KR102326329B1 - 진공 챔버용 피드 스루 및 그 제조 방법 - Google Patents

진공 챔버용 피드 스루 및 그 제조 방법 Download PDF

Info

Publication number
KR102326329B1
KR102326329B1 KR1020210041182A KR20210041182A KR102326329B1 KR 102326329 B1 KR102326329 B1 KR 102326329B1 KR 1020210041182 A KR1020210041182 A KR 1020210041182A KR 20210041182 A KR20210041182 A KR 20210041182A KR 102326329 B1 KR102326329 B1 KR 102326329B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
cable
sealing agent
agent
sealing
curing
Prior art date
Application number
KR1020210041182A
Other languages
English (en)
Inventor
임하나
신준철
Original Assignee
임하나
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 임하나 filed Critical 임하나
Priority to KR1020210041182A priority Critical patent/KR102326329B1/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR102326329B1 publication Critical patent/KR102326329B1/ko

Links

Images

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/683—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping
    • H01L21/6831—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping using electrostatic chucks
    • H01L21/6833—Details of electrostatic chucks
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23Q—DETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
    • B23Q3/00—Devices holding, supporting, or positioning work or tools, of a kind normally removable from the machine
    • B23Q3/15—Devices for holding work using magnetic or electric force acting directly on the work
    • H—ELECTRICITY
    • H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
    • H02N—ELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H02N13/00—Clutches or holding devices using electrostatic attraction, e.g. using Johnson-Rahbek effect

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Processing Of Terminals (AREA)

Abstract

본 발명은 진공 챔버와 연결되는 피드 스루를 제조하는 과정에 있어서 피드 스루의 일측에 결합되는 케이블 단자와의 이격공간은 물론, 피드 스루의 내부를 관통하는 케이블과의 이격 공간에 이종의 실링제를 주입 및 충진시킴으로써 피드 스루의 내외부적으로 확실한 기밀성을 확보할 수 있으며, 또한 이종의 실링제의 경화 과정에서 발생되는 열에 의해 실링제 서로 간의 경화반응을 촉진시킴으로써 단시간에 피드 스루를 제조할 수 있도록 진공 챔버용 피드 스루 및 그 제조 방법에 관한 것이다.

Description

진공 챔버용 피드 스루 및 그 제조 방법{FEED-THROUGH AND METHOD FOR MANUFACTURING THE FEED-THROUGH}
본 발명은 진공 챔버용 피드 스루 및 그 제조 방법에 관한 것으로서, 보다 구체적으로는, 진공 챔버와 연결되는 피드 스루를 제조하는 과정에 있어서 피드 스루의 일측에 결합되는 케이블 단자와의 이격공간은 물론, 피드 스루의 내부를 관통하는 케이블과의 이격 공간에 이종의 실링제를 주입 및 충진시킴으로써 피드 스루의 내외부적으로 확실한 기밀성을 확보할 수 있으며, 또한 이종의 실링제의 경화 과정에서 발생되는 열에 의해 실링제 서로 간의 경화반응을 촉진시킴으로써 단시간에 피드 스루를 제조할 수 있도록 진공 챔버용 피드 스루 및 그 제조 방법에 관한 것이다.
정전척(ESC, Electro Static Chuck)이란 고전압을 인가하여 정전기력으로 디스플레이 패널, 웨이퍼와 같은 대상체를 흡착 고정하는 장치이고, 진공 챔버란 반도체 제조라인에 있어 그 내부에서 대상체에 공정을 실시할 수 있도록 공간을 제공하는 것으로, 특히 그 내부를 진공 상태로 만들 수 있다. 이러한 진공 챔버 내부에 앞에서 설명한 정전척이 배치될 수 있다.
여기서, 정전척 및 진공 챔버에는 그 외부와의 접속을 위한 전선 연결, 또는 그 외부로의 가스나 액체 전달이나 배출과 같이 외부와 연결되는 부분이 필요하며 이때 사용되는 것이 피드 스루(feed-through)이다.
보다 구체적으로, 피드 스루란, 모든 형태의 서비스 기반 시설 및 소프트웨어, 신호를 진공 벽을 통해 전달하는 장치에 사용되는 것으로, 그 종류는 크게 전기, 가스, 액체, 광학용으로 나뉘고, 양면 간 접속(interface connection)이라고도 하며, 이러한 피드 스루가 적용된 장치의 예로 제시될 수 있는 것이 아래에 제시된 특허문헌의 그 것들이다.
여기서 종래의 피드 스루를 포함한 특허문헌을 살펴보면, 피드 스루와 장치가 단순히 연결되어 있어, 결합된 부분에 대한 밀폐가 제대로 되지 않는 단점이 있었다. 이로 인해 가스나 액체의 누출의 사고로도 이어지는 문제가 발생되고 있다.
특히, 피드 스루의 일측에 결합되는 케이블 단자와의 미세한 틈 사이로 유입되는 공기나 이물질을 막을 수 있도록 하는 기술이나 구조가 전혀 마련되어 있지 않다는 점에서, 본 출원인은 본 발명과 같이 피드 스루를 관통하는 케이블과의 이격 공간까지 밀폐시켜 확실한 기밀성을 확보할 수 있도록 기술을 개발하기에 이르렀다.
한국공개특허 제10-2015-0003229호
본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위해 안출된 것으로서, 진공 챔버와 연결되는 피드 스루를 제조하는 과정에 있어서 피드 스루의 일측에 결합되는 케이블 단자와의 이격공간은 물론, 피드 스루의 내부를 관통하는 케이블과의 이격 공간에 이종의 실링제를 주입 및 충진시킴으로써 피드 스루의 내외부적으로 확실한 기밀성을 확보할 수 있으며, 또한 이종의 실링제의 경화 과정에서 발생되는 열에 의해 실링제 서로 간의 경화반응을 촉진시킴으로써 단시간에 피드 스루를 제조할 수 있도록 진공 챔버용 피드 스루 및 그 제조 방법에 관한 것이다.
본 발명의 일 실시예에 진공 챔버용 피드 스루(100)는 일측 말단부에는 하나 이상의 케이블 단자(1)가 설치되며, 내부에는 길이 방향을 따라 상기 하나 이상의 케이블 단자(10)와 연결된 케이블(1a)이 관통되는 하나 이상의 케이블 관통 홀(110a)이 형성되는 몸체부(110), 일측 말단부는 상기 몸체부(110)와 결합되고, 내부에 정전척이 마련된 진공 챔버의 벽에 형성된 관통 홀에 길이 방향으로 끼움 결합되며, 길이 방향을 기준으로 중심부에는 상기 관통 홀의 크기에 상응하도록 함몰공간이 외주면을 따라 형성되고, 내부에는 길이 방향을 따라 상기 케이블(1a)이 관통되는 하나 이상의 케이블 관통 홀(120a)이 형성되는 결합부(120) 및 상기 케이블 관통 홀(110a) 사이에 주입되어 경화되며, 상기 케이블 관통 홀(110a)과 상기 케이블(1a) 간의 이격 공간을 메워 밀봉하는 실링제를 포함하는 것을 특징으로 할 수 있다.
일 실시예에서, 상기 결합부(120)의 양측면 중에서 상기 몸체부(110)와 결합되는 면에는 고리 형상의 실링 고리가 수용되는 실링 고리용 함몰공간(120b)이 형성되며, 상기 결합부(120)와 상기 몸체부(110)가 서로 결합되는 경우, 상기 몸체부(110)의 일측 말단부가 상기 실링 고리용 함몰공간(120b)에 수용된 상기 실링 고리에 밀착되는 것을 특징으로 할 수 있다.
일 실시예에서, 상기 실링제는 상기 케이블 관통 홀(110a)의 내벽과 상기 케이블(1a) 사이의 이격 공간에 1차적으로 주입되는 제1 실링제와 제1 경화제 및 상기 케이블 관통 홀(110a)의 내벽과 상기 케이블(1a) 사이의 이격 공간에 2차적으로 주입되는 제2 실링제와 제2 경화제를 포함하며, 상기 제1 실링제와 제1 경화제가 1차적으로 주입된 후 상기 제2 실링제와 상기 제2 경화제가 2차적으로 주입되는 경우, 상기 제2 실링제와 상기 제2 경화제의 경화반응 시 발생되는 열에 의해 상기 제1 실링제와 제1 경화제의 경화반응이 촉진되면서 상기 제1 실링제와 상기 제2 실링제가 동시에 경화되는 것을 특징으로 할 수 있다.
본 발명의 다른 실시예에 따른 진공 챔버용 피드 스루의 제조 방법은 몸체부(110)의 일측 말단부를 통해, 내부 길이 방향을 따라 형성된 하나 이상의 케이블 관통 홀(110a)의 내부로 케이블(1a)을 관통시키고 상기 케이블(1a)과 연결된 케이블 단자(1)를 상기 몸체부(110)의 일측 말단부에 볼트 결합하는 단계, 상기 몸체부(110)의 타측 말단부의 하나 이상의 케이블 관통 홀(110a)을 통해 제1 실링제와 제1 경화제를 1차적으로 주입한 후 제2 실링제와 제2 경화제를 2차적으로 주입하여, 상기 제2 실링제와 상기 제2 경화제의 경화반응 시 발생되는 열을 통해 상기 제1 실링제 및 제2 실링제가 동시에 경화되도록 하는 단계 및 상기 몸체부(110)의 타측 말단부에 결합부(120)를 위치시킨 후, 상기 결합부(120)의 내부 길이 방향을 따라 형성된 하나 이상의 케이블 관통 홀(120a)의 내부로 상기 케이블(1a)을 관통시키고 상기 몸체부(110)와 상기 결합부(120)를 서로 볼트 결합하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 할 수 있다.
일 실시예에서, 상기 제1 실링제 및 제2 실링제가 동시에 경화되도록 하는 단계는 상기 케이블 관통 홀(110a) 내부의 내부 공간 부피에 따라, 실링제 주입 장치에 대하여 상기 제1 실링제와 제1 경화제, 제2 실링제와 제2 경화제 간의 배합 비율을 조정하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 할 수 있다.
본 발명에 따르면, 피드 스루의 일측에 결합되는 케이블 단자와의 이격공간은 물론, 피드 스루의 내부를 관통하는 케이블과의 이격 공간에 이종의 실링제를 주입 및 충진시킴으로써 피드 스루의 내외부적으로 확실한 기밀성을 확보할 수 있는 이점을 가진다.
또한 본 발명에 따르면, 이종의 실링제의 경화 과정에서 발생되는 열에 의해 실링제 서로 간의 경화반응을 촉진시킴으로써 단시간에 피드 스루를 제조할 수는 이점을 가진다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 진공 챔버용 피드 스루(100)의 형상을 개략적으로 도시한 도면이다.
도 2는 도 1에 도시된 진공 챔버용 피드 스루(100)의 분해 사시도이다.
도 3은 도 1에 도시된 몸체부(110)를 보다 구체적으로 도시한 도면이다.
도 4는 도 1에 도시된 결합부(120)를 보다 구체적으로 도시한 도면이다.
도 5는 도 1에 도시된 몸체부(110)의 케이블 관통 홀(110a) 내부에 이종의 실링제가 주입 및 경화된 상태를 도시한 도면이다.
이하, 첨부한 도면을 참고로 하여 본 발명의 실시예들에 대하여 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 상세히 설명한다. 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며 여기에서 설명하는 실시예들에 한정되지 않는다.
본 발명을 명확하게 설명하기 위해서 설명과 관계없는 부분은 생략하였으며, 명세서 전체를 통하여 동일 또는 유사한 구성요소에 대해서는 동일한 참조 부호를 붙이도록 한다.
또한, 여러 실시예들에 있어서, 동일한 구성을 가지는 구성요소에 대해서는 동일한 부호를 사용하여 대표적인 실시예에서만 설명하고, 그 외의 다른 실시예에서는 대표적인 실시예와 다른 구성에 대해서만 설명하기로 한다.
명세서 전체에서, 어떤 부분이 다른 부분과 "연결"되어 있다고 할 때, 이는 "직접적으로 연결"되어 있는 경우뿐만 아니라, 다른 부재를 사이에 두고 "간접적으로 연결"된 것도 포함한다. 또한, 어떤 부분이 어떤 구성요소를 "포함"한다고 할 때, 이는 특별히 반대되는 기재가 없는 한 다른 구성요소를 제외하는 것이 아니라 다른 구성요소를 더 포함하는 것을 의미할 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 진공 챔버용 피드 스루(100)의 형상을 개략적으로 도시한 도면이고, 도 2는 도 1에 도시된 진공 챔버용 피드 스루(100)의 분해 사시도이며, 도 3은 도 1에 도시된 몸체부(110)를 보다 구체적으로 도시한 도면이고, 도 4는 도 1에 도시된 결합부(120)를 보다 구체적으로 도시한 도면이다.
도 1 내지 도 4를 함께 살펴보면, 본 발명의 일 실시예에 따른 진공 챔버용 피드 스루(100)는 크게 몸체부(110), 결합부(120) 및 몸체부(110)의 내부에 주입(충진)되어 경화되는 실링제(부호없음)를 포함하여 구성될 수 있다.
먼저 몸체부(110)는 일측 말단부에 하나 이상의 케이블 단자(1)가 볼트 결합될 수 있고 타측에는 결합부(120)가 밀착된 상태에서 볼트 결합될 수 있다.
이를 위하여, 몸체부(110)의 일측 말단부에는 하나 이상의 케이블(1a)이 내부로 관통하기 위한 하나 이상의 케이블 관통 홀(110a)과, 하나 이상의 케이블 단자(1)가 볼트 결합되기 위한 하나 이상의 제1 볼트 결합 홀(110b)과, 몸체부(110)의 내부를 길이 방향으로 관통하여 형성되되 결합부(120)와의 볼트 결합이 가능하도록 하는 하나 이상의 제2 볼트 결합 홀(110c)이 형성될 수 있다. 이러한 몸체부(110)의 재질로는 내후성, 내부식성이 좋은 에폭시(epoxy) 재질의 수지 혹은 플라스틱 수지가 적용될 수 있다.
몸체부(110)의 길이는 내부를 관통하는 케이블(1a)의 연결부위의 길이에 따라 달라질 수 있으며, 그 길이는 제한되지 않는다.
한편, 몸체부(110)의 양측 말단부에서, 특히 하나 이상의 케이블 관통 홀(110a)의 말단부에는 각각 고리 형상의 실링 고리가 수용되는 실링 고리용 함몰공간이 각각 형성될 수 있다.
실링 고리는 하나 이상의 케이블(1a)에 끼워진 상태에서 각각이 실링 고리용 함몰공간에 위치하게 되는데, 후술되는 실링제가 케이블 관통 홀(110a)의 내부에 주입되어 경화되는 경우, 실링 고리도 실링제에 의해 함께 고정된 상태에서 경화될 수 있으므로, 케이블 관통 홀(110a)의 더욱 견고한 기밀성이 확보될 수 있게 된다.
결합부(120)는 일측 말단부가 몸체부(110)와 밀착된 상태에서 볼트 결합되고, 내부에 정전척(ESC)이 마련된 진공 챔버의 벽에 형성된 관통 홀에 길이 방향으로 끼움 결합될 수 있다. 특히, 이 경우, 길이 방향을 기준으로 중심부에는 관통 홀의 크기에 상응하도록 함몰공간이 외주면을 따라 형성되며, 내부에는 길이 방향을 따라 하나 이상의 케이블(1a)이 관통되는 하나 이상의 케이블 관통 홀(120a)이 형성된다.
보다 구체적으로, 결합부(120)는 스테인리스 강재가 적용될 수 있으며, 실제 진공 챔버의 벽에 형성된 관통 홀에 끼움 결합됨으로써, 진공 챔버의 내부와 외부를 서로 연결하는 통로를 형성하게 된다.
이때, 결합부(120)의 내부에서 길이 방향을 따라 형성되는 하나 이상의 케이블 관통 홀(120a)은 몸체부(110)에 형성된 하나 이상의 케이블 관통 홀(110a)과 상응하는 위치에 형성될 수 있다.
또한, 결합부(120)의 양측면 중에서 몸체부(110)와 결합되는 면에는 고리 형상의 실링 고리가 수용되기 위한 실링 고리용 함몰 공간(120b)이 형성될 수 있다.
따라서, 결합부(120)와 몸체부(110)가 서로 결합되는 경우, 몸체부(110)의 말단부가 실링 고리용 함몰 공간(120b)에 수용된 실링 고리에 밀착되게 되는데, 이때 실링 고리의 내측으로 하나 이상의 케이블 관통 홀(120a)이 형성되기 때문에 몸체부(110)의 말단부가 실링 고리와 밀착되면서 하나 이상의 케이블 관통 홀(120a)의 기밀성이 확보되게 된다.
또한, 결합부(120)에는 몸체부(110)에 형성된 하나 이상의 제2 볼트 결합 홀(110c)을 통해 삽입되는 볼트가 볼트 결합될 수 있도록 하나 이상의 볼트 결합 홀(120c)이 형성된다. 이때, 하나 이상의 볼트 결합 홀(120c)의 내부면에는 나사선이 형성될 수 있다.
실링제는 몸체부(110)의 케이블 관통 홀(110a)의 내부 공간에 주입되어 채워지게 되는데, 이때 케이블 관통 홀(110a)의 내벽과 케이블(1a) 사이에 발생되는 이격 공간을 메우는 역할을 한다. 이에 대해서는 도 5를 통해 보다 구체적으로 살펴보기로 한다.
도 5는 도 1에 도시된 몸체부(110)의 케이블 관통 홀(110a) 내부에 이종의 실링제가 주입 및 경화된 상태를 도시한 도면이다.
도 5를 살펴보면, 실링제는 몸체부(110)에 형성된 각각의 케이블 관통 홀(110a)의 내벽과 케이블(1a) 사이의 이격 공간에 1차적으로 주입되는 제1 실링제와 제1 경화제, 그리고 2차적으로 주입되는 제2 실링제와 제2 경화제를 포함하여 구성될 수 있다.
여기에서, 제1 실링제는 레진(resin) 재질의 실링제가 적용될 수 있고, 제1 경화제는 이러한 제1 실링제를 경화시키기 위한 재질의 경화제가 적용될 수 있다.
제1 실링제와 제1 경화제가 케이블 관통 홀(110a)의 내부 공간에 주입될 경우, 일반적으로는 섭씨 80도의 온도에서 120시간 이상의 경화 시간이 소요되게 된다.
따라서, 본 발명에서는 제1 실링제와 제1 경화제의 주입 후, 곧바로 제2 실링제와 제2 경화제를 케이블 관통 홀(110a)의 내부로 주입하게 된다.
제2 실링제는 에폭시(epoxy) 재질의 본드 형태의 실링제가 적용될 수 있고, 제2 경화제는 이러한 제2 실링제를 경화시키기 위한 재질의 경화제가 적용될 수 있다.
이때, 제2 실링제와 제2 경화제의 경화과정에서 섭씨 40도 내지 50도 정도의 열이 발생하게 되는데, 이러한 열에 의해 앞서 주입된 제1 실링제와 제1 경화제의 경화반응이 촉진되면서 경화시간이 대폭 단축되게 된다.
따라서, 제1 실링제와 제1 경화제를 1차적으로 주입하고 곧바로 제2 실링제와 제2 경화제를 2차적으로 주입함으로써, 제1 실링제 및 제2 실링제 모두의 경화시간이 단축될 수 있게 되는 것이다.
한편, 제1 실링제와 제1 경화제가 몸체부(110)의 케이블 관통 홀(110a)에 주입되는 경우, 몸체부(110)의 일측 말단부에 볼트 결합된 케이블 단자(1)의 내측면까지도 제1 실링제와 제1 경화제가 접하게 되는 것은 물론, 케이블 단자(1)와 몸체부(110) 간의 미세한 틈으로도 제1 실링제와 제1 경화제가 침투하면서 미세한 틈을 메울 수 있으므로, 결과적으로는 케이블 단자(1)와 몸체부(110) 간의 확실한 기밀성을 확보할 수 있게 되는 것이다.
다음으로는, 이러한 진공 챔버용 피드 스루의 제조 방법을 살펴보기로 한다.
먼저 몸체부(110)의 일측 말단부를 통해, 하나 이상의 케이블 관통 홀(110a)의 내부로 케이블(1a)을 관통시키면서 케이블 단자(1)를 몸체부(110)의 일측 말단부에 밀착 시킨 상태에서 볼트를 하나 이상의 제1 볼트 결합 홀(110b)에 볼트 결합하게 된다. 이 경우, 볼트를 강하게 조이더라도 케이블 단자(1)와 몸체부(110) 간의 미세한 틈이 발생될 수 있으므로, 추후 케이블 관통 홀(110a)의 내부로 제1 및 제2 실링제를 주입시키는 것이다.
다음으로, 몸체부(110)의 타측 말단부(결합부(120)와 밀착되는 면)의 케이블 관통 홀(110a)을 통해 제1 실링제와 제1 경화제를 1차적으로 주입한 후, 곧바로 제2 실링제와 제2 경화제를 2차적으로 주입하게 된다. 이 과정에서, 제2 실링제와 제2 경화제의 경화반응 시 발생되는 열에 의해 제1 실링제와 제2 실링제가 동시에 경화됨으로써 경화시간이 획기적으로 단축되는 것이다.
다음으로, 몸체부(110)와 결합부(120)를 서로 밀착시킨 상태에서 몸체부(110)에 형성된 제2 볼트 결합 홀(110c)을 통해 볼트를 삽입하여 조임으로써, 몸체부(110)와 결합부(120)가 서로 볼트 결합되도록 한다. 이 과정에서, 몸체부(110)와 결합부(120) 사이에 고리 형상의 실링 고리가 압착되면서 결합부(120)에 형성된 케이블 관통 홀(120a)의 기밀성이 확보된다.
한편, 일 실시예에서, 본 발명은 몸체부(110)의 케이블 관통 홀(110a) 내부의 내부 공간 부피에 따라, 제1 실링제, 제1 경화제, 제2 실링제 및 제2 경화제를 주입하는 실링제 주입 장치에 대하여 각 실링제 및 경화제의 배합 비율을 조정하도록 할 수 있다. 이는, 케이블 관통 홀(110a)의 내부에 주입, 충진 및 경화되는 실링제, 경화제를 통한 완벽한 기밀성 확보를 위함이며, 이를 위하여 실링제 주입 장치에서는 각 케이블 관통 홀(110a) 내부의 내부 공간 부피를 미세한 수치까지 측정할 수 있고, 이에 따른 제1 실링제, 제1 경화제, 제2 실링제 및 제2 경화제의 주입량 및 배합 비율을 조정할 수 있는 것이다.
상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 청구의 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.
1: 케이블 단자 1a: 케이블
100: 진공 챔버용 피드 스루
110: 몸체부
110a: 케이블 관통 홀
110b: 제1 볼트 결합 홀
110c: 제2 볼트 결합 홀
120: 결합
120a: 케이블 관통 홀
120b: 실링 고리용 함몰 공간
120c: 볼트 결합 홀

Claims (5)

  1. 일측 말단부에는 하나 이상의 케이블 단자(1)가 설치되며, 내부에는 길이 방향을 따라 상기 하나 이상의 케이블 단자(10)와 연결된 케이블(1a)이 관통되는 하나 이상의 케이블 관통 홀(110a)이 형성되는 몸체부(110);
    일측 말단부는 상기 몸체부(110)와 결합되고, 내부에 정전척이 마련된 진공 챔버의 벽에 형성된 관통 홀에 길이 방향으로 끼움 결합되며, 길이 방향을 기준으로 중심부에는 상기 관통 홀의 크기에 상응하도록 함몰공간이 외주면을 따라 형성되고, 내부에는 길이 방향을 따라 상기 케이블(1a)이 관통되는 하나 이상의 케이블 관통 홀(120a)이 형성되는 결합부(120); 및
    상기 케이블 관통 홀(110a) 사이에 주입되어 경화되며, 상기 케이블 관통 홀(110a)과 상기 케이블(1a) 간의 이격 공간을 메워 밀봉하는 실링제;를 포함하며,
    상기 실링제는 상기 케이블 관통 홀(110a)의 내벽과 상기 케이블(1a) 사이의 이격 공간에 1차적으로 주입되는 제1 실링제와 제1 경화제 및 상기 케이블 관통 홀(110a)의 내벽과 상기 케이블(1a) 사이의 이격 공간에 2차적으로 주입되는 제2 실링제와 제2 경화제를 포함하며, 상기 제1 실링제와 제1 경화제가 1차적으로 주입된 후 상기 제2 실링제와 상기 제2 경화제가 2차적으로 주입되는 경우, 상기 제2 실링제와 상기 제2 경화제의 경화반응 시 발생되는 열에 의해 상기 제1 실링제와 제1 경화제의 경화반응이 촉진되면서 상기 제1 실링제와 상기 제2 실링제가 동시에 경화되는 것을 특징으로 하는, 진공 챔버용 피드 스루.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 결합부(120)의 양측면 중에서 상기 몸체부(110)와 결합되는 면에는,
    고리 형상의 실링 고리가 수용되는 실링 고리용 함몰공간(120b)이 형성되며,
    상기 결합부(120)와 상기 몸체부(110)가 서로 결합되는 경우, 상기 몸체부(110)의 일측 말단부가 상기 실링 고리용 함몰공간(120b)에 수용된 상기 실링 고리에 밀착되는 것을 특징으로 하는, 진공 챔버용 피드 스루.
  3. 삭제
  4. 몸체부(110)의 일측 말단부를 통해, 내부 길이 방향을 따라 형성된 하나 이상의 케이블 관통 홀(110a)의 내부로 케이블(1a)을 관통시키고 상기 케이블(1a)과 연결된 케이블 단자(1)를 상기 몸체부(110)의 일측 말단부에 볼트 결합하는 단계;
    상기 몸체부(110)의 타측 말단부의 하나 이상의 케이블 관통 홀(110a)을 통해 제1 실링제와 제1 경화제를 1차적으로 주입한 후 제2 실링제와 제2 경화제를 2차적으로 주입하여, 상기 제2 실링제와 상기 제2 경화제의 경화반응 시 발생되는 열을 통해 상기 제1 실링제 및 제2 실링제가 동시에 경화되도록 하는 단계; 및
    상기 몸체부(110)의 타측 말단부에 결합부(120)를 위치시킨 후, 상기 결합부(120)의 내부 길이 방향을 따라 형성된 하나 이상의 케이블 관통 홀(120a)의 내부로 상기 케이블(1a)을 관통시키고 상기 몸체부(110)와 상기 결합부(120)를 서로 볼트 결합하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는, 진공 챔버용 피드 스루의 제조 방법.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 제1 실링제 및 제2 실링제가 동시에 경화되도록 하는 단계는,
    상기 케이블 관통 홀(110a) 내부의 내부 공간 부피에 따라, 실링제 주입 장치에 대하여 상기 제1 실링제와 제1 경화제, 제2 실링제와 제2 경화제 간의 배합 비율을 조정하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는, 진공 챔버용 피드 스루의 제조 방법.
KR1020210041182A 2021-03-30 2021-03-30 진공 챔버용 피드 스루 및 그 제조 방법 KR102326329B1 (ko)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020210041182A KR102326329B1 (ko) 2021-03-30 2021-03-30 진공 챔버용 피드 스루 및 그 제조 방법

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020210041182A KR102326329B1 (ko) 2021-03-30 2021-03-30 진공 챔버용 피드 스루 및 그 제조 방법

Publications (1)

Publication Number Publication Date
KR102326329B1 true KR102326329B1 (ko) 2021-11-15

Family

ID=78502907

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020210041182A KR102326329B1 (ko) 2021-03-30 2021-03-30 진공 챔버용 피드 스루 및 그 제조 방법

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR102326329B1 (ko)

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2012089340A (ja) * 2010-10-19 2012-05-10 Sumitomo Wiring Syst Ltd 機器用コネクタ
KR20150003229A (ko) 2012-03-30 2015-01-08 어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드 피드스루 구조를 가진 기판 지지체
JP2017162594A (ja) * 2016-03-08 2017-09-14 住友電装株式会社 防水コネクタ
KR20190042831A (ko) * 2017-10-17 2019-04-25 주식회사 이에스티 정전척 및 진공 챔버의 피드스루 기밀 구조
JP2020120039A (ja) * 2019-01-25 2020-08-06 株式会社豊田自動織機 電力変換装置

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2012089340A (ja) * 2010-10-19 2012-05-10 Sumitomo Wiring Syst Ltd 機器用コネクタ
KR20150003229A (ko) 2012-03-30 2015-01-08 어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드 피드스루 구조를 가진 기판 지지체
JP2017162594A (ja) * 2016-03-08 2017-09-14 住友電装株式会社 防水コネクタ
KR20190042831A (ko) * 2017-10-17 2019-04-25 주식회사 이에스티 정전척 및 진공 챔버의 피드스루 기밀 구조
JP2020120039A (ja) * 2019-01-25 2020-08-06 株式会社豊田自動織機 電力変換装置

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EP2469671A2 (en) Clamping Ring, Cable Gland and Method of Fitting a Cable Gland
KR101005127B1 (ko) 고압 전력 케이블 커넥터
US7726996B2 (en) Compression seal for coaxial cable connector and terminal
US4593970A (en) Fiber optic feedthrough module, and method of making same
JP4163957B2 (ja) ケーブルグランドアセンブリ
JPH0282470A (ja) 電気ケーブルのコネクタ
KR102326329B1 (ko) 진공 챔버용 피드 스루 및 그 제조 방법
US8609990B2 (en) Gasket for electric cables
EP4059104A1 (en) Cable glands
JP5721900B2 (ja) 差込みコンタクトエレメントのためのハウジングの密封法
JPS58123307A (ja) 高電圧継手体の製造方法
WO2016189956A1 (ja) 電気機器および電気機器の製造方法
JP4317815B2 (ja) 流体密式ケーブル・ダクト
US4309568A (en) Bushing for electrical leads
US7087838B2 (en) Cable sealing for a plug connector
KR101950621B1 (ko) 고압 연결 장치, 고압 연료 펌프, 및 고압 연료 펌프용 고압 연결 장치의 제조 방법
US6886721B2 (en) Sealing probe
KR900002487A (ko) 세라믹 봉함물(Seal assembly), 어댑터 및 봉함 장치
JP2019145990A (ja) 高周波入力結合器用保護部材
US4504763A (en) Cathode ray tube provided with a potted base
KR20210075154A (ko) 중전압 또는 고전압 가스-절연형 개폐기를 위한 절연기
EP0793244B1 (de) Elektrischer Kondensator
US10312630B1 (en) Device and method for protecting a connector assembly
KR102654321B1 (ko) 전기 커넥터의 케이블 개구를 압축 밀봉부로 밀봉하기 위한 케이블 밀봉 플러그
JP3674822B2 (ja) 電線貫通装置

Legal Events

Date Code Title Description
GRNT Written decision to grant