KR102377839B1 - 지능형 다채널 광대역 고주파인가장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 고주파 반도체에 고주파를 인가하는 장치로, 보다 상세하게는 CW, 펄스, Modulation 고주파 신호를 입력할 때 광대역 고주파를 다채널로 인가할 수 있고, 고온 및 가속 신뢰성 시험을 수행할 수 있도록 하며, 다양한 신호테스트가 가능하도록 선형성을 확보하고, 입력단과 출력단의 전력 세기를 추출 및 비교하여 출력신호에 대한 정확도를 개선한 고주파인가장치에 관한 것이다.
상이한 전력 레벨을 갖는 고주파신호의 입력에 대하여 동일한 전력 레벨을 갖는 고주파신호를 출력하는 복수의 고주파인가모듈이 하나의 그룹을 형성하여 구성되는 것을 특징으로 한다.

Description

지능형 다채널 광대역 고주파인가장치{High frequency enhancing apparatus}
본 발명은 고주파 반도체에 고주파를 인가하는 장치로, 보다 상세하게는 CW, 펄스, Modulation 고주파 신호를 입력할 때 광대역 고주파를 다채널로 인가할 수 있고, 고온 및 가속 신뢰성 시험을 수행할 수 있도록 하며, 다양한 신호테스트가 가능하도록 선형성을 확보하고, 입력단과 출력단의 전력 세기를 추출 및 비교하여 출력신호에 대한 정확도를 개선한 고주파인가장치에 관한 것이다.
5G 활성화에 따라 IoT, 보안, 자동차 등과 같은 곳에 사용되는 고주파 반도체 분야에서는 보다 정확한 신뢰성 시험을 요구하고 있고, 이러한 요구에 대응할 수 있는 다양한 고주파 반도체의 신뢰성 시험 확대가 예상되고 있다.
고주파 반도체의 신뢰성 시험으로는 HTOL, HAST, THB 등이 있는데, 이러한 고온 고속 신뢰성 시험은 높은 정확도를 요하는 바, 특히 출력 신호에 대한 정확도 향상이 무엇보다 중요하다.
그러나 상기와 같은 요구에도 불구하고, 종래의 반도체 디바이스의 테스트 시스템은 600MHz~6GHz으로 제작 되었으나, 한정적인 신호 발생과 출력 신호에 대한 정확도가 많이 떨어진다는 문제가 있다.
이러한 반도체 디바이스 테스트 시스템에 관한 종래의 기술로, 등록특허 제10-0850204호(2008년07월29일)(이하 종래기술) 등이 있는데, 종래기술은 테스트 장치로부터 생성되는 저속 커맨드 신호 및 저속 어드레스 신호를 통해 고속 커맨드 신호 및 고속 어드레스 신호를 생성함으로써, 테스트 장치의 효용성을 증가시키고 테스트 시간을 단축할 수 있는 고속 커맨드 신호 및 고속 어드레스 신호의 생성 방법 및 이에 적합한 시스템을 제시하고 있다.
그러나 종래기술 역시 상기한 문제점을 해결하기에는 무리가 있고, 다양한 신호테스트를 위한 선형성 확보, 출력신호에 대한 정확도 개선 및 다채널의 고주파 신호 테스트를 제공할 수 있는 기술의 필요성이 재고되는 바이다.
본 발명은 상기 문제점을 해결하기 위한 것으로, 광대역 고주파를 다채널로 인가할 수 있도록 하여 다량의 고주파 반도체에 대한 신호테스트를 가능하게 하는 것을 목적으로 한다.
또한 한정적인 신호 발생에 대하여 다양한 신호테스트가 가능하도록 다단 증폭기의 도입 및 출력 임피던스 매칭을 통해 선형성을 확보하는 것을 목적으로 한다.
또한 입력단과 출력단의 전력 세기를 추출 및 비교하여 출력신호에 대한 정확도를 향상시키는 것을 목적으로 한다.
상기 과제의 해결을 목적으로 하는 본 발명은, 상이한 전력 레벨을 갖는 고주파신호의 입력에 대하여 동일한 전력 레벨을 갖는 고주파신호를 출력하는 복수의 고주파인가모듈이 하나의 그룹을 형성하여 구성되는 것을 특징으로 한다.
또한 상기 고주파인가모듈은, 고주파신호가 입력되는 신호입력부, 상기 고주파신호를 소정의 전력으로 증폭하는 신호증폭부, 상기 고주파신호를 출력하는 신호출력부 및 출력되는 고주파신호를 증폭 전의 레벨로 다운시켜 입력된 고주파신호와 비교하여 기 설정된 범위 외의 전력을 갖는 고주파신호를 감쇠하는 신호조절부를 포함할 수 있음을 특징으로 한다.
또한 상기 신호증폭부는 복수의 증폭기가 다단으로 연결 구성될 수 있음을 특징으로 한다.
또한 상기 신호증폭부는 입력된 고주파신호의 이득을 설정하는 게인블록, 상기 게인블록의 후단에 연결되는 전치증폭기, 상기 전치증폭기의 후단에 연결된 구동증폭기 및 상기 구동증폭기의 후단에 연결된 전력증폭기를 포함할 수 있음을 특징으로 한다.
또한 상기 신호증폭부는 상기 신호입력부를 통해 입력된 고주파신호와 신호출력부를 통해 출력되는 고주파신호 간의 선형성 확보를 위한 임피던스 매칭회로를 더 포함할 수 있음을 특징으로 한다.
또한 상기 신호조절부는, 입력된 고주파신호를 분기시키는 제1분기파트, 상기 제1분기파트로 분기된 고주파신호의 전력 레벨을 측정하는 제1감지파트, 출력되는 고주파신호를 분기시키는 제2분기파트, 상기 제2분기파트로 분기된 고주파신호의 전력 레벨을 측정하는 제2감지파트 및 상기 제1감지파트에서 감지된 고주파신호의 전력 레벨과 상기 제2감지파트에서 감지된 고주파신호의 전력 레벨을 비교하는 신호제어파트를 포함할 수 있음을 특징으로 한다.
또한 상기 신호조절부는 상기 신호제어파트의 명령에 따라 상기 신호증폭부로 전송되는 고주파신호의 전력 레벨을 조절하는 신호감쇠파트를 더 포함할 수 있음을 특징으로 한다.
또한 상기 신호조절부는 상기 제1분기파트와 상기 신호감쇠파트 사이에 연결된 게인블록을 더 포함할 수 있음을 특징으로 한다.
또한 상기 제2감지파트에서 감지되는 고주파신호의 전력 레벨은 상기 신호출력부로 출력되는 고주파신호의 전력 레벨보다 작게 구성될 수 있음을 특징으로 한다.
상기 구성 및 특징을 갖는 본 발명은 상이한 전력 레벨을 갖는 고주파신호의 입력에 대하여 동일한 전력 레벨을 갖는 고주파신호를 출력하는 복수의 고주파인가모듈이 하나의 그룹을 형성하도록 구성함에 따라, 광대역 고주파를 다채널로 인가할 수 있도록 하여 다량의 고주파 반도체에 대한 신호테스트가 가능하다는 효과를 갖는다.
또한 본 발명 고유의 구성 및 특징을 갖는 고주파인가모듈을 제시함으로써, 한정적인 신호 발생에 대하여 다양한 신호테스트가 가능하고, 나아가 입력단과 출력단의 전력 세기를 추출 및 비교하여 출력신호에 대한 정확도를 향상시키는 효과를 제공한다.
도 1은 고주파인가세트를 그룹화하여 고주파인가장치를 구성한 실시예를 도시한 도면.
도 2는 고주파인가모듈을 그룹화하여 고주파인가세트를 구성한 실시예를 도시한 도면.
도 3은 고주파인가모듈에 관한 구체적인 실시예를 도시한 도면.
도 4는 고주파신호의 처리 과정을 도식화한 알고리즘.
도 5는 광대역 임피던스 매칭에 관한 실시예를 도시한 도면.
본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있는 바, 구현예(態樣, aspect)(또는 실시예)들을 본문에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나 이는 본 발명을 특정한 개시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다.
본 명세서에서 사용한 용어는 단지 특정한 구현예(태양, 態樣, aspect)(또는 실시예)를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, ~포함하다~ 또는 ~이루어진다~ 등의 용어는 명세서 상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.
다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가지고 있다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥 상 가지는 의미와 일치하는 의미를 가지는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.
본 명세서에서 기재한 ~제1~, ~제2~ 등은 서로 다른 구성 요소들임을 구분하기 위해서 지칭할 것일 뿐, 제조된 순서에 구애받지 않는 것이며, 발명의 상세한 설명과 청구범위에서 그 명칭이 일치하지 않을 수 있다.
이하 첨부된 도면을 참고하여 본 발명에 따른 지능형 다채널 광대역 고주파인가장치(이하 본 장치(A))에 대하여 상세하게 설명하기로 한다.
본 장치(A)는 CW, 펄스, Modulation 고주파 신호를 입력할 때 광대역 고주파를 다채널로 인가할 수 있고, 고온 및 가속 신뢰성 시험을 수행할 수 있도록 하며, 다양한 신호테스트가 가능하도록 선형성을 확보하고, 입력단과 출력단의 전력 세기를 추출 및 비교하여 출력신호에 대한 정확도를 개선한 고주파인가장치에 관한 것이다.
이러한 본 장치(A)는 상이한 전력 레벨을 갖는 고주파신호의 입력에 대하여 동일한 전력 레벨을 갖는 고주파신호를 출력하는 복수의 고주파인가모듈(M)이 하나의 그룹을 형성하여 구성되는 것을 특징으로 한다.
도 1에 도시된 바와 같이, 본 장치(A)는 복수의 고주파인가세트(S)가 하나의 그룹을 형성하여 구성되고, 또한 도 2를 통해 알 수 있듯이, 하나의 고주파인가세트(S)는 복수의 고주파인가모듈(M)이 하나의 그룹을 형성하여 구성된다.
예를 들면, 8개의 고주파인가모듈(M)이 하나의 고주파인가세트(S)를 구성하여 하나의 고주파인가세트(S)가 8채널을 갖도록 구성되고, 다시 10개의 고주파인가세트(S)가 하나의 고주파인가장치를 구성하여 총 80개의 채널을 갖도록 구성될 수 있다. 이는 신뢰성 평가를 위한 최소규격이 77개임을 감안한 실시로, 반드시 이에 한정되는 것은 아니다.
도 2에 도시된 바와 같이, 고주파인가세트(S)는 크게 내부에 장착부(S2)를 형성하는 케이스(S1), 상기한 장착부(S2), 그리고 장착부(S2)와 전기적으로 연결되고 케이스(S1)의 외측으로 노출되는 단자(S3)를 포함한다. 상기에서, 장착부(S2)에는 상기한 고주파인가모듈(M)이 장착되는데, 자명하게도 고주파인가모듈(M)의 수만큼 구비되며, 8채널을 예로 들면 장착부(S2)는 총 8개가 구비될 수 있다.
특히 실제 가속수명평가테스트에서 정확한 FIT 값 추출을 위해 다량의 고주파 반도체에 동일 신호를 제공하는 것이 매우 중요한데, 본 장치(A)는 고주파인가모듈(M) 각각이 상이한 전력 레벨을 갖는 고주파신호의 입력에 대하여 동일한 전력 레벨을 갖는 고주파신호를 출력하는 것을 특징으로 하고 있기 때문에, 다량의 고주파 반도체에 동일한 전력 레벨을 갖는 고주파신호를 인가할 수 있고, 이를 통해 고주파 반도체 테스트의 신뢰성을 보다 향상시킬 수 있다.
상기와 같이 본 장치(A)는 복수의 고주파인가모듈(M)이 그룹을 형성하여 고주파인가세트(S)를 구성하고, 다시 복수의 고주파인가세트(S)가 그룹을 형성하여 고주파인가장치를 구성함에 따라 다채널 광대역 고주파의 인가가 가능하다.
도 3 내지 도 5를 참고하여 상기한 고주파인가모듈(M)에 대해 보다 구체적으로 설명하기로 한다.
도 3에 도시된 바와 같이, 고주파인가모듈(M)은 크게 고주파신호가 입력되는 신호입력부(1), 고주파신호를 소정의 전력으로 증폭하는 신호증폭부(2), 고주파신호를 출력하는 신호출력부(3), 그리고 출력되는 고주파신호를 증폭 전의 레벨로 다운시켜 입력된 고주파신호와 비교하여 기 설정된 범위 외의 전력을 갖는 고주파신호를 감쇠하는 신호조절부(4)를 포함한다.
각 구성 별로, 신호입력부(1)는 고주파신호가 입력되는 구성으로, 소정의 고주파발생수단으로부터 고주파신호를 입력받거나 또는 고주파발생기를 포함하여 자체적으로 고주파신호의 생성과 입력을 함께 수행하도록 구성될 수 있다.
상기 신호입력부(1)로 입력되는 고주파신호는 CW, 펄스, Modulation 등 다양한 형태를 가질 수 있고, 또한 다양한 주파수 범위를 가질 수 있으며, 바람직한 실시예로는 5G 용 고주파 반도체 디바이스의 동작을 위한 600MHz ~ 6GHz의 주파수를 가질 수 있으나, 반드시 이에 한정될 필요는 없다.
다음으로, 신호증폭부(2)는 신호입력부(1)로부터 입력된 고주파신호를 소정의 전력으로 증폭하는 구성으로, 도 3에 도시된 바와 같이, 복수의 증폭기가 다단으로 연결 구성되는 것이 바람직하다. 이는 복수의 증폭기를 다단으로 연결 구성함에 따라 입력신호와 출력신호 간의 선형성이 향상될 수 있는데, 선형성 확보는 상호 간섭의 배제, 노이즈 최소화, 통신 성능 향상 등 고주파신호 처리에 있어서 숙명적으로 해결해야 하는 과제라는 점에서 매우 중요하다.
보다 구체적인 일 실시예에 따르면, 도 3에 도시된 바와 같이, 신호증폭부(2)는 입력된 고주파신호의 이득을 설정하는 게인블록(21), 게인블록(21)의 후단에 연결되는 전치증폭기(22), 전치증폭기(22)의 후단에 연결된 구동증폭기(23) 및 구동증폭기(23)의 후단에 연결된 전력증폭기(24)를 포함하도록 구성될 수 있다.
구체적으로, 게인블록(21)은 입력된 고주파신호의 이득을 설정하는 구성으로, 신호증폭부(2)의 각 증폭기에 입력되는 전력 레벨이 너무 낮으면 증폭기가 동작하지 않기 때문에 각 증폭기가 동작할 수 있을 정도로 고주파신호의 전력을 증폭시킨다. 도 3에 도시된 바와 같이 신호증폭부(2) 중 전단에 구비되며, 여기에서 이득은 일반적으로 전력 이득을 의미하며, 전압 이득 또는 전류 이득 어느 한 형태로 한정될 필요는 없다. 이러한 게인블록(21)은 후술하는 신호조절부(4)의 신호감쇠파트(46)의 동작과 상보적으로 작용하게 된다.
상기 전치증폭기(22)는 잡음비 감소를 막기 위해 구비되는 증폭기로, 도 3에 도시된 바와 같이 게인블록(21)의 후단에 연결된다. 그리고 상기 구동증폭기(23)는 고주파신호의 중간 증폭을 담당하는 증폭기로, 도 3에 도시된 바와 같이 전치증폭기(22)의 후단에 연결된다. 그리고 상기 전력증퐁기는 신호출력부(3)에 전력을 공급하기 위해 증폭단의 최종단에 구비되는 증폭기로, 도 3에 도시된 바와 같이 구동증폭기(23)의 후단에 연결되며, 그 후단이 신호출력부(3)에 연결된다.(신호조절부(4)의 분기에 관한 내용은 이하에서 자세하게 다루기로 함)
상기한 게인블록(21), 전치증폭기(22), 구동증폭기(23) 및 전력증폭기(24)는 그 구비 위치에 따라 구분한 것으로, 구체적인 회로의 구성에 있어서 완전히 상이할 가능성 또는 대동소이할 가능성을 배제하는 것은 아니라는 점을 밝히는 바이다.
또 다른 구체적인 일 실시예에 따르면, 도 5에 도시된 바와 같이, 신호증폭부(2)는 신호입력부(1)를 통해 입력된 고주파신호와 신호출력부(3)를 통해 출력되는 고주파신호 간의 선형성 확보를 위한 임피던스 매칭회로(25)를 더 포함할 수 있음을 특징으로 한다.
전력증폭기(24)에 적용된 임피던스 매칭회로(25)를 도시한 도 5에 도시된 바와 같이, 임피던스 매칭회로(25)는 신호 증폭을 위한 전력증폭기에 각각 연결되는 공액 임피던스(Conjugate impedance) 매칭회로와 게인 임피던스(Gain impedance) 매칭회로를 포함할 수 있는데, 그 명칭에서 확인할 수 있듯이, 각각 공액 임피던스의 매칭, 이득에 대한 임피던스 매칭을 수행한다.
도 5 좌측 박스 영역 내에 도시된 바와 같이, 공액 임피던스 매칭회로(25)는 그라운드에 연결된 저항, 이에 직렬로 연결되고 상호 병렬 연결된 캐피시터와 저항, 이에 연결된 커패시터 및 저항을 포함할 수 있다.
또한 도 5 우측 박스 영역 내에 도시된 바와 같이, 게인 임피던스 매칭회로(25)는 직렬로 연결되는 커패시터를 포함할 수 있다.
다음으로, 신호출력부(3)는 고주파신호를 출력하는 구성으로, 신호증폭부(2)를 통해 증폭된 고주파신호를 반도체 장비 측으로 출력한다.
신호출력부(3)를 통해 출력되는 고주파신호는 후술하는 신호조절부(4)에 의해 전력 레벨이 조절되어 각 고주파인가모듈(M)마다 동일한 전력 레벨의 고주파신호가 출력될 수 있다. 예를 들면 도 3에서 확인할 수 있는 바와 같이 전력 2W에 해당하는 +33dBm의 고주파신호가 일정하게 출력된다는 것이다.
이는 출력 신호에 대한 신뢰성 향상을 제공하는데, 가속수명평가테스트의 정확한 FIT값 추출을 위해 다량의 고주파 반도체에 동일한 전력 신호를 인가하게 되므로, 고주파 반도체의 신뢰성을 확보할 수 있게 된다.
다음으로, 신호조절부(4)는 출력되는 고주파신호를 증폭 전의 레벨로 다운시켜 입력된 고주파신호와 비교하여 기 설정된 범위 외의 전력을 갖는 고주파신호를 감쇠하는 구성으로, 크게 입력된 고주파신호를 추출 및 검출하는 기능부, 출력되는 고주파신호를 추출 및 검출하는 기능부, 그리고 출력되는 고주파신호의 전력 레벨을 조절하는 기능부를 포함하여 구성된다.
구체적으로, 입력된 고주파신호를 추출 및 검출하는 기능부로는 입력된 고주파신호를 분기시키는 제1분기파트(41), 그리고 제1분기파트(41)로 분기된 고주파신호의 전력 레벨을 측정하는 제1감지파트(43)가 있는데, 제1분기파트(41)에서 입력된 고주파신호를 추출하여 제1감지파트(43)로 전송하고, 제1감지파트(43)는 전송된 고주파신호의 전력 레벨을 측정하여 후술하는 신호제어파트(45)로 전송한다.
상기에서, 제1분기파트(41)는 입력된 고주파신호를 수신하고 그 신호를 제1감지파트(43)로 전송하기 위해 신호의 경로를 2개로 분기시키는 방향성결합기(Directional Coupler)를 포함하여 구성될 수 있다.
또한 상기에서, 제1감지파트(43)는 제1분기파트(41)에서 분기된 고주파신호의 전력 레벨을 검출하기 위한 전력검출기를 포함하여 구성될 수 있다.
신호조절부(4)를 구성하는 또 다른 기능부로서, 출력되는 고주파신호를 추출 및 검출하는 기능부로는 출력되는 고주파신호를 분기시키는 제2분기파트(42), 그리고 제2분기파트(42)로 분기된 고주파신호의 전력 레벨을 측정하는 제2감지파트(44)가 있는데, 제2분기파트(42)에서 출력되는 고주파신호를 추출하여 제2감지파트(44)로 전송하고, 제2감지파트(44)는 전송된 고주파신호의 전력 레벨을 측정하여 후술하는 신호제어파트(45)로 전송한다.
상기에서, 제2분기파트(42)와 제2감지파트(44)는 각각 제1분기파트(41)와 제1감지파트(43)의 구성과 크게 다르지 않게 구성된다.
특히 신호조절부(4)에 관한 일 특징으로, 도 3 및 도 4에 도시된 바와 같이, 제2감지파트(44)에서 감지되는 고주파신호의 전력 레벨은 신호출력부(3)로 출력되는 고주파신호의 전력 레벨보다 작은 것을 특징으로 한다.
이는 증폭되어 출력되는 고주파신호의 전력의 신호에서 실제 출력신호를 유의미하게 감소시키지 않는 선에서 출력되는 고주파신호를 추출하기 위한 것으로, 제2감지파트(44)에서 감지되는 고주파신호의 전력 레벨이 과도하면 DUT로 전달해야 하는 출력신호의 전력 레벨이 감소하게 된다는 것을 고려한 것이다.
도시된 예에서는, 제2감지파트(44)에서 감지되는 고주파신호의 전력 레벨은 신호출력부(3)로 출력되는 고주파신호의 전력 레벨의 5ㅧ10-7이 되는 것이 바람직한데, 예를 들면 출력되는 고주파신호의 전력 레벨은 33dBm이고, 감지되는 고주파신호의 전력 레벨은 -30dBm으로 구성될 수 있다.
또한 도시된 예에서는, 제1감지파트(43)와 제2감지파트(44)에서 감지되는 고주파신호의 하모닉 레벨은 -30dBc로 유지되는 것을 확인할 수 있다.
상기한 수치들은 현재 전력 측정 한계성 및 업계 표준 등을 고려한 것으로, 반드시 상기한 예와 같은 수치로 한정될 필요는 없다.
신호조절부(4)를 구성하는 또 다른 기능부로서, 출력되는 고주파신호의 전력 레벨을 조절하는 기능부로는 신호제어파트(45)와 신호감쇠파트(46)가 있다.
신호제어파트(45)는 MCU 등과 같은 중앙처리장치를 포함하여 구성되며, 제1감지파트(43)에서 감지된 고주파신호의 전력 레벨과 제2감지파트(44)에서 감지된 고주파신호의 전력 레벨을 비교하는 역할을 수행한다.
그리고 신호감쇠파트(46)는 하나 이상의 감쇠기(Attenuator)를 포함하여 구성되며, 신호제어파트(45)의 명령에 따라 신호증폭부(2)로 전송되는 고주파신호의 전력 레벨을 조절하는 역할을 수행한다.
이러한 신호제어파트(45)에 관한 구체적인 실시예로, 도 3 및 4를 참고하면, 신호입력부(1)로 입력된 고주파신호를 제1분기파트(41)에서 추출하여 제1감지파트(43)에서 검출하고, 신호출력부(3)로 출력되는 고주파신호를 제2분기파트(42)에서 추출하여 제2감지파트(44)에서 검출하며, 검출된 신호들은 신호제어파트(45)에서 비교되고, 입력신호에 비해 출력신호의 전력 레벨이 높은 경우 신호감쇠파트(46)를 통해 전력 레벨을 감소시키며, 입력신호에 비해 출력신호의 전력 레벨이 낮은 경우 신호감쇠파트(46)를 통해 전력 레벨을 증가시킴으로써, 고주파 반도체에 제공되는 고주파신호의 출력 레벨을 원하는 범위 내로 조절하고, 이를 통해 동일한 수준의 출력을 실현하여 테스트 신뢰성 향상에 기여한다.
추가로, 도 3에 도시된 바와 같이, 신호조절부(4)는 신호조절부(4)는 제1분기파트(41)와 신호감쇠파트(46) 사이에 연결된 게인블록(47)을 더 포함할 수 있음을 특징으로 한다.
상기 게인블록(47)은 신호증폭부(2)의 게인블록(21)과 마찬가지로 전력증폭기의 동작 임계치의 전력을 보장하기 위해 구비되며, 특히 게이블록은 평탄도가 우수하다는 특징에 의해 채용된 것이다.
이상에서 첨부된 도면을 참조하여 설명한 본 발명은 통상의 기술자에 의하여 다양한 변형 및 변경이 가능하고, 이러한 변형 및 변경은 본 발명의 권리범위에 포함되는 것으로 해석되어야 한다.
A: 본 장치(고주파인가장치)
S: 고주파인가세트 S1: 케이스
S2: 장착부 S3: 단자
M: 고주파인가모듈
1: 신호입력부
2: 신호증폭부 21: 게인블록
22: 전치증폭기 23: 구동증폭기
24: 전력증폭기 25: 임피던스 매칭회로
3: 신호출력부
4: 신호조절부 41: 제1분기파트
42: 제2분기파트 43: 제1감지파트
44: 제2감지파트 45: 신호제어파트
46: 신호감쇠파트 47: 게인블록

Claims (9)

  1. 복수의 고주파인가세트가 하나의 그룹을 형성하여 구성되되, 각 고주파인가세트는 상이한 전력 레벨을 갖는 고주파신호의 입력에 대하여 동일한 전력 레벨을 갖는 고주파신호를 출력하는 복수의 고주파인가모듈이 하나의 그룹을 형성하여 구성되고,
    상기 고주파인가모듈은, 고주파신호가 입력되는 신호입력부, 상기 고주파신호를 소정의 전력으로 증폭하는 신호증폭부, 증폭된 고주파신호를 반도체 장비 측으로 출력하는 신호출력부. 및 출력되는 고주파신호를 증폭 전의 레벨로 다운시켜 입력된 고주파신호와 비교하여 기 설정된 범위 외의 전력을 갖는 고주파신호를 감쇠하는 신호조절부를 포함하여, 상기 고주파인가모듈마다 동일한 전력 레벨의 고주파신호가 출력되도록 하는 것을 특징으로 하는 지능형 다채널 광대역 고주파인가장치.
  2. 청구항 1에 있어서,
    상기 고주파인가세트는,
    상기 고주파인가모듈의 수만큼 구비되고, 상기 고주파인가모듈이 장착되는 장착부,
    내부에 상기 장착부를 형성하는 케이스,
    상기 장착부와 전기적으로 연결되고 상기 케이스의 외측으로 노출되는 단자를 포함하는 것을 특징으로 하는 지능형 다채널 광대역 고주파인가장치.
  3. 청구항 1에 있어서,
    상기 신호증폭부는 복수의 증폭기가 다단으로 연결 구성되는 것을 특징으로 하는 지능형 다채널 광대역 고주파인가장치.
  4. 청구항 3에 있어서,
    상기 신호증폭부는 입력된 고주파신호의 이득을 설정하는 게인블록,
    상기 게인블록의 후단에 연결되는 전치증폭기,
    상기 전치증폭기의 후단에 연결된 구동증폭기 및
    상기 구동증폭기의 후단에 연결된 전력증폭기를 포함하는 것을 특징으로 하는 지능형 다채널 광대역 고주파인가장치.
  5. 청구항 1에 있어서,
    상기 신호증폭부는 상기 신호입력부를 통해 입력된 고주파신호와 신호출력부를 통해 출력되는 고주파신호 간의 선형성 확보를 위한 임피던스 매칭회로를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 지능형 다채널 광대역 고주파인가장치.
  6. 청구항 1에 있어서,
    상기 신호조절부는,
    입력된 고주파신호를 분기시키는 제1분기파트,
    상기 제1분기파트로 분기된 고주파신호의 전력 레벨을 측정하는 제1감지파트,
    출력되는 고주파신호를 분기시키는 제2분기파트,
    상기 제2분기파트로 분기된 고주파신호의 전력 레벨을 측정하는 제2감지파트 및
    상기 제1감지파트에서 감지된 고주파신호의 전력 레벨과 상기 제2감지파트에서 감지된 고주파신호의 전력 레벨을 비교하는 신호제어파트를 포함하는 것을 특징으로 하는 지능형 다채널 광대역 고주파인가장치.
  7. 청구항 1에 있어서,
    상기 신호조절부는 상기 신호제어파트의 명령에 따라 상기 신호증폭부로 전송되는 고주파신호의 전력 레벨을 조절하는 신호감쇠파트를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 지능형 다채널 광대역 고주파인가장치.
  8. 청구항 7에 있어서,
    상기 신호조절부는 상기 제1분기파트와 상기 신호감쇠파트 사이에 연결된 게인블록을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 지능형 다채널 광대역 고주파인가장치.
  9. 청구항 8에 있어서,
    상기 제2감지파트에서 감지되는 고주파신호의 전력 레벨은 상기 신호출력부로 출력되는 고주파신호의 전력 레벨보다 작은 것을 특징으로 하는 지능형 다채널 광대역 고주파인가장치.
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