KR102359522B1

KR102359522B1 - FOUP Fixing device

Info

Publication number: KR102359522B1
Application number: KR1020210064640A
Authority: KR
Inventors: 김태민
Original assignee: 김태민
Priority date: 2021-05-20
Filing date: 2021-05-20
Publication date: 2022-02-08
Also published as: KR102394979B1

Abstract

The present invention provides a load pod transfer device for putting the FOUP into a wafer processing space, and a FOUP fixing apparatus allowing a plurality of wafers to be seated and fixed regardless of the structure of the lower surface of the FOUP case. The present invention provides high space utilization by ensuring a wide transport distance even in a narrow space.

Description

FOUP Fixing device

본 발명은 로드포트 시스템에 관한 것으로, 보다 상세하게는 복수의 웨이퍼가 내장된 풉케이스의 하면 구조와 관계없이 안착 고정될 수 있도록 하는 풉고정장치로 이루어지는 로드포트 시스템에 대한 것이다.The present invention relates to a load port system, and more particularly, to a load port system comprising a FOUP fixing device that allows a plurality of wafers to be seated and fixed irrespective of the structure of the lower surface of the FOUP case.

반도체의 제조 공정에 있어서, 수율이나 품질의 향상을 위해 청정한 클린룸 내에서의 웨이퍼의 처리가 이루어지고 있다. 그러나, 소자의 고집적화나 회로의 미세화, 웨이퍼의 대형화가 진행됨에 따라, 클린룸 전체를 청정한 상태로 유지하는 것은 기술적 비용적으로 곤란하게 되었다.In a semiconductor manufacturing process, wafers are processed in a clean clean room to improve yield and quality. However, as devices become highly integrated, circuits are miniaturized, and wafers are enlarged, maintaining the entire clean room in a clean state is technically and costly difficult.

이러한 문제를 해결하기 위해서, 최근에는 웨이퍼 주위의 공간에 대해서만 청정도의 관리를 하게 되었다. 구체적으로, 풉(FOUP, Front-Opening Unified Pod)이라 불리는 밀폐식의 저장 포드의 내부에 웨이퍼가 저장된다. 웨이퍼의 가공을 행하는 공정장비와 풉 사이에서의 웨이퍼의 전달을 위해서는, 이에프이엠(EFEM, Equipment Front End Module)이라 불리는 장치가 이용되고 있다. 이러한 이에프이엠은 로드 포트 모듈에 안착된 풉에 대해 질소 충전을 진행하여 웨이퍼의 청정도를 관리하고 있다.In order to solve this problem, recently, cleanliness has been managed only for the space around the wafer. Specifically, the wafer is stored inside a sealed storage pod called FOUP (Front-Opening Unified Pod). In order to transfer the wafer between the process equipment for processing the wafer and the FOUP, a device called an EFEM (Equipment Front End Module) is used. Such EFEM manages the cleanliness of the wafer by nitrogen filling the FOOP seated in the load port module.

그러나, 이러한 질소 충전 작업이 로드 포트 모듈에서 진행 중인 경우에, 비히클은 해당 로드 포트 모듈에 풉을 내려놓을 수 없다. 그에 따라, 비히클이 질소 충전 작업의 완료시까지 대기하는 경우라면, 비히클 운용의 효율성이 떨어지게 된다.However, when this nitrogen filling operation is in progress on a load port module, the vehicle cannot place the FOUP on that load port module. Accordingly, if the vehicle waits until the completion of the nitrogen filling operation, the efficiency of vehicle operation is reduced.

로드 포트 모듈 역시 질소 충전 작업 완료시까지 다른 작업이 불가하다. 그에 의해, 이에프이엠 및 공정장비의 생산성이 감소된다.The load port module also cannot perform other operations until the nitrogen filling operation is completed. Thereby, the productivity of the FM and process equipment is reduced.

나아가, 웨이퍼 반송 로봇 역시 반송실 내에서 효율적으로 작업하지 못한다. 예를 들어, 웨이퍼 반송 로봇이 시간당 20개의 풉(하나의 풉은 25장의 웨이퍼 수용)을 처리하는 경우라면, 3분당 1개의 새로운 풉이 로드 포트 모듈에 안착되어야 최대의 생산성을 발휘할 수 있다. 그러나, 새로운 풉이 로드 포트 모듈에 안착되어야 하는 점에 기존 풉이 해당 로드 포트 모듈에서 질소 충전 작업 중에 있다면, 이러한 생산성은 달성될 수 없게 된다.Furthermore, the wafer transfer robot does not work efficiently in the transfer room either. For example, if a wafer transfer robot processes 20 FOOPs per hour (one FOOP accommodates 25 wafers), one new FOOP must be seated in the load port module every 3 minutes to achieve maximum productivity. However, this productivity cannot be achieved if the old FOOP is in the process of nitrogen filling in the load port module to the point where the new FOOP must be seated on the load port module.

대한민국등록특허 제10-1266131호Republic of Korea Patent No. 10-1266131 대한민국등록특허 제10-0772845호Republic of Korea Patent No. 10-0772845

본 발명은 복수의 웨이퍼가 내장된 풉케이스의 하면 구조와 관계없이 포트에 안착 고정될 수 있도록 하는 구성을 제공하는 것을 목적으로 한다.An object of the present invention is to provide a configuration that allows a plurality of wafers to be seated and fixed in a port regardless of the structure of the lower surface of the FOUP case.

본 발명은 복수의 웨이퍼가 내장된 풉케이스의 하면 구조와 관계없이 안착 고정될 수 있도록 형성되는 풉고정장치에 대한 것이다.
일 실시예에서, 상기 풉고정장치는, 진동 및 충격에 의한 흔들림을 방지하도록 풉케이스의 하부를 고정시키기 위한 것으로, 풉케이스가 안착 가능한 풉안착플레이트의 상부에 형성되는 케이스고정부를 포함하며, 상기 케이스고정부는, 상기 풉안착플레이트와 일정 간격을 두고 대응되도록 형성되어 풉케이스가 안착 고정되는 고정안착판과, 상기 고정안착판을 상기 풉안착플레이트 상에 일정간격을 두고 형성시키기 위해 상기 고정안착판과 상기 풉안착플레이트 사이에 복수개 형성되는 연결지지대를 포함하며, 상기 케이스고정부는, 일측방향에서 단일밀착대가 풉케이스 측으로 이동하여 고정시키기 위한 단일고정수단; 또는 일측방향의 제1회전밀착대와 타측방향의 제2회전밀착대가 풉케이스 측으로 이동하여 풉케이스의 형태에 따라 회전되어 밀착 고정하기 위한 복수회전고정수단; 중 어느 하나의 수단을 선택하여 설치되되, 상기 단일고정수단은, 단일밀착대에 의해 이동되는 풉케이스가 걸려 고정되도록 상기 고정안착판 상부 일측으로 형성되는 고정단과, 상기 고정안착판에 안착되는 풉케이스를 일측에서 밀어 고정단 측으로 밀착시키기 위해 상기 고정안착판 상부 타측에서 단일부재홈을 따라 이동가능하도록 형성되는 단일밀착대와, 상기 단일밀착대를 이동시키기 위해 일측이 상기 단일밀착대에 연결되고, 타측이 단일스크류에 결합되어 슬라이드되도록 형성되는 단일이동부재와, 단일스크류를 고정하기 위해 상기 고정안착판 하면 양측으로 형성되는 스크류고정대와, 양측으로 형성되는 상기 스크류고정대 상에 형성되어 상기 단일이동부재가 슬라이드될 수 있도록 형성되는 단일스크류와, 상기 단일스크류를 회전시키기 위해 일측으로 형성되는 상기 스크류고정대 일측으로 형성되는 단일모터와, 상기 단일이동부재가 이동될 수 있도록 상기 고정안착판 상에 형성되는 단일부재홈과, 풉케이스 밀착시 밀착됨을 감지하여 감지된 정보를 상기 단일모터 측으로 제공하도록 상기 단일밀착대 일측으로 형성되는 밀착센서로 이루어지며, 상기 복수회전고정수단은, 제1회전축이 이동될 수 있도록 상기 고정안착판 상 일측으로 복수개 형성되는 제1축홈과, 제1스크류를 고정하기 위해 상기 고정안착판 하부 일측방향으로 일측과 타측으로 복수개 형성되는 제1스크류대와, 복수개 형성되는 제1스크류대 상에 결합 형성되는 제1스크류와, 상기 제1스크류에 결합되어 이동되도록 형성되는 제1이동부재와, 제1회전밀착대가 풉케이스 일측면에 밀착시 풉케이스의 형태에 맞게 제1회전밀착대가 회전될 수 있도록 상기 제1이동부재 상부로 형성되는 제1회전축과, 풉케이스 일측에 밀착되도록 상기 제1회전축 상부로 결합형성되며, 풉케이스의 형태에 따라 회전가능하도록 형성되는 제1회전밀착대와, 제2회전축이 이동될 수 있도록 상기 고정안착판 상 타측으로 복수개 형성되는 제2축홈과, 제2스크류를 고정하기 위해 상기 고정안착판 하부 타측방향으로 일측과 타측으로 복수개 형성되는 제2스크류대와, 복수개 형성되는 상기 제2스크류대 상에 결합 형성되는 제2스크류와, 상기 제2스크류에 결합되어 이동되도록 형성되는 제2이동부재와, 제2회전밀착대가 풉케이스 일측면에 밀착시 풉케이스의 형태에 맞게 제2회전밀착대가 회전될 수 있도록 상기 제2이동부재 상부로 형성되는 제2회전축와, 풉케이스 일측에 밀착되도록 상기 제2회전축 상부로 결합형성되며, 풉케이스의 형태에 따라 회전가능하도록 형성되는 제2회전밀착대로 이루어지는 것을 특징으로 한다.
또다른 일 실시예에서, 상기 풉고정장치는, 풉케이스를 교체하기 위해 사용된 풉케이스 또는 사용전 풉케이스 중 어느 하나의 풉케이스가 보관되도록 풉고정장치 일측 지면에 형성되는 케이스보관거치부를 더 포함하며, 상기 케이스보관거치부는, 풉케이스가 안착되어 보관함 측으로 이동될 수 있도록 수직이송수단과 수평이송승하강수단이 형성되는 거치플레이트와, 상기 거치플레이트를 지지하도록 상기 거치플레이트 하면에 복수개 형성되는 거치프레임과, 풉케이스가 보관될 수 있도록 상기 거치플레이트 일측으로 복수의 보관공간이 형성되는 보관함과, 풉케이스가 각각 보관될 수 있도록 보관함 상에 복수개 형성되는 보관공간과, 풉케이스를 수평이송승하강수단 측으로 이송시키기 위해 상기 거치플레이트 일측으로 형성되는 수직이송수단과, 상기 수직이송수단을 따라 이송되는 풉케이스를 수평방향으로 이송후 해당 상기 보관공간 측으로 상승시키도록 상기 거치플레이트 중앙 측으로 형성되는 수평이송승하강수단과, 해당 보관공간 측으로 상승된 풉케이스를 상기 보관공간 측으로 이동시키기 위해 각 보관공간 상마다 각각 형성되는 보관이동수단을 포함하며, 상기 수직이송수단은, 수직이송바가 일측방향 또는 타측방향 중 어느 한방향으로 이동될 수 있도록 상기 거치플레이트 상에 형성되는 수직이송홈과, 수직이송스크류를 상기 거치플레이트 상에 고정시키기 위해 상기 거치플레이트 하면에서 수직방향으로 일측과 타측으로 형성되는 수직스크류부재와, 상기 거치플레이트 하면에 형성되는 복수개의 상기 수직스크류부재 상에 결합 형성되는 수직이송스크류와, 회전되는 상기 수직이송스크류에 결합되어 이동가능하도록 형성되는 수직이송부재와, 상기 거치플레이트 상에 안착되는 풉케이스에 밀착되어 수평이송승하강수단 측으로 밀어 이동시키기 위해 상기 수직이송부재 상부로 형성되는 수직이송바와, 수직이송스크류를 회전시키기 위해 일측으로 형성되는 상기 수직스크류부재에 결합 형성되어 모터축이 상기 수직이송스크류에 연결 형성되는 수직스크류모터로 이루어지며, 상기 수평이송승하강수단은, 상승실린더가 수평방향으로 이동될 수 있도록 상기 거치플레이트 상에 수평방향으로 형성되는 수평이송홈과, 수평이송스크류를 거치플레이트 상에 고정시키기 위해 상기 상기 거치플레이트 하면에서 수평방향으로 일측과 타측으로 형성되는 수평스크류부재와, 상기 거치플레이트 하면에 형성되는 복수개의 상기 수평스크류부재 상에 결합 형성되는 수평이송스크류와, 회전되는 상기 수평이송스크류에 결합되어 이동가능하도록 형성되는 수평이송부재와, 상승실린더가 안착되도록 상기 수평이송부재 상부로 형성되는 실린더안착부재와, 상기 실린더안착부재를 승하강 시키기 위해 상기 실린더안착부재 상부로 안착 형성되는 상승실린더와, 상기 수직이송바에 의해 이송된 풉케이스가 안착되도록 상기 상승실린더 상부로 형성되는 상승판으로 이루어지며, 상기 보관이동수단은, 풉케이스의 일측면을 지지하도록 "ㄴ"형태로 형성되는 밀착지지부재와, 상기 밀착지지부재 내부로 위치된 풉케이스의 타측면으로 밀착되도록 상기 밀착지지부재 일측에서 슬라이드 가능하도록 형성되는 케이스밀착바와, 밀착가이드를 지지하도록 상기 밀착지지부재 상부 일측과 타측으로 각각 형성되는 가이드지지부재와, 밀착구동부재가 슬라이드 가능하도록 형성되며, 상기 가이드지지부재 상에 고정되도록 형성되는 밀착가이드와, 일측이 밀착가이드에 결합되어 슬라이드 되도록 형성되며, 중앙은 상기 케이스밀착바에 연결되어 상기 밀착가이드를 따라 이동시 상기 케이스밀착바가 상기 밀착지지부재 측으로 이동되도록 하기 위해 형성되는 밀착구동부재와, 일측이 상기 밀착지지부재 후면에 형성되어, 상기 밀착구동부재를 이동시키기 위해 상기 밀착구동부재의 타측에 연결되는 밀착구동실린더와, 상기 밀착지지부재를 상승판에 안착된 풉케이스 측으로 이동시키기 위해 보관공간 내면에 형성되며, 상기 밀착지지부재 후면에 실린더 축이 연결 형성되는 전후진실린더로 이루어지는 것을 특징으로 한다.The present invention relates to a FOUP fixing device that is formed so that it can be seated and fixed irrespective of the structure of the lower surface of the FOUP case in which a plurality of wafers are embedded.
In one embodiment, the FOUP fixing device is for fixing the lower portion of the FOUP case to prevent shaking due to vibration and shock, and includes a case fixing portion formed on the upper portion of the FOOP seating plate on which the FOUP case can be mounted, The case fixing part includes a fixed seating plate formed to correspond to the FOOP seating plate at a predetermined interval to seat and fixed the FOUP case, and the fixed seating plate to form the fixed seating plate on the FOOP seating plate at a predetermined interval. and a plurality of connection supports formed between the plate and the FOUP seating plate, wherein the case fixing unit includes: a single fixing means for moving and fixing the single adhesive rod from one direction to the FOUP case side; or a plurality of rotation fixing means for closely fixing the first rotary attachment in one direction and the second rotary attachment in the other direction by moving toward the FOUP case and rotating according to the shape of the FOUP case; Installed by selecting any one means, the single fixing means includes a fixing end formed on one side of the upper side of the fixing seating plate so that the FOUP case moved by the single bonding rod is caught and fixed, and the FOUP seated on the fixing seating plate. In order to push the case from one side to the fixed end side, the single contact plate is formed to be movable along the single member groove on the other side of the upper side of the fixed seating plate, and one side is connected to the single attachment plate to move the single attachment plate. , A single moving member formed so that the other side is coupled to a single screw to slide, a screw holder formed on both sides of the lower surface of the fixed seating plate to fix the single screw, and the screw holder formed on both sides, the single moving member A single screw formed so that the member can slide, a single motor formed on one side of the screw holder formed on one side to rotate the single screw, and formed on the fixed seating plate so that the single moving member can be moved It consists of a single member groove that becomes a single member groove, and a contact sensor formed on one side of the single contact table to detect the close contact when the FOUP case is in close contact and provide the sensed information to the single motor side, wherein the multiple rotation fixing means moves the first rotating shaft A plurality of first shaft grooves are formed on one side of the fixing seating plate to be able to be fixed, and a plurality of first screw bars are formed on one side and the other side in the lower side direction of the fixing seating plate to fix the first screws; A first screw coupled to and formed on the first screw stand, a first moving member formed to be coupled to the first screw and moved, and a first rotary attachment member in close contact with one side of the FOUP case to match the shape of the FOUP case A first rotational shaft formed on the upper portion of the first moving member so that the rotational attachment band can be rotated, and the first rotational shaft coupled to an upper portion of the first rotational shaft so as to be in close contact with one side of the FOUP case, and formed to be rotatable according to the shape of the FOUP case A plurality of second shaft grooves are formed on the other side of the fixed seating plate so as to be movable, and a plurality of second shaft grooves are formed on one side and the other side in the other direction below the fixing seating plate to fix the second screw. a second screw stand, a second screw formed to be coupled to the second screw stand formed in plurality, a second moving member formed to be moved by being coupled to the second screw; A second rotary shaft formed above the second moving member so that the second rotary attachment can be rotated according to the shape of the FOUP case when in close contact with the side, and the second rotary shaft upper portion to be in close contact with one side of the FOUP case, the FOUP case It is characterized in that it consists of a second rotary adhesion bar formed to be rotatable according to the shape of the.
In another embodiment, the loom fixing device further includes a case storage holder formed on the ground on one side of the loom fixing device so that either the loot case used to replace the loop case or the loop case before use is stored. Including, wherein the case storage cradle, a vertical transfer means and horizontal transfer elevating means are formed so that the FOUP case can be seated and moved to the storage box, a plurality of mounting plates are formed on the lower surface to support the mounting plate A holding frame, a storage box having a plurality of storage spaces formed on one side of the mounting plate so that the FOUP case can be stored, a plurality of storage spaces formed on the storage box so that the FOUP case can be stored, respectively, and horizontally transporting the FOUP case A vertical transport means formed on one side of the mounting plate to transport to the lowering means, and a horizontal transport formed toward the center of the mounting plate to raise the FOUP case transported along the vertical transport means in the horizontal direction to rise toward the storage space It includes a transfer elevating means, and storage movement means respectively formed on each storage space to move the FOUP case raised to the storage space side to the storage space side, wherein the vertical transfer means includes the vertical transfer bar in one direction or the other side. A vertical transfer groove formed on the mounting plate so as to be movable in any one direction, and a vertical screw member formed on one side and the other side in a vertical direction from the lower surface of the mounting plate to fix the vertical transfer screw on the mounting plate And, a vertical transfer screw coupled and formed on the plurality of vertical screw members formed on the lower surface of the mounting plate, a vertical transfer member coupled to the rotating vertical transfer screw to be movable, and seated on the mounting plate A vertical transfer bar formed on the upper portion of the vertical transfer member in close contact with the FOUP case to move it by pushing it toward the horizontal transfer elevating means, and the vertical screw member formed on one side to rotate the vertical transfer screw, the motor shaft is formed It consists of a vertical screw motor connected to the vertical transfer screw, and the horizontal transfer elevating means is , a horizontal transfer groove formed in the horizontal direction on the mounting plate so that the rising cylinder can be moved in the horizontal direction, and the horizontal transfer screw from the lower surface of the mounting plate to one side and the other side in the horizontal direction to fix the horizontal transfer screw on the mounting plate A horizontal screw member formed, a horizontal transfer screw coupled and formed on the plurality of horizontal screw members formed on the lower surface of the mounting plate, and a horizontal transfer member formed to be movable by being coupled to the rotating horizontal transfer screw; A cylinder seating member formed above the horizontal conveying member so that the cylinder is seated, an ascending cylinder formed to be seated above the cylinder seating member to elevate and lower the cylinder seating member, and the FOUP case conveyed by the vertical conveying bar are mounted. It consists of a rising plate formed on the upper part of the rising cylinder so as to be possible, and the storage and moving means includes a close contact support member formed in a "B" shape to support one side of the FOUP case, and the FOUP case positioned inside the close contact support member. A case adhesion bar formed so as to be slidable from one side of the close contact support member so as to be in close contact with the other side of the, guide support members respectively formed on the upper side and the other side of the close contact support member to support the close contact guide, and the close contact driving member to be slidable A close contact guide formed so as to be fixed on the guide support member, one side is coupled to the close contact guide and slides, and the center is connected to the case adhesion bar and when moving along the adhesion guide, the case adhesion bar supports the close contact A close contact driving member formed to move toward the member, and a close contact driving cylinder having one side formed on the rear surface of the close contact support member and connected to the other side of the close contact driving member to move the close contact driving member, and the close contact support member It is formed on the inner surface of the storage space to move the FOUP case seated on the rising plate, and it is characterized in that it consists of a forward and backward cylinder in which the cylinder shaft is connected to the rear surface of the close contact support member.

상술한 바와 같이, 좁은 공간에서도 넓은 이송거리를 확보할 수 있도록 하여 공간의 활용성이 높은 효과를 제공하며, 웨이퍼 처리공간 측으로 빠르게 이송시킴으로 작업의 신속성을 갖도록 하는 효과를 제공한다.As described above, it provides an effect of high usability of space by ensuring a wide transfer distance even in a narrow space, and provides the effect of having a speedy operation by quickly transferring the wafer to the processing space side.

또한, 풉케이스 하면이 안착되도록 포트가 형성되어 다양한 형태의 풉케이스가 안착될 수 있도록 하여 다양한 풉케이스의 호환이 가능하도록 하여 안착포트를 교체없이 사용함으로 작업의 효율성을 극대화하는 효과를 제공한다.In addition, the port is formed so that the lower surface of the FOUP case can be seated, so that various types of FOUP cases can be seated to make it compatible with various FOOP cases, so that the seating port is used without replacement, thereby maximizing the efficiency of work.

도 8은 본 발명 풉고정장치에 대한 사시도이다.
도 9는 도 8에 대한 상세도이다.
도 10은 풉고정장치에 대한 또다른 실시예인 케이스고정부의 단일고정수단에 대한 도면이다.
도 11은 풉고정장치에 대한 또다른 실시예인 케이스고정부의 복수회전고정수단에 대한 도면이다.
도 13은 풉고정장치에 대한 또다른 실시예인 케이스보관거치부를 나타낸 도면이다.
도 14와 도 15와 도 16은 도 13에 대한 상세도이다.Figure 8 is a perspective view of the present invention fastening device.
FIG. 9 is a detailed view of FIG. 8 .
10 is a view of a single fixing means of the case fixing part, which is another embodiment of the loosening fixing device.
11 is a view of a plurality of rotation fixing means of the case fixing part, which is another embodiment of the loosing fixing device.
13 is a view showing a case storage cradle according to another embodiment of the unfastening device.
14, 15, and 16 are detailed views of FIG. 13 .

후술하는 본 발명에 대한 상세한 설명은, 본 발명이 실시될 수 있는 특정 실시예를 예시로서 도시하는 첨부 도면을 참조한다. 이들 실시예는 당업자가 본 발명을 실시할 수 있기에 충분하도록 상세히 설명된다. 본 발명의 다양한 실시예는 서로 다르지만 상호 배타적일 필요는 없음이 이해되어야 한다. 예를 들어, 여기에 기재되어 있는 특정 형상, 구조 및 특성은 일 실시예와 관련하여 본 발명의 정신 및 범위를 벗어나지 않으면서 다른 실시예로 구현될 수 있다. 또한, 각각의 개시된 실시예 내의 개별 구성요소의 위치 또는 배치는 본 발명의 정신 및 범위를 벗어나지 않으면서 변경될 수 있음이 이해되어야 한다. 따라서, 후술하는 상세한 설명은 한정적인 의미로서 취하려는 것이 아니며, 본 발명의 범위는, 적절하게 설명된다면, 그 청구항들이 주장하는 것과 균등한 모든 범위와 더불어 첨부된 청구항에 의해서만 한정된다. 도면에서 유사한 참조부호는 여러 측면에 걸쳐서 동일하거나 유사한 기능을 지칭한다.DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS [0012] DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS [0010] DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS [0010] Reference is made to the accompanying drawings, which show by way of illustration specific embodiments in which the present invention may be practiced. These embodiments are described in sufficient detail to enable those skilled in the art to practice the present invention. It should be understood that the various embodiments of the present invention are different but need not be mutually exclusive. For example, certain shapes, structures, and characteristics described herein with respect to one embodiment may be implemented in other embodiments without departing from the spirit and scope of the invention. In addition, it should be understood that the location or arrangement of individual components within each disclosed embodiment may be changed without departing from the spirit and scope of the present invention. Accordingly, the following detailed description is not intended to be taken in a limiting sense, and the scope of the present invention, if properly described, is limited only by the appended claims, along with all scope equivalents to those claimed. Like reference numerals in the drawings refer to the same or similar functions throughout the various aspects.

도 8은 본 발명 풉고정장치(500)에 대한 사시도이며, 도 9는 도 8에 대한 상세도이다.Figure 8 is a perspective view of the present invention loosing fixing device 500, Figure 9 is a detailed view of Figure 8.

상기 도면에서 보는 바와 같이, 상기 풉고정장치(500)는 고정패널(510), 케이스밀착면(511), 돌기고정바(512), 실린더안착바(513), 실린더바(514), 풉안착플레이트(520), 바홈(521), 안착돌기(522), 레일부재(523), 플레이트가이드레일(524), 에어실린더(525), 케이스걸림돌기(526), 플레이트걸림돌기(527), 케이스안착센서(528)를 포함한다.As shown in the drawing, the loosening fixing device 500 includes a fixing panel 510, a case adhesion surface 511, a protrusion fixing bar 512, a cylinder seating bar 513, a cylinder bar 514, and a loosing mounting surface. Plate 520, bar groove 521, seating projection 522, rail member 523, plate guide rail 524, air cylinder 525, case stopping projection 526, plate stopping projection 527, case A seating sensor 528 is included.

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상기 고정패널(510)은 풉고정장치(500) 일측으로 형성되는 것을 특징으로 한다.The fixing panel 510 is characterized in that it is formed on one side of the loosening fixing device 500 .

상기 케이스밀착면(511)은 풉케이스의 일측면이 밀착되도록 형성되는 것으로, 상기 케이스밀착면(511)은 고정패널(510) 면에 형성되는 것을 특징으로 한다. The case adhesion surface 511 is formed to be in close contact with one side of the FOUP case, and the case adhesion surface 511 is formed on the fixed panel 510 surface.

상기 돌기고정바(512)는 풉안착플레이트(520)에 형성되는 바홈(521)에 삽입될 수 있도록 형성되는 것으로, 고정패널(510) 하부로 형성되는 것을 특징으로 한다.The protrusion fixing bar 512 is formed to be inserted into the bar groove 521 formed in the loom seating plate 520 , and is formed under the fixing panel 510 .

상기 실린더안착바(513)는 에어실린더(525)가 안착될 수 있도록 형성되는 것으로, 상기 실린더안착바(513)는 고정패널(510) 하부 일측으로 형성되는 것을 특징으로 한다.The cylinder seating bar 513 is formed so that the air cylinder 525 can be seated, and the cylinder seating bar 513 is formed on one lower side of the fixing panel 510 .

상기 실린더바(514)는 에어실린더(525)의 실린더축에 연결되고, 일측이 풉안착플레이트(520) 하면에 고정 형성되는 것을 특징으로 한다.The cylinder bar 514 is connected to the cylinder shaft of the air cylinder 525, and one side is fixedly formed on the lower surface of the loosing seat plate 520.

상기 풉안착플레이트(520)는 풉케이스가 안착되어 슬라이드 이동될 수 있도록 형성되는 것으로, 상기 풉안착플레이트(520)는 플레이트가이드레일(524)에 안착형성되는 것을 특징으로 한다.The FOUP seating plate 520 is formed so that the FOOP case can be seated and slide-moved, and the FOOP seating plate 520 is seated on the plate guide rail 524 .

상기 바홈(521)은 돌기고정바(512)가 슬라이드 삽입될 수 있도록 형성되는 것으로, 상기 바홈(521)은 풉안착플레이트(520) 중앙 일측으로 형성되는 것을 특징으로 한다.The bar groove 521 is formed so that the protrusion fixing bar 512 can be slide-inserted.

상기 안착돌기(522)는 풉케이스가 안착되어 걸리도록 형성되는 것으로, 상기 안착돌기(522)는 풉안착플레이트(520) 상면에 복수개 형성되는 것을 특징으로 한다.The seating protrusion 522 is formed so that the FOUP case is seated and caught, and a plurality of the seating projections 522 are formed on the upper surface of the FOUP seating plate 520 .

상기 레일부재(523)는 플레이트가이드레일(524)을 따라 슬라이드될 수 있도록 형성되는 것으로, 상기 레일부재(523)는 일측이 풉안착플레이트(520)에 고정되고, 타측이 플레이트가이드레일(524)에 안착되는 것을 특징으로 한다.The rail member 523 is formed to slide along the plate guide rail 524, and the rail member 523 has one side fixed to the FOUP seating plate 520 and the other side plate guide rail 524. It is characterized in that it is mounted on the

상기 플레이트가이드레일(524)은 레일부재(523)가 안착될 수 있도록 형성되는 것으로, 상기 플레이트가이드레일(524)은 고정패널(510) 하부 양측으로 형성되는 것을 특징으로 한다.The plate guide rail 524 is formed so that the rail member 523 can be seated, and the plate guide rail 524 is formed on both sides of the lower side of the fixing panel 510 .

상기 에어실린더(525)는 풉안착플레이트(520)을 슬라이드 이동시키기 위해 형성되는 것으로, 상기 에어실린더(525)는 실린더안착바(513)에 안착 형성되어 실린더 축이 실린더바(514)에 연결 형성되는 것을 특징으로 한다.The air cylinder 525 is formed to slide the FOUP seating plate 520 , and the air cylinder 525 is formed to be seated on the cylinder seating bar 513 , and the cylinder shaft is connected to the cylinder bar 514 . characterized by being

상기 케이스걸림돌기(526)는 풉케이스가 걸려 이동될 수 있도록 형성되는 것으로, 상기 케이스걸림돌기(526)는 돌기고정바(512) 일측 상면으로 형성되는 것을 특징으로 한다.The case locking protrusion 526 is formed so that the FOUP case can be caught and moved, and the case locking protrusion 526 is formed as an upper surface of one side of the protrusion fixing bar 512 .

상기 플레이트걸림돌기(527)는 풉안착플레이트(520)에 걸려 이동될 수 있도록 형성되는 것으로, 상기 플레이트걸림돌기(527)는 돌기고정바(512) 일측 하면으로 형성되는 것을 특징으로 한다.The plate locking protrusion 527 is formed so as to be moved by being caught on the FOUP seating plate 520, and the plate locking protrusion 527 is formed as a lower surface of one side of the protrusion fixing bar 512.

상기 케이스안착센서(528)는 풉케이스의 안착을 감지하기 위해 형성되는 것으로, 상기 케이스안착센서(528)는 풉안착플레이트(520) 상면에 복수개 형성되는 것을 특징으로 한다.The case seating sensor 528 is formed to detect the seating of the FOUP case, and a plurality of case seating sensors 528 are formed on the upper surface of the FOOP seating plate 520 .

도 10은 풉고정장치에 대한 또다른 실시예인 케이스고정부의 단일고정수단에 대한 도면이며, 도 11은 풉고정장치에 대한 또다른 실시예인 케이스고정부의 복수회전고정수단에 대한 도면이다.
상기 도면에서 보는 바와 같이, 상기 케이스고정부(600)는 풉고정장치(500)에 더 포함하는 것으로, 상기 케이스고정부(600)는 진동 및 충격에 의한 흔들림을 방지하도록 풉케이스의 하부를 고정시키기 위한 것으로, 풉케이스가 안착 가능한 풉안착플레이트의 상부에 형성되는 것을 특징으로 한다.
10 is a view of a single fixing means of a case fixing unit according to another embodiment of the loosing fixing device, and FIG. 11 is a view of a plurality of rotating fixing means of the case fixing unit according to another embodiment of the loosing fixing device.
As shown in the drawing, the case fixing part 600 is further included in the loosing fixing device 500, and the case fixing part 600 fixes the lower part of the FOOT case to prevent shaking due to vibration and shock. It is characterized in that the FOUP case is formed on the upper portion of the FOOP seating plate on which it can be seated.

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상기 도면에서 보는 바와 같이, 상기 케이스고정부(600)는 풉고정장치(500)에 더 포함하는 것으로, 상기 케이스고정부(600)는 진동 및 충격에 의한 흔들림을 방지하도록 풉케이스 하부를 고정시키기 위한 것을 특징으로 한다.As shown in the drawing, the case fixing part 600 is further included in the loosing fixing device 500, and the case fixing part 600 is used to fix the bottom of the FOOP case to prevent shaking due to vibration and shock. is characterized for

상기 케이스고정부(600)는 고정안착판(610), 연결지지대(611), 단일고정수단(620)과 복수회전고정수단(650)을 포함한다.The case fixing unit 600 includes a fixing seating plate 610 , a connecting support 611 , a single fixing means 620 and a plurality of rotation fixing means 650 .

상기 고정안착판(610)은 풉케이스가 안착되도록 풉안착플레이트(520) 상부로 형성되는 연결지지대에 의해 안착 형성되는 것을 특징으로 한다.The fixed seating plate 610 is characterized in that it is seated by a connection support formed above the FOOP seating plate 520 so that the FOUP case is seated.

상기 연결지지대(611)는 고정안착판(610)을 풉안착플레이트(520) 상에 일정간격을 두고 형성시키기 위해 형성되는 것으로, 상기 연결지지대(611)는 고정안착판(610)과 풉안착플레이트(520) 사이에 복수개 형성되는 것을 특징으로 한다.The connection support 611 is formed to form a fixed seating plate 610 on the FOUP seating plate 520 at regular intervals, and the connection support 611 includes a fixed seating plate 610 and a FOUP seating plate. It is characterized in that a plurality of 520 is formed between.

상기 단일고정수단(620)은 풉케이스를 일측방향에서 타측방향으로 밀어 고정시키기 위한 것을 특징으로 한다.The single fixing means 620 is characterized in that it is fixed by pushing the FOUP case from one direction to the other.

상기 단일고정수단(620)은 고정단(621), 단일밀착대(622), 단일이동부재(623), 스크류고정대(624), 단일스크류(625), 단일모터(626), 단일부재홈(627), 밀착센서(628)를 포함한다.The single fixing means 620 is a fixed end 621, a single adhesion member 622, a single moving member 623, a screw fixing member 624, a single screw 625, a single motor 626, a single member groove ( 627), including an adhesion sensor 628.

상기 고정단(621)은 단일밀착대(622)에 의해 이동되는 풉케이스가 걸려 고정되도록 형성되는 것으로, 상기 고정단(621)은 고정안착판(610) 상부 일측으로 형성되는 것을 특징으로 한다.The fixed end 621 is formed such that the FOUP case moved by the single bonding rod 622 is caught and fixed, and the fixed end 621 is formed on one side of the upper side of the fixed seat plate 610 .

상기 단일밀착대(622)는 고정안착판(610)에 안착되는 풉케이스를 일측에서 밀어 고정단(621) 측으로 밀착시키기 위해 형성되는 것으로, 상기 단일밀착대(622)는 고정안착판(610) 상부 타측에서 단일부재홈(627)을 따라 이동가능하도록 형성되는 것을 특징으로 한다.The single attachment plate 622 is formed to push the FOUP case seated on the fixed seating plate 610 from one side to the fixed end 621 side, and the single attachment plate 622 is the fixed seating plate 610. It is characterized in that it is formed to be movable along the single member groove 627 from the other side of the upper part.

상기 단일이동부재(623)는 단일밀착대(622)를 이동시키기 위해 형성되는 것으로, 상기 단일이동부재(623)는 일측이 단일밀착대(622)에 연결되고, 타측이 단일스크류(625)에 결합되어 슬라이드되도록 형성되는 것을 특징으로 한다.The single moving member 623 is formed to move the single cohesive bar 622, and the single moving member 623 has one side connected to the single cohesive bar 622, and the other end to the single screw 625. It is characterized in that it is formed to be coupled to slide.

상기 스크류고정대(624)는 단일스크류(625)를 고정하기 위해 형성되는 것으로, 상기 스크류고정대(624)는 고정안착판(610) 하면 양측으로 형성되는 것을 특징으로 한다.The screw holder 624 is formed to fix the single screw 625 , and the screw holder 624 is formed on both sides of the lower surface of the fixing mounting plate 610 .

상기 단일스크류(625)는 양측으로 형성되는 스크류고정대(624) 상에 형성되어 단일이동부재(623)가 슬라이드될 수 있도록 형성되는 것을 특징으로 한다.The single screw 625 is formed on the screw holder 624 formed on both sides so that the single moving member 623 can slide.

상기 단일모터(626)는 단일스크류(625)를 회전시키기 위해 형성되는 것으로, 상기 단일모터(626)는 일측으로 형성되는 스크류고정대(624) 일측으로 형성되는 것을 특징으로 한다.The single motor 626 is formed to rotate a single screw 625, and the single motor 626 is characterized in that it is formed on one side of the screw holder 624 formed on one side.

상기 단일부재홈(627)은 단일이동부재(623)가 이동될 수 있도록 형성되는 것으로, 상기 단일부재홈(627)은 고정안착판(610) 상에 형성되는 것을 특징으로 한다.The single member groove 627 is formed so that the single moving member 623 can be moved, and the single member groove 627 is formed on the fixed seating plate 610 .

상기 밀착센서(628)는 풉케이스 밀착시 밀착됨을 감지하여 감지된 정보를 단일모터(626) 측으로 제공하도록 형성되는 것으로, 상기 밀착센서(628)는 단일밀착대(622) 일측으로 형성되는 것을 특징으로 한다.The close contact sensor 628 is formed to detect close contact when the FOUP case is in close contact and provide the sensed information to the single motor 626 side. do it with

상기 복수회전고정수단(650)은 양측 방향에서 풉케이스 측으로 이동하여 풉케이스의 형태에 따라 회전되어 밀착 고정하기 위한 것을 특징으로 한다.The multiple rotation fixing means 650 is characterized in that it moves from both directions to the FOUP case side, rotates according to the shape of the FOUP case, and is fixed in close contact.

상기 복수회전고정수단(650)은 제1축홈(651), 제1스크류대(652), 제1스크류(653), 제1이동부재(654), 제1회전축(655), 제1회전밀착대(656), 제2축홈(657), 제2스크류대(658), 제2스크류(659), 제2이동부재(660), 제2회전축(661), 제2회전밀착대(662)를 포함한다.The plurality of rotation fixing means 650 includes a first shaft groove 651 , a first screw stand 652 , a first screw 653 , a first moving member 654 , a first rotation shaft 655 , a first rotational adhesion Stand 656 , second shaft groove 657 , second screw stand 658 , second screw 659 , second moving member 660 , second rotation shaft 661 , second rotation adhesion rod 662 ) includes

상기 제1축홈(651)은 제1회전축(655)이 이동될 수 있도록 형성되는 것으로, 상기 제1축홈(651)은 고정안착판(610) 상 일측으로 복수개 형성되는 것을 특징으로 한다.The first shaft groove 651 is formed so that the first rotation shaft 655 can be moved, and a plurality of the first shaft groove 651 is formed on one side of the fixed seating plate 610 .

상기 제1스크류대(652)는 제1스크류(653)를 고정하기 위해 형성되는 것으로, 상기 제1스크류대(652)는 고정안착판(610) 하부 일측방향으로 일측과 타측으로 복수개 형성되는 것을 특징으로 한다.The first screw stand 652 is formed to fix the first screw 653, and the first screw stand 652 is formed in plurality on one side and the other side in the lower side direction of the fixing seat plate 610. characterized.

상기 제1스크류(653)는 복수개 형성되는 제1스크류대(652) 상에 결합 형성되는 것을 특징으로 한다.The first screw 653 is characterized in that it is coupled to the first screw stand 652 formed in plurality.

상기 제1이동부재(654)는 제1스크류(653)에 결합되어 이동되도록 형성되는 것을 특징으로 한다.The first moving member 654 is coupled to the first screw 653 to be moved.

상기 제1회전축(655)은 제1회전밀착대(656)가 풉케이스 일측면에 밀착시 풉케이스의 형태에 맞게 제1회전밀착대(656)가 회전될 수 있도록 형성되는 것으로, 상기 제1회전축(655)은 제1이동부재(654) 상부로 형성되는 것을 특징으로 한다.The first rotary shaft 655 is formed so that the first rotary attachment 656 can be rotated according to the shape of the FOUP case when the first rotary attachment 656 is in close contact with one side of the FOUP case. The rotating shaft 655 is formed above the first moving member 654 .

상기 제1회전밀착대(656)는 풉케이스 일측에 밀착되도록 형성되는 것으로, 상기 제1회전밀착대(656)는 제1회전축(655) 상부로 결합형성되며, 풉케이스의 형태에 따라 회전가능하도록 형성되는 것을 특징으로 한다.The first rotary attachment 656 is formed to be in close contact with one side of the FOUP case, and the first rotary attachment 656 is coupled to the upper portion of the first rotary shaft 655 and is rotatable according to the shape of the FOUP case. It is characterized in that it is formed so as to

상기 제2축홈(657)은 제2회전축(661)이 이동될 수 있도록 형성되는 것으로, 상기 제2축홈(657)은 고정안착판(610) 상 타측으로 복수개 형성되는 것을 특징으로 한다.The second shaft groove 657 is formed so that the second rotation shaft 661 can be moved, and a plurality of the second shaft groove 657 is formed on the other side of the fixed seating plate 610 .

상기 제2스크류대(658)는 제2스크류(659)를 고정하기 위해 형성되는 것으로, 상기 제2스크류대(658)는 고정안착판(610) 하부 타측방향으로 일측과 타측으로 복수개 형성되는 것을 특징으로 한다.The second screw stand 658 is formed to fix the second screw 659, and a plurality of the second screw stand 658 is formed on one side and the other side in the other direction under the fixing seat plate 610. characterized.

상기 제2스크류(659)는 복수개 형성되는 제2스크류대(658) 상에 결합 형성되는 것을 특징으로 한다.The second screw 659 is characterized in that it is coupled to the second screw stand 658 formed in plurality.

상기 제2이동부재(660)는 제2스크류(659)에 결합되어 이동되도록 형성되는 것을 특징으로 한다.The second moving member 660 is coupled to the second screw 659 and is formed to move.

상기 제2회전축(661)은 제2회전밀착대(662)가 풉케이스 일측면에 밀착시 풉케이스의 형태에 맞게 제2회전밀착대(662)가 회전될 수 있도록 형성되는 것으로, 상기 제2회전축(661)은 제2이동부재(660) 상부로 형성되는 것을 특징으로 한다.The second rotary shaft 661 is formed so that the second rotary attachment 662 can be rotated according to the shape of the FOUP case when the second rotary attachment 662 is in close contact with one side of the FOUP case. The rotation shaft 661 is formed above the second moving member 660 .

상기 제2회전밀착대(662)는 풉케이스 일측에 밀착되도록 형성되는 것으로, 상기 제2회전밀착대(662)는 제2회전축(661) 상부로 결합형성되며, 풉케이스의 형태에 따라 회전가능하도록 형성되는 것을 특징으로 한다.The second rotary attachment 662 is formed to be in close contact with one side of the FOUP case, and the second rotary attachment 662 is coupled to the upper portion of the second rotary shaft 661 and is rotatable according to the shape of the FOUP case. It is characterized in that it is formed so as to

도 13은 풉고정장치(500)에 대한 또다른 실시예인 케이스보관거치부(700)를 나타낸 도면이며, 도 14와 도 15와 도 16은 도 13에 대한 상세도이다.13 is a view showing a case storage cradle 700 that is another embodiment of the unfastening device 500, and FIGS. 14, 15 and 16 are detailed views of FIG. 13 .

상기 도면에서 보는 바와 같이, 상기 케이스보관거치부(700)는 풉고정장치(500)에 더 포함하는 것으로, 상기 케이스보관거치부(700)는 풉케이스를 교체하기 위해 사용된 풉케이스 또는 사용전 풉케이스 중 어느 하나의 풉케이스가 보관되도록 풉고정장치(500) 일측 지면에 형성되는 것을 특징으로 한다.As shown in the drawing, the case storage holder 700 is to be further included in the loot fixing device 500, and the case storage holder 700 is used to replace the FOUP case or before use. It is characterized in that it is formed on the ground on one side of the loom fixing device 500 so that any one of the FOUP cases is stored.

상기 케이스보관거치부(700)는 거치플레이트(710), 거치프레임(711), 보관함(712), 보관공간(713), 수직이송수단(730), 수평이송승하강수단(750), 보관이동수단(770)을 포함한다.The case storage holder 700 includes a mounting plate 710 , a mounting frame 711 , a storage box 712 , a storage space 713 , a vertical transfer means 730 , a horizontal transfer elevating means 750 , and a storage movement means 770 .

상기 거치플레이트(710)는 풉케이스가 안착되어 보관함(712) 측으로 이동될 수 있도록 형성되는 것으로, 상기 거치플레이트(710)는 수직이송수단(730)과 수평이송승하강수단(750)이 형성되는 것을 특징으로 한다.The mounting plate 710 is formed so that the FOUP case can be seated and moved to the storage box 712 side. characterized in that

상기 거치프레임(711)은 거치플레이트(710)를 지지하도록 형성되는 것으로, 상기 거치프레임(711)은 거치플레이트(710) 하면에 복수개 형성되는 것을 특징으로 한다.The mounting frame 711 is formed to support the mounting plate 710 , and the mounting frame 711 is formed on the lower surface of the mounting plate 710 .

상기 보관함(712)은 풉케이스가 보관될 수 있도록 형성되는 것으로, 상기 보관함(712)은 거치플레이트(710) 일측으로 복수의 보관공간(713)이 형성되는 것을 특징으로 한다.The storage box 712 is formed so that the FOUP case can be stored, and the storage box 712 is characterized in that a plurality of storage spaces 713 are formed on one side of the mounting plate 710 .

상기 보관공간(713)은 풉케이스가 각각 보관될 수 있도록 형성되는 것으로, 상기 보관공간(713)은 보관함(712) 상에 복수개 형성되는 것을 특징으로 한다.The storage space 713 is formed so that each of the FOUP cases can be stored, and the storage space 713 is characterized in that a plurality of storage spaces 712 are formed on the storage box 712 .

상기 수직이송수단(730)은 풉케이스를 수평이송승하강수단(750) 측으로 이송시키기 위해 거치플레이트(710) 일측으로 형성되는 것을 특징으로 한다.The vertical transfer means 730 is characterized in that it is formed on one side of the mounting plate 710 to transfer the FOUP case to the horizontal transfer elevating means 750 side.

상기 수직이송수단(730)은 수직이송홈(731), 수직스크류부재(732), 수직이송스크류(733), 수직이송부재(734), 수직이송바(735), 수직스크류모터(736)를 포함한다.The vertical transfer means 730 includes a vertical transfer groove 731, a vertical screw member 732, a vertical transfer screw 733, a vertical transfer member 734, a vertical transfer bar 735, and a vertical screw motor 736. include

상기 수직이송홈(731)은 수직이송바(735)가 수직방향으로 이동될 수 있도록 형성되는 것으로, 상기 수직이송홈(731)은 거치플레이트(710) 상에 수직방향으로 형성되는 것을 특징으로 한다.The vertical transfer groove 731 is formed so that the vertical transfer bar 735 can be moved in the vertical direction, and the vertical transfer groove 731 is formed on the mounting plate 710 in the vertical direction. .

상기 수직스크류부재(732)는 수직이송스크류(733)를 거치플레이트(710) 상에 고정시키기 위해 형성되는 것으로, 상기 수직스크류부재(732)는 상기 거치플레이트(710) 하면에서 수직방향으로 일측과 타측으로 형성되는 것을 특징으로 한다.The vertical screw member 732 is formed to fix the vertical transfer screw 733 on the mounting plate 710, and the vertical screw member 732 has one side in the vertical direction from the lower surface of the mounting plate 710 and It is characterized in that it is formed on the other side.

상기 수직이송스크류(733)는 거치플레이트(710) 하면에 형성되는 복수개의 수직스크류부재(732) 상에 결합 형성되는 것을 특징으로 한다.The vertical transfer screw 733 is characterized in that it is coupled and formed on a plurality of vertical screw members 732 formed on the lower surface of the mounting plate 710 .

상기 수직이송부재(734)는 회전되는 수직이송스크류(733)에 결합되어 이동가능하도록 형성되는 것을 특징으로 한다.The vertical transfer member 734 is coupled to the rotating vertical transfer screw 733 is characterized in that it is formed to be movable.

상기 수직이송바(735)는 거치플레이트(710) 상에 안착되는 풉케이스에 밀착되어 수평이송승하강수단(750) 측으로 밀어 이동시키기 위해 형성되는 것으로, 상기 수직이송바(735)는 수직이송부재(734) 상부로 형성되는 것을 특징으로 한다.The vertical transfer bar 735 is formed to be in close contact with the FOUP case seated on the mounting plate 710 and to be moved by pushing it toward the horizontal transfer elevating means 750 side, and the vertical transfer bar 735 is a vertical transfer member (734) It is characterized in that it is formed in the upper part.

상기 수직스크류모터(736)는 수직이송스크류(733)를 회전시키기 위해 형성되는 것으로, 상기 수직스크류모터(736)는 일측으로 형성되는 수직스크류부재(732)에 결합 형성되어 모터축이 수직이송스크류(733)에 연결 형성되는 것을 특징으로 한다.The vertical screw motor 736 is formed to rotate the vertical feed screw 733, and the vertical screw motor 736 is coupled to the vertical screw member 732 formed on one side so that the motor shaft is the vertical feed screw. It is characterized in that it is connected to (733).

상기 수평이송승하강수단(750)은 수직이송수단(730)을 따라 이송되는 풉케이스를 수평방향으로 이송후 해당 보관공간(713) 측으로 상승시키도록 거치플레이트(710) 중앙 측으로 형성되는 것을 특징으로 한다.The horizontal transfer elevating means 750 is formed toward the center of the mounting plate 710 so as to move the FOUP case transferred along the vertical transfer means 730 in the horizontal direction and then rise to the storage space 713 side. do.

상기 수평이송승하강수단(750)은 수평이송홈(751), 수평스크류부재(752), 수평이송스크류(753), 수평이송부재(754), 실린더안착부재(755), 상승실린더(756), 상승판(757)을 포함한다.The horizontal transfer elevating means 750 includes a horizontal transfer groove 751, a horizontal screw member 752, a horizontal transfer screw 753, a horizontal transfer member 754, a cylinder seating member 755, an ascending cylinder 756. , including a rising plate 757 .

상기 수평이송홈(751)은 상승실린더(756)가 수평방향으로 이동될 수 있도록 형성되는 것으로, 상기 수평이송홈(751)은 거치플레이트(710) 상에 수평방향으로 형성되는 것을 특징으로 한다.The horizontal transfer groove 751 is formed so that the rising cylinder 756 can be moved in the horizontal direction, and the horizontal transfer groove 751 is formed on the mounting plate 710 in the horizontal direction.

상기 수평스크류부재(752)는 수평이송스크류(753)를 거치플레이트(710) 상에 고정시키기 위해 형성되는 것으로, 상기 수평스크류부재(752)는 상기 거치플레이트(710) 하면에서 수평방향으로 일측과 타측으로 형성되는 것을 특징으로 한다.The horizontal screw member 752 is formed to fix the horizontal transfer screw 753 on the mounting plate 710, and the horizontal screw member 752 has one side in the horizontal direction from the lower surface of the mounting plate 710 and It is characterized in that it is formed on the other side.

상기 수평이송스크류(753)는 거치플레이트(710) 하면에 형성되는 복수개의 수평스크류부재(752) 상에 결합 형성되는 것을 특징으로 한다.The horizontal transfer screw 753 is characterized in that it is coupled to a plurality of horizontal screw members 752 formed on the lower surface of the mounting plate 710 .

상기 수평이송부재(754)는 회전되는 수평이송스크류(753)에 결합되어 이동가능하도록 형성되는 것을 특징으로 한다.The horizontal transfer member 754 is coupled to the rotating horizontal transfer screw 753 is characterized in that it is formed to be movable.

상기 실린더안착부재(755)는 상승실린더(756)가 안착되도록 수평이송부재(754) 상부로 형성되는 것을 특징으로 한다.The cylinder seating member 755 is characterized in that it is formed above the horizontal conveying member 754 so that the rising cylinder 756 is mounted.

상기 상승실린더(756)는 실린더안착부재(755)를 승하강 시키기 위해 형성되는 것으로, 상기 상승실린더(756)는 실린더안착부재(755) 상부로 안착 형성되는 것을 특징으로 한다.The rising cylinder 756 is formed to elevate the cylinder seating member 755 , and the rising cylinder 756 is formed to be seated on the cylinder seating member 755 .

상기 상승판(757)은 수직이송바(735)에 의해 이송된 풉케이스가 안착되도록 형성되는 것으로, 상기 상승판(757)은 상승실린더(756) 상부로 형성되는 것을 특징으로 한다.The rising plate 757 is formed so that the FOUP case transferred by the vertical transfer bar 735 is seated, and the rising plate 757 is formed above the rising cylinder 756 .

상기 보관이동수단(770)은 해당 보관공간(713) 측으로 상승된 풉케이스를 보관공간(713) 측으로 이동시키기 위해 각 보관공간(713) 상 마다 각각 형성되는 것을 특징으로 한다.The storage moving means 770 is characterized in that it is formed on each storage space 713 to move the FOUP case raised to the storage space 713 side toward the storage space 713 side.

상기 보관이동수단(770)은 밀착지지부재(771), 케이스밀착바(772), 가이드지지부재(773), 밀착가이드(774), 밀착구동부재(775), 밀착구동실린더(776), 전후진실린더(777)을 포함한다.The storage and movement means 770 includes a close contact support member 771, a case adhesion bar 772, a guide support member 773, a close contact guide 774, a close contact drive member 775, a close contact drive cylinder 776, front and rear It includes a truth cylinder (777).

상기 밀착지지부재(771)는 풉케이스의 일측면을 지지하도록 형성되는 것으로, 상기 밀착지지부재(771)는 "ㄴ"형태로 형성되는 것을 특징으로 한다.The close contact support member 771 is formed to support one side of the FOUP case, and the close contact support member 771 is formed in a "B" shape.

상기 케이스밀착바(772)는 밀착지지부재(771) 내부로 위치된 풉케이스의 타측면으로 밀착되도록 형성되는 것으로, 상기 케이스밀착바(772)는 밀착지지부재(771) 일측에서 슬라이드 가능하도록 형성되는 것을 특징으로 한다.The case adhesion bar 772 is formed to be in close contact with the other side of the FOUP case positioned inside the adhesion support member 771, and the case adhesion bar 772 is formed to be slidable from one side of the adhesion support member 771. characterized by being

상기 가이드지지부재(773)는 밀착가이드(774)를 지지하도록 형성되는 것으로, 상기 가이드지지부재(773)는 밀착지지부재(771) 상부 일측과 타측으로 각각 형성되는 것을 특징으로 한다.The guide support member 773 is formed to support the close contact guide 774, and the guide support member 773 is formed on one side and the other side of the upper portion of the close contact support member 771, respectively.

상기 밀착가이드(774)는 밀착구동부재(775)가 슬라이드 가능하도록 형성되며, 가이드지지부재(773) 상에 고정되도록 형성되는 것을 특징으로 한다.The adhesion guide 774 is formed so that the adhesion driving member 775 is slidable, and is formed so as to be fixed on the guide support member 773 .

상기 밀착구동부재(775)는 일측이 밀착가이드(774)에 결합되어 슬라이드 되도록 형성되며, 중앙은 케이스밀착바(772)에 연결되어 밀착가이드(774)를 따라 이동시 케이스밀착바(772)가 밀착지지부재(771) 측으로 이동되도록 하기 위해 형성되는 것을 특징으로 한다.The close contact driving member 775 is formed so that one side is coupled to the close contact guide 774 and slides, and the center is connected to the case adhesion bar 772 so that when moving along the close contact guide 774, the case adhesion bar 772 is in close contact. It is characterized in that it is formed to move toward the support member (771).

상기 밀착구동실린더(776)는 일측이 밀착지지부재(771) 후면에 형성되어, 밀착구동부재(775)를 이동시키기 위해 밀착구동부재(775)의 타측에 연결되는 것을 특징으로 한다.The close contact driving cylinder 776 is characterized in that one side is formed on the rear surface of the close contact support member 771 and is connected to the other side of the close contact drive member 775 in order to move the close contact driving member 775 .

상기 전후진실린더(777)는 밀착지지부재(771)를 상승판(757)에 안착된 풉케이스 측으로 이동시키기 위해 형성되는 것으로, 상기 전후진실린더(777)는 보관공간(713) 내면에 형성되며, 밀착지지부재(771) 후면에 실린더 축이 연결 형성되는 것을 특징으로 한다.The forward and backward cylinder 777 is formed to move the close contact support member 771 toward the FOUP case seated on the rising plate 757, and the forward and backward cylinder 777 is formed on the inner surface of the storage space 713, , characterized in that the cylinder shaft is connected to the rear surface of the close contact support member 771 .

상술된 실시예들은 예시를 위한 것이며, 상술된 실시예들이 속하는 기술분야의 통상의 지식을 가진 자는 상술된 실시예들이 갖는 기술적 사상이나 필수적인 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 쉽게 변형이 가능하다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 상술된 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 한다. 예를 들어, 단일형으로 설명되어 있는 각 구성 요소는 분산되어 실시될 수도 있으며, 마찬가지로 분산된 것으로 설명되어 있는 구성 요소들도 결합된 형태로 실시될 수 있다.The above-described embodiments are for illustration, and those of ordinary skill in the art to which the above-described embodiments pertain can easily transform into other specific forms without changing the technical idea or essential features of the above-described embodiments. you will understand Therefore, it should be understood that the above-described embodiments are illustrative in all respects and not restrictive. For example, each component described as a single type may be implemented in a dispersed form, and likewise components described as distributed may be implemented in a combined form.

본 명세서를 통해 보호받고자 하는 범위는 상기 상세한 설명보다는 후술하는 특허청구범위에 의하여 나타내어지며, 특허청구범위의 의미 및 범위 그리고 그 균등 개념으로부터 도출되는 모든 변경 또는 변형된 형태를 포함하는 것으로 해석되어야 한다.The scope to be protected through this specification is indicated by the claims described below rather than the above detailed description, and should be construed to include all changes or modifications derived from the meaning and scope of the claims and their equivalents. .

10 : 로드포트 시스템
100 : 로드포트이송장치
110 : 틀프레임 111 : 포트이송함
112 : 인출구 113 : 이송홈
120 : 베이스플레이트 121 : 슬라이드레일바
122 : 레일바고정부재 123 : 하부벨트그립부재
130 : 제1플레이트 131 : 플레이트레일바
132 : 레일바지지대 133 : 제1벨트풀리
134 : 제2벨트풀리 135 : 구동벨트
136 : 풀리모터 140 : 제2플레이트
141 : 케이스고정돌기 142 :돌기실린더
143 : 상부벨트그립부재
200 : 거치이송부
210 : 측면안착판 220 : 이송수단
221 : 바고정대 222 : 가이드바
223 : 이송부재 224 : 바결합부재
225 : 벨트부재 226 : 이송벨트
227 : 벨트구동기어 228 : 벨트기어
229 : 기어고정부재 230 : 벨트구동모터
250 : 거치수단 251 : 승하강실린더
252 : 승하강부재 253 : 밀착실린더
254 : 밀착부재 255 : 압력센서
256 : 터치센서
300 : 승하강부
310 : 승하강고정판 311 : 진동패드
312 : 풉안착판 313 : 높낮이감지센서
314 : 센서부재 315 : 유동측바고정부재
316 : 제1가이드바 317 : 제1부재
318 : 제2부재 319 : 부재힌지
320 : 제1높낮이바 321 : 제2높낮이바
322 : 가변측고정부재 323 : 제2가이드바
324 : 제3부재 325 : 실린더구동부재
326 : 실린더안착홈 327 : 구동실린더
500 : 풉고정장치
510 : 고정패널 511 : 케이스밀착면
512 : 돌기고정바 513 : 실린더안착바
514 : 실린더바 520 : 풉안착플레이트
521 : 바홈 522 : 안착돌기
523 : 레일부재 524 : 플레이트가이드레일
525 : 에어실린더 526 : 케이스걸림돌기
527 : 플레이트걸림돌기 528 : 케이스안착센서
600 : 케이스고정부
610 : 고정안착판 611 : 연결지지대
620 : 단일고정수단 621 : 고정단
622 : 단일밀착대 623 : 단일이동부재
624 : 스크류고정대 625 : 단일스크류
626 : 단일모터 627 : 단일부재홈
628 : 밀착센서
650 : 복수회전고정수단 651 : 제1축홈
652 : 제1스크류대 653 : 제1스크류
654 : 제1이동부재 655 : 제1회전축
656 : 제1회전밀착대 657 : 제2축홈
658 : 제2스크류대 659 : 제2스크류
660 : 제2이동부재 661 : 제2회전축
662 : 제2회전밀착대
700 : 케이스보관거치부
710 : 거치플레이트 711 : 거치프레임
712 : 보관함 713 : 보관공간
730 : 수직이송수단 731 : 수직이송홈
732 : 수직스크류부재 733 : 수직이송스크류
734 : 수직이송부재 735 : 수직이송바
736 : 수직스크류모터
750 : 수평이송승하강수단 751 : 수평이송홈
752 : 수평스크류부재 753 : 수평이송스크류
754 : 수평이송부재 755 : 실린더안착부재
756 : 상승실린더 757 : 상승판
770 : 보관이동수단 771 : 밀착지지부재
772 : 케이스밀착바 773 : 가이드지지부재
774 : 밀착가이드 775 : 밀착구동부재
776 : 밀착구동실린더 777 : 전후진실린더10: load port system
100: load port transfer device
110: frame frame 111: port transfer box
112: outlet 113: transfer groove
120: base plate 121: slide rail bar
122: rail bar fixing member 123: lower belt grip member
130: first plate 131: plate rail bar
132: rail bar support 133: first belt pulley
134: second belt pulley 135: drive belt
136: pulley motor 140: second plate
141: case fixing projection 142: projection cylinder
143: upper belt grip member
200: stationary transfer unit
210: side seating plate 220: transport means
221: bar fixing bar 222: guide bar
223: transfer member 224: bar coupling member
225: belt member 226: transfer belt
227: belt drive gear 228: belt gear
229: gear fixing member 230: belt drive motor
250: mounting means 251: elevating cylinder
252: elevating member 253: close cylinder
254: adhesion member 255: pressure sensor
256: touch sensor
300: elevating part
310: elevating fixed plate 311: vibration pad
312: Loop seating plate 313: height detection sensor
314: sensor member 315: floating side bar fixing member
316: first guide bar 317: first member
318: second member 319: member hinge
320: first height bar 321: second height bar
322: variable measuring and fixing member 323: second guide bar
324: third member 325: cylinder driving member
326: cylinder seating groove 327: driving cylinder
500: unfastening device
510: fixed panel 511: case adhesion surface
512: projection fixing bar 513: cylinder seating bar
514: cylinder bar 520: loosen seating plate
521: bar groove 522: seating projection
523: rail member 524: plate guide rail
525: air cylinder 526: case locking projection
527: plate locking projection 528: case seating sensor
600: case fixing part
610: fixed seating plate 611: connection support
620: single fixing means 621: fixed end
622: single cohesive bar 623: single moving member
624: screw holder 625: single screw
626: single motor 627: single member groove
628: adhesion sensor
650: multiple rotation fixing means 651: first shaft groove
652: first screw stand 653: first screw
654: first moving member 655: first rotating shaft
656: 1st rotary attachment 657: 2nd shaft groove
658: second screw stand 659: second screw
660: second moving member 661: second rotating shaft
662: 2nd rotary abutment band
700: case storage holder
710: mounting plate 711: mounting frame
712: storage box 713: storage space
730: vertical transfer means 731: vertical transfer groove
732: vertical screw member 733: vertical transfer screw
734: vertical transfer member 735: vertical transfer bar
736: vertical screw motor
750: horizontal transfer elevating means 751: horizontal transfer groove
752: horizontal screw member 753: horizontal transfer screw
754: horizontal transfer member 755: cylinder seating member
756: rising cylinder 757: rising plate
770: storage moving means 771: close support member
772: case adhesion bar 773: guide support member
774: adherence guide 775: adherence driving member
776: close driving cylinder 777: front and rear true cylinder

Claims

In the FOUP fixing device that is formed so that it can be seated and fixed regardless of the structure of the lower surface of the FOUP case in which a plurality of wafers are embedded,
The fastening device is
It is for fixing the lower part of the FOUP case to prevent shaking due to vibration and shock, and includes a case fixing part formed on the upper part of the FOOP seating plate on which the FOUP case can be seated,
The case fixing unit,
a fixed seating plate formed so as to correspond to the FOUP seating plate at a predetermined distance and to which the FOUP case is seated and fixed;
and a plurality of connection supports formed between the fixed seating plate and the FOOP seating plate to form the fixed seating plate at a predetermined interval on the FOUP seating plate,

The case fixing unit,
a single fixing means for moving and fixing the single adhesive rod to the FOUP case side in one direction; or
a plurality of rotation fixing means for closely fixing the first rotary attachment in one direction and the second rotary attachment in the other direction by moving to the FOUP case side and rotating according to the shape of the FOUP case; Installed by selecting any one of the means,

The single fixing means,
A fixed end formed on one side of the upper portion of the fixed seat plate so that the FOUP case moved by a single adhesion rod is caught and fixed;
A single attachment plate formed to be movable along a single member groove from the other side of the fixed seating plate upper side to push the FOUP case seated on the fixed seating plate from one side to the fixed end side;
A single moving member having one side connected to the single cohesion bar and the other end coupled to a single screw to slide in order to move the single cohesion bar;
A screw holder formed on both sides of the lower surface of the fixed seating plate to fix a single screw;
A single screw formed on the screw holder formed on both sides so that the single moving member can slide;
a single motor formed on one side of the screw holder formed on one side to rotate the single screw;
a single member groove formed on the fixed seating plate so that the single moving member can be moved;
It consists of a close contact sensor formed on one side of the single contact stand to detect the close contact when the FOUP case is in close contact and provide the sensed information to the single motor side,
The multiple rotation fixing means,
a first shaft groove formed in plurality on one side of the fixed seating plate so that the first rotation shaft can be moved;
A first screw stand formed in plurality on one side and the other side in one direction of the lower side of the fixing seat plate to fix the first screw;
A first screw coupled and formed on the first screw stand formed in plurality;
a first moving member coupled to the first screw and formed to move;
A first rotary shaft formed above the first moving member so that the first rotary attachment can be rotated according to the shape of the FOUP case when the first rotary attachment is in close contact with one side of the FOUP case;
a first rotary attachment formed to be coupled to the upper portion of the first rotation shaft so as to be in close contact with one side of the FOUP case, and rotatably formed according to the shape of the FOUP case;
a plurality of second shaft grooves formed on the other side of the fixed seating plate so that the second rotation shaft can be moved;
a second screw stand formed in plurality on one side and the other side in the other direction of the lower side of the fixing seat plate to fix the second screw;
a second screw coupled and formed on the second screw stand formed in plurality;
a second moving member coupled to the second screw and formed to move;
A second rotary shaft formed above the second moving member so that the second rotary attachment can be rotated to match the shape of the FOUP case when the second rotary attachment is in close contact with one side of the FOUP case;
It is formed to be coupled to the upper portion of the second rotation shaft so as to be in close contact with one side of the FOUP case, and is made of a second rotational adhesive rod that is formed to be rotatable according to the shape of the FOUP case,

The fastening device is
It further includes a case storage cradle formed on the ground on one side of the loom fixing device so that either the FOOP case used to replace the FOUP case or the FOUP case before use is stored,
The case storage holder,
A mounting plate on which a vertical transfer means and a horizontal transfer elevating means are formed so that the FOUP case can be seated and moved to the storage box;
A mounting frame formed in plurality on the lower surface of the mounting plate to support the mounting plate;
A storage box having a plurality of storage spaces formed on one side of the mounting plate so that the FOUP case can be stored;
A storage space formed in a plurality on the storage box so that each FOUP case can be stored,
a vertical transfer means formed on one side of the mounting plate to transfer the FOUP case to the horizontal transfer elevating means;
Horizontal transfer elevating and lowering means formed toward the center of the mounting plate so as to move the FOUP case transferred along the vertical transfer means in the horizontal direction and then raise it toward the storage space;
and storage moving means respectively formed on each storage space to move the FOUP case raised toward the storage space toward the storage space,
The vertical transport means,
A vertical transfer groove formed on the mounting plate so that the vertical transfer bar can be moved in either one direction or the other direction;
A vertical screw member formed on one side and the other side in a vertical direction from the lower surface of the mounting plate to fix the vertical transfer screw on the mounting plate;
a vertical transfer screw coupled and formed on the plurality of vertical screw members formed on the lower surface of the mounting plate;
A vertical transfer member coupled to the rotating vertical transfer screw and formed to be movable;
A vertical transfer bar formed above the vertical transfer member to be in close contact with the FOUP case seated on the mounting plate and to be moved toward the horizontal transfer elevating and lowering means;
It consists of a vertical screw motor that is formed coupled to the vertical screw member formed on one side to rotate the vertical transfer screw, and the motor shaft is connected to the vertical transfer screw,
The horizontal transfer elevating means,
a horizontal transfer groove formed in the horizontal direction on the mounting plate so that the rising cylinder can be moved in the horizontal direction;
a horizontal screw member formed on one side and the other side in a horizontal direction from the lower surface of the mounting plate to fix the horizontal transfer screw on the mounting plate;
a horizontal transfer screw coupled and formed on the plurality of horizontal screw members formed on the lower surface of the mounting plate;
a horizontal transfer member coupled to the rotating horizontal transfer screw and formed to be movable;
a cylinder seating member formed above the horizontal conveying member so that the rising cylinder is mounted;
a rising cylinder seated on the upper part of the cylinder seating member to elevate the cylinder seating member;
It consists of a rising plate formed above the rising cylinder so that the FOUP case transported by the vertical conveying bar is seated,
The storage and transport means,
A close support member formed in a "B" shape to support one side of the FOUP case,
a case adhesion bar formed so as to be slidable from one side of the close contact support member so as to be in close contact with the other side of the FOUP case positioned inside the close contact support member;
Guide support members respectively formed on one side and the other side of the upper portion of the close contact support member to support the close contact guide;
a close contact guide formed so that the close contact driving member is slidable and fixed on the guide support member;
A close contact driving member formed so that one side is coupled to the close contact guide and slides, and the center is connected to the case adhesion bar so that the case adhesion bar moves to the close contact support member side when moving along the adhesion guide;
a close contact driving cylinder having one side formed on the rear surface of the close contact support member and connected to the other side of the close contact driving member to move the close contact driving member;
Loose fixing device, characterized in that it consists of a forward and backward cylinder formed on the inner surface of the storage space to move the close contact support member to the side of the FOUP case seated on the rising plate, and the cylinder shaft is connected to the rear surface of the close contact support member.

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