KR102328713B1 - 박막두께 측정장치 - Google Patents

박막두께 측정장치 Download PDF

Info

Publication number
KR102328713B1
KR102328713B1 KR1020190179546A KR20190179546A KR102328713B1 KR 102328713 B1 KR102328713 B1 KR 102328713B1 KR 1020190179546 A KR1020190179546 A KR 1020190179546A KR 20190179546 A KR20190179546 A KR 20190179546A KR 102328713 B1 KR102328713 B1 KR 102328713B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
unit
polarization
thin film
film thickness
measuring device
Prior art date
Application number
KR1020190179546A
Other languages
English (en)
Other versions
KR20210085945A (ko
Inventor
주기남
김진섭
Original Assignee
조선대학교산학협력단
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 조선대학교산학협력단 filed Critical 조선대학교산학협력단
Priority to KR1020190179546A priority Critical patent/KR102328713B1/ko
Publication of KR20210085945A publication Critical patent/KR20210085945A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR102328713B1 publication Critical patent/KR102328713B1/ko

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
    • G01B11/02—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness
    • G01B11/06—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness for measuring thickness ; e.g. of sheet material
    • G01B11/0616—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness for measuring thickness ; e.g. of sheet material of coating
    • G01B11/0625—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness for measuring thickness ; e.g. of sheet material of coating with measurement of absorption or reflection
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/17—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
    • G01N21/21—Polarisation-affecting properties

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Biochemistry (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • Immunology (AREA)
  • Pathology (AREA)
  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)

Abstract

본 발명은 박막두께 측정장치에 관한 것으로 더욱 상세하게는 측정대상체가 세팅되는 시료부와, 상기 측정대상체로 소정의 조사광을 조사하는 광원부와, 상기 측정대상체로부터 반사되는 반사광을 수광하는 수광부와, 상기 반사광의 편광상태를 변환하기 위해 상기 반사광의 경로상에 배치되는 것으로서, 상기 반사광을 서로 다른 다수의 편광상태로 변환하는 편광유닛을 포함하며, 상기 반사광이 편광유닛을 통과하여 파장별 서로 다른 편광방향의 광들을 획득하여 박막두께를 측정할 수 있는 박막두께 측정장치에 관한 것이다.

Description

박막두께 측정장치{Thin film thickness measuring device}
본 발명은 박막두께 측정장치에 관한 것으로 더욱 상세하게는 측정대상체에 조사되어 반사한 반사광이 편광유닛을 통과하여 파장별 서로 다른 편광방향의 광들을 획득하여 박막두께를 측정할 수 있는 박막두께 측정장치에 관한 것이다.
최근 첨단기술 산업분야인 반도체, 태양광 및 디스플레이 분야에서 사용되는 부품의 수요가 급증하고 있으며, 이에 따른 제품의 성능과 품질에 대한 중요도가 높아지고 있다.
위의 첨단기술 산업분야에서 사용되는 부품을 제조하기 위해 사용되는 소재중 하나인 박막은 두께와 특성이 제품의 품질을 결정하는 부품으로서, 내부가 다층 으로 이루어지며, 형태가 다양하고 매우 얇아지고 있는 추세다.
따라서, 이러한 박막의 생산성과 품질의 균일성을 높이기 위하여, 제조공정시 발생할 수 있는 불량을 최소하하여 수율을 향상시킬 수 있는 박막두께 측정기술이 필수적으로 요구되고 있다.
박막두께를 측정하기 위해서 일반적으로 분광타워계측기를 사용하여 박막두께를 측정하지만 구동원리상 박막에서 반사되는 빛의 편광변화를 획득하기 위해 반사되는 빛의 반사상의 경로에 편광기나 보정판의 기계적인 구동이 필수적이라는 점에서 단점이 있다.
따라서, 본 발명자는 기존의 분광타워계측기의 단점을 극복하기 위해서 측정대상체에 반사된 반사광의 경로상에 배치되는 기계적 구동부의 구성을 제외하고, 박막에서 반사되는 빛의 편광변화를 획득하여 정말하게 다층 박막의 두께를 실시간으로 측정하고, 이와 관련된 프로파일을 획득할 수 있도록 구성을 완비하기에 이르렀다.
한국등록특허공보 제10-0574776호: 분광결상을 이용한 타원계측 장치 및 타원계측 방법
본 발명은 상기 문제점을 해결하기 위해 창출된 것으로 측정대상체에 반사된 반사광의 경로상에 배치되는 기계적 구동부를 제외하고, 상기 측정대상체에 반사된 반사광이 파장별 서로 다른 편광방향에서 동시에 획득될 수 있는 박막두께 측정장치를 제공하는데 그 목적이 있다.
상기와 같은 문제점을 해결하고 목적을 달성하기 위하여 박막두께 측정장치는 측정대상체가 세팅되는 시료부와, 상기 측정대상체로 소정의 조사광을 조사하는 광원부와, 상기 측정대상체로부터 반사되는 반사광을 수광하는 수광부와, 상기 반사광의 편광상태를 변환하기 위해 상기 반사광의 경로상에 배치되는 것으로서, 상기 반사광을 서로 다른 다수의 편광상태로 변환하는 편광유닛을 포함한다.
상기 편광유닛은 상기 반사광을 서로 다른 편광상태로 변환할 수 있도록 상호 상이한 형상의 패턴을 갖는 다수의 단위편광부를 포함한다.
상기 단위편광부는 상기 패턴들이 좌우방향으로 연장된 가상의 중심선을 기준으로 소정의 편광각을 갖도록 연장된다.
상기 단위편광부들중 하나는 상기 편광각이 90°이다.
상기 단위편광부들중 하나는 상기 편광각이 45°이다.
상기 단위편광부들중 하나는 상기 편광각이 135°이다.
상기 단위편광부들중 하나는 상기 가상의 중심선과 나란하게 형성된 패턴으로 이루어진다.
상기 편광유닛은 좌우방향으로 연장된 가상의 중심선을 기준으로 90°의 편광각을 가지는 제1 단위편광부와, 상기 가상의 중심선을 기준으로 45°의 편광각을 가지는 제2 단위편광부와, 상기 가상의 중심선을 기준으로 135°의 편광각을 가지는 제3 단위편광부와, 상기 가상의 중심선과 나란하게 형성된 패턴으로 이루어지는 제4 단위편광부를 포함한다.
상기 편광유닛은 상기 제1 내지 4 단위편광부가 상호 인접되게 각각 결합된다.
상기 제2 단위편광부는 상기 제1 단위편광부의 우측 가장자리에 결합된다.
상기 제3 단위편광부는 상기 제1 단위편광부의 하단 가장자리에 결합된다.
상기 제4 단위편광부는 상기 제2 단위편광부의 하단 가장자리 및 상기 제3 단위편광부의 우측 가장자리에 결합된다.
상기 제1 내지 4 단위편광부는 상기 반사광의 경로상과 동일한 위치에 배치된다.
상기 광원부는 광원과, 상기 광원으로부터 조사된 조사광을 확장하는 확장부와, 상기 확장된 조사광을 선형편광시키는 선형편광부를 포함한다.
상기 수광부는 상기 측정대상체로부터 반사된 반사광의 경로상에 배치되는 것으로서, 특정 편광상태를 유도하는 위상지연판과, 상기 위상지연판을 통과한 반사광을 수광하는 이미징렌즈와, 상기 이미징렌즈와 연결되며, 상기 이미징렌즈에서 수광된 광을 파장별로 분광하는 분광부와, 상기 분광부로부터 분광된 광의 파장별 광학적 데이터를 분석하여 이미지 형태의 데이터를 추출하는 데이터추출부를 포함한다.
본 발명에 따른 박막두께 측정장치는 측정대상체에 반사된 반사광의 경로상에 배치되는 기계적 구동부를 제외하고, 상기 반사광이 편광유닛을 통과하여 파장별 서로 다른 편광방향에서 광들을 동시에 획득될 수 있는 장점이 있다.
도 1은 본 발명의 바람직한 일 실시예에 따른 박막두께 측정장치를 나타낸 도면이다.
도 2는 본 발명의 바람직한 일 실시예에 따른 편광유닛을 나타낸 도면이다.
도 3은 본 발명의 바람직한 일 실시예에 따른 반사광이 단위편광부를 통과하여 획득한 샘플이미지를 나타낸 도면이다.
도 4는 본 발명의 바람직한 일 실시예에 따른 반사광이 단위편광부를 통과하여 획득한 샘플이미지를 나타낸 도면이다.
이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 실시예에 따른 "박막두께 측정장치"에 대해 상세히 설명한다. 본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있는 바, 특정 실시 예들을 도면에 예시하고 본문에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나 이는 본 발명을 특정한 개시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 각 도면을 설명하면서 유사한 참조부호를 유사한 구성요소에 대해 사용하였다. 첨부된 도면에 있어서, 구조물들의 치수는 본 발명의 명확성을 기하기 위하여 실제보다 확대하여 도시한 것이다.
제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 예를 들어, 본 발명의 권리 범위를 벗어나지 않으면서 제1 구성요소는 제2 구성요소로 명명될 수 있고, 유사하게 제2 구성요소도 제1 구성요소로 명명될 수 있다.
본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시 예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서 상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.
다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가지고 있다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥 상 가지는 의미와 일치하는 의미를 가지는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.
도 1 및 2를 참조하면, 본 발명인 박막두께 측정장치(10)는 시료부(100), 광원부(200), 수광부(300) 및 편광유닛(400)을 포함한다.
상기 시료부(100)는 상면에 측정대상체(110)가 세팅된다. 상기 측정대상체(110)는 박막 또는 다층 박막 구조물이다.
상기 광원부(200)는 광원(210), 확장부(220) 및 선형편광부(230)를 포함한다.
상기 광원(210)은 조사광을 발생시켜 상기 측정대상체(110)를 향해 시준하여 조사한다. 여기서, 상기 시준된 조사광은 백색광으로서 모든 파장의 빛이 포함되어 있다.
상기 확장부(220)는 광원(210)으로부터 조사된 조사광을 상기 시료부(100)의 측정영역에 대응되게 확장하는 것으로서, 상기 광원(210)에서 발생되는 조사광 경로상에 배치된다.
상기 확장부(220)는 일반적으로 사용되는 빔 확장기로서 종래의 구성이므로 구체적인 상세한 설명은 생략한다.
상기 선형편광부(230)는 확장된 조사광을 45°로 선형편광시킨다. 상기 측정대상체(110)의 종류에 따라 특정한 편광상태의 빛이 큰 실효성을 갖는 특정광으로 기능한다고 알려져 있는 바, 본 발명에서는 상기 조사광이 선형편광되어 상기 측정대상체(110)에 조사된다.
상기 선형편광된 조사광은 상기 측정대상체(110)에 의해 반사되는 반사광으로서 타원편광 상태로 변하게 된다. 이때, 상기 반사광의 편광상태는 해당 측정대상체(110)의 물성과 구조에 기초하는 특성을 나타내게 된다.
상기 수광부(300)는 위상지연판(310), 이미징렌즈(320), 분광부(330) 및 데이터추출부(340)를 포함한다.
상기 위상지연판(310)은 상기 측정대상체(110)로부터 반사된 반사광의 경로상에 배치되는 것으로서, 특정 편광상태를 유도한다. 상기 특정 편광상태란 선편광, 원평광 및 타원편광등으로 특정한 편광상태에 있는 것을 말한다.
상기 위성지연판(310)은 상기 반사광이 광학적으로 대등하여 반사광 분석을 용이하게 할 수 있도록 편광을 변화시킨다.
상기 이미징렌즈(320)는 상기 위장지연판(310)을 통과한 반사광을 수광한다.
상기 분광부(330)는 상기 이미징렌즈(320)와 연결되는 것으로서, 상기 이미징렌즈(320)에서 수광된 반사광을 파장별로 분광한다. 상기 분광부(330)는 상기 반사광이 반사되는 방향에 대하여 수직방향으로 분리한다.
상기 데이터추출부(340)는 상기 분광부(330)로부터 분광된 반사광의 파장별 광학적 데이터를 분석하여 이미지 형태의 데이터를 추출한다. 상기 데이터추출부(340)는 일반적으로 사용되는 편광카메라(PCMOS)로 종래의 구성이므로 구체적인 상세한 설명은 생략한다.
상기 데이터추출부(340)는 상기 추출된 이미지 형태의 데이터를 사용자와 전기적으로 연결된 컴퓨터에 전송한다. 이때, 사용자의 컴퓨터에는 타원계측각을 산출할 수 있는 프로그램이 내장되어 있으므로 이를 통해 상기 반사광의 파장별 광학적 데이터를 기초로한 타원계측각을 즉각적으로 산출하고, 상기 측정대상체의 물성 데이터를 획득하여 두께를 측정한다.
상기 편광유닛(400)은 상기 분광부(330)에서 파장별로 분광된 반사광을 서로 다른 편광상태로 변환할 수 있도록 상호 상이한 형상의 패턴의 편광각을 갖는 다수의 단위편광부를 포함한다.
상기 편광유닛(400)은 좌우방향 또는 상하방향을 따라서 다수개가 배열된다.
상기 편광유닛(400)은 상기 반사광의 편광상태를 변환하기 위해 반사광의 경로상에 배치된다. 본 발명의 편광유닛(400)은 상기 반사광의 경로상에 배치되었으나, 상기 수광부(300)의 데이터추출부(340)(편광카메라)에 설치될 수도 있다.
상기 편광유닛(400)은 제1 내지 4 단위편광부(410,420,430,440)를 포함한다.
상기 제1 단위편광부(410)는 좌우방향으로 연장된 가상의 중심선을 기준으로 90°의 경사된 패턴으로 이루어진다. 즉, 90°의 편광각을 갖는다.
상기 제2 단위편광부(420)는 상기 가상의 중심선을 기준으로 45°의 경사된 패턴으로 이루어진다. 즉, 45°의 편광각을 갖는다.
상기 제3 단위편광부(430)는 상기 가상의 중심선을 기준으로 135°의 경사된 패턴으로 이루어진다. 즉, 135°의 편광각을 갖는다.
상기 제4 단위편광부(440)는 상기 가상의 중심선과 나란하게 형성된 패턴으로 이루어진다. 즉, 0°의 편광각을 갖는다.
상기 편광유닛(400)은 상기 제1 내지 4 단위편광부가 상호 인접되게 각각 결합된다.
상기 제2 단위편광부(420)는 상기 제1 단위편광부(410)의 우측 가장자리에 결합된다. 상기 제3 단위편광부(430)는 상기 제1 단위편광부(410)의 하단 가장자리에 결합된다. 상기 제4 단위편광부(440)는 상기 제2 단위편광부(420)의 하단 가장자리 및 상기 제3 단위편광부(430)의 우측 가장자리에 결합된다.
상기 제1 내지 4 단위편광부(410,420,430,440)는 상기 반사광의 경로상과 동일한 위치에 배치된다.
도 3 및 4를 참조하면, 상기 반사광이 상기 단위편광부들을 통과하여 파장별로 서로 다른 편광방향으로 변환된 샘플 데이터가 게시되어 있으며, 일시에 다수의 편광상태에 따른 데이터를 취득할 수 있음을 알 수 있다.
따라서, 상기 반사광이 상기 단위편광부를 통과하여 파장별로 서로 다른 편광방향으로 변환되므로 종래의 타원계측기에서의 편광변화와 동일한 효과를 가지며 더 나은 기술로서 편리한 장점을 가진다.
본 발명인 박막두께 측정장치(10)의 작동은 다음과 같다.
상기 광원(210)에 의해 상기 측정대상체(110)를 향해 조사광을 시준하여 조사하면 상기 조사광 경로상에 배치된 확장부(220)가 상기 조사광을 상기 시료부(100)의 측정영역에 대응되게 확장한다.
상기 확장된 조사광은 상기 선형편광부(230)에 의해 상기 측정대상체(110)의 측정광으로서 큰 실효성을 갖도록 상기 조사광이 선형편광되어 상기 측정대상체(110)에 조사된다. 동시에, 상기 조사광은 상기 측정대상체(110)에 의해 반사되는 반사광으로서 타원편광 상태로 변하게 된다. 또한 상기 반사광의 편광상태는 해당 측정대상체(110)의 물성과 구조에 기초하는 특성을 나타내게 된다.
상기 반사광은 상기 위성지연판(310)에 의해 상기 반사광이 광학적으로 대등하여 반사광의 분석을 용이하게 할 수 있도록 편광을 변화시키게 되며 상기 이미징렌즈(320)에 의해 수광된다. 상기 수광된 반사광은 상기 분광부(330)에 의해 수광된 반사광을 파장별로 분광하며, 상기 반사광이 조사되는 방향에 대하여 수직방향으로 분리한다.
상기 분광부(330)에서 파장별로 분광된 반사광은 경로상에 배치된 상기 편광유닛(400)의 단위편광부를 통과하며 각각 서로 다른 편광상태로 변환하게 된다.
이후, 상기 데이터추출부(340)는 상기 단위편광부들을 통과하며 서로 다른 편광상태로 변환한 반사광의 파장별 광학적 데이터를 분석하여 이미지 형태의 데이터를 추출한다.
한편, 상기 추출된 이미지 형태의 데이터는 사용자와 전기적으로 연결된 컴퓨터에 전송하게 된다. 이때, 사용자의 컴퓨터에는 타원계측각을 산출할 수 있는 프로그램이 내장되어 있으므로 이를 통해 상기 광의 파장별 광학적 데이터를 기초로한 타원계측각을 즉각적으로 산출하여 측정대상물의 두께를 최종적으로 측정하게 된다.
따라서, 일반적으로 종래기술인 타원계측기는 편광상태를 변환하기 위해서 사용자가 작업중에 편광 회전장치와 같은 기계적 구동부를 구동한다. 그러나 본 발명에 따른 박막두께 측정장치(10)는 상기 기계적 구동부를 생략하며, 상기 반사광이 상기 단위편광부를 통과하여 파장별로 서로 다른 편광방향으로 변환되므로 종래의 타원계측기에서의 편광변화와 동일한 효과를 가지며 더 나은 기술로서 편리한 장점을 가진다.
제시된 실시예들에 대한 설명은 임의의 본 발명의 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자가 본 발명을 이용하거나 또는 실시할 수 있도록 제공된다. 이러한 실시예들에 대한 다양한 변형들은 본 발명의 기술 분야에서 통상의 지식을 가진자에게 명백할 것이며, 여기에 정의된 일반적인 원리들은 본 발명의 범위를 벗어남이 없이 다른 실시예들에 적용될 수 있다. 그리하여, 본 발명은 여기에 제시된 실시예들로 한정되는 것이 아니라, 여기에 제시된 원리들 및 신규한 특징들과 일관되는 최광의의 범위에서 해석되어야 할 것이다.
10: 박막두께 측정장치
100: 시료부 110: 측정대상체
200: 광원부 210: 광원
220: 확장부 230: 선형편광부
300: 수광부 310: 위상지연판
320: 이미징렌즈 330: 분광부
340: 데이터추출부 400: 편광유닛
410: 제1 단위편광부 420: 제2 단위편광부
430: 제3 단위편광부 440: 제4 단위편광부

Claims (15)

  1. 측정대상체가 세팅되는 시료부와;
    상기 측정대상체로 소정의 조사광을 조사하는 광원부와;
    상기 측정대상체로부터 반사되는 반사광을 수광하는 수광부와;
    상기 반사광의 편광상태를 변환하기 위해 상기 반사광의 경로상에 배치되는 것으로서, 상기 반사광을 서로 다른 다수의 편광상태로 변환하는 편광유닛을 포함하되,
    상기 수광부는
    상기 수광된 반사광을 파장별로 분광하는 분광부와;
    상기 분광부로부터 분광된 반사광의 파장별 광학적 데이터를 분석하여 다수의 이미지 형태로 추출하는 데이터추출부를 포함하며,
    상기 데이터추출부는 편광카메라이고,
    상기 편광유닛은 좌우방향 또는 상하방향으로 다수개가 배열되고, 상기 분광부에서 파장별로 분광된 반사광을 각각 서로 다른 편광상태로 변환하여 상기 데이터추출부에 전달하며,
    상기 편광유닛은
    좌우방향으로 연장된 가상의 중심선을 기준으로 90°의 편광각을 가지는 제1 단위편광부와;
    상기 가상의 중심선을 기준으로 45°의 편광각을 가지는 제2 단위편광부와;
    상기 가상의 중심선을 기준으로 135°의 편광각을 가지는 제3 단위편광부와;
    상기 가상의 중심선과 나란하게 형성된 패턴으로 이루어지는 제4 단위편광부를 포함하며,
    상기 제1 내지 제4 단위편광부는 상호 인접되게 각각 결합되는 것을 특징으로 하는
    박막두께 측정장치.
  2. 제1 항에 있어서,
    상기 편광유닛은 상기 반사광을 서로 다른 편광상태로 변환할 수 있도록 상호 상이한 형상의 패턴을 갖는 다수의 단위편광부를 포함하는 것을 특징으로 하는
    박막두께 측정장치.
  3. 제2 항에 있어서,
    상기 단위편광부는 상기 패턴들이 좌우방향으로 연장된 가상의 중심선을 기준으로 소정의 편광각을 갖도록 연장된 것을 특징으로 하는
    박막두께 측정장치.
  4. 제3 항에 있어서,
    상기 단위편광부들중 하나는 상기 편광각이 90°인 것을 특징으로 하는
    박막두께 측정장치.
  5. 제3 항에 있어서,
    상기 단위편광부들중 하나는 상기 편광각이 45°인 것을 특징으로 하는
    박막두께 측정장치.
  6. 제3 항에 있어서,
    상기 단위편광부들중 하나는 상기 편광각이 135°인 것을 특징으로 하는
    박막두께 측정장치.
  7. 제3 항에 있어서,
    상기 단위편광부들중 하나는 상기 가상의 중심선과 나란하게 형성된 패턴으로 이루어진 것을 특징으로 하는
    박막두께 측정장치.
  8. 삭제
  9. 삭제
  10. 제1 항에 있어서,
    상기 제2 단위편광부는 상기 제1 단위편광부의 우측 가장자리에 결합되는 것을 특징으로 하는
    박막두께 측정장치.
  11. 제1 항에 있어서,
    상기 제3 단위편광부는 상기 제1 단위편광부의 하단 가장자리에 결합되는 것을 특징으로 하는
    박막두께 측정장치.
  12. 제1 항에 있어서,
    상기 제4 단위편광부는 상기 제2 단위편광부의 하단 가장자리 및 상기 제3 단위편광부의 우측 가장자리에 결합되는 것을 특징으로 하는
    박막두께 측정장치.
  13. 제1 항에 있어서,
    상기 제1 내지 4 단위편광부는 상기 반사광의 경로상과 동일한 위치에 배치되는 것을 특징으로 하는
    박막두께 측정장치.
  14. 제1 항에 있어서,
    상기 광원부는
    광원과;
    상기 광원으로부터 조사된 조사광을 확장하는 확장부와;
    상기 확장된 조사광을 선형 편광시키는 선형편광부를 포함하는 것을 특징으로 하는
    박막두께 측정장치.
  15. 제1 항에 있어서,
    상기 수광부는
    상기 측정대상체로부터 반사된 반사광의 경로상에 배치되는 것으로서, 특정 편광상태를 유도하는 위상지연판과;
    상기 위상지연판을 통과한 반사광을 수광하는 이미징렌즈를 포함하며,
    상기 분광부는 상기 이미징렌즈와 연결되는 것을 특징으로 하는
    박막두께 측정장치.



KR1020190179546A 2019-12-31 2019-12-31 박막두께 측정장치 KR102328713B1 (ko)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020190179546A KR102328713B1 (ko) 2019-12-31 2019-12-31 박막두께 측정장치

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020190179546A KR102328713B1 (ko) 2019-12-31 2019-12-31 박막두께 측정장치

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20210085945A KR20210085945A (ko) 2021-07-08
KR102328713B1 true KR102328713B1 (ko) 2021-11-17

Family

ID=76894664

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020190179546A KR102328713B1 (ko) 2019-12-31 2019-12-31 박막두께 측정장치

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR102328713B1 (ko)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR102515593B1 (ko) * 2022-04-22 2023-03-30 한밭대학교 산학협력단 단촬상 타원분광법을 이용한 반도체 검사 장치

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101987402B1 (ko) * 2018-02-21 2019-06-10 한국표준과학연구원 편광픽셀어레이를 이용한 박막과 후막의 두께 및 삼차원 표면 형상 측정 광학 장치
WO2019124104A1 (ja) * 2017-12-20 2019-06-27 ソニー株式会社 物体形状計測装置、および方法、並びにプログラム

Family Cites Families (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100574776B1 (ko) 2004-01-15 2006-04-28 한국표준과학연구원 분광결상을 이용한 타원계측 장치 및 타원계측 방법
KR20170055661A (ko) * 2015-11-12 2017-05-22 조선대학교산학협력단 대면적 실시간 박막 측정 분광 영상 타원계측 장치

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2019124104A1 (ja) * 2017-12-20 2019-06-27 ソニー株式会社 物体形状計測装置、および方法、並びにプログラム
KR101987402B1 (ko) * 2018-02-21 2019-06-10 한국표준과학연구원 편광픽셀어레이를 이용한 박막과 후막의 두께 및 삼차원 표면 형상 측정 광학 장치

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR102515593B1 (ko) * 2022-04-22 2023-03-30 한밭대학교 산학협력단 단촬상 타원분광법을 이용한 반도체 검사 장치
WO2023204679A1 (ko) * 2022-04-22 2023-10-26 한밭대학교 산학협력단 단촬상 타원분광법을 이용한 반도체 검사 장치

Also Published As

Publication number Publication date
KR20210085945A (ko) 2021-07-08

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US9176048B2 (en) Normal incidence broadband spectroscopic polarimeter and optical measurement system
JP2010515027A5 (ko)
US11264256B2 (en) Wafer inspection apparatus
JP4779124B2 (ja) 光学特性計測装置及び光学特性計測方法
KR20170031642A (ko) 고속분광편광 측정장치 및 방법
TW201530093A (zh) 厚度線上即時檢測之光學干涉裝置及其方法
US10634607B1 (en) Snapshot ellipsometer
CN112236666A (zh) 瞬时椭偏仪或散射仪及相关测量方法
WO2020215199A1 (zh) 一种表面缺陷检测系统及方法
TW200846621A (en) Method and apparatus for simultaneously acquiring interferograms and method for solving the phase
CN110411952B (zh) 多偏振通道面阵列探测的椭圆偏振光谱获取系统和方法
KR102328713B1 (ko) 박막두께 측정장치
JP2009103598A (ja) 分光エリプソメータおよび偏光解析方法
CN110927122B (zh) 一种基于干涉光谱的相位型spr检测装置及方法
JP5926953B2 (ja) 偏光解消板およびこれを用いた円二色性分光装置
KR20170055661A (ko) 대면적 실시간 박막 측정 분광 영상 타원계측 장치
KR101735318B1 (ko) 고속 이미징 타원해석기
KR102015811B1 (ko) 분광 타원계를 이용한 표면 검사장치
JP6239336B2 (ja) 円二色性計測方法及び円二色性計測装置
TWI447351B (zh) 正交偏極式Ｍｉｒａｕ干涉術以及其分光模組與干涉系統
JP2009047685A (ja) 光弾性測定方法およびその装置
KR101692869B1 (ko) 인디케이터를 이용한 광학 현미경
US20220003539A1 (en) Apparatus and method for measuring the thickness and refractive index of multilayer thin films using angle-resolved spectral interference image according to polarization
JP5585837B2 (ja) 膜厚測定方法および装置
TW201516374A (zh) 線型掃描形貌量測系統

Legal Events

Date Code Title Description
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant