KR102331776B1 - 에너지 효율 및 이물질 제거 성능 개선을 위한 진공 펌프장치 - Google Patents

Abstract

본 발명은 반도체를 제조하는 공정에 진공분위기를 제공하는 진공 펌프장치에 관한 것으로, 진공 상태에서 웨이퍼에 소정의 공정을 진행하는 공정챔버; 공정챔버의 내부에 연결되어 불순물을 흡입,배출시키는 진공펌프; 진공펌프의 토출구에 연결되는 진공배관; 진공배관의 소정부분에 설치되고, 진공펌프 쪽으로 흡입된 가스가 상기 공정챔버 쪽으로 역류되는 것을 방지하는 역류차단기; 및 배출촉진부;를 포함하고, 상기 역류차단기는, 일측에 인입구가 형성되고 타측에 인출구가 형성되며 내부에 공간이 형성되어 유체가 흐르도록 하며, 내부 공간은 양측 인입구 및 인출구 보다 직경이 크게 형성되어 유체가 일시적으로 체류할 수 있는 챔버로 이루어진 바디; 바디의 내주면에 방사상으로 돌출 형성되며 상기 인출구에 근접되어 다수 형성되는 받침턱; 바디의 내부에 삽입되며 상기 받침턱에 지지되거나 상기 인입구에 밀착되어 밀폐시키는 개폐구;를 포함하고, 상기 배출촉진부는 상기 진공배관의 내부에 부착되는 케이지와, 상기 케이지의 내부에 축으로 결합되어 회전되도록 다수의 날개가 형성되어 와류를 형성시킨다.

Description

에너지 효율 및 이물질 제거 성능 개선을 위한 진공 펌프장치{Vacuum pump device to improve energy efficiency and foreign matter removal performance}

본 발명은 반도체를 제조하는 공정에 진공분위기를 제공하는 진공 펌프장치에 관한 것이다.

각종 전자장비의 제조에 사용되는 전자부품인 반도체 소자를 제조하는 공정중에는 필요한 장비가 구비된 공정챔버에서 진행된다. 가령, 웨이퍼의 특정 부분 물질을 화학 반응을 통해 제거해 내는 식각공정이나, 화학 반응을 이용하여 웨이퍼상에 박막을 형성하는 화학기상증착공정, 실리콘 단결정으로 된 웨이퍼의 특정한 영역에 전기전도특성을 부여하기 위하여 불순물을 첨가하는 이온주입공정 등은 모두 공정챔버내에서 진행되는 공정이다.

공정챔버에서는 플라즈마를 쉽게 발생시키기 위해 주로 챔버내의 공기를 모두 뺀 후 몇가지 원하는 공기만 주입하고, 고전력고주파를 인가하여 플라즈마를 발생시켜 웨이퍼와 주입된 가스간의 화학/물리적 반응을 통해 박막 및 식각 공정을 수행하게 된다.

공정챔버에서 소정의 진공분위기를 형성하기 위해서는 공정챔버에 진공라인으로 연결된 진공펌프의 흡입작용으로 이루어지며, 흡입된 공기는 배기덕트를 통해 외부로 배출되어진다.

도 9는 종래 공정챔버의 진공라인의 구성도이다.

도 9를 참조하여 설명하면, 진공펌프(10)가 정상적인 동작을 할 때에는 진공라인(11)을 통해 공정챔버(12)내의 공기를 흡입하게 되는데, 이때 공정챔버(12)내의 반도체 웨이퍼와 반응된 가스들은 진공펌프(10)에 의해 흡입되어 배기덕트(13)를 통해 외부로 배출된다.

그러나 공정챔버(12)의 진공원인 진공펌프(10)에 이상이 발생하여 진공펌프(10)의 작동이 중지되게 되면 진공라인의 압력은 상승하게 되고 공정챔버(12)는 정상적으로 진공상태를 유지하고 있게 되므로, 진공펌프(10)에 의해 흡입되던 진공라인상의 공정진행 후 생성된 부산물, 즉 바이프로덕트가 역류되어 공정챔버(12)로 역류되어 공정챔버(12) 오염의 주요한 요인이 되었다.

물론, 공정챔버(12)와 진공펌프(10) 사이의 진공라인(11)중 일측에는 아이솔레이션밸브(14)가 설치되어 있기는 하지만 역류화 현상을 최소화 하지는 못하는 문제점이 있었다.

대한민국 특허출원 10-2004-0073203호

본 발명은 종래 기술의 문제점을 해소하기 위해 안출된 것으로, 진공펌프의 오프되었을때 공정챔버와 진공펌프 사이의 진공라인을 흐르던 이물질의 역류를 차단하여 공정챔버를 오염시키는 것을 방지하고, 배출라인의 유체배출이 촉진될 수 있어 펌프 진공도를 높이고 전력 소모를 낮출 수 있어 에너지 효율 및 이물질 제거 성능 개선을 위한 진공 펌프장치를 제공하는데 그 목적이 있다.

상기한 본 발명의 목적은, 진공 상태에서 웨이퍼에 소정의 공정을 진행하는 공정챔버; 공정챔버의 내부에 연결되어 불순물을 흡입,배출시키는 진공펌프; 진공펌프의 토출구에 연결되는 진공배관; 진공배관의 소정부분에 설치되고, 진공펌프 쪽으로 흡입된 가스가 상기 공정챔버 쪽으로 역류되는 것을 방지하는 역류차단기; 및 배출촉진부;를 포함하고, 상기 역류차단기는, 일측에 인입구가 형성되고 타측에 인출구가 형성되며 내부에 공간이 형성되어 유체가 흐르도록 하며, 내부 공간은 양측 인입구 및 인출구 보다 직경이 크게 형성되어 유체가 일시적으로 체류할 수 있는 챔버로 이루어진 바디; 바디의 내주면에 방사상으로 돌출 형성되며 상기 인출구에 근접되어 다수 형성되는 받침턱; 바디의 내부에 삽입되며 상기 받침턱에 지지되거나 상기 인입구에 밀착되어 밀폐시키는 개폐구;를 포함하고, 상기 배출촉진부는 상기 진공배관의 내부에 부착되는 케이지와, 상기 케이지의 내부에 축으로 결합되어 회전되도록 다수의 날개가 형성되어 와류를 형성시키는 것을 특징으로 하는 에너지 효율 및 이물질 제거 성능 개선을 위한 진공 펌프장치에 의해 달성될 수 있다.

상기 바디는 내주면에 다수의 베인이 형성되며, 상기 다수의 베인 각각은 인입구에서 인출구를 향해 형성되며 일측으로 경사지게 형성되는 것을 특징으로 한다.

상기 바디는, 제1컵과 제2컵이 결합되어 분리가능하도록 하며,

상기 제1컵은 일측에 인입구가 형성되고 타측에는 제1결합부를 갖는 개구부가 형성되고, 상기 제2컵은 일측에 인출구가 형성되고 타측에는 제2결합부를 갖는 개구부가 형성되어 이루어진 것을 특징으로 한다.

상기 진공배관의 설치되며 배출되는 기체에 혼합된 불순물을 걸러내는 필터가 구비된 필터케이스;를 더 포함하는 것을 특징으로 한다.

상기 필터케이스는 하부에는 연결구가 형성되어 진공배관의 일단이 연결되며, 내측면에는 둘레 방향을 따라 한 쌍의 슬라이드홈부가 이격되도록 함몰 형성되고, 상부에 개구부가 형성되고, 개구부에 덮개가 결합되어 밀봉되며, 상기 덮개에는 진공배관의 타단이 연결되고, 내부에 필터가 수납되며, 상기 필터를 지지하여 고정되도록 하는 제1구획플레이트와 제2구획플레이트가 교차 결합되는 것을 특징으로 한다.

상기 제1구획플레이트는, 상기 슬라이드홈부에 슬라이드 이동 가능하게 끼워지는 제1슬라이드돌기가 양측에 돌출 형성되고, 제2구획플레이트에 간섭 방지 가능하게 슬라이드 이동되도록 제1간섭방지안내홈부가 상측에 길이 방향을 따라 함몰 형성된것을 특징으로 한다.

상기 제2구획플레이트는 슬라이드홈부에 슬라이드 이동 가능하게 끼워지는 제2슬라이드돌기가 양측에 돌출 형성되고, 하측에 제1구획플레이트에 간섭 방지 가능하게 슬라이드 이동되도록 제2간섭방지안내홈부가 하측에 함몰 형성된 것을 특징으로 한다.

상기 슬라이드홈의 내측에는 제1슬라이드돌기와 제2슬라이드돌기가 걸림 가능하게 슬라이드 이동되도록 요철부가 형성된 것을 특징으로 한다.

상기 제1구획플레이트와 제2구획플레이트가 교차되는 부위에는 십자 형상의 끼움홈부가 축 방향으로 함몰 형성되어 끼움결합되는 위치고정부재;를 포함하고, 상기 위치고정부재의 둘레면에는 제2구획플레이트에 탄성적으로 가압 가능하게 끼워지도록 가압홈부를 구비하는 보조탄성끼움부가 형성된 것을 특징으로 한다.

본 발명에 따르면, 진공펌프가 오프되었을때 배출측에 잔류하던 이물질이 펌프 내에 유입되는 역류를 차단할 수 있어 공정챔버를 오염시키는 것을 방지하게 되고, 배출라인의 유체배출이 촉진될 수 있어 펌프 진공도를 높이고 전력 소모를 낮출 수 있어 에너지 효율 및 이물질 제거 성능 개선시킬 수 있는 효과가 있다.

도 1은 일 실시예에 따른 진공 펌프장치를 나타낸 구성도,
도 2는 일 실시예에 따른 진공 펌프장치의 '역류차단기'를 나타낸 사시도,
도 3은 일 실시예에 따른 진공 펌프장치의 '역류차단기'를 나타낸 분해사시도,
도 4는 다른 실시예에 따른 진공 펌프장치의 '역류차단기'를 나타낸 단면도,
도 5는 다른 실시예에 따른 진공 펌프장치의 '역류차단기'를 나타낸 단면도,
도 6은 일 실시예에 따른 진공 펌프장치의 '필터케이스'를 나타낸 분해사시도,
도 7은 일 실시예에 따른 진공 펌프장치의 '필터케이스'를 나타낸 단면도,
도 8은 일 실시예에 따른 진공 펌프장치의 '필터케이스'에서 제1구획플레이트와 제2구획플레이의 교차 부위에 위치고정부재가 적용되는 상태를 도시한 도면,
도 9는 종래 공정챔버의 진공라인의 구성도.

이하에서, 첨부된 도면을 참조하여 실시예들을 상세하게 설명한다. 그러나, 실시예들에는 다양한 변경이 가해질 수 있어서 특허출원의 권리 범위가 이러한 실시예들에 의해 제한되거나 한정되는 것은 아니다. 실시예들에 대한 모든 변경, 균등물 내지 대체물이 권리 범위에 포함되는 것으로 이해되어야 한다.

실시예들에 대한 특정한 구조적 또는 기능적 설명들은 단지 예시를 위한 목적으로 개시된 것으로서, 다양한 형태로 변경되어 실시될 수 있다. 따라서, 실시예들은 특정한 개시형태로 한정되는 것이 아니며, 본 명세서의 범위는 기술적 사상에 포함되는 변경, 균등물, 또는 대체물을 포함한다.

제1 또는 제2 등의 용어를 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 이런 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 해석되어야 한다. 예를 들어, 제1 구성요소는 제2 구성요소로 명명될 수 있고, 유사하게 제2 구성요소는 제1 구성요소로도 명명될 수 있다.

어떤 구성요소가 다른 구성요소에 "연결되어" 있다고 언급된 때에는, 그 다른 구성요소에 직접적으로 연결되어 있거나 또는 접속되어 있을 수도 있지만, 중간에 다른 구성요소가 존재할 수도 있다고 이해되어야 할 것이다.

실시예에서 사용한 용어는 단지 설명을 목적으로 사용된 것으로, 한정하려는 의도로 해석되어서는 안된다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 명세서에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서 상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.

다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 실시예가 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가지고 있다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥 상 가지는 의미와 일치하는 의미를 가지는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.

또한, 첨부 도면을 참조하여 설명함에 있어, 도면 부호에 관계없이 동일한 구성 요소는 동일한 참조부호를 부여하고 이에 대한 중복되는 설명은 생략하기로 한다. 실시예를 설명함에 있어서 관련된 공지 기술에 대한 구체적인 설명이 실시예의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우 그 상세한 설명을 생략한다.

본 발명의 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예들에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 것이며, 단지 본 실시예들은 본 발명의 개시가 완전하도록 하며, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이며, 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다.

본 발명의 실시예들에서, 별도로 다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가지고 있다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥 상 가지는 의미와 일치하는 의미를 가지는 것으로 해석되어야 하며, 본 발명의 실시예에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.

본 발명의 실시예를 설명하기 위한 도면에 개시된 형상, 크기, 비율, 각도, 개수 등은 예시적인 것이므로 본 발명이 도시된 사항에 한정되는 것은 아니다. 또한, 본 발명을 설명함에 있어서, 관련된 공지 기술에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우 그 상세한 설명은 생략한다. 본 명세서 상에서 언급된 ‘포함한다’, ‘갖는다’, ‘이루어진다’ 등이 사용되는 경우 ‘~만’이 사용되지 않는 이상 다른 부분이 추가될 수 있다. 구성 요소를 단수로 표현한 경우에 특별히 명시적인 기재 사항이 없는 한 복수를 포함하는 경우를 포함한다.

구성 요소를 해석함에 있어서, 별도의 명시적 기재가 없더라도 오차 범위를 포함하는 것으로 해석한다.

위치 관계에 대한 설명일 경우, 예를 들어, ‘~상에’, ‘~상부에’, ‘~하부에’, ‘~옆에’ 등으로 두 부분의 위치 관계가 설명되는 경우, ‘바로’ 또는 ‘직접’이 사용되지 않는 이상 두 부분 사이에 하나 이상의 다른 부분이 위치할 수도 있다.

소자(elements) 또는 층이 다른 소자 또는 층"위(on)"로 지칭되는 것은 다른 소자 바로 위에 또는 중간에 다른 층 또는 다른 소자를 개재한 경우를 모두 포함한다. 명세서 전체에 걸쳐 동일 참조 부호는 동일 구성 요소를 지칭한다.

도면에서 나타난 각 구성의 크기 및 두께는 설명의 편의를 위해 도시된 것이며, 본 발명이 도시된 구성의 크기 및 두께에 반드시 한정되는 것은 아니다.

본 발명의 여러 실시예들의 각각 특징들이 부분적으로 또는 전체적으로 서로 결합 또는 조합 가능하며, 당업자가 충분히 이해할 수 있듯이 기술적으로 다양한 연동 및 구동이 가능하며, 각 실시예들이 서로에 대하여 독립적으로 실시 가능할 수도 있고 연관 관계로 함께 실시 가능할 수도 있다.

첨부된 도면 중에서, 도 1은 일 실시예에 따른 진공 펌프장치를 나타낸 구성도, 도 2는 일 실시예에 따른 진공 펌프장치의 '역류차단기'를 나타낸 사시도, 도 3은 일 실시예에 따른 진공 펌프장치의 '역류차단기'를 나타낸 분해사시도, 도 4는 다른 실시예에 따른 진공 펌프장치의 '역류차단기'를 나타낸 단면도, 도 5는 다른 실시예에 따른 진공 펌프장치의 '역류차단기'를 나타낸 단면도이다.

도 1에 나타낸 바와 같이, 본 발명에 따른 진공 펌프장치는, 진공 상태에서 반도체 웨이퍼에 소정의 공정을 진행하는 공정챔버(100); 공정챔버(100)에 인입구(204)로 연결되어 불순물을 흡입하고, 토출구(210)로 배출시키는 진공펌프(200); 진공펌프(200)의 토출구(210)에 연결되는 진공배관(220); 진공배관(220)의 소정부분에 설치되고, 상기 진공펌프(200) 쪽으로 흡입된 가스가 상기 공정챔버(100) 쪽으로 역류되는 것을 방지하는 역류차단기(300);를 포함하여 구성된다.

역류차단기(300)는, 일측에 인입구(310)가 형성되고 타측에 인출구(328)가 형성되며 내부에 공간이 형성되어 유체가 흐르도록 하며, 내부 공간은 양측 인입구(310) 및 인출구(328) 보다 직경이 크게 형성되어 유체가 일시적으로 체류할 수 있는 챔버(330)로 이루어진 바디(320); 바디(320)의 내주면에 방사상으로 돌출 형성되며 상기 인출구(328)에 근접되어 다수 형성되는 받침턱(340); 바디(320)의 내부에 삽입되며 상기 받침턱(340)에 지지되거나 상기 인입구(310)에 밀착되어 밀폐시키는 개폐구(360);를 포함하여 구성된다.

진공배관(220)에는 소음기(223)가 부착되어 소음을 경감시키게 된다. 바람직하게는 소음기(223)의 출구측 진공배관(220)에 역류차단기(300)가 설치된다.

또한 도 5에 나타낸 바와 같이, 진공배관(220)에 부착되어 배출을 촉진시키도록 와류를 형성하는 배출촉진부(380)를 포함할 수 있다.

배출촉진부(380)는 진공배관(220)의 내측에 부착되는 케이지(382)와, 상기 케이지(382)의 내부에 축으로 결합되어 회전되도록 다수의 날개(384)로 구성되어 날개의 회전에 의해 와류를 형성시키면서 배출을 촉진하게 된다.

또는 다른 실시예에 따른 배출촉진부(380')는, 진공배관(220)의 내부에 부착되는 케이지(382')와, 상기 케이지(382')의 내주면에 원주방향으로 부착되는 다수개의 경사진 가드(384')로 이루어진 것이며, 다수개의 경사진 가드(384')에 의해 와류를 형성시킬 수 있다.

한편 바디(320)는 내주면에 다수의 베인(325)이 형성될 수 있다. 다수의 베인(325) 각각은 인입구(310)에서 인출구(328)를 향해 형성되며 일측으로 경사지게 형성된다.

따라서 인입구(310)에서 유입된 유체가 다수의 베인(325)의 경사각으로 인해 와류를 형성하면서 이동하게 된다.

상기 바디(320)는, 제1컵(321)과 제2컵(322)이 결합되어 분리가능하도록 구성된다.

제1컵(321)은 일측에는 인입구(310)가 형성되고, 타측의 개구부에는 제1결합부(312)가 형성된다.

제2컵(322)은 일측에는 인출구(328)가 형성되고, 타측의 개구부에는 제2결합부(324)가 형성된다.

제1컵(321)과 제2컵(322)은 각각의 제1결합부(312)와 제2결합부(324)를 나사 결합에 의해 결합시킨다.

인입구(310) 또는 인출구(328)에는 각기 진공배관(220)의 플랜지(221)가 각기 밀착되고, 이렇게 밀착된 인입구(310)와 인출구(328) 및 그 각각의 플랜지(221)를 감싸도록 하여 제1체결부(350a)와 제2체결부(350b)가 결합된다.

상기 제1체결부(350a) 또는 제2체결부(350b) 각각은 밀착된 플랜지(221)의 외주면을 감싸도록 체결되도록 단면이 'ㄷ'자 형상으로 된 협지구(352)와, 상기 협지구(352)의 양단에 나사결합되어 조임 또는 풀림작동되는 나사(354)를 포함하여 구성된다.

아울러 제1체결부(350a)와 플랜지(221) 사이에 패킹(326)이 삽입된다. 또한 제2체결부(350b)와 플랜지(221) 사이에 패킹(326)이 삽입되어 기밀성을 갖도록 한다.

바람직하게는 협지구(352)의 내주면에도 기밀성을 향상시키기 위한 오링(미도시)이 삽입될 수 있다.

도 6은 일 실시예에 따른 진공 펌프장치의 '필터케이스'를 나타낸 분해사시도, 도 7은 일 실시예에 따른 진공 펌프장치의 '필터케이스'를 나타낸 단면도, 도 8은 일 실시예에 따른 진공 펌프장치의 '필터케이스'에서 제1구획플레이트와 제2구획플레이의 교차 부위에 위치고정부재가 적용되는 상태를 도시한 도면이다.

도 6 내지 도 8에 나타낸 바와 같이, 본 발명에 따른 진공 펌프장치는, 진공 상태에서 웨이퍼에 소정의 공정을 진행하는 공정챔버(100); 공정챔버(100)의 내부에 연결되어 불순물을 흡입,배출시키는 진공펌프(200); 진공펌프(200)의 토출구에 연결되는 진공배관(220);을 포함하고, 진공배관(220)의 설치되며 배출되는 기체에 혼합된 불순물을 걸러내는 필터가 구비된 필터케이스(10);를 더 포함할 수 있다.

진공배관(220)에는 소음기(223)가 부착될 수 있다.

필터케이스(10)는 하부에는 연결구가 형성되어 진공배관의 일단이 연결되며, 내측면에는 둘레 방향을 따라 한 쌍의 슬라이드홈부(12)가 이격되도록 함몰 형성되고, 상부에 개구부가 형성되고, 개구부에 덮개(40)가 결합되어 밀봉되며, 상기 덮개(40)에는 진공배관(220)의 타단이 연결되고, 내부에 필터(F)가 수납되며, 상기 필터를 지지하여 고정되도록 하는 제1구획플레이트(20)와 제2구획플레이트(30)가 교차 결합된다.

제1구획플레이트(20)는, 상기 슬라이드홈부(12)에 슬라이드 이동 가능하게 끼워지는 제1슬라이드돌기(21)가 양측에 돌출 형성되고, 제2구획플레이트(30)에 간섭 방지 가능하게 슬라이드 이동되도록 제1간섭방지안내홈부(22)가 상측에 길이 방향을 따라 함몰 형성된다.

제2구획플레이트(30)는 슬라이드홈부(12)에 슬라이드 이동 가능하게 끼워지는 제2슬라이드돌기(31)가 양측에 돌출 형성되고, 하측에 제1구획플레이트(20)에 간섭 방지 가능하게 슬라이드 이동되도록 제2간섭방지안내홈부(32)가 하측에 함몰 형성된다.

제1구획플레이트(20)와 제2구획플레이트(30)는 슬라이드 이동시킬 경우 제1슬라이드돌기(21)와 제2슬라이드돌기(31)는 각각 슬라이드홈부(12)에 끼워진 상태로 이동되고, 슬라이드 이동시 제1간섭방지안내홈부(22)와 제2간섭방지안내홈부(32)에 의해 상호간에 간섭 방지되기 때문에 보관케이스(10)에서 구획되는 공간을 자유롭게 가변시킬 수 있도록 한 것이다.

슬라이드홈부(12)의 내측에는 제1슬라이드돌기(21)와 제2슬라이드돌기(31)가 걸림 가능하게 슬라이드 이동되도록 요철부(12a)가 형성된다.

외력에 의한 조작 없이 제1구획플레이트(20)와 제2구획플레이트(30)가 슬라이드 이동되는 현상을 방지시킬 수 있을 뿐만 아니라, 사용자가 제1구획플레이트(20)와 제2구획플레이트(30)를 슬라이드 이동시킬 때 조작 그립감을 형성할 수 있게 된다.

제1구획플레이트(20)와 제2구획플레이트(30)가 교차되는 부위에는 십자 형상의 끼움홈부(51)가 축 방향으로 함몰 형성되어 끼움결합되는 위치고정부재(50);를 포함한다.

위치고정부재(50)의 둘레면에는 제2구획플레이트(30)에 탄성적으로 가압 가능하게 끼워지도록 가압홈부(53)를 구비하는 보조탄성끼움부(52)가 형성된다.

가압홈부(53)의 폭은 제2구획플레이(30)의 두께보다 얇게 형성되는 것이 바람직하다.

위치고정부재(50)의 끼움홈부(51)가 제1구획플레이트(20)와 제2구획플레이트(30)가 교차되는 부위에 일치하도록 끼워지면 위치고정부재(50)는 제1구획플레이트(20)와 제2구획플레이트(30)의 임의적인 이동을 방지하도록 안내하고, 보조탄성끼움부(52)의 가압홈부(53)는 제2구획플레이트(30)의 높이 방향으로 강제 끼워짐으로써, 위치고정부재(50)를 제1구획플레이트(20)와 제2구획플레이트(30)가 교차되는 부위에 끼워진 방향의 반대 방향으로 이탈 방지시킨다.

이상 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예들을 더욱 상세하게 설명하였으나, 본 발명은 반드시 이러한 실시예로 국한되는 것은 아니고, 본 발명의 기술사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 다양하게 변형 실시될 수 있다. 따라서, 본 발명에 개시된 실시예들은 본 발명의 기술 사상을 한정하기 위한 것이 아니라 설명하기 위한 것이고, 이러한 실시예에 의하여 본 발명의 기술 사상의 범위가 한정되는 것은 아니다. 그러므로, 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 한다. 본 발명의 보호 범위는 아래의 청구범위에 의하여 해석되어야 하며, 그와 동등한 범위 내에 있는 모든 기술 사상은 본 발명의 권리범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.

그러므로, 다른 구현들, 다른 실시예들 및 특허청구범위와 균등한 것들도 후술하는 청구범위의 범위에 속한다.

100 : 공정챔버 200 : 진공펌프
210 : 토출구 220 : 진공배관
300 : 역류차단기 310 : 인입구
328 : 인출구 330 : 챔버
340 : 받침턱 360 : 개폐구
380 : 배출촉진부 382 : 케이지
384 : 날개 325 : 베인
350 : 제1체결부 370 : 제2체결부

Claims (3)

1. 진공 상태에서 웨이퍼에 소정의 공정을 진행하는 공정챔버;
   상기 공정챔버의 내부에 연결되어 불순물을 흡입,배출시키는 진공펌프;
   상기 진공펌프의 토출구에 연결되는 진공배관; 진공배관의 소정부분에 설치되고, 진공펌프 쪽으로 흡입된 가스가 상기 공정챔버 쪽으로 역류되는 것을 방지하는 역류차단기; 및 배출촉진부;를 포함하고,
   상기 역류차단기는,
   일측에 인입구가 형성되고 타측에 인출구가 형성되며 내부에 공간이 형성되어 유체가 흐르도록 하며, 내부 공간은 양측 인입구 및 인출구 보다 직경이 크게 형성되어 유체가 일시적으로 체류할 수 있는 챔버로 이루어진 바디;
   상기 바디의 내주면에 방사상으로 돌출 형성되며 상기 인출구에 근접되어 다수 형성되는 받침턱; 바디의 내부에 삽입되며 상기 받침턱에 지지되거나 상기 인입구에 밀착되어 밀폐시키는 개폐구;를 포함하고,
   상기 배출촉진부는 상기 진공배관의 내부에 부착되는 케이지와, 상기 케이지의 내부에 축으로 결합되어 회전되도록 다수의 날개가 형성되어 와류를 형성시키는 것이며,
   상기 진공배관의 설치되며 배출되는 기체에 혼합된 불순물을 걸러내는 필터가 구비된 필터케이스;를 포함하고,
   상기 필터케이스는
   하부에는 연결구가 형성되어 진공배관의 일단이 연결되며, 내측면에는 둘레 방향을 따라 한 쌍의 슬라이드홈부가 이격되도록 함몰 형성되고, 상부에 개구부가 형성되고, 개구부에 덮개가 결합되어 밀봉되며, 상기 덮개에는 진공배관의 타단이 연결되고,
   내부에 필터가 수납되며, 상기 필터를 지지하여 고정되도록 하는 제1구획플레이트와 제2구획플레이트가 교차 결합되는 것이고,
   상기 제1구획플레이트는,
   상기 슬라이드홈부에 슬라이드 이동 가능하게 끼워지는 제1슬라이드돌기가 양측에 돌출 형성되고, 제2구획플레이트에 간섭 방지 가능하게 슬라이드 이동되도록 제1간섭방지안내홈부가 상측에 길이 방향을 따라 함몰 형성된 것이고,
   상기 제2구획플레이트는
   슬라이드홈부에 슬라이드 이동 가능하게 끼워지는 제2슬라이드돌기가 양측에 돌출 형성되고, 하측에 제1구획플레이트에 간섭 방지 가능하게 슬라이드 이동되도록 제2간섭방지안내홈부가 하측에 함몰 형성된 것이며,
   상기 슬라이드홈부의 내측에는 제1슬라이드돌기와 제2슬라이드돌기가 걸림 가능하게 슬라이드 이동되도록 요철부가 형성된 것을 특징으로 하는 에너지 효율 및 이물질 제거 성능 개선을 위한 진공 펌프장치.
2. 제 1항에 있어서,
   상기 바디는,
   제1컵과 제2컵이 결합되어 분리가능하도록 하며,
   상기 제1컵은 일측에 인입구가 형성되고 타측에는 제1결합부를 갖는 개구부가 형성되고,
   상기 제2컵은 일측에 인출구가 형성되고 타측에는 제2결합부를 갖는 개구부가 형성되어 이루어지고,
   상기 바디는 내주면에 다수의 베인이 형성되며,
   상기 다수의 베인 각각은 인입구에서 인출구를 향해 형성되며 일측으로 경사지게 형성되는 것을 특징으로 하는 에너지 효율 및 이물질 제거 성능 개선을 위한 진공 펌프장치.
   
   
3. 삭제

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