프램(22)에 접착제나 열 용착에 의해 접합할 필요가 없다. 그러므로, 제2 연결부(23D)를 다이어프램(22)에 접합하는 경우와 비교하여, 압력 검출 장치를 제조할 때의 제조 비용을 저감할 수 있다.

[제6 실시형태]

이하, 본 발명의 제6 실시형태의 압력 검출 장치에 대하여, 도면을 참조하여 설명한다.

제6 실시형태는 제1 실시형태의 변형예이며, 이하에서 특별히 설명하는 경우를 제외하고, 제1 실시형태와 마찬가지인 것으로 하고, 동일한 부호를 부여하여 설명을 생략한다.

제1 실시형태의 압력 검출 장치(100)는 제1 연결부(11)가 다이어프램(12a)의 내부 공간(S1)과 접하는 면에 접합되는 것이었다. 그에 대해, 본 실시형태의 압력 검출 장치는 제1 연결부(11B)가 다이어프램(12a)의 내부 공간(S1)과 접하지 않는 면에 접합되는 것이다.

도 12에 나타낸 바와 같이, 본 실시형태의 압력 검출 장치는 영구 자석에 의해 원통형으로 형성되는 제1 연결부(11B)가 다이어프램(12a)의 내부 공간(S1)과 접하지 않는 면에 접합되어 있다. 다이어프램(12a)의 내부 공간(S1)과 접하지 않는 면에는, 이 면에 부여되는 압력을 대기압에 유지하기 위한 관통공(12b)이 형성되어 있다. 본 실시형태에 있어서는, 관통공(12b)에 제1 연결부(11B)를 배치함으로써 내부 공간(S1)이 커지는 것을 억제하고 있다.

본 실시형태의 압력 검출 장치는 제1 연결부(11B)가 다이어프램(12a)의 내부 공간(S1)과 접하지 않는 측의 면에 접합되어 있다. 또한, 본 실시형태의 압력 검출 장치는, 제2 연결부(23E)가 다이어프램(22)의 내부 공간(S1)과 접하는 측의 면에 접합되어 있다. 그러므로, 유로 유닛(20)을 압력 검출 유닛(10)으로부터 분리해낼 때, 제1 연결부(11B)와 다이어프램(12a)과의 접합 부분에는, 제1 연결부(11B)가 다이어프램(12a)에 가까워지는 방향의 자력이 작용한다. 이는 제1 연결부(11B)가, 제2 연결부(23E)를 흡인하는 자력을 발생시키기 때문이다. 그러므로, 제1 실시형태와 같이 제1 연결부가 다이어프램(12a)의 내부 공간(S1)과 접하는 측의 면에 접합되어 있는 경우와 비교하여, 자력의 작용에 의해 제1 연결부가 다이어프램(12a)으로부터 박리되는 문제점을 억제할 수 있다.

또한, 제1 연결부(11B)가 내부 공간(S1)으로부터 다이어프램(12a)에 의해 격리된 공간에 배치되어 있다. 그러므로, 제1 연결부(11B)와 다이어프램(12a)과의 접합 부분이 조작자에 의해 뜻하지 않게 접하지 않으므로, 조작자의 부주의에 의해 제1 연결부(11B)가 다이어프램(12a)으로부터 박리되는 문제점을 억제할 수 있다.

[다른 실시형태]

이상의 설명에 있어서, 유로 유닛(20)은 유로 본체(21)와 유로 본체(21)에 접합되는 다이어프램(22)을 가지는 것으로 하였으나, 다른 양태이라도 된다.

예를 들면, 유로 유닛(20)은 유로 본체(21)와 다이어프램(22)을 단일의 재료로 일체로 형성한 것이라도 된다.

Claims (5)

1. 압력 검출부에 전달되는 압력을 검출하는 압력 검출 유닛;
   유체를 도입하는 유로가 형성된 유로 유닛; 및
   상기 유로 유닛이 상기 압력 검출 유닛에 착탈 가능하게 장착되는 장착 기구;
   를 포함하고,
   상기 압력 검출 유닛이
   상기 압력 검출부를 구비하는 압력 센서;
   상기 압력 센서를 수용함과 동시에 외주면에 수나사가 형성된 본체부; 및
   상기 압력 검출부에 접합된 제1 연결부;를 구비하며,
   상기 유로 유닛이
   상기 유로를 유통하는 유체의 압력을 받아 변위하는 수압부(受壓部); 및
   상기 수압부에 접합된 제2 연결부;를 구비하고,
   상기 제1 연결부 및 상기 제2 연결부 중 어느 한쪽이 자석에 의해 형성되어 있으며, 상기 제1 연결부 및 상기 제2 연결부 중 어느 다른 쪽이 자석 또는 자성체에 의해 형성되어 있고,
   상기 장착 기구는, 원통형으로 형성되고 내부 둘레에 암나사가 형성되어 상기 유로 유닛의 외주면에 회전 가능하게 부착되고,
   상기 장착 기구를 회전시켜 상기 암나사와 상기 수나사를 체결함으로써, 상기 유로 유닛이 상기 압력 검출 유닛에 장착되고,
   상기 장착 기구에 의해 상기 유로 유닛이 상기 압력 검출 유닛에 장착된 상태에서, 상기 제1 연결부와 상기 제2 연결부가 자력에 의해 흡인되어 접촉된 상태로 배치되는, 압력 검출 장치.
2. 압력 검출부에 전달되는 압력을 검출하는 압력 검출 유닛;
   유체를 도입하는 유로가 형성된 유로 유닛; 및
   상기 유로 유닛이 상기 압력 검출 유닛에 착탈 가능하게 장착되는 장착 기구;
   를 포함하고,
   상기 압력 검출 유닛이
   상기 압력 검출부를 구비하는 압력 센서;
   상기 압력 검출부에 접합된 제1 연결부;를 구비하며,
   상기 유로 유닛이
   상기 유로를 유통하는 유체의 압력을 받아 변위하는 수압부(受壓部); 및
   상기 수압부에 접합된 제2 연결부;를 구비하고,
   상기 제1 연결부 및 상기 제2 연결부 중 어느 한쪽이 자석에 의해 형성되어 있으며, 상기 제1 연결부 및 상기 제2 연결부 중 어느 다른 쪽이 자석 또는 자성체에 의해 형성되어 있고,
   상기 제2 연결부가, 상기 수압부와 상기 압력 검출부에 의해 구획되는 내부 공간에 배치되어 있으며,
   상기 제1 연결부가, 상기 압력 검출부의 상기 내부 공간과 접하지 않는 면에 접합되어 있고,
   상기 장착 기구에 의해 상기 유로 유닛이 상기 압력 검출 유닛에 장착된 상태에서, 상기 제1 연결부와 상기 제2 연결부가 상기 압력 검출부를 사이에 끼고 지지하여 상기 제1 연결부와 상기 제2 연결부가 자력에 의해 흡인된 상태로 배치되는, 압력 검출 장치.
3. 제1항 또는 제2항에 있어서,
   상기 제1 연결부가 자석에 의해 형성되어 있고,
   상기 제2 연결부가 자성체에 의해 형성되어 있는, 압력 검출 장치.
4. 제1항 또는 제2항에 있어서,
   상기 제1 연결부의 상기 유로 유닛 측의 끝면이 평면 형상으로 형성되어 있고,
   상기 제2 연결부의 상기 압력 검출 유닛 측의 끝면이 상기 제1 연결부를 향해 돌출하는 구면 형상으로 형성되어 있는, 압력 검출 장치.
5. 제1항 또는 제2항에 있어서,
   상기 압력 검출 유닛이, 상기 수압부와 상기 압력 검출부에 의해 구획되는 내부 공간과 대기압으로 유지되는 외부 공간을 연통시키는 연통 유로를 구비하는, 압력 검출 장치.
   

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