KR102345846B1 - FTO glass laser scribing equipment capable of realizing smart process management function - Google Patents

FTO glass laser scribing equipment capable of realizing smart process management function Download PDF

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KR102345846B1
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support
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fto substrate
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KR1020210136435A
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서임교
노태열
김용철
이재석
김영호
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(주) 에스엘테크
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Abstract

Disclosed is FTO glass laser scribing equipment capable of implementing a smart process management function. The FTO glass laser scribing equipment capable of implementing a smart process management function includes at least one scribing device and a control device which communications with the at least one scribing device to be configured to remotely monitor and remotely control the at least one scribing device, wherein the at least one scribing device is configured to scribe a fluorine-doped tin oxide (FTO) substrate by using laser.

Description

스마트공정관리 기능구현이 가능한 FTO 유리 레이저 스크라이빙 장비{FTO glass laser scribing equipment capable of realizing smart process management function}FTO glass laser scribing equipment capable of realizing smart process management function

본 발명은 스마트공정관리 기능구현이 가능한 FTO 유리 레이저 스크라이빙 장비에 관한 것이다.The present invention relates to an FTO glass laser scribing equipment capable of implementing a smart process management function.

현재의 주 에너지원인 화석연료에서 탈피하여 전 세계적으로 경제성장에 따른 폭발적인 에너지 수요 등 기존 에너지와 차원이 다른 청정 무제한의 에너지가 요구되고 있다.Breaking away from the current main energy source, fossil fuels, there is a demand for clean and unlimited energy that is different from existing energy, such as explosive energy demand due to global economic growth.

이에, 최근에는 발전소에 의지하지 않고, 기존 건물에 태양전지를 장착하여 에너지를 자체적으로 생산할 수 있는 건물 일체형 태양전지(BIPV, Building Integrated Photovoltaics)에 대한 다양한 개발이 이루어지고 있다.Accordingly, in recent years, various developments have been made on Building Integrated Photovoltaics (BIPV), which can generate energy by mounting a solar cell in an existing building without relying on a power plant.

특히, 염료감응형 태양전지(Dye sensitized solar cell) 기술은 태양전지의 상용화에 우선적으로 고려되어야 할 중요한 사항이다.In particular, the dye-sensitized solar cell technology is an important matter to be considered first for commercialization of the solar cell.

염료감응형 태양전지(Dye-Sensitized Solar Cells; DSSC) 기술은 1990년대부터 본격적으로 연구되기 시작하였으며, 프린팅 방식에 의해 저가공정이 가능하고, 모양에 구애받지 않는 유연한 태양전지의 제조가 가능하여 현재 많은 주목을 받고 있다.Dye-Sensitized Solar Cells (DSSC) technology began to be studied in earnest in the 1990s. It's getting a lot of attention.

하지만, 종래에는 300 * 300mm 사이즈의 염료감응형 태양전지를 스크라이빙(Scribing) 가능한 장치만이 개발되어 있기 때문에, 대면적을 가지는 염료감응형 태양전지를 스크라이빙 할 수 없었다.However, since only a device capable of scribing a dye-sensitized solar cell having a size of 300 * 300 mm has been developed in the prior art, scribing of a dye-sensitized solar cell having a large area was not possible.

이에, 대면적 염료감응형 태양전지를 생산하기 위해서 전후판에 전도성 물질인 FTO(Fluorine doped tin oxide)가 도포되어 있는 FTO 유리 기판을 스크라이빙 하기 위한 장비의 개발이 절실히 필요하다.Therefore, in order to produce large-area dye-sensitized solar cells, it is urgently necessary to develop equipment for scribing FTO glass substrates coated with a conductive material, FTO (Fluorine doped tin oxide), on the front and rear plates.

또한, 종래에는 작업자가 직접 스크라이빙 작업을 수행해야 함에 따라, 다수의 작업자를 필요로 하고, 이에 인건비가 증가함은 물론, 작업자가 직접 스크라이빙 작업을 수행함에 따라 작업부위가 균일하지 못한 문제점이 있었다.In addition, in the prior art, as the operator has to directly perform the scribing operation, a large number of workers are required, and thus labor costs increase. There was a problem.

등록특허공보 10-0636852Registered Patent Publication 10-0636852 등록특허공보 10-1804585Registered Patent Publication 10-1804585

본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위해 안출된 것으로서, 본 발명의 목적은 대면적 FTO 기판의 스크라이빙이 가능하고, FTO 기판을 안정적으로 지지 및 고정한 상태로 스크라이빙이 가능하며, 실시간 원격 모니터링 및 실시간 원격 제어가 가능하여 인건비를 절감할 수 있음은 물론, 스크라이빙 품질 안정성을 확보할 수 있는 스마트공정관리 기능구현이 가능한 FTO 유리 레이저 스크라이빙 장비를 제공하는 것이다.The present invention has been devised to solve the above problems, and an object of the present invention is to enable scribing of a large-area FTO substrate, and to enable scribing while stably supporting and fixing the FTO substrate, in real time It is to provide an FTO glass laser scribing equipment capable of realizing a smart process management function that can not only reduce labor costs by enabling remote monitoring and real-time remote control, but also secure scribing quality stability.

본 발명의 과제는 이상에서 언급한 과제들로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 과제들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.The problems of the present invention are not limited to the problems mentioned above, and other problems not mentioned will be clearly understood by those skilled in the art from the following description.

상기 과제를 해결하기 위한 본 발명의 실시예에 따른 스마트공정관리 기능구현이 가능한 FTO 유리 레이저 스크라이빙 장비는, 적어도 하나의 스크라이빙 장치; 및 상기 적어도 하나의 스크라이빙 장치와 통신하여, 상기 적어도 하나의 스크라이빙 장치를 원격 모니터링 및 원격 제어하도록 구성되는 제어장치;를 포함하고, 상기 적어도 하나의 스크라이빙 장치는, 레이저를 이용하여 FTO(Fluorine-doped Tin Oxide) 기판을 스크라이빙 하도록 구성된다.FTO glass laser scribing equipment capable of implementing a smart process management function according to an embodiment of the present invention for solving the above problems, at least one scribing device; and a control device configured to communicate with the at least one scribing device to remotely monitor and remotely control the at least one scribing device, wherein the at least one scribing device uses a laser It is configured to scribe the FTO (Fluorine-doped Tin Oxide) substrate.

상기 적어도 하나의 스크라이빙 장치는, 제1 FTO 기판 및 상기 제1 FTO 기판과 다른 평면적을 가지는 제2 FTO 기판 중 적어도 하나를 스크라이빙 하도록 구성되고, 상기 제1 FTO 기판의 평면적은 300 x 300 mm이고, 상기 제2 FTO 기판의 평면적은 914 x 580 mm일 수 있다.the at least one scribing device is configured to scribing at least one of a first FTO substrate and a second FTO substrate having a different planar area than the first FTO substrate, wherein the planar area of the first FTO substrate is 300 x 300 mm, and the planar area of the second FTO substrate may be 914 x 580 mm.

상기 스크라이빙 장치는, 레이저 가공 유닛; 스크라이빙 가공되는 부위를 포커싱하여 실시간 촬영하도록 구성되는 카메라 유닛; 상기 레이저 가공 유닛 및 상기 카메라 유닛을 이동시키도록 구성되는 액추에이터 조립체; 상기 FTO 기판을 지지 및 고정시키도록 구성되는 스테이지 조립체; 및 지면에 설치되어 상기 액추에이터 조립체 및 상기 스테이지 조립체를 지지하고, 진동을 차단하도록 구성되는 지지 조립체; 를 포함할 수 있다.The scribing apparatus may include a laser processing unit; a camera unit configured to focus a region to be scribed and photograph in real time; an actuator assembly configured to move the laser processing unit and the camera unit; a stage assembly configured to support and secure the FTO substrate; and a support assembly installed on the ground to support the actuator assembly and the stage assembly, and to block vibration. may include

상기 레이저 가공 유닛은, 레이저가 조사되도록 구성되는 레이저 발진부; 및 상기 레이저 발진부에서 조사되는 레이저를 제어하도록 구성되는 레이저 제어부;를 포함할 수 있다.The laser processing unit, a laser oscillation unit configured to be irradiated with a laser; and a laser control unit configured to control the laser irradiated from the laser oscillation unit.

상기 액추에이터 조립체는, 제1 레일유닛; 상기 스테이지 조립체를 사이에 두고, 제1 방향을 따라 상기 제1 레일유닛에 대향 배치되는 제2 레일유닛; 일부분은 상기 제1 레일유닛에 결합되고, 다른 일부분은 상기 제2 레일유닛에 결합되어 상기 스테이지 조립체의 상측에 배치되고, 상기 제1 방향과 다른 제2 방향을 따라 일 측 또는 타 측으로 이동되도록 구성되는 제3 레일유닛; 및 일부분은 상기 제3 레일유닛에 결합되어 상기 제1 방향을 따라 일 측 또는 타 측으로 이동되고, 다른 일부분은 상기 레이저 가공 유닛에 결합되어 상기 레이저 가공 유닛을 상기 제1 방향 및 상기 제2 방향과 다른 제3 방향을 따라 일 측 또는 타 측으로 이동시키도록 구성되는 제4 레일유닛;을 포함할 수 있다.The actuator assembly may include: a first rail unit; a second rail unit disposed to face the first rail unit in a first direction with the stage assembly interposed therebetween; A part is coupled to the first rail unit, and the other part is coupled to the second rail unit and disposed on the upper side of the stage assembly, configured to move to one side or the other along a second direction different from the first direction a third rail unit to be; And a part is coupled to the third rail unit and moved to one side or the other side along the first direction, and the other part is coupled to the laser processing unit to move the laser processing unit in the first direction and in the second direction. It may include; a fourth rail unit configured to move to one side or the other side along the other third direction.

상기 스테이지 조립체는, 상면에 안착된 상기 FTO 기판을 흡착하여 고정시키도록 구성되는 흡착 조립체; 상기 흡착 조립체의 하측에 승강 가능하게 배치되어 상기 FTO 기판을 상기 흡착 조립체의 상면에 안착시키거나, 상기 흡착 조립체의 상면에 안착된 상기 FTO 기판을 상기 흡착 조립체로부터 분리시키도록 구성되는 팝업 유닛; 상기 흡착 조립체의 둘레에 승강 가능하게 배치되고, 상기 팝업 유닛에 지지되어 상기 흡착 조립체로부터 이격된 상기 FTO 기판의 가장자리를 지지하도록 구성되는 가이드 유닛; 상기 흡착 조립체의 둘레에 배치되고, 상기 FTO 기판이 상기 흡착 조립체의 상면에 안착되면 상기 FTO 기판의 가장자리를 상기 제1 방향 및 상기 제2 방향으로 가압하여 상기 FTO 기판의 중심을 상기 흡착 조립체의 중심에 정렬시키도록 구성되는 정렬 유닛; 및 상기 지지 조립체에 배치되어 상기 가이드 유닛 및 상기 정렬 유닛을 지지하도록 구성되는 프로파일 지지체;를 포함할 수 있다.The stage assembly may include: an adsorption assembly configured to adsorb and fix the FTO substrate seated on the upper surface; a pop-up unit disposed so as to be lifted below the adsorption assembly to seat the FTO substrate on the upper surface of the adsorption assembly or to separate the FTO substrate seated on the upper surface of the adsorption assembly from the adsorption assembly; a guide unit disposed so as to be lifted around the adsorption assembly, supported by the pop-up unit, and configured to support an edge of the FTO substrate spaced apart from the adsorption assembly; It is disposed around the adsorption assembly, and when the FTO substrate is seated on the upper surface of the adsorption assembly, the edge of the FTO substrate is pressed in the first direction and the second direction to set the center of the FTO substrate to the center of the adsorption assembly. an alignment unit configured to align to; and a profile support disposed on the support assembly and configured to support the guide unit and the alignment unit.

상기 흡착 조립체는, 상기 지지 조립체의 상면에 배치되는 복수의 서포터; 상기 복수의 서포터에 지지되어 상기 지지 조립체로부터 이격 배치되고, 복수의 핀 유동홀을 가지는 흡착 베이스 플레이트; 상기 흡착 베이스 플레이트의 상면에 배치되고, 상기 FTO 기판의 저면을 지지 및 흡착하도록 구성되는 복수의 진공 흡착 유닛; 및 상기 흡착 베이스 플레이트의 상면에 배치되고, 상기 정렬 유닛에 대향되는 위치에서 상기 정렬 유닛에 가압되는 상기 FTO 기판의 다른 가장자리를 지지하도록 구성되는 정렬 핀;을 포함할 수 있다.The adsorption assembly may include a plurality of supporters disposed on an upper surface of the support assembly; an adsorption base plate supported by the plurality of supporters and spaced apart from the support assembly and having a plurality of pin flow holes; a plurality of vacuum adsorption units disposed on the upper surface of the adsorption base plate and configured to support and adsorb the lower surface of the FTO substrate; and an alignment pin disposed on the upper surface of the adsorption base plate and configured to support the other edge of the FTO substrate pressed to the alignment unit at a position opposite to the alignment unit.

상기 복수의 진공 흡착 유닛은 각각, 상기 흡착 베이스 플레이트의 상면에 배치되고, 상면에 소정 깊이 함몰된 챔버를 가지는 하부 플레이트; 상기 하부 플레이트의 상면에 배치되고, 상면에 상기 FTO 기판이 지지되며, 상기 챔버와 연통되어 상기 FTO 기판의 저면을 흡착하는 복수의 흡착홀을 가지는 상부 플레이트; 상기 하부 플레이트를 관통하여 상기 챔버와 연통되고, 상기 챔버의 내부를 진공상태로 형성하여 상기 복수의 흡착홀에 흡입력을 발생시키도록 구성되는 흡입노즐; 상기 하부 플레이트에 설치되어 상기 상부 플레이트를 고정시키도록 구성되는 복수의 클램프; 및 상기 하부 플레이트와 상기 상부 플레이트 사이에 배치되어 상기 챔버를 밀폐시키도록 구성되는 실부재;를 포함할 수 있다.Each of the plurality of vacuum adsorption units may include a lower plate disposed on an upper surface of the adsorption base plate and having a chamber recessed to a predetermined depth in the upper surface; an upper plate disposed on the upper surface of the lower plate, the FTO substrate being supported on the upper surface, and communicating with the chamber and having a plurality of adsorption holes for adsorbing the lower surface of the FTO substrate; a suction nozzle passing through the lower plate and communicating with the chamber and configured to generate a suction force in the plurality of suction holes by forming the inside of the chamber in a vacuum state; a plurality of clamps installed on the lower plate and configured to fix the upper plate; and a seal member disposed between the lower plate and the upper plate to seal the chamber.

상기 챔버는, 제1 챔버 및 상기 제1 챔버와 분리된 제2 챔버를 포함하고, 상기 복수의 흡착홀은, 상기 제1 챔버와 연통되는 제1 흡착홀들과, 상기 제2 챔버와 연통되는 제2 흡착홀들을 포함하며, 상기 흡입노즐은, 상기 제1 챔버와 연통되는 제1 흡입노즐과, 상기 제2 챔버와 연통되는 제2 흡입노즐을 포함하고, 상기 실부재는, 상기 제1 챔버를 밀폐시키는 제1 실부재와, 상기 제2 챔버를 밀폐시키는 제2 실부재를 포함할 수 있다.The chamber may include a first chamber and a second chamber separated from the first chamber, wherein the plurality of adsorption holes include first adsorption holes communicating with the first chamber and communicating with the second chamber. and second suction holes, wherein the suction nozzle includes a first suction nozzle communicating with the first chamber and a second suction nozzle communicating with the second chamber, wherein the seal member includes the first chamber It may include a first sealing member for sealing the, and a second sealing member for sealing the second chamber.

상기 팝업 유닛은, 상기 지지 조립체에 수용 및 지지되고, 상기 제3 방향을 따라 신축되도록 구성되는 실린더 유닛; 상기 실린더 유닛에 결합되고, 상기 실린더 유닛에 의해 승강되도록 구성되는 승강 프레임 조립체; 및 상기 승강 프레임 조립체에 결합되어 승강되고, 상기 복수의 핀 유동홀을 통해 상기 흡착 베이스 플레이트의 상부로 돌출되면서 상기 FTO 기판을 지지하도록 구성되는 복수의 리프트 핀;을 포함할 수 있다.The pop-up unit may include: a cylinder unit accommodated and supported in the support assembly and configured to expand and contract in the third direction; a lifting frame assembly coupled to the cylinder unit and configured to be lifted by the cylinder unit; and a plurality of lift pins coupled to the lifting frame assembly and elevating, and configured to support the FTO substrate while protruding to an upper portion of the suction base plate through the plurality of pin flow holes.

상기 가이드 유닛은, 상기 프로파일 지지체에 결합되는 가이드 지지 블록; 상기 가이드 지지 블록에 결합되어 상기 FTO 기판의 상면에 대하여 경사지게 배치되고, 신축되도록 구성되는 가이드 실린더; 및 상기 가이드 실린더에 결합되고, 신축되는 상기 가이드 실린더에 의해 이동되면서 상기 FTO 기판의 가장자리를 지지하도록 구성되는 가이드 블록 조립체;를 포함할 수 있다.The guide unit may include: a guide support block coupled to the profile support; a guide cylinder coupled to the guide support block and arranged to be inclined with respect to the upper surface of the FTO substrate, and configured to expand and contract; and a guide block assembly coupled to the guide cylinder and configured to support the edge of the FTO substrate while being moved by the expanding and contracting guide cylinder.

상기 정렬 유닛은, 상기 프로파일 지지체에 결합되는 정렬 지지 블록; 상기 정렬 지지 블록에 결합되고, 신축되도록 구성되는 정렬 실린더; 상기 정렬 실린더에 결합되고, 상기 정렬 실린더에 의해 이동되는 제1 정렬 브라켓; 상기 제1 정렬 브라켓에 결합되고, 상기 제1 정렬 브라켓에 의해 이동되는 복수의 축부재; 상기 복수의 축부재에 결합되고, 상기 복수의 축부재의 외면을 따라 이동 가능한 제2 정렬 브라켓; 상기 복수의 축부재에 결합되어 상기 제1 정렬 브라켓과 상기 제2 정렬 브라켓 사이에 배치되고, 상기 제2 정렬 브라켓을 탄성적으로 지지하도록 구성되는 복수의 탄성부재; 및 상기 제2 정렬 브라켓에 결합되고, 상기 FTO 기판의 가장자리를 지지하도록 구성되는 지지롤러;를 포함할 수 있다.The alignment unit may include an alignment support block coupled to the profile support; an alignment cylinder coupled to the alignment support block and configured to be telescopic; a first alignment bracket coupled to the alignment cylinder and moved by the alignment cylinder; a plurality of shaft members coupled to the first alignment bracket and moved by the first alignment bracket; a second alignment bracket coupled to the plurality of shaft members and movable along the outer surfaces of the plurality of shaft members; a plurality of elastic members coupled to the plurality of shaft members, disposed between the first alignment bracket and the second alignment bracket, and configured to elastically support the second alignment bracket; and a support roller coupled to the second alignment bracket and configured to support the edge of the FTO substrate.

상기 가이드 유닛은, 상기 FTO 기판의 일부분을 지지하도록 구성되는 제1 가이드 유닛, 상기 FTO 기판의 다른 일부분을 지지하도록 구성되는 제2 가이드 유닛 및 상기 FTO 기판의 또 다른 일부분을 지지하도록 구성되는 제3 가이드 유닛을 포함하고, 상기 정렬 유닛은, 상기 FTO 기판의 일부분을 상기 제1 방향으로 가압하도록 구성되는 제1 정렬 유닛, 상기 FTO 기판의 다른 일부분을 상기 제2 방향으로 가압하도록 구성되는 제2 정렬 유닛 및 상기 FTO 기판의 또 다른 일부분을 상기 제2 방향으로 가압하도록 구성되는 제3 정렬 유닛을 포함하며, 상기 프로파일 지지체는, 상기 제1 가이드 유닛과 상기 제1 정렬 유닛을 지지하도록 구성되는 제1 프로파일 지지체, 상기 제2 가이드 유닛과 상기 제2 정렬 유닛을 지지하도록 구성되는 제2 프로파일 지지체 및 상기 제3 가이드 유닛과 상기 제3 정렬 유닛을 지지하도록 구성되는 제3 프로파일 지지체를 포함할 수 있다.The guide unit includes a first guide unit configured to support a portion of the FTO substrate, a second guide unit configured to support another portion of the FTO substrate, and a third guide unit configured to support another portion of the FTO substrate a guide unit, wherein the alignment unit includes a first alignment unit configured to press a portion of the FTO substrate in the first direction, and a second alignment unit configured to press another portion of the FTO substrate in the second direction. a unit and a third alignment unit configured to press another portion of the FTO substrate in the second direction, wherein the profile support includes: a first guide unit configured to support the first guide unit and the first alignment unit a profile support, a second profile support configured to support the second guide unit and the second alignment unit, and a third profile support configured to support the third guide unit and the third alignment unit.

상기 지지 조립체는, 상기 스테이지 조립체를 지지하는 (화강암 재질의) 베이스; 상기 베이스의 상면에 배치되고, 상기 액추에이터 조립체를 지지하도록 구성되는 사이드 프레임 조립체; 상기 베이스의 하면에 배치되는 복수의 방진 조립체; 상기 복수의 방진 조립체의 저면에 결합되는 복수의 수직 프레임; 상기 복수의 수직 프레임을 연결 및 지지하는 복수의 제1 수평 프레임; 상기 복수의 제1 수평 프레임을 연결 및 지지하는 복수의 제2 수평 프레임; 및 상기 복수의 수직 프레임에 결합되어 상기 지면에 지지되는 복수의 지지체;를 포함할 수 있다.The support assembly may include a base (made of granite) supporting the stage assembly; a side frame assembly disposed on the upper surface of the base and configured to support the actuator assembly; a plurality of vibration-proof assemblies disposed on a lower surface of the base; a plurality of vertical frames coupled to the bottom surfaces of the plurality of vibration-proof assemblies; a plurality of first horizontal frames connecting and supporting the plurality of vertical frames; a plurality of second horizontal frames connecting and supporting the plurality of first horizontal frames; and a plurality of supports coupled to the plurality of vertical frames and supported on the ground.

본 발명의 실시예에 따르면, 대면적 FTO 기판의 스크라이빙이 가능하고, FTO 기판을 안정적으로 지지 및 고정한 상태로 스크라이빙이 가능하며, 실시간 원격 모니터링 및 실시간 원격 제어가 가능하여 인건비를 절감할 수 있음은 물론, 스크라이빙 품질 안정성을 확보할 수 있다.According to an embodiment of the present invention, scribing of a large-area FTO substrate is possible, scribing is possible while stably supporting and fixing the FTO substrate, and real-time remote monitoring and real-time remote control are possible, thereby reducing labor costs Of course, it is possible to secure the stability of scribing quality.

본 발명에 따른 효과는 이상에서 예시된 내용에 의해 제한되지 않으며, 더욱 다양한 효과들이 본 발명 내에 포함되어 있다.The effect according to the present invention is not limited by the contents exemplified above, and more various effects are included in the present invention.

도 1은 본 발명의 실시예에 따른 FTO 유리 레이저 스크라이빙 장비를 개략적으로 나타낸 도면이다.
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 스크라이빙 장치를 나타낸 사시도이다.
도 3은 본 발명의 실시예에 따른 레이저 가공 유닛을 나타낸 사시도이다.
도 4는 본 발명의 실시예에 따른 액추에이터 조립체를 나타낸 사시도이다.
도 5는 본 발명의 실시예에 따른 액추에이터 조립체를 나타낸 사시도이다.
도 6은 본 발명의 실시예에 따른 액추에이터 조립체를 나타낸 저면 사시도이다.
도 7은 본 발명의 실시예에 따른 진공 흡착 유닛을 나타낸 사시도이다.
도 8은 본 발명의 실시예에 따른 팝업 유닛을 나타낸 사시도이다.
도 9는 본 발명의 실시예에 따른 가이드 유닛을 나타낸 사시도이다.
도 10은 본 발명의 실시예에 따른 정렬 유닛을 나타낸 사시도이다.
도 11은 본 발명의 실시예에 따른 스테이지 조립체, 가이드 유닛 및 정렬 유닛을 나타낸 평면도이다.
도 12는 본 발명의 실시예에 따른 스크라이빙 장치를 나타낸 저면 사시도이다.1 is a view schematically showing an FTO glass laser scribing equipment according to an embodiment of the present invention.
2 is a perspective view illustrating a scribing apparatus according to an embodiment of the present invention.
3 is a perspective view showing a laser processing unit according to an embodiment of the present invention.
4 is a perspective view showing an actuator assembly according to an embodiment of the present invention.
5 is a perspective view illustrating an actuator assembly according to an embodiment of the present invention.
6 is a bottom perspective view showing an actuator assembly according to an embodiment of the present invention.
7 is a perspective view showing a vacuum adsorption unit according to an embodiment of the present invention.
8 is a perspective view illustrating a pop-up unit according to an embodiment of the present invention.
9 is a perspective view showing a guide unit according to an embodiment of the present invention.
10 is a perspective view showing an alignment unit according to an embodiment of the present invention.
11 is a plan view illustrating a stage assembly, a guide unit, and an alignment unit according to an embodiment of the present invention.
12 is a bottom perspective view illustrating a scribing apparatus according to an embodiment of the present invention.

이하에서는 첨부된 도면을 참조하여 다양한 실시 예를 보다 상세하게 설명한다. 본 명세서에 기재된 실시 예는 다양하게 변형될 수 있다. 특정한 실시예가 도면에서 묘사되고 상세한 설명에서 자세하게 설명될 수 있다. 그러나 첨부된 도면에 개시된 특정한 실시 예는 다양한 실시 예를 쉽게 이해하도록 하기 위한 것일 뿐이다. 따라서 첨부된 도면에 개시된 특정 실시 예에 의해 기술적 사상이 제한되는 것은 아니며, 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 균등물 또는 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다.Hereinafter, various embodiments will be described in more detail with reference to the accompanying drawings. The embodiments described herein may be variously modified. Certain embodiments may be depicted in the drawings and described in detail in the detailed description. However, the specific embodiments disclosed in the accompanying drawings are only provided to facilitate understanding of the various embodiments. Therefore, the technical idea is not limited by the specific embodiments disclosed in the accompanying drawings, and it should be understood to include all equivalents or substitutes included in the spirit and scope of the invention.

제1, 제2 등과 같이 서수를 포함하는 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 이러한 구성요소들은 상술한 용어에 의해 한정되지는 않는다. 상술한 용어는 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다.Terms including an ordinal number such as 1st, 2nd, etc. may be used to describe various components, but these components are not limited by the above-mentioned terms. The above terminology is used only for the purpose of distinguishing one component from another component.

본 명세서에서, "포함한다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다. 어떤 구성요소가 다른 구성요소에 "연결되어" 있다거나 "접속되어" 있다고 언급된 때에는, 그 다른 구성요소에 직접적으로 연결되어 있거나 또는 접속되어 있을 수도 있지만, 중간에 다른 구성요소가 존재할 수도 있다고 이해되어야 할 것이다. 반면에, 어떤 구성요소가 다른 구성요소에 "직접 연결되어" 있다거나 "직접 접속되어" 있다고 언급된 때에는, 중간에 다른 구성요소가 존재하지 않는 것으로 이해되어야 할 것이다.In this specification, terms such as "comprises" or "have" are intended to designate that the features, numbers, steps, operations, components, parts, or combinations thereof described in the specification exist, but one or more other features It should be understood that this does not preclude the existence or addition of numbers, steps, operations, components, parts, or combinations thereof. When an element is referred to as being “connected” or “connected” to another element, it is understood that it may be directly connected or connected to the other element, but other elements may exist in between. it should be On the other hand, when it is said that a certain element is "directly connected" or "directly connected" to another element, it should be understood that the other element does not exist in the middle.

한편, 본 명세서에서 사용되는 구성요소에 대한 "모듈" 또는 "부"는 적어도 하나의 기능 또는 동작을 수행한다. 그리고 "모듈" 또는 "부"는 하드웨어, 소프트웨어 또는 하드웨어와 소프트웨어의 조합에 의해 기능 또는 동작을 수행할 수 있다. 또한, 특정 하드웨어에서 수행되어야 하거나 적어도 하나의 프로세서에서 수행되는 "모듈" 또는 "부"를 제외한 복수의 "모듈들" 또는 복수의 "부들"은 적어도 하나의 모듈로 통합될 수도 있다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다.Meanwhile, as used herein, a “module” or “unit” for a component performs at least one function or operation. And “module” or “unit” may perform a function or operation by hardware, software, or a combination of hardware and software. In addition, a plurality of “modules” or a plurality of “units” other than a “module” or “unit” to be performed in specific hardware or to be executed in at least one processor may be integrated into at least one module. The singular expression includes the plural expression unless the context clearly dictates otherwise.

그 밖에도, 본 발명을 설명함에 있어서, 관련된 공지 기능 혹은 구성에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우, 그에 대한 상세한 설명은 축약하거나 생략한다.In addition, in describing the present invention, if it is determined that a detailed description of a related known function or configuration may unnecessarily obscure the gist of the present invention, the detailed description thereof will be abbreviated or omitted.

참고로, 본 실시예에 개시된 스크류는 머리부에 드라이버의 결합을 위한 홈이 형성되고, 몸통부에 나사산이 형성된 통상의 스크류 부재이고, 도면에서는 설명의 편의를 위해 스크류를 생략될 수도 있다. For reference, the screw disclosed in this embodiment is a common screw member in which a groove for coupling a driver is formed in the head and a thread is formed in the body, and the screw may be omitted in the drawings for convenience of description.

도 1은 본 발명의 실시예에 따른 FTO 유리 레이저 스크라이빙 장비를 개략적으로 나타낸 도면이다.1 is a view schematically showing an FTO glass laser scribing equipment according to an embodiment of the present invention.

도 1을 참조하면, 본 발명의 실시예에 따른 스마트공정관리 기능구현이 가능한 FTO 유리 레이저 스크라이빙 장비(A)(이하 'FTO 유리 레이저 스크라이빙 장비(A)'라 함)는, 적어도 하나의 스크라이빙 장치(A1)와, 제어장치(A2)를 포함한다.1, the FTO glass laser scribing equipment (A) (hereinafter referred to as 'FTO glass laser scribing equipment (A)') capable of implementing a smart process management function according to an embodiment of the present invention is at least It includes one scribing device A1 and a control device A2.

적어도 하나의 스크라이빙 장치(A1)는 적어도 하나의 스크라이빙 장치(A1)는, 레이저를 이용하여 FTO(Fluorine-doped Tin Oxide) 기판(G)을 스크라이빙 하도록 구성된다.The at least one scribing device A1 is configured to scribe the FTO (Fluorine-doped Tin Oxide) substrate G using a laser.

제어장치(A2)는 적어도 하나의 스크라이빙 장치(A1)와 통신하여, 적어도 하나의 스크라이빙 장치(A1)를 원격 모니터링 및 원격 제어하도록 구성된다.The controller A2 is configured to communicate with the at least one scribing device A1 to remotely monitor and remotely control the at least one scribing device A1 .

제어장치(A2)는, 적어도 하나의 스크라이빙 장치(A1)와 통신하여, 적어도 하나의 스크라이빙 장치(A1)를 원격 모니터링(RMS: Remote Monitoring System) 및 원격 제어(ROS: Remote Operation System) 하도록 구성된다.The control device A2 communicates with the at least one scribing device A1 to remotely monitor the at least one scribing device A1 (RMS: Remote Monitoring System) and remote control (ROS: Remote Operation System) ) is configured to

이를 통해, 제어장치(A2)는 설비 가동 상태(Run, Idle, Alarm 등), 스크라이빙 진행현황, 제어 P/G Log분석 및 공정이상 상황 등을 실시간 모니터링하면서 그에 대응되는 조치를 시행할 수 있고, 실시간으로 스크라이빙 장치(A1)를 제어할 수 있다.Through this, the control device (A2) can implement corresponding measures while monitoring the facility operation status (Run, Idle, Alarm, etc.), scribing progress status, control P/G log analysis and process abnormality in real time. and can control the scribing device A1 in real time.

예를 들어, 제어장치(A2)는 적어도 하나의 스크라이빙 장치(A1)에 제어명령을 전달하여 적어도 하나의 스크라이빙 장치(A1)를 원격으로 제어하고, 적어도 하나의 스크라이빙 장치(A1)로부터 구동상태에 관한 정보를 수신하여 적어도 하나의 스크라이빙 장치(A1)의 이상여부를 판단하며, 적어도 하나의 스크라이빙 장치(A1)의 구동상태에 관한 정보, 이상여부에 관한 정보 및 공정 정보 등을 표시하도록 구성되는 제어서버(미도시) 및 제어서버와 적어도 하나의 스크라이빙 장치(A1) 사이에서 정보들을 송수신하도록 구성되는 중계기(미도시) 등을 포함할 수 있다.For example, the control device A2 transmits a control command to the at least one scribing device A1 to remotely control the at least one scribing device A1, and the at least one scribing device A1 ( Receive information on the driving state from A1) to determine whether at least one scribing device A1 is abnormal, information about the driving state of the at least one scribing device A1, and information on whether there is an abnormality and a control server (not shown) configured to display process information, and the like, and a repeater (not shown) configured to transmit and receive information between the control server and the at least one scribing device A1.

적어도 하나의 스크라이빙 장치(A1)는 다양한 크기의 FTO 기판(G)을 스크라이빙 하도록 구성될 수 있다.At least one scribing device (A1) may be configured to scribe the FTO substrate (G) of various sizes.

구체적으로, 적어도 하나의 스크라이빙 장치(A1)는, 제1 FTO 기판 및 제1 FTO 기판과 다른 평면적을 가지는 제2 FTO 기판 중 적어도 하나를 스크라이빙 하도록 구성될 수 있다.Specifically, the at least one scribing apparatus A1 may be configured to scribe at least one of the first FTO substrate and the second FTO substrate having a different planar area from the first FTO substrate.

예를 들어, 제1 FTO 기판의 평면적은 300 x 300 mm이고, 제2 FTO 기판의 평면적은 914 x 580 mm일 수 있다.For example, the planar area of the first FTO substrate may be 300 x 300 mm, and the planar area of the second FTO substrate may be 914 x 580 mm.

도 2는 본 발명의 실시예에 따른 스크라이빙 장치를 나타낸 사시도이다.2 is a perspective view showing a scribing apparatus according to an embodiment of the present invention.

도 2를 참조하면, 스크라이빙 장치(A1)는 레이저 가공 유닛(10), 카메라 유닛(20), 액추에이터 조립체(30), 스테이지 조립체(40) 및 지지 조립체(50)를 포함할 수 있다.Referring to FIG. 2 , the scribing device A1 may include a laser processing unit 10 , a camera unit 20 , an actuator assembly 30 , a stage assembly 40 , and a support assembly 50 .

도 3은 본 발명의 실시예에 따른 레이저 가공 유닛을 나타낸 사시도이다.3 is a perspective view showing a laser processing unit according to an embodiment of the present invention.

도 2 및 도 3을 참조하면, 레이저 가공 유닛(10)은, 레이저가 조사되도록 구성되는 레이저 발진부(11)와, 레이저 발진부(11)에서 조사되는 레이저를 제어하도록 구성되는 레이저 제어부(12)를 포함할 수 있다.2 and 3 , the laser processing unit 10 includes a laser oscillation unit 11 configured to be irradiated with a laser, and a laser control unit 12 configured to control the laser irradiated from the laser oscillation unit 11 . may include

예를 들어, 레이저 발진부(11)는 20W급 화이버 레이저(Fiber Laser)를 조사하도록 구성될 수 있다. 그리고, 레이저 발진부(11)는 미러(Mirror), 빔 확장부(Beam Expander), 튜브 렌즈(Tube Lens) 등을 포함할 수 있다. 레이저 제어부(12)는 레이저 발진부(11)와 통신 가능하고, 레이저 발진부(11)를 제어하여 조사되는 레이저의 출력 등과 같은 각종 파라미터를 설정할 수 있다.For example, the laser oscillation unit 11 may be configured to irradiate a 20W class fiber laser. In addition, the laser oscillation unit 11 may include a mirror, a beam expander, a tube lens, and the like. The laser control unit 12 may communicate with the laser oscillation unit 11 , and may control the laser oscillation unit 11 to set various parameters such as an output of the irradiated laser.

카메라 유닛(20)은 레이저 가공 유닛(10)의 일 측에 결합되고, 스크라이빙 가공되는 부위를 포커싱하여 실시간 촬영하도록 구성될 수 있다.The camera unit 20 is coupled to one side of the laser processing unit 10, and may be configured to focus a region to be scribing and photograph in real time.

이를 통해, 원거리에 배치된 작업자는 카메라 유닛(20)로부터 전송되는 실시간 영상 정보를 통하여 스크라이빙 공정상태는 물론, 스크라이빙 공정 후 FTO 기판(G)의 스크라이빙된 상태를 모니터링 할 수 있다.Through this, the operator disposed at a distance can monitor the scribing process state as well as the scribing state of the FTO substrate G after the scribing process through real-time image information transmitted from the camera unit 20. have.

도 4는 본 발명의 실시예에 따른 액추에이터 조립체를 나타낸 사시도이다.4 is a perspective view showing an actuator assembly according to an embodiment of the present invention.

도 2 및 도 4를 참조하면, 액추에이터 조립체(30)는 레이저 가공 유닛(10) 및 카메라 유닛(20)을 이동시키도록 구성될 수 있다.2 and 4 , the actuator assembly 30 may be configured to move the laser processing unit 10 and the camera unit 20 .

액추에이터 조립체(30)는, 제1 레일유닛(31), 제2 레일유닛(32), 제3 레일유닛(33) 및 제4 레일유닛(34)을 포함할 수 있다.The actuator assembly 30 may include a first rail unit 31 , a second rail unit 32 , a third rail unit 33 , and a fourth rail unit 34 .

제1 레일유닛(31)과 제2 레일유닛(32)은 동일한 구조를 가질 수 있다.The first rail unit 31 and the second rail unit 32 may have the same structure.

제2 레일유닛(32)은 스테이지 조립체(40)를 사이에 두고, 제1 방향(D1)을 따라 제1 레일유닛(31)에 대향 배치될 수 있다.The second rail unit 32 may be disposed to face the first rail unit 31 along the first direction D1 with the stage assembly 40 interposed therebetween.

제3 레일유닛(33)은 일부분은 제1 레일유닛(31)에 결합되고, 다른 일부분은 제2 레일유닛(32)에 결합되어 스테이지 조립체(40)의 상측에 배치되고, 제1 방향(D1)과 다른 제2 방향(D2)을 따라 일 측 또는 타 측으로 이동되도록 구성될 수 있다. 예를 들어, 제3 레일유닛(33)은 제1 레일유닛(31)과 제2 레일유닛(32)에 설치되어, 제1 레일유닛(31)과 제2 레일유닛(32)을 따라 이동 가능한 복수의 슬라이더와, 복수의 슬라이더에 지지되는 레일본체와, 복수의 슬라이더를 이동시키는 액추에이터 등을 포함할 수 있다. 그러나, 제3 레일유닛(33)은 반드시 이에 한정되는 것은 아니며, 다양한 형태로 구현될 수 있다.A part of the third rail unit 33 is coupled to the first rail unit 31, and the other part is coupled to the second rail unit 32 and disposed on the upper side of the stage assembly 40, in the first direction (D1). ) and may be configured to move to one side or the other along a different second direction D2. For example, the third rail unit 33 is installed on the first rail unit 31 and the second rail unit 32 , and is movable along the first rail unit 31 and the second rail unit 32 . It may include a plurality of sliders, a rail body supported by the plurality of sliders, and an actuator for moving the plurality of sliders. However, the third rail unit 33 is not necessarily limited thereto, and may be implemented in various forms.

제4 레일유닛(34)은 일부분은 제3 레일유닛(33)에 결합되어 제1 방향(D1)을 따라 일 측 또는 타 측으로 이동되고, 다른 일부분은 레이저 가공 유닛(10)에 결합되어 레이저 가공 유닛(10)을 제1 방향(D1) 및 제2 방향(D2)과 다른 제3 방향(D3)을 따라 일 측 또는 타 측으로 이동시키도록 구성될 수 있다. 예를 들어, 제4 레일유닛(34)은 제3 레일유닛(33)에 설치되어, 제3 레일유닛(33)을 따라 이동 가능한 제1 슬라이더와, 제1 슬라이더에 지지되는 승강 유닛과, 제1 슬라이더를 이동시키는 제1 액추에이터 등을 포함할 수 있다. 그리고, 승강 유닛은 제1 슬라이더에 결합되는 하우징과, 하우징에 수용되어 제3 방향(D3)과 나란히 배치되는 제2 레일 본체와, 제2 레일 본체에 설치되어 제2 레일 본체를 따라 이동 가능한 제2 슬라이더와, 제2 슬라이더에 설치되어 레이저 가공 유닛(10)을 지지하는 지지 브라켓과, 제2 슬라이더를 이동시키는 제2 액추에이터 등을 포함할 수 있다. 그러나, 제4 레일유닛(34)은 반드시 이에 한정되는 것은 아니며, 다양한 형태로 구현될 수 있다.The fourth rail unit 34 is partly coupled to the third rail unit 33 and moved to one side or the other side along the first direction D1, and the other part is coupled to the laser processing unit 10 for laser processing. The unit 10 may be configured to move to one side or the other along a third direction D3 different from the first direction D1 and the second direction D2. For example, the fourth rail unit 34 is installed on the third rail unit 33, a first slider movable along the third rail unit 33, a lifting unit supported by the first slider, 1 It may include a first actuator that moves the slider, and the like. The lifting unit includes a housing coupled to the first slider, a second rail body accommodated in the housing and arranged parallel to the third direction D3, and a second rail body installed on the second rail body and movable along the second rail body. It may include a second slider, a support bracket installed on the second slider to support the laser processing unit 10, and a second actuator for moving the second slider. However, the fourth rail unit 34 is not necessarily limited thereto, and may be implemented in various forms.

도 5는 본 발명의 실시예에 따른 액추에이터 조립체를 나타낸 사시도이고, 도 6은 본 발명의 실시예에 따른 액추에이터 조립체를 나타낸 저면 사시도이다.5 is a perspective view illustrating an actuator assembly according to an embodiment of the present invention, and FIG. 6 is a bottom perspective view illustrating an actuator assembly according to an embodiment of the present invention.

도 2, 도 5 및 도 6을 참조하면, 스테이지 조립체(40)는 FTO 기판(G)을 지지 및 고정시키도록 구성될 수 있다.2, 5, and 6, the stage assembly 40 may be configured to support and fix the FTO substrate (G).

스테이지 조립체(40)는 흡착 조립체(41), 팝업 유닛(42), 가이드 유닛(43), 정렬 유닛(44) 및 프로파일 지지체(45)를 포함할 수 있다.The stage assembly 40 may include an adsorption assembly 41 , a pop-up unit 42 , a guide unit 43 , an alignment unit 44 , and a profile support 45 .

흡착 조립체(41)는 상면에 안착된 FTO 기판(G)을 흡착하여 고정시키도록 구성될 수 있다.The adsorption assembly 41 may be configured to adsorb and fix the FTO substrate G seated on the upper surface.

흡착 조립체(41)는, 지지 조립체(50)의 상면에 배치되는 복수의 서포터(411), 복수의 서포터(411)에 지지되어 지지 조립체(50)로부터 이격 배치되고, 복수의 핀 유동홀(4121)을 가지는 흡착 베이스 플레이트(412), 흡착 베이스 플레이트(412)의 상면에 배치되고, FTO 기판(G)의 저면을 지지 및 흡착하도록 구성되는 복수의 진공 흡착 유닛(413) 및 흡착 베이스 플레이트(412)의 상면에 배치되고, 정렬 유닛(44)에 대향되는 위치에서 정렬 유닛(44)에 가압되는 FTO 기판(G)의 다른 가장자리를 지지하도록 구성되는 정렬 핀(414)을 포함할 수 있다.The adsorption assembly 41 is provided with a plurality of supporters 411 disposed on the upper surface of the support assembly 50 , supported by the plurality of supporters 411 and spaced apart from the support assembly 50 , and a plurality of pin flow holes 4121 . ) having an adsorption base plate 412, a plurality of vacuum adsorption units 413 and an adsorption base plate 412 disposed on the upper surface of the adsorption base plate 412 and configured to support and adsorb the bottom surface of the FTO substrate G ) and may include an alignment pin 414 configured to support the other edge of the FTO substrate G that is disposed on the upper surface of the alignment unit 44 and is pressed to the alignment unit 44 at a position opposite to the alignment unit 44 .

도 7은 본 발명의 실시예에 따른 진공 흡착 유닛을 나타낸 사시도이다.7 is a perspective view showing a vacuum adsorption unit according to an embodiment of the present invention.

도 7을 참조하면, 복수의 진공 흡착 유닛(413)은 각각, 하부 플레이트(4131), 상부 플레이트(4132), 흡입노즐(N), 복수의 클램프(4133) 및 실부재(S)를 포함할 수 있다.Referring to FIG. 7 , the plurality of vacuum adsorption units 413 may include a lower plate 4131 , an upper plate 4132 , a suction nozzle N, a plurality of clamps 4133 and a seal member S, respectively. can

하부 플레이트(4131)는 흡착 베이스 플레이트(412)의 상면에 배치되고, 상면에 소정 깊이 함몰된 챔버(C)를 가질 수 있다.The lower plate 4131 may be disposed on the upper surface of the adsorption base plate 412 and may have a chamber C recessed to a predetermined depth in the upper surface.

상부 플레이트(4132)는 하부 플레이트(4131)의 상면에 배치되고, 상면에 FTO 기판(G)이 지지되며, 챔버(C)와 연통되어 FTO 기판(G)의 저면을 흡착하는 복수의 흡착홀(H)을 가질 수 있다.The upper plate 4132 is disposed on the upper surface of the lower plate 4131, the FTO substrate G is supported on the upper surface, and communicates with the chamber C to adsorb the bottom surface of the FTO substrate G. A plurality of adsorption holes ( H) can have.

흡입노즐(N)은 하부 플레이트(4131)를 관통하여 챔버(C)와 연통되고, 챔버(C)의 내부를 진공상태로 형성하여 복수의 흡착홀(H)에 흡입력을 발생시키도록 구성될 수 있다.The suction nozzle (N) passes through the lower plate (4131) and communicates with the chamber (C), and forms the inside of the chamber (C) in a vacuum state to generate suction force in the plurality of suction holes (H). have.

복수의 클램프(4133)는 하부 플레이트(4131)에 설치되어 상부 플레이트(4132)를 고정시키도록 구성될 수 있다.The plurality of clamps 4133 may be installed on the lower plate 4131 to fix the upper plate 4132 .

실부재(S)는 하부 플레이트(4131)와 상부 플레이트(4132) 사이에 배치되어 챔버(C)를 밀폐시키도록 구성될 수 있다.The seal member S may be disposed between the lower plate 4131 and the upper plate 4132 to seal the chamber C.

여기서, 챔버(C)는, 제1 챔버(C1) 및 제1 챔버(C1)와 분리된 제2 챔버(C2)를 포함하고, 복수의 흡착홀(H)은, 제1 챔버(C1)와 연통되는 제1 흡착홀들(H1)과, 제2 챔버(C2)와 연통되는 제2 흡착홀들(H2)을 포함할 수 있다. 그리고, 흡입노즐(N)은, 제1 챔버(C1)와 연통되는 제1 흡입노즐(N1)과, 제2 챔버(C2)와 연통되는 제2 흡입노즐(N2)을 포함하고, 실부재(S)는, 제1 챔버(C1)를 밀폐시키는 제1 실부재(S1)와, 제2 챔버(C2)를 밀폐시키는 제2 실부재(S2)를 포함할 수 있다.Here, the chamber (C) includes a first chamber (C1) and a second chamber (C2) separated from the first chamber (C1), the plurality of adsorption holes (H), the first chamber (C1) and It may include first adsorption holes H1 communicating with each other and second adsorption holes H2 communicating with the second chamber C2. The suction nozzle (N) includes a first suction nozzle (N1) communicating with the first chamber (C1) and a second suction nozzle (N2) communicating with the second chamber (C2), and the seal member ( S) may include a first sealing member S1 for sealing the first chamber C1 and a second sealing member S2 for sealing the second chamber C2.

도 8은 본 발명의 실시예에 따른 팝업 유닛을 나타낸 사시도이다.8 is a perspective view illustrating a pop-up unit according to an embodiment of the present invention.

도 6 및 도 8을 참조하면, 팝업 유닛(42)은 흡착 조립체(41)의 하측에 승강 가능하게 배치되어 FTO 기판(G)을 흡착 조립체(41)의 상면에 안착시키거나, 흡착 조립체(41)의 상면에 안착된 FTO 기판(G)을 흡착 조립체(41)로부터 분리시키도록 구성될 수 있다.6 and 8 , the pop-up unit 42 is arranged to be elevating on the lower side of the adsorption assembly 41 to seat the FTO substrate G on the upper surface of the adsorption assembly 41, or the adsorption assembly 41 ) may be configured to separate the FTO substrate (G) seated on the upper surface of the adsorption assembly (41).

팝업 유닛(42)은, 실린더 유닛(421), 승강 프레임 조립체(422) 및 복수의 리프트 핀(423)을 포함할 수 있다.The pop-up unit 42 may include a cylinder unit 421 , a lifting frame assembly 422 , and a plurality of lift pins 423 .

실린더 유닛(421)은 지지 조립체(50)에 수용 및 지지되고, 제3 방향(D3)을 따라 신축되도록 구성될 수 있다.The cylinder unit 421 may be accommodated and supported in the support assembly 50 , and may be configured to expand and contract along the third direction D3 .

승강 프레임 조립체(422)는 실린더 유닛(421)에 결합되고, 실린더 유닛(421)에 의해 승강되도록 구성될 수 있다.The lifting frame assembly 422 may be coupled to the cylinder unit 421 and configured to be lifted by the cylinder unit 421 .

복수의 리프트 핀(423)은 승강 프레임 조립체(422)에 결합되어 승강되고, 복수의 핀 유동홀(4121)을 통해 흡착 베이스 플레이트(412)의 상부로 돌출되면서 FTO 기판(G)을 지지하도록 구성될 수 있다.The plurality of lift pins 423 are coupled to the lift frame assembly 422 to be lifted, and configured to support the FTO substrate G while protruding to the upper portion of the suction base plate 412 through the plurality of pin flow holes 4121 can be

도 9는 본 발명의 실시예에 따른 가이드 유닛을 나타낸 사시도이다.9 is a perspective view showing a guide unit according to an embodiment of the present invention.

도 5 및 도 9를 참조하면, 가이드 유닛(43)은 흡착 조립체(41)의 둘레에 승강 가능하게 배치되고, 팝업 유닛(42)에 지지되어 흡착 조립체(41)로부터 이격된 FTO 기판(G)의 가장자리를 지지하도록 구성될 수 있다.5 and 9, the guide unit 43 is arranged so as to be elevating around the adsorption assembly 41, supported by the pop-up unit 42 and spaced apart from the adsorption assembly 41 FTO substrate (G) may be configured to support the edge of the

가이드 유닛(43)은, 프로파일 지지체(45)에 결합되는 가이드 지지 블록(431)과, 가이드 지지 블록(431)에 결합되어 FTO 기판(G)의 상면에 대하여 경사지게 배치되고, 신축되도록 구성되는 가이드 실린더(432)와, 가이드 실린더(432)에 결합되고, 신축되는 가이드 실린더(432)에 의해 이동되면서 FTO 기판(G)의 가장자리를 지지하도록 구성되는 가이드 블록 조립체(433)를 포함할 수 있다.The guide unit 43, the guide support block 431 coupled to the profile support 45, is coupled to the guide support block 431 is disposed inclined with respect to the upper surface of the FTO substrate (G), a guide configured to expand and contract The cylinder 432 and the guide block assembly 433 coupled to the guide cylinder 432 and configured to support the edge of the FTO substrate G while being moved by the expanding and contracting guide cylinder 432 may be included.

도 10은 본 발명의 실시예에 따른 정렬 유닛을 나타낸 사시도이다.10 is a perspective view showing an alignment unit according to an embodiment of the present invention.

도 5 및 도 10을 참조하면, 정렬 유닛(44)은 흡착 조립체(41)의 둘레에 배치되고, FTO 기판(G)이 흡착 조립체(41)의 상면에 안착되면 FTO 기판(G)의 가장자리를 제1 방향(D1) 및 제2 방향(D2)으로 가압하여 FTO 기판(G)의 중심을 흡착 조립체(41)의 중심에 정렬시키도록 구성될 수 있다.5 and 10, the alignment unit 44 is disposed on the periphery of the adsorption assembly 41, when the FTO substrate (G) is seated on the upper surface of the adsorption assembly 41, the edge of the FTO substrate (G) It may be configured to align the center of the FTO substrate G with the center of the adsorption assembly 41 by pressing in the first direction D1 and the second direction D2 .

정렬 유닛(44)은, 프로파일 지지체(45)에 결합되는 정렬 지지 블록(441)과, 정렬 지지 블록(441)에 결합되고, 신축되도록 구성되는 정렬 실린더(442)와, 정렬 실린더(442)에 결합되고, 정렬 실린더(442)에 의해 이동되는 제1 정렬 브라켓(443)과, 제1 정렬 브라켓(443)에 결합되고, 제1 정렬 브라켓(443)에 의해 이동되는 복수의 축부재(444)와, 복수의 축부재(444)에 결합되고, 복수의 축부재(444)의 외면을 따라 이동 가능한 제2 정렬 브라켓(445)과, 복수의 축부재(444)에 결합되어 제1 정렬 브라켓(443)과 제2 정렬 브라켓(445) 사이에 배치되고, 제2 정렬 브라켓(445)을 탄성적으로 지지하도록 구성되는 복수의 탄성부재(446)와, 제2 정렬 브라켓(445)에 결합되고, FTO 기판(G)의 가장자리를 지지하도록 구성되는 지지롤러(447)를 포함할 수 있다.The alignment unit 44 includes an alignment support block 441 coupled to the profile support 45 , an alignment cylinder 442 coupled to the alignment support block 441 and configured to expand and contract, and an alignment cylinder 442 . A plurality of shaft members 444 coupled to the first alignment bracket 443 and moved by the alignment cylinder 442, coupled to the first alignment bracket 443, and moved by the first alignment bracket 443. And, a second alignment bracket 445 coupled to the plurality of shaft members 444 and movable along the outer surfaces of the plurality of shaft members 444, and a first alignment bracket coupled to the plurality of shaft members 444 ( 443) and a plurality of elastic members 446 disposed between the second alignment bracket 445 and configured to elastically support the second alignment bracket 445, and coupled to the second alignment bracket 445, It may include a support roller 447 configured to support the edge of the FTO substrate (G).

도 2 및 도 5를 참조하면, 프로파일 지지체(45)는 지지 조립체(50)에 배치되어 가이드 유닛(43) 및 정렬 유닛(44)을 지지하도록 구성될 수 있다.2 and 5 , the profile support 45 may be configured to be disposed on the support assembly 50 to support the guide unit 43 and the alignment unit 44 .

도 11은 본 발명의 실시예에 따른 스테이지 조립체, 가이드 유닛 및 정렬 유닛을 나타낸 평면도이다.11 is a plan view illustrating a stage assembly, a guide unit, and an alignment unit according to an embodiment of the present invention.

도 11을 참조하면, 가이드 유닛(43), 정렬 유닛(44) 및 프로파일 지지체(45)는 스테이지 조립체(40)의 둘레에 복수로 배치될 수 있다.Referring to FIG. 11 , the guide unit 43 , the alignment unit 44 , and the profile support 45 may be arranged in plurality around the stage assembly 40 .

구체적으로, 가이드 유닛(43)은, FTO 기판(G)의 일부분을 지지하도록 구성되는 제1 가이드 유닛(43A), FTO 기판(G)의 다른 일부분을 지지하도록 구성되는 제2 가이드 유닛(43B) 및 FTO 기판(G)의 또 다른 일부분을 지지하도록 구성되는 제3 가이드 유닛(43C)을 포함할 수 있다. 그리고, 정렬 유닛(44)은, FTO 기판(G)의 일부분을 제1 방향(D1)으로 가압하도록 구성되는 제1 정렬 유닛(44A), FTO 기판(G)의 다른 일부분을 제2 방향(D2)으로 가압하도록 구성되는 제2 정렬 유닛(44B) 및 FTO 기판(G)의 또 다른 일부분을 제2 방향(D2)으로 가압하도록 구성되는 제3 정렬 유닛(44C)을 포함할 수 있다. 그리고, 프로파일 지지체(45)는, 제1 가이드 유닛(43A)과 제1 정렬 유닛(44A)을 지지하도록 구성되는 제1 프로파일 지지체(45A), 제2 가이드 유닛(43B)과 제2 정렬 유닛(44B)을 지지하도록 구성되는 제2 프로파일 지지체(45B) 및 제3 가이드 유닛(43C)과 제3 정렬 유닛(44C)을 지지하도록 구성되는 제3 프로파일 지지체(45C)를 포함할 수 있다.Specifically, the guide unit 43 includes a first guide unit 43A configured to support a portion of the FTO substrate G, and a second guide unit 43B configured to support another portion of the FTO substrate G. And it may include a third guide unit (43C) configured to support another portion of the FTO substrate (G). And, the alignment unit 44, the first alignment unit 44A, configured to press a portion of the FTO substrate G in the first direction D1, the other portion of the FTO substrate G in the second direction D2 ) may include a second alignment unit 44B configured to press and a third alignment unit 44C configured to press another portion of the FTO substrate G in the second direction D2. And, the profile support 45 includes a first profile support 45A, a second guide unit 43B and a second alignment unit configured to support the first guide unit 43A and the first alignment unit 44A ( a second profile support 45B configured to support 44B and a third profile support 45C configured to support a third guide unit 43C and a third alignment unit 44C.

한편, 도면에는 구체적으로 도시되지 않았으나, 스테이지 조립체(40)는 복수의 화이버 센서를 더 포함할 수 있다.Meanwhile, although not specifically illustrated in the drawings, the stage assembly 40 may further include a plurality of fiber sensors.

도 12는 본 발명의 실시예에 따른 스크라이빙 장치를 나타낸 저면 사시도이다.12 is a bottom perspective view showing a scribing apparatus according to an embodiment of the present invention.

도 2 및 도 12를 참조하면, 지지 조립체(50)는 지면에 설치되어 액추에이터 조립체(30) 및 스테이지 조립체(40)를 지지하고, 진동을 차단하도록 구성될 수 있다.2 and 12 , the support assembly 50 may be installed on the ground to support the actuator assembly 30 and the stage assembly 40 and may be configured to block vibration.

지지 조립체(50)는, 스테이지 조립체(40)를 지지하는 화강암 재질의 베이스(51), 베이스(51)의 상면에 배치되고, 액추에이터 조립체(30)를 지지하도록 구성되는 사이드 프레임 조립체(52), 베이스(51)의 하면에 배치되는 복수의 방진 조립체(53), 복수의 방진 조립체(53)의 저면에 결합되는 복수의 수직 프레임(54), 복수의 수직 프레임(54)을 연결 및 지지하는 복수의 제1 수평 프레임(55), 복수의 제1 수평 프레임(55)을 연결 및 지지하는 복수의 제2 수평 프레임(56) 및 복수의 수직 프레임(54)에 결합되어 지면에 지지되는 복수의 지지체(57)를 포함할 수 있다.The support assembly 50 includes a base 51 made of granite for supporting the stage assembly 40, a side frame assembly 52 disposed on the upper surface of the base 51, and configured to support the actuator assembly 30, A plurality of vibration-proof assemblies 53 disposed on the lower surface of the base 51 , a plurality of vertical frames 54 coupled to the bottom surfaces of the plurality of vibration-proof assemblies 53 , and a plurality of connecting and supporting the plurality of vertical frames 54 . of the first horizontal frame 55, a plurality of second horizontal frames 56 for connecting and supporting the plurality of first horizontal frames 55, and a plurality of supports coupled to the plurality of vertical frames 54 and supported on the ground (57) may be included.

이처럼 본 발명의 실시예에 따르면, 대면적 FTO 기판(G)의 스크라이빙이 가능함은 물론, FTO 기판(G)을 안정적으로 지지 및 고정한 상태로 스크라이빙이 가능할 수 있다.As such, according to an embodiment of the present invention, scribing of the large-area FTO substrate (G) is possible, as well as scribing in a state in which the FTO substrate (G) is stably supported and fixed.

또한, 실시간 원격 모니터링 및 실시간 원격 제어가 가능하여 인건비를 절감할 수 있음은 물론, 스크라이빙 품질 안정성을 확보할 수 있다.In addition, real-time remote monitoring and real-time remote control are possible to reduce labor costs and secure scribing quality stability.

이상에서는 본 발명의 바람직한 실시예에 대하여 도시하고 설명하였지만, 본 발명은 상술한 특정의 실시예에 한정되지 아니하며, 청구범위에서 청구하는 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 당해 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 다양한 변형실시가 가능한 것은 물론이고, 이러한 변형실시들은 본 발명의 기술적 사상이나 전망으로부터 개별적으로 이해되어져서는 안 될 것이다.In the above, preferred embodiments of the present invention have been illustrated and described, but the present invention is not limited to the specific embodiments described above, and it is common in the technical field to which the present invention pertains without departing from the gist of the present invention as claimed in the claims. Various modifications are possible by those having the knowledge of, of course, and these modifications should not be individually understood from the technical spirit or prospect of the present invention.

A. 스크라이빙 장비 A1. 스크라이빙 장치
10. 레이저 가공 유닛 11. 레이저 발진부
12. 레이저 제어부 20. 카메라 유닛
30. 액추에이터 조립체 31. 제1 레일유닛
32. 제2 레일유닛 33. 제3 레일유닛
34. 제4 레일유닛 40. 스테이지 조립체
41. 흡착 조립체 411. 복수의 서포터
412. 흡착 베이스 플레이트 4121. 복수의 핀 유동홀
413. 복수의 진공 흡착 유닛 4131. 하부 플레이트
C. 챔버 C1. 제1 챔버
C2. 제2 챔버 4132. 상부 플레이트
H. 복수의 흡착홀 H1. 제1 흡착홀들
H2. 제2 흡착홀들 N. 흡입노즐
N1. 제1 흡입노즐 N2. 제2 흡입노즐
4133. 복수의 클램프 S. 실부재
S1. 제1 실부재 S2. 제2 실부재
414. 정렬 핀 42. 팝업 유닛
421. 실린더 유닛 422. 승강 프레임 조립체
423. 복수의 리프트 핀 43. 가이드 유닛
43A. 제1 가이드 유닛 43B. 제2 가이드 유닛
43C. 제3 가이드 유닛 431. 가이드 지지 블록
432. 가이드 실린더 433. 가이드 블록 조립체
44. 정렬 유닛 44A. 제1 정렬 유닛
44B. 제2 정렬 유닛 44C. 제3 정렬 유닛
441. 정렬 지지 블록 442. 정렬 실린더
443. 제1 정렬 브라켓 444. 복수의 축부재
445. 제2 정렬 브라켓 446. 복수의 탄성부재
447. 지지롤러 45. 프로파일 지지체
45A. 제1 프로파일 지지체 45B. 제2 프로파일 지지체
45C. 제3 프로파일 지지체 50. 지지 조립체
51. 베이스 52. 사이드 프레임 조립체
53. 복수의 방진 조립체 54. 복수의 수직 프레임
55. 복수의 제1 수평 프레임 56. 복수의 제2 수평 프레임
57. 복수의 지지체 A2. 제어장치
G. FTO 기판 D1. 제1 방향
D2. 제2 방향 D3. 제3 방향A. Scribing Equipment A1. scribing device
10. Laser processing unit 11. Laser oscillation unit
12. Laser control unit 20. Camera unit
30. Actuator assembly 31. First rail unit
32. 2nd rail unit 33. 3rd rail unit
34. Fourth rail unit 40. Stage assembly
41. Adsorption assembly 411. Multiple supporters
412. Adsorption base plate 4121. Multiple pin flow holes
413. A plurality of vacuum adsorption units 4131. Bottom plate
C. Chamber C1. first chamber
C2. Second chamber 4132. Top plate
H. A plurality of adsorption holes H1. first adsorption holes
H2. Second suction holes N. Suction nozzle
N1. 1st suction nozzle N2. 2nd suction nozzle
4133. A plurality of clamps S. Seal member
S1. First seal member S2. second seal member
414. Alignment pin 42. Pop-up unit
421. Cylinder unit 422. Elevating frame assembly
423. Multiple lift pins 43. Guide unit
43A. First guide unit 43B. second guide unit
43C. Third guide unit 431. Guide support block
432. Guide cylinder 433. Guide block assembly
44. Alignment unit 44A. first alignment unit
44B. second alignment unit 44C. third alignment unit
441. Alignment Support Block 442. Alignment Cylinder
443. First alignment bracket 444. A plurality of shaft members
445. Second alignment bracket 446. A plurality of elastic members
447. Support roller 45. Profile support
45A. First profile support 45B. second profile support
45C. Third Profile Support 50. Support Assembly
51. Base 52. Side Frame Assembly
53. Multiple Anti-vibration Assemblies 54. Multiple Vertical Frames
55. First plurality of horizontal frames 56. Second plurality of horizontal frames
57. A plurality of supports A2. control unit
G. FTO substrate D1. first direction
D2. second direction D3. 3rd direction

Claims (10)

적어도 하나의 스크라이빙 장치(A1); 및
상기 적어도 하나의 스크라이빙 장치(A1)와 통신하여, 상기 적어도 하나의 스크라이빙 장치(A1)를 원격 모니터링 및 원격 제어하도록 구성되는 제어장치(A2);를 포함하고,
상기 적어도 하나의 스크라이빙 장치(A1)는, 레이저를 이용하여 FTO(Fluorine-doped Tin Oxide) 기판(G)을 스크라이빙 하도록 구성되며,
상기 스크라이빙 장치(A1)는,
레이저 가공 유닛(10),
스크라이빙 가공되는 부위를 포커싱하여 실시간 촬영하도록 구성되는 카메라 유닛(20),
상기 레이저 가공 유닛(10) 및 상기 카메라 유닛(20)을 이동시키도록 구성되는 액추에이터 조립체(30),
상기 FTO 기판(G)을 지지 및 고정시키도록 구성되는 스테이지 조립체(40), 및
지면에 설치되어 상기 액추에이터 조립체(30) 및 상기 스테이지 조립체(40)를 지지하고, 진동을 차단하도록 구성되는 지지 조립체(50)를 포함하고,
상기 액추에이터 조립체(30)는,
제1 레일유닛(31),
상기 스테이지 조립체(40)를 사이에 두고, 제1 방향(D1)을 따라 상기 제1 레일유닛(31)에 대향 배치되는 제2 레일유닛(32),
일부분은 상기 제1 레일유닛(31)에 결합되고, 다른 일부분은 상기 제2 레일유닛(32)에 결합되어 상기 스테이지 조립체(40)의 상측에 배치되고, 상기 제1 방향(D1)과 다른 제2 방향(D2)을 따라 일 측 또는 타 측으로 이동되도록 구성되는 제3 레일유닛(33), 및
일부분은 상기 제3 레일유닛(33)에 결합되어 상기 제1 방향(D1)을 따라 일 측 또는 타 측으로 이동되고, 다른 일부분은 상기 레이저 가공 유닛(10)에 결합되어 상기 레이저 가공 유닛(10)을 상기 제1 방향(D1) 및 상기 제2 방향(D2)과 다른 제3 방향(D3)을 따라 일 측 또는 타 측으로 이동시키도록 구성되는 제4 레일유닛(34)을 포함하며,
상기 스테이지 조립체(40)는,
상면에 안착된 상기 FTO 기판(G)을 흡착하여 고정시키도록 구성되는 흡착 조립체(41),
상기 흡착 조립체(41)의 하측에 승강 가능하게 배치되어 상기 FTO 기판(G)을 상기 흡착 조립체(41)의 상면에 안착시키거나, 상기 흡착 조립체(41)의 상면에 안착된 상기 FTO 기판(G)을 상기 흡착 조립체(41)로부터 분리시키도록 구성되는 팝업 유닛(42),
상기 흡착 조립체(41)의 둘레에 승강 가능하게 배치되고, 상기 팝업 유닛(42)에 지지되어 상기 흡착 조립체(41)로부터 이격된 상기 FTO 기판(G)의 가장자리를 지지하도록 구성되는 가이드 유닛(43),
상기 흡착 조립체(41)의 둘레에 배치되고, 상기 FTO 기판(G)이 상기 흡착 조립체(41)의 상면에 안착되면 상기 FTO 기판(G)의 가장자리를 상기 제1 방향(D1) 및 상기 제2 방향(D2)으로 가압하여 상기 FTO 기판(G)의 중심을 상기 흡착 조립체(41)의 중심에 정렬시키도록 구성되는 정렬 유닛(44), 및
상기 지지 조립체(50)에 배치되어 상기 가이드 유닛(43) 및 상기 정렬 유닛(44)을 지지하도록 구성되는 프로파일 지지체(45)를 포함하는 스마트공정관리 기능구현이 가능한 FTO 유리 레이저 스크라이빙 장비(A).
at least one scribing device A1; and
a control device (A2) in communication with the at least one scribing device (A1), configured to remotely monitor and remotely control the at least one scribing device (A1);
The at least one scribing device (A1) is configured to scribe a fluorine-doped tin oxide (FTO) substrate (G) using a laser,
The scribing device (A1),
laser processing unit (10);
A camera unit 20 configured to focus on a region to be scribing and photograph in real time;
an actuator assembly 30 configured to move the laser processing unit 10 and the camera unit 20;
a stage assembly 40 configured to support and fix the FTO substrate G; and
a support assembly (50) installed on the ground to support the actuator assembly (30) and the stage assembly (40), and configured to block vibration;
The actuator assembly 30,
The first rail unit 31,
A second rail unit 32 disposed opposite to the first rail unit 31 in a first direction D1 with the stage assembly 40 interposed therebetween;
A part is coupled to the first rail unit 31 , and the other part is coupled to the second rail unit 32 and disposed on the upper side of the stage assembly 40 , and a second direction different from the first direction D1 . The third rail unit 33 configured to move to one side or the other side along the two directions D2, and
A part is coupled to the third rail unit 33 and moved to one side or the other side along the first direction D1, and the other part is coupled to the laser processing unit 10 and the laser processing unit 10 and a fourth rail unit 34 configured to move to one side or the other side along a third direction D3 different from the first direction D1 and the second direction D2,
The stage assembly 40,
Adsorption assembly 41 configured to adsorb and fix the FTO substrate (G) seated on the upper surface;
The FTO substrate (G) disposed on the lower side of the adsorption assembly 41 to be lifted and seated on the upper surface of the adsorption assembly 41 or the FTO substrate G seated on the upper surface of the adsorption assembly 41 ) a pop-up unit (42) configured to separate the adsorption assembly (41);
A guide unit 43 , which is vertically disposed around the adsorption assembly 41 , is supported by the pop-up unit 42 and configured to support an edge of the FTO substrate G spaced apart from the adsorption assembly 41 . ),
It is disposed on the periphery of the adsorption assembly 41, and when the FTO substrate G is seated on the upper surface of the adsorption assembly 41, the edges of the FTO substrate G are moved in the first direction D1 and the second direction. an alignment unit 44 configured to align the center of the FTO substrate G with the center of the adsorption assembly 41 by pressing in the direction D2, and
FTO glass laser scribing equipment ( A).
 제1항에 있어서,
상기 적어도 하나의 스크라이빙 장치(A1)는,
제1 FTO 기판 및 상기 제1 FTO 기판과 다른 평면적을 가지는 제2 FTO 기판 중 적어도 하나를 스크라이빙 하도록 구성되고,
상기 제1 FTO 기판의 평면적은 300 x 300 mm이고,
상기 제2 FTO 기판의 평면적은 914 x 580 mm인, 스마트공정관리 기능구현이 가능한 FTO 유리 레이저 스크라이빙 장비(A).
According to claim 1,
The at least one scribing device (A1),
and scribing at least one of a first FTO substrate and a second FTO substrate having a different planar area than the first FTO substrate;
The first FTO substrate has a planar area of 300 x 300 mm,
The flat area of the second FTO substrate is 914 x 580 mm, FTO glass laser scribing equipment (A) capable of implementing a smart process management function.
 삭제delete 제1항에 있어서,
상기 레이저 가공 유닛(10)은,
레이저가 조사되도록 구성되는 레이저 발진부(11); 및
상기 레이저 발진부(11)에서 조사되는 레이저를 제어하도록 구성되는 레이저 제어부(12);를 포함하는 스마트공정관리 기능구현이 가능한 FTO 유리 레이저 스크라이빙 장비(A).
According to claim 1,
The laser processing unit 10,
a laser oscillation unit 11 configured to irradiate a laser; and
A laser control unit 12 configured to control the laser irradiated from the laser oscillation unit 11; FTO glass laser scribing equipment (A) capable of implementing a smart process management function, including.
 삭제delete 제1항에 있어서,
상기 흡착 조립체(41)는,
상기 지지 조립체(50)의 상면에 배치되는 복수의 서포터(411);
상기 복수의 서포터(411)에 지지되어 상기 지지 조립체(50)로부터 이격 배치되고, 복수의 핀 유동홀(4121)을 가지는 흡착 베이스 플레이트(412);
상기 흡착 베이스 플레이트(412)의 상면에 배치되고, 상기 FTO 기판(G)의 저면을 지지 및 흡착하도록 구성되는 복수의 진공 흡착 유닛(413); 및
상기 흡착 베이스 플레이트(412)의 상면에 배치되고, 상기 정렬 유닛(44)에 대향되는 위치에서 상기 정렬 유닛(44)에 가압되는 상기 FTO 기판(G)의 다른 가장자리를 지지하도록 구성되는 정렬 핀(414);을 포함하고,
상기 복수의 진공 흡착 유닛(413)은 각각,
상기 흡착 베이스 플레이트(412)의 상면에 배치되고, 상면에 소정 깊이 함몰된 챔버(C)를 가지는 하부 플레이트(4131);
상기 하부 플레이트(4131)의 상면에 배치되고, 상면에 상기 FTO 기판(G)이 지지되며, 상기 챔버(C)와 연통되어 상기 FTO 기판(G)의 저면을 흡착하는 복수의 흡착홀(H)을 가지는 상부 플레이트(4132);
상기 하부 플레이트(4131)를 관통하여 상기 챔버(C)와 연통되고, 상기 챔버(C)의 내부를 진공상태로 형성하여 상기 복수의 흡착홀(H)에 흡입력을 발생시키도록 구성되는 흡입노즐(N);
상기 하부 플레이트(4131)에 설치되어 상기 상부 플레이트(4132)를 고정시키도록 구성되는 복수의 클램프(4133); 및
상기 하부 플레이트(4131)와 상기 상부 플레이트(4132) 사이에 배치되어 상기 챔버(C)를 밀폐시키도록 구성되는 실부재(S);를 포함하는 스마트공정관리 기능구현이 가능한 FTO 유리 레이저 스크라이빙 장비(A).
According to claim 1,
The adsorption assembly 41,
a plurality of supporters 411 disposed on the upper surface of the support assembly 50;
an adsorption base plate 412 supported by the plurality of supporters 411 and spaced apart from the support assembly 50 and having a plurality of pin flow holes 4121;
a plurality of vacuum adsorption units 413 disposed on the upper surface of the adsorption base plate 412 and configured to support and adsorb the bottom surface of the FTO substrate (G); and
An alignment pin ( 414); including;
The plurality of vacuum adsorption units 413 are each,
a lower plate 4131 disposed on the upper surface of the adsorption base plate 412 and having a chamber C recessed to a predetermined depth in the upper surface;
A plurality of adsorption holes (H) disposed on the upper surface of the lower plate 4131 , the FTO substrate G is supported on the upper surface, and communicating with the chamber C to adsorb the lower surface of the FTO substrate G an upper plate 4132 having;
A suction nozzle ( N);
a plurality of clamps 4133 installed on the lower plate 4131 and configured to fix the upper plate 4132; and
FTO glass laser scribing capable of implementing a smart process management function including; a seal member (S) disposed between the lower plate (4131) and the upper plate (4132) and configured to seal the chamber (C) Equipment (A).
 제6항에 있어서,
상기 챔버(C)는, 제1 챔버(C1) 및 상기 제1 챔버(C1)와 분리된 제2 챔버(C2)를 포함하고,
상기 복수의 흡착홀(H)은, 상기 제1 챔버(C1)와 연통되는 제1 흡착홀들(H1)과, 상기 제2 챔버(C2)와 연통되는 제2 흡착홀들(H2)을 포함하며,
상기 흡입노즐(N)은, 상기 제1 챔버(C1)와 연통되는 제1 흡입노즐(N1)과, 상기 제2 챔버(C2)와 연통되는 제2 흡입노즐(N2)을 포함하고,
상기 실부재(S)는, 상기 제1 챔버(C1)를 밀폐시키는 제1 실부재(S1)와, 상기 제2 챔버(C2)를 밀폐시키는 제2 실부재(S2)를 포함하는, 스마트공정관리 기능구현이 가능한 FTO 유리 레이저 스크라이빙 장비(A).
7. The method of claim 6,
The chamber (C) includes a first chamber (C1) and a second chamber (C2) separated from the first chamber (C1),
The plurality of adsorption holes H include first adsorption holes H1 communicating with the first chamber C1 and second adsorption holes H2 communicating with the second chamber C2. and
The suction nozzle (N) includes a first suction nozzle (N1) communicating with the first chamber (C1), and a second suction nozzle (N2) communicating with the second chamber (C2),
The sealing member (S), a smart process comprising a first sealing member (S1) sealing the first chamber (C1), and a second sealing member (S2) sealing the second chamber (C2) FTO glass laser scribing equipment (A) capable of realizing management functions.
 제6항에 있어서,
상기 팝업 유닛(42)은,
상기 지지 조립체(50)에 수용 및 지지되고, 상기 제3 방향(D3)을 따라 신축되도록 구성되는 실린더 유닛(421);
상기 실린더 유닛(421)에 결합되고, 상기 실린더 유닛(421)에 의해 승강되도록 구성되는 승강 프레임 조립체(422); 및
상기 승강 프레임 조립체(422)에 결합되어 승강되고, 상기 복수의 핀 유동홀(4121)을 통해 상기 흡착 베이스 플레이트(412)의 상부로 돌출되면서 상기 FTO 기판(G)을 지지하도록 구성되는 복수의 리프트 핀(423);을 포함하고,
상기 가이드 유닛(43)은,
상기 프로파일 지지체(45)에 결합되는 가이드 지지 블록(431);
상기 가이드 지지 블록(431)에 결합되어 상기 FTO 기판(G)의 상면에 대하여 경사지게 배치되고, 신축되도록 구성되는 가이드 실린더(432); 및
상기 가이드 실린더(432)에 결합되고, 신축되는 상기 가이드 실린더(432)에 의해 이동되면서 상기 FTO 기판(G)의 가장자리를 지지하도록 구성되는 가이드 블록 조립체(433);를 포함하는 스마트공정관리 기능구현이 가능한 FTO 유리 레이저 스크라이빙 장비(A).
7. The method of claim 6,
The pop-up unit 42,
a cylinder unit 421 accommodated and supported in the support assembly 50 and configured to expand and contract along the third direction D3;
a lifting frame assembly 422 coupled to the cylinder unit 421 and configured to be lifted by the cylinder unit 421; and
A plurality of lifts coupled to the lifting frame assembly 422 and elevating, and configured to support the FTO substrate G while protruding to the upper portion of the adsorption base plate 412 through the plurality of pin flow holes 4121 a pin 423; including;
The guide unit 43,
a guide support block 431 coupled to the profile support 45;
a guide cylinder 432 coupled to the guide support block 431 and arranged to be inclined with respect to the upper surface of the FTO substrate (G) and configured to expand and contract; and
A guide block assembly 433 coupled to the guide cylinder 432 and configured to support the edge of the FTO substrate G while being moved by the expanding and contracting guide cylinder 432; implementing a smart process management function including; FTO glass laser scribing equipment capable of this (A).
 제1항에 있어서,
상기 정렬 유닛(44)은,
상기 프로파일 지지체(45)에 결합되는 정렬 지지 블록(441);
상기 정렬 지지 블록(441)에 결합되고, 신축되도록 구성되는 정렬 실린더(442);
상기 정렬 실린더(442)에 결합되고, 상기 정렬 실린더(442)에 의해 이동되는 제1 정렬 브라켓(443);
상기 제1 정렬 브라켓(443)에 결합되고, 상기 제1 정렬 브라켓(443)에 의해 이동되는 복수의 축부재(444);
상기 복수의 축부재(444)에 결합되고, 상기 복수의 축부재(444)의 외면을 따라 이동 가능한 제2 정렬 브라켓(445);
상기 복수의 축부재(444)에 결합되어 상기 제1 정렬 브라켓(443)과 상기 제2 정렬 브라켓(445) 사이에 배치되고, 상기 제2 정렬 브라켓(445)을 탄성적으로 지지하도록 구성되는 복수의 탄성부재(446); 및
상기 제2 정렬 브라켓(445)에 결합되고, 상기 FTO 기판(G)의 가장자리를 지지하도록 구성되는 지지롤러(447);를 포함하고,
상기 가이드 유닛(43)은, 상기 FTO 기판(G)의 일부분을 지지하도록 구성되는 제1 가이드 유닛(43A), 상기 FTO 기판(G)의 다른 일부분을 지지하도록 구성되는 제2 가이드 유닛(43B) 및 상기 FTO 기판(G)의 또 다른 일부분을 지지하도록 구성되는 제3 가이드 유닛(43C)을 포함하고,
상기 정렬 유닛(44)은, 상기 FTO 기판(G)의 일부분을 상기 제1 방향(D1)으로 가압하도록 구성되는 제1 정렬 유닛(44A), 상기 FTO 기판(G)의 다른 일부분을 상기 제2 방향(D2)으로 가압하도록 구성되는 제2 정렬 유닛(44B) 및 상기 FTO 기판(G)의 또 다른 일부분을 상기 제2 방향(D2)으로 가압하도록 구성되는 제3 정렬 유닛(44C)을 포함하며,
상기 프로파일 지지체(45)는, 상기 제1 가이드 유닛(43A)과 상기 제1 정렬 유닛(44A)을 지지하도록 구성되는 제1 프로파일 지지체(45A), 상기 제2 가이드 유닛(43B)과 상기 제2 정렬 유닛(44B)을 지지하도록 구성되는 제2 프로파일 지지체(45B) 및 상기 제3 가이드 유닛(43C)과 상기 제3 정렬 유닛(44C)을 지지하도록 구성되는 제3 프로파일 지지체(45C)를 포함하는 스마트공정관리 기능구현이 가능한 FTO 유리 레이저 스크라이빙 장비(A).
According to claim 1,
The alignment unit 44 is
an alignment support block 441 coupled to the profile support 45;
an alignment cylinder 442 coupled to the alignment support block 441 and configured to expand and contract;
a first alignment bracket 443 coupled to the alignment cylinder 442 and moved by the alignment cylinder 442;
a plurality of shaft members 444 coupled to the first alignment bracket 443 and moved by the first alignment bracket 443;
a second alignment bracket 445 coupled to the plurality of shaft members 444 and movable along the outer surfaces of the plurality of shaft members 444;
A plurality of shaft members coupled to the plurality of shaft members 444 are disposed between the first alignment bracket 443 and the second alignment bracket 445 and configured to elastically support the second alignment bracket 445 . of the elastic member 446; and
and a support roller 447 coupled to the second alignment bracket 445 and configured to support the edge of the FTO substrate G;
The guide unit 43 includes a first guide unit 43A configured to support a portion of the FTO substrate G, and a second guide unit 43B configured to support another portion of the FTO substrate G. and a third guide unit (43C) configured to support another portion of the FTO substrate (G),
The alignment unit 44 includes a first alignment unit 44A configured to press a portion of the FTO substrate G in the first direction D1, and a second alignment unit 44A configured to press another portion of the FTO substrate G in the second direction. a second alignment unit (44B) configured to press in a direction (D2) and a third alignment unit (44C) configured to press another portion of the FTO substrate (G) in the second direction (D2); ,
The profile support 45 includes a first profile support 45A, the second guide unit 43B and the second configured to support the first guide unit 43A and the first alignment unit 44A. a second profile support (45B) configured to support an alignment unit (44B) and a third profile support (45C) configured to support the third guide unit (43C) and the third alignment unit (44C) FTO glass laser scribing equipment (A) capable of realizing smart process management functions.
 제1항에 있어서,
상기 지지 조립체(50)는,
상기 스테이지 조립체(40)를 지지하는 베이스(51);
상기 베이스(51)의 상면에 배치되고, 상기 액추에이터 조립체(30)를 지지하도록 구성되는 사이드 프레임 조립체(52);
상기 베이스(51)의 하면에 배치되는 복수의 방진 조립체(53);
상기 복수의 방진 조립체(53)의 저면에 결합되는 복수의 수직 프레임(54);
상기 복수의 수직 프레임(54)을 연결 및 지지하는 복수의 제1 수평 프레임(55);
상기 복수의 제1 수평 프레임(55)을 연결 및 지지하는 복수의 제2 수평 프레임(56); 및
상기 복수의 수직 프레임(54)에 결합되어 상기 지면에 지지되는 복수의 지지체(57);를 포함하는, 스마트공정관리 기능구현이 가능한 FTO 유리 레이저 스크라이빙 장비(A).
According to claim 1,
The support assembly 50,
a base 51 supporting the stage assembly 40;
a side frame assembly 52 disposed on the upper surface of the base 51 and configured to support the actuator assembly 30;
a plurality of vibration-proof assemblies 53 disposed on a lower surface of the base 51;
A plurality of vertical frames (54) coupled to the bottom surface of the plurality of vibration-proof assembly (53);
a plurality of first horizontal frames (55) connecting and supporting the plurality of vertical frames (54);
a plurality of second horizontal frames (56) connecting and supporting the plurality of first horizontal frames (55); and
A plurality of supports (57) coupled to the plurality of vertical frames (54) and supported on the ground; including, FTO glass laser scribing equipment (A) capable of implementing a smart process management function.
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