KR102383756B1 - 다기능 반도체 특수가스통 잔류 가스 처리용 회전장치 - Google Patents

다기능 반도체 특수가스통 잔류 가스 처리용 회전장치 Download PDF

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Abstract

본 발명은, 복수 개의 승강블록이 슬라이딩 가능하게 설치되는 본체프레임; 상기 승강블록의 회전축에 회전 가능하게 설치되고, 가스통이 안착되는 안착플레이트가 구비되는 회전프레임; 상기 안착플레이트에 가스통을 안착시킨 후에 가스통이 상기 안착플레이트으로부터 분리되는 것을 방지하도록 가스통을 구속하는 구속부; 상기 안착플레이트에 안착되는 가스통이 역전되어 밸브가 하측 방향으로 배치되도록 상기 회전축에 동력을 제공하여 상기 회전프레임을 회전시키는 회전구동부; 상기 승강블록을 상승 또는 하강시키면서 상기 회전구동부의 작동에 의해 역전된 가스통을 지면으로부터 상측으로 상승시키는 승강구동부; 및 상기 회전프레임에 안착되는 가스통의 크기에 따라 가스통의 구속부위를 조절하면서 다양한 크기의 가스통을 선택하여 구속시키는 구속조절부를 포함하는 것을 특징으로 한다.

Description

다기능 반도체 특수가스통 잔류 가스 처리용 회전장치 {Multi-function semiconductor special gas container residual gas treatment rotator}
본 발명은 다기능 반도체 특수가스통 잔류 가스 처리용 회전장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는, 반도체 특수가스를 사용한 후에 가스통에 잔류하는 가스를 흡입하여 스크러버로 배출시킬 때에 가스통을 역전시킨 후 상승시켜 작업자의 편의를 도모할 수 있고, 크기가 서로 다른 가스통을 동시에 역전 및 상승시킬 수 있으며, 가스통을 구속시키는 작동, 역전시키는 작동 및 상승 또는 하강시키는 작동 중에 오작동이 발생되어 가스통이 낙하되는 안전사고를 예방할 수 있는 다기능 반도체 특수가스통 잔류 가스 처리용 역전장치에 관한 것이다.
일반적으로 반도체 제조 분야 등에서 사용되고 있는 N2, N2O, NF3, NH3, Cl2, B2H6, DCS와 같은 특수가스는 상온에서 액체 상태(액화가스상태)로 가스탱크 내부에 저장되어 있고, 이들 가스가 가스탱크 내부에서 안전하게 유지 관리되는 상태에서 가스공급라인을 통해 반도체 제조공정의 프로세스 챔버로 공급된다.
이때, 상기와 같이 반도체 제조공정에서 사용되는 특수가스를 혼합하기 위하여 종래에는 특수가스가 혼합된 가스탱크를 별도의 혼합탱크에서 하루 정도의 시간동안 자연 방치하는 방법을 취하였다.
그러나 이러한 방법은 가스를 혼합하기 위하여 많은 시간이 소요되고, 이렇게 의미 없이 지나가는 시간동안 가스를 제대로 공급받지 못하면 반도체 생산에 막대한 지장을 초래하게 된다.
이러한 문제점 때문에 최근에는 가스탱크를 회전시켜 가스탱크 내부의 특수가스를 혼합하는 장치가 개발되었으나, 이 혼합장치는 일정높이에 형성된 회전바 위에 가스탱크를 눕혀놓고 회전바를 회전시킴으로써 가스탱크도 정회전 역회전 전후 기울기 회전시키는 방식을 취하고 있다.
그러나 이러한 방식을 사용하는 혼합장치는 가스탱크를 파지하는 수단이 마련되어 있지 않아서 가스탱크가 회전하다가 바닥면으로 떨어져 옆에 서있는 작업자의 발등과 같은 부위를 타격함으로써 작업자에게 부상을 입히는 문제점을 갖고 있을 뿐만 아니라 가스탱크를 눕혀서만 회전시키므로 가스탱크 내부의 혼합가스를 균일하게 혼합시키는데 일정한 한계점을 갖고 있다.
상기한 문제점을 해결하기 위해 반도체용 특수가스 혼합기가 개발되었으며, 종래기술에 따른 반도체용 특수가스 혼합기는, 바닥면에 설치되는 메인프레임과, 메인프레임에 회동가능하게 연결되는 회동프레임, 회동프레임의 하단에 구비된 바닥패널, 바닥패널에 회전가능하게 설치되고 가스탱크의 저면이 접촉되는 복수개의 탱크지지부, 및 회동프레임의 상단에 구비되고 가스탱크의 외주면이 끼움될 수 있도록 복수 개의 절개부가 형성된 탱크삽입부로 이루어진 가스탱크 안착부와, 가스탱크 안착부의 탱크지지부를 회전시키는 회전수단과, 가스탱크 안착부의 상측에 상하이동 가능하게 설치되어 가스탱크의 상단 외주면을 파지하는 가스탱크 파지부로 구성된다.
본 발명의 배경기술은 대한민국 등록특허공보 제10-0873218호(2008년 12월 10일 공고, 발명의 명칭 : 반도체용 특수가스 혼합기)에 개시되어 있다.
종래기술에 따른 혼합기는, 가스통에 담겨진 가스를 유동시키기 위해 가스통을 회전시킬 수 있지만 가스를 사용한 후에 가스통에 잔류하는 가스를 제거하기 위해 가스통을 역전시키면 가스통의 밸브가 지면에 가깝게 배치되므로 작업자가 가스통의 밸브에 배출관을 연결하여 배출작업을 진행하기 어렵고, 일정한 크기의 가스통만을 거치할 수 있기 때문에 다양한 크기의 가스통으로부터 잔류 가스를 배출시킬 수 없는 문제점이 있다.
따라서 이를 개선할 필요성이 요청된다.
본 발명은 반도체 특수가스를 사용한 후에 가스통에 잔류하는 가스를 흡입하여 스크러버로 배출시킬 때에 가스통을 역전시킨 후 상승시켜 작업자의 편의를 도모할 수 있고, 크기가 서로 다른 가스통을 동시에 역전 및 상승시킬 수 있으며, 가스통을 구속시키는 작동, 역전시키는 작동 및 상승 또는 하강시키는 작동 중에 오작동이 발생되어 가스통이 낙하되는 안전사고를 예방할 수 있는 다기능 반도체 특수가스통 잔류 가스 처리용 역전장치를 제공하는데 그 목적이 있다.
본 발명은, 복수 개의 승강블록이 슬라이딩 가능하게 설치되는 본체프레임; 상기 승강블록의 회전축에 회전 가능하게 설치되고, 가스통이 안착되는 안착플레이트가 구비되는 회전프레임; 상기 안착플레이트에 가스통을 안착시킨 후에 가스통이 상기 안착플레이트으로부터 분리되는 것을 방지하도록 가스통을 구속하는 구속부; 상기 안착플레이트에 안착되는 가스통이 역전되어 밸브가 하측 방향으로 배치되도록 상기 회전축에 동력을 제공하여 상기 회전프레임을 회전시키는 회전구동부; 상기 승강블록을 상승 또는 하강시키면서 상기 회전구동부의 작동에 의해 역전된 가스통을 지면으로부터 상측으로 상승시키는 승강구동부; 및 상기 회전프레임에 안착되는 가스통의 크기에 따라 가스통의 구속부위를 조절하면서 다양한 크기의 가스통을 선택하여 구속시키는 구속조절부를 포함하는 것을 특징으로 한다.
또한, 본 발명의 상기 구속부는, 상기 회전프레임에 돌출 가능하게 설치되고, 가스통의 둘레면을 가압하는 복수 개의 구속블록; 상기 구속블록을 상기 회전프레임으로부터 돌출 또는 후퇴시키면서 가스통에 상기 구속블록을 가압하여 가스통을 구속시키는 구속구동부를 포함하고, 상기 구속구동부는, 상기 구속블록을 상기 회전프레임의 외측 또는 내측으로 출몰시키도록 상기 회전프레임에 설치되고, 구속로드에 상기 구속블록이 연결되는 구속실린더; 및 상기 구속로드가 상기 구속실린더로부터 돌출될 때에 상기 구속블록을 정방향으로 회전시키고, 상기 구속로드가 상기 구속실린더 내부로 삽입될 때에 상기 구속블록을 역방향으로 회전시키면서 상기 구속블록을 가스통 둘레면에 밀착시키는 회전변환부를 포함하는 것을 특징으로 한다.
또한, 본 발명의 상기 회전변환부는, 상기 구속실린더에 설치되고, 상기 구속로드가 통과되는 커버부재; 상기 커버부재의 둘레면에 나선 모양으로 형성되는 회전홀부; 및 상기 구속로드로부터 돌출되어 상기 회전홀부에 슬라이딩 가능하게 삽입되는 회전돌기를 포함하고, 상기 구속로드는 상기 구속실린더에 공회전 가능하게 삽입되고, 상기 구속로드가 상기 구속실린더로부터 돌출될 때에 상기 회전돌기가 상기 회전홀부를 따라 전진되면서 상기 구속로드를 정방향으로 회전시키고, 상기 구속로드가 상기 구속실린더 내부로 삽입될 때에 상기 회전돌기가 상기 회전홀부를 따라 후진되면서 상기 구속로드를 역방향으로 회전시키는 것을 특징으로 한다.
또한, 본 발명의 상기 승강구동부는, 상기 본체프레임에 구비되어 상기 승강블록을 슬라이딩 가능하게 지지하는 레일부재; 및 상기 승강블록을 상승 또는 하강시키도록 상기 본체프레임에 설치되고, 출몰되는 승강로드에 상기 승강블록이 연결되는 승강실린더를 포함하는 것을 특징으로 한다.
또한, 본 발명의 상기 회전구동부는, 상기 회전축에 설치되는 피니언부재; 상기 피니언부재에 기어연결되는 랙부재; 및 상기 랙부재가 연결되는 승강로드가 구비되고, 상기 승강로드를 출몰시키면서 상기 피니언부재를 정방향 또는 역방향으로 회전시켜 상기 회전프레임을 회전시키는 승강실린더를 포함하는 것을 특징으로 한다.
또한, 본 발명의 상기 구속조절부는, 상기 안착플레이트로부터 간격을 유지하며 배치되고, 회전블록의 전방 또는 후방으로 이동 가능하게 설치되어 소형의 가스통이 안착되는 받침플레이트; 상기 회전프레임에 상기 받침플레이트 측으로 전진 또는 후진 가능하게 설치되고, 상기 받침플레이트에 안착되는 가스통의 밸브 부위를 감싸도록 배치되는 구속플레이트; 상기 구속플레이트에 결합되어 가스통의 밸브 부위를 감싸도록 배치되는 결합플레이트; 및 상기 구속플레이트를 상기 받침플레이트 측으로 전진 또는 후진시키도록 상기 회전프레임에 설치되는 구속승강부를 포함하는 것을 특징으로 한다.
또한, 본 발명의 상기 구속승강부는, 상기 회전프레임에 설치되고, 상기 구속플레이트를 지지하는 승강축; 상기 회전프레임에 설치되고, 상기 승강축에 볼트 결합방식으로 연결되는 너트부재; 상기 승강축에 연결되고, 상기 회전프레임 외측으로 배치되어 작업자가 상기 승강축을 정회전 또는 역회전시키면서 상기 받침플레이트 측으로 상기 구속플레이트를 전진 또는 후진시키는 레버부재를 포함하는 것을 특징으로 한다.
또한, 본 발명은, 상기 승강블록의 승강 상태를 확인하고, 상기 회전프레임의 회전상태를 확인하며, 상기 구속부의 구속상태를 확인하여 다음 작동의 진행 가능여부를 결정하는 오작동방지부를 더 포함하는 것을 특징으로 한다.
또한, 본 발명의 상기 오작동방지부는, 상기 회전프레임이 지면에 직립된 상태를 감지하도록 상기 회전구동부의 케이스에 설치되어 상기 회전프레임이 지면에 직립되면 상기 회전프레임과 접촉되면서 감지신호를 송신하는 제1접촉센서; 상기 승강블록이 지면에 안착된 상태를 감지하도록 상기 본체프레임에 설치되어 상기 승강블록이 지면에 안착되면 상기 승강블록과 접촉되면서 감지신호를 송신하는 제2접촉센서; 및 상기 구속부의 구속 상태를 감지하도록 상기 회전프레임에 설치되어 상기 구속부의 작동에 의해 가스통이 구속되면 상기 구속부와 접촉되면서 감지신호를 송신하는 제3접촉센서를 포함하는 것을 특징으로 한다.
또한, 본 발명은, 상기 구속부의 작동에 의해 가스통을 구속한 후에 상기 회전구동부의 작동에 의해 가스통이 역방향으로 회전될 때에 상기 구속부가 일측으로 편심되는 것을 방지하도록 상기 구속부를 지지하는 불균형방지부를 더 포함하는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 따른 다기능 반도체 특수가스통 잔류 가스 저리용 회전장치는, 복수 개의 가스통이 안착되는 회전프레임에 다양한 크기의 가스통을 선택적으로 거치시킬 수 있는 구속조절부가 구비되므로 44리터, 47리터, 49리터 등의 일반적인 크기의 가스통과, 7리터, 10리터, 15리터, 20리터 등의 소형 가스통을 선택적으로 거치시킬 수 있으므로 다양한 크기의 가스통으로부터 잔류 가스를 손쉽게 제거할 수 있는 이점이 있다.
또한, 본 발명에 따른 다기능 반도체 특수가스통 잔류 가스 처리용 회전장치는, 복수 개의 가스통을 회전시켜 밸브가 지면을 향하도록 배치시킨 후에 가스통을 상승시키는 승강구동부가 구비되므로 역전된 가스통의 밸브가 지면으로부터 일정 높이 높게 배치되므로 밸브에 배출관을 연결하는 작업자가 직립한 상태에서 작업을 진행할 수 있어 작업자의 편의를 도모할 수 있는 이점이 있다.
또한, 본 발명에 따른 다기능 반도체 특수가스통 잔류 가스 처리용 회전장치는, 가스통을 구속하는 구속부의 구속여부를 감지하고, 회전프레임의 회전여부 및 승강여부를 감지하여 다음의 작동의 진행여부를 판단하는 오작동방지부가 구비되므로 작업자의 부주위로 가스통이 구속되지 않을 상태에서 회전작동 또는 승강작동이 이루어지는 것을 방지할 수 있어 가스통 추락에 의한 안전사고를 예방할 수 있는 이점이 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 다기능 반도체 특수가스통 잔류 가스 처리용 회전장치가 도시된 사시도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 다기능 반도체 특수가스통 잔류 가스 처리용 회전장치가 도시된 정면도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 다기능 반도체 특수가스통 잔류 가스 처리용 회전장치의 작동 상태가 도시된 사시도이다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 다기능 반도체 특수가스통 잔류 가스 처리용 회전장치의 작동 상태가 도시된 측면도이다.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 다기능 반도체 특수가스통 잔류 가스 처리용 회전장치의 회전변환부가 도시된 사진이다.
도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 다기능 반도체 특수가스통 잔류 가스 처리용 회전장치의 제1접촉센서가 도시된 사진이다.
도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 다기능 반도체 특수가스통 잔류 가스 처리용 회전장치의 제2접촉센서가 도시된 사진이다.
도 8은 본 발명의 일 실시예에 따른 다기능 반도체 특수가스통 잔류 가스 처리용 회전장치의 제1접촉센서 및 제2접촉센서가 도시된 사진이다.
도 9는 본 발명의 일 실시예에 따른 다기능 반도체 특수가스통 잔류 가스 처리용 회전장치의 제3접촉센서 및 불균형방지부가 도시된 사진이다.
도 10은 본 발명의 일 실시예에 따른 다기능 반도체 특수가스통 잔류 가스 처리용 회전장치의 제3접촉센서 및 불균형방지부 작동 상태가 도시된 사진이다.
이하, 첨부된 도면들을 참조하여 본 발명에 따른 다기능 반도체 특수가스통 잔류 가스 처리용 회전장치의 일 실시예를 설명한다.
이러한 과정에서 도면에 도시된 선들의 두께나 구성요소의 크기 등은 설명의 명료성과 편의상 과장되게 도시되어 있을 수 있다.
또한, 후술되는 용어들은 본 발명에서의 기능을 고려하여 정의된 용어들로써, 이는 사용자, 운용자의 의도 또는 관례에 따라 달라질 수 있다.
그러므로 이러한 용어들에 대한 정의는 본 명세서 전반에 걸친 내용을 토대로 내려져야 할 것이다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 다기능 반도체 특수가스통 잔류 가스 처리용 회전장치가 도시된 사시도이고, 도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 다기능 반도체 특수가스통 잔류 가스 처리용 회전장치가 도시된 정면도이고, 도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 다기능 반도체 특수가스통 잔류 가스 처리용 회전장치의 작동 상태가 도시된 사시도이다.
또한, 도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 다기능 반도체 특수가스통 잔류 가스 처리용 회전장치의 작동 상태가 도시된 측면도이고, 도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 다기능 반도체 특수가스통 잔류 가스 처리용 회전장치의 회전변환부가 도시된 사진이고, 도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 다기능 반도체 특수가스통 잔류 가스 처리용 회전장치의 제1접촉센서가 도시된 사진이다.
또한, 도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 다기능 반도체 특수가스통 잔류 가스 처리용 회전장치의 제2접촉센서가 도시된 사진이고, 도 8은 본 발명의 일 실시예에 따른 다기능 반도체 특수가스통 잔류 가스 처리용 회전장치의 제1접촉센서 및 제2접촉센서가 도시된 사진이고, 도 9는 본 발명의 일 실시예에 따른 다기능 반도체 특수가스통 잔류 가스 처리용 회전장치의 제3접촉센서 및 불균형방지부가 도시된 사진이고, 도 10은 본 발명의 일 실시예에 따른 다기능 반도체 특수가스통 잔류 가스 처리용 회전장치의 제3접촉센서 및 불균형방지부 작동 상태가 도시된 사진이다.
도 1 내지 도 10을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 다기능 반도체 특수가스통 잔류 가스 처리용 회전장치는, 복수 개의 승강블록(12)이 슬라이딩 가능하게 설치되는 본체프레임(10)과, 승강블록(12)의 회전축(14)에 회전 가능하게 설치되고, 가스통이 안착되는 안착플레이트(18)가 구비되는 회전프레임(16)과, 안착플레이트(18)에 가스통을 안착시킨 후에 가스통이 안착플레이트(18)으로부터 분리되는 것을 방지하도록 가스통을 구속하는 구속부(30)와, 안착플레이트(18)에 안착되는 가스통이 역전되어 밸브가 하측 방향으로 배치되도록 회전축(14)에 동력을 제공하여 회전프레임(16)을 회전시키는 회전구동부(56)와, 승강블록(12)을 상승 또는 하강시키면서 회전구동부(56)의 작동에 의해 역전된 가스통을 지면으로부터 상측으로 상승시키는 승강구동부(50)와, 회전프레임(16)에 안착되는 가스통의 크기에 따라 가스통의 구속부(30)위를 조절하면서 다양한 크기의 가스통을 선택하여 구속시키는 구속조절부(70)를 포함한다.
따라서 작업자가 안착플레이트(18)에 가스통을 안착시킨 후에 컨트롤박스에 구비되는 작동레버를 조작하면 구속부(30)의 작동에 의해 가스통의 둘레면이 가압되면서 구속되고, 작업자가 수작업으로 구속조절부(70)를 조작하여 가스통의 밸브 부위를 감싸도록 구속조절부(70)의 위치를 조절한 후에 컨트롤박스의 레버를 조작하면 연전구동부(56)의 작동에 의해 회전프레임(16)이 회전되면서 가스통이 역전되고, 승강구동부(50)의 작동에 의해 승강블록(12) 및 회전프레임(16)이 상승되면서 가스통의 밸브가 지면으로부터 상측으로 상승되어 작업자가 밸브에 배출관을 연결하기 편한 위치로 이동된다.
이후에, 가스통으로부터 잔류 가스를 스크러버로 배출시키면 상기한 작동을 역방향으로 진행하여 가스통을 지면에 안착시키고, 가스통을 안착플레이트(18)로부터 배출시켜 잔류 가스 처리작업을 완료하게 된다.
본 실시예의 구속부(30)는, 구속부(30)는, 회전프레임(16)에 돌출 가능하게 설치되고, 가스통의 둘레면을 가압하는 복수 개의 구속블록과, 구속블록을 회전프레임(16)으로부터 돌출 또는 후퇴시키면서 가스통에 구속블록을 가압하여 가스통을 구속시키는 구속구동부(36)를 포함한다.
본 실시예는 직사각 모양의 회전프레임(16) 양측면에 각각 승강블록(12)이 배치되고, 승강블록(12)의 외측에 본체프레임(10)이 배치되며, 회전프레임(16)의 전방에는 제1구속블록(32) 및 제2구속블록(34)이 구속구동부(36)의 작동에 의해 돌출 가능하게 설치된다.
따라서 작업자가 안착플레이트(18)에 가스통을 안착시킨 후에 컨트롤박스에 구비되는 레버부재(78c)를 조작하면 구속구동부(36)의 작동에 의해 구속블록이 회전프레임(16) 측으로 이동되면서 회전되어 가스통의 둘레면에 밀착되면서 가스통을 구속하게 된다.
여기서, 구속구동부(36)는, 구속블록을 회전프레임(16)의 외측 또는 내측으로 출몰시키도록 회전프레임(16)에 설치되고, 구속로드(37a)에 구속블록이 연결되는 구속실린더(37)와, 구속로드(37a)가 구속실린더(37)로부터 돌출될 때에 구속블록을 정방향으로 회전시키고, 구속로드(37a)가 구속실린더(37) 내부로 삽입될 때에 구속블록을 역방향으로 회전시키면서 구속블록을 가스통 둘레면에 밀착시키는 회전변환부(38)를 포함한다.
따라서 구속로드(37a)가 구속실린더(37)로부터 돌출될 때에 회전변환부(38)의 작동에 의해 구속로드(37a)가 정방향 또는 역방향으로 회전되면서 구속로드(37a)의 단부에 설치되는 제1구속블록(32) 또는 제2구속블록(34)이 정방향 또는 역방향으로 회전되면서 가스통의 둘레면에 안착되도록 방향이 전환된다.
제1구속블록(32) 및 제2구속블록(34)의 배면에는 가스통의 둘레면이 안착되어 밀착되는 밀착홈부가 형성되고, 밀착홈부에는 가스통의 둘레면에 밀착되는 패드부재가 설치되므로 제1구속블록(32) 및 제2구속블록(34)이 가스통의 둘레면에 안착되면 가스통의 둘레면이 패드부재에 밀착되면서 가스통을 보다 더 효과적으로 가압하게 된다.
본 실시예는 제1구속블록(32) 및 제2구속블록(34)으로 이루어지는 2개의 구속블록이 구비되지만 2개 이상의 다수 개의 구속블록이 설치될 수 있고, 이는 본 발명의 기술구성을 인지한 당업자가 용이하게 변경하여 실시할 수 있는 것이므로 다른 실시예에 대한 구체적인 도면이나 설명은 생략하기로 한다.
또한, 본 실시예의 회전변환부(38)는, 구속실린더(37)에 설치되고, 구속로드(37a)가 통과되는 커버부재(38a)와, 커버부재(38a)의 둘레면에 나선 모양으로 형성되는 회전홀부(38b)와, 로드로부터 돌출되어 회전홀부(38b)에 슬라이딩 가능하게 삽입되는 회전돌기(38c)를 포함한다.
구속로드(37a)는 구속실린더(37)에 공회전 가능하게 삽입되고, 구속로드(37a)가 구속실린더(37)로부터 돌출될 때에 회전돌기(38c)가 회전홀부(38b)를 따라 전진되면서 구속로드(37a)를 정방향으로 회전시키고, 구속로드(37a)가 구속실린더(37) 내부로 삽입될 때에 회전돌기(38c)가 회전홀부(38b)를 따라 후진되면서 구속로드(37a)를 역방향으로 회전시키게 된다.
본 실시예의 승강구동부(50)는, 본체프레임(10)에 구비되어 승강블록(12)을 슬라이딩 가능하게 지지하는 레일부재(54)와, 승강블록(12)을 상승 또는 하강시키도록 본체프레임(10)에 설치되고, 출몰되는 승강로드에 승강블록(12)이 연결되는 승강실린더(52)를 포함한다.
여기서, 승강실린더(52)는 본체프레임(10)의 상단에 하측 방향으로 승강로드가 돌출되게 설치되고, 승강로드의 단부에 승강블록(12)이 연결되므로 승강실린더(52)로부터 승강로드가 돌출되면 승강블록(12)이 레일부재(54)를 따라 하강하게 되고, 승강실린더(52) 내부로 승강로드가 삽입되면 레일부재(54)를 따라 승강블록(12)이 상승하면서 한 쌍의 승강블록(12) 사이에 설치되는 회전프레임(16)을 상승 또는 하강시키게 된다.
또한, 본 실시예의 연전구동부(56)는, 회전축(14)에 설치되는 피니언부재(59)와, 피니언부재(59)에 기어연결되는 랙부재(58)와, 랙부재(58)가 연결되는 역전로드가 구비되고, 역전로드를 출몰시키면서 피니언부재(59)를 정방향 또는 역방향으로 회전시켜 회전프레임(16)을 회전시키는 역전실린더(57)를 포함한다.
따라서 작업자의 조작에 의해 연전구동부(56)가 구동되면 역전실린더(57)로부터 역전로드가 돌출되면서 랙부재(58)가 상승되고, 랙부재(58)와 기어연결되는 피니언부재(59)가 회전되면서 회전축(14)을 회전시키게 되므로 회전프레임(16)이 회전되고, 회전프레임(16)에 안착되는 가스통이 역전되면서 밸브가 지면에 향하도록 배치된다.
상기한 바와 같이 가스통이 역방향으로 회전된 후에 승강구동부(50)의 작동에 의해 승강블록(12) 및 회전프레임(16)이 상승되면 가스통의 배브가 지면으로부터 높게 배치되어 작업자가 밸브에 배출관을 연결하는 작업을 용이하게 진행할 수 있게 된다.
또한, 본 실시예는, 회전프레임(16)에 구비되는 구속조절부(70)를 조작하여 다양한 크기의 가스통을 회전프레임(16)에 거치시킬 수 있게 되므로 다양한 크기의 가스통을 상기한 바와 같이 회전시켜 지면으로부터 높게 배치시킬 수 있게 된다.
본 실시예의 구속조절부(70)는, 안착플레이트(18)로부터 간격을 유지하며 배치되고, 회전블록의 전방 또는 후방으로 이동 가능하게 설치되어 소형의 가스통이 안착되는 받침플레이트(72)와, 회전프레임(16)에 받침플레이트(72) 측으로 전진 또는 후진 가능하게 설치되고, 받침플레이트(72)에 안착되는 가스통의 밸브 부위를 감싸도록 배치되는 구속플레이트(74)와, 구속플레이트(74)에 결합되어 가스통의 밸브 부위를 감싸도록 배치되는 결합플레이트(76)와, 구속플레이트(74)를 받침플레이트(72) 측으로 전진 또는 후진시키도록 회전프레임(16)에 설치되는 구속승강부(78)를 포함한다.
또한, 본 실시예의 구속승강부(78)는, 회전프레임(16)에 설치되고, 구속플레이트(74)를 지지하는 승강축(78a)과, 회전프레임(16)에 설치되고, 승강축(78a)에 볼트 결합방식으로 연결되는 너트부재(78b)와, 승강축(78a)에 연결되고, 회전프레임(16) 외측으로 배치되어 작업자가 승강축(78a)을 정회전 또는 역회전시키면서 받침플레이트(72) 측으로 구속플레이트(74)를 전진 또는 후진시키는 레버부재(78c)를 포함한다.
회전프레임(16)의 상단에 구비되는 플레이트에는 너트부재(78b)가 설치되고, 너트부재(78b)와 볼트 결합되는 승강축(78a)이 회전프레임(16)의 하측 방향으로 연장되게 설치되고, 승강축(78a) 하단에는 반원띠 형상의 구속플레이트(74)가 설치되며, 승강축(78a)의 상단에는 레버부재(78c)가 설치된다.
따라서 작업자가 레버부재(78c)를 정방향 또는 역방향으로 회전시키면 회전프레임(16)에 설치되는 너트부재(78b)에 의해 승강축(78a)이 회전되면서 상승 또는 하강하게 되므로 구속플레이트(74)를 상승 또는 하강시키게 된다.
또한, 본 실시예의 구속플레이트(74)에는 결합플레이트(76)로부터 돌출되는 지지대가 삽입되는 홀부 및 지지대를 구속하는 체결부재가 구비되므로 반원 띠 모양의 구속플레이트(74)와 결합플레이트(76)가 결합되어 원형의 띠 형상의 링부재를 이루게 되어 가스통의 밸브 부위를 감싸면서 가스통이 회전프레임(16)으로부터 분리되는 것을 방지할 수 있게 된다.
또한, 본 실시예는, 승강블록(12)의 승강 상태를 확인하고, 회전프레임(16)의 회전상태를 확인하며, 구속부(30)의 구속상태를 확인하여 다음 작동의 진행 가능여부를 결정하는 오작동방지부(80)를 더 포함하므로 작업자의 부주위에 의해 구속부(30)가 구동되지 않은 상태에서 회전프레임(16)이 회전되는 오작동을 방지하고, 회전프레임(16)이 역방향으로 회전되지 않을 상태에서 상승되는 오작동을 방지할 수 있게 된다.
여기서, 오작동방지부(80)는, 회전프레임(16)이 지면에 직립된 상태를 감지하도록 연전구동부(56)의 케이스에 설치되어 회전프레임(16)이 지면에 직립되면 회전프레임(16)과 접촉되면서 감지신호를 송신하는 제1접촉센서(82)와, 승강블록(12)이 지면에 안착된 상태를 감지하도록 본체프레임(10)에 설치되어 승강블록(12)이 지면에 안착되면 승강블록(12)과 접촉되면서 감지신호를 송신하는 제2접촉센서(84)와, 구속부(30)의 구속 상태를 감지하도록 회전프레임(16)에 설치되어 구속부(30)의 작동에 의해 가스통이 구속되면 구속부(30)와 접촉되면서 감지신호를 송신하는 제3접촉센서(86)를 포함한다.
따라서 구속부(30)의 작동에 의해 제1구속블록(32) 또는 제2구속블록(34)이 가스통 둘레면에 안착되면 제1구속블록(32) 또는 제2구속블록(34)에서 돌출되는 접촉패널(88)이 제3접촉센서(86)에 접촉되면서 제어부에 감지신호를 송신하여 가스통이 구속되었음을 판단하고, 회전프레임(16)의 회전되어 가스통이 역방향으로 회전되면 회전프레임(16)과 접촉되었던 제1접촉센서(82)에서 감지신호가 해제되어 다음의 작동이 진행될 수 있는 상태로 변환된다.
또한, 승강블록(12)이 상승되면 제2접촉센서(84)로부터 승강블록(12)이 분리되어 승강블록(12)이 상승된 상태를 판단하게 되고, 잔류 가스 배출작업이 완료되면 상기한 작동이 역방향으로 감지되면서 회전장치의 작동이 이루어지게 된다.
즉, 승강블록(12)이 하강하여 제2접촉센서(84)와 승강블록(12)이 접촉되어 감지신호가 송신되면 회전운동이 진행 가능한 상태로 전환되고, 회전프레임(16)이 역방향으로 회전되어 회전프레임(16)이 정방향으로 위치하게 되면 제1접촉센서(82)와 회전프레임(16)이 접촉되면서 구속해제 상태로 진행 가능한 상태로 변환되어 구속부(30)의 해제작동이 이루어지게 된다.
또한, 본 실시예는, 구속부(30)의 작동에 의해 가스통을 구속한 후에 연전구동부(56)의 작동에 의해 가스통이 역방향으로 회전될 때에 구속부(30)가 일측으로 편심되는 것을 방지하도록 구속부(30)를 지지하는 불균형방지부(90)를 더 포함하므로 제1구속블록(32) 또는 제2구속블록(34)이 가스통을 가압하면서 지지할 때에 제1구속블록(32) 또는 제2구속블록(34)이 편심되면서 변형되거나 파손되는 것을 방지할 수 있게 된다.
본 실시예의 불균형방지부(90)는, 회전프레임(16)으로부터 돌출되는 가이드바(92)와, 가이드바(92)에 설치되고, 제1구속블록(32) 또는 제2구속블록(34)의 단부에 밀착되어 제1구속블록(32) 또는 제2구속블록(34)이 구속상태에서 가스통으로부터 이격되는 것을 방지하는 가이드롤러(94)를 포함한다.
따라서 구속구동부(36)의 작동에 의해 제1구속블록(32) 또는 제2구속블록(34)이 가스통 둘레면에 밀착되게 배치되면 제1구속블록(32) 또는 제2구속블록(34)의 단부에 가이드롤러(94)가 밀착되어 가이드바(92)에 의해 제1구속블록(32) 또는 제2구속블록(34)을 지지하게 된다.
이로써, 반도체 특수가스를 사용한 후에 가스통에 잔류하는 가스를 흡입하여 스크러버로 배출시킬 때에 가스통을 역전시킨 후 상승시켜 작업자의 편의를 도모할 수 있고, 크기가 서로 다른 가스통을 동시에 역전 및 상승시킬 수 있으며, 가스통을 구속시키는 작동, 역전시키는 작동 및 상승 또는 하강시키는 작동 중에 오작동이 발생되어 가스통이 낙하되는 안전사고를 예방할 수 있는 다기능 반도체 특수가스통 잔류 가스 처리용 역전장치를 제공할 수 있게 된다.
본 발명은 도면에 도시되는 일 실시예를 참고로 하여 설명되었으나, 이는 예시적인 것에 불과하며, 당해 기술이 속하는 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 타 실시예가 가능하다는 점을 이해할 것이다.
또한, 다기능 반도체 특수가스통 잔류 가스 처리용 회전장치를 예로 들어 설명하였으나, 이는 예시적인 것에 불과하며, 다기능 반도체 특수가스통 잔류 가스 처리용 회전장치가 아닌 다른 제품에도 본 발명의 회전장치가 사용될 수 있다.
따라서 본 발명의 진정한 기술적 보호범위는 아래의 특허청구범위에 의해서 정하여져야 할 것이다.
10 : 본체프레임 12 : 승강블록
14 : 회전축 16 : 회전프레임
18 : 안착플레이트 30 : 구속부
32 : 제1구속블록 34 : 제2구속블록
36 : 구속구동부 37 : 구속실린더
38 : 회전변환부 50 : 승강구동부
52 : 승강실린더 54 : 레일부재
56 : 회전구동부 57 : 역전실린더
58 : 랙부재 59 : 피니언부재
70 : 구속조절부 72 : 받침플레이트
72a : 장공부 74 : 구속플레이트
76 : 결합플레이트 78 : 구속승강부
80 : 오작동방지부 82 : 제1접촉센서
84 : 제2접촉센서 86 : 제3접촉센서
88 : 접촉패널 90 : 불균형방지부
92 : 가이드바 94 : 가이드롤러

Claims (10)

  1. 복수 개의 승강블록이 슬라이딩 가능하게 설치되는 본체프레임;
    상기 승강블록의 회전축에 회전 가능하게 설치되고, 가스통이 안착되는 안착플레이트가 구비되는 회전프레임;
    상기 안착플레이트에 가스통을 안착시킨 후에 가스통이 상기 안착플레이트으로부터 분리되는 것을 방지하도록 가스통을 구속하는 구속부;
    상기 안착플레이트에 안착되는 가스통이 역전되어 밸브가 하측 방향으로 배치되도록 상기 회전축에 동력을 제공하여 상기 회전프레임을 회전시키는 회전구동부;
    상기 승강블록을 상승 또는 하강시키면서 상기 회전구동부의 작동에 의해 역전된 가스통을 지면으로부터 상측으로 상승시키는 승강구동부; 및
    상기 회전프레임에 안착되는 가스통의 크기에 따라 가스통의 구속부위를 조절하면서 다양한 크기의 가스통을 선택하여 구속시키는 구속조절부를 포함하고,
    상기 구속조절부는,
    상기 안착플레이트로부터 간격을 유지하며 배치되고, 회전블록의 전방 또는 후방으로 이동 가능하게 설치되어 소형의 가스통이 안착되는 받침플레이트;
    상기 회전프레임에 상기 받침플레이트 측으로 전진 또는 후진 가능하게 설치되고, 상기 받침플레이트에 안착되는 가스통의 밸브 부위를 감싸도록 배치되는 구속플레이트;
    상기 구속플레이트에 결합되어 가스통의 밸브 부위를 감싸도록 배치되는 결합플레이트; 및
    상기 구속플레이트를 상기 받침플레이트 측으로 전진 또는 후진시키도록 상기 회전프레임에 설치되는 구속승강부를 포함하고,
    상기 구속승강부는,
    상기 회전프레임에 설치되고, 상기 구속플레이트를 지지하는 승강축;
    상기 회전프레임에 설치되고, 상기 승강축에 볼트 결합방식으로 연결되는 너트부재;
    상기 승강축에 연결되고, 상기 회전프레임 외측으로 배치되어 작업자가 상기 승강축을 정회전 또는 역회전시키면서 상기 받침플레이트 측으로 상기 구속플레이트를 전진 또는 후진시키는 레버부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 다기능 반도체 특수가스통 잔류 가스 처리용 회전장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 구속부는,
    상기 회전프레임에 돌출 가능하게 설치되고, 가스통의 둘레면을 가압하는 복수 개의 구속블록;
    상기 구속블록을 상기 회전프레임으로부터 돌출 또는 후퇴시키면서 가스통에 상기 구속블록을 가압하여 가스통을 구속시키는 구속구동부를 포함하고,
    상기 구속구동부는,
    상기 구속블록을 상기 회전프레임의 외측 또는 내측으로 출몰시키도록 상기 회전프레임에 설치되고, 구속로드에 상기 구속블록이 연결되는 구속실린더; 및
    상기 구속로드가 상기 구속실린더로부터 돌출될 때에 상기 구속블록을 정방향으로 회전시키고, 상기 구속로드가 상기 구속실린더 내부로 삽입될 때에 상기 구속블록을 역방향으로 회전시키면서 상기 구속블록을 가스통 둘레면에 밀착시키는 회전변환부를 포함하는 것을 특징으로 하는 다기능 반도체 특수가스통 잔류 가스 처리용 회전장치.
  3. 제2항에 있어서, 상기 회전변환부는,
    상기 구속실린더에 설치되고, 상기 구속로드가 통과되는 커버부재;
    상기 커버부재의 둘레면에 나선 모양으로 형성되는 회전홀부; 및
    상기 구속로드로부터 돌출되어 상기 회전홀부에 슬라이딩 가능하게 삽입되는 회전돌기를 포함하고,
    상기 구속로드는 상기 구속실린더에 공회전 가능하게 삽입되고, 상기 구속로드가 상기 구속실린더로부터 돌출될 때에 상기 회전돌기가 상기 회전홀부를 따라 전진되면서 상기 구속로드를 정방향으로 회전시키고,
    상기 구속로드가 상기 구속실린더 내부로 삽입될 때에 상기 회전돌기가 상기 회전홀부를 따라 후진되면서 상기 구속로드를 역방향으로 회전시키는 것을 특징으로 하는 다기능 반도체 특수가스통 잔류 가스 처리용 회전장치.
  4. 제1항에 있어서, 상기 승강구동부는,
    상기 본체프레임에 구비되어 상기 승강블록을 슬라이딩 가능하게 지지하는 레일부재; 및
    상기 승강블록을 상승 또는 하강시키도록 상기 본체프레임에 설치되고, 출몰되는 승강로드에 상기 승강블록이 연결되는 승강실린더를 포함하는 것을 특징으로 하는 다기능 반도체 특수가스통 잔류 가스 처리용 회전장치.
  5. 제1항에 있어서, 상기 회전구동부는,
    상기 회전축에 설치되는 피니언부재
    상기 피니언부재에 기어연결되는 랙부재; 및
    상기 랙부재가 연결되는 승강로드가 구비되고, 상기 승강로드를 출몰시키면서 상기 피니언부재를 정방향 또는 역방향으로 회전시켜 상기 회전프레임을 회전시키는 승강실린더를 포함하는 것을 특징으로 하는 다기능 반도체 특수가스통 잔류 가스 처리용 회전장치.
  6. 삭제
  7. 삭제
  8. 제1항 내지 제5항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 승강블록의 승강 상태를 확인하고, 상기 회전프레임의 회전상태를 확인하며, 상기 구속부의 구속상태를 확인하여 다음 작동의 진행 가능여부를 결정하는 오작동방지부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 다기능 반도체 특수가스통 잔류 가스 처리용 회전장치.
  9. 제8항에 있어서, 상기 오작동방지부는,
    상기 회전프레임이 지면에 직립된 상태를 감지하도록 상기 회전구동부의 케이스에 설치되어 상기 회전프레임이 지면에 직립되면 상기 회전프레임과 접촉되면서 감지신호를 송신하는 제1접촉센서;
    상기 승강블록이 지면에 안착된 상태를 감지하도록 상기 본체프레임에 설치되어 상기 승강블록이 지면에 안착되면 상기 승강블록과 접촉되면서 감지신호를 송신하는 제2접촉센서; 및
    상기 구속부의 구속 상태를 감지하도록 상기 회전프레임에 설치되어 상기 구속부의 작동에 의해 가스통이 구속되면 상기 구속부와 접촉되면서 감지신호를 송신하는 제3접촉센서를 포함하는 것을 특징으로 하는 다기능 반도체 특수가스통 잔류 가스 처리용 회전장치.
  10. 제1항 내지 제5항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 구속부의 작동에 의해 가스통을 구속한 후에 상기 회전구동부의 작동에 의해 가스통이 역방향으로 회전될 때에 상기 구속부가 일측으로 편심되는 것을 방지하도록 상기 구속부를 지지하는 불균형방지부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 다기능 반도체 특수가스통 잔류 가스 처리용 회전장치.
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