KR102340915B1 - 이물질 포집 장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 크린룸에서 생산되는 유리기판 또는 필름에 부착되는 이물질을 유리 또는 필름의 진행 방향에 대해서 균일한 자장을 발생시킴으로써 정밀하게 포집할 수 있는 이물질 포집 장치에 관한 것이다. 본 발명의 이물질 포집 장치는 원통형 비자성체(10); 상기 원통형 비자성체의 내부에 서로 동일한 극성끼리 대향하여 배치된 복수의 자석들(20); 상기 복수의 자석들 사이에 배치된 자성체(30); 및 상기 원통형 비자성체의 중앙에 배치되어 상기 복수의 자석들을 고정시키기 위한 중심부(C);를 포함한다.

Description

이물질 포집 장치{FOREIGN MATTER COLLECTTION DEVICE}
본 발명은 이물질 포집 장치에 관한 것으로, 특히 크린룸에서 생산되는 유리기판 또는 필름에 부착되는 이물질을 유리 또는 필름의 진행 방향에 대해서 균일한 자장을 발생시킴으로써 정밀하게 포집할 수 있는 이물질 포집 장치에 관한 것이다.
일반적으로, LCD 도광판, LCD 확산판, 인쇄회로기판(PCB), 2차전지 등의 제조공정 중에는 크린룸에서 유리 기판 또는 필름을 제조하게 되는데, 유리 기판 또는 필름의 표면에 발생된 미세금속 먼지를 제거하기 위하여 진공펌프 또는 롤러 형태의 흡착장치를 통해 미세금속먼지를 제거하고 있다. 이는 불량률을 줄이기 위해 필연적으로 사용할 수밖에 없다.
그러나, 현재의 금속먼지제거장치인 롤러형태의 흡착장치의 경우, 연속 가능한 먼지 제거 시간은 흡착롤의 최외각에 싸여진 흡착필름의 사용 수명이 짧아 무인자동화가 불가능하고, 진공펌프의 흡착장치의 경우, 장치의 규모가 크고 유지 비용이 많이 들게 되어 소규모 생산업체의 경우 사용하기 어려운 실정이다.
[특허문헌 1] 한국 특허 등록 제0398154호 공보(발명의 명칭: 흡입공기 중 금속성분이 포함된 먼지 수집장치)
따라서 본 발명은 상기와 같은 점에 착안하여 이루어진 것으로서, 본 발명의 목적은 생산되는 유리기판 또는 필름에 부착되는 이물질을 정밀하게 포집할 수 있고, 제조공정이 단순하며, 유지보수 비용이 절감될 수 있는 이물질 포집 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.
상기 목적을 달성하기 위해, 본 발명의 실시형태에 의한 이물질 포집 장치는 원통형 비자성체; 상기 원통형 비자성체의 내부에 동일한 극성끼리 대향하여 배치된 복수의 자석들; 상기 복수의 자석들 사이에 배치된 자성체; 및 상기 원통형 비자성체의 중앙에 배치되어 상기 복수의 자석들을 고정시키기 위한 중심부;를 포함하는 것을 특징으로 한다.
상기 실시형태에 의한 이물질 포집 장치에 있어서, 상기 자석은 N극 및 S극으로 극 분할되어 있을 수 있다.
상기 실시형태에 의한 이물질 포집 장치에 있어서, 상기 자성체는 강자성체를 재질로 할 수 있다.
상기 실시형태에 의한 이물질 포집 장치에 있어서, 상기 자성체는 S45C 탄소강재를 재질로 할 수 있다.
상기 실시형태에 의한 이물질 포집 장치에 있어서, 상기 중심부는 강자성체 또는 비자성체를 재질로 할 수 있다.
본 발명의 실시형태에 의한 이물질 포집 장치에 의하면, 원통형 비자성체; 상기 원통형 비자성체의 내부에 동일한 극성끼리 대향하여 배치된 복수의 자석들; 상기 복수의 자석들 사이에 배치된 자성체; 및 상기 원통형 비자성체의 중앙에 배치되어 상기 복수의 자석들을 고정시키기 위한 중심부;를 포함하여 구성됨으로써, 유리기판 또는 필름에 부착되는 이물질을 정밀하게 포집할 수 있고, 제조공정이 단순하며, 유지보수 비용이 절감될 수 있다는 뛰어난 효과가 있다.
즉, 생산되는 유리 또는 필름의 진행 방향에 대해서 균일한 자장을 발생시킴으로써 유리기판 또는 필름에 부착되는 이물질을 정밀하게 포집할 수 있다는 뛰어난 효과가 있다.
또한, 원통형 비자성체 내에 복수의 자석들을 배치하는 단순한 구성을 가짐으로써 제조공정이 단순하며 유지보수 비용이 절감될 수 있다는 뛰어난 효과가 있다.
도 1은 본 발명의 실시예에 의한 이물질 포집 장치를 나타낸 도면으로서, (a)는 이물질 포집 장치의 사시도이고, (b)는 이물질 포집 장치의 정면도이다.
도 2는 본 발명의 실시예에 의한 이물질 포집 장치와 종래의 봉자석의 자속밀도 비교도로서, (a)는 본 발명의 실시예에 의한 이물질 포집 장치의 자속밀도를 나타낸 도면이고, (b)는 종래의 봉자석의 자속밀도를 나타낸 도면이다.
본 발명의 실시예를 설명함에 있어서, 본 발명과 관련된 공지기술에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명을 생략하기로 한다. 그리고 후술되는 용어들은 본 발명에서의 기능을 고려하여 정의된 용어들로서 이는 사용자, 운용자의 의도 또는 관례 등에 따라 달라질 수 있다. 그러므로 그 정의는 본 명세서 전반에 걸친 내용을 토대로 내려져야 할 것이다. 상세한 설명에서 사용되는 용어는 단지 본 발명의 실시예를 기술하기 위한 것이며, 결코 제한적으로 해석되어서는 안 된다. 명확하게 달리 사용되지 않는 한, 단수 형태의 표현은 복수 형태의 의미를 포함한다. 본 설명에서, "포함" 또는 "구비"와 같은 표현은 어떤 특성들, 숫자들, 단계들, 동작들, 요소들, 이들의 일부 또는 조합을 가리키기 위한 것이며, 기술된 것 이외에 하나 또는 그 이상의 다른 특성, 숫자, 단계, 동작, 요소, 이들의 일부 또는 조합의 존재 또는 가능성을 배제하는 것으로 해석되어서는 안 된다.
도면에서 도시된 각 시스템에서, 몇몇 경우에서의 요소는 각각 동일한 참조 번호 또는 상이한 참조 번호를 가져서 표현된 요소가 상이하거나 유사할 수가 있음을 시사할 수 있다. 그러나 요소는 상이한 구현을 가지고 본 명세서에서 보여지거나 기술된 시스템 중 몇몇 또는 전부와 작동할 수 있다. 도면에서 도시된 다양한 요소는 동일하거나 상이할 수 있다. 어느 것이 제1 요소로 지칭되는지 및 어느 것이 제2 요소로 불리는지는 임의적이다.
본 명세서에서 어느 하나의 구성요소가 다른 구성요소로 데이터 또는 신호를 '전송', '전달' 또는 '제공'한다 함은 어느 한 구성요소가 다른 구성요소로 직접 데이터 또는 신호를 전송하는 것은 물론, 적어도 하나의 또 다른 구성요소를 통하여 데이터 또는 신호를 다른 구성요소로 전송하는 것을 포함한다.
이하, 본 발명의 실시예를 도면을 참조하여 상세히 설명하기로 한다.
도 1은 본 발명의 실시예에 의한 이물질 포집 장치를 나타낸 도면으로서, (a)는 이물질 포집 장치의 사시도이고, (b)는 이물질 포집 장치의 정면도이다.
본 발명의 실시예에 의한 이물질 포집 장치는, 도 1에 도시된 바와 같이, 원통형 비자성체(10), 복수의 자석들(20), 자성체(30) 및 중심부(C)를 포함한다.
원통형 비자성체(10)는 이물질 포집 장치 본체 외측을 이루고 있는 하우징으로서, 내부에는 복수의 자석들(20) 및 자성체(30)가 배치되어 있다.
원통형 비자성체(10)는 플라스틱, 알루미늄, 황동, 비철 금속 등과 같이 자석에 달라붙지 않으며 자화되지 않는 물질을 재질로 한다.
복수의 자석들(20)은 원통형 비자성체(10)의 내부에 방사상 형태로 배치되어 있다. 복수의 자석들(20)은 원통형 비자성체(10)의 내부에 서로 동일한 극성끼리 대향하여 배치되어 있으며, 그것들 사이에는 자성체(30)가 배치된다.
자석(20)은 N극(20a) 및 S극(20b)으로 극 분할되어 있는 영구자석일 수 있다.
자성체(30)는 판형상으로서 복수의 자석들(20) 사이에 배치된다. 자석(20)의 N극(적색 빗금으로 표시됨)(20a) 사이에 놓인 자성체(30)는 N극으로 자화되어 자석(20)의 S극(청색 빗금으로 표시됨)(20b) 사이에 놓여 S극으로 자화된 자성체(30)로 자력이 통하게 된다. 이는 결과적으로 유리기판 또는 필름(T)의 진행 방향에 대해 균일한 자장(흑색 화살표로 표시됨)을 형성하게 된다.
자성체(30)는 강자성체를 재질로 할 수 있고, 특히 S45C 탄소강재를 재질로 할 수 있다.
중심부(C)는 원통형 비자성체(10)의 중앙에 배치되어 복수의 자석들(20)을 고정시키는 역할을 한다.
중심부(C)는 강자성체 또는 비자성체를 재질로 할 수 있다.
이하, 상기와 같이 구성된 본 발명의 실시예에 의한 이물질 포집 장치의 작용에 대해 설명하기로 한다.
먼저, 도 2의 (a)와 같이, 크린룸에서 생산되는 유리기판 또는 필름(T)은 화살표 방향으로 이동하며, 유리기판 또는 필름(T) 하단 일측에는 본 발명의 이물질 포집 장치가 횡방향으로 배치되었다고 가정한다.
이물질 포집 장치에서는 자석(20)에 의해 N극으로 자화된 자성체(30)로부터 자석(20)의 S극(20b) 사이에 놓여 S극으로 자화된 자성체(30)로 자력이 통하게 되고, 이에 따라 원통형 비자성체(10)의 둘레에는 균일한 자장이 형성된다. 이에 따라 유리기판 또는 필름(T)에 부착되는 이물질이 원통형 비자성체(10)의 둘레에 형성된 균일한 자장에 의해 포집되게 된다.
종래의 봉타입 자석의 특성과 비교해보기로 한다.
종래의 봉타입 자석은, 도 2b에 도시된 바와 같이, 유리기판 또는 필름(T)의 진행방향에 대해 횡방향으로 자장을 형성하게 된다. 이때 S극-N극으로 배치된 자석 부분에 데드존(Dead Zone)(자장이 누락된 부분)이 발생하게 되어 유리기판 또는 필름(T)의 진행방향에 대해 불균일한 자장이 형성되게 되어 정확한 포집이 이루어지지 않게 된다.
반면에, 본원 발명의 이물질 포집 장치는, 도 2a에 도시된 바와 같이, 유리기판 또는 필름(T)의 진행 방향에 대해 종방향으로 빈틈없는 자장을 형성하게 된다. 이때, 유리기판 또는 필름(T)의 진행 방향에 대해 균일한 자장을 형성하게 됨으로써 유리기판 또는 필름(T)의 생산시 발생되는 이물질을 정밀하게 포집할 수 있게 된다.
본 발명의 실시형태에 의한 이물질 포집 장치에 의하면, 원통형 비자성체; 상기 원통형 비자성체의 내부에 동일한 극성끼리 대향하여 배치된 복수의 자석들; 상기 복수의 자석들 사이에 배치된 자성체; 및 상기 원통형 비자성체의 중앙에 배치되어 상기 복수의 자석들을 고정시키기 위한 중심부;를 포함하여 구성됨으로써, 유리기판 또는 필름에 부착되는 이물질을 정밀하게 포집할 수 있고, 제조공정이 단순하며, 유지보수 비용이 절감될 수 있다는 뛰어난 효과가 있다.
즉, 생산되는 유리 또는 필름의 진행 방향에 대해서 균일한 자장을 발생시킴으로써 유리기판 또는 필름에 부착되는 이물질을 정밀하게 포집할 수 있다는 뛰어난 효과가 있다.
또한, 원통형 비자성체 내에 복수의 자석들을 배치하는 단순한 구성을 가짐으로써 제조공정이 단순하며 유지보수 비용이 절감될 수 있다는 뛰어난 효과가 있다.
도면과 명세서에는 최적의 실시예가 개시되었으며, 특정한 용어들이 사용되었으나 이는 단지 본 발명의 실시형태를 설명하기 위한 목적으로 사용된 것이지 의미를 한정하거나 특허청구범위에 기재된 본 발명의 범위를 제한하기 위하여 사용된 것은 아니다. 그러므로 본 기술 분야의 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 타 실시예가 가능하다는 점을 이해할 수 있을 것이다. 따라서 본 발명의 진정한 기술적 보호범위는 첨부된 특허청구범위의 기술적 사상에 의해 정해져야 할 것이다.
10: 원통형 비자성체
20: 자석
20a: N극
20b: S극
30: 자성체
C: 중심부

Claims (5)

  1. 생산되는 유리기판 또는 필름(T)의 진행 방향에 대해서 균일한 자장을 발생시키는 이물질 포집 장치로서,
    이물질 포집 장치 본체 외측을 이루는 하우징인 원통형 비자성체(10);
    상기 원통형 비자성체의 내부에 방사상 형태로 서로 동일한 극성끼리 대향하여 배치되고, 각기 N극 및 S극으로 극 분할되어 있는 복수의 자석들(20);
    상기 복수의 자석들 사이에 배치된 판형상의 자성체(30); 및
    상기 원통형 비자성체의 중앙에 배치되어 상기 복수의 자석들을 고정시키기 위한 중심부(C);를 포함하는 이물질 포집 장치.
  2. 삭제
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 자성체(30)는 강자성체를 재질로 하는 이물질 포집 장치.
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 자성체(30)는 S45C 탄소강재를 재질로 하는 이물질 포집 장치.
  5. 제 1 항에 있어서,
    상기 중심부(C)는 강자성체 또는 비자성체를 재질로 하는 이물질 포집 장치.
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