KR102345504B1 - Substrate holding device - Google Patents

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KR102345504B1 KR1020150080084A KR20150080084A KR102345504B1 KR 102345504 B1 KR102345504 B1 KR 102345504B1 KR 1020150080084 A KR1020150080084 A KR 1020150080084A KR 20150080084 A KR20150080084 A KR 20150080084A KR 102345504 B1 KR102345504 B1 KR 102345504B1
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Abstract

홀딩 장치는 제1 측면과 제2 측면을 구비하는 글래스 기판을 홀딩 하는 홀딩 장치에 있어서, 상기 글래스 기판을 고정시키는 복수의 홀더를 포함하고, 상기 홀더 중 적어도 하나의 홀더는 상기 제1 측면과 접하고 제1 방향과 평행한 제1 고정면, 및 상기 제2 측면과 접하고, 상기 제1 방향과 상이한 제2 방향과 평행한 제2 고정면을 포함하는 것을 특징으로 한다.The holding device is a holding device for holding a glass substrate having a first side surface and a second side surface, and includes a plurality of holders for fixing the glass substrate, wherein at least one of the holders is in contact with the first side surface; and a first fixing surface parallel to the first direction, and a second fixing surface in contact with the second side surface and parallel to a second direction different from the first direction.

Description

기판 홀딩 장치{SUBSTRATE HOLDING DEVICE}Substrate holding device {SUBSTRATE HOLDING DEVICE}

본 발명은 홀딩 장치에 관한 것이며, 보다 상세하게는 글래스 기판 홀딩 장치에 관한 것이다.The present invention relates to a holding device, and more particularly, to a glass substrate holding device.

액정 표시 패널을 제조시, 글래스 기판과 패널을 합착 시키는 공정이 필수적이다. 이러한 합착 공정시 기판 홀딩 장치는 글래스 기판을 홀딩 하고, 글래스 기판을 패널에 얼라인 시킨다. 이후, 얼라인된 글래스 기판과 패널이 합착 될 수 있다. 기판 홀딩 장치의 정밀도에 따라 글래스 기판과 패널의 합착의 품질이 결정될 수 있다. When manufacturing a liquid crystal display panel, a process for bonding a glass substrate and a panel is essential. During the bonding process, the substrate holding device holds the glass substrate and aligns the glass substrate with the panel. Thereafter, the aligned glass substrate and the panel may be bonded. The quality of bonding between the glass substrate and the panel may be determined according to the precision of the substrate holding apparatus.

본 발명의 목적은 합착 공정에 사용되는 홀딩 장치의 정밀도를 높이고, 설비의 구성을 간소화하는 것이다.An object of the present invention is to increase the precision of the holding device used in the bonding process, and to simplify the configuration of the equipment.

본 발명의 일 실시예에 따른 홀딩장치는 제1 측면과 제2 측면을 구비하는 글래스 기판을 홀딩 하는 홀딩 장치에 있어서, 상기 글래스 기판을 고정시키는 복수의 홀더를 포함하고, 상기 홀더 중 적어도 하나의 홀더는 상기 제1 측면과 접하는 제1 고정면 및 상기 제2 측면과 접하는 제2 고정면을 포함 한다. A holding device according to an embodiment of the present invention is a holding device for holding a glass substrate having a first side surface and a second side surface, and includes a plurality of holders for fixing the glass substrate, and includes at least one of the holders. The holder includes a first fixing surface in contact with the first side surface and a second fixing surface in contact with the second side surface.

상기 적어도 하나의 홀더는 탄력성을 갖는 지지패드를 포함하고, 상기 제1 및 제2고정면은 상기 제1 및 제2 측면과 각각 대향하는 상기 지지 패드의 면들이다. The at least one holder includes a support pad having elasticity, and the first and second fixing surfaces are surfaces of the support pad opposite to the first and second side surfaces, respectively.

상기 홀딩 장치는 알루미늄 재질로 구성된다. The holding device is made of an aluminum material.

상기 지지 패드는 고분자 폴리머를 포함한다,The support pad comprises a high molecular polymer,

상기 제2 측면은 상기 제1 방향으로 볼록하게 형성된다.The second side surface is convex in the first direction.

상기 적어도 하나의 홀더는 상기 글래스 기판의 하면을 지지하는 지지면을 구비한다.The at least one holder has a support surface for supporting the lower surface of the glass substrate.

상기 지지면은 상기 제1 고정면, 및 상기 제2 고정면과 연결된다.The support surface is connected to the first fixing surface and the second fixing surface.

상기 제2 고정면은 상기 제1 고정면의 일단으로부터 상기 제 2방향으로 연장된다.The second fixing surface extends from one end of the first fixing surface in the second direction.

상기 제1 측면은 상측 제1 측면, 및 상기 상측 제1 측면과 상기 제1 방향과 상이한 제2 방향측으로 이격되어 제공되는 하측 제1 측면을 포함한다. The first side includes an upper first side and a lower first side provided to be spaced apart from the upper first side and a second direction different from the first direction.

상기 제2 측면은 좌측 제2 측면, 및 상기 좌측 제2 측면과 상기 제1 방향측으로 이격되어 제공되는 우측 제2 측면을 포함한다.The second side includes a left second side and a right second side provided to be spaced apart from the left second side in the first direction.

상기 글래스 기판은 상기 상측 제1 측면 및 상기 좌측 제2 측면에 의해서 정의되는 제1 모서리, 상기 상측 제1 측면 및 상기 우측 제2 측면에 의해서 정의되는 제2 모서리, 상기 하측 제1 측면 및 상기 좌측 제2 측면에 의해서 정의되는 제3 모서리, 및 상기 하측 제1 측면 및 상기 우측 제2 측면에 의해서 정의되는 제4 모서리를 포함한다.The glass substrate includes a first corner defined by the upper first side surface and the left second side surface, a second corner defined by the upper first side surface and the right second side surface, the lower first side surface, and the left side surface. a third edge defined by the second side, and a fourth edge defined by the lower first side and the right second side.

상기 제1 내지 제4 홀더는 기판 로딩 상태에서 각각 상기 제1 내지 제4 모서리에 인접하여 위치한다.The first to fourth holders are respectively positioned adjacent to the first to fourth corners in a loading state of the substrate.

상기 제1 내지 제4 홀더는 홀딩 상태에서 상기 적어도 하나의 홀더는 제1 내지 제4 홀더를 포함한다.In the holding state of the first to fourth holders, the at least one holder includes first to fourth holders.

상기 제1 홀더는 상기 상측 제1 측면의 제1 접촉 영역을 통해 상기 상측 제1 측면과 접하고, 상기 좌측 제2 측면의 제2 접촉 영역을 통해 상기 좌측 제2 측면과 접하며,The first holder is in contact with the upper first side through a first contact area of the upper first side, and is in contact with the left second side through a second contact area of the left second side,

상기 제2 홀더는 상기 상측 제1 측면의 제3 접촉 영역을 통해 상기 상측 제1 측면과 접하고, 상기 우측 제2 측면의 제4 접촉 영역을 통해 상기 우측 제2 측면과 접하며,The second holder is in contact with the upper first side through a third contact area of the upper first side, and is in contact with the right second side through a fourth contact area of the right second side,

상기 제3 홀더는 상기 하측 제1 측면의 제5 접촉 영역을 통해 상기 하측 제1 측면과 접하고, 상기 좌측 제2 측면의 제6 접촉 영역을 통해 상기 좌측 제2 측면과 접하며,the third holder is in contact with the lower first side through a fifth contact area of the lower first side and is in contact with the left second side through a sixth contact area of the left second side;

상기 제4 홀더는 상기 하측 제1 측면의 제7 접촉 영역을 통해 상기 하측 제1 측면과 접하고, 상기 우측 제2 측면의 제8 접촉 영역을 통해 상기 우측 제2 측면과 접한다.The fourth holder is in contact with the lower first side through a seventh contact area of the lower first side, and is in contact with the right second side through an eighth contact area of the right second side.

본 발명의 일 실시예에 따른 기판 홀딩 장치는 제1 고정면 및 제2 고정면을 구비하는 복수의 홀더를 이용 하여 글래스 기판의 홀딩 정밀도를 향상시킬 수 있다. 또한, 상기 기판 홀딩 장치를 이용하여 글래스 기판을 로딩하면 글래스 기판의 로딩 반복 정도를 높일 수 있음과 동시에, 홀딩 장치의 구성을 간소화 시킬 수 있다.The substrate holding apparatus according to an embodiment of the present invention may improve holding precision of a glass substrate by using a plurality of holders having a first fixing surface and a second fixing surface. In addition, when the glass substrate is loaded using the substrate holding device, the repetition degree of loading the glass substrate can be increased and the configuration of the holding device can be simplified.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 홀딩 장치에 대한 개략도이다.
도 2는 도 1에 도시된 제1 홀더의 확대 사시도이다.
도 3은 본 발명의 다른 일 실시예에 따른 기판 홀딩 장치에 포함되는 복수의 홀더 중 하나의 홀더에 대한 상세도이다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 로딩 상태의 홀딩 장치의 평면도이다.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 홀딩 상태의 기판 홀딩 장치의 평면도 이다.1 is a schematic diagram of a substrate holding apparatus according to an embodiment of the present invention.
FIG. 2 is an enlarged perspective view of the first holder shown in FIG. 1 .
3 is a detailed view of one of a plurality of holders included in the substrate holding apparatus according to another embodiment of the present invention.
4 is a plan view of a holding device in a loading state of a substrate according to an embodiment of the present invention.
5 is a plan view of an apparatus for holding a substrate in a holding state according to an embodiment of the present invention.

본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있는 바, 특정 실시예들을 도면에 예시하고 본문에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 발명을 특정한 개시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다.Since the present invention can have various changes and can have various forms, specific embodiments are illustrated in the drawings and described in detail in the text. However, this is not intended to limit the present invention to the specific disclosed form, it should be understood to include all modifications, equivalents and substitutes included in the spirit and scope of the present invention.

각 도면을 설명하면서 유사한 참조부호를 유사한 구성요소에 대해 사용하였다. 첨부된 도면에 있어서, 구조물들의 치수는 본 발명의 명확성을 위하여 실제보다 확대하여 도시한 것이다. 제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 구성요소들은 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 예를 들어, 본 발명의 권리 범위를 벗어나지 않으면서 제1 구성요소는 제2 구성요소로 명명될 수 있고, 유사하게 제2 구성요소도 제1 구성요소로 명명될 수 있다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 다수의 표현을 포함한다.In describing each figure, like reference numerals have been used for like elements. In the accompanying drawings, the dimensions of the structures are enlarged than the actual size for clarity of the present invention. Terms such as first, second, etc. may be used to describe various elements, but the elements should not be limited by the terms. The terms are used only for the purpose of distinguishing one component from another. For example, without departing from the scope of the present invention, a first component may be referred to as a second component, and similarly, a second component may also be referred to as a first component. The singular expression includes the plural expression unless the context clearly dictates otherwise.

본 출원에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서 상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다. 또한, 층, 막, 영역, 판 등의 부분이 다른 부분 "위에" 또는 "상에" 있다고 할 경우, 이는 다른 부분 "바로 위에" 있는 경우뿐만 아니라 그 중간에 또 다른 부분이 있는 경우도 포함한다. 반대로 층, 막, 영역, 판 등의 부분이 다른 부분 "아래에" 있다고 할 경우, 이는 다른 부분 "바로 아래에" 있는 경우뿐만 아니라 그 중간에 또 다른 부분이 있는 경우도 포함한다. In the present application, terms such as "comprise" or "have" are intended to designate that a feature, number, step, operation, component, part, or a combination thereof described in the specification exists, but one or more other features It is to be understood that it does not preclude the possibility of the presence or addition of numbers, steps, operations, components, parts, or combinations thereof. Further, when a part of a layer, film, region, plate, etc. is said to be “on” or “on” another part, this includes not only cases where it is “directly on” another part, but also cases where another part is in between. . Conversely, when a part of a layer, film, region, plate, etc. is said to be "under" another part, this includes not only cases where it is "directly under" another part, but also cases where there is another part in between.

이하, 첨부한 도면들을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 보다 상세하게 설명한다.Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in more detail with reference to the accompanying drawings.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 홀딩 장치에 대한 개략도이다.1 is a schematic diagram of a holding device according to an embodiment of the present invention.

도 1을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 홀딩 장치(101)는 복수개의 홀더를 포함할 수 있다. 예를 들어, 상기 기판 홀딩 장치(101)는 제1 홀더(101a), 제2 홀더(101b), 제3 홀더(101c), 및 제4 홀더(101d)을 포함할 수 있다.Referring to FIG. 1 , a substrate holding apparatus 101 according to an embodiment of the present invention may include a plurality of holders. For example, the substrate holding apparatus 101 may include a first holder 101a, a second holder 101b, a third holder 101c, and a fourth holder 101d.

본 발명의 일 예로, 상기 제1 내지 제4 홀더(101a~101d)는 알루미늄 과 같은 금속으로 이루어 질 수 있다.As an example of the present invention, the first to fourth holders 101a to 101d may be made of a metal such as aluminum.

상기 기판 홀딩 장치(101)는 패널 기판(103)과 합착(또는 라미네이션, lamination) 될 글래스 기판(102)을 홀딩 한다. 본 발명의 일 예로, 상기 기판 홀딩 장치(101)는 상기 글래스 기판(102)이 상기 패널 기판(103)의 상측에 위치하도록, 상기 글래스 기판(102)을 홀딩 한다.The substrate holding device 101 holds the glass substrate 102 to be bonded (or laminated) to the panel substrate 103 . As an example of the present invention, the substrate holding device 101 holds the glass substrate 102 so that the glass substrate 102 is positioned above the panel substrate 103 .

상기 글래스 기판(102)은 제1 측면과 제2 측면을 구비할 수 있다. 상기 제1 측면은 제1 방향(DR1)과 평행하게 형성될 수 있다. 상기 제1 측면은 상측 제1 측면(102a) 및 상기 상측 제1 측면(102a)에 제2 방향(DR2)으로 이격되어 제공되는 하측 제1 측면(102b)을 포함한다. 본 발명의 일 예로, 상기 제1 및 제2 방향(DR1, DR2)는 직교 할 수 있다.The glass substrate 102 may have a first side surface and a second side surface. The first side surface may be formed parallel to the first direction DR1 . The first side includes an upper first side surface 102a and a lower first side surface 102b provided to be spaced apart from the upper first side surface 102a in the second direction DR2. As an example of the present invention, the first and second directions DR1 and DR2 may be orthogonal to each other.

상기 제2 측면은 상기 제2 방향(DR2)과 평행하게 형성될 수 있다. 상기 제2 측면은 좌측 제2 측면(102c) 및 상기 좌측 제2 측면(102c)에 상기 제1 방향(DR1)으로 이격되어 제공되는 우측 제2 측면(102d)을 포함한다. 본 발명의 일 예로, 상기 좌측 제2 측면(102c)은 상기 제1 방향(DR1)과 반대하는 제3 방향(DR3)측으로 볼록한 곡면을 가질 수 있다. 또한, 상기 우측 제2 측면(102d)은 상기 제1 방향(DR1)으로 볼록한 곡면을 가질 수 있다.The second side surface may be formed parallel to the second direction DR2 . The second side includes a left second side surface 102c and a right second side surface 102d provided to the left second side surface 102c to be spaced apart in the first direction DR1. As an example of the present invention, the left second side surface 102c may have a curved surface convex toward the third direction DR3 opposite to the first direction DR1 . Also, the right second side surface 102d may have a convex curved surface in the first direction DR1 .

상기 제1 홀더(101a)는 상기 글래스 기판(102)의 제1 모서리(CN1)에 대응하여 위치한다. 상기 제1 모서리(CN1)는 상기 상측 제1 측면(102a)과 상기 좌측 제2 측면(102c)에 의해 정의되는 모서리이다. 상기 제1 홀더(101a)는 상기 상측 제1 측면(102a)과 상기 좌측 제2 측면(102c)과 접하고, 상기 상측 제1 측면(102a)과 상기 좌측 제2 측면(102c)을 고정시킨다.The first holder 101a is positioned to correspond to the first corner CN1 of the glass substrate 102 . The first corner CN1 is a corner defined by the upper first side surface 102a and the left second side surface 102c. The first holder 101a is in contact with the upper first side surface 102a and the left second side surface 102c, and fixes the upper first side surface 102a and the left second side surface 102c.

상기 제2 홀더(101b)는 상기 글래스 기판(102)의 제2 모서리(CN2)에 대응하여 위치한다. 상기 제2 모서리(CN2)는 상기 상측 제1 측면(102a)과 상기 우측 제2 측면(102d)에 의해 정의되는 모서리이다. 상기 제2 홀더(101b)는 상기 상측 제1 측면(102a)과 상기 우측 제2 측면(102d)과 접하고, 상기 상측 제1 측면(102a)과 상기 우측 제2 측면(102d)을 고정시킨다.The second holder 101b is positioned to correspond to the second edge CN2 of the glass substrate 102 . The second corner CN2 is a corner defined by the upper first side surface 102a and the right second side surface 102d. The second holder 101b contacts the upper first side surface 102a and the right second side surface 102d, and fixes the upper first side surface 102a and the right second side surface 102d.

상기 제3 홀더(101c)는 상기 글래스 기판(102)의 제3 모서리(CN3)에 대응하여 위치한다. 상기 제3 모서리(CN3)는 상기 하측 제1 측면(102b)과 상기 좌측 제2 측면(102c)에 의해 정의되는 모서리이다. 상기 제3 홀더(101c)는 상기 하측 제1 측면(102b)과 상기 좌측 제2 측면(102c)과 접하고, 상기 하측 제1 측면(102b)과 상기 좌측 제2 측면(102c)을 고정시킨다.The third holder 101c is positioned to correspond to the third corner CN3 of the glass substrate 102 . The third corner CN3 is a corner defined by the lower first side surface 102b and the left second side surface 102c. The third holder 101c is in contact with the lower first side surface 102b and the left second side surface 102c, and fixes the lower first side surface 102b and the left second side surface 102c.

상기 제4 홀더(101d)는 상기 글래스 기판(102)의 제4 모서리(CN4)에 대응하여 위치한다. 상기 제4 모서리(CN4)는 상기 하측 제1 측면(102b)과 상기 우측 제2 측면(102d)에 의해 정의되는 모서리이다. 상기 제4 홀더(101d)는 상기 하측 제1 측면(102b)과 상기 우측 제2 측면(102d)과 접하고, 상기 하측 제1 측면(102b)과 상기 우측 제2 측면(102d)을 고정시킨다.The fourth holder 101d is positioned to correspond to the fourth corner CN4 of the glass substrate 102 . The fourth corner CN4 is a corner defined by the lower first side surface 102b and the right second side surface 102d. The fourth holder 101d is in contact with the lower first side surface 102b and the right second side surface 102d, and fixes the lower first side surface 102b and the right second side surface 102d.

상기 제1 내지 제4 홀더(101a~101d)는 서로 유사하므로, 상기 제1 홀더(101a)에 대하여만 설명하고 나머지에 대한 설명은 생략한다. 이하, 도 2를 더 참조하여 상기 제1 홀더(101a)에 대하여 상술한다.Since the first to fourth holders 101a to 101d are similar to each other, only the first holder 101a will be described and a description of the rest will be omitted. Hereinafter, the first holder 101a will be described in detail with further reference to FIG. 2 .

도 2는 도 1에 도시된 제1 홀더의 확대 사시도이다.FIG. 2 is an enlarged perspective view of the first holder shown in FIG. 1 .

도 1 및 도 2를 참조하면, 상기 제1 홀더(101a)는 상기 글래스 기판(102)의 상기 상측 제1 측면(102a)과 대향하는 제1 고정면(203a) 및 상기 좌측 제2 측면(102c)과 대향하는 제2 고정면(203b) 및 지지면(202)을 포함한다.1 and 2 , the first holder 101a includes a first fixing surface 203a facing the upper first side surface 102a and the left second side surface 102c of the glass substrate 102 . ) and a second fixing surface (203b) and a supporting surface (202) opposite to each other.

상기 제1 고정면(203a)은 상기 제1 방향(DR1)과 평행하다. 상기 제2 고정면(203b)은 상기 제1 고정면(203a)과 소정의 각도(ANG)를 이루고, 상기 제1 방향(DR1)과 평행하지 않은 방향으로 형성될 수 있다. 예를 들어, 상기 각도(ANG)는 둔각일 수 있다.The first fixing surface 203a is parallel to the first direction DR1 . The second fixing surface 203b may form a predetermined angle ANG with the first fixing surface 203a and may be formed in a direction not parallel to the first direction DR1 . For example, the angle ANG may be an obtuse angle.

상기 제1 고정면(203a)의 하나의 측단은 상기 제2 고정면(203b)의 하나의 측단과 연결될 수 있다. 상기 지지면(202)의 측단들은 상기 제1 고정면(203a)의 하단 및 상기 제2 고정면(203b)의 하단과 연결될 수 있다. 상기 제1 고정면(203a)과 상기 제2 고정면(203b)은 직사각형 형상을 가질 수 있고, 상기 지지면(202)은 사다리꼴 형상을 가질 수 있다.One side end of the first fixing surface 203a may be connected to one side end of the second fixing surface 203b. Side ends of the support surface 202 may be connected to a lower end of the first fixing surface 203a and a lower end of the second fixing surface 203b. The first fixing surface 203a and the second fixing surface 203b may have a rectangular shape, and the supporting surface 202 may have a trapezoidal shape.

상기 제1 고정면(203a), 상기 제2 고정면(203b), 및 상기 지지면(202)에 의해 상기 제1 홀더(101a)의 기판 고정 홈(FIX)이 정의 될 수 있다. 후술 할 바와 같이, 상기 기판 고정 홈(FIX)에는 상기 글래스 기판의 상기 제1 모서리(CN1)가 제공 될 수 있다.A substrate fixing groove FIX of the first holder 101a may be defined by the first fixing surface 203a, the second fixing surface 203b, and the supporting surface 202 . As will be described later, the first corner CN1 of the glass substrate may be provided in the substrate fixing groove FIX.

상기 지지면(202) 상에는 상기 글래스 기판(102)이 제공된다. 보다 구체적으로, 상기 지지면(202)은 상기 글래스 기판(102)의 상기 제1 모서리(CN1) 및 이에 인접한 부분을 지지한다.The glass substrate 102 is provided on the support surface 202 . More specifically, the support surface 202 supports the first edge CN1 of the glass substrate 102 and a portion adjacent thereto.

도 3은 본 발명의 다른 일 실시예에 따른 기판 홀딩 장치에 포함되는 복수의 홀더 중 하나의 홀더에 대한 상세도이다.3 is a detailed view of one of a plurality of holders included in the substrate holding apparatus according to another embodiment of the present invention.

도 1 및 도 3을 참조하면, 상기 제1 홀더(101a)는 지지 패드(PA)를 더 포함할 수 있다. 상기 지지패드(PA)는 상기 제1 고정면(203a)에 부착된 제1 패드(303a), 및 상기 제2 고정면(203b)에 부착된 제2 패드(303b)를 포함 한다.1 and 3 , the first holder 101a may further include a support pad PA. The support pad PA includes a first pad 303a attached to the first fixing surface 203a and a second pad 303b attached to the second fixing surface 203b.

상기 제1 패드(303a)는 상기 제1 고정면(203a)의 면적과 동일한 면적을 가지고, 상기 제1 고정면(203a)의 형상과 동일한 형상을 가질 수 있다. 상기 제1 패드(303a)는 상기 상측 제1 측면(102a)과 대향할 수 있다.The first pad 303a may have the same area as that of the first fixing surface 203a and may have the same shape as that of the first fixing surface 203a. The first pad 303a may face the upper first side surface 102a.

상기 제2 패드(303b)는 상기 제2 고정면(203b)의 면적과 동일한 면적을 가지고 상기 제2 고정면(203b)의 형상과 동일한 형상을 가질 수 있다. 상기 제2 패드(303b)는 상기 좌측 제2 측면(102c)과 대향할 수 있다.The second pad 303b may have the same area as that of the second fixing surface 203b and may have the same shape as that of the second fixing surface 203b. The second pad 303b may face the left second side surface 102c.

상기 제1 패드(303a), 및 상기 제2 패드(303b)는 탄력성을 가지고 있는 소재로 구성될 수 있다. 예를 들어 상기 제1 패드(303a), 상기 제2 패드(303b)는 고분자 폴리머(Polymer) 소재로 구성될 수 있다.The first pad 303a and the second pad 303b may be made of a material having elasticity. For example, the first pad 303a and the second pad 303b may be made of a polymer material.

상기 제1 및 제2 패드(303a, 303b)는 각각 상기 상측 제1 측면(102a)과 상기 좌측 제2 측면(102c)과 접하고, 각각 상기 상측 제1 측면(102a)과 상기 좌측 제2 측면(102c)을 고정시킨다.The first and second pads 303a and 303b are in contact with the upper first side surface 102a and the left second side surface 102c, respectively, respectively, and the upper first side surface 102a and the left second side surface ( 102c) is fixed.

따라서, 상기 글래스 기판(102)을 좀 안정적으로 고정시킬 수 있다. 그 결과, 상기 글래스 기판(102)의 홀딩 정밀도가 향상될 수 있다. Accordingly, the glass substrate 102 can be stably fixed. As a result, the holding precision of the glass substrate 102 may be improved.

도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 로딩 상태의 홀딩 장치의 평면도이다.4 is a plan view of a holding device in a loading state of a substrate according to an embodiment of the present invention.

도 4를 참조하면, 기판 로딩 상태에서, 상기 제1 내지 제4 홀더(101a~101d)는 각각 상기 제1 내지 제4 모서리(CN1~CN4)에서 소정의 거리만큼 이격되어 제공된다. 상기 제1 내지 제4 모서리(CN1~CN4)는 각각 상기 제1 내지 제4 홀더(101a~101d)의 지지면들(202) 상에 제공된다. 그에 따라 상기 글래스 기판(102)은 상기 제1 내지 제4 홀더(101a~101d)의 상기 지지면들(202)에 의해서 지지될 수 있다. Referring to FIG. 4 , in the substrate loading state, the first to fourth holders 101a to 101d are provided to be spaced apart from each other by a predetermined distance from the first to fourth corners CN1 to CN4 . The first to fourth corners CN1 to CN4 are provided on the support surfaces 202 of the first to fourth holders 101a to 101d, respectively. Accordingly, the glass substrate 102 may be supported by the support surfaces 202 of the first to fourth holders 101a to 101d.

상기 제1 내지 제4 홀더(101a~101d)는 각각 제1 모서리 내지 제4 모서리(CN1~CN4)측으로 각각 이동한다.The first to fourth holders 101a to 101d move toward the first to fourth corners CN1 to CN4, respectively.

도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 홀딩 상태의 기판 홀딩 장치의 평면도 이다.5 is a plan view of an apparatus for holding a substrate in a holding state according to an embodiment of the present invention.

도 5를 참조하면, 홀딩 상태에서, 상기 제1 홀더(101a)가 상기 제1 모서리(CN1) 측으로 이동함에 따라, 상기 제1 홀더(101a)의 상기 제1 고정면(203a)은 상기 상측 제1 측면(102a)의 제1 접촉 영역(CON1)과 접하고 상기 제1 홀더(101a)의 상기 제2 고정면(203b)은 상기 좌측 제2 측면(102c)의 제2 접촉 영역(CON2)과 접한다. Referring to FIG. 5 , in the holding state, as the first holder 101a moves toward the first corner CN1 , the first fixing surface 203a of the first holder 101a becomes the upper second The first contact area CON1 of the first side surface 102a is in contact with the second fixing surface 203b of the first holder 101a is in contact with the second contact area CON2 of the left second side surface 102c. .

따라서 상기 제1 홀더(101a)는 상기 글래스 기판(102)과 상기 제1 및 제2 접촉 영역(CON1, CON2)을 통해 상기 글래스 기판(102)에 제1 고정력(FO1)을 제공한다. 본 발명의 일 예로, 상기 제1 고정력(FO1)은 상기 제1 및 제2 방향(DR1, DR2)의 벡터합의 방향과 평행 할 수 있다.Accordingly, the first holder 101a provides a first fixing force FO1 to the glass substrate 102 through the glass substrate 102 and the first and second contact regions CON1 and CON2 . As an example of the present invention, the first fixing force FO1 may be parallel to the direction of the vector sum of the first and second directions DR1 and DR2.

상기 제2 홀더(101b)가 상기 제2 모서리(CN2) 측으로 이동함에 따라, 상기 제2 홀더(101b)의 제3 고정면(203c)은 상기 상측 제1 측면(102a)의 제3 접촉 영역(CON3)과 접하고 상기 제2 홀더(101b)의 제4 고정면(203d)은 상기 우측 제2 측면(102d)의 제4 접촉 영역(CON4)과 접한다.As the second holder 101b moves toward the second corner CN2, the third fixing surface 203c of the second holder 101b becomes a third contact area ( CON3) and the fourth fixing surface 203d of the second holder 101b is in contact with the fourth contact area CON4 of the right second side surface 102d.

따라서 상기 제2 홀더(101b)는 상기 글래스 기판(102)과 상기 제3 및 제4 접촉 영역(CON3, CON4)을 통해 상기 글래스 기판(102)에 제2 고정력(FO2)을 제공한다. 본 발명의 일 예로, 상기 제2 고정력(FO2)은 상기 제1 및 제2 방향(DR1, DR2)의 벡터합의 방향과 평행 할 수 있다.Accordingly, the second holder 101b provides a second fixing force FO2 to the glass substrate 102 through the glass substrate 102 and the third and fourth contact regions CON3 and CON4 . As an example of the present invention, the second fixing force FO2 may be parallel to the direction of the vector sum of the first and second directions DR1 and DR2.

상기 제3 홀더(101c)가 상기 제3 모서리(CN3) 측으로 이동함에 따라, 상기 제3 홀더(101c)의 제5 고정면(203e)은 상기 하측 제1 측면(102b)의 제5 접촉 영역(CON5)과 접하고 상기 제3 홀더(101c)의 제6 고정면(203f)은 상기 좌측 제2 측면(102c)의 제6 접촉 영역(CON6)과 접한다.As the third holder 101c moves toward the third corner CN3, the fifth fixing surface 203e of the third holder 101c becomes a fifth contact area ( CON5) and the sixth fixing surface 203f of the third holder 101c is in contact with the sixth contact area CON6 of the left second side surface 102c.

따라서 상기 제3 홀더(101c)는 상기 글래스 기판(102)과 상기 제5 및 제6 접촉 영역(CON5, CON6)을 통해 상기 글래스 기판(102)에 제3 고정력(FO3)을 제공한다. 본 발명의 일 예로, 상기 제3 고정력(FO3)은 상기 제1 및 제2 방향(DR1, DR2)의 벡터합의 방향과 평행 할 수 있다.Accordingly, the third holder 101c provides a third fixing force FO3 to the glass substrate 102 through the glass substrate 102 and the fifth and sixth contact regions CON5 and CON6 . As an example of the present invention, the third fixing force FO3 may be parallel to the direction of the vector sum of the first and second directions DR1 and DR2.

상기 제4 홀더(101d)가 상기 제4 모서리(CN4) 측으로 이동함에 따라, 상기 제4 홀더(101d)의 제7 고정면(203g)은 상기 하측 제1 측면(102b)의 제7 접촉 영역(CON7)과 접하고 상기 제4 홀더(101d)의 제8 고정면(203h)은 상기 우측 제2 측면(102d)의 제8 접촉 영역(CON8)과 접한다.As the fourth holder 101d moves toward the fourth corner CN4, the seventh fixing surface 203g of the fourth holder 101d becomes a seventh contact area ( CON7) and the eighth fixing surface 203h of the fourth holder 101d is in contact with the eighth contact area CON8 of the right second side surface 102d.

따라서 상기 제4 홀더(101d)는 상기 글래스 기판(102)과 상기 제7 및 제8 접촉 영역(CON7, CON8)을 통해 상기 글래스 기판(102)에 제4 고정력(FO4)을 제공한다. 본 발명의 일 예로, 상기 제4 고정력(FO4)은 상기 제1 및 제2 방향(DR1, DR2)의 벡터합의 방향과 평행 할 수 있다.Accordingly, the fourth holder 101d provides a fourth fixing force FO4 to the glass substrate 102 through the glass substrate 102 and the seventh and eighth contact regions CON7 and CON8 . As an example of the present invention, the fourth fixing force FO4 may be parallel to the direction of the vector sum of the first and second directions DR1 and DR2.

상술한 내용을 종합하면, 상기 홀딩 장치(101)는 상기 글래스 기판(102)과 최소 8개의 접촉 영역(CON1~CON8)을 형성할 수 있다. 상기 8개의 접촉 영역(CON1~CON8)을 통해 서로 다른 방향으로 제공되는 상기 제1 내지 제4 고정력(FO1~FO4)의 벡터합은 0이 될 수 있다. 다시 말해, 상기 제1 홀더(101a), 상기 제2 홀더(101b), 상기 제3 홀더(101c), 및 상기 제4 홀더(101d)가 상기 글래스 기판(102)에 가하는 힘들은 평형을 이룰 수 있다. 따라서, 상기 글래스 기판(102)에 작용하는 힘들이 평형을 이루면서 상기 글래스 기판(102)의 홀딩 정밀도는 개선 될 수 있다. 그에 따라, 상기 홀딩 장치(101)는 상기 글래스 기판(102)이 상기 제1 방향(DR1)뿐만 아니라 이에 수직하는 상기 제2 방향(DR2)으로도 움직이지 않도록 견고하게 홀딩 할 수 있다.In summary, the holding device 101 may form at least eight contact areas CON1 to CON8 with the glass substrate 102 . The vector sum of the first to fourth fixing forces FO1 to FO4 provided in different directions through the eight contact regions CON1 to CON8 may be zero. In other words, the forces applied to the glass substrate 102 by the first holder 101a, the second holder 101b, the third holder 101c, and the fourth holder 101d may be balanced. have. Accordingly, as the forces acting on the glass substrate 102 are balanced, the holding precision of the glass substrate 102 may be improved. Accordingly, the holding device 101 may firmly hold the glass substrate 102 so that it does not move not only in the first direction DR1 but also in the second direction DR2 perpendicular thereto.

또한, 상기 홀딩 장치(101)는 기존의 글래스 기판을 로딩하는 장치의 역할도 대신 할 수 있다. 따라서, 상기 홀딩 장치(101)를 채택함으로써, 상기 글래스 기판(102)의 로딩 반복 정도를 높일 수 있음과 동시에 설비 부품을 간소화시킬 수 있다.In addition, the holding device 101 may also serve as an existing device for loading a glass substrate. Accordingly, by adopting the holding device 101 , the repetition degree of loading of the glass substrate 102 can be increased and equipment parts can be simplified at the same time.

이상 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.Although described with reference to the above embodiments, those skilled in the art can understand that various modifications and changes can be made to the present invention without departing from the spirit and scope of the present invention as set forth in the following claims. There will be.

101: 홀딩 장치 102: 글래스 기판
203a: 제1 고정면 203b: 제2 고정면
303a: 제1 패드 303b: 제2 패드101: holding device 102: glass substrate
203a: first fixing surface 203b: second fixing surface
303a: first pad 303b: second pad

Claims (10)

제1 방향으로 연장하는 제1 측면과 상기 제1 방향으로 볼록한 제2 측면을 구비하는 글래스 기판을 홀딩 하는 홀딩 장치에 있어서,
상기 글래스 기판을 고정시키는 복수의 홀더를 포함하고,
상기 복수의 홀더 중 적어도 하나의 홀더는 상기 제1 측면과 접하고 제1 방향과 평행한 제1 고정면; 및
상기 제2 측면과 접하고, 상기 제1 고정면으로부터 연장하는 제2 고정면을 포함하고,
상기 제1 고정면과 상기 제2 고정면 사이의 각도는 둔각인 것을 특징으로 하는 홀딩 장치.
A holding device for holding a glass substrate having a first side surface extending in a first direction and a second side surface convex in the first direction, the holding device comprising:
a plurality of holders for fixing the glass substrate;
At least one of the plurality of holders may include: a first fixing surface in contact with the first side surface and parallel to a first direction; and
a second fixing surface in contact with the second side surface and extending from the first fixing surface;
The holding device, characterized in that the angle between the first fixing surface and the second fixing surface is an obtuse angle.
 제1 항에 있어서,
상기 적어도 하나의 홀더는 탄력성을 갖는 지지패드를 포함하고, 상기 제1 및 제2고정면은 상기 제1 및 제2 측면과 각각 대향하는 상기 지지 패드의 면들인 것을 특징으로 하는 홀딩 장치.
According to claim 1,
The holding device according to claim 1, wherein the at least one holder includes a support pad having elasticity, and the first and second fixing surfaces are surfaces of the support pad opposite to the first and second side surfaces, respectively.
 제1 항에 있어서,
상기 홀딩 장치는 알루미늄 재질로 구성되는 것을 특징으로 하는 홀딩 장치.
According to claim 1,
The holding device is a holding device, characterized in that composed of an aluminum material.
 제2 항에 있어서,
상기 지지 패드는 고분자 폴리머를 포함하는 것을 특징으로 하는 홀딩 장치.
3. The method of claim 2,
The holding device, characterized in that the support pad comprises a polymer polymer.
 삭제delete 제1 항에 있어서,
상기 적어도 하나의 홀더는
상기 글래스 기판의 하면을 지지하는 지지면을 구비하는 것을 특징으로 하는 홀딩 장치.
According to claim 1,
the at least one holder
and a support surface for supporting the lower surface of the glass substrate.
 제6 항에 있어서,
상기 지지면은 상기 제1 고정면, 및 상기 제2 고정면과 연결되어 있는 것을 특징으로 하는 홀딩 장치.
7. The method of claim 6,
The holding device, characterized in that the support surface is connected to the first fixing surface and the second fixing surface.
 삭제delete 제1 항에 있어서,
상기 제1 측면은 상측 제1 측면, 및 상기 상측 제1 측면과 상기 제1 방향과 상이한 제2 방향측으로 이격되어 제공되는 하측 제1 측면을 포함하고,
상기 제2 측면은 좌측 제2 측면, 및 상기 좌측 제2 측면과 상기 제1 방향측으로 이격되어 제공되는 우측 제2 측면을 포함하고,
상기 글래스 기판은,
상기 상측 제1 측면 및 상기 좌측 제2 측면에 의해서 정의되는 제1 모서리;
상기 상측 제1 측면 및 상기 우측 제2 측면에 의해서 정의되는 제2 모서리;
상기 하측 제1 측면 및 상기 좌측 제2 측면에 의해서 정의되는 제3 모서리; 및
상기 하측 제1 측면 및 상기 우측 제2 측면에 의해서 정의되는 제4 모서리를 포함하고,
상기 적어도 하나의 홀더는 제1 내지 제4 홀더를 포함하며,
상기 제1 내지 제4 홀더는 기판 로딩 상태에서, 각각 상기 제1 내지 제4 모서리에 인접하여 위치하는 것을 특징으로 하는 홀딩 장치.
According to claim 1,
The first side includes an upper first side, and a lower first side provided spaced apart from the upper first side and a second direction different from the first direction,
The second side includes a left second side, and a right second side provided spaced apart from the left second side in the first direction,
The glass substrate is
a first edge defined by the upper first side and the left second side;
a second edge defined by the upper first side and the right second side;
a third edge defined by the lower first side and the left second side; and
and a fourth edge defined by the lower first side and the right second side,
The at least one holder includes first to fourth holders,
The first to fourth holders are respectively positioned adjacent to the first to fourth corners when the substrate is loaded.
 제9 항에 있어서,
상기 제1 내지 제4 홀더는 홀딩 상태에서,
상기 제1 홀더는 상기 상측 제1 측면의 제1 접촉 영역을 통해 상기 상측 제1 측면과 접하고, 상기 좌측 제2 측면의 제2 접촉 영역을 통해 상기 좌측 제2 측면과 접하며,
상기 제2 홀더는 상기 상측 제1 측면의 제3 접촉 영역을 통해 상기 상측 제1 측면과 접하고, 상기 우측 제2 측면의 제4 접촉 영역을 통해 상기 우측 제2 측면과 접하며,
상기 제3 홀더는 상기 하측 제1 측면의 제5 접촉 영역을 통해 상기 하측 제1 측면과 접하고, 상기 좌측 제2 측면의 제6 접촉 영역을 통해 상기 좌측 제2 측면과 접하며,
상기 제4 홀더는 상기 하측 제1 측면의 제7 접촉 영역을 통해 상기 하측 제1 측면과 접하고, 상기 우측 제2 측면의 제8 접촉 영역을 통해 상기 우측 제2 측면과 접하는 것을 특징으로 하는 홀딩 장치.

10. The method of claim 9,
The first to fourth holders are in a holding state,
The first holder is in contact with the upper first side through a first contact area of the upper first side, and is in contact with the left second side through a second contact area of the left second side,
The second holder is in contact with the upper first side through a third contact area of the upper first side, and is in contact with the right second side through a fourth contact area of the right second side,
the third holder is in contact with the lower first side through a fifth contact area of the lower first side and is in contact with the left second side through a sixth contact area of the left second side;
The fourth holder is in contact with the lower first side through a seventh contact area on the lower first side, and in contact with the right second side through an eighth contact area on the right second side. .
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